KR20230082005A - 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템 - Google Patents

제진용 독립 기초의 모니터링 시스템 Download PDF

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박해동
김민찬
류국현
송경호
이준화
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

제진용 독립 기초의 모니터링 시스템이 제공된다. 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템은, 제진용 독립 기초의 에어마운트에 공급되는 공압을 모니터링하기 위한 공압 모니터링 시스템을 포함하고, 상기 공압 모니터링 시스템은, 상기 에어마운트에 공급되는 에어가 공급되도록 다수로 마련되는 에어포트; 상기 에어포트 각각에 공급되는 에어의 압력을 측정하여 감지신호로서 출력하는 다수의 압력센서; 상기 압력센서 각각의 감지신호를 수신받고, 상기 압력센서의 측정값에 따라 제어신호를 출력하는 제어부; 및 상기 제어부의 제어신호에 따라 동작하는 알림부;를 포함한다.

Description

제진용 독립 기초의 모니터링 시스템{Monitoring system of vibration isolated foundation}
본 발명은 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에어마운트에 대한 에어 공급에 이상이 발생하거나, 에어마운트의 기계부품에 이상이 발생하거나 작업자의 부주의에 의하여 에어 마운트를 잘못 조작 하는 경우, 이를 라인 운영자가 신속하게 인지하도록 함으로써, 정밀 생산 가동장비의 오작동을 방지하고, 생산품의 불량을 방지하고, 작업자의 안전 및 정밀장비의 보호를 담보하고, 2차 사고가 발생하는 것을 방지하도록 하는 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체나 OLED와 같은 초정밀 제품을 제조하는 데 있어서, 계측 장비, 측정 장비, 연마장치 등 제품 생산과 관련되는 대부분의 장비는 주변 진동을 최소화로 유지하는 것이 매우 중요하다. 제품의 고품질을 확보하기 위함이다. 이를 만족시키기 위한 수단으로서 에어마운트를 사용한 제진용 독립 기초가 사용되고 있다.
제진용 독립 기초와 관련된 기술로서 공압스프링을 에어마운트로 적용한 기술이 있다.
그러나, 상술한 기술은 에어마운트에 해당하는 공압스프링에 대한 에어 공급의 이상 발생이나 계획되지 않은 하부 작업중 부주의로 인한 공압스프링의 손상시, 이를 상부의 작업자가 인지하지 못할 가능성이 존재한다. 이에 따라, 사고발생 가능성이 존재하며, 수평 및 제진 동작의 신뢰성을 크게 저하시키는 문제점을 가지고 있었다.
또한 상술한 기술은 허용치 이상의 변위 발생으로 인한 과상승시, 마찬가지로 작업자의 안전을 크게 해칠 뿐만 아니라, 설치된 장비의 오동작이나 손상을 유발하게 되는 문제점을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 에어마운트에 대한 에어 공급의 이상 발생이나 에어마운트의 손상시, 이를 작업자가 신속하게 인지하도록 함으로써, 작업자의 안전을 담보하고, 사고를 방지하고, 수평 및 제진 동작의 신뢰성 확보를 위한 후속 조치를 신속하게 취할 수 있도록 하고, 허용치 이상의 변위 발생으로 인한 과상승을 차단함으로써, 작업자의 안전을 확보하고, 설치된 장비의 오동작을 실시간으로 인지하여 예방하도록 하는데 목적이 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템은, 제진용 독립 기초의 에어마운트에 공급되는 공압을 모니터링하기 위한 공압 모니터링 시스템을 포함하고, 상기 공압 모니터링 시스템은, 상기 에어마운트에 공급되는 에어가 공급되도록 다수로 마련되는 에어포트; 상기 에어포트 각각에 공급되는 에어의 압력을 측정하여 감지신호로서 출력하는 다수의 압력센서; 상기 압력센서 각각의 감지신호를 수신받고, 상기 압력센서의 측정값에 따라 제어신호를 출력하는 제어부; 및 상기 제어부의 제어신호에 따라 동작하는 알림부;를 포함한다.
상기 알림부는 경광등일 수 있다.
상기 알림부는 상기 에어마운트에 공급되는 에어의 압력이 정상 범위인 경우 제1색으로 발광하는 제1경광등 및 상기 상기 에어마운트에 공급되는 에어의 압력이 정상 범위를 벗어난 경우 상기 제1색과 다른 제2색으로 발광하는 제2경광등을 포함할 수 있다.
상기 제1색은 녹색이고, 상기 제2색은 적색일 수 있다.
상기 공압 모니터링 시스템은, 상기 에어포트에 공급되는 에어에 의해 동작하는 에어마운트 각각에 대한 동작 상태를 발광에 의해 표시하는 작동표시램프를 더 포함할 수 있다.
상기 공압 모니터링 시스템은, 상기 압력센서의 정해진 값을 설정하도록 상기 압력센서 각각에 대응하도록 마련되는 입력부; 및 상기 입력부 각각의 입력 값이나 상기 압력센서 각각의 측정값을 외부로 디스플레이하도록 마련되는 표시부;를 더 포함할 수 있다.
상기 제진용 독립 기초에 설치되는 리미트 스위치의 감지신호가 입력되도록 마련되는 입력포트를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 입력포트를 통해 입력되는 상기 리미트 스위치의 감지신호에 따라 상기 알림부를 동작시키도록 제어할 수 있다.
상기 제어부의 제어에 의해, 경보음을 출력하도록 마련되는 스피커를 더 포함할 수 있다.
상기 제어부의 제어에 의해, 정해진 단말기에 경보메시지를 제공하기 위한 통신을 수행하도록 하는 통신부를 더 포함할 수 있다.
상기 에어마운트가 설치되는 설치보로부터 상기 에어마운트에 의해 지지되는 제진대의 상승 높이를 제한하는 과상승 방지 스토퍼를 더 포함하고, 상기 과상승 방지 스토퍼는, 상기 설치보의 저면에 가로놓여지는 하부지지판; 상기 설치보의 하부플랜지 상면에서 양측에 각각 놓여져서 상기 하부지지판의 상측으로 연장되도록 위치하는 제 1 및 제 2 상부지지판; 상기 제 1 및 제 2 상부지지판 각각과 상기 하부지지판 사이에 각각 개재되는 제 1 및 제 2 스페이서; 상기 제진대의 저면에 하방으로 수직되게 고정되고, 상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판을 상하로 슬라이딩 가능하도록 관통하는 메인볼트; 상기 메인볼트에 삽입되어 상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판을 사이에 두고 그 상측과 하측에 각각 지지되는 지지와셔; 상기 메인볼트에 나사 체결되어 상측에 위치하는 지지와셔의 상측과 하측에 위치하는 지지와셔의 하측에 각각 위치함으로써, 상기 메인볼트로부터 상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판의 상하 이동을 제한하는 조절너트; 및 상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판을 서로 결합시킴과 아울러, 상기 제 2 상부지지판, 상기 제 2 스페이서 및 상기 하부지지판을 서로 결합시키는 고정볼트 및 고정너트;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 에어마운트에 대한 에어 공급에 이상이 발생하거나, 에어마운트가 손상되는 경우, 이를 작업자가 신속하게 인지하도록 할 수 있다. 이에 따라, 작업자의 안전을 담보할 수 있고, 사고를 방지할 수 있고, 수평 및 제진 동작의 신뢰성을 확보하기 위한 후속 조치를 신속하게 취할 수 있다. 또한, 허용치 이상의 변위 발생으로 인한 과상승을 차단함으로써, 작업자의 안전을 확보할 수 있으며, 설치된 장비의 오동작을 실시간으로 인지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 공압 모니터링 시스템을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 공압 모니터링 시스템을 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에 사용되는 제진용 독립 기초의 일례를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 공압 모니터링 시스템의 연결의 일례를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 과상승 방지 스토퍼의 설치 상태를 도시한 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 과상승 방지 스토퍼를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 과상승 방지 스토퍼를 도시한 저면사시도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 공압 모니터링 시스템을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 레벨 유지를 위한 공압 모니터링 및 과상승 방지 시스템에서 공압 모니터링 시스템을 도시한 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템은 제진용 독립 기초(20; 도 3에 도시)의 에어마운트(22,23; 도 3에 도시)에 공급되는 공압을 모니터링하기 위한 공압 모니터링 시스템(100)을 포함할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템이 적용되는 제진용 독립 기초(20)는 설치보(21; 도 5에 도시) 상에 다수로 설치되는 에어마운트(22,23)와, 에어마운트(22,23) 상에 설치되는 제진대(24)를 포함할 수 있다.
설치보(21; 도 5에 도시)는 I 빔일 수 있는데, 본 실시례에서처럼 다수개가 함께 에어마운트(22)를 지지하도록 구성될 수 있다.
에어마운트(22,23) 각각은 외부에서 공급되는 에어의 압력에 의해 제진대(24)의 높이를 조절하는데, 상부에 제진대(24)를 지지한 상태에서, 제진대(24)의 높이 측정을 위한 높이센서의 감지신호를 수신받는 제진제어부의 제어에 의해 공급되는 에어의 압력에 의해, 제진대(24)에 가해지는 진동을 방지하면서도 제진대(24)의 수평을 조절하도록 할 수 있다.
에어마운트(22,23)는 본 실시례에서처럼 제진대(24)의 높이를 주도적으로 조절하도록 제진대(24)의 모서리마다 설치되는 메인에어마운트(22)와, 메인에어마운트(22) 사이에 설치되어 제진대(24)의 높이 조절을 보조하는 서브에어마운트(23)를 포함할 수 있다.
제진대(24)는 상부에 반도체 제조를 위한 장비 등과 같이 정밀 가공 장비 뿐만 아니라, 그 밖의 제진 및 수평 유지가 필요한 각종 장비가 설치되기 위한 장소를 제공할 수 있다. 몇몇 실시예에서 제진대(24)는 철근콘크리트 슬라브 구조물로 이루어질 수 있다. 다만 이에 한정되는 것은 아니며 제진대(24)는 이외에도 다양한 재질의 슬라브 구조로 이루어질 수도 있다.
도 1, 도 2 및 도 4에서와 같이, 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에서 공압 모니터링 시스템(100)은 에어포트(120), 압력센서(130), 제어부(140) 및 알림부(150)를 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서 알림부(150)는 사용자에게 시각적으로 경고알림을 전달할 수 있다. 예시적으로 알림부(150)는 경광등일 수 있다. 이하에서는 알림부(150)를 경광등으로 지칭하여 설명하나, 이에 한정되는 것은 아니다. 이외에도 알림부(150)는 사용자가 시각적으로 경고알림을 인지할 수 있는 다양한 구성으로 이루어질 수 있다.
에어포트(120)는 에어마운트(22,23)에 공급되는 에어가 공급되도록 다수로 마련되는데, 본 실시례에서처럼 적어도 3개의 메인에어마운트(22)와, 단일의 서브에어마운트(23)에 에어라인(25)으로 연결되기 위하여, 4개로 이루어짐을 나타내며, 이와 달리 그 개수 및 에어마운트(22,23) 연결 위치를 달리할 수 있다. 에어포트(120)는 케이싱(110)의 일면에 다수로 배열되도록 마련될 수 있다.
압력센서(130)는 에어포트(120) 각각에 공급되는 에어의 압력을 측정하여 감지신호로서 출력할 수 있다. 압력센서(130)는 에어포트(120)에 각각 연결된 에어마운트(22,23)에 공급되는 에어의 압력을 측정하여 감지신호를 출력하고, 출력된 감지신호는 제어부(140)에 전달 된다. 압력센서(130)는 후술하게 될 제어부(140)와 마찬가지로 케이스(110) 내측에 설치되어 에어포트(120)로부터 에어의 압력을 전달받을 수 있다.
제어부(140)는 각각의 압력센서(130)로부터 감지신호를 수신받고, 압력센서(130)의 측정값에 따라 제어신호를 할 수 있다. 즉 제어부(140)는 압력센서(130)의 측정값이 정해진 범위를 벗어나는지 여부에 따라 경광등(150)의 발광색을 제어할 수 있다. 이에 따라, 경광등(150)을 통해서 에어마운트(22,23)에 공급되는 에어의 압력 이상 여부를 라인 관리자 등이 쉽게 확인할 수 있다.
제어부(140)에는 메모리부(194)가 마련될 수 있다. 메모리부(194)는 이상 여부의 기준이 되는 압력센서(130)의 정해진 범위나, 그 밖의 설정값 또는 동작에 필요한 각종 데이터 및 프로그램 등을 저장할 수 있다.
경광등(150)은 제어부(140)의 제어신호에 따라 동작할 수 있다. 경광등(150)은 제1경광등(151) 및 제2경광등(152)을 포함할 수 있다.
제1경광등(151)은 에어마운트(22,23)의 에어 압력이 정상 범위인 경우 제어부(140)의 제어신호에 의해 제1색으로 발광할 수 있다. 제2경광등(152)은 에어마운트(22,23)의 에어 압력이 정상 범위를 벗어나는 경우 제어부(140)의 제어신호에 의해 상기 제1색과 다른 제2색으로 발광할 수 있다. 몇몇 실시예에서 상기 제1색은 녹색일 수 있으며, 상기 제2색은 적색일 수 있다.
제1경광등(151) 및 제2경광등(152)은 시인성이 뛰어난 위치, 예컨대 케이싱(110)의 상단 등에 배치될 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 제1경광등(151)을 녹색경광등으로 지칭하고 제2경광등(153)을 적색경광등으로 지칭한다.
공압 모니터링 시스템(100)은 작동표시램프(160), 입력부(171) 및 표시부(172), 입력포트(181), 스피커(191) 및 통신부(192)를 더 포함할 수 있다.
작동표시램프(160)는 에어포트(120)에 공급되는 에어에 의해 동작하는 에어마운트(22,23) 각각에 대한 동작 상태를 표시할 수 있다. 예를 들어, 작동표시램프(160)는 발광유무 또는 발광색상 등을 이용하여 에어마운트(22, 23) 각각의 동작 상태를 표시할 수 있다. 작동표시램프(160)는 에어포트(120) 각각에 대응하는 개수로 구비될 수 있다.
작동표시램프(160)는 케이싱(110)의 외측면에 배열되도록 마련될 수 있다. 일례로 압력센서(130) 각각의 측정값을 제공받는 제어부(140)의 제어에 의해, 에어포트(120)에 에어마운트(22,23)가 연결되고, 이렇게 연결된 에어마운트(22,23)가 에어의 공급에 의해 동작하는지 여부를 작동표시램프(160)의 점등에 의해 표시할 수 있다.
입력부(171)는 압력센서(130)의 정해진 값을 설정하도록 압력센서(130) 각각에 대응하도록 마련될 수 있다. 즉 입력부(171)는 압력센서(130)에 대한 정상 범위의 압력 범위를 설정하도록 마련될 수 있다. 본 실시례에서처럼 입력부(171)는 다수의 버튼으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 몇몇 다른 실시예에서 입력부(171)는 터치패널을 비롯하여 설정값의 입력을 위한 다양한 입력장치 등으로 구현될 수도 있다.
표시부(172)는 입력부(171)의 조작시 입력부(171) 각각의 입력 값을 외부로 디스플레이하고, 입력부(171)를 조작하지 않을 경우 압력센서(130) 각각의 측정값을 외부로 디스플레이할 수 있다. 표시부(172)는 케이싱(110)의 외측면에 마련되는 다양한 디스플레이장치로 구현될 수 있다. 본 실시례에서처럼 표시부(172)는 압력센서(130) 각각에 대응하도록 다수로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 실시예에서 표시부(172)는 압력센서(130) 모두를 함께 표시하도록 단일로 마련될 수도 있다.
입력포트(181)는 제진용 독립 기초(20)에 설치되는 리미트 스위치(26)의 감지신호가 입력되고 리미트 스위치(26)의 신호라인이 연결되도록 케이싱(110)의 외측면에 마련될 수 있다. 리미트 스위치(26)는 제진용 독립 기초(20)에서 제진대(24)의 변위가 제한된 범위에 도달하는지 여부를 감지하기 위한 스위치로서, 리미트 스위치(26)로서 다양한 방식의 변위 센서가 사용될 수 있다. 이때, 제어부(140)는 입력포트(181)를 통해 입력되는 리미트 스위치(26)의 감지신호에 따라 경광등(150)을 제어할 수 있다. 예컨대 제어부(140)는 변위가 제한된 범위 내인 경우 녹색경광등(151)이 점등되도록 하고, 변위가 제한된 범위를 벗어나는 경우 현재 에어마운트(22,23)의 압력이 정상 범위 내라고 하더라도, 적색경광등(152)이 점등 내지 점멸되도록 경광등(150)의 동작을 제어할 수 있다. 한편, 제어부(140)에 의해 처리된 결과 내지 모니터링에 필요한 데이터 등을 외부로 출력하기 위하여, 케이싱(110)에 출력포트(182)가 마련될 수도 있다.
제어부(140)가 경광등(150)을 통해서 경보를 나타내는 경우, 제어부(140)의 제어에 의해 청각적인 효과도 함께 제공하도록 경보음을 출력하도록 마련되는 스피커(191)가 케이싱(110)에 마련될 수 있다. 이러한 스피커(191)는 경광등(150)과는 별개로 구성되도록 마련되거나, 경광등(150)과 일체로 구성되도록 마련될 수도 있다.
통신부(192)는 제어부(140)의 제어에 의해, 정해진 단말기에 경보메시지를 제공하기 위한 통신을 수행하도록 하는데, 이를 위해, WLAN(Wireless LAN), 와이파이(Wi-Fi), 와이브로(Wibro), 와이맥스(Wimax), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access), LTE(Long Term Evolution), LTE-A (Long Term Evolution Advanced) 등의 원거리 통신방식, 블루투스(Bluetooth) Zigbee, UWB (Ultra-WideBand), ANT, Wi-fi 등, PAN (Personal Area Network) 등의 근거리 통신방식을 비롯하여 유선이나 무선 등의 다양한 통신방식을 이용할 수 있다. 여기서 단말기는 예컨대 스마트폰 등과 같이 어플리케이션이나 프로그램의 실행에 의해 정해진 프로세스를 수행하도록 함과 아울러 통신이 가능하도록 하는 정보처리 및 통신기기가 해당될 수 있고, 제어부(140)의 제어에 의해, 에어마운트(22,23)의 압력이나 리미트 스위치(26)에 의해 측정된 변위가 정해진 범위를 벗어나는 경우 정해진 경보메시지를 문자메시지나, SNS를 통해 정해진 형태의 각종 메시지로서 제공받을 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템은 에어마운트(22,23)가 설치되는 설치보(21)로부터 에어마운트(22,23)에 의해 지지되는 제진대(24)의 상승 높이를 제한하는 과상승 방지 스토퍼(200)를 더 포함할 수 있는데, 과상승 방지 스토퍼(220)는 하부지지판(210), 제 1 및 제 2 상부지지판(221,222), 제 1 및 제 2 스페이서(231,232), 메인볼트(240), 지지와셔(250), 조절너트(260), 그리고 고정볼트(270) 및 고정너트(280)를 포함할 수 있다. 본 실시례에서 과상승 방지 스토퍼(200)는 메인에어마운트(22) 측에 설치됨을 나타내나, 반드시 이에 한할 필요는 없으며, 서브에어마운트(23) 측에 설치될 수도 있다.
하부지지판(210)은 설치보(21)의 저면에 가로놓여지는데, 일례로 "ㄷ"자 형태의 횡단면을 가지는 강재일 수 있다.
제 1 및 제 2 상부지지판(221,222)은 설치보(21)의 하부플랜지(21a) 상면에서 양측에 각각 놓여져서 하부지지판(210)의 상측으로 연장되도록 위치하고, 일례로 금속판재로 이루어질 수 있다.
제 1 및 제 2 스페이서(231,232)는 제 1 및 제 2 상부지지판(221,222) 각각과 하부지지판(210) 사이에 각각 개재되고, 이를 위해 판상으로 이루어질 수 있으며, 일례로 금속판재로 이루어질 수 있다.
메인볼트(240)는 제진대(24)의 저면에 하방으로 수직되게 고정되고, 제 1 상부지지판(221), 제 1 스페이서(231) 및 하부지지판(210)을 상하로 슬라이딩 가능하도록 관통한다. 메인볼트(240)는 제진대(24)의 저면에 볼팅이나 용접 등을 비롯하여 다양한 방식에 의해 고정되는 고정부재(241)에 용접이나 나사결합 등을 비롯하여 다양한 방식에 의해 수직되게 하방으로 연장되도록 고정될 수 있다.
지지와셔(250)는 메인볼트(240)에 삽입되어 제 1 상부지지판(221), 제 1 스페이서(231) 및 하부지지판(210)을 사이에 두고 그 상측과 하측에 각각 지지된다. 지지와셔(250)는 한 쌍으로 이루어지고, 각각이 조절너트(260) 각각의 지지 면적을 확대시키는 역할을 하도록 한다.
조절너트(260)는 지지와셔(250) 각각에 대응하도록 한 쌍으로 이루어지며, 메인볼트(240)에 나사 체결되어 상측에 위치하는 지지와셔(250)의 상측과 하측에 위치하는 지지와셔(250)의 하측에 각각 위치함으로써, 메인볼트(240)로부터 제 1 상부지지판(221), 제 1 스페이서(231) 및 하부지지판(210)의 상하 이동을 제한하도록 한다. 따라서, 메인볼트(240) 상에서 조절너트(260)간의 간격을 조절함으로써, 설치보(21)에 고정된 제 1 상부지지판(221), 제 1 스페이셔(231) 및 하부지지판(210)이 메인볼트(240) 상에서 이동하는 범위를 제한하고, 이로 인해 에어마운트(22,23)에 의한 제진대(24)의 상승 높이를 조절 내지 제한할 수 있다.
고정볼트(270) 및 고정너트(280)는 제 1 상부지지판(221), 제 1 스페이서(231) 및 하부지지판(210)을 서로 결합시킴과 아울러, 제 2 상부지지판(222), 제 2 스페이서(232) 및 하부지지판(210)을 서로 결합시키도록 다수의 쌍으로 이루어질 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 제진용 독립 기초의 제진용 독립 기초의 모니터링 시스템에 따르면, 공압 모니터링 시스템에 의해서, 에어마운트에 대한 에어 공급의 이상 발생이나 에어마운트의 손상시, 이를 작업자가 신속하게 인지하도록 함으로써, 작업자의 안전을 담보할 뿐만 아니라, 사고를 방지할 수 있고, 수평 및 제진 동작의 신뢰성 확보를 위한 후속 조치를 신속하게 취할 수 있도록 한다.
또한 본 발명에 따르면, 과상승 방지 스토퍼에 의해서, 허용치 이상의 변위 발생으로 인한 과상승을 차단함으로써, 작업자의 안전을 확보함과 아울러, 설치된 장비의 오동작을 실시간으로 인지하여 예방할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
21 : 설치보 21a : 하부플랜지
22 : 메인에어마운트 23 : 서브에어마운트
24 : 제진대 25 : 에어라인
26 : 리미트스위치 100 : 공압 모니터링 시스템
110 : 케이싱 120 : 에어포트
130 : 압력센서 140 : 제어부
150 : 알림부 151 : 제1색경광등
152 : 제2색경광등 160 : 작동표시램프
171 : 입력부 172 : 표시부
181 : 입력포트 182 : 출력포트
191 : 스피커 192 : 통신부
193 : 전원공급부 194 : 메모리
200 : 과상승 방지 스토퍼 210 : 하부지지판
221 : 제 1 상부지지판 222 : 제 2 상부지지판
231 : 제 1 스페이서 232 : 제 2 스페이서
240 : 메인볼트 241 : 고정부재
250 : 지지와셔 260 : 조절너트
270 : 고정볼트 280 : 고정너트

Claims (24)

  1. 제진용 독립 기초의 에어마운트에 공급되는 공압을 모니터링하기 위한 모니터링 시스템을 포함하고,
    상기 공압 모니터링 시스템은,
    상기 에어마운트에 공급되는 에어가 공급되도록 다수로 마련되는 에어포트;
    상기 에어포트 각각에 공급되는 에어의 압력을 측정하여 감지신호로서 출력하는 다수의 압력센서; 및
    상기 압력센서 각각의 감지신호에 기초하여 동작하는 알림부;
    를 포함하는, 모니터링 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 알림부는 상기 에어마운트에 공급되는 에어의 압력이 정상 범위를 벗어난 경우 적색으로 발광하는 모니터링 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 알림부는,
    상기 에어마운트에 공급되는 에어의 압력이 정상 범위인 경우 녹색으로 발광하는 모니터링 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 정상 범위를 설정하도록 마련되는 입력부;
    를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 에어마운트에 공급되는 에어의 압력이 정상 범위를 벗어난 경우 경보음을 출력하도록 마련되는 스피커;
    를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  6. 제3항에 있어서,
    정해진 단말기에 경보메시지를 제공하기 위한 통신을 수행하도록 구성된 통신부; 를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 통신부는 WLAN(Wireless LAN), 와이파이(Wi-Fi), 와이브로(Wibro), 와이맥스(Wimax), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access), LTE(Long Term Evolution), LTE-A (Long Term Evolution Advanced), 블루투스(Bluetooth), Zigbee, UWB (Ultra-WideBand), ANT, Wi-fi, PAN (Personal Area Network) 중 적어도 어느 하나의 방식을 이용하여 통신을 수행하도록 구성된 모니터링 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 압력센서 각각의 측정값을 외부로 디스플레이하도록 마련되는 표시부; 를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  9. 마운트에 공급되는 기체 압력을 모니터링하기 위한 모니터링 시스템을 포함하고,
    상기 모니터링 시스템은,
    상기 마운트에 공급되는 기체가 공급되도록 다수로 마련되는 포트; 및
    상기 포트 각각에 공급되는 기체의 압력을 측정하여 감지신호로서 출력하는 압력센서;
    를 포함하는 모니터링 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 압력센서의 감지신호를 수신받고, 상기 압력센서의 측정값에 따라 제어신호를 출력하는 제어부; 및
    상기 제어부의 제어신호에 따라 동작하는 알림부;
    를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 알림부는 경광등인 모니터링 시스템.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 알림부는,
    상기 마운트에 공급되는 기체의 압력이 정상 범위인 경우 제1색으로 발광하는 제1경광등을 포함하는 모니터링 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 알림부는,
    상기 마운트에 공급되는 기체의 압력이 정상 범위를 벗어난 경우 상기 제1색과 다른 제2색으로 발광하는 제2경광등을 더 포함하는 모니터링 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1색은 녹색이고, 상기 제2색은 적색인 모니터링 시스템.
  15. 제10항에 있어서,
    리미트 스위치의 감지신호가 입력되도록 마련되는 입력포트를 더 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 입력포트를 통해 입력되는 상기 리미트 스위치의 감지신호에 따라 상기 알림부를 동작시키도록 제어하는 모니터링 시스템.
  16. 제9항에 있어서,
    상기 포트에 공급되는 기체에 의해 동작하는 마운트 각각에 대한 동작 상태를 발광에 의해 표시하는 작동표시램프를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  17. 제9항에 있어서,
    상기 압력센서의 정해진 값을 설정하도록 상기 압력센서에 대응하도록 마련되는 입력부; 및
    상기 입력부의 입력 값이나 상기 압력센의 측정값을 외부로 디스플레이하도록 마련되는 표시부;
    를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  18. 제9항에 있어서,
    경보음을 출력하도록 마련되는 스피커를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  19. 제9항에 있어서,
    정해진 단말기에 경보메시지를 제공하기 위한 통신을 수행하도록 하는 통신부를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  20. 제9항에 있어서,
    상기 마운트가 설치되는 설치보로부터 상기 마운트에 의해 지지되는 제진대의 상승 높이를 제한하는 과상승 방지 스토퍼; 를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  21. 제20항에 있어서, 상기 과상승 방지 스토퍼는,
    상기 설치보의 저면에 가로놓여지는 하부지지판; 및
    상기 설치보의 하부플랜지 상면에서 양측에 각각 놓여져서 상기 하부지지판의 상측으로 연장되도록 위치하는 제 1 상부지지판 및 제 2 상부지지판; 을 포함하는 모니터링 시스템.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 과상승 방지 스토퍼는,
    상기 제 1 및 제 2 상부지지판 각각과 상기 하부지지판 사이에 각각 개재되는 제 1 스페이서 및 제 2 스페이서; 및
    상기 제진대의 저면에 하방으로 수직되게 고정되고, 상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판을 상하로 슬라이딩 가능하도록 관통하는 메인볼트;
    를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 과상승 방지 스토퍼는,
    상기 메인볼트에 삽입되어 상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판을 사이에 두고 그 상측과 하측에 각각 지지되는 지지와셔;
    를 더 포함하는 모니터링 시스템.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 과상승 방지 스토퍼는,
    상기 메인볼트에 나사 체결되어 상측에 위치하는 지지와셔의 상측과 하측에 위치하는 지지와셔의 하측에 각각 위치함으로써, 상기 메인볼트로부터 상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판의 상하 이동을 제한하는 조절너트; 및
    상기 제 1 상부지지판, 상기 제 1 스페이서 및 상기 하부지지판을 서로 결합시킴과 아울러, 상기 제 2 상부지지판, 상기 제 2 스페이서 및 상기 하부지지판을 서로 결합시키는 고정볼트 및 고정너트;
    를 더 포함하는 모니터링 시스템.
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