KR20230061259A - 전자 부품 실장 장치 - Google Patents

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KR20230061259A
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게이고우 히로세
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시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 트레이에 배치된 전자 부품이 옆으로 쓰러질 우려를 저감하고, 트레이를 덮는 보호 시트를 제거할 수 있는 전자 부품 실장 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
전자 부품(C) 및 전자 부품(C)을 덮는 보호 시트(P)가 배치된 트레이(T)를 복수매 중첩한 상태로 유지하는 공급부(10)와, 공급부(10)의 하측으로부터 트레이(T)를 1장씩 수취하고, 공급부(10)로부터 전자 부품(C)을 픽업하는 위치로 트레이(T)를 반송하는 스테이지(20)와, 전자 부품(C)을 픽업하는 위치에 있어서, 트레이(T)에 배치된 전자 부품(C)을 픽업하는 헤드(61)와, 헤드(61)로부터 전자 부품(C)을 수취하고, 기판(D)에 전자 부품(C)을 압착하는 압착부(72)와, 스테이지(20)가 공급부(10)로부터 전자 부품(C)을 픽업하는 위치로 트레이(T)를 반송하는 경로상에 설치되고, 반송되는 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거하는 제거부(40)를 구비한다.

Description

전자 부품 실장 장치{ELECTRONIC COMPONENT MOUNTING DEVICE}
본 발명은 전자 부품 실장 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 등의 표시 장치를 구성하는 표시 패널의 제조 공정에 있어서, 표시 패널을 구성하는 유리 기판에, 구동용의 드라이버 IC 등의 칩형 전자 부품을 실장하는 공정이 있다. 이러한 실장은, COG(Chip On Glass) 실장으로 칭해지며, 또한, COG 실장에는, COG 실장 장치로 칭해지는 전자 부품 실장 장치가 이용된다.
COG 실장 장치에서의 전자 부품의 공급부는, 전자 부품이 격납되는 트레이가 복수매 중첩되어 구성된다. 구체적으로는, 트레이의 상면에 홈이 정렬하여 형성되고, 이 홈에 전자 부품이 격납된 트레이가 복수매 중첩되어 있다. 그런데, 중첩된 트레이에는, 각 트레이 사이에 전자 부품을 보호하는 보호지 등의 보호 시트가 존재하는 경우가 있다. 이 보호 시트는, 전자 부품을 픽업할 때에는 방해가 되기 때문에, 중첩된 트레이를 1단씩 무너뜨려, 사람의 손으로 1장씩 제거하는 공정을 필요로 했다. 그 후, 다시 트레이를 중첩하는 것에 의해 전자 부품의 공급부로 했다. 이러한 보호 시트를 제거하는 공정에 있어서, 트레이에 접촉하여 생긴 진동에 의해 홈의 내부에서 전자 부품이 옆으로 쓰러져, 픽업에 지장이 생기거나, 전자 부품이 손상되거나, 트레이를 거꾸로 뒤집어 버리거나 하여, 전자 부품이 손실될 우려가 있었다.
이러한 과제를 해결하기 위해, 미리 사람의 손으로 보호 시트를 제거하는 것이 아니라, 전자 부품을 픽업할 때 기계적으로 보호 시트를 제거하는 것이 검토되고 있다. 예컨대, 특허문헌 1에 나타낸 바와 같이, 우선, 최상단의 트레이에 배치된 보호 시트가 진공 흡착에 의해 제거되고, 계속해서, 이 트레이에 격납된 전자 부품이 순차적으로 픽업된다. 또한, 최상단의 트레이가 비면, 빈 트레이가 픽업되어 제거된다. 그리고, 중첩된 트레이가 상승하고, 다음 단의 트레이에 배치된 보호 시트가 제거되고, 이 트레이에 격납된 전자 부품이 순차적으로 픽업된다. 이러한 픽업 동작은, 모든 트레이가 빌 때까지 계속된다.
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평9-55598호 공보
그러나, 쌓아 올린 트레이의 최상단에 있어서는, 각 트레이의 변형이나 치수 오차가 누적되는 것에 의해, 그 상면의 높이 위치에 변동이 생기거나, 그 상면에 기울기가 생기거나 하는 경우가 있었다. 이러한 경우, 전자 부품을 픽업하는 높이 위치가 안정되지 않아, 전자 부품을 픽업할 수 없는 경우나, 픽업할 수 있더라도 충분히 유지할 수 없어, 반송 도중에 떨어뜨려 전자 부품이 손실되는 경우가 있었다. 또한, 보호 시트를 제거하기 위해 하강된 흡착 노즐 등의 제거부가 트레이의 상면에 충돌하고, 이 때 생기는 진동에 의해, 홈의 내부에서 전자 부품이 옆으로 쓰러져 픽업에 지장이 생길 우려가 있었다.
본 발명은, 트레이에 배치된 전자 부품을 확실하게 픽업하고, 트레이를 덮는 보호 시트를 제거할 수 있는 전자 부품 실장 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 전자 부품 실장 장치는, 전자 부품 및 상기 전자 부품을 덮는 보호 시트가 배치된 트레이를 복수매 중첩한 상태로 유지하는 공급부와, 상기 공급부의 하측으로부터 상기 트레이를 1장씩 수취하고, 상기 공급부로부터 상기 전자 부품을 픽업하는 위치로 상기 트레이를 반송하는 스테이지와, 상기 전자 부품을 픽업하는 위치에 있어서, 상기 트레이에 배치된 상기 전자 부품을 픽업하는 헤드와, 상기 헤드로부터 상기 전자 부품을 수취하고, 기판에 상기 전자 부품을 압착하는 압착부와, 상기 스테이지가 상기 공급부로부터 상기 전자 부품을 픽업하는 위치로 상기 트레이를 반송하는 경로상에 설치되고, 상기 반송되는 상기 트레이로부터 상기 보호 시트를 제거하는 제거부를 구비한다.
본 발명은, 트레이에 배치된 전자 부품을 확실하게 픽업하고, 트레이를 덮는 보호 시트를 제거할 수 있다.
도 1은 실시형태에 적용하는 트레이를 도시하는 사시도이다.
도 2는 실시형태의 전자 부품 실장 장치의 전체 구성을 도시하는 평면도이다.
도 3은 실시형태의 칩형 전자 부품의 실장 공정을 도시하는 설명도이다.
도 4는 실시형태의 공급부의 트레이 수취 공정을 도시하는 설명도이다.
도 5는 실시형태의 스테이지 및 제거부를 도시하는 측면도이다.
도 6은 실시형태의 제어부를 도시하는 기능 블록도이다.
도 7은 실시형태의 칩형 전자 부품의 실장 순서를 도시하는 플로우차트이다.
도 8은 실시형태의 흡착 위치를 도시하는 설명도이다.
도 9는 변형예의 제거부를 도시하는 도면이다.
도 10은 변형예의 제거부를 도시하는 도면이다.
도 11은 변형예의 제거부를 도시하는 도면이다.
도 12는 변형예의 스테이지의 이동 경로를 도시하는 도면이다.
도 13은 변형예의 스테이지의 이동 경로를 도시하는 도면이다.
도 14는 변형예의 흡착 양상을 도시하는 도면이다.
도 15는 변형예의 트레이 교환을 도시하는 설명도이다.
도 16은 변형예의 트레이 교환을 도시하는 설명도이다.
도 17은 변형예의 스테이지를 도시하는 평면도이다.
본 발명의 실시형태(이하, 본 실시형태라고 함)에 관해, 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 또한, 도면은, 각 부재, 각 구성부를 모식적으로 나타낸 것이며, 그 치수나 간격 등을 정확하게 나타내는 것은 아니다.
[구성]
(전자 부품 및 트레이)
본 실시형태에서의 전자 부품(C)은 드라이버 IC 등의 칩형 전자 부품이다. 전자 부품(C)은, 도 1에 도시하는 트레이(T)에 격납된다. 구체적으로는, 전자 부품(C)은, 전극 부분을 위로 향하게 한 상태로, 트레이(T)의 상면에 형성된 홈(G)에 격납된다. 이 홈(G)은, 예컨대 10개×2열 총 20개 형성되며, 20개의 전자 부품(C)을 격납 가능하다. 또한, 트레이(T)의 상면에는, 전자 부품(C)을 덮는 보호 시트(P)가 배치된다(도 4 참조). 보호 시트(P)는, 예컨대 종이나 필름이며, 대전되기 어려운 성질을 갖는 것이 바람직하다. 트레이(T)는, 홈(G)에 전자 부품(C)이 격납되고, 보호 시트(P)가 배치된 상태로 복수매 중첩되어, 전자 부품 실장 장치의 공급부(10)에 유지된다.
또한, 전자 부품(C)의 실장 대상은, 전자 부품(C)의 전극과 전기적인 접속을 행하는 부품이다. 본 실시형태에서는, 실장 대상은, 표시 장치를 구성하는 표시 패널인 기판(D)이다. 즉, 표시 기능 및 전극을 구비한 부재이다.
(전자 부품 실장 장치)
본 실시형태의 전자 부품 실장 장치의 구성을, 도 2 내지 도 6을 참조하여 설명한다. 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 전자 부품 실장 장치는, 공급부(10)와, 스테이지(20)와, 검출부(30)와, 제거부(40)와, 검출부(50)와, 이송부(60)와, 실장부(70)와, 제어부(80)를 갖는다. 본 실시형태의 전자 부품 실장 장치는, 칩형 전자 부품인 전자 부품(C)을 실장하는 COG 실장 장치이다.
공급부(10)는, 전자 부품(C)이 격납된 트레이(T)를 공급한다. 스테이지(20)는, 트레이(T)를 공급부(10)로부터 이송부(60)로 반송한다. 이송부(60)는, 스테이지(20)에 반송된 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 수취하고, 실장부(70)에 전달한다. 실장부(70)는, 전자 부품(C)을 실장 대상인 기판(D)에 압착한다.
검출부(30, 50)는, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)에 보호 시트(P)가 배치되어 있는지 아닌지를 검출한다. 제거부(40)는, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거한다.
도 2에 있어서, 이송부(60)와 실장부(70)의 압착부(72)가 나열된 방향을 Y 방향으로 하고, 스테이지(20)의 판 표면에 평행한 평면에 있어서, Y 방향에 직교하는 방향을 X 방향으로 하고, X 방향 및 Y 방향에 직교하는 방향을 Z 방향으로 한다. Z 방향은, 도면 중 지면을 관통하는 방향이다. 본 실시형태에 있어서는, Z 방향이 연직 방향이 되도록 전자 부품 실장 장치가 설치되고, 이것에 의해 XY 평면은 수평면이 된다. 이 경우, Z 방향은 높이 방향이며, 설치면측을 하측, 반대측을 상측이라고 부른다. 즉, 하측이란 중력의 방향이다. 또한, XY 평면에 평행한 회전 방향을 θ 방향, ZX 평면에 평행한 회전 방향을 α 방향으로 한다. 또한, 이들 방향은, 전자 부품 실장 장치의 각 구성의 위치 관계를 설명하기 위한 표현이며, 설치면에 설치될 때의 위치 관계나 방향을 한정하는 것은 아니다.
(공급부)
공급부(10)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 전자 부품(C)이 격납된 트레이(T)를 공급한다. 트레이(T)는, 전술한 바와 같이 복수매 중첩된 상태로 공급부(10)에 유지된다. 각 트레이(T)의 전자 부품(C)의 배치 부분은 보호 시트(P)에 의해 덮여 있다. 또한, 도 4에서는 설명의 편의상, 최하단의 트레이(T)를 덮는 보호 시트(P)만을 도시하고 있다. 공급부(10)는 프레임(11), 파지부(12)를 갖는다. 프레임(11)은 평행한 한쌍의 장척의 부재이다. 한쌍의 프레임(11)의 간격은, 트레이(T)의 폭에 근사하지만, 트레이(T)가 상하로 통과 가능하게 되어 있다. 파지부(12)는, 프레임(11)의 대향하는 측면에 설치되고, 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 트레이(T)의 측면에 접촉 분리되는 방향으로 진퇴 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 파지부(12)는, 도 4의 (A)에 도시하는 바와 같이, 복수매 중첩된 트레이(T)의 최하단을 파지한다. 또한, 파지부(12)에 파지되는 트레이(T)의 하면은, 도 4의 (B)에 도시하는 바와 같이, 전자 부품(C)을 수용한 면과는 반대측의 면이며, 스테이지(20)가 트레이(T)를 수취하는 위치가 된다.
본 실시형태의 공급부(10)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 평면시에서, X축을 따라 좌우로 한쌍 설치되어 있다. 구체적으로는, 한쪽의 공급부(10a)와 다른쪽의 공급부(10b)는, 평면시에서 이송부(60)에 대하여 대칭인 위치에 설치되어 있다. 이하, 공급부 10a와 10b를 구별하지 않는 경우에는, 단순히 공급부(10)라고 부른다.
(스테이지)
스테이지(20)는, 도 4, 도 5의 (A) 및 도 5의 (B)에 도시하는 바와 같이, 공급부(10)와 후술하는 이송부(60)의 하측에 설치되고, 공급부(10)가 유지하는 복수매 중첩된 트레이(T)의 최하단으로부터 트레이(T)를 1장씩 수취하여, 이송부(60)가 이 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 픽업하는 위치로 반송한다. 스테이지(20)는 유지부(21)와, 지주부(22)를 갖는다.
유지부(21)는, 상면의 외연이 트레이(T)의 외연 이상의 사이즈인 대략 직방체 형상이다. 유지부(21)의 상면에는, 도시는 하지 않지만, 공기압 회로에 접속된 흡착 구멍이 형성되어 있고, 트레이(T)를 부압에 의해 흡착 유지한다. 또한, 트레이(T)의 바닥면에는, 정전기 방지의 관점에서, 요철 형상이 형성되어 있는 경우가 있다. 이 경우, 요철 부분에서는 충분한 흡착력이 얻어지지 않을 가능성이 있기 때문에, 요철 부분을 피하여 평탄면에 대응하는 위치에 흡착 구멍을 형성하는 것이 바람직하다. 예컨대, 트레이(T)의 바닥면의 가장자리부에 대응하는 위치에 흡착 구멍을 형성하여 안정된 흡착을 확보한다. 지주부(22)는, 유지부(21)의 바닥부를 지지하는 대략 직방체 형상의 부재이다.
스테이지(20)에는 이동 기구(23)가 설치된다. 이동 기구(23)는, 브래킷(231), 리니어 가이드(232), 슬라이더(233)를 포함하여 구성되며, XY 평면을 따라 유지부(21)를 이동시킨다. 브래킷(231)은, 도 5의 (A)에 도시하는 바와 같이, XY 평면에서의 스테이지(20)의 이동 방향을 따라 연장되어 설치되는 단면시에서 L자형인 장척 부재이며, 리니어 가이드(232)를 지지한다. 리니어 가이드(232)는, 도 5의 (B)에 도시하는 바와 같이, XY 평면에서의 스테이지(20)의 이동 방향을 따라 연장되어 설치되는 대략 직방체 형상의 가이드 부재이며, 슬라이더(233)를 슬라이드 가능하게 지지한다. 슬라이더(233)는, 예컨대 도시하지 않은 구동원 및 볼나사에 의해 구동되며, 리니어 가이드(232)를 따라 이동 가능하게 설치된다. 슬라이더(233)는, 지주부(22)의 하단에 설치되고, 유지부(21)를 XY 방향으로 이동시킨다. 또한, 이동 기구(23)는, 도시하지 않은 승강 기구를 구비하고, 이 승강 기구에 의해 유지부(21)를 Z 방향으로 이동시킨다. 이와 같이, 이동 기구(23)는 스테이지(20)를 XYZ 방향으로 이동시킨다. 이동 기구(23)에 의해, 스테이지(20)는 공급부(10)와 이송부(60)의 사이에서 이동 가능하게 설치된다. 또한, 스테이지(20)는, 이 경로상에서 일시 정지하는 것도 가능하다.
본 실시형태의 스테이지(20)는, 한쌍의 공급부(10)에 대응하여 한쌍 설치되어 있다. 이하, 한쪽의 공급부(10a)에 대응하는 스테이지(20)를 스테이지(20a), 다른쪽의 공급부(10b)에 대응하는 스테이지(20)를 스테이지(20b)라고 부르고, 양자를 구별하지 않는 경우에는 단순히 스테이지(20)라고 부른다.
(검출부 및 제거부)
검출부(30, 50) 및 제거부(40)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 공급부(10)로부터 이송부(60)가 전자 부품(C)을 픽업하는 위치까지의 스테이지(20)의 경로상이자 스테이지(20)보다 상측에 설치된다. 또한, 검출부(30)를 시트 검출부, 검출부(50)를 제거 검출부라고 하는 경우도 있다.
검출부(30)는, 공급부(10)로부터 제거부(40)까지의 스테이지(20)의 경로상에 설치되고, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)에 배치되어 있는 보호 시트(P)를 검출한다. 검출부(30)는, 예컨대 색센서 등의 센서이다. 또한, 본 실시형태의 색센서는, 투광부와 수광부가 일체로 되어 있는 반사형의 것으로서 설명한다. 보호 시트(P)는 주로 백색에 가까운 색이므로, 검출부(30)는, 스테이지(20)의 상측으로부터 광을 조사하여, 그 반사광이 백색인지 그렇지 않은지로, 트레이(T)에 배치된 보호 시트(P)를 검출한다.
제거부(40)는, 검출부(30)로부터 이송부(60)가 전자 부품(C)을 픽업하는 위치까지의 스테이지(20)의 경로상에 설치되고, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거한다. 제거부(40)는, 보호 시트(P)를 흡착 유지하는 흡착부(41)와, 흡착부(41)를 지지하는 아암(42)과, 아암(42)을 지지하고, 흡착부(41)를 Z 방향으로 이동시키는 승강 기구(43)를 갖는다.
흡착부(41)는, 도시하지 않은 공기압 회로에 접속되고, 이 공기압 회로가 발생시키는 부압에 의해 보호 시트(P)를 흡착 유지한다. 아암(42)은, 도 5의 (A)에 도시하는 바와 같이, L자형의 지지 부재이며, 그 일단에 흡착부(41)를 지지한다. 또한, 아암(42)의 타단에는 승강 기구(43)가 설치된다. 승강 기구(43)는, 브래킷(431), 리니어 가이드(432), 슬라이더(433)를 포함하여 구성된다. 브래킷(431)은, 도 5의 (A)에 도시하는 바와 같이, XY 평면에서의 스테이지(20)의 이동 방향을 따라 연장되어 설치되는 단면시에서 L자형인 부재이며, 리니어 가이드(432)를 지지한다. 또한, 브래킷(431)은 브래킷(231)에 지지된다. 리니어 가이드(432)는, 도 5의 (B)에 도시하는 바와 같이, Z 방향으로 연장되어 설치되는 대략 직방체 형상의 가이드 부재이며, 슬라이더(433)를 슬라이드 가능하게 지지한다. 슬라이더(433)는, 예컨대 도시하지 않은 구동원 및 볼나사에 의해 구동되며, 리니어 가이드(432)를 따라 이동 가능하게 설치된다. 또한, 슬라이더(433)는 아암(42)을 지지한다. 이것에 의해, 승강 기구(43)는, 아암(42)을 통해, 아암(42)에 지지되는 흡착부(41)를 Z 방향으로 이동시킨다.
승강 기구(43)에 의해, 흡착부(41)는, 검출부(30)에 의해 보호 시트(P)가 검출된 경우에, 하측에 있어서 일시 정지한 스테이지(20)에 접근하고, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 흡착 유지한다. 흡착부(41)는, 하강을 시작한 위치까지 되돌아가고, 이것에 의해, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거된다. 보호 시트(P)가 제거되면, 스테이지(20)는, 흡착부(41)의 하측으로부터 분리되고, 이송부(60)의 하측, 전자 부품(C)을 픽업하는 위치로 트레이(T)를 반송한다. 또한, 검출부(30)에 의해 보호 시트(P)가 검출되지 않은 경우는, 흡착부(41)는 강하나 부압을 발생시키는 등의 동작을 행하지 않고, 트레이(T)는 이송부(60)로 반송된다.
흡착부(41)의 바로 아래에는 회수 상자(B)가 설치된다. 흡착부(41)는, 스테이지(20)가 하측을 통과한 후, 부압을 해제한다. 이것에 의해, 보호 시트(P)는 중력에 의해 낙하하고, 회수 상자(B)에 회수된다. 또한, 회수 상자(B)의 개구에는, 보호 시트(P)의 낙하를 가이드하고, 보호 시트(P)의 회수를 확실하게 하기 위한 가이드판을 설치해도 좋다.
검출부(50)는, 제거부(40)로부터 이송부(60)가 전자 부품(C)을 픽업하는 위치까지의 스테이지(20)의 경로상에 설치되고, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거되었는지 아닌지를 검출한다. 검출부(50)는, 예컨대 색센서 등의 센서이다. 또한, 본 실시형태의 색센서는, 투광부와 수광부가 일체로 되어있는 반사형의 것으로서 설명한다. 보호 시트(P)는 주로 백색에 가까운 색이기 때문에, 검출부(50)는, 스테이지(20)의 상측으로부터 광을 조사하여, 그 반사광이 백색이 아닌지 백색인지로, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거되었는지 아닌지를 검출한다.
검출부(50)가 보호 시트(P)를 검출한 경우, 예컨대, 도시하지 않은 스피커로부터 경고음을 발하여 오퍼레이터를 호출할 수 있다. 혹은 리커버리 처리를 행할 수 있다. 리커버리 처리는, 스테이지(20)를 제거부(40)로 되돌리고, 제거부(40)에게 보호 시트(P)를 제거시키는 처리이다. 또한, 오퍼레이터를 호출하는 경우, 트레이(T)의 반송을 일시 정지해도 좋다.
검출부(30, 50) 및 제거부(40)는, 한쌍의 공급부(10) 및 스테이지(20)에 대응하여 한쌍 설치되어 있다. 이하, 한쪽의 공급부(10a) 및 스테이지(20a)에 대응하는 검출부(30, 50) 및 제거부(40)를 검출부(30a, 50a) 및 제거부(40a), 다른쪽의 공급부(10b) 및 스테이지(20b)에 대응하는 검출부(30) 및 제거부(40)를 검출부(30b, 50b) 및 제거부(40b)라고 부르고, 양자를 구별하지 않는 경우에는, 단순히 검출부(30, 50) 및 제거부(40)라고 부른다.
(이송부)
이송부(60)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 픽업하여 실장부(70)에 전달하는 장치이다. 이송부(60)는, XY 평면과 평행한 면 위를, 모터 등의 구동원에 의해 θ 방향으로 회동 가능하게 설치된 장척의 부재이다. 즉, 이송부(60)의 일단은, 도시하지 않은 구동원의 회전축에 고정되고, θ 방향으로 180°씩 간헐 회전을 행한다. 보다 구체적으로는, 12시의 위치 및 6시의 위치에 정지하도록, 반시계 방향 방향 또는 시계 방향 방향으로 간헐 회전을 행한다.
이송부(60)의 타단에는, 회전 헤드인 헤드(61)가 설치되어 있다. 헤드(61)는, 이송부(60)의 길이 방향을 축으로 하여 α 방향으로 회동 가능하게 설치되어 있다. 헤드(61)에는, 회전원의 반경 방향을 따라 연장되는 흡착 노즐(61a)이 설치되어 있다. 흡착 노즐(61a)은, 도시하지 않은 공기압 회로에 접속되고, 이 공기압 회로가 발생시키는 부압에 의해 전자 부품(C)을 흡착 유지한다. 흡착 노즐(61a)의 선단의 방향은, 헤드(61)에 의해 180° 변환된다. 즉, 이송부(60)는, 흡착 유지에 의해 픽업한 전자 부품(C)을 α 방향으로 반전시켜 이송하는 반전 이송 장치로서 구성되어 있다.
흡착 노즐(61a)은, 스테이지(20)에 유지된 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 픽업할 때에는, 전자 부품(C)의 상측으로부터 하나씩 흡착 유지한다. 즉, 흡착 노즐(61a)의 방향을 반전시키지 않고 전자 부품(C)을 상측으로부터 흡착 유지한다. 이 때, 전자 부품(C)의 전극 부분은 위로 향해 있다. 한편, 흡착 노즐(61a)은, 흡착 유지한 전자 부품(C)을 후술하는 압착부(72)에 전달할 때에는, 압착부(72)의 하측으로부터 전자 부품(C)을 전달한다. 즉, 흡착 노즐(61a)의 방향을 반전시켜 전자 부품(C)을 하측으로부터 전달한다. 이 때, 전자 부품(C)의 전극 부분은 아래로 향해 있다.
(실장부)
실장부(70)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 기판(D)의 전극에 대하여, 전자 부품(C)의 전극을, ACF(Anisotropic Conductive Film : 이방성 도전 필름)를 통해 가열 압착하는 장치이다. ACF는, 기재가 되는 수지 중에 작은 도전 입자가 다수 들어 있는 시트형의 부재이다. 또한, 본 실시형태에서는, 미리 기판(D) 측에 ACF가 접착되어 있는 것으로 한다.
실장부(70)는, 테이블(71), 압착부(72)를 갖는다. 테이블(71)은, 기판(D)이 배치되는 수평한 판형체이다. 테이블(71)의 상면에는, 도시는 하지 않지만, 공기압 회로에 접속된 흡착 구멍이 형성되고, 기판(D)을 부압에 의해 흡착 유지한다. 테이블(71)은, 도시하지 않은 구동 기구에 의해, XY 방향 및 θ 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.
압착부(72)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 가압 헤드(721), 백업(722)을 갖는다. 가압 헤드(721)는, 도시하지 않은 유지부에 의해 전자 부품(C)을 흡착 유지한다. 또한, 가압 헤드(721)는, 도시하지 않은 구동 기구에 의해, XYZ 방향 및 θ 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 가압 헤드(721)는, 도시하지 않은 유지부에 의해 전자 부품(C)을 흡착 유지하고, 흡착 유지한 전자 부품(C)을 이동시켜, 테이블(71)에 지지된 기판(D)에 전자 부품(C)을 겹치게 한다. 또한, 가압 헤드(721)는, 기판(D)에 전자 부품(C)을 겹친 상태로, 도시하지 않은 가열부 및 가압부에 의해 전자 부품(C)을 가열 및 가압한다. 이것에 의해, 전자 부품(C)은 기판(D)에 대하여 가열 압착된다. 백업(722)은, 가압 헤드(721)에 의해 ACF를 통해 전자 부품(C)을 가열 압착할 때, 기판(D)을 지지하는 부재이다.
압착부(72)는, 최종적인 압착을 행하기 전의 가압착을 행하기 위한 장치이다. 압착부(72)에 의한 가압착 후에, 도시는 하지 않지만, 이후의 공정에 배치된 본압착부에 의한 본압착이 행해진다.
(제어부)
제어부(80)는, 예컨대, 전용의 전자 회로 혹은 소정의 프로그램으로 동작하는 컴퓨터 등에 의해 구성된다. 제어부(80)는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 기구 제어부(81), 기억부(82), 판정부(83), 입출력 제어부(84)를 갖는다. 기구 제어부(81)는, 공급부(10), 스테이지(20), 검출부(30), 제거부(40), 검출부(50), 이송부(60) 및 실장부(70)의 동작을 제어한다. 기억부(82)는, 이러한 동작을 실현하기 위한 프로그램, 데이터 등, 본 실시형태의 제어에 필요한 정보를 기억한다. 판정부(83)는, 검출부(30, 50)의 검출 결과에 기초하여 보호 시트(P)의 유무를 판정한다. 입출력 제어부(84)는, 제어 대상이 되는 각 부와의 사이에서의 신호의 변환이나 입출력을 제어하는 인터페이스이다.
또한, 제어부(80)에는, 입력 장치(91), 출력 장치(92)가 접속되어 있다. 입력 장치(91)는, 오퍼레이터가, 제어부(80)를 통해 전자 부품 실장 장치를 조작하기 위한 스위치, 터치패널, 키보드, 마우스 등의 입력 수단이다. 출력 장치(92)는, 전자 부품 실장 장치의 상태를 확인하기 위한 정보를, 오퍼레이터가 시인 가능한 상태로 하는 표시 장치 등의 출력 수단이다.
[작용]
이상과 같은 전자 부품 실장 장치의 작용을, 도 1 내지 도 6에 더하여, 도 7의 플로우차트 및 도 8의 설명도를 참조하면서 설명한다.
스테이지(20)는, 이동 기구(23)에 의해, 도 4의 (A)에 도시하는 바와 같이, 공급부(10)의 하측으로 이동한다(단계 S01). 공급부(10)에 있어서는, 도 4의 (B)에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20)의 유지부(21)가, 최하단의 트레이(T)의 바닥면을 흡착 유지한다. 그리고, 이하와 같은 순서에 의해, 스테이지(20)의 유지부(21)가 트레이(T)를 1장씩 수취한다(단계 S02).
도 4의 (C)에 도시하는 바와 같이, 공급부(10)는, 파지부(12)에 의한 파지를 해제한다. 그리고, 도 4의 (D)에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20)가 트레이(T)의 1장분만큼 하강한다. 도 4의 (E)에 도시하는 바와 같이, 최하단으로부터 하나 위의 트레이(T)를 파지부(12)에 의해 파지한다. 도 4의 (F)에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20)가 하강하여 유지부(21)에 트레이(T)가 전달된다.
트레이(T)를 수취한 스테이지(20)는 검출부(30)의 하측으로 이동한다(단계 S03). 스테이지(20)는, 검출부(30)의 하측에서 일시 정지해도 좋고, 일시 정지하지 않고 제거부(40)의 하측으로 이동해도 좋다. 제거부(40)의 하측으로 이동하는 과정에서, 검출부(30)의 하측을 통과하면 된다. 스테이지(20)가 검출부(30)의 하측을 통과할 때, 검출부(30)가 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)에 광을 조사하여, 보호 시트(P)가 배치되었는지 아닌지를 검출한다(단계 S04). 구체적으로는, 검출부(30)의 검출 결과를 수신한 판정부(83)가 보호 시트(P)의 유무를 판정한다. 보호 시트(P)가 트레이(T)에 배치되어 있는 경우(단계 S04의 예), 단계 S06으로 진행한다. 보호 시트(P)가 트레이(T)에 배치되어 있지 않은 경우(단계 S04의 아니오), 단계 S09로 진행한다. 또한, 보호 시트(P)가 트레이(T)에 배치되어 있지 않은 경우로는, 스테이지(20)가 검출부(30)의 하측을 통과할 때까지 진동 등에 의해 보호 시트(P)가 트레이(T)로부터 낙하하는 경우, 공급부(10)에 있어서 보호 시트(P)가 상단의 트레이(T)의 바닥면에 접착되는 경우, 중첩된 트레이(T)가 납입되는 단계에서 잘못하여 보호 시트(P)가 빠지는 경우 등이 고려된다. 또한, 오퍼레이터가 트레이(T)에 보호 시트(P)가 배치되었는지 아닌지를 확인하는 경우에 있어서는, 검출부(30) 및 판정부(83)의 구성을 생략 가능하다.
검출부(30)의 하측을 통과한 스테이지(20)는 제거부(40)의 하측으로 이동한다(단계 S05). 본 실시형태의 스테이지(20)는, 제거부(40)의 하측에 있어서 일시 정지한다. 제거부(40)의 흡착부(41)는, 승강 기구(43)에 의해 강하하여 보호 시트(P)에 접근하고, 부압에 의해 보호 시트(P)를 흡착 가능한 미리 정해진 높이에서 정지한다. 이 높이는, 예컨대 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)의 상면으로부터 0.5 mm의 높이이다. 이 높이에 있어서, 흡착부(41)는, 부압을 발생시키는 것에 의해 보호 시트(P)를 흡착 유지한다. 흡착부(41)는, 하강을 시작한 높이까지 되돌아가고, 이것에 의해 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거된다(단계 S06).
트레이(T) 상에 있어서 보호 시트(P)를 흡착 유지하는 위치는, 전자 부품(C)이 격납된 홈(G)에 대향하는 위치가 바람직하다. 보다 바람직하게는, 도 8의 (A)에 도시하는 바와 같이, 전자 부품(C)이 격납된 홈(G)의 중앙 부분에 대향하는 위치가 좋다.
트레이(T) 상의 보호 시트(P)에 작용하는 흡인 기류는, 보호 시트(P)를 투과하여 트레이(T)에도 작용한다. 즉, 트레이(T)에 대해서도 흡인력이 작용한다. 이것에 의해, 트레이(T)를 흡착 유지해 버린다. 그러나, 흡착부(41)가 홈(G)의 위를 흡인하는 것이라면, 홈(G)이 공기의 통로가 되어 트레이(T)에 대하여 누설하게 되므로, 보호 시트(P)에는 흡인력이 작용하지만 트레이(T)에는 흡인력이 작용하지 않아, 트레이(T)를 흡착 유지해 버리는 일이 없다. 이와 같이, 트레이(T)에 대하여 누설이 생겨 트레이(T)가 흡착되지 않는 것이라면, 트레이(T) 상의 어떤 홈(G)에 대향하는 위치이어도 좋고, 그 홈(G)의 어떤 부분에 대향하는 위치이어도 좋다.
다만, 트레이(T)에는, 홈(G)이 없는 부분이 형성되어 있는 경우가 있다. 도 8에서는, 트레이(T)의 중앙에 홈(G)이 없는 트레이(T)를 도시하고 있다. 이러한 트레이(T)의 경우, 홈(G)에 흡착부(41)가 걸리는 면적이 적은 장소에서는, 트레이(T)에 대한 누설이 감소하는 것에 의해 트레이(T)에도 흡인력이 작용해 버려, 트레이(T)를 흡착해 버릴 우려가 높아진다. 예컨대, 도 8의 (B)에 도시하는 바와 같이, 트레이(T) 중앙의 홈(G)이 없는 부분을 흡착부(41)로 흡인하는 것을 시도하면, 홈(G)의 일단으로부터만 공기가 흐르고, 홈(G)에 걸리는 면적도 적기 때문에, 홈(G)이 공기의 통로가 되기 어렵다. 이 경우, 홈(G)으로부터 보호 시트(P) 너머로 흡착부(41)로 충분한 공기가 흐르지 않기 때문에, 누설이 적어, 보호 시트(P) 너머로 트레이(T)를 흡착 유지해 버릴 우려가 있다.
이것에 대하여, 도 8의 (A)에 도시하는 바와 같이, 홈(G)의 중앙 부분을 흡착부(41)로 흡인하는 경우에는, 홈(G)의 양단으로부터 보호 시트(P) 너머로 흡착부(41)로 공기가 흐르기 때문에, 누설이 많아, 보호 시트(P) 너머로 트레이(T)를 흡착 유지해 버릴 우려가 적다. 즉, 보호 시트(P)를 트레이(T)마다 흡착 유지해 버릴 우려가 적다.
트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거되면, 스테이지(20)는 이송부(60)로 이동한다. 흡착부(41)는, 그 하측으로부터 스테이지(20)가 이동한 후, 부압을 해제하여 흡착 유지한 보호 시트(P)를 분리한다. 보호 시트(P)는, 중력에 의해 낙하하고, 흡착부(41)의 바로 아래에 설치된 회수 상자(B)에 회수된다(도 5의 (B) 참조).
제거부(40)의 하측을 통과한 스테이지(20)는, 검출부(50)의 하측으로 이동한다(단계 S07). 스테이지(20)는, 검출부(50)의 하측에서 일시 정지해도 좋고, 일시 정지하지 않고 이송부(60)의 흡착 노즐(61a)의 하측으로 이동해도 좋다. 이송부(60)의 흡착 노즐(61a)의 하측으로 이동하는 과정에서, 검출부(50)의 하측을 통과하면 된다. 스테이지(20)가 검출부(50)의 하측을 통과할 때, 검출부(50)가 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)에 광을 조사하여, 보호 시트(P)가 제거되었는지 아닌지를 검출한다(단계 S08). 구체적으로는, 검출부(50)의 검출 결과를 수신한 판정부(83)가 보호 시트(P)의 유무를 판정한다. 보호 시트(P)가 트레이(T)로부터 제거된 경우(단계 S08의 예), 단계 S09로 진행한다. 보호 시트(P)가 트레이(T)에 남아 있는 경우(단계 S08의 아니오), 단계 S06으로 되돌아간다. 구체적으로는, 전술한 리커버리 처리가 행해지고, 스테이지(20)가 제거부(40)의 하측으로 되돌아가고, 보호 시트(P)가 제거된다. 또한, 오퍼레이터가 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거되었는지 아닌지를 확인하는 경우에 있어서는, 검출부(50) 및 판정부(83)의 구성을 생략 가능하다.
검출부(50)의 하측을 통과한 스테이지(20)는, 이송부(60)의 흡착 노즐(61a)의 하측으로 이동한다. 즉, 스테이지(20)는, 전술한 12시의 위치에 위치 부여된 이송부(60)의 흡착 노즐(61a)의 하측으로, 트레이(T)에 배치된 전자 부품(C)이 위치하도록 이동한다. 보다 상세하게는, 트레이(T)의 홈(G)에 격납된 각 전자 부품(C)을, 이송부(60)의 흡착 노즐(61a)에 대향하는 위치에 순차적으로 위치 결정한다. 이 위치 결정은, 도시하지 않은 주사부가 트레이(T)를 주사하는 것에 의해 행해진다. 그리고, 트레이(T) 상의 하나의 전자 부품(C)이 위치 결정되면, 흡착 노즐(61a)에 의한 픽업을 시작한다. 이것에 의해, 전자 부품(C)은 이송부(60)에 전달된다(단계 S09).
이송부(60)는, XY 평면을 180° 회동하여, 전자 부품(C)을 실장부(70)의 압착부(72)로 이동시킨다. 이 이동의 도중에, 헤드(61)가 α 방향으로 회전하여, 전자 부품(C)을 하측으로부터 흡착 유지하도록 반전한다. 이송부(60)의 흡착 노즐(61a)에 의한 흡착을 해제함과 더불어, 압착부(72)의 가압 헤드(721)에 의한 흡착을 행하는 것에 의해, 전자 부품(C)을 가압 헤드(721)에 전달한다(단계 S10). 그리고, 가압 헤드(721)의 강하에 의해, 전자 부품(C)의 전극 부분이 ACF를 통해 기판(D)의 전극에 가열 압착된다(단계 S11). 그 후, 가압 헤드(721)에 의한 흡착이 해제되고, 전자 부품(C)이 가압착된 기판(D)은, 본압착부에 반송되어 본압착이 행해진다. 또한, 1장의 트레이(T)로부터 모든 전자 부품(C)의 처리가 끝날 때까지(단계 S12의 아니오), 단계 S09∼S11이 반복된다.
또한, 1장의 트레이(T)로부터 모든 전자 부품(C)의 처리가 끝나면(단계 S12의 예), 비어 있는 트레이(T)가 배치된 스테이지(20)는, 도시하지 않은 비어 있는 트레이(T)의 수용부까지 이동하고, 이 수용부에 트레이(T)를 전달한다. 그리고, 스테이지(20)는 공급부(10)까지 되돌아가고, 전술한 바와 같이, 스테이지(20)는, 공급부(10)로부터 전자 부품(C)이 격납된 트레이(T)를 수취하고, 전자 부품(C)의 교환을 행한다. 또한, 비어 있는 트레이(T)의 수용부는, 예컨대, 공급부(10)의 인접위치에, 공급부(10)와 동일한 구성으로 설치할 수 있다. 이와 같이 구성함으로써, 공급부(10)와 역순, 즉, 도 4에서의 (F), (E), (D), (C), (B), (A)의 순서로 비어 있는 트레이(T)를 적층하여 수용할 수 있다.
이러한 트레이(T)의 공급은, 우선, 한쪽의 공급부(10a) 및 스테이지(20a)에 의해 행해진다. 그리고, 공급부(10a)로부터, 전자 부품(C)을 격납한 트레이(T)가 없어지면, 다른쪽의 공급부(10b) 및 스테이지(20b)로 전환하여, 계속해서 트레이(T)의 공급이 행해진다. 그 사이에, 공급부(10a)의 트레이(T)가 교환되고, 다른쪽의 공급부(10b)의 트레이(T)가 없어지면, 다시 공급부(10a) 및 스테이지(20a)에 의한 트레이(T)의 공급으로 전환된다. 이것에 의해, 전자 부품 실장 장치를 정지시키지 않고, 실장을 계속하여 행할 수 있다.
[효과]
(1) 본 실시형태의 전자 부품 실장 장치는, 전자 부품(C) 및 전자 부품(C)을 덮는 보호 시트(P)가 배치된 트레이(T)를 복수매 중첩한 상태로 유지하는 공급부(10)와, 공급부(10)의 하측으로부터 트레이(T)를 1장씩 수취하고, 공급부(10)로부터 전자 부품(C)을 픽업하는 위치로 트레이(T)를 반송하는 스테이지(20)와, 전자 부품(C)을 픽업하는 위치에 있어서, 트레이(T)에 배치된 전자 부품(C)을 픽업하는 헤드(61)와, 헤드(61)로부터 전자 부품(C)을 수취하고, 기판(D)에 전자 부품(C)을 압착하는 압착부(72)와, 스테이지(20)가 공급부(10)로부터 전자 부품(C)을 픽업하는 위치로 트레이(T)를 반송하는 경로상에 설치되고, 반송되는 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거하는 제거부(40)를 구비한다.
이것에 의해, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 기계적으로 제거할 수 있기 때문에, 사람의 손으로 제거하는 경우에 비하여 트레이(T)에 배치된 전자 부품(C)을 손상하거나, 트레이를 거꾸로 뒤집거나, 트레이(T) 상에서 옆으로 쓰러지거나 할 우려가 적다. 또한, 트레이(T)는 1장씩 반송되기 때문에, 트레이(T)가 복수매 중첩되어 있는 경우에 비하여 상면의 높이 위치의 변동이 적다. 또한, 상면의 기울기가 적다. 따라서, 제거부(40)가 보호 시트(P)를 제거할 때에 트레이(T)에 잘못해서 충돌하고, 그 때의 충격으로 전자 부품(C)이 트레이(T) 상에서 옆으로 쓰러질 우려를 적게 할 수 있다.
(2) 본 실시형태의 제거부(40)는, 부압에 의해 보호 시트(P)를 흡착 유지하는 흡착부(41)이다. 이것에 의해, 제거부(40)가 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거할 때에, 보호 시트(P)를 통해 트레이(T)에 충격을 전달할 우려가 없기 때문에, 전자 부품(C)이 트레이(T) 상에서 옆으로 쓰러질 우려를 적게 할 수 있다.
(3) 본 실시형태의 트레이(T)에는, 전자 부품(C)이 격납되는 홈(G)이 형성되고, 흡착부(41)는, 홈(G)에 대향하는 위치에서, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 흡착 유지한다. 이것에 의해, 홈(G)이 공기의 통로가 되기 때문에, 흡착부(41)가 트레이(T)마다 유지해 버릴 우려가 적다.
(4) 본 실시형태의 보호 시트(P)가 회수되는 회수 상자(B)를 더 구비하고, 회수 상자(B)는 흡착부(41)의 바로 아래에 설치된다. 이것에 의해, 흡착부(41)는, 부압을 해제하는 것만으로, 흡착 유지한 보호 시트(P)를 회수 상자(B)에 회수시킬 수 있다.
(5) 본 실시형태의 경로상에 있어서, 공급부(10)와 제거부(40) 사이에 설치되고, 보호 시트(P)를 검출하는 검출부(30)를 더 구비한다. 이것에 의해, 보호 시트(P)가 배치되어 있지 않은 상태로 트레이(T)의 상면에 부압을 발생시켜, 전자 부품(C)을 잘못하여 흡착 유지해 버릴 우려가 없다.
(6) 본 실시형태의 경로상에 있어서, 제거부(40)와 이송부(60) 사이에 설치되고, 보호 시트(P)를 검출하는 검출부(50)를 더 구비한다. 이것에 의해, 트레이(T) 상으로부터 보호 시트(P)가 제거되지 않고 남아 있다 하더라도, 그 상태로 이송부(60)에 트레이(T)를 반송하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 검출부(50)가 보호 시트(P)를 검출한 경우, 오퍼레이터의 호출 혹은 리커버리 처리에 의해, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 확실하게 제거할 수 있다. 이것에 의해, 이송부(60)에 있어서 전자 부품(C)을 확실하게 픽업할 수 있다.
[변형예]
(1) 상기 실시형태의 제거부(40)는, 부압에 의해 보호 시트(P)를 제거하는 흡착부(41)를 구비했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 9에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20)의 유지력보다 강한 점착력을 갖는 점착부(44)이어도 좋다. 점착부(44)는, 도시하지 않은 공급 릴 및 회수 릴에 권회된 점착 시트(A)를 구비한다. 점착 시트(A)는, 경로 롤러(441)에 의해 이동 방향이 가이드되고, 압착 툴(442)로 향하는 방향으로 공급 릴로부터 송출된다. 압착 툴(442)은, 점착 시트(A)를 유지하여 승강 가능하게 설치되고, 그 하강에 의해 점착 시트(A)를 트레이(T) 상의 보호 시트(P)에 접촉시켜, 점착 시트(A)에 보호 시트(P)를 점착 유지시킨다. 그 후, 점착 시트(A)는, 압착 툴(442)의 상승에 의해 트레이(T)로부터 이격되고, 이것에 의해 보호 시트(P)가 제거된다. 또한, 회수 릴이 회동하는 것에 의해, 점착 시트(A)와 함께 보호 시트(P)는 회수되고, 또한, 트레이(T)에 대하여 새로운 점착 시트(A)의 면이 공급된다.
이것에 의해, 흡착부(41)를 설치하는 경우에 비하여, 부압을 발생시키는 공기압 회로가 불필요해져, 구성을 간략화할 수 있다. 또한, 흡착부(41)를 수평으로 이동시켜 스테이지(20)의 경로상으로부터 후퇴시키는 경우, 이동하는 흡착부(41)에 대한 배관 등의 배치에는, 설계상에서도 설치상에서도 노력이 필요하지만, 그와 같은 것을 회피할 수 있다. 또한, 부압에 의한 흡착에 비하여 넓은 면에서 보호 시트(P)를 유지할 수 있기 때문에 보호 시트(P)의 유지를 보다 확실하게 할 수 있고, 유지 미스를 줄일 수 있다. 또한, 트레이나 전자 부품까지도 유지해 버리는 일이 없다.
또한, 점착 시트(A)에 점착시킨 보호 시트(P)는, 보다 점착력이 강한 별도의 점착 시트에 전착시킴으로써, 점착 시트(A)를 순환할 수 있는 벨트와 같이 하여, 반복 사용하도록 함으로써, 공급·회수 릴을 불필요한 것으로 할 수 있고, 보다 구성을 간소한 것으로 할 수 있다. 또한, 회수 릴 대신에, 점착 시트(A)의 송출선에 설치한 회수 상자(B)에 점착 시트(A)와 함께 보호 시트(P)를 회수시키는 등에 의해 폐기할 수 있다. 이것에 의해서도, 회수 릴을 없앨 수 있어, 보다 간이한 구성으로 할 수 있다.
(2) 상기 실시형태의 제거부(40)는, 부압에 의해 보호 시트(P)를 제거하는 흡착부(41)를 구비했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 10의 (A)에 도시하는 바와 같이, 기류에 의해 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 불어서 날리는 기류 발생부(45)이어도 좋다. 기류 발생부(45)는, 예컨대 원통 형상 또는 직사각형 형상의 블로우 노즐(451)이며, 기류를 발생시키는 것에 의해, 회수 상자(B)를 향해 보호 시트(P)를 불어서 날려, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거한다. 또한, 도 10의 (B)에 도시하는 바와 같이, 기류 발생부(45)의 기능을 회수 상자(B)에 부여해도 좋다. 즉, 회수 상자(B)의 개구에, 보호 시트(P)보다 폭이 넓은 직사각형의 흡인 노즐(452)을 설치해도 좋다. 이 경우, 회수 상자(B) 내부에 부압을 발생시키는 것에 의해 기류를 발생시켜, 흡인 노즐(452)로부터 보호 시트(P)를 제거한다. 또한, 도 10의 (C)에 도시하는 바와 같이, 블로우 노즐(451)과 흡인 노즐(452)을 병용하고, 불어서 날리기와 흡인의 병용에 의해 보호 시트(P)를 제거해도 좋다. 병용하는 것에 의해, 보호 시트(P)의 제거를 보다 확실한 것으로 할 수 있다. 도 10의 (A) 내지 (C)의 어느 경우에도, 블로우나 흡인의 노즐만의 기구이면 되며, 보다 간소한 구성으로 할 수 있다.
(3) 상기 실시형태의 제거부(40)는, 부압에 의해 보호 시트(P)를 제거하는 흡착부(41)를 구비했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 11에 도시하는 바와 같이, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 뜯어내는 척부(46)이어도 좋다. 척부(46)는, 공압 구동에 의해 서로 접근하는 한쌍의 척 갈고리(461)를 구비하고, 이 한쌍의 척 갈고리(461)에 의해 보호 시트(P)를 뜯어낸다. 척 갈고리(461)의 선단에는, 고무 등의 탄성 캡(462)이 씌워져 있다. 탄성 캡(462)에 의해, 척 갈고리(461)가 트레이(T)에 접촉했을 때에 생기는 충격이 완화되고, 또한, 보호 시트(P)를 용이하게 뜯어낼 수 있다. 이것에 의해, 척부(46)는 흡착부(41)와 마찬가지로, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거한다. 기계적으로 보호 시트(P)를 뜯어내기 때문에, 보다 확실하게 보호 시트(P)를 제거할 수 있다.
(4) 상기 실시형태의 트레이(T)는, 그 상면에 형성되는 홈(G)에 전자 부품(C)을 격납하는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 트레이(T)의 상면에 형성된 얇은 점착층에 전자 부품(C)이 점착되어 있어도 좋다. 이 경우, 점착층의 점착력을 제거부(40)의 흡착부(41)의 흡착력 또는 점착부의 점착력보다 작게 하는 것에 의해, 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 픽업할 수 있다.
(5) 상기 실시형태의 회수 상자(B)는 제거부(40)의 바로 아래에 설치되었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대 제거부(40)에 XY 이동 기구를 설치하고, XY 평면을 이동 가능하게 하는 것이라면, 회수 상자(B)를 어디에 설치해도 좋다. 이것에 의해, 회수 상자(B)를 설치하는 장소를 자유롭게 설정할 수 있다. 또한, 회수 상자(B)를 설치하지 않는 양태도 가능하다. 이 경우, 제거부(40)는, 트레이(T)로부터 제거한 보호 시트(P)를 유지한 채 XY 평면을 이동하여, 전자 부품(C)의 픽업이 끝나서 비어 있는 트레이(T)에 얹어도 좋다. 이것에 의해, 보호 시트(P)는, 비어 있는 트레이(T)와 함께, 전술한 비어 있는 트레이(T)를 수용하는 수용부에 회수된다.
(6) 상기 실시형태에 있어서는, 제거부(40)와 이송부(60)의 사이에 검출부(50)를 설치했지만, 이것에 한정되지 않는다. 제거부(40)에 있어서 보호 시트(P)가 거의 확실하게 제거되는 것이라면, 검출부(50)를 생략해도 좋다. 이것에 의해, 전자 부품 실장 장치의 구성을 간소화하고, 또한 소형화할 수 있다.
(7) 상기 실시형태의 제거부(40)는, 검출부(30)와 이송부(60)의 사이에 설치되었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 제거부(40)에 XY 이동 기구를 설치하여, 공급부(10)와 스테이지(20)의 사이에 진퇴시켜도 좋다. 즉, 스테이지(20)가 트레이(T)를 수취하고, 공급부(10)로부터 Z 방향으로 이격된 후, 제거부(40)가 양자간에 진출하여, 보호 시트(P)를 제거해도 좋다. 이 경우, 공급부(10)로부터 이송부(60)까지의 거리를 짧게 할 수 있기 때문에, 장치 전체를 소형화할 수 있다. 또한, 이 경우, 검출부(30)는, 제거부(40)가 진출하기 전에 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)를 향해 광을 조사하여, 트레이(T)에 배치된 보호 시트(P)를 검출해도 좋다.
(8) 상기 실시형태의 스테이지(20)의 이동 경로는, 공급부(10)로부터 제거부(40)를 경유하여 이송부(60)까지 대략 직선형이지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 12의 (A), (B)에 도시하는 바와 같이, 제거부(40)의 바로 아래에서 대략 직각으로 방향 전환해도 좋다. 바꾸어 말하면, 공급부(10), 제거부(40), 이송부(60)의 레이아웃은 대략 직선형에 한정되지 않는다. 또한, 도 12의 (A), (B)에 있어서는, 설명을 쉽게 하기 위해, 검출부(30, 50)의 구성을 생략하고 있다.
스테이지(20)가 대략 직각으로 방향 전환하는 경우, 이동 기구(23)는, XY 방향으로 이동 가능하게 설치되는 슬라이더 및 가이드, 반송 벨트, 스테이지(20)를 자주(自走)시키는 반송 레일 등으로 하면 된다. 또한, 스테이지(20)는, 공급부(10)로부터 이송부(60)까지 단일 경로를 왕복하는 것으로 했지만, 루프형의 경로를 주회하도록 해도 좋다. 이러한 경로로 함으로써, 경로 설정의 자유도가 증가하고, 장치 전체를 작게 할 수 있다.
또한, 회수 상자(B)는, 도 12의 (A)에 도시하는 바와 같이, 제거부(40)에 인접하여 설치되고, 보호 시트(P)를 폐기하는 경우에는, 제거부(40)가 회수 상자(B)의 상측으로 이동하도록 하면 된다. 또한, 도 12의 (B)에 도시하는 바와 같이, 회수 상자(B)가 제거부(40)의 하측으로 이동하도록 해도 좋다.
또한, 도 12에 도시하는 레이아웃에 있어서 하나의 스테이지(20)가 2개의 트레이(T)를 유지하는 양태에 관해, 도 13을 참조하여 설명한다. 이 경우, 2개의 트레이(T)의 나열 방향은, 제거부(40)로부터 이송부(60)로의 스테이지(20)의 이동 방향에 일치하고 있다. 이것에 의해, 제거부(40)가 한쪽의 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거한 후, 스테이지(20)를 트레이(T) 1개분 이동시키는 것만으로, 제거부(40)를 다른쪽의 트레이(T)의 보호 시트(P)에 대향시킬 수 있다. 또한, 이송부(60)에서의 트레이(T)의 교체도, 스테이지(20)를 트레이 1개분 이동시키는 것에 의해 실현된다.
(9) 상기 실시형태의 흡착부(41)는, 도 14의 (A)에 도시하는 바와 같이, 미리 정해진 높이까지 강하하고 나서 정지하고, 부압을 발생시켰지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 14의 (B)에 도시하는 바와 같이, 부압을 발생시키면서 트레이(T)를 향해 강하시켜도 좋다. 즉, 제거부(40)의 흡착부(41)가, 도시하지 않은 승강 기구에 의해, 부압에 의해 보호 시트(P)를 흡착 가능한 미리 정해진 높이까지 강하할 때에 부압을 발생시킨다. 그렇게 함으로써, 보호 시트(P)를 흡착 가능한 미리 정해진 높이까지 강하하고 나서 부압을 발생시키는 양태에 비교하여, 흡착 가능한 부압이 되기까지의 시간을 생략할 수 있기 때문에, 택트타임을 단축할 수 있다.
또한, 이 경우, 강하해야 할 미리 정해진 높이를 설정하는 것은 아니며, 보호 시트(P)가 흡착된 것을 검출하여 강하를 정지시키는 제어를 해도 좋다. 이것에 의해, 보호 시트(P)를 제거하기까지의 시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라, 예컨대 트레이(T)의 치수 오차가 크고, 높이에 변동이 있는 경우에도, 흡착부(41)가 보호 시트(P)를 흡착할 때에 트레이(T)에 충돌할 우려를 최소한으로 할 수 있다.
또한, 흡착부(41)에 의한 보호 시트(P)의 흡착 양태를 흡착부(41)의 하강과 동시에 부압을 발생시킬지, 흡착부(41)가 미리 정해진 높이까지 하강하고 나서 부압을 발생시킬지에 관해서는 적절하게 결정하면 되며, 이러한 양태의 패턴을 선택 가능하게 하는 기능을 가져도 좋다.
(10) 상기 실시형태의 흡착부(41)는, 하측에 일시 정지시킨 스테이지(20)의 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거했지만, 이것에 한정되지 않는다. 스테이지(20)를 일시 정지시키지 않고 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거해도 좋다. 예컨대, 스테이지(20)에 배치된 트레이(T)의 상면보다 높은 위치, 예컨대, 3 mm 정도 높은 위치에 흡착부(41)를 대기시키고, 흡착부(41)의 하측을 스테이지(20)가 통과하는 타이밍에 부압을 발생시키도록 해도 좋다. 이것에 의해, 스테이지(20)를 일시 정지시키지 않고, 스테이지(20)가 흡착부(41)의 하측을 통과할 때에 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거되기 때문에, 스테이지(20)를 일시 정지시키는 타임랙이 없어지고, 택트가 향상된다.
(11) 상기 실시형태의 검출부(30)는, 보호 시트(P)의 색을 검출하는 색센서로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 보호 시트(P)에 조사한 광의 반사율을 검출하는 것에 의해, 보호 시트(P)를 검출 가능한 센서이어도 좋다.
(12) 상기 실시형태의 전자 부품 실장 장치는, 스테이지(20)의 하나의 유지부(21)가, 공급부(10)로부터 트레이(T)를 1장씩 수취하고, 전자 부품(C)을 실장하는 양태지만, 하나의 유지부(21)가 트레이(T)를 복수매씩 수취하거나, 또는 유지부(21)를 복수 설치하는 것에 의해, 복수의 트레이(T)를 유지해도 좋다. 즉, 하나의 트레이(T)에 격납된 전자 부품(C)이 전부 실장되고, 하나의 트레이(T)가 비면, 별도의 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 픽업하도록 전환한다. 기판(D)이 실장부(70)로부터 본압착부에 반송되는 타이밍 등 전자 부품(C)의 픽업이 행해지지 않는 시간에, 비어 있는 트레이(T)를 전자 부품(C)이 격납된 다음 트레이(T)와 교환한다. 이것에 의해, 전자 부품(C)의 실장중에 유지부(21)에 있는 전자 부품(C)이 없어지는 경우가 없기 때문에, 지체하지 않고 전자 부품(C)을 실장할 수 있다.
스테이지(20)가 복수의 트레이(T)를 유지하는 경우의 실시예에 관해, 도 15를 참조하여 설명한다. 도 15에 있어서는, 도 13에 도시하는 레이아웃과 마찬가지로, 스테이지(20)의 이동 경로가 대략 직각으로 방향 전환하는 것으로 하고, 또한, 하나의 스테이지(20)가 2개의 트레이(T)를 유지하는 것으로 한다. 또한, 이 실시예에 있어서는, 스테이지(20)가 2개 설치되는 것으로 한다. 즉, 2개의 스테이지(20a, 20b)가 각각 2개의 트레이(T)를 유지하는 것으로 한다. 이하에서는, 2개의 트레이(T) 중 좌측의 트레이(T)를 트레이(TL), 우측의 트레이(T)를 트레이(TR)라고도 한다. 또한, 도면 중의 트레이(T)에 사선이 있는 경우, 보호 시트(P)가 배치되어 있는 것으로 하고, 트레이(T)에 사선이 없는 경우, 보호 시트(P)가 제거된 것으로 한다.
우선, 도 15의 (A)에 도시하는 바와 같이, 공급부(10a)로부터 트레이(T)가 반출되어 스테이지(20a)에 유지된다. 스테이지(20a)는, 공급부(10a)로부터 트레이(TL), 트레이(TR)를 이 순으로 수취한다. 동시에, 공급부(10b)로부터 트레이(T)가 반출되어 스테이지(20b)에 유지된다. 스테이지(20b)는, 공급부(10b)로부터 트레이(TR), 트레이(TL)를 이 순으로 수취한다. 즉, 공급부(10b)는, 트레이(T)를 수취하는 순서가 공급부(10a)와 상이하다.
다음으로, 도 15의 (B)에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20a)는 제거부(40a)의 하측으로 이동하고, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거된다. 스테이지(20a)는, 우선 트레이(TR)를 제거부(40a)의 하측에 위치시켜, 트레이(TR)의 보호 시트(P)가 제거된 후, 도 15의 (C)에 도시하는 바와 같이, 트레이(TL)를 제거부(40a)의 하측에 위치시켜, 트레이(TL)의 보호 시트(P)를 제거시킨다. 마찬가지로, 스테이지(20b)는, 도 15의 (B)에 도시하는 바와 같이, 우선 트레이(TL)를 제거부(40b)의 하측에 위치시켜, 트레이(TL)의 보호 시트(P)가 제거된 후, 도 15의 (C)에 도시하는 바와 같이, 트레이(TR)를 제거부(40b)의 하측에 위치시켜, 트레이(TR)의 보호 시트(P)를 제거시킨다. 즉, 제거부(40b)는, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)를 제거하는 순서가 제거부(40a)와 상이하다.
또한, 도 15의 (D)에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20a)는 이송부(60)의 하측으로 이동하고, 이송부(60)는 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 픽업하고, 실장부(70)는 기판(D)에 전자 부품(C)을 실장한다. 스테이지(20a)는, 우선 트레이(TL)를 이송부(60)의 하측에 위치시키고, 이송부(60)의 픽업에 의해 트레이(TL)가 빈 후, 도 15의 (E)에 도시하는 바와 같이, 트레이(TR)를 이송부(60)의 하측에 위치시킨다. 이것에 의해, 트레이(TL)가 비더라도, 이송부(60)는 트레이(TR)로부터 전자 부품(C)을 픽업할 수 있기 때문에, 전자 부품(C)의 픽업이 끊임없이 행해진다.
또한, 이송부(60)의 픽업에 의해 트레이(TL)가 빈 후에는, 도 15의 (F)에 도시하는 바와 같이, 임의의 타이밍에 스테이지(20a)를 공급부(10a)로 이동시키고, 트레이(TL)를 새로운 것으로 교환할 수 있다. 임의의 타이밍은, 예컨대, 전자 부품(C)을 실장하기 위한 기판(D)을 교환하는 타이밍이다. 이 때, 트레이(TR)에는 절반 정도의 전자 부품(C)이 남아 있는 것으로 한다. 스테이지(20a)가 트레이(TL)를 새로운 것으로 교환하기 위한 이동과 동시에, 스테이지(20b)가 이송부(60)의 하측으로 이동한다. 구체적으로는, 스테이지(20b)의 트레이(TR)가 이송부(60)의 하측에 위치 부여된다. 이것에 의해, 기판(D)의 교환을 끝내고 바로, 전자 부품(C)의 픽업 및 실장을 재개할 수 있다. 스테이지(20b)의 트레이(TR)로부터 전자 부품(C)의 픽업 및 실장이 행해지고 있는 동안에, 스테이지(20a)의 트레이(TL)는 새로운 것으로 교환되고, 스테이지(20a)의 이동에 의해 새롭게 교환된 트레이(TL)는 제거부(40a)의 하측에 위치 부여되고, 제거부(40a)에 의해 보호 시트(P)가 제거된다.
스테이지(20b)의 픽업으로 되돌아가면, 스테이지(20b)의 트레이(TR)가 비면, 스테이지(20b)는, 이송부(60)의 하측에 트레이(TL)를 위치 부여하고, 전자 부품(C)의 픽업을 끊임없이 행한다. 스테이지(20b)의 트레이(TR)가 빈 후에는, 전술한 설명과 마찬가지로, 예컨대 기판(D)의 교환 타이밍에 맞춰 스테이지(20b)를 공급부(10b)까지 이동시키고, 비어 있는 트레이(TR)를 교환한다. 이 스테이지(20b)의 이동과 동시에, 스테이지(20a)는, 전자 부품(C)이 절반 정도 남아 있는 트레이(TR)를 이송부(60)의 하측에 위치 부여하고, 전자 부품(C)의 픽업 및 실장을 재개한다.
이와 같이, 2개의 스테이지(20a, 20b)의 각각에 2개의 트레이(TL, TR)를 유지시키는 구성으로 하는 것에 의해, 기판(D)에 전자 부품(C)을 끊임없이 실장할 수 있다. 또한, 트레이(T)의 교환으로 실장이 멈출 우려도 없다. 즉, 하나의 트레이(T)가 비더라도 바로 이웃 트레이(T)로 전환하는 것이 가능하고, 또한, 기판(D)을 교환하는 타이밍에 스테이지(20)를 전환하는 것도 가능하기 때문에, 다른쪽의 스테이지(20)에 있어서 트레이(T)를 교환하는 시간이나 보호 시트(P)를 제거하는 시간에 의해, 실장이 멈출 우려도 없다.
(13) 상기 실시형태의 공급부(10) 및 스테이지(20)는, 공급부(10a) 및 스테이지(20a)와 공급부(10b) 및 스테이지(20b)의 한쌍을 설치했지만, 한쪽만이어도 좋다. 또한, 한쌍의 공급부(10a, 10b)에 대하여 하나의 스테이지(20)를 설치하고, 이 스테이지(20)에 한쌍의 공급부(10a, 10b) 사이를 이동시켜, 2개의 공급부(10)에서 하나의 스테이지(20)를 공용하도록 해도 좋다. 이것에 의해, 전자 부품 실장 장치의 전체 구성을 간략화할 수 있다.
하나의 스테이지(20)를 공용하는 경우의 실시예에 관해, 도 16을 참조하여 설명한다. 도 16에 있어서는, 도 13에 도시하는 레이아웃과 마찬가지로, 스테이지(20)의 이동 경로가 대략 직각으로 방향 전환하는 것으로 하고, 또한, 하나의 스테이지(20)가 2개의 트레이(T)를 유지하는 것으로 한다. 이하에서는, 도 15와 마찬가지로, 2개의 트레이(T) 중 좌측의 트레이(T)를 트레이(TL), 우측의 트레이(T)를 트레이(TR)라고도 한다. 또한, 도면 중의 트레이(T)에 사선이 있는 경우, 보호 시트(P)가 배치되어 있는 것으로 하고, 트레이(T)에 사선이 없는 경우, 보호 시트(P)가 제거된 것으로 한다.
우선, 도 16의 (A)에 도시하는 바와 같이, 공급부(10a)로부터 트레이(T)가 반출되어 스테이지(20)에 유지된다. 스테이지(20)는, 공급부(10a)로부터 트레이(TL), 트레이(TR)를 이 순으로 수취한다. 다음으로, 도 16의 (B)에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20)는 제거부(40a)의 하측으로 이동하고, 트레이(T)로부터 보호 시트(P)가 제거된다. 스테이지(20)는, 우선 트레이(TR)를 제거부(40a)의 하측에 위치시켜, 트레이(TR)의 보호 시트(P)가 제거된 후, 도 16의 (C)에 도시하는 바와 같이, 트레이(TL)를 제거부(40a)의 하측에 위치시켜, 트레이(TL)의 보호 시트(P)를 제거시킨다.
또한, 도 16의 (D)에 도시하는 바와 같이, 스테이지(20)는 이송부(60)의 하측으로 이동하고, 이송부(60)는 트레이(T)로부터 전자 부품(C)을 픽업하고, 실장부(70)는 기판(D)에 전자 부품(C)을 실장한다. 스테이지(20)는, 우선 트레이(TL)를 이송부(60)의 하측에 위치시키고, 이송부(60)의 픽업에 의해 트레이(TL)가 빈 후, 도 16의 (E)에 도시하는 바와 같이, 트레이(TR)를 이송부(60)의 하측에 위치시킨다. 이것에 의해, 트레이(TL)가 비더라도, 이송부(60)는 트레이(TR)로부터 전자 부품(C)을 픽업할 수 있기 때문에, 전자 부품(C)의 픽업이 끊임없이 행해진다.
또한, 이송부(60)의 픽업에 의해 트레이(TL)가 빈 후에는, 도 16의 (F)에 도시하는 바와 같이, 임의의 타이밍에 스테이지(20)를 공급부(10b)로 이동시키고, 트레이(TL)를 새로운 것으로 교환할 수 있다. 임의의 타이밍은, 예컨대, 전자 부품(C)을 실장하기 위한 기판(D)을 교환하는 타이밍이다. 이 때, 트레이(TR)에는 절반 정도의 전자 부품(C)이 남아 있는 것으로 한다. 트레이(TL)를 교환한 후에는, 제거부(40b)에 의해 보호 시트(P)를 제거하고, 이송부(60)의 하측에 트레이(TR)를 위치시켜, 전자 부품(C)의 픽업 및 실장을 재개할 수 있다. 그 후, 트레이(TR)가 비면, 트레이(TL)로부터 픽업을 행한다. 또한, 기판(D)을 교환하는 타이밍이 오면, 비어 있는 트레이(TR)의 교환을 행한다. 또한, 도 16에 있어서 기판(D)에 실장되는 전자 부품(C)의 갯수는, 하나의 트레이(T)에 격납되는 전자 부품(C)의 갯수 이하인 것으로 한다.
(14) 상기 실시형태의 공급부(10)가 유지하는 최하단의 트레이(T)에 향해 제전을 행하는 이오나이저를 설치해도 좋다. 이것에 의해, 최하단의 트레이(T)에 배치되는 보호 시트(P)가 상단의 트레이(T)의 바닥면에 정전기 등에 의해 접착하는 것을 방지할 수 있다.
(15) 상기 실시형태의 스테이지(20)는, 도 17에 도시하는 바와 같이, 간헐 회전 가능한 원탁형의 테이블이어도 좋다. 이 테이블은, 도 17에 도시하는 9시 위치에서 트레이(T)를 수취하고, 6시 위치에서 제거부(40)에 의해 보호 시트(P)를 제거하고, 3시 위치에서 이송부(60)의 흡착 노즐(61a)에 의해 전자 부품(C)을 픽업시켜, 트레이(T) 상의 전자 부품(C)을 전부 픽업한 후, 12시 위치에서 비어 있는 트레이(T)의 수용부에 트레이(T)를 수용시킨다.
(16) 상기 실시형태의 전자 부품 실장 장치는, 칩형 전자 부품을 실장하는 COG 실장 장치로 했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 유기 EL과 같은 필름형의 회로 기판에 칩형 전자 부품을 실장하는 전자 부품 실장 장치나, 칩형 전자 부품과, 필름형의 회로 기판의 위에 드라이버 IC를 실장한 COF(Chip On Film)로 칭해지는 필름형 전자 부품을 선택적으로 공급 및 실장하는 겸용기로 칭해지는 전자 부품 실장 장치로 해도 좋다. 요컨대, 단적 트레이로부터 칩을 공급하여 실장하는 것이면 되며, 기판으로서 실리콘 등의 웨이퍼이어도 좋고, 필름형이 아닌 회로 기판이어도 좋다.
[다른 실시형태]
이상, 본 발명의 실시형태 및 각 부의 변형예를 설명했지만, 이 실시형태나 각 부의 변형예는 일례로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않는다. 전술한 이들 신규 실시형태는, 그 밖의 여러가지 형태로 실시되는 것이 가능하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러가지 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함됨과 더불어, 특허청구범위에 기재된 발명에 포함된다.
10, 10a, 10b : 공급부
11 : 프레임
12 : 파지부
20, 20a, 20b : 스테이지
30, 30a, 30b : 검출부
40, 40a, 40b : 제거부
41 : 흡착부
44 : 점착부
45 : 기류 발생부
451 : 블로우 노즐
452 : 흡인 노즐
46 : 척부
50, 50a, 50b : 검출부
60 : 이송부
61 : 헤드
61a : 흡착 노즐
70 : 실장부
71 : 테이블
72 : 압착부
721 : 가압 헤드
722 : 백업
80 : 제어부
81 : 기구 제어부
82 : 기억부
83 : 판정부
84 : 입출력 제어부
91 : 입력 장치
92 : 출력 장치
A : 점착 시트
B : 회수 상자
C : 전자 부품
D : 기판
G : 홈
P : 보호 시트
T : 트레이

Claims (11)

  1. 전자 부품 및 이 전자 부품을 덮는 보호 시트가 배치된 트레이를 복수매 중첩한 상태로 유지하는 공급부와,
    상기 공급부의 하측으로부터 상기 트레이를 1장씩 수취하고, 상기 공급부로부터 상기 전자 부품을 픽업하는 위치로 상기 트레이를 반송하는 스테이지와,
    상기 전자 부품을 픽업하는 위치에 있어서, 상기 트레이에 배치된 상기 전자 부품을 픽업하는 헤드와,
    상기 헤드로부터 상기 전자 부품을 수취하고, 기판에 상기 전자 부품을 압착하는 압착부와,
    상기 스테이지가 상기 공급부로부터 상기 전자 부품을 픽업하는 위치로 상기 트레이를 반송하는 경로상에 설치되고, 상기 반송되는 상기 트레이로부터 상기 보호 시트를 제거하는 제거부
    를 구비하는 전자 부품 실장 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제거부는, 부압에 의해 상기 보호 시트를 흡착 유지하는 흡착부인 것인 전자 부품 실장 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 흡착부는, 상기 보호 시트에 접근하고, 미리 정해진 높이에서 정지하여 부압을 발생시키는 것인 전자 부품 실장 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 흡착부는, 부압을 발생시키면서 상기 보호 시트에 접근하는 것인 전자 부품 실장 장치.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 트레이에는, 상기 전자 부품이 격납되는 홈이 형성되고,
    상기 흡착부는, 상기 홈에 대향하는 위치에서 상기 보호 시트를 흡착 유지하는 것인 전자 부품 실장 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 보호 시트가 회수되는 회수 상자
    를 더 구비하고,
    상기 회수 상자는 상기 제거부의 바로 아래에 설치되는 것인 전자 부품 실장 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제거부는, 점착 시트에 의해 상기 보호 시트를 점착 유지하는 점착부인 것인 전자 부품 실장 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제거부는, 기류에 의해 상기 보호 시트를 제거하는 기류 발생부인 것인 전자 부품 실장 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제거부는, 상기 보호 시트를 뜯는 척부인 것인 전자 부품 실장 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 경로상에 있어서, 상기 공급부와 상기 제거부 사이에 설치되고, 상기 보호 시트를 검출하는 시트 검출부
    를 더 구비하는 전자 부품 실장 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 경로상에 있어서, 상기 제거부와 상기 전자 부품을 픽업하는 위치 사이에 설치되고, 상기 보호 시트가 제거되었는지 아닌지를 검출하는 제거 검출부
    를 더 구비하는 전자 부품 실장 장치.
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