KR20230059723A - 박리 지그, 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 - Google Patents
박리 지그, 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 Download PDFInfo
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Abstract
(과제) 보호 시트의 외주 가장자리까지 박리용 테이프를 강고하게 첩착할 때에, 박리용 테이프의 점착면이 유지 시트에 첩착되어 버릴 우려를 억제할 수 있는 박리 지그, 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치를 제공하는 것.
(해결 수단) 박리 지그는, 피가공물의 제 1 면에 첩착된 유지 시트 상에 재치하는 하면부와, 피가공물의 보호 시트가 첩착된 제 2 면과 대응하는 상면부와, 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 피가공물의 외주부에 맞닿는 맞닿음부를 포함한다. 상면부는, 보호 시트에 첩착하고 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 하면부는, 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성된다.
(해결 수단) 박리 지그는, 피가공물의 제 1 면에 첩착된 유지 시트 상에 재치하는 하면부와, 피가공물의 보호 시트가 첩착된 제 2 면과 대응하는 상면부와, 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 피가공물의 외주부에 맞닿는 맞닿음부를 포함한다. 상면부는, 보호 시트에 첩착하고 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 하면부는, 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성된다.
Description
본 발명은 박리 지그, 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스 웨이퍼 등 판상의 피가공물을 연삭하거나 분할하거나 함으로써, 디바이스 칩을 제조하는 제조 프로세스에 있어서, 웨이퍼를 파손하지 않고, 칩 분할 후에도 반송이 용이하도록, 피가공물에는 점착 테이프 등의 보호 시트가 첩착 (貼着) 된다. 연삭 시에는, 피가공물과 동 (同) 지름의 보호 시트가 피가공물의 디바이스면 측에 부착된다. 연삭 후, 칩으로 분할할 때는, 디바이스면과 반대측의 면에, 외주가 환상 (環狀) 의 프레임에 고정된 다이싱 테이프 등의 유지 시트에 부착되어, 보호 시트가 박리된다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
보호 시트를 박리할 때에는, 보호 시트에 박리용 테이프를 첩착하지만, 보호 시트의 외주 가장자리까지 박리용 테이프를 강고하게 첩착함으로써, 보호 시트의 단부 (端部) 를 박리 기점으로 하여 박리를 부드럽게 실시할 수 있다. 그러나, 박리용 테이프가 보호 시트의 외주 가장자리에 첩착되지 않으면, 보호 시트의 박리 기점이 형성되지 않아, 박리가 매우 곤란해진다는 문제가 있었다. 그러나, 보호 시트의 외주 가장자리까지 박리용 테이프를 강고하게 첩착하고자 하면, 박리용 테이프의 점착면이 유지 시트에 첩착되어 버릴 우려가 있다는 문제가 있었다. 종래에는, 이러한 문제에 대처하기 위해서는, 박리용 테이프로서, 점착층이 없고, 가열에 의해 보호 시트에 첩착되는 특수한 고가의 테이프를 사용할 필요가 있다는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 보호 시트의 외주 가장자리까지 박리용 테이프를 강고하게 첩착할 때에, 박리용 테이프의 점착면이 유지 시트에 첩착되어 버릴 우려를 억제할 수 있는 박리 지그, 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 환상의 프레임의 개구에 유지 시트를 개재하여 제 1 면이 고정된 판상의 피가공물의 제 2 면에 첩착한 그 피가공물과 동등한 직경의 보호 시트를 그 제 2 면으로부터 박리하는 박리 지그로서, 그 유지 시트 상에 재치 (載置) 하는 하면부와, 그 피가공물의 그 제 2 면과 대응하는 상면부와, 그 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께 그 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 그 피가공물의 외주부에 맞닿는 맞닿음부를 구비하고, 그 상면부는, 그 보호 시트에 첩착하고 그 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 그 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 그 하면부는, 그 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성되는 박리 지그가 제공된다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 환상의 프레임의 개구에 유지 시트를 개재하여 제 1 면이 고정된 판상의 피가공물의 제 2 면에 첩착한 그 피가공물과 동등한 직경의 보호 시트를, 그 제 2 면으로부터 박리 지그를 사용하여 박리하는 시트 박리 방법으로서, 상기 박리 지그는, 그 유지 시트 상에 재치하는 하면부와, 그 피가공물의 그 제 2 면과 대응하는 상면부와, 그 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께 그 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 그 피가공물의 외주부에 맞닿는 맞닿음부를 갖고, 그 상면부는, 그 보호 시트에 첩착하고, 그 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 그 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 그 하면부는, 그 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성되어 있는 것, 상기 시트 박리 방법은, 그 프레임에 고정된 그 피가공물을, 그 유지 시트를 개재하여 척 테이블로 유지하는 피가공물 유지 스텝과, 그 피가공물 유지 스텝 실시 후, 상기 박리 지그를 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물의 가장 가까이에 배치하여 그 유지 시트를 덮는 박리 지그 배치 스텝과, 그 보호 시트에 첩착하는 장척 (長尺) 의 박리용 테이프를, 그 보호 시트의 외주 가장자리보다 중심측으로부터 그 피가공물의 가장 가까이의 그 박리 지그에 걸쳐서 압압 (押壓) 하고, 그 박리용 테이프를 그 보호 시트에 첩착하는 박리용 테이프 첩착 스텝과, 그 보호 시트에 첩착한 그 박리용 테이프를 그 보호 시트의 외주로부터 중심을 향하여 잡아당겨, 그 보호 시트를 그 피가공물로부터 박리하는 박리 스텝을 구비하고, 그 보호 시트의 최외주까지 그 박리용 테이프를 첩착할 때에 그 유지 시트에 그 박리용 테이프가 첩착하는 것을 방지하는 시트 박리 방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 환상의 프레임의 개구에 유지 시트를 개재하여 제 1 면이 고정된 판상의 피가공물의 제 2 면에 첩착한 그 피가공물과 동등한 직경의 보호 시트를 그 제 2 면으로부터 박리하는 시트 박리 장치로서, 그 유지 시트를 개재하여 그 피가공물을 유지면으로 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물의 가장 가까이에서 그 유지 시트를 덮는 박리 지그와, 그 보호 시트에 첩착하는 박리용 테이프를 공급하는 공급 유닛과, 그 박리용 테이프를 그 보호 시트의 외주 가장자리보다 중심측으로부터 그 피가공물의 가장 가까이의 그 박리 지그에 걸쳐서 압압하여, 그 박리용 테이프를 그 보호 시트에 첩착하는 압압 유닛과, 그 보호 시트에 첩착한 그 박리용 테이프를 잡아당겨, 그 피가공물로부터 그 보호 시트를 박리하는 박리 유닛을 구비하고, 상기 박리 지그는, 그 유지 시트 상에 재치하는 하면부와, 그 피가공물의 그 제 2 면과 대응하는 상면부와, 그 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께, 그 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 그 피가공물의 최외주에 맞닿는 맞닿음부를 갖고, 그 상면부는, 그 보호 시트에 첩착하고 그 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 그 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 그 하면부는, 그 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성되어 있고, 그 보호 시트의 최외주까지 그 박리용 테이프를 첩착할 때에 그 유지 시트에 그 박리용 테이프가 첩착하는 것을 방지하는 시트 박리 장치가 제공된다.
본 발명은, 보호 시트의 외주 가장자리까지 박리용 테이프를 강고하게 첩착할 때에, 박리용 테이프의 점착면이 유지 시트에 첩착되어 버릴 우려를 억제할 수 있다.
도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 시트 박리 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 도 1 의 시트 박리 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 도 1 의 시트 박리 장치의 주요부를 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법의 처리 순서를 나타내는 플로 차트이다.
도 5 는, 도 4 의 피가공물 유지 스텝 및 박리 지그 배치 스텝을 설명하는 단면도이다.
도 6 은, 도 4 의 박리용 테이프 첩착 스텝의 주요부를 설명하는 단면도이다.
도 7 은, 도 6 의 주요부를 확대한 확대 단면도이다.
도 8 은, 도 4 의 박리 스텝을 설명하는 단면도이다.
도 9 는, 제 2 실시형태에 관련된 박리 지그 및 시트 박리 장치의 주요부를 나타내는 단면도이다.
도 2 는, 도 1 의 시트 박리 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 도 1 의 시트 박리 장치의 주요부를 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법의 처리 순서를 나타내는 플로 차트이다.
도 5 는, 도 4 의 피가공물 유지 스텝 및 박리 지그 배치 스텝을 설명하는 단면도이다.
도 6 은, 도 4 의 박리용 테이프 첩착 스텝의 주요부를 설명하는 단면도이다.
도 7 은, 도 6 의 주요부를 확대한 확대 단면도이다.
도 8 은, 도 4 의 박리 스텝을 설명하는 단면도이다.
도 9 는, 제 2 실시형태에 관련된 박리 지그 및 시트 박리 장치의 주요부를 나타내는 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.
〔제 1 실시형태〕
본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 시트 박리 장치 (100) 를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 시트 박리 장치 (100) 의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 도 1 의 시트 박리 장치 (100) 의 주요부를 나타내는 사시도이다. 도 3 은, 도 1 의 시트 박리 장치 (100) 의 주요부를 나타내는 단면도이다. 시트 박리 장치 (100) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1) 와, 척 테이블 (10) 과, 공급 유닛 (20) 과, 압압 유닛 (30) 과, 박리 유닛 (40) 과, 절단 유닛 (50) 과, 제 1 이동 유닛 (60) 과, 제 2 이동 유닛 (70) 과, 지그 이동 유닛 (80) 과, 제어 유닛 (90) 을 구비한다.
제 1 실시형태에 있어서, 시트 박리 장치 (100) 가 보호 시트 (220) 를 박리하는 박리 대상인 피가공물 (200) 은, 예를 들어, 실리콘, 사파이어, 실리콘 카바이드 (SiC), 갈륨비소 등을 모재로 하는 원판상의 반도체 디바이스 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등이다. 피가공물 (200) 은, 제 1 면 (201) 에 유지 시트 (210) 가 첩착되고, 유지 시트 (210) 의 외연부에 환상의 프레임 (211) 이 장착되어 있다. 이와 같이, 피가공물 (200) 은, 환상의 프레임 (211) 의 개구 (212) 에 유지 시트 (210) 를 개재하여 제 1 면 (201) 이 고정되어 있다. 피가공물 (200) 의, 제 2 면 (202) 에 보호 시트 (220) 가 첩착되어 있다.
피가공물 (200) 은, 제 1 실시형태에서는, 제 1 면 (201) 의 뒷면의 평탄한 제 2 면 (202) 의 격자상으로 형성되는 복수의 분할 예정 라인 (도시하지 않음) 에 의해 구획된 각 영역에 디바이스 (도시하지 않음) 가 형성되어 있다, 즉 제 2 면 (202) 이 디바이스면이지만, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 된다. 피가공물 (200) 에 형성되는 디바이스는, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, IC (Integrated Circuit), 또는 LSI (Large Scale Integration) 등의 집적 회로, CCD (Charge Coupled Device), 또는 CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) 등의 이미지 센서이다. 또, 피가공물 (200) 은, 본 발명에서는, 원판상의 웨이퍼에 한정되지 않고, 판상이면 되며, 예를 들어, 수지에 의해 봉지 (封止) 된 디바이스를 복수 가진 직사각형 판상의 패키지 기판, 세라믹스판, 또는 유리판 등이어도 된다.
유지 시트 (210) 는, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 합성 수지로 구성된 기재층과 풀층 등의 점착성을 갖는 합성 수지로 구성된 점착층을 구비하는 다이싱 테이프이며, 점착층이 형성된 측이 점착면이 되어 피가공물 (200) 의 제 1 면 (201) 및 프레임 (211) 에 첩착된다. 유지 시트 (210) 는, 피가공물 (200) 의 제 1 면 (201) 및 프레임 (211) 에 첩착됨으로써, 피가공물 (200) 의 제 1 면 (201) 을 프레임 (211) 의 개구 (212) 에 유지한다. 유지 시트 (210) 는, 평면 방향에 있어서, 피가공물 (200) 의 제 1 면 (201), 및, 프레임 (211) 의 개구 (212) 를 완전히 덮는 것이 가능한 형상 및 크기를 갖는다. 또한, 유지 시트 (210) 는, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 열가소성 수지를 가열시켜 연화시켜서 피가공물 (200) 의 제 1 면 (201), 및, 프레임 (211) 에 첩착되는 것이어도 된다.
보호 시트 (220) 는, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 합성 수지로 구성된 기재층과 풀층 등의 점착성을 갖는 합성 수지로 구성된 점착층을 구비하는 점착 테이프이며, 점착층이 형성된 측이 점착면이 되어 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 에 첩착된다. 또한, 보호 시트 (220) 는, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 열가소성 수지를 가열시켜 연화시켜서 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 에 첩착되는 것이어도 된다. 보호 시트 (220) 는, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 에 첩착됨으로써, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 을 보호한다.
보호 시트 (220) 는, 평면 방향에 있어서, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 과 동등한 형상 및 크기를 갖는다. 여기서, 보호 시트 (220) 가 평면 방향에 있어서 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 과 동등한 형상을 갖는다는 것은, 본 명세서에서는, 보호 시트 (220) 가 평면 방향에 있어서 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 의 최외주의 외주 가장자리를 따르는 형상을 갖는 것을 말한다. 또, 보호 시트 (220) 가 평면 방향에 있어서 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 과 동등한 크기를 갖는다는 것은, 본 명세서에서는, 평면 방향에 있어서 보호 시트 (220) 가, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 과 동일한 크기, 혹은, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 보다 소정의 오차의 범위 내에서 약간 큰 크기를 갖는 것을 말한다. 보호 시트 (220) 는, 제 1 실시형태에서는, 원형의 형상을 가지며, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 과 동등한 직경을 갖는다. 즉, 보호 시트 (220) 는, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 과 동일한 직경, 혹은, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 보다 소정의 오차의 범위 내에서 약간 큰 직경을 갖는다. 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 피가공물 (200) 의 직경이 100 ㎜ ∼ 400 ㎜ 정도이며, 소정의 오차가 5 ㎜ 이하 정도이다.
유지 시트 (210) 는, 보호 시트 (220) 보다, 피가공물 (200) 과의 사이의 점착력이 강하다. 즉, 유지 시트 (210) 의 점착면과 피가공물 (200) 의 제 1 면 (201) 의 사이의 점착력은, 보호 시트 (220) 의 점착면과 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 의 사이의 점착력보다 강하다. 또는, 보호 시트 (220) 를 피가공물 (200) 로부터 박리하기 전에, 외적 자극 (예를 들어 자외선 조사나 가열) 을 가하여 보호 시트 (220) 의 점착력을 유지 시트 (210) 보다 약하게 해도 된다.
시트 박리 장치 (100) 는, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법을 실시함으로써, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 에 첩착된 보호 시트 (220) 의 점착면과는 반대측의 면에, 박리용 테이프 (230) 를 첩착하고, 첩착한 박리용 테이프 (230) 를 박리 유닛 (40) 에 의해 잡아당김으로써, 박리용 테이프 (230) 를 개재하여 보호 시트 (220) 가 피가공물 (200) 로부터 박리되는 방향으로 잡아당겨져, 박리용 테이프 (230) 가 첩착된 외주 가장자리에 있어서 피가공물 (200) 과 보호 시트 (220) 의 사이에 박리 기점을 형성하여, 보호 시트 (220) 를 피가공물 (200) 로부터 박리하는 장치이다. 이하에 있어서, 박리용 테이프 (230) 가 첩착되는 면이 되는, 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 에 첩착된 보호 시트 (220) 의 점착면과는 반대측의 면을, 박리용 테이프 첩착면, 이라고 적절히 칭한다.
시트 박리 장치 (100) 가 보호 시트 (220) 를 박리할 때에 사용하는 박리용 테이프 (230) 는, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 합성 수지로 구성된 기재층과 풀층 등의 점착성을 갖는 합성 수지로 구성된 점착층을 구비하는 박리용 점착 테이프이며, 점착층이 형성된 측이 점착면이 되어 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면에 첩착된다. 박리용 테이프 (230) 의 점착면과 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면의 점착력은, 보호 시트 (220) 의 점착면과 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 의 사이의 점착력보다 강하다. 박리용 테이프 (230) 는, 제 1 실시형태에서는, 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 폭 (231) 을 갖는 장척인 띠형상 부재로서 성형되고, 롤상으로 감겨져 공급 유닛 (20) 의 릴 (21) 에 지지되고, 공급 유닛 (20) 에 의해 공급되고, 압압 유닛 (30) 에 의해 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면에 첩착되어, 절단 유닛 (50) 에 의해 소정의 길이로 절단된다. 여기서, 소정의 길이는, 압압 유닛 (30) 에 의해 박리용 테이프 (230) 가 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면에 첩착되는 길이보다 장척 방향으로 충분히 긴 길이이다. 또한, 박리용 테이프 (230) 는, 본 발명에서는, 열가소성 수지를 가열시켜 연화시켜서 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면에 첩착되는 것이어도 상관없지만, 제 1 실시형태와 같이 점착층을 구비하는 박리용 점착 테이프인 것이 바람직하고, 이 경우, 박리용 테이프 (230) 에 드는 비용을 저감할 수 있다.
제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1) 는, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 하면부 (2) 와, 상면부 (3) 와, 맞닿음부 (4) 를 구비한다. 박리 지그 (1) 는, 판상의 지그이며, 두께 방향으로 교차하는 2 개의 면에 하면부 (2) 및 상면부 (3) 가 각각 형성되어 있고, 길이 방향으로 교차하는 일방의 면에 맞닿음부 (4) 가 형성되어 있다. 이하에 있어서, 박리 지그 (1) 의 길이 방향에 있어서 맞닿음부 (4) 가 형성되어 있는 측을 선단측, 맞닿음부 (4) 가 형성되어 있는 측과는 반대측을 기단측, 이라고 적절히 칭한다. 박리 지그 (1) 는, 길이 방향의 길이 (7) 가, 프레임 (211) 의 개구 (212) 와 피가공물 (200) 의 외주 가장자리의 사이의 직경 방향의 간격 (215) 보다 길다. 박리 지그 (1) 는, 폭 (8) (폭 방향의 길이) 이, 박리용 테이프 (230) 의 폭 (231) 보다 넓다. 박리 지그 (1) 는, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 모재가 스테인리스 등의 금속으로 형성된다.
하면부 (2) 는, 연직 방향 (Z 축 방향) 의 하방 (-Z 방향) 으로 향해지고, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 의 제 1 면 (201) 에 첩착된 유지 시트 (210) 의 점착면 측에 재치되는 면이다. 하면부 (2) 는, 유지 시트 (210) 의 점착면이 첩착하는 것을 거부하는 구조인 첩착 거부 구조가 형성되어 있다. 여기서, 하면부 (2) 에 유지 시트 (210) 의 점착면이 첩착하는 것을 거부한다는 것은, 예를 들어 박리 지그 (1) 의 모재의 평탄한 면보다 유지 시트 (210) 의 점착면이 점착하기 어려운 상태인 것을 가리키며, 제 1 실시형태에서는, 또한, 하면부 (2) 에 유지 시트 (210) 의 점착면이 첩착하기 어렵고, 만일 첩착했을 경우에도, 그 점착력이, 오퍼레이터의 인력으로도 용이하게 박리시키는 것이 가능한 정도의 소정의 임계값 이하의 약한 점착력인 것을 가리킨다. 하면부 (2) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 실시형태에서는, 평면이지만, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 에 장착된 프레임 (211) 에 간섭하지 않는 어떠한 형상이어도 된다.
상면부 (3) 는, 연직 방향의 상방 (＋Z 방향) 으로 향해지고, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 의 상방으로 향해진, 보호 시트 (220) 가 첩착된 제 2 면 (202) 과 대응하는 면이다. 여기서, 상면부 (3) 가 제 2 면 (202) 과 대응한다는 것은, 박리 지그 (1) 가 후술하는 맞닿음 위치에 위치부여되었을 때에, 상면부 (3) 가, 제 2 면 (202) 에 첩착된 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면과 함께, 박리용 테이프 (230) 를 개재하여 압압 유닛 (30) 의 롤러 (31) 가 이동하면서 압압하는 면을 구성하는 것을 가리킨다. 상면부 (3) 의 폭 방향의 길이 (폭 (8)) 는, 박리용 테이프 (230) 의 폭 (231) 을 초과한다. 상면부 (3) 는, 박리용 테이프 (230) 의 점착면이 첩착하는 것을 거부하는 구조인 첩착 거부 구조가 형성되어 있다. 여기서, 상면부 (3) 에 박리용 테이프 (230) 의 점착면이 첩착하는 것을 거부한다는 것은, 예를 들어 박리 지그 (1) 의 모재의 평탄한 면보다 박리용 테이프 (230) 의 점착면이 점착하기 어려운 상태인 것을 가리키며, 제 1 실시형태에서는, 또한, 상면부 (3) 에 박리용 테이프 (230) 의 점착면이 첩착하기 어렵고, 만일 첩착했을 경우에도, 그 점착력이, 오퍼레이터의 인력으로도 용이하게 박리시키는 것이 가능한 정도의 소정의 임계값 이하의 약한 점착력인 것을 가리킨다.
하면부 (2) 및 상면부 (3) 의 첩착 거부 구조는, 제 1 실시형태에서는, 유지 시트 (210) 및 박리용 테이프 (230) 의 각각의 점착면이 첩착하는 것을 거부하는 소재인 첩착 거부 소재와 유지 시트 (210) 및 박리용 테이프 (230) 의 각각의 점착면이 첩착하는 것을 거부하는 형상인 첩착 거부 형상 중 적어도 어느 일방으로 구성된다. 하면부 (2) 및 상면부 (3) 의 첩착 거부 구조는, 예를 들어, 테플론 (등록상표) 등의 첩착 거부 소재의 코팅 처리, 소정의 표면 조도 이상을 갖는 형상 등의 첩착 거부 형상을 형성하는 샌드 블라스트 처리, 표면에 형성한 요철 등의 첩착 거부 형상을 특수 수지 등의 첩착 거부 소재로 매립하여 첩착 거부성을 더욱 강하게 한 첩착 거부 구조를 형성하는 토시칼 (등록상표) 처리 등에 의해 형성된다. 여기서, 첩착 거부성이 강하다는 것은, 유지 시트 (210) 및 박리용 테이프 (230) 의 각각의 점착면이 첩착하는 것을 거부하는 강도가 강한 것, 즉, 유지 시트 (210) 및 박리용 테이프 (230) 의 각각의 점착면이 보다 첩착하기 어렵고, 만일 첩착했을 경우에도, 그 점착력이 보다 약한 것을 가리킨다.
상면부 (3) 는, 제 1 실시형태에서는, 또한, 약첩착 거부 영역 (5) 과, 강첩착 거부 영역 (6) 이 형성되어 있다. 약첩착 거부 영역 (5) 은, 상면부 (3) 의 선단측에 형성되어 있고, 강첩착 거부 영역 (6) 은, 상면부 (3) 의 기단측에 형성되어 있다. 강첩착 거부 영역 (6) 은, 약첩착 거부 영역 (5) 보다 첩착 거부성이 강하다. 제 1 실시형태에서는, 강첩착 거부 영역 (6) 은, 하면부 (2) 의 평면에 평행하게 형성되어 있고, 약첩착 거부 영역 (5) 은, 선단측을 향함에 따라서 박리 지그 (1) 의 두께가 얇아지는 방향으로 테이퍼가 형성되어 있다. 박리 지그 (1) 는, 이와 같은 약첩착 거부 영역 (5) 과 강첩착 거부 영역 (6) 을 갖기 때문에, 맞닿음부 (4) 측의 약첩착 거부 영역 (5) 이 강첩착 거부 영역 (6) 보다 박리용 테이프 (230) 가 약간 첩착하기 쉽기 때문에, 보호 시트 (220) 의 최외주의 외주 가장자리까지 박리용 테이프 (230) 를 강고하게 첩착하기 쉬워진다. 또, 박리 지그 (1) 자체가 테플론 (등록상표) 등의 비점착성을 갖는 수지로 구성되어 있어도 된다.
맞닿음부 (4) 는, 박리 지그 (1) 의 길이 방향에 교차하는 면이며, 피가공물 (200) 의 외주 형상, 즉 제 1 실시형태에서는 외주부 (외주 가장자리 혹은 외주측면) 에 대응하는 형상을 가짐과 함께, 피가공물 (200) 의 두께 (209) 에 대응하는 두께 (9) 를 가지며, 피가공물 (200) 과 보호 시트 (220) 의 적어도 일방의 외주부의 소정의 방향측 (제 1 실시형태에서는, 도 1 의 ＋X 방향측) 의 일부에 맞닿는 면이다. 맞닿음부 (4) 는, 제 1 실시형태에서는, 피가공물 (200) 및 보호 시트 (220) 의 외주 형상이 모두 원판상이기 때문에, 피가공물 (200) 과 보호 시트 (220) 의 외주부의 소정의 방향측의 일부에 맞닿는 원호상으로 오목한 형상을 갖는다. 맞닿음부 (4) 는, 도 3 및 후술하는 도 7 등에 나타내는 바와 같이, 피가공물 (200) 및 보호 시트 (220) 의 외주부의 소정의 방향측의 일부에 맞닿을 때, 피가공물 (200) 및 보호 시트 (220) 의 외주부와의 사이에 약간 간극이 형성된다. 박리 지그 (1) 는, 이 맞닿음부 (4) 와, 피가공물 (200) 및 보호 시트 (220) 의 외주부의 사이에 형성되는 간극에 의해, 피가공물 (200) 의 파손이 적합하게 방지된다. 또, 맞닿음부 (4) 의 두께 (9) (두께 방향의 길이) 는, 제 1 실시형태에서는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 피가공물 (200) 의 두께 (209) 와 보호 시트 (220) 의 두께 (229) 의 합계 두께 이하이며, 구체적으로는, 이 합계 두께보다 약간 작다. 박리 지그 (1) 는, 맞닿음부 (4) 가 이와 같은 두께 (9) 를 갖기 때문에, 보호 시트 (220) 의 최외주의 외주 가장자리까지 박리용 테이프 (230) 를 강고하게 첩착하기 쉬워진다.
박리 지그 (1) 는, 기단측이, 지그 이동 유닛 (80) 과 접속되어 있고, 지그 이동 유닛 (80) 에 의해, X 축 방향과 Z 축 방향으로 이동 가능하다. 박리 지그 (1) 는, 지그 이동 유닛 (80) 에 의해, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 의 가장 가까이의 위치, 즉, 맞닿음부 (4) 를 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 및 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리의 소정의 방향측의 일부에 맞닿게 한 맞닿음 위치와, 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 로부터 퇴피한 퇴피 위치의 사이를 이동한다. 박리 지그 (1) 는, 맞닿음 위치에 위치부여되면, 피가공물 (200) 을 유지하는 유지 시트 (210) 의 당해 소정의 방향측의 일부를, 프레임 (211) 의 개구 (212) 로부터 피가공물 (200) 의 외주 가장자리에 걸쳐서 직경 방향으로 덮는다. 또한, 박리 지그 (1) 는, 본 발명에서는 이것에 한정되지 않고, 지그 이동 유닛 (80) 대신에, 오퍼레이터의 수동에 의해 맞닿음 위치와 퇴피 위치의 사이를 이동하는 것으로 해도 된다.
척 테이블 (10) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 오목부가 형성된 원판상의 프레임체와, 오목부 내에 끼워 넣어진 원판상의 흡착부를 갖는다. 척 테이블 (10) 의 흡착부는, 포러스 형상의 포러스 세라믹 등으로 형성되며, 도시하지 않은 진공 흡인 경로를 통해서 도시하지 않은 진공 흡인원과 접속되어 있다. 척 테이블 (10) 의 흡착부의 상면은, 피가공물 (200) 이 재치되고, 재치된 피가공물 (200) 을 흡인 유지하는 유지면 (11) 이다. 유지면 (11) 은, 제 1 실시형태에서는, 피가공물 (200) 이, 보호 시트 (220) 가 첩착된 제 2 면 (202) 측을 상방을 향하게 해서 재치되고, 재치된 피가공물 (200) 을 제 1 면 (201) 측으로부터 유지 시트 (210) 를 개재하여 흡인 유지한다. 유지면 (11) 과 척 테이블 (10) 의 프레임체의 상면은, 동일 평면 상에 배치되어 있고, 수평면인 XY 평면에 평행하게 형성된다. 척 테이블 (10) 은, 제 1 이동 유닛 (60) 에 의해 수평 방향과 평행한 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있으며, 도시하지 않은 회전 구동원에 의해 연직 방향이고 유지면 (11) 에 대하여 수직으로 Z 축 방향과 평행한 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성되어 있다.
또, 척 테이블 (10) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 프레임체의 외주부에 배치되고, 피가공물 (200) 에 유지 시트 (210) 를 개재하여 장착된 프레임 (211) 을, 프레임 (211) 의 상면이 유지면 (11) 보다 연직 방향의 높이가 낮아지는 위치에서 유지하여 고정시키는 복수 (도 1 에 나타내는 예에서는 4 개) 의 클램프 형상의 프레임 유지부 (12) 를 구비한다. 시트 박리 장치 (100) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 이 프레임 유지부 (12) 에 의해, 프레임 (211) 을, 프레임 (211) 의 상면이 유지면 (11) 보다 연직 방향의 높이가 낮아지는 위치에서 유지하여 고정시키므로, 평면상으로 형성된 박리 지그 (1) 의 하면부 (2) 가 프레임 (211) 에 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
공급 유닛 (20) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 원기둥 형상으로 형성되고 또한 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성되어 있음과 함께 박리용 테이프 (230) 를 롤상으로 휘감은 릴 (21) 과, 1 쌍의 가이드 롤러 (22) 와, 1 쌍의 송출 롤러 (23) 를 구비한다. 릴 (21) 의 축심은, 수평 방향과 평행하고 또한 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향과 평행하다. 릴 (21) 은, 도시하지 않은 텐션 부여 기구에 의해 박리용 테이프 (230) 를 권취하는 백 텐션이 부여되어 있고, 인출된 박리용 테이프 (230) 에 느슨함이 생기지 않도록 팽팽함 상태가 조정되고 있다.
가이드 롤러 (22) 는, 릴 (21) 로부터 인출된 박리용 테이프 (230) 를 하방으로 가이드 하는 것이며, 각각, 원기둥 형상으로 형성되어 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성되어 있다. 1 쌍의 가이드 롤러 (22) 는, 서로 평행하게 배치되고, 또한 서로의 사이에 박리용 테이프 (230) 를 통과시킴과 함께 되접어 꺾어, 텐션을 부여하면서 박리용 테이프 (230) 를 하방으로 가이드한다. 1 쌍의 가이드 롤러 (22) 의 축심은, Y 축 방향과 평행하다.
송출 롤러 (23) 는, 가이드 롤러 (22) 의 하방에 배치되고, 가이드 롤러 (22) 로 가이드 된 박리용 테이프 (230) 를, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상을 통과시켜, 박리 유닛 (40) 을 향해서 송출하는 것이며, 각각, 원기둥 형상으로 형성되어 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성되어 있다. 1 쌍의 송출 롤러 (23) 는, 서로 평행하게 배치되고, 또한 서로의 사이에 박리용 테이프 (230) 를 통과시켜 박리용 테이프 (230) 를 박리 유닛 (40) 을 향해서 송출한다. 1 쌍의 송출 롤러 (23) 의 축심은, Y 축 방향과 평행하다.
공급 유닛 (20) 은, 이와 같이 하여, 박리용 테이프 (230) 를, 느슨함이 생기지 않도록 팽팽함 상태가 조정되어, 척 테이블 (10) 상에 유지된 피가공물 (200) 에 첩착된 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면을 따라 대체로 평행하게, 또한 게다가, 박리용 테이프 (230) 의 점착면측을 하방측의 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면측으로 향하게 한 상태에서, 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면 상에 공급한다.
압압 유닛 (30) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 롤러 (31) 와, 롤러 구동부 (32) 를 구비한다. 롤러 (31) 는, 롤러 구동부 (32) 와 접속되어 있고, 롤러 구동부 (32) 에 의해, X 축 방향과 Z 축 방향으로 이동 가능하다. 롤러 (31) 는, 롤러 구동부 (32) 에 의해, 공급 유닛 (20) 으로부터 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면 상에 공급된 박리용 테이프 (230) 를 상방으로부터 압압하는 압압 위치와, 박리용 테이프 (230) 로부터 퇴피한 퇴피 위치의 사이를 이동한다. 또, 롤러 구동부 (32) 는, 압압 위치에 위치부여한 롤러 (31) 를 Z 축 방향으로 압압하고, 롤러 (31) 를 Y 축 방향에 평행한 축심 둘레로 회전시키면서, 롤러 (31) 의 회전에 수반하여 X 축 방향으로 이동시키는 것이 가능하다. 롤러 구동부 (32) 는, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 에어 실린더, 펄스 모터 등의 주지의 구동 부품 등이 조합하여 구성된다.
압압 위치에 위치부여된 롤러 (31) 는, 제 1 실시형태에서는, 롤러 구동부 (32) 에 의해, 수평 방향에 평행한 축심 둘레로 회전하면서 회전에 수반하여, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 박리용 테이프 (230) 를 개재하여, 척 테이블 (10) 상에 유지된 피가공물 (200) 에 첩착된 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면 상의 외주 가장자리보다 중심측의 위치로부터, 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리를 통과하여, 박리 지그 (1) 의 상면부 (3) 의 약첩착 거부 영역 (5) 상의 위치에 걸쳐서 이동하면서, 박리용 테이프 (230) 를 상방으로부터 압압한다. 압압 위치에 위치부여된 롤러 (31) 는, 롤러 구동부 (32) 에 의해, 이 구간을 1 회 또는 복수 회, 왕복 이동해도 된다. 압압 유닛 (30) 은, 이와 같이 하여, 롤러 (31) 에 의해, 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면의 당해 외주 가장자리보다 중심측의 위치로부터 외주 가장자리까지의 영역에, 박리용 테이프 (230) 를 첩착한다. 또, 압압 유닛 (30) 에 의해 박리용 테이프 (230) 를 첩착할 때, 박리 지그 (1) 에 의해, 박리용 테이프 (230) 가 피가공물 (200) 을 유지하는 유지 시트 (210) 에 첩착하는 것이 억제된다.
박리 유닛 (40) 은, 공급 유닛 (20) 에 의해 공급된 박리용 테이프 (230) 의 단부를 협지 (挾持) 하는 것이며, X 축 방향과 Y 축 방향과 쌍방에 직교하는 Z 축 방향으로 연장하는 가이드 부재 (41) 와, 가이드 부재 (41) 의 상단에 고정된 에어 실린더 (42) 와, 가이드 부재 (41) 의 하단이 절곡 성형된 고정 클로부 (43) 와, 고정 클로부 (43) 와 대향해서 배치되고 고정 클로부 (43) 에 대하여 접근 및 이간하는 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 가이드 부재 (41) 에 지지된 가동 클로부 (44) 를 구비한다. 박리 유닛 (40) 은, 에어 실린더 (42) 의 피스톤 로드 (45) 를 신장함으로써 고정 클로부 (43) 에 대하여 가동 클로부 (44) 를 접근시킴으로써 박리용 테이프 (230) 의 단부를 협지한다. 박리 유닛 (40) 은, 에어 실린더 (42) 의 피스톤 로드 (45) 를 축소함으로써 고정 클로부 (43) 에 대하여 가동 클로부 (44) 를 이간시킴으로써 박리용 테이프 (230) 의 단부의 협지를 해제한다.
박리 유닛 (40) 은, 공급 유닛 (20) 에 의해 박리용 테이프 (230) 를 공급하고, 압압 유닛 (30) 에 의해 박리용 테이프 (230) 를 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면에 첩착할 때에는, 박리용 테이프 (230) 의 단부를 협지하여 지지하는 지지 유닛으로서 기능한다.
박리 유닛 (40) 은, 에어 실린더 (42) 의 상방에서, 제 2 이동 유닛 (70) 과 접속되어 있고, 제 2 이동 유닛 (70) 에 의해, X 축 방향과 Z 축 방향으로 이동 가능하다. 박리 유닛 (40) 은, 보호 시트 (220) 에 첩착된 박리용 테이프 (230) 를 협지한 상태에서, 제 2 이동 유닛 (70) 에 의해 공급 유닛 (20) 의 방향으로 이동함으로써, 박리용 테이프 (230) 를 피가공물 (200) 에 대하여 이간하는 방향으로 잡아당기고, 박리용 테이프 (230) 를 개재하여 보호 시트 (220) 를 피가공물 (200) 로부터 박리하는 방향으로 잡아당겨, 박리용 테이프 (230) 가 첩착된 외주 가장자리에 있어서 피가공물 (200) 과 보호 시트 (220) 의 사이에 박리 기점을 형성하여, 보호 시트 (220) 를 피가공물 (200) 로부터 박리한다.
절단 유닛 (50) 은, 압압 유닛 (30) 에 의해 첩착된 박리용 테이프 (230) 를 절단하는 것이며, 제 1 실시형태에서는, 박리용 테이프 (230) 의 보호 시트 (220) 에 첩착된 지점보다 공급 유닛 (20) 측의 위치에서 박리용 테이프 (230) 를 절단한다. 절단 유닛 (50) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 공급 유닛 (20) 과 박리 유닛 (40) 의 사이에 배치 형성되고, 재치대 (51) 와, 커터날 (52) 과, 이동 기구 (53) 를 구비한다.
재치대 (51) 는, 상면 (55) 이 수평 방향을 따라 평탄하게 형성되고, 공급 유닛 (20) 에 의해 공급되는 박리용 테이프 (230) 가 상면 (55) 상에 공급된다. 또, 재치대 (51) 는, 상면 (55) 으로부터 오목하고 또한 Y 축 방향을 따라 직선상으로 연장된 홈 (54) 을 구비하고 있다.
커터날 (52) 은, 재치대 (51) 의 상면 (55) 에 공급되는 박리용 테이프 (230) 의 두께보다 충분히 긴 날길이의 절단날을 갖는다. 커터날 (52) 의 절단날은, 재치대 (51) 의 상면 (55) 에 재치되는 박리용 테이프 (230) 및 박리용 테이프 (230) 의 장척 방향에 교차하는 방향 (Y 축 방향) 으로 연장되는 홈 (54) 과 대향한다. 이동 기구 (53) 는, 홈 (54) 이 연장되는 방향을 따라 커터날 (52) 을 이동시킨다. 커터날 (52) 의 절단날은, 이동 기구 (53) 에 의해 홈 (54) 이 연장되는 방향을 따라 이동함으로써, 재치대 (51) 의 상면 (55) 에 공급되는 박리용 테이프 (230) 를 홈 (54) 이 연장되는 방향을 따라 절단한다. 이동 기구 (53) 는, 커터날 (52) 을 Y 축 방향과 Z 축 방향으로 이동시키는 것이 가능하다. 이동 기구 (53) 는, 에어 실린더, 펄스 모터 등의 주지의 구동 부품 등이 조합하여 구성된다.
제 1 이동 유닛 (60) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (10) 의 하방에 배치 형성되고, 척 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 이동시킨다. 제 1 이동 유닛 (60) 은, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, X 축의 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성된 주지의 볼 나사, 볼 나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 펄스 모터, 및, 척 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비하여 구성되어 있다.
제 2 이동 유닛 (70) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 에어 실린더 (42) 의 상방에 배치 형성되고, 박리 유닛 (40) 을 X 축 방향과 Z 축 방향으로 이동시킨다. 제 2 이동 유닛 (70) 은, 박리 유닛 (40) 을 Z 축 이동 유닛 (72) 과 함께 X 축 방향으로 이동시키는 X 축 이동 유닛 (71) 과, 박리 유닛 (40) 을 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 축 이동 유닛 (72) 을 구비한다. X 축 이동 유닛 (71) 은, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, X 축의 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성된 주지의 볼 나사, 볼 나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 펄스 모터, 및, Z 축 이동 유닛 (72) 을 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비하여 구성되어 있다. Z 축 이동 유닛 (72) 은, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 에어 실린더, 펄스 모터 등의 주지의 구동 부품 등이 조합하여 구성된다.
지그 이동 유닛 (80) 은, 박리 지그 (1) 의 기단측에 배치 형성되고, 박리 지그 (1) 를 X 축 방향과 Z 축 방향으로 이동시킨다. 지그 이동 유닛 (80) 은, 제 1 실시형태에서는, 예를 들어, 에어 실린더, 펄스 모터 등의 주지의 구동 부품 등이 조합하여 구성된다.
제어 유닛 (90) 은, 시트 박리 장치 (100) 의 각 구성 요소의 동작을 제어하여, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법을 시트 박리 장치 (100) 에 실시시킨다. 제어 유닛 (90) 은, 제 1 실시형태에서는, 컴퓨터 시스템을 포함한다. 제어 유닛 (90) 이 포함하는 컴퓨터 시스템은, CPU (Central Processing Unit) 와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (Read Only Memory) 또는 RAM (Random Access Memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는다. 제어 유닛 (90) 의 연산 처리 장치는, 제어 유닛 (90) 의 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라서 연산 처리를 실시하여, 시트 박리 장치 (100) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 시트 박리 장치 (100) 의 입출력 인터페이스 장치를 개재하여 시트 박리 장치 (100) 의 각 구성 요소에 출력한다.
다음으로, 본 명세서는, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법의 처리 동작을, 도면을 이용하여 설명한다. 도 4 는, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법의 처리 순서를 나타내는 플로 차트이다. 도 5 는, 도 4 의 피가공물 유지 스텝 (1001) 및 박리 지그 배치 스텝 (1002) 을 설명하는 단면도이다. 도 6 은, 도 4 의 박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 의 주요부를 설명하는 단면도이다. 도 7 은, 도 6 의 주요부를 확대한 확대 단면도이다. 도 8 은, 도 4 의 박리 스텝 (1004) 을 설명하는 단면도이다. 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법은, 시트 박리 장치 (100) 에 의해 실시되는 동작 처리의 일례이며, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 피가공물 유지 스텝 (1001) 과, 박리 지그 배치 스텝 (1002) 과, 박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 과, 박리 스텝 (1004) 을 구비한다.
피가공물 유지 스텝 (1001) 은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 환상의 프레임 (211) 의 개구 (212) 에 유지 시트 (210) 를 개재하여 제 1 면 (201) 이 고정되고, 제 2 면 (202) 에 보호 시트 (220) 가 첩착된 피가공물 (200) 을, 유지 시트 (210) 를 개재하여 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 으로 흡인 유지하는 스텝이다. 피가공물 유지 스텝 (1001) 에서는, 예를 들어, 제어 유닛 (90) 은, 도시하지 않은 카세트에 격납된 피가공물 (200) 을, 도시하지 않은 반송 유닛에 의해 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상에 반입하고, 이 반입한 피가공물 (200) 을 척 테이블 (10) 에 의해 흡인 유지한다.
박리 지그 배치 스텝 (1002) 은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 피가공물 유지 스텝 (1001) 의 실시 후, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 박리 지그 (1) 를 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 의 가장 가까이의 위치에 배치하여, 피가공물 (200) 을 유지하는 유지 시트 (210) 의 소정의 방향측의 일부를, 프레임 (211) 의 개구 (212) 로부터 피가공물 (200) 의 외주 가장자리에 걸쳐서 직경 방향으로 덮는 스텝이다. 박리 지그 배치 스텝 (1002) 은, 구체적으로는, 제어 유닛 (90) 은, 지그 이동 유닛 (80) 에 의해, 박리 지그 (1) 를, 박리 지그 (1) 의 맞닿음부 (4) 를 척 테이블 (10) 에 유지된 피가공물 (200) 의 보호 시트 (220) 의 소정의 방향측의 일부에 맞닿게 한 맞닿음 위치에 위치부여한다.
박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 은, 도 6 및 도 7 에 나타내는 바와 같이, 박리 지그 배치 스텝 (1002) 의 실시 후, 보호 시트 (220) 에 첩착하는 장척의 박리용 테이프 (230) 를, 압압 유닛 (30) 의 롤러 (31) 에 의해, 척 테이블 (10) 상의 피가공물 (200) 에 첩착된 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리보다 중심측의 위치로부터 피가공물 (200) 의 가장 가까이의 박리 지그 (1) 의 상면부 (3) 의 약첩착 거부 영역 (5) 상의 위치에 걸쳐서 압압하여, 박리용 테이프 (230) 를 보호 시트 (220) 에 첩착하는 스텝이다. 박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 에서는, 구체적으로는, 제어 유닛 (90) 은, 먼저, 공급 유닛 (20) 에 의해, 박리용 테이프 (230) 를 보호 시트 (220) 상에 공급하고, 박리 유닛 (40) 에 의해, 공급된 박리용 테이프 (230) 의 단부를 협지하여 지지한다. 박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 에서는, 제어 유닛 (90) 은, 다음으로, 압압 유닛 (30) 의 롤러 구동부 (32) 에 의해 압압 위치에 위치부여한 롤러 (31) 를, 공급된 박리용 테이프 (230) 상을 하방을 향해서 압압하면서 X 축 방향으로 이동시킴으로써, 박리용 테이프 (230) 를, 보호 시트 (220) 의 박리용 테이프 첩착면의 외주 가장자리보다 중심측의 위치로부터 외주 가장자리 (최외주) 까지의 영역에 첩착한다. 박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 에서는, 제어 유닛 (90) 은, 절단 유닛 (50) 의 커터날 (52) 에 의해, 보호 시트 (220) 에 첩착된 박리용 테이프 (230) 의 박리 유닛 (40) 에 협지되어 있는 단부와는 반대측을, 박리용 테이프 (230) 의 장척 방향에 교차하는 방향 (Y 축 방향) 을 따라 절단한다.
박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 에서는, 보호 시트 (220) 의 최외주까지 박리용 테이프 (230) 를 첩착할 때에, 박리 지그 (1) 가, 박리용 테이프 (230) 가 첩착하는 것을 거부함과 함께, 박리용 테이프 (230) 가 피가공물 (200) 을 유지하는 유지 시트 (210) 에 첩착하는 것을 방지한다. 또, 박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 에서는, 제 1 실시형태에서는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 또한, 박리 지그 (1) 의 맞닿음부 (4) 의 두께 (9) 가, 피가공물 (200) 의 두께 (209) 와 보호 시트 (220) 의 두께 (229) 의 합계 두께보다 약간 작기 때문에, 롤러 (31) 에 의해 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리에 있어서 보다 강하게 박리용 테이프 (230) 가 압압되고, 박리용 테이프 (230) 가 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리에 강고하게 첩착된다.
박리 스텝 (1004) 은, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 보호 시트 (220) 에 첩착한 박리용 테이프 (230) 를 보호 시트 (220) 의 외주로부터 중심을 향하여 잡아당겨, 보호 시트 (220) 를 피가공물 (200) 로부터 박리하는 스텝이다. 박리 스텝 (1004) 에서는, 구체적으로는, 제어 유닛 (90) 은, 박리용 테이프 첩착 스텝 (1003) 에 있어서 박리 유닛 (40) 으로 협지한 박리용 테이프 (230) 의 단부를, 제 2 이동 유닛 (70) 에 의해 박리 유닛 (40) 을 공급 유닛 (20) 의 방향으로 이동함으로써, 박리용 테이프 (230) 를 피가공물 (200) 에 대하여 이간하는 방향으로 잡아당기고, 박리용 테이프 (230) 를 개재하여 보호 시트 (220) 를 피가공물 (200) 에 대하여 이간하는 방향으로 잡아당겨, 박리용 테이프 (230) 가 첩착된 외주 가장자리에 있어서 피가공물 (200) 과 보호 시트 (220) 의 사이에 박리 기점을 형성하여, 보호 시트 (220) 를 피가공물 (200) 의 제 2 면 (202) 으로부터 박리한다.
이상과 같은 구성을 갖는 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리용 테이프 (230) 를 보호 시트 (220) 에 첩착할 때에, 박리 지그 (1) 가 피가공물 (200) 의 외주에서 유지 시트 (210) 를 덮으므로, 박리 지그 (1) 에 의해 박리용 테이프 (230) 의 점착면이 유지 시트 (210) 에 첩착되어 버릴 우려를 억제하면서, 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리를 비어져 나오는 위치까지 박리용 테이프 (230) 를 압압함으로써 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리까지 박리용 테이프 (230) 를 강고하게 첩착하여, 박리용 테이프 (230) 를 잡아당길 때에, 박리용 테이프 (230) 가 첩착된 외주 가장자리에 있어서 피가공물 (200) 과 보호 시트 (220) 의 사이에 용이하게 박리 기점을 형성할 수 있다는 작용 효과를 발휘한다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리 지그 (1) 에 의해 피가공물 (200) 의 외주에서 유지 시트 (210) 를 덮음으로써 박리용 테이프 (230) 가 유지 시트 (210) 에 첩착하는 것을 방지하기 때문에, 박리용 테이프 (230) 로서, 열가소성 수지를 가열시켜 연화시켜서 첩착시키는 것보다도 드는 비용이 낮고, 또한 게다가, 점착성이 강한 박리용 점착 테이프를 적합하게 사용할 수 있다. 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리용 테이프 (230) 로서 박리용 점착 테이프를 사용함으로써, 보다 현저하게 박리용 테이프 (230) 의 점착면이 유지 시트 (210) 에 첩착되어 버릴 우려를 억제할 수 있다는 작용 효과를 발휘함과 함께, 박리용 테이프 (230) 에 드는 비용을 저감할 수 있다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리 지그 (1) 의 길이 방향의 길이 (7) 가, 프레임 (211) 의 개구 (212) 와 피가공물 (200) 의 외주 가장자리의 사이의 직경 방향의 간격 (215) 보다 길고, 폭 (8) 이, 박리용 테이프 (230) 의 폭 (231) 보다 넓기 때문에, 박리용 테이프 (230) 가 박리 지그 (1) 로부터 비어져 나와 유지 시트 (210) 에 첩착되어 버릴 우려를 보다 확실하게 방지할 수 있다. 또, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리 지그 (1) 의 맞닿음부 (4) 의 두께 (9) 가, 피가공물 (200) 의 두께 (209) 와 보호 시트 (220) 의 두께 (229) 의 합계 두께 이하이기 때문에, 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리에 있어서 보다 강하게 박리용 테이프 (230) 를 압압할 수 있으므로, 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리까지 박리용 테이프 (230) 를 보다 강고하게 첩착할 수 있다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리 지그 (1) 의 하면부 (2) 가, 유지 시트 (210) 의 점착면이 첩착하는 것을 거부하는 구조를 갖기 때문에, 박리 지그 (1) 를, 하면부 (2) 가 유지 시트 (210) 의 점착면에 접촉하는 맞닿음 위치에 원활하게 위치부여할 수 있어, 용이하게 퇴피 위치로 퇴피할 수 있다. 또, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리 지그 (1) 의 상면부 (3) 가, 박리용 테이프 (230) 의 점착면이 첩착하는 것을 거부하는 구조를 갖기 때문에, 박리용 테이프 (230) 가 박리 지그 (1) 의 상면부 (3) 에 첩착할 우려를 저감하여, 박리용 테이프 (230) 를 보호 시트 (220) 에 첩착 후에 박리 지그 (1) 를 용이하게 퇴피 위치로 퇴피할 수 있다.
또, 제 1 실시형태에 관련된 박리 지그 (1), 박리 지그 (1) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100) 는, 박리 지그 (1) 의 상면부 (3) 가, 약첩착 거부 영역 (5) 과, 강첩착 거부 영역 (6) 을 갖고, 맞닿음부 (4) 측에 형성된 약첩착 거부 영역 (5) 이 강첩착 거부 영역 (6) 보다 박리용 테이프 (230) 가 약간 첩착하기 쉽기 때문에, 보호 시트 (220) 의 외주 가장자리까지 박리용 테이프 (230) 를 보다 강고하게 첩착할 수 있다.
〔제 2 실시형태〕
본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 박리 지그 (1-2), 박리 지그 (1-2) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100-2) 를 도면에 기초하여 설명한다. 도 9 는, 제 2 실시형태에 관련된 박리 지그 (1-2) 및 시트 박리 장치 (100-2) 의 주요부를 나타내는 단면도이다. 도 9 는, 제 1 실시형태와 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
제 2 실시형태에 관련된 시트 박리 장치 (100-2) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 실시형태에 관련된 시트 박리 장치 (100) 에 있어서, 박리 지그 (1) 를 박리 지그 (1-2) 로 변경하고, 척 테이블 (10) 을 척 테이블 (10-2) 로 변경한 것이다. 척 테이블 (10-2) 은, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 실시형태의 척 테이블 (10) 에 있어서, 유지면 (11) 이 보다 직경 방향으로 큰 유지면 (11-2) 으로 변경되고, 프레임 유지부 (12) 가 생략된 것이다. 척 테이블 (10-2) 은, 유지면 (11-2) 으로 피가공물 (200) 및 피가공물 (200) 에 장착된 프레임 (211) 을, 유지 시트 (210) 를 개재하여 흡인 유지한다.
박리 지그 (1-2) 는, 박리 지그 (1) 에 있어서, 하면부 (2) 에 릴리프 오목부 (2-2) 가 형성된 것이다. 릴리프 오목부 (2-2) 는, 박리 지그 (1-2) 가 맞닿음 위치에 위치부여되었을 때에, 척 테이블 (10-2) 의 유지면 (11-2) 에 유지된 피가공물 (200) 에 장착된 프레임 (211) 에 대응하는 위치에, 프레임 (211) 의 직경 방향의 폭보다 넓고, 프레임 (211) 의 두께보다 깊게, 잘라내어진 형상으로 형성되어 있다. 박리 지그 (1-2) 는, 릴리프 오목부 (2-2) 가 형성되어 있기 때문에, 하면부 (2) 가 척 테이블 (10-2) 의 유지면 (11-2) 에 유지된 피가공물 (200) 에 장착된 프레임 (211) 에 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
제 2 실시형태에 관련된 박리 지그 (1-2) 를 사용한 시트 박리 방법은, 제 1 실시형태에 있어서, 시트 박리 장치 (100) 대신에 시트 박리 장치 (100-2) 를 사용한 것이며, 박리 지그 (1) 대신에 박리 지그 (1-2) 를 사용하고, 척 테이블 (10) 대신에 척 테이블 (10-2) 로 피가공물 (200) 을 유지하는 것 이외에는, 제 1 실시형태와 동일하다.
이상과 같은 구성을 갖는 제 2 실시형태에 관련된 박리 지그 (1-2), 박리 지그 (1-2) 를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 (100-2) 는, 제 1 실시형태에 있어서, 박리 지그 (1) 를 하면부 (2) 에 릴리프 오목부 (2-2) 가 형성된 박리 지그 (1-2) 로 변경하고, 척 테이블 (10) 을 프레임 유지부 (12) 가 생략된 척 테이블 (10-2) 로 변경한 것이므로, 제 1 실시형태와 동일한 작용 효과를 발휘하는 것이 된다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다.
1, 1-2 : 박리 지그
2 : 하면부
3 : 상면부
4 : 맞닿음부
8 : (상면부의) 폭
9 : (맞닿음부의) 두께
10, 10-2 : 척 테이블
11, 11-2 : 유지면
20 : 공급 유닛
30 : 압압 유닛
40 : 박리 유닛
100, 100-2 : 시트 박리 장치
200 : 피가공물
201 : 제 1 면
202 : 제 2 면
209 : (피가공물의) 두께
210 : 유지 시트
211 : 프레임
212 : 개구
220 : 보호 시트
230 : 박리용 테이프
2 : 하면부
3 : 상면부
4 : 맞닿음부
8 : (상면부의) 폭
9 : (맞닿음부의) 두께
10, 10-2 : 척 테이블
11, 11-2 : 유지면
20 : 공급 유닛
30 : 압압 유닛
40 : 박리 유닛
100, 100-2 : 시트 박리 장치
200 : 피가공물
201 : 제 1 면
202 : 제 2 면
209 : (피가공물의) 두께
210 : 유지 시트
211 : 프레임
212 : 개구
220 : 보호 시트
230 : 박리용 테이프
Claims (3)
- 환상 (環狀) 의 프레임의 개구에 유지 시트를 개재하여 제 1 면이 고정된 판상의 피가공물의 제 2 면에 첩착 (貼着) 한 그 피가공물과 동등한 직경의 보호 시트를 그 제 2 면으로부터 박리하는 박리 지그로서,
그 유지 시트 상에 재치 (載置) 하는 하면부와.
그 피가공물의 그 제 2 면과 대응하는 상면부와,
그 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께 그 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 그 피가공물의 외주부에 맞닿는 맞닿음부를 구비하고,
그 상면부는, 그 보호 시트에 첩착하고 그 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 그 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 그 하면부는, 그 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성되는 박리 지그. - 환상의 프레임의 개구에 유지 시트를 개재하여 제 1 면이 고정된 판상의 피가공물의 제 2 면에 첩착한 그 피가공물과 동등한 직경의 보호 시트를, 그 제 2 면으로부터 박리 지그를 사용하여 박리하는 시트 박리 방법으로서,
상기 박리 지그는, 그 유지 시트 상에 재치하는 하면부와, 그 피가공물의 그 제 2 면과 대응하는 상면부와, 그 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께 그 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 그 피가공물의 외주부에 맞닿는 맞닿음부를 갖고,
그 상면부는, 그 보호 시트에 첩착하고, 그 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 그 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 그 하면부는, 그 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성되어 있고,
상기 시트 박리 방법은,
그 프레임에 고정된 그 피가공물을, 그 유지 시트를 개재하여 척 테이블로 유지하는 피가공물 유지 스텝과,
그 피가공물 유지 스텝 실시 후, 상기 박리 지그를 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물의 가장 가까이에 배치하여 그 유지 시트를 덮는 박리 지그 배치 스텝과,
그 보호 시트에 첩착하는 장척 (長尺) 의 박리용 테이프를, 그 보호 시트의 외주 가장자리보다 중심측으로부터 그 피가공물의 가장 가까이의 그 박리 지그에 걸쳐서 압압 (押壓) 하고, 그 박리용 테이프를 그 보호 시트에 첩착하는 박리용 테이프 첩착 스텝과,
그 보호 시트에 첩착한 그 박리용 테이프를 그 보호 시트의 외주로부터 중심을 향하여 잡아당겨, 그 보호 시트를 그 피가공물로부터 박리하는 박리 스텝을 구비하고,
그 보호 시트의 최외주까지 그 박리용 테이프를 첩착할 때에 그 유지 시트에 그 박리용 테이프가 첩착하는 것을 방지하는 시트 박리 방법. - 환상의 프레임의 개구에 유지 시트를 개재하여 제 1 면이 고정된 판상의 피가공물의 제 2 면에 첩착한 그 피가공물과 동등한 직경의 보호 시트를 그 제 2 면으로부터 박리하는 시트 박리 장치로서,
그 유지 시트를 개재하여 그 피가공물을 유지면으로 유지하는 척 테이블과,
그 척 테이블에 유지된 그 피가공물의 가장 가까이에서 그 유지 시트를 덮는 박리 지그와,
그 보호 시트에 첩착하는 박리용 테이프를 공급하는 공급 유닛과,
그 박리용 테이프를 그 보호 시트의 외주 가장자리보다 중심측으로부터 그 피가공물의 가장 가까이의 그 박리 지그에 걸쳐서 압압하여, 그 박리용 테이프를 그 보호 시트에 첩착하는 압압 유닛과,
그 보호 시트에 첩착한 그 박리용 테이프를 잡아당겨, 그 피가공물로부터 그 보호 시트를 박리하는 박리 유닛을 구비하고,
상기 박리 지그는, 그 유지 시트 상에 재치하는 하면부와, 그 피가공물의 그 제 2 면과 대응하는 상면부와, 그 피가공물의 외주 형상에 대응하는 형상을 가짐과 함께, 그 피가공물의 두께에 대응하는 두께를 갖고 그 피가공물의 최외주에 맞닿는 맞닿음부를 갖고,
그 상면부는, 그 보호 시트에 첩착하고 그 보호 시트를 박리하는 박리용 테이프의 폭을 초과하는 폭을 갖고, 그 박리용 테이프의 첩착을 거부하는 소재로 구성되고, 그 하면부는, 그 유지 시트의 첩착을 거부하는 소재로 구성되어 있고,
그 보호 시트의 최외주까지 그 박리용 테이프를 첩착할 때에 그 유지 시트에 그 박리용 테이프가 첩착하는 것을 방지하는 시트 박리 장치.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021174981A JP2023064613A (ja) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 剥離治具、剥離治具を用いたシート剥離方法及びシート剥離装置 |
| JPJP-P-2021-174981 | 2021-10-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230059723A true KR20230059723A (ko) | 2023-05-03 |
Family
ID=85796211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220124228A KR20230059723A (ko) | 2021-10-26 | 2022-09-29 | 박리 지그, 박리 지그를 사용한 시트 박리 방법 및 시트 박리 장치 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2023064613A (ko) |
| KR (1) | KR20230059723A (ko) |
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017123409A (ja) | 2016-01-07 | 2017-07-13 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
-
2021
- 2021-10-26 JP JP2021174981A patent/JP2023064613A/ja active Pending
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2022
- 2022-09-29 KR KR1020220124228A patent/KR20230059723A/ko unknown
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- 2022-10-20 CN CN202211285776.3A patent/CN116031175A/zh active Pending
- 2022-10-21 TW TW111140116A patent/TW202330291A/zh unknown
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017123409A (ja) | 2016-01-07 | 2017-07-13 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20230127184A1 (en) | 2023-04-27 |
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| CN116031175A (zh) | 2023-04-28 |
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