KR20230049508A - Module for setting station node and method for setting station node - Google Patents

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KR20230049508A
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이성호
박노재
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세메스 주식회사
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Abstract

A module for setting a station node is configured to set the position where a container is loaded or unloaded between a traveling cart placed on the ceiling of an integrated circuit device manufacturing line and a manufacturing device disposed at the bottom side of the integrated circuit device manufacturing line. The module may comprise: a magnetic force part provided to provide magnetic force and extending along a traveling rail on which the traveling cart travels; and an attachment part provided with a material that is attached to the magnetic part. Accordingly, the attachment part is attached to each station node where the traveling cart loads or unloads the container. In addition, the position of a loading/unloading part where the container is loaded or unloaded at each corresponding position of the manufacturing device corresponding to the attachment part can be adjusted and arranged. According to the present invention, since the attachment part is attached to each station node, the module can ensure ease of installation.

Description

스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈 및 방법{MODULE FOR SETTING STATION NODE AND METHOD FOR SETTING STATION NODE}Module and method for setting station node {MODULE FOR SETTING STATION NODE AND METHOD FOR SETTING STATION NODE}

본 발명은 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 주행 대차가 제조 장치로 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a module and method for setting up a station node. More specifically, the present invention relates to a module and method for setting a station node, which is a location where a traveling cart loads/unloads containers into a manufacturing device.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품, 즉 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 수납하는 풉(FOUP) 등과 같은 컨테이너에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있는데, 최근에는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport)를 사용하여 언급한 컨테이너를 이송하는 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있다.In the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices, a transfer process for a container such as a FOUP accommodating an article used in the manufacture of an integrated circuit device, that is, a substrate for manufacturing an integrated circuit device, is frequently performed. However, in recent years, a transport process of transporting the aforementioned container using OHT (overhaed hoist transport) provided on the ceiling of an integrated circuit device manufacturing line has been frequently performed.

그리고 OHT는 주행 레일을 따라 주행하는 주행 대차를 구비할 수 있는데, 주행 대차와 집적회로 소자를 제조하는 제조 장치 사이에서의 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치가 중요한 스펙일 수 있기 때문에 언급한 위치를 반드시 세팅한 다음 이송 공정을 수행해야만 한다.In addition, the OHT may have a traveling cart that travels along the running rail, and since the loading/unloading position of the container between the traveling cart and a manufacturing device that manufactures integrated circuit elements may be an important specification, the mentioned location is selected. It must be set and then the transfer process must be performed.

이에, 주행 대차가 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드(station node) 마다에 위치를 인식할 수 있는 인식 부재를 형성하고, 언급한 인식 부재에 대응되는 제조 장치의 대응 위치마다에 컨테이너의 로딩/언로딩이 이루어지는 로딩/언로딩부가 배치되게 위치를 조정함으로써 주행 대차와 제조 장치 사이에서의 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치를 세팅할 수 있다.Therefore, a recognition member capable of recognizing the position is formed at each station node, which is a position where the traveling cart loads/unloads the container, and the container is detected at each corresponding position of the manufacturing apparatus corresponding to the above-mentioned recognition member. It is possible to set a position for loading/unloading a container between the traveling cart and the manufacturing device by adjusting the position of the loading/unloading unit where the loading/unloading is performed.

그리고 종래에는 알루미늄으로 이루어지는 플레이트를 나사 체결을 통하여 주행 레일이 설치함에 의해 인식 부재를 형성할 수 있다.And conventionally, it is possible to form a recognition member by installing a plate made of aluminum on a running rail through screw fastening.

다만, 인식 부재의 형성을 위한 나사 체결은 주행 레일에 설치하는 고공 작업일 수 있기 때문에 설치 작업이 상대적으로 힘들 수 있는 문제점이 있을 수 있고, 더욱이 신규로 제조 장치를 도입할 경우에는 세팅을 다시 진행할 수도 있기 때문에 인식 부재의 해체 및 설치에 따른 작업이 더 힘들 수 있는 문제점이 있을 수 있다.However, since the screw fastening for forming the recognition member may be a high-altitude work to be installed on a running rail, there may be a problem in that the installation work may be relatively difficult. Therefore, there may be a problem in that the work according to the disassembly and installation of the recognition member may be more difficult.

본 발명의 일 목적은 스테이션 노드를 인식할 수 있는 인식 부재를 보다 용이하게 설치할 수 있을 뿐만 아니라 해체 또한 보다 용이하게 수행할 수 있는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈을 제공하는데 있다.One object of the present invention is to provide a module for setting a station node capable of more easily disassembling as well as more easily installing a recognition member capable of recognizing a station node.

본 발명의 다른 목적은 스테이션 노드를 인식할 수 있는 인식 부재를 보다 용이하게 설치할 수 있을 뿐만 아니라 해체 또한 보다 용이하게 수행할 수 있는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a method for setting a station node capable of more easily disassembling as well as more easily installing a recognition member capable of recognizing the station node.

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈은 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 배치되는 주행 대차와 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 바닥 쪽에 배치되는 제조 장치 사이에서의 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치를 세팅하기 위한 것으로써, 자력을 제공하도록 구비되되, 상기 주행 대차가 주행하는 주행 레일을 따라 연장 배치되는 자력부와, 상기 자력부에 부착되는 재질을 갖도록 구비되는 부착부를 포함하도록 이루어질 수 있다. 이에, 상기 주행 대차가 상기 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드 마다에 상기 부착부를 부착시키고, 그리고 상기 부착부에 대응되는 상기 제조 장치의 대응 위치마다에 상기 컨테이너의 로딩/언로딩이 이루어지는 로딩/언로딩부가 배치되게 위치를 조정할 수 있을 것이다.A module for setting a station node according to exemplary embodiments of the present invention for achieving the above object is a traveling cart disposed on the ceiling side of a manufacturing line of integrated circuit devices and a bottom side of the manufacturing line of integrated circuit devices It is for setting a position for loading/unloading containers between manufacturing devices, and is provided to provide magnetic force, and a magnetic force part extending along the travel rail on which the traveling cart travels, and attached to the magnetic force part It may be made to include an attachment portion provided to have a material to be. Therefore, the attachment part is attached to each station node, which is a position where the traveling cart loads / unloads the container, and the loading / unloading of the container is performed at each corresponding position of the manufacturing apparatus corresponding to the attachment part. It will be possible to adjust the position so that the loading/unloading unit is disposed.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 부착부는 부착용 대차를 사용함에 의해 상기 스테이션 노드 마다에 부착시킬 수 있도록 이루어지되, 상기 부착용 대차는 상기 부착부를 탑재함과 아울러 상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the attachment portion is made to be attached to each station node by using an attachment cart, and the attachment cart is equipped to mount the attachment portion and travel along the travel rail. there is.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 부착부에는 상기 부착부가 부착되는 상기 주행 레일 쪽으로 돌출되는 돌출부가 더 형성되고, 상기 주행 레일에는 상기 돌출부의 수용이 가능한 삽입부가 더 형성됨에 의해 상기 부착부의 부착시 상기 돌출부를 상기 삽입부에 삽입시키도록 이루어질 수 있다.In exemplary embodiments, a protrusion protruding toward the traveling rail to which the attachment portion is attached is further formed in the attachment portion, and an insertion portion capable of accommodating the protrusion portion is further formed in the travel rail, so that when the attachment portion is attached The protrusion may be inserted into the insertion part.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 컨테이너는 상기 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 수납하는 수납 부재일 수 있다.In example embodiments, the container may be an accommodating member accommodating a substrate for manufacturing the integrated circuit device.

상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드를 세팅하기 위한 방법은 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 배치되는 주행 대차와 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 바닥 쪽에 배치되는 제조 장치 사이에서의 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치를 세팅하기 위한 것으로써, 상기 주행 대차가 주행하는 주행 레일을 따라 자력을 제공하는 자력부를 연장 배치시키는 단계와, 상기 주행 대차가 상기 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드 마다에 상기 자력부에 부착되는 재질을 갖도록 구비되는 부착부를 부착시키는 단계를 포함하도록 이루어질 수 있다.A method for setting a station node according to exemplary embodiments of the present invention for achieving the other object is a traveling cart disposed on the ceiling side of a manufacturing line of integrated circuit devices and disposed on the bottom side of the manufacturing line of integrated circuit devices To set a position for loading/unloading containers between manufacturing devices, the step of extending and arranging a magnetic part that provides magnetic force along the traveling rail on which the traveling cart travels, and the traveling cart moves the container It may be made to include the step of attaching an attachment portion provided to have a material attached to the magnetic force portion at each station node, which is a loading/unloading position.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 부착부에 대응되는 상기 제조 장치의 대응 위치마다에 상기 컨테이너의 로딩/언로딩이 이루어지는 로딩/언로딩부가 배치되게 위치를 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the method may further include adjusting a location so that the loading/unloading unit for loading/unloading the container is disposed at each corresponding position of the manufacturing apparatus corresponding to the attaching unit.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 부착부는 상기 부착부를 탑재함과 아울러 상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 부착용 대차를 사용함에 의해 상기 스테이션 노드 마다에 부착시킬 수 있도록 이루어질 수 있다.In exemplary embodiments, the attachment part may be made to be attached to each station node by using an attachment carriage provided to travel along the travel rail while mounting the attachment part.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈 및 방법은 주행 대차가 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드 마다에 자력을 이용한 부착부를 부착시킴으로써 설치에 대한 용이성을 확보할 수 있을 뿐만 아니라 해체와 설치, 즉 재설치에 대한 용이성까지도 확보할 수 있을 것이다.A module and method for setting a station node according to exemplary embodiments of the present invention secures ease of installation by attaching an attachment using magnetic force to each station node, which is a location where a traveling cart loads/unloads a container. In addition, it will be possible to secure the ease of disassembly and installation, that is, reinstallation.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈 및 방법은 집적회로 소자의 제조 장치에 대한 세팅을 보다 정확하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 보다 신속하게 수행할 수 있는 이점을 기대할 수 있을 것이다.Accordingly, the module and method for setting the station node according to the exemplary embodiments of the present invention are expected to have the advantage of being able to perform the setting for the manufacturing device of the integrated circuit device more accurately as well as more quickly. You will be able to.

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the tasks and effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈을 설명하기 위한 도면들이다.1 to 3 are diagrams for explaining a module for setting a station node according to exemplary embodiments of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be applied with various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numbers have been used for like elements in describing each figure. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "consisting of" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.And with reference to the accompanying drawings will be described in more detail exemplary embodiments. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and redundant descriptions of the same components are omitted.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈을 설명하기 위한 도면들이다.1 to 3 are diagrams for explaining a module for setting a station node according to exemplary embodiments of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 제조 장치(25)와 제조 장치(25) 사이에의 컨테이너에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있다.Referring to FIGS. 1 to 3 , in the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices, a process of transporting containers between manufacturing devices 25 is frequently performed.

언급한 컨테이너는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품으로 폭 넓게 이해될 수 있는 것으로써, 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 수납하는 수납 부재일 수 있고, 그 예로서는 다수매의 기판을 수납하는 풉(FOUP, 카세트, FOSB(Front-Opening Shipping Box) 등을 들 수 있다.The container mentioned above can be widely understood as an article used in the manufacture of an integrated circuit device, and may be a receiving member for accommodating a board for manufacturing an integrated circuit device, and as an example thereof, a (FOUP, cassette, FOSB (Front-Opening Shipping Box), etc. are mentioned.

그리고 최근 제조 장치(25)와 제조 장치(25) 사이에서의 컨테이너에 대한 이송 공정에서는 주로 집적회로 소자의 제조 라인의 천장(11)에 구비되는 OHT를 사용할 수 있다.In addition, in the transport process of the container between the recent manufacturing devices 25 and the manufacturing devices 25, the OHT provided on the ceiling 11 of the manufacturing line of the integrated circuit device can be mainly used.

여기서, OHT는 주행 대차(15), 주행 대차(15)의 주행 경로를 제공하는 주행 레일(21) 등으로 이루어질 수 있고, 주행 대차(15)는 컨테이너를 탑재하는 탑재부(17), 주행 레일(21)을 따라 주행하는 주행 휠(19) 등으로 이루어질 수 있고, 주행 레일(21)은 직선 레일, 곡선 레일, 분기 레일 등이 다양하게 연결되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.Here, the OHT may be composed of a traveling cart 15, a traveling rail 21 providing a travel path of the traveling cart 15, and the like, and the traveling cart 15 includes a mounting unit 17 for loading containers, a traveling rail ( 21), and the like, and the running rail 21 can be made to have a structure in which straight rails, curved rails, branched rails, etc. are connected in various ways.

제조 장치(25)는 OHT와의 로딩/언로딩에 따른 컨테이너를 일시 보관하는 스토커가 부속되는 구조를 갖는 단위 공정용 제조 장치일 수 있고, 이와 달리 단위 공정용 제조 장치들 사이에 위치하는 스토커 장치 자체일 수도 있을 것이다.The manufacturing device 25 may be a manufacturing device for unit processes having a structure in which a stocker for temporarily storing containers according to loading / unloading with OHT is attached, and unlike the stocker device itself located between the manufacturing devices for unit processes It could be.

본 발명에 따른 OHT와 제조 장치(25) 사이에서의 컨테이너에 대한 이송 공정은 OHT로부터 제조 장치(25)로의 컨테이너를 로딩시키는 로딩 공정 또는 제조 장치(25)로부터 OHT로의 컨테이너를 언로딩시키는 언로딩 공정일 수 있는 것으로써, 즉 OHT의 주행 대차(15)와 제조 장치(25) 사이에서의 컨테이너에 대한 로딩/언로딩 공정일 수 있는 것이다.The transfer process for the container between the OHT and the manufacturing device 25 according to the present invention is a loading process for loading the container from the OHT to the manufacturing device 25 or an unloading process for unloading the container from the manufacturing device 25 to the OHT. As what can be a process, that is, it can be a loading/unloading process for a container between the traveling cart 15 and the manufacturing device 25 of the OHT.

여기서, OHT는 제조 라인이 천장(11) 쪽에 그리고 제조 장치(25)는 제조 라인의 바닥(13) 쪽에 서로 수직 방향으로 마주하게 배치되기 때문에 언급한 OHT의 주행 대차(15)와 제조 장치(25) 사이에서의 컨테이너에 대한 로딩/언로딩 공정 또한 수직 방향을 따라 이루어질 수 있을 것이다.Here, in the OHT, the traveling cart 15 and the manufacturing device 25 of the OHT mentioned because the manufacturing line is disposed to face each other in the vertical direction on the ceiling 11 side and the manufacturing device 25 on the floor 13 side of the manufacturing line. ) The loading/unloading process for containers between them may also be performed along the vertical direction.

따라서 OHT에는 주행 대차(15)에 탑재되는 컨테이너를 수직 방향을 따라 승하강시키는 승하강 부재가 구비될 수 있을 것이고, 제조 장치(25)에는 수직 방향을 따라 승하강이 이루어지는 컨테이너에 대한 로딩/언로딩이 이루어지는 장소인 로딩/언로딩부(27)가 구비될 수 있을 것이다.Therefore, the OHT may be provided with an elevating member for elevating and descending the container mounted on the traveling cart 15 in the vertical direction, and the manufacturing device 25 may have loading/unloading of the container that elevates and descends in the vertical direction. A loading/unloading unit 27, which is a place where loading is performed, may be provided.

그런데, OHT에서의 주행 대차(15)에 탑재되는 컨테이너를 승하강시키기 위한 위치 및 제조 장치(25)에서의 로딩/언로딩부(27)에 대한 위치가 조금이라도 틀릴 경우에는 컨테이너의 로딩/언로딩에 따른 공정 불량이 발생할 수 있을 것이고, 심각할 경우에는 컨테이너 등에 충격이 가해져 파손되는 상황까지도 발생할 수 있을 것이다.However, if the position for raising and lowering the container mounted on the traveling cart 15 in the OHT and the position of the loading/unloading unit 27 in the manufacturing device 25 are slightly different, the loading/unloading of the container Process defects due to loading may occur, and in serious cases, a situation in which an impact is applied to a container or the like may even occur.

이에, 본 발명에서는 주행 대차(15)가 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드에 대한 위치를 정함과 아울러 스테이션 노드에 대한 위치에 근거하여 제조 장치(25)의 로딩/언로딩부(27)에 대한 위치를 조정할 수 있을 것이다.Accordingly, in the present invention, the loading/unloading unit 27 of the manufacturing device 25 is determined based on the position of the station node, which is the position at which the truck 15 loads/unloads the container, and the position of the station node. ) can be adjusted.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈은 집적회로 소자의 제조 라인의 천장(11) 쪽에 배치되는 주행 대차(15)와 집적회로 소자의 제조 라인의 바닥(13) 쪽에 배치되는 제조 장치(25) 사이에서의 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치, 즉 주행 대차(15)에서의 컨테이너를 승하강시키기 위한 위치 및 제조 장치(25)에서의 로딩/언로딩부(27)의 위치를 세팅하기 위한 것으로써, 자력부(31), 부착부(33) 등을 포함하도록 이루어질 수 있다.A module for setting a station node according to exemplary embodiments of the present invention is a traveling cart 15 disposed on the ceiling 11 side of an integrated circuit device manufacturing line and a floor 13 side of an integrated circuit device manufacturing line. A position for loading/unloading a container between the arranged manufacturing devices 25, that is, a position for raising and lowering a container on the traveling cart 15 and a loading/unloading unit 27 in the manufacturing device 25 As for setting the position of, it may be made to include a magnetic force part 31, an attachment part 33, and the like.

언급한 자력부(31)는 자력을 제공하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주행 대차(15)가 주행하는 주행 레일(21)을 따라 연장 배치되게 구비될 수 있다.The aforementioned magnetic force unit 31 may be provided to provide magnetic force, and may be disposed to extend along the travel rail 21 on which the travel cart 15 travels.

그리고 자력부(31)는 주행 레일(21)을 따라 연속적으로 연장 배치될 수도 있지만, 제조 장치(25)와 마주하는 주행 레일(21)에만 연장 배치되게 구비될 수도 있을 것이다.Further, the magnetic force unit 31 may be continuously extended along the travel rail 21, but may also be provided to be extended and disposed only on the travel rail 21 facing the manufacturing device 25.

또한, 자력부(31)는 주행 레일(21) 중에서도 제조 장치(25)와 마주하는 일면에 배치, 즉 제조 라인의 바닥(13)을 바라보는 일면에 배치되게 구비될 수 있을 것이다.In addition, the magnetic part 31 may be provided to be disposed on one surface facing the manufacturing device 25 among the traveling rails 21, that is, disposed on one surface facing the floor 13 of the manufacturing line.

언급한 부착부(33)는 자력부(31)에 부착될 수 있어야 하는 것으로써, 자력부(31)에 부착되는 재질을 갖도록 구비될 수 있다.The aforementioned attachment part 33 should be able to be attached to the magnetic force part 31, and may be provided with a material attached to the magnetic force part 31.

특히, 부착부(33)는 주행 대차(15)가 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치, 즉 컨테이너를 승하강시키기 위한 위치인 스테이션 노드 마다에서의 위치를 인식할 수 있는 인식 부재용일 수 있기에, 본 발명에서의 부착부(33)는 스테이션 노드 마다에 부착될 수 있을 것이다.In particular, since the attachment part 33 can be for a recognition member capable of recognizing the position at which the traveling cart 15 loads/unloads the container, that is, the position at each station node, which is the position for raising and lowering the container, this The attachment part 33 in the present invention may be attached to each station node.

따라서 본 발명에서는 주행 레일(21)에 자력부(31)를 구비함과 아울러 스테이션 노드마다에 부착부(33)를 부착시키고, 그리고 부착부(33)에 대응되는 제조 장치(25)의 대응 위치마다에 컨테이너의 로딩/언로딩이 이루어지는 로딩/언로딩부(27)가 배치되게 위치를 조정함으로써 주행 대차(15)에서의 컨테이너를 승하강시키기 위한 위치 및 제조 장치(25)에서의 로딩/언로딩부(27)의 위치를 세팅할 수 있을 것이다.Therefore, in the present invention, the magnetic part 31 is provided on the running rail 21, and the attachment part 33 is attached to each station node, and the corresponding position of the manufacturing device 25 corresponding to the attachment part 33 By adjusting the position so that the loading / unloading unit 27, in which the loading / unloading of the container is performed, is arranged, the position for raising and lowering the container in the traveling cart 15 and the loading / unloading in the manufacturing device 25 The position of the loading unit 27 may be set.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드 세팅용 모듈은 부착부(33)를 탑재함과 아울러 주행 레일(21)을 따라 주행하도록 구비되는 부착용 대차(15)를 구비할 수 있는데, 이에 언급한 부착용 대차(15)를 사용하여 주행 레일(21)을 주행하면서 탑재된 부착부(33)를 스테이션 노드 마다에 부착시킬 수 있을 것이다.In addition, the station node setting module according to exemplary embodiments of the present invention may include an attachment carriage 15 provided to travel along the travel rail 21 as well as to mount the attachment portion 33. The mounted attachment part 33 can be attached to each station node while traveling on the travel rail 21 using the aforementioned attachment carriage 15 .

그러므로 본 발명의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스테이션 노드 세팅용 모듈은 스테이션 노드 마다에 자력을 이용한 부착부(33)를 부착시킴으로써 설치에 대한 용이성을 확보할 수 있을 뿐만 아니라 부착용 대차(15)를 사용함으로써 보다 신속하게 부착부(33)를 설치할 수 있을 것이다.Therefore, the station node setting module according to exemplary embodiments of the present invention can not only secure the ease of installation by attaching the attachment part 33 using magnetic force to each station node, but also attach the bogie 15 ), it will be possible to install the attachment part 33 more quickly by using.

또한, 부착부(33)에는 부착부(33)가 부착되는 주행 레일(21) 쪽으로 돌출되는 돌출부(35)가 더 형성될 수 있고, 주행 레일(21)에는 돌출부(35)의 수용이 가능한 삽입부(37)가 더 형성될 수 있기에, 이를 통하여 부착부(33)의 부착시 돌출부(35)를 삽입부(37)에 삽입시키도록 이루어질 수도 있을 것이다.In addition, a protrusion 35 protruding toward the travel rail 21 to which the attachment portion 33 is attached may be further formed on the attachment portion 33, and the protrusion 35 can be inserted into the travel rail 21. Since the portion 37 may be further formed, the protruding portion 35 may be inserted into the insertion portion 37 when the attachment portion 33 is attached therethrough.

따라서 부착부(33)가 자력과 함께 삽입 부착되는 구조를 갖도록 이루어짐으로써 보다 안정적인 부착력을 도모할 수도 있을 것이다.Therefore, since the attachment portion 33 is made to have a structure in which it is inserted and attached together with magnetic force, more stable attachment force may be achieved.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 주행 대차(15)가 주행하는 주행 레일(21)을 따라 자력을 제공하는 자력부(31)를 연장 배치시킴과 아울러 스테이션 노드 마다에 자력부(31)에 부착부(33)를 부착시키고, 그리고 부착부(33)에 대응되는 제조 장치(25)의 대응 위치마다에 제조 장치(25)의 로딩/언로딩부(27)가 배치되게 위치를 조정함으로써, 주행 대차(15)에서의 컨테이너를 승하강시키기 위한 위치 및 제조 장치(25)에서의 로딩/언로딩부(27)의 위치를 세팅할 수 있을 것이다.According to exemplary embodiments of the present invention, the magnetic part 31 for providing magnetic force is extended and disposed along the traveling rail 21 on which the traveling cart 15 travels, and the magnetic part 31 is provided at each station node. By attaching the attachment portion 33 to the attachment portion 33 and adjusting the position so that the loading/unloading portion 27 of the manufacturing device 25 is disposed at each corresponding position of the manufacturing device 25 corresponding to the attachment portion 33. , It will be possible to set the position for raising and lowering the container in the traveling cart 15 and the position of the loading/unloading unit 27 in the manufacturing device 25.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 수납 용기를 이송하는 이송 공정에 사용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Since the traveling device according to exemplary embodiments of the present invention can be used in a transfer process of transporting a storage container such as a FOUP for storing a plurality of substrates for manufacturing an integrated circuit device, an integrated circuit such as a semiconductor device, a display device, etc. It will be able to be applied more actively to the manufacture of devices.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

15 : 주행 대차(부착용 대차)
21 : 주행 레일 25 : 제조 장치
27 : 로딩/언로딩부 31 : 자력부
33 : 부착부15: travel cart (attachment cart)
21: running rail 25: manufacturing device
27: loading / unloading unit 31: magnetic force unit
33: attachment part

Claims (7)

집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 배치되는 주행 대차와 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 바닥 쪽에 배치되는 제조 장치 사이에서의 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치를 세팅하기 위한 것으로써, 자력을 제공하도록 구비되되, 상기 주행 대차가 주행하는 주행 레일을 따라 연장 배치되는 자력부와, 상기 자력부에 부착되는 재질을 갖도록 구비되는 부착부를 포함하고,
상기 주행 대차가 상기 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드(station node) 마다에 상기 부착부를 부착시키고, 그리고 상기 부착부에 대응되는 상기 제조 장치의 대응 위치마다에 상기 컨테이너의 로딩/언로딩이 이루어지는 로딩/언로딩부가 배치되게 위치를 조정하는 것을 특징으로 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈.For setting a position for loading/unloading a container between a traveling cart disposed on the ceiling side of the manufacturing line of integrated circuit elements and a manufacturing device disposed on the bottom side of the manufacturing line of integrated circuit elements, to provide magnetic force It is provided, including a magnetic force part extending along the traveling rail on which the traveling cart travels, and an attachment part provided to have a material attached to the magnetic force part,
Attaching the attachment part to each station node, which is a position where the traveling cart loads / unloads the container, and loading / unloading the container at each corresponding position of the manufacturing device corresponding to the attachment part A module for setting a station node, characterized in that the position of the loading/unloading unit is arranged. 제1 항에 있어서,
상기 부착부는 부착용 대차를 사용함에 의해 상기 스테이션 노드 마다에 부착시킬 수 있도록 이루어지되, 상기 부착용 대차는 상기 부착부를 탑재함과 아울러 상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈.According to claim 1,
The attachment portion is made to be attached to each station node by using an attachment cart, and the attachment cart is provided to mount the attachment portion and travel along the travel rail Setting the station node, characterized in that module for. 제1 항에 있어서,
상기 부착부에는 상기 부착부가 부착되는 상기 주행 레일 쪽으로 돌출되는 돌출부가 더 형성되고, 상기 주행 레일에는 상기 돌출부의 수용이 가능한 삽입부가 더 형성됨에 의해 상기 부착부의 부착시 상기 돌출부를 상기 삽입부에 삽입시키도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈.According to claim 1,
A protrusion protruding toward the traveling rail to which the attachment portion is attached is further formed in the attachment portion, and an insertion portion capable of accommodating the protrusion portion is further formed in the travel rail so that the protrusion portion is inserted into the insertion portion when the attachment portion is attached. A module for setting a station node, characterized in that made to. 제1 항에 있어서,
상기 컨테이너는 상기 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 수납하는 수납 부재인 것을 특징으로 하는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 모듈.According to claim 1,
The module for setting a station node according to claim 1 , wherein the container is a receiving member for accommodating a substrate to be manufactured with the integrated circuit device. 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 배치되는 주행 대차와 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 바닥 쪽에 배치되는 제조 장치 사이에서의 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치를 세팅하기 위한 것으로써, 상기 주행 대차가 주행하는 주행 레일을 따라 자력을 제공하는 자력부를 연장 배치시키는 단계; 및
상기 주행 대차가 상기 컨테이너를 로딩/언로딩하는 위치인 스테이션 노드(station node) 마다에 상기 자력부에 부착되는 재질을 갖도록 구비되는 부착부를 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 방법.For setting a position for loading/unloading a container between a traveling cart disposed on the ceiling side of the manufacturing line of integrated circuit elements and a manufacturing device disposed on the bottom side of the manufacturing line of the integrated circuit device, the traveling cart extending and arranging a magnetic force unit providing magnetic force along a running rail; and
Setting a station node comprising the step of attaching an attachment portion provided to have a material attached to the magnetic force portion to each station node, which is a position where the traveling cart loads/unloads the container. way for. 제5 항에 있어서,
상기 부착부에 대응되는 상기 제조 장치의 대응 위치마다에 상기 컨테이너의 로딩/언로딩이 이루어지는 로딩/언로딩부가 배치되게 위치를 조정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 방법.According to claim 5,
The method for setting a station node of claim 1, further comprising adjusting a position so that the loading/unloading part for loading/unloading the container is disposed at each corresponding position of the manufacturing apparatus corresponding to the attaching part. . 제5 항에 있어서,
상기 부착부는 상기 부착부를 탑재함과 아울러 상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 부착용 대차를 사용함에 의해 상기 스테이션 노드 마다에 부착시킬 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 스테이션 노드를 세팅하기 위한 방법.According to claim 5,
The method for setting a station node according to claim 1 , wherein the attachment portion is configured to be attached to each station node by using an attachment carriage provided to travel along the running rail while mounting the attachment portion.
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