KR20180002220A - Apparatus for transferring a carrier - Google Patents

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Abstract

An apparatus for transferring a carrier may comprise: a support member fixated to a ceiling of a semiconductor manufacturing line, provided along a predetermined route, and supporting a driving rail of an overhead hoist transport (OHT); a buffer unit arranged at one side or both sides of the driving rail, and storing a carrier transferred by the OHT; and fixing members to mount the buffer unit to the support member. Therefore, the apparatus can prevent a load caused by the buffer unit and another load caused by the OHT from being concentrated on one portion of the support member.

Description

캐리어 이송 장치{Apparatus for transferring a carrier}[0001] Apparatus for transferring a carrier [0001]

본 발명은 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 캐리어를 이송하는 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier transporting apparatus, and more particularly, to a carrier transporting apparatus for transporting a carrier in a semiconductor manufacturing line.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being housed in the carrier or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the carrier.

상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.The carrier is transported by OHT (Overhead Hoist Transport). The OHT transports the carrier accommodating the object to the load port of the semiconductor processing apparatuses, picks up the carrier accommodating the processed object from the load port, and conveys the carrier to the outside.

상기 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어가 존재하는 경우, 상기 OHT에 의해 이송된 캐리어를 임시로 수납하기 위한 버퍼 유닛이 구비된다. And a buffer unit for temporarily storing a carrier transported by the OHT when a carrier is present in the load pod of the semiconductor processing apparatus.

종래 기술에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 상기 OHT의 일측 또는 양측에 위치한다. 이때, 상기 OHT가 고정되는 서포트 부재와 상기 버퍼 유닛이 고정되는 서포트 부재가 각각 구비된다. 상기 버퍼 유닛을 고정하기 위한 서포트 부재가 별도로 구비되므로, 상기 버퍼 유닛을 구비하기 위한 비용이 증가할 수 있다. According to the prior art, the buffer unit is located on one side or both sides of the OHT. At this time, a support member to which the OHT is fixed and a support member to which the buffer unit is fixed are respectively provided. Since a separate support member for fixing the buffer unit is provided, the cost for providing the buffer unit may increase.

또한, 상기 버퍼 유닛은 크기가 규격화되어 있어, 필요에 따라 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 확장하기 어렵다. Also, since the buffer unit is standardized in size, it is difficult to expand the space for accommodating the carrier as necessary.

본 발명은 버퍼 유닛을 구비하는데 소요되는 비용을 줄이고, 캐리어를 수납하기 위한 공간의 확장이 용이한 캐리어 이송 장치를 제공한다. The present invention provides a carrier transporting apparatus which can reduce the cost required to have a buffer unit and can easily expand a space for accommodating a carrier.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 반도체 제조 라인의 천장에 고정되며, 일정한 경로를 따라 구비되며, OHT의 주행 레일을 지지하는 서포트 부재와, 상기 주행 레일의 일측 또는 양측에 배치되며 상기 OHT에 의해 이송되는 캐리어를 수납하기 위한 버퍼 유닛 및 상기 버퍼 유닛을 상기 서포트 부재에 장착하기 위한 고정 부재들을 포함할 수 있다. A carrier transporting apparatus according to the present invention comprises: a support member which is fixed to a ceiling of a semiconductor manufacturing line and is provided along a predetermined path and supports a running rail of an OHT; a support member which is disposed on one side or both sides of the running rail, And a fixing member for mounting the buffer unit to the support member.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 고정 부재들은, 상단부가 상기 서포트 부재에 고정되며 하방으로 연장하는 다수의 제1 고정 부재들 및 상기 제1 고정 부재들의 하단부에 고정된 상태로 상기 버퍼 유닛과 체결되어 상기 버퍼 유닛을 고정하는 제2 고정 부재들을 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the fixing members may include a plurality of first fixing members whose upper ends are fixed to the support member and extend downward, and a plurality of second fixing members which are fixed to the lower ends of the first fixing members, And a second fixing member coupled to the buffer unit to fix the buffer unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 상단부에 수평 방향을 따라 연장하는 장홈을 가지며, 상기 고정 부재들은 상기 제2 고정 부재들이 상기 버퍼 유닛을 고정하는 위치를 조절할 수 있도록 상기 장홈을 관통하여 상기 제2 고정 부재들과 체결되는 체결 나사를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the buffer unit has a groove extending in a horizontal direction at an upper end portion thereof, and the fixing members are provided with grooves for adjusting the position at which the second fixing members fix the buffer unit And a fastening screw penetrating the first and second fastening members and fastened to the second fastening members.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지며, 상기 버퍼 유닛을 추가로 결합하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 확장할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the buffer unit has a size capable of accommodating one carrier, and the buffer unit can be further combined to expand a space for accommodating the carrier.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 서포트 부재는 상기 고정 부재들 및 상기 버퍼 유닛이 장착되는 영역에서는 상대적으로 넓은 폭을 가지며, 나머지 부분에서는 상대적으로 좁은 폭을 가질 수 있다. According to embodiments of the present invention, the support member may have a relatively wide width in a region where the fixing members and the buffer unit are mounted, and a relatively narrow width in the remaining portion.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 이송 장치는 상기 고정 부재들이 상기 서포트 부재에 고정되는 위치와 다른 위치에서 상기 서포트 부재에 고정되며, 상기 서포트 부재를 따라 구비되는 주행 레일, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 주행부 및 상기 주행부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT를 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carrier transporting device may include a traveling rail fixed to the support member at a position different from a position at which the fixing members are fixed to the support member, the traveling rail being provided along the support member, And a grip portion coupled to the travel portion and gripping the carrier so as to be detachable so as to move horizontally and vertically.

본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 서포트 부재에서 버퍼 유닛을 고정하는 고정 부재들의 고정 위치와 OHT의 주행 레일의 고정 위치가 서로 다르다. 따라서, 상기 버퍼 유닛으로 인한 하중과 상기 OHT로 인한 하중이 상기 서포트 부재의 한 부위에 집중되지 않고 분산된다. 그러므로, 상기 버퍼 유닛과 상기 OHT가 상기 서포트 부재에 안정적으로 고정될 수 있다. The carrier transporting apparatus according to the present invention is different from the fixed position of the fixing members for fixing the buffer unit in the support member and the fixed position of the running rail of the OHT. Therefore, the load due to the buffer unit and the load due to the OHT are dispersed without being concentrated on one part of the support member. Therefore, the buffer unit and the OHT can be stably fixed to the support member.

또한, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지므로, 필요에 따라 상기 버퍼 유닛을 추가로 설치하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 용이하게 확장할 수 있다. In addition, since the buffer unit has a size capable of accommodating one carrier, the buffer unit can be additionally provided as needed to easily expand a space for accommodating the carrier.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 버퍼 유닛과 고정 부재들의 결합을 설명하기 위한 사시도이다. 1 is a front sectional view for explaining a carrier transporting apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view for explaining the combination of the buffer unit and the fixing members shown in Fig.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a carrier transporting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 설명하기 위한 정면 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 버퍼 유닛과 고정 부재들의 결합을 설명하기 위한 사시도이다. FIG. 1 is a front sectional view for explaining a carrier transporting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view for explaining a combination of the buffer unit and the fixing members shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 캐리어 이송 장치(100)는 서포트 부재(110), OHT(120), 버퍼 유닛(130) 및 고정 부재(140)를 포함한다. 1 and 2, the carrier transporting apparatus 100 includes a support member 110, an OHT 120, a buffer unit 130, and a fixing member 140.

서포트 부재(110)는 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장(10)을 따라 구비된다. 서포트 부재(110)는 트랙 형태를 가질 수 있다. The support member 110 is provided along the ceiling 10 of the semiconductor manufacturing line in which the semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor elements are successively disposed. The support member 110 may have a track shape.

서포트 부재(110)는 다수의 체결 부재(112)들에 의해 천장(10)에 고정될 수 있다. 체결 부재(112)들의 예로는 전산 볼트를 들 수 있다.The support member 110 can be fixed to the ceiling 10 by a plurality of fastening members 112. An example of the fastening members 112 is a computer bolt.

체결 부재(112)들은 서포트 부재(110)의 폭 방향을 따라 적어도 두 개가 연결되고, 바람직하게는 네 개가 연결될 수 있다. At least two of the fastening members 112 are connected along the width direction of the support member 110, and preferably four thereof are connected.

서포트 부재(110)는 버퍼 유닛(130) 및 OHT(120)을 지지할 수 있다. 또한, 서포트 부재(110)는 내부에 다수의 배선을 수납하는 배전관으로 기능할 수도 있다. The support member 110 can support the buffer unit 130 and the OHT 120. Further, the support member 110 may also function as a discharge tube for housing a plurality of wirings therein.

서포트 부재(110)는 상대적으로 넓은 폭을 갖는 영역과 상대적으로 좁은 폭을 갖는 영역을 포함할 수 있다. 상기 상대적으로 넓은 폭을 갖는 영역에서는 OHT(120), 버퍼 유닛(130) 및 고정 부재(140)들이 구비되고, 상기 상대적으로 좁은 폭을 갖는 영역에서는 OHT(120)만 구비될 수 있다.The support member 110 may include a region having a relatively wide width and a region having a relatively narrow width. The OHT 120, the buffer unit 130, and the fixing member 140 may be provided in the relatively wide region, and only the OHT 120 may be provided in the relatively narrow region.

다른 예로, 서포트 부재(110)는 전체적으로 일정한 폭을 가질 수도 있다. As another example, the support member 110 may have a uniform overall width.

OHT(120)는 상기 반도체 공정 장치에서 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어(20)에 수납한 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공하거나 캐리어(20)를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수할 수 있다. The OHT 120 may be provided in each semiconductor processing apparatus in a state in which the object for performing the semiconductor element manufacturing process is housed in the carrier 20 in the semiconductor processing apparatus or may be provided from each of the semiconductor processing apparatuses Can be recovered.

상기 대상물의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 상기 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지 등을 들 수 있다. 상기 캐리어(20)의 예로는 복수의 반도체 기판들을 수납하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 상기 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 상기 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다. Examples of the object include a semiconductor substrate, a printed circuit board to which the dies are attached, and a semiconductor package in which the dies are bonded to the printed circuit board. Examples of the carrier 20 include a front opening unified foam (FOUP) and a front opening shipping box (FOSB) for housing a plurality of semiconductor substrates, a magazine for accommodating the plurality of printed circuit boards, A tray for housing a plurality of semiconductor packages, and the like.

OHT(120)는 주행 레일(122), 주행부(124) 및 그립부(126)를 포함한다. The OHT 120 includes a running rail 122, a running section 124, and a grip section 126.

주행 레일(122)은 서포트 부재(110)의 하부면에 서포트 부재(110)를 따라 구비된다. 예를 들면, 주행 레일(122)은 서포트 부재(110)의 하부면 중앙에 위치할 수 있다. 주행 레일(122)은 서포트 부재(110)와 동일한 형태를 가질 수 있다. The running rail 122 is provided along the support member 110 on the lower surface of the support member 110. For example, the running rail 122 may be located at the center of the lower surface of the support member 110. The running rail 122 may have the same shape as the support member 110.

주행부(124)는 주행 레일(122)을 따라 이동한다. 주행부(124)는 내부에 구비되는 모터의 구동력으로 주행 레일(122)을 따라 이동할 수 있다. The running section 124 moves along the running rail 122. The traveling unit 124 can move along the traveling rail 122 by the driving force of a motor provided therein.

그립부(126)는 주행부(124)와 연결되며, 캐리어(20)를 착탈 가능하도록 파지한다. 그립부(126)는 수평 및 상하 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 그립부(126)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 상기 수평 이동하고, 모터, 실린더 등을 이용하여 상하 이동할 수 있다. 따라서, 그립부(126)는 캐리어(20)를 상기 수평 및 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. The grip portion 126 is connected to the travel portion 124, and grips the carrier 20 so as to be detachable. The grip portion 126 is provided so as to be movable in the horizontal and vertical directions. For example, the grip portion 126 can be horizontally moved using a belt, a pulley, a gear, or the like, and can be moved up and down using a motor, a cylinder, or the like. Therefore, the grip portion 126 can move the carrier 20 in the horizontal and vertical directions.

또한, 그립부(126)는 캐리어(20)를 버퍼 유닛(130) 또는 상기 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나 버퍼 유닛(130) 또는 상기 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다. In addition, the grip portion 126 may load the carrier 20 into the buffer unit 130 or the load port of the semiconductor processing apparatus, or unload from the buffer unit 130 or the load port.

버퍼 유닛(130)은 OHT(120)의 일측 또는 양측에 구비되며, OHT(120)에 의해 이송되는 캐리어(20)를 수납한다. 예를 들면, 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들의 로드 포트에 캐리어(20)가 놓여진 경우, OHT(120)가 캐리어(20)를 바로 상기 로드 포트로 로딩할 수 없다. 따라서, OHT(120)가 캐리어(20)를 버퍼 유닛(130)에 수납한다. The buffer unit 130 is provided on one side or both sides of the OHT 120 and accommodates the carrier 20 transported by the OHT 120. For example, when the carrier 20 is placed in the load port of a semiconductor processing apparatus for manufacturing a semiconductor device, the OHT 120 can not load the carrier 20 directly into the load port. Accordingly, the OHT 120 accommodates the carrier 20 in the buffer unit 130. [

버퍼 유닛(130)은 가로 부재(132), 세로 부재(134) 및 수납부(136)를 포함한다. The buffer unit 130 includes a transverse member 132, a longitudinal member 134, and a receiving portion 136.

가로 부재(132)는 OHT(120)의 하부에 주행 레일(122)과 평행하도록 배치된다. 가로 부재(132)는 한 쌍이 구비될 수 있다. The transverse member 132 is disposed below the OHT 120 so as to be in parallel with the running rail 122. A pair of the horizontal members 132 may be provided.

또한, 가로 부재(132)에는 장홈(133)이 구비된다. 장홈(133)은 가로 부재(132)의 길이 방향을 따라 연장한다. The horizontal member 132 is provided with a groove 133. The grooves 133 extend along the longitudinal direction of the transverse member 132.

세로 부재(134)는 가로 부재(132)에 고정되며, 가로 부재(132)로부터 상기 하방으로 연장한다. 구체적으로, 세로 부재(134)의 상단은 가로 부재(132)에 고정된다. 세로 부재(134)는 가로 부재(132)와 별도의 체결 부재에 의해 고정되거나, 세로 부재(134)는 가로 부재(132)와 일체로 형성될 수 있다. The longitudinal member 134 is fixed to the transverse member 132 and extends downward from the transverse member 132. Specifically, the upper end of the longitudinal member 134 is fixed to the lateral member 132. The longitudinal member 134 may be fixed by a separate fastening member to the transverse member 132 or the longitudinal member 134 may be integrally formed with the transverse member 132.

세로 부재(134)는 가로 부재(132)에 적어도 하나가 구비될 수 있다. 예를 들면, 세로 부재(134)는 수납부(130)를 안정적으로 고정하기 위해 하나의 가로 부재(132)에 두 개씩 고정될 수 있다.At least one of the longitudinal members 134 may be provided in the lateral member 132. For example, the longitudinal members 134 may be fixed to one of the transverse members 132 in two to stably fix the accommodating unit 130.

수납부(136)는 연장부(120)의 하단에 구비되어 연장부(120)에 고정된다. 예를 들면, 수납부(136)는 세로 부재(134)의 하단과 연결되어 연장부(120)에 고정될 수 있다. 수납부(136)는 대략 평판 형태를 가지며, OHT(120)에 의해 이송된 캐리어(20)를 수납한다. The storage portion 136 is provided at the lower end of the extension portion 120 and is fixed to the extension portion 120. For example, the receiving portion 136 may be connected to the lower end of the longitudinal member 134 and fixed to the extending portion 120. The receiving portion 136 has a substantially flat plate shape and accommodates the carrier 20 conveyed by the OHT 120.

구체적으로, 그립부(126)가 상기 수평 이동을 통해 수납부(136)의 상방으로 이동한 후 하강하여 수납부(136)에 캐리어(20)를 수납한다. Specifically, the grip portion 126 moves upwardly through the accommodating portion 136 through the horizontal movement, then descends to accommodate the carrier 20 in the accommodating portion 136.

이때, 수납부(136)가 OHT(120)의 그립부(126)에 의해 이송되는 캐리어(20)의 높이와 같거나 캐리어(20)의 높이보다 높은 높이에 위치하는 경우, 그립부(126)가 캐리어(20)의 수납을 위해 수평 이동할 때 캐리어(20)와 수납부(136)가 충돌할 우려가 있다. 그러므로, 수납부(136)는 OHT(120)의 그립부(126)에 의해 이송되는 캐리어(20)의 높이 보다 낮은 높이에 위치할 수 있다. At this time, when the storage portion 136 is located at a height equal to or higher than the height of the carrier 20 to be transported by the grip portion 126 of the OHT 120, There is a possibility that the carrier 20 and the accommodating portion 136 may collide with each other when horizontally moved for accommodating the accommodating portion 20 therein. Therefore, the receiving portion 136 may be located at a height lower than the height of the carrier 20 conveyed by the grip portion 126 of the OHT 120.

한편, 수납부(136)의 상면에는 다수의 가이드(138)들을 포함할 수 있다. 가이드(138)들은 그립부(126)에 의해 하강하는 캐리어(20)를 가이드하여 캐리어(20)가 수납부(136) 상의 기준 위치에 정확하게 안착되도록 한다.  On the other hand, a plurality of guides 138 may be formed on the upper surface of the receiving portion 136. The guides 138 guide the carrier 20 descending by the grip portion 126 so that the carrier 20 is accurately seated in the reference position on the receiving portion 136. [

캐리어(20)가 수납부(136) 상의 상기 기준 위치에 정확하게 안착되므로, 캐리어(20)를 상기 반도체 공정 장치로 로딩하기 위해 OHT(120)의 그립부(126)가 수납부(136)에 수납된 캐리어(20)를 픽업할 때 그립부(126)가 캐리어(20)를 정확하게 픽업할 수 있다. The grip portion 126 of the OHT 120 is received in the receiving portion 136 for loading the carrier 20 into the semiconductor processing apparatus so that the carrier 20 is accurately seated in the reference position on the receiving portion 136 The grip portion 126 can accurately pick up the carrier 20 when picking up the carrier 20. [

버퍼 유닛(130)은 하나의 캐리어(20)를 수납할 수 있는 크기를 갖는다. 따라서, 서포트 부재(110) 또는 주행 레일(122)을 따라 버퍼 유닛(130)을 추가로 결합하여 캐리어(20)를 수납하기 위한 공간을 확장할 수 있다. 또한, 서로 결합된 버퍼 유닛(130)을 분리하여 캐리어(20)를 수납하기 위한 공간을 축소할 수도 있다. 그러므로, 버퍼 유닛(130)의 결합이나 분리를 통해 캐리어(20)를 수납하기 위한 공간을 용이하게 조절할 수 있다. The buffer unit 130 has a size capable of accommodating one carrier 20. Therefore, the buffer unit 130 can be further combined along the support member 110 or the running rail 122 to expand the space for accommodating the carrier 20. [ It is also possible to reduce the space for accommodating the carrier 20 by separating the buffer units 130 coupled to each other. Therefore, the space for accommodating the carrier 20 through coupling or disconnection of the buffer unit 130 can be easily adjusted.

고정 부재(140)들은 버퍼 유닛(130)을 서포트 부재(110)에 장착한다. 버퍼 유닛(130)이 OHT(120)의 일측 또는 양측에 위치하므로, 고정 부재(140)들도 HT(120)의 일측 또는 양측에서 버퍼 유닛(130)을 서포트 부재(110)에 장착한다. The fixing members 140 attach the buffer unit 130 to the support member 110. Since the buffer unit 130 is located on one side or both sides of the OHT 120, the fixing members 140 also mount the buffer unit 130 on the support member 110 on one side or both sides of the HT 120.

고정 부재(140)는 제1 고정 부재(142) 및 제2 고정 부재(144)를 갖는다. The fixing member 140 has a first fixing member 142 and a second fixing member 144.

제1 고정 부재(142)는 상하로 연장된 바 형태를 가지며, 상단부가 서포트 부재(110)에 고정된다. 이때, 서포트 부재(110)의 하부면에서 주행 레일(122)의 일측 또는 양측에 고정된다. 일 예로, 주행 레일(122)은 서포트 부재(110)의 하부면 중앙을 따라 고정되므로, 제1 고정 부재(142)는 주행 레일(122)의 일측 또는 양측, 즉, 서포트 부재(110)의 하부면에서 폭 방향의 일측 또는 양측을 따라 고정될 수 있다. The first fixing member 142 has a vertically extending bar shape and its upper end is fixed to the support member 110. At this time, it is fixed to one side or both sides of the running rail 122 on the lower surface of the support member 110. The first fixing member 142 is fixed to one side or both sides of the running rail 122, that is, the lower side of the support member 110 It may be fixed along one side or both sides in the width direction on the surface.

서포트 부재(110)에서 제1 고정 부재(142)의 고정 위치와 주행 레일(122)의 고정 위치가 서로 다르므로, 버퍼 유닛(130)으로 인한 하중과 OHT(120)로 인한 하중이 서포트 부재(110)의 한 부위에 집중되지 않고 분산될 수 있다. 그러므로, 버퍼 유닛(130)과 OHT(120)가 서포트 부재(110)에 안정적으로 고정될 수 있다. The load due to the buffer unit 130 and the load due to the OHT 120 are applied to the support member 110 by the support member 110 and the drive rail 122, 110). ≪ / RTI > Therefore, the buffer unit 130 and the OHT 120 can be stably fixed to the support member 110. [

제2 고정 부재(144)는 제1 고정 부재(142)의 하단부에 고정된 상태로 버퍼 유닛(130)과 체결되어 버퍼 유닛(130)을 고정한다. The second fixing member 144 is fixed to the buffer unit 130 while being fixed to the lower end of the first fixing member 142 to fix the buffer unit 130.

제2 고정 부재(144)는 대략 ‘ㄱ’자 모양을 가질 수 있다. 제1 고정 부재(142)의 하단부가 제1 고정 부재(114)의 상단부를 관통하여 고정될 수 있다. The second fixing member 144 may have a substantially " a " shape. The lower end of the first fixing member 142 may be fixed through the upper end of the first fixing member 114.

제2 고정 부재(144)는 상기 상단부와 반대되는 하단부 내측면에 가로 부재(132)와 평행한 방향, 즉, 수평 방향을 따라 형성되는 홈(145)을 갖는다. 홈(145)에는 버퍼 유닛(130)의 가로 부재(132)가 삽입될 수 있다. The second fixing member 144 has a groove 145 formed on the inner surface of the lower end portion opposite to the upper end portion in a direction parallel to the horizontal member 132, that is, along the horizontal direction. The transverse member 132 of the buffer unit 130 can be inserted into the groove 145.

제2 고정 부재(144)는 가로 부재(132)의 상기 수평 방향 이동을 가이드할 수 있다. 따라서, 버퍼 유닛(130)이 제2 고정 부재(144)에 고정되는 위치를 조절할 수 있다. 공간적인 제약 등의 원인에 따라 필요한 경우 버퍼 유닛(130)의 위치를 용이하게 변경할 수 있으므로, 버퍼 유닛(130)의 설치 자유도를 높일 수 있다. The second fixing member 144 can guide the horizontal movement of the lateral member 132. [ Accordingly, the position of the buffer unit 130 fixed to the second fixing member 144 can be adjusted. It is possible to easily change the position of the buffer unit 130, if necessary, depending on the cause of spatial constraints and the like, so that the degree of freedom of installing the buffer unit 130 can be increased.

고정 부재(140)는 체결 나사(146)를 더 포함할 수 있다. The fixing member 140 may further include a fastening screw 146.

체결 나사(146)는 제2 고정 부재(144)가 버퍼 유닛(130)을 고정하는 위치를 조절할 수 있도록 가로 부재(132)의 장홈(133)을 관통하여 제2 고정 부재(144)와 체결된다. 체결 나사(146)의 예로는 나사, 볼트와 너트 등을 들 수 있다. 따라서, 체결 나사(146)는 가로 부재(132)와 제2 고정 부재(144)를 결합한다. The fastening screw 146 is fastened to the second fixing member 144 through the groove 133 of the lateral member 132 so that the second fixing member 144 can adjust the position where the buffer unit 130 is fixed . Examples of the fastening screw 146 include screws, bolts and nuts. Thus, the fastening screw 146 engages the transverse member 132 and the second fastening member 144.

체결 나사(146)가 가로 부재(132)와 제2 고정 부재(144)의 결합을 해제한 상태에서 가로 부재(132)가 제2 고정 부재(144)의 홈(145)을 따라 이동한다. The transverse member 132 moves along the groove 145 of the second fixing member 144 in a state where the fastening screw 146 releases the engagement between the transverse member 132 and the second fixing member 144.

가로 부재(132)가 제2 고정 부재(144)의 홈(145)을 따라 이동하여 제2 고정 부재(144)에 고정될 부위에 위치한 상태에서 체결 나사(146)가 가로 부재(132)와 제2 고정 부재(144)를 체결한다. When the transverse member 132 moves along the groove 145 of the second fixing member 144 and is positioned at a position where the transverse member 132 is to be fixed to the second fixing member 144, 2 Fasten the fixing member 144.

상기와 같이 캐리어 이송 장치(100)는 서포트 부재(110)에서 버퍼 유닛(130)을 고정하는 고정 부재(140)들 및 OHT(120)의 주행 레일(122)이 같이 고정할 수 있다. OHT(120) 및 버퍼 유닛(130)을 고정하기 위한 서포트 부재(110)를 추가로 구비할 필요가 없으므로, 캐리어 이송 장치(100)의 설치 비용을 절감할 수 있다. As described above, in the carrier transporting apparatus 100, the fixing members 140 for fixing the buffer unit 130 in the support member 110 and the running rail 122 of the OHT 120 can be fixed together. It is not necessary to additionally provide a support member 110 for fixing the OHT 120 and the buffer unit 130, so that the installation cost of the carrier transporting apparatus 100 can be reduced.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 이송 장치는 OHT와 버퍼 유닛을 하나의 서포트 부재에 고정하므로, 상기 캐리어 이송 장치의 설치 비용을 절감할 수 있다. As described above, according to the carrier transporting apparatus of the present invention, since the OHT and the buffer unit are fixed to one support member, the installation cost of the carrier transporting apparatus can be reduced.

또한, 상기 버퍼 유닛이 고정 부재에 의해 가이드되면서 수평 방향으로 이동할 수 있으므로, 상기 버퍼 유닛의 고정 위치를 용이하게 변경할 수 있다. 따라서, 상기 버퍼 유닛의 설치 자유도를 높일 수 있다. Further, since the buffer unit can be moved in the horizontal direction while being guided by the fixing member, the fixing position of the buffer unit can be easily changed. Therefore, the degree of freedom of installing the buffer unit can be increased.

그리고, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지므로, 필요에 따라 상기 버퍼 유닛을 추가로 설치하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 용이하게 확장할 수 있다. Further, since the buffer unit has a size capable of accommodating one carrier, the buffer unit can be additionally provided as needed to easily expand a space for accommodating the carrier.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 캐리어 이송 장치 110 : 서포트 부재
120 : OHT 130 : 버퍼 유닛
140 : 고정 부재 10 : 천장
20 : 캐리어100: carrier transfer device 110: support member
120: OHT 130: buffer unit
140: fixing member 10: ceiling
20: Carrier

Claims (6)

반도체 제조 라인의 천장에 고정되며, 일정한 경로를 따라 구비되며, OHT의 주행 레일을 지지하는 서포트 부재;
상기 주행 레일의 일측 또는 양측에 배치되며 상기 OHT에 의해 이송되는 캐리어를 수납하기 위한 버퍼 유닛; 및
상기 버퍼 유닛을 상기 서포트 부재에 장착하기 위한 고정 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.A support member which is fixed to a ceiling of the semiconductor manufacturing line and is provided along a constant path and supports a running rail of the OHT;
A buffer unit disposed at one side or both sides of the running rail for receiving a carrier transported by the OHT; And
And fixing members for mounting the buffer unit to the support member. 제1항에 있어서, 상기 고정 부재들은,
상단부가 상기 서포트 부재에 고정되며 하방으로 연장하는 다수의 제1 고정 부재들; 및
상기 제1 고정 부재들의 하단부에 고정된 상태로 상기 버퍼 유닛과 체결되어 상기 버퍼 유닛을 고정하는 제2 고정 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.2. The apparatus according to claim 1,
A plurality of first fixing members whose upper ends are fixed to the support member and extend downward; And
And a second fixing member fastened to the buffer unit in a state of being fixed to a lower end of the first fixing members to fix the buffer unit. 제2항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은 상단부에 수평 방향을 따라 연장하는 장홈을 가지며,
상기 고정 부재들은 상기 제2 고정 부재들이 상기 버퍼 유닛을 고정하는 위치를 조절할 수 있도록 상기 장홈을 관통하여 상기 제2 고정 부재들과 체결되는 체결 나사를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.[3] The apparatus of claim 2, wherein the buffer unit has a groove extending in a horizontal direction at an upper end thereof,
Wherein the fixing members further include a fastening screw threaded through the elongated groove and fastened to the second fastening members so that the position of the second fastening members fixing the buffer unit can be adjusted. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 유닛은 하나의 캐리어를 수납할 수 있는 크기를 가지며, 상기 버퍼 유닛을 추가로 결합하여 상기 캐리어를 수납하기 위한 공간을 확장하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The carrier transporting apparatus according to claim 1, wherein the buffer unit has a size capable of accommodating one carrier, and further expands a space for accommodating the carrier by further coupling the buffer unit. 제1항에 있어서, 상기 서포트 부재는 상기 고정 부재들 및 상기 버퍼 유닛이 장착되는 영역에서는 상대적으로 넓은 폭을 가지며, 나머지 부분에서는 상대적으로 좁은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치. The carrier transporting apparatus according to claim 1, wherein the support member has a relatively wide width in a region where the fixing members and the buffer unit are mounted, and has a relatively narrow width in the remaining portion. 제1항에 있어서, 상기 고정 부재들이 상기 서포트 부재에 고정되는 위치와 다른 위치에서 상기 서포트 부재에 고정되며, 상기 서포트 부재를 따라 구비되는 주행 레일, 상기 주행 레일을 따라 이동하는 주행부 및 상기 주행부에 결합되어 캐리어를 착탈 가능하도록 파지하여 수평 및 상하 이동시키는 그립부를 포함하는 OHT를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 장치.The vehicle according to claim 1, further comprising: a traveling rail fixed to the support member at a position different from a position where the fixing members are fixed to the support member, the traveling rail being provided along the support member, And a grip portion for gripping the carrier so as to be detachable so as to horizontally and vertically move the carrier.
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