KR20230021950A - 약액 토출 장치 - Google Patents
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Abstract
약액 토출 장치는 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출시키기 위한 약액을 수용하는 레저버, 상기 잉크젯 헤드들 각각에 약액을 공급할 수 있게 구비되는 약액 공급부, 및 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 상기 잉크젯 헤드들 각각으로부터 상기 레저버로 회수할 수 있게 구비되는 약액 회수부를 포함하고, 특히 상기 약액이 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 순환될 때 상기 약액 공급부, 상기 잉크젯 헤드들 각각 및 상기 약액 회수부로 이루어지는 상기 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이는 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어질 수 있다.
Description
본 발명은 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들을 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판에 형성된 픽셀들 각각에 RGB 잉크 등과 같은 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행할 수 있다.
약액 토출 공정은 잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드를 통하여 토출시키기 위한 약액을 수용하는 레저버, 잉크젯 헤드에 약액을 공급할 수 있게 구비되는 약액 공급부, 잉크젯 헤드를 통하여 토출되지 않은 약액을 잉크젯 헤드로부터 레저버로 회수할 수 있게 구비되는 약액 회수부를 포함하는 약액 토출 장치를 사용함에 의해 이루어질 수 있다.
최근의 약액 토출 장치에는 적어도 두 개의 잉크젯 헤드들이 구비될 수 있기에 약액 공급부 및 약액 회수부 또한 잉크젯 헤드들 개수만큼 마련하여 연결시켜야 하고, 밸브 등과 같은 부재들 까지도 상대적으로 많은 개수를 갖도록 구비해야 하기 때문에 구조적으로 복잡해지고, 무거워지는 등등의 문제점이 있다.
언급한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 목적은 적어도 두 개의 잉크젯 헤드들을 구비함에도 불구하고 간단한 구조를 갖는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 토출 장치는 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출시키기 위한 약액을 수용하는 레저버, 상기 잉크젯 헤드들 각각에 약액을 공급할 수 있게 구비되는 약액 공급부, 및 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 상기 잉크젯 헤드들 각각으로부터 상기 레저버로 회수할 수 있게 구비되는 약액 회수부를 포함하고, 특히 상기 약액이 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 순환될 때 상기 약액 공급부, 상기 잉크젯 헤드들 각각 및 상기 약액 회수부로 이루어지는 상기 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이는 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로의 상기 약액의 공급 및 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로의 상기 약액의 회수시 상기 약액을 펌핑하도록 구비되는 약액 펌핑부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드가 비어 있을 경우 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때 상기 약액 공급부 또는/및 상기 약액 회수부에 상기 약액을 흡입하도록 구비되는 흡입력 제공부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 흡입력 제공부는 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때에만 개방되고, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출시키거나 또는/및 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 상기 약액을 순환시킬 때에는 폐쇄되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부 모두는 동일한 직경을 갖도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출할 때 상기 잉크젯 헤드들 각각에서의 노즐들 각각이 메니스커스 상태를 유지할 수 있게 상기 레저버에 가해지는 음압을 조정하도록 구비되는 음압 조정부를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 토출 장치는 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출시키기 위한 약액을 수용하는 레저버, 상기 잉크젯 헤드를 각각에 상기 약액을 공급할 수 있게 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측을 지나서 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측까지 연장됨과 아울러 상기 잉크젯 헤드들 일측 각각으로 분기 연결되는 약액 공급부, 및 상기 잉크젯 헤드들 각각에 공급되는 약액 중 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 상기 잉크젯 헤드들 각각으로부터 회수할 수 있게 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측으로부터 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장됨과 아울러 상기 잉크젯 헤드들 타측 각각으로 분기 연결되는 약액 회수부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액이 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드 각각을 경유하여 다시 상기 레저버로 순환될 수 있게 상기 약액 회수부는 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나서 상기 레버저에 연결되게 연장되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로의 상기 약액의 공급 및 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로의 상기 약액의 회수시 상기 약액을 펌핑하도록 구비되는 약액 펌핑부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 펌핑부는 상기 약액 회수부에 구비되되, 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장되는 쪽에 배치되게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드가 비어 있을 경우 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때 상기 약액 공급부 또는/및 상기 약액 회수부에 상기 약액을 흡입하도록 구비되는 흡입력 제공부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 흡입력 제공부는 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측에서의 상기 약액 공급부와 연결되는 제1 연결 라인 및 상기 제1 연결 라인을 개폐시키는 제1 밸브를 갖도록 구비되는 제1 흡입력 제공부 또는/및 상기 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측에서의 상기 약액 회수부와 연결되는 제2 연결 라인 및 상기 제2 연결 라인을 개폐시키는 제2 밸브를 갖도록 구비되는 제2 흡입력 제공부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브는 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때에만 개방되고, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출시키거나 또는/및 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 상기 약액을 순환시킬 때에는 폐쇄되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부 모두는 동일한 직경을 갖도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출할 때 상기 잉크젯 헤드들 각각에서의 노즐들 각각이 메니스커스 상태를 유지할 수 있게 상기 레저버에 가해지는 음압을 조정하도록 구비되는 음압 조정부를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 약액 토출 장치는 적어도 두 개가 병렬 배치되게 구비되는 잉크젯 헤드들, 상기 잉크젯 헤드들 각각으로 순환시키기 위한 약액을 수용하는 레저버, 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 공급할 수 있게 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 일측을 지나서 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 일측까지로 연장되는 공급 라인, 및 상기 잉크젯 헤드들 일측 각각에 연결될 수 있게 상기 공급 라인으로부터 상기 잉크젯 헤드들 일측 각각으로 분기되는 공급 분기 라인들로 이루어지는 약액 공급부, 및 상기 잉크젯 헤드들 각각에 공급되는 약액 중 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 상기 잉크젯 헤드들 각각으로부터 회수할 수 있게 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 타측을 지나서 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 타측까지로 연장되는 회수 라인, 및 상기 잉크젯 헤드들 타측 각각에 연결될 수 있게 상기 회수 라인으로부터 상기 잉크젯 헤드들 타측 각각으로 분기되는 회수 분기 라인들로 이루어지되, 상기 약액이 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드 각각을 경유하여 다시 상기 레저버로 순환될 수 있게 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나서 상기 레버저에 연결되게 연장되도록 구비되는 약액 회수부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로의 상기 약액의 공급 및 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로의 상기 약액의 회수시 상기 약액을 펌핑할 수 있게 상기 약액 회수부 중에서 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장되는 쪽에 구비되는 약액 펌핑부를 더 포함할 수 있다.
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예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부 모두는 동일한 직경을 갖도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출할 때 상기 잉크젯 헤드들 각각에서의 노즐들 각각이 메니스커스 상태를 유지할 수 있게 상기 레저버에 가해지는 음압을 조정하도록 구비되는 음압 조정부를 더 포함할 수 있다.
상기 본 발명의 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 적어도 두 개의 잉크젯 헤드들에 약액 공급부 및 약액 회수부 각각을 동일 라인 구조를 갖도록 구비하여 연결할 수 있기 때문에 장치적 구조를 보다 간단하게 할 수 있다.
이에, 본 발명의 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 장치적 구조를 보다 간단하게 구비할 수 있기 때문에 비용적인 측면에서 상대적으로 유리할 수 있을 뿐만 아니라 공간적인 측면에서도 상대적으로 유리할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 대한 비교예를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 대한 비교예를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판에 형성된 픽셀들 각각에 RGB 잉크 등과 같은 약액을 토출하기 위한 것으로써, 잉크젯 헤드들(11), 레저버(reserver)(13), 약액 공급부(15), 약액 회수부(17), 약액 펌핑부(19), 흡입력 제공부(21), 음압 조정부(23) 등을 갖도록 구비될 수 있다.
잉크젯 헤드들(11) 각각에는 약액을 토출하기 위한 다수개의 노즐들을 갖도록 구비될 수 있는데, 일예로 다수개의 노즐들은 128개 또는 256개가 구비될 수 있고, 일정 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출하도록 구비될 수 있다.
또한, 다수개의 노즐들 각각에는 노즐들 각각에 대응하는 수만큼의 압전 소자들이 구비될 수 있고, 이에 압전 소자들 각각의 동작에 의해 노즐들 각각을 통하여 약액을 토출시키도록 구비될 수 있고, 노즐들 각각으로부터 토출되는 약액의 토출량은 압전 소자들 각각에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절되도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들(11)을 갖도록 구비될 수 있는데, 일예로 도시된 바와 같이 5개의 잉크젯 헤드들(11)이 나란하게 병렬 배치되도록 구비될 수도 있다.
레저버(13)는 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 토출시키기 위한 약액을 수용하도록 구비될 수 있는 것으로써, 외부에 배치되는 캐니스터(canister) 등과 같은 약액 공급 탱크로부터 약액을 공급받아 수용하는 구성을 갖도록 구비될 수 있다.
레저버(13)는 약액 공급 탱크로부터 약액을 공급받아 수용함과 아울러 약액 토출 공정의 수행시 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 공급하도록 구비될 수 있고, 나아가 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 회수하여 수용하도록 구비될 수도 있다.
약액 공급부(15)는 잉크젯 헤드들(11) 각각으로 약액을 공급할 수 있게 잉크젯 헤드들(11)에 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 약액 회수부(17)는 잉크젯 헤드들(11) 각각으로부터 약액을 회수할 수 있게 잉크젯 헤드들(11)에 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 공급부(15) 및 약액 회수부(17)를 구비함으로써 약액 공급부(15)로부터 잉크젯 헤드를 각각을 경유하여 약액 회수부(17)로 약액이 순환되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 약액 회수부(17)는 약액 공급로부터 잉크젯 헤드들(11) 각각으로 공급됨에도 불구하고 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 잉크젯 헤드들(11) 각각으로부터 레저버(13)로 회수할 수 있게 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 레저버(13)로부터 약액 공급부(15)를 통하여 잉크젯 헤드들(11) 각각으로 약액을 공급할 수 있게 구비될 수 있고, 잉크젯 헤드들(11) 각각으로 공급되는 약액은 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 기판으로 토출됨과 아울러 기판으로 토출되지 않은 약액은 잉크젯 헤드들(11) 각각으로부터 레저버(13)로 회수할 수 있게 구비될 수 있다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시에들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액이 약액 공급부(15)로부터 잉크젯 헤드들(11) 각각을 경유하여 약액 회수부(17)로 순환될 때 약액 공급부(15), 잉크젯 헤드들(11) 각각 및 약액 회수부(17)로 이루어지는 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이는 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어질 수 있다.
이하, 약액 공급부, 잉크젯 헤드들 각각 및 약액 회수부로 이루어지는 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이가 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어지는 구조에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
약액 공급부(15)는 잉크젯 헤드를 각각에 약액을 공급할 수 있게 레저버(13)로부터 잉크젯 헤드들(11) 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측을 지나서 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측까지 연장됨과 아울러 잉크젯 헤드들(11) 일측 각각으로 분기 연결되도록 구비될 수 있다.
약액 공급부(15)는 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 공급할 수 있게 레저버(13)로부터 잉크젯 헤드들(11) 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 일측을 지나서 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 일측까지로 연장되는 공급 라인(151), 및 잉크젯 헤드들(11) 일측 각각에 연결될 수 있게 공급 라인(151)으로부터 잉크젯 헤드들(11) 일측 각각으로 분기되는 공급 분기 라인(153)들로 이루어질 수 있다.
약액 회수부(17)는 잉크젯 헤드들(11) 각각에 공급되는 약액 중 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 잉크젯 헤드들(11) 각각으로부터 회수할 수 있게 잉크젯 헤드들(11) 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측으로부터 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장됨과 아울러 잉크젯 헤드들(11) 타측 각각으로 분기 연결되도록 구비될 수 있다.
약액 회수부(17)는 잉크젯 헤드들(11) 각각에 공급되는 약액 중 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 잉크젯 헤드들(11) 각각으로부터 회수할 수 있게 레저버(13)로부터 잉크젯 헤드들(11) 중 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 타측을 지나서 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 타측까지로 연장되는 회수 라인(171), 및 잉크젯 헤드들(11) 타측 각각에 연결될 수 있게 회수 라인(171)으로부터 잉크젯 헤드들(11) 타측 각각으로 분기되는 회수 분기 라인(173)들로 이루어질 수 있는데, 특히 약액이 레저버(13)로부터 잉크젯 헤드 각각을 경유하여 다시 상기 레저버(13)로 순환될 수 있게 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나서 레버저에 연결되게 연장되도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 언급한 바와 같이 약액 공급부(15), 잉크젯 헤드들(11) 각각 및 약액 회수부(17)로 이루어지는 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이가 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어질 수 있는 것이다.
실제로, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 도 2에서와 같이 공급 라인 및 공급 분기 라인으로부터 H1에 해당하는 잉크젯 헤드의 일측 ① 및 타측 ⑥을 경유하여 회수 분기 라인 및 회수 라인으로 이루어지는 약액의 순환 경로, 공급 라인 및 공급 분기 라인으로부터 H2에 해당하는 잉크젯 헤드의 일측 ② 및 타측 ⑦을 경유하여 회수 분기 라인 및 회수 라인으로 이루어지는 약액의 순환 경로, 공급 라인 및 공급 분기 라인으로부터 H3에 해당하는 잉크젯 헤드의 일측 ③ 및 타측 ⑧을 경유하여 회수 분기 라인 및 회수 라인으로 이루어지는 약액의 순환 경로, 공급 라인 및 공급 분기 라인으로부터 H4에 해당하는 잉크젯 헤드의 일측 ④ 및 타측 ⑨를 경유하여 회수 분기 라인 및 회수 라인으로 이루어지는 약액의 순환 경로, 그리고 공급 라인 및 공급 분기 라인으로부터 H4에 해당하는 잉크젯 헤드의 일측 ⑤ 및 타측 ⑩을 경유하여 회수 분기 라인 및 회수 라인으로 이루어지는 약액의 순환 경로 각각에 대한 길이가 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어짐을 확인할 수 있다.
약액의 순환 경로의 길이에 대한 비교예
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 대한 비교예를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에서와 같이 5개의 잉크젯 헤드들(31)이 병렬 배치됨에도 불구하고 약액 공급부(35)로부터 잉크젯 헤드들(31) 각각을 경유하여 약액 회수부(37)로 순환될 때 약액 공급부(35), 잉크젯 헤드들(31) 각각 및 약액 회수부(37)로 이루어지는 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이가 서로 다른 길이를 갖도록 이루어짐을 확인할 수 있다.
즉, H6에 해당하는 잉크젯 헤드를 경유하는 약액의 순환 경로, H7에 해당하는 잉크젯 헤드를 경유하는 약액의 순환 경로, H8에 해당하는 잉크젯 헤드를 경유하는 약액의 순환 경로, H9에 해당하는 잉크젯 헤드를 경유하는 약액의 순환 경로, 그리고 H10에 해당하는 잉크젯 헤드를 경유하는 약액의 순환 경로 각각이 서로 다른 길이를 갖는 것을 확인함은 물론이고, H6에 해당하는 잉크젯 헤드를 경유하는 약액의 순환 경로로부터 H10에 해당하는 잉크젯 헤드를 경유하는 약액의 순환 경로로 갈수록 길어지는 것을 확인할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 적어도 두 개의 잉크젯 헤드들(11)이 병렬 배치되게 구비됨에도 불구하고 약액 공급부(15), 잉크젯 헤드들(11) 각각 및 약액 회수부(17)로 이루어지는 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이가 서로 동일한 길이를 갖도록 구비할 수 있고, 특히 약액 공급부(15) 및 약액 회수부(17) 각각을 동일 라인 구조를 갖도록 구비하여 잉크젯 헤드들(11) 일측 및 타측 각각에 분기 연결할 수 있기 때문에 잉크젯 헤드들(11) 개수만큼 약액 공급부(15) 및 약액 회수부(17)를 마련하여 연결시키는 것에 비해 장치적 구조를 보다 간단하게 할 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 약액 공급부(15) 및 약액 회수부(17) 모두는 동일한 직경을 갖도록 이루어질 수 있는 것으로써, 공급 라인(151), 공급 분기 라인(153), 회수 라인(171) 및 회수 분기 라인(173) 모두가 동일한 직경을 갖는 배관 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 공급부(15), 잉크젯 헤드들(11) 각각 및 약액 회수부(17)로 이루어지는 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이가 서로 동일한 길이를 갖도록 구비됨과 아울러 약액 공급부(15) 및 약액 회수부(17) 모두가 동일한 직경을 갖도록 구비됨으로써 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들(11) 각각을 순환하는 약액의 유량에 대한 편차를 최소화할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들(11) 각각에 거의 유사한 유량으로 약액을 공급함과 아울러 회수 및 순환시킬 수 있기 때문에 기판으로 토출되는 약액의 유량을 보다 정확하게 제어할 수 있을 것이고, 이에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
약액 펌핑부(19)는 레저버(13)로부터 잉크젯 헤드로의 약액의 공급 및 잉크젯 헤드로부터 약액 회수부(17)로의 약액의 회수시, 즉 약액의 순환을 위하여 약액을 펌핑하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 약액 펌핑부(19)는 약액 회수부(17) 쪽에 배치되게 구비될 수 있는 것으로써, 약액 회수부(17) 중 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장되는 쪽에 배치되게 구비될 수 있다.
약액 펌핑부(19)는 약액 공급부(15), 잉크젯 헤드들(11) 각각, 그리고 약액 회수부(17)에 존재하는 약액을 가압하여 순환 경로를 따라 약액이 순환되도록 구비되는 것으로써, 약액 펌핑부(19)에서의 압력에 의하여 레저버(13)에 수용되는 약액이 약액 공급부(15)로부터 잉크젯 헤드들(11) 각각으로 경유하여 약액 회수부(17)를 통하여 다시 레저버(13)로 회수되는 순환 경로를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 약액 펌핑부(19)를 구비하여 잉크젯 헤드로 공급되는 약액 중 토출되지 않은 약액을 보다 신속하고 용이하게 잉크젯 헤드로부터 회수, 즉 순환시키는 것은 토출되지 않은 약액이 잉크젯 헤드에 계속해서 잔류할 경우 침전물을 형성될 수 있고, 그 결과 약액 토출 공정의 수행시 불량 요인으로 작용할 수 있기 때문이다.
흡입력 제공부(21)는 잉크젯 헤드가 비어 있을 경우 레저버(13)로부터 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 채울 때 약액 공급부(15) 또는/및 약액 회수부(17)에 약액을 흡입하도록 구비될 수 있다.
즉, 흡입력 제공부(21)는 유지보수 등을 수행함에 의해 잉크젯 헤드들(11)이 비어 있는 상태에서 잉크젯 헤드들(11) 각각에 초기 약액을 채울 때 약액 공급부(15) 또는/약액 회수부(17)에 약액을 흡입할 수 있는 흡입력을 제공하도록 구비될 수 있다.
흡입력 제공부(21)는 약액 공급부(15) 쪽에 연결 구비되는 제1 흡입력 제공부 또는/및 약액 회수부(17) 쪽에 연결 구비되는 제2 흡입력 제공부로 이루어질 수 있다.
도시되지 않았지만, 제1 흡입력 제공부는 제1 연결 라인 및 제1 밸브를 갖도록 구비될 수 있는데, 제1 연결 라인은 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측에서의 약액 공급부(15)와 연결되도록 구비될 수 있고, 제1 밸브는 제1 연결 라인을 개폐시키도록 구비될 수 있다.
도시되지 않았지만, 제2 흡입력 제공부는 제2 연결 라인 및 제2 밸브를 갖도록 구비될 수 있는데, 제2 연결 라인은 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측에서의 약액 회수부(17)와 연결되도록 구비될 수 있고, 제2 밸브는 제2 연결 라인을 개폐시키도록 구비될 수 있다.
일예로, 도 2에서와 같이 제1 흡입력 제공부는 H5에 해당하는 잉크젯 헤드의 일측에서의 약액 공급부(15)의 공급 라인으로부터 연장되게 연결되도록 구비될 수 있고, 제2 흡입력 제공부는 H1에 해당하는 잉크젯 헤드의 타측에서의 약액 회수부(17)의 회수 라인(171)으로부터 연장되게 연결되도록 구비될 수 있다.
그리고 제1 밸브 및 제2 밸브는 유지보수 등을 수행함에 의해 잉크젯 헤드들(11) 각각이 비어 있는 상태에서의 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 채울 때에만 개방되도록 구비될 수 있고, 이외에 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 약액을 토출시키거나 또는/및 약액 공급부(15)로부터 잉크젯 헤드들(11) 각각을 경유하여 약액 회수부(17)로 약액을 순환시킬 때에는 폐쇄되도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 흡입력 제공부(21)를 구비하여 비어 있는 상태에서의 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 채울 때 약액 공급부(15) 또는/및 약액 회수부(17) 쪽으로 흡입력을 제공함으로써 잉크젯 헤드들(11) 각각에 보다 신속하게 약액을 채울 수 있을 것이고, 실제로 도 3에서의 H6 내지 H10에 해당하는 잉크젯 헤드들(31) 각각에 약액을 채울 때 시간 대비 도 2에서의 H1 내지 H5에 해당하는 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 채울 때 시간이 약 94%로 줄어드는 것을 확인할 수 있었다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 흡입력 제공부(21)를 구비함으로써 보다 신속하게 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 채울 수 있기 때문에 잉크젯 헤드들(11) 각각에 약액을 채울 때 버려지는 약액의 소모량을 상대적으로 줄일 수도 있다.
음압 조정부(23)는 약액 토출 공정의 수행시 잉크젯 헤드들(11) 각각을 통하여 약액을 토출할 때 잉크젯 헤드들(11) 각각에서의 노즐들 각각이 메니스커스(meniscus) 상태를 유지할 수 있도록 구비되는 것으로써, 레저버(13)에 가해지는 음압을 조정하도록 구비될 수 있다.
음압 조정부(23)는 약액에 가해지는 압력 조정을 통하여 잉크젯 헤드들(11)의 노즐들 각각으로 공급되는 약액이 노즐들 각각의 단부에서 메니스커스 상태를 유지하도록 하여 잉크젯 헤드들(11)의 노즐들 각각으로부터의 의도하지 않은 약액의 토출을 방지하도록 구비되는 것으로써, 언급한 약액에 가해지는 압력 조정은 주로 레저버(13)에 수용되는 약액을 대상으로 이루어지게 구비될 수 있다.
이에, 음압 조정부(23)는 약액이 수용되는 레저버(13) 내부의 압력을 조정하도록 구비될 수 있는데, 그 예로서는 레저버(13)에 흡인력을 제공하여 레저버(13)의 내부 압력을 감소시킬 수 있는 진공 펌프 등을 들 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 음압을 유지하고 있는 상태에서 약액 펌핑부(19)의 펌핑 동작을 통하여 잉크젯 헤드들(11) 각각을 경유하도록 약액을 순환시킴과 아울러 노즐들 각각에 구비되는 압전 소자에 인가되는 전압의 제어를 통하여 기판으로 약액을 토출할 수 있다.
잉크젯 헤드들 각각에서의 유량에 대한 실험예
먼저, 약액 공급부 및 약액 회수부 모두가 약 4Φ 의 직경을 갖도록 구비됨과 아울러 도 2에서와 같이 5개의 잉크젯 헤드들이 하나의 팩 단위를 갖도록 구비되는 약액 토출 장치를 대상으로 약 -3,500pa의 음압을 유지한 상태에서 분당 약 6.3cc의 약액이 순환되도록 하였다.
실험 결과, H1에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ①에서의 유량은 분당 약 1.525cc임을 확인할 수 있었고, H2에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ②에서의 유량은 분당 약 1.126cc임을 확인할 수 있었고, H3에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ③에서의 유량은 분당 약 1.002cc임을 확인할 수 있었고, H4에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ④에서의 유량은 분당 약 1.124cc임을 확인할 수 있었고, H5에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ⑤에서의 유량은 분당 약 1.521cc임을 확인할 수 있었다.
그리고 약액 공급부 및 약액 회수부 모두가 약 6Φ 의 직경을 갖도록 구비됨과 아울러 도 2에서와 같이 5개의 잉크젯 헤드들이 하나의 팩 단위를 갖도록 구비되는 약액 토출 장치를 대상으로 약 -3,500pa의 음압을 유지한 상태에서 분당 약 6.7cc의 약액이 순환되도록 하였다.
실험 결과, H1에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ①에서의 유량은 분당 약 1.390cc임을 확인할 수 있었고, H2에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ②에서의 유량은 분당 약 1.302cc임을 확인할 수 있었고, H3에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ③에서의 유량은 분당 약 1.277cc임을 확인할 수 있었고, H4에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ④에서의 유량은 분당 약 1.307cc임을 확인할 수 있었고, H5에 해당되는 잉크젯 헤드의 일측 ⑤에서의 유량은 분당 약 1.391cc임을 확인할 수 있었다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들 각각으로 공급되는 약액의 유량이 거의 유사함을 확인할 수 있었고, 그 결과 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들 각각을 순환하는 약액의 유량에 대한 편차 또한 최소화를 달성할 수 있음을 확인할 수 있었다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11, 31 : 잉크젯 헤드들 13 : 레저버
15, 35 : 약액 공급부 17, 37 : 약액 회수부
19 : 약액 펌핑부 21 : 흡입력 제공부
23 : 음압 조정부 100 : 약액 토출 장치
151 : 공급 라인 153 : 공급 분기 라인
171 : 회수 라인 173 : 회수 분기 라인
15, 35 : 약액 공급부 17, 37 : 약액 회수부
19 : 약액 펌핑부 21 : 흡입력 제공부
23 : 음압 조정부 100 : 약액 토출 장치
151 : 공급 라인 153 : 공급 분기 라인
171 : 회수 라인 173 : 회수 분기 라인
Claims (20)
- 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들;
상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출시키기 위한 약액을 수용하는 레저버;
상기 잉크젯 헤드들 각각에 약액을 공급할 수 있게 구비되는 약액 공급부; 및
상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 상기 잉크젯 헤드들 각각으로부터 상기 레저버로 회수할 수 있게 구비되는 약액 회수부를 포함하되,
상기 약액이 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 순환될 때 상기 약액 공급부, 상기 잉크젯 헤드들 각각 및 상기 약액 회수부로 이루어지는 상기 약액의 순환 경로들 각각에 대한 길이는 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로의 상기 약액의 공급 및 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로의 상기 약액의 회수시 상기 약액을 펌핑하도록 구비되는 약액 펌핑부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드가 비어 있을 경우 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때 상기 약액 공급부 또는/및 상기 약액 회수부에 상기 약액을 흡입하도록 구비되는 흡입력 제공부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제3 항에 있어서,
상기 흡입력 제공부는 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때에만 개방되고, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출시키거나 또는/및 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 상기 약액을 순환시킬 때에는 폐쇄되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부 모두는 동일한 직경을 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출할 때 상기 잉크젯 헤드들 각각에서의 노즐들 각각이 메니스커스 상태를 유지할 수 있게 상기 레저버에 가해지는 음압을 조정하도록 구비되는 음압 조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 적어도 두 개가 병렬 배치되는 잉크젯 헤드들;
상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출시키기 위한 약액을 수용하는 레저버;
상기 잉크젯 헤드를 각각에 상기 약액을 공급할 수 있게 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측을 지나서 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측까지 연장됨과 아울러 상기 잉크젯 헤드들 일측 각각으로 분기 연결되는 약액 공급부; 및
상기 잉크젯 헤드들 각각에 공급되는 약액 중 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 상기 잉크젯 헤드들 각각으로부터 회수할 수 있게 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측으로부터 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장됨과 아울러 상기 잉크젯 헤드들 타측 각각으로 분기 연결되는 약액 회수부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제7 항에 있어서,
상기 약액이 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드 각각을 경유하여 다시 상기 레저버로 순환될 수 있게 상기 약액 회수부는 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나서 상기 레버저에 연결되게 연장되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제7 항에 있어서,
상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로의 상기 약액의 공급 및 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로의 상기 약액의 회수시 상기 약액을 펌핑하도록 구비되는 약액 펌핑부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제9 항에 있어서,
상기 약액 펌핑부는 상기 약액 회수부에 구비되되, 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장되는 쪽에 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제7 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드가 비어 있을 경우 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때 상기 약액 공급부 또는/및 상기 약액 회수부에 상기 약액을 흡입하도록 구비되는 흡입력 제공부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제11 항에 있어서,
상기 흡입력 제공부는 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측에서의 상기 약액 공급부와 연결되는 제1 연결 라인 및 상기 제1 연결 라인을 개폐시키는 제1 밸브를 갖도록 구비되는 제1 흡입력 제공부 또는/및 상기 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측에서의 상기 약액 회수부와 연결되는 제2 연결 라인 및 상기 제2 연결 라인을 개폐시키는 제2 밸브를 갖도록 구비되는 제2 흡입력 제공부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브는 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때에만 개방되고, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출시키거나 또는/및 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 상기 약액을 순환시킬 때에는 폐쇄되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제7 항에 있어서,
상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부 모두는 동일한 직경을 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제7 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출할 때 상기 잉크젯 헤드들 각각에서의 노즐들 각각이 메니스커스 상태를 유지할 수 있게 상기 레저버에 가해지는 음압을 조정하도록 구비되는 음압 조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 적어도 두 개가 병렬 배치되게 구비되는 잉크젯 헤드들;
상기 잉크젯 헤드들 각각으로 순환시키기 위한 약액을 수용하는 레저버;
상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 공급할 수 있게 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 일측을 지나서 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 일측까지로 연장되는 공급 라인, 및 상기 잉크젯 헤드들 일측 각각에 연결될 수 있게 상기 공급 라인으로부터 상기 잉크젯 헤드들 일측 각각으로 분기되는 공급 분기 라인들로 이루어지는 약액 공급부;
상기 잉크젯 헤드들 각각에 공급되는 약액 중 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 토출되지 않은 약액을 상기 잉크젯 헤드들 각각으로부터 회수할 수 있게 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 중 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 타측을 지나서 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드 타측까지로 연장되는 회수 라인, 및 상기 잉크젯 헤드들 타측 각각에 연결될 수 있게 상기 회수 라인으로부터 상기 잉크젯 헤드들 타측 각각으로 분기되는 회수 분기 라인들로 이루어지되, 상기 약액이 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드 각각을 경유하여 다시 상기 레저버로 순환될 수 있게 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나서 상기 레버저에 연결되게 연장되도록 구비되는 약액 회수부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제16 항에 있어서,
상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드로의 상기 약액의 공급 및 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 약액 회수부로의 상기 약액의 회수시 상기 약액을 펌핑할 수 있게 상기 약액 회수부 중에서 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측을 지나도록 연장되는 쪽에 구비되는 약액 펌핑부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제16 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드가 비어 있을 경우 상기 레저버로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때 상기 약액 공급부 또는/및 상기 약액 회수부에 상기 약액을 흡입하도록 구비되되, 상기 가장 뒤쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 일측에서의 상기 약액 공급부와 연결되는 제1 연결 라인 및 상기 제1 연결 라인을 개폐시키는 제1 밸브를 갖도록 구비되는 제1 흡입력 제공부 또는/및 상기 가장 앞쪽에 배치되는 잉크젯 헤드의 타측에서의 상기 약액 회수부와 연결되는 제2 연결 라인 및 상기 제2 연결 라인을 개폐시키는 제2 밸브를 갖도록 구비되는 제2 흡입력 제공부로 이루어지고, 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브는 상기 잉크젯 헤드들 각각에 상기 약액을 채울 때에만 개방되고, 상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출시키거나 또는/및 상기 약액 공급부로부터 상기 잉크젯 헤드들 각각을 경유하여 상기 약액 회수부로 상기 약액을 순환시킬 때에는 폐쇄되도록 구비되는 흡입력 제공부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제16 항에 있어서,
상기 약액 공급부 및 상기 약액 회수부 모두는 동일한 직경을 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치. - 제16 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드들 각각을 통하여 상기 약액을 토출할 때 상기 잉크젯 헤드들 각각에서의 노즐들 각각이 메니스커스 상태를 유지할 수 있게 상기 레저버에 가해지는 음압을 조정하도록 구비되는 음압 조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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