KR20220169306A - 전자부품 핸들러용 픽커핸드 및 그 작동방법 - Google Patents

전자부품 핸들러용 픽커핸드 및 그 작동방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자부품 핸들러용 픽커핸드에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전자부품 핸들러용 픽커핸드는 픽커와 전자부품 간의 충격량을 저감시키기 위한 충격 저감기를 가진다.
본 발명에 따르면 충격 저감기의 작동에 의해 픽커와 전자부품 간의 충격이 최소화되기 때문에 전자부품의 손상의 확실히 줄일 수 있는 상승된 효과가 있다.

Description

전자부품 핸들러용 픽커핸드 및 그 작동방법{PICKER HAND FOR ELECTRONIC COMPONENTS HANDLER AND OPERATING METHOD THEROF}
본 발명은 전자부품 핸들러에서 전자부품을 이동시키는 역할을 담당하는 픽커핸드에 관한 것이다.
생산된 전자부품(예를 들면, SSD, 회로기판, 반도체소자 등)들은 여러 가지 처리 공정(예를 들면, 테스트 공정이나 분류 공정 등)을 거쳐 출하된다. 따라서 전자부품을 처리하는 공정에서 전자부품을 다루기 위한 전자부품 핸들러가 사용된다.
전자부품 핸들러는 처리 공정을 위해 적어도 1개 이상의 픽커핸드를 가진다.
픽커핸드는 전자부품을 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 구성으로서, 일 측 적재요소(각종 트레이, 적재테이블, 쉽핑박스 등)에서 타 측 적재요소로 이동시키는 역할을 담당한다. 이를 위해 픽커핸드는 전자부품을 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 1개 이상의 픽커를 가진다.
픽커는 전자부품의 크기나 그 적재 방식에 따라 다양한 파지 방식이나 구조를 가질 수 있다. 특히 넓적한 면이 상하 방향으로 향하도록 와상으로 적재되는 전자부품(예를 들어 메모리 반도체소자)을 이동시키기 위한 픽커는 전자부품의 상면을 진공압에 의해 흡착 파지하는 방식과 구조를 취한다. 본 발명은 이렇게 전자부품의 상면을 진공압에 의해 흡착 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 픽커가 적용된 경우에 유용하게 사용될 수 있는 픽커핸드에 관한 발명이다.
한편, 픽커가 진공압에 의해 전자부품을 파지하기 위해서는 픽커의 흡착패드가 전자부품에 접촉할 필요가 있다. 이 때, 픽커가 전자부품을 접촉하는 과정에서 전자부품을 가격 또는 가압하는 과정에서 충격하중이 발생할 수 있다. 그리고 그러한 충격 하중에 의해 전자부품에 치명적인 손상(깨짐, 단자의 찌그러짐이나 이탈 등)이 발생될 수 있다.
일반적으로 핸들러의 성능은 같은 시간 내에 얼마나 많은 전자부품을 처리할 수 있는지에 의해 좌우되기 때문에, 픽커의 수평 또는 수직 이동 속도는 최대한 신속할 필요가 있다. 그러하다보니, 픽커가 전자부품에 접촉될 때의 이동 관정에 의해 발생되는 충격하중 또한 크게 발생하며, 그 만큼 더 전자부품의 손상 위험이 증대되고 있다.
더군다나, 포켓리브(전자부품이 정위치에 제대로 안착되지 못하고 불량하게 안착되어서 기울어져 있거나 일정 정도 이탈되어서 상하 위치가 적절하지 못하는 상황)의 경우에는, 픽커와 전자부품의 접촉과정에서 전자부품에 가해지는 충격하중이 훨씬 더 크다. 그리고 그로 인해 전자부품의 깨짐이나 단자의 불량 유발 외에도 깨진 조각들이 다른 위치나 구성품들로 흩어져서 핸들러 전체의 작동에 불량을 일으키게 되는 치명적인 현상까지도 발생된다.
그래서 그러한 손상을 방지하기 위해 다양한 방식들이 제안되고 있다.
첫째, 전자부품을 파지하는 과정에서 이루어지는 픽커의 이동 속도를 줄이는 방식이 고려될 수 있다. 그런데, 이러한 방식은 핸들러의 전체 처리 용량을 떨어트리기 때문에 적용이 곤란하다.
둘째, 픽커와 전자부품의 접촉 직전에만 픽커의 이동속도를 급격히 줄이는 방식을 고려해볼 수 있다. 그런데, 이러한 방식은 수없이 반복되는 급제동에 의해 핸들러 전체에 무리한 충격과 진동을 발생시켜서 내구성을 위협한다.
또한, 일정 위치에서 픽커의 이동 속도를 급감시키기 위한 제어가 어려워서 그만큼 픽커핸드의 정밀성을 떨어트린다. 즉, 전자부품과의 접촉 과정에서 픽커의 이동거리는 수Cm에서 수mm에 이르는 정도로 그리 길지 않은데, 어느 위치에 이르러 급격히 속도를 감소하거나 정지 후 감속된 속도로 이동하도록 제어한다는 것은 매우 곤란할 수 있다. 예를 들어, 픽커가 전자부품을 파지하기 위한 다수의 티칭점들에서의 모든 위치값에 따른 제어, 이동 중 회피해야만 하는 영역상에 존재하는 각종 타 구성품들 과의 간섭 배제를 위한 제어, 티칭 영역별 픽커의 이동거리에 따른 제어, 접촉충격을 최소화하면서도 물류 속도의 감소도 최소화 할 수 있는 위치값에 따른 제어 등이 모두 고려되어야만 한다. 그리고 그러한 제어에 필요한 모든 데이터들을 프로그램에 입력해야만 하며, 프로그램적 오류나 기구적 오차가 없이 작동되어야만 한다. 그런데, 그런 모든 제어를 감안하여 하나의 축으로 이루어진 모터를 순간순간 위치에 따라 속도를 변화하도록 제어한다는 것은 매우 번거롭고 까다로운 것이다.
대한민국 공개특허 10-2021-0037218
본 발명은 다음과 같은 동기에 대한 고민으로부터 안출되었다.
첫째, 물류속도의 저하를 최소화하면서도 전자부품에 가해지는 충격하중을 줄일 수 있어야 한다.
둘째, 제어의 곤란함이 최소화되어야 한다.
셋째, 기술을 구현함에 있어 시간적, 비용적, 구성적 요소가 최소화되어야 한다.
본 발명에 따른 전자부품 핸들러용 픽커핸드는 전자부품을 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 적어도 하나의 픽커를 가지는 적어도 하나의 픽커조립체; 상기 적어도 하나의 픽커조립체를 수평 이동시키는 수평 이동기; 상기 픽커조립체에 일대일 대응되며, 상기 픽커조립체를 승강시키기 위한 적어도 하나의 승강기; 및 상기 픽커와 전자부품의 접촉을 위해, 상기 승강기에 의해 상기 픽커조립체가 하강할 시에 상기 픽커에 의해 전자부품에 가해지는 충격을 저감하기 위한 충격 저감기; 를 포함하며, 상기 픽커는 진공압에 의해 전자부품을 파지하거나 파지를 해제한다.
상기 승강기를 동작시키기 위한 공압전달기; 를 더 포함하고, 상기 승강기는 상기 공압전달기에 의한 공압의 공급과 해제에 의해 상기 픽커조립체를 승강시킬 수 있는 공압실린더로 구비되며, 상기 충격 저감기는 상기 공압전달기와 상기 공압실린더 사이에 게재되며, 상기 공압전달기와 상기 공압실린더 간의 하강유체로(상기 픽커조립체를 하강시키는 방향으로 상기 공압실린더에 유체를 공급하는 유체로임)와 상승유체로(상기 픽커조립체를 상승시키는 방향으로 상기 공압실린더에 유체를 공급하는 유체로임) 중 상기 하강유체로에 적용되어서 상기 하강유체로를 통해 상기 공압실린더로 공급되는 공기압을 선택적으로 감소시킬 수 있는 솔레노이드밸브로 구비된다.
상기 솔레노이드밸브 내의 공기압을 측정하기 위한 공압측정기; 를 더 포함하고, 상기 솔레노이드밸브는 상기 공압측정기에 의해 측정된 공기압이 설정된 압력에 도달되면 상기 공압실린더의 공기압을 저감시키도록 동작할 수 있다.
상기 솔레노이드밸브는 상기 공압실린더에 의해 상기 픽커조립체가 설정된 위치까지 하강하면 상기 공압실린더의 공기압을 저감시키도록 동작할 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 핸들러용 픽커핸드의 작동방법은 적어도 하나의 픽커를 가지는 픽커조립체를 수평 방향으로 이동시켜서 전자부품의 직상방에 위치시키는 제1 수평이동단계; 상기 수평이동단계 후에 공압실린더가 작동하여 픽커조립체를 하강시키는 하강단계; 상기 하강단계 후에 공압실린더의 하강 공압을 감압시킴으로써, 감압된 상태 픽커의 흡착패드가 전자부품에 접촉되게 하는 감압 및 접촉단계; 상기 감압 및 접촉단계 후에 픽커에 진공압을 걸어서 픽커가 전자부품을 흡착 파지하게 되는 흡착파지단계; 상기 흡착파지단계 후에 픽커조립체를 상승시키는 상승단계; 및 상기 상승단계후에 픽커조립체를 이동 목표지점으로 수평 이동시키는 제2 수평이동 단계; 를 포함한다.
본 발명에 따르면 충격 저감기에 의해 픽커와 전자부품 간의 충격량을 저감시킴으로써 전자부품의 손상이 최대로 저감되는 상승된 효과를 가진다.
도 1은 본 발명에 따른 픽커핸드에 대한 개념적인 구성도이다.
도 2는 제1 구성 형태에 따른 도 1의 픽커핸드에 대한 개략적인 구성도이다.
도 3은 제2 구성 형태에 따른 도 1의 픽커핸드에 대한 개략적인 구성도이다.
도 4는 제3 구성 형태에 따른 도 1의 픽커핸드에 대한 개략적이 구성도이다.
도 5는 도 4의 픽커핸드에 적용된 제2 솔레노이드밸브의 기능을 설명하기 위한 참조도이다.
도 6은 도 4의 픽커핸드가 적용된 본 발명의 일 구현예에 따른 픽커핸드에 대한 사시도이다.
도 7은 도 6의 픽커핸드에서 주요부위의일부가 분해된 분해도이다.
본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복 또는 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
참고로, 포괄명칭에 따른 구성과 구체명칭에 따른 구성은 가급적 동일부호를 부여하여 설명한다.
<개념적인 설명>
도 1의 개념적인 구성도에서와 같이 본 발명에 따른 픽커핸드(100)는 픽커조립체(110), 수평 이동기(120), 승강기(130) 및 충격 저감기(140)를 포함한다.
픽커조립체(110)는 전자부품을 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 픽커(P)를 1개 이상 가진다.
수평 이동기(120)는 픽커조립체(110)를 X-Y 평면상에서 수평 이동시킴으로써 일 측 위치에서 파지한 전자부품을 수평 방향으로 일정 거리 이격된 타 측 위치로 이동시킨다.
승강기(130)는 픽커조립체(110)를 승강시킨다. 이러한 승강기(130)의 작동에 따라 픽커조립체(110)가 하강되면 전자부품을 파지하거나 파지하고 있던 전자부품의 파지를 해제할 수 있는 상태가 되고, 픽커조립체(110)가 상승되면 픽커조립체(110)가 수평 방향으로 이동될 수 있는 상태가 된다.
충격 저감기(140)는 픽커(P)와 전자부품의 접촉을 위해 픽커조립체(110)가 하강할 시에 픽커(P)에 의해 전자부품에 가해지는 충격을 저감시킨다.
<제1 구성 형태>
제1 구성 형태에서는 도 2의 예에서와 같이 충격 저감기(140)가 스프링(140/S)으로 구현될 수 있다.
스프링(140/S)은 픽커(P)와 전자부품 간의 접촉 과정에서 이루어지는 충격하중을 일정 정도 흡수함으로써 전자부품의 손상을 줄인다.
그런데 도 2와 같은 구성 형태를 따를 경우 픽커(P)의 크기나 픽커핸드(100)의 크기를 고려할 때, 사용될 수 있는 스프링(140/S)의 크기적 한계와 이에 따른 적절한 탄성력의 설정에 한계가 있는 점, 크기가 작은 스프링(140/S)이 매우 빈번하게 수축과 이완을 반복할 시에 탄성력의 저하가 수반되어 사용에 따른 불량이 발생하는 점 등을 해결해야만 하는 추가적 과제가 따른다.
<제2 구성 형태>
제2 구성 형태에서는 도 3의 예에서와 같이 충격 저감기(140)가 공정용 레귤레이터(140/R)로 구성될 수 있다. 이 때, 승강기(130)는 공압실린더(130/C)로 구현된다. 그리고 공압실린더(130/C)의 승강동작을 위한 공압전달기(150)가 추가된다.
공압전달기(150)는 공압실린더(130/C)에 적용된 피스톤의 상승이나 하강을 위해 유체공급기(도시되지 않음)로부터 오는 유체의 전달 경로를 전환할 수 있는 솔레노이드밸브로 구비될 수 있다. 따라서 공압실린더(130/C)는 공압전달기(150)에 의한 공압의 공급과 해제에 의해 픽커조립체(110)를 승강시키게 된다.
공정용 레귤레이터(140/R)에 의해 공압실린더(130/C)의 공압을 실시간으로 관리하여 늘 동일한 압력을 유지하게 함으로써 픽커(P)에 의해 전자부품에 가해질 수 있는 과도한 접촉 충격을 방지한다.
그런데, 공정용 레귤레이터(140/R)로 공압실린더(130/C) 내의 공압을 일정하기 유지한다고 할지라도 픽커(P)와 전자부품 간의 순간적인 접촉 과정에서 충격량이 발생된다. 따라서 도 3과 같은 구성 형태에서는 픽커(P)와 전자부품 간의 충격량을 더욱 최소화시키는 것이 추가적인 과제로 남는다.
<제3 구성 형태>
제3 구성 형태에서는 도 4의 예에서와 같이 충격 저감기(140)가 솔레노이드밸브(140/V)로 구현된다. 이 때에도 승강기(130)는 공압실린더(130/C)로 구현되며, 공압실린더(130/C)의 승강동작을 위해 공압전달기(150)가 구비된다. 즉, 본 구성 형태에서는 충격 저감기(140)로서 공정용 레귤레이터 대신 솔레노이드밸브(140/V)를 채택하고 있다.
본 구성 형태에 따르면 공압전달기(150)도 솔레노이드밸브로 구현되고, 충격 저감기(140)도 솔레노이드밸브로 구현되기 때문에, 이하에서 이루어지는 본 구성 형태에 대한 설명에서 공압전달기(150)로 사용되는 솔레노이드밸브를 제1 솔레노이드밸브(150/V)라 칭하고, 충격 저감기(140)로 사용되는 솔레노이드밸브를 제2 솔레노이드밸브(140/V)라 칭한다.
제1 솔레노이드밸브(150/V)와 제2 솔레노이드밸브(140/V)에 대하여 도 5의 참고도를 통해 설명한다.
도 5를 참조하면, 제2 솔레노이드밸브(140/V)는 제1 솔레노이드밸브(150V)와 공압실린더(130/C) 간의 하강유체로(DW)에 적용된다. 여기서 하강유체로(DW)는 픽커조립체(100)를 하강시키는 방향으로 공압실린더(130/C)에 유체를 공급하는 유체로이고, 반대로 상승유체로(UW)는 픽커조립체(110)를 상승시키는 방향으로 공압실린더(130/C)에 유체를 공급하는 유체로이다.
즉, 제3 구성 형태에 따르면, 제1 솔레노이드밸브(150/V)와 공압실린더(140/V) 간의 하강유체로(DW)에 제2 솔레노이드밸브(140/V)가 게재되는 것이다.
제2 솔레노이드밸브(140/V)는 하강유체로(DW)를 통해 공압실린더(130/C)로 공급되는 공기압을 선택적으로 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 공압실린더(130/C)로 공급되는 유체의 압력은 0.55MPa인데, 제2 솔레노이드밸브(140/V)는 하강동작 과정 중에 공압실린더(130/C)의 공기압을 최대 0.00MPa로 전환시킨다. 즉, 하강 동작 과정에서 제2 솔레노이드밸브(140/V)가 하강유체로(DW)를 차단하고 공압실린더(130/C)의 배기라인을 개방하거나 필요에 따라 적절량의 흡기작동을 통해 공압실린더(130/C)의 공압을 떨어트리도록 동작할 수 있게 제어되는 것이다. 여기서 위의 0.55MPa라는 압력값은 본 발명의 일 예로 적용된 구성들에 따른 실험적 데이터로서, 앞서 밝힌 바와 같이 주변의 기구물과 전자부품의 종류나 무게 또는 형태 등에 따라 적절한 압력으로 변경될 수 있다. 즉, 감압 위치나 압력값은 실험을 통해 상황에 맞게 조정될 수 있다.
이 제2 구성 형태에 따르면, 픽커(P)와 전자부품의 접촉 과정에서 이루어지는 접촉 충격량이 이론상 0에 가까워지도록 구현될 수 있다.
<제3 구성 형태가 적용된 실 구현예>
도 6은 제3 구성 형태가 적용된 본 발명의 일 구현예에 따른 픽커핸드(100)에 대한 사시도이고, 도 7은 도 6의 픽커핸드(100)에서 주요부위의 일부가 분해된 분해도이다.
본 구현예에 따른 픽커핸드(100)는 8개의 픽커조립체(110), 수평 이동기(120), 수직 이동기(125), 8개의 공압실린더(130/C), 8개의 제1 솔레노이드밸브(150/V), 8개의 제2 솔레노이드밸브(140/V), 피치가변기(160) 및 각 구성들을 결합시키기 위한 각종 결합기구물 등을 포함한다.
픽커조립체(110)는 각각 4개의 픽커(P)를 가지고 있다. 따라서 본 구현예에 따른 픽커핸드(100)는 32개의 픽커(P)를 구비하고 있어서 한 번에 32개의 전자부품을 이동시킬 수 있는 처리 용량을 가진다.
수평 이동기(120)는 8개의 픽커조립체(100)를 한꺼번에 수평 방향으로 이동시킨다.
수직 이동기(125)는 8개의 픽커조립체(110)를 한꺼번에 수직 방향으로 이동시킨다.
공압실린더(130/C)는 픽커조립체(110)와 1대1 대응되게 구비됨으로써 1개의 공압실린더(130/C)는 1개의 픽커조립체(110)를 승강시킨다.
참고로, 수직 이동기(125)와 공압실린더(130/C)는 궁극적으로 픽커조립체(110)를 승강시킨다는 점에서 같은 역할을 하지만, 수직 이동기(125)는 한꺼번에 8개의 픽커조립체(110)를 승강시키고, 공압실린더(130/C)는 픽커조립체(110)와 1대1로 대응되어서 하나의 공압실린더(130/C)는 하나의 픽커조립체(110)만을 승강시킨다는 점에서 차이가 있다. 또한, 수직 이동기(125)에 의한 픽커조립체(110)의 승강거리는 상대적으로 길고 공압실린더(130/C)에 의한 픽커조립체(110)의 승강거리는 상대적으로 짧다. 이렇게 픽커조립체(110)가 2단 승강하도록 구현된 이유는 픽커조립체(110)의 개수가 많아질수록 수직 이동기(125)의 공압이 세지기 때문에 충격하중이 커지는 점과 관계가 있다. 따라서 상대적으로 수직 이동기(125)보다 작은 힘으로 픽커조립체(110)를 개개별로 승강시키기 위한 공압실린더(130/C)들을 통해 픽커(P)와 전자부품간의 의도하지 않은 접촉충격을 더욱 최소화시키도록 구현되는 것이다.
제1 솔레노이드밸브(150/V)는 공압실린더(130/C)의 승강동작을 위해 공급되는 유체의 경로를 상승유체로(UW)나 하강유체로(DW)로 전환하는 역할을 담당한다.
제2 솔레노이드밸브(140/V)는 하강유체로(DW)상에 적용되어서 하강과정에서 공압실린더(130/C)에 공급되는 공압을 이론상 0MPa로 전환시키기 위해 마련된다.
제2 솔레노이드밸브(140/V)가 공압실린더(130/C)에 가해지는 공압을 OMPa로 전환하는 시점은 몇 개의 예를 가질 수 있다.
하나의 예는 공압실린더(130/C)의 하강 작동이 완료된 순간(또는 일정 하강 시점일 수 있음)에 제2 솔레노이드밸브(140/V)가 작동하여 공급되는 유체를 중간에서 가로채거나, 공압실린더(130/C)로 유입된 유체를 빼내는 방식으로 제어된다.
본 발명에 따르면 하나의 예에서 픽커(P)의 하강위치 기준하여 감압을 실시할 수 있는데, 실험을 통한 보다 구체적인 예시를 들면 공압실린더(130/V)가 감압이 되는 위치는 반도체소자의 상면에서부터 픽커(P)의 하단 사이의 거리가 4mm로 설정될 수 있다. 다만, 4mm라는 거리는 본 발명의 하나의 구현예에서 지닌 구성들에 한하여 도출된 실험결과 이기에, 이러한 거리값은 픽커(P), 픽커(P)를 포함한 픽커조립체(110), 픽커조립체(110)의 집합체인 픽커핸드(100), 그리고 전자부품의 종류에 따른 두께, 크기 및 무게 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서 어떠한 변화라도 존재하는 경우 해당 변화 상황에서의 실험 결과에 맞게 공압실린더(130/V)가 감압되는 위치를 적절히 조정하는 것이 바람직하다.
하나의 예는 제2 솔레노이드밸브(140/V) 내의 공압을 측정하는 공압측정기(공정용 레귤레이터일 수 있다)를 추가적으로 구비하고, 공압측정기로 제2 솔레노이드밸브(140/V)의 공압을 지속적으로 측정하면서 설정된 일정압(예를 들어 0.55MPa) 이상이 되면 제2 솔레노이드밸브(140/V)가 작동하여 0.55MPa 이상의 압력을 이론상 0MPa로 전환하는 방식으로 제어된다.
피치가변기(160)는 픽커조립체(110)들 간의 간격을 가변시키기 위해 마련되며, 선택적인 구성이다.
계속하여 도 6에 따른 픽커핸드(100)의 작동에 대해서 전자부품의 파지 과정을 예로 들어 설명한다.
1. 수평이동
수평 이동기(120)가 8개의 픽커조립체(110)를 수평 방향으로 이동시켜서 픽커(P)가 전자부품의 직상방에 위치하도록 한다.
2. 1차 하강
수직 이동기(125)가 작동하여 8개의 픽커조립체(110)를 하강시킨다.
3. 2차 하강
공압실린더(130/C)들 및 제1 솔레노이드밸(150/V)들이 작동하여 각각 대응되는 픽커조립체(110)들을 하강시킨다.
참고로, 위의 1차 하강과 2차 하강은 순서적으로 이루어질 수도 있지만, 동시에 이루어지도로 구현될 수도 있고, 공압실린더(130/C)에 의한 하강이 수직 이동기(125)에 의한 하강보다 먼저 이루어지도록 구현될 수도 있다.
4. 감압 및 접촉
앞서 설명의 예에서와 같이 2차 하강 동작 후에, 제2 솔레노이드밸브(140/V)가 작동하여 공압실린더(130C)의 하강 공압을 0MPa로 전환시킨다. 그리고 수직 이동기(125)의 지속된 하강 작동에 의해 공압실린더(130/C)의 공압이 OMPa의 상태에서 픽커(P)의 흡착패드가 전자부품에 접촉한다.
5. 압착 및 흡착파지
계속되는 수직 이동기(125)의 하강 작동에 의해 픽커(P)의 흡착패드가 자중에 의해 전자부품에 더 압착된다. 즉, 이 때의 압착은 공압이 아닌 픽커조립체(110)의 자중에 의해 이루어지는 것이다. 그리고 압착된 상태에서 픽커(P)에 진공압을 걸어서 픽커(P)가 전자부품을 흡착 파지하게 한다.
6. 파지여부 확인
픽커(P)에 진공압이 걸려서 전자부품이 파지된 상태인지를 확인한다.
7. 상승
수직 이동기(125)와 공압실린더(130/C)가 작동하여 픽커조립체(110)를 상승시킨다.
8. 수평 이동
수평 이동기(125)가 작동하여 픽커조립체(110)를 이동 목표지점으로 수평 이동시킨다.
그리고 위와 같은 동일 방식으로 픽커(P)에 의한 전자부품의 파지 해제 작업이 이루어짐으로써 전자부품의 이동이 완료된다. 즉, 파지 해제시에도 전자부품이 안착되는 안착면과 전자부품 간에 충격이 발생할 수 있으므로, 위와 같은 감압 방식을 통해 전자부품과 안착면 간의 충격을 제거시키는 것이 바람직하다.
참고로, 도 6의 픽커핸드(100)는 본 발명이 적용된 하나의 예에 따른 것이므로, 도 6의 형태 이외에도 다양한 구조적 형태를 가진 픽커핸드들에도 본 발명은 바람직하게 적용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등범위로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 픽커핸드
110 : 픽커조립체
120 : 수평 이동기
125 : 수직 이동기
130 : 승강기
130/C : 공압실린더
140 : 충격 저감기
140/S : 스프링
140/R : 공정용 레귤레이터
140/V : 제2 솔레노이드밸브
150 : 유체 전달기
150/V : 제1 솔레노이드밸브

Claims (5)

  1. 전자부품을 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 적어도 하나의 픽커를 가지는 적어도 하나의 픽커조립체;
    상기 적어도 하나의 픽커조립체를 수평 이동시키는 수평 이동기;
    상기 픽커조립체에 일대일 대응되며, 상기 픽커조립체를 승강시키기 위한 적어도 하나의 승강기; 및
    상기 픽커와 전자부품의 접촉을 위해, 상기 승강기에 의해 상기 픽커조립체가 하강할 시에 상기 픽커에 의해 전자부품에 가해지는 충격을 저감하기 위한 충격 저감기; 를 포함하며,
    상기 픽커는 진공압에 의해 전자부품을 파지하거나 파지를 해제하는
    전자부품 핸들러용 픽커핸드.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 승강기를 동작시키기 위한 공압전달기; 를 더 포함하고,
    상기 승강기는 상기 공압전달기에 의한 공압의 공급과 해제에 의해 상기 픽커조립체를 승강시킬 수 있는 공압실린더로 구비되며,
    상기 충격 저감기는 상기 공압전달기와 상기 공압실린더 사이에 게재되며, 상기 공압전달기와 상기 공압실린더 간의 하강유체로(상기 픽커조립체를 하강시키는 방향으로 상기 공압실린더에 유체를 공급하는 유체로임)와 상승유체로(상기 픽커조립체를 상승시키는 방향으로 상기 공압실린더에 유체를 공급하는 유체로임) 중 상기 하강유체로에 적용되어서 상기 하강유체로를 통해 상기 공압실린더로 공급되는 공기압을 선택적으로 감소시킬 수 있는 솔레노이드밸브로 구비되는
    전자부품 핸들러용 픽커핸드.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 솔레노이드밸브 내의 공기압을 측정하기 위한 공압측정기; 를 더 포함하고,
    상기 솔레노이드밸브는 상기 공압측정기에 의해 측정된 공기압이 설정된 압력에 도달되면 상기 공압실린더의 공기압을 저감시키도록 동작하는
    전자부품 핸들러용 픽커핸드.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 솔레노이드밸브는 상기 공압실린더에 의해 상기 픽커조립체가 설정된 위치까지 하강하면 상기 공압실린더의 공기압을 저감시키도록 동작하는
    전자부품 핸들러용 픽커핸드.
  5. 적어도 하나의 픽커를 가지는 픽커조립체를 수평 방향으로 이동시켜서 전자부품의 직상방에 위치시키는 제1 수평이동단계;
    상기 수평이동단계 후에 공압실린더가 작동하여 픽커조립체를 하강시키는 하강단계;
    상기 하강단계 후에 공압실린더의 하강 공압을 감압시킴으로써, 감압된 상태 픽커의 흡착패드가 전자부품에 접촉되게 하는 감압 및 접촉단계;
    상기 감압 및 접촉단계 후에 픽커에 진공압을 걸어서 픽커가 전자부품을 흡착 파지하게 되는 흡착파지단계;
    상기 흡착파지단계 후에 픽커조립체를 상승시키는 상승단계; 및
    상기 상승단계후에 픽커조립체를 이동 목표지점으로 수평 이동시키는 제2 수평이동 단계; 를 포함하는
    전자부품 핸들러용 픽커핸드의 작동방법










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