KR20220139412A - 워크 점착 척 장치 및 워크 첩합기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 변형되기 쉬운 박판상의 워크여도 그 표면을 점착부의 점착면으로부터 비교적으로 작은 휨 변형으로 매끄럽게 떼어내는 것을 그 과제로 한다.
본 발명에 따른 워크 점착 척 장치는, 박판상의 워크(W)에 대하여 접근 또는 이격하는 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 마련되는 대향면과, 대향면에 워크의 표면과 대향하도록 마련되는 점착부와, 대향면에 있어서 점착부의 내측 및 외측에 각각 탄성 변형 가능하게 마련되는 복수의 박리부와, 복수의 박리부를 각각 워크를 향하여 돌출 변형시키는 박리용 구동부와, 박리용 구동부를 작동 제어하는 제어부를 구비하고, 점착부는, 환상 또는 프레임 형상으로 형성되며, 워크의 표면과의 접촉에 의하여 표면을 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착면을 갖고, 복수의 박리부는, 워크의 표면에 있어서 점착면으로 점착 지지되는 피점착 부위를 사이에 두고 이웃하는 복수의 불점착 부위를 향하여 돌출 변형되어, 복수의 불점착 부위를 압압하는 복수의 압압면을 가지며, 제어부는, 복수의 압압면에 의한 복수의 불점착 부위의 압압으로, 점착면과 피점착 부위의 사이에, 복수의 불점착 부위와 연속한 피점착 부위의 양단 측으로부터 확개되는 공간부(S1)가 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

Description

워크 점착 척 장치 및 워크 첩합기

본 발명은, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD), 유기 EL 디스플레이(OLED), 플라즈마 디스플레이(PDP), 플렉시블 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)나 센서 디바이스나, 또는 예를 들면 터치 패널식 FPD나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등과 같은, 액정 모듈(LCM)이나 플렉시블 프린트 배선판(FPC) 등의 워크에 대하여, 터치 패널이나 커버 유리나 커버 필름이나 FPD 등의 또 1매의 워크를 첩합하는 기판 첩합기 등의 기판 조립 장치나, 박판상의 워크(피처리체)를 반송하는 기판 반송 장치 등에 이용되는 워크 점착 척 장치, 이 워크 점착 척 장치를 구비한 워크 첩합기에 관한 것이다.

종래, 이 종류의 기판 첩합기로서, 제1 기판이 안착하는 제1 정반(定盤), 제1 기판과 합착되는 제2 기판이 안착하는 제2 정반, 제1 정반에 안착하는 제1 기판을, 점착력을 이용하여 고정시키는 점착 고무를 갖는 기판 척, 및, 제1 기판이 점착 고무로부터 이탈되도록 점착력과 반대되는 방향의 힘을 유도하는 점착 해제 장치를 포함하는 기판 합착 장치가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

점착 해제 장치는, 상기 제1 정반에 마련되고, 제1 기판의 부착면 방향으로 가열 팽창하여 제1 기판을 이탈시키는 가열 팽창부로 구성된다. 가열 팽창부는, 점착 고무에 부착된 제1 기판의 부착면 측으로 팽창하는 연성의 재질로 이루어지는 팽창 부재를 포함한다.

점착 고무는, 가열 팽창부를 중심으로 하여, 그 외측에 복수, 각각 방사 방향으로 긴 직사각형의 형태, 또는 둘레 방향으로 긴 호상(弧狀)의 형태로 구비된다. 또, 그 외에 점착 고무를 중심부에 형성하고, 그 주위에 가열 팽창부가 환상으로 위치하는 형태로 구비될 수도 있다.

기판 합착 장치의 작동은, 먼저 진공 척에 의하여 흡착된 상태로 상승한 제1 기판이, 제1 정반에 구비된 점착 고무에 부착된다. 그 다음에 진공 상태에서 가열 팽창부를 팽창시킴으로써, 제1 기판이 점착 고무로부터 이탈되어, 하방에 위치한 제2 기판과 합착된다. 제1 기판과 제2 기판이 합착된 후는, 제1 챔버와 제2 챔버를 이격하여 대기 개방되어, 합착된 제1 기판과 제2 기판을 반출한다.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2010-126342호

그런데, 최근의 LCD 등은, 소형화나 박형화나 경량화 등의 요구에 의하여 기판이 점점 박육화되고 있으며, 박육화된 기판을 포함하는 박판상의 워크는, 극히 변형되기 쉬워져 있다.

그러나, 특허문헌 1에서는, 점착 고무로 고정(점착 지지)된 제1 기판의 피점착 부위를, 점착 고무와 이웃하는 가열 팽창부의 팽창(돌출) 변형에 의하여, 가열 팽창부와 연속한 피점착 부위의 일단(一端) 측으로부터 일방향으로만 이탈(떼어냄)이 진행된다. 이 때문에, 점착 고무의 표면(점착면)에 대하여 피점착 부위가 전체적으로 경사지기 쉬워진다.

특히, 제1 기판이 변형되기 쉬운 박판상의 워크인 경우에는, 점착면으로부터 워크를 떼어낼 때에, 워크에 있어서 점착면에 점착 지지되는 피점착 부위로부터, 가열 팽창부의 돌출 변형으로 압압되는 불점착 부위까지가 전체적으로 경사져 부분적인 휨이 된다. 이에 더하여, 점착면으로부터의 워크의 떼어냄으로, 하방에 위치한 제2 기판과 합착(첩합)시켜 LCD를 제작하는 경우에는, 워크의 휨이 비교적 커지기 때문에, 제2 기판과의 간격이 좁은 개소로 액정이 흘러 버려, 진공 기포나 얼룩을 발생할 가능성이 높아진다. 그 결과로서, 제품의 수율이 저하되어 고성능인 제품을 생산할 수 없다는 문제가 있었다.

이와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 관한 워크 점착 척 장치는, 박판상의 워크(W)에 대하여 접근 또는 이격하는 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 마련되는 대향면과, 상기 대향면에 상기 워크의 표면과 대향하도록 마련되는 점착부와, 상기 대향면에 있어서 상기 점착부의 내측 및 외측에 각각 탄성 변형 가능하게 마련되는 복수의 박리부와, 상기 복수의 박리부를 각각 상기 워크를 향하여 돌출 변형시키는 박리용 구동부와, 상기 박리용 구동부를 작동 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 점착부는, 환상 또는 프레임 형상으로 형성되며, 상기 워크의 상기 표면과의 접촉에 의하여 상기 표면을 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착면을 갖고, 상기 복수의 박리부는, 상기 워크의 상기 표면에 있어서 상기 점착면으로 점착 지지되는 피점착 부위를 사이에 두고 이웃하는 복수의 불점착 부위를 향하여 돌출 변형되어, 상기 복수의 불점착 부위를 압압하는 복수의 압압면을 가지며, 상기 제어부는, 상기 복수의 압압면에 의한 상기 복수의 불점착 부위의 압압으로, 상기 점착면과 상기 피점착 부위의 사이에, 상기 복수의 불점착 부위와 연속한 상기 피점착 부위의 양단 측으로부터 확개(擴開)되는 공간부(S1)가 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명의 실시형태(제1 실시형태)에 관한 워크 점착 척 장치를 나타내는 설명도이며, (a)가 종단 정면도, (b)가 박리부를 돌출시킨 상태의 종단 정면도, (c)가 저면(底面)도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치의 변형예(제2 실시형태)를 나타내는 설명도이며, (a)가 종단 정면도, (b)가 박리부를 돌출시킨 상태의 종단 정면도, (c)가 저면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치의 변형예(제3 실시형태)를 나타내는 설명도이며, 박리부가 돌출 상태이고 또한 워크를 투과시켜 본 저면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 관한 워크 첩합기를 나타내는 축소 종단 정면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.

본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치(A)는, 도 1~도 3에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)의 기판 등으로 이루어지는 박판상의 워크(W)와, 지지판(1)의 대향면(11a)에 마련된 점착부(2)의 접촉에 의하여, 워크(W)를 강고하게 또한 착탈 가능하게 점착 지지하여 수취하고, 워크(W)를 향한 박리부(3)의 돌출 변형에 의하여, 점착부(2)로부터 워크(W)를 떼어내 전달하는 워크 지지 장치이다.

이와 같은 워크 점착 척 장치(A)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판끼리 등을 첩합하는 워크 첩합기(B)나, 기판 등을 반송하기 위한 워크 반송 장치 등에 이용된다.

자세하게 설명하면, 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치(A)는, 워크(W)에 대하여 접근 또는 이격하는 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 마련되는 지지판(1)의 대향면(11a)과, 대향면(11a)에 워크(W)의 표면(W1)과 대향하도록 마련되는 점착부(2)와, 대향면(11a)에 탄성 변형 가능하게 마련되는 복수의 박리부(3)를 주요한 구성 요소로서 구비하고 있다.

또한, 지지판(1)의 대향면(11a) 또는 워크(W) 중 어느 일방 혹은 양방을 상대적으로 접근 이동 또는 이격 이동시키는 접리(接離)용 구동부(4)와, 복수의 박리부(3)를 각각 워크(W)를 향하여 돌출 변형시키는 박리용 구동부(5)와, 접리용 구동부(4) 및 박리용 구동부(5) 등을 각각 작동 제어하는 제어부(6)를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 지지판(1)의 대향면(11a)과 워크(W)는, 통상, 상하 방향으로 대향하도록 배치되며, 대향면(11a)과 워크(W)의 대향 방향을 이하 "Z방향"이라고 한다. Z방향과 교차하는 대향면(11a)이나 워크(W)를 따른 방향을 이하 "XY방향"이라고 한다.

지지판(1)은, 예를 들면 금속, 세라믹, 경질 합성 수지 등의 경질 재료로 성형된 정반 등으로 이루어진다.

지지판(1)의 표리(表裏) 중 어느 일방의 평활면(1a) 측에는, 척 본체(11)가 마련된다.

척 본체(11)는, 예를 들면 금속, 세라믹, 경질 합성 수지 등의 경질 재료로 원형 또는 사각형(직사각형 및 정사각형을 포함하는 모서리가 직각인 사변형)의 판상으로 형성되고, 그 표리 중 어느 일방에 대향면(11a)을 갖는다.

또한, 척 본체(11)는, 도 1의 (a), (b) 등에 나타나는 바와 같이, 상호가 착탈 가능하게 연결되는 복수의 지지 플레이트(11b)로 구성되고, 복수의 지지 플레이트(11b)의 사이에 후술하는 복수의 박리부(3)를 착탈 가능하게 장착하는 것이 바람직하다.

도시예에서는, 지지판(1)에 대한 척 본체(11)의 조립과, 복수의 지지 플레이트(11b)끼리의 연결을, 나사나 볼트 등의 체결구(1c)로 장착하여 고정하고 있다.

점착부(2)는, 그 전체 또는 일부가 예를 들면 불소 고무나 뷰틸 고무 등의 고무류, 엘라스토머, 감광성 수지, 아크릴계나 실리콘계 등의 점착성을 갖는 재료로 이루어지는 점착 시트이다.

점착부(2)는, 척 본체(11)의 대향면(11a)을 따라 원형이나 타원형 등의 환상 또는 사각이나 다각형 등의 프레임 형상으로 형성된다.

또한, 점착부(2)는, 워크(W)의 표면(W1)과 Z방향으로 대향하는 표면 측에 형성되는 점착면(2a)과, 그 이면 측에 형성되는 장착면(2b)을 갖는다. 장착면(2b)은, 척 본체(11)의 대향면(11a)에 대하여 Z방향 및 XY방향으로 이동 불가능하게 고정된다.

점착부(2)의 점착면(2a)은, 워크(W)의 표면(W1)에 있어서 그 일부와 접촉시킴으로써, 접촉한 부위에 점착하여 피점착 부위(W2)를 착탈 가능하게 지지하도록 구성된다.

점착면(2a)의 구체예로서 도 1의 (a)~(c) 등에 나타나는 경우에는, 고무류의 성형 시에 있어서의 표면 가공으로 요철 형상으로 형성되어 있다. 이로써, 워크(W)의 표면(W1)에 대한 점착면(2a)의 접촉 면적을 감소시켜, 후술하는 복수의 박리부(3)에 의한 떼어냄이 용이해지도록 점착력을 컨트롤하고 있다.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 성형 시의 표면 가공 대신에 블라스트 처리(샌드 블라스트)나 레이저 가공이나 에칭 가공 등의 후가공에 의하여, 점착면(2a)을 요철 형상으로 형성하는 것이나, 점착면(2a)을 도시예 이외의 요철 형상이나 구조로 변경하는 것도 가능하다.

복수의 박리부(3)는, 그 전체 또는 일부가 예를 들면 불소 고무나 에틸렌프로필렌다이엔(EPDM) 고무 등의 고무류, 엘라스토머, 연질 합성 수지 등의 탄성 변형 가능한 탄성 재료로, 원형 또는 직사각형 등의 박판상으로 형성된 다이어프램이나 탄성판 등으로 이루어진다.

복수의 박리부(3)는, 척 본체(11)의 대향면(11a)에 있어서 점착부(2)의 내측 및 외측에 각각 점착부(2)를 XY방향으로 사이에 두도록 배치되며, 워크(W)의 표면(W1)과 Z방향으로 대향하는 표면 측에 형성되는 복수의 압압면(3a)을 갖는다.

복수의 박리부(3)에 있어서 모든 압압면(3a)은, 워크(W)의 표면(W1)에 있어서 점착면(2a)으로 점착 지지되는 피점착 부위(W2)를 사이에 두고 XY방향으로 이웃하는 복수의 불점착 부위(W3, W4) 등을 향하여 Z방향으로 탄성적으로 돌출 변형되도록 구성된다.

또한, 복수의 박리부(3) 중 내측의 제1 박리부(31)는, 대향면(11a)의 대략 중앙에 마련하는 것이 바람직하다. 내측의 제1 박리부(31)의 형상은, 척 본체(11)가 원형의 판상인 경우에는 원형으로 형성하고, 척 본체(11)가 직사각형의 판상인 경우에는 직사각형으로 형성하는 것이 바람직하다. 복수의 박리부(3) 중 외측의 제2 박리부(32) 등은, 점착부(2)의 바깥 가장자리를 따라 원형이나 타원형 등의 환상 또는 사각이나 다각형 등의 프레임 형상으로 마련하는 것이 바람직하다.

이에 더하여, 내측의 제1 박리부(31)를 제외한 외측에 배치되는 외측의 제2 박리부(32)의 압압면(32a) 등에는, 외측의 제2 박리부(32) 등보다 내측에서 점착부(2)가 배치되는 공간부(S1)와, 외측의 제2 박리부(32) 등보다 더 외측의 외방(外方) 공간(So)이 연통되도록 진공 파괴용의 압압 통로(3p)를 형성하는 것이 바람직하다. 이와 동일하게, 점착부(2)의 점착면(2a) 등에도, 점착부(2)가 배치되는 공간부(S1)와, 점착부(2)보다 내측에서 제1 박리부(31)가 배치되는 내방 공간(Si)이 연통되도록 진공 파괴용의 점착 통로(2p)를 형성하는 것이 바람직하다.

복수의 박리부(3)의 구체예로서 도 1의 (a)~(c) 등에 나타나는 경우에는, 예를 들면 압축 성형(컴프레션 성형)이나 사출 성형(인젝션 성형) 등에 의하여 일체 형성된 다이어프램이나 탄성판으로 구성되어 있다.

다이어프램이나 탄성판의 내측과 외측에는, 복수의 압압면(3a)이 각각 탄성 변형 가능하게 형성된다.

도시예에서는, 복수의 압압면(3a)을 고무류의 성형 시에 있어서의 표면 가공으로 요철 형상으로 형성하고 있다. 이로써, 워크(W)의 표면(W1)에 대한 압압면(3a)의 접촉 면적을 감소시켜, 워크(W)의 표면(W1)에 밀착되지 않도록 컨트롤하고 있다.

다이어프램이나 탄성판의 외주에는, 장착부(3b)가 형성된다. 장착부(3b)는, 척 본체(11)를 구성하는 복수의 지지 플레이트(11b)의 사이에 협지되어, Z방향 및 XY방향으로 이동 불가능하며 또한 착탈 가능하게 장착하여 고정하는 것이 바람직하다. 이로써, 복수의 압압면(3a)이 척 본체(11)의 대향면(11a)을 따라 Z방향으로 탄성 변형 가능하게 지지됨과 함께, 후술하는 구동용 유체(5F)의 유로(5b)의 일부가 뚫려 있는 척 본체(11)의 지지 플레이트(11b)의 복수 개소를, 각각 기밀(氣密)상으로 밀봉하도록 배치된다.

또한 도시예에서는, 다이어프램이나 탄성막을 내측의 제1 박리부(31)와, 외측의 제2 박리부(32) 등으로 분할하여, 각각 별개로 장착하고 있다.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 성형 시의 표면 가공 대신에 블라스트 처리(샌드 블라스트)나 레이저 가공이나 에칭 가공 등의 후가공에 의하여, 복수의 압압면(3a)을 요철 형상으로 형성하는 것이나, 복수의 압압면(3a)을 도시예 이외의 요철 형상이나 구조로 변경하는 것이나, 내측의 제1 박리부(31)와 외측의 제2 박리부(32) 등을 분할하지 않고 일체적으로 장착하는 것 등의 변경도 가능하다.

접리용 구동부(4)는, 지지판(1)의 대향면(11a) 또는 워크(W) 중 어느 일방 혹은 양방을 상대적으로 접근 이동 또는 이격 이동시키는 액추에이터 등으로 구성되며, 후술하는 제어부(6)에 의하여 작동 제어되고 있다.

후술하는 제어부(6)에서 접리용 구동부(4)는, 지지판(1)의 대향면(11a) 또는 워크(W) 중 어느 일방 혹은 양방을 상대적으로 접근 이동시킴으로써, 점착부(2)의 점착면(2a)이, 워크(W)의 표면(W1)의 일부(피점착 부위(W2))와 접촉하여, 피점착 부위(W2)를 착탈 가능하게 점착 지지하도록 작동 제어된다.

박리용 구동부(5)는, 복수의 박리부(3)의 압압면(3a)을 워크(W)를 향하여 돌출 변형시키는 액추에이터 등으로 구성되며, 후술하는 제어부(6)에 의하여 작동 제어되고 있다.

박리용 구동부(5)를 구성하는 액추에이터의 일례로서 도시예의 경우는, 공급원(도시하지 않는다)으로부터 압축 공기, 가스 등의 기체나 물 등의 액체로 이루어지는 구동용 유체(5F)를 공급하는 컴프레서 등의 구동원(5a)과, 공급원으로부터 구동원(5a)을 개재하여 복수의 박리부(3)의 1차 측으로 통하는 유로(5b)를 갖고 있다. 유로(5b)의 일부는, 지지판(1)이나 척 본체(11)의 지지 플레이트(11b)의 복수 개소를, 각각 Z방향으로 관통하도록 천설(穿設)되어 있다. 이로써, 구동원(5a)으로부터 구동용 유체(5F)는, 유로(5b)를 통과하여 척 본체(11)의 대향면(11a)을 향하여 각각 공급된다.

또한 필요에 따라, 유로(5b)의 도중에는, 유량 조정 밸브(도시하지 않는다) 등을 마련해도 된다.

후술하는 제어부(6)에서 구동원(5a)이나 유량 조정 밸브 등은, 복수의 박리부(3)의 1차 측을 향하여 소정 양의 구동용 유체(5F)를 공급함으로써, 복수의 박리부(3)의 1차 측과 2차 측의 사이에 압력차가 발생하여, 복수의 압압면(3a)을 Z방향으로 탄성적으로 팽창 변형시키도록 작동 제어된다.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 박리용 구동부(5)를 구성하는 액추에이터로서, 구동용 유체(5F)를 공급하는 구동원(5a) 등 대신에, 실린더 등에 의하여 압압하는 등, 다른 구동원으로 복수의 압압면(3a)을 Z방향으로 탄성적으로 돌출 변형시키는 것도 가능하다.

제어부(6)는, 접리용 구동부(4)나 박리용 구동부(5)뿐만 아니라, 그 외에도 전기적으로 접속하는 컨트롤러이다.

제어부(6)가 되는 컨트롤러는, 그 제어 회로(도시 생략)에 미리 설정된 프로그램에 따라, 미리 설정된 타이밍으로 순차적으로 각각 작동 제어하고 있다.

그리고, 제어부(6)의 제어 회로에 설정된 프로그램을, 점착부(2)의 점착면(2a)으로 점착 지지된 워크(W)의 박리 방법으로서 설명한다.

도 1의 (a) 등에 나타나는 초기 상태에서는, 복수의 박리부(3)의 압압면(3a)이 지지판(1)의 대향면(11a)보다 오목 형상으로 수축 변형되어 있으며, 점착부(2)의 점착면(2a)으로 점착 지지된 워크(W)에 대하여, 박리력을 작용시키지 않고 대기하고 있다.

도 1의 (b) 등에 나타나는 박리 시에는, 박리용 구동부(5)의 작동으로 복수의 박리부(3)에 있어서 모든 압압면(3a)이, 지지판(1)의 대향면(11a)보다 돌출 변형되어 워크(W)의 표면(W1)(복수의 불점착 부위(W3, W4) 등)에 압접(壓接)되고, 동일 방향으로 더 압동(押動)되어, 점착부(2)의 점착면(2a)으로부터 워크(W)를 강제적으로 박리한다(떼어낸다).

또, 점착면(2a)으로부터 워크(W)를 박리한 후는, 복수의 압압면(3a)이 Z방향으로 워크(W)의 표면(W1)으로부터 멀어지도록 반대 방향으로 몰입 변형되어 초기 상태로 되돌아간다.

이와 같은 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치(A)에 의하면, 박판상의 워크(W)와 대향면(11a)의 상대적인 접근으로, 워크(W)의 표면(W1)을 점착부(2)의 점착면(2a)에 접촉시킴으로써, 점착면(2a)에 대한 표면(W1)의 피점착 부위(W2)가 점착 지지된다.

이 점착 지지 상태에서 박리용 구동부(5)의 작동에 의하여, 복수의 박리부(3)에 있어서 복수의 압압면(3a)이, 피점착 부위(W2)를 사이에 두고 이웃하는 양측의 불점착 부위(W3, W4)를 향하여 각각 탄성적으로 돌출 변형된다.

이 때문에, 불점착 부위(W3, W4)에 복수의 압압면(3a)이 압접되어 각각 불점착 부위(W3, W4)를 박리 방향(Z방향)으로 압압한다.

이로써, 점착면(2a)에 대하여 피점착 부위(W2)는, 복수의 불점착 부위(W3, W4)와 연속한 피점착 부위(W2)의 양단 측으로부터 중간 위치를 향하여 대략 동시에 떼어내져 각각 확개된다. 이 때문에, 점착면(2a)과 피점착 부위(W2)의 사이에는 공간부(S1)가 발생한다.

따라서, 변형되기 쉬운 박판상의 워크(W)여도 그 표면(W1)을 점착부(2)의 점착면(2a)으로부터 비교적 작은 휨 변형으로 매끄럽게 떼어낼 수 있다.

그 결과, 점착 고무와 이웃하는 가열 팽창부의 돌출 변형에 의하여, 가열 팽창부와 연속한 피점착 부위의 일단 측으로부터 일방향으로만 떼어내는 종래의 것에 비하여, 점착면(2a)에 대한 피점착 부위(W2)의 떼어냄이, 피점착 부위(W2)를 사이에 두고 이웃하는 불점착 부위(W3, W4)와 연속한 양 방향으로부터의 대략 동시의 떼어냄이다. 이 때문에, 점착면(2a)에 대하여 피점착 부위(W2)가 전체적으로 경사지지 않고 대략 평행하게 떼어내진다.

다음으로, 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치(A)의 실시예 및 변형예(제1 실시형태~제3 실시형태)에 대하여 설명한다.

제1 실시형태의 워크 점착 척 장치(A1)를 도 1의 (a)~(c)에 나타낸다.

제2 실시형태의 워크 점착 척 장치(A2)를 도 2의 (a)~(c)에 나타낸다.

제3 실시형태의 워크 점착 척 장치(A3)를 도 3의 (a)~(c)에 나타낸다.

그리고, 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치(A)를 이용한 워크 첩합기(B)의 실시예를 도 4에 나타낸다.

[제1 실시형태]

제1 실시형태의 워크 점착 척 장치(A1)는, 복수의 박리부(3) 중 내측의 제1 박리부(31)를 둘러싸도록 점착부(2)가 환상 또는 프레임 형상으로 마련되고, 외측의 제2 박리부(32)를 점착부(2)의 바깥 가장자리를 따라 환상 또는 프레임 형상으로 마련하며, 점착부(2)의 점착면(2a)을 사이에 두고 제1 박리부(31)의 제1 압압면(31a)과 제2 박리부(32)의 제2 압압면(32a)이 이웃하도록 배치된다.

도 1의 (a)~(c)에 나타나는 경우에는, 1개의 점착부(2)를 사이에 두고 내외에 2개의 박리부(3)(제1 박리부(31)와 제2 박리부(32))가 이중으로 배치되며, 모든 압압면(3a)(제1 압압면(31a)과 제2 압압면(32a))을 돌출 변형시키고 있다.

도시예에서는, 내측의 제1 박리부(31)를 대향면(11a)의 대략 중앙에 배치하고 있다. 또한, 척 본체(11)의 전체 형상이 원형의 판상이며, 점착부(2)와 외측의 제2 박리부(32)를 각각 환상으로 형성하고 있다.

즉, 내측의 제1 박리부(31)의 제1 압압면(31a)은, 워크(W)의 표면(W1)에 있어서 점착면(2a)으로 점착 지지되는 피점착 부위(W2)보다 내측의 제1 불점착 부위(W3)를 향하여 Z방향으로 돌출되어 압접된다. 외측의 제2 박리부(32)의 제2 압압면(32a)은, 중앙의 피점착 부위(W2)보다 외측의 불점착 부위(W4)를 향하여 Z방향으로 돌출되어 압접된다.

또, 박리용 구동부(5)의 구동원(5a)으로부터 모든 박리부(3)의 1차 측에 이르는 유로(5b)가 일 계통이며, 유로(5b)로의 구동용 유체(5F)의 공급에 따라, 내측의 제1 박리부(31)의 제1 압압면(31a)과 외측의 제2 박리부(32)의 제2 압압면(32a)을 동시에 돌출 동작시키고 있다.

이와 같은 제1 실시형태의 워크 점착 척 장치(A1)에 의하면, 박리용 구동부(5)의 작동에 의하여, 중앙의 제1 박리부(31)의 압압면(31a)과, 외측의 제2 박리부(32)의 압압면(32a)이, 피점착 부위(W2)를 사이에 두고 이웃하는 중앙의 불점착 부위(W3)와, 외측의 불점착 부위(W4)를 향하여 돌출 변형되어, 각각 박리 방향(Z방향)으로 압압된다.

이로써, 점착면(2a)에 대하여, 중앙의 불점착 부위(W3)와 외측의 불점착 부위(W4)에 연속한 피점착 부위(W2)의 양단 측으로부터 내외 중간 위치를 향하여 대략 동시에 떼어내져 각각 확개된다.

따라서, 박판상의 워크(W)의 표면(W1)을 점착부(2)의 점착면(2a)으로부터 워크(W)의 미세한 변형으로 확실하게 떼어낼 수 있다.

그 결과, 간단한 구조이면서 중앙의 제1 압압면(31a) 및 외측의 제2 압압면(32a)에 의한 워크(W)의 박리력이 향상되어 척 성능이 우수하다.

[제2 실시형태]

제2 실시형태의 워크 점착 척 장치(A2)는, 박리용 구동부(5)의 구동원(5a)으로부터 모든 박리부(3)의 1차 측에 이르는 유로(5b)가 복수 계통인 구성이, 상술한 제1 실시형태와는 상이하며, 그 이외의 구성은 제1 실시형태와 동일한 것이다.

도 2의 (a)~(c)에 나타나는 경우에는, 구동원(5a)으로부터 내측의 제1 박리부(31)의 1차 측에 이르는 제1 유로(5b)와 별개로, 구동원(5a)으로부터 외측의 제2 박리부(32)의 1차 측에 이르는 제2 유로(5c)를 형성하고 있다. 이로써, 구동원(5a)으로부터 구동용 유체(5F)는, 제1 유로(5b)를 통과하여 내측의 제1 박리부(31)의 1차 측에 공급됨과 동시에, 제2 유로(5c)를 통과하여 외측의 제2 박리부(32)의 1차 측에도 공급된다.

이 때문에, 제1 유로(5b)와 제2 유로(5c)에 대한 구동용 유체(5F)의 공급 타이밍이나 공급량 등을 컨트롤함으로써, 내측의 제1 박리부(31)의 제1 압압면(31a)과 외측의 제2 박리부(32)의 제2 압압면(32a)을 동시에 돌출 동작시키는 것이나, 타이밍을 다르게 하여 돌출 동작시키는 것이 가능해진다.

이로써, 워크(W)의 두께에 적합한 미묘한 박리 컨트롤을 달성할 수 있다.

[제3 실시형태]

제3 실시형태의 워크 점착 척 장치(A3)는, 복수의 박리부(3) 중 가장 내측의 제1 박리부(31)를 둘러싸도록, 점착부(2)로서 내측의 제1 점착부(21)가 환상 또는 프레임 형상으로 마련되고, 제1 박리부(31)보다 외측의 제2 박리부(32)를 제1 점착부(21)의 바깥 가장자리를 따라 환상 또는 프레임 형상으로 마련하며, 제2 박리부(32)를 둘러싸도록, 점착부(2)로서 외측의 제2 점착부(22)가 환상 또는 프레임 형상으로 마련되고, 제2 점착부(22)의 외측에 제2 박리부(32)보다 외측의 제3 박리부(33)를, 제2 점착부(22)의 바깥 가장자리를 따라 환상 또는 프레임 형상으로 마련하며, 제1 점착부(21)의 제1 점착면(21a)을 사이에 두고 제1 박리부(31)의 제1 압압면(31a)과 제2 박리부(32)의 제2 압압면(32a)이 이웃하도록 배치되고, 제2 점착부(22)의 제2 점착면(22a)을 사이에 두고 제2 압압면(32a)과 제3 박리부(33)의 제3 압압면(33a)이 이웃하도록 배치되는 구성이, 상술한 제1 실시형태와는 상이하며, 그 이외의 구성은 제1 실시형태와 동일한 것이다.

도 3의 (a)~(c)에 나타나는 경우에는, 2개의 점착부(2)(제1 점착부(21)와 제2 점착부(22))를 사이에 두고 내외에 3개의 박리부(3)(제1 박리부(31)와 제2 박리부(32)와 제3 박리부(33))가 삼중으로 배치되며, 모든 압압면(3a)(제1 압압면(31a)과 제2 압압면(32a)과 제3 압압면(33a))을 돌출 변형시키고 있다.

도시예에서는, 가장 내측의 제1 박리부(31)를 대향면(11a)의 대략 중앙에 배치하고 있다. 또한, 척 본체(11)의 전체 형상이 원형의 판상이며, 제1 점착부(21) 및 제2 점착부(22)와 중간의 제2 박리부(32) 및 외측의 제3 박리부(33)를 각각 환상으로 형성하고 있다. 또, 척 본체(11)의 전체 사이즈를 제1 실시형태와 동일한 크기로 설정하고 있다.

즉, 제2 박리부(32)보다 외측에 배치되는 제3 박리부(33)의 제3 압압면(33a)은, 워크(W)의 표면(W1)에 있어서 외측의 제2 점착부(22)의 제2 점착면(22a)으로 점착 지지되는 중간의 피점착 부위(W5)보다 외측의 불점착 부위(W6)를 향하여 Z방향으로 돌출되어 압접된다.

이와 같은 제3 실시형태의 워크 점착 척 장치(A3)에 의하면, 박리용 구동부(5)의 작동에 의하여, 중앙의 제1 박리부(31)의 압압면(31a)과, 외측의 제2 박리부(32)의 압압면(32a) 및 제3 박리부(33)의 제3 압압면(33a)이, 내측의 피점착 부위(W2)를 사이에 두고 이웃하는 중앙의 불점착 부위(W3)와, 중간의 불점착 부위(W4) 및 외측의 불점착 부위(W6)를 향하여 돌출 변형되어, 각각 박리 방향(Z방향)으로 압압된다.

이로써, 내측의 제1 점착면(21a)에 대하여, 중앙의 불점착 부위(W3)와 중간의 불점착 부위(W4)에 연속한 내측의 피점착 부위(W2)의 양단 측으로부터 내외 중간 위치를 향하여 대략 동시에 떼어내져 각각 확개된다. 이와 동시에 외측의 제2 점착면(22a)에 대하여, 중간의 불점착 부위(W4)와 외측의 불점착 부위(W6)에 연속한 외측의 피점착 부위(W5)의 양단 측으로부터 내외 중간 위치를 향하여 대략 동시에 떼어내져 각각 확개된다.

따라서, 박판상의 워크(W)의 표면(W1)을 제1 점착부(21)의 제1 점착면(21a) 및 제2 점착부(22)의 제2 점착면(22a)으로부터 워크(W)의 미세한 변형으로 확실하게 떼어낼 수 있다.

그 결과, 1개의 점착부(2)를 사이에 두고 내외에 2개의 박리부(3)가 이중으로 배치된 전체 사이즈의 제1 실시형태에 비하여, 점착부(2)와 박리부(3)가 집약되지 않고 분산되어 배치된다. 이 때문에, 내측의 제1 점착면(21a) 및 외측의 제2 점착면(22a)에 의한 워크(W)의 점착력이나, 중앙의 제1 압압면(31a), 중간의 제2 압압면(32a) 및 외측의 제3 압압면(33a)에 의한 워크(W)의 박리력이 향상되어, 척 성능이 우수하다.

[워크 첩합기의 실시예]

워크 첩합기(B)는, 대향하는 한 쌍의 지지판(1, 1') 중 어느 일방이나 또는 양방에, 복수의 워크 점착 척 장치(A)를 각각 소정 간격마다 분산시켜 장착하고, 점착부(2)로 점착 지지된 워크(제1 워크)(W)를, 복수의 박리부(3)에 의한 점착부(2)로부터의 박리로, 또 하나의 워크(제2 워크)(W')에 첩합한다.

도 4에 나타나는 예에서는, 제1 실시형태의 워크 점착 척 장치(A1)가 일방(상방)의 지지판(1)에만 분산되어 조립되며, 점착부(2)로 워크(제1 워크)(W)를 착탈 가능하게 점착 지지하고, 타방(하방)의 지지판(1')에는, 시일재(C)를 개재하여 제1 워크(W)와 평행하게 대향하도록 또 하나의 워크(제2 워크)(W')가 지지되어 있다. 복수의 박리부(3)로 워크(제1 워크)(W)를 점착부(2)로부터 박리함으로써, 시일재(C)를 사이에 두고 또 하나의 워크(제2 워크)(W')에 중첩하여 첩합하고 있다.

또한 필요에 따라, 한 쌍의 지지판(1, 1') 중 어느 일방이나 또는 양방에는, 제1 워크(W)나 제2 워크(W')와 Z방향으로 대향하여 흡인 흡착부(12)가 마련되며, 복수의 흡인 흡착부(12)에 의하여 제1 워크(W) 또는 제2 워크(W') 중 어느 일방이나 또는 양방을 착탈 가능하게 흡인 흡착하는 것도 가능하다.

도시예에서는, 일방(상방)의 지지판(1)의 평활면(1a)에만, 복수의 워크 점착 척 장치(A)를 각각 둘러싸도록 복수의 흡인 흡착부(12)가 배치되어 있다.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 타방(하방)의 지지판(1')에도 워크 점착 척 장치(A)나 흡인 흡착부를 마련하는 것도 가능하다.

특히 LCD 등의 워크 첩합기에서는, 대기 분위기 또는 진공 분위기나 소정의 진공도에 도달한 분위기에서, 점착부(2)에 의하여 제1 워크(W)를 점착 지지하며, 이 점착 지지된 제1 워크(W)를 복수의 박리부(3)로 강제적으로 박리한 후에, 제1 워크(W)의 주위를 대기 개방하는(대기 분위기로 되돌리는) 것이 바람직하다.

이 경우에는, 내측의 제1 박리부(31)의 제1 압압면(31a)과 외측의 제2 박리부(32)의 제2 압압면(32a)을, 제1 워크(W)의 표면(W1)(내측의 제1 불점착 부위(W3), 외측의 불점착 부위(W4))에 접촉시킨 상태에서, 제1 워크(W)의 주위가 진공 분위기로부터 대기 개방되면, 점착부(2)가 배치되는 공간부(S1)는 진공 상태가 된다. 이 때문에, 제1 워크(W)의 표면(W1)(내측의 제1 불점착 부위(W3), 외측의 불점착 부위(W4))으로부터 내측의 제1 압압면(31a)과 외측의 제2 압압면(32a)을 박리할 수 없게 될 가능성이 있다.

이와 같은 경우이더라도, 외측의 제2 압압면(32a)이 압압 통로(3p)를 가짐으로써, 압압 통로(3p)를 통과하여 제2 박리부(32)보다 외측의 외방 공간(So)으로부터 점착부(2)가 있는 공간부(S1)로 공기가 유입되어, 공간부(S1)와 워크(W)의 사이가 진공 파괴된다. 또한 점착면(2a)이 점착 통로(2p)를 가짐으로써, 점착 통로(2p)를 통과하여 공간부(S1)로부터 점착부(2)보다 내측의 내방 공간(Si)으로 공기가 유입되어, 내방 공간(Si)과 워크(W)의 사이가 진공 파괴된다.

이로써, 진공 중에서 점착 박리된 워크(W)를 대기 분위기에서 복수의 박리부(3)(내측의 제1 박리부(31), 외측의 제2 박리부(32))로부터 용이하며 또한 확실하게 박리할 수 있다.

이와 같은 본 발명의 실시형태에 관한 워크 첩합기(B)에 의하면, 일방의 지지판(1)의 대향면(11a)에 있어서 복수의 워크 점착 척 장치(A)의 점착부(2)로 점착 지지된 워크(제1 워크)(W)를, 복수의 박리부(3)(내측의 제1 박리부(31), 외측의 제2 박리부(32))로, 타방의 지지판(1')에 지지된 또 하나의 워크(W')를 향하여 떼어낸다.

이로써, 점착부(2)로부터 떼어낸 워크(W)가 또 하나의 워크(W')에 첩합된다.

따라서, 변형되기 쉬운 박판상의 워크(제1 워크)(W)여도 점착부(2)의 점착면(2a)으로부터 비교적 작은 휨 변형으로 매끄럽게 떼어내, 또 하나의 워크(제2 워크)(W')에 첩합할 수 있다.

그 결과, 점착 고무와 이웃하는 가열 팽창부의 돌출 변형에 의하여, 가열 팽창부와 연속한 피점착 부위의 일단 측으로부터 일방향으로만 떼어내, 하방에 위치한 제2 기판과 첩합하여 LCD를 작성하는 종래의 것에 비하여, 워크(W)의 휨이 비교적 작아지기 때문에, 양 워크(제1 워크, 제2 워크)(W, W')의 간격에 차가 발생하기 어려워 액정의 흐름도 적어진다.

이로써, 진공 기포나 얼룩을 발생할 가능성이 낮아져, 제품의 수율이 향상되어 고성능인 제품의 생산이 도모된다.

또한, 상술한 실시형태(제1 실시형태~제3 실시형태)에서는, 척 본체(11)의 전체 형상이 원형의 판상인 경우를 설명했지만, 이에 한정되지 않고, 척 본체(11)의 전체 형상을 직사각형의 판상으로 변경해도 된다.

제3 실시형태에 있어서 도시예에서는, 2개의 점착부(2)가 사이에 끼워지도록 내외에 3개의 박리부(3)를 삼중으로 배치했지만, 이에 한정되지 않고, 3개 이상의 점착부(2)가 사이에 끼워지도록 내외에 4개 이상의 박리부(3)를 사중 이상으로 배치하는 것이나, 점착부(2) 및 박리부(3)를 사각 또는 다각형 등의 프레임 형상으로 마련하는 것이나, 대향면(11a)의 대략 중앙에 점착부(2)를 배치해도 된다. 척 본체(11)의 전체 사이즈는, 박리부(3)의 이중 배치보다 박리부(3)의 삼중 배치나 사중 이상으로 배치가 대형이 되도록 사이즈 변경하는 것도 가능하다.

이들의 경우에 있어서도, 상술한 제1 실시형태~제3 실시형태와 동일한 작용과 이점이 얻어진다.

또한, 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착 척 장치(A)를 워크 첩합기(B)에 이용한 경우를 설명했지만, 이에 한정되지 않고, 워크 첩합기(B) 대신에 워크 반송 장치 등에 이용하는 것도 가능하다.

이 경우에 있어서도, 상술한 워크 첩합기(B)와 동일한 작용과 이점이 얻어진다.

A : 워크 점착 척 장치 B : 워크 첩합기
1 : 일방의 지지판 1' : 타방의 지지판
2 : 점착부 21 : 제1 점착부
22 : 제2 점착부 2a : 점착면
21a : 제1 점착면 22a : 제2 점착면
3 : 박리부 31 : 제1 박리부
32 : 제2 박리부 33 : 제3 박리부
3a : 압압면 31a : 제1 압압면
32a : 제2 압압면 33a : 제3 압압면
5 : 박리용 구동부 6 : 제어부
11a : 대향면 S1 : 공간부
W : 워크(제1 워크) W1 : 표면
W2 : 피점착 부위 W3 : 불점착 부위
W4 : 불점착 부위 W' : 또 하나의 워크(제2 판상 워크)

Claims (4)

1. 박판상의 워크(W)에 대하여 접근 또는 이격하는 방향으로 상대적으로 이동 가능하게 마련되는 대향면과,
   상기 대향면에 상기 워크의 표면과 대향하도록 마련되는 점착부와,
   상기 대향면에 있어서 상기 점착부의 내측 및 외측에 각각 탄성 변형 가능하게 마련되는 복수의 박리부와,
   상기 복수의 박리부를 각각 상기 워크를 향하여 돌출 변형시키는 박리용 구동부와,
   상기 박리용 구동부를 작동 제어하는 제어부를 구비하고,
   상기 점착부는, 환상 또는 프레임 형상으로 형성되며, 상기 워크의 상기 표면과의 접촉에 의하여 상기 표면을 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착면을 갖고,
   상기 복수의 박리부는, 상기 워크의 상기 표면에 있어서 상기 점착면으로 점착 지지되는 피점착 부위를 사이에 두고 이웃하는 복수의 불점착 부위를 향하여 돌출 변형되어, 상기 복수의 불점착 부위를 압압하는 복수의 압압면을 가지며,
   상기 제어부는, 상기 복수의 압압면에 의한 상기 복수의 불점착 부위의 압압으로, 상기 점착면과 상기 피점착 부위의 사이에, 상기 복수의 불점착 부위와 연속한 상기 피점착 부위의 양단 측으로부터 확개되는 공간부(S1)가 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 워크 점착 척 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 박리부 중 내측의 제1 박리부를 둘러싸도록 상기 점착부가 환상 또는 프레임 형상으로 마련되고, 외측의 제2 박리부를 상기 점착부의 바깥 가장자리를 따라 환상 또는 프레임 형상으로 마련하며, 상기 점착부의 상기 점착면을 사이에 두고 상기 제1 박리부의 제1 압압면과 상기 제2 박리부의 제2 압압면이 이웃하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 워크 점착 척 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 복수의 박리부 중 가장 내측의 제1 박리부를 둘러싸도록, 상기 점착부로서 내측의 제1 점착부가 환상 또는 프레임 형상으로 마련되고, 상기 제1 박리부보다 외측의 제2 박리부를 상기 제1 점착부의 바깥 가장자리를 따라 환상 또는 프레임 형상으로 마련하며, 상기 제2 박리부를 둘러싸도록, 상기 점착부로서 외측의 제2 점착부가 환상 또는 프레임 형상으로 마련되고, 상기 제2 점착부의 외측에 상기 제2 박리부보다 외측의 제3 박리부를, 상기 제2 점착부의 바깥 가장자리를 따라 환상 또는 프레임 형상으로 마련하며, 상기 제1 점착부의 제1 점착면을 사이에 두고 상기 제1 박리부의 제1 압압면과 상기 제2 박리부의 제2 압압면이 이웃하도록 배치되고, 상기 제2 점착부의 제2 점착면을 사이에 두고 상기 제2 압압면과 상기 제3 박리부의 제3 압압면이 이웃하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 워크 점착 척 장치.
4. 제1항에 기재된 워크 점착 척 장치가, 대향하는 한 쌍의 지지판 중 어느 일방이나 또는 양방에 복수 마련되는 워크 첩합기로서,
   상기 워크 점착 척 장치의 상기 점착부로 상기 워크를 점착 지지하며, 상기 한 쌍의 지지판 중 일방의 지지판에 마련된 상기 워크 점착 척 장치의 상기 복수의 박리부로, 상기 점착부로부터 떼어낸 상기 워크가, 상기 한 쌍의 지지판 중 타방의 지지판으로 지지한 또 하나의 워크에 첩합되는 것을 특징으로 하는 워크 첩합기.

Images