WO2018173258A1 - フィルム貼付装置、ｅｌデバイスの製造装置、ｅｌデバイスの製造方法、及びコントローラ - Google Patents

フィルム貼付装置、ｅｌデバイスの製造装置、ｅｌデバイスの製造方法、及びコントローラ Download PDF

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幸治 古橋
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    • G09F9/301—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements flexible foldable or roll-able electronic displays, e.g. thin LCD, OLED

Definitions

  • the present invention relates to a film pasting apparatus and an EL device manufacturing apparatus for pasting a film such as an EL device having an EL (electroluminescence) element to a curved curved housing using an airbag. , An EL device manufacturing method, and a controller.
  • Patent Document 2 a bonding apparatus that can bond an object to be bonded to a plate-like body with a uniform pressure on one surface of a plate-like body having a curved surface.
  • This bonding apparatus has a pressing portion that presses the adherend to the plate-like body and an area wider than the adhesion surface of the adherend to the plate-like body, and when the adherend is pressed by the pressing portion, And a support portion that supports the other surface side of the portion of the plate-like body where the adherend is disposed with a support surface along the curved surface shape on the other surface side.
  • an apparatus for attaching or applying an adhesive member such as an adhesive, a tape, or a film to a housing having a curved surface using an air bag For example, in a display panel in which a curved surface is formed like a display panel in which a flexible EL device is formed, a film on which the EL device is formed is attached to a cover glass having a curved surface using an airbag.
  • the film may not be sufficiently pressurized so that the film reaches the bottom of the concave portion of the curved surface of the cover glass.
  • a gap may be generated between the film portion that has not reached the bottom portion of the concave portion of the curved surface of the cover glass and the bottom of the concave portion of the cover glass, and bubbles may be generated.
  • the film sticking apparatus includes a stage on which a member to be pasted with a curved surface is placed, and the curved surface with the film for sticking to the curved surface of the member to be stuck placed on the stage.
  • An air bag disposed at a position facing the air bag, a support member that supports the air bag, and a protrusion projecting toward the inner surface of the air bag to push the film toward a curved surface formed on the adherend member.
  • the support member is provided with one or more push-out arms.
  • a film can be satisfactorily adhered to a member to be adhered having a curved surface.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a film sticking apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the film sticking apparatus 1 includes a stage 2. On the stage 2, a housing 13 (a member to be pasted) having a curved surface deformed in a complicated manner is placed.
  • the film affixing device 1 is provided with a rubber airbag 3.
  • the airbag 3 is arranged at a position facing the inner curved surface 23 inside the casing 13 with a film 17 to be attached to an inner curved surface 23 being a curved surface inside the casing 13 placed on the stage 2 interposed therebetween. Is done.
  • the film 17 is, for example, an OLED (Organic Light Emitting Diode) planar film in which an EL element is formed, but is not limited to this, for example, OCA (Optical Clear Optical Adhesive), POL (polarizer) (Polarizing plate)) or a touch panel.
  • OCA Optical Clear Optical Adhesive
  • POL polarizer
  • the film 17 as a flexible display is not particularly limited as long as it is a display panel having a flexible and bendable optical element.
  • the optical element is an optical element whose luminance and transmittance are controlled by electric current.
  • an organic EL (Electro Luminescence) having an OLED (Organic Light Emitting Diode) is used as such an optical element for current control.
  • Electroluminescence) display or an EL display such as an inorganic EL display provided with an inorganic light emitting diode, and a QLED display provided with a QLED (Quantum dot Light Emitting Diode).
  • the film sticking apparatus 1 includes a support member 4 that supports the airbag 3.
  • the support member 4 is provided so as to protrude toward the inside of the airbag 3.
  • a plurality of air discharge ports 6 are formed in the support member 4 for releasing the air 10 that pressurizes the film 17 toward the inner curved surface 23 of the housing 13 by inflating the air bag 3 toward the inner surface of the air bag 3.
  • the support member 4 includes a plurality of push-out arms 5 provided on the support member 4 to push the film 17 toward the inner curved surface 23 of the housing 13.
  • the push-out arm 5 is a rod-like expandable member provided so as to protrude in the horizontal direction from the side surface of the support member 4 toward the inner surface of the airbag 3.
  • a connecting member 15 for connecting the airbag 3 to the pushing arm 5 is provided at the tip of each pushing arm 5.
  • a part of the plurality of push-out arms 5 is disposed at a position corresponding to the convex portion of the inner curved surface 23 of the housing 13. Another part of the plurality of push-out arms 5 is disposed at a position corresponding to the concave portion of the inner curved surface 23 of the housing 13.
  • a convex portion is formed on the inner curved surface 23 of the housing 13. And a recessed part is formed under this convex part. And another recessed part is formed above this convex part.
  • Four pushing arms 5 projecting in four directions from the side surface of the support member 4 are arranged at positions corresponding to the convex portions of the inner curved surface 23.
  • the other four pushing arms 5 projecting in all directions are arranged at positions corresponding to the concave portions on the lower side of the convex portions.
  • Four other push-out arms 5 protruding in four directions are arranged at positions corresponding to the concave portions on the upper side of the convex portions.
  • the extrusion arm 5 which protrudes below on the lower surface of the support member 4 is arrange
  • the film sticking apparatus 1 includes a moving mechanism 16.
  • the moving mechanism 16 moves the support member 4 in the vertical direction and the horizontal direction, inserts the support member 4 into the housing 13, and pushes the support member 4 to a position corresponding to the convex portion of the inner curved surface 23 of the housing 13. A part of the arm 5 is arranged.
  • a control circuit 22 is provided in the film sticking apparatus 1.
  • the control circuit 22 controls expansion and contraction of the push arm 5 so as to push the film 17 toward the inner curved surface 23 of the housing 13.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the operation of the film sticking apparatus 1.
  • the film sticking device 1 configured as described above operates as follows. Referring to FIG. 1, first, the film 17 is supplied along the inner curved surface 23 of the housing 13. And the four pushing arms 5 are arranged at a position corresponding to the convex part of the inner curved surface 23, and the other four pushing arms 5 are arranged at a position corresponding to the concave part below the convex part, and The moving mechanism 16 moves the support member 4 into the housing 13 to which the film 17 is supplied so that the other four pushing arms 5 are arranged at positions corresponding to the concave portions on the upper side of the convex portions.
  • the air 10 is discharged from the air discharge port 6 and the airbag 3 is expanded. Thereafter, the other four pushing arms 5 corresponding to the lower recesses extend in all directions to push out the airbag 3. For this reason, the film 17 is pushed out by the airbag 3 toward the lower concave portion of the inner curved surface 23 of the housing 13. As a result, the film 17 can be satisfactorily adhered to the lower recess of the housing 13.
  • the other four pushing arms 5 corresponding to the upper recesses extend in all directions to push out the airbag 3. For this reason, the film 17 is pushed out by the airbag 3 toward the concave portion on the upper side of the inner curved surface 23 of the housing 13. As a result, the film 17 can be satisfactorily adhered to the concave portion on the upper side of the housing 13.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the film sticking apparatus 91 according to the comparative example.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the operation of the film sticking device 91.
  • the same reference numerals are given to the same components as those described above. Detailed description of these components will not be repeated.
  • the film sticking device 91 according to the comparative example is not provided with the extrusion arm 5, the coupling member 15, and the control circuit 22.
  • Other configurations are the same as those of the film sticking apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the film 17 is supplied along the inner curved surface 23 of the housing 13. Then, the airbag 3 moves into the housing 13. Next, as shown in FIG. 4, the air 10 is discharged from the air discharge port 6 and the airbag 3 is expanded. Thereafter, the film 17 is pressurized toward the inner curved surface 23 of the housing 13 by the inflated airbag 3, and the film 17 is attached to the inner curved surface 23 of the housing 13.
  • the film 17 reaches the bottom of the concave portion on the lower side of the inner curved surface 23 of the housing 13, for example. 17 may not be sufficiently pressurized. Similarly, the film 17 may not reach the upper concave portion. In this case, a gap may be generated between the portion of the film 17 that has not reached the concave portion of the inner curved surface 23 and the concave portion of the inner curved surface 23 to generate bubbles.
  • the extrusion arm 5 corresponding to the lower concave portion of the inner curved surface 23 extends, and the film 17 is pushed toward the lower concave portion of the inner curved surface 23. For this reason, the film 17 can be satisfactorily adhered to the lower concave portion of the inner curved surface 23.
  • the extrusion arm 5 corresponding to the upper concave portion of the inner curved surface 23 extends, and the film 17 is pushed toward the upper concave portion. For this reason, the film 17 can be satisfactorily adhered to the concave portion on the upper side of the inner curved surface 23.
  • film sticking apparatus 1 is implemented under vacuum, you may implement under normal pressure or pressure reduction. The same applies to the embodiments described later.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the film sticking apparatus 1A according to the second embodiment.
  • the same reference numerals are given to the same components as those described above. Detailed description of these components will not be repeated.
  • Embodiment 2 is an application example to an OLED module (EL device) in which a film 17 made of an optical adhesive sheet (OCA) is attached to a cover glass 14 (CG).
  • OCA optical adhesive sheet
  • the film sticking apparatus 1A includes a stage 2. On this stage 2, a cover glass 14 (a member to be bonded) on which a curved surface deformed in a complicated manner is formed is placed.
  • the airbag 3 is provided in the film sticking apparatus 1A.
  • the airbag 3 is disposed at a position facing the cover glass 14 with a film 17 to be attached to the upper curved surface of the cover glass 14 placed on the stage 2 interposed therebetween.
  • the transfer sheet 18 is wound around the airbag 3 so as to face the cover glass 14.
  • a film 17 is disposed at a position facing the cover glass 14 of the transfer sheet 18.
  • the film sticking apparatus 1 ⁇ / b> A includes a support member 4 that supports the airbag 3.
  • the support member 4 is provided so as to protrude toward the inside of the airbag 3.
  • a plurality of air discharge ports 6 are formed in the support member 4 for releasing the air 10 that pressurizes the film 17 toward the upper curved surface of the cover glass 14 by inflating the air bag 3 toward the inner surface of the air bag 3.
  • the support member 4 includes a plurality of extrusion arms 5 provided on the support member 4 in order to push the film 17 toward the upper curved surface of the cover glass 14.
  • the push-out arm 5 is provided so as to protrude obliquely downward from the side surface of the support member 4 toward the inner surface of the airbag 3, or from the lower surface of the support member 4. It is a rod-like expandable member provided so as to protrude downward toward the inner surface.
  • a connecting member 15 for connecting the airbag 3 to the pushing arm 5 is provided at the tip of the pushing arm 5.
  • the pushing arm 5 provided on the lower surface of the support member 4 is disposed at a position corresponding to the convex portion of the curved surface on the upper side of the cover glass 14.
  • the pushing arm 5 provided on the side surface of the support member 4 is disposed at a position corresponding to the concave portion adjacent to the convex portion of the cover glass 14.
  • one pushing arm 5 is disposed on the lower surface of the support member 4.
  • Four sets of two pushing arms 5 arranged along the vertical direction are arranged on the side surface of the support member 4.
  • One set of the four sets of two push-out arms 5 is disposed so as to protrude diagonally downward to the left.
  • the other one of the four sets of two push-out arms 5 is disposed so as to protrude obliquely downward to the right.
  • the other set is disposed so as to protrude obliquely downward toward the front.
  • the other set is arranged so as to protrude obliquely downward on the other side, but is not drawn in FIG. 5 because it is blocked by the support member 4 and cannot be seen.
  • the film sticking apparatus 1A includes a moving mechanism 16A.
  • the moving mechanism 16 ⁇ / b> A moves the support member 4 in the vertical direction and the horizontal direction so that the pushing arm 5 provided on the lower surface of the support member 4 is disposed at a position corresponding to the convex portion of the curved surface on the upper side of the cover glass 14.
  • Let A camera that recognizes the positions of the cover glass 14 and the airbag 3 may be provided to align the cover glass 14 and the airbag 3.
  • the film sticking apparatus 1A is provided with a control circuit 22A.
  • the control circuit 22 ⁇ / b> A controls the expansion and contraction of the extrusion arm 5 so as to push out the film 17 toward the upper curved surface of the cover glass 14.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the operation of the film sticking apparatus 1A.
  • the film sticking apparatus 1A configured as described above operates as follows. Referring to FIG. 5, first, the transfer sheet 18 on which the film 17 is mounted is supplied along the surface of the airbag 3 on the cover glass 14 side so that the film 17 faces the cover glass 14. Then, the moving mechanism 16A moves the support member 4 in the vertical direction and the horizontal direction so that the pushing arm 5 provided on the lower surface of the support member 4 is disposed at a position corresponding to the convex portion of the curved surface on the upper side of the cover glass 14. Move.
  • the air 10 is discharged from the air discharge port 6 and the airbag 3 is expanded. Thereafter, the pushing arm 5 provided on the lower surface of the support member 4 extends downward, and the film 17 is pushed out toward the curved convex portion on the upper side of the cover glass 14. For this reason, the film 17 is satisfactorily adhered to the convex portion of the curved surface on the upper side of the cover glass 14.
  • the four push-out arms 5 arranged on the lower side are the left diagonally downward direction, the right diagonally downward direction, and the diagonally downward front.
  • the film 17 is pushed out toward the concave portion adjacent to the convex portion of the cover glass 14 extending in the direction and obliquely downward on the far side.
  • the four pushing arms 5 arranged on the upper side of the four sets of the two pushing arms 5 are arranged in a diagonally downward left direction, a diagonally downward right direction, a diagonally downward direction toward the front, and a diagonally downward direction on the far side.
  • the film 17 is pushed out toward the concave portion away from the convex portion of the cover glass 14. As a result, the film 17 is satisfactorily adhered to the concave portion of the cover glass 14.
  • the lower four pushing arms 5 provided on the side surface of the support member 4 extend obliquely downward, and then the upper four pushing arms 5 obliquely downward. extend.
  • the film 17 can be adhered to the cover glass 14 in a favorable manner toward the outside sequentially with the convex portion of the curved surface of the cover glass 14 as the center.
  • control circuit 22A controls the air bag 3 arbitrarily by controlling the operation of the support member 4 in the vertical and horizontal directions, the expansion / contraction operation of the push arm 5 and the expansion operation of the air bag 3 by the air-10.
  • the film 17 may be attached to the cover glass 14 by continuously changing or expanding the shape of the film 17 and controlling the pressing position and pressing order of the film 17 by the plurality of pushing arms 5. .
  • the cover glass 14 has a central portion formed with a flat surface and an outer corner portion formed with a curved surface.
  • the support member 4 is moved above the center portion of the cover glass 14 by the moving mechanism 16A.
  • the control circuit 22 ⁇ / b> A extends the pushing arm 5.
  • the airbag 3 contacts the center portion of the cover glass 14.
  • the air bag 3 expands when the control circuit 22A releases the air 10 from the air discharge port 6.
  • the film 17 made of OCA is pressed toward the center of the cover glass 14.
  • the control circuit 22 ⁇ / b> A extends the other pushing arm 5, so that the airbag 3 comes into contact with the outer peripheral corner portion of the cover glass 14.
  • the film 17 made of OCA is pressed toward the corner portion of the cover glass 14.
  • the connecting member 15 may not be provided, and the tip of the pushing arm 5 may be configured not to be connected to the airbag 3. Further, the coupling member 15 may be provided only on the pushing arm 5 disposed below the support member 4.
  • the air 10 may be configured not only to be discharged from the air discharge port 6 of the support member 4 but also to be sucked. By controlling the discharge timing and suction timing of the air 10, the airbag 3 can be changed into an arbitrary shape at an arbitrary timing.
  • the pushing arm 5 may be configured such that the air 10 is discharged and sucked from the tip thereof. Further, an air discharge port and an air suction port may be formed in the coupling member 15. Further, a member in which an air discharge port and an air suction port are formed may be provided in the vicinity of 15 of the coupling member.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a film sticking apparatus 91A according to another comparative example.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the operation of the film sticking apparatus 91A.
  • the same reference numerals are given to the same components as those described above. Detailed description of these components will not be repeated.
  • the film sticking apparatus 91A according to the comparative example is not provided with the extrusion arm 5, the coupling member 15, and the control circuit 22A.
  • Other configurations are the same as those of the film sticking apparatus 1A according to the second embodiment.
  • the transfer sheet 18 on which the film 17 is mounted is supplied along the surface of the airbag 3 on the cover glass 14 side so that the film 17 faces the cover glass 14.
  • 16 A of moving mechanisms move the supporting member 4 so that the supporting member 4 may be arrange
  • the air 10 is discharged from the air discharge port 6 and the airbag 3 is expanded. Thereafter, the film 17 is pressed toward the upper curved surface of the cover glass 14 by the expanded airbag 3 and the vertical movement of the support member 4, and the film 17 is attached to the curved surface of the cover glass 14.
  • the film 17 is sufficiently added so that the film 17 reaches the concave portion of the curved surface on the upper side of the cover glass 14, for example. It may not be possible to press. In this case, a gap may be generated between the portion of the film 17 that has not reached the concave portion of the cover glass 14 and the concave portion of the cover glass 14, and bubbles may be generated.
  • the plurality of push-out arms 5 provided on the side surface of the support member 4 corresponding to the recesses of the cover glass 14 extend and are directed toward the recesses of the cover glass 14. Is pushed out. For this reason, the film 17 is satisfactorily adhered to the concave portion of the cover glass 14.
  • the film sticking apparatus is a position that faces a curved surface across a stage on which a member to be stuck having a curved surface is placed and a film that is stuck on the curved surface of the member to be stuck placed on the stage.
  • An airbag disposed on the airbag; a support member supporting the airbag; and the support projecting toward the inner surface of the airbag to push the film toward a curved surface formed on the member to be bonded And one or more push-out arms provided on the member.
  • the support member is formed with an air discharge port for discharging air for inflating the airbag and pressurizing the film toward the curved surface.
  • the push arm pushes the film toward the concave portion of the curved surface.
  • an optical element is formed on the film, and the member to be adhered is a cover glass.
  • a plurality of the push-out arms are provided, and further includes a moving mechanism that moves the support member to a position corresponding to the convex portion of the curved surface formed on the adherend member.
  • a moving mechanism that moves the support member to a position corresponding to the convex portion of the curved surface formed on the adherend member.
  • the air discharge port that discharges air for inflating the airbag and pressurizing the film toward the curved surface, or the air suction port that sucks air to contract the airbag Formed on the extrusion arm.
  • a coupling member for coupling the airbag to the extrusion arm is provided at the tip of the extrusion arm, and air for inflating the airbag to pressurize the film toward the curved surface is provided.
  • An air discharge port that discharges air or an air suction port that sucks air to contract the air bag is formed at or near the coupling member.
  • the EL device manufacturing apparatus includes a stage on which a cover glass having a curved surface is placed, and a position facing the curved surface with a film attached to the curved surface of the cover glass placed on the stage.
  • An air bag disposed on the air bag, and a support member that supports the air bag, the EL element being formed on the film, and the air bag for extruding the film toward a curved surface formed on the cover glass And one or more push-out arms provided on the support member so as to protrude toward the inner surface.
  • the method of manufacturing an EL device includes a placing step of placing a cover glass on which a curved surface is formed on a stage, and the curved surface with a film attached to the curved surface of the cover glass placed on the stage.
  • the method further includes an extruding step of extruding the film toward the curved surface formed on the cover glass by one or more extruding arms provided on the support member so as to protrude toward the inner surface of the airbag while pressing. To do.
  • a controller of aspect 10 is a controller that controls the EL device manufacturing apparatus according to aspect 8, and controls the one or more extrusion arms to extrude the film toward a curved surface formed on the cover glass.
  • a control circuit is provided.

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Abstract

フィルム貼付装置（１）は、曲面が形成されたカバーガラス（１４）を載置するステージ（２）と、カバーガラス（１４）の曲面に貼り付けるためのフィルム（１７）を挟んで曲面に対向する位置に配置されるエアバック（３）と、エアバック（３）を支持する支持部材（４）と、カバーガラス（１４）の曲面に向かってフィルム（１７）を押し出すために支持部材（４）に設けられた押し出しアーム（５）とを備える。

Description

フィルム貼付装置、ＥＬデバイスの製造装置、ＥＬデバイスの製造方法、及びコントローラ
　本発明は、本発明は、ＥＬ（electroluminescence）素子が形成されたＥＬデバイス等のフィルム等を、湾曲した曲面を有する筐体等にエアバックを用いて貼り付けるフィルム貼付装置、ＥＬデバイスの製造装置、ＥＬデバイスの製造方法、及びコントローラに関する。
　従来、第一の基板と第二の基板の周辺を所定の隙間を設けて接着剤で封止し、液晶を注入する液晶表示パネルの製造方法において、エアバックで一方の基板の中心から徐々に周縁まで他方の基板に押し付けて２枚の基板間の空気を抜き、セルギャップを形成する液晶表示パネルの製造方法が知られている（特許文献１）。
　また、曲面状の表面を有する板状体の一面に、被接着物を板状体に均一な圧力で接着可能な接着装置が知られている（特許文献２）。この接着装置は、被接着物を板状体に押圧する押圧部と、被接着物の板状体に対する接着面よりも広い面積を有し、押圧部によって被接着物が押圧されたときに、板状体における被接着物が配置されている部分の他面側を、該他面側の曲面形状に沿う支持面で支持する支持部と、を備える。
日本国公開特許公報「特開2001-255540号公報（2001年09月21日公開）」 日本国公開特許公報「特開2015-98516号公報（2015年05月28日公開）」
　昨今、湾曲した曲面を有する筐体等に粘着剤、テープ、フィルム等の貼付部材を、エアバックを用いて貼り付け又は塗布する装置に対する要望が高まっている。例えばフレキシブルなＥＬデバイスが形成された表示パネルのように湾曲した曲面が形成される表示パネルでは、ＥＬデバイスが形成されたフィルムを湾曲した曲面を有するカバーガラスにエアバックを用いて貼り付ける。
　しかしながら、エアバックによりフィルムをカバーガラスの曲面に加圧するときに、十分にフィルムを加圧できない箇所がカバーガラスの曲面に局所的に生じるという問題がある。即ち、カバーガラスの曲面の全面にフィルムが到達するようにフィルムの全面を十分に加圧することができない場合がある。
　例えば、カバーガラスの曲面の凹部の底の箇所にまでフィルムが到達するようにフィルムを十分に加圧することができない場合がある。この場合、カバーガラスの曲面の凹部の底の箇所にまで到達しなかったフィルムの箇所とカバーガラスの凹部の底との間に隙間が発生して気泡が生じるおそれがある。
　本発明の一態様に係るフィルム貼付装置は、曲面が形成された被貼付部材を載置するステージと、前記ステージに載置された被貼付部材の曲面に貼り付けるためのフィルムを挟んで前記曲面に対向する位置に配置されるエアバックと、前記エアバックを支持する支持部材と、前記被貼付部材に形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出すために前記エアバックの内面に向かって突出するように前記支持部材に設けられた１本以上の押し出しアームとを備えることを特徴とする。
　本発明の一態様によれば、曲面が形成された被貼付部材にフィルムを良好に貼り付けることができる。
実施形態１に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す断面図である。 上記フィルム貼付装置の動作を説明するための断面図である。 比較例に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す断面図である。 上記フィルム貼付装置の動作を説明するための断面図である。 実施形態２に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す断面図である。 上記フィルム貼付装置の動作を説明するための断面図である。 他の比較例に係るフィルム貼付装置の構成を模式的に示す断面図である。 上記フィルム貼付装置の動作を説明するための断面図である。
　（実施形態１）
　（フィルム貼付装置１の構成）
　図１は実施形態１に係るフィルム貼付装置１の構成を模式的に示す断面図である。フィルム貼付装置１はステージ２を備える。このステージ２に、複雑に変形した曲面が形成された筐体１３（被貼付部材）が載置される。
　フィルム貼付装置１にゴム製のエアバック３が設けられる。エアバック３は、ステージ２に載置された筐体１３の内側の曲面である内曲面２３に貼り付けるためのフィルム１７を挟んで、筐体１３の内部において内曲面２３に対向する位置に配置される。
　フィルム１７は、例えば、ＥＬ素子が形成されたＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode、有機発光ダイオード）平面フィルムであるが、これに限らず、例えば、ＯＣＡ（Optical Clear Adhesive、光学粘着シート）、ＰＯＬ（polarizer（偏光板））、又はタッチパネルであってもよい。
　また、フレキシブルディスプレイとしてのフィルム１７は、柔軟性を有し、屈曲可能な光学素子を備えた表示パネルであれば、特に限定されるものではない。上記光学素子は、電流によって輝度や透過率が制御される光学素子であり、このような電流制御の光学素子としては、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）を備えた有機ＥＬ（Electro Luminescence：エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、又は無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ等のＥＬディスプレイ、並びに、ＱＬＥＤ（Quantum dot Light Emitting Diode：量子ドット発光ダイオード）を備えたＱＬＥＤディスプレイ等がある。
　フィルム貼付装置１はエアバック３を支持する支持部材４を備える。支持部材４は、エアバック３の内部に向かって突出するように設けられる。エアバック３を膨張させて筐体１３の内曲面２３に向かってフィルム１７を加圧するエアー１０をエアバック３の内面に向かって放出するための複数のエアー放出口６が支持部材４に形成される。
　支持部材４は、筐体１３の内曲面２３に向かってフィルム１７を押し出すために支持部材４に設けられた複数の押し出しアーム５を備える。押し出しアーム５は、支持部材４の側面からエアバック３の内面に向かって水平方向に突出するように設けられる棒状の伸縮可能な部材である。
　各押し出しアーム５の先端に、エアバック３を押し出しアーム５と結合するための結合部材１５が設けられる。
　複数の押し出しアーム５のうちの一部は、筐体１３の内曲面２３の凸部に対応する位置に配置される。複数の押し出しアーム５のうちの他の一部は、筐体１３の内曲面２３の凹部に対応する位置に配置される。
　図１に示す例では、筐体１３の内曲面２３に凸部が形成される。そして、この凸部の下側に凹部が形成される。そして、この凸部の上側に他の凹部が形成される。内曲面２３の凸部に対応する位置に支持部材４の側面から四方に突出する４本の押し出しアーム５が配置される。上記凸部の下側の凹部に対応する位置に四方に突出する他の４本の押し出しアーム５が配置される。上記凸部の上側の凹部に対応する位置に四方に突出するさらに他の４本の押し出しアーム５が配置される。そして、支持部材４の下面に下方に突出する押し出しアーム５が配置される。
　フィルム貼付装置１は移動機構１６を備える。移動機構１６は、支持部材４を垂直方向、水平方向に移動させて、支持部材４を筐体１３の内部に挿入し、筐体１３の内曲面２３の凸部に対応する位置に複数の押し出しアーム５のうちの一部を配置させる。
　フィルム貼付装置１に制御回路２２が設けられる。制御回路２２は、筐体１３の内曲面２３に向かってフィルム１７を押し出すように押し出しアーム５の伸縮を制御する。
　（フィルム貼付装置１の動作）
　図２はフィルム貼付装置１の動作を説明するための断面図である。
　このように構成されたフィルム貼付装置１は以下のように動作する。図１を参照すると、まず、筐体１３の内曲面２３に沿ってフィルム１７が供給される。そして、内曲面２３の凸部に対応する位置に上記４本の押し出しアーム５が配置され、上記凸部の下側の凹部に対応する位置に他の４本の押し出しアーム５が配置され、及び、上記凸部の上側の凹部に対応する位置にさらに他の４本の押し出しアーム５が配置されるように、フィルム１７が供給された筐体１３の内部に支持部材４を移動機構１６が移動させる。
　次に、図２を参照すると、エアー放出口６からエアー１０が放出されてエアバック３が膨張する。その後、下側の凹部に対応する他の４本の押し出しアーム５が四方に伸びてエアバック３を押し出す。このため、筐体１３の内曲面２３の下側の凹部に向かってフィルム１７がエアバック３により押し出される。この結果、筐体１３の下側の凹部にもフィルム１７が良好に貼り付けられる。
　そして、上側の凹部に対応するさらに他の４本の押し出しアーム５が四方に伸びてエアバック３を押し出す。このため、筐体１３の内曲面２３の上側の凹部に向かってフィルム１７がエアバック３により押し出される。この結果、筐体１３の上側の凹部にもフィルム１７が良好に貼り付けられる。
　（比較例）
　図３は比較例に係るフィルム貼付装置９１の構成を模式的に示す断面図である。図４はフィルム貼付装置９１の動作を説明するための断面図である。前述した構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。
　比較例に係るフィルム貼付装置９１には、押し出しアーム５、結合部材１５、及び制御回路２２が設けられていない。それ以外の構成は実施形態１に係るフィルム貼付装置１と同様である。
　図３を参照すると、まず、筐体１３の内曲面２３に沿ってフィルム１７が供給される。そして、エアバック３が筐体１３の内部に移動する。次に、図４に示すように、エアー放出口６からエアー１０が放出されてエアバック３が膨張する。その後、膨張したエアバック３によりフィルム１７が筐体１３の内曲面２３に向かって加圧されて、筐体１３の内曲面２３にフィルム１７が貼り付けられる。
　しかしながら、エアー放出口６からエアー１０が放出されてエアバック３が膨張するだけでは、例えば、筐体１３の内曲面２３の下側の凹部の底の箇所にまでフィルム１７が到達するようにフィルム１７を十分に加圧することができない場合がある。同様に、上側の凹部の箇所にまでフィルム１７が到達しない場合もある。この場合、内曲面２３の凹部にまで到達しなかったフィルム１７の箇所と内曲面２３の凹部との間に隙間が発生して気泡が生じるおそれがある。
　これに対して、実施形態１によれば、内曲面２３の下側の凹部に対応する押し出しアーム５が伸びて、内曲面２３の下側の凹部に向かってフィルム１７が押し出される。このため、内曲面２３の下側の凹部にもフィルム１７が良好に貼り付けられる。
　また、内曲面２３の上側の凹部に対応する押し出しアーム５が伸びて、上側の凹部に向かってフィルム１７が押し出される。このため、内曲面２３の上側の凹部にもフィルム１７が良好に貼り付けられる。
　このように、押し出しアーム５により意図的にエアバック３を部分的に広げると、エアー１０のみによっては筐体１３の内曲面２３の凹部にまで到達しなかったフィルム１７の箇所と内曲面２３の凹部との間に隙間が発生せず、気泡が生じて不良が発生するという問題が解決される。
　なお、フィルム貼付装置１は、真空下で実施されるものであるが、常圧下、又は減圧下で実施してもよい。後述する実施形態も同様である。
　（実施形態２）
　（フィルム貼付装置１Ａの構成）
　図５は実施形態２に係るフィルム貼付装置１Ａの構成を模式的に示す断面図である。前述した構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。
　実施形態２は、カバーガラス１４（ＣＧ）に光学粘着シート（ＯＣＡ）からなるフィルム１７を貼り付けるＯＬＥＤモジュール（ＥＬデバイス）への適用事例である。
　フィルム貼付装置１Ａはステージ２を備える。このステージ２に、複雑に変形した曲面が形成されたカバーガラス１４（被貼付部材）が載置される。
　フィルム貼付装置１Ａにエアバック３が設けられる。エアバック３は、ステージ２に載置されたカバーガラス１４の上側の曲面に貼り付けるためのフィルム１７を挟んで、カバーガラス１４に対向する位置に配置される。転写シート１８がカバーガラス１４に対面するようにエアバック３に巻き付けられる。転写シート１８のカバーガラス１４に対面する位置にフィルム１７が配置される。
　フィルム貼付装置１Ａはエアバック３を支持する支持部材４を備える。支持部材４は、エアバック３の内部に向かって突出するように設けられる。エアバック３を膨張させてカバーガラス１４の上側の曲面に向かってフィルム１７を加圧するエアー１０をエアバック３の内面に向かって放出するための複数のエアー放出口６が支持部材４に形成される。
　支持部材４は、カバーガラス１４の上側の曲面に向かってフィルム１７を押し出すために支持部材４に設けられた複数の押し出しアーム５を備える。押し出しアーム５は、図５に示すように、支持部材４の側面からエアバック３の内面に向かって斜め下方向に突出するように設けられるか、又は、支持部材４の下面からエアバック３の内面に向かって下方向に突出するように設けられる棒状の伸縮可能な部材である。
　押し出しアーム５の先端に、エアバック３を押し出しアーム５と結合するための結合部材１５が設けられる。
　支持部材４の下面に設けられた押し出しアーム５は、カバーガラス１４の上側の曲面の凸部に対応する位置に配置される。支持部材４の側面に設けられた押し出しアーム５は、カバーガラス１４の上記凸部に隣接する凹部に対応する位置に配置される。
　図５に示す例では、支持部材４の下面に１本の押し出しアーム５が配置される。支持部材４の側面に、上下方向に沿って配置される２本の押し出しアーム５が四組配置される。４組の２本の押し出しアーム５のうちの一組は左斜め下方向に突出して配置される。４組の２本の押し出しアーム５のうちの他の一組は右斜め下方向に突出して配置される。さらに他の一組は手前斜め下方向に突出して配置される。さらに他の一組は向こう側斜め下方向に突出して配置されるが、図５では支持部材４に遮られて見えないため描かれていない。
　フィルム貼付装置１Ａは移動機構１６Ａを備える。移動機構１６Ａは、支持部材４の下面に設けられた押し出しアーム５がカバーガラス１４の上側の曲面の凸部に対応する位置に配置されるように、支持部材４を上下方向、左右方向に移動させる。カバーガラス１４とエアバック３との位置を認識するカメラを設けて、カバーガラス１４とエアバック３との位置合わせをしてもよい。
　フィルム貼付装置１Ａに制御回路２２Ａが設けられる。制御回路２２Ａは、カバーガラス１４の上側の曲面に向かってフィルム１７を押し出すように押し出しアーム５の伸縮を制御する。
　（フィルム貼付装置１Ａの動作）
　図６はフィルム貼付装置１Ａの動作を説明するための断面図である。
　このように構成されたフィルム貼付装置１Ａは以下のように動作する。図５を参照すると、まず、フィルム１７を搭載した転写シート１８が、エアバック３のカバーガラス１４側の表面に沿って、フィルム１７がカバーガラス１４に対面するように供給される。そして、支持部材４の下面に設けられた押し出しアーム５がカバーガラス１４の上側の曲面の凸部に対応する位置に配置されるように、移動機構１６Ａが支持部材４を上下方向、水平方向に移動させる。
　次に、図６に示すように、エアー放出口６からエアー１０が放出されてエアバック３が膨張する。その後、支持部材４の下面に設けられた押し出しアーム５が下方向に向かって伸びて、カバーガラス１４の上側の曲面の凸部に向かってフィルム１７が押し出される。このため、カバーガラス１４の上側の曲面の凸部にフィルム１７が良好に貼り付けられる。
　そして、支持部材４の側面に配置された四組の２本の押し出しアーム５のうちの下側に配置された４本の押し出しアーム５が、左斜め下方向、右斜め下方向、手前斜め下方向、及び向こう側斜め下方向に向かってそれぞれ伸びて、カバーガラス１４の凸部に隣接する凹部の箇所に向かってフィルム１７が押し出される。
　次に、四組の２本の押し出しアーム５のうちの上側に配置された４本の押し出しアーム５が、左斜め下方向、右斜め下方向、手前斜め下方向、及び向こう側斜め下方向に向かってそれぞれ伸びて、カバーガラス１４の凸部にから離れた凹部の箇所に向かってフィルム１７が押し出される。この結果、カバーガラス１４の凹部にもフィルム１７が良好に貼り付けられる。
　このように、まず、支持部材４の側面に設けられた下側の４本の押し出しアーム５が斜め下方向に向かって伸び、その後、上側の４本の押し出しアーム５が斜め下方向に向かって伸びる。これにより、カバーガラス１４の曲面の凸部を中心として順次外側に向かって良好にフィルム１７をカバーガラス１４に貼り付けていくことができる。
　また、支持部材４の上下方向、左右方向の動作と、押し出しアーム５の伸縮動作と、エア―１０によるエアバック３の膨張動作とを複合的に制御回路２２Ａにより制御してエアバック３を任意の形状に連続して変化させ、又は膨張させて、複数の押し出しアーム５によるフィルム１７の押付箇所及び押付順序を制御することにより、フィルム１７をカバーガラス１４に貼り付けるように構成してもよい。
　例えば、スマートフォンの外周曲面のためのカバーガラス１４に対してＯＣＡを貼付する場合を説明する。このカバーガラス１４は、中心部が平面で形成され、外周のコーナー部が曲面で形成される。
　最初に、支持部材４が移動機構１６Ａによりカバーガラス１４の中心部の上方に移動する。次に、制御回路２２Ａが押し出しアーム５を伸ばす。これにより、カバーガラス１４の中心部にエアバック３が接触する。そして、制御回路２２Ａがエアー放出口６からエアー１０を放出することよりエアバック３が膨張する。これにより、ＯＣＡからなるフィルム１７がカバーガラス１４の中心部に向かって加圧される。次に、制御回路２２Ａが他の押し出しアーム５を伸ばすことにより、カバーガラス１４の外周のコーナー部に向かってエアバック３が接触する。その後、ＯＣＡからなるフィルム１７がカバーガラス１４のコーナー部に向かって加圧される。
　結合部材１５は設けず、押し出しアーム５の先端がエアバック３と結合しないように構成してもよい。また、支持部材４の下部に配置された押し出しアーム５にのみ結合部材１５を設けてもよい。
　エアー１０は、支持部材４のエアー放出口６から、放出されるだけでなく、吸引もされるように構成してもよい。エアー１０の放出タイミングと吸引タイミングとを制御することにより、エアバック３を任意のタイミングで任意の形状に変化させることができる。
　押し出しアーム５は、その先端からエアー１０が放出及び吸引されるように構成してもよい。また、結合部材１５に、エアー放出口、エアー吸引口を形成してもよい。また、エアー放出口、エアー吸引口が形成された部材を結合部材の１５の近辺に設けてもよい。
　（比較例）
　図７は他の比較例に係るフィルム貼付装置９１Ａの構成を模式的に示す断面図である。図８はフィルム貼付装置９１Ａの動作を説明するための断面図である。前述した構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。
　比較例に係るフィルム貼付装置９１Ａには、押し出しアーム５、結合部材１５、制御回路２２Ａが設けられていない。それ以外の構成は実施形態２に係るフィルム貼付装置１Ａと同様である。
　図７を参照すると、まず、フィルム１７を搭載した転写シート１８がエアバック３のカバーガラス１４側の表面に沿って、フィルム１７がカバーガラス１４に対面するように供給される。そして、支持部材４がカバーガラス１４の上側の曲面の凸部に対応する位置に配置されるように、移動機構１６Ａが支持部材４を移動させる。
　次に、図８に示すように、エアー放出口６からエアー１０が放出されてエアバック３が膨張する。その後、膨張したエアバック３と支持部材４の上下動作とによりフィルム１７がカバーガラス１４の上側の曲面に向かって加圧されて、カバーガラス１４の曲面にフィルム１７が貼り付けられる。
　しかしながら、エアー放出口６からエアー１０が放出されてエアバック３が膨張するだけでは、例えば、カバーガラス１４の上側の曲面の凹部の箇所にまでフィルム１７が到達するようにフィルム１７を十分に加圧することができない場合がある。この場合、カバーガラス１４の凹部にまで到達しなかったフィルム１７の箇所とカバーガラス１４の凹部との間に隙間が発生して気泡が生じるおそれがある。
　これに対して、実施形態２によれば、カバーガラス１４の凹部に対応して支持部材４の側面に設けられた複数本の押し出しアーム５が伸びて、カバーガラス１４の凹部に向かってフィルム１７が押し出される。このため、カバーガラス１４の凹部にもフィルム１７が良好に貼り付けられる。
　このように、押し出しアーム５により意図的にエアバック３を部分的に広げると、エアー１０のみによってはカバーガラス１４の凹部にまで到達しなかったフィルム１７の箇所とカバーガラス１４の凹部との間に隙間が発生せず、気泡が生じて不良が発生するという問題が解決される。
　〔まとめ〕
　態様１のフィルム貼付装置は、曲面が形成された被貼付部材を載置するステージと、前記ステージに載置された被貼付部材の曲面に貼り付けるためのフィルムを挟んで前記曲面に対向する位置に配置されるエアバックと、前記エアバックを支持する支持部材と、前記被貼付部材に形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出すために前記エアバックの内面に向かって突出するように前記支持部材に設けられた１本以上の押し出しアームとを備える。
　態様２では、前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧するためのエアーを放出するエアー放出口が前記支持部材に形成される。
　態様３では、前記押し出しアームが、前記曲面の凹部に向かって前記フィルムを押し出す。
　態様４では、前記フィルムに光学素子が形成され、前記被貼付部材がカバーガラスである。
　態様５では、前記押し出しアームを複数本備え、前記被貼付部材に形成された曲面の凸部に対応する位置に前記支持部材を移動させる移動機構をさらに備え、前記複数本の押し出しアームのうちの１本が前記凸部に向かって前記フィルムを押し出し、前記複数本の押し出しアームのうちの他の１本が前記凸部に隣接する凹部に向かって前記フィルムを押し出す。
　態様６では、前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧するためのエアーを放出するエアー放出口、又は、前記エアバックを収縮させるためにエアーを吸引するエアー吸引口が前記押し出しアームに形成される。
　態様７では、前記押し出しアームの先端に、前記エアバックを前記押し出しアームと結合するための結合部材が設けられ、前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧するためのエアーを放出するエアー放出口、又は、前記エアバックを収縮させるためにエアーを吸引するエアー吸引口が前記結合部材又はその近辺に形成される。
　態様８のＥＬデバイスの製造装置は、曲面が形成されたカバーガラスを載置するステージと、前記ステージに載置されたカバーガラスの曲面に貼り付けるためのフィルムを挟んで前記曲面に対向する位置に配置されるエアバックと、前記エアバックを支持する支持部材とを備え、前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、前記カバーガラスに形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出すために前記エアバックの内面に向かって突出するように前記支持部材に設けられた１本以上の押し出しアームをさらに備える。
　態様９のＥＬデバイスの製造方法は、曲面が形成されたカバーガラスをステージに載置する載置工程と、前記ステージに載置されたカバーガラスの曲面に貼り付けるためのフィルムを挟んで前記曲面に対向する位置に、支持部材により支持されたエアバックを配置する配置工程とを包含し、前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧しながら、前記エアバックの内面に向かって突出するように前記支持部材に設けられた１本以上の押し出しアームにより、前記カバーガラスに形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出す押し出し工程をさらに包含する。
　態様１０のコントローラは、態様８に記載のＥＬデバイスの製造装置を制御するコントローラであって、前記カバーガラスに形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出すように前記１本以上の押し出しアームを制御する制御回路を備える。
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
　１　フィルム貼付装置
　２　ステージ
　３　エアバック
　４　支持部材
　５　押し出しアーム
　６　エアー放出口
１０　エアー
１３　筐体（被貼付部材）
１４　カバーガラス（被貼付部材）
１５　結合部材
１６　移動機構
１７　フィルム
２２　制御回路

Claims (10)

  1. 　曲面が形成された被貼付部材を載置するステージと、
    　前記ステージに載置された被貼付部材の曲面に貼り付けるためのフィルムを挟んで前記曲面に対向する位置に配置されるエアバックと、
    　前記エアバックを支持する支持部材と、
    　前記被貼付部材に形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出すために前記エアバックの内面に向かって突出するように前記支持部材に設けられた１本以上の押し出しアームとを備えることを特徴とするフィルム貼付装置。
  2. 　前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧するためのエアーを放出するエアー放出口が前記支持部材に形成される請求項１に記載のフィルム貼付装置。
  3. 　前記押し出しアームが、前記曲面の凹部に向かって前記フィルムを押し出す請求項１に記載のフィルム貼付装置。
  4. 　前記フィルムに光学素子が形成され、
    　前記被貼付部材がカバーガラスである請求項１に記載のフィルム貼付装置。
  5. 　前記押し出しアームを複数本備え、
    　前記被貼付部材に形成された曲面の凸部に対応する位置に前記支持部材を移動させる移動機構をさらに備え、
    　前記複数本の押し出しアームのうちの１本が前記凸部に向かって前記フィルムを押し出し、
    　前記複数本の押し出しアームのうちの他の１本が前記凸部に隣接する凹部に向かって前記フィルムを押し出す請求項１に記載のフィルム貼付装置。
  6. 　前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧するためのエアーを放出するエアー放出口、又は、前記エアバックを収縮させるためにエアーを吸引するエアー吸引口が前記押し出しアームに形成される請求項１に記載のフィルム貼付装置。
  7. 　前記押し出しアームの先端に、前記エアバックを前記押し出しアームと結合するための結合部材が設けられ、
    　前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧するためのエアーを放出するエアー放出口、又は、前記エアバックを収縮させるためにエアーを吸引するエアー吸引口が前記結合部材又はその近辺に形成される請求項１に記載のフィルム貼付装置。
  8. 　曲面が形成されたカバーガラスを載置するステージと、
    　前記ステージに載置されたカバーガラスの曲面に貼り付けるためのフィルムを挟んで前記曲面に対向する位置に配置されるエアバックと、
    　前記エアバックを支持する支持部材とを備え、
    　前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、
    　前記カバーガラスに形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出すために前記エアバックの内面に向かって突出するように前記支持部材に設けられた１本以上の押し出しアームをさらに備えることを特徴とするＥＬデバイスの製造装置。
  9. 　曲面が形成されたカバーガラスをステージに載置する載置工程と、
    　前記ステージに載置されたカバーガラスの曲面に貼り付けるためのフィルムを挟んで前記曲面に対向する位置に、支持部材により支持されたエアバックを配置する配置工程とを包含し、
    　前記フィルムに、ＥＬ素子が形成され、
    　前記エアバックを膨張させて前記フィルムを前記曲面に向かって加圧しながら、前記エアバックの内面に向かって突出するように前記支持部材に設けられた１本以上の押し出しアームにより、前記カバーガラスに形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出す押し出し工程をさらに包含することを特徴とするＥＬデバイスの製造方法。
  10. 　請求項８に記載のＥＬデバイスの製造装置を制御するコントローラであって、
    　前記カバーガラスに形成された曲面に向かって前記フィルムを押し出すように前記１本以上の押し出しアームを制御する制御回路を備えることを特徴とするコントローラ。
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