KR20220138806A - 제진 장치용 분출부 및 제진 헤드 - Google Patents

Abstract

제진 대상에게 내뿜는 기체를 분출하는 제진 장치용 분출부(70)로서, 금속에 의해 단변 방향과 장변 방향을 갖는 직사각형 판 형상으로 형성된 제1 부재(71)와, 일정 두께의 금속에 의해 직사각형 판 형상으로 형성되고, 단변 방향의 일단에서 개구하는 복수의 절결(73)이, 장변 방향의 전체 길이에 걸쳐 인접하여 형성된 제2 부재(72)와, 금속에 의해 직사각형 판 형상으로 형성되고, 관통공(81)이 형성된 제3 부재(80)를 구비하고, 제1 부재와 제3 부재는 제2 부재를 개재하여 일체로 접합되어 있으며, 제3 부재에는, 관통공과 복수의 절결을 연통시키는 유로(82)가 형성되어 있고, 복수의 절결에 있어서, 개구단(73a)으로부터 소정의 범위에는, 개구단에 근접할수록, 장변 방향에 있어서의 절결의 길이를 길게 만드는 경사부(73b)가 형성되어 있다.

Description

제진 장치용 분출부 및 제진 헤드 {EJECTION UNIT FOR DUST REMOVAL DEVICE AND DUST REMOVAL HEAD}

관련 출원의 상호 참조

본 출원은 2021년 4월 6일에 출원된 일본 출원번호 제2021-064890호에 근거한 것으로서, 여기에 그 기재 내용을 원용한다.

기술분야

본 개시는, 노광용 마스크나 기판 등의 정밀한 제진 대상으로부터 먼지를 제거하는 제진 장치에 이용되며, 제진 대상에게 내뿜는 기체를 분출하는 분출부에 관한 것이다.

종래, 이 종류의 제진 장치용 분출부에 있어서, 장변 방향의 대략 전체 길이에 걸친 슬릿으로부터 에어(기체)를 분출하는 제진 장치용 분출부가 있다(특허문헌 1 참조).

일본 특허공보 제3975205호

그런데, 분출되는 에어의 유속을 높이기 위해, 슬릿의 폭이 예를 들면, 0.1 [㎜]와 같이, 매우 좁게 이루어지는 경우가 많다. 이 때문에, 특허문헌 1에 기재된 제진 장치용 분출부에서는, 기계 가공 등에 의해, 분출부의 장변 방향 전체 길이에 걸쳐 슬릿을 균일한 폭으로 형성하는 것이 곤란하다. 이에 대하여, 분출부의 장변 방향에 있어서, 슬릿을 복수로 분할하여 형성하는 것도 생각할 수 있다. 그러나, 그 경우에는, 슬릿과 슬릿의 사이에 에어를 분출하지 않는 부분이 형성되어, 슬릿과 슬릿 사이의 에어 흐름이 약해진다. 따라서, 분출부의 장변 방향에 있어서, 에어를 균일하게 분출하는 것은 곤란하다.

본 개시는 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 주요 목적은 분출부의 장변 방향에 있어서, 기체를 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있는 제진 장치용 분출부를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 제1 수단은,

제진 대상으로부터 먼지를 제거하는 제진 장치에 이용되며, 상기 제진 대상에게 내뿜는 기체를 분출하는 제진 장치용 분출부로서,

금속에 의해, 단변 방향과 장변 방향을 갖는 직사각형 판 형상으로 형성된 제1 부재와,

일정 두께의 금속에 의해, 상기 제1 부재의 형상과 대응한 직사각형 판 형상으로 형성되고, 상기 단변 방향의 일단에서 개구하는 복수의 절결(切缺, notch)이 상기 장변 방향의 전체 길이에 걸쳐 인접하여 형성된 제2 부재와,

금속에 의해, 상기 제1 부재의 형상과 대응한 직사각형 판 형상으로 형성되고, 관통공이 형성된 제3 부재를 구비하고,

상기 제1 부재와 상기 제3 부재에 상기 제2 부재를 개재하여 일체로 접합되어 있으며,

상기 제3 부재에는, 상기 관통공과 상기 복수의 절결을 연통시키는 유로가 형성되어 있고,

상기 복수의 절결에 있어서 개구단으로부터 소정의 범위에는, 상기 개구단에 근접할수록 상기 장변 방향에 있어서의 상기 절결의 길이를 길게 만드는 경사부가 형성되어 있다.

상기 구성에 따르면, 제진 장치용 분출부는, 제진 대상으로부터 먼지를 제거하는 제진 장치에 이용되며, 상기 제진 대상에게 내뿜는 기체를 분출한다. 제1 부재는 금속에 의해, 단변 방향과 장변 방향을 갖는 직사각형 판 형상으로 형성되어 있다. 제2 부재는 일정 두께의 금속에 의해, 상기 제1 부재의 형상과 대응한 직사각형 판 형상으로 형성되고, 상기 단변 방향의 일단에서 개구하는 복수의 절결이, 상기 장변 방향의 전체 길이에 걸쳐 인접하여 형성되어 있다. 제3 부재는 금속에 의해, 상기 제1 부재의 형상과 대응한 직사각형 판 형상으로 형성되고, 관통공이 형성되어 있다. 그리고, 상기 제1 부재와 상기 제3 부재에 상기 제2 부재를 개재하여 일체로 접합되어 있다.

이 때문에, 제1 부재, 제2 부재 및 제3 부재가 일체로 접합된 상태에서는, 제1 부재, 제2 부재 및 제3 부재로 구획된 절결의 내부 공간에 의해 슬릿을 형성할 수 있다. 자세하게는, 장변 방향의 전체 길이에 걸쳐, 인접한 복수의 절결에 의해 인접한 복수의 슬릿을 형성할 수 있다. 그리고, 상기 제3 부재에는 상기 관통공과, 상기 복수의 절결을 연통시키는 유로가 형성되어 있다. 따라서, 제3 부재의 관통공으로부터 분출부 내부로 기체를 공급함으로써, 유로를 통해 복수의 절결(즉, 슬릿)에 기체를 공급할 수 있으며, 슬릿으로부터 기체를 분출할 수 있다. 여기서, 복수의 슬릿 폭은 제2 부재의 일정 두께에 의해 규정된다. 따라서, 슬릿을 기계 가공 등에 의해 형성할 필요가 없어, 분출부의 장변 방향 전체 길이에 걸쳐 복수의 슬릿을 균일한 폭으로 형성하기 쉬워진다.

또한, 상기 복수의 절결에 있어서, 개구단으로부터 소정의 범위에는, 상기 개구단에 근접할수록, 상기 장변 방향에 있어서의 상기 절결의 길이를 길게 만드는 경사부가 형성되어 있다. 이 때문에, 인접한 슬릿의 개구단끼리의 간격을 짧게 만들기 쉬워지고, 슬릿과 슬릿의 사이에 형성되는 기체를 분출하지 않는 부분의 길이를 짧게 만들기 쉬워진다. 게다가, 경사부를 따라 기체가 흐름으로써, 슬릿으로부터 분출된 기체는 장변 방향으로 퍼지기 쉬워진다. 따라서, 슬릿과 슬릿 사이의 기체 흐름이 약해지는 것을 억제할 수 있으며, 분출부의 장변 방향에 있어서, 기체를 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다.

제2 수단에서는, 상기 제2 부재에 있어서, 상기 절결과 상기 절결 사이의 부분인 경계부는, 상기 장변 방향에 있어서의 자신의 중앙을 규정하는 중앙선에 관해서 선 대칭으로 형성되어 있고, 상기 장변 방향에 있어서, 상기 제2 부재의 양 단부에는, 상기 경계부를 반으로 나눈 형상인 반할부가 형성되어 있다.

상기 구성에 따르면, 상기 제2 부재에 있어서, 상기 절결과 상기 절결 사이의 부분인 경계부는, 상기 장변 방향에 있어서의 자신의 중앙을 규정하는 중앙선에 관해서 선 대칭으로 형성되어 있다. 이 때문에, 인접한 슬릿으로부터 중앙선에 관해서 대칭으로 기체를 분출하기 쉬워지고, 분출부의 장변 방향에 있어서, 기체를 더욱 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다. 또한, 상기 장변 방향에 있어서, 상기 제2 부재의 양 단부에는, 상기 경계부를 반으로 나눈 형상인 반할부가 형성되어 있다. 이 때문에, 장변 방향에 있어서, 복수의 제진 장치용 분출부를 접속한 경우에, 분출부 단부의 반할부끼리를 접속함으로써, 1개의 경계부를 구성할 수 있다. 따라서, 장변 방향에 있어서, 복수의 제진 장치용 분출부를 접속한 경우라도, 복수의 분출부에 걸쳐 기체를 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다.

제3 수단에서는, 상기 유로에 있어서의 상기 개구단 측의 끝은, 상기 경사부보다 바로 앞에 위치한다. 이러한 구성에 따르면, 유로를 흐르는 기체는 절결에 있어서, 경사부보다 바로 앞 부분으로 유입된다. 따라서, 경사부 전체를 이용하여, 경사부를 따라 기체를 흘리기 쉬워진다.

제4 수단에서는, 상기 제2 부재의 두께는 0.1∼0.3 [㎜]이다. 이러한 구성에 따르면, 분출부의 장변 방향 전체 길이에 걸쳐, 0.1∼0.3 [㎜] 폭의 슬릿을 균일한 폭으로 형성하기 쉬워진다.

제5 수단에서는, 상기 제3 부재의 두께는 0.8∼1.2 [㎜]이고, 상기 제3 부재의 두께 방향에 있어서의 상기 유로의 깊이는 0.4∼0.6 [㎜]이다.

상기 구성에 따르면, 상기 제3 부재의 두께는 0.8∼1.2 [㎜]이기 때문에, 상기 제3 부재의 두께 방향에 있어서의 기체 통로로서의 관통공의 깊이를 0.8∼1.2 [㎜] 확보할 수 있다. 그리고, 상기 제3 부재의 두께 방향에 있어서, 상기 유로의 깊이는 0.4∼0.6 [㎜]이고, 슬릿의 폭은 0.1∼0.3 [㎜]이다. 이 때문에, 관통공으로부터 유로, 슬릿에, 상기 제3 부재의 두께 방향에 있어서, 기체 통로의 깊이를 점차 얕게 만들 수 있다. 따라서, 기체의 압력 손실을 억제하면서, 슬릿으로부터 분출되는 기체의 유속을 높일 수 있다.

제6 수단에서는, 상기 장변 방향에 있어서, 인접한 상기 절결의 개구단끼리의 간격은 0.5 [㎜] 이하이다. 이러한 구성에 따르면, 슬릿과 슬릿의 사이에 형성되는 기체를 분출하지 않는 부분의 길이를 더욱 짧게 만들기 쉬워진다.

제7 수단에서는, 상기 제1 부재, 상기 제2 부재 및 상기 제3 부재는 확산 접합되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 상기 제1 부재, 상기 제2 부재 및 상기 제3 부재를 접착제 등으로 접합하는 경우에 비해, 제1 부재와 제3 부재의 거리, 즉, 슬릿의 폭을, 제2 부재의 두께에 의해 정확하게 규정하기 쉬워진다.

제8 수단에서는, 상기 제3 부재에는 상기 관통공이 복수 형성되어 있으며, 상기 유로는 복수의 상기 관통공을, 각각 같은 개수의 상기 절결에 연통시킨다.

상기 구성에 따르면, 상기 제3 부재에는 상기 관통공이 복수 형성되어 있다. 이 때문에, 절결(슬릿)의 수가 많아진 경우, 즉, 분출부의 장변 방향 길이가 길어진 경우에도, 복수의 관통공으로부터 유로를 통해 복수의 슬릿에 필요한 양의 기체를 공급하기 쉬워진다. 또한, 상기 유로는 복수의 상기 관통공을, 각각 같은 개수의 상기 절결에 연통시킨다. 이 때문에, 각 절결(슬릿)에 공급되는 기체량에 차이가 생기는 것을 억제할 수 있다.

제9 수단에서는, 제8 수단에 기재된 제진 장치용 분출부와, 상기 제진 장치용 분출부가 설치된 본체를 구비하는 제진 헤드로서, 상기 본체에는 상기 기체가 공급되는 공급실과, 상기 공급실을 외부에 연통시키는 제1 연통로와, 상기 공급실을 복수의 상기 관통공에 각각 연통시키는 제2 연통로가 형성되어 있다.

상기 구성에 따르면, 제진 헤드는, 제8 수단에 기재된 제진 장치용 분출부와, 상기 제진 장치용 분출부가 설치된 본체를 구비하고 있다. 상기 본체에는 상기 기체가 공급되는 공급실과, 상기 공급실을 외부에 연통시키는 제1 연통로가 형성되어 있다. 이 때문에, 제진 헤드의 외부로부터 제1 연통로를 통해 공급실에 기체를 공급할 수 있다. 그리고, 본체에는, 상기 공급실을 복수의 상기 관통공에 각각 연통시키는 제2 연통로가 형성되어 있다. 이 때문에, 공급실로부터 제2 연통로를 통해 제진 장치용 분출부의 복수의 관통공, 나아가서는, 절결(슬릿)에 기체를 공급할 수 있다. 또한, 제1 연통로로부터 공급실을 통해 복수의 제2 연통로에 기체가 공급되기 때문에, 복수의 제2 연통로에 기체를 공급하기 위한 제1 연통로의 수를 줄일 수 있다. 게다가, 제1 연통로로부터 분기된 분기로에 의해 복수의 제2 통로에 기체를 공급하는 경우에 비해서, 복수의 제2 연통로에 균등하게 기체를 공급하기 쉬워진다.

제10 수단에서는, 상기 본체는 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 상기 본체의 바닥부에는 상기 장변 방향에 있어서, 상기 본체의 전체 길이에 걸쳐 연장되고, 또한, 상기 본체의 바닥면에 대하여 소정의 각도를 이루는 소정의 평면이 형성되어 있으며, 상기 제진 장치용 분출부는, 상기 절결로부터 상기 기체가 상기 소정의 평면과 평행하게 분출되도록, 상기 소정의 평면에 설치되어 있다.

상기 구성에 따르면, 상기 본체는 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 상기 본체의 바닥부에는 상기 장변 방향에 있어서, 상기 본체의 전체 길이에 걸쳐 연장되고, 또한, 상기 본체의 바닥면에 대하여 소정의 각도를 이루는 소정의 평면이 형성되어 있다. 이 때문에, 직육면체 형상의 본체의 바닥부를 절삭 등을 함으로써, 상기 장변 방향에 있어서, 상기 본체의 전체 길이에 걸쳐 연장되는 소정의 평면을 용이하게 형성할 수 있다. 또한, 소정의 평면이 본체의 바닥면에 대하여 이루는 소정의 각도를, 소정의 평면을 형성할 때에 용이하게 조절할 수 있다.

그리고, 상기 제진 장치용 분출부는, 상기 절결(슬릿)로부터 상기 기체가 상기 소정의 평면과 평행하게 분출되도록, 상기 소정의 평면에 설치되어 있다. 이 때문에, 제진 장치용 분출부 자체의 구성을 변경하지 않아도, 상기 소정의 각도를 조절함으로써, 본체의 바닥면에 대한 기체의 분출 각도를 용이하게 조절할 수 있다.

제11 수단에서는, 상기 소정의 각도는 15∼45 [°]이다. 이러한 구성에 따르면, 제진 장치용 분출부로부터 기체를 분출하여 제진 대상에게 내뿜은 경우, 제진 헤드의 바닥부와 제진 대상 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 기체 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가는 것이, 본원 개시자에 의한 실험 및 시뮬레이션에서 확인되었다. 이 때문에, 제진 대상으로부터 제거된 먼지가, 슬릿으로부터 분출되는 기체 속도의 수평 성분과 반대 방향으로 비산되는 것을 억제할 수 있고, 제거된 먼지가 제진 대상에 재부착되는 것을 억제할 수 있다.

제12 수단에서는, 상기 소정의 각도는 25∼35 [°]이다. 이러한 구성에 따르면, 제진 장치용 분출부로부터 기체를 분출하여 제진 대상에게 내뿜은 경우, 제진 헤드의 바닥부와 제진 대상 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 기체 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가는 효과가 현저해지는 것이, 본원 개시자에 의한 실험 및 시뮬레이션에서 확인되었다.

제13 수단에서는, 상기 제2 연통로는, 상기 소정의 평면에 개구되어 있고, 상기 관통공은, 상기 소정의 평면에서 상기 제2 연통로의 개구단과 대향하고 있으며, 상기 소정의 평면에 있어서, 상기 제2 연통로의 개구단 주위에는, 실링 부재를 수납하는 수납 홈이 형성되어 있으며, 상기 수납 홈에 수납된 상기 실링 부재에 의해, 상기 본체와 상기 제진 장치용 분출부의 사이가 실링되어 있다.

상기 구성에 따르면, 상기 제2 연통로는, 상기 소정의 평면에 개구되어 있고, 상기 관통공은, 상기 소정의 평면에서 상기 제2 연통로의 개구단과 대향하고 있다. 이 때문에, 제2 연통로와 관통공을 접속할 수 있다. 여기서, 상기 소정의 평면에 있어서, 상기 제2 연통로의 개구단 주위에는, 실링 부재를 수납하는 수납 홈이 형성되어 있으며, 상기 수납 홈에 수납된 상기 실링 부재에 의해, 상기 본체와 상기 제진 장치용 분출부의 사이가 실링되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 실링 부재를 수납하는 수납 홈을, 본체의 소정의 평면에 형성하였기 때문에, 수납 홈을 제진 장치용 분출부에 형성할 필요가 없다. 따라서, 분출부를 박판형 등, 박형(薄型)으로 형성할 수 있으며, 분출부의 구성을 간결하게 할 수 있다.

본 개시에 대한 상기 목적 및 기타 목적, 특징이나 이점은, 첨부한 도면을 참조하면서 하기의 상세한 기술에 의해 보다 명확해진다.
도 1은 제진 장치를 도시하는 사시도이다.
도 2는 제진 헤드 조립체의 사시도이다.
도 3은 제진 헤드 조립체의 횡단면 사시도이다.
도 4는 제진 헤드 조립체의 종단면 사시도이다.
도 5는 공급 블록의 사시도이다.
도 6은 공급 블록의 연결 상태를 도시하는 사시도이다.
도 7은 연결 링의 사시도이다.
도 8은 도 4의 A부분 확대 사시도이다.
도 9는 공급 블록 및 분출 플레이트의 하부 사시도이다.
도 10은 분출 플레이트의 상면 측을 도시하는 분해 사시도이다.
도 11은 분출 플레이트의 하면 측을 도시하는 분해 사시도이다.
도 12는 분출 플레이트의 사시도이다.
도 13은 2개의 제1 제진 헤드의 종단면 사시도이다.
도 14는 포토 마스크에 대한 분출 플레이트의 각도를 도시하는 측면도이다.
도 15는 2개의 제2 제진 헤드의 종단면이다.

이하, 노광 장치에서 이용되는 포토 마스크의 먼지를 제거하는 제진 장치로 구현화한 일실시형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 제진 장치는, 포토 마스크의 상면에 공기(기체)를 분출하여 먼지를 제거하고, 제거된 먼지를 흡인하여, 덕트에 배출시킨다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 제진 장치(10)는 제진 헤드 조립체(20), 후드(11), 손잡이(12A, 12B) 등을 구비하고 있다.

제진 헤드 조립체(20)에는 후드(11)가 설치되어 있다. 후드(11)는 한 쌍의 긴 측면(11a)과 한 쌍의 짧은 측면(11b)과 위 바닥(11c)을 갖는 바닥이 있는 직사각형 통 형상(직사각형 통 형상)으로 형성되어 있다. 후드(11)의 상측 개구인 제1 개구(11d)는 덕트(18)에 접속되어 있다. 덕트(18)는 흡인 장치(도시 생략)에 접속되어 있으며, 후드(11) 내의 공기를 흡인하고, 나아가 후드(11)의 하측 개구인 제2 개구로부터 공기를 흡인한다.

도 2는 제진 헤드 조립체(20)의 사시도이다. 제진 헤드 조립체(20)는 2개의 제1 제진 헤드(21), 2개의 제2 제진 헤드(40), 2개의 제1 이음매 블록(50), 2개의 제2 이음매 블록(60), 연결판(20a) 등을 구비하고 있다.

2개의 제1 제진 헤드(21)는 서로 평행하게 대향하여 배치되어 있다. 2개의 제1 제진 헤드(21)는, 상기 한 쌍의 긴 측면(11a)(도 1 참조)에 각각 설치되어 있다. 제1 제진 헤드(21)(제진 헤드)는 6개(복수)의 공급 블록(22)을 구비하고 있다. 6개의 공급 블록(22)은 제1 제진 헤드(21)(제진 장치(10))의 장변 방향(소정 방향)으로 나열하여, 서로 연결되어 있다. 제1 제진 헤드(21)의 장변 방향에 있어서의 길이는 예를 들면, 600∼800 [㎜]이다. 또한, 6개의 공급 블록(22)에 의해 본체가 구성되며, 본체는 6개의 공급 블록(22)(본체 구성부)으로 분할되어 있다.

2개의 제2 제진 헤드(40)는 서로 평행하게 대향하여 배치되어 있다. 2개의 제2 제진 헤드(40)는, 상기 한 쌍의 짧은 측면(11b)(도 1 참조)에 각각 설치되어 있다. 제2 제진 헤드(40)는, 제1 제진 헤드(21)의 장변 방향에 있어서의 길이보다 짧게 형성되어 있다.

제1 제진 헤드(21)와 제2 제진 헤드(40)의 사이에는, 제1 이음매 블록(50) 또는 제2 이음매 블록(60)이 마련되어 있다. 연결판(20a)은 직사각형 틀 형상의 판재로서, 2개의 제1 제진 헤드(21), 2개의 제2 제진 헤드(40), 2개의 제1 이음매 블록(50) 및 2개의 제2 이음매 블록(60)을 직사각형 틀 형상으로 연결하고 있다.

제1 이음매 블록(50)에는, 고압(소정압)의 청정한 공기(클린 드라이 에어)가 공급되는 제1 포트(51)가 마련되어 있다. 제2 이음매 블록(60)에는, 고압(소정압)의 청정한 공기(클린 드라이 에어)가 공급되는 제2 포트(61)가 마련되어 있다. 제1 포트(51)와 제2 포트(61)에는 같은 유량의 공기가 공급된다. 제1 포트(51) 및 제2 포트(61)는, 제진 장치(10)에 있어서의 장변 방향의 일단부에 마련되어 있다.

도 3, 4에 도시하는 바와 같이, 각 공급 블록(22)의 내부에는 각 공급실(23)이 형성되어 있다. 공급실(23)은 사각 기둥 공간으로서 형성되어 있고, 제1 제진 헤드(21)의 장변 방향으로 연장되어 있다. 인접한 공급실(23)은 서로 연통되어 있다. 제1 제진 헤드(21)의 장변 방향에 있어서의 일단의 공급 블록(22)의 공급실(23)은, 제1 이음매 블록(50)의 내부에 형성된 이음매 유로(52)를 통해 제1 포트(51)에 연통되어 있다. 제1 제진 헤드(21)의 장변 방향에 있어서의 타단의 공급 블록(22)의 공급실(23)은, 제2 이음매 블록(60)의 내부에 형성된 이음매 유로(62)에 연통되어 있다.

제2 제진 헤드(40)는 공급 블록(42)을 구비하고 있다. 공급 블록(42)의 내부에는 공급실(43)이 형성되어 있다. 공급실(43)은 이음매 유로(62)에 연통되어 있다. 또한, 제1 포트(51)로부터 한쪽의 제1 제진 헤드(21)의 각 공급실(23)을 통해, 한쪽의 제2 제진 헤드(40)에 공기를 공급하는 이음매 유로(52, 62)는, 제1 공급 유로를 구성하고 있다. 제2 포트(61)로부터 다른 한쪽의 제1 제진 헤드(21)와 다른 한쪽의 제2 제진 헤드(40)에 공기를 직접 공급하는 이음매 유로(62)는, 제2 공급 유로를 구성하고 있다. 공급실(23, 43)의 유로 면적은, 제1 공급 유로의 유로 면적 및 제2 공급 유로의 유로 면적보다 크다. 또한, 제1 제진 헤드(21)의 장변 방향에 있어서, 제1 포트(51)와 반대 측 단부 및 제2 포트(61)와 반대 측 단부는, 다른 부재에 의해 닫혀 있다.

도 5는 공급 블록(22)의 사시도이다.

공급 블록(22)은 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 공급 블록(22)의 아래 바닥부(바닥부)에는, 단면 직각 삼각형 형상의 삼각 홈(29)이 형성되어 있다. 삼각 홈(29)은 공급 블록(22)의 장변 방향(소정 방향)의 전체 길이에 걸쳐 형성되어 있다. 삼각 홈(29)의 면적이 큰 쪽의 바닥면인 바닥면(29a)(소정의 평면)에는, 2개의 개구(33)가 형성되어 있다(도 9 참조). 공급 블록(22)의 아래 바닥부에 있어서, 2개의 개구(30) 주위에는, O링 등의 실링 부재를 수납하는 수납 홈(34)이 각각 형성되어 있다.

공급 블록(22)의 장변 방향의 양 단부에는, 공급실(23)을 장변 방향에서 외부로 연통시키는 제1 연통로(24)가 형성되어 있다. 공급 블록(22)의 위 바닥부(바닥부)에는 2개의 개구(30)가 형성되어 있다. 공급 블록(22)의 위 바닥부에 있어서, 2개의 개구(30) 주위에는, O링 등의 실링 부재를 수납하는 수납 홈(31)이 각각 형성되어 있다.

공급 블록(22)에는, 공급실(23)을 2개의 개구(30)에 각각 연통시키는 연통로(25)가 형성되어 있다. 공급 블록(22)에는, 연통로(25)와 평행하게 연장되는 연통로(27)가 형성되어 있다. 공급 블록(22)에는, 연통로(25)와 연통로(27)를 연통시키는 연통로(26)가 형성되어 있다. 공급 블록(22)에는, 연통로(27)와 개구(33)를 연통시키는 연통로(28)가 형성되어 있다. 공급 블록(22)의 장변 방향에 있어서, 연통로(25, 27, 28)의 길이는 같다. 연통로(26)의 유로 면적은 연통로(25)의 유로 면적 및 연통로(27)의 유로 면적보다 작다.

2개의 개구(30)는 연결판(20a)에 의해 덮인다. 수납 홈(31)에 수납된 실링 부재에 의해, 공급 블록(22)의 위 바닥부와 연결판(20a)의 사이가 실링되어 있다. 또한, 연통로(25∼28)에 의해, 제2 연통로가 구성되어 있다. 즉, 제2 연통로는, 공급실(23)로부터 개구(33)와 반대 측으로 연장된 후에, 개구(33) 측으로 되접어서 개구(33)에 접속되어 있다. 제2 연통로에 있어서, 되접은 부분인 연통로(26)의 유로 면적은 다른 부분의 유로 면적보다 작다. 제2 연통로는 바닥면(29a)에 개구되어 있다.

공급 블록(22)의 장변 방향에 있어서, 공급 블록(22)의 일단에는 공급실(23)과 연통한 제1 계합부(35)가 마련되고, 공급 블록(22)의 타단에는 공급실(23)과 연통하고, 또한, 인접한 공급 블록(22)의 제1 계합부(35)와 계합하는 제2 계합부(36)가 마련되어 있다. 제1 계합부(35) 및 제2 계합부(36)는 환형 오목부로서 형성되어 있다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 인접한 공급 블록(22)은 연결 링(37)을 통해 연결되어 있다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 연결 링(37)은 사각 통 형상(환형)의 링 본체(37b)를 구비하고 있다. 링 본체(37b)의 외주 테두리부에는, 환형 돌조(突條, protrusion)(37a)가 마련되어 있다. 돌조(37a)는 링 본체(37b)에 있어서, 중심 축선 방향의 중앙에 마련되어 있다.

도 8은 도 4의 A부분을 확대하여 도시하는 사시도이다. 연결 링(37)은 2개의 제1 연통로(24), 제1 계합부(35) 및 제2 계합부(36)의 내주면에 감합되어 있다. 즉, 제1 계합부(35)와 제2 계합부(36)는 연결 링(37)을 통해 계합되어 있다. 제1 계합부(35)와 제2 계합부(36)는 연결 링(37)의 돌조(37a)에 의해 격리되어 있다. 제1 계합부(35) 및 제2 계합부(36)에는, 각각 O링 등의 실링 부재(38)가 수납되어 있다. 제1 계합부(35)(공급 블록(22))와 연결 링(37)의 링 본체(37b)의 사이는, 실링 부재(38)에 의해 실링되어 있다. 제2 계합부(36)(공급 블록(22))와 연결 링(37)의 링 본체(37b)의 사이는, 실링 부재(38)에 의해 실링되어 있다. 실링 부재(38)는 연결 링(37)의 지름 방향으로 압축되어 있다. 이 때문에, 인접한 공급 블록(22)의 장변 방향의 상대 위치에 불균일함이 생겼다 하더라도, 제1 계합부(35)와 연결 링(37)의 사이, 그리고, 제2 계합부(36)와 연결 링(37)의 사이를 실링 부재(38)에 의해 안정되게 실링할 수 있다.

도 9는 공급 블록(22) 및 분출 플레이트(70)의 하부를 도시하는 사시도이다. 바닥면(29a)에는 분출 플레이트(70)가 설치되어 있다. 수납 홈(34)에 수납된 실링 부재에 의해, 바닥면(29a)(공급 블록(22)의 아래 바닥부)과 분출 플레이트(70)의 사이가 실링되어 있다. 분출 플레이트(70)는 포토 마스크에 내뿜는 공기를 분출한다.

도 10은 분출 플레이트(70)의 상면 측을 도시하는 분해 사시도이고, 도 11은 분출 플레이트(70)의 하면 측을 도시하는 분해 사시도이다. 분출 플레이트(70)(분출부, 제진 장치용 분출부)는 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72), 제3 플레이트(80) 등을 구비하고 있다.

제1 플레이트(71)(제1 부재)는 예를 들면, 일정 두께의 스테인리스강(금속)에 의해, 단변 방향과 장변 방향을 갖는 직사각형 판 형상으로 형성되어 있다. 제1 플레이트(71)의 두께는 예를 들면, 0.3∼0.7 [㎜]이고, 0.4∼0.6 [㎜]인 것이 바람직하며, 본 실시형태에서는 0.5 [㎜]이다. 제1 플레이트(71)는 압연에 의해 형성되어 있으며, 두께의 공차는 ±5 [㎛]이다. 제1 플레이트(71)의 장변 방향의 양 단부 및 중앙부에는, 단변 방향으로 나열된 2개의 나사 구멍(71a)이 각각 형성되어 있다. 나사 구멍(71a)은 제1 플레이트(71)를 에칭함으로써 형성되어 있다.

제2 플레이트(72)(제2 부재)는 예를 들면, 일정 두께의 스테인리스강(금속)에 의해, 단변 방향과 장변 방향을 갖는 직사각형 판 형상으로 형성되어 있다. 제2 플레이트(72)의 형상은 제1 플레이트(71)의 형상과 대응한다. 제2 플레이트(72)의 두께는 예를 들면, 0.1∼0.3 [㎜]가 바람직하며, 본 실시형태에서는 0.1 [㎜]이다. 제2 플레이트(72)는 압연에 의해 형성되어 있으며, 두께의 공차는 ±5 [㎛]이다. 제2 플레이트(72)의 장변 방향의 양 단부 및 중앙부에는, 단변 방향으로 나열된 2개의 나사 구멍(72a)이 각각 형성되어 있다.

제2 플레이트(72)에는, 단변 방향의 일단에서 개구되는 복수의 절결(73)이 장변 방향의 전체 길이에 걸쳐 인접하여(서로 이웃하여) 형성되어 있다. 절결(73)은 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 복수의 절결(73)에 있어서, 개구단(73a)으로부터 제2 플레이트(72)의 단변 방향의 소정의 범위에는, 개구단(73a)에 근접할수록, 장변 방향에 있어서의 절결(73)의 길이를 길게 만드는 경사부(73b)가 형성되어 있다. 즉, 복수의 절결(73)은 개구단(73a) 측이 퍼져 있는 형상이다. 나사 구멍(72a) 및 절결(73)은 제2 플레이트(72)를 에칭함으로써 형성되어 있다.

제2 플레이트(72)에 있어서, 절결(73)과 절결(73) 사이의 부분인 각 경계부(74)는 제2 플레이트(72)의 장변 방향에 있어서의 자신의 중앙을 규정하는 중앙선(C)에 관해서 선 대칭으로 형성되어 있다. 즉, 각 경계부(74)는 자신의 중앙선(C)에 관해서 선 대칭 형상이다. 제2 플레이트(72)의 장변 방향에 있어서, 각 경계부(74)의 선단의 폭, 즉, 인접한 절결(73)의 개구단(73a)끼리의 간격은 0.5 [㎜] 이하가 바람직하며, 본 실시형태에서는 0.4 [㎜]이다.

제2 플레이트(72)의 장변 방향에 있어서, 제2 플레이트(72)의 양 단부에는, 경계부(74)를 반으로 나눈 형상인 반할부(74h)가 형성되어 있다. 제2 플레이트(72)의 장변 방향에 있어서, 2개의 제2 플레이트(72)를 인접시킨 경우, 2개의 반할부(74h)(인접한 반할부(74h))에 의해 1개의 경계부(74)가 형성된다.

제3 플레이트(80)(제3 부재)는 예를 들면, 일정 두께의 스테인리스강(금속)에 의해, 단변 방향과 장변 방향을 갖는 직사각형 판 형상으로 형성되어 있다. 제3 플레이트(80)의 형상은 제1 플레이트(71)의 형상과 대응한다. 제3 플레이트(80)의 두께는 예를 들면, 0.8∼1.2 [㎜]가 바람직하며, 본 실시형태에서는 1.0 [㎜]이다. 제3 플레이트(80)는 압연에 의해 형성되어 있으며, 두께의 공차는 ±5 [㎛]이다. 제3 플레이트(80)의 장변 방향의 양 단부 및 중앙부에는, 단변 방향으로 나열된 2개의 나사 구멍(80a)이 각각 형성되어 있다.

제3 플레이트(80)에는 2개(복수)의 관통공(81)이 형성되어 있다. 관통공(81)(도입구)은 직사각형 형상으로 형성되어 있으며, 제3 플레이트(80)의 장변 방향에 있어서, 나사 구멍(80a)과 나사 구멍(80a)의 사이에서 연장되어 있다. 나사 구멍(80a)은 제3 플레이트(80)를 에칭함으로써 형성되어 있다.

제3 플레이트(80)에는, 관통공(81)으로부터, 제3 플레이트(80)의 단변 방향 중, 상기 절결(73)의 개구단(73a) 측으로 연장되는 복수의 홈(82)이 형성되어 있다. 홈(82)의 깊이는 0.4∼0.6 [㎜]가 바람직하며, 본 실시형태에서는 0.5 [㎜]이다. 홈(82)은 제3 플레이트(80)를 하프 에칭함으로써 형성되어 있다. 홈(82)은 관통공(81)에 연통되어 있다. 분출 플레이트(70)가 조립된 상태에 있어서, 각 홈(82)은 관통공(81)과 각 절결(73)을 연통시키는 유로를 구성하고 있다. 홈(82)에 있어서의 개구단(73a) 측의 끝(82a)은 절결(73)의 상기 경사부(73b)보다 바로 앞에 위치하고 있다(도 12 참조). 복수의 홈(82)에 있어서, 관통공(81)과의 연통부의 유로 면적은 서로 같다.

제3 플레이트(80)에는 홈(82)에 준한 복수의 홈(83)이 형성되어 있다. 복수의 홈(83)은 제3 플레이트(80)의 장변 방향에 있어서, 관통공(81)의 양 단부에 각각 연통되어 있다. 각 홈(83)은 2개의 절결(73)에 연통되어 있다(도 12 참조). 홈(83)의 기타 구성은 홈(82)과 같다. 2개의 관통공(81)은 복수의 홈(82, 83)(유로)에 의해, 각각 10개(같은 개수)의 절결(73)에 연통되어 있다.

제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)는 동일 재질(예를 들면, SUS304)로 형성되어 있다. 제1 플레이트(71)와 제3 플레이트(80)에 제2 플레이트(72)를 개재하여, 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)는 확산 접합되어 있다. 확산 접합은 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)를 예를 들면, 두께 방향으로 소정의 압력으로 가압하여, 진공로 속에서 800∼900 [℃]로 가열함으로써 실행된다. 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)가 일체로 접합된 상태에서는, 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)로 구획된 각 절결(73)의 내부 공간에 의해 각 슬릿이 형성된다. 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)의 두께 방향에 있어서의 슬릿 폭은 제2 플레이트(72)의 두께에 의해 규정되며, 0.1 [㎜]이다.

도 13은 2개의 제1 제진 헤드(21)의 종단면 사시도이다. 또한, 바로 앞 측의 긴 측면(11a)은 표시를 생략하였다.

연통로(25∼28)에 의해 구성되는 제2 연통로는, 분출 플레이트(70)의 복수의 관통공(81)에 공급실(23)을 각각 연통시킨다. 즉, 관통공(81)은 공급 블록(22)의 바닥면(29a)에 있어서의 제2 연통로의 개구단과 대향하고 있다(도 9 참조). 공급 블록(22)(제1 제진 헤드(21))의 장변 방향에 있어서, 제2 연통로의 길이는 관통공(81)의 길이와 같다.

각 공급 블록(22)에는 각 분출 플레이트(70)가 설치되어 있다. 즉, 6개(복수)의 공급 블록(22)에 의해 구성되는 본체에는, 6개(복수)의 분출 플레이트(70)가 본체의 장변 방향으로 나열하여 설치되어 있다. 공급실(23)은 복수의 분출 플레이트(70)를 따라 본체의 장변 방향으로 연장되어 있다.

2개의 제1 제진 헤드(21)의 분출 플레이트(70)의 슬릿으로부터 분출되는 공기가 후드(11)의 아래쪽 내측을 향하도록, 한 쌍의 긴 측면(11a)에 제1 제진 헤드(21)가 각각 설치되어 있다.

도 14는, 포토 마스크(M)에 대한 분출 플레이트(70)의 각도를 도시하는 측면도이다. 공급 블록(22)의 바닥면(29a)은, 공급 블록(22)의 바닥면(29b)에 대하여 제1 각도(θ1)를 이루고 있다. 그리고, 분출 플레이트(70)는 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)가 바닥면(29a)과 평행이 되도록 바닥면(29a)에 설치되어 있다. 이 때문에, 분출 플레이트(70)의 슬릿으로부터 공기가 바닥면(29a)과 평행하게 분출되고, 분출 플레이트(70)(제1 제진 헤드(21))의 슬릿으로부터 분출되는 기체의 진행 방향(화살표 D1)과 포토 마스크(M)의 상면이 이루는 각도는 제1 각도(θ1)가 된다. 제1 각도(θ1)는 15∼45 [°]가 바람직하고, 25∼35 [°]가 보다 바람직하며, 본 실시형태에서는 30 [°]이다.

제1 제진 헤드(21)의 분출 플레이트(70)의 슬릿의 개구단과 포토 마스크(M)의 상면과의 거리(h1)는 5∼20 [㎜]가 바람직하며, 본 실시형태에서는 7.0 [㎜]이다.

도 15는 2개의 제2 제진 헤드(40)의 종단면이다. 공급 블록(42)은 상기 공급 블록(22)에 준한 구성을 구비하고 있다. 공급 블록(42)의 내부에는, 공급 블록(22)의 공급실(23) 및 연통로(25∼28)와 대응하여, 공급실(43) 및 연통로(45∼48)가 형성되어 있다. 한쪽의 공급 블록(42)의 공급실(43)은 개구(62a)를 통해 제2 이음매 블록(60)의 이음매 유로(62)에 연통되어 있다. 공급실(43)의 유로 면적은 개구(62a)의 유로 면적보다 크다.

공급 블록(42)에는 분출 플레이트(90)가 설치되어 있다. 분출 플레이트(90)는 분출 플레이트(70)에 준한 구성을 구비하고 있으며, 분출 플레이트(70)를 장변 방향에 있어서, 반으로 한 구성과 같다.

2개의 제2 제진 헤드(40)의 분출 플레이트(90)의 슬릿으로부터 분출되는 공기가 후드(11)의 아래쪽 내측을 향하도록, 한 쌍의 짧은 측면(11b)에 제2 제진 헤드(40)가 각각 설치되어 있다.

공급 블록(42)의 바닥면(49a)은 공급 블록(42)의 바닥면(49b)에 대하여 제2 각도(θ2)를 이루고 있다. 그리고, 분출 플레이트(90)는 바닥면(49a)에 설치되어 있다. 이 때문에, 분출 플레이트(90)의 슬릿으로부터 공기가 바닥면(49a)과 평행하게 분출된다. 제2 각도(θ2)는 제1 각도(θ1)와 같게 설정되어 있다.

공급 블록(42)의 바닥면(49b)의 높이는 공급 블록(22)의 바닥면(29b)의 높이와 같다. 이 때문에, 제2 제진 헤드(40)의 분출 플레이트(90)의 슬릿의 개구단과 포토 마스크(M)의 상면과의 거리(h2)(도시 생략)는, 거리(h1)와 같다.

이상의 구성을 구비하는 제진 장치(10)의 하면에 포토 마스크(M)의 상면을 대향시켜, 제진 장치(10)의 단변 방향으로 포토 마스크(M)를 상대 이동시킨다. 이로써, 분출 플레이트(70, 90)의 슬릿으로부터 분출된 공기에 의해, 포토 마스크(M)의 상면에 부착된 먼지가 제거되어, 후드(11)의 상부에 접속된 덕트(18)에 의해 먼지가 흡인된다.

이 때, 2개의 분출 플레이트(70) 및 2개의 분출 플레이트(90)에 의해, 사방으로부터 포토 마스크(M)의 상면을 향해 공기가 분출된다. 특히, 제1 각도(θ1) 및 제2 각도(θ2)가 15∼45 [°]로 설정되어 있기 때문에, 제진 헤드(21, 40)의 바닥부와 포토 마스크(M) 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 공기 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가는 것이, 본원 개시자에 의한 실험 및 시뮬레이션에서 확인되었다. 즉, 포토 마스크(M)의 상면으로부터 제거된 먼지가, 제진 장치(10)의 아래쪽으로부터 외측으로 새는 것이 억제된다. 또한, 종래의 제진 장치에서는, 포토 마스크(M)의 상면으로부터 제거된 먼지가, 제진 장치의 아래쪽으로부터 외측으로 상당량 새는 것이, 본원 개시자에 의한 실험 및 시뮬레이션에서 확인되었다.

이상 상술한 본 실시형태는 이하의 이점을 갖는다.

·분출 플레이트(70)의 복수의 슬릿 폭은 제2 플레이트(72)의 일정 두께에 의해 규정된다. 따라서, 슬릿을 기계 가공 등에 의해 형성할 필요가 없어, 분출 플레이트(70)의 장변 방향 전체 길이에 걸쳐 복수의 슬릿을 균일한 폭으로 형성하기 쉬워진다.

·복수의 절결(73)에 있어서, 개구단(73a)으로부터 소정의 범위에는, 개구단(73a)에 근접할수록, 장변 방향에 있어서의 절결(73)의 길이를 길게 만드는 경사부(73b)가 형성되어 있다. 이 때문에, 인접한 슬릿의 개구단(73a)끼리의 간격을 짧게 만들기 쉬워지고, 슬릿과 슬릿의 사이에 형성되는 공기를 분출하지 않는 부분의 길이를 짧게 만들기 쉬워진다. 게다가, 경사부(73b)를 따라 공기가 흐름으로써, 슬릿으로부터 분출된 공기는 장변 방향으로 퍼지기 쉬워진다. 따라서, 슬릿과 슬릿 사이의 공기 흐름이 약해지는 것을 억제할 수 있으며, 분출 플레이트(70)의 장변 방향에 있어서, 공기를 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다.

·제2 플레이트(72)에 있어서, 절결(73)과 절결(73) 사이의 부분인 경계부(74)는, 장변 방향에 있어서의 자신의 중앙을 규정하는 중앙선(C)에 관해서 선 대칭으로 형성되어 있다. 이 때문에, 인접한 슬릿으로부터 중앙선(C)에 관해서 대칭으로 공기를 분출하기 쉬워지고, 분출 플레이트(70)의 장변 방향에 있어서, 공기를 더욱 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다. 또한, 장변 방향에 있어서, 제2 플레이트(72)의 양 단부에는, 경계부(74)를 반으로 나눈 형상인 반할부(74h)가 형성되어 있다. 이 때문에, 장변 방향에 있어서, 복수의 분출 플레이트(70)를 접속한 경우, 분출 플레이트(70)의 단부의 반할부(74h)끼리를 접속함으로써, 1개의 경계부(74)를 구성할 수 있다. 따라서, 장변 방향에 있어서, 복수의 분출 플레이트(70)를 접속한 경우라도, 복수의 분출 플레이트(70)에 걸쳐 공기를 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다.

·홈(82)(유로)에 있어서의 절결(73)의 개구단(73a) 측의 끝(82a)은 경사부(73b)보다 바로 앞에 위치하고 있다. 이러한 구성에 따르면, 유로를 흐르는 공기는 절결(73)에 있어서, 경사부(73b)보다 바로 앞 부분으로 유입된다. 따라서, 경사부(73b) 전체를 이용하여, 경사부(73b)를 따라 공기를 흘리기 쉬워진다.

·제2 플레이트(72)의 두께는 0.1∼0.3 [㎜]이다. 이러한 구성에 따르면, 분출 플레이트(70)의 장변 방향 전체 길이에 걸쳐, 0.1∼0.3 [㎜] 폭의 슬릿을 균일한 폭으로 형성하기 쉬워진다.

·제3 플레이트(80)의 두께는 0.8∼1.2 [㎜]이기 때문에, 제3 플레이트(80)의 두께 방향에 있어서의 공기 통로로서의 관통공(81)의 깊이를 0.8∼1.2 [㎜] 확보할 수 있다. 그리고, 제3 플레이트(80)의 두께 방향에 있어서, 유로의 깊이는 0.4∼0.6 [㎜]이고, 슬릿의 폭은 0.1∼0.3 [㎜]이다. 이 때문에, 관통공(81)으로부터 유로, 슬릿에, 제3 플레이트(80)의 두께 방향에 있어서, 공기 통로의 깊이를 점차 얕게 만들 수 있다. 따라서, 공기의 압력 손실을 억제하면서, 슬릿으로부터 분출되는 공기의 유속을 높일 수 있다.

·분출 플레이트(70)의 장변 방향에 있어서, 인접한 절결(73)의 개구단(73a)끼리의 간격은 0.5 [㎜] 이하이다. 이러한 구성에 따르면, 슬릿과 슬릿의 사이에 형성되는 공기를 분출하지 않는 부분의 길이를 더욱 짧게 만들기 쉬워진다.

·제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)는 확산 접합되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)를 접착제 등으로 접합하는 경우에 비해서, 제1 플레이트(71)와 제3 플레이트(80)의 거리, 즉, 슬릿의 폭을, 제2 플레이트(72)의 두께에 의해 정확하게 규정하기 쉬워진다.

·제3 플레이트(80)에는 관통공(81)이 복수 형성되어 있다. 이 때문에, 절결(73)(슬릿)의 수가 많아진 경우, 즉, 분출 플레이트(70)의 장변 방향 길이가 길어진 경우에도, 복수의 관통공(81)으로부터 유로를 통해 복수의 슬릿에 필요한 양의 공기를 공급하기 쉬워진다. 또한, 유로는 복수의 관통공(81)을, 각각 같은 개수의 절결(73)에 연통시킨다. 이 때문에, 각 절결(73)(슬릿)에 공급되는 공기량에 차이가 생기는 것을 억제할 수 있다.

·제1 제진 헤드(21)는 분출 플레이트(70)와, 분출 플레이트(70)가 설치된 공급 블록(22)을 구비하고 있다. 공급 블록(22)에는, 공기가 공급되는 공급실(23)과, 공급실(23)을 외부에 연통시키는 제1 연통로(24)가 형성되어 있다. 이 때문에, 제1 제진 헤드(21)의 외부로부터 제1 연통로(24)를 통해 공급실(23)에 공기를 공급할 수 있다. 그리고, 공급 블록(22)에는, 공급실(23)을 복수의 관통공(81)에 각각 연통시키는 제2 연통로가 형성되어 있다. 이 때문에, 공급실(23)로부터 제2 연통로를 통해 분출 플레이트(70)의 복수의 관통공(81), 나아가서는, 절결(73)(슬릿)에 공기를 공급할 수 있다. 또한, 제1 연통로(24)로부터 공급실(23)을 통해 복수의 제2 연통로에 공기가 공급되기 때문에, 복수의 제2 연통로에 공기를 공급하기 위한 제1 연통로(24)의 수를 줄일 수 있다. 게다가, 제1 연통로(24)로부터 분기된 분기로에 의해 복수의 제2 통로에 공기를 공급하는 경우에 비해서, 복수의 제2 연통로에 균등하게 공기를 공급하기 쉬워진다.

·공급 블록(22)은 직육면체 형상으로 형성되어 있으며, 공급 블록(22)의 바닥부에는 장변 방향에 있어서, 공급 블록(22)의 전체 길이에 걸쳐 연장되고, 또한, 공급 블록(22)의 바닥면(29b)에 대하여 제1 각도(θ1)(소정의 각도)를 이루는 바닥면(29a)이 형성되어 있다. 이 때문에, 직육면체 형상의 공급 블록(22)의 바닥부를 절삭 등을 함으로써, 장변 방향에 있어서, 공급 블록(22)의 전체 길이에 걸쳐 연장되는 바닥면(29a)을 용이하게 형성할 수 있다. 또한, 바닥면(29a)이 공급 블록(22)의 바닥면(29b)에 대하여 이루는 제1 각도(θ1)를, 바닥면(29a)을 형성할 때에 용이하게 조절할 수 있다.

·분출 플레이트(70)는 슬릿으로부터 공기가 바닥면(29a)과 평행하게 분출되도록, 바닥면(29a)에 설치되어 있다. 이 때문에, 분출 플레이트(70)의 자체 구성을 변경하지 않더라도, 상기 제1 각도(θ1)를 조절함으로써, 공급 블록(22)의 바닥면에 대한 공기의 분출 각도를 용이하게 조절할 수 있다.

·제1 각도(θ1)는 15∼45 [°]이다. 이러한 구성에 따르면, 분출 플레이트(70)로부터 공기를 분출하여 포토 마스크(M)에 내뿜은 경우, 제1 제진 헤드(21)의 바닥부와 포토 마스크(M) 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 공기 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가는 것이, 본원 개시자에 의한 실험 및 시뮬레이션에서 확인되었다. 이 때문에, 포토 마스크(M)로부터 제거된 먼지가, 슬릿으로부터 분출되는 공기 속도의 수평 성분과 반대 방향으로 비산되는 것을 억제할 수 있고, 제거된 먼지가 포토 마스크(M)에 재부착되는 것을 억제할 수 있다.

·제1 각도(θ1)는 25∼35 [°]이다. 이러한 구성에 따르면, 분출 플레이트(70)로부터 공기를 분출하여 포토 마스크(M)에 내뿜은 경우, 제1 제진 헤드(21)의 바닥부와 포토 마스크(M) 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 공기 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가는 효과가 현저해지는 것이, 본원 개시자에 의한 실험 및 시뮬레이션에서 확인되었다.

·제2 연통로는 바닥면(29a)에 개구되어 있으며, 관통공(81)은 바닥면(29a)에 있어서의 제2 연통로의 개구단과 대향하고 있다. 이 때문에, 제2 연통로와 관통공(81)을 접속할 수 있다. 여기서, 바닥면(29a)에 있어서, 제2 연통로의 개구단 주위에는, 실링 부재를 수납하는 수납 홈(34)이 형성되어 있으며, 수납 홈(34)에 수납된 실링 부재에 의해, 공급 블록(22)과 분출 플레이트(70)의 사이가 실링되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 실링 부재를 수납하는 수납 홈(34)을, 공급 블록(22)의 바닥면(29a)에 형성하였기 때문에, 수납 홈(34)을 분출 플레이트(70)에 형성할 필요가 없다. 따라서, 분출 플레이트(70)를 박판형 등, 박형으로 형성할 수 있으며, 분출 플레이트(70)의 구성을 간결하게 할 수 있다.

·분출 플레이트(70)에는 복수의 관통공(81), 소정 방향(분출 플레이트(70)의 장변 방향)으로 연장되고, 소정 방향에서 인접한 복수의 슬릿 및 복수의 관통공(81)을 각각 같은 개수의 복수의 슬릿에 연통시키는 유로가 형성되어 있다. 이 때문에, 복수의 관통공(81)으로부터 분출 플레이트(70)의 내부에 공기를 공급함으로써, 유로를 통해 복수의 슬릿에 공기를 공급할 수 있으며, 복수의 슬릿으로부터 공기를 분출할 수 있다. 따라서, 제1 제진 헤드(21)에 있어서, 소정 방향의 전체 길이에 걸친 슬릿을 형성할 필요가 없어, 각 슬릿을 균일한 폭으로 형성하기 쉬워진다. 또한, 분출 플레이트(70)에는 복수의 관통공(81)이 형성되어 있다. 이 때문에, 슬릿의 수가 많아진 경우, 즉, 분출 플레이트(70)의 소정 방향의 길이가 길어진 경우에도, 복수의 관통공(81)으로부터 유로를 통해 복수의 슬릿에 필요한 양의 공기를 공급하기 쉬워진다. 게다가, 유로는 복수의 관통공(81)을 각각 같은 개수의 슬릿에 연통시킨다. 이 때문에, 각 슬릿에 공급되는 공기량에 차이가 생기는 것을 억제할 수 있다.

·분출 플레이트(70)가 설치된 공급 블록(22)에는 공기가 공급되는 공급실(23)과, 공급실(23)을 외부에 연통시키는 제1 연통로(24)가 형성되어 있다. 이 때문에, 제1 제진 헤드(21)의 외부로부터 제1 연통로(24)를 통해 공급실(23)에 공기를 공급할 수 있다. 그리고, 공급 블록(22)에는, 공급실(23)을 복수의 관통공(81)에 각각 연통시키는 제2 연통로가 형성되어 있다. 이 때문에, 공급실(23)로부터 제2 연통로를 통해 분출 플레이트(70)의 복수의 관통공(81), 나아가서는, 슬릿에 공기를 공급할 수 있다. 또한, 제1 연통로(24)로부터 공급실(23)을 통해 복수의 제2 연통로에 공기가 공급되기 때문에, 복수의 제2 연통로에 공기를 공급하기 위한 제1 연통로(24)의 수를 줄일 수 있다. 게다가, 제1 연통로(24)로부터 분기된 분기로에 의해 복수의 제2 통로에 공기를 공급하는 경우에 비해서, 복수의 제2 연통로에 균등하게 공기를 공급하기 쉬워진다. 이상에 의해, 제1 제진 헤드(21)의 슬릿이 연장되는 소정 방향에 있어서, 공기를 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다.

·공급 블록(22)에는, 복수의 분출 플레이트(70)가 소정 방향으로 나열하여 설치되어 있고, 공급실(23)은 복수의 분출 플레이트(70)를 따라 소정 방향으로 연장되어 있으며, 제2 연통로는 공급실(23)을 복수의 분출 플레이트(70)의 복수의 관통공(81)에 각각 연통시킨다. 이러한 구성에 따르면, 복수의 분출 플레이트(70)를 소정 방향으로 나열하여 설치함으로써, 소정 방향의 길이가 긴 제1 제진 헤드(21)를 실현할 수 있다. 또한, 소정 방향의 길이가 긴 제1 제진 헤드(21)를 1개의 분출 플레이트(70)에서 실현할 경우에 비해서, 각 분출 플레이트(70)에 있어서, 소정 방향의 전체 길이에 걸쳐 공기를 균일하게 분출하는 것이 용이하기 때문에, 제1 제진 헤드(21)의 소정 방향의 전체 길이에 걸쳐 공기를 균일하게 분출하기 쉽게 할 수 있다. 게다가, 복수의 분출 플레이트(70)를 따라 소정 방향으로 연장되는 공통의 공급실(23)로부터, 복수의 분출 플레이트(70)의 복수의 관통공(81)에 공기를 도입할 수 있기 때문에, 1개의 제1 연통로(24)에 의해 공급실(23)에 공기를 공급할 수 있다.

·수납 홈(34)은 복수의 분출 플레이트(70)와 각각 대응하여, 소정 방향으로 나열하여 형성되어 있으며, 수납 홈(34)에 각각 수납된 실링 부재에 의해, 공급 블록(22)과 각 분출 플레이트(70)의 사이가 실링되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 소정 방향의 길이가 긴 분출 플레이트(70)와 공급 블록(22)의 사이를 1개의 실링 부재에 의해 실링하는 경우에 비해서, 각 분출 플레이트(70)와 공급 블록(22)의 사이를 실링 부재에 의해 안정되게 실링할 수 있다.

·본체는, 복수의 분출 플레이트(70)와 각각 대응하는 공급 블록(22)으로 분할되어 있다. 이 때문에, 본체를 복수의 공급 블록(22)으로 분할하여 구성할 수 있으며, 공급 블록(22)의 수를 늘림으로써, 본체의 소정 방향의 길이를 길게 만들 수 있다. 그리고, 소정 방향에 있어서, 공급 블록(22)의 일단에는 공급실(23)과 연통된 제1 계합부(35)가 마련되고, 공급 블록(22)의 타단에는 공급실(23)과 연통하고, 또한, 제1 계합부(35)와 계합하는 제2 계합부(36)가 마련되어 있다. 이 때문에, 제1 계합부(35)와 제2 계합부(36)를 계합시킴으로써, 서로 이웃한 공급 블록(22)을 연결할 수 있는 동시에, 서로 이웃한 공급 블록(22)의 공급실(23)을 연통시킬 수 있다.

·소정 방향에 있어서, 제2 연통로의 길이는 관통공(81)의 길이와 같다. 이러한 구성에 따르면, 공급실(23)부터 관통공(81)까지 소정 방향에 있어서, 균일하게 공기를 흘리기 쉬워진다.

·제2 연통로는, 공급실(23)로부터 관통공(81)과 반대 측으로 연장된 후에, 관통공(81) 측으로 되접어서 관통공(81)에 접속되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 제2 연통로의 공급실(23)부터 관통공(81)까지의 길이를 길게 만들기 쉬워지기 때문에, 제2 연통로를 공기가 흐르는 동안에 소정 방향에 있어서의 공기 유량을 균일하게 근접시킬 수 있다.

·제2 연통로에 있어서, 되접은 부분(연통로(26))의 유로 면적은 다른 부분의 유로 면적보다 작다. 이러한 구성에 따르면, 제2 연통로에 있어서, 되접은 부분에서 일단 유로를 좁힘으로써, 소정 방향에 있어서의 공기 유량의 불균일함을 축소시킬 수 있다.

·후드(11)는 한 쌍의 긴 측면(11a)과, 한 쌍의 짧은 측면(11b)을 갖는 직사각형 통 형상으로 형성되고, 공기를 흡인하는 덕트(18)에 상측 제1 개구(11d)가 접속되며, 하측 제2 개구로부터 공기를 흡인한다. 이 때문에, 제1 제진 헤드(21)로부터 분출된 공기에 의해 포토 마스크(M)로부터 제거된 먼지를, 제2 개구로부터 흡인하여, 제1 개구(11d)로부터 덕트(18)에 배출할 수 있다.

·2개의 제1 제진 헤드(21)의 슬릿으로부터 분출되는 공기가 후드(11)의 아래쪽 내측을 향하도록, 한 쌍의 긴 측면(11a)에 제1 제진 헤드(21)가 각각 설치되어 있다. 이 때문에, 후드(11)의 아래쪽 내측에 있어서, 2개의 제1 제진 헤드(21)로부터 분출된 공기를 충돌시킬 수 있어, 제1 제진 헤드(21)로부터 분출된 공기가 후드(11)의 아래쪽으로부터 외측으로 새는 것을 억제할 수 있다. 특히, 제1 각도(θ1)는 15∼45(25∼35)[°]이고, 포토 마스크(M)의 상면과 공급 블록(22)의 바닥면(29b)을 평행하게 배치한 경우, 제1 제진 헤드(21)의 바닥부와 포토 마스크(M) 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 공기 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가도록 할 수 있다.

·2개의 제2 제진 헤드(40)의 슬릿으로부터 분출되는 공기가 후드(11)의 아래쪽 내측을 향하도록, 한 쌍의 짧은 측면(11b)에 제2 제진 헤드(40)가 각각 설치되어 있다. 이 때문에, 긴 측면(11a)에 설치된 제1 제진 헤드(21)로부터 분출된 공기가, 포토 마스크(M)에 부착된 먼지를 제거한 후에, 짧은 측면(11b)의 아래쪽으로부터 후드(11)의 외측으로 새는 것을 억제할 수 있다.

·긴 측면(11a)과 평행인 방향에서 보아, 2개의 제1 제진 헤드(21)의 슬릿으로부터 분출되는 공기의 진행 방향과 포토 마스크(M)의 상면이 이루는 각도인 제1 각도(θ1)가 15∼45 [°]이고, 짧은 측면(11b)과 평행인 방향에서 보아, 2개의 제2 제진 헤드(40)의 슬릿으로부터 분출되는 공기의 진행 방향과 포토 마스크(M)의 상면이 이루는 각도인 제2 각도(θ2)가 15∼45 [°]이다. 이러한 구성에 따르면, 제진 헤드(21, 40)의 바닥부와 포토 마스크(M) 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 공기 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가도록 할 수 있다.

·제1 각도(θ1)는 25∼35 [°]이고, 제2 각도(θ2)는 25∼35 [°]이다. 이러한 구성에 따르면, 제진 헤드(21, 40)의 바닥부와 포토 마스크(M) 사이의 공기가, 부압 및 공기의 점성으로 인해, 슬릿으로부터 분출되는 공기 속도의 수평 성분 방향으로 끌려들어가는 효과가 현저해진다.

·2개의 제1 제진 헤드(21)의 슬릿의 개구단과 포토 마스크(M)의 상면과의 거리(h1) 및 2개의 제2 제진 헤드(40)의 슬릿의 개구단과 포토 마스크(M)의 상면과의 거리(h2)는 5∼20 [㎜]이다. 이러한 구성에 따르면, 상기 작용 효과가 나타나는 것이, 본원 개시자에 의한 실험 및 시뮬레이션에서 확인되었다.

·2개의 제1 제진 헤드(21)에 공기를 각각 공급하는 제1 포트(51) 및 제2 포트(61)가, 제진 장치(10)에 있어서의 소정 방향의 일단부에 마련되어 있다. 이 때문에, 제진 장치(10)에 있어서의 소정 방향의 일단부에, 제1 포트(51) 및 제2 포트(61)를 모아서 배치할 수 있다. 그리고, 제1 공급 유로는, 제1 포트(51)로부터 한쪽의 제1 제진 헤드(21)의 공급실(23)을 통해 한쪽의 제2 제진 헤드(40) 공기를 공급한다. 이 때문에, 제1 제진 헤드(21)의 공급실(23)을 이용함으로써, 소정 방향에 있어서, 제1 포트(51)와 반대 측 제진 장치(10)의 단부에 배치된 제2 제진 헤드(40)에 공기를 공급할 수 있다. 또한, 제2 공급 유로는 제2 포트(61)로부터 다른 한쪽의 제1 제진 헤드(21)와, 다른 한쪽의 제2 제진 헤드(40)에 공기를 직접 공급할 수 있다.

·제진 장치(10)는 제1 포트(51)와 제2 포트(61)에 같은 유량의 공기를 공급한다. 이러한 구성에 따르면, 복수의 분출 플레이트(70)의 복수의 슬릿에 같은 유량의 공기를 공급하기 쉬워져, 각 슬릿에 공급되는 공기량에 차이가 생기는 것을 억제할 수 있다.

·공급실(23)의 유로 면적은, 제1 공급 유로의 유로 면적 및 제2 공급 유로의 유로 면적보다 크다. 이러한 구성에 따르면, 제1 공급 유로 및 제2 공급 유로에 공급된 공기를 공급실(23)에서 일단 확산시킬 수 있어, 공급실(23)로부터 복수의 제2 연통로에 같은 유량의 공기를 공급하기 쉬워진다.

·제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)의 확산 접합에 의해, 제2 플레이트(72)의 경계부(74)가 제1 플레이트(71) 및 제3 플레이트(80)와 접합하기 때문에, 각 슬릿의 폭을 안정시킬 수 있다.

또한, 상기 실시형태를 이하와 같이 변경하여 실시할 수도 있다. 상기 실시형태와 동일한 부분에 대해서는, 동일 부호를 붙임으로써, 설명을 생략한다.

·거리(h1, h2)를 2∼30 [㎜]로 설정할 수도 있다.

·제1 각도(θ1), 제2 각도(θ2)를 10∼50 [°]로 설정할 수도 있다.

·2개의 제2 제진 헤드(40)를 생략할 수도 있다.

·제1 계합부(35)와 제2 계합부(36)가 직접 계합하도록 형성할 수도 있다. 예를 들면, 제1 계합부(35)를 환형 볼록부로서 형성하고, 제2 계합부(36)를 환형 오목부로서 형성하여, 제1 계합부(35)와 제2 계합부(36)를 감합시켜도 된다.

·공급 블록(22)에 수납 홈(34)을 형성하는 것 대신, 분출 플레이트(70)에 수납 홈을 형성할 수도 있다.

·공급 블록(22)의 바닥부 전체에 바닥면(29a)(소정의 평면)을 형성할 수도 있다.

·분출 플레이트(70)의 장변 방향에 있어서, 인접한 절결(73)의 개구단(73a)끼리의 간격을 0.5∼1.0 [㎜]로 설정할 수도 있다.

·제2 플레이트(72)의 두께를 0.05∼0.5 [㎜]로 설정할 수도 있다.

·홈(82)(유로)에 있어서의 절결(73)의 개구단(73a) 측의 끝(82a)을 경사부(73b)보다 안쪽에 위치시킬 수도 있다.

·경계부(74)가 선 대칭이 아닌 형상을 채택할 수도 있다.

·바닥면(29a)과, 분출 플레이트(70)의 슬릿으로부터 공기를 분출하는 방향이, 평행이 아닌 구성도 채택할 수 있다.

·제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)를 알루미늄 합금이나 구리 합금에 의해 형성할 수도 있다.

·제1 플레이트(71), 제2 플레이트(72) 및 제3 플레이트(80)를 용접으로 접합하거나, 접착제로 접합할 수도 있다.

·한쪽의 제1 제진 헤드(21)에 공기를 공급하는 제1 공급 유로와, 다른 한쪽의 제1 제진 헤드(21)에 공기를 공급하는 제2 공급 유로와, 한쪽의 제2 제진 헤드(40)에 공기를 공급하는 제3 공급 유로와, 다른 한쪽의 제2 제진 헤드(40)에 공기를 공급하는 제4 공급 유로를 구비한다는 구성도 채택할 수 있다. 그리고, 제1 공급 유로와 제2 공급 유로에 같은 유량의 공기를 공급하고, 제3 공급 유로와 제4 공급 유로에 같은 유량의 공기를 공급한다. 이러한 구성에 따르면, 2개의 제1 제진 헤드(21)에 같은 유량의 공기를 공급하기 쉬워져, 2개의 제1 제진 헤드(21)의 슬릿으로부터 분출되는 공기량에 차이가 생기는 것을 억제할 수 있다. 또한, 2개의 제2 제진 헤드(40)에 같은 유량의 공기를 공급하기 쉬워져, 2개의 제2 제진 헤드(40)의 슬릿으로부터 분출되는 공기량에 차이가 생기는 것을 억제할 수 있다.

·분출 플레이트(70, 90)가 분출하는 기체로서, 질소나 산소, 아르곤 등을 채택할 수도 있다.

·제진 대상으로서, 액정 기판이나 웨이퍼, 유리 기판 등을 채택할 수도 있다.

또한, 상기 각 변경예를 조합하여 실시할 수도 있다.

본 개시는 실시형태에 준거하여 기술되었으나, 본 개시는 해당 실시형태나 구조에 한정되는 것은 아니라고 이해된다. 본 개시는 각종 변형예나 균등 범위 내의 변형도 포함한다. 더불어, 각종 조합이나 형태, 나아가서는, 그것들에 하나의 요소만, 그 이상 혹은 그 이하를 포함한 다른 조합이나 형태도, 본 개시의 범주나 사상 범위에 들어가는 것이다.

10 제진 장치
20 제진 헤드 조립체
21 제1 제진 헤드(제진 헤드)
22 공급 블록
23 공급실
24 제1 연통로
25 연통로
26 연통로
27 연통로
28 연통로
40 제2 제진 헤드(제진 헤드)
42 공급 블록
43 공급실
45 연통로
46 연통로
47 연통로
48 연통로
62a 개구
70 분출 플레이트(분출부)
71 제1 플레이트(제1 부재)
72 제2 플레이트(제2 부재)
73 절결
73a 개구단
73b 경사부
74 경계부
80 제3 플레이트(제3 부재)
81 관통공(도입구)
82 홈(유로)
83 홈(유로)
90 분출 플레이트(분출부)

Claims (13)

1. 제진 대상으로부터 먼지를 제거하는 제진 장치에 이용되며, 상기 제진 대상에게 내뿜는 기체를 분출하는 제진 장치용 분출부로서,
   금속에 의해, 단변 방향과 장변 방향을 갖는 직사각형 판 형상으로 형성된 제1 부재와,
   일정 두께의 금속에 의해, 상기 제1 부재의 형상과 대응한 직사각형 판 형상으로 형성되고, 상기 단변 방향의 일단에서 개구하는 복수의 절결이, 상기 장변 방향의 전체 길이에 걸쳐 인접하여 형성된 제2 부재와,
   금속에 의해, 상기 제1 부재의 형상과 대응한 직사각형 판 형상으로 형성되고, 관통공이 형성된 제3 부재를 구비하고,
   상기 제1 부재와 상기 제3 부재가 상기 제2 부재를 개재하여 일체로 접합되어 있으며,
   상기 제3 부재에는, 상기 관통공과 상기 복수의 절결을 연통시키는 유로가 형성되어 있고,
   상기 복수의 절결에 있어서, 개구단으로부터 소정의 범위에는, 상기 개구단에 근접할수록 상기 장변 방향에 있어서의 상기 절결의 길이를 길게 만드는 경사부가 형성되어 있는, 제진 장치용 분출부.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제2 부재에 있어서, 상기 절결과 상기 절결 사이의 부분인 경계부는, 상기 장변 방향에 있어서의 자신의 중앙을 규정하는 중앙선에 관해서 선 대칭으로 형성되어 있고,
   상기 장변 방향에 있어서, 상기 제2 부재의 양 단부에는, 상기 경계부를 반으로 나눈 형상인 반할부가 형성되어 있는, 제진 장치용 분출부.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 유로에 있어서의 상기 개구단 측의 끝은, 상기 경사부보다 바로 앞에 위치한, 제진 장치용 분출부.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제2 부재의 두께는 0.1∼0.3 [㎜]인, 제진 장치용 분출부.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제3 부재의 두께는 0.8∼1.2 [㎜]이고,
   상기 제3 부재의 두께 방향에 있어서의 상기 유로의 깊이는 0.4∼0.6 [㎜]인, 제진 장치용 분출부.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 장변 방향에 있어서, 인접한 상기 절결의 개구단끼리의 간격은 0.5 [㎜] 이하인, 제진 장치용 분출부.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 부재, 상기 제2 부재 및 상기 제3 부재는 확산 접합되어 있는, 제진 장치용 분출부.
8. 제1항에 있어서,
   상기 제3 부재에는 상기 관통공이 복수 형성되어 있으며,
   상기 유로는, 복수의 상기 관통공을, 각각 같은 개수의 상기 절결에 연통시킨, 제진 장치용 분출부.
9. 제8항에 기재된 제진 장치용 분출부와,
   상기 제진 장치용 분출부가 설치된 본체를 구비하는 제진 헤드로서,
   상기 본체에는, 상기 기체가 공급되는 공급실과, 상기 공급실을 외부에 연통시키는 제1 연통로와, 상기 공급실을 복수의 상기 관통공에 각각 연통시키는 제2 연통로가 형성되어 있는, 제진 헤드.
10. 제9항에 있어서,
    상기 본체는 직육면체 형상으로 형성되어 있고,
    상기 본체의 바닥부에는, 상기 장변 방향에 있어서, 상기 본체의 전체 길이에 걸쳐 연장되고, 또한, 상기 본체의 바닥면에 대하여 소정의 각도를 이루는 소정의 평면이 형성되어 있으며,
    상기 제진 장치용 분출부는, 상기 절결로부터 상기 기체가 상기 소정의 평면과 평행하게 분출되도록, 상기 소정의 평면에 설치되어 있는, 제진 헤드.
11. 제10항에 있어서,
    상기 소정의 각도는 15∼45 [°]인, 제진 헤드.
12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 소정의 각도는 25∼35 [°]인, 제진 헤드.
13. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 제2 연통로는 상기 소정의 평면에 개구되어 있고,
    상기 관통공은, 상기 소정의 평면에서 상기 제2 연통로의 개구단과 대향하고 있으며,
    상기 소정의 평면에 있어서, 상기 제2 연통로의 개구단 주위에는, 실링 부재를 수납하는 수납 홈이 형성되어 있으며,
    상기 수납 홈에 수납된 상기 실링 부재에 의해, 상기 본체와 상기 제진 장치용 분출부의 사이가 실링되어 있는, 제진 헤드.

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