TW202239488A - 除塵裝置用噴出部及除塵頭 - Google Patents

Abstract

一種除塵裝置用噴出部(70)，噴出朝除塵對象噴附的氣體，其具備：第1構件(71)，藉由金屬而形成為具有短邊方向與長邊方向的矩形板狀；第2構件(72)，藉由一定厚度的金屬而形成為矩形板狀，且涵蓋長邊方向的全長而鄰接形成有在短邊方向的一端開口的複數個缺口(73)；及第3構件(80)，藉由金屬而形成為矩形板狀，且形成有貫通孔(81)，以第1構件與第3構件包夾第2構件而一體地接合，在第3構件形成有使貫通孔與複數個缺口連通的流路(82)，在複數個缺口中，從開口端(73a)起在預定範圍內形成有傾斜部(73b)，傾斜部(73b)是越接近開口端，就越加長長邊方向上的缺口的長度。

Description

除塵裝置用噴出部及除塵頭

[相關申請案之相互參照] 本申請案是依據於2021年4月6日提出申請之日本專利申請號2021-064890號之申請案，並在此引用其記載內容。

本揭示是有關於一種噴出部，使用於從曝光用光罩或基板等之精密的除塵對象去除塵埃的除塵裝置，噴出朝除塵對象噴附的氣體。

以往，在這種除塵裝置用噴出部中，有從涵蓋長邊方向之大致全長的狹縫噴出空氣(氣體)的除塵裝置用噴出部(參照專利文獻1)。 先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本特許第3975205號公報

發明欲解決之課題 然而，為了提高噴出之空氣的流速，狹縫的寬度大多非常狹窄，像是例如0.1[mm]。因此，在專利文獻1所記載之除塵裝置用噴出部中，要藉由機械加工等，涵蓋噴出部的長邊方向全長而以均勻的寬度來形成狹縫是有困難的。對此，亦可考慮在噴出部的長邊方向上將狹縫分割成複數個來形成。但是，在該情況下會在狹縫與狹縫之間形成不噴出空氣的部分，而使狹縫與狹縫之間的空氣的流動變弱。從而，在噴出部的長邊方向上，要將空氣均勻地噴出是有困難的。

本揭示是為了解決上述課題而作成者，其主要目的在於提供一種可易於在噴出部的長邊方向上將氣體均勻地噴出的除塵裝置用噴出部。

用以解決課題之手段 用以解決上述課題之第1手段是一種除塵裝置用噴出部，使用於從除塵對象去除塵埃的除塵裝置，噴出朝前述除塵對象噴附的氣體，其具備： 第1構件，藉由金屬而形成為具有短邊方向與長邊方向的矩形板狀； 第2構件，藉由一定厚度的金屬而形成為與前述第1構件的形狀對應的矩形板狀，且涵蓋前述長邊方向的全長而鄰接形成有在前述長邊方向的一端開口的複數個缺口；及 第3構件，藉由金屬而形成為與前述第1構件的形狀對應的矩形板狀，且形成有貫通孔， 以前述第1構件與前述第3構件包夾前述第2構件而一體地接合， 在前述第3構件形成有使前述貫通孔與前述複數個缺口連通的流路， 在前述複數個缺口中，從開口端起在預定範圍內形成有傾斜部，前述傾斜部是越接近前述開口端，就越加長前述長邊方向上的前述缺口的長度。

根據上述構成，除塵裝置用噴出部是使用於從除塵對象去除塵埃的除塵裝置，噴出朝前述除塵對象噴附的氣體。第1構件是藉由金屬而形成為具有短邊方向與長邊方向的矩形板狀。第2構件是藉由一定厚度的金屬而形成為與前述第1構件的形狀對應的矩形板狀，且涵蓋前述長邊方向的全長而鄰接形成有在前述短邊方向的一端開口的複數個缺口。第3構件是藉由金屬而形成為與前述第1構件的形狀對應的矩形板狀，且形成有貫通孔。並且，以前述第1構件與前述第3構件包夾前述第2構件而一體地接合。

因此，在第1構件、第2構件及第3構件已一體地接合的狀態下，可以藉由以第1構件、第2構件及第3構件所劃分出的缺口的內部的空間來形成狹縫。詳細來說，可以涵蓋長邊方向的全長，藉由鄰接的複數個缺口來形成鄰接的複數個狹縫。並且，在前述第3構件形成有使前述貫通孔與前述複數個缺口連通的流路。從而，藉由從第3構件的貫通孔朝噴出部的內部供給氣體，可以透過流路朝複數個缺口(亦即狹縫)供給氣體，而可以從狹縫噴出氣體。在此，複數個狹縫的寬度是藉由第2構件的一定厚度來規定。從而，不需要藉由機械加工等來形成狹縫，變得易於涵蓋噴出部的長邊方向全長而以均勻的寬度來形成複數個狹縫。

此外，在前述複數個缺口中，從開口端起在預定範圍內形成有傾斜部，前述傾斜部是越接近前述開口端，就越加長前述長邊方向上的前述缺口的長度。因此，變得易於將鄰接的狹縫的開口端彼此的間隔縮短，而變得易於將形成於狹縫與狹縫之間的不噴出氣體的部分的長度縮短。而且，藉由讓氣體沿著傾斜部流動，從狹縫噴出的氣體變得易於朝長邊方向擴散。從而，可以抑制狹縫與狹縫之間的氣體的流動變弱之情形，而可易於在噴出部的長邊方向上將氣體均勻地噴出。

在第2手段中，在前述第2構件中，前述缺口與前述缺口之間的部分即交界部是相對於規定前述長邊方向上的本身之中央的中央線形成為線對稱，在前述長邊方向上，在前述第2構件的兩端部形成有半分割部，前述半分割部是將前述交界部對半分割的形狀。

根據上述構成，在前述第2構件中，前述缺口與前述缺口之間的部分即交界部是相對於規定前述長邊方向上的本身之中央的中央線形成為線對稱。因此，變得易於從鄰接的狹縫相對於中央線呈對稱地噴出氣體，而可易於在噴出部的長邊方向上將氣體更均勻地噴出。此外，在前述長邊方向上，在前述第2構件的兩端部形成有半分割部，前述半分割部是將前述交界部對半分割的形狀。因此，在長邊方向上連接了複數個除塵裝置用噴出部的情況下，可藉由將噴出部的端部的半分割部彼此連接來構成1個交界部。從而，即使在長邊方向上連接了複數個除塵裝置用噴出部的情形下，仍可易於涵蓋複數個噴出部而將氣體均勻地噴出。

在第3手段中，前述流路中的前述開口端之側的端位於比前述傾斜部更近前處。根據這樣的構成，於流路中流動的氣體會在缺口中朝比傾斜部更近前處的部分流入。從而，利用傾斜部整體，使氣體變得易於沿著傾斜部流動。

在第4手段中，前述第2構件的厚度為0.1~0.3[mm]。根據這樣的構成，變得易於涵蓋噴出部的長邊方向全長而以均勻的寬度來形成0.1~0.3[mm]寬度的狹縫。

在第5手段中，前述第3構件的厚度為0.8~1.2[mm]，前述第3構件的厚度方向上的前述流路的深度為0.4~0.6[mm]。

根據上述構成，由於前述第3構件的厚度為0.8~1.2[mm]，因此可以將前述第3構件的厚度方向上的作為氣體通路的貫通孔的深度確保為0.8~1.2[mm]。並且，在前述第3構件的厚度方向上，前述流路的深度為0.4~0.6[mm]，狹縫的寬度為0.1~0.3[mm]。因此，可以在前述第3構件的厚度方向上，將氣體通路的深度從貫通孔朝流路、狹縫逐漸地變淺。從而，可以抑制氣體的壓力損失，並且提高從狹縫噴出的氣體的流速。

在第6手段中，在前述長邊方向上，鄰接的前述缺口的開口端彼此的間隔為0.5[mm]以下。根據這樣的構成，變得易於將形成於狹縫與狹縫之間的不噴出氣體的部分的長度更加縮短。

在第7手段中，前述第1構件、前述第2構件及前述第3構件是被擴散接合。根據這樣的構成，相較於以接著劑等來接合前述第1構件、前述第2構件及前述第3構件的情況，變得易於藉由第2構件的厚度來正確地規定第1構件與第3構件的距離，亦即狹縫的寬度。

在第8手段中，在前述第3構件形成有複數個前述貫通孔，前述流路是使複數個前述貫通孔各自連通於相同數量的前述缺口。

根據上述構成，在前述第3構件形成有複數個前述貫通孔。因此，即使在缺口(狹縫)的數量變多的情況下，亦即噴出部的長邊方向的長度變長的情況下，仍變得易於從複數個貫通孔透過流路朝複數個狹縫供給必要之量的氣體。此外，前述流路是使複數個前述貫通孔各自連通於相同數量的前述缺口。因此，可以抑制供給至各缺口(狹縫)的氣體之量產生差異之情形。

在第9手段中，是一種除塵頭，具備：如第8手段之除塵裝置用噴出部；及本體，安裝有前述除塵裝置用噴出部，在前述本體形成有：供給室，供給前述氣體；第1連通路，使前述供給室連通於外部；及第2連通路，使前述供給室各自連通於複數個前述貫通孔。

根據上述構成，除塵頭具備有：如第8手段之除塵裝置用噴出部；及本體，安裝有前述除塵裝置用噴出部。在前述本體形成有：供給室，供給前述氣體；及第1連通路，使前述供給室連通於外部。因此，可以從除塵頭的外部透過第1連通路朝供給室供給氣體。並且，在本體形成有：第2連通路，使前述供給室各自連通於複數個前述貫通孔。因此，可以從供給室透過第2連通路朝除塵裝置用噴出部的複數個貫通孔乃至缺口(狹縫)供給氣體。此外，由於從第1連通路透過供給室朝複數個第2連通路供給氣體，因此可以減少用於朝複數個第2連通路供給氣體的第1連通路的數量。而且，相較於藉由已從第1連通路分歧的分歧路朝複數個第2通路供給氣體的情況，變得易於朝複數個第2連通路均等地供給氣體。

在第10手段中，前述本體是形成為長方體狀，在前述本體的底部形成有預定平面，前述預定平面是在前述長邊方向上涵蓋前述本體的全長而延伸，並且相對於前述本體的底面構成預定角度，前述除塵裝置用噴出部安裝於前述預定平面，且安裝成使前述氣體從前述缺口平行於前述預定平面來噴出。

根據上述構成，前述本體是形成為長方體狀，在前述本體的底部形成有預定平面，前述預定平面是在前述長邊方向上涵蓋前述本體的全長而延伸，並且相對於前述本體的底面構成預定角度。因此，藉由將長方體狀的本體的底部進行切削等，可以容易地形成在前述長邊方向上涵蓋前述本體的全長而延伸的預定平面。此外，可以在形成預定平面時容易地調節預定平面相對於本體的底面所構成的預定角度。

並且，前述除塵裝置用噴出部安裝於前述預定平面，且安裝成使前述氣體從前述缺口(狹縫)平行於前述預定平面來噴出。因此，即使不變更除塵裝置用噴出部本身的構成，藉由調節上述預定角度，可以容易地調節氣體對本體的底面之噴出角度。

在第11手段中，前述預定角度為15~45[°]。根據這樣的構成，在從除塵裝置用噴出部噴出氣體並噴附於除塵對象的情況下，除塵頭的底部與除塵對象之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的氣體之速度的水平成分的方向引入一事，已在由本案揭示者所進行之實驗及模擬中得到確認。因此，可以抑制從除塵對象所去除的塵埃朝與從狹縫噴出的氣體之速度的水平成分相反的方向飛散之情形，而可以抑制所去除的除塵再次附著於除塵對象之情形。

在第12手段中，前述預定角度為25~35[°]。根據這樣的構成，在從除塵裝置用噴出部噴出氣體並噴附於除塵對象的情況下，除塵頭的底部與除塵對象之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的氣體之速度的水平成分的方向引入的效果會變得顯著一事，已在由本案揭示者所進行之實驗及模擬中得到確認。

在第13手段中，前述第2連通路是開口於前述預定平面，前述貫通孔是與前述預定平面中的前述第2連通路的開口端相向，在前述預定平面中，在前述第2連通路的開口端的周圍形成有收納密封構件的收納溝，藉由前述收納溝所收納的前述密封構件，將前述本體與前述除塵裝置用噴出部之間密封。

根據上述構成，前述第2連通路是開口於前述預定平面，前述貫通孔是與前述預定平面中的前述第2連通路的開口端相向。因此，可以連接第2連通路與貫通孔。在此，在前述預定平面中，在前述第2連通路的開口端的周圍形成有收納密封構件的收納溝，藉由前述收納溝所收納的前述密封構件，將前述本體與前述除塵裝置用噴出部之間密封。根據這樣的構成，由於有將收納密封構件的收納溝形成於本體的預定平面，因此不需要將收納溝形成於除塵裝置用噴出部。從而，可以將噴出部形成為薄板狀等之薄型，而可以將噴出部的構成設為較簡潔。

用以實施發明之形態 以下，針對將除塵裝置具體化的一實施形態，一邊參照圖式一邊進行說明，其中前述除塵裝置是將曝光裝置所使用之光罩的塵埃去除。除塵裝置對光罩的上表面噴出空氣(氣體)來去除塵埃，並吸引所去除的塵埃朝管道排出。

如圖1所示，除塵裝置10具備有除塵頭組裝體20、罩件(hood)11、把手12A、12B等。

在除塵頭組裝體20安裝有罩件11。罩件11是形成為具有一對長側面11a、一對短側面11b及上底11c的有底矩形筒狀(矩形筒狀)。罩件11之上側的開口即第1開口11d連接於管道18。管道18連接於吸引裝置(省略圖示)，且吸引罩件11內的空氣，進而從罩件11之下側的開口即第2開口吸引空氣。

圖2是除塵頭組裝體20的立體圖。除塵頭組裝體20具備有2個第1除塵頭21、2個第2除塵頭40、2個第1接頭塊50、2個第2接頭塊60、連結板20a等。

2個第1除塵頭21是彼此平行地相向而配置。2個第1除塵頭21各自安裝於上述一對長側面11a(參照圖1)。第1除塵頭21(除塵頭)具備有6個(複數個)供給塊22。6個供給塊22是在第1除塵頭21(除塵裝置10)的長邊方向(預定方向)上排列，並且彼此連結。第1除塵頭21的長邊方向上的長度為例如600~800[mm]。另外，藉由6個供給塊22來構成本體，且本體被分割成6個供給塊22(本體構成部)。

2個第2除塵頭40是彼此平行地相向而配置。2個第2除塵頭40各自安裝於上述一對短側面11b(參照圖1)。第2除塵頭40形成得比第1除塵頭21的長邊方向上的長度更短。

在第1除塵頭21與第2除塵頭40之間設置有第1接頭塊50或第2接頭塊60。連結板20a是矩形框狀的板材，將2個第1除塵頭21、2個第2除塵頭40、2個第1接頭塊50及2個第2接頭塊60連結成矩形框狀。

在第1接頭區塊50設置有供給高壓(預定壓力)的清淨空氣(清淨乾燥空氣(clean dry air))的第1端口(port)51。在第2接頭區塊60設置有供給高壓(預定壓力)的清淨空氣(清淨乾燥空氣)的第2端口61。對第1端口51與第2端口61供給相等流量的空氣。第1端口51及第2端口61設置於除塵裝置10中的長邊方向的一端部。

如圖3、4所示，在各供給塊22的內部形成有各供給室23。供給室23是形成為四角柱的空間，並且在第1除塵頭21的長邊方向上延伸。鄰接的供給室23彼此連通。第1除塵頭21的長邊方向上的一端的供給塊22的供給室23是透過接頭流路52而連通於第1端口51，前述接頭流路52形成於第1接頭塊50的內部。第1除塵頭21的長邊方向上的另一端的供給塊22的供給室23連通於接頭流路62，前述接頭流路62形成於第2接頭塊60的內部。

第2除塵頭40具備有供給塊42。在供給塊42的內部形成有供給室43。供給室43連通於接頭流路62。另外，從第1端口51透過其中一個第1除塵頭21的各供給室23對其中一個第2除塵頭40供給空氣的接頭流路52、62是構成第1供給流路。從第2端口61對另一個第1除塵頭21與另一個第2除塵頭40直接供給空氣的接頭流路62是構成第2供給流路。供給室23、43的流路面積比第1供給流路的流路面積及第2供給流路的流路面積更大。另外，在第1除塵頭21的長邊方向上，與第1端口51相反側的端部及與第2端口61相反側的端部是藉由其他構件而關閉。

圖5是供給塊22的立體圖。

供給塊22是形成為長方體狀。在供給塊22的下底部(底部)形成有剖面直角三角形狀的三角溝29。三角溝29是涵蓋供給塊22的長邊方向(預定方向)的全長而形成。在三角溝29的面積較大的底面即底面29a(預定平面)形成有2個開口33(參照圖9)。在供給塊22的下底部中，在2個開口30的周圍各自形成有收納O型環等密封構件的收納溝34。

在供給塊22的長邊方向的兩端部形成有使供給室23在長邊方向上連通於外部的第1連通路24。在供給塊22的上底部(底部)形成有2個開口30。在供給塊22的上底部中，在2個開口30的周圍各自形成有收納O型環等密封構件的收納溝31。

在供給塊22形成有使供給室23各自連通於2個開口30的連通路25。在供給塊22形成有平行於連通路25而延伸的連通路27。在供給塊22形成有使連通路25與連通路27連通的連通路26。在供給塊22形成有使連通路27與開口33連通的連通路28。在供給塊22的長邊方向上，連通路25、27、28的長度為相等。連通路26的流路面積比連通路25的流路面積及連通路27的流路面積更小。

2個開口30被連結板20a所覆蓋。藉由收納溝31所收納的密封構件，將供給塊22的上底部與連結板20a之間密封。另外，藉由連通路25~28構成第2連通路。亦即，第2連通路是在從供給室23朝與開口33相反側延伸後，朝開口33之側折返而連接於開口33。在第2連通路中，折返部分即連通路26的流路面接比其他部分的流路面積更小。第2連通路是開口於底面29a。

在供給塊22的長邊方向上，在供給塊22的一端設置有第1卡合部35，在供給塊22的另一端設置有第2卡合部36，第1卡合部35與供給室23連通，第2卡合部36與供給室23連通，並且與鄰接的供給塊22的第1卡合部35卡合。第1卡合部35及第2卡合部36是形成為環狀的凹部。

如圖6所示，鄰接的供給塊22是透過連結環37而連結。如圖7所示，連結環37具備有四角筒狀(環狀)的環本體37b。在環本體37b的外周緣部設置有環狀的突條37a。突條37a是在環本體37b中設置於中心軸線方向的中央。

圖8是將圖4的A部分放大顯示的立體圖。連結環37嵌合於2個第1連通路24、第1卡合部35及第2卡合部36的內周面。亦即，第1卡合部35與第2卡合部36是透過連結環37而卡合。第1卡合部35與第2卡合部36是藉由連結環37的突條37a而隔離。在第1卡合部35及第2卡合部36各自收納有O型環等密封構件38。第1卡合部35(供給塊22)與連結環37的環本體37b之間是藉由密封構件38而密封。第2卡合部36(供給塊22)與連結環37的環本體37b之間是藉由密封構件38而密封。密封構件38是在連結環37的徑方向上被壓縮。因此，即使在鄰接的供給塊22的長邊方向的相對位置上產生偏差，仍然可以藉由密封構件38穩定地將第1卡合部35與連結環37之間以及第2卡合部36與連結環37之間密封。

圖9是顯示供給塊22及噴出板70的下部的立體圖。在底面29a安裝有噴出板70。藉由收納溝34所收納的密封構件，將底面29a(供給塊22的下底部)與噴出板70之間密封。噴出板70噴出朝光罩噴附的空氣。

圖10是顯示噴出板70的上表面側的分解立體圖，圖11是顯示噴出板70的下表面側的分解立體圖。噴出板70(噴出部、除塵裝置用噴出部)具備有第1板71、第2板72、第3板80等。

第1板71(第1構件)是藉由例如一定厚度的不鏽鋼(金屬)而形成為具有短邊方向與長邊方向的矩形板狀。第1板71的厚度為例如0.3~0.7[mm]，且宜為0.4~0.6[mm]，在本實施形態中為0.5[mm]。第1板71是藉由軋延而形成，且厚度的公差為±5[µm]。在第1板71的長邊方向的兩端部及中央部各自形成有在短邊方向上排列的2個螺孔71a。螺孔71a是藉由將第1板71進行蝕刻而形成。

第2板72(第2構件)是藉由例如一定厚度的不鏽鋼(金屬)而形成為具有短邊方向與長邊方向的矩形板狀。第2板72的形狀與第1板71的形狀對應。第2板72的厚度宜為例如0.1~0.3[mm]，在本實施形態中為0.1[mm]。第2板72是藉由軋延而形成，且厚度的公差為±5[µm]。在第2板72的長邊方向的兩端部及中央部各自形成有在短邊方向上排列的2個螺孔72a。

在第2板72中，涵蓋長邊方向的全長而鄰接(相鄰)形成有在短邊方向的一端開口的複數個缺口73。缺口73是形成為矩形狀。在複數個缺口73中，從開口端73a起在第2板72的短邊方向的預定範圍內形成有傾斜部73b，前述傾斜部73b是越接近開口端73a，就越加長長邊方向上的缺口73的長度。亦即，複數個缺口73是開口端73a側擴寬的形狀。螺孔72a及缺口73是藉由將第2板72進行蝕刻而形成。

在第2板72中，缺口73與缺口73之間的部分即各交界部74是相對於規定第2板72的長邊方向上的本身之中央的中央線C形成為線對稱。亦即，各交界部74是相對於本身的中央線C呈線對稱的形狀。在第2板72的長邊方向上，各交界部74的前端的寬度，亦即鄰接的缺口73的開口端73a彼此的間隔宜為0.5[mm]以下，在本實施形態中為0.4[mm]。

在第2板72的長邊方向上，在第2板72的兩端部形成有半分割部74h，前述半分割部74h是將交界部74對半分割的形狀。在第2板72的長邊方向上，使2個第2板72鄰接的情況下，可藉由2個半分割部74h(鄰接的半分割部74h)來形成1個交界部74。

第3板80(第3構件)是藉由例如一定厚度的不鏽鋼(金屬)而形成為具有短邊方向與長邊方向的矩形板狀。第3板80的形狀與第1板71的形狀對應。第3板80的厚度宜為例如0.8~1.2[mm]，在本實施形態中為1.0[mm]。第3板80是藉由軋延而形成，且厚度的公差為±5[µm]。在第3板80的長邊方向的兩端部及中央部各自形成有在短邊方向上排列的2個螺孔80a。

在第3板80形成有2個(複數個)貫通孔81。貫通孔81(導入口)是形成為矩形狀，且在第3板80的長邊方向上，在螺孔80a與螺孔80a之間延伸。螺孔80a是藉由將第3板80進行蝕刻而形成。

在第3板80形成有複數個溝82，前述溝82是從貫通孔81往第3板80的短邊方向當中上述缺口73的開口端73a側延伸。溝82的深度宜為0.4~0.6[mm]，在本實施形態中為0.5[mm]。溝82是藉由將第3板80進行半蝕刻而形成。溝82連通於貫通孔81。在組裝有噴出板70的狀態下，各溝82構成使貫通孔81與各缺口73連通的流路。溝82中的開口端73a之側的端82a位於比缺口73的上述傾斜部73b更近前處(參照圖12)。在複數個溝82中，與貫通孔81的連通部的流路面積彼此相等。

在第3板80形成有遵循溝82的複數個溝83。複數個溝83在第3板80的長邊方向上各自連通於貫通孔81的兩端部。各溝83連通於2個缺口73(參照圖12)。溝83的其他構成與溝82是同樣的。2個貫通孔81是藉由複數個溝82、83(流路)而各自連通於10個(相同數量)缺口73。

第1板71、第2板72及第3板80是以相同的材質(例如SUS304)來形成。以第1板71與第3板80包夾第2板72，第1板71、第2板72及第3板80是被擴散接合。擴散接合可藉由將第1板71、第2板72及第3板80在例如厚度方向上以預定壓力加壓，並在真空爐中加熱至800~900[℃]來執行。在第1板71、第2板72及第3板80已一體地接合的狀態下，可以藉由以第1板71、第2板72及第3板80所劃分出的各缺口73的內部的空間來形成各狹縫。第1板71、第2板72及第3板80的厚度方向上的狹縫的寬度是藉由第2板72的厚度來規定，且為0.1[mm]。

圖13是2個第1除塵頭21的縱剖面立體圖。另外，近前側的長側面11a已省略顯示。

藉由連通路25~28所構成的第2連通路是使供給室23各自連通於噴出板70的複數個貫通孔81。亦即，貫通孔81是與供給塊22的底面29a中的第2連通路的開口端相向(參照圖9)。在供給塊22(第1除塵頭21)的長邊方向上，第2連通路的長度與貫通孔81的長度相等。

在各供給塊22安裝有各噴出板70。亦即，在藉由6個(複數個)供給塊22所構成的本體中，在本體的長邊方向上排列安裝有6個(複數個)噴出板70。供給室23是沿著複數個噴出板70在本體的長邊方向上延伸。

在一對長側面11a各自安裝有第1除塵頭21，且安裝成使從2個第1除塵頭21的噴出板70的狹縫噴出的空氣朝向罩件11的下方內側。

圖14是顯示噴出板70對光罩M之角度的側面圖。供給塊22的底面29a是相對於供給塊22的底面29b構成第1角度θ1。並且，噴出板70安裝於底面29a，且安裝成使第1板71、第2板72及第3板80成為平行於底面29a。因此，空氣從噴出板70的狹縫平行於底面29a來噴出，且從噴出板70(第1除塵頭21)的狹縫噴出的氣體的行進方向(箭頭D1)與光罩M的上表面所構成的角度成為第1角度θ1。第1角度θ1宜為15~45[°]，較宜為25~35[°]，在本實施形態中為30[°]。

第1除塵頭21的噴出板70的狹縫的開口端與光罩M的上表面的距離h1宜為5~20[mm]，在本實施形態中為7.0[mm]。

圖15是2個第2除塵頭40的縱剖面。供給塊42具備有遵循上述供給塊22的構成。在供給塊42的內部，與供給塊22的供給室23及連通路25~28對應而形成有供給室43及連通路45~48。其中一個供給塊42的供給室43是透過開口62a而連通於第2接頭塊60的接頭流路62。供給室43的流路面積比開口62a的流路面積更大。

在供給塊42安裝有噴出板90。噴出板90具備有遵循噴出板70的構成，而且與將噴出板70在長邊方向上形成為一半的構成是同樣的。

在一對短側面11b各自安裝有第2除塵頭40，且安裝成使從2個第2除塵頭40的噴出板90的狹縫噴出的空氣朝向罩件11的下方內側。

供給塊42的底面49a是相對於供給塊42的底面49b構成第2角度θ2。並且，噴出板90安裝於底面49a。因此，空氣從噴出板90的狹縫平行於底面49a來噴出。第2角度θ2是設定為與第1角度θ1相等。

供給塊42的底面49b的高度與供給塊22的底面29b的高度相等。因此，第2除塵頭40的噴出板90的狹縫的開口端與光罩M的上表面的距離h2(省略圖示)與距離h1相等。

使光罩M的上表面與具備以上構成的除塵裝置10的下表面相向，並使光罩M在除塵裝置10的短邊方向上相對移動。藉此，藉由從噴出板70、90的狹縫噴出的空氣來去除附著於光罩M的上表面的塵埃，且藉由連接於罩件11的上部的管道18來吸引塵埃。

此時，藉由2個噴出板70及2個噴出板90，從四方朝向光罩M的上表面噴出空氣。尤其是，由於第1角度θ1及第2角度θ2設定為15~45[°]，因此除塵頭21、40的底部與光罩M之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的空氣之速度的水平成分的方向引入一事，已在由本案揭示者所進行之實驗及模擬中得到確認。亦即，可抑制從光罩M的上表面所去除的塵埃從除塵裝置10的下方朝外側漏出之情形。另外，在以往的除塵裝置中，從光罩M的上表面所去除的塵埃從除塵裝置的下方朝外側漏出相當多的量一事，已在由本案揭示者所進行之實驗及模擬中得到確認。

以上詳述之本實施形態具有以下的優點。

・噴出板70的複數個狹縫的寬度是藉由第2板72的一定厚度來規定。從而，不需要藉由機械加工等來形成狹縫，變得易於涵蓋噴出板70的長邊方向全長而以均勻的寬度來形成複數個狹縫。

・在複數個缺口73中，從開口端73a起在預定範圍內形成有傾斜部73b，前述傾斜部73b是越接近開口端73a，就越加長長邊方向上的缺口73的長度。因此，變得易於將鄰接的狹縫的開口端73a彼此的間隔縮短，而變得易於將形成於狹縫與狹縫之間的不噴出空氣的部分的長度縮短。而且，藉由讓空氣沿著傾斜部73b流動，從狹縫噴出的空氣變得易於朝長邊方向擴散。從而，可以抑制狹縫與狹縫之間的空氣的流動變弱之情形，而可易於在噴出板70的長邊方向上將空氣均勻地噴出。

・在第2板72中，缺口73與缺口73之間的部分即交界部74是相對於規定長邊方向上的本身的中央之中央線C形成為線對稱。因此，變得易於從鄰接的狹縫相對於中央線C呈對稱地噴出空氣，而可易於在噴出板70的長邊方向上將空氣更均勻地噴出。此外，在長邊方向上，在第2板72的兩端部形成有半分割部74h，前述半分割部74h是將交界部74對半分割的形狀。因此，在長邊方向上連接了複數個噴出板70的情況下，可藉由將噴出板70的端部的半分割部74h彼此連接來構成1個交界部74。從而，即使在長邊方向上連接了複數個噴出板70的情況下，仍可易於涵蓋複數個噴出板70而將空氣均勻地噴出。

・溝82(流路)中的缺口73的開口端73a之側的端82a位於比傾斜部73b更近前處。根據這樣的構成，於流路中流動的空氣會在缺口73中朝比傾斜部73b更近前處的部分流入。從而，利用傾斜部73b整體，使空氣變得易於沿著傾斜部73b流動。

・第2板72的厚度為0.1~0.3[mm]。根據這樣的構成，變得易於涵蓋噴出板70的長邊方向全長而以均勻的寬度來形成0.1~0.3[mm]寬度的狹縫。

・由於第3板80的厚度為0.8~1.2[mm]，因此可以將第3板80的厚度方向上的作為空氣通路的貫通孔81的深度確保為0.8~1.2[mm]。並且，在第3板80的厚度方向上，流路的深度為0.4~0.6[mm]，狹縫的寬度為0.1~0.3[mm]。因此，可以在第3板80的厚度方向上，將空氣通路的深度從貫通孔81朝流路、狹縫逐漸地變淺。從而，可以抑制空氣的壓力損失，並且提高從狹縫噴出的空氣的流速。

・在噴出板70的長邊方向上，鄰接的缺口73的開口端73a彼此的間隔為0.5[mm]以下。根據這樣的構成，變得易於將形成於狹縫與狹縫之間的不噴出空氣的部分的長度更加縮短。

・第1板71、第2板72及第3板80是被擴散接合。根據這樣的構成，相較於以接著劑等來接合第1板71、第2板72及第3板80的情況，變得易於藉由第2板72的厚度來正確地規定第1板71與第3板80的距離，亦即狹縫的寬度。

・在第3板80形成有複數個貫通孔81。因此，即使在缺口73(狹縫)的數量變多的情況下，亦即噴出板70的長邊方向的長度變長的情況下，仍變得易於從複數個貫通孔81透過流路朝複數個狹縫供給必要之量的空氣。此外，流路是使複數個貫通孔81各自連通於相同數量的缺口73。因此，可以抑制供給至各缺口73(狹縫)的空氣之量產生差異之情形。

・第1除塵頭21具備有：噴出板70；及供給塊22，安裝有噴出板70。在供給塊22形成有：供給室23，供給空氣；及第1連通路24，使供給室23連通於外部。因此，可以從第1除塵頭21的外部透過第1連通路24朝供給室23供給空氣。並且，在供給塊22形成有：第2連通路，使供給室23各自連通於複數個貫通孔81。因此，可以從供給室23透過第2連通路朝噴出板70的複數個貫通孔81乃至缺口73(狹縫)供給空氣。此外，由於從第1連通路24透過供給室23朝複數個第2連通路供給空氣，因此可以減少用於朝複數個第2連通路供給空氣的第1連通路24的數量。而且，相較於藉由已從第1連通路24分歧的分歧路朝複數個第2通路供給空氣的情況，變得易於朝複數個第2連通路均等地供給空氣。

・供給塊22是形成為長方體狀，在供給塊22的底部形成有底面29a，前述底面29a是在長邊方向上涵蓋供給塊22的全長而延伸，並且相對於供給塊22的底面29b構成第1角度θ1(預定角度)。因此，藉由將長方體狀的供給塊22的底部進行切削等，可以容易地形成在長邊方向上涵蓋供給塊22的全長而延伸的底面29a。此外，可以在形成底面29a時容易地調節底面29a相對於供給塊22的底面29b所構成的第1角度θ1。

・噴出板70安裝於底面29a，且安裝成使空氣從狹縫平行於底面29a來噴出。因此，即使不變更噴出板70本身的構成，藉由調節上述第1角度θ1，可以容易地調節空氣對供給塊22的底面之噴出角度。

・第1角度θ1為15~45[°]。根據這樣的構成，在從噴出板70噴出空氣並噴附於光罩M的情況下，第1除塵頭21的底部與光罩M之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的空氣之速度的水平成分的方向引入一事，已在由本案揭示者所進行之實驗及模擬中得到確認。因此，可以抑制從光罩M所去除的塵埃朝與從狹縫噴出的空氣之速度的水平成分相反的方向飛散之情形，而可以抑制所去除的塵埃再次附著於光罩M之情形。

・第1角度θ1為25~35[°]。根據這樣的構成，在從噴出板70噴出空氣並噴附於光罩M的情況下，第1除塵頭21的底部與光罩M之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的空氣之速度的水平成分的方向引入的效果會變得顯著一事，已在由本案揭示者所進行之實驗及模擬中得到確認。

・第2連通路是開口於底面29a，貫通孔81是與底面29a中的第2連通路的開口端相向。因此，可以連接第2連通路與貫通孔81。在此，在底面29a中，在第2連通路的開口端的周圍形成有收納密封構件的收納溝34，藉由收納溝34所收納的密封構件，將供給塊22與噴出板70之間密封。根據這樣的構成，由於有將收納密封構件的收納溝34形成於供給塊22的底面29a，因此不需要將收納溝34形成於噴出板70。從而，可以將噴出板70形成為薄板狀等之薄型，而可以將噴出板70的構成設為較簡潔。

・在噴出板70形成有：複數個貫通孔81；複數個狹縫，在預定方向(噴出板70的長邊方向)上延伸，且在預定方向上鄰接；及流路，使複數個貫通孔81各自連通於相同數量的複數個狹縫。因此，藉由從複數個貫通孔81朝噴出板70的內部供給空氣，可以透過流路朝複數個狹縫供給空氣，而可以從複數個狹縫噴出空氣。從而，不需要在第1除塵頭21中形成涵蓋預定方向全長的狹縫，變得易於以均勻的寬度來形成各狹縫。此外，在噴出板70形成有複數個貫通孔81。因此，即使在狹縫的數量變多的情況下，亦即噴出板70的預定方向的長度變長的情況下，仍變得易於從複數個貫通孔81透過流路朝複數個狹縫供給必要之量的空氣。而且，流路是使複數個貫通孔81各自連通於相同數量的狹縫。因此，可以抑制供給至各狹縫的空氣之量產生差異之情形。

・在安裝有噴出板70的供給塊22形成有：供給室23，供給空氣；及第1連通路24，使供給室23連通於外部。因此，可以從第1除塵頭21的外部透過第1連通路24朝供給室23供給空氣。並且，在供給塊22形成有：第2連通路，使供給室23各自連通於複數個貫通孔81。因此，可以從供給室23透過第2連通路朝噴出板70的複數個貫通孔81乃至狹縫供給空氣。此外，由於從第1連通路24透過供給室23朝複數個第2連通路供給空氣，因此可以減少用於朝複數個第2連通路供給空氣的第1連通路24的數量。而且，相較於藉由已從第1連通路24分歧的分歧路朝複數個第2通路供給空氣的情況，變得易於朝複數個第2連通路均等地供給空氣。藉由以上，可易於在第1除塵頭21的狹縫所延伸的預定方向上將空氣均勻地噴出。

・在供給塊22中，在預定方向上排列安裝有複數個噴出板70，供給室23是沿著複數個噴出板70在預定方向上延伸，第2連通路是使供給室23各自連通於複數個噴出板70的複數個貫通孔81。根據這樣的構成，藉由將複數個噴出板70在預定方向上排列安裝，可以實現預定方向的長度較長的第1除塵頭21。另外，相較於以1個噴出板70來實現預定方向的長度較長的第1除塵頭21的情況，在各噴出板70中涵蓋預定方向全長而將空氣均勻地噴出一事是較為容易的，因此可易於涵蓋第1除塵頭21的預定方向全長而將空氣均勻地噴出。而且，由於可以從沿著複數個噴出板70在預定方向上延伸的共通的供給室23將空氣導入複數個噴出板70的複數個貫通孔81，因此可以藉由1個第1連通路24朝供給室23供給空氣。

・收納溝34是與複數個噴出板70各自對應而在預定方向上排列形成，藉由收納溝34各自所收納的密封構件，將供給塊22與各噴出板70之間密封。根據這樣的構成，相較於藉由1個密封構件來將預定方向的長度較長的噴出板70與供給塊22之間密封的情況，可以藉由密封構件穩定地將各噴出板70與供給塊22之間密封。

・本體是分割成與複數個噴出板70各自對應的供給塊22。因此，可以將本體分割成複數個供給塊22而構成，並可以藉由增加供給塊22的數量來加長本體的預定方向的長度。並且，在預定方向上，在供給塊22的一端設置有第1卡合部35，在供給塊22的另一端設置有第2卡合部36，第1卡合部35與供給室23連通，第2卡合部36與供給室23連通，並且與第1卡合部35卡合。因此，藉由使第1卡合部35與第2卡合部36卡合，可以連結相鄰的供給塊22，並且可以使相鄰的供給塊22的供給室23連通。

・在預定方向上，第2連通路的長度與貫通孔81的長度相等。根據這樣的構成，變得易於在預定方向上將空氣從供給室23均勻地流動到貫通孔81。

・第2連通路是在從供給室23朝與貫通孔81相反側延伸後，朝貫通孔81之側折返而連接於貫通孔81。根據這樣的構成，由於變得易於加長第2連通路的從供給室23到貫通孔81的長度，因此可以在空氣於第2連通路流動的期間使預定方向上的空氣的流量接近均勻。

・在第2連通路中，折返部分(連通路26)的流路面接比其他部分的流路面積更小。根據這樣的構成，藉由在第2連通路中以折返部分暫時縮窄流路，可以縮小預定方向上的空氣的流量之偏差。

・罩件11是形成為具有一對長側面11a與一對短側面11b的矩形筒狀，且在吸引空氣的管道18連接上側的第1開口11d，並從下側的第2開口吸引空氣。因此，可以將藉由從第1除塵頭21噴出的空氣而從光罩M所去除的塵埃從第2開口吸引並從第1開口11d朝管件18排出。

・在一對長側面11a各自安裝有第1除塵頭21，且安裝成使從2個第1除塵頭21的狹縫噴出的空氣朝向罩件11的下方內側。因此，可以在罩件11的下方內側碰撞從2個第1除塵頭21噴出的空氣，而可以抑制從第1除塵頭21噴出的空氣從罩件11的下方朝外側漏出之情形。尤其是，在第1角度θ1為15~45(25~35)[°]，且將光罩M的上表面與供給塊22的底面29b平行地配置的情況下，可以作成為讓第1除塵頭21的底部與光罩M之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的空氣之速度的水平成分的方向引入。

・在一對短側面11b各自安裝有第2除塵頭40，且安裝成使從2個第2除塵頭40的狹縫噴出的空氣朝向罩件11的下方內側。因此，可以抑制從安裝於長側面11a的第1除塵頭21噴出的空氣在去除附著於光罩M的塵埃後，從短側面11b的下方朝罩件11的外側漏出之情形。

・從平行於長側面11a的方向來看，從2個第1除塵頭21的狹縫噴出的空氣的行進方向與光罩M的上表面所構成的角度即第1角度θ1為15~45[°]，從平行於短側面11b的方向來看，從2個第2除塵頭40的狹縫噴出的空氣的行進方向與光罩M的上表面所構成的角度即第2角度θ2為15~45[°]。根據這樣的構成，可以作成為讓除塵頭21、40的底部與光罩M之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的空氣之速度的水平成分的方向引入。

・第1角度θ1為25~35[°]，第2角度θ2為25~35[°]。根據這樣的構成，除塵頭21、40的底部與光罩M之間的空氣因為負壓及空氣的黏性而朝從狹縫噴出的空氣之速度的水平成分的方向引入的效果會變得顯著。

・2個第1除塵頭21的狹縫的開口端與光罩M的上表面的距離h1及2個第2除塵頭40的狹縫的開口端與光罩M的上表面的距離h2為5~20[mm]。根據這樣的構成，可發揮上述作用效果一事，已在由本案揭示者所進行之實驗及模擬中得到確認。

・各自對2個第1除塵頭21供給空氣的第1端口51及第2端口61設置於除塵裝置10中的預定方向的一端部。因此，可以在除塵裝置10中的預定方向的一端部一併配置第1端口51及第2端口61。並且，第1供給流路是從第1端口51透過其中一個第1除塵頭21的供給室23對其中一個第2除塵頭40供給空氣。因此，藉由利用第1除塵頭21的供給室23，可以對在預定方向上與第1端口51相反側的除塵裝置10的端部所配置之第2除塵頭40供給空氣。又，第2供給流路可以從第2端口61對另一個第1除塵頭21與另一個第2除塵頭40直接供給空氣。

・除塵裝置10對第1端口51與第2端口61供給相等流量的空氣。根據這樣的構成，變得易於對複數個噴出板70的複數個狹縫供給相等流量的空氣，可以抑制供給至各狹縫的空氣之量產生差異之情形。

・供給室23的流路面積比第1供給流路的流路面積及第2供給流路的流路面積更大。根據這樣的構成，可以在供給室23使已供給至第1供給流路及第2供給流路的空氣暫時擴散，且變得易於從供給室23對複數個第2連通路供給相等流量的空氣。

・由於藉由第1板71、第2板72及第3板80的擴散接合來使第2板72的交界部74與第1板71及第3板80接合，因此可以使各狹縫寬度穩定。

另外，上述實施形態也可以如以下地變更而實施。針對與上述實施形態相同的部分，會藉由附上相同的符號而省略說明。

・也可以將距離h1、h2設定為2~30[mm]。

・也可以將第1角度θ1、第2角度θ2設定為10~50[°]。

・也可以省略2個第2除塵頭40。

・也可以形成為第1卡合部35與第2卡合部36直接卡合。例如也可以將第1卡合部35形成為環狀的凸部，且將第2卡合部36形成為環狀的凹部，使第1卡合部35與第2卡合部36嵌合。

・也可以取代在供給塊22形成收納溝34，改成在噴出板70形成收納溝。

・也可以在供給塊22的底部整體形成底面29a(預定平面)。

・也可以在噴出板70的長邊方向上，將鄰接的缺口73的開口端73a彼此的間隔設定為0.5~1.0[mm]。

・也可以將第2板72的厚度設定為0.05~0.5[mm]。

・也可以使溝82(流路)中的缺口73的開口端73a之側的端82a位於比傾斜部73b更深處。

・也可以採用交界部74並非線對稱的形狀。

・也可以採用底面29a與從噴出板70的狹縫噴出空氣的方向並非平行的構成。

・也可以將第1板71、第2板72及第3板80藉由鋁合金或銅合金來形成。

・也可以將第1板71、第2板72及第3板80以熔接來接合，或是以接著劑來接合。

・也可以採用具備下列構件的構成：第1供給流路，對其中一個第1除塵頭21供給空氣；第2供給流路，對另一個第1除塵頭21供給空氣；第3供給流路，對其中一個第2除塵頭40供給空氣；及第4供給流路，對另一個第2除塵頭40供給空氣。並且，對第1供給流路與第2供給流路供給相等流量的空氣，對第3供給流路與第4供給流路供給相等流量的空氣。根據這樣的構成，變得易於對2個第1除塵頭21供給相等流量的空氣，可以抑制從2個第1除塵頭21的狹縫噴出的空氣之量產生差異之情形。又，變得易於對2個第2除塵頭40供給相等流量的空氣，可以抑制從2個第2除塵頭40的狹縫噴出的空氣之量產生差異之情形。

・作為噴出板70、90噴出的氣體，也可以採用氮或氧、氬等。

・作為除塵對象，也可以採用液晶基板或晶圓、玻璃基板等。

另外，也可以組合上述之各變更例來實施。

本揭示雖然是依據實施形態而描述，但應可理解的是本揭示並非是限定於該實施形態或構造之揭示。本揭示也包含各種變形例或均等範圍內的變形。除此之外，各種的組合或形態，或是進一步在其等中包含僅一個要素、一個要素以上或一個要素以下之其他的組合或形態，也是落入本揭示的範疇或思想範圍內的組合或形態。

10:除塵裝置 11:罩件 11a:長側面 11b:短側面 11c:上底 11d:第1開口 12A,12B:把手 18:管道 20:除塵頭組裝體 20a:連結板 21:第1除塵頭 22,42:供給塊 23,43:供給室 24:第1連通路 25,26,27,28,45,46,47,48:連通路 29:三角溝 29a,29b,49a,49b:底面 30,33,62a:開口 31,34:收納溝 35:第1卡合部 36:第2卡合部 37:連結環 37a:突條 37b:環本體 38:密封構件 40:第2除塵頭 50:第1接頭塊 51:第1端口 52,62:接頭流路 60:第2接頭塊 61:第2端口 70,90:噴出板 71:第1板 71a,72a,80a:螺孔 72:第2板 73:缺口 73a:開口端 73b:傾斜部 74:交界部 74h:半分割部 80:第3板 81:貫通孔 82,83:溝 82a:端 C:中央線 D1:箭頭 h1,h2:距離 M:光罩 θ1:第1角度 θ2:第2角度

針對本揭示的上述目的以及其他目的、特徵或優點，可一邊參照附加的圖式一邊藉由下述的詳細的描述而變得更加明確。 圖1是顯示除塵裝置的立體圖。 圖2是除塵頭組裝體的立體圖。 圖3是除塵頭組裝體的橫剖面立體圖。 圖4是除塵頭組裝體的縱剖面立體圖。 圖5是供給塊的立體圖。 圖6是顯示供給塊的連結狀態的立體圖。 圖7是連結環的立體圖。 圖8是圖4的A部放大立體圖。 圖9是供給塊及噴出板的下部立體圖。 圖10是顯示噴出板的上表面側的分解立體圖。 圖11是顯示噴出板的下表面側的分解立體圖。 圖12是噴出板的立體圖。 圖13是2個第1除塵頭的縱剖面立體圖。 圖14是顯示噴出膜對光罩之角度的側面圖。 圖15是2個第2除塵頭的縱剖面。

70:噴出板

71:第1板

71a,72a,80a:螺孔

72:第2板

73:缺口

73a:開口端

73b:傾斜部

74:交界部

74h:半分割部

80:第3板

81:貫通孔

82,83:溝

82a:端

C:中央線

Claims (13)

1. 一種除塵裝置用噴出部，使用於從除塵對象去除塵埃的除塵裝置，噴出朝前述除塵對象噴附的氣體，其具備： 第1構件，藉由金屬而形成為具有短邊方向與長邊方向的矩形板狀； 第2構件，藉由一定厚度的金屬而形成為與前述第1構件的形狀對應的矩形板狀，且涵蓋前述長邊方向的全長而鄰接形成有在前述短邊方向的一端開口的複數個缺口；及 第3構件，藉由金屬而形成為與前述第1構件的形狀對應的矩形板狀，且形成有貫通孔， 以前述第1構件與前述第3構件包夾前述第2構件而一體地接合， 在前述第3構件形成有使前述貫通孔與前述複數個缺口連通的流路， 在前述複數個缺口中，從開口端起在預定範圍內形成有傾斜部，前述傾斜部是越接近前述開口端，就越加長前述長邊方向上的前述缺口的長度。
2. 如請求項1之除塵裝置用噴出部，其中在前述第2構件中，前述缺口與前述缺口之間的部分即交界部是相對於規定前述長邊方向上的本身之中央的中央線形成為線對稱， 在前述長邊方向上，在前述第2構件的兩端部形成有半分割部，前述半分割部是將前述交界部對半分割的形狀。
3. 如請求項1或2之除塵裝置用噴出部，其中前述流路中的前述開口端之側的端位於比前述傾斜部更近前處。
4. 如請求項1或2之除塵裝置用噴出部，其中前述第2構件的厚度為0.1~0.3[mm]。
5. 如請求項4之除塵裝置用噴出部，其中前述第3構件的厚度為0.8~1.2[mm]， 前述第3構件的厚度方向上的前述流路的深度為0.4~0.6[mm]。
6. 如請求項1或2之除塵裝置用噴出部，其中在前述長邊方向上，鄰接的前述缺口的開口端彼此的間隔為0.5[mm]以下。
7. 如請求項1或2之除塵裝置用噴出部，其中前述第1構件、前述第2構件及前述第3構件是被擴散接合。
8. 如請求項1之除塵裝置用噴出部，其中在前述第3構件形成有複數個前述貫通孔， 前述流路是使複數個前述貫通孔各自連通於相同數量的前述缺口。
9. 一種除塵頭，具備： 如請求項8之除塵裝置用噴出部；及 本體，安裝有前述除塵裝置用噴出部， 在前述本體形成有： 供給室，供給前述氣體； 第1連通路，使前述供給室連通於外部；及 第2連通路，使前述供給室各自連通於複數個前述貫通孔。
10. 如請求項9之除塵頭，其中前述本體是形成為長方體狀， 在前述本體的底部形成有預定平面，前述預定平面是在前述長邊方向上涵蓋前述本體的全長而延伸，並且相對於前述本體的底面構成預定角度， 前述除塵裝置用噴出部安裝於前述預定平面，且安裝成使前述氣體從前述缺口平行於前述預定平面來噴出。
11. 如請求項10之除塵頭，其中前述預定角度為15~45[°]。
12. 如請求項10或11之除塵頭，其中前述預定角度為25~35[°]。
13. 如請求項10或11之除塵頭，其中前述第2連通路是開口於前述預定平面， 前述貫通孔是與前述預定平面中的前述第2連通路的開口端相向， 在前述預定平面中，在前述第2連通路的開口端的周圍形成有收納密封構件的收納溝， 藉由前述收納溝所收納的前述密封構件，將前述本體與前述除塵裝置用噴出部之間密封。

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