CN106364163B - 流道结构体及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种流道结构体及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置。本发明减少由针对形成有流道管的基板而实施的激光熔敷所造成的熔敷不均匀的情况。本发明为形成液体的流道的流道结构体，具备：光吸收性部件(第一基板(27))，其相对于激光而具有吸收性；光透过性部件(第二基板(28))，其被接合在光吸收性部件上，且相对于激光而具有透过性；第一流道(流道(PI1))，其被光吸收性部件与光透过性部件熔敷形成的熔敷面所包围；第二流道，其被形成在从光透过性部件中的熔敷面的相反侧的表面突出的流道管(流道管(DI1))中，且与第一流道连通，在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时，流道管被包含在第一流道的区域内。

Description

流道结构体及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置

相关申请的交叉引用

本申请要求于2015年7月24日提交的日本专利申请第2015-146552号、于2015年7月24日提交的日本专利申请第2015-146553号和于2016年1 月8日提交的日本专利申请第2016-002826号的优先权。日本专利申请第 2015-146552号、第2015-146553号和第2016-002826号的全部公开通过引用的方式而合并于此。

技术领域

本发明涉及一种喷射油墨等液体的技术。

背景技术

一直以来，提出有一种从多个喷嘴喷射油墨等液体的液体喷射头。例如，在专利文献1中公开有如下结构，即，通过在两个基板的各自的对置面上形成槽并对槽的周围进行激光熔敷而将两个基板接合，从而在液体喷射头内形成由槽的壁面所包围的液体的流道。在专利文献1中，有鉴于在照射激光时因越靠熔敷部分的端部区域热量越容易流失从而使熔敷变得不充分的情况，而通过使端部区域的厚度薄于其他的部分，从而在端部区域中增大激光的热能。

此外，例如，在专利文献2中公开了一种对贮液器内的液体的淤积进行抑制的结构，其中，所述贮液器向产生喷射液体的压力的压力室供给液体。在专利文献1中，有鉴于在从贮液器的液体供给口被供给的液体的合流区域中容易发生淤积的情况，而在液体的合流区域中，通过使贮液器的侧壁突出，从而对合流区域的淤积进行抑制，进而提高贮液器的气泡排出性。

但是，在通过激光熔敷而被形成于基板内的流道中，有时会从基板的表面突出并形成有与该流道连通的其他的流道的流道管。这种流道管之中的、从基板突出的部分，与基板的其他的部分相比而较厚。因此，当从突出有流道管的表面对基板照射激光而实施熔敷时，由于流道管的突出部分与基板的其他的部分相比而较厚，因此与其他的部分相比激光较容易衰减，故此容易产生由熔敷不足所造成的熔敷不均匀。虽然此时只要从未突出有流道管等的平坦的平面侧来照射激光即可，但由于近年来流道的结构与流道基板的结构变得越发复杂，从基板突起的突起物也有所增加，因此也存在不一定能够从平坦的平面侧照射激光的情况。

在上述的专利文献1中，也从基板突出有形成与基板中所形成的流道连通的其他的流道的流道管。但是，专利文献1是从基板中的突出有流道管一侧的相反侧来照射激光的，从突出有流道管的一侧照射激光的情况本身并没有记载，也未作出假想。而且，像专利文献1这样，在俯视观察时，在流道管中的从基板突出的部分从基板内的流道的区域中露出的情况下，如果假设从突出有流道管的一侧照射激光来实施熔敷，则由于在突出有流道管的部分中激光会发生衰减，因此容易产生由熔敷不足所造成的熔敷不均匀。如果产生了这种各个基板间的熔敷不均匀，则流道的气密性有可能会下降。

此外，由于在液体喷射头内设置有多个液体的流道，因此产生液体的淤积的部分并不限定于专利文献2这样的、来自供给口的液体流入贮液器时的液体的合流区域。例如，存在形成有从油墨的主流道分岔的分岔流道的情况，在该情况下，在其流道的分岔点上，也有可能会产生液体的淤积。由于流过主流道的液体的一部分向分岔流道被分流，因此在主流道与分岔流道的分岔点上，根据流速与流道面积主流道的流动会被分岔流道吸引，从而容易产生液体的淤积。但是，在专利文献2中，并没有假想在流道的分岔点处所产生的液体的淤积。而且，由于上述这样的主流道与分岔流道之间的分岔点的流动，与像专利文献2这样使来自供给口的液体流入贮液器这样的较大的空间的合流区域的流动是完全不同的，因此无法直接应用专利文献2的结构。

专利文献1：日本特开2011-104891号公报

专利文献2：日本特开2009-226943号公报

发明内容

考虑到以上情况，本发明的目的至少为以下目的之一，即，减少由激光熔敷所造成的熔敷不均匀的情况，以及通过对具备分岔的流道的流道的分岔点处的液体的淤积进行抑制，从而提高流道的分岔点处的气泡的排出性。

方式1

为了解决以上的课题，本发明的优选的方式(方式1)所涉及的流道结构体为，一种形成液体的流道的流道结构体，具备：光吸收性部材，其相对于激光而具有吸收性；光透过性部件，其被接合在光吸收性部件上，且相对于激光而具有透过性；第一流道，其被光吸收性部件与光透过性部件熔敷形成的熔敷面所包围；第二流道，其被形成在从光透过性部件中的熔敷面的相反侧的表面突出的流道管中，且与第一流道连通，在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时，流道管被包含在第一流道的区域内。在方式1中，由于从光透过性部件中的熔敷面的相反侧的表面突出的流道管在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时被包含在第一流道的区域内，因此能够使包围第一流道的熔敷面不与流道管的管面重叠，由此能够有效地减少熔敷不均匀的情况。由此，能够形成气密性较高的流道。此外，在方式1中，由于只要被形成在光透过性部件中的流道管被包含在第一流道的区域内即可，因此能够提高其他的流道管、例如被设置在光吸收性部件中的流道管的截面面积的自由度。

方式2

在方式1的优选例(方式2)中，第二流道具备扩径部，所述扩径部具有朝向第一流道并向第一流道的下游侧扩大为锥形形状的第一锥形部。在方式2中，由于第二流道具备扩径部，所述扩径部具有朝向第一流道并向第一流道的下游侧扩大为锥形形状的第一锥形部，因此能够使从第一流道的上游侧朝向下游侧流动的液体易于从第一流道向第二流道流动，由此能够对在该部分处容易产生的液体的淤积的情况进行抑制。由此，由于能够易于排出滞留于液体的淤积部分中的气泡，因此能够提高气泡排出性。

方式3

在方式2的优选例(方式3)中，第二流道的扩径部还具有第二锥形部，所述第二锥形部朝向第一流道并向第一流道的上游侧扩大为锥形形状，第一锥形部相对于第二流道的倾斜角大于第二锥形部相对于第二流道的倾斜角。在方式3中，由于第二流道的扩径部除了具有向第一流道的下游侧扩大的第一锥形部之外，还具有向上游侧扩大的第二锥形部，因此能够增大第二流道的扩径部的截面面积，由此能够使液体更容易从第一流道向第二流道流动。此外，在方式3中，由于向下游侧扩大的第一锥形部的相对于第二流道的倾斜角大于向上游侧扩大为锥形形状的第二锥形部的相对于第二流道的倾斜角，因此与将第一锥形部和第二锥形部双方被设为相同的倾斜角的情况相比，能够避免使第二流道的截面面积过大的情况，由此能够抑制流速的下降。以此方式，由于能够在抑制流速的下降的同时，使液体更容易从第一流道向第二流道流动，因此能够更加提高气泡的排出性。

方式4

在方式2或者方式3的优选例(方式4)中，第二流道的扩径部的端部向光透过性部件中的与光吸收性部件对置的对置面开口。在方式4中，由于第二流道的扩径部的端部向光透过性部件中的与光吸收性部件对置的对置面开口，因此容易在第二流道中形成扩径部。

方式5

在从方式2至方式4中的任一个优选例(方式5)中，从与第一流道连通的入口流道至下游侧形成有多个第二流道，多个第二流道包括被配置于第一流道的下游侧的端部处的流道、和被配置于第一流道的下游侧的端部与入口流道之间的流道，在光吸收性部件上，在与多个第二流道中的被配置于第一流道的下游侧的端部与入口流道之间的流道对置的位置处，形成有朝向该流道的扩径部突出的突起部。在方式5中，由于在与多个第二流道中的被配置于第一流道的下游侧的端部与入口流道之间的流道对置的位置处，形成有朝向该流道的扩径部突出的突起部，因此在第一流道与各个第二流道的分岔点处，会产生沿着第一流道的突起部与第二流道的扩径部的流动。因此，更容易形成从第一流道朝向第二流道的流动。由此，由于抑制了各个分岔点处的液体的淤积从而易于排出气泡，因此能够更加提高各个分岔点处的气泡的排出性。

方式6

在从方式2至方式5的任一个优选例(方式6)中，第一流道以从一方的端部起跨至另一方的端部的方式而被形成，入口流道被配置于一方的端部与另一方的端部之间，第二流道被配置于一方的端部与另一方的端部双方处。在方式6中，由于第一流道以从一方的端部起跨至另一方的端部的方式而被形成，并且入口流道被配置于一方的端部与另一方的端部之间，第二流道被配置于一方的端部与另一方的端部双方处，因此从入口流道流入的液体将发生分岔，从而不仅容易流入一方的端部的第二流道，而且还容易流入另一方的端部的第二流道。根据这种方式，由于与在一方的端部与另一方的端部之间不存在入口流道的情况相比，能够抑制第一流道的一方的端部与另一方的端部的淤积，因此易于排出滞留在淤积中的气泡。由此，能够在抑制第一流道的一方的端部与另一方的端部的淤积的同时，减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。

方式7

在从方式1至方式6的任一个优选例(方式7)中，具备第三流道，第三流道被形成在相对于熔敷面而向与形成有第二流道的流道管相反一侧突出的流道管中，且所述第三流道与第一流道连通，形成第三流道的流道管的数量少于形成第二流道的流道管的数量，第三流道的截面面积大于第二流道的截面面积。在方式7中，由于第三流道的截面面积大于第二流道的截面面积，因此能够减少流道内的压力损耗。特别是，由于在具有多个与第一流道连通的第二流道的情况下容易产生压力损耗，因此减少这种压力损耗的效果较明显。而且，由于第三流道被形成在相对于熔敷面而向与形成有第二流道的流道管相反一侧、即向与照射激光一侧相反一侧突出的流道管中，因此即使增大第三流道的截面面积，也能够减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。由此，能够在降低压力损耗的同时，减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。

方式8

在方式7的优选例(方式8)中，形成第三流道的流道管的外周的大小为，在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时超过第一流道的区域的大小。在方式8中，由于形成第三流道的流道管的外周的大小为，在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时超过第一流道的区域的大小，因此能够更加增大第三流道的截面面积。因此，能够提高降低第一流道的压力损耗的效果。

方式9

在方式7或者方式8的优选例(方式9)中，具备两个光透过性部件，所述两个光透过性部件被接合在光吸收性部件上，且相对于所述激光而具有透过性，光吸收性部件被夹在两个光透过性部件之间并被层叠，在两个光透过性部件中的一方或者双方上形成有第二流道的流道管。在方式9中，由于具备被接合在光吸收性部件上，且相对于激光而具有透过性的两个光透过性部件，因此能够从两个光透过性部件的双方的表面照射激光，从而分别使两个光透过性部件在光吸收性部件上熔敷。此时，由于在两个光透过性部件中的一方或者双方上形成有被包含在第一流道的区域内的第二流道的流道管，因此从任意一个光透过性部件的表面照射激光，均能够减少熔敷不均匀的情况。

方式10

在方式9的优选例(方式10)中，在两个光透过性部件中的一方上形成有第二流道的流道管，在另一方上形成有第三流道的流道管。在方式10中，由于在两个光透过性部件中的一方上形成有第二流道的流道管，在另一方上形成有第三流道的流道管，因此能够更加增大第三流道的截面面积，由此够降低第一流道的压力损耗。此外，通过利用激光熔敷来实施形成有被包含在第一流道的区域内的第二流道的流道管的第二基板与第一基板的接合，从而能够减少熔敷不均匀的情况。

方式11

在方式9或方式10的优选例(方式11)中，在光吸收性部件上设置有介于两个光透过性部件之间的过滤器。在方式11中，由于介于两个光透过性部材之间的过滤器被设置在光吸收性部件上，因此与将过滤器设置在两个光透过性部件中的任意一个上的情况相比，无需以不使过滤器与激光的照射方向重叠的方式进行配置，因此能够提高过滤器的配置与大小等的设计上的自由度。

方式12

本发明的优选的方式(方式12)所涉及的液体喷射头具备：技术方案1 至技术方案11中的任一项所述的流道结构体；喷嘴，其通过驱动元件的驱动而喷射来自流道结构体的液体。在方式12中，由于具备技术方案1至技术方案11中的任一项所述的流道结构体，因此减少了由激光熔敷所造成的熔敷不均匀的情况，由此能够提供被形成有气密性较高的流道的液体喷射头。

方式13

本发明优选的方式(方式13)所涉及的液体喷射装置具备：输送机构，其输送介质；向介质喷射液体的、技术方案12的液体喷射头。在方式13中，由于具备技术方案12的液体喷射头，因此减少了由激光熔敷所造成的熔敷不均匀的情况，由此能够提高被形成有气密性较高的流道的液体喷射装置。虽然液体喷射装置的优选例为向印刷用纸等的介质喷射油墨的印刷装置，但本发明所涉及的液体喷射装置的用途并不限定于印刷。

方式14

本发明的优选的方式(方式14)所涉及的流道结构体的制造方法为，形成液体的流道的流道结构体的制造方法，所述流道结构体的制造方法具备：在相对于激光而具有吸收性的光吸收性部件和相对于激光而具有透过性的光透过性部件中的任意一方或者双方的对置面上，形成第一流道的流道槽的工序；在光透过性部件中形成从与光吸收性部件对置的对置面的相反侧的表面突出的流道管，并且在流道管内形成与第一流道连通的第二流道的工序；将光吸收性部件与光透过性部件以使其各自的对置面彼此接触的方式而层叠的工序；通过朝向光透过性部件照射激光并以在该照射方向上不与流道管重叠的方式而形成包围所述流道槽的熔敷面，从而形成第一流道的工序。在方式 14中，由于在激光的照射方向(包括相对于熔敷面而正交的方向或者倾斜的方向)上，包围第一流道的熔敷面不与流道管的管面重叠，因此能够有效地减少熔敷不均匀的情况。由此，能够形成气密性较高的流道。

方式15

在方式14的优选例(方式15)中，第二流道具备扩径部，所述扩径部具有朝向第一流道并向第一流道的下游侧扩大为锥形形状的第一锥形部。在方式15中，由于第二流路具备扩径部，所述扩径部具有朝向第一流道并向第一流道的下游侧扩大为锥形形状的第一锥形部，因此能够使从第一流道的上游侧朝向下游侧流动的液体较容易从第一流道向第二流道流动，由此能够对容易在该部分处发生的液体的淤积的情况进行抑制。由此，由于能够易于排出滞留于液体的淤积部分中的气泡，因此能够提高气泡排出性。

方式16

在方式15的优选例(方式16)中，第二流道的扩径部还具有第二锥形部，所述第二锥形部朝向第一流道并向第一流道的上游侧扩大为锥形形状，第一锥形部的相对于第二流道的倾斜角大于第二锥形部的相对于第二流道的倾斜角。在方式16中，由于第二流道的扩径部除了具有向第一流道的下游侧扩大的第一锥形部之外，还具有向上游侧扩大的第二锥形部，因此能够增大第二流道的扩径部的截面面积，由此能够使液体更容易从第一流道向第二流道流动。此外，在方式16中，由于向下游侧扩大的第一锥形部的相对于第二流道的倾斜角大于向上游侧扩大为锥形形状的第二锥形部的相对于第二流道的倾斜角，因此与将第一锥形部与第二锥形部双方设为相同的倾斜角的情况相比，能够避免第二流道的截面面积变得过大，由此能够抑制流速的下降。以此方式，由于能够在抑制流速的下降的同时，使液体更容易从第一流道向第二流道流动，因此能够更加提高气泡的排出性。

方式17

在方式15或者方式16的优选例(方式17)中，第二流道的扩径部的端部向光透过性部件中的与光吸收性部件对置的对置面开口。在方式17中，由于第二流道的扩径部的端部向光透过性部件中的与光吸收性部件对置的对置面开口，因此易于在第二流道中形成扩径部。

方式18

在方式15至方式17中的任意一个优选例(方式18)中，从与第一流道连通的入口流道至下游侧形成有多个第二流道，多个第二流道包括被配置于第一流道的下游侧的端部处的流道、和被配置于第一流道的下游侧的端部与入口流道之间的流道，在光吸收性部件上，在与多个第二流道中的被配置于第一流道的下游侧的端部与入口流道之间的流道对置的位置处，形成有朝向该流道的扩径部突出的突起部。在方式18中，由于在与多个第二流道中的被配置在第一流道的下游侧的端部与入口流道之间的流道对置的位置处，形成有朝向该流道的扩径部突出的突起部，因此在第一流道与各个第二流道的分岔点处，将产生沿着第一流道的突起部与第二流道的扩径部的流动。因此，更容易形成从第一流道朝向第二流道的流动。由此，由于各个分岔点处的液体的淤积被抑制，从而气泡容易被排出，因此能够更加提高各个分岔点处的气泡的排出性。

方式19

在方式15至方式18中的任意一个优选例(方式19)中，第一流道以从一方的端部起跨至另一方的端部的方式而被形成，入口流道被配置于一方的端部与另一方的端部之间，第二流道被配置于一方的端部与另一方的端部双方处。在方式19中，由于第一流道以从一方的端部跨至另一方的端部的方式而被形成，并且入口流道被配置于一方的端部与另一方的端部之间，第二流道被配置于一方的端部与另一方的端部双方处，因此从入口流道流入的液体会分岔，从而不仅容易流入一方的端部的第二流道，而且还容易流入另一方的端部的第二流道。根据这种方式，由于与在一方的端部与另一方的端部之间不存在入口流道的情况相比，能够对第一流道的一方的端部与另一方的端部的淤积进行抑制，因此易于排出滞留于淤积中的气泡。由此，能够在对第一流道的一方的端部与另一方的端部的淤积进行抑制的同时，减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。

方式20

在方式14至方式19中的任意一个优选例(方式20)中，具备第三流道，所述第三流道被形成在相对于熔敷面而向与形成有第二流道的流道管相反一侧突出的流道管中，且所述第三流道与第一流道连通，形成第三流道的流道管的数量少于形成第二流道的流道管的数量，第三流道的截面面积大于第二流道的截面面积。在方式20中，由于第三流道的截面面积大于第二流道的截面面积，因此能够降低流道内的压力损耗。特别是，由于在具有多个与第一流道连通的第二流道的情况下容易发生压力损耗，因此能够降低这种压力损耗的效果较明显。而且，由于第三流道被形成在相对于熔敷面而向与形成有第二流道的流道管相反一侧、即向与照射激光一侧相反一侧突出的流道管中，因此即使增大第三流道的截面面积，也能够减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。由此，能够在降低压力损耗的同时，减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。

方式21

在方式20的优选例(方式21)中，形成第三流道的流道管的外周的大小为，在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时超过第一流道的区域的大小。在方式21中，由于形成第三流道的流道管的外周的大小为，在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时超过第一流道的区域的大小，因此能够更加增大第三流道的截面面积。因此，能够提高降低第一流道的压力损耗的效果。

方式22

在方式20或方式21的优选例(方式22)中，具备两个光透过性部件，所述两个光透过性部件被接合在光吸收性部件上，且相对于激光而具有透过性，光吸收性部件被夹在两个光透过性部件之间并被层叠，在两个光透过性部件中的一方或者双方上形成有第二流道的流道管。在方式22中，由于具备被接合在光吸收性部件上，且相对于激光而具有透过性的两个光透过性部件，因此能够从两个光透过性部件双方的表面照射激光，从而分别将两个光透过性部件熔敷在光吸收性部件上。此时，由于在两个光透过性部件中的一方或者双方上，形成有被包含在第一流道的区域内的第二流道的流道管，因此从任意一个光透过性部件的表面照射激光均能够减少熔敷不均匀的情况。

方式23

在方式22的优选例(方式23)中，在两个光透过性部件中的一方上形成有第二流道的流道管，在另一方上形成有第三流道的流道管。在方式23 中，由于在两个光透过性部件中的一方上形成有第二流道的流道管，在另一方上形成有第三流道管，因此能够更加增大第三流道的截面面积，由此能够降低第一流道的压力损耗。此外，能够通过利用激光熔敷来实施形成有被包含在第一流道的区域内的第二流道的流道管的第二基板与第一基板的接合，从而能够减少熔敷不均匀的情况。

方式24

在方式22或方式23的优选例(方式24)中，在光吸收性部件上设置有介于两个光透过性部件之间的过滤器。在方式24中，由于将介于两个光透过性部件之间的过滤器设置在光吸收性部件上，因此与将过滤器设置在两个光透过性部件中的任意一个上的情况相比，无需以过滤器不与激光的照射方向重叠的方式进行配置，因此能够提高过滤器的配置与大小等的设计上的自由度。

方式25

在方式14至方式24中的任意一个优选例(方式25)中，激光的照射方向相对于熔敷面的角度为固定。在方式25中，由于激光的照射方向相对于熔敷面的角度为固定，因此与改变激光的照射角度的情况相比，易于实施激光熔敷。

方式26

为了解决以上的课题，本发明的优选的方式(方式26)所涉及的流道结构体为，一种形成液体的流道的流道结构体，具备：第一基板；第二基板，其被接合在第一基板上；第一流道，其被第一基板与第二基板粘合形成的粘合面所包围，在第一基板与第二基板中的一方上形成有从第一流道分岔而使液体向与粘合面交叉的方向流动的第二流道，在另一方上于第一流道与第二流道的分岔点处形成有朝向第二流道突出的突起部，突起部具有第一流道的上游侧的壁面与下游侧的壁面，突起部的上游侧的壁面具有倾斜面，所述倾斜面相对于第一流道中的流动方向而以突起部的高度朝向下游侧而变高的方式倾斜。

在方式26中，由于具备从第一流道分岔的第二流道，且在该第一流道与第二流道的分岔点处形成有朝向第二流道突出的突起部，并且在突起部的上游侧的壁面上具有倾斜面，所述倾斜面相对于第一流道中的流动方向而以突起部的高度朝向下游侧而变高的方式倾斜，因此在第一流道与第二流道的分岔点处，形成有使第一流道中流动的液体的一部分被突起部的上游侧的壁面上所具有的倾斜面所定向从而被引入第二流道的流动。根据这种方式，抑制了第一流道与第二流道的分岔点处的液体的淤积，从而使气泡容易从第二流道中被排出。由此，能够提高各个分岔点处的气泡的排出性。

方式27

在方式26的优选例(方式27)中，突起部的下游侧的壁面具有倾斜面，所述倾斜面相对于第一流道中的流动方向而以突起部的高度朝向下游侧而变低的方式倾斜，突起部的上游侧的壁面相对于第一流道中的流动方向的倾斜角大于突起部的下游侧的壁面相对于第一流道中的流动方向的倾斜角。

在方式27中，由于突起部的上游侧的壁面相对于第一流道中的流动方向的倾斜角大于下游侧的壁面的倾斜角，因此能够使第一流道中流动的液体易于向第二流道流动。由此，由于能够提高分岔点的淤积的抑制效果，从而使气泡更容易从第二流道被排出，因此能够更加提高各个分岔点处的气泡的排出性。此外，根据方式27，由于突起部的下游侧的壁面相对于第一流道中的流动方向的倾斜角小于上游侧的壁面的倾斜角，因此第一流道中的向与突起部相比靠下游侧流动的液体流会变得较为顺畅，因此能够减少向与突起部相比靠下游侧流动的液体的淤积。

方式28

在方式26或方式27的优选例(方式28)中，在与第一流道内的流动方向正交的截面中的第一流道的截面面积之中，与突起部相比靠下游侧的第一流道的截面面积小于与突起部相比靠上游侧的第一流道的截面面积。在第一流道的截面面积固定的情况下，第一流道中流动的液体的流速在经过突起部或分岔点时会减少，从而气泡排出性也会下降。

对于这一点，在方式28中，由于与突起部相比靠下游侧的第一流道的截面面积小于与突起部相比靠上游侧的第一流道的截面面积，因此能够抑制在与突起部相比靠下游侧的第一流道中流动的液体的流速的下降。由此，能够提高与突起部相比靠下游侧的气泡的排出性。

方式29

在方式28的优选例(方式29)中，第一基板为相对于激光而具有吸收性的光吸收性部件，第二基板为相对于激光而具有透过性的光透过性部件，包围第一流道的粘合面为，通过激光而被熔敷形成的熔敷面，在从第二基板中的熔敷面的相反侧的表面突出且在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时被包含在第一流道的区域内的流道管中，形成有第二流道，在与第一流道中的流动方向正交的截面中的第一流道的高度之中，与突起部相比靠下游侧的第一流道的高度低于与突起部相比靠上游侧的第一流道的高度。

在方式29中，由于在与第一流道中的流动方向正交的截面中的第一流道的高度之中，与突起部相比靠下游侧的第一流道的高度低于与突起部相比靠上游侧的第一流道的高度，因此与突起部相比靠下游侧的第一流道的截面面积小于与突起部相比靠上游侧的第一流道的截面面积。由此，由于能够抑制与突起部相比靠下游侧的第一流道中流动的液体的流速的下降，因此能够提高与突起部相比靠下游侧的气泡的排出性。

此外，在方式29中，由于在从第二基板中的熔敷面的相反侧的表面突出且在从与熔敷面正交的方向上的俯视观察时被包含在第一流道的区域内的流道管中，形成有第二流道，因此能够使包围第一流道的熔敷面不与流道管的管面重叠，由此能够有效地减少通过激光实施熔敷而得到的熔敷面的熔敷不均匀的情况。由此，能够形成气密性较高的流道。而且，在方式29中，由于通过第一流道的高度来对第一流道的截面面积进行调节，因此与通过第一流道的宽度来对第一流道的截面面积进行调节的情况相比，被熔敷面所包围的第一流道的区域不会变窄。因此，在无需为了使包围第一流道的熔敷面不与流道管的管面重叠而按照第一流道的宽度来调节流道管的大小这一点上，效果较明显。

方式30

在方式26至方式29的任意一个优选例(方式30)中，第二流道具有扩径部，所述扩径部具备朝向与第一流道分岔的分岔点并向第一流道的下游侧扩大为锥形形状的锥形部，在沿着第一流道中的流动方向的截面中，在对突起部与第二流道的扩径部进行剖视观察时，使突起部的上游侧的壁面沿着倾斜面延长所得到的假想线穿过形成有扩径部的锥形部的区域。

在方式30中，由于具有扩径部，所述扩径部具备朝向与第一流道分岔的分岔点并向第一流道的下游侧扩大为锥形形状的锥形部，并且在沿着第一流道中的流动方向的截面中在对突起部与第二流道的扩径部进行剖视观察时，使突起部的上游侧的壁面沿着该倾斜延长所得到的假想线穿过形成有扩径部的锥形部的区域，因此能够沿着突起部的上游侧的壁面的倾斜面而将第一流道的液体流的一部分向第二流道中所形成的扩径部的锥形部进行引导。由此，由于能够使第一流道的液体流容易向第二流道流动，因此能够提升使气泡的排气性提高的效果。

方式31

在方式26至方式30的任意一个优选例(方式31)中，具备从第一流道分岔的多个第二流道，在设为第一流道与第二流道的多个分岔点中的、从第一流道的上游侧朝向下游侧的第一个分岔点的下游处具有N个(1≤N)分岔点的情况下，当设与第一流道中的流动方向正交的截面中的第一流道的高度为hp，设突起部的高度相对于第一流道的高度hp的比例为X时，则从第一流道的上游侧起第M个(1≤M≤N)分岔点的突起部的高度的比例X处于1- (N-M+2)/(N+1)＜X＜1-((N-M+1)/(N+1))的范围内。能够通过突起部的高度来对各个分岔点处的第一流道的截面面积进行调节。在该情况下，由于越增高突起部的高度，则越能够抑制流速的下降，因此相应地能够提高气泡的排气性。但是，如果将突起部的高度设定得过高，则由于第一流道内的液体流所接触的突起部的壁面的面积会变大，因此压力损耗会上升，反而会使流速下降。对于这一点，根据方式31，能够计算出用于使提高气泡的排气性的效果与抑制压力损耗的上升的效果同时存在的、各个分岔点处的突起部的高度的优选范围。即，在方式31中，由于从第一流道的上游侧起第M个(1 ≤M≤N)分岔点的突起部的高度的比例X处于1-(N-M+2)/(N+1)＜X＜1- ((N-M+1)/(N+1))的范围内，因此能够使提高气泡的排气性的效果与抑制压力损耗的上升的效果同时存在。

方式32

在方式26至方式31的任意一个优选例(方式32)中，第一基板为相对于激光而具有吸收性的光吸收性部件，第二基板为相对于激光而具有透过性的光透过性部件，包围第一流道的粘合面为通过激光实施熔敷所得到的熔敷面，第一流道被形成在第一基板与第二基板中的任意一方上。在方式32中，由于被通过激光实施熔敷所得到的熔敷面所包围的第一流道形成在第一基板与第二基板中的任意一方上，因此与将第一流道的流道槽设置在第一基板与第二基板双方上并进行熔敷的情况相比，在使第一基板与第二基板对置而进行层叠时，即使产生了第一基板与第二基板之间的偏差，也能够形成所需的第一流道。

方式33

本发明优选的方式(方式33)所涉及的液体喷射头具备：方式26至方式32中的任意一个方式中的流道结构体；喷嘴，其通过驱动元件的驱动而喷射来自流道结构体的液体。虽然液体喷射头的优选例为喷射油墨的印刷装置，但本发明所涉及的液体喷射装置的用途并不限定于印刷。

附图说明

图1为应用了本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射装置的印刷装置的结构图。

图2为第一实施方式的液体喷射头的分解立体图。

图3为从其他角度观察第一实施方式的液体喷射头时的分解立体图。

图4为从印刷介质侧观察第一实施方式的液体喷射头时的俯视图。

图5为图2所示的液体喷射单元的分解立体图。

图6为图5所示的喷射头部的剖视图。

图7为图2所示的流道结构体的侧视图以及俯视图。

图8为表示第一比较例中的流道结构的剖视立体图。

图9为表示第一实施方式中的流道结构的图，且为将图7所示的流道结构体在IV-IV线处进行剖切而得到的剖视立体图。

图10为在图7所示的V-V线处进行剖切而得到的流道结构体的局部剖视图。

图11为图10所示的流道结构体的局部的侧视图以及俯视图。

图12为表示第一实施方式中的流道结构体的制造方法的工序图。

图13为第一实施方式的改变例所涉及的流道结构体的局部剖视图。

图14为第一实施方式的其他改变例所涉及的流道结构体的局部剖视图。

图15为表示本发明的第二实施方式中的流道结构体的结构的局部剖视图。

图16为构成图15所示的流道结构体的部分的基板的侧视图以及俯视图。

图17为将图15所示的流道结构体的部分在VI-VI线处进行剖切而得到的剖视立体图。

图18为第二比较例中的流道结构体的部分的作用说明图。

图19为第二实施方式中的流道结构体的部分的作用说明图。

图20为第二实施方式的改变例所涉及的流道结构体的局部剖视图。

图21为第二实施方式的其他改变例所涉及的流道结构体的局部剖视图。

图22为第二实施方式的其他改变例所涉及的流道结构体的局部剖视图。

图23为表示图22所示的流道的截面形状与突起部的高度的关系的剖视图。

具体实施方式

液体喷射装置

首先，列举喷墨方式的印刷装置为示例来对本发明的实施方式所涉及的液体喷射装置进行说明。图1为本发明的实施方式所涉及的印刷装置100的局部的结构图。印刷装置100为，将作为液体的示例的油墨向印刷用纸等印刷介质(喷射对象)M进行喷射的液体喷射装置，且具备控制装置10、输送机构12、液体喷射头14和泵16。对多种颜色的油墨I进行贮留的液体容器 (墨盒)18被安装于印刷装置100中。在第一实施方式中，在液体容器18 中贮留有蓝绿色(C)、品红色(M)、黄色(Y)、黑色(B)这四种颜色的油墨I。

控制装置10对印刷装置100的各构件综合地进行控制。输送机构12基于由控制装置10所实施的控制而将印刷介质M向Y方向进行输送。但是，输送机构12的结构并不限定于以上的示例。泵16为，基于由控制装置10所实施的控制而将两个系统的空气A(A1、A2)向液体喷射头14进行供给的供气装置。空气A1以及空气A2为，被用于液体喷射头14的内部的流道的控制的气体。泵16能够以相互独立的方式分别对空气A1以及空气A2进行加压。液体喷射头14基于由控制装置10所实施的控制而将从液体容器18被供给的油墨I向印刷介质M进行喷射。第一实施方式的液体喷射头14为，在与Y方向交叉的X方向上的长条的行式头。另外，在下文中，将与X-Y平面(与印刷介质M的表面平行的平面)垂直的方向标记为Z方向。由液体喷射头14实施的油墨I的喷射的喷射方向相当于Z方向。

液体喷射头

图2以及图3为，用于对图1所示的液体喷射头14的结构进行说明的分解立体图。如图2以及图3所示，液体喷射头14被构成为，包括：流道结构体G1、流道控制部G2、液体喷射部G3。流道结构体G1、流道控制部G2、液体喷射部G3以该顺序在Z方向上被层叠。液体喷射部G3为，将六个液体喷射单元U3收纳以及支承于筐体142中的结构体。

图4为液体喷射部G3中的与印刷介质M对置的对置面的俯视图。如图4 所例示那样，六个液体喷射单元U3沿着X方向排列。各个液体喷射单元U3 具备沿着X方向排列的多个(在第一实施方式的示例中为六个)喷射头部70。各个喷射头部70包括从多个喷嘴N喷射油墨I的头芯片。一个喷射头部70 的多个喷嘴N沿着W方向被配置为两列，所述W方向为，相对于X方向以及 Y方向而以预定的角度倾斜的方向。在液体喷射单元U3的各个喷射头部70中，并列供给有四个系统(四色)的油墨I。一个喷射头部70的多个喷嘴N 被划分为四个集合，在每个集合中喷射不同的油墨I。

在流道结构体G1中，从液体容器18被供给有四个系统的油墨I，并且从泵16被供给有两个系统的空气A(A1、A2)。流道结构体G1分别将四个系统的油墨I与两个系统的空气A向对应于不同的液体喷射单元U3的六个系统进行分配。即，由流道结构体G1所实施的一个系统的油墨I的分配数(6) 超过了油墨I的种类数K(K＝4)。

流道控制部G2为，对液体喷射头14的流道(例如流道的开闭或流道内的压力)进行控制的构件，且被构成为，包括对应于不同的液体喷射单元U3 的六个流道控制单元U2。四个系统的油墨I与两个系统的空气A通过流道结构体G1中的分配而向六个流道控制单元U2进行并列供给。各个流道控制单元U2根据两个系统的空气A而对流道结构体G1向各个液体喷射单元U3分配的四个系统的油墨I的流道的开闭或压力进行控制。

在实施了流道结构体G1中的分配之后，经由各个流道控制单元U2的四个系统的油墨I向六个液体喷射单元U3进行并列供给。如后述的图5所示，各个液体喷射单元U3具备液体分配部60。液体分配部60将从前级的流道控制单元U2被供给的四个系统的油墨I分别向对应于不同的喷射头部70的六个系统进行分配。即，由液体分配部60实施了分配后的四个系统的油墨I 向六个喷射头部70分别进行并列供给。各喷射头部70将四个系统的油墨I 分别从不同的喷嘴N进行喷射。

如图2所示，在液体喷射部G3的各个液体喷射单元U3中的、与流道控制部G2对置的对置面上，形成有四个供给口SI3。在流道控制部G2与液体喷射部G3(筐体142)被相互固定在一起的状态下，在各个液体喷射单元U3 的各个供给口SI3中被插入有形成流道控制单元U2的出口流道的各个流道管 DI2。因此，各系统的油墨I从流道控制单元U2的流道管DI2被并列供给至各个液体喷射单元U3的四个供给口SI3中。

图5为任意一个液体喷射单元U3的分解立体图。如图5所示，液体喷射单元U3以将被固定于固定板58上的六个喷射头部70接合在过滤器部52、连通部件54、基础配线基板56、液体分配部60的层叠体上的方式而被构成。过滤器部52为，将从流道控制部G2被供给的各个油墨I中所包含的气泡或异物除去的构件。如图5所示，在过滤器部52中，形成有实施供给经由流道控制部G2的各个油墨I的四个供给口SI3，并具备与从各个供给口SI3被供给的油墨I相对应的四个过滤器526。连通部件54使四个过滤器部52的流出口与液体分配部60连通。连通部件54为通过弹性材料(例如橡胶)而被形成的平板材料，且被形成有与四个过滤器部52的各个流出口连通的四个贯穿孔542。液体分配部60分别将经由连通部件54的各个贯穿孔542而从各个供给口60A被供给的四个系统的油墨I向对应于各个喷射头部70的六个系统进行分配。

在各个喷射头部70上分别接合有独立配线基板78。独立配线基板78被插入至形成在液体分配部60上的插入口(狭缝)60C中，从而与基础配线基板56接合。各个独立配线基板78为，用于对基础配线基板56与各个喷射头部70进行电连接的可挠性的配线基板(COF(Chip On Film))。固定板58 为对各个喷射头部70进行支承的平板状的部件，例如由不锈钢等高刚性的金属形成。如图5所示，在固定板58上，形成有对应于不同的喷射头部70的六个开口部582。各个开口部582为，在俯视观察时W方向上的长条的大致矩形形状的贯穿孔。

图6为一个喷射头部70的剖视图(与W方向垂直的截面)。如图6所示，喷射头部70包括头芯片，所述头芯片在流道形成基板71的一方的表面上层叠了压力室形成基板72与振动板73，并且在另一方的表面上设置了喷嘴板 74与可塑性基板75。多个喷嘴N被形成在喷嘴板74上。另外，如图6所示，由于在一个喷射头部70中，与喷嘴N的各列相对应的结构被形成为大致线对称，因此在下文中，为了方便而着眼于喷嘴N的一列来对喷射头部70的结构进行说明。

流道形成基板71为，构成油墨I的流道的平板材料。在流道形成基板 71中，形成有开口部712、供给流道714和连通流道716。供给流道714以及连通流道716针对每个喷嘴N而被形成，开口部712以跨及喷射一个系统的油墨I的多个喷嘴N的方式而连续。压力室形成基板72为，形成有对应于不同的喷嘴N的多个开口部722的平板材料。流道形成基板71或压力室形成基板72例如通过单晶硅基板而被形成。

可塑性基板75为对喷射头部70的流道内的压力变动进行抑制(吸收) 的机构，且被构成为包括密封板752与支承体754。密封板752为具有可挠性的薄膜状的部件，支承体754以将流道形成基板71的开口部712以及各个供给流道714封闭的方式而将密封板752固定在流道形成基板71上。

在压力室形成基板72中的、与流道形成基板71相反一侧的表面上设置有振动板73。振动板73为能够进行弹性振动的平板状的部件，并通过例如由氧化硅等弹性材料所形成的弹性膜和由氧化锆等绝缘材料所形成的绝缘膜的层叠而被构成。如图6所示，振动板73与流道形成基板71在压力室形成基板72上所形成的各个开口部722的内侧处以相互隔开间隔的方式而对置。在各个开口部722的内侧处，被流道形成基板71与振动板73夹持的空间作为对油墨施加压力的压力室(空腔)C而发挥功能。与各个喷嘴N连通的压力室C分别沿着W方向而排列。

在振动板73中的、与压力室形成基板72相反一侧的表面上，分别形成有对应于各个喷嘴N的作为驱动元件的压电元件732。各个压电元件732为，使压电体介于相互对置的电极间的层叠体。通过根据驱动信号的供给而使压电元件732与振动板73一起进行振动，从而使压力室C内的压力发生变动，进而使压力室C内的油墨I从喷嘴N被喷射。各个压电元件732通过被固定于振动板73上的保护板76而被密封以及被保护。

在流道形成基板71以及保护板76上固定有支承体77。支承体77例如通过树脂材料的成型而被一体形成。在支承体77中，形成有与流道形成基板 71的开口部712一同构成液体贮留室(贮液器)R的凹部772。凹部772的开口以与流道形成基板71的开口部712连通的状态通过流道形成基板71的开口部712的周缘而被封闭。在凹部772中，形成有向支承体77的侧面开口的开口部774，并且该开口部774通过盖部775而被封闭。

通过由支承体77的凹部772、开口部774和流道形成基板71的开口部 712形成的空间，从而构成了液体贮留室R。以此方式，通过在凹部772中形成开口部774，从而与未形成开口部774的情况相比，能够增大液体贮留室R 的容积。另外，也可以不形成支承体77的开口部774。上述的可塑性基板75 的密封板752构成了液体贮留室R的壁面(底面)，并且吸收液体贮留室R 内的油墨的压力变动。

如图5所示，在各个喷射头部70中，形成有对来自液体分配部60的流出口的各系统的油墨I进行供给的供给口771，并且供给口771与液体贮留室R连通。由此，由液体分配部60实施了分配后的各系统的油墨I，从液体分配部60的流出口经由喷射头部70的供给口771而向液体贮留室R被供给，并被贮留。被贮留于液体贮留室R中的油墨I通过多个供给流道714而向各个压力室C实施分配及填充，并从各个压力室C穿过连通流道716与喷嘴N 而被喷射至外部(印刷介质M侧)。

在图6所示的振动板73上接合有独立配线基板78的端部。独立配线基板78为，形成有用于将驱动信号或电源电压向各个压电元件732进行传输的配线的可挠性的基板(柔性配线基板)。独立配线基板78经由形成于保护板 76上的狭缝762以及形成于支承体77上的狭缝776而突出，并以上述方式与基础配线基板56连接。驱动信号或电源电压从基础配线基板56经由各个独立配线基板78而被供给至各个喷射头部70的压电元件732中。

第一实施方式中的流道结构体的结构

在此，更具体地对第一实施方式中的形成有流体(液体或者气体)的流道的流道结构体G1的结构进行说明。图7为流道结构体G1的侧视图以及俯视图。如图7所示，流道结构体G1为，将第一基板27与第二基板28以相互对置的状态而进行接合的平板状的结构体。第一基板27以及第二基板28为X方向上的长条的平板材料，例如由聚丙烯等树脂材料形成。第一基板27与第二基板28以后文所述的方式通过激光熔敷而被接合。

第一基板27具备与第二基板28为相反侧的第一面271、和与第二基板 28对置且与第一面271为相反侧的第一对置面272。同样地，第二基板28 具备与第一基板27为相反侧的第二面281、和与第一基板27对置且与第二面281为相反侧的第二对置面282。

在图7中，同时记载了第一面271的俯视图与第二面281的俯视图。在第一基板27的第一面271上形成有四个流道管SI1与两个流道管SA1，所述流道管SI1成为从液体容器18供给各个系统的油墨I(C、M、Y、K)的入口流道，所述流道管SA1成为从泵16供给两个系统的气体、在此为供给空气A (A1、A2)的入口流道。成为这些入口流道的各个流道管SI1、SA1从第一基板27的第一面271起向Y方向负侧突出。

在第二基板28的第二面281上，成为与各个系统的油墨I相对应的出口流道的六个所述流道管DI1、和成为与各个系统的空气A相对应的两个出口流道的流道管DA1，针对六个液体喷射单元U3的每一个而单独地被形成。与任意一个系统的油墨I相对应的六个流道管DI1在X方向上以大致等间隔的方式排列，与任意一个系统的空气A相对应的六个流道管DA1在X方向上以大致等间隔的方式排列。这些成为出口流道的各个流道管DI1、DA1从第二基板28的第二面281起向Y方向正侧突出。

如图7中虚线所示，在第一基板27的第一对置面272与第二基板28的第二对置面282之间，形成有与各个系统的油墨I相对应的四个液体的流道 PI1、和与各个系统的空气A相对应的两个气体的流道PA1。各个流道PI1以及各个流道PA1，以在俯视观察时跨及六个流道控制单元U2所排列的范围的大致整个区域的方式沿着X方向延伸为大致直线状。对应于油墨I的四个流道PI1位于，在俯视观察时夹着对应于空气A两个流道PA1的两侧。另外，对应于空气A的各个流道PA1在俯视观察时以绕过安装孔23的方式而弯曲。

各个流道PI1与如下的入口流道H1连通，所述入口流道H1以在俯视观察时与油墨I的供给用的一个流道管SI1重叠的方式而被形成，并以贯穿第一基板27的方式被形成于流道管SI1内。同样地，各个流道PA1与如下的入口流道H1连通，所述入口流道H1以在俯视观察时与空气A的供给用的一个流道管SA1重叠的方式而被形成，并以贯穿第一基板27的方式被形成于流道管SA1内。

以此方式，各个流道PI1为，使形成于一个流道管SI1内的入口流道H1 与分别形成于六个流道管DI1内的出口流道H2连通的流道。各个流道PA1 为，使形成于一个流道管SA1内的入口流道H1与分别形成于六个流道管DA1 的出口流道H2连通的流道。这些流道PI1、PA1通过如下方式而被构成，即，将第一基板27与第二基板28以使各自的第一对置面272与第二对置面282 接触的方式而层叠，并对被形成于任意一方或者两方的流道槽的周围进行粘合固定。即，此处的流道PI1、PA1为，通过粘合面而被包围的区域。虽然包围流道PI1、PA1的粘合面可以为例如通过激光熔敷而形成的熔敷面，也可以为通过粘合剂而形成的粘合面，但在此列举了粘合面由通过激光熔敷而形成的熔敷面构成的情况为示例来进行说明。

在通过对第一基板27与第二基板28进行激光熔敷而形成流道PI1、PA1 的情况下，使第一基板27与第二基板28中的一方由相对于激光而具有透过性的光透过性部件构成，并使另一方由相对于激光而具有吸收性的光吸收性部件构成。而且，从由光透过性部件构成的基板的表面照射激光来进行熔敷。在第一实施方式中，列举了如下情况为示例，即，由光吸收性部件构成第一基板27，且由光透过性部件构成第二基板28，并且从第二基板28的第二面 281照射激光来进行熔敷的情况。

另外，在第一实施方式的流道结构体G1中，在照射激光的第二基板28 的第二面281上，从第二面281起突出形成有六个流道管DI1。因此，流道管DI1的管面的部分与其他部分相比而厚出了与流道管DI1从第二面281突出的长度(厚度)相对应的量。在这种结构中，如果在激光的照射方向上，熔敷面与该流道管DI1的管面重叠，则由于与该流道管DI1的管面重叠的部分与其他部分相比激光容易衰减，因此存在有容易产生由熔敷不足所造成的熔敷不均匀的问题。如果产生了这种熔敷不均匀，则流道的气密性有可能会下降。

因此，在本实施方式中，如图7所示，设为在俯视观察时于各个流道PI1、 PA1的区域内包括了流道管DI1、DA1的管面(外周)。由此，由于能够在激光的照射方向上使包围各个流道PI1、PA1的熔敷面不与流道管DI1、DA1的管面重叠，因此能够有效地减少熔敷不均匀的情况。

在此，在将这种第一实施方式的流道结构体G1的流道结构与第一比较例进行比较的同时，更详细地进行说明。图8为表示第一比较例的流道结构的剖视立体图，且为在激光L’的照射方向上，包围第一流道P’的熔敷面W’与第二流道Q’的流道管D’的管面重叠的情况。图9为表示第一实施方式中的流道结构的图，且为将图7所示的流道结构体G在IV-IV线处实施了剖切的剖视立体图。图9为在激光L的照射方向上包围第一流道P的熔敷面W与相当于出口流道H2的流道管DI1、DA1的第二流道Q的流道管D的管面不重叠的情况。图8、图9为激光熔敷后在包括熔敷面W、W’的平面处实施了剖切的情况的图。另外，第一实施方式中的“第一流道”为，通过由激光熔敷形成的熔敷面而被包围，且流动有流体(液体或者气体)的流道。在这一点上，各液体的流道PI1以及各气体的流道PA1相当于第一实施方式中的“第一流道”，出口流道H2相当于“第二流道”。与此相对，在后文所述的第二实施方式中，则示例了提高流过流道的液体中所包括的气泡的排气性的流道结构。因此，各液体的流道PI1相当于第二实施方式中的“第一流道”。

在图8中，形成第二流道Q’的流道管D’以从第二基板28’的第二面 281’向Z方向正侧突出的方式而被形成，并且通过利用激光L’来对形成于第一基板27’上的流道槽273’的周围进行熔敷从而形成被熔敷面W’包围的第一流道P’。在图9中，形成第二流道Q的流道管D以从第二基板28的第二面281向Z方向正侧突出的方式而被形成，并且通过利用激光L来对形成于第一基板27上的流道槽273的周围进行熔敷从而形成被熔敷面W包围的第一流道P。

在图8的第一比较例的结构中，在激光L’的照射方向上，即在从与熔敷面W’正交的方向(Z方向负侧)进行俯视观察时，流道管D’的管面以超过第一流道P’的区域的方式而配置。在这种第一比较例的结构中，在激光L’的照射方向上，包围第一流道P’的熔敷面W’与第二流道Q’的流道管D’的管面重叠。流道管D’的管面的部分与第二面281’相比而厚出了与流道管 D从第二面281’突出的长度(厚度)相对应的量。因此，如图8所示，当在激光的照射方向上存在有熔敷面W’之中的与流道管DI1的管面重叠的熔敷面W”时，由于被照射在该熔敷面W”上的激光La’与其他的部分的激光L 相比容易衰减，因此容易发生由熔敷不足所造成的熔敷不均匀。

相对于此，在图9所示的第一实施方式的结构中，在激光L的照射方向上，即在从与熔敷面W正交的方向(Z方向负侧)进行俯视观察时，流道管D 的管面被配置于第一流道P的区域内。由此，能够在激光L的照射方向上使包围第一流道P的熔敷面W不与第二流道Q的流道管D的管面重叠。因此，由于不会产生由厚度的不同所造成的激光L的衰减，因此能够充分地实施熔敷，从而能够有效地减少熔敷不均匀的情况。由此，能够形成气密性较高的第一流道P。

关于这种第一实施方式的流道结构，列举液体的流道PI1为示例来进行更具体的说明。由于第一实施方式中的液体的流道PI1为四个系统，且包括各个流道的流道结构体G1的部分的流道结构分别被构成为相同，因此在此提取包括任意一个系统的流道PI1的部分的流道结构来进行说明。图10为在图 7所示的V-V线处实施了剖切的流道结构体G1的局部剖视图。图11为将图 10所示的构成流道结构体G1的部分的第一基板27与第二基板28分解出来的情况下的侧视图以及俯视图。

如图10与图11所示，在第一基板27的第一对置面272上，形成有沿着第一对置面272在X方向上延伸的流道槽273、和与流道槽273连通的入口流道H1。流道槽273为构成相当于第一流道的流道PI1的截面呈大致矩形的槽，入口流道H1为形成在从第一基板27的第一面271突出的流道管SI1中的贯穿孔。流道槽273以跨及在流道PI1的X方向上分离的两个端部273a、 273b的方式而形成，并且在该端部273a、273b之间配置有入口流道H1。

在第二基板28的第二对置面282上，在与第二对置面282垂直的方向(Z 方向)上形成有相当于第二流道的六个出口流道H2。出口流道H2为，被形成于从第二基板28的第二面281突出的流道管DI1中的贯穿孔。六个出口流道H2在从Z方向进行观察的俯视观察时，以跨及入口流道H1的两侧的方式而配置。入口流道H1与一方的端部273a和另一方的端部273b的中央相比而位于靠近一方的端部273a的位置处。因此，被配置于入口流道H1与各个端部273a、273b之间的出口流道H2的数量有所不同。

具体而言，出口流道H2在流道槽273的两端部273a、273b处，分别被配置有各一个。在入口流道H1与一方的端部273a的中途(图10、图11的与入口流道H1相比靠右侧)处配置有一个出口流道H2，在入口流道H1与另一方的端部273b的中途(图10、图11的与入口流道H1相比靠左侧)处配置有三个出口流道H2。

根据这种流道结构，从入口流道H1流入的油墨在X方向负侧与正侧处分岔，从而朝向流道PI1的两方的端部273a、273b流动。即，在流道PI1内，产生有从上游侧的入口流道H1朝向下游侧的一方的端部273a的油墨流、和与之为反向的从上游侧的入口流道H1朝向下游侧的另一方的端部273a的油墨流。

朝向流道PI1的一方的端部273a流动的油墨分别在端部273a的出口流道H2、和端部273a与入口流道H1之间的一个出口流道H2处分岔并流出。朝向流道PI1的另一方的端部273b流动的油墨分别在端部273b的出口流道 H2、和端部273b与入口流道H1之间的三个出口流道H2处分岔并流出。另外，关于入口流道H1与出口流道H2的数量与配置并不限定于上述情况。

以此方式构成的第一基板27与第二基板28以各自的第一对置面272与第二对置面282彼此接触的方式而被层叠，并通过朝向第二基板28的第二面 281照射的激光而使流道槽273的周围被熔敷。由此，通过由第一基板27的流道槽273的内壁面和与第二基板28的流道槽273对置的壁面所构成的空间，从而构成了流道(第一流道)PI1。

这样被形成的熔敷面W为例如在图11的第一基板27与第二基板28的俯视图中以剖面线所表示的这种环带状的形状。流道PI1为，通过熔敷面W而被包围的区域(环带状的熔敷面W的内周缘的内侧的区域)。如图11的第二基板28的俯视图所示，六个流道管DI1以包括其管面从而全部被包含在流道 PI1的区域内的方式而被配置。由此，能够在激光的照射方向上使包围流道 PI1的熔敷面W不与流道管DI1的管面重叠。因此，由于不会像上述那样产生由厚度的不同所造成的激光L的衰减，因此能够有效地减少熔敷不均匀的情况。另外，虽然图10与图11的流道管DI1列举了向与熔敷面W正交的方向突出的情况为示例，但流道管DI1也可以向与熔敷面W倾斜的方向突出。

关于此处的“通过熔敷面而被包围的流道”，如果也考虑到在由光吸收性部件所构成的第一基板27以及由光透过性部件所构成的第二基板28的各自的平面度中存在误差的情况，则即使光吸收性部件的熔融了的面整体未与光透过性部件抵接，两者作为面也被固定，其结果为，只要能够形成流道PI1 即可。因此，在两者的间隙被密封了的情况下，光吸收性部件的对置面与光透过性部件的对置面之间的间隔在0.3mm以下、且该部分的光吸收性部件熔融了的情况也被包括在“熔敷面”中。

此外，关于光吸收性部件与光透过性部件之间的间隙是否被密封了(气密性)，例如通过以下方法来进行测量。将与测量对象的流道连通的其他的流道全部封闭并输入+50kPa的空气，对测量对象的流道的压力变化进行计测。此时，如果从空气输入起5秒后的压力变化在1kPa以内，则设为该测量对象的流道被密封。

此外，根据图10所示的流道结构，由于流道PI1的入口流道H1处于流道PI1的两端部273a、273b的出口流道(第二流道)H2之间，因此从入口流道H1流入的油墨发生分岔，从而不仅易于流入一方的端部273a的出口流道H2，而且还易于流入另一方的端部273b的出口流道H2。根据这种结构，由于与入口流道H1没有处于两端部273a、273b之间的情况相比，能够抑制流道PI1的两端部273a、273b处的油墨的淤积，因此易于排出滞留于油墨的淤积中的气泡。由此，能够在对流道PI1的两端部273a、273b处的淤积进行抑制的同时，减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。

流道结构体的制造方法

接下来，对流道结构体G1的制造方法进行说明。图12为表示流道结构体G1的制造方法的工序图。在此，通过在图7所示的V-V线处实施剖切而得到的流道结构体G1的局部剖视图来对流道结构体G1的制造方法进行说明。首先，在图12的工序a中，通过吸收激光的热塑性树脂来制造第一基板27。作为这种具有光吸收性的热塑性树脂，例如能够列举出向聚酰胺(PA)等中掺入了碳黑、染料或颜料等的预定的着色材料而得到的材料。

在第一基板27的第一面271上形成从第一面271突出的流道管SI1，并且在流道管SI1内形成构成入口流道(第三流道)H1的贯穿孔。在第一基板 27的第一对置面272上，形成构成流道(第一流道)PI1的流道槽273。此时，在第一基板27的第一面271上也形成其他系统的流道管SI1、SA1与入口流道H1，并且在第一基板27的第一对置面272上也形成构成其他系统的流道PI1、PA1的流道槽273。第一基板27既可以通过一体成型来制造，也可以对平板材料进行加工来制造。

接下来，在图12的工序b中，用使激光透过的热塑性树脂来制造第二基板28。作为这种具有光透过性的热塑性树脂，例如能够列举出聚酰胺(PA)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚苯乙烯(PS)、苯乙烯丙烯共聚物、ABS树脂、丙烯树脂(PMMA)、聚碳酸酯(PC)、聚对苯二甲酸丁二酯(PBT)等。另外，也可以根据需要而使用添加了玻璃纤维、碳纤维等加强纤维或着色材料的材料。在第二基板28的第二面281上形成从第二面281突出的六个流道管DI1，并且形成穿过各个流道管DI1内部且从第二面281贯穿至第二对置面282的出口流道(第二流道)H2贯穿孔。此时，在第二基板28中，也形成有其他系统的流道管DI1、DA1和出口流道H2贯穿孔。第二基板28既可以通过一体成型来制造，也可以对平板材料进行加工来制造。

接下来，在图12的工序c中，将第一基板27与第二基板28以使其各自的第一对置面272与第二对置面282彼此接触的方式进行层叠，在图12的工序d中，从第二基板28的第二面281侧照射激光L。于是，激光L透过由光透过性部件构成的第二基板28，并被由光吸收性部件构成的第一基板27所吸收。此时，光吸收性部件中所包括的染料或者颜料将发热而使树脂熔融，并使此时所产生的热量传递至光透过性部件。通过该传递的热而使光透过性部件也熔融，从而形成熔敷面W。另外，由激光L所产生的熔融可以仅针对应被设为熔敷面W的部分而实施，或者也可以针对应被设为熔敷面W的部分与应被设为流道的部分而一并实施。

此外，关于激光L的种类，可根据使激光透过的第二基板28的材料的吸收光谱或板厚(透过长度)等而适当选择使用。具体而言，能够从例如玻璃： Nd³⁺激光、YAG(YttriumAluminum Garnet：钇铝石榴石)：Nd³⁺激光、红宝石激光、氦-氖激光、氪激光、氩激光、H₂激光、N₂激光、半导体激光等的激光中进行选择。

通过利用这种激光L而使流道槽273的周围熔敷，从而形成被熔敷面W 包围的流道(第一流道)PI1。此时，同样地形成了其他系统的流道PI1与流道PA1。这样就形成了具有图10与图11所示的流道结构的流道结构体G1。如上文所述那样，在第一实施方式的流道结构体G1中，采用了流道管DI1 的管面(外周)被包含在各个流道PI1的区域内、流道管DA1的管面(外周) 被包含在各个流道PA1的区域内的结构。因此，由于在照射激光L时，在其照射方向上包围各个流道PI1的熔敷面W不与流道管DI1的管面重叠，且包围各个流道PA1的熔敷面W不与流道管DA1的管面重叠，因此能够有效地减少各个熔敷面W的熔敷不均匀的情况。由此，能够提高通过熔敷面W而被包围形成的流道管DI1的气密性。

另外，虽然激光L的照射方向也可以相对于熔敷面W而倾斜，但通过像图12的工序d那样相对于熔敷面W而正交，从而能够在不考虑衰减或折射的影响的条件下，使激光L在熔敷面W整体范围内透过相同厚度的光透过性部件。此外，优选为，激光L相对于熔敷面W的照射方向的角度在熔敷面W整体范围内固定。根据这种情况，与改变激光L的照射角度的情况相比，更易于实施激光熔敷。此外，上文所述的光吸收性部件与光透过性部件并不限定于100％吸收(或者透过)激光L的部件。光吸收性部件与光透过性部件只要光吸收率(或者光透过率)相对于激光L的至少一个波长而有所不同且光透过性部件一方与光吸收性部件相比更透过即可。因此，光吸收性部件与光透过性部件也可以为光吸收率(或者光透过率)小于100％的部件。

此外，虽然在图10所示的流道结构中，入口流道H1的流道管SI1作为流道PI1的入口流道H1而发挥功能，但也能够将其理解作为第三流道的流道管，所述第三流道的流道管向相对于作为第一流道的流道PI1的熔敷面W而与作为第二流道的出口流道H2的流道管DI1相反一侧突出。这种第三流道以向相对于熔敷面W而与形成有第二流道的流道管相反一侧、即向与照射激光侧相反一侧突出的方式而被形成。因此，即使增大第三流道的流道管的截面面积至超过通过熔敷面W包围形成的第一流道的区域的程度，也能够在不对激光熔敷产生影响的条件下减少熔敷不均匀的情况。

因此，由于在第一实施方式中，如图11所示那样，在从Z方向正侧的俯视观察时，将流道管SI1的外周增大至超过通过熔敷面W包围形成的作为第一流道的流道PI1的区域的程度，因此使流道管SI1的入口流道H1的截面面积大于出口流道H2的流道管DI1的截面面积。通过增大流道管SI1的外周，从而能够使入口流道H1的截面面积更大。以此方式，通过增大入口流道H1 的截面面积，从而能够降低流道PI1内的压力损耗。特别是，如图10所示那样，由于在与流道PI1连通的出口流道H2存在有多个的情况下容易产生压力损耗，因此降低这种压力损耗的效果较为明显。由此，能够在降低压力损耗的同时，减少激光熔敷的熔敷不均匀的情况。

另外，作为被形成在第一基板27的第一面271上的流道管，也可以进一步设置形成与流道PI1连通的第三流道的其他的流道管。该情况下的第三流道可以为流道PI1的入口流道，也可以为流道PI1的出口流道。由于第三流道能够像上文所述那样与第二流道相比增大截面面积，因此在将这种第三流道设置为多个的情况下，当第三流道的数量相对于第二流道的数量而过多时，将会影响第二流道的流动。因此，优选为，第三流道的数量少于第二流道的数量。

此外，虽然在图10所示的流道结构中，列举了在第一基板27侧形成流道PI1的流道槽273的情况为示例，但并不限定于此。例如，如图13所示，也可以在第二基板28侧的第二对置面282上形成流道槽283a。图13所示的流道结构通过将第一基板27与第二基板28进行层叠并利用激光熔敷而对流道槽283a的周围进行接合从而被形成。由此，通过由第二基板28的流道槽 283a的内壁和与流道槽283a对置的第一基板27的壁面所形成的空间，从而形成了流道PI1。在该情况下，如图13所示，由于能够在俯视观察时使流道管DI1的管面被包括在流道PI1的区域内从而使包围流道PI1的熔敷面W不与流道管DI1的管面重叠，因此能够有效地降低由激光熔敷所造成的熔敷不均匀的情况。

此外，在第一实施方式中，在流道PI1的与流动方向正交的截面上，在对流道PI1进行剖视观察时的截面形状为，如图9所示那样，在第一基板27 的第一面271侧形成了越靠近第一面271流道宽度变得越窄这样的曲面。虽然流道PI1的截面形状并不限定于此，也可以为矩形，但是形成如图9所示的这样的曲面将不易产生流道PI1的角部的淤积。此外，流道PI1的流道截面也可以如图13所示那样，与图9相反，在第二基板28的第二面281侧形成越靠近第二面281流道宽度越变窄这样的曲面。

此外，虽然在第一实施方式中，列举了如图10所示那样的将两个基板(第一基板27与第二基板28)接合而得到的双层结构的流道结构体G1为示例，但并不限定于此，也可以采用将三个基板接合而得到的三层结构的流道结构体G1。例如，在图14所示的三层结构的流道结构体G1中，具备被接合于由一个光吸收性部件构成的第一基板27上、且由相对于激光而具有透过性的两个光透过性部件构成的第二基板28a、28b。第一基板27被夹在两个第二基板28a、28b之间并被层叠。

第一基板27具备与第二基板28a对置的对置面272a、和作为对置面272a 的相反侧的面且与第二基板28b对置的对置面272b。第二基板28a具备与第一基板27对置的对置面282a、和对置面282a的相反侧的第二面281a。第二基板28b具备与第一基板27对置的对置面282b、和对置面282b的相反侧的第一面281b。

流道PI1通过被设置于第一基板27内的过滤器F而被划分为第一流道室 PI1a与第二流道室PI1b。第一流道室PI1a为，由被形成于第一基板27的对置面272a上的第一流道孔273c的内壁、和与该第一流道孔273c对置的第二基板28a的壁面包围而成的空间。第二流道室PI1b为，由被形成于第一基板 27的对置面272b上的第二流道孔273d的内壁、和被形成于第二基板28b的对置面282b上的流道槽283b的内壁包围而成的空间。

一个入口流道H1的流道管SI1以从第二基板28b的第一面281b突出的方式而被形成，六个出口流道H2的流道管DI1以从第二基板28a的第二面 281a突出的方式而被形成。各个出口流道H2分别与流道PI1的第一流道室 PI1a连通。入口流道H1与流道PI1的第二流道室PI1b连通。根据这种流道结构，从入口流道H1流入的油墨从流道PI1的第二流道室PI1b经由过滤器 F而向流道PI1的第一流道室PI1a流动，并从各个出口流道H2流出。过滤器F从向入口流道H1被供给的油墨中对气泡与异物进行捕集。通过穿过过滤器F而被去除了气泡与异物的油墨从各个出口流道H2流出。

流道PI1的第一流道室PI1a被第二基板28a的对置面282a与第一基板 27的对置面272a之间的由激光熔敷得到的熔敷面Wa包围从而被形成。流道 PI1的第二流道室PI1b被第二基板28b的对置面282b与第一基板27的对置面272b之间的由激光熔敷得到的熔敷面Wb包围从而被形成。

以此方式，由于在图14所示的流道结构体G1中，是将由光吸收性部件构成的第一基板27夹在由光透过性部件构成的两个第二基板28a、28b之间而被层叠的，因此流道PI1能够通过从第二基板28a、28b的两侧实施激光熔敷而形成。具体而言，在将第一基板27夹于两个第二基板28a、28b之间而层叠的状态下，从第二基板28a的第二面281a照射激光La，并也从第二基板28b的第一面281b照射激光Lb。由此，通过利用激光La而熔敷形成的熔敷面Wa来形成流道PI1的第一流道室PI1a，通过利用激光Lb而熔敷形成的熔敷面Wb来形成流道PI1的第二流道室PI1b。

在如图14所示的流道结构体G1中，由于流道PI1是通过从第二基板28a、 28b的两侧实施激光熔敷而形成的，因此不仅是形成出口流道H2的流道管 DI1，对于形成入口流道H1的流道管SI1而言也一样，在从Z方向进行俯视观察时，各个流道管DI1以及流道管SI1的端面(外周)全部被包括在流道PI1的区域内。在这一点上，在图14所示的结构中，不仅是流道管DI1，流道管SI1也相当于形成第二流道的流道管。因此，能够在激光La、Lb双方的照射方向上，使各个流道管DI1以及流道管SI1的端面不与熔敷面Wa、Wb 重叠。由此，能够减少熔敷面Wa、Wb的熔敷不均匀的情况。

但是，并不限定于此。也可以采用如下方式，即第二基板28a、28b中的一方与第一基板27的接合通过激光熔敷来实施，另一方与第一基板27的接合通过粘合剂等来实施。由此，能够在第二基板28a、28b中的、未实施激光熔敷的一方上，设置形成有超过了作为第一流道的流道PI1的区域的第三流道的流道管。例如，也可以以与图11所示的流道管SI1相同的方式，将图 14所示的流道管SI1增大至超过流道PI1的区域内的程度，从而使流道管SI1的入口流道H1的截面面积大于出口流道H2的流道管DI1的截面面积。由此，能够降低流道PI1内的压力损耗。这种流道管SI1相当于形成第三流道的流道管。在该情况下，通过利用激光熔敷来实施被形成有出口流道H2的流道管 DI1的第二基板28a与第一基板27的接合，并且利用粘合剂等来实施被形成有截面面积较大的流道管SI1的第二基板28b与第一基板27的接合，从而能够减少由激光熔敷所造成的熔敷不均匀的情况。

此外，由于介于两个第二基板28a、28b之间的过滤器F被设置于被该第二基板28a、28b夹持的第一基板27中，因此与将过滤器F设置于两个第二基板28a、28b中的任意一方上的情况相比，而无需以使过滤器F不与激光的照射方向重叠的方式来进行配置，故此能够提高过滤器F的配置或大小等的设计上的自由度。

此外，通过在流道PI1的端部273a、273b的壁面上形成倾斜面，并在端部273a、273b的出口流道H2处形成具有向下游侧扩大的锥形形状的倾斜面的扩径部284，从而能够抑制流道PI1的端部273a、273b处的油墨的淤积，并能够提高滞留于淤积部分中的气泡的排出性。如图14所示，可以采用在端部273a、273b的壁面上形成多个倾斜面并将这些倾斜面接合在一起的结构，也可以形成一个倾斜面。扩径部284的倾斜面分别被构成为，通过熔敷面Wa而与端部273a、273b的壁面的倾斜面接合。关于这种流道PI1的端部273a、 273b与扩径部284的形状，通过第二实施方式来进行详细说明。

第二实施方式中的流道结构体

接下来，对第二实施方式中的流道结构体G1进行说明。在第一实施方式中，对能够通过在针对突起有流道管的基板而实施的激光熔敷中减少熔敷不均匀的情况，从而提高由该熔敷面包围形成的第一流道的气密性的流道结构体G1进行了说明。在第二实施方式中，对在有液体流动的第一流道内具备从该第一流道分岔的第二流道的流道结构中，能够抑制分岔点处的油墨的淤积从而提高气泡排出性的流道结构体G1进行说明。

图15为用于对第二实施方式中的流道结构体G1的结构进行说明的剖视图。图15为，与图10相对应的、在将第二实施方式的结构应用于图7所示的流道结构体G1的四个系统的油墨I的流道PI1中的V-V线处实施了剖切的一个系统的局部剖视图。图16为，将构成图15所示的流道结构体G1的部分的第一基板27与第二基板28分解了的情况下的侧视图以及俯视图，且与图 11相对应。图17为图15所示的VI-VI线的剖视立体图，且与图9相对应。

第二实施方式的流道结构体G1为，进一步研究了第一实施方式中的四个系统的液体的流道PI1的流道结构而得到的结构。因此，对于图15至图17 中的、具有与第一实施方式的流道结构体G1相同的功能的部分标注相同的符号并省略其详细说明。

图15所示的第二实施方式的流道结构与图10所示的第一实施方式的流道结构的不同点在于，在流道(第一流道)PI1的两端部273a、273b和流道 PI1与出口流道(第二流道)H2的各个分岔点处，形成有向流道PI1的流动的方向倾斜的、如图17所示那样的流道PI1侧的倾斜面TP1与出口流道H2 侧的锥形部TD1。

由于在图15所示的流道PI1中，与图10所示的流道PI1相同，在流道 PI1的两端部273a、273b处分别配置有各一个出口流道H2、且在流道PI1 的两端部273a、273b之间配置有四个出口流道H2，因此流道PI1与出口流道H2的分岔点为四个。

由于在流道PI1的两端部273a、273b之间，在出口流道H2的相反侧处配置有入口流道H1，因此流道PI1内的油墨流将以如下方式流动。即，朝向流道PI1的一方的端部273a流动的油墨分别在端部273a的出口流道H2和端部273a与入口流道H1之间的一个出口流道H2处分岔并流出。朝向流道PI1 的另一方的端部273b流动的油墨分别在端部273b的出口流道H2和端部273b 与入口流道H1之间的三个出口流道H2处分岔并流出。在第二实施方式中，在这些流道PI1的两端部273a、273b与四个出口流道H2的分岔点处，形成有上述的流道PI1侧的倾斜面TP1与出口流道H2侧的锥形部TD1。

以下，对这些流道PI1侧的倾斜面TP1与出口流道H2侧的锥形部TD1 的结构例进行说明。首先，对流道PI1侧的倾斜面TP1进行说明。如图15 与图16所示，在流道PI1的端部273a、273b的分岔点处，在各个端部273a、 273b的壁面上形成有倾斜面TP1。

相对于此，在流道PI1的两端部273a、273b之间的四个分岔点处，分别形成有从流道PI1之中的与出口流道H2对置的部位起朝向出口流道H2突出的突起部274，并在该突起部274的上游侧的壁面上形成有倾斜面TP1。倾斜面TP1以如下方式倾斜，即，突起部274的高度相对于流道PI1中的流动方向而朝向下游侧变高。另外，关于突起部274的高度的详细情况将在后文叙述。

在各个突起部274的下游侧的壁面上，还形成有倾斜面TP2。倾斜面TP2 相对于第一流道中的流动方向而向倾斜面TP1的相反侧倾斜。即，倾斜面TP2 以突起部274的高度朝向下游侧而变低的方式倾斜。以此方式，通过在突起部274的下游侧的壁面上也形成倾斜面TP2，从而与不在下游侧形成倾斜面 TP2的情况相比，能够抑制流道PI1中的、与突起部274相比靠下游侧处的淤积。

接下来，对出口流道H2侧的锥形部TD1进行说明。在六个出口流道H2 处，分别在向第二基板28的第二对置面282开口的部位处形成有扩径部284，并且在该扩径部284处，以朝向流道PI1(朝向Z方向负侧)、朝向流道PI1 的下游侧扩大为锥形形状的方式而形成有锥形部TD1。扩径部284为出口流道H2至流道PI1之间的流道，且为从出口流道H2至流道PI1的、流道直径连续增加的部分。如图16与图17所示，锥形部TD1为扩径部284的内周面中的流道PI1的下游侧的部分，且为如下圆锥面的一半的形状，所述圆锥面为朝向与第一基板27对置的第二对置面282而逐渐扩大的圆锥面。由于出口流道H2的扩径部284向第二基板28中的与第一基板27对置的第二对置面 282开口，因此易于在出口流道H2处形成扩径部284。

另外，由于在第二实施方式中，与第一实施方式相同，在流道PI1的两端部273a、273b之间配置有入口流道H1，因此在入口流道H1与一方的端部 273a之间(图15的右侧)和入口流道H1与另一方的端部273b之间(图15 的左侧)处，流道PI1内的流动方向成为相反方向。因此，倾斜面TP1与锥形部TD1的配置位置在图15的左右也为相反方向。

倾斜面TP1与锥形部TD1的关系为如下所述。如图15的放大图所示，突起部274的上游侧的倾斜面TP1被配置于，与出口流道H2的扩径部284对置的流道PI1的上表面(流道槽273的底面273e)上。此外，如果在图15的截面观察时描绘一条沿着突起部274的上游侧的壁面的倾斜面TP1的倾斜而延长的假想线y，则该假想线y将穿过形成有扩径部284的锥形部TD1的区域(包括锥形部TD1与第二对置面282的边界线在内)。根据这种方式，能够在各个分岔点处，沿着突起部274的上游侧的壁面的倾斜面TP1而将流道PI1 的油墨流的一部分向扩径部284的锥形部TD1引导。由此，由于能够使流道 PI1的油墨流易于向出口流道H2一方流动，因此能够提升使气泡的排气性提高的效果。

流道PI1的端部273a、273b的倾斜面TP1为与锥形部TD1相同的形状，且被形成为与锥形部TD1上下相反。即，倾斜面TP1为如下圆锥面的一半的形状，所述圆锥面为朝向与第二基板28对置的第一对置面272而逐渐扩大的圆锥面。以使倾斜面TP1与第一对置面272的圆弧状的边界线和锥形部TD1 与第二对置面282的圆弧状的边界线相互吻合的方式，而将第一对置面272 与第二对置面282接合在一起。由此，由于在流道PI1的端部273a、273b 处，倾斜面TP1与锥形部TD1连结，因此能够使从流道PI1朝向端部273a、 273b的出口流道H2的油墨的流动更为顺畅。

关于这种第二实施方式的流道结构体G1的作用效果，在与第二比较例进行比较的同时进行说明。图18为，将未形成有倾斜面TP1与锥形部TD1的第二比较例中的流道结构体G1的部分截面放大而得到的图，图19为，将形成有倾斜面TP1与锥形部TD1的第二实施方式中的流道结构体G1的部分截面放大而得到的图。

如图18的第二比较例所示，在未形成有倾斜面TP1与锥形部TD1的情况下，不仅在流道PI1的两端部273a、273b的分岔点处会产生油墨的淤积，在流道PI1的两端部273a、273b之间的分岔点处也会产生油墨的淤积，从而容易滞留有气泡Bu。这是因为，由于沿着流道PI1流动的油墨流在各个分岔点处被向出口流道H2吸引，因此在与各个出口流道H2对置的部分(图18的分岔点处的流道PI1的上方部分)处容易产生油墨的淤积。

相对于此，如图19所示，在第二实施方式中，由于在流道PI1的两端部273a、273b处，形成有朝向流道PI1的流动方向倾斜的倾斜面TP1与锥形部 TD1，因此形成了沿着倾斜面TP1与锥形部TD1的流动。而且，由于在流道 PI1的端部273a、273b之间的分岔点处，也形成有向流道PI1的流动方向倾斜的倾斜面TP1与锥形部TD1，因此流过流道PI1的液体的一部分会被倾斜面TP1指向锥形部TD1，从而形成沿着倾斜面TP1与锥形部TD1的流动。由此，不仅在流道PI1的两端部273a、273b处抑制了油墨的淤积，在各个分岔点处也抑制了油墨的淤积，从而使气泡从各个出口流道H2被排出变得容易。由此，能够提高各个分岔点处的气泡的排出性。

而且，在第二实施方式中，由于与第一实施方式相同，流道管DI1以包括其管面(外周)在内全部被包含在俯视观察时的流道PI1的区域内的方式而被配置，因此也能够减少由形成流道PI1的激光熔敷所造成的熔敷面W的熔敷不均匀的情况。以此方式，在第二实施方式中，也能够在提高各个分岔点处的气泡的排出性的同时，减少由激光熔敷所造成的熔敷不均匀的情况。

特别是，如果欲采用在流道PI1的端部273a、273b的壁面上不形成上述那样的倾斜面TP1，而使流道管DI1的管面包含在各个流道PI1的区域内的结构，则如图18所示，将需要分别使流道PI1的两端部273a、273b与出口流道H2相比而向下游侧扩大对应于流道管DI1的管面(外周)的量。因此，在流道PI1的端部273a、273b上，在与出口流道H2相比向下游侧扩大的部分处容易产生油墨的淤积。在这一点上，由于通过在流道PI1的端部273a、 273b的壁面上形成上述那样的倾斜面TP1从而能够抑制这种流道PI1的端部 273a、273b的油墨的淤积，因此能够有效地提高气泡排出性。

此外，如图15的放大图所示那样，优选为，在个各突起部274处，上游侧的倾斜面TP1相对于流道PI1的流动方向的倾斜角θP1大于下游侧的倾斜面TP2相对于流道PI1的流动方向的倾斜角θP2。通过采用这种方式，从而能够使流过流道PI1的油墨易于向出口流道H2一方流动。由此，由于能够提高各个分岔点处的淤积的抑制效果，并使气泡更易于从出口流道H2被排出，因此能够进一步提高各个分岔点处的气泡的排出性。在这一点上，如果从各个突起部274的下游侧的倾斜面TP2来观察，则由于下游侧的倾斜面TP2的倾斜角θP2小于上游侧的倾斜面TP1的倾斜角θP1，因此流道PI1之中的、与各个突起部274相比向下游侧流动的油墨流会变得更为顺畅，从而能够有效地降低与突起部274相比而向下游侧流动的液体的淤积的情况。

另外，虽然在第二实施方式中，列举了在流道PI1与出口流道H2的各个分岔点处形成有倾斜面TP1与锥形部TD1双方的情况为示例而进行了说明，但并不限定于此，也可以仅形成倾斜面TP1与锥形部TD1中的任意一方。由此，由于与未设置倾斜面TP1与锥形部TD1的情况相比，也能够抑制各个分岔点的淤积，因此也能够易于排出气泡。

此外，流道结构体G1的出口流道H2的扩径部284的形状并不限定于图 15所示的形状。例如，如图20的改变例所示那样，如果将出口流道H2的扩径部284中的、向流道PI1的下游侧扩大的锥形部TD1设为第一锥形部，则不仅设置第一锥形部TD1，还可以设置向其相反侧、即向流道PI1的上游侧扩大的第二锥形部TD2。即，第二锥形部TD2为扩径部284的内周面中的流道PI1的上游侧的部分，且为朝向与第一基板27对置的第二对置面282逐渐扩大的圆锥面的一半的形状。

根据这种方式，由于能够增大出口流道H2的扩径部284的截面面积，因此能够使油墨更容易从流道PI1向出口流道H2流动。在该情况下，如图20 的放大图所示那样，优选为，第一锥形部TD1相对于出口流道H2的倾斜角θ D1大于第二锥形部TD2相对于出口流道H2的倾斜角θD2。由此，由于与将第一锥形部TD1的倾斜角θD1与第二锥形部TD2的倾斜角θD2设为相同的倾斜角的情况相比，能够避免使出口流道H2的截面面积变得过大，从而能够抑制流速的下降。以此方式，由于能够在抑制流速的下降的同时，使油墨更容易从流道PI1向出口流道H2流动，因此能够进一步提高气泡的排出性。

此外，虽然在图15所示的流道结构体G1中，列举了使流道PI1的与流动方向正交的截面中的流道PI1的截面面积在各个分岔点间相同的情况为示例而进行了说明，但并不限定于此，也可以使与突起部274相比靠下游侧的流道PI1的截面面积小于与突起部274相比靠上游侧的流道PI1的截面面积。根据这种方式，能够从流道PI1的上游侧至下游侧而减少各个分岔点间的流道PI1的截面面积。

在从流道PI1的上游侧至下游侧于各个分岔点间的流道PI1的截面面积相同的情况下，流道PI1中流动的油墨的流速在经过突起部或分岔点时会减慢，因此气泡排出性也会下降。因此，通过以上述方式而使各个分岔点间的流道PI1的截面面积从流道PI1的上游侧至下游侧减小，从而能够抑制与突起部274相比靠下游侧的流速的下降的情况。由此，能够提高与突起部274 相比靠下游侧的气泡的排出性。

在该情况下，例如能够通过改变流道PI1的与流动方向正交的截面中的流道PI1的高度或者流道PI1的宽度，从而改变流道PI1的截面面积。具体而言，例如图21的其他改变例为，在图15的流道结构体G1中，将与突起部 274相比靠下游侧的流道PI1的高度设为低于与突起部274相比靠上游侧的流道PI1的高度。此处的流道PI1的高度为，从流道PI1中的沿着流动方向的截面之中的、构成流道PI1的空间的内壁面中的Z方向正侧的面(后文所述的图22所示的成为流道PI1的下表面的第二基板28的第二对置面282) 至Z方向负侧的面(后文所述的图22所示的成为流道PI1的上表面的流道槽 273的底面273e)的高度。

在图21的流道结构体G1中，在流道PI1的上游侧的入口流道H1与下游侧的端部273a之间，将与突起部274相比靠下游侧的流道PI1的高度hp1 设为低于与突起部274相比靠上流侧的流道PI1的高度hp0。此外，在流道 PI1的上游侧的入口流道H1与下游侧的端部273b之间，从上游侧至下游侧，将各个突起部274之间的流道PI1的高度以逐渐降低的方式而设为hp0、hp1、 hp2、hp3(hp0＞hp1＞hp2＞hp3)。根据这种方式，能够从流道PI1的上游侧至下游侧减小各个分岔点之间的流道PI1的截面面积。由此，由于能够对与各突起部274相比靠下游侧的流速下降的情况进行抑制，因此能够提高与各个突起部274相比靠下游侧的气泡的排出性。

此外，在图21的流道结构体G1中，与第一实施方式相同，也使出口流道H2的流道管DI1的管面(外周)被包含于由熔敷面包围的流道PI1的区域内。由此，与第一实施方式相同，由于能够使包围流道PI1的熔敷面不与流道管DI1的管面重叠，因此能够有效地减少通过激光熔敷而形成的熔敷面的熔敷不均匀的情况。

而且，在像图21的流道结构体G1这样通过流道PI1的高度来对流道PI1 的截面面积进行调节的情况下，与通过流道PI1的宽度来对流道PI1的截面面积进行调节的情况相比，被熔敷面包围的流道PI1的区域不会变窄。如果在对流道PI1的宽度进行调节的情况下，为了使包围流道PI1的熔敷面不与流道管DI1的管面重叠，将需要按照流道PI1的宽度来调节流道管DI1的大小。在这一点上，根据图21的流道结构体G1，由于能够在不改变流道PI1的宽度而仅通过流道PI1的高度来进行调节，因此在可以无需为了使包围流道PI1的熔敷面与流道管DI1的管面不重叠而按照流道PI1的宽度来调节流道管DI1的大小这一点上，效果较明显。

另外，在通过流道PI1的高度来对流道PI1的截面面积进行调节的情况下，如图21所示，也可以根据流道PI1的高度来改变突起部274的上游侧的倾斜面TP1的倾斜度。在图21中，流道PI1的高度越低，则越将突起部274 的上游侧的倾斜面TP1的倾斜度设得较小。由此，即使流道PI1的高度发生变化，也能够实施调节以使例如沿着突起部274的上游侧的倾斜面TP1的倾斜而延长的假想线y(图15的放大图参照)始终穿过扩径部284的锥形部TD1。

此外，虽然在图21的流道结构体G1中，列举了将配置于各个分岔点处的倾斜面TP1形成在突起部274的上游侧的情况为示例，但并不限定于此。在像图21这样在各个分岔点之间对流道PI1的高度进行调节的情况下，由于在流道PI1的高度改变了的各个分岔点的部分处形成有高低差，因此也可以在该高低差的上游侧的壁面上形成倾斜面TP1。

而且，虽然在图21的流道结构体G1中，列举了对各个分岔点之间的流道PI1的高度进行调节的情况为示例而进行了说明，但也可以对突起部274 的高度进行调节。由此，也能够对与各个突起部274相比靠下游侧的流速下降的情况进行抑制。此处的突起部274的高度为，从流道PI1中的沿着流动方向的截面中的突起部274的形成面(图22所示的成为流道PI1的上表面的流道槽273的底面273e)起至突起部274的顶部274a为止的高度。

例如，图22所示的流道结构体G1为，改变了图15所示的流道结构体 G1的突起部274的高度而得到的流道结构体。具体而言，将从流道PI1的上游侧的入口流道H1起至下游侧的端部273b为止的各个突起部274的高度以逐渐变大的方式而设为ht1、ht2、ht3(ht1＜ht2＜ht3)。由于越增高突起部274的高度，则越能够缩窄分岔部处的流道PI1的截面面积，因此能够将各个分岔点处的流道PI1的截面面积调节为从流道PI1的上游侧至下游侧而逐渐变小。由此，由于能够对与各个突起部274相比靠下游侧的流速下降的情况进行抑制，因此能够提高与各个突起部274相比靠下游侧的气泡的排出性。

另外，关于流道PI1中流动的油墨的流速，如上述那样，流速从流道PI1 的上游侧至下游侧，每经过各分岔点便会下降。因此，优选为，根据流道PI1 的各个分岔点间的流速来对突起部274的高度进行调节。在该情况下，由于越增高突起部274的高度，则越能够抑制流速的下降，因此相应地能够提高气泡的排气性。但是，由于当将突起部274的高度设定得过高时，流道PI1 内的油墨流所接触到的突起部274的壁面(倾斜面TP1)的面积将变大，因此压力损耗将上升，反而会使流速下降。因此，在对压力损耗的上升进行抑制这方面，优选为，以不使突起部274的高度过大的方式进行调节。

因此，在下文中，对用于使这种提高气泡的排气性的效果与抑制压力损耗的上升的效果同时存在的、各个分岔点处的突起部274的高度的优选的范围进行说明。首先，以流道PI1内各个分岔点间的流速相同为前提。如果将从流道PI1内的上游侧至下游侧为止的分岔点的数量设为N(1≤N)个时，则各个分岔点间的支流的数量为N+1个，从上游侧起第M个(1≤M≤N)分岔点处的流速V(M)能够以下述数学式(1)来表示，与第M个相比靠下游侧的第M+1个分岔点处的流速的总和V(M+1)能够以下述数学式(2)来表示。

V(M)＝[1/(N+1)]×[(N+1)-(M-1)]＝(N-M+2)/(N+1)

…(1)

V(M+1)＝[1/(N+1)]×[(N+1)-M]＝(N-M+1)/(N+1)

…(2)

在流道PI1内的、突起部274的高度相对于流道PI1的高度hp的比例X 能够以下述数学式(3)来表示。

1-V(M)≤X≤1-V(M+1)…(3)

当将上述数学式(1)、(2)代入到上述数学式(3)中时，则突起部274 的高度的比例X能够以下述数学式(4)来表示。

1-(N-M+2)/(N+1)≤X≤1-(N-M+1)/(N+1)…(4)

各个分岔点处的突起部274的高度的优选范围能够通过上述数学式(4) 来计算。例如，当在图22所示的流道结构体G1中对从流道PI1的上游侧的入口流道H1起至下游侧的端部273b为止的各个突起部274的高度的优选范围进行计算时，将如下文所示。首先，由于从流道PI1的上游侧的入口流道 H1起至下游侧的端部273b为止的分岔点为三个，因此N＝3，由此各个分岔点之间的支流为N+1＝4个。

因此，突起部274的高度ht1、ht2、ht3相对于流道PI1的高度hp的比例X1、X2、X3分别成为如下的数学式(5)、(6)、(7)，所述数学式(5)、(6)、 (7)为，将N＝3代入到上述(4)式中，并分别将M＝1、2、3代入而得到的数学式。

0≤X1≤1/4…(5)

1/4≤X2≤2/4…(6)

2/4≤X1≤3/4…(7)

根据这种方式，相对于流道PI1的高度hp而在上述数学式(5)、(6)、 (7)的范围内来设定各个突起部274的高度ht1、ht2、ht3。如此，通过在上述数学式(4)的范围内对相对于流道PI1的高度hp的各个突起部274的高度进行设定，从而能够使提高气泡的排气性的效果与抑制压力损耗的上升的效果同时存在。

另外，根据流道PI1的截面形状，即使将各个突起部274的高度设为相同，有时也会存在流道PI1的截面面积过小，或者过大的情况。因此，优选为，将各个突起部274的高度设定在上述数学式(4)的范围内。图23表示流道PI1内的沿着流动方向的截面中的流道PI1的截面形状与突起部274的高度的关系。图23的左侧为流道PI1的截面形状为矩形的情况，图23的中央为流道PI1的截面形状为呈向上方凸起的形状(具有流道宽度朝向上方变窄的部分的形状)的情况。图23的右侧为流道PI1的截面形状呈向下方凸起的形状(具有流道宽度朝向下方变窄的部分的形状)的情况。

例如，在流道PI1的截面形状呈向下方凸起的形状的情况下(图23的右侧)，由于流道PI1的下表面侧的宽度与上表面侧的宽度相比而变窄，因此即使形成与流道PI1的截面形状为矩形的情况(图23的左侧)相同高度的突起部274，流道PI1的截面面积也变小。因此，如图23所示，在流道PI1的截面形状呈向下方凸起的形状的情况下(图23的右侧)，通过将突起部274的高度设为与流道PI1的截面形状为矩形的情况(图23的左侧)相比而较低，从而能够确保与流道PI1的截面形状为矩形的情况(图23的左侧)相同的流道PI1的截面面积。

另外，虽然在第二实施方式中，列举了将构成流道PI1的流道槽273仅形成在第一基板27上的情况为示例，但并不限定于此，可以仅形成在第二基板28上，而且还可以将构成流道PI1的流道槽形成在第一基板27与第二基板28双方上，并以使各个流道槽对置的方式使第一基板27与第二基板28 对置并层叠接合在一起。但是，在将构成流道PI1的流道槽273仅形成在第一基板27与第二基板28中的任意一方上的情况下，与将其形成在第一基板 27与第二基板28双方上的情况相比，在使第一基板27与第二基板28的流道槽对置并层叠时，即使产生了第一基板27与第二基板28之间的偏差，也能够形成所需的第一流道。

以上的各个方式中所例示的印刷装置100，除了专门用于印刷的设备之外，还能够被应用于传真装置或复印机等各种设备中。显然，本发明的液体喷射装置的用途并不限定于印刷。例如，喷射颜色材料的溶液的液体喷射装置可作为形成液晶显示装置的滤色器的制造装置而被利用。此外，喷射导电材料的溶液的液体喷射装置可作为形成配线基板的配线或电极的制造装置而被利用。

符号说明

100…印刷装置；10…控制装置；12…输送机构；14…液体喷射头；142…筐体；16…泵；18…液体容器；23…安装孔；27…第一基板(光吸收性部件)； 272a、272b…对置面；273…流道槽；273a、273b…端部；273e…底面；274…突起部；274a…顶部；28…第二基板(光透过性部件)；282b…第二对置面； 283a…流道槽；283b…流道槽；284…扩径部；52…过滤器部；526…过滤器； 54…连通部件；542…贯穿孔；56…基础配线基板；58…固定板；582…开口部；60…液体分配部；60A…供给口；70…喷射头部；71…流道形成基板；712…开口部；714…供给流道；716…连通流道；72…压力室形成基板；722…开口部；73…振动板；732…压电元件；74…喷嘴板；75…可塑性基板；752…密封板；754…支承体；76…保护板；762…狭缝；77…支承体；771…供给口； 772…凹部；774…开口部；775…盖部；776…狭缝；78…独立配线基板；hp、 hp0、hp1、hp2、hp3…流道的高度(第一流道的高度)；ht1、ht2、ht3…突起部的高度；y…假想线；A1、A2…空气；Bu…气泡；C…压力室；DI1、DA1…流道管；DI2…流道管；F…过滤器；G1…流道结构体；G2…流道控制部；G3…液体喷射部；H1…入口流道；H2…各个出口流道；H2…出口流道；I…油墨； L…激光、La、Lb…激光；L’La’…激光；M…印刷介质；N…喷嘴；PI1、PA1…流道；R…液体贮留室；SI1、SA1…流道管；SI3…供给口；TD1…第一锥形部； TD2…第二锥形部；TP1…第一倾斜面；TP2…第二倾斜面；U2…流道控制单元； U3…液体喷射单元；W、W’…熔敷面；Wa、Wb…熔敷面；θD1、θD2…倾斜角；θP1、θP2…倾斜角。

Claims (25)

1.一种流道结构体，其为形成液体的流道的流道结构体，具备：

光吸收性部件，其相对于激光而具有吸收性；

光透过性部件，其被接合在所述光吸收性部件上，且相对于所述激光而具有透过性；

第一流道，其被所述光吸收性部件与所述光透过性部件熔敷形成的熔敷面所包围；

第二流道，其被形成在从所述光透过性部件中的所述熔敷面的相反侧的表面突出的流道管中，且与所述第一流道连通，

在从与所述熔敷面正交的方向上的俯视观察时，所述流道管的整个外周均被包含在所述第一流道的区域内。

2.如权利要求1所述的流道结构体，其中，

所述第二流道具备扩径部，所述扩径部具有朝向所述第一流道并向所述第一流道的下游侧扩大为锥形形状的第一锥形部。

3.如权利要求2所述的流道结构体，其中，

所述第二流道的扩径部还具有第二锥形部，所述第二锥形部朝向所述第一流道并向所述第一流道的上游侧扩大为锥形形状，

所述第一锥形部相对于所述第二流道的倾斜角大于所述第二锥形部相对于所述第二流道的倾斜角。

4.如权利要求2或者权利要求3所述的流道结构体，其中，

所述第二流道的扩径部的端部向所述光透过性部件中的与所述光吸收性部件对置的对置面开口。

5.如权利要求2或者权利要求3所述的流道结构体，其中，

从与所述第一流道连通的入口流道至下游侧形成有多个所述第二流道，

所述多个第二流道包括被配置于所述第一流道的下游侧的端部处的流道、和被配置于所述第一流道的下游侧的端部与所述入口流道之间的流道，

在所述光吸收性部件上，在与所述多个第二流道中的被配置于所述第一流道的下游侧的端部与所述入口流道之间的流道对置的位置处，形成有朝向该流道的扩径部突出的突起部。

6.如权利要求2或者权利要求3所述的流道结构体，其中，

所述第一流道以从一方的端部起跨至另一方的端部的方式而被形成，

与所述第一流道连通的入口流道被配置于所述一方的端部与所述另一方的端部之间，

所述第二流道被配置于所述一方的端部与所述另一方的端部双方处。

7.如权利要求1至权利要求3中的任一项所述的流道结构体，其中，

具备第三流道，所述第三流道被形成在相对于所述熔敷面而向与形成有所述第二流道的流道管相反一侧突出的流道管中，且所述第三流道与所述第一流道连通，

形成所述第三流道的流道管的数量少于形成所述第二流道的流道管的数量，

所述第三流道的截面面积大于所述第二流道的截面面积。

8.如权利要求7所述的流道结构体，其中，

形成所述第三流道的流道管的外周的大小为，在从与所述熔敷面正交的方向上的俯视观察时超过所述第一流道的区域的大小。

9.如权利要求7所述的流道结构体，其中，

具备两个光透过性部件，所述两个光透过性部件被接合在所述光吸收性部件上，且相对于所述激光而具有透过性，

所述光吸收性部件被夹在所述两个光透过性部件之间并被层叠，

在所述两个光透过性部件中的一方或者双方上形成有所述第二流道的流道管。

10.如权利要求9所述的流道结构体，其中，

在所述两个光透过性部件中的一方上形成有所述第二流道的流道管，在另一方上形成有所述第三流道的流道管。

11.如权利要求9或权利要求10所述的流道结构体，其中，

在所述光吸收性部件上设置有介于所述两个光透过性部件之间的过滤器。

12.一种液体喷射头，具备：

权利要求1至3、权利要求8至10中的任一项所述的流道结构体；

喷嘴，其通过驱动元件的驱动而喷射来自所述流道结构体的液体。

13.一种液体喷射装置，具备：

输送机构，其输送介质；

向所述介质喷射液体的、权利要求12所述的液体喷射头。

14.一种流道结构体的制造方法，所述流道结构体形成液体的流道，所述流道结构体的制造方法具备：

在相对于激光而具有吸收性的光吸收性部件和相对于所述激光而具有透过性的光透过性部件中的任意一方或者双方的对置面上，形成第一流道的流道槽的工序；

在所述光透过性部件中形成从与所述光吸收性部件对置的对置面的相反侧的表面突出的流道管，并且在所述流道管内形成与所述第一流道连通的第二流道的工序；

将所述光吸收性部件与所述光透过性部件以使其各自的对置面彼此接触的方式而层叠的工序；

通过朝向所述光透过性部件照射所述激光并以在该照射方向上不与所述流道管的整个外周重叠的方式而形成包围所述流道槽的熔敷面，从而形成所述第一流道的工序。

15.如权利要求14所述的流道结构体的制造方法，其中，

所述第二流道具备扩径部，所述扩径部具有朝向所述第一流道并向所述第一流道的下游侧扩大为锥形形状的第一锥形部。

16.如权利要求15所述的流道结构体的制造方法，其中，

所述第二流道的扩径部还具有第二锥形部，所述第二锥形部朝向所述第一流道并向所述第一流道的上游侧扩大为锥形形状，

所述第一锥形部的相对于所述第二流道的倾斜角大于所述第二锥形部的相对于所述第二流道的倾斜角。

17.如权利要求15或权利要求16所述的流道结构体的制造方法，其中，

所述第二流道的扩径部的端部向所述光透过性部件中的与所述光吸收性部件对置的对置面开口。

18.如权利要求15或权利要求16所述的流道结构体的制造方法，其中，

从与所述第一流道连通的入口流道至下游侧形成有多个所述第二流道，

所述多个第二流道包括被配置于所述第一流道的下游侧的端部处的流道、和被配置于所述第一流道的下游侧的端部与所述入口流道之间的流道，

在所述光吸收性部件上，在与所述多个第二流道中的被配置于所述第一流道的下游侧的端部与所述入口流道之间的流道对置的位置处，形成有朝向该流道的扩径部突出的突起部。

19.如权利要求15或权利要求16所述的流道结构体的制造方法，其中，

所述第一流道以从一方的端部起跨至另一方的端部的方式而被形成，

与所述第一流道连通的入口流道被配置于所述一方的端部与所述另一方的端部之间，

所述第二流道被配置于所述一方的端部与所述另一方的端部双方处。

20.如权利要求14至权利要求16中的任一项所述的流道结构体的制造方法，其中，

具备第三流道，所述第三流道被形成在相对于所述熔敷面而向与形成有所述第二流道的流道管相反一侧突出的流道管中，且所述第三流道与所述第一流道连通，

形成所述第三流道的流道管的数量少于形成所述第二流道的流道管的数量，

所述第三流道的截面面积大于所述第二流道的截面面积。

21.如权利要求20所述的流道结构体的制造方法，其中，

形成所述第三流道的流道管的外周的大小为，在从与所述熔敷面正交的方向上的俯视观察时超过所述第一流道的区域的大小。

22.如权利要求20所述的流道结构体的制造方法，其中，

具备两个光透过性部件，所述两个光透过性部件被接合在所述光吸收性部件上，且相对于所述激光而具有透过性，

所述光吸收性部件被夹在所述两个光透过性部件之间并被层叠，

在所述两个光透过性部件中的一方或者双方上形成有所述第二流道的流道管。

23.如权利要求22所述的流道结构体的制造方法，其中，

在所述两个光透过性部件中的一方上形成有所述第二流道的流道管，在另一方上形成有所述第三流道的流道管。

24.如权利要求22或权利要求23所述的流道结构体的制造方法，其中，

在所述光吸收性部件上设置有介于所述两个光透过性部件之间的过滤器。

25.如权利要求14至16、权利要求21至23中的任一项所述的流道结构体的制造方法，其中，

所述激光的照射方向相对于所述熔敷面的角度为固定。