KR20220093570A - 액 공급 유닛 및 액 공급 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액 공급 유닛을 제공한다. 일 예에서, 액 공급 유닛은, 액을 저장하는 내부 공간을 가지는 탱크와; 액 공급원으로부터 내부 공간에 액을 공급하며 인렛 밸브가 설치되는 인렛 라인과; 탱크로부터 노즐로 액을 공급하거나 또는 탱크로 액을 회수하며 아웃렛 밸브가 설치되는 아웃렛 라인과; 내부 공간으로 가스를 공급하며 가스 조절 밸브가 설치되는 가스 공급 라인과; 내부 공간을 배기하며 배기 밸브가 설치되는 배기 라인과; 내부 공간에 저장된 액을 순환시키는 순환 라인과; 제어기를 포함하고, 제어기는, 내부 공간으로 액이 공급되는 동안 순환 라인이 가압 되도록할 수 있다.

Description

액 공급 유닛 및 액 공급 방법{APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING LIGUID}
본 발명은 피처리체로 액을 공급하는 액 공급 유닛 및 이를 이용하여 액을 공급하는 방법에 관한 것이다.
기판 표면에 잔류하는 파티클(Particle), 유기 오염물, 그리고 금속 오염물 등의 오염 물질은 반도체 소자의 특성과 생산 수율에 많은 영향을 미친다. 이 때문에 기판 표면에 부착된 각종 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 반도체 제조 공정에서 매우 중요하며, 반도체를 제조하는 각 단위 공정의 전후 단계에서 기판을 세정 처리하는 공정이 실시되고 있다.
일반적으로 기판의 세정 공정은 케미컬을 이용하여 기판 상에 잔류하는 금속 이물질, 유기 물질, 또는 파티클 등을 제거하는 케미컬 처리 공정, 순수를 이용하여 기판 상에 잔류하는 케미컬을 제거하는 린스 공정, 그리고 질소 가스나 초임계 유체 등을 이용하여 기판을 건조하는 건조 공정을 포함한다.
케미컬 처리 공정에서 액 공급 유닛은 노즐 유닛에 액을 제공한다. 일반적으로 액 공급 유닛은 액을 저장하는 탱크와, 탱크의 내부 공간으로부터 노즐 유닛에 액을 제공하는 공급라인, 기판을 처리한 후에 탱크의 내부 공간으로 액을 회수하는 회수 라인 등을 포함한다. 액 공급이 정지되는 것을 방지하기 위해 탱크는 두 개 이상 제공되며 각 탱크에 저장된 액은 각 탱크에 연결된 배수라인에 의해 배출된다.
예컨대, 액 공급 유닛은 노즐 유닛으로 기 설정된 온도의 액을 공급한다. 공정에 따라 액을 고온으로 제공하기 위해 각 라인에는 히터가 제공된다. 일반적으로, 히터의 토출단에 온도 센서가 제공된다. 온도 센서가 측정한 액의 온도를 기반으로 액을 기 설정된 온도로 가열한다. 그러나, 히터와 상기 액의 접촉면의 온도는 고려하지 않고 액을 가열하는 바, 히터와 액의 접촉 부위에서 액이 가열되어 버블을 형성한다. 이와 같은 버블은 이후 기판을 처리하는 과정에서, 기판 상에 파티클을 형성하는 문제가 있다.
본 발명은, 액이 액 공급 유닛 내에서 끓는 것을 방지하는 액 공급 유닛 및 액 공급 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명은 파티클 발생을 최소화하는 액 공급 유닛 및 액 공급 방법 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명의 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 액 공급 유닛을 제공한다. 일 예에서, 액 공급 유닛은, 액을 저장하는 내부 공간을 가지는 탱크와; 액 공급원으로부터 내부 공간에 액을 공급하며 인렛 밸브가 설치되는 인렛 라인과; 탱크로부터 노즐로 액을 공급하거나 또는 탱크로 액을 회수하며 아웃렛 밸브가 설치되는 아웃렛 라인과; 내부 공간으로 가스를 공급하며 가스 조절 밸브가 설치되는 가스 공급 라인과; 내부 공간을 배기하며 배기 밸브가 설치되는 배기 라인과; 내부 공간에 저장된 액을 순환시키는 순환 라인과; 제어기를 포함하고, 제어기는, 내부 공간으로 액이 공급되는 동안 순환 라인이 가압 되도록 할 수 있다.
일 예에서, 제어기는, 내부 공간으로 액이 공급되는 동안 내부 공간이 가압되도록 가스 조절 밸브와 배기 밸브를 제어할 수 있다.
일 예에서, 제어기는, 내부 공간으로 액이 공급되는 동안, 내부 공간으로 가스를 공급하되 배기 밸브는 폐쇄되도록 가스 조절 밸브와 배기 밸브를 제어할 수 있다.
일 예에서, 순환 라인에는, 제1펌프와; 순환 라인 내의 액을 가열하는 제1히터와; 제1히터의 후단에 제공된 압력 제공 부재를 더 포함하고, 압력 제공 부재를 통과하기 위한 액의 압력은 제1히터를 통과하기 위한 액의 압력보다 크게 제공될 수 있다.
일 예에서, 압력 제공 부재는 제1레귤레이터로 제공되고, 순환 라인은, 제1레귤레이터의 전단에 설치되어 순환 라인 내의 액의 압력을 측정하는 제1압력 센서가 설치되고, 제1레귤레이터는, 순환 라인 내에서 액의 압력이 기 설정된 압력 이상인 경우 개방되어 액의 흐름을 허용할 수 있다.
일 예에서, 제1히터에는 제1히터와 액의 접촉면 온도를 측정하는 제1온도 센서가 설치되고, 제1온도 센서가 측정한 제1히터와 액의 접촉면 온도가, 기 설정된 압력에 따른 액의 비등점을 초과하지 않도록 제1히터를 제어할 수 있다.
일 예에서, 제어기는, 순환 라인 내에서 액의 압력이 기 설정된 압력 이상인 경우 내부 공간을 배기하도록 배기 밸브를 제어할 수 있다.
일 예에서, 아웃렛 라인에는, 제2펌프와; 아웃렛 라인 내의 액을 가열하는 제2히터와; 아웃렛 라인 내에서 전단의 압력이 기 설정된 압력 이상인 경우 개방되어 액의 흐름을 허용하는 제2레귤레이터와; 제2레귤레이터의 전단에 설치되어 아웃렛 라인 내의 액의 압력을 측정하는 제2압력 센서가 설치될 수 있다.
일 예에서, 제2히터와 제2레귤레이터 사이에서 아웃렛 라인으로부터 분기되며 노즐과 연결되는 공급 라인을 더 포함할 수 있다.
일 예에서, 제2히터에는 제2히터와 액의 접촉면 온도를 측정하는 제2온도 센서가 설치되고, 제어기는, 제2온도 센서가 측정한 제2히터와 액의 접촉면 온도가, 기 설정된 압력에 따른 액의 비등점을 초과하지 않도록 제2히터를 제어할 수 있다.
일 예에서, 탱크는, 제1탱크와 제2탱크를 포함하고, 순환 라인은 제1탱크 그리고 제2탱크에 연결되며, 제어기는, 제2탱크로부터 아웃렛 라인을 통해 노즐로 액을 공급하는 동안, 인렛 라인을 통해 제1탱크 내로 액을 공급하고, 제1탱크의 내부 공간의 액이 순환 라인을 통해 순환되도록 제어할 수 있다.
또한, 본 발명은 액 공급 방법을 제공한다. 일 예에서, 액 공급 방법은, 제1탱크 또는 제2탱크 중 어느 하나의 내부 공간으로 액을 공급하는 동안 다른 하나의 내부 공간의 액을 순환시키는 순환 라인을 가압할 수 있다.
일 예에서, 내부 공간으로 액이 공급되는 동안, 내부 공간으로 가스를 공급하되 내부 공간의 배기가 이루어지지 않도록 할 수 있다.
일 예에서, 순환 라인은, 순환 라인 내 액을 가열하는 히터와; 히터의 후단에 제공된 압력 제공 부재가 제공되며, 압력 제공 부재를 통과하기 위한 액의 압력은 제1히터를 통과하기 위한 액의 압력 보다 크게 제공될 수 있다.
일 예에서, 순환 라인 내의 압력이 기 설정된 압력 이상이 된 경우 내부 공간을 배기할 수 있다.
일 예에서, 히터와 액의 접촉면의 온도는, 기 설정된 압력에 따른 액의 비등점을 초과하지 않도록 제공될 수 있다.
또한, 기판 처리 방법은, 제2탱크의 내부 공간으로부터 노즐로 액을 공급하는 동안 제1탱크의 내부 공간으로 액을 공급하여 제1탱크의 액 공급을 준비하되, 액 공급이 수행되는 동안 제1탱크 내의 액은 순환라인을 통해 순환되며 순환 라인이 가압될 수 있다.
일 예에서, 제1탱크의 내부 공간으로 액이 공급되는 동안, 제1탱크의 내부 공간으로 가스를 공급하되 제1탱크의 내부 공간의 배기가 이루어지지 않도록 할 수 있다.
일 예에서, 순환 라인 내의 액의 압력이 기 설정된 압력 이상이 된 경우 순환 라인 내에서 액의 흐름을 허용할 수 있다.
일 예에서, 순환 라인에는 히터가 제공되고, 히터와 액의 접촉면의 온도는, 기 설정된 압력에 따른 액의 비등점을 초과하지 않도록 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 액이 액 공급 유닛 내에서 끓는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 파티클 발생을 최소화할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다
도 1은 본 발명의 일 예에 따른 기판 처리 장치가 제공된 기판 처리 설비의 일 예를 개략적으로 보여주는 정면도이다.
도 2는 도 1의 공정 챔버에 제공된 기판 처리 장치의 일 예를 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 액 공급 유닛을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액 공급 방법의 순서도를 보여주는 도면이다.
도 5 내지 도 9는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 액 공급 유닛을 이용하여 액을 공급하는 방법을 순차적으로 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액 공급 방법의 순서도를 보여주는 도면이다.
도 11 내지 도 12는 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 액 공급 유닛을 이용하여 액을 공급하는 방법을 순차적으로 보여주는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은, 본 발명의 기판처리설비(1)를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 1을 참조하면, 기판처리설비(1)는 인덱스모듈(10)과 공정처리모듈(20)을 가지고, 인덱스모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 한다. 그리고 상부에서 바라볼 때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하고, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 한다.
로드포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 1에서는 네 개의 로드포트(120)가 제공된 것으로 도시하였다. 그러나 로드포트(120)의 개수는 공정처리모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판의 가장자리를 지지하도록 제공된 슬롯(도시되지 않음)이 형성된다. 슬롯은 제3방향(16)을 복수 개가 제공되고, 기판은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 캐리어 내에 위치된다. 캐리어(130)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unified Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정처리모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정 챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 배치된다. 제2방향(14)을 따라 이송챔버(240)의 일측 및 타측에는 각각 공정 챔버들(260)이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측에 위치한 공정 챔버들(260)과 이송챔버(240)의 타측에 위치한 공정 챔버들(260)은 이송챔버(240)를 기준으로 서로 대칭이 되도록 제공된다. 공정 챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정 챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다.
즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정 챔버(260)들이 A X B(A와 B는 각각 1이상의 자연수)의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정 챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정 챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)은 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다. 버퍼유닛(220)에서 이송프레임(140)과 마주보는 면과 이송챔버(240)와 마주보는 면 각각이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다.
인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정 챔버(260) 간에, 그리고 공정 챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 버퍼유닛(220)에서 공정 챔버(260)로 기판을 반송할 때 사용되는 메인암(244c)과 공정 챔버(260)에서 버퍼유닛(220)으로 기판을 반송할 때 사용되는 메인암(244c)은 서로 상이할 수 있다.
공정 챔버(260) 내에는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판처리장치(300)가 제공된다. 각각의 공정 챔버(260) 내에 제공된 기판처리장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 각각의 공정 챔버(260) 내의 기판 처리 장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정 챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정 챔버(260)에 제공된 기판처리장치(300)들은 서로 동일한 구조를 가지고, 상이한 그룹에 속하는 공정 챔버(260)에 제공된 기판처리장치(300)들은 서로 상이한 구조를 가질 수 있다.
예컨대, 공정 챔버(260)가 2개의 그룹으로 나누어지는 경우, 이송챔버(240)의 일측에는 제1그룹의 공정 챔버들(260)이 제공되고, 이송챔버(240)의 타측에는 제2그룹의 공정 챔버들(260)이 제공될 수 있다. 선택적으로 이송챔버(240)의 일측 및 타측 각각에서 하층에는 제1그룹의 공정 챔버(260)들이 제공되고, 상층에는 제2그룹의 공정 챔버(260)들이 제공될 수 있다. 제1그룹의 공정 챔버(260)와 제2그룹의 공정 챔버(260)는 각각 사용되는 케미컬의 종류나, 세정 방식의 종류에 따라 구분될 수 있다.
아래에서는 처리액을 이용하여 기판(W)을 세정하는 기판처리장치(300)의 일 예를 설명한다. 도 2는 기판처리장치(300)의 일 예를 보여주는 단면도이다. 도 2를 참조하면, 기판처리장치(300)는 하우징(320), 지지 유닛(340), 승강유닛(360), 노즐 유닛(380), 그리고 액 공급 유닛(400)을 가진다.
하우징(320)은 기판처리공정이 수행되는 공간을 제공하며, 그 상부는 개방된다. 하우징(320)은 내부회수통(322), 중간회수통(324), 그리고 외부회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,324,326)은 공정에 사용된 처리액 중 서로 상이한 처리액을 회수한다. 내부회수통(322)은 지지 유닛(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 중간회수통(324)은 내부회수통(322)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부회수통(326)은 중간회수통(324)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a), 내부회수통(322)과 중간회수통(324)의 사이 공간(324a) 그리고 중간회수통(324)과 외부회수통(326)의 사이 공간(326a)은 각각 내부회수통(322), 중간회수통(324), 그리고 외부회수통(326)으로 처리액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 각각의 회수통(322,324,326)에는 그 저면 아래 방향으로 수직하게 연장되는 회수 라인(322b,324b,326b)이 연결된다. 각각의 회수 라인(322b,324b,326b)은 각각의 회수통(322,324,326)을 통해 유입된 처리액을 배출한다. 배출된 처리액은 외부의 처리액 재생 시스템(미도시)을 통해 재사용될 수 있다.
지지 유닛(340)는 하우징(320) 내에 배치된다. 지지 유닛(340)은 공정 진행 중 기판을 지지하고 기판을 회전시킨다. 지지 유닛(340)는 몸체(342), 지지 핀(334), 척 핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 모터(349)에 의해 회전가능한 지지축(348)이 고정결합된다. 지지 핀(334)은 복수 개 제공된다. 지지 핀(334)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀들(334)은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지 핀(334)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판이 일정거리 이격되도록 기판의 후면 가장자리를 지지한다. 척 핀(346)은 복수 개 제공된다. 척 핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지 핀(334)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척 핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척 핀(346)은 스핀 헤드(340)가 회전될 때 기판이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판의 측부를 지지한다. 척 핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기 위치와 지지 위치 간에 직선 이동 가능하도록 제공된다. 대기 위치는 지지 위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판이 스핀 헤드(340)에 로딩 또는 언 로딩시에는 척 핀(346)은 대기 위치에 위치되고, 기판에 대해 공정 수행시에는 척 핀(346)은 지지 위치에 위치된다. 지지 위치에서 척 핀(346)은 기판의 측부와 접촉된다.
승강유닛(360)은 하우징(320)을 상하 방향으로 직선 이동시킨다. 하우징(320)이 상하로 이동됨에 따라 지지 유닛(340)에 대한 하우징(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 하우징(320)의 외벽에 고정 설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정 결합된다. 기판(W)이 지지 유닛(340)에 놓이거나, 지지 유닛(340)로부터 들어올려 질 때 지지 유닛(340)가 하우징(320)의 상부로 돌출되도록 하우징(320)은 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 하우징(320)의 높이가 조절한다. 예컨대, 제1처리액으로 기판을 처리하고 있는 동안에 기판은 내부회수통(322)의 내측공간(322a)과 대응되는 높이에 위치된다. 또한, 제2처리액, 그리고 제3처리액으로 기판을 처리하는 동안에 각각 기판은 내부회수통(322)과 중간회수통(324)의 사이 공간(324a), 그리고 중간회수통(324)과 외부회수통(326)의 사이 공간(326a)에 대응되는 높이에 위치될 수 있다. 상술한 바와 달리 승강유닛(360)은 하우징(320) 대신 스핀 헤드(340)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
노즐 유닛(380)은 기판처리공정 시 기판(W)으로 처리액을 공급한다. 노즐 유닛(380)은 노즐 지지대(382), 노즐(384), 지지축(386), 그리고 구동기(388)를 가진다. 지지축(386)은 그 길이 방향이 제3방향(16)을 따라 제공되고, 지지축(386)의 하단에는 구동기(388)가 결합된다. 구동기(388)는 지지축(386)을 회전 및 승강 운동시킨다. 노즐지지대(382)는 구동기(388)와 결합된 지지축(386)의 끝단 반대편과 수직하게 결합된다. 노즐(384)은 노즐지지대(382)의 끝단 저면에 설치된다. 노즐(384)은 구동기(388)에 의해 공정 위치와 대기 위치로 이동된다. 공정 위치는 노즐(384)이 하우징(320)의 수직 상부에 배치된 위치이고, 대기 위치는 노즐(384)이 하우징(320)의 수직 상부로부터 벗어난 위치이다.
노즐 유닛(380)은 하나 또는 복수 개가 제공될 수 있다. 노즐 유닛(380)이 복수 개 제공되는 경우, 케미칼, 린스액, 또는 유기용제는 서로 상이한 노즐 유닛(380)을 통해 제공될 수 있다. 일 예에서, 케미칼은 불산, 황산, 질산, 인산 등과 같은 산성 용액이거나, 수산화 칼륨, 수산화 나트륨, 암모늄 등을 함유하는 알칼리성 용액일 수 있다. 린스액은 순수일 수 있고, 유기용제는 이소프로필 알코올 증기와 비활성 가스의 혼합물이거나 이소프로필 알코올일 수 있다.
액 공급 유닛(4100)은 노즐 유닛(380)으로 액을 공급한다. 도 3은 본 발명의 액 공급 유닛(4100)을 보여주는 도면이다. 도 3을 참조하면, 액 공급 유닛(4100)은 액 공급원(4110), 제1 탱크(4120), 제2 탱크(4130), 인렛 라인(4136, 4135), 가스 공급 라인(4129, 4139), 배기 라인(4112, 4114), 아웃렛 라인(4150), 드레인 라인(4181, 4182), 순환 라인(4160), 그리고 공급라인(4190)을 포함한다.
액 공급원(4110)은 공정에 사용되는 액을 저장하며 제1 탱크(4120) 또는 제2 탱크(4130)에 액을 공급한다. 일 예에서, 액은 이소프로필알코올일 수 있다. 선택적으로 액은 이와 다른 종류의 케미컬, 유기용제 등으로 제공될 수 있다.
제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)는 대체로 동일한 구조를 가진다. 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)는 액을 저장한다. 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130) 중 어느 하나에서 피처리체(5000)에 액을 공급하는 동안에는, 다른 하나에서는 액 교환을 수행한다. 일 예에서, 피처리체(5000)는 복수의 공정 챔버 내에서 처리되는 기판이다. 예컨대, 피처리체(5000)는 중 어느 하나는 도 2에 도시된 기판(W)이다. 일 예에서, 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)의 내부에는 센서(미도시)가 장착된다. 센서(미도시)는 각 탱크의 내부 공간에 저장된 액의 잔여량을 검출한다.
제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)는 단일의 액 공급원(4110)으로부터 공급된 하나의 액을 저장할 수 있다. 선택적으로, 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)에는 별도의 액 공급원(4110)으로부터 공급된 제1 액과 제2 액이 혼합되어 저장될 수 있다.
인렛 라인(4136, 4135)은 제1 인렛 라인(4136)과 제2 인렛 라인(4135)를 가질 수 있다. 제1 인렛 라인(4136)은 액 공급원(4110)을 제1 탱크(4120)와 연결한다. 제1 인렛 라인(4136)에는 제1 인렛 밸브(4122)가 설치되어 액 공급원(4110)으로부터 제1 탱크(4120)로 공급되는 액의 공급 여부 및 공급 유량을 조절한다. 제2 인렛 라인(4135)은 액 공급원(4110)을 제2 탱크(4130)에 연결한다. 제2 인렛 라인(4135)에는 제2 인렛 밸브(4132)가 설치되어 액 공급원(4110)으로부터 제2 탱크(4130)로 공급되는 액의 공급 여부 및 공급 유량을 조절한다.
가스 공급 라인(4129, 4139)는 각 탱크(4120, 4130) 내로 가스를 공급한다. 일 예에서, 가스 공급 라인(4129, 4139)는 제1가스 공급 라인(4129)과 제2가스 공급 라인(4139)을 포함한다. 제1가스 공급 라인(4129)은 제1 탱크(4120) 내로 가스를 공급하고, 제2가스 공급 라인(4139)은 제2 탱크(4130) 내로 가스를 공급한다. 제1가스 공급 라인(4129)에는 제1가스 밸브(4128)이 설치된다. 제1가스 밸브(4128)은 제1탱크(4120)로 공급되는 가스의 공급 여부 및 공급 유량을 조절한다. 제2가스 공급 라인(4139)에는 제2가스 밸브(4138)이 설치된다. 제2가스밸브(4138)은 제2탱크(4130)로 공급되는 가스의 공급 여부 및 공급 유량을 조절한다. 가스는, 각 탱크(4120, 4130) 내에 저장된 액이 흔들리거나 휘발되는 것을 방지한다. 일 예에서, 가스는 비활성 가스로 제공된다. 예컨대, 가스는 질소이다.
배기 라인(4112, 4114)은 각 탱크(4120, 4130)의 내부공간을 배기한다. 일 예에서, 배기 라인(4112, 4114)은 제1배기라인(4112)과 제2배기라인(4114)를 포함한다. 제1배기라인(4112)는 제1탱크(4120)의 내부 공간을 배기한다. 제2배기라인(4114)는 제2탱크(4130)의 내부 공간을 배기한다. 제1배기라인(4112)에는 제1배기밸브(4113)가 설치된다. 제1배기밸브(4113)은 제1탱크(4120)의 내부 공간의 배기 여부 및 배기 유량을 조절한다. 제2배기라인(4114)에는 제2배기밸브(4116)가 설치된다. 제2배기밸브(4116)은 제2탱크(4130)의 내부 공간의 배기 여부 및 배기 유량을 조절한다.
아웃렛 라인은(4150), 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)를 공급 라인(4190)에 연결한다. 또한, 아웃렛 라인(4150)은 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130) 각각으로부터 배출된 액을 다시 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130) 각각으로 회수한다. 이하, 아웃렛 라인(4150)에서 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130) 각각으로부터 배출된 액을 다시 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)로 회수하는 영역을 회수 라인(4170)으로 칭한다.
공급 라인(4190)은 피처리체(5000)에 액을 공급한다. 아웃렛 라인은(4150), 제1 아웃렛 라인(4151)과 제2 아웃렛 라인(4152)를 갖는다. 제1 아웃렛 라인(4151)은 제1 탱크(4120)를 공급 라인(4190)에 연결한다. 제1 아웃렛 라인(4151)에는 제1 아웃렛 밸브(4126)가 설치되어 제1 탱크(4120)로부터 공급 라인(4190)으로 공급되는 액의 유량을 조절한다. 제2 아웃렛 라인(4152)은 제2 탱크(4130)를 공급 라인(4190)에 연결한다. 제2 아웃렛 라인(4152)에는 제2 아웃렛 밸브(4136)가 설치되어 제2 탱크(4230)로부터 공급 라인(4190)으로 공급되는 액의 공급 여부 및 공급 유량을 조절한다.
드레인 라인(4181, 4182)은, 제1 드레인 라인(4181)과 제2 드레인 라인(4182)를 포함한다. 제1 드레인 라인(4181)은 제1 탱크(4120)를 배수한다. 제1 드레인 라인(4181)에는 제1 드레인 밸브(4185)가 설치되어 제1 탱크(4120)로부터 배수되는 액의 배수 여부 및 배수 유량을 조절한다. 제2 드레인 라인(4182)는 제2 탱크(4130)를 배수한다. 제2 드레인 라인(4182)에는 제2 드레인 밸브(4187)가 설치되어 제2 탱크(4130)로부터 배수되는 액의 배수 여부 및 배수 유량을 조절한다.
회수 라인(4170)은, 아웃렛 라인(4150) 내의 액의 압력이 기 설정된 압력 이상일 경우 액이 공급 라인(4190)으로 공급되지 않고 각 탱크(4120, 4130)으로 회수될 수 있도록 한다. 회수 라인(4170)은, 액을 공급 라인(4190)으로부터 제1 탱크(4120) 또는 제2 탱크(4130) 각각의 내부 공간으로 회수한다. 회수 라인(4170)은, 제1 회수 라인(4171)과 제2 회수 라인(4172)를 가진다. 제1 회수 라인(4171)은 제1 탱크(4120)로 액을 회수한다. 제1 회수 라인(4171)에는 제1 회수 밸브(4123)가 설치되어 공급 라인(4190)으로부터 제1 탱크(4120)로 회수되는 액의 회수 여부와 회수 유량을 조절한다. 제2 회수 라인(4172)은 제2 탱크(4130)로 액을 회수한다. 제2 회수 라인(4172)에는 제2 회수 밸브(4138)가 설치되어 공급 라인(4190)으로부터 제2 탱크(4130)로 회수되는 액의 회수 여부와 회수 유량을 조절한다.
일 예에서, 아웃렛 라인(4150)에는, 제2펌프(4177), 제2히터(4175) 제2압력센서(41701) 그리고 압력 제공 부재(4173)가 제공된다. 일 예에서, 제2펌프(4177), 제2히터(4175) 제2압력센서(41701) 그리고 압력 제공 부재(4173)는 각 탱크(4120, 4130)을 기준으로 상류에서 하류 방향으로 순차적으로 설치된다. 일 예에서, 제2펌프(4177)는 분당 스트로크를 제어하여 액의 공급 유량을 조절한다. 제2히터(4175)는 아웃렛 라인(4150)을 흐르는 액을 가열한다. 제2압력센서(41701)는 아웃렛 라인(4150) 내의 액의 압력을 측정한다.
압력 제공 부재(4173)는 제2히터(4175)의 후단에 제공되며, 압력 제공 부재(4173)를 통과하기 위해 액의 압력이 높게 제공되도록 한다. 예컨대, 압력 제공 부재(4173)는 액이 흐르는 배관 내에서 액의 흐름에 대한 저항을 발생시키는 부재이다. 일 예에서, 압력 제공 부재(4173)는 역압력 레귤레이터(back pressure regulator), 필터 중 어느 하나로 제공될 수 있다. 선택적으로, 압력 제공 부재(4173)는 아웃렛 라인(4150)을 이루는 배관의 직경보다 작은 직경을 가지는 배관으로 제공될 수 있다. 이에, 압력 제공 부재(4173)를 통과하기 위해 높은 압력이 필요하도록 한다. 이하, 압력 제공 부재(4173)는 역압력 레귤레이터인 제2레귤레이터(4173)로 제공되는 것으로 설명한다. 그러나, 이와 달리 압력 제공 부재(4173)는 아웃렛 라인(4150) 상에서, 압력 제공 부재(4173)를 통과하기 위해서는 액의 압력이 높게 제공되어야 하는 다른 부재로 제공될 수 있다.
제2레귤레이터(4173)는 제2압력센서(41701)가 측정한 압력을 기반으로 아웃렛 라인(4150) 내의 액의 압력을 조절한다. 일 예에서, 제2레귤레이터(4173)는 역압력 레귤레이터(back pressure regulator)로 제공된다. 예컨대, 제2레귤레이터(4173)는 전단의 압력이 기 설정된 압력을 초과할 경우 개방되어 액이 흐르도록 하는 밸브와 같은 방식으로 작동될 수 있다. 이에 따라, 제2레귤레이터(4173)의 전단의 압력은 기 설정된 압력을 초과하지 않는다. 제2히터(4175)에는 제2온도센서(41751)가 설치된다. 일 예에서, 제2온도센서(41751)는 제2히터(4175)와 순환 라인 내의 액이 접촉하는 접촉면에 설치될 수 있다. 예컨대, 제2온도센서(41751)는 제2히터(4175)의 표면에 설치될 수 있다. 일 예에서, 제2압력센서(41701)와 제2레귤레이터(4173) 사이에서 공급라인(4190)이 아웃렛 라인(4150)과 연결된다. 이에, 아웃렛 라인(4150)을 흐르는 액의 압력이 기 설정된 압력에 도달할 때까지 액은 회수라인(4170)으로 흐르지 않고 공급라인(4190)으로 흐를 수 있다.
순환라인(4160)은, 제1 탱크(4120)와 제2 탱크(4130)의 내부 공간에 저장된 액을 순환시킨다. 순환라인(4160)은 제1 라인(4161), 제2 라인(4162), 제 3 라인(4163), 제 4 라인(4164), 그리고 공유라인(4165)을 가진다.
공유라인(4165)은 제1 라인(4161), 제2 라인(4162), 제3 라인(4163), 그리고 제 4 라인(4164)을 모두 연결한다. 공유라인(4165)을 흐른 액은 제 1라인(4161)을 통해 제1 탱크(4120)로 다시 유입되거나, 제 2라인(4162)을 통해 제2 탱크(4130)로 다시 유입된다. 마찬가지로, 제1 탱크(4120)의 내부 공간에 저장된 액은 제1 라인(4161), 공유라인(4165), 그리고 제 3 라인(4163)을 통해서 순환한다. 제2 탱크(4130)의 액은 제2 라인(4162), 공유라인(4165), 그리고 제 4 라인(4164)을 통해서 순환한다.
공유라인(4165)에는, 제1펌프(4172)와 제1히터(4174), 제1압력센서(41651) 그리고 압력 제공 부재(4175)가 설치된다. 일 예에서, 제1펌프(4172)와 제1히터(4174), 제1압력센서(41651) 그리고 압력 제공 부재(4175)는 각 탱크(4120, 4130)을 기준으로 상류에서 하류 방향으로 순차적으로 설치된다.
일 예에서, 제1펌프(4172)는 분당 스트로크를 제어하여 액의 공급 유량을 조절한다. 제1히터(4174)는 순환라인(4160)을 흐르는 액을 가열한다. 제1압력센서(41651)는 공유라인(4165)을 흐르는 액의 압력을 측정한다.
압력 제공 부재(4175)는 히터(4174)의 후단에 제공되며, 압력 제공 부재(4175)를 과하기 위한 액의 압력이 제1히터(4174)를 통과하기 위한 액의 압력 보다 높게 제공되도록 한다. 예컨대, 압력 제공 부재(4173)는 액이 흐르는 배관 내에서 액의 흐름에 대한 저항을 발생시키는 부재이다. 일 예에서, 압력 제공 부재(4175)는 역압력 레귤레이터(back pressure regulator), 필터 중 어느 하나로 제공될 수 있다. 선택적으로, 압력 제공 부재(4175)는 공유라인(4165)을 이루는 배관의 직경보다 작은 직경을 가지는 배관으로 제공될 수 있다. 이에, 압력 제공 부재(4175)를 통과하기 위해서는 액의 압력이 높아져야 한다. 이하, 압력 제공 부재(4175)는 역압력 레귤레이터인 제1레귤레이터(4175)로 제공되는 것으로 설명한다. 그러나, 이와 달리 압력 제공 부재(4175)는 공유라인(4165) 상에서, 압력 제공 부재(4175)를 통과하는 액의 압력을 증가시킬 수 있는 다른 부재로 제공될 수 있다. 제1레귤레이터(4175)는 제1압력센서(41651)가 측정한 압력을 기반으로 공유라인(4165) 내의 액의 압력을 조절한다. 예컨대, 제1레귤레이터(4175)는 전단의 압력이 기 설정된 압력을 초과할 경우 개방되어 액이 흐르도록 하는 밸브와 같은 방식으로 작동될 수 있다. 이에 따라, 제1레귤레이터(4175)의 전단의 압력은 기 설정된 압력을 초과하지 않는다. 제1히터(4174)에는 제1온도센서(41741)가 설치된다. 일 예에서, 제1온도센서(41741)은 제1히터(4174)와 순환 라인(4160) 내의 액이 접촉하는 접촉면에 설치될 수 있다. 예컨대, 제1온도센서(41741)는 제1히터(4174)의 표면에 설치될 수 있다.
제1 라인(4161)은 제1 탱크(4120)의 상면에 연결된다. 제1히터(4174)와 제1제1펌프(4172)를 경유한 액은 제1 라인(4161)을 통해 제1 탱크(4120)로 유입된다. 제1 라인(4161)에는 제1 밸브(4124)가 설치되어 공유라인(4165)로부터 제1 탱크(4120)로 유입되는 액의 유입 여부 및 유입 유량을 조절한다. 제2 라인(4162)은 제2 탱크(4130)의 상면에 연결된다. 제1히터(4174)와 제1펌프(4172)를 경유한 액은 제2 라인(4162)을 통해 제2 탱크(4130)로 유입된다. 제2 라인(4162)에는 제2 밸브(4134)가 설치되어 공유라인(4165)로부터 제2 탱크(4130)로 유입되는 액의 유입 여부 및 유입유량을 조절한다. 제 3 라인(4163)은 제1 탱크(4120)의 저면에 연결된다. 제1 탱크(4120)의 액은 제 3 라인(4163)을 통해 유출된다. 제 3 라인(4163)에는 제 3 밸브(4125)가 설치되어, 제1 탱크(4120)로부터 제1히터(4174)로 공급되는 액의 공급 여부 및 공급 유량을 조절한다. 제 4 라인(4164)은 제2 탱크(4130)의 저면에 연결된다. 제2 탱크(4130)의 내부 공간에 저장된 액은 제 4 라인(4164)을 통해 유출된다. 제 4 라인(4164)에는 제 4 밸브(4135)가 설치되어, 제2 탱크(4130)로부터 제1히터(4174)로 공급되는 액의 공급 여부 및 공급 유량을 조절한다.
이하, 도 4 내지 도 12를 참조하여, 본 발명의 액 공급 방법에 대해 설명한다. 제어기는, 본 발명의 액 공급 방법을 수행하기 위해 액 공급 유닛(4100)을 제어한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액 공급 방법의 순서도를 보여주는 도면이다. 도 5 내지 도 6 그리고 도 8 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 액 공급 방법을 순서대로 나타내는 도면이고, 도 7은 이소프로필알코올의 압력에 따른 끓는점을 도시한 그래프이다.
도 4를 참조하면, 먼저, 제1탱크(4120) 또는 제2탱크(4130) 내의 내부공간으로 약액을 공급한다. 일 예에서, 제2탱크(4130)의 내부 공간에 저장된 액을 노즐 유닛(380)으로 공급하는 동안 제1탱크(4120)의 내부 공간으로 액을 보충하면서, 제1탱크(4120)의 내부 공간에 저장된 액을 순환 라인(4160)을 통해 순환시킨다. 마찬가지로, 제1탱크(4120)의 내부 공간에 저장된 액을 노즐 유닛(380)으로 공급하는 동안 제2탱크(4130)의 내부 공간으로 액을 보충하면서 제2탱크(4130)의 내부 공간에 저장된 액을 순환 라인(4160)을 통해 순환시킬 수 있다. 이하, 제1탱크(4120)의 내부 공간으로 액을 보충하는 것으로 설명한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 액 공급원(4110)으로부터 제1인렛 라인(4136)을 통해 제1탱크(4120)의 내부 공간으로 액을 공급한다. 액의 공급이 시작되면, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1가스공급라인(4129)을 통해 제1탱크(4120)의 내부 공간으로 질소를 공급한다. 일 예에서, 제1탱크(4120)의 내부 공간으로 질소를 공급하는 동안, 내부 공간은 가압된다. 예컨대, 제1탱크(4120)의 내부 공간으로 공급되는 가스의 압력이 제1배기 라인(4112)을 통해 배기되는 배기압보다 크게 제공될 수 있다. 일 예에서, 내부 공간으로 가스를 공급하는 동안 제1배기밸브(4113)는 폐쇄될 수 있다. 도 7을 참조하면, 이소프로필알코올의 압력이 증가할수록 끓는점이 상승하는 것을 확인할 수 있다. 본 발명은, 내부 공간을 가압함으로써, 액 공급 유닛 내의 액의 끓는점은 상승하게 된다. 이에, 액이 비교적 낮은 온도에서 끓는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.
제1탱크(4120)의 내부 공간으로 액을 보충하는 동안, 도 8에 도시된 바와 같이 순환 라인(4160)을 통해 제1탱크(4120) 내부에 저장된 액은 순환한다. 액이 순환되는 동안, 제1압력센서(41651)는 계속적으로 공유라인(4165)을 흐르는 액의 압력을 측정한다. 제1레귤레이터(4175)는 이를 기반으로 순환 라인(4160) 내의 압력을 조절한다. 예컨대, 제1압력센서(41651)가 측정한 압력이 기 설정된 압력이 될 때까지 내부공간은 가스 공급라인을 통해 유입되는 가스에 의해 지속적으로 가압된다. 제1압력센서(41651)가 측정한 액의 압력이 기 설정된 압력에 도달하면 제1레귤레이터(4175)를 통해 액이 흐르게 된다. 이에, 순환 라인(4160)에서 액을 지속적으로 순환시키기 위해서는 순환 라인(4160) 내의 압력이 기 설정된 압력에 도달해야하고 이를 위해 내부 공간은 계속해서 가압된다. 순환 라인(4160) 내의 압력이 기 설정된 압력에 도달하면, 제1레귤레이터(4175) 전단의 압력은 기 설정된 압력으로 유지된다. 이를 위해, 도 8에 도시된 바와 같이 제1배기 밸브(4113)가 개방된다. 제1배기 밸브(4113)를 개방하여, 순환 라인(4160)을 흐르는 액의 압력을 기 설정된 압력으로 유지시킨다.
제1탱크(4120)의 내부 공간으로 액을 보충하는 동안, 제1히터(4174)의 온도가 제어된다. 일 예에서, 제1히터(4174)의 출력은 제1온도센서(41741)가 측정한 온도를 기반으로 제어된다. 제1히터(4174)의 출력은 순환 라인(4160)을 흐르는 이소프로필 알코올이 끓지 않도록 제어된다. 예컨대, 제1히터(4174)의 출력은 제1압력센서(41651)가 측정한 압력을 기준으로 이소프로필 알코올의 끓는점 이하가 되도록 제어된다. 일 예에서, 순환 라인(4160) 내의 압력은 기 설정된 압력으로 제어되므로, 제1히터(4174)의 출력은 기 설정된 압력을 기준으로 이소프로필 알코올의 끓는점 이하가 되도록 제어된다. 일 예에서, 제1온도센서(41741)는 제1히터(4174)와 공유라인(4165)을 흐르는 액이 접촉하는 면의 온도를 측정하도록 제공된다. 일 예에서, 제1온도센서(41741)는 제1히터(4174)의 표면의 온도를 측정할 수 있다. 이에, 제1히터(4174)와 공유라인(4165)을 흐르는 액이 접촉하는 면에서 액이 끓는 것을 방지하는 이점이 있다. 즉, 본원 발명은, 제1히터(4174)의 전단 또는 후단에서 측정한 온도를 기반으로 제1히터(4174)의 출력을 조절하여 제1히터(4174)와 액이 접촉하는 면에서 액이 끓는 것을 방지하는 이점이 있다.
상술한 과정을 통해 제1탱크(4120) 내부의 액 보충이 완료되면, 도 9에 도시된 바와 같이 제1탱크(4120)를 통해 노즐 유닛(380)으로 액을 공급한다. 이때, 제2탱크(4130)의 내부 공간으로 액이 보충되며, 제2탱크(4130)의 내부공간에 저장된 액은 순환 라인(4160)을 통해 순환된다. 상술한 액 공급 방법은 제2탱크(4130)의 내부 공간으로 액을 보충할 때도 마찬가지로 적용된다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액 공급 방법을 보여주는 순서도이다. 도 10을 참조하면, 액을 공급하는 동안 배관 내의 압력과 히터와 액이 접촉하는 면의 온도가 제어될 수 있다. 일 예에서, 히터와 액이 접촉하는 면은 히터의 표면일 수 있다. 배관 내의 압력을 조절하는 방법과 히터의 표면의 온도를 제어하는 방법은 상술한 바와 동일하다. 일 예에서, 도 11에 도시된 바와 같이 아웃렛 라인(4150)을 통해 노즐 유닛(380)으로 액을 공급하는 동안, 아웃렛 라인(4150) 내의 압력은 제2압력센서(41701)에 의해 지속적으로 측정된다. 도12에 도시된 바와 같이 제2압력센서(41701)가 측정한 액의 압력이 기 설정된 압력에 도달하면 제2레귤레이터(4173)를 통해 액이 흐르게 된다. 이에, 회수 라인으로 액이 공급되려면 아웃렛 라인(4150)의 압력이 기 설정된 압력에 도달해야하고 이를 위해 내부 공간은 계속해서 가압된다. 아웃렛 라인(4150)을 통해 액을 노즐 유닛(380)으로 공급하는 동안 제2히터(4175)의 온도가 제어된다. 일 예에서, 제2히터(4175)의 출력은 제2온도센서(41751)가 측정한 온도를 기반으로 제어된다. 제2히터(4175)의 출력은 아웃렛 라인(4150)을 흐르는 이소프로필 알코올이 끓지 않도록 제어된다. 예컨대, 제2히터(4175)의 출력은 제2압력센서(41701)가 측정한 압력을 기준으로 이소프로필 알코올의 끓는점 이하가 되도록 제어된다. 일 예에서, 아웃렛 라인(4150) 내의 압력은 기 설정된 압력으로 제어되므로, 제2히터(4175)의 출력은 기 설정된 압력을 기준으로 이소프로필 알코올의 끓는점 이하가 되도록 제어된다. 일 예에서, 제2온도센서(41751)는 제2히터(4175)와 아웃렛 라인(4150)을 흐르는 액이 접촉하는 면의 온도를 측정하도록 제공된다. 일 예에서, 제2온도센서(41751)는 제2히터(4175)의 표면의 온도를 측정할 수 있다. 이에, 제2히터(4175)와 아웃렛 라인(4150)을 흐르는 액이 접촉하는 면에서 액이 끓는 것을 방지하는 이점이 있다
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (20)

  1. 액을 공급하는 액 공급 유닛에 있어서,
    액을 저장하는 내부 공간을 가지는 탱크와;
    액 공급원으로부터 상기 내부 공간에 상기 액을 공급하며 인렛 밸브가 설치되는 인렛 라인과;
    상기 탱크로부터 노즐로 상기 액을 공급하거나 또는 상기 탱크로 상기 액을 회수하며 아웃렛 밸브가 설치되는 아웃렛 라인과;
    상기 내부 공간으로 가스를 공급하며 가스 조절 밸브가 설치되는 가스 공급 라인과;
    상기 내부 공간을 배기하며 배기 밸브가 설치되는 배기 라인과;
    상기 내부 공간에 저장된 액을 순환시키는 순환 라인과;
    제어기를 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 내부 공간으로 상기 액이 공급되는 동안 상기 순환 라인이 가압 되도록하는 액 공급 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 내부 공간으로 상기 액이 공급되는 동안 상기 내부 공간이 가압되도록 상기 가스 조절 밸브와 상기 배기 밸브를 제어하는 액 공급 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 내부 공간으로 상기 액이 공급되는 동안,
    상기 내부 공간으로 상기 가스를 공급하되 상기 배기 밸브는 폐쇄되도록 상기 가스 조절 밸브와 상기 배기 밸브를 제어하는 액 공급 유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 순환 라인에는,
    제1펌프와;
    상기 순환 라인 내의 액을 가열하는 제1히터와;
    상기 제1히터의 후단에 제공된 압력 제공 부재를 더 포함하고,
    상기 압력 제공 부재를 통과하기 위한 상기 액의 압력은 상기 제1히터를 통과하기 위한 상기 액의 압력 보다 크게 제공되는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 압력 제공 부재는 제1레귤레이터로 제공되고,
    상기 순환 라인은,
    상기 제1레귤레이터의 전단에 설치되어 상기 순환 라인 내의 상기 액의 압력을 측정하는 제1압력 센서가 설치되고,
    상기 제1레귤레이터는,
    상기 순환 라인 내에서 상기 액의 압력이 기 설정된 압력 이상인 경우 개방되어 상기 액의 흐름을 허용하는 액 공급 유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1히터에는 상기 제1히터와 상기 액의 접촉면 온도를 측정하는 제1온도 센서가 설치되고,
    상기 제1온도 센서가 측정한 상기 제1히터와 상기 액의 접촉면 온도가,
    상기 기 설정된 압력에 따른 상기 액의 비등점을 초과하지 않도록 상기 제1히터를 제어하는 액 공급 유닛.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 순환 라인 내에서 상기 액의 압력이 기 설정된 압력 이상인 경우 상기 내부 공간을 배기하도록 상기 배기 밸브를 제어하는 액 공급 유닛.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 아웃렛 라인에는,
    제2펌프와;
    상기 아웃렛 라인 내의 액을 가열하는 제2히터와;
    상기 아웃렛 라인 내에서 전단의 압력이 기 설정된 압력 이상인 경우 개방되어 상기 액의 흐름을 허용하는 제2레귤레이터와;
    상기 제2레귤레이터의 전단에 설치되어 상기 아웃렛 라인 내의 상기 액의 압력을 측정하는 제2압력 센서가 설치되는 액 공급 유닛.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2히터와 상기 제2레귤레이터 사이에서 상기 아웃렛 라인으로부터 분기되며 상기 노즐과 연결되는 공급 라인을 더 포함하는 액 공급 유닛.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제2히터에는 상기 제2히터와 상기 액의 접촉면 온도를 측정하는 제2온도 센서가 설치되고,
    상기 제어기는,
    상기 제2온도 센서가 측정한 상기 제2히터와 상기 액의 접촉면 온도가,
    기 설정된 압력에 따른 상기 액의 비등점을 초과하지 않도록 상기 제2히터를 제어하는 액 공급 유닛.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탱크는,
    제1탱크와 제2탱크를 포함하고,
    상기 순환 라인은 상기 제1탱크 그리고 상기 제2탱크에 연결되며,
    상기 제어기는,
    상기 제2탱크로부터 상기 아웃렛 라인을 통해 상기 노즐로 상기 액을 공급하는 동안,
    상기 인렛 라인을 통해 상기 제1탱크 내로 상기 액을 공급하고, 상기 제1탱크의 상기 내부 공간의 상기 액이 상기 순환 라인을 통해 순환되도록 제어하는 액 공급 유닛.
  12. 액을 공급하는 방법에 있어서,
    제1탱크 또는 제2탱크 중 어느 하나의 내부 공간으로 상기 액을 공급하는 동안 다른 하나의 내부 공간의 액을 순환시키는 순환 라인을 가압하는 액 공급 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 내부 공간으로 상기 액이 공급되는 동안,
    상기 내부 공간으로 가스를 공급하되 상기 내부 공간의 배기가 이루어지지 않도록 하는 액 공급 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 순환 라인은,
    상기 순환 라인 내 액을 가열하는 히터와;
    상기 히터의 후단에 제공된 압력 제공 부재가 제공되며,
    상기 압력 제공 부재를 통과하기 위한 상기 액의 압력은 상기 히터를 통과하기 위한 상기 액의 압력 보다 크게 제공되는 기판 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 순환 라인 내의 압력이 기 설정된 압력 이상이 된 경우 상기 내부 공간을 배기하는 액 공급 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 히터와 상기 액의 접촉면의 온도는,
    상기 기 설정된 압력에 따른 상기 액의 비등점을 초과하지 않도록 제공되는 액 공급 방법.
  17. 제11항의 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법에 있어서,
    상기 제2탱크의 상기 내부 공간으로부터 상기 노즐로 상기 액을 공급하는 동안 상기 제1탱크의 상기 내부 공간으로 상기 액을 공급하여 상기 제1탱크의 액 공급을 준비하되,
    상기 액 공급이 수행되는 동안 상기 제1탱크 내의 액은 순환라인을 통해 순환되며 상기 순환 라인이 가압 되는 액 공급 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1탱크의 내부 공간으로 상기 액이 공급되는 동안,
    상기 제1탱크의 내부 공간으로 상기 가스를 공급하되 상기 제1탱크의 내부 공간의 배기가 이루어지지 않도록 하는 액 공급 방법.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 순환 라인 내의 상기 액의 압력이 기 설정된 압력 이상이 된 경우 상기 순환 라인 내에서 액의 흐름을 허용하는 액 공급 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 순환 라인에는 히터가 제공되고,
    상기 히터와 상기 액의 접촉면의 온도는,
    기 설정된 압력에 따른 상기 액의 비등점을 초과하지 않도록 제공되는 액 공급 방법.
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