KR20220092934A

KR20220092934A - 매거진 시스템

Info

Publication number: KR20220092934A
Application number: KR1020227018159A
Authority: KR
Inventors: 토스텐 베겔란; 위르겐 레너
Original assignee: 아시스 아우토마티지에룽스시스테메 게엠베하
Priority date: 2019-10-31
Filing date: 2020-10-28
Publication date: 2022-07-04
Also published as: DE102019216864A1; EP4052290C0; DE102019216864B4; WO2021083971A1; CN114641853A; EP4052290A1; EP4052290B1

Abstract

본 발명은 평면 기판, 특히 웨이퍼, 태양 전지 또는 인쇄 회로 기판(PCB)에 대한 생산 라인용 매거진 시스템(1)에 관한 것으로, 매거진 시스템(1)은 서로 대향하여 배치되고 수직으로 정렬된 2개의 측벽들(3, 4) 및 상기 측벽들(3, 4) 사이에 형성되고, 각각에 하나 이상의 기판들이 삽입될 수 있는 복수의 구획들(10)을 갖는 적어도 하나의 기판 매거진(2)을 포함하고, 상기 각각의 구획은 상기 측벽들(3, 4)에서 서로 거리를 두고 평행하게 배열된 2개의 가이드 레일들(11)을 포함하고, 상기 매거진 시스템(1)은 각각의 측벽(3, 4)에 대해 적어도 하나의 어댑터 플레이트(12, 13)를 포함하고, 상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은 상기 측벽들(3, 4) 중 하나에 해제 가능하게 고정하기 위한 고정 수단을 포함하고, 상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은, 각 측면에서, 상기 측벽들(3, 4)에 고정될 때 함께 기판 스택용 지지체를 형성하는 하나 이상의 운반 레일들(18)을 포함한다.

Description

매거진 시스템

본 발명은 평면 기판, 특히 웨이퍼, 태양 전지 또는 인쇄 회로 기판(PCB)에 대한 생산 라인용 매거진 시스템에 관한 것으로, 매거진 시스템은 서로 대향하여 배치되고 수직으로 정렬된 2개의 측벽들 및 상기 측벽들 사이에 형성되고, 각각에 하나 이상의 기판들이 삽입될 수 있는 복수의 구획들을 갖는 적어도 하나의 기판 매거진을 포함하고, 각각의 구획은 측벽들에서 서로 거리를 두고 평행하게 배치된 2개의 가이드 레일들을 포함한다.

매거진 시스템은 선행 기술로부터 공지되어 있다. 웨이퍼, 태양 전지, 인쇄 회로 기판 또는 기타 평면 기판을 생산하는 동안 기판들은 종종 임시 보관 또는 운송(이동, 전달)을 위해 기판 매거진들(substrate magazines)에 보관된다. 따라서 기판 매거진은 서로 평행하게 배열되고 높이로 서로 이격되어 있는 복수의 가이드 레일들이 2개의 상호 대향하는 측벽들에 배열되는 방식으로 초기에 생산되었으며, 각각의 경우에 동일한 높이에 있고 상호 대향하는 측벽 상에 배열된 2개의 가이드 레일이 함께 기판용 구획을 형성한다. 따라서 기판은 가이드 레일을 따라 기판 매거진 내로 간단하게 삽입될 수 있고, 또한 시프팅(shifting) 수단에 의해 기판 매거진에서 다시 제거될 수 있다. 또한, 기판 매거진은 아직 공개되지 않은 DE 10 2019 211 603에 공지되어 있으며, 이 경우 여러 기판들이 하나의 구획에서 서로 옆에 배치될 수 있다. 이를 위해, 래칭(latching) 수단은 가이드 레일에 할당되며, 가이드 레일을 따라 기판들의 이동 경로(movement path)에 놓이고 탄성 변형(elastic deformation) 하에서 기판에 의해 이동 경로 밖으로 이동할 수 있다. 따라서 기판은 가이드 레일 상에서 이동될 수 있고 래칭 요소는 대응하는 미는 힘(pushing force)을 가함으로써 극복될 수 있다. 래칭 요소는 기판이 가이드 레일을 따라 의도치 않게 이동하지 않도록 한다. 이에 의해, 예를 들어, 기판 매거진의 운송 동안, 인접한 기판이 부주의하게 하나가 다른 것의 상부로 밀려지는 것이 방지된다.

본 발명은 매거진 시스템의 더 높은 유연성 및 유용성을 허용하는 개선된 매거진 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 기반이 되는 목적은 청구항 1의 특징을 포함하는 매거진 시스템에 의해 해결된다. 이것은 매거진 시스템이 평면 기판뿐만 아니라 기판 스택들, 즉 하나가 다른 것의 상단에 적층된 복수의 기판들에 대한 저장(또는 보관) 위치로 사용될 수 있는 방식으로 조정될 수 있다는 이점이 있다. 본 발명에 따른 매거진 시스템에 의해, 개별 기판을 수용하는 작업에서 기판 스택을 수용하는 작업으로 전환될 수 있는 방식으로, 기존의 기판 매거진은 간단한 방식으로 적용될 수 있다. 본 발명에 따르면, 이것은 매거진 시스템이 각각의 측벽들에 대해 적어도 하나의 어댑터 플레이트(adapter plate)를 갖고, 각각의 어댑터 플레이트가 측벽들 중 하나에 해제 가능하게(releasable) 고정하기 위한 고정 수단(fastening mean)을 갖고, 각각의 측면에, 각각 어댑터 플레이트는 측벽에 고정된 상태에서 함께 기판 스택에 대한 지지체를 형성하는 하나 또는 여러 개의 운반 레일들(carrying rails)을 갖는다. 따라서 측벽은 어댑터 플레이트에 의해 기판 스택을 수용하도록 구성될 수 있다. 이를 위해 어댑터 플레이트는 측벽에 해제 가능하게 고정될 수 있으며 차례로 운반 레일이 있다. 측벽에 어댑터 플레이트가 조립된 상태에서 이러한 운반 레일들은 서로 마주보고 같은 높이에 있으므로 함께 기판 스택에 대한 지지대를 형성한다. 따라서 몇몇 보조 및 단계를 통해 개별 기판 또는 기판 스택에 대한 기판 매거진의 적응이 가능하다.

본 발명의 추가 개발에 따르면, 각각의 어댑터 플레이트는 각각의 측벽에 매달리기(suspension, 서스펜션) 위한 적어도 하나의 조립 후크(assembly hook)를 갖는다. 각 어댑터 플레이트의 서스펜션은 측벽에 간단한 조립 및 안전한 고정을 가능하게 한다. 서스펜션은 또한 조립 후크가 각 측벽에서 분리된다는 점에서 어댑터 플레이트의 간단한 분해를 허용한다. 일 실시예에 따르면, 추가적인 고정 수단들이 필요하지 않다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 각각의 어댑터 플레이트는 이미 언급된 조립 후크에 추가로 또는 대안적으로, 측벽에 대한 포지티브 잠금(positive locking, 확실한 잠금)을 위한 적어도 하나의 탄성 변위 가능한(elastically displaceable) 래칭 요소(latching element, 잠금 요소)를 갖는다. 각각의 측벽으로부터의 의도하지 않은 해제는 래칭 요소에 의해 확실하게 방지된다. 서스펜션과 달리, 래칭 요소의 사용은 간단한 병진(translatory) 어셈블리 연결 또는 이동을 허용하는 한편, 서스펜션은 또한 어댑터 플레이트의 피봇(pivot, 회전)을 필요로 한다. 설치 공간 또는 기판 매거진의 형성에 따라 순전히 병진 어셈블리 이동이 이점이 될 수 있다.

각각의 어댑터 플레이트는 특히 제1 단부(first end)에 있는 적어도 하나의 조립 후크(assembly hook), 및 제1 단부로부터 멀어지는 방향을 향하는 제2 단부에 있는 적어도 하나의 래칭 요소를 갖는다. 따라서 각각의 어댑터 플레이트는 일단에서 각각의 측벽에 매달릴 수 있고, 래칭 요소에 의해 타단에서 측벽에 확실한 방식으로 잠길 수 있다. 따라서 인쇄 회로 기판의 의도하지 않은 해제(unintentional release)는 확실히 방지된다. 고정은 또한 기판 매거진의 움직임에 응답하여 어댑터 플레이트의 덜거덕거리는 소음(rattling noise) 또는 움직임을 방지한다. 덜걱거리는 소음 및 움직임을 방지하기 위해 어댑터 플레이트와 각각의 측벽 사이에서 작용하는 탄성 완충 수단(Elastic cushioning mean)은 선택적으로 조립 후크 및/또는 각각의 래칭 요소에 할당된다. 의도한 대로 측벽에 어댑터 플레이트를 배치하는 경우, 완충 요소(cushioning element)는 선택적으로 각각 탄성 변형(elastically deformed)되거나 미리 인장(pre-tensioned)되어, 각각의 측벽에 대한 각각의 어댑터 플레이트의 고정된 배치가 보장된다.

본 발명의 추가 개발에 따르면, 여러 개의 운반 레일들이 각각의 어댑터 플레이트 상에 서로 평행하게 배열되고, 각각의 어댑터 플레이트의 인접한 운반 레일들은 인접한 가이드 레일들의 서로 간의 거리보다 더 큰 서로 간의 거리를 갖는다. 증가된 거리로 인해 기판 스택의 수신이 가능하다. 여러 운반 레일들이 있기 때문에, 어댑터 플레이트을 사용하여 여러 기판 스택들을 기판 매거진에 수용할 수 있다. 인접한 운반 레일들 또는 가이드 레일들 사이의 거리는 어댑터 플레이트가 각 측벽에 의도한 대로 배치될 때 레일 사이의 거리의 높이를 의미하는 것으로 이해되어야 한다.

본 발명의 추가 개발에 따르면, 기판 매거진 상에 배열된 어댑터 플레이트는 하나가 다른 것의 상부에 놓이는 적어도 2개의 운반 구획들(carrying compartments)을 형성한다. 따라서 매거진 시스템의 적어도 2개의 어댑터 플레이트는 각각의 경우에 2개의 운반 레일들을 가지며, 의도한 대로 사용하는 경우 동일한 높이에서 서로 마주보고 있어서, 2개의 운반 구획들이 생성된다.

더욱이 각각의 어댑터 플레이트는 어댑터 시트(adapter sheet)로 형성되고, 각각의 운반 레일은 어댑터 시트에서 잘리고 구부러진 판금 텅(sheet metal tongue)으로 형성된다. 어댑터 시트로서 각각의 어댑터 플레이트의 형성으로 인해, 어댑터 플레이트의 구조적으로 간단하고 비용 효율적인 구현이 보장된다. 운반 레일을 판금 텅으로서 구부리면, 매거진 시스템의 개별 부품 수가 더욱 최소화된다. 운반 레일은 선택적으로 각각의 어댑터 플레이트에 해제 가능하게 고정된다. 이로써 어댑터 플레이트의 운반 구획들이 예상되는 기판 스택들에 맞춰질 수 있다. 예를 들어, 어댑터 플레이트 상의 운반 레일들의 높이 거리(수직 거리)는 특정 기판 스택 크기를 수용하는 기판 매거진을 준비하기 위해 여러 단계에서 선택될 수 있다.

또한, 탄성(적으로) 변위 가능한, 특히 기판 스택을 위한 탄성적으로 변형 가능한 유지 수단(retaining mean)이 각각의 운반 레일에 할당될 수 있다. 유지 수단은 각각의 기판 매거진의 기판 스택에 위치되며, 각각의 기판 스택에 충분한 미는 힘(pushing force)을 가함으로써 해제 위치(release position)로 변형되거나 변위될 수 있다. 유지 수단은, 예를 들어, 언로딩된 상태(unloaded state)에서 각각의 운반 레일을 따라 기판 스택의 이동 경로에 놓이는 탄성 래칭 러그(elastic latching lug)이다. 2개 이상의 기판 스택들이 또한 각각의 운반 구획에서 서로 거리를 두고 옆에 나란히 배치될 수 있는 방식으로 여러 유지 수단들이 각 운반 구획에 할당되고, 그리고 유지 수단에 의해 서로 떨어져 유지된다.

또한, 기판 매거진의 적어도 하나의 측벽은 측벽들 사이의 명확한 폭이 변경될 수 있는 방식으로 이동 가능하게 장착(지지)될 수 있다. 따라서 측벽에 선택적으로 배치되는 어댑터 플레이트 사이의 명확한 너비의 조정도 마찬가지로 가능하다. 이를 통해 동일한 기판 매거진에 기판 스택과 개별 기판을 안전하게 수용하고 운송할 수 있다.

각각의 측벽은 적어도 하나의 조립 후크를 위한 적어도 하나의 개구(opening) 또는 리셉터클(receptacle)을 갖는다. 각각의 조립 후크는 각각의 개구부에 삽입되고 걸릴 수 있다. 제공된 개구부 또는 리셉터클을 통해 각 측벽에서 어댑터 플레이트의 잘못된 조립을 방지할 수 있다.

각각의 측벽은 어댑터 플레이트의 래칭 요소와 상호작용하기 위한 적어도 하나의 카운터 래칭 요소(counter latching element)를 갖는다. 예를 들어, 래칭 요소는 탄성 변위 가능한 래칭 돌출부(latching protrusion) 또는 래칭 돌출 리셉터클(latching protrusion receptacle)이고, 카운터 래칭 요소는 래칭 돌출 리셉터클 또는 탄성 변형 가능하거나 변위 가능한 래칭 돌출부이고, 래칭 돌출부 및 래칭 돌출 리셉터클은 포지티브 연결(positive connection, 확실한 연결)을 위한 해제 가능한 맞물림(engagement)을 형성하도록 한다.

또한, 어댑터 플레이트의 적어도 하나의 래칭 요소가 어댑터 플레이트와 일체로 형성될 수 있다. 따라서 래칭 요소는 어댑터 플레이트의 추가로 구부러진 판금 텅으로 형성되어, 부품 수가 더욱 최소화되고, 각 어댑터 플레이트의 간단한 조립이 보장된다.

적어도 하나의 조립 후크는 각각의 어댑터 플레이트와 일체로 형성되어, 매거진 시스템의 전반적으로 간단한 조립 및 제조를 가져온다.

본 발명에 따른 매거진 시스템은 평면 기판뿐만 아니라 기판 스택들, 즉 하나가 다른 것의 상단에 적층된 복수의 기판들에 대한 저장(또는 보관) 위치로 사용될 수 있는 이점이 있다.

본 발명은 도면들을 기초로 하여 아래에서 보다 상세하게 설명될 것이다.
도 1a 및 1b는 상이한 상태에서 기판 매거진 시스템을 도시한다.
도 2는 매거진 시스템의 어댑터 플레이트를 도시한 사시도이다.
도 3는 매거진 시스템의 2개의 어댑터 플레이트들을 도시한 평면도이다.

도 1a 및 도 1b는 각각의 경우에 기판 스택 뿐만 아니라 개별적으로 처리될 수 있는 평면 기판을 위한 매거진 시스템(1)을 도시한다. 매거진 시스템(1)은 서로 대향하여 배치되고 프레임(5)에 수직으로 서로 평행하게 배치되는 2개의 측벽들(3, 4)을 갖는 기판 매거진(2)을 갖는다. 실시 예에 따르면, 측벽(3)은 프레임(5)에 고정 배치되고 반대쪽 측벽(4)은 레일 시스템(6)에 의해 가로로 이동될 수 있도록 프레임(5)에 유지되며, 화살표(7)를 따라 측벽(4)을 이동하여 측벽들(3, 4) 사이의 명확한 폭을 변경할 수 있다. 측벽들 사이에는 복수의 구획들(10)이 형성되어 있으며, 이 구획은 하나가 다른 구획 위에 놓여 배치되고 측벽(4)의 이동에 의해 폭이 변경될 수 있다. 이에 의해 구획들(10)은 각각의 측벽(3, 4)에 배치되고 높이가 균일하게 이격되어 서로 평행하게 정렬되는 가이드 레일들(11)에 의해 형성되고, 여기서 2개의 가이드 레일들(11)은 각각의 경우 동일한 높이에서 측벽들(3, 4)에 놓여, 예를 들어, 인쇄 회로 기판, 웨이퍼 또는 태양 전지와 같은 개별 평면 기판에 대한 슬라이딩 지지체(sliding support)를 함께 형성한다. 그 위에 위치한 각각의 가이드 레일은 그 아래에 위치한 슬라이딩 리셉터클의 적재 공간의 높이를 제한하고, 따라서 각각의 경우 그 아래에 위치한 가이드 레일과 함께 구획을 형성한다.

도 1b는 다른 상태의 매거진 시스템(1)을 도시한다. 평면 기판들의 기판 스택들을 수용하도록 기판 매거진(2)을 적응시키는 목적을 제공하는 2개의 어댑터 플레이트(12, 13)가 기판 매거진(2) 상에 배치된다. 따라서 기판 스택은 하나가 다른 것의 상단에 직접 적층되고 함께 처리되는 복수의 개별 기판들로 이해된다. 이에 의해 개별 기판들은 특히 기판 스택에서 서로에 대해 같은 높이로 정렬되어, 기판 스택의 외부 윤곽은 개별 기판의 외부 윤곽에 대응하고, 기판 스택의 높이는 하나가 다른 것의 상부에 놓이는 개별 기판들의 수에 의해 결정된다.

어댑터 플레이트(12, 13)는 동일한 방식으로, 또는 동일하게 형성된다. 어댑터 플레이트(12, 13)의 설명을 위해, 도 2는 어댑터 플레이트(12)를 도시한 사시도이다. 어댑터 플레이트(12)는 어댑터 시트 플레이트(14)로서 형성되고, 그 높이(H)는 적어도 본질적으로 각각의 측벽(3, 4)의 높이에 대응하고, 그리고 그 깊이(T)는 적어도 본질적으로 측벽(3, 4)의 깊이에 상응한다. 단부(15)에서, 어댑터 플레이트(12)는 각각의 측벽(3, 4)에 고정하기 위한 고정 수단으로서 서로 옆에 배열된 2개의 조립 후크(16)들을 갖는다. 조립 후크(16)들은 측벽(3)의 상부 에지(17) 뒤에 맞물리도록 형성되어, 도 1b에 도시된 바와 같이, 어댑터 플레이트(12)가 측벽(3)에 부착될 수 있다.

어댑터 플레이트(12)는 서로 평행하게 정렬되는 복수 개의 운반 레일들(18)을 더 갖는다. 그에 따라 운반 레일들(18)은 어댑터 플레이트(12)의 깊이 연장부로 연장되고, 높이(H) 방향으로 측벽들(3, 4)의 인접한 가이드 레일들(11)의 거리보다 더 큰 서로 간의 거리를 갖는다. 인접한 운반 레일들(18) 사이의 거리는 각각의 운반 레일이 미리 결정된 최대 수의 개별 기판들을 갖는 기판 스택을 수용하기 위한 운반 구획들(19)을 제공되는 방식으로 선택된다.

도 3은 2개의 제2 어댑터 플레이트(12, 13)를 도시하는 평면도이다. 어댑터 플레이트(12, 13)의 동일한 형성으로 인해, 운반 레일들(18)은 의도한 바와 같이 기판 매거진(2)에 조립되는 경우 동일한 높이에 놓이고, 각각의 경우에 서로 마주보는 2개의 운반 레일들(18)이 각각의 기판 스택을 위한 리셉터클(20)을 형성하도록 한다.

실시 예에 따르면, 운반 레일들(18)은 각각의 어댑터 시트 위로 연속적으로 연장되지 않고, 길이 방향(longitudinal) 연장이 중단되도록 형성된다. 운반 레일들(18) 각각은 어댑터 시트에서 분리된 여러 판금 텅들(21), 특히 절단된 및 밖으로 구부러진 판금 텅들(21)에 의해 형성된다.

조립 후크(16)는 또한 각각의 어댑터 플레이트(12)의 구부러진 시트 섹션으로서 형성되어, 어댑터 플레이트(12) 전체가 일체형으로 형성되고, 따라서 개별 부품의 수가 최소화되고 생산 비용이 최소화되고 조립 노력이 줄어든다.

각각의 어댑터 플레이트(12, 13)는 도 1b에 도시된 바와 같이, 각각의 조립 후크(16)에 의해 각각의 측벽(3, 4)에 조립될 수 있어, 대향되는 어댑터 플레이트(12, 13)의 운반 레일들(18)이 동일한 높이에서 서로 반대편에 위치하도록 위치되고, 그리고 기판 스택을 위한 각각의 운반 구획들(19) 또는 각각의 리셉터클(20)을 형성한다. 운반 레일들(18)의 수는 가이드 레일들(11)의 수보다 현저히 적고, 위에서 이미 언급했듯이, 인접한 운반 레일들(18)의 높이 거리가 증가되어, 인쇄 회로 기판 스택 또는 기판 스택을 각각 수용하는 데 적합하다.

측벽(3)이 이동 가능하게 지지된다는 사실로 인해, 어댑터 플레이트(12, 13) 사이의 명확한 폭도 설정될 수 있다. 따라서 동일한 기판 매거진(2)을 사용하여 구획들(10)에 개별 기판을 넣고, 가이드 레일들(11)과 동일한 기판 스택을 사용하여 구획의 가장자리 영역에 안전하게 보관할 수 있고, 이 스택은 그 다음 운반 레일에 배치될 수 있다. 이를 위해, 측벽(4)은 측벽(3)으로부터 약간만 제거되어 어댑터 플레이트(12, 13) 사이의 명확한 폭은 측벽(3, 4) 사이의 이전의 명확한 폭에 대응한다.

유지 수단(Retaining mean)(22)은 도 1b에 의해 도시된 바와 같이, 기판 스택의 이동 경로에 있는 운반 레일들(18) 중 하나에 대해 선택적으로 할당된다. 유지 수단(22)은, 예를 들어, 탄성적으로 변위 가능한 래칭 러그(latching lug)로서 형성되며, 충분히 높은 미는 힘이 가해질 때 탄성 변형 하에 기판 스택에 의해 이동 경로 밖으로 밀려날 수 있다. 유지 수단(22)은 의도하지 않은 이동 또는 변위로부터 기판 매거진(2) 내의 각각의 기판 스택을 보호한다. 특히, 각각의 가이드 레일은 또한 적어도 하나, 바람직하게는 복수의 이러한 유지 수단이 할당되며, 이는 기판 매거진(2)이 이동할 때 복수의 기판이 구획들(10)에서 서로 옆에 유지되어 서로에 대해 슬라이딩하거나 서로 밀어내는 것을 방지한다.

특히, 조립 후크(16)로부터 멀어지는 방향을 향하는 제2 단부(23)에서, 어댑터 플레이트(12, 13)는 또한 선택적으로 래칭 후크 형태의 하나 또는 여러 개의 탄성 변형 가능한 래칭 요소(24)를 가지며, 이는 조립된 상태에서 각각의 측벽(3, 4) 뒤에서 포지티브 방식(positive manner)으로 맞물리는 방식으로 탄성 변형 하에 각 측벽(3, 4)의 래칭 개구 내로 도입될 수 있다. 따라서 어댑터 플레이트(12, 13)는 특히 안전한 방식으로 측벽(3, 4)에 고정될 수 있다.

매거진 시스템(1)은 복수 쌍의 어댑터 플레이트(12, 13)를 가질 수 있고, 어댑터 플레이트 쌍은, 예를 들어, 운반 레일들(18)의 수 및 간격이 서로 상이하다. 따라서 상이한 기판 스택 높이에서 기판 매거진(2)의 적응이 가능해진다.

1: 매거진 시스템
10: 구획들
11: 가이들 레일들
12, 13: 어댑터 플레이트
14: 어댑터 시트 플레이트
15: 제1 단부
16: 조립 후크
17: 상부 에지
18: 운반 레일들
19: 운반 구획들
2: 기판 매거진
22: 유지 수단
23: 제2 단부
24: 래칭 요소
3, 4: 측벽

Claims

평면 기판, 특히 웨이퍼, 태양 전지 또는 인쇄 회로 기판(PCB)에 대한 생산 라인용 매거진 시스템(1)에 있어서,
서로 대향하여 배치되고 수직으로 정렬된 2개의 측벽들(3, 4) 및 상기 측벽들(3, 4) 사이에 형성되고, 각각에 하나 이상의 기판들이 삽입될 수 있는 복수의 구획들(10)을 갖는 적어도 하나의 기판 매거진(2)을 포함하고,
상기 각각의 구획은 상기 측벽들(3, 4)에서 서로 거리를 두고 평행하게 배열된 2개의 가이드 레일들(11)을 포함하고,
상기 매거진 시스템(1)은 각각의 측벽(3, 4)에 대해 적어도 하나의 어댑터 플레이트(12, 13)를 포함하고,
상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은 상기 측벽들(3, 4) 중 하나에 해제 가능하게 고정하기 위한 고정 수단을 포함하고,
상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은, 각 측면에서, 상기 측벽들(3, 4)에 고정될 때 함께 기판 스택용 지지체를 형성하는 하나 이상의 운반 레일들(18)을 포함하는 매거진 시스템(1).
제1 항에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은 상기 측벽들(3, 4) 각각에 매달리기(suspension) 위한 적어도 하나의 조립 후크(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 및 제2 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은 상기 측벽들(3, 4) 각각에 대한 잠금을 위한 적어도 하나의 탄성 변위 가능한 래칭 요소(24)를 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은 제1 단부(15)에 있는 적어도 하나의 조립 후크(16) 및 상기 제1 단부(15)로부터 멀어지는 방향을 향하는 제2 단부(23)에 있는 적어도 하나의 래칭 요소(24)를 포함하는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하나 이상의 운반 레일들(18)은 상기 어댑터 플레이트(12, 13) 상에 서로 평행하게 배치되고, 인접한 운반 레일들(18)은 인접한 가이드 레일들(11)의 서로에 대한 거리 보다 큰 서로에 대한 거리를 갖는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 매거진(2) 상에 배열되는 상기 어댑터 플레이트(12, 13)는 기판 스택들 중 하나가 다른 것의 상부에 놓이는 적어도 2개의 운반 구획들(19)을 형성하는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각은 어댑터 시트로 형성되고, 각각의 운반 레일(18)은 상기 어댑터 시트에서 적어도 잘리고 구부러진 판금 텅(tongue)(21)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 각각의 운반 레일(18)은 상기 어댑터 플레이트(12, 13) 각각에 고정되거나 해제 가능하게 고정되는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 각각의 운반 레일(18)에는 기판 스택을 위한 적어도 하나의 탄성 변위 가능, 특히 변형 가능한 유지 수단(22)이 할당되는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 매거진의 적어도 하나의 측벽(4)은 상기 측벽들(3, 4) 사이의 명확한 폭이 변경될 수 있는 방식으로 이동 가능한 방식으로 지지되는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 측벽들(3, 4) 각각은 적어도 하나의 조립 후크(16)를 위한 적어도 하나의 개구 또는 리셉터클(receptacle)을 갖는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 측벽들(3, 4) 각각은 상기 어댑터 플레이트(12, 13)의 상기 래칭 요소(24)와 상호작용하기 위한 적어도 하나의 카운터 래칭 요소(counter latching element)를 갖는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(12, 13)의 상기 적어도 하나의 래칭 요소(24)는 상기 어댑터 플레이트(12, 13)와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).
제1 항 내지 제13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 조립 후크(16)는 상기 어댑터 플레이트(12, 13)와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 매거진 시스템(1).