KR20220046404A - 조습 가스 발생 장치 - Google Patents
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Abstract
반도체 제조 공정에 적용 가능하게 하기 위한 조습 가스 발생 장치의 개량을 제공한다.
조습 가스 발생 장치(1)는, 가스 영역 G와 가스 영역 G의 하방에 있는 저수 영역 W를 내부에 갖는 포화조 본체(2)와, 포화조 본체(2)의 내부에 배치된 가스 환류 장치(4)를 갖고, 가스 환류 장치(4)는, 가스 복귀관(40)과, 가스 송출관(41)과, 배수관(42)과, 트랩 상자(43)를 갖고, 가스 복귀관(40)은, 가스 영역 G 내에 배치된 가스 입구(40a)로부터 저수 영역 W 내를 통과하여 트랩 상자(43) 내에 배치된 가스 출구(40b)에 이르고, 가스 송출관(41)은, 트랩 상자(43) 내에 배치된 가스 송입구(41a)로부터 포화조 본체(2)의 외부에 배치된 가스 송출구(41b)에 이르고, 배수관(42)은, 트랩 상자(43) 내에 배치된 수입구(42a)로부터 포화조 본체(2)의 외부에 배치된 수출구(42b)에 이른다.
조습 가스 발생 장치(1)는, 가스 영역 G와 가스 영역 G의 하방에 있는 저수 영역 W를 내부에 갖는 포화조 본체(2)와, 포화조 본체(2)의 내부에 배치된 가스 환류 장치(4)를 갖고, 가스 환류 장치(4)는, 가스 복귀관(40)과, 가스 송출관(41)과, 배수관(42)과, 트랩 상자(43)를 갖고, 가스 복귀관(40)은, 가스 영역 G 내에 배치된 가스 입구(40a)로부터 저수 영역 W 내를 통과하여 트랩 상자(43) 내에 배치된 가스 출구(40b)에 이르고, 가스 송출관(41)은, 트랩 상자(43) 내에 배치된 가스 송입구(41a)로부터 포화조 본체(2)의 외부에 배치된 가스 송출구(41b)에 이르고, 배수관(42)은, 트랩 상자(43) 내에 배치된 수입구(42a)로부터 포화조 본체(2)의 외부에 배치된 수출구(42b)에 이른다.
Description
본 발명은, 원하는 습도로 조정된 가스를 발생시키는 조습 가스 발생 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1은 정습 가스 발생 장치의 포화조를 개시한다. 그 개시에 따르면 포화조 본체 내에 기체 도출관이 마련된다. 포화조 본체의 내부는, 상부의 공간 부분을 남기고 물이 충전된다. 기체 도출관은 포화조 본체 내의 공간 부분으로부터 수중을 통과하여 수면 하의 기체 출구에 이른다.
포화조 본체 내의 물의 온도가 희망 온도로 제어되고, 공간 부분의 온도가 수온보다 높게 제어된다. 포화조의 저부로부터 기체가 기포의 형태로 수중으로 도입된다. 기포는 수중을 통과하는 동안에 포화 기체로 되어 상부 공간에 이른다. 기체는 상부 공간에서 증습되고 그 후에 기체 도출관에 들어간다. 기체가 기체 도출관을 통과하는 동안에 여분의 수증기가 응축하여, 수온에 상당하는 포화 수증기압의 기체로 되어 기체 출구로부터 외부로 송출된다.
이 포화조를 사용하면 항온 수조가 불필요하므로 정습 가스 발생 장치를 소형화할 수 있다.
정습 가스 발생 장치의 용도의 일례로서, 반도체 제조 공정에 있어서의 실리콘 웨이퍼의 드라이 세정을 들 수 있으며, 그곳에서는 습도가 소정값으로 조정된 가스가 사용된다.
반도체 제조 공정의 드라이 세정용 조습 가스를 생성하는 조습 가스 발생 장치는, 복수의 고도의 요구 성능을 만족시킬 필요가 있다. 예를 들어 순수에 대한 양호한 내구성, 장수명을 위한 보수 관리의 용이성, 출력 가스의 높은 클린성(함유하는 금속 이온 등의 불순물을 극도의 저농도), 습도 제어의 고정밀도, 소형성 및 저비용성 등이다.
특허문헌 1의 개시는, 소형성 및 저비용성에 있어서 우수한 정습 가스 발생 장치를 교시하고 있지만, 반도체 제조 공정에 대한 적용을 가능하게 하기 위해서는 불충분하여 추가적인 개량이 요구된다.
본 발명의 하나의 목적은, 반도체 제조 공정에 적용 가능하게 하기 위한 조습 가스 발생 장치의 개량을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 내수성, 보수 관리성, 출력 가스의 클린성, 또는 출력 가스의 습도의 제어성에 있어서 뛰어난 조습 가스 발생 장치의 개량을 제공하는 것에 있다.
일 실시 형태를 따르는 조습 가스 발생 장치는, 가스 영역과 가스 영역의 하방에 있는 저수 영역을 내부에 갖는 포화조 본체와, 포화조 본체의 내부에 배치된 가스 환류 장치를 갖는다.
가스 환류 장치는, 가스 복귀관과, 가스 송출관과, 배수관과, 트랩 상자를 갖는다. 가스 복귀관은, 가스 영역 내에 배치된 가스 입구로부터 저수 영역 내를 통과하여 트랩 상자 내에 배치된 가스 출구에 이른다. 가스 송출관은, 트랩 상자 내에 배치된 가스 송입구로부터 포화조 본체의 외부에 배치된 가스 송출구에 이른다. 배수관은, 트랩 상자 내에 배치된 수입구로부터 포화조 본체의 외부에 배치된 수출구에 이른다.
이상과 같이 구성된 조습 가스 발생 장치는 종래의 조습 가스 발생 장치와 비교하여, 내수성, 보수 관리성, 출력 가스의 클린성, 또는 출력 가스의 습도의 제어성에 있어서 종래의 조습 가스 발생 장치보다 우수할 것으로 기대할 수 있다.
도 1은 일 실시 형태에 따른 조습 가스 발생 장치의 종단면도이다.
도 2는 일 실시 형태에 따른 조습 가스 발생 장치의 플랜지부를 확대하여 도시한 종단면도이다.
도 3은 일 실시 형태에 따른 조습 가스 발생 장치의 가스 환류 장치의 횡단면도이다.
도 2는 일 실시 형태에 따른 조습 가스 발생 장치의 플랜지부를 확대하여 도시한 종단면도이다.
도 3은 일 실시 형태에 따른 조습 가스 발생 장치의 가스 환류 장치의 횡단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한 이하에 설명하는 실시 형태는 청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것은 아니며, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 여러 요소 및 그 조합 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.
도 1은, 일 실시 형태에 따른 조습 가스 발생 장치의 종단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일 실시 형태에 따른 조습 가스 발생 장치(1)는, 포화조 본체(2)와, 예비 물탱크(3)와, 가스 환류 장치(4)를 구비한다.
포화조 본체(2)는, 전체로서 상하로 가늘고 긴 거의 원통 또는 다각통(예를 들어 정사각통)의 형상을 갖는다. 포화조 본체(2)는, 상측 캡부(20)와, 중앙 동체부(21)와, 바닥 베이스부(22)의 3개의 부품으로 구성된다. 포화조 본체(2)의 이들 부품의 주재료는 내구성이 높은 금속, 예를 들어 스테인리스 스틸이다.
상측 캡부(20)의 주위벽의 하단면에 중앙 동체부(21)의 주위벽의 상단면이 밀착되고, 중앙 동체부(21)의 주위벽의 하단면에 바닥 베이스부(22)의 중앙부의 상면이 밀착되는 양태에서, 이들 3개의 부품이 순차로 결합되어 포화조 본체(2)가 형성된다. 이들 3개의 부품 간의 결합은, 상측 캡부(20)의 주위벽의 하단부의 플랜지(20a)와 중앙 동체부(21)의 주위벽의 상단부의 플랜지(21a) 사이의 볼트 체결과, 중앙 동체부(21)의 주위벽의 하단부의 플랜지(21b)와 바닥 베이스부(22)의 외연측의 플랜지(22a) 사이의 볼트 결합에 의하여 이루어진다. 따라서 그것들 볼트 체결을 해제하면 포화조 본체(2)는 3개의 부품으로 분해된다.
조습 가스 발생 장치(1)의 작동 시에는 포화조 본체(2)의 내부에, 그 상부의 가스가 존재해야 하는 영역을 남기고 물이 충전된다. 조습 가스 발생 장치(1)가 실리콘 웨이퍼의 드라이 세정에 이용되는 경우, 포화조 본체(2)에 충전되는 물은 초순수이다. 포화조 본체(2) 내의 물이 충전된 영역을 이하, 저수 영역 W라 하고, 상부의 가스 영역을 이하, 가스 영역 G라 한다.
포화조 본체(2)의 상측 캡부(20)와 중앙 동체부(21)의 높이 치수는, 다음의 조건을 만족시키도록 선택된다. 즉, 수면은, 중앙 동체부(21)의 거의 상측 절반의 높이 영역에 있어서 상측 캡부(20)에 도달하는 일은 없으며, 따라서 항시 상측 캡부(20)의 내부는 가스 영역 G에 해당한다.
포화조 본체(2)의 상측 캡부(20)의 주위벽의 외표면에, 가스 영역 G 내의 가스를 가열하기 위한 가스 히터(가온부)(5)가 마련된다. 상측 캡부(20)는, 그 외표면의 대부분이 가스 히터(5)로 뒤덮혀 있어도 된다.
포화조 본체(2)의 내부의 하부, 예를 들어 바닥 베이스부(22)에 가까운 높이 위치에, 저수 영역 W의 물을 가열하기 위한 물 히터(6)가 배치된다. 또한 히터는, 포화조 본체(2)의 벽, 예를 들어 중앙 동체부(21)의 주위벽의 외면에 배치되어도 된다. 물 히터(6) 대신, 물의 과열과 냉각을 행할 수 있는 물 히터·쿨러, 예를 들어 펠티에 효과를 이용한 히트 펌프가 포화조 본체(2)의 벽의 외표면에 밀착되어 있어도 된다.
포화조 본체(2)의 바닥 베이스부(22)의 벽 내에는 가스 도입로(22b)가 형성된다. 가스 도입로(22b)의 가스 입구(22c)는 바닥 베이스부(22)의 벽의 외표면에 개구되고, 그 가스 출구(22d)는 바닥 베이스부(22)의 벽의 저수 영역 W를 향하여 개구된다. 그 가스 출구(22d)에는, 그로부터 저수 영역 W로 방출되는 가스를 미세한 기포 B로 하기 위한 다공체(7)가 마련된다.
포화조 본체(2)의 외부에 예비 물탱크(3)가 배치된다. 예비 물탱크(3)는 상측부(30)와 하측부(31)를 갖는다. 상측부(30)의 주위벽의 하단면에 하측부(31)의 벽의 상면이 밀착되는 양태에서, 이들 2개의 부품이 결합되어 예비 물탱크(3)가 형성된다. 이들 2개의 부품 간의 결합은, 상측부(30)의 주위벽의 하단부의 플랜지(30a)와 하측부(31)의 외연측의 플랜지(31a) 사이의 볼트 결합에 의하여 이루어진다. 따라서 그것들 볼트 체결을 해제하면 예비 물탱크(3)는 2개의 부품으로 분해될 수 있다.
예비 물탱크(3)의 주재료는 내구성이 높은 금속, 예를 들어 스테인리스 스틸이다.
예비 물탱크(3)의 상측부(30)의 벽, 예를 들어 천장벽에 개구(30b)가 마련되고, 포화조 본체(2)의 상측 캡부(20)의 상부의 벽에도 개구(20b)가 마련되며, 양 개구(30b, 20b)가 가스 연통관(8)으로 접속된다. 또한 예비 물탱크(3)의 하측부(31)의 벽, 예를 들어 저벽에 개구(31b)가 마련되고, 포화조 본체(2)의 하부의 벽, 예를 들어 중앙 동체부(21)의 하부의 주위벽에도 개구(21c)가 마련되며, 양 개구(31b, 21c)가 물 연통관(9)으로 접속된다.
예비 물탱크(3)의 높이 치수와, 포화조 본체(2)에 대한 배치의 높이는, 다음의 조건을 만족시키도록 선택된다. 즉, 그 수면의 높이는 예비 물탱크(3)의 내부의 높이 치수 내에 든다. 따라서 예비 물탱크(3)의 내부의 수면 높이와 포화조 본체(2) 내의 수면 높이는 동등하며, 예비 물탱크(3)의 내부에도 마찬가지로 가스 영역 G와 저수 영역 W가 존재한다.
이와 같이, 예비 물탱크(3)의 내부와 포화조 본체(2)의 내부는 가스 영역 G와 저수 영역 W의 양쪽에서 연통되어 있다. 따라서 포화조 본체(2) 내부에서 물이 소비되어 줄어들면, 예비 물탱크(3)로부터 포화조 본체(2) 내부로 물이 보충된다.
예비 물탱크(3)의 벽에는 다른 개구(30c)가 마련되어 있으며, 그 개구(30c)에는 급수관(10)이 접속된다. 포화조 내의 수위가 지나치게 낮아진 경우, 급수관(10)으로부터 예비 물탱크(3) 내로 수동 또는 자동으로 물을 보급할 수 있다.
포화조 본체(2)의 내부에 가스 환류 장치(4)가 배치된다. 가스 환류 장치(4)는, 가스 복귀관(40)과, 가스 송출관(41)과, 배수관(42)과, 트랩 상자(43)를 구비한다. 가스 환류 장치(4)의 주재료는 내구성이 높은 금속, 예를 들어 스테인리스 스틸이다.
가스 복귀관(40)은 거의 직선적인 형상으로 상하 방향, 예를 들어 거의 수직으로 배치되며, 그 상단에 가스 입구(40a), 하단에 가스 출구(40b)를 갖는다. 가스 복귀관(40)의 가스 입구(40a)는, 포화조 본체(2) 내의 가스 영역 G의 상부, 예를 들어 상측 캡부(20)의 천장벽에 가까운 위치에 배치된다. 가스 복귀관(40)은 가스 영역 G 내의 가스 입구(40a)로부터 저수 영역 W 내를 통과하여 트랩 상자(43)의 내부의 가스 출구(40b)에 이른다.
가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)는, 트랩 상자(43)의 내부의 최상 위치보다 낮은 위치, 예를 들어 트랩 상자(43)의 천장벽으로부터 소정 거리만큼 낮아진 위치에 배치된다. 가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)의 근방 부분은, 수직에 대하여 비스듬히 경사지게 구부러져 가스 출구(40b)에 이른다(도 3 참조). 그리고 가스 출구(40b)의 수평면에서의 방향은, 그 가스 출구(40b)로부터 본 수평면에서의 가스 송출관(41)의 가스 송입구(41a)가 존재하는 방향과는 다른 방향이다. 따라서 가스 출구(40b)로부터 분출되는 가스류는, 가스 송출관(41)의 가스 송입구(41a)와는 다른 방향을 향한다.
또한 도 3에 도시한 바와 같이, 가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)의 전단면(40c)은 거의 원형인데, 그 원형의 단면의 적어도 일부가 트랩 상자(43)의 내면에 접하도록 경사 방향으로 커트되어 있다. 보다 상세하게는, 가스 출구(40b)는 트랩 상자(43)의 내벽의 내면의 근방에 배치되어 그 벽의 내면을 향하고 있고, 또한 가스 출구(40b)의 일부분(예를 들어 가스 출구(40b) 중에서 가장 앞쪽으로 연장된 선단부)이 트랩 상자(43)의 내면에 접촉하고 있다.
이상의 구성에 의하여, 가스가 가스 복귀관(40) 내를 통과하는 동안에 응축한 물이 가스 출구(40b)로부터 나와 트랩 상자(43) 내로 낙하할 때, 그것이, 가스 출구(40b)로부터 분출되는 가스류에 운반되어 가스 송출관(41)의 가스 입구(40a)로 들어가 버리는 문제가 저감된다.
또한 도 3에 도시한 바와 같이, 가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)에 있어서의 가스 복귀관(40)의 중심축은, 트랩 상자(43)의 내벽의 내면에 대하여 둘레 방향으로 경사진 방향으로 되어 있다.
가스 영역 G 내의 가스 복귀관(40)의 가스 입구(40a)와 거의 동일한 높이에, 가스의 온도를 검출하는 가스 온도 센서(11)가 배치된다. 이 가스 온도 센서(11)의 검출 신호는, 포화조 본체(2)의 외부에 배치된, 도시하지 않은 제어 장치에 입력되어, 가스 히터에 의한 가스 온도 제어에 이용된다.
가스 송출관(41)은, 예를 들어 역L자형으로 구부러진 형상을 갖고 상하 방향으로 배치되어, 그 거의 수직으로 선 부분의 하단에 가스 송입구(41a)를 갖고, 그 거의 수평으로 배치된 부분의 상단에 가스 송출구(41b)를 갖는다.
가스 송출관(41)의 가스 송입구(41a)는, 트랩 상자(43)의 내부의 가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)보다 높은 위치에 배치된다. 가스 송출관(41)은 가스 송입구(41a)로부터 위로 신장되어 트랩 상자(43)의 밖으로 나가 저수 영역 W 내로 들어가, 그곳에서 거의 수평으로 방향을 바꾸고 나서 중앙 동체부(21)의 벽의 수면보다 하방의 개소를 관통하여, 포화조 본체(2)의 외부에 배치된 가스 송출구(41b)에 이른다.
저수 영역 W 내의 가스 송출관(41)과 거의 동일한 높이에, 물의 온도를 검출하는 수온 센서(12)가 배치된다. 이 수온 센서(12)의 검출 신호는, 포화조 본체(2)의 외부에 배치된, 도시하지 않은 제어 장치에 입력되어, 물 히터(6)에 의한 물의 온도 제어에 이용된다.
배수관(42)은, 트랩 상자(43)의 내부의 거의 최하부에 배치된 수입구(42a)와, 포화조 본체(2)의 외부에 배치된 수출구(42b)를 갖는다. 배수관(42)은 수입구(42a)로부터 신장되어 트랩 상자(43)의 밖으로 나가, 중앙 동체부(21)의 벽을 관통하여 포화조 본체(2)의 외부로 나간다.
트랩 상자(43)는, 포화조 본체(2)의 중앙 동체부(21) 내의 저수 영역 W 내이면서, 전술한 물 히터(6)보다 높은 높이의 위치에 배치된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 트랩 상자(43)의 수평 단면적은 가스 복귀관(40)의 수평 단면적보다 크고, 트랩 상자(43) 내에서 가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)와 가스 송출관(41)의 가스 입구(40a)는, 수평 방향에 있어서 소정 거리만큼 떨어져 배치된다. 그리고 전술한 바와 같이 트랩 상자(43) 내에서는, 가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)가, 그 가스 출구(40b)로부터 가스 송출관(41)의 가스 입구(40a)를 본 방향과는 다른 방향을 향한다. 또한 트랩 상자(43)는 소정값 이상의 높이 치수를 갖고, 트랩 상자(43) 내에서 가스 복귀관(40)의 가스 출구(40b)는 가스 송출관(41)의 가스 입구(40a)보다 낮은 위치에 배치된다. 또한 트랩 상자(43)의 내부에서, 물이 고이게 되는 트랩 상자(43)의 저면으로부터 소정 높이만큼 떨어진 높은 위치에 가스 송출관(41)의 가스 송입구(41a)가 배치된다.
포화조 본체(2)의 가스 영역 G와 저수 영역 W에 접하는 내표면의 전체면은, 순수에 대한 내구가 포화조 본체(2)의 주재료, 예를 들어 스테인리스 스틸보다 더 높은 내식성 재료, 예를 들어 불소 수지(예를 들어 테플론(등록 상표))의 층으로 코트된다. 도 2에 도시한 바와 같이, 포화조 본체(2)의 상측 캡부(20)와 중앙 동체부(21)의 상호의 밀착면(양쪽의 플랜지(20a, 21a)의 상대향하는 밀착면), 및 중앙 동체부(21)와 바닥 베이스부(22)의 상호의 밀착면(양쪽의 플랜지의 밀착면)도, 동일한 내식성 재료의 층으로 코트된다.
예비 물탱크(3)의 가스 영역 G와 저수 영역 W에 접하는 내표면도, 동일한 내식성 재료의 층으로 코트된다. 예비 물탱크(3)의 상측부(30)와 하측부(31)의 상호의 밀착면(양쪽의 플랜지(30a, 31a)의 상대향하는 밀착면)도, 동일한 내식성 재료의 층으로 코트된다.
가스 환류 장치(4)의 가스 영역 G와 저수 영역 W에 접하는 외표면(예를 들어 트랩 상자(43)의 외표면)도, 동일한 내식성 재료의 층으로 코트된다.
이상 설명한 본 실시 형태의 조습 가스 발생 장치(1)는 종래의 조습 가스 발생 장치와 비교하여, 내수성, 보수 관리성, 출력 가스의 클린성, 또는 출력 가스의 습도의 제어성에 있어서 종래의 조습 가스 발생 장치보다 우수할 것으로 기대할 수 있다.
본 실시 형태의 조습 가스 발생 장치(1)는 반도체 제조 공정의 드라이 세정 공정에 적합하게 사용할 수 있으며, 또한 다른 반도체 제조 공정, 예를 들어 노광 공정에 있어서의 스테퍼 내의 분위기의 조습, 스핀 코터 등에 의한 도장 공정에 있어서의 분위기의 조습 등에도 적합하게 사용할 수 있다.
또한 본 발명은 상기한 실시예에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형예가 포함된다. 예를 들어 상기한 실시예는, 본 발명을 알기 쉽게 설명하기 위하여 상세히 설명한 것이며, 반드시 설명한 모든 구성을 구비하는 것에 한정되는 것은 아니다. 또한 일 실시예의 구성의 일부를 다른 실시예의 구성으로 치환하는 것이 가능하고, 또한 일 실시예의 구성에 다른 실시예의 구성을 추가하는 것도 가능하다. 또한 각 실시예의 구성의 일부에 대하여, 다른 구성의 추가·삭제·치환을 하는 것이 가능하다.
또한 도시한 각 구성 요소의 치수, 형상 등은 반드시 정확히 도시되어 있다고는 할 수 없으며, 본 실시 형태의 특징을 강조하기 위하여 적절히 수정되어 있는 일도 있을 수 있다.
1: 조습 가스 발생 장치
2: 포화조 본체
3: 예비 물탱크
4: 가스 환류 장치
5: 가스 히터(가온부)
20: 상측 캡부
20a: 플랜지
21: 중앙 동체부
21a: 플랜지
22: 바닥 베이스부
30: 상측부
30a: 플랜지
31: 하측부
31a: 플랜지
40: 가스 복귀관
40a: 가스 입구
40b: 가스 출구
40c: 전단면
41: 가스 송출관
41a: 가스 송입구
41b: 가스 송출구
42: 배수관
42a: 수입구
42b: 수출구
43: 트랩 상자
G: 가스 영역
W: 저수 영역
2: 포화조 본체
3: 예비 물탱크
4: 가스 환류 장치
5: 가스 히터(가온부)
20: 상측 캡부
20a: 플랜지
21: 중앙 동체부
21a: 플랜지
22: 바닥 베이스부
30: 상측부
30a: 플랜지
31: 하측부
31a: 플랜지
40: 가스 복귀관
40a: 가스 입구
40b: 가스 출구
40c: 전단면
41: 가스 송출관
41a: 가스 송입구
41b: 가스 송출구
42: 배수관
42a: 수입구
42b: 수출구
43: 트랩 상자
G: 가스 영역
W: 저수 영역
Claims (10)
- 가스 영역과 상기 가스 영역의 하방에 있는 저수 영역을 내부에 갖는 포화조 본체와,
상기 포화조 본체의 내부에 배치된 가스 환류 장치
를 갖고,
상기 가스 환류 장치는, 가스 복귀관과, 가스 송출관과, 배수관과, 트랩 상자를 갖고,
상기 가스 복귀관은, 상기 가스 영역 내에 배치된 가스 입구로부터 상기 저수 영역 내를 통과하여 상기 트랩 상자 내에 배치된 가스 출구에 이르고,
상기 가스 송출관은, 상기 트랩 상자 내에 배치된 가스 송입구로부터 상기 포화조 본체의 외부에 배치된 가스 송출구에 이르고,
상기 배수관은, 상기 트랩 상자 내에 배치된 수입구로부터 상기 포화조 본체의 외부에 배치된 수출구에 이르는,
조습 가스 발생 장치. - 제1항에 있어서,
상기 가스 출구의 하단은, 상기 트랩 상자 내에 있어서 상기 가스 송입구의 하단보다 하방에 위치하는 것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제1항에 있어서,
상기 포화조 본체는, 상측 캡부와, 상기 상측 캡부의 하단에 결합된 중간 동체부와, 상기 중간 동체부의 하단에 결합된 바닥 베이스부를 갖고,
상기 중간 동체부의 내측에 상기 트랩 상자가 배치되어 있는
것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제3항에 있어서,
상기 포화조 본체는, 상기 상측 캡부와 상기 중간 동체부와 상기 바닥 베이스부의 상호 결합을 해제함으로써, 서로 분리된 상기 상측 캡부와 상기 중간 동체부와 상기 바닥 베이스부로 분해할 수 있는
것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제1항에 있어서,
상기 포화조 본체의 내표면은, 순수에 대한 내식성을 갖는 내식성 수지의 층으로 코트되고,
상기 가스 환류 장치의 외표면은, 순수에 대한 내식성을 갖는 내식성 수지의 층으로 코트되어 있는
것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제3항에 있어서,
상기 상측 캡부의 하단부 및 상기 중간 동체부의 상단부에는 각각, 상기 포화조 본체의 외방으로 돌출하는 플랜지부가 형성되고,
이들 플랜지부의 상대하는 면은, 순수에 대한 내식성을 갖는 내식성 수지의 층으로 코트되어 있는
것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제1항에 있어서,
상기 가스 출구의 적어도 일부는 상기 트랩 상자의 내면에 접해 있는 것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제1항에 있어서,
상기 가스 복귀관의 일부는, 상기 가스 출구로부터 배출되는 가스가, 상기 트랩 상자를 상면으로 보았을 때 트랩 상자 내에 있어서 회전류를 형성하도록 만곡되어 있는 것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제3항에 있어서,
상기 가스 영역과 상기 저수 영역 사이의 경계는 적어도 상기 중간 동체부의 내면에 위치하고,
상기 상측 캡부의 외표면에는 이 상측 캡부를 가온하는 가온부가 마련되어 있는
것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치. - 제1항에 있어서,
상기 조습 가스 발생 장치는 예비 물탱크를 갖고,
상기 예비 물탱크의 하부는 상기 저수 영역에 연통되고, 상기 예비 물탱크의 상부는 상기 가스 영역에 연통되어 있는
것을 특징으로 하는 조습 가스 발생 장치.
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