KR20220010012A - 분체 공급 장치 - Google Patents
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Abstract
분체를 안정적으로 연속해서 정량 공급하면서도 장치의 간소화 및 소형화를 실현한 분체 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위해, 분체를 연속해서 정량 공급하는 분체 공급 장치로서, 외형 원형 바닥판에 분체 송출홀을 가지는 분체 수용 용기, 및 상기 분체 송출홀에 대향하는 원주상에 마련한 홈에 의해 상기 분체를 연속적으로 회전 반송하는 원반을 포함하고, 상기 원반은 상기 홈이 존재하는 영역의 일부가 분체 수용 용기의 외형 원형 바닥판에 덮인 상태로, 상기 외형 원형 바닥판에 대하여 슬라이딩 회전 가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 분체 공급 장치를 채용한다.
Description
본 발명은 분체 공급 장치에 관한 것이다.
종래부터 용사나 분체 도장 등을 행하는 경우, 처리에 필요한 분체(금속, 세라믹, 서미트 등의 분체, 분체 도료 등)를 연속적으로 일정량 공급하기 위한 분체 공급 장치가 이용되고 있다. 이러한 목적으로 이용되는 분체 공급 장치는, 처리 품질을 향상시키기 위해, 맥동하지 않고 안정적이며 정량적으로 원료가 되는 분체를 공급할 수 있는 것이 중요시되고 있다.
예를 들면, 특허문헌 1에는, 케이싱의 내부에 모터 등의 구동 수단에 의해 회전하는 원반을 마련한 분체 공급 장치가 개시되어 있다. 상기 분체 공급 장치는, 상기 원반의 상면에 마련된 둘레홈에 호퍼에 수용된 분체를 분체 유통용 홀을 가지는 판상체를 통하여 충전하고, 상기 둘레홈에 의해 반송되는 분체를 공기 유동에 실어 상기 케이싱의 외부에 정량적으로 반출하는 것이다. 특허문헌 1의 분체 공급 장치는, 상기 판상체가, 상기 둘레홈에 돌기를 끼워넣음과 함께 상기 원반의 상면에 마련한 가이드홈에 가이드 돌기를 끼워넣는 등의 구조를 구비함으로써, 종래 분체의 불균일한 공급의 원인이 되고 있던 상기 돌기의 마모를 현저하게 방지할 수 있다.
그러나, 특허문헌 1에 개시된 분체 공급 장치는, 호퍼의 하부로 갈수록 유로가 좁아져 분체압의 변동이 커지기 때문에 분체의 응집이 일어나기 쉽고 브릿지나 퍼넬 플로우 등의 현상이 생기기 쉽다. 그 때문에, 상기 호퍼로부터 원반에 분체가 이송될 때 분체가 끊어지거나 맥동이 생기기 쉬워, 분체의 공급 정밀도가 낮아진다는 문제가 있다.
또한, 특허문헌 1에 개시된 분체 공급 장치에서는, 상술한 호퍼와 원반 사이에 판상체를 개재하는 것이 필수 구성으로 되어 있어, 그만큼 구성 부품의 수나 설계상의 제한이 많아져 장치의 복잡화 및 대형화를 초래하였다. 최근, 분체 공급 장치에서는 조작성 및 유지보수성의 향상을 도모하기 위해 간소화 및 소형화 구성이 요구되고 있다.
이상으로부터, 본 발명은 분체를 안정적으로 연속으로 정량 공급하면서도, 장치의 간소화 및 소형화를 실현한 분체 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 분체 공급 장치는, 분체를 연속해서 정량 공급하는 분체 공급 장치로서, 외형 원형 바닥판에 분체 송출홀을 가지는 분체 수용 용기, 및 상기 분체 송출홀에 대향하는 원주 위에 마련한 홈에 의해 상기 분체를 연속적으로 회전 반송하는 원반을 포함하고, 상기 원반은 상기 홈이 존재하는 영역의 일부가 분체 수용 용기의 외형 원형 바닥판에 덮인 상태로, 상기 외형 원형 바닥판에 대하여 슬라이딩 회전 가능하게 배치된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치에서, 상기 분체 수용 용기는 그 중심축을 중심으로 회전하는 날개 부재를 상기 분체 수용 용기 내부의 상기 외형 원형 바닥판 근방에 구비하고, 그 둘레 벽 부근의 영역에 상기 분체 송출홀을 배치한 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치에서, 상기 홈은, 최대 입경 1mm 이하의 분체를 이용한 경우, 깊이가 1.0mm 내지 5.0mm이고, 폭이 5mm 내지 30mm인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치에서, 상기 분체 송출홀은 상기 홈에 대응하여 연장된 장공 형상인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치에서, 상기 외형 원형 바닥판은 적어도 상기 원반과의 접촉 부분이 수지제인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치에서, 선단부를 상기 홈의 상부에 배치하고, 상기 분체를 캐리어 가스류에 실어 상방을 향해 반출하는 분체 반출관을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 분체 공급 장치를 채용함으로써, 분체를 안정적으로 연속해서 정량 공급할 수 있다. 그 때문에, 본 발명에 따른 분체 공급 장치에 의하면, 분체를 이용한 용사나 분체 도장 등의 처리를 고품질로 행할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치를 채용함으로써 장치의 간소화 및 소형화를 실현할 수 있다. 본 발명에 따른 분체 공급 장치는 종래보다 부품수를 적게 할 수 있기 때문에, 부품 비용의 저감을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 분체 공급 장치의 주요부의 평면 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 분체 공급 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 종단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 분체 공급 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 종단면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면을 참조하여 상술하지만, 본 발명은 이에 한정 해석되지 않는다.
도 1에는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 분체 공급 장치의 주요부의 평면 모식도를 나타낸다. 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)는 분체(P)를 연속해서 정량 공급하는 분체 공급 장치로서, 외형 원형 바닥판(11)에 분체 송출홀(11a)을 가지는 분체 수용 용기(10), 및 분체 송출홀(11a)에 대향하는 원주상에 마련한 홈에 의해 분체(P)를 연속적으로 회전 반송하는 원반(2)을 포함하고, 원반(2)은 홈(3)이 존재하는 영역의 일부가 분체 수용 용기(10)의 외형 원형 바닥판(11)에 덮인 상태로, 외형 원형 바닥판(11)에 대해서 슬라이딩 회전 가능하게 배치된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)는, 상술한 분체 수용 용기(10) 및 원반(2)을 구성에 포함함으로써, 분체의 공급 안정성을 도모하면서 장치의 간소화 및 소형화를 실현할 수 있다. 이하, 이들 「분체 수용 용기」, 「원반」에 대하여 순서대로 설명한다.
<분체 수용 용기>
본 발명의 분체 수용 용기(10)는, 그 바닥부에, 분체(P)를 통과(낙하)시킬 수 있는 분체 송출홀(11a)이 한 개 형성된 평판 형상의 외형 원형 바닥판(11)을 구비한다. 이 외형 원형 바닥판(11)을 구비함으로써, 분체 수용 용기(10) 바닥부의 분체(P)에 걸리는 압력에 편차가 잘 생기지 않으며, 분체 수용 용기(10)로부터 분체(P)가 낙하할 때 분체(P)가 끊어지거나 맥동이 쉽게 생기지 않는다. 부연하면, 종래의 분체 공급 장치로는 안정적인 공급이 어려운 안식각이 높고 유동성이 나쁜 분체(P)여도, 끊어지거나 맥동을 일으키지 않고 분체 수용 용기(10)로부터 이 분체(P)를 낙하시키는 것이 가능해진다. 그 때문에, 후술하는 원반(2)의 홈(3)에 분체(P)를 균일하게 연속적으로 충전시키는 것이 가능해진다.
분체 송출홀(11a)은 그 크기나 형상은 특별히 한정되지 않으며, 분체 수용 용기(10)에 수용되는 분체(P)의 종류(크기, 형상, 재질)에 따라 설정할 수 있다. 또한, 분체 송출홀(11a)은 외형 원형 바닥판(11)에 형성하는 위치도 특별히 한정되지 않는다. 단, 분체 송출홀(11a)은 분체 수용 용기(10)의 둘레 벽(12)보다 약간 안쪽(외형 원형 바닥판(11) 외주보다 5mm 이상)으로 떨어진 위치에 형성함으로써, 분체(P)가 외형 원형 바닥판(11)에 의해 일정한 높이로 레벨링되어 분체(P)를 안정적으로 연속해서 정량 공급하는데 있어서 바람직하다. 이상과 같은 점에서, 분체 수용 용기(10)는 설치 장소에 대한 제한이 종래에 비해 적고, 설계 자유도가 높다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)에서, 분체 수용 용기(10)는 그 중심축(C)(도 2를 참조)을 중심으로 회전하는 날개 부재(13)를 분체 수용 용기(10) 내부의 외형 원형 바닥판(11) 근방에 구비하고, 그 둘레 벽(12) 부근의 영역에 분체 송출홀(11a)을 배치한 것이 바람직하다.
분체 수용 용기(10)는 날개 부재(13)를 외형 원형 바닥판(11) 근방에 구비하고 회전시킴으로써, 분체 수용 용기(10) 내부에 수용된 분체(P)가 교반되고 분체(P)의 건조 상태가 유지되어 응집이 생기기 어려워진다. 또한, 만일 분체(P)가 응집화되었다고 해도, 응집된 분체(P)를 분산시킬 수 있어, 분체(P)가 외형 원형 바닥판(11) 위나 둘레 벽(12)에 고착되는 것도 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 날개 부재(13)가 외형 원형 바닥판(11) 근방에서 회전함으로써, 분체(P)를 그 종류나 특성의 차이에 상관없이 분체 송출홀(11a)로 원활히 유도할 수 있다. 그 때문에, 안식각이 높고 유동성이 나쁜 분체(P)를, 후술하는 원반(2)의 홈(3)에 일정량 균일하게 이송시키는데 있어서 보다 효과적이다.
여기서, 날개 부재(13)의 사용 수량은 특별히 한정되지 않는다. 단, 날개 부재(13)는 둘레 방향으로 등간격으로 복수 배치하는 것이, 항상 안정된 양의 분체(P)를 분체 송출홀(11a)로 유도하는데 있어서 보다 바람직하다. 또한, 날개 부재(13)의 형상은 특별히 한정되지 않으며, 분체(P)의 종류나 특성 등을 고려하여 설정할 수 있다. 그리고, 날개 부재(13)는 적어도 외형 원형 바닥판(11) 근방에 1단으로 구비될 수 있으며, 높이 방향으로 복수단 설치될 수도 있다.
한편, 분체 수용 용기(10)는 분체(P)를 안정적으로 공급하기 위하여, 상술한 날개 부재(13)를 이용하는 것 외에, 예를 들면 진동 수단을 이용하여 정기적으로 분체 수용 용기(10)를 진동시켜 분체(P)의 응집을 방지하는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 분체 수용 용기(10)의 내벽에는 분체(P)의 양을 검출하는 센서(도시 생략)를 마련하여, 분체 수용 용기(10) 내의 분체(P)의 양이 소정량보다 적어진 경우에 자동적으로 분체(P)를 보내도록 제어할 수 있다. 이와 같이 함으로써, 분체 수용 용기(10) 바닥부의 분체(P)에 걸리는 압력을 항상 일정하게 유지할 수 있으며, 용사나 도장 등의 처리를 행하는 경우, 처리 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 대량의 분체(P)를 사용하는 처리를 행하는 경우라도 작업을 중단하지 않아도 되어, 처리 시간을 짧게 해 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)에서, 분체 송출홀(11a)은 후술하는 원반(2)의 홈(3)에 대응한(마주보는) 위치에 연장된 장공 형상인 것이 바람직하다. 본 발명의 외형 원형 바닥판(11)에 형성하는 분체 송출홀(11a)은 개구 면적을 일정하게 한 경우, 단순히 원형으로 하는 것보다도 원반(2)의 홈(3)을 따라 연장된 장공 형상으로 함으로써, 분체 공급 장치(1)로부터 원반(2)의 홈(3)으로의 분체의 이송이 원활하게 이루어지게 되어, 홈(3)에 이송하는 분체(P) 양의 불균일을 작게 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)에서, 외형 원형 바닥판(11)은 적어도 원반(2)과의 접촉 부분이 수지제인 것이 바람직하다. 원반(2)은 외형 원형 바닥판(11)과 접촉한 상태로 회전하기 때문에, 이들 부재가 예를 들면 금속제인 경우, 이들 부재간에 쓸림(유착)이 생기기 쉽고, 마모에 의해 내구성이 저하될 우려가 있다. 그러나, 외형 원형 바닥판(11)의 적어도 원반(2)과의 접촉 부분을 수지제로 함으로써, 이러한 문제가 생기는 것을 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 적어도 상기 접촉 부분만을 수지제로 함으로써, 마모 등이 일어난 경우 교환을 용이하게 행할 수 있어, 유지보수성의 향상을 도모할 수도 있다.
<원반>
본 발명의 원반(2)은 그 중심으로부터 소정 위치의 주위 상에 오목한 홈(3)이 형성되고, 회전함으로써 홈(3)과 함께 분체(P)를 소정 위치에 반송할 수 있다. 원반(2)은, 회전중에 홈(3)의 어느 지점인가 항상 상술한 분체 송출홀(11a)의 바로 밑에 오도록(분체 송출홀(11a)에 연통하도록) 설치된다.
여기서, 홈(3)의 단면 형상은 특별히 한정되지 않으며, 단면을 직사각 형상, 반원 형상, V자 형상, U자 형상 등에서 적절하게 채용할 수 있다. 또한, 홈의 깊이나 폭, 길이는, 분체(P)의 크기나 목표로 하는 분체(P)의 공급량을 고려하여 적절하게 설정할 수 있다. 한편, 분체(P)의 공급량을 제어(조정)하는데 있어, 홈(3)의 단면적은 둘레 방향으로 일정한 것이 바람직하다. 또한, 원반(2)은 모터 등의 구동 수단으로 회전축에 의해 구동되도록 되어 있다. 분체(P) 공급량은 원반(2)의 회전 속도에 비례하기 때문에, 모터의 회전 속도를 증감하여 분체(P)의 공급량을 적절하게 조정하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)에서, 홈(3)은 최대 입경 1mm 이하의 분체(P)를 이용한 경우, 깊이가 1.0mm 내지 5.0mm이고, 폭이 5mm 내지 30mm인 것이 바람직하다. 브릿지 현상은 최대 입경 1mm 이하의 분체(P)를 이용한 경우, 분체 수용 용기(10)의 바닥부 부근에서 일어나기 쉽다. 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)는 최대 입경 1mm 이하의 분체(P)를 이용한 경우라도, 홈(3)의 깊이를 1.0mm 내지 5.0mm로 하고 홈(3)의 폭을 5mm 내지 30mm로 함으로써, 홈(3) 안에 분체(P)를 항상 안정적으로 충전시킬 수 있다. 여기서, 홈(3)의 깊이가 1.0mm 미만 또는 홈(3)의 폭이 5mm 미만이 되면, 분체(P)의 반송량 저하를 야기하고, 분체 공급 장치(1)의 실용성이 저하되기 때문에 바람직하지 않다. 한편, 분체(P)의 최대 입경은 특별히 하한이 정해져 있지 않다. 그러나, 불활성 가스 캐리어를 이용하여, 안정된 반송량을 확보하기 위해서는 10μm 정도를 최대 입경의 하한으로 생각하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)는 선단부를 홈(3)의 상부에 배치하고, 분체(P)를 캐리어 가스류에 실어 상방을 향해 반출하는 분체 반출관(20)(도 2를 참조)을 포함하는 것이 바람직하다.
분체 공급 장치(1)는 캐리어 가스에 의해 일정량의 분체(P)를 가압한 공간에서 상방을 향해 반출하는 구성으로 함으로써, 설비 비용의 증대를 방지하면서도, 분체(P)를 안정적으로 일정량 공급하는 것이 가능해진다. 예를 들면, 원반(2)을 밀폐 용기 내에 설치하고 상기 용기 중에 캐리어 가스를 도입하여, 이때 생기는 외부의 공기압과의 압력차에 의해 분체 반출관(20)을 통하여 고속으로 캐리어 가스가 배출됨과 함께, 상기 캐리어 가스에 동반하여 홈(3) 내의 분체 반출관(20)의 선단 부근에 있는 분체(P)가 일정량씩 외부로 반출된다. 한편, 캐리어 가스는 분체(P)가 정전기 등으로 홈(3) 내에 체류하는 것을 억제하는데 있어서도 유효하다.
상술한 캐리어 가스의 가스 종류는 특별히 한정되지 않으며, 분체(P)를 동반할 수 있는 것이면 무방하다. 캐리어 가스로서는, 예를 들면, 공기, 아르곤 가스 또는 헬륨 가스 등을 이용할 수 있다.
이상으로, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)의 주요부의 구성에 대해 설명했지만, 상술한 구성에 의한 일 실시 형태의 분체 공급 장치의 일련의 동작에 대해 이하에 설명한다. 이하에서는, 예를 들면 「세라믹」 등의 분체를 용사 건에 정량 공급하여 플라즈마 용사를 행하는 경우를 상정하여, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)의 효과를 서술한다.
도 2에는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 분체 공급 장치의 동작을 설명하기 위한 개략적인 종단면도를 나타낸다. 우선, 분체 투입홀(14)을 통하여 분체 수용 용기(10) 내에 분체(P)를 수용한다. 분체 수용 용기(10)의 외형 원형 바닥판(11) 근방에는 날개 부재(13)가 배치된다. 이 날개 부재(13)는 모터(16)에 의해 분체 수용 용기(10)의 중심축(C) 상에 있는 회전축(15)을 중심으로 회전함으로써, 분체 수용 용기(10) 내의 분체(P)를 교반하여 국소에 응집된 덩어리 부분을 확실히 분쇄함과 함께, 분체(P)를 분체 송출홀(11a)로 유도한다. 한편, 날개 부재(13)를 이용하는 경우에는, 분체 송출홀(11a)을 둘레 벽(12) 부근의 영역에 배치함으로써, 분체(P)를 보다 효율적이고 안정적으로 분체 송출홀(11a)로 유도할 수 있다.
원반(2)은 모터(6)에 의해 회전축(5)을 중심으로 회전한다. 원반(2)은 회전중에, 홈(3)의 어느 지점이든 항상 분체 송출홀(11a)의 바로 밑에 오도록 설치된다. 또한, 원반(2)은 외형 원형 바닥판(11)에 대해서 슬라이딩 가능한 상태로 설치된다. 원반(2)을 이러한 위치에 설치함으로써, 분체(P)가 분체 수용 용기(10)의 외형 원형 바닥판(11)의 분체 송출홀(11a)을 통하여 연속해서 홈(3) 내에 공급된다.
여기서, 원반(2)의 홈(3) 내에 충전된 분체(P)는 원반(2)이 외형 원형 바닥판(11)에 대해서 슬라이딩함으로써 외형 원형 바닥판(11)이 스퀴지의 역할을 하고, 홈(3)의 상단부(원반(2)의 상면과 거의 동일 위치)에서 레벨링된 상태로 분체 반출관(20)의 하방 위치를 향해 연속적으로 반송된다. 또한, 홈(3)의 단면적은 둘레 방향에서 모두 같은 크기로 설정되어 있다. 그 때문에, 원반(2)의 회전 속도를 일정하게 한 경우, 분체 공급 장치(1)가 공급하는 분체(P)의 양은 항상 일정해진다.
또한, 원반(2)은 밀폐 용기(4) 내에 마련되어 있다. 여기서, 가스 공급 라인(21)으로부터 캐리어 가스(아르곤 가스 등)가 밀폐 용기(4) 내에 취입되어 내부를 고압 상태로 함으로써, 분체 반출관(20)의 선단 부근에 반송되어 온 분체(P)가 아르곤 가스에 의해 인입되어 반송 가스 라인(22)을 통하여 플라즈마 용사 장치(도시 생략)로 보내어진다. 그리고, 분체 공급 장치(1)는 분체(P)를 플라즈마 용사 장치에 정량 공급한 후에, 날개 부재(13) 구동용 모터(16) 및 원반(2) 구동용 모터(6)의 구동을 정지하여 분체 공급 동작을 종료한다.
이상으로, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 분체 공급 장치(1)의 일련의 동작에 대해 설명했지만, 본 발명에 따른 분체 공급 장치(1)는 원반(2)과 외형 원형 바닥판(11)을 구성으로 구비하고, 이들을 접촉시킨 상태로 배치함으로써, 분체 공급의 고정밀화를 실현할 수 있다. 또한, 종래보다 부품수를 줄여 부품 비용을 저감시킨 구성을 실현하여, 조립성이나 유지보수성이 우수해진다. 또한, 날개 부재(13) 구동용 모터(16)와 원반(2) 구동용 모터(6)를 모두 분체 공급 장치(1)의 하방에 배치할 수 있어, 설치 장소의 자유도를 높일 수 있다.
본 발명에 따른 분체 공급 장치에 의하면, 여러 가지 분체의 정량 공급을 가능하게 하면서도, 장치의 간소화 및 소형화를 실현할 수 있기 때문에, 다양한 분야에서 바람직하게 이용할 수 있다. 예를 들면, 상술한 플라즈마 용사 외에도, 소맥분 등을 공급하여 식료품을 제조하는 경우나 투사재를 공급하여 물질의 표면 가공을 행하는 경우 등에도 바람직하게 이용할 수 있다.
1: 분체 공급 장치
2: 원반
3: 홈(원반) 4: 밀폐 용기
5: 회전축 6: 모터
10: 분체 수용 용기 11: 외형 원형 바닥판
11a: 분체 송출홀(외형 원형 바닥판) 12: 둘레 벽
13: 날개 부재 13a: 지지 부재(날개 부재)
14: 분체 공급용 홀 15: 회전축
16: 모터 20: 분체 반출관
21: 가스 공급 라인 22: 반송 가스 라인
C: 중심축 P: 분체
3: 홈(원반) 4: 밀폐 용기
5: 회전축 6: 모터
10: 분체 수용 용기 11: 외형 원형 바닥판
11a: 분체 송출홀(외형 원형 바닥판) 12: 둘레 벽
13: 날개 부재 13a: 지지 부재(날개 부재)
14: 분체 공급용 홀 15: 회전축
16: 모터 20: 분체 반출관
21: 가스 공급 라인 22: 반송 가스 라인
C: 중심축 P: 분체
Claims (6)
- 분체를 연속해서 정량 공급하는 분체 공급 장치로서,
외형 원형 바닥판에 분체 송출홀을 가지는 분체 수용 용기, 및 상기 분체 송출홀에 대향하는 원주상에 마련한 홈에 의해 상기 분체를 연속적으로 회전 반송하는 원반을 포함하고,
상기 원반은 상기 홈이 존재하는 영역의 일부가 분체 수용 용기의 외형 원형 바닥판에 덮인 상태로, 상기 외형 원형 바닥판에 대하여 슬라이딩 회전 가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 분체 공급 장치. - 제1항에 있어서,
상기 분체 수용 용기는 그 중심축을 중심으로 회전하는 날개 부재를 상기 분체 수용 용기 내부의 상기 외형 원형 바닥판 근방에 구비하고, 그 둘레 벽 부근의 영역에 상기 분체 송출홀을 배치하는 분체 공급 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 홈은, 최대 입경 1mm 이하의 분체를 이용한 경우, 깊이가 1.0mm 내지 5.0mm이고, 폭이 5mm 내지 30mm인 분체 공급 장치. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 분체 송출홀은 상기 홈에 대응하여 연장된 장공 형상인 분체 공급 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 외형 원형 바닥판은 적어도 상기 원반과의 접촉 부분이 수지제인 분체 공급 장치. - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
선단부를 상기 홈의 상부에 배치하고, 상기 분체를 캐리어 가스류에 실어 상방을 향해 반출하는 분체 반출관을 포함하는 분체 공급 장치.
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