KR20210146413A - 단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브 및 단결정 풀러 - Google Patents
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Abstract
본 개시는 단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브 및 단결정 풀러를 제공하며, 상기 컴바인 콘 튜브는, 내부 실린더, 외부 실린더, 환형 샤시 및 애뉴러 튜브(annular tube)를 포함하며, 상기 내부 실린더는 도추형을 이루고, 상기 내부 실린더의 상단은 상기 외부 실린더의 상단과 연결되며, 상기 외부 실린더의 하단은 상기 환형 샤시의 외연부와 밀봉 연결되며, 상기 내부 실린더의 하단은 상기 환형 샤시의 상 표면과 고정 연결되며, 상기 애뉴러 튜브는 상기 환형 샤시의 환구를 관통하여 환구내에 고정된다.
Description
본 출원은 2020년 9월 2일 중국에 제출한 중국 특허 출원 제 202010909017.4호의 우선권을 주장하며, 그 전체 내용을 본 출원에 원용한다.
본 개시는 결정 잉곳 제조 기술분야에 관한 것으로, 특히 단결정 풀러(Single Crystal Furnace）의 컴바인 콘 튜브 및 단결정 풀러에 관한 것이다.
마이크로 전자 산업 제조 기술의 부단한 발전에 따라, 실리콘 웨이퍼(Wafer) 재료의 품질에 대한 요구가 더 높아지고, 양호한 품질은 결정 잉곳 중의 결정체의 결함을 양호하게 관리하고 통제하여야 함을 의미한다. 결정 잉곳 중의 결정체의 결함은 주로 두 가지 큰 종류로 분할되고, 한 종류는 과포화의 갭이 어그리게이션(Aggregation)되어 형성한 결함이며, 이러한 결함은 MOS 소자의 게이트 옥사이드 완전성(gate oxide integrity, GOI로 약칭함)에 영향을 주지 않으며; 또 다른 한 종류는 베이컨시(Vacancy)가 어그리게이션되어 형성한 결함이며, 이러한 성장 결함은 GOI의 일드와 큰 관계가 있으며, 흔히 볼 수 있는 베이컨시 결함은 COPs(crystal originated particles), FPD(flow pattern defects), LSTDs(laser scattering tomography defects)등이다. 이러한 결함의 생성은 결정 잉곳의 축방향 온도차 G와 관련되고, 축방향 온도차 G는 핫존의 설계에 따라 조절할 수 있다.
핫존에서 플로우 가이드 튜브의 설계가 매우 중요한데, 이는 결정 잉곳 축방향 온도차 G 및 결정 잉곳 변두리의 축방향 온도차와 결정 잉곳 중심부의 축방향 온도차의 차이 값 ΔG의 크기에 직접적인 영향을 주며, 진일보하여, 결정 잉곳 중의 결함 타입 및 분포에 영향을 준다. 결정 풀링 과정에서 기존의 플로우 가이드 튜브의 국한성에 의해, 액면의 대량의 열량이 결정 잉곳 표면으로 전송되어, 결정 잉곳 변두리 영역의 축방향 온도가 작아지고, 결정 잉곳 중심 영역의 축방향 온도차는 거의 변하지 않는 것을 초래하며; 나아가, ΔG가 증대되며, V/G 이론에 따라, 이 때의 베이컨시 결함은 어그리게이션되어 생장하여, 무결함 생장 영역을 감소시키고, 결정 잉곳의 무결함 생장에 불리하다.
이에 비추어, 본 개시는 단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브 및 단결정 풀러를 제공하여, 기존의 기술 중의 플로우 가이드 튜브 구조가 결정 잉곳 축방향 온도차 및 결정 잉곳 변두리의 축방향 온도차와 결정 잉곳 중심부의 축방향 온도차의 차이 값을 양호하게 조절할 수 없고, 결정 잉곳의 무결함 생장에 불리한 문제를 해결한다.
상술한 기술 문제를 해결하기 위해, 본 개시는 아래와 같은 기술방안을 채용한다.
한 측면에 있어서, 본 개시의 실시예는 단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브를 제공하며, 상기 컴바인 콘 튜브는, 내부 실린더, 외부 실린더, 환형 샤시 및 애뉴러 튜브(annular tube)를 포함하며, 상기 내부 실린더는 도추형(inverted conical)을 이루고, 상기 내부 실린더의 상단은 상기 외부 실린더의 상단과 연결되며, 상기 외부 실린더의 하단은 상기 환형 샤시의 외연부(outer edge)와 밀봉 연결되며, 상기 내부 실린더의 하단은 상기 환형 샤시의 상 표면(upper surface)과 고정 연결되며, 상기 애뉴러 튜브는 상기 환형 샤시의 환구를 관통하여 환구내에 고정된다.
선택적으로, 상기 내부 실린더 및 상기 외부 실린더의 재질은 그래파이트(Graphite) 재료이다.
선택적으로, 상기 환형 샤시의 재질은 금속 몰리브덴이다.
선택적으로, 애뉴러 튜브의 재질은 석영 재질이다.
선택적으로, 상기 내부 실린더, 상기 외부 실린더 및 상기 환형 샤시에 둘러싸여 형성된 캐비티내에 제1 충전체 및 제2 충전체가 설치되어 있고, 상기 제1 충전체는 상기 제2 충전체의 상방에 위치하며, 상기 제1 충전체는 열전도성 재료를 채용하여 제조되고, 상기 제2 충전체는 단열 재료를 채용하여 제조된다.
선택적으로, 상기 애뉴러 튜브는 공심 원기둥 모양이고, 상기 애뉴러 튜브의 외벽 상에는 제1 볼록 링이 형성되어 있으며, 상기 제1 볼록 링은 상기 환형 샤시의 상 표면에 밀봉 랩핑(lapped)되어 있다.
선택적으로, 상기 애뉴러 튜브의 하단부는 상기 환형 샤시의 밑바닥 부분으로부터 연장되고, 상기 하단부에는 수평으로 밖으로 연장된 제2 볼록 링이 설치되어 있다.
선택적으로, 상기 환형 샤시의 외연부에는 제1 나사산이 형성되어 있고, 상기 외부 실린더의 하단에는 제2 나사산이 형성되어 있으며, 상기 환형 샤시 및 상기 외부 실린더는 상기 제1 나사산 및 상기 제2 나사산을 통해 나사산 배합 연결을 구현한다.
다른 측면에 있어서, 본 개시의 실시예는 단결정 풀러를 제공하며, 상기 단결정 풀러는 상술한 컴바인 콘 튜브를 포함한다.
본 개시에 따른 상술한 기술방안의 유익한 효과는 아래와 같다.
본 개시의 실시예에 따른 컴바인 콘 튜브는, 실리콘 용액의 고-액-기 3상 경계점을 안정적으로 유지하면서, 불활성 기체가 질서정연하게 실리콘 용액 표면으로부터 흐르도록 보장하며, 일산화 규소(SiO) 기체를 가져가는 동시에, 실리콘 용액의 일부 열량이 결정 잉곳 표면으로 전송되도록 할 수 있으며, 결정 잉곳 하단의 변두리 축방향 온도차 및 변두리 축방향 온도차와 중심 축방향 온도차의 차이 값을 감소시켜, 이상적인 값에 접근하도록 하고, 결정 잉곳의 무결함 생장에 유익하며, 결정 잉곳 상단이 신속하게 냉각되면서, 결정 잉곳으로 하여금 결함형 핵이 성장하는 온도 구간을 빠르게 지나도록 하며, 최종적으로 고품질 결정 잉곳이 제조되도록 한다.
도 1은 본 개시의 실시예에서 제공하는 컴바인 콘 튜브의 구조 예시도이다.
도 2는 본 개시의 실시예에서 제공하는 단결정 풀러의 구조 예시도이다.
도 3은 본 개시의 실시예에서 제공하는 결정체 결함이 결정 잉곳에서의 세로 절개면의 분포 예시도이다.
도 2는 본 개시의 실시예에서 제공하는 단결정 풀러의 구조 예시도이다.
도 3은 본 개시의 실시예에서 제공하는 결정체 결함이 결정 잉곳에서의 세로 절개면의 분포 예시도이다.
본 개시의 실시예의 목적, 기술방안 및 장점을 더욱 명확하게 하기 위하여, 이하에서는 본 개시의 실시예에서의 도면을 결부시켜, 본 개시의 실시예에 따른 기술방안을 명확하고 완전하게 설명하기로 한다. 설명되는 실시예들은 본 개시의 일부 실시예일 뿐, 전부의 실시예가 아님은 자명한 것이다. 본 개시의 실시예들을 토대로, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들에 의해 얻어지는 모든 기타 실시예들은 모두 본 개시의 보호 범위에 속한다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 도 1은 본 개시의 실시예에서 제공하는 컴바인 콘 튜브의 구조 예시도이고, 도 2는 본 개시의 실시예에서 제공하는 단결정 풀러의 구조 예시도이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 개시의 실시예 중의 컴바인 콘 튜브는, 애뉴러 튜브(1), 환형 샤시(2), 외부 실린더(4) 및 내부 실린더(5)를 포함할 수 있으며, 그중, 외부 실린더(4)의 내부는 중공이고 위아래로 개구되었으며, 외부 실린더(4)는 내부 실린더(5)의 외주를 에둘러 설치되며; 구체적으로, 내부 실린더(5)의 상단은 외부 실린더(4)의 상단과 연결되고, 내부 실린더(5)의 상단 개구는 외부 실린더(4)의 상단 개구보다 약간 작으며, 내부 실린더(5)가 외부 실린더(4)의 내부에 설치될 수 있도록 확보하고, 내부 실린더(5)의 상단과 외부 실린더(4)의 상단은 구체적으로 조인트 또는 나사선 등등을 채용하여 고정 연결될 수 있으며, 여기서 구체적인 연결 방식을 한정하지 않으며; 외부 실린더(4)의 하단은 환형 샤시(2)의 외연부(즉 외주)와 밀봉 연결되고, 내부 실린더(5)의 하단은 환형 샤시(2)의 상 표면과 고정 연결되며, 내부 실린더(5)는 도추형을 이루기에, 내부 실린더(5)의 하단과 환형 샤시(2)의 상 표면의 접점은 환형 샤시(2)의 내주에 가까이 하며; 애뉴러 튜브(1)는 환형 샤시(2)의 환구를 관통하여 환구내에 고정되며, 애뉴러 튜브(1)의 대부분은 내부 실린더(5)의 내부 캐비티에 위치하며, 애뉴러 튜브(1)의 하단부는 환형 샤시(2)의 밑바닥 부분으로부터 연장되고, 애뉴러 튜브(1)의 외경과 환형 샤시(2)의 환구 직경은 상호 어댑터되어, 양자 사이의 밀봉 성능이 비교적 양호하도록 한다.
본 개시의 실시예에서, 환형 샤시(2)의 외연부에는 제1 나사산이 형성되어 있고, 외부 실린더(4)의 하단에는 제2 나사산이 형성되어 있으며, 환형 샤시(2) 및 외부 실린더(4)는 상기 제1 나사산 및 상기 제2 나사산을 통해 나사산 배합 연결을 구현하며; 나사산 배합 방식을 통해 콘 튜브(1)와 외부 실린더(4) 사이의 분리에 편의를 가져다 주는 동시에, 비교적 견고한 연결을 구현할 수 있으며, 불활성 기체의 흐름으로 의한 흔들림을 피할 수 있다.
본 개시의 실시예에서, 애뉴러 튜브(1)는 공심 원기둥 모양이고, 애뉴러 튜브(1)의 외벽상에는 제1 볼록 링(11)이 형성되어 있으며, 애뉴러 튜브(1)는 제1 볼록 링(11)을 통해 환형 샤시(2)의 상 표면에 랩핑(lapped)되어, 밀봉 고정을 구현하며, 따라서 불활성 기체는 단지 애뉴러 튜브(1)의 상단구로부터 애뉴러 튜브(1)의 내부로 흐를 수 있으며, 애뉴러 튜브(1)와 결정 잉곳(6) 사이의 갭으로 흘러, 최종적으로 애뉴러 튜브(1)의 하단구로부터 실리콘 용액(9)의 표면으로 흐르며, 실리콘 용액(9) 표면에 형성된 일산화 규소 기체를 가져가, 일산화 규소 기체가 결정 잉곳(6)의 품질에 대해 불량한 영향을 조성하는 것을 피한다. 기존의 기술에서, 플로우 가이드 튜브는 도추형의 설계를 채용하여, 불활성 기체의 유동의 안정성에 불리하고, 쉽게 난류가 발생하며, 불활성 기체는 결정 잉곳과 충분히 접촉하지 못하여, 불활성 기체의 냉각 효과를 약화시키며, 기존의 기술 중의 도추형의 플로우 가이드 튜브와 비교하면, 본 개시의 실시예 중의 애뉴러 튜브(1)는 공심 원기둥 모양이기에, 불활성 기체의 수직 유동의 안정성을 보장할 수 있고, 결정 잉곳(6)의 열량이 신속하게 석방되도록 보장하는 동시에, 불활성 기체는 결정 잉곳(6)과 애뉴러 튜브(1)의 내벽 사이의 갭으로부터 흘러, 결정 잉곳(6)의 표면과 충분히 접촉하여, 결정 잉곳(6)의 냉각 속도를 향상시키고, 동시에 결정 풀링 속도를 향상시켜, 시간 성본을 감소할 수 있다.
기존의 기술에서 채용한 그래파이트 플로우 가이드 튜브에 비해, 본 개시의 실시예 중의 애뉴러 튜브(1)의 재질은 석영 재질이고, 애뉴러 튜브(1)의 하단부는 환형 샤시(2)의 밑바닥 부분으로부터 연장되고, 애뉴러 튜브(1)의 하단부에는 수평으로 밖으로 연장된 제2 볼록 링(12)이 형성되어 있고, 제2 볼록 링(12)은 불활성 기체가 애뉴러 튜브(1)의 하단 개구로부터 흘러 나갈 때, 불활성 기체가 질서정연하게 실리콘 용액(9)의 표면으로부터 흐르도록 보장하며, 일산화 규소 기체를 가져가는 동시에, 고-액-기 3상 경계점을 안정적으로 유지하며, 실리콘 용액(9)의 일부 열량으로 하여금 결정 잉곳(6)의 하단으로 전송되도록 할 수 있으며, 결정 잉곳(6) 하단의 변두리 축방향 온도차 G를 증대하고, 결정 잉곳(6)의 변두리 축방향 온도차와 중심 축방향 온도차의 차이 값 ΔG을 감소시켜, 이상적인 값에 접근하도록 하고, 결정 잉곳(6)의 세로로의 무결함 영역을 최대한 증대하여, 결정 잉곳(6)의 전반적인 품질을 향상시킨다.
본 개시의 실시예에서, 환형 샤시(2)의 재료는 반사 단열 재료이며, 구체적으로, 환형 샤시(2)의 재질은 금속 몰리브덴이며; 상술한 설계를 통해, 환형 샤시(2)의 환구 내부를 보온하여, 실리콘 용액(8) 상의 고-액-기 3상 경계점의 안정을 유지하고, 온도존의 안정성을 유지하며, 금속 몰리브덴 재질의 환형 샤시(2)는 액면에서 발산되는 열량을 효과적으로 반사하며, 실리콘 용액(8) 액면 및 주변 온도존의 안정에 유익하며; 금속 몰리브덴 재질의 환형 샤시(2)는 그 내부를 통과하는 결정 잉곳(6)의 일부의 온도를 일정하게 유지할 수 있으며, 콘 튜브(1)에 대응하는 높이 위치에서 안정적인 온도존을 형성하여, 결정 잉곳(6)의 축방향 온도차 G가 일정하도록 보장하며, 결정 잉곳(6) 하단의 온도를 향상시키고, 결정 잉곳(6)이 해당 높이 위치에서의 무결함 생장에 유익하다.
본 개시의 실시예에서, 내부 실린더(5) 및 외부 실린더(4)의 재질은 열전도성 재료이고, 구체적으로, 내부 실린더(5) 및 외부 실린더(4)의 재질은 그래파이트 재료이며, 열전도성 재질의 내부 실린더(5)와 외부 실린더(4)는 내부 실린더(5)의 내부의 결정 잉곳(6)이 해당 높이 부위에서 신속하게 냉각되도록 도와주며, 즉 결정 잉곳(6)의 내부 실린더(5)의 내부에 위치한 일부 열량이 내부 실린더(5) 및 외부 실린더(4)를 통해 밖으로 신속하게 확산되도록 하여, 결정 잉곳(6)으로 하여금 결함형 핵이 성장하는 온도 구간을 신속하게 지나도록 하며, 결정 잉곳(6)의 결함 성장을 효율적으로 억제하여, 결정 잉곳(6)의 결함 생장을 감소시킨다.
본 개시의 실시예에서, 내부 실린더(5), 외부 실린더(4) 및 환형 샤시(2)에 둘러싸여 형성된 캐비티내에 충전체(4)가 설치되어 있고, 충전체(4)는 제1 충전체(31) 및 제2 충전체(32)를 포함하며, 그중, 제1 충전체(31)는 제2 충전체(32)의 상방에 위치하며, 제1 충전체(31)는 열전도성 재료를 채용하여 제조되고, 제2 충전체(32)는 단열 재료를 채용하여 제조되며; 즉, 내부 실린더(5), 외부 실린더(4) 및 환형 샤시(2)에 둘러싸여 형성된 캐비티내에는 두 부분으로 나뉘어져 있고, 상부는 제1 충전체(31)로 충전되며, 해당 높이 위치에서는 결정 잉곳(6)의 온도가 빠르게 냉각되어야 하기에, 제1 충전체(31)는 열전도성 재료를 채용하고, 그래파이트 재료를 채용한 내부 실린더(5) 및 외부 실린더(4)와 배합하여, 결정 잉곳(6)의 열량을 밖으로 신속하게 전달하며; 하부는 제2 충전체(32)로 충전되고, 해당 높이 위치에서는 결정 잉곳(6)의 온도가 일정하도록 유지하여야 하기에, 제2 충전체(32)는 단열 재료를 채용하며, 제2 충전체(32)는 아래로부터 위로의 열량 전달을 차단할 수 있고, 또한 내부로부터 외부로의 열량 전달을 차단할 수 있기에, 열량이 밖으로 확산되는 것을 감소시킨다.
본 개시의 실시예에서, 일 측면에 있어서, 금속 몰리브덴 재질의 환형 샤시(2)를 이용하여 그 내부를 통과하는 결정 잉곳(6)의 일부의 온도가 일정하도록 하고, 결정 잉곳(6) 하단의 온도를 향상시켜,콘 튜브(1)에 대응하는 높이 위치에서 안정적인 온도존을 형성하며, 또 다른 측면에 있어서, 내부 실린더(5) 및 외부 실린더(4)의 재질을 열전도성 재료이고, 내부에 열전도성 재료와 단열 재료를 충전하는 것을 통해, 내부 실린더(5)의 상부를 통과하는 결정 잉곳(6)의 온도가 신속하게 하강하도록 하며, 따라서 결정 잉곳(6)의 축방향 온도차 G의 값을 증대하여, 결정 잉곳(6)의 무결함 생장 영역을 더 크게 한다.
도 3을 참조하면, 도 3은 본 개시의 실시예에서 제공하는 결정체 결함이 결정 잉곳에서의 세로 절개면의 분포 예시도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 고속의 풀링 조건하에서 생장할 경우에는 베이컨시의 주도로 베이컨시 클러스터(cluster) 또는 갭 영역을 형성하며, 즉 베이컨시형 결함 영역(v-rich 영역)이며; 풀링 속도 V를 감소하면 결정체 오리지널 산화 입자 영역(P band)을 형성하며, 해당 영역은 특정한 산화 열 처리를 시행할 때 환형의 산화 유발 적층 결함(OiSF)의 형태로 나타날 수 있으며; 만약 진일보하여 풀링 속도 V를 감소하면, 산소 침전물이 존재하고 오리지널 결함의 결정체 영역 즉 산소 침전 촉진 영역(Pv)을 검측할 수 없으며, 이어서, 산소 침전을 일으키기 쉽지 않고 오리지널 결함을 검측할 수 없는 결정체 영역 형성하며, 즉 산소 침전 억제 영역(Pi)이며; 진일보하여 풀링 속도를 감소할 때, 소량의 갭 실리콘 원자는 어그리게이션되어 작은 셀프 갭 실리콘 클러스터(B band)를 형성하며; 더 낮은 풀링 속도에서는 큰 전위 클러스터(large dislocation cluster)의 결정체 영역을 검측할 수 있는 전위 클러스터 영역을 형성하며, 즉 갭형 결함 영역(I rich 영역)이다. 도 3 중 곡선 1은 기존의 기술에 그래파이트 애뉴러 튜브/슬리브를 추가한 후의 베이컨시형 결함 분포 상황이며, 보다시피, 곡선 1의 변화 정도가 크고, 양단의 아래로의 돌출이 뚜렷하여, 결정 잉곳의 무결함 영역이 현저히 감소되며, 이 때, 결정 잉곳의 변두리부에 베이컨시형 결함이 나타나며, 결정 잉곳의 무결함 생장에 불리하며; 도 3중 곡선 2는 본 개시의 실시예에서 석영 재질의 애뉴러 튜브(1)를 추가한 후의 베이컨시형 결함 분포 상황이며, 보다시피, 본 개시의 실시예 중의 석영 재질의 애뉴러 튜브(1)을 채용한 후, 곡선 2는 완만해지고, 양단의 아래로의 돌출이 현저히 감소되며, 따라서 결정 잉곳의 무결함 영역이 증대되어, 결정 잉곳의 전반적인 품질을 향상시킨다.
본 개시의 실시예의 컴바인 콘 튜브에 따르면, 실리콘 용액의 고-액-기 3상 경계점을 안정적으로 유지하면서, 불활성 기체가 질서정연하게 실리콘 용액 표면으로부터 흐르도록 보장하며, 일산화 규소 기체를 가져가는 동시에, 실리콘 용액의 일부 열량이 결정 잉곳 표면으로 전송되도록 할 수 있으며, 결정 잉곳 하단의 변두리 축방향 온도차 및 변두리 축방향 온도차와 중심 축방향 온도차의 차이 값을 감소시켜, 이상적인 값에 접근하도록 하고, 결정 잉곳의 무결함 생장에 유익하며, 결정 잉곳 상단이 신속하게 냉각되면서, 결정 잉곳으로 하여금 결함형 핵이 성장하는 온도 구간을 신속하게 지나도록 하며, 최종적으로 고품질 결정 잉곳이 제조된다.
본 개시의 또 다른 측면에 따른 실시예는 단결정 풀러를 더 제공하며, 상기 단결정 풀러는 상술한 실시예에서 기술한 컴바인 콘 튜브를 포함한다. 상술한 실시예 중의 컴바인 콘 튜브는 실리콘 용액의 고-액-기 3상 경계점을 안정적으로 유지하면서, 불활성 기체가 질서정연하게 실리콘 용액 표면으로부터 흐르도록 보장하기에, 일산화 규소 기체를 가져가는 동시에, 실리콘 용액의 일부 열량이 결정 잉곳 표면으로 전송되도록 할 수 있으며, 결정 잉곳 하단의 변두리 축방향 온도차 및 변두리 축방향 온도차와 중심 축방향 온도차의 차이 값을 감소시켜, 이상적인 값에 접근하도록 하고, 결정 잉곳의 무결함 생장에 유익하며, 결정 잉곳 상단이 신속하게 냉각되면서, 결정 잉곳으로 하여금 결함형 핵이 성장하는 온도 구간을 빠르게 지나도록 하며, 최종적으로 고품질 결정 잉곳이 제조되기에, 본 개시의 실시예 중의 단결정 풀러도 상술한 유익한 효과를 가지며, 중복되는 설명을 피하기 위해, 여기서 더 이상 상세하게 기술하지 않기로 한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 선택적으로, 단결정 풀러는 도가니 및 도가니의 정상방에 위치한 컴바인 콘 튜브를 포함하며, 도가니는 그래파이트 도가니(8) 및 석영 도가니(7)를 포함하며, 도가니안에 실리콘 용액(8)이 담기고, 컴바인 콘 튜브는 실리콘 용액(8) 표면으로부터 일정한 높이에 있으며, 컴바인 콘 튜브중의 애뉴러 튜브(1)의 직경은 결정 잉곳(6)의 직경보다 약간 더 크며, 결정 잉곳(6)이 그 내부를 통과할 수 있도록 한다.
이상, 본 개시의 일부 실시 방식이며, 응당 설명해야 할 것은, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들은 본 개시의 상술한 원리를 일탈하지 않는 전제하에 다양한 개변 및 변형을 진행할 수 있으며, 본 개시에서는 이러한 개변 및 변형을 청구범위 내에 귀속 시키고자 한다.
Claims (9)
- 단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브에 있어서,
내부 실린더, 외부 실린더, 환형 샤시 및 애뉴러 튜브를 포함하며, 상기 내부 실린더는 도추형을 이루고, 상기 내부 실린더의 상단은 상기 외부 실린더의 상단과 연결되며, 상기 외부 실린더의 하단은 상기 환형 샤시의 외연부(outer edge)와 밀봉 연결되며, 상기 내부 실린더의 하단은 상기 환형 샤시의 상 표면(upper surface)과 고정 연결되며, 상기 애뉴러 튜브는 상기 환형 샤시의 환구를 관통하여 환구내에 고정되는 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 제1 항에 있어서,
상기 내부 실린더 및 상기 외부 실린더의 재질은 그래파이트 재료인 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 제1 항에 있어서,
상기 환형 샤시의 재질은 금속 몰리브덴인 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 제1 항에 있어서,
상기 애뉴러 튜브의 재질은 석영 재질인 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 제1 항에 있어서,
상기 내부 실린더, 상기 외부 실린더 및 상기 환형 샤시에 둘러싸여 형성된 캐비티내에 제1 충전체 및 제2 충전체가 설치되어 있고, 상기 제1 충전체는 상기 제2 충전체의 상방에 위치하며, 상기 제1 충전체는 열전도성 재료를 채용하여 제조되고, 상기 제2 충전체는 단열 재료를 채용하여 제조되는 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 제1 항에 있어서,
상기 애뉴러 튜브는 공심 원기둥 모양이고, 상기 애뉴러 튜브의 외벽 상에는 제1 볼록 링이 형성되어 있으며, 상기 제1 볼록 링은 상기 환형 샤시의 상 표면에 밀봉 랩핑(lapped)되어 있는 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 제1 항에 있어서,
상기 애뉴러 튜브의 하단부는 상기 환형 샤시의 밑바닥 부분으로부터 연장되고, 상기 하단부에는 수평으로 밖으로 연장된 제2 볼록 링이 설치되어 있는 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 제1 항에 있어서,
상기 환형 샤시의 외연부에는 제1 나사산이 형성되어 있고, 상기 외부 실린더의 하단에는 제2 나사산이 형성되어 있으며, 상기 환형 샤시 및 상기 외부 실린더는 상기 제1 나사산 및 상기 제2 나사산을 통해 나사산 배합 연결을 구현하는 것인,
단결정 풀러의 컴바인 콘 튜브. - 단결정 풀러에 있어서,
상기 단결정 풀러는 청구항 제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 따른 상술한 컴바인 콘 튜브를 포함하는 것인,
단결정 풀러.
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