KR20210145439A - 장착 구조물 및 이를 구비하는 검사 장치 - Google Patents

장착 구조물 및 이를 구비하는 검사 장치 Download PDF

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KR20210145439A
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 검사 장치는, 검사 대상물과 일정 거리 이격 배치되는 장착 구조물 및 상기 장착 구조물에 장착되는 다수의 측정 유닛을 포함하며, 상기 장착 구조물은, 상기 측정 유닛들이 결합되는 다수의 지지 프레임 및 상기 지지 프레임들이 방사상으로 고정 체결되는 지지부를 포함하고, 다수의 상기 지지 프레임 중 적어도 하나는, 탈착이 가능하도록 상기 지지부에 결합되며, 다른 지지 프레임과의 끼인각이 다르게 형성되는 다수의 결합 위치에 선택적으로 결합될 수 있다.

Description

장착 구조물 및 이를 구비하는 검사 장치{MOUNTING STRUCTURE AND INSPECTION APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 장착 구조물 및 이를 구비하는 검사 장치에 관한 것이다.
최근의 스마트폰, 테블릿 PC 등 휴대용 전자기기에는 카메라 모듈이 장착되는 것이 일반적이며, 이러한 카메라 모듈을 이용하여 휴대용 전자기기를 이용하여 사진이나 동영상을 촬영하게 된다.
최근 들어 카메라 모듈이 점차 초소형화, 고해상도 및 고화소화되면서 카메라 모듈을 제조한 후 초점 검사나 해상도 검사, 이물 검사 등과 같은 다양한 검사가 수행된다.
따라서, 카메라 모듈과 같은 검사 대상물을 용이하게 검사할 수 있는 검사 장치가 요구되고 있다
본 발명은 다양한 검사 대상물에 대응하여 측정 유닛의 위치를 용이하게 배치할 수 있는 장착 구조물 및 이를 구비하는 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 검사 장치는, 검사 대상물과 일정 거리 이격 배치되는 장착 구조물 및 상기 장착 구조물에 장착되는 다수의 측정 유닛을 포함하며, 상기 장착 구조물은, 상기 측정 유닛들이 결합되는 다수의 지지 프레임 및 상기 지지 프레임들이 방사상으로 고정 체결되는 지지부를 포함하고, 다수의 상기 지지 프레임 중 적어도 하나는, 탈착이 가능하도록 상기 지지부에 결합되며, 다른 지지 프레임과의 끼인각이 다르게 형성되는 다수의 결합 위치에 선택적으로 결합될 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 장착 구조물은, 검사 대상물을 측정하는 다수의 측정 유닛이 장착되는 돔(dome) 형의 장착 구조물로, 상기 측정 유닛들이 결합되는 다수의 지지 프레임 및 상기 지지 프레임들이 방사상으로 고정 체결되는 환형의 지지부를 포함하고, 다수의 상기 지지 프레임 중 적어도 하나는, 방위각이 다르게 형성되는 다수의 결합 위치에 선택적으로 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 검사 장치는 적어도 하나의 지지 프레임을 여러 결합 위치에 선택적으로 결합함으로써 다양한 방위각으로 검사 대상물을 검사할 수 있다. 따라서 다른 방위각으로 검사 대상물을 검사 및 측정하기 위해 장착 구조물 전체를 교체할 필요가 없으므로 측정이 매우 용이하며 측정 시간도 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사 장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 도 1에 도시된 장착 구조물의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 장착 구조물의 평면도. .
도 4는 도 2에 도시된 장착 구조물의 부분 분해 사시도.
도 5는 도 2의 장착 프레임의 지지부와 베이스 프레임을 도시한 사시도.
도 6은 도 5의 저면 사시도.
도 7 내지 도 9는 본 실시예에 따른 스포크 프레임을 도시한 도면.
도 10은 도 2에 도시된 장착 구조물의 결합부 하부면을 부분적으로 도시한 도면.
도 11은 도 10의 I-I에 따른 단면도.
도 12는 4:3 비율로 측정 유닛을 배치하기 위한 장착 프레임의 평면도.
도 13은 16:9 비율로 측정 유닛을 배치하기 위한 장착 프레임의 평면도.
도 14 및 도 15는 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치의 장착 구조물을 개략적으로 도시한 부분 분해 사시도.
본 발명의 상세한 설명에 앞서, 이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념으로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음을 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다. 본 실시예의 검사 장치는 렌즈와 같은 검사 대상물의 광학 특성을 검사하는 장치일 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 장착 구조물의 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 장착 구조물의 평면도이다. 또한 도 4는 도 2에 도시된 장착 구조물의 부분 분해 사시도이고, 도 5는 도 2의 장착 프레임의 지지부와 베이스 프레임을 도시한 사시도이며, 도 6은 도 5의 저면 사시도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 검사 장치(100)는 검사 대상물(1)의 상부에 배치되는 장착 구조물(10)과, 장착 구조물(10)에 장착되어 검사 대상물(1)을 측정하는 다수의 측정 유닛(90)을 포함할 수 있다.
측정 유닛(90)은 MTF(Modulation Transfer Function) 값을 통해 검사 대상물(1)인 렌즈 해상력의 품질을 판단할 수 있는 유닛일 수 있다.
MTF란 공간 주파수(Spatial Frequency)에 따른 흑백 Contrast를 수치화한 값으로 카메라의 해상력을 나타내는 대표적인 값이다. 해상력을 대표하는 값인 만큼 렌즈의 성능을 판단하는 주요 항목으로 널리 이용되고 있다.
본 실시예의 측정 유닛(90)은 MTF 값을 통해 렌즈 해상력의 품질을 판단할 수만 있다면 다양한 장치가 이용될 수 있으며, 형상이나 구조에 한정되지 않는다.
측정 유닛(90)은 다수 개가 장착 구조물(10)에 고정 체결된다. 본 실시예에서는 볼트와 같은 고정 부재를 이용하여 측정 유닛(90)을 장착 구조물(10)에 고정한다. 그러나 이에 한정되지 않으며, 탈착 가능하도록 측정 유닛(90)을 장착 구조물(10)에 결합할 수만 있다면 공지된 다양한 방식이 이용될 수 있다.
장착 구조물(10)은 다수의 측정 유닛(90)이 검사 대상물(1)을 향하여 배치되도록 고정되는 구조물로, 검사 대상물(1)과 일정 거리 이격 배치될 수 있다.
본 실시예에서 장착 구조물(10)은 전체적으로 돔(dome) 또는 반구(半球) 형상으로 형성되며, 지지부(20)와 다수의 지지 프레임(80)을 포함할 수 있다.
지지부(20)는 환형(環形)으로 형성되며, 장착 구조물(10)의 가장 하부에 배치되어 지지 프레임들(80)을 전체적으로 지지한다.
지지부(20)에는 지지 프레임들(80)이 결합되는 체결홀(H1~H8)이 구비될 수 있다. 체결홀(H1~H8)은 지지 프레임들(80)이 결합되는 다수의 결합 위치에 대응하여 다수 개가 마련될 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시예의 장착 구조물(10)은 후술되는 베이스 프레임(39)에 의해 4개의 영역으로 분할될 수 있다. 그리고 다수의 체결홀(H1~H8)은 분할된 각각의 영역에 분산 배치될 수 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 본 실시예의 지지부(20)는 지지 프레임들(80) 중, 고정 프레임(30)이 체결되는 4개의 제1 체결홀(H1)을 포함한다. 제1 체결홀들(H1)은 지지부(20)의 상에서 동일한 간격으로 이격 배치된다. 따라서 4개의 제1 체결홀(H1)에 결합되는 고정 프레임(30)에 의해 지지부(20)와 지지부(20)의 내부 공간은 동일한 크기로 4분할된다.
각각의 분할 영역에는 제2 내지 제8 체결홀(H2~H8)이 일정 거리 이격 배치된다. 제2 내지 제8 체결홀(H2~H8)은 2개의 제1 체결홀(H1)을 지나며 지지부(20)의 중심을 가로지르는 선(도 6의 C)을 기준으로 선대칭되는 형태로 배치될 수 있다.
제2 내지 제8 체결홀(H2~H8)에는 후술되는 스포크 프레임들(40, 50, 60)이 체결될 수 있다. 예컨대, 도 3, 도 12, 및 도 13에 도시된 바와 같이, 제1 기준 프레임(40)은 제5 체결홀(H5)에 체결될 수 있고, 제2 기준 프레임(50)은 제6 체결홀(H6) 또는 제7 체결홀(H6, H7)에 체결될 수 있다. 또한 보조 프레임(60)은 제2 체결홀(H2), 제3 체결홀(H3), 제4 체결홀(H4), 제8 체결홀(H8)에 선택적으로 체결될 수 있다.
제2 내지 제4 체결홀(H2~H4)에는 후술되는 제2 체결 슬릿(35)에 결합되는 보조 프레임(60)의 타단이 결합된다. 따라서 제2 내지 제4 체결홀(H2~H4)은 제2 체결 슬릿(35)과 방사상으로 대면하는 위치에 배치될 수 있다.
제5 체결홀(H5) 내지 제8 체결홀(H5~H8)에는 제1 체결 슬릿(34)에 결합되는 기준 프레임(40, 50)의 타단이 결합된다. 따라서 제5 내지 제8 체결홀(H5~H8)은 제1 체결 슬릿(34)과 방사상으로 대면하는 위치에 배치될 수 있다.
또한 제5 체결홀(H5)에는 제1 기준 프레임(40)의 타단이 결합된다. 본 실시예에서 제1 기준 프레임(40)은 분할 영역을 양분하도록 배치되므로, 제5 체결홀(H5)은 두 개의 제1 체결홀(H1) 사이를 양분하는 중간에 배치될 수 있다.
제2 내지 제8 체결홀(H2~H8)의 세부적인 위치나, 각 체결홀들(H2~H8) 사이의 이격 거리는 후술되는 방위각을 기준으로 규정될 수 있다. 이와 관련된 구성은 후술되는 스포크 프레임(40, 50, 60)에 대한 설명을 통해 보다 명확해질 것이다.
지지 프레임들(80)과 지지부(20) 간의 결합에는 볼트와 같은 별도의 고정 부재가 이용될 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다.
지지 프레임(80)은 지지부(20)에 결합되는 프레임들로, 방사상 및 돔(dome) 형태를 이루도록 지지부(20)에 결합될 수 있다.
본 실시예의 지지 프레임(80)은 베이스 프레임(39)과 스포크 프레임(40, 50, 60)을 포함할 수 있다.
베이스 프레임(39)은 지지부(20)의 중심축 상에 배치되는 중심부(38)와, 중심부(38)에서 사방으로 길게 연장되는 다수의 고정 프레임(30)을 포함한다. 본 실시예에서는 고정 프레임(30)이 네 개인 경우를 예로 들고 있으나 고정 프레임(30)의 수는 필요에 따라 변경될 수 있다.
고정 프레임(30)의 끝단은 지지부(20)의 제1 체결홀(H1)에 체결된다. 따라서 고정 프레임(30)은 일단이 중심부(38)에 연결되고 타단이 지지부(20)에 연결된다.
전술한 바와 같이 본 실시예의 장착 구조물(10)은 돔 형상으로 형성된다. 따라서 중심부(38)와 지지부(20)는 동일한 평면 상에 배치되지 않으며, 고정 프레임(30)은 호(弧) 형상으로 형성되어 중심부(38)와 지지부(20)를 연결한다.
고정 프레임(30)을 포함하는 모든 지지 프레임들(80)은 내부에 가이드 홈(85)이 구비된다. 가이드 홈(85)은 관통 구멍의 형태로 형성되며, 지지 프레임들(80)의 길이 방향을 따라 길게 슬릿 형태로 형성될 수 있다.
이러한 가이드 홈(85)에는 전술한 측정 유닛(90)이 결합될 수 있다. 예컨대 볼트와 같은 고정 부재가 가이드 홈(85)을 관통하여 측정 유닛(90)에 체결될 수 있으며, 이에 측정 유닛(90)은 가이드 홈(85)이 형성된 범위 내에서 다양한 위치에 배치될 수 있다. 즉, 작업자는 가이드 홈(85)을 따라 측정 유닛(90)의 위치를 선정하여 배치할 수 있다.
중심부(38)는 내부에는 중앙 슬릿(85a)이 구비될 수 있다. 중앙 슬릿(85a)은 즉, 지지부(20)의 중심축 상에 배치되며, 가이드 홈(85)과 마찬가지로 측정 유닛(90)이 결합되는 구멍으로 이용될 수 있다. 따라서 중앙 슬릿(85a)은 측정 유닛(90)이 이동 배치될 수 있는 짧은 슬릿 형태의 관통 구멍으로 형성될 수 있다.
또한 본 실시예의 중심부(38)는 결합부(31)를 포함할 수 있다.
결합부(31)는 2개의 고정 프레임(30) 사이에 배치될 수 있다. 따라서 본 실시예의 베이스 프레임(39)에는 4개의 고정 프레임(30) 사이 공간에 각각 4개의 결합부(31)가 구비될 수 있다.
결합부(31)는 스포크 프레임의 일단을 지지하며 스포크 프레임(40, 50, 60)과 결합된다. 이를 위해 각각의 결합부(31)는 제1 체결 슬릿(34)이 배치되는 내측 결합부(32)와, 제2 체결 슬릿(35)이 형성되는 외측 결합부(33)를 포함할 수 있다.
내측 결합부(32)는 중심부(38)에서 지지부(20)를 향해 연장되는 형태로 형성될 수 있으며, 중심부(38)와 2개의 고정 프레임(30)에 연결된다. 내측 결합부(32)에는 보조 프레임(60) 안착되어 결합된다.
외측 결합부(33)는 내측 결합부(32)에서 지지부(20)를 향해 연장되는 형태로 형성될 수 있으며, 2개의 고정 프레임(30) 중 어느 하나의 고정 프레임(30)과 연결되도록 구성된다. 외측 결합부(33)에는 프레임들(40, 50) 안착되어 결합된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 외측 결합부(33)는 고정 프레임(30)들 사이에 각각 1개씩 총 4개가 구비된다. 그리고 4개의 외측 지지부(20)는 4개의 고정 프레임(30)들 중 2개의 고정 프레임(30)에만 연결된다. 따라서 나머지 2개의 고정 프레임(30)에는 외측 지지부(20)가 연결되지 않는다.
여기서 외측 지지부(20)가 연결되는 고정 프레임(30)은, 베이스 프레임(39)의 평면을 기준으로, 일직선 상에 배치되는 2개의 고정 프레임(30)일 수 있으며, 중앙 슬릿(85a)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 배치되는 고정 프레임(30)일 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 체결 슬릿(34) 및 제2 체결 슬릿(35)은 각각 관통 구멍(86)의 형태로 형성되며, 지지부(20)와 동심을 갖는 호(弧) 형태의 슬릿 형태로 형성된다.
도 10은 도 2에 도시된 장착 구조물의 결합부 하부면을 부분적으로 도시한 도면이고, 도 11은 도 10의 I-I에 따른 단면도이다.
도 10 및 도 11을 함께 참조하면, 제1 체결 슬릿(34)은 내측 결합부(32)에 형성되며 제2 체결 슬릿(35)은 외측 결합부(33)에 형성된다. 따라서 제1 체결 슬릿(34)과 제2 체결 슬릿(35)은 반경 방향을 따라 일정 거리 이격 배치된다.
제1 체결 슬릿(34)에는 후술되는 기준 프레임(40, 50)이 결합되고 제2 체결 슬릿(35)에는 상대적으로 길이가 짧은 보조 프레임(60)이 결합된다. 따라서 제1 체결 슬릿(34)과 지지부(20) 간의 거리는 제2 체결 슬릿(35)과 지지부(20) 간의 거리보다 크게 형성될 수 있다.
결합부(31)는 후술되는 스포크 프레임(40, 50, 60)의 일단이 결합되는 부분이다. 따라서 세부적인 형상은 스포크 프레임(40, 50, 60) 단부 형상과 대응하도록 구성될 수 있다.
또한 제1 체결 슬릿(34)과 제2 체결 슬릿(35)이 슬릿 형태로 형성됨에 따라, 스포크 프레임(40, 50, 60)은 제1 체결 슬릿(34) 또는 제2 체결 슬릿(35)에 결합된 상태에서 위치의 보정이 가능하다. 예컨대, 도 12에 도시된 바와 같이, 후술되는 제2 기준 프레임(50)의 일단이 제1 체결 슬릿(34)에 배치되고 타단이 제6 체결홀(H6)에 배치된 상태에서 도 13에 도시된 상태로 타단을 제7 체결홀(H7)에 결합하는 경우, 체1 체결 슬릿에 결합된 고정 부재(82)는 결합부(31)와 완전히 분리될 필요가 없으며, 슬라이딩 이동이 가능할 정도로만 고정 부재(82, 예컨대 볼트와 너트)를 풀고 제1 체결 슬릿(34)의 길이 방향을 따라 이동시켜 알맞은 위치에 배치할 수 있다.
이를 위해, 제1 체결 슬릿(34)는 기준 프레임(40, 50)이 접촉하는 제1면 측에 형성되는 관통부(34a)와, 제1면의 반대면인 제2면 측에 형성되는 수용부(34b)를 포함할 수 있다.
그리고 수용부(34b)의 폭은 관통부(34a)보다 더 크게 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 체결 슬릿(34)은 수용부(34b) 측으로 갈수록 폭이 증가하는 형태로 형성될 수 있다.
도 12에 도시된 바와 같이, 결합부(31)의 제2면에 형성되는 수용부(34b) 내에는 너트(N)가 삽입될 수 있다. 너트(N)는 결합부(31)의 외부로 돌출되지 않도록 전체가 수용부(34b) 내에 배치될 수 있다.
관통부(34a)는 볼트(B)가 삽입 가능한 폭으로 형성되며, 너트(N)보다 작은 폭으로 형성된다. 따라서 수용부(34b)에 배치된 너트(N)에 볼트(B)가 결합되면, 너트(N)는 관통부(34a)를 통과하지 못하고 수용부(34b) 내에 배치되며 고정된다.
너트(N)가 결합부(31)의 하부면에서 외부로 돌출되도록 배치되는 경우, 돌출된 너트(N)와 지지 프레임(80)에 결합되는 측정 유닛(90)은 상호 간에 간섭이 발생될 수 있다. 따라서 측정 유닛(90)의 결합 위치에 제약이 발생될 수 있다.
그러나 본 실시예는 너트(N)가 완전히 결합부(31) 내부에 배치되므로, 상기한 문제를 해소할 수 있다.
또한 전술한 바와 같이 볼트(B)와 너트(N)를 완전히 분리하지 않고 제2 기준 프레임(50)의 일단을 슬라이딩 이동시키더라도, 너트(N)가 수용부(34b) 내에 배치된 상태에서 이동될 수 있으므로 너트(N)와 측정 유닛(90) 간의 간섭을 방지할 수 있다.
이러한 구성은 슬릿 형태로 형성되는 제2 체결 슬릿(35)이나 후술되는 제3 체결 슬릿(89), 그리고 이에 결합되는 스포크 프레임들(40, 50, 60)에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에서 제2 체결 슬릿(35)은 제1 체결 슬릿(34)보다 짧은 길이를 갖는 슬롯 형태로 형성된다. 그러나 본 발명의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다.
이와 같이 구성되는 본 실시예에 따른 베이스 프레임(39)과 지지부(20)는 중앙 슬릿(85a)을 기준으로 점대칭되며, 고정 프레임(30)들을 기준으로 선대칭되도록 구성될 수 있다.
도 7 내지 도 9는 본 실시예에 따른 스포크 프레임을 도시한 도면이다.
이를 함께 참조하면, 스포크 프레임(40, 50, 60)은 전술한 고정 프레임(30)과 유사하게 구성되며, 지지부(20)에 탈착 가능하게 결합된다. 또한 전술한 제2 내지 제8 체결홀(H2~H8)에 선택적으로 결합될 수 있다. 이에 고정 프레임(30)과의 끼인각이 다르게 형성되는 다수의 결합 위치에 선택적으로 배치될 수 있다.
각각의 스포크 프레임(40, 50, 60)은 지지 프레임(80)과 마찬가지로 호(弧) 형상으로 형성되며, 일단이 중심부(38) 측에 배치되고 타단은 지지부(20)에 체결될 수 있다. 이를 위해 스포크 프레임(40, 50, 60)은 양단에 각각 관통 구멍(86, 87)이 마련될 수 있다.
스포크 프레임(40, 50, 60)의 내부에는 가이드 홈(85)이 형성될 수 있다. 가이드 홈(85)은 스포크 프레임(40, 50, 60)의 길이 방향을 따라 길게 슬릿 형태로 스포크 프레임(40, 50, 60)의 내부를 관통하여 형성될 수 있다.
고정 프레임(30)과 마찬가지로, 스포크 프레임(40, 50, 60)의 가이드 홈(85)에는 전술한 측정 유닛(90)이 결합될 수 있다. 예컨대 볼트와 같은 고정 부재가 가이드 홈(85)을 관통하여 측정 유닛(90)에 체결될 수 있으며, 이에 측정 유닛(90)은 가이드 홈(85)을 따라 다양한 위치에 배치될 수 있다.
스포크 프레임(40, 50, 60)의 일단은 결합부(31)나 보조 결합부(88)에 형성된 제1 체결 슬릿(34) 내지 제3 체결 슬릿(89)을 통해 베이스 프레임(39)에 결합될 수 있다. 또한 스포크 프레임(40, 50, 60)의 타단은 제2 체결홀(H2) 내지 제8 체결홀(H8)을 통해 지지부(20)에 결합될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각 스포크 프레임들(40, 50, 60)과 베이스 프레임(39)의 결합에는 볼트와 너트와 같은 별도의 고정 부재들(82)이 이용될 수 있다. 예를 들어 스포크 프레임(40, 50, 60)의 관통 구멍(86)과 어느 하나의 체결 슬릿(34, 35, 89)을 차례로 관통하도록 볼트를 삽입한 후, 볼트의 끝단에 너트에 결합함으로써 스포크 프레임(40, 50, 60)을 베이스 프레임(39)의 고정 체결할 수 있다. 이 경우, 볼트와 너트를 완전히 분리하지 않더라도 체결 슬릿의 길이 방향을 따라 스포크 프레임(40, 50, 60)의 일단을 이동시킬 수 있다. 따라서 스포크 프레임(40, 50, 60)의 결합 위치 변경이 매우 용이하다.
스포크 프레임들(40, 50, 60)은 결합부(31) 또는 보조 결합부(88)와 겹치는 부분의 두께가 다른 부분에 비해 상대적으로 얇게 형성될 수 있다. 이에 따라 스포크 프레임(40, 50, 60)이 베이스 프레임(39)에 결합되면, 스포크 프레임(40, 50, 60)은 베이스 프레임(39)으로부터 돌출되지 않고 고정 프레임(30)과 함께 매끄러운 반구 형상을 형성할 수 있다.
스포크 프레임(40, 50, 60)은 형상과 길이에 따라 기준 프레임(40, 50)과 보조 프레임(60)으로 구분될 수 있다.
기준 프레임(40, 50)은 일단이 중심부(38)에 체결되며, 보조 결합부(88)의 유무에 따라 제1 기준 프레임(40)과 제2 기준 프레임(50)으로 구분될 수 있다.
도 7은 본 실시예에 따른 제1 기준 프레임을 도시한 도면이고, 도 8은 본 실시예에 따른 제2 기준 프레임을 도시한 도면이며, 도 9는 본 실시예에 따른 제3 기준 프레임을 도시한 도면이다.
이를 함께 참조하면, 제1 기준 프레임(40)은 보조 결합부(88)를 포함한다. 보조 결합부(88)는 전술한 외측 결합부(33)와 유사하게 구성되어 제1 기준 프레임(40)에 일체로 형성된다.
제1 기준 프레임(40)의 일단은 결합부(31)에 구비되는 제1 체결 슬릿(34)에 결합된다. 그리고 제1 기준 프레임(40)의 타단은 지지부(20)에 구비되는 제5 체결홀(H5)에 결합된다.
제1 기준 프레임(40)을 베이스 프레임(39)에 결합하는 경우 제1 기준 프레임(40)의 양측에는 각각 외측 결합부(33)와 보조 결합부(88)가 배치된다. 따라서 보조 결합부(88)는 제1 기준 프레임(40)이 베이스 프레임(39)에 결합될 때, 외측 결합부(33)와 반대 위치에서 외측 결합부(33)와 선대칭되는 형태로 배치되도록 제1 기준 프레임(40)에 마련될 수 있다.
보조 결합부(88)에는 제3 체결 슬릿(89)이 형성될 수 있다. 제1 기준 프레임(40)이 베이스 프레임(39)에 결합될 때, 제3 체결 슬릿(89)은 제2 체결 슬릿(35)과 선대칭되도록 배치될 수 있다.
따라서 제1 기준 프레임(40)이 베이스 프레임(39)에 결합되면, 제3 체결 슬릿(89)은 제2 체결 슬릿(35)과 동심을 가지며 반경이 동일한 호 형 슬릿으로 형성되며, 이에 제2 체결 슬릿(35)과 지지부(20) 사이의 거리는 제3 체결 슬릿(89)과 지지부(20) 사이의 거리와 동일하게 구성된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 고정 프레임(30)에 의한 각 분할 영역 내에서, 제1 기준 프레임(40)은 2개의 보조 프레임(60)과 함께 결합될 수 있다.
보다 구체적으로, 인접 배치되는 2개의 고정 프레임들(30) 사이의 공간으로 규정되는 하나의 분할 공간 내에서, 제1 기준 프레임(40)은 상기 분할 공간을 양분하는 형태로 지지부(20)에 결합될 수 있다. 그리고 2개의 보조 프레임(60)은 각각 제1 기준 프레임(40)과 고정 프레임(30) 사이의 공간을 양분하는 형태로 지지부(20)에 결합될 수 있다. 이때, 하나의 보조 프레임(60)은 일단이 제2 체결 슬릿(35)에 체결되고, 다른 하나의 보조 프레임(60)은 일단이 제3 체결 슬릿(89)에 체결될 수 있다.
이 경우, 제1 기준 프레임(40)과 지지 프레임(80) 사이의 끼인각은 45°로 형성될 수 있다. 여기서 상기한 끼인각은 실질적으로 방위각을 의미할 수 있다. 따라서 도 3에 도시된 장착 구조물(10)은 방위각이 45°인 1:1 비율의 측정에 이용될 수 있다.
한편, 본 실시예에서 제1 기준 프레임(40)은 가이드 홈(85)을 기준으로 보조 결합부(88)가 서로 반대 방향에 배치되는 2가지 형태를 포함할 수 있다. 예컨대, 도 7의 (b)에 도시된 형태(40a)와 (c)에 도시된 형태(40b)를 모두 포함하며, 도 3에 도시된 바와 같이 외측 결합부(33)가 배치된 위치에 따라 두 가지 형태(40a, 40b)가 선택적으로 결합될 수 있다.
제2 기준 프레임(50)은 제1 기준 프레임(40)과 유사하게 구성되며 보조 결합부(도 7의 88)는 구비하지 않는다.
따라서 제2 기준 프레임(50)의 일단은 결합부(31)에 구비되는 제1 체결 슬릿(34)에 결합될 수 있다. 그리고 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 제2 기준 프레임(50)의 타단은 제6 체결홀(H6) 또는 제7 체결홀(H7)에 결합될 수 있다.
하나의 분할 영역 내에서, 제2 기준 프레임(50)은 제1 기준 프레임(40)과 함께 지지부(20)에 결합될 수 없으며, 제1 기준 프레임(40)과 제2 기준 프레임(50) 중 어느 하나가 선택적으로 지지부(20)에 결합된다. 또한 적어도 하나의 보조 프레임(60)과 함께 결합될 수 있다.
보조 프레임(60)은 기준 프레임(40, 50)보다 짧은 길이로 형성되며, 기준 프레임(40, 50)과 고정 프레임(20)에 사이에 체결될 수 있다.
보조 프레임(60)의 일단은 결합부(31)에 구비되는 제2 체결 슬릿(35)에 결합되거나, 제1 기준 프레임(40)에 구비되는 제3 체결 슬릿(89)에 결합될 수 있다. 그리고 보조 프레임(60)의 타단은 일단이 결합되는 위치에 따라 변경될 수 있다.
보조 프레임(60)의 일단을 제2 체결 슬릿(35)에 결합하는 경우, 보조 프레임(60)의 타단은 제2, 제3, 제4 체결홀(H2, H3, H4) 중 어느 하나에 결합될 수 있다.
예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이 보조 프레임(60)이 제1 기준 프레임(40)과 함께 결합되는 경우, 보조 프레임(60)의 일단이 제2 체결 슬릿(35)에 결합되면 보조 프레임(60)의 타단은 제2 체결홀(H2)에 결합될 수 있다.
또한 도 12 내지 도 13에 도시된 바와 같이 보조 프레임(60)이 제2 기준 프레임(50)과 함께 결합되는 경우, 보조 프레임(60)은 일단이 제2 체결 슬릿(35)에 결합되고 타단은 제3 체결홀(H3) 또는 제4 체결홀(H4)에 결합될 수 있다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 보조 프레임(60)이 제1 기준 프레임(40)과 함께 결합되고 보조 프레임(60)의 일단이 제3 체결 슬릿(89)에 결합되는 경우, 보조 프레임(60)의 타단은 제8 체결홀(H8)에 결합될 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 실시예의 장착 구조물(10)은 스포크 프레임(40, 50, 60) 중 적어도 하나가 다수의 결합 위치에 선택적으로 결합될 수 있다. 여기서 다수의 결합 위치는 방위각이 각각 다르게 형성되는 위치들을 의미한다.
이로 인해 검사 대상물(1)의 종류나 구조에 따라 선택적으로 스포크 프레임(40, 50, 60)을 베이스 프레임(39)에 결합하여 이용할 수 있으며, 이에 검사 대상물(1)의 종류나 구조에 대응하여 측정 유닛(90)을 최적의 위치에 배치할 수 있다.
이에 대해 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 12는 4:3 비율로 측정 유닛을 배치하기 위한 장착 프레임의 평면도이고, 도 13은 16:9 비율로 측정 유닛을 배치하기 위한 장착 프레임의 평면도이다. 또한 도 3은 1:1 비율로 측정 유닛을 배치하기 위한 장착 프레임의 평면도이다.
검사 대상물(1)인 렌즈의 크기나 종류가 다른 경우, 측정 유닛(90)의 방위각도 변경될 필요가 있다. 이를 위해 본 실시예는 다양한 방위각(45°, 36.87°, 29.36° 등)으로 측정 유닛(90)을 배치할 수 있는 장착 구조물(10)을 제공한다.
일 예로, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 기준 프레임(40)을 베이스 프레임(39)에 결합하고, 제1 기준 프레임(40)의 양측에 각각 보조 프레임(60)을 배치할 수 있다. 이 경우, 고정 프레임(30)과 제1 장착 구조물(10) 간의 각도는 45°, 고정 프레임(30)과 제2 장착 구조물(10) 간의 각도는 22.5°이므로, 1:1 비율(방위각 45°)으로 측정 유닛(90)을 배치할 수 있다.
또 다른 일 예로, 도 12에 도시된 바와 같이, 보조 프레임(60)과 제2 기준 프레임(50)을 베이스 프레임(39)에 결합하고, 보조 프레임(60)의 타단을 제3 체결홀(H3)에 결합하며 제2 기준 프레임(50)의 타단을 제6 체결홀(H6)에 결합하는 경우, 고정 프레임(30)과 제2 기준 프레임(50) 간의 끼인각은 36.87°, 고정 프레임(30)과 보조 프레임(60) 간의 끼인각은 26.57°이므로, 4:3 비율(방위각 36.87°)으로 측정 유닛(90)을 배치할 수 있다.
또 다른 일 예로, 도 13에 도시된 바와 같이, 보조 프레임(60)과 제2 기준 프레임(50)을 베이스 프레임(39)에 결합하되, 보조 프레임(60)의 타단을 제4 체결홀(H4)에 결합하고 제2 기준 프레임(50)의 타단을 제7 체결홀(H7)에 결합하는 경우, 고정 프레임(30)과 제2 기준 프레임(50) 간의 끼인각은 29.36°, 고정 프레임(30)과 보조 프레임(60) 간의 끼인각은 30.32°이므로, 16:9 비율(방위각 29.36°)으로 측정 유닛(90)을 배치할 수 있다.
이처럼 본 실시예에 따른 장착 구조물(10)은 스포크 프레임(40, 50, 60)을 선택적으로 베이스 프레임(39)에 결합함으로써 다양한 방위각으로 검사 및 측정이 가능하다. 따라서 다른 방위각으로 검사 대상물(1)을 검사 또는 측정하기 위해 장착 구조물 전체를 교체할 필요가 없으므로 측정이 매우 용이하며 측정 시간도 최소화할 수 있다.
더하여, 장착 구조물을 교체함에 따라 수반되는 평행도 점검 과정이나, 측정 유닛을 장착 구조물에 반복적으로 분리 및 결합하는 과정에서 소요되는 시간을 최소화할 수 있다.
한편 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며 다양한 변형이 가능하다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치의 장착 구조물을 개략적으로 도시한 부분 분해 사시도로, 도 4에 대응하는 도면을 도시하고 있다.
도 14 및 도 15에 도시된 실시예의 장착 구조물은 지지부(20)에 구비되는 체결홀들(H2~H8) 중 적어도 하나가 슬릿 형태로 형성된다. 예컨대, 제3 내지 제4 체결홀(H3~H4)은 서로 연결되어 하나의 슬릿(S1) 내에 배치되고, 제6 내지 제7 체결홀(H6~H7)도 서로 연결되어 하나의 슬릿(S2) 내에 배치된다.
즉, 제2 기준 프레임(50)의 위치 변경에 이용되는 체결홀들(H6~H7)과 보조 프레임(60)의 위치 변경에 이용되는 체결홀들(H3~H4)은 서로 연결되어 하나의 슬릿(S1, S2) 내에 배치되도록 구성된다.
이 경우, 제1 내지 제2 체결 슬릿(34, 35)과 마찬가지로, 슬라이딩 이동을 통해 지지부(20) 측에 결합되는 스포크 프레임(50, 60)의 위치 변경이 가능하다.
도 14에 도시된 검사 장치(200)의 장착 구조물은 체결홀들을 연결하는 슬릿(S1, S2)이 체결홀(H2, H2, H6, H7)의 직경과 동일하거나 더 크게 형성된다. 이 경우, 체결홀(H2, H2, H6, H7)에 결합되는 고정 부재(84)는 제1 내지 제3 체결 슬릿(34, 35, 89)에 결합되는 고정 부재(82)와 같이 볼트와 너트를 포함하도록 구성될 수 있다.
따라서 제3 체결홀(H3)의 위치에 결합된 보조 프레임(60)의 위치를 변경하는 경우, 해당 위치에 결합된 고정 부재(82)를 지지부(20)와 완전히 분리할 필요가 없으며, 슬라이딩 이동이 가능할 정도로만 고정 부재(84, 예컨대 볼트와 너트)를 풀고 상기한 슬릿(S1)을 따라 제4 체결홀(H4)에 해당하는 위치에 배치한 후 고정할 수 있다. 따라서 스포크 프레임(50, 60)의 위치 변경이 매우 용이하다.
도 15에 도시된 검사 장치(300)의 장착 구조물은 각 체결홀(H3, H4, H6, H7)을 연결하는 슬릿(S1, S2)이 체결홀(H3, H4, H6, H7)의 직경보다 작은 폭으로 형성될 수 있다.
그리고 고정 부재(84)에서 상기한 슬릿(S1, S2)에 삽입되는 축부(84a)는 원통 형상의 일부를 제거하여 직경 방향의 두께가 부분적으로 작게 형성될 수 있다. 예컨대 축부(84a)의 최소 두께는 슬릿(S1, S2)의 폭과 동일하거나 그보다 작을 수 있다.
이에 따라, 고정 부재(84)는 축부(84a)가 슬릿(S1, S2)에 삽입되도록 축부(84a)가 회전된 후 슬릿(S1, S2)을 따라 이동될 수 있다. 그리고 체결홀(H3, H4, H6, H7)에 위치하게 되면 축부(84a)를 회전시켜 고정 부재(84)를 체결홀(S1, S2)에 결합시킬 수 있다.
따라서 본 실시예의 고정 부재(84)는 너트를 포함하지 않을 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다.
이와 같이 구성되는 본 실시예의 장착 구조물은 슬릿(S1, S2) 내에서 체결홀(H3, H4, H6, H7)의 위치가 명확하게 구분되므로, 용이하게 스포크 프레임을 원하는 위치에 배치할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
예컨대, 전술한 실시예에 개시된 장착 구조물은 돔형으로 형성되는 경우를 예로 들었으나, 평면형으로 형성하는 등 다양한 변형이 가능하다. 또한 전술한 실시예의 검사 장치는 렌즈에 대한 MTF 값을 측정하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 이 외에 다양한 검사 장치에도 폭넓게 적용될 수 있다.
더하여 각 실시예들은 서로 조합되어 실시될 수 있다.
1: 검사 대상물
10: 장착 구조물
20: 지지부
30: 고정 프레임
38: 중심부
39: 베이스 프레임
40: 제1 기준 프레임
50: 제2 기준 프레임
60: 보조 프레임
80: 지지 프레임
100, 200, 300: 검사 장치

Claims (16)

  1. 검사 대상물과 일정 거리 이격 배치되는 장착 구조물; 및
    상기 장착 구조물에 장착되는 다수의 측정 유닛;
    을 포함하며,
    상기 장착 구조물은,
    상기 측정 유닛들이 결합되는 다수의 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임들이 방사상으로 고정 체결되는 지지부;
    를 포함하고,
    다수의 상기 지지 프레임 중 적어도 하나는,
    탈착이 가능하도록 상기 지지부에 결합되며, 다른 지지 프레임과의 끼인각이 다르게 형성되는 다수의 결합 위치에 선택적으로 결합되는 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지 프레임은,
    환형으로 형성되는 상기 지지부에 고정 체결되는 베이스 프레임; 및
    일단이 지지부의 중심 측에 배치되고, 타단은 상기 지지부에 체결되는 다수의 스포크 프레임을 포함하는 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 베이스 프레임은
    상기 지지부의 중심축 상에 배치되는 중심부와,
    상기 중심부에서 사방으로 연장되는 다수의 고정 프레임을 포함하는 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서, 다수의 상기 스포크 프레임 중 적어도 하나는,
    일단이 상기 중심부에 체결되는 검사 장치.
  5. 제3항에 있어서, 다수의 상기 스포크 프레임은,
    일단이 상기 중심부에 체결되는 기준 프레임; 및
    상기 기준 프레임보다 짧은 길이로 형성되며, 일단이 상기 기준 프레임 또는 상기 중심부에 체결되는 보조 프레임;
    을 포함하는 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 기준 프레임은,
    인접 배치되는 2개의 상기 고정 프레임들 사이의 공간을 양분하는 형태로 상기 지지부에 결합 가능한 검사 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 보조 프레임은,
    상기 기준 프레임과 상기 고정 프레임 사이의 공간을 양분하는 형태로 상기 지지부에 결합 가능한 검사 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 기준 프레임과 상기 지지 프레임 사이의 끼인각은 45°인 검사 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 기준 프레임과 상기 지지 프레임 사이의 끼인각은 36.87° 또는 29.36° 인 검사 장치.
  10. 제5항에 있어서,
    상기 중심부는, 2개의 상기 지지 프레임의 사이에 배치되며 상기 스포크 프레임의 일단이 결합되는 결합부를 포함하고,
    상기 결합부에는 상기 스포크 프레임이 결합되는 관통 구멍 형태의 체결 슬릿이 구비되는 검사 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 결합부에 구비되는 상기 체결 슬릿은,
    상기 기준 프레임이 결합되는 제1 체결 슬릿과 상기 보조 프레임이 결합되는 제2 체결 슬릿을 포함하며,
    상기 제1 체결 슬릿과 상기 제2 체결 슬릿은 반경 방향으로 일정 거리 이격 배치되는 검사 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 기준 프레임은,
    일단 측에 상기 보조 프레임이 결합되는 보조 결합부를 갖는 제1 기준 프레임과, 상기 보조 결합부가 없는 제2 기준 프레임을 포함하며,
    상기 제1 기준 프레임과 상기 제2 기준 프레임은 어느 하나가 선택적으로 상기 지지부에 결합되는 검사 장치.

  13. 제1항에 있어서,
    상기 지지 프레임은, 길이 방향을 따라 내부에 관통 구멍의 형태로 형성되는 가이드 홈을 구비하며,
    상기 측정 유닛은 상기 가이드 홈을 따라 위치 선정이 가능하도록 상기 지지 프레임에 결합되는 검사 장치.
  14. 제2항에 있어서, 상기 지지부는,
    상기 스포크 프레임이 체결되는 체결홀을 구비하며,
    상기 체결홀은 상기 다수의 결합 위치에 대응하여 다수개가 마련되는 검사 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 체결홀은,
    다수 개가 하나의 슬릿 내에 배치되는 검사 장치.
  16. 검사 대상물을 측정하는 다수의 측정 유닛이 장착되는 돔(dome) 형의 장착 구조물로,
    상기 측정 유닛들이 결합되는 다수의 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임들이 방사상으로 고정 체결되는 환형의 지지부;
    를 포함하고,
    다수의 상기 지지 프레임 중 적어도 하나는,
    방위각이 다르게 형성되는 다수의 결합 위치에 선택적으로 결합되는 장착 구조물.
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