KR20210137187A - 정전 흡착 장치 및 제전 방법 - Google Patents

정전 흡착 장치 및 제전 방법 Download PDF

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

유전체 내에 전극과 히터를 내장한 정전 척을 갖는 정전 흡착 장치로서, 상기 전극에 직류 전력을 공급하는 직류 전원을 갖는 직류 전원부와, 상기 직류 전원과 상기 전극의 사이의 전력 공급로에 접속된 제 1 제전 회로와, 상기 제 1 제전 회로와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속된 제 2 제전 회로를 갖고, 상기 제 1 제전 회로는, 상기 전극과 어스 측을 전압 강하용 저항 부재를 통해 접속, 차단 가능한 제 1 접지 릴레이를 갖고, 상기 제 2 제전 회로는, 상기 제 1 제전 회로와 상기 제 2 제전 회로의 사이를 접속, 차단 가능한 격리 릴레이와, 상기 격리 릴레이와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속되고, 상기 전극과 어스 측을, 저항 부재를 통하지 않고 접속, 차단 가능한 제 2 접지 릴레이를 가진다.

Description

정전 흡착 장치 및 제전 방법
본 개시는, 정전 흡착 장치 및 제전 방법에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 전극을 내포하고, 상기 전극에의 직류 전압의 인가에 의해, 피흡착물이 정전기력에 의해 흡착되는 유전체와, 상기 피흡착물의 온도를 측정하기 위한 온도 측정 수단과, 상기 온도 측정 수단이 측정한 상기 피흡착물의 온도 프로파일을 모니터하고, 모니터한 상기 온도 프로파일에 근거해, 상기 피흡착물과 상기 유전체의 흡착 상태를 판별하는 흡착 상태 판별 수단을 구비하는 정전 흡착 장치가 개시되어 있다.
특허문헌 1 : 일본국 특허공개 2004－47512호 공보
본 개시에 따른 기술은, 기판을 탑재하는 탑재대에 마련된 정전 척에 대해서, 적절한 제전을 행한다.
본 개시의 일 태양은, 유전체 내에 전극과 히터를 내장한 정전 척을 갖는 정전 흡착 장치로서, 상기 전극에 직류 전력을 공급하는 직류 전원을 갖는 직류 전원부와, 상기 직류 전원과 상기 전극의 사이의 전력 공급로에 접속된 제 1 제전 회로와, 상기 제 1 제전 회로와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속된 제 2 제전 회로를 갖고, 상기 제 1 제전 회로는, 상기 전극과 어스 측을 전압 강하용 저항 부재를 통해 접속, 차단 가능한 제 1 접지 릴레이를 갖고, 상기 제 2 제전 회로는, 상기 제 1 제전 회로와 상기 제 2 제전 회로의 사이를 접속, 차단 가능한 격리 릴레이와, 상기 격리 릴레이와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속되고, 상기 전극과 어스 측을, 저항 부재를 통하지 않고 접속, 차단 가능한 제 2 접지 릴레이를 갖고 있는 정전 흡착 장치를 제공한다.
본 개시에 의하면, 기판을 탑재하는 탑재대에 마련된 정전 척에 대해서 적절한 제전을 행할 수가 있다.
도 1은 본 실시 형태에 따른 정전 흡착 장치를 갖는 성막 장치의 구성의 개략을 모식적으로 나타낸 설명도이다.
도 2는 본 실시 형태에 따른 정전 흡착 장치의 구성의 개략을 나타내는 설명도이다.
도 3은 도 2의 정전 흡착 장치에 있어서, 정전 척이 가동 상태에 있을 때의 모습을 나타내는 설명도이다.
도 4는 도 2의 정전 흡착 장치에 있어서, 제 1 제전 공정을 실시하고 있을 때의 모습을 나타내는 설명도이다.
도 5는 도 2의 정전 흡착 장치에 있어서, 제 2 제전 공정을 실시하고 있을 때의 모습을 나타내는 설명도이다.
반도체 디바이스의 제조 프로세스에 있어서는, 반도체 웨이퍼(이하, 「웨이퍼」라고 한다) 등의 기판을 탑재대의 소정의 위치에 유지하는 구조로서, 정전 척이라 불리는 정전기력을 이용한 흡착 부재가 이용되고 있다. 정전기력을 이용해 기판을 흡착 유지하므로, 진공 중에서도 이용 가능하다는 것 등으로부터, 성막 장치나 플라즈마 에칭 장치 등의 플라즈마 처리 장치에 이용되고 있다.
특허문헌 1에 기재된 정전 척은, 탑재대에 마련된 유전체와 한 쌍의 전극으로 구성되어 있고, 유전체는, 세라믹, 수지 등의 절연성 재료로 구성되어 있다. 그리고 상기한 한 쌍의 전극에 각각 극성이 다른 직류 전압을 인가하는 것으로 기판의 이면과 유전체의 탑재면에 발생하는 정전기력에 의해, 기판은 흡착된다. 이들 전극은 유전체의 내부에 매립되어 있고, 또한 유전체 내에는 기판을 소정의 온도로 가열하기 위한 히터가 내장되어 있다.
웨이퍼를 탑재대로부터 반송할 때에는, 정전 척에 의한 흡착을 해제하기 위해, 전극에 대한 직류 전압의 인가를 정지하고, 또한 잔류 전하를 제거하기 위해, 특허문헌 1에 기재된 정전 척은, 직류 전원으로부터의 급전선에의 전력 공급의 온/오프를 전환하여, 급전 스위치가 온일 때 직류 전원 측에 접속되고, 오프일 때에는 어스 측에 접속해 급전부 내에 있어서 접지되도록 되어 있다.
그러나, 급전 스위치를 오프로 해 어스 측에 접속하여 접지해도, 웨이퍼가 흡착되는 경우가 있었다. 발명자들이 그 원인을 조사, 검토하였는바, 유전체 내에 내장되어 있는 히터로부터의 누설 전류에 의한 영향인 것을 알았다. 즉, 히터가 작동하고 있을 때에는, 히터로부터 누설 전류가 유전체 내에 흘러, 유전체의 고유 저항을 통해 전극이 대전하고, 그것에 의해서 정전기력이 발생하여 웨이퍼가 흡착되는 것이다. 급전부 내의 어스 측에는, 전원 보호를 위해서 전압 강하용의 저항이 마련되어 있으므로, 유전체 내의 잔류 전하는 완전하게 어스 측으로 방출되지 않고, 전극의 차지 업(charge-up)을 초래하고 있었다.
그래서, 본 개시에 따른 기술은, 유전체 내에 히터를 내장하는 정전 척 등의 정전 흡착 장치에 있어서, 당해 히터로부터 누설 전류가 흘러도, 적절히 제전을 행해서 전극의 차지 업을 방지하여, 전원 정지 시에 있어서 웨이퍼가 흡착되는 것을 방지한다.
이하, 본 실시 형태에 따른 정전 흡착 장치의 구성에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 한편, 본 명세서에 있어서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 요소에 있어서는, 동일한 부호를 부여하는 것에 의해 중복 설명을 생략 한다.
＜성막 장치＞
도 1은, 본 실시 형태에 따른 정전 흡착 장치가 적용된 성막 장치(1)의 구성의 개략을 모식적으로 나타낸 측면 단면의 설명도이다. 도시되어 있는 바와 같이, 성막 장치(1)는, 처리 용기(10)를 구비하고 있다. 처리 용기(10)는, 예를 들면, 알루미늄으로 구성되어 있고, 접지 전위에 접속되어 있다. 처리 용기(10) 내에는 공간 S가 형성되어 있다. 처리 용기(10)의 저부의 배기구(10a)에는, 공간 S를 감압하기 위한 배기 장치(11)가, 어댑터(12)를 통해 접속되어 있다. 또한, 처리 용기(10)의 측벽에는, 웨이퍼 W의 반송용의 개구(10b)가 형성되고 있고, 당해 개구(10b)를 개폐하기 위한 게이트 밸브(13)가 마련되어 있다.
처리 용기(10) 내에는, 웨이퍼 W를 탑재하는 탑재대(15)가 마련되어 있다. 탑재대(15)는, 정전 흡착 장치(50)를 갖고 있다. 정전 흡착 장치(50)의 구성의 상세한 것에 대하여는 후술한다.
탑재대(15)는, 지축(16)을 통해 탑재대 구동 기구(17)에 접속되어 있다. 이것에 의해 탑재대(15)는, 회전이 자재(自在)이고, 또한 상하 이동이 자재이다.
처리 용기(10) 내에는, 선회가 자재인 가스 공급 헤드(18)가 마련되어 있다. 가스 공급 헤드(18)는, 지축(19)을 통해 헤드 구동 기구(20)에 접속되어 있다. 이것에 의해 가스 공급 헤드(18)는, 탑재대(15) 상의 웨이퍼 W를 덮는 위치에서, 웨이퍼 W에 대해서 가스 공급원(21)으로부터의 소정의 가스, 예를 들어 산화 가스를 공급할 수가 있다. 또한 반송 기구(도시하지 않음)에 의해 탑재대(15)와의 사이에서 웨이퍼 W를 수수할 때에는, 가스 공급 헤드(18)는 선회하여 당해 반송 기구와 간섭하지 않는 위치로 이동할 수가 있다.
탑재대(15)의 위쪽에는, 금속 타겟(30), (32)이 마련되어 있다. 금속 타겟(30), (32)은, 성막해야 할 금속 산화층의 종별에 따라, 임의로 선택될 수 있다. 각 금속 타겟(30), (32)은, 홀더(31), (33)에 의해 유지되어 있다. 금속 타겟(30), (32)은, 홀더(31), (33)를 통해, 각각 직류 전원(34), (35)과 접속되어 있다.
처리 용기(10) 내의 상부에 있어서의 금속 타겟(30), (32)의 사이에는, 가스 공급부(38)가 마련되어 있고, 탑재대(15)를 향해 소정의 가스, 예를 들면 아르곤 가스가, 가스 공급원(39)으로부터 공급 가능하다.
＜정전 흡착 장치＞
정전 흡착 장치(50)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 유전체, 예를 들면 질화 알루미늄 등의 세라믹으로 이루어지는 정전 척(51)을 갖고 있다. 또한 정전 흡착 장치(50)는, 정전 척(51)에 대해서, 직류 전력을 공급하는 직류 전원부(60)를 갖고 있다. 직류 전원부(60)는, 직류 전원(61)과, 제 1 제전 회로(62)를 갖고 있다. 또한 정전 흡착 장치(50)는, 중간 접지 장치(70)를 갖고, 이 중간 접지 장치(70)는, 제 2 제전 회로(71)를 갖고 있다.
정전 척(51)의 상면에는, 웨이퍼 W와의 사이에서 미소한 거리를 유지하여 웨이퍼 W를 직접 지지하기 위한 패드(51a)가 마련되어 있다.
정전 척(51)의 내부에는, 한 쌍의 전극(52), (53)이 마련되어 있다. 즉, 정전 척(51)은 이른바 쌍극형의 전극을 갖는 정전 척으로서 구성되어 있다. 그리고 정전 척(51) 내에 있어서의 전극(52), (53)의 아래 쪽에는, 전원(도시하지 않음)으로부터의 전력의 공급에 의해 발열하는 히터(54), (55)가 마련되어 있다.
직류 전원부(60)의 직류 전원(61)은, 양극측 단자(61a)와 음극측 단자(61b)를 갖고 있다. 양극측 단자(61a)에는, 외부에 출력하기 위한 외부 단자(62a)가 전기적으로 접속되어 있다. 양극측 단자(61a)와 외부 단자(62a)의 사이에는, 전압 강하용 저항 R1을 통해, 접지 릴레이(63)의 일단부가 접속되어 있고, 또한 접지 릴레이(63)의 타단부는, 어스 측에 접속되어 있다. 음극측 단자(61b)에는, 외부에 출력하기 위한 외부 단자(62b)가 접속되어 있다. 음극측 단자(61b)와 외부 단자(62b)의 사이에는, 전압 강하용 저항 R2를 통해, 접지 릴레이(64)의 일단부가 접속되어 있고, 또한 접지 릴레이(64)의 타단부는, 어스 측에 접속되어 있다. 이들 타단부가 어스 측에 접속되어 있는 접지 릴레이(63), (64), 및 접지 릴레이(63), (64)의 일단부 측에 마련된 전압 강하용 저항 R1, R2가 제 1 제전 회로(62)를 구성하고 있다.
중간 접지 장치(70) 내의 제 2 제전 회로(71)는, 직류 전원부(60)의 외부 단자(62a)에 일단부 측이 접속되는 격리 릴레이(73)와, 직류 전원부(60)의 외부 단자(62b)에 일단부 측이 접속되는 격리 릴레이(74)를 갖고 있다. 격리 릴레이(73)의 타단부 측은, 전력 공급로로서의 도전로(75)를 통해 정전 척(51) 내의 전극(52)과 전기적으로 접속되어 있다. 격리 릴레이(74)의 타단부 측은, 전력 공급로로서의 도전로(76)를 통해 정전 척(51) 내의 전극(53)과 전기적으로 접속되어 있다.
중간 접지 장치(70) 내의 제 2 제전 회로(71)에 있어서, 격리 릴레이(73)와 전극 (52)의 사이에 있어서의 도전로(75)에는, 접지 릴레이(77)의 일단부 측이 접속되고, 당해 접지 릴레이(77)의 타단부 측은, 어스 측에 접속되어 있다. 또한 격리 릴레이(74)와 전극(53)의 사이에 있어서의 도전로(76)에는, 접지 릴레이(78)의 일단부 측이 접속되고, 당해 접지 릴레이(78)의 타단부 측은, 어스 측에 접속되어 있다. 이들, 접지 릴레이(77)계의 어스 측으로의 도전로, 접지 릴레이(78)계의 어스 측으로의 도전로에는, 저항 부재는 특별히 마련되지 않고, 이들 도전로의 고유 저항은, 극력 억제되어 있다.
상기한 직류 전원부(60)에 있어서의 직류 전원(61)의 ON-OFF, 또한 제 1 제전 회로(62)에 있어서의 접지 릴레이(63), (64)의 접속, 차단, 즉 ON-OFF, 또한 중간 접지 장치(70) 내의 제 2 제전 회로(71)에 있어서의 격리 릴레이(73), (74)의 접속, 차단, 즉 ON-OFF, 그리고 제 2 제전 회로(71)에 있어서의 접지 릴레이(73), (74)의 접속, 차단, 즉 ON-OFF는, 제어 장치(80)에 의해 제어된다. 이러한 제어는, 컴퓨터 제어에 의한 제어에 의해 이루어지지만, 각 릴레이의 ON-OFF 자체는, 솔레노이드 등을 사용한 전용의 메카니컬 릴레이를 이용해 하드웨어적으로 제어하도록 해도 된다. 물론 그러한 하드웨어적인 제어에 한정하지 않고, 전자적으로 제어하도록 해도 된다.
＜제전 방법＞
본 실시의 형태에 따른 정전 흡착 장치(50)는 이상의 구성을 가지며, 다음에 이 정전 흡착 장치(50)를 이용한 제전 방법의 일례에 대해 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 종래는 정전 척(51) 내에 내장되어 있는 히터(54), (55)에 의해, 도시와 같이, 각 히터(54), (55)와 전극(52), (53)의 사이, 및 전극(52), (53)과 정전 척(51)의 표면의 사이에, 저항, 콘덴서로 이루어지는 등가 회로가 존재한다. 그 때문에, 전극(52), (53)과 직류 전원(61)의 사이가 차단되어도, 히터(54), (55)로부터의 누설 전류에 의해, 히터(54), (55)와 전극 및 정전 척(51)의 표면의 사이의 고유 저항에 의해, 정전 척(51)이 차지 업되고, 정전 척(51)의 표면에, 전극(52) 측은 플러스의 전하, 전극(53) 측은 마이너스의 전하가 모이고, 그 결과, 웨이퍼 W와의 사이에서 정전기력이 작동해, 웨이퍼 W의 흡착을 해제할 수 없는 경우가 있었다.
그러나 실시의 형태에 따른 정전 흡착 장치(50)에 의하면, 그러한 히터(54), (55)로부터의 누설 전류가 있었을 경우에서도, 정전 척(51)의 차지 업을 방지할 수가 있다. 이하, 그 순서의 일례에 대해 설명한다.
우선 도 3은, 정전 척(51)이 작동 상태에 있는 모습을 나타내고 있다. 즉, 도 3에 나타낸 바와 같이, 직류 전원부(60)에 있어서의 제 1 제전 회로(62)에 있어서, 접지 릴레이(63), (64)는, 개방 상태(차단 상태)로 한다. 그리고 중간 접지 장치(70) 내의 제 2 제전 회로(71)에 있어서는, 격리 릴레이(73), (74)를 폐쇄 상태(접속 상태)로 하고, 접지 릴레이(77), (78)는 개방 상태(차단 상태)로 한다.
이 상태에서 직류 전원부(60)의 직류 전원(61)을 ON로 하면, 격리 릴레이(73)로부터 도전로(75)를 통해 전극(52)에 직류 전류가 흐르고, 플러스의 전하가 전극(52)에 모인다. 이것에 의해, 전극(52) 위쪽의 정전 척(51) 표면에 플러스의 전하가 모인다. 한편, 음극 측에 대해서는, 도전로(76)를 통해 전극(53) 위쪽의 정전 척(51) 표면에 마이너스의 전하가 모인다. 이와 같이 하여, 정전 척(51) 표면에 영역을 나누어 플러스의 전하와 마이너스의 전하가 모여, 존슨 라벡력에 의해 웨이퍼 W는 정전 척(51)에 흡착된다.
다음에, 정전 척(51)의 가동 상태를 해제하는 경우, 즉 정지하는 경우에는, 우선 직류 전원부(60)의 직류 전원(61)을 OFF로 한다. 그리고 그와 동시에, 도 4에 나타낸 바와 같이, 우선 중간 접지 장치(70) 내의 제 2 제전 회로(71)에 있어서, 격리 릴레이(73), (74)는 그대로 폐쇄 상태(접속 상태)로 하고, 또한 접지 릴레이(77), (78)도 그대로 개방 상태(차단 상태)로 한다. 한편, 직류 전원부(60)에 있어서의 제 1 제전 회로(62)에 있어서는, 접지 릴레이(63), (64)를 폐쇄 상태(접속 상태)로 한다.
이것에 의해 제 1 제전 회로에 의한 제 1 제전 스텝이 행해져, 전극(52)의 플러스의 전하는, 도전로(75)를 거쳐, 격리 릴레이(73)로부터 제 1 제전 회로의 접지 릴레이(63)를 거쳐 어스 측으로 흐른다. 또한 전극(53)의 마이너스의 전하도, 도전로(76)를 거쳐, 격리 릴레이(74)로부터 제 1 제전 회로의 접지 릴레이(64)를 거쳐 어스 측으로 흐른다.
이 제 1 제전 회로의 접지 릴레이(63), (64)를 통해 전하를 방출하는 공정을 소정 시간 행한 후, 제 2 제전 회로(71)에 의한 제 2 제전 스텝이 행해진다. 즉, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제 1 제전 회로에 있어서의 접지 릴레이(63), (64)는 그대로 폐쇄 상태(접속 상태)로 한다. 한편, 중간 접지 장치(70) 내의 제 2 제전 회로(71)에 있어서는, 격리 릴레이(73), (74)를 개방 상태(차단 상태)로 하고, 접지 릴레이(77), (78)는 폐쇄 상태(접속 상태)로 한다. 이것에 의해 제 2 제전 회로(71)에 의한 제 2 제전 스텝이 행해진다.
즉, 직류 전원부(60)에 있어서의 제 1 제전 회로(62)에 있어서는, 직류 전원부(60) 내의 잔류 전하는, 접지 릴레이(63), (64)를 통해 어스 측으로 방출된다. 한편, 중간 접지 장치(70) 내의 제 2 제전 회로(71)에 있어서는, 격리 릴레이(73), (74)가 개방 상태(차단 상태)이기 때문에, 직류 전원부(60)와 중간 접지 장치(70)는 완전하게 격리된다.
그리고 중간 접지 장치(70)의 제 2 제전 회로(71)에 있어서는, 접지 릴레이(77), (78)는 폐쇄 상태(접속 상태)이고, 접지 릴레이(77), (78)계의 도전로에는, 특별히 저항 소자가 마련되어 있지 않기 때문에, 전하가 매우 흐르기 쉽게 되어 있다. 그 때문에, 접지 릴레이(77), (78)와 전기적으로 접속되어 있는 도전로(75), (76)에 전하가 흐른 경우에는, 신속하게, 접지 릴레이(77), (78)로부터 어스 측으로 놓아 줄 수가 있다.
따라서, 예를 들어 정전 척(51) 중에 히터(54), (55)로부터의 누설 전류가 흘러도, 그때의 전하를 신속하게, 접지 릴레이(77), (78)를 통해 어스 측으로 놓아 줄 수가 있다. 그러므로 히터(54), (55)로부터의 누설 전류에 기인하는 정전 척(51)의 차지 업은 방지된다.
상기 실시의 형태에서는, 제 2 제전 회로(71)는 중간 접지 장치(70) 내에 마련되어 있기 때문에, 중간 접지 장치(70)를 직류 전원부(60)으로부터 분리하고, 예를 들면 전압이 상이한 다른 직류 전원을 갖는 직류 전원부에 접속하는 것으로, 동일하게 상기한 바와 같은 제 2 제전 스텝을 실행할 수가 있다. 따라서, 상기 실시의 형태에 따른 정전 흡착 장치(50)는 범용성이 높다. 물론 제 2 제전 회로(71)는, 직류 전원부(60) 내에 마련해도 좋다.
또 이상과 같은 제전의 순서, 즉 제 1 제전 스텝을 행하고, 소정 시간 경과 후, 제 2 제전 스텝을 실행한다는 순서는, 제어 장치(80)에 의해 행해지고 있었지만, 이 제어는 예를 들어 미리 설정된 프로그램에 근거해 행해져도 된다. 또한 당해 소정 시간은, 직류 전원(61)의 종류, 정전 척(51)의 재질, 전극(52), (53)의 배치, 히터(54), (55)의 종류, 배치 등에 근거해, 설정된다. 더욱이 또한 상기 프로그램은, 제어 장치(80) 내의 프로그램 저장부(도시하지 않음)에 저장되어 있지만, 컴퓨터에 의해 독취 가능한 기억 매체에 기록되어 있던 것으로, 당해 기억 매체로부터 제어 장치(80)에 인스톨된 것이어도 괜찮다.
이번 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 하는 것이다. 상기의 실시 형태는, 첨부의 청구의 범위 및 그 주지를 일탈하는 일 없이, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 된다.
한편, 이하와 같은 구성도 본 개시의 기술적 범위에 속한다.
(1) 유전체 내에 전극과 히터를 내장한 정전 척을 갖는 정전 흡착 장치로서,
상기 전극에 직류 전력을 공급하는 직류 전원을 갖는 직류 전원부와,
상기 직류 전원과 상기 전극의 사이의 전력 공급로에 접속된 제 1 제전 회로와,
상기 제 1 제전 회로와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속된 제 2 제전 회로를 갖고,
상기 제 1 제전 회로는, 상기 전극과 어스 측을 전압 강하용 저항 부재를 통해 접속, 차단 가능한 제 1 접지 릴레이를 갖고,
상기 제 2 제전 회로는, 상기 제 1 제전 회로와 상기 제 2 제전 회로의 사이를 접속, 차단 가능한 격리 릴레이와, 상기 격리 릴레이와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속되고, 상기 전극과 어스 측을, 저항 부재를 통하지 않고 접속, 차단 가능한 제 2 접지 릴레이를 갖고 있는 정전 흡착 장치.
(2) 상기 제 1 제전 회로는, 상기 직류 전원부에 마련되어 있는, (1)에 기재된 정전 흡착 장치.
(3) 상기 제 2 제전 회로는, 상기 직류 전원부와 상기 전극의 사이에 마련된 중간 접지 장치에 마련되어 있는 (1) 또는 (2) 중 어느 하나에 기재된 정전 흡착 장치.
(4) 상기 제 1 접지 릴레이, 제 2 접지 릴레이 및 상기 격리 릴레이의 접속, 차단을 제어하는 제어 장치를 갖는 (1)~(3) 중 어느 하나에 기재된 정전 흡착 장치.
(5)(1)~(4) 중 어느 하나에 기재된 정전 흡착 장치를 이용한 정전 척의 제전 방법으로서,
상기 전극에의 직류 전력의 공급을 정지와 동시 또한 그 후에, 상기 정전 척의 전하를, 상기 제 1 제전 회로에 의해 제전하는 제 1 제전 공정과,
상기 제 1 제전 공정의 후, 상기 제 1 제전 회로를 상기 전력 공급로로부터 격리하고, 당해 격리와 동시, 또한 소정 시간 경과 후에, 상기 제 2 제전 회로에 의해 상기 정전 척의 전하를 제전하는 제 2 제전 공정을 갖는 정전 척의 제전 방법.
1　성막 장치
10　처리 용기
10a　배기구
10b　개구
11　배기 장치
12　어댑터
13　게이트 밸브
15　탑재대
17　탑재대 구동 기구
18　가스 공급 헤드
20　헤드 구동 기구
30, 32 금속 타겟
31, 33 홀더
38　가스 공급부
39　가스 공급원
50　정전 흡착 장치
51　정전 척
52, 53 전극
60　직류 전원부
61　직류 전원
62　제 1 제전 회로
63, 64 접지 릴레이
70　중간 접지 장치
71　제 2 제전 회로
73, 74 격리 릴레이
75, 76 도전로
77, 78 접지 릴레이
80　제어 장치
R1, R2　전압 강하용 저항
S　공간
W　웨이퍼

Claims (5)

  1. 유전체 내에 전극과 히터를 내장한 정전 척을 갖는 정전 흡착 장치로서,
    상기 전극에 직류 전력을 공급하는 직류 전원을 갖는 직류 전원부와,
    상기 직류 전원과 상기 전극의 사이의 전력 공급로에 접속된 제 1 제전 회로와,
    상기 제 1 제전 회로와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속된 제 2 제전 회로를 갖고,
    상기 제 1 제전 회로는, 상기 전극과 어스 측을 전압 강하용 저항 부재를 통해 접속, 차단 가능한 제 1 접지 릴레이를 갖고,
    상기 제 2 제전 회로는, 상기 제 1 제전 회로와 상기 제 2 제전 회로의 사이를 접속, 차단 가능한 격리 릴레이와, 상기 격리 릴레이와 상기 전극의 사이의 상기 전력 공급로에 접속되고, 상기 전극과 어스 측을, 저항 부재를 통하지 않고 접속, 차단 가능한 제 2 접지 릴레이를 갖고 있는 정전 흡착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 제전 회로는, 상기 직류 전원부에 마련되어 있는 정전 흡착 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 제전 회로는, 상기 직류 전원부와 상기 전극의 사이에 마련된 중간 접지 장치에 마련되어 있는 정전 흡착 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 접지 릴레이, 제 2 접지 릴레이 및 상기 격리 릴레이의 접속, 차단을 제어하는 제어 장치를 갖는 정전 흡착 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 정전 흡착 장치를 이용한 정전 척의 제전 방법으로서,
    상기 전극에의 직류 전력의 공급의 정지와 동시 또한 그 후에, 상기 정전 척의 전하를, 상기 제 1 제전 회로에 의해 제전하는 제 1 제전 공정과,
    상기 제 1 제전 공정의 후, 상기 제 1 제전 회로를 상기 전력 공급로로부터 격리하고, 당해 격리와 동시, 또한 소정 시간 경과 후에, 상기 제 2 제전 회로에 의해 상기 정전 척의 전하를 제전하는 제 2 제전 공정을 갖는
    정전 척의 제전 방법.
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