KR20210122102A - 반송 장치 - Google Patents

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다케히로 신도
신지 와카바야시
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 반송 장치의 동작이 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있는 기술을 제공한다.
[해결 수단] 본 개시의 일 태양에 의한 반송 장치는, 진공 반송실 내에 마련되는 반송 장치로서, 상기 진공 반송실과 격리된 내부 공간을 포함하는 구조체와, 상기 구조체에 대해서 회전하는 아암과, 상기 구조체와 상기 아암 사이의 미끄럼운동부를 기밀하게 시일하는 진공 시일 구조를 갖고, 상기 진공 시일 구조는, 상기 미끄럼운동부에 마련되는 시일 부재와, 상기 구조체, 상기 아암 및 상기 시일 부재에 의해 형성되고, 윤활제가 봉입되는 봉입부와, 상기 봉입부의 내압을 조정하는 압력 조정부를 포함한다.

Description

반송 장치{TRANSFER DEVICE}
본 개시는 반송 장치에 관한 것이다.
회전 구동 및 왕복 직선 구동되는 축이 관통하는 패킹 홀더를 진공 용기에 장착하고, 패킹 홀더의 내주부에 복수의 패킹을 수납하고, 인접하는 패킹 사이에 링 형상의 그리스 저류소를 마련한 진공 시일 구조가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
일본 실용신안 공개 제 평6-35737 호 공보
본 개시는 반송 장치의 동작이 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 태양에 의한 반송 장치는, 진공 반송실 내에 마련되는 반송 장치로서, 상기 진공 반송실과 격리된 내부 공간을 포함하는 구조체와, 상기 구조체에 대해서 회전하는 아암과, 상기 구조체와 상기 아암 사이의 미끄럼운동부를 기밀하게 시일하는 진공 시일 구조를 갖고, 상기 진공 시일 구조는, 상기 미끄럼운동부에 마련되는 시일 부재와, 상기 구조체, 상기 아암 및 상기 시일 부재에 의해 형성되고, 윤활제가 봉입되는 봉입부와, 상기 봉입부의 내압을 조정하는 압력 조정부를 포함한다.
본 개시에 의하면, 반송 장치의 동작이 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있다.
도 1은 실시형태의 처리 시스템의 일례를 도시하는 도면
도 2는 실시형태의 반송 장치의 일례를 도시하는 도면
도 3은 실시형태의 반송 장치의 다른 일례를 도시하는 도면
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 개시의 한정적이지 않은 예시의 실시형태에 대해서 설명한다. 첨부의 전체 도면 중, 동일 또는 대응하는 부재 또는 부품에 대해서는, 동일 또는 대응하는 참조 부호를 부여하고, 중복하는 설명을 생략한다.
[처리 시스템]
도 1을 참조하여, 실시형태의 처리 시스템에 대해서 설명한다. 도 1은 실시형태의 처리 시스템의 일례를 도시하는 도면이다. 도 1에서는, 설명의 편의상, 내부의 구성요소가 투과하도록 도시되어 있다.
처리 시스템(1)은 진공 반송실(10), 복수의 프로세스 챔버(20), 복수의 로드록실(30), 로더 모듈(40) 및 제어 장치(90)를 구비한다.
진공 반송실(10)은 소정의 진공도로 유지되어 있다. 진공 반송실(10)에는, 복수의 프로세스 챔버(20) 및 복수의 로드록실(30)이 접속되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 진공 반송실(10)에는 4개의 프로세스 챔버(20)가 접속되어 있지만, 진공 반송실(10)에는 3개 이하의 프로세스 챔버(20)가 접속되어 있어도 좋고, 5개 이상의 프로세스 챔버(20)가 접속되어 있어도 좋다. 또한, 본 실시형태에 있어서, 진공 반송실(10)에는 2개의 로드록실(30)이 접속되어 있지만, 진공 반송실(10)에는 1개의 로드록실(30)이 접속되어 있어도 좋고, 3개 이상의 로드록실(30)이 접속되어 있어도 좋다. 또한, 진공 반송실(10) 내에는, 반송 장치(100)가 배치되어 있다.
반송 장치(100)는 소정의 진공도로 감압된 로드록실(30) 내로부터 처리 전의 기판을 취출하여, 몇 개의 프로세스 챔버(20) 내에 반송한다. 또한, 반송 장치(100)는 처리 후의 기판을 프로세스 챔버(20)로부터 취출하여, 다른 프로세스 챔버(20) 또는 로드록실(30) 내에 반송한다. 본 실시형태에 있어서, 기판은 반도체 웨이퍼이다.
본 실시형태에 있어서, 반송 장치(100)는 기부(110), 기저 아암(120), 중간 아암(130) 및 선단 아암(140)을 갖고, 선단 아암(140) 상에 보지된 기판을 반송한다. 기부(110)와 기저 아암(120) 사이에는 진공 시일 구조(150)가 마련되고, 기저 아암(120)과 중간 아암(130) 사이에는 진공 시일 구조(160)가 마련되고, 중간 아암(130)과 선단 아암(140) 사이에는 진공 시일 구조(170)가 마련되어 있다. 진공 시일 구조(150, 160, 170)는 관절로서 기능하고, 각 관절에 마련된 구동 모터에 의해 회전(선회) 가능하게 접속되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 반송 장치(100)는 각각 독립적으로 구동 가능한 3개의 관절을 갖지만, 예를 들면, 반송 장치(100)는 각각 독립적으로 구동 가능한 4개 이상의 관절을 갖고 있어도 좋고, 각각 독립적으로 구동 가능한 2개의 관절을 갖고 있어도 좋다. 또한, 반송 장치(100)는 관절이 1개여도 좋다.
프로세스 챔버(20)는 기판에 대해서, 예를 들면, 저압 환경 하에서 에칭이나 성막 등의 처리를 실시한다. 프로세스 챔버(20)와 진공 반송실(10)은 게이트 밸브(21)에 의해서 개폐 가능하게 구획되어 있다. 프로세스 챔버(20)는 처리실의 일례이다. 각 프로세스 챔버(20)는 제조 공정 중에서 동일한 공정을 실행하는 모듈이어도 좋고, 상이한 공정을 실행하는 모듈이어도 좋다.
각 로드록실(30)은 도어(31) 및 도어(32)를 갖고, 내부의 압력을, 소정의 진공도의 압력으로부터 대기압으로, 또는 대기압으로부터 소정의 진공도의 압력으로 전환한다. 로드록실(30)과 진공 반송실(10)은 도어(31)에 의해서 개폐 가능하게 구획되어 있다. 또한, 로드록실(30)과 로더 모듈(40)은 도어(32)에 의해서 개폐 가능하게 구획되어 있다.
로더 모듈(40)은 로드록실(30)에 접속되어 있다. 로더 모듈(40) 내에는, 반송 장치(41)가 마련되어 있다. 로더 모듈(40)에는, 처리 전 또는 처리 후의 복수의 기판을 수용 가능한 용기(예를 들면, FOUP: Front Opening Unified Pod)가 접속되는 복수의 로드 포트(42)가 마련되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 반송 장치(41)는 각각 독립적으로 구동 가능한 3개의 관절을 갖는다. 단, 반송 장치(41)는 각각 독립적으로 구동 가능한 4개 이상의 관절을 갖고 있어도 좋고, 각각 독립적으로 구동 가능한 2개의 관절을 갖고 있어도 좋다. 또한, 반송 장치(41)는 관절이 1개여도 좋다. 반송 장치(41)는 로드 포트(42)에 접속된 용기로부터 처리 전의 기판을 취출하여 로드록실(30) 내에 반송한다. 또한, 반송 장치(41)는 내부의 압력이 대기압으로 되돌려진 로드록실(30)로부터 처리 후의 기판을 취출하여 로드 포트(42)에 접속된 용기 내에 반송한다. 또한, 로더 모듈(40)에는, 로드 포트(42)에 접속된 용기로부터 취출된 기판의 방향을 조정하는 얼라이너(도시되지 않음)가 마련되어 있어도 좋다.
제어 장치(90)는 처리 시스템(1)의 각 구성요소의 동작을 제어한다. 제어 장치(90)는 예를 들면, 컴퓨터 등이면 좋다. 또한, 처리 시스템(1)의 각 구성요소의 동작을 실행하는 컴퓨터의 프로그램은 기억 매체에 기억되어 있다. 기억 매체는 예를 들면, 플렉서블 디스크, 콤팩트 디스크, 하드 디스크, 플러시 메모리, DVD 등이면 좋다.
[반송 장치]
도 2를 참조하여, 실시형태의 반송 장치의 일례에 대해서 설명한다. 도 2는 실시형태의 반송 장치의 일례를 도시하는 도면이며, 반송 장치의 일부의 단면을 도시한다. 이하, 진공 시일 구조(170)를 예시하여 설명하지만, 진공 시일 구조(150, 160)에 대해서도 진공 시일 구조(170)와 마찬가지의 구성이면 좋다.
반송 장치(100)는 중간 아암(130), 선단 아암(140), 진공 시일 구조(170) 및 구동부(180)를 갖는다.
중간 아암(130)은 본체(131) 및 지지체(132)를 포함한다. 본체(131)는 중공의 판 형상으로 형성되어 있고, 진공 반송실(10)과 격리된 내부 공간(131a)을 포함한다. 내부 공간(131a)은 예를 들면, 대기 환경이면 좋다. 지지체(132)는 대략 원통 형상을 갖고, 본체(131)의 선단측의 상부에 접속되어 있다. 본체(131) 및 지지체(132)는 예를 들면, 알루미늄(Al) 등의 금속에 의해 형성되어 있다.
선단 아암(140)은 본체(141) 및 회전체(142)를 포함한다. 본체(141)는 중공의 판 형상으로 형성되어 있고, 진공 반송실(10)과 격리된 내부 공간(141a)을 포함한다. 내부 공간(141a)은 중간 아암(130)의 내부 공간(131a)과 연통하고, 예를 들면, 대기 환경이면 좋다. 회전체(142)는 본체(141)의 기단측의 하부에 접속되어 있다. 회전체(142)는 지지체(132)의 내경과 대략 동일한 외경의 대략 원통 형상을 갖고, 지지체(132)의 반경방향 내방으로 미끄럼운동 가능하게 마련되어 있고, 지지체(132)에 대해서 회전(선회) 가능하게 구성된다. 본체(141) 및 회전체(142)는 예를 들면, Al 등의 금속에 의해 형성되어 있다.
진공 시일 구조(170)는 선단 아암(140)이 중간 아암(130)에 대해서 회전(선회)할 때에, 진공 반송실(10) 내와 내부 공간(131a, 141a) 사이를 기밀하게 시일한다. 진공 시일 구조(170)는 제 1 시일 부재(171), 제 2 시일 부재(172), 봉입부(173), 제 1 연통로(174), 제 2 연통로(175) 및 캡 부재(176)를 포함한다.
제 1 시일 부재(171)는 지지체(132)와 회전체(142) 사이의 미끄럼운동부에 마련되어 있고, 미끄럼운동부를 기밀하게 시일한다. 제 1 시일 부재(171)는 예를 들면, O링이면 좋다.
제 2 시일 부재(172)는 지지체(132)와 회전체(142) 사이의 미끄럼운동부에 마련되어 있고, 미끄럼운동부를 기밀하게 시일한다. 제 2 시일 부재(172)는 연직 방향에 있어서 제 1 시일 부재(171)의 하방에, 제 1 시일 부재(171)와 간격을 두고서 마련되어 있다. 제 2 시일 부재(172)는 예를 들면, O링이면 좋다.
봉입부(173)는 지지체(132), 회전체(142), 제 1 시일 부재(171) 및 제 2 시일 부재(172)에 의해 형성되고, 진공용 그리스 등의 윤활제가 봉입되는 영역이다. 윤활제에 의해서 지지체(132)와 제 1 시일 부재(171) 및 제 2 시일 부재(172) 사이, 및 회전체(142)와 제 1 시일 부재(171) 및 제 2 시일 부재(172) 사이의 윤활이 실행됨으로써, 제 1 시일 부재(171) 및 제 2 시일 부재(172)의 마모가 적어진다. 그 결과, 제 1 시일 부재(171) 및 제 2 시일 부재(172)의 수명이 길어진다.
제 1 연통로(174)는 일단이 봉입부(173)와 연통하고, 타단이 내부 공간(131a)과 연통한다. 바꿔말하면, 봉입부(173)는 제 1 연통로(174)를 거쳐서 내부 공간(131a)과 연통한다. 제 1 연통로(174)는 진공 반송실(10) 내의 진공도의 변화나 미끄럼운동부의 온도의 변화 등에 의해 봉입부(173)의 내압이 높아졌을 때에, 봉입부(173)에 봉입된 윤활제를 빼내는 것에 의해 봉입부(173)의 내압이 낮아지도록 조정한다. 이에 의해, 봉입부(173)의 내압이 높아지는 것에 의해 회전체(142)에의 가압력이 변동하여 중간 아암(130)에 대한 선단 아암(140)의 동작이 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 제 1 연통로(174)의 타단의 위치가 봉입부(173)보다 하방인 경우에는, 제 1 연통로(174)는 연직 방향으로 되접히도록 형성된 되접힘부(174a)를 포함하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 봉입부(173)로부터 제 1 연통로(174)로 이동한 윤활제가 내부 공간(131a)에 누출되는 것을 방지할 수 있다. 되접힘부(174a)는 윤활제의 누출 방지의 관점에서, 적어도 일부가 봉입부(173)의 상단보다 상방에 위치하는 것이 바람직하다.
제 2 연통로(175)는 일단이 봉입부(173)와 연통하고, 타단이 진공 반송실(10) 내와 연통한다. 제 2 연통로(175)는 봉입부(173)에 윤활제를 보충하거나, 봉입부(173)에 봉입된 윤활제를 교환하거나 하기 위한 포트로서 기능한다.
캡 부재(176)는 제 2 연통로(175)의 타단에 착탈 가능하게 마련되어 있다. 캡 부재(176)는 예를 들면, 나사이며, 제 2 연통로(175)의 타단을 기밀하게 폐지한다. 캡 부재(176)는 봉입부(173)에 윤활제를 보충하거나, 봉입부(173)에 봉입된 윤활제를 교환하거나 할 때에 분리된다.
구동부(180)는 내부 공간(131a)에 마련되어 있고, 선단 아암(140)을 중간 아암(130)에 대해서 회전(선회)시킨다. 구동부(180)는 구동 모터(181) 및 전달부(182)를 포함한다.
구동 모터(181)는 내부 공간(131a)에 마련되어 있다. 구동 모터(181)는 예를 들면, 서보모터, 스테핑 모터이면 좋다.
전달부(182)는 구동 모터(181)의 회전을 회전체(142)에 전달하는 것에 의해, 회전체(142)를 연직축(Z)의 회전으로 회전시킨다. 이에 의해, 선단 아암(140)이 중간 아암(130)에 대해서 회전(선회)한다. 전달부(182)는 예를 들면, 복수의 기어의 조합, 벨트와 풀리의 조합이면 좋다.
이상에 설명한 바와 같이, 실시형태의 반송 장치(100)는 윤활제가 봉입되는 봉입부(173)의 내압을 조정하는 제 1 연통로(174)를 포함하는 진공 시일 구조(170)를 갖는다. 이에 의해, 진공 반송실(10) 내의 진공도의 변화나 미끄럼운동부의 온도의 변화 등에 의해 봉입부(173)의 내압이 높아졌을 때에, 봉입부(173)에 봉입된 윤활제를 제 1 연통로(174)에 빼내는 것에 의해 봉입부(173)의 내압이 낮아지도록 조정할 수 있다. 그 때문에, 봉입부(173)의 내압이 높아지는 것에 의해 회전체(142)에의 가압력이 변동하여 중간 아암(130)에 대한 선단 아암(140)의 동작이 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있다. 이와 같이 반송 장치(100)의 동작 특성에 대한 온도 의존성을 저감할 수 있다. 이에 의해, 반송 장치(100)의 반송 정밀도나 신뢰성이 향상한다. 또한, 반송 속도를 높일 수 있다.
또한, 반송 장치(100)에 있어서, 중간 아암(130)은 구조체의 일례이며, 선단 아암(140)은 아암의 일례이며, 제 1 연통로(174)는 압력 조정부의 일례이다.
도 3을 참조하여, 실시형태의 반송 장치의 다른 일례에 대해서 설명한다. 도 3은 실시형태의 반송 장치의 다른 일례를 도시하는 도면이며, 반송 장치의 일부의 단면을 도시한다. 도 3에 도시되는 반송 장치(100A)는 진공 시일 구조(170)를 대신하여 진공 시일 구조(170A)를 갖는 점에서 반송 장치(100)와 상이하다. 또한, 그 외의 구성에 대해서는, 반송 장치(100)와 마찬가지이므로, 이하, 반송 장치(100)와 상이한 구성을 중심으로 설명한다.
진공 시일 구조(170A)는 선단 아암(140)이 중간 아암(130)에 대해서 회전(선회)할 때에, 진공 반송실(10) 내와 내부 공간(131a, 141a) 사이를 기밀하게 시일한다. 진공 시일 구조(170A)는 제 1 시일 부재(171), 제 2 시일 부재(172), 봉입부(173), 제 2 연통로(175) 및 용적 조정부(177)를 포함한다.
용적 조정부(177)는 제 2 연통로(175)의 타단에 마련되고, 제 2 연통로(175)의 용적을 조정한다. 용적 조정부(177)는 캡 부재(177a), 축체(177b), 머리부(177c) 및 벨로우즈(177d)를 포함한다. 축체(177b), 머리부(177c) 및 벨로우즈(177d)는 신축부로서 기능한다.
캡 부재(177a)는 제 2 연통로(175)의 타단에 O링 등의 시일 부재(177e)를 거쳐서 착탈 가능하게 마련되어 있다. 캡 부재(177a)는 예를 들면, 나사이며, 제 2 연통로(175)의 타단을 기밀하게 폐지한다. 캡 부재(177a)는 봉입부(173)에 윤활제를 보충하거나, 봉입부(173)에 봉입된 윤활제를 교환하거나 할 때에 분리된다. 캡 부재(177a)에는, 관통 구멍(177f)이 형성되어 있다.
축체(177b)는 일단이 관통 구멍(177f)에 끼워맞춤한다. 축체(177b)를 관통 구멍(177f)에 끼워맞춤한 상태로 축체(177b)를 회전시키는 것에 의해, 축체(177b)와 일체로 캡 부재(177a)가 회전한다. 이에 의해, 캡 부재(177a)를 제 2 연통로(175)에 대해서 착탈할 수 있다.
머리부(177c)는 축체(177b)의 타단에 연결되어 있다.
벨로우즈(177d)는 신축 가능하고, 일단이 캡 부재(177a)에 접속되고, 타단이 머리부(177c)에 접속되고, 축체(177b)를 덮도록 마련되어 있다.
이러한 용적 조정부(177)에서는, 봉입부(173)의 내압이 높아졌을 때에, 벨로우즈(177d)를 신장시켜서, 봉입부(173)에 봉입된 윤활제를 벨로우즈(177d)로 덮여진 영역에 빼냄으로써 봉입부(173)의 내압이 낮아지도록 조정한다. 이에 의해, 봉입부(173)의 내압이 높아지는 것에 의해 회전체(142)에의 가압력이 변동하여 중간 아암(130)에 대한 선단 아암(140)의 동작이 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있다.
이상에 설명한 바와 같이, 실시형태의 반송 장치(100A)는 윤활제가 봉입되는 봉입부(173)의 내압을 조정하는 제 2 연통로(175) 및 용적 조정부(177)를 포함하는 진공 시일 구조(170A)를 갖는다. 이에 의해, 진공 반송실(10) 내의 진공도의 변화나 미끄럼운동부의 온도의 변화 등에 의해 봉입부(173)의 내압이 높아졌을 때에, 봉입부(173)에 봉입된 윤활제를 용적 조정부(177)에 빼내는 것에 의해 봉입부(173)의 내압이 낮아지도록 조정할 수 있다. 그 때문에, 봉입부(173)의 내압이 높아지는 것에 의해 회전체(142)에의 가압력이 변동하여 중간 아암(130)에 대한 선단 아암(140)의 동작이 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있다. 이와 같이 반송 장치(100A)의 동작 특성에 대한 온도 의존성을 저감할 수 있다. 이에 의해, 반송 장치(100A)의 반송 정밀도나 신뢰성이 향상한다. 또한, 반송 속도를 높일 수 있다.
또한, 반송 장치(100A)에 있어서, 신축부가 축체(177b), 머리부(177c) 및 벨로우즈(177d)를 포함하는 경우를 설명했지만, 본 개시는 이에 한정되지 않고, 신축부는 관통 구멍(177f)를 덮도록 마련된 신축 가능한 자루체여도 좋다.
또한, 반송 장치(100A)에 있어서, 중간 아암(130)은 구조체의 일례이며, 선단 아암(140)은 아암의 일례이며, 제 2 연통로(175) 및 용적 조정부(177)는 압력 조정부의 일례이다.
금회 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아닌 것으로 고려되어야 하는 것이다. 상기의 실시형태는 첨부의 청구범위 및 그 취지를 일탈하는 일 없이, 여러가지 형태로 생략, 치환, 변경되어도 좋다.
상기의 실시형태에서는, 진공 시일 구조가 1축인 경우를 설명했지만, 본 개시는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 진공 시일 구조는 2축인 경우여도 좋다.
10 : 진공 반송실
100 : 반송 장치
110 : 기부
120 : 기저 아암
130 : 중간 아암
140 : 선단 아암
150, 160, 170 : 진공 시일 구조
171 : 제 1 시일 부재
172 : 제 2 시일 부재
173 : 봉입부
174 : 제 1 연통로
174a : 되접힘부
175 : 제 2 연통로
177 : 용적 조정부
177a : 캡 부재
177b : 축체
177c : 머리부
177d : 벨로우즈
177f : 관통 구멍
180 : 구동부

Claims (10)

  1. 진공 반송실 내에 마련되는 반송 장치에 있어서,
    상기 진공 반송실과 격리된 내부 공간을 포함하는 구조체와,
    상기 구조체에 대해서 회전하는 아암과,
    상기 구조체와 상기 아암 사이의 미끄럼운동부를 기밀하게 시일하는 진공 시일 구조를 갖고,
    상기 진공 시일 구조는,
    상기 미끄럼운동부에 마련되는 시일 부재와,
    상기 구조체, 상기 아암 및 상기 시일 부재에 의해 형성되고, 윤활제가 봉입되는 봉입부와,
    상기 봉입부의 내압을 조정하는 압력 조정부를 포함하는
    반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력 조정부는 일단이 상기 봉입부와 연통하고, 타단이 상기 구조체의 상기 내부 공간과 연통하는 제 1 연통로를 포함하는
    반송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 연통로는 연직 방향으로 되접히도록 형성된 되접힘부를 포함하는
    반송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 되접힘부의 적어도 일부는 상기 봉입부의 상단보다 상방에 위치하는
    반송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력 조정부는,
    일단이 상기 봉입부와 연통하고, 타단이 상기 진공 반송실 내와 연통하는 제 2 연통로와,
    상기 제 2 연통로의 상기 타단에 마련되고, 상기 제 2 연통로의 용적을 조정하는 용적 조정부를 포함하는
    반송 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 용적 조정부는,
    상기 제 2 연통로의 상기 타단을 기밀하게 폐지하는 캡 부재로서, 관통 구멍을 포함하는, 캡 부재와,
    상기 관통 구멍을 덮는 신축부를 포함하는
    반송 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 신축부는,
    일단이 상기 관통 구멍에 끼워맞춤하는 축체와,
    상기 축체의 타단에 연결되는 머리부와,
    일단이 상기 캡 부재에 접속되고, 타단이 상기 머리부에 접속되고, 상기 축체를 덮는 벨로우즈를 포함하는
    반송 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조체의 상기 내부 공간은 대기 환경인
    반송 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조체의 상기 내부 공간에 마련되고, 상기 아암을 회전시키는 구동부를 더 포함하는
    반송 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 윤활제는 진공용 그리스인
    반송 장치.
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