KR20210107592A - Semiconductor device, fabrication method for a semiconductor device and electronic apparatus - Google Patents

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KR20210107592A
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요시야 하기모토
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Abstract

A semiconductor device of the present invention includes: a first substrate including a first electrode and a first insulating film made of a diffusion preventing material for the first electrode and covering the periphery of the first electrode, and constituting a bonding surface on the first electrode and the first insulating film; and a second substrate installed to be bonded to the first substrate, including a second electrode bonded to the first electrode and a second insulating film made of a diffusion preventing material for the second electrode and covering the periphery of the second electrode, and constituting a bonding surface for the first substrate on the second electrode and the second insulating film. The present invention is to provide the semiconductor device with a three-dimensional structure, which prevents diffusion of electrode materials into the insulating film while ensuring bonding strength, thereby improving reliability.

Description

반도체 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 전자 기기{SEMICONDUCTOR DEVICE, FABRICATION METHOD FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS}A semiconductor device, a method of manufacturing a semiconductor device, and an electronic device TECHNICAL FIELD

본 기술은, 복수 기판을 맞붙임(bonding)에 의해 전극 사이 또는 배선 사이 접합이 이루어진 반도체 장치, 이와 같은 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치를 포함하는 전자 기기에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present technology relates to a semiconductor device in which bonding between electrodes or wiring is formed by bonding a plurality of substrates, a method for manufacturing such a semiconductor device, and an electronic device including the semiconductor device.

종래, 2장의 웨이퍼 또는 기판을 맞붙여서, 각각의 반도체 기판에 형성된 접합 전극끼리를 접합하는 기술이 개발되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).BACKGROUND ART Conventionally, a technique has been developed in which two wafers or substrates are laminated and bonded electrodes formed on each semiconductor substrate are bonded together (see, for example, Patent Document 1).

또한, 반도체 장치의 더한층의 고집적화를 달성하기 위한 구조의 하나로서, 각각에 소자나 배선이 형성된 2장의 기판을 적층시켜서 맞붙이는 3차원 구조가 제안되어 있다. 이와 같은 3차원 구조의 반도체 장치를 제조하는 경우, 우선, 각각에 소자가 형성된 2장의 기판을 준비하고, 각각의 기판의 맞붙임면측에, 접합용의 전극(본딩 패드)를 인출한 상태로 한다. 이때, 예를 들면 매입 배선 기술(이른바 다마신(damascene) 처리)를 적용함에 의해, 구리(Cu)로 이루어지는 접합용의 전극이 절연막으로 둘러싸인 구성의 맞붙임면을 형성한다. 그 후, 맞붙임면을 대향시켜서 2장의 기판을 배치하고, 또한 각 맞붙임면에 마련한 전극끼리를 대응시켜서 2장의 기판을 적층시키고, 이 상태에서 열처리를 시행한다. 이에 의해, 전극 사이를 접합시킨 기판 사이의 맞붙임을 행한다(이상, 예를 들면 하기 특허 문헌 1 참조).Further, as one of the structures for achieving further high integration of the semiconductor device, a three-dimensional structure in which two substrates each having elements and wirings formed thereon are laminated and bonded together has been proposed. In the case of manufacturing a semiconductor device having such a three-dimensional structure, first, two substrates each having an element formed thereon are prepared, and the bonding electrode (bonding pad) is drawn out from the bonding surface side of each substrate. . At this time, for example, by applying a buried wiring technique (so-called damascene processing), a bonding surface of a structure in which the bonding electrode made of copper (Cu) is surrounded by an insulating film is formed. Then, two board|substrates are arrange|positioned by making a bonding surface oppose, and the electrodes provided in each bonding surface are made to correspond, and two board|substrates are laminated|stacked, and heat processing is performed in this state. Thereby, bonding between the board|substrates to which the electrodes were bonded is performed (refer the following patent document 1 above, for example).

여기서, 일반적인 매입 배선 기술에 의한 전극의 형성은, 예를 들면 다음과 같이 행하여진다. 우선, 기판의 표면을 덮는 절연막에 홈 패턴을 형성하고, 뒤이어 홈 패턴의 내벽을 덮는 상태로, 구리(Cu)에 대해 배리어성을 갖는 도전성의 하지층 또는 배리어 메탈층을 절연막상에 성막한다. 다음에, 배리어 메탈층의 상부에, 홈 패턴을 매입하는 상태로 구리(Cu)를 이용한 전극막을 성막한 후, 배리어 메탈층이 노출할 때까지 전극막을 연마하고, 또한 절연막이 노출할 때까지 배리어 메탈층과 전극막을 연마한다. 이에 의해, 절연막에 형성한 홈 패턴 내에 배리어 메탈층을 통하여 전극막이 매입된 매입 전극이 형성된다.Here, formation of an electrode by a general buried wiring technique is performed as follows, for example. First, a groove pattern is formed in an insulating film that covers the surface of the substrate, and then a conductive underlayer or barrier metal layer having barrier properties to copper (Cu) is formed on the insulating film while covering the inner wall of the groove pattern. Next, an electrode film using copper (Cu) is formed on top of the barrier metal layer in a state where the groove pattern is embedded, and then the electrode film is polished until the barrier metal layer is exposed, and the barrier is further exposed until the insulating film is exposed. The metal layer and the electrode film are polished. Thereby, the buried electrode in which the electrode film is embedded through the barrier metal layer in the groove pattern formed in the insulating film is formed.

이상의 매입 배선 기술에서는, 전극막을 연마하여 배리어 메탈층이 노출한 시점에서 전극막의 연마를 자동적으로 정지할 수 있는 것이지만, 계속해서 행하여지는 전극막과 배리어 메탈층과의 연마에서는 절연막이 노출한 시점에서 전극막의 연마를 자동적으로 정지할 수가 없다. 이 때문에, 연마면 내에서는, 홈 패턴 내의 전극막이 과잉하게 연마되는 디싱이나, 전극 레이아웃에 의존하여 홈 패턴 내의 전극막이 과잉하게 연마된 에로전이 발생하기 쉽고, 평탄한 연삭면을 얻는 것이 곤란하다. 그래서, 전극막을 성막하기 전에, 절연막상의 배리어 메탈층을 제거하여 홈 패턴의 내벽만으로 배리어 메탈층을 남기고, 이 상부에 전극막을 성막하여 연마를 행하는 방법이 제안되어 있다(이상, 하기 특허 문헌 2 참조).In the above buried wiring technique, polishing of the electrode film can be automatically stopped when the barrier metal layer is exposed by polishing the electrode film, but in the subsequent polishing of the electrode film and the barrier metal layer, when the insulating film is exposed The polishing of the electrode film cannot be automatically stopped. For this reason, in the polished surface, dishing in which the electrode film in the groove pattern is excessively polished or erosion in which the electrode film in the groove pattern is excessively polished depending on the electrode layout is likely to occur, and it is difficult to obtain a flat ground surface. Therefore, before forming the electrode film, there has been proposed a method in which the barrier metal layer on the insulating film is removed to leave the barrier metal layer only on the inner wall of the groove pattern, and an electrode film is formed on this to perform polishing (see Patent Document 2 below). ).

일본 특개2000-299379호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2000-299379 일본 특개2006-191081호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2006-191081 일본 특개2000-12540호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2000-12540

그런데 상술한 바와 같은 맞붙임에 의해 얻어지는 3차원 구조의 반도체 장치에서는, 절연막 안으로 전극 재료의 확산을 방지하면서, 2장의 기판끼리의 맞붙임 강도 및 전극 사이의 접합 강도가 확보된 구조가 요망되고 있다. 그러나, 상기 특허 문헌 1에 나타난 반도체 장치의 제조 방법에서는, 절연막 안으로 전극 재료의 확산을 방지할 수가 없다.However, in the semiconductor device having a three-dimensional structure obtained by bonding as described above, a structure in which bonding strength between two substrates and bonding strength between electrodes is ensured is desired while preventing diffusion of electrode material into the insulating film. . However, in the method for manufacturing a semiconductor device disclosed in Patent Document 1, diffusion of the electrode material into the insulating film cannot be prevented.

한편, 상기 특허 문헌 2에 나타난 매입 배선 기술에서는, 배리어 메탈층 또는 하지층을 통하여 전극막을 마련함에 의해, 절연막 안으로 전극 재료의 확산은 방지할 수 있다. 그러나, 이 매입 배선 기술은, 기판끼리의 맞붙임을 고려한 것이 아니고, 연마에 의해 얻어진 평탄화면에 전극 및 절연막과 함께 배리어 메탈층이 노출한 상태가 된다. 이 때문에, 평탄화면의 전면에서 충분한 맞붙임 강도를 확보하는 것은 곤란하다.On the other hand, in the buried wiring technique disclosed in Patent Document 2, diffusion of the electrode material into the insulating film can be prevented by providing the electrode film through the barrier metal layer or the underlying layer. However, this buried wiring technique does not take into account the bonding of substrates to each other, and the barrier metal layer is exposed together with the electrode and the insulating film on the flat surface obtained by polishing. For this reason, it is difficult to ensure sufficient bonding strength on the entire surface of the flat screen.

그래서 본 기술은, 2장의 기판의 맞붙임에 의해 전극 사이 접합이 이루어진 구성에 있어서, 절연막 안으로 전극 재료의 확산을 방지하면서도 맞붙임 강도가 확보되고, 이에 의해 신뢰성의 향상이 도모된 3차원 구조의 반도체 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 본 기술은 이와 같은 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치를 포함하는 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, the present technology is a three-dimensional structure in which bonding strength is secured while preventing diffusion of electrode material into the insulating film in a configuration in which bonding between electrodes is made by bonding two substrates, thereby improving reliability. An object of the present invention is to provide a semiconductor device. Another object of the present technology is to provide a method for manufacturing such a semiconductor device and an electronic device including the semiconductor device.

본 발명의 제 1 실시예에 관하여, 제 1 전극, 및 상기 제 1 전극에 대한 확산 방지 재료로 구성되고 상기 제 1 전극의 주위를 피복하는 제 1 절연막을 포함하고, 상기 제 1 전극과 상기 제 1 절연막으로 접합면을 구성하는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판 상에 접합되어 설치되고, 상기 제 1 전극에 접합된 제 2 전극, 및 상기 제 2 전극에 대한 확산 방지 재료로 구성되고 상기 제 2 전극의 주위를 피복하는 제 2 절연막을 포함하고, 상기 제 2 전극과 상기 제 2 절연막으로 상기 제 1 기판에 대한 접합면을 구성하는 제 2 기판을 구비하는 반도체 장치를 제공한다.With respect to the first embodiment of the present invention, it comprises a first electrode, and a first insulating film made of a diffusion preventing material for the first electrode and covering the periphery of the first electrode, wherein the first electrode and the first electrode are A first substrate constituting a bonding surface with a first insulating film, a second electrode bonded to and provided on the first substrate, and bonded to the first electrode, and a diffusion preventing material for the second electrode, A semiconductor device comprising: a second substrate comprising a second insulating film covering the periphery of two electrodes, the second electrode and the second insulating film forming a bonding surface to the first substrate;

본 발명의 제 1 실시예에 관하여, 전극 재료에 대한 확산 방지 재료로 구성된 절연막을 2장의 기판 각각의 상부에 형성하고, 상기 절연막 상에 홈 패턴을 형성하고, 전극막이 상기 절연막 상에 형성된 홈 패턴을 매입하는 상태에서 상기 전극 재료에 의해 구성된 상기 전극막을 상기 기판 각각의 상기 절연막 상에 형성하고, 상기 절연막이 노출될 때까지 상기 기판 각각의 상기 전극막을 연마하여, 상기 홈 패턴 내에 상기 전극막이 매입되도록, 상기 전극의 패턴을 형성하고, 상기 전극이 상부에 각각 형성된 2장의 상기 기판을, 상기 전극이 함께 접합된 상태에서, 접합하는 것으로 하는 반도체 장치의 제조 방법에 의하여 반도체 장치가 제조된다.With respect to the first embodiment of the present invention, an insulating film composed of a diffusion preventing material for an electrode material is formed on each of two substrates, a groove pattern is formed on the insulating film, and the electrode film is a groove pattern formed on the insulating film forming the electrode film made of the electrode material on the insulating film of each of the substrates in a state of burying A semiconductor device is manufactured by a semiconductor device manufacturing method in which patterns of the electrodes are formed as much as possible, and the two substrates each having the electrodes formed thereon are joined together in a state where the electrodes are joined together.

본 발명의 제 2의 실시예에 관하여, 제 1 전극 및 제 1 절연막이 노출되는 접합면을 갖는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판의 접합면을 피복하는 절연성 박막과, 제 2 전극 및 제 2 절연막이 노출되는 접합면을 갖고, 상기 제 2 기판의 상기 접합면과 상기 제 1 기판의 상기 접합면의 사이에 상기 절연성 박막이 끼워지고 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극이 상기 절연성 박막을 관통하여 전기적으로 서로 접속된 상태에서, 상기 제 1 기판에 접합되는 제 2 기판을 구비한 반도체 장치를 제공한다.According to the second embodiment of the present invention, a first substrate having a bonding surface to which the first electrode and the first insulating film are exposed, an insulating thin film covering the bonding surface of the first substrate, the second electrode and the second It has a bonding surface in which an insulating film is exposed, and the insulating thin film is sandwiched between the bonding surface of the second substrate and the bonding surface of the first substrate, and the first electrode and the second electrode pass through the insulating thin film. to provide a semiconductor device including a second substrate bonded to the first substrate while being electrically connected to each other.

본 발명의 제 2의 실시예에 관하여, 전극 및 절연막이 노출되는 접합면을 각각 갖는 2장의 기판을 준비하고, 절연성 박막이 상기 2장의 기판 중 적어도 하나의 접합면을 피복하는 상태에서, 상기 절연성 박막을 형성하고, 상기 절연성 박막을 가로질러 상기 2장의 기판의 접합면을 서로 대향 배치하고, 상기 전극이 상기 절연성 박막을 관통하여 전기적으로 서로 접속된 상태에서 상기 2장의 기판을 정렬하고, 상기 2장의 기판을 상기 정열된 상태에서 접합하는 반도체 장치의 제조 방법에 의하여 반도체 장치가 제조된다.According to the second embodiment of the present invention, two substrates each having a bonding surface to which an electrode and an insulating film are exposed are prepared, and in a state where the insulating thin film covers at least one bonding surface of the two substrates, the insulating property forming a thin film, arranging the bonding surfaces of the two substrates to face each other across the insulating thin film, and aligning the two substrates with the electrodes passing through the insulating thin film and electrically connected to each other; A semiconductor device is manufactured by the method for manufacturing a semiconductor device in which long substrates are joined in the aligned state.

본 발명의 제 3의 실시예에 관하여, 접합 계면측 상의 표면 상에 형성된 제 1 금속막을 갖는 제 1 반도체부와, 상기 접합 계면 상에서 상기 제 1 금속막에 접합되며 상기 접합 계면측 상의 표면 면적이 상기 접합 계면측 상의 상기 제 1 금속막의 표면 면적보다 더 작은 제 2 금속막을 갖고, 상기 접합 계면 상의 상기 제 1 반도체부에 접합되는 상태로 마련되는 제 2 반도체부와, 상기 제 1 금속막이 상기 제 2 금속막에 대해 접합하지 않는 면 영역을 포함하는 상기 접합 계면측 상의 상기 제 1 금속막의 면 영역의 일부에 마련된 계면 배리어부를 갖는 반도체 장치와, 상기 반도체 장치의 출력 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 갖는 전자 기기를 제공한다.With respect to the third embodiment of the present invention, a first semiconductor portion having a first metal film formed on the surface on the junction interface side, and bonded to the first metal film on the junction interface side, the surface area on the junction interface side is a second semiconductor portion having a second metal film smaller than a surface area of the first metal film on the junction interface side and provided in a state of being joined to the first semiconductor portion on the junction interface; 2 a semiconductor device having an interface barrier portion provided in a part of the surface region of the first metal film on the junction interface side including a surface region not joined to the metal film, and a signal processing circuit for processing an output signal of the semiconductor device; An electronic device having

본 발명의 제 3의 실시예에 관하여, 접합 계면측 상의 표면 상에 형성된 제 1 금속막을 갖는 제 1 반도체부를 제작하고, 상기 접합 계면측 상의 표면 면적이 상기 접합 계면측 상의 상기 제 1 금속막의 표면 면적보다 더 작은 제 2 금속막을 갖는 제 2 반도체부를 제작하고, 상기 제 1 금속막측 상의 상기 제 1 반도체부의 표면과 상기 제 2 금속막측 상의 상기 제 2 반도체부의 표면을 서로 접합하고, 상기 제 1 금속막과 상기 제 2 금속막을 서로 접합하고, 상기 제 1 금속막이 상기 제 2 금속막에 대해 접하지 않는 면 영역을 포함하는 상기 접합 계면측 상의 상기 제 1 금속막의 면 영역의 일부에 계면 배리어부를 마련하는 반도체 장치의 제조 방법에 의하여 반도체 장치가 제조된다.With respect to the third embodiment of the present invention, a first semiconductor portion having a first metal film formed on the surface on the junction interface side is fabricated, wherein the surface area on the junction interface side is the surface of the first metal film on the junction interface side manufacturing a second semiconductor portion having a second metal film smaller in area than the area, bonding the surface of the first semiconductor portion on the first metal film side and the surface of the second semiconductor portion on the second metal film side to each other, the first metal A film and the second metal film are bonded to each other, and an interface barrier portion is provided in a part of the surface region of the first metal film on the bonding interface side including the surface region where the first metal film does not contact the second metal film A semiconductor device is manufactured by the method for manufacturing a semiconductor device.

본 발명의 제 4의 실시예에 관하여, 반도체 기판과, 상기 반도체 기판 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층의 표면 상에 형성된 접합 전극과, 상기 절연층의 표면 상에 형성되고, 상기 절연층에 의해 상기 접합 전극을 둘러싸는 보호층을 갖는 반도체 장치가 제공된다.With respect to the fourth embodiment of the present invention, a semiconductor substrate, an insulating layer formed on the semiconductor substrate, a bonding electrode formed on a surface of the insulating layer, and a surface of the insulating layer formed on the insulating layer, A semiconductor device having a protective layer surrounding the junction electrode is provided.

본 발명의 제 4의 실시예에 관하여, 반도체 기판 상에 절연층을 형성하고, 상기 절연층의 표면 상에 접합 전극을 형성하고, 상기 절연층에 의해 상기 접합 전극을 둘러싸는 상기 절연층의 상기 표면의 위치에 보호층을 형성하는 반도체 장치의 제조 방법에 의하여 반도체 장치가 제조된다.With respect to the fourth embodiment of the present invention, an insulating layer is formed on a semiconductor substrate, a junction electrode is formed on a surface of the insulating layer, and the insulating layer surrounds the junction electrode by the insulating layer. A semiconductor device is manufactured by a semiconductor device manufacturing method in which a protective layer is formed at a position on the surface.

본 발명의 제 5의 실시예에 관하여, 반도체 기판과, 상기 반도체 기판 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층의 표면 상에 형성된 접합 전극과, 상기 절연층의 표면 상에 형성되고, 상기 절연층에 의해 상기 접합 전극을 둘러싸는 보호층을 갖는 반도체 장치와, 상기 반도체 장치의 출력 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 갖는 전자 기기가 제공된다.With respect to the fifth embodiment of the present invention, a semiconductor substrate, an insulating layer formed on the semiconductor substrate, a bonding electrode formed on a surface of the insulating layer, and a surface of the insulating layer formed on the insulating layer, There is provided an electronic device having a semiconductor device having a protective layer surrounding the junction electrode and a signal processing circuit for processing an output signal of the semiconductor device.

본 발명의 반도체 소자 및 제조 방법에 의해서, 2장의 기판의 접합에 의해서 상기 전극이 함께 접합되고, 전극 재료의 확산을 막음으로써 접합 강도가 보장된다. 결과적으로, 3차원 구조의 반도체 장치는 신뢰성 향상을 도모할 수 있다.With the semiconductor device and manufacturing method of the present invention, the electrodes are bonded together by bonding two substrates, and the bonding strength is ensured by preventing diffusion of electrode materials. As a result, a semiconductor device having a three-dimensional structure can improve reliability.

본 발명의 반도체 장치(전자 기기) 및 그 제조방법에서, 제 1 금속막의 접합측 표면의 면적은 제 1 금속막에 접합하는 제 2 금속막의 접합측 표면의 면적보다 작게한다. 또한, 제 2 금속막에 접합되지 않는 제 1 금속막에서의 면 영역을 구비하는 접합 계면측 상에 제 1 금속막의 면 영역부에서, 계면 배리어막이 구비된다. 전술한 구성에 의하여, 접합 계면은 더욱 높은 신뢰성을 가지고, 접합 계면에서 전기 특성의 감소를 억제할 수 있다.In the semiconductor device (electronic device) and manufacturing method thereof of the present invention, the area of the bonding-side surface of the first metal film is made smaller than the area of the bonding-side surface of the second metal film bonded to the first metal film. Further, in the surface region portion of the first metal film, an interface barrier film is provided on the junction interface side having the surface region in the first metal film not joined to the second metal film. With the above configuration, the bonding interface has higher reliability, and a decrease in electrical properties at the bonding interface can be suppressed.

도 1은 본 발명이 적용되는 반도체 장치의 한 예를 도시하는 개략 구성도.
도 2는 본 발명의 제 1의 실시예에 관한 반도체 장치의 구성을 도시하는 부분 단면도.
도 3a 내지 도 3f는 도 2의 반도체 장치의 제조에서의 센서 기판의 각각의 제작 순서를 도시하는 단면도.
도 4a 내지 도 4e는 도 2의 반도체 장치의 제조에서의 회로 기판의 각각의 제작 순서를 도시하는 단면도.
도 5a 및 도 5b는 도 2의 반도체 장치의 제조에서의 맞붙임의 각각 순서를 도시하는 단면도.
도 6의 A 내지 C, A' 내지 C' 및 D는 도 2의 반도체 장치의 비교례로서 반도체 장치의 제조 방법의 한 예를 도시하는 단면도.
도 7은 도 2의 반도체 장치의 변형례가 되는 반도체 장치의 구성을 도시하는 부분 단면도.
도 8은 본 발명의 제 2의 실시예에 관한 반도체 장치의 구성을 도시하는 부분 단면도.
도 9a 내지 도 9e는 본 발명의 제 2의 실시예에 관한 반도체 장치의 제조에서의 제 1 기판 또는 센서 기판의 제작 순서를 도시하는 단면도.
도 10a 및 도 10b는 제 2의 실시예에 관한 반도체 장치의 제조에서의 제 2 기판 또는 회로 기판의 제작 순서를 도시하는 단면도.
도 11a 및 도 11b는 제 2의 실시예에 관한 반도체 장치의 제조에서의 맞붙임의 각각 순서를 도시하는 단면도.
도 12a 및 도 12b는 Cu-Cu 접합시에 발생하는 문제를 설명하기 위한 단면도.
도 13은 Cu-Cu 접합시에 발생하는 다른 문제를 설명하기 위한 단면도.
도 14는 본 발명의 제 3의 실시예의 제 1의 실시 형태에 관한 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 15는 도 14의 반도체 장치의 접합 계면 부근의 상면도.
도 16a 내지 도 16m은 도 15의 반도체 장치의 각각의 제작 순서를 설명하기 위한 단면도.
도 17은 본 발명의 제 3의 실시예의 제 2의 실시 형태에 관한 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 18은 도 17의 반도체 장치의 접합 계면 부근의 상면도.
도 19a 내지 도 19e는 도 17의 반도체 장치의 각각의 제작 순서를 설명하기 위한 단면도.
도 20은 본 발명의 제 3의 실시예의 제 3의 실시 형태에 관한 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 21은 도 20의 반도체 장치의 접합 계면 부근의 상면도.
도 22a 내지 도 22h는 도 20의 반도체 장치의 각각의 제작 순서를 설명하기 위한 단면도.
도 23은 변형례 1의 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 24는 도 23의 반도체 장치의 제작 순서를 설명하기 위한 단면도.
도 25 및 도 26은 변형례 3 및 4의 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 27 및 도 28은 참고예 1 및 2의 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 29 및 도 30은 종래의 Cu-Cu 접합 수법에서 발생할 수 있는 문제를 설명하기 위한 도면.
도 31은 본 발명의 제 3의 실시예의 제 4의 실시 형태에 관한 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 32는 도 31의 반도체 장치의 접합 계면 부근의 상면도.
도 33a 내지 도 33d는 도 31의 반도체 장치의 각각의 제작 순서를 설명하기 위한 도면.
도 34는 본 발명의 제 3의 실시예의 제 5의 실시 형태에 관한 반도체 장치에서의 접합 계면 부근의 단면도.
도 35는 도 34의 반도체 장치의 접합 계면 부근의 상면도.
도 36a 내지 도 36d는 도 34의 반도체 장치의 각각의 제작 순서를 설명하기 위한 도면.
도 37은 본 발명의 Cu-Cu 접합 기술을 적용할 수 있는 응용례 1의 반도체 장치의 구성례를 도시하는 단면도.
도 38은 본 발명의 Cu-Cu 접합 기술을 적용할 수 있는 응용례 2의 반도체 장치의 구성례를 도시하는 단면도.
도 39는 본 발명의 제 4의 실시예에 관한 반도체 장치의 접합 전극의 개략 구성을 도시하는 단면도.
도 40a는, 도 39의 접합 전극을 구비하는 반도체 장치의 개략 구성을 도시하는 단면도이고, 도 40b는, 도 40a에 도시하는 제 1 접합부의 접합면의 평면도.
도 41a 내지 도 41k는, 도 41a의 반도체 장치의 각각의 제작 순서를 설명하기 위한 도면.
도 42a는, 도 39의 변형례 1의 접합 전극을 구비하는 반도체 장치의 개략 구성을 도시하는 단면도이고, 도 42b는, 도 42a에 도시하는 제 1 접합부의 접합면에서의 평면도.
도 43a 내지 도 43g는, 도 42a의 반도체 장치의 각각의 제작 순서를 설명하기 위한 도면.
도 44는 도 39의 변형례 2의 접합 전극을 구비하는 반도체 장치의 개략 구성을 도시하는 단면도.
도 45는 본 발명을 적용하여 얻어진 반도체 장치를 이용한 전자 기기를 나타내는 개략 구성도.1 is a schematic configuration diagram showing an example of a semiconductor device to which the present invention is applied.
Fig. 2 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention;
3A to 3F are cross-sectional views showing respective manufacturing procedures of the sensor substrate in the manufacturing of the semiconductor device of FIG. 2;
4A to 4E are cross-sectional views showing respective manufacturing procedures of a circuit board in manufacturing the semiconductor device of FIG. 2;
5A and 5B are cross-sectional views each showing a procedure of pasting in the manufacture of the semiconductor device of FIG. 2;
6A to C, A' to C', and D are cross-sectional views showing an example of a method of manufacturing the semiconductor device as a comparative example of the semiconductor device of FIG. 2;
Fig. 7 is a partial cross-sectional view showing a configuration of a semiconductor device serving as a modification of the semiconductor device of Fig. 2;
Fig. 8 is a partial cross-sectional view showing the configuration of a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention;
9A to 9E are cross-sectional views showing a manufacturing procedure of a first substrate or a sensor substrate in manufacturing a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention;
10A and 10B are cross-sectional views showing a manufacturing procedure of a second substrate or circuit board in the manufacturing of the semiconductor device according to the second embodiment;
11A and 11B are cross-sectional views each showing a procedure of pasting in the manufacture of the semiconductor device according to the second embodiment;
12A and 12B are cross-sectional views for explaining a problem occurring during Cu-Cu bonding;
13 is a cross-sectional view for explaining another problem occurring during Cu-Cu bonding.
Fig. 14 is a cross-sectional view of the vicinity of a junction interface in the semiconductor device according to the first embodiment of the third embodiment of the present invention;
Fig. 15 is a top view of the semiconductor device of Fig. 14 in the vicinity of a junction interface;
16A to 16M are cross-sectional views for explaining respective manufacturing procedures of the semiconductor device of FIG. 15;
Fig. 17 is a cross-sectional view of the vicinity of a junction interface in the semiconductor device according to the second embodiment of the third embodiment of the present invention;
Fig. 18 is a top view of the vicinity of a junction interface of the semiconductor device of Fig. 17;
19A to 19E are cross-sectional views for explaining respective manufacturing procedures of the semiconductor device of FIG. 17;
Fig. 20 is a cross-sectional view of the vicinity of a junction interface in the semiconductor device according to the third embodiment of the third embodiment of the present invention;
Fig. 21 is a top view of the semiconductor device of Fig. 20 in the vicinity of a junction interface;
22A to 22H are cross-sectional views for explaining respective manufacturing procedures of the semiconductor device of FIG. 20;
Fig. 23 is a cross-sectional view in the vicinity of a junction interface in the semiconductor device of Modification Example 1;
Fig. 24 is a cross-sectional view for explaining a manufacturing procedure of the semiconductor device of Fig. 23;
25 and 26 are cross-sectional views in the vicinity of the junction interface in the semiconductor devices of Modification Examples 3 and 4;
27 and 28 are cross-sectional views in the vicinity of the junction interface in the semiconductor devices of Reference Examples 1 and 2;
29 and 30 are views for explaining problems that may occur in the conventional Cu-Cu bonding method.
Fig. 31 is a cross-sectional view of the vicinity of a junction interface in the semiconductor device according to the fourth embodiment of the third embodiment of the present invention;
Fig. 32 is a top view of the semiconductor device of Fig. 31 in the vicinity of the junction interface;
33A to 33D are views for explaining respective manufacturing procedures of the semiconductor device of FIG. 31;
Fig. 34 is a cross-sectional view of the vicinity of a junction interface in the semiconductor device according to the fifth embodiment of the third embodiment of the present invention;
Fig. 35 is a top view of the semiconductor device of Fig. 34 in the vicinity of the junction interface;
36A to 36D are views for explaining respective manufacturing procedures of the semiconductor device of FIG. 34;
Fig. 37 is a cross-sectional view showing a configuration example of a semiconductor device of Application Example 1 to which the Cu-Cu bonding technology of the present invention can be applied;
Fig. 38 is a cross-sectional view showing a configuration example of a semiconductor device of Application Example 2 to which the Cu-Cu bonding technology of the present invention can be applied.
Fig. 39 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a junction electrode of a semiconductor device according to a fourth embodiment of the present invention;
Fig. 40A is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the semiconductor device including the junction electrode of Fig. 39, and Fig. 40B is a plan view of the bonding surface of the first junction portion shown in Fig. 40A.
41A to 41K are views for explaining respective manufacturing procedures of the semiconductor device of FIG. 41A;
Fig. 42A is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a semiconductor device including a junction electrode of Modification Example 1 of Fig. 39;
43A to 43G are diagrams for explaining respective manufacturing procedures of the semiconductor device of FIG. 42A;
Fig. 44 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a semiconductor device including a junction electrode of Modification Example 2 in Fig. 39;
Fig. 45 is a schematic configuration diagram showing an electronic device using a semiconductor device obtained by applying the present invention;

제 1의 실시예first embodiment

<<1. 제 1의 실시예의 반도체 장치의 개략 구성례>><<1. Schematic structural example of the semiconductor device of the first embodiment >>

도 1은, 본 기술이 적용되는 3차원 구조의 반도체 장치의 한 예로서, 고체 촬상 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 1에 도시하는 반도체 장치(1)는, 제 1 기판으로서의 센서 기판(2)과, 제 2 기판으로서의 회로 기판(7)을 포함하고, 이 센서 기판(2)에 대해 적층시킨 상태에서 맞붙여진 제 2 기판으로서의 회로 기판(7)을 구비한, 이른바 3차원 구조의 반도체 장치(고체 촬상 장치)이다. 이하, 제 1 기판으로서의 센서 기판(2)을 단지 센서 기판(2)이라고 칭하고, 제 2 기판으로서의 회로 기판(7)을 단지 회로 기판(7)이라고 칭한다.Fig. 1 shows a schematic configuration of a solid-state imaging device as an example of a semiconductor device having a three-dimensional structure to which the present technology is applied. The semiconductor device 1 shown in FIG. 1 includes a sensor substrate 2 as a first substrate and a circuit board 7 as a second substrate, and is laminated to the sensor substrate 2 and bonded together. It is a semiconductor device (solid-state imaging device) of what is called a three-dimensional structure provided with the circuit board 7 as a 2nd board|substrate. Hereinafter, the sensor substrate 2 as the first substrate is simply referred to as a sensor substrate 2 , and the circuit board 7 as the second substrate is simply referred to as a circuit board 7 .

센서 기판(2)의 일면측에는, 광전 변환부를 포함하는 복수 화소(3)가 규칙적으로 2차원적으로 배열된 화소 영역(4)이 마련되어 있다. 화소 영역(4)에는, 복수 화소 구동선(5)이 행방향으로 배선되고, 복수의 수직 신호선(6)이 열방향으로 배선되어 있고, 하나의 화소(3)가 1개의 화소 구동선(5)과 1개의 수직 신호선(6)에 접속되는 상태로 배치되어 있다. 이들의 각 화소(3)에는, 광전 변환부와, 전하 축적부와, 복수 트랜지스터(이른바 MOS(metal oxide semiconductor) 트랜지스터) 및 용량 소자 등으로 구성된 화소 회로가 마련되어 있다. 또한, 복수 화소로 화소 회로의 일부를 공유하고 있는 경우도 있다.On one surface side of the sensor substrate 2, a pixel region 4 in which a plurality of pixels 3 including a photoelectric conversion unit are regularly two-dimensionally arranged is provided. In the pixel region 4 , a plurality of pixel driving lines 5 are wired in the row direction, a plurality of vertical signal lines 6 are wired in the column direction, and one pixel 3 is one pixel driving line 5 . ) and one vertical signal line (6). Each of these pixels 3 is provided with a photoelectric conversion section, a charge storage section, a pixel circuit composed of a plurality of transistors (so-called MOS (metal oxide semiconductor) transistors), a capacitor, and the like. Also, there is a case in which a part of the pixel circuit is shared by a plurality of pixels.

또한 회로 기판(7)의 일면측에는, 센서 기판(2)에 마련된 각 화소(3)를 구동하기 위한 수직 구동 회로(8), 칼럼 신호 처리 회로(9), 수평 구동 회로(10), 및 시스템 제어 회로(11) 등의 주변 회로가 마련되어 있다.Further, on one side of the circuit board 7 , a vertical drive circuit 8 for driving each pixel 3 provided on the sensor board 2 , a column signal processing circuit 9 , a horizontal drive circuit 10 , and a system A peripheral circuit such as a control circuit 11 is provided.

<<2. 제 1의 실시예의 반도체 장치의 구성>><<2. Configuration of the semiconductor device of the first embodiment>>

도 2는, 제 1의 실시예의 반도체 장치의 구성을 도시하는 단면도이고, 도 1에서의 3화소분의 단면도이다. 이하, 도 2의 단면도에 의거하여 제 1의 실시예의 반도체 장치의 상세한 구성을 설명한다.FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the semiconductor device according to the first embodiment, and is a cross-sectional view for three pixels in FIG. Hereinafter, a detailed configuration of the semiconductor device of the first embodiment will be described based on the cross-sectional view of FIG. 2 .

반도체 장치(1)는, 상술한 바와 같이 센서 기판(2)과 회로 기판(7)을 적층시킨 상태에서 맞붙인 3차원 구조의 고체 촬상 장치이다. 센서 기판(2)은, 반도체층(2a)과, 반도체층(2a)에서의 회로 기판(7)측의 면상에 배치된 배선층(2b) 및 전극층(2c)으로 구성되어 있다. 회로 기판(7)은, 반도체층(7a)과, 반도체층(7a)에서의 센서 기판(2)측의 면상에 배치된 제 1 배선층(7b), 제 2 배선층(7c), 및 전극층(7d)으로 구성되어 있다.The semiconductor device 1 is a solid-state imaging device having a three-dimensional structure in which the sensor substrate 2 and the circuit board 7 are laminated together as described above. The sensor substrate 2 is composed of a semiconductor layer 2a and a wiring layer 2b and an electrode layer 2c arranged on the surface of the semiconductor layer 2a on the circuit board 7 side. The circuit board 7 includes a semiconductor layer 7a, a first wiring layer 7b, a second wiring layer 7c, and an electrode layer 7d arranged on the surface of the semiconductor layer 7a on the sensor substrate 2 side. ) is composed of

이상과 같은 센서 기판(2)과 회로 기판(7)은, 전극층(2c)의 표면과 전극층(7d)의 표면을 맞붙임면으로 하여 맞붙여져 있고, 본 실시예의 반도체 장치(1)는 이후에 상세히 설명하는 바와 같이, 이들 전극층(2c) 및 전극층(7d)의 구성이 특징적이다.The sensor substrate 2 and the circuit board 7 as described above are bonded to each other with the surface of the electrode layer 2c and the surface of the electrode layer 7d as bonding surfaces, and the semiconductor device 1 of this embodiment will be described in detail later. As explained, the structures of these electrode layers 2c and 7d are characteristic.

또한 센서 기판(2)에서의 회로 기판(7)과 반대측의 면에는, 보호막(15), 컬러 필터층(17), 및 온 칩 렌즈(19)가 이 순서로 적층되어있다.Further, on the surface of the sensor substrate 2 opposite to the circuit board 7 , a protective film 15 , a color filter layer 17 , and an on-chip lens 19 are laminated in this order.

다음에, 센서 기판(2) 및 회로 기판(7)을 구성하는 각 층의 상세한 구성을 순차적으로 설명하고, 또한 보호막(15), 컬러 필터층(17), 및 온 칩 렌즈(19)의 구성을 차례로 설명한다.Next, the detailed configuration of each layer constituting the sensor substrate 2 and the circuit board 7 will be sequentially described, and further, the configuration of the protective film 15, the color filter layer 17, and the on-chip lens 19 will be described. will be described in turn.

[반도체층(2a)(센서 기판(2)측)][Semiconductor layer 2a (sensor substrate 2 side)]

센서 기판(2)측의 반도체층(2a)은, 예를 들면 단결정 실리콘으로 이루어지는 반도체 기판을 박막화한 것이다. 이 반도체층(2a)에서, 컬러 필터층(17)이나 온 칩 렌즈(19) 등이 배치되어 있는 제 1면측에는, 예를 들면 n형 불순물층(또는 p형 불순물층)으로 이루어지는 광전 변환부(21)가 화소마다 마련되어 있다. 또한, 반도체층(2a)의 제 2면측에는, n+형 불순물층으로 이루어지는 플로팅 디퓨전(FD) 및 트랜지스터(Tr)의 소스/드레인(23), 나아가서는 여기에서 도시를 생략한 다른 불순물층 등이 마련되어 있다.The semiconductor layer 2a on the sensor substrate 2 side is formed by thinning a semiconductor substrate made of, for example, single crystal silicon. In this semiconductor layer 2a, on the first surface side where the color filter layer 17, the on-chip lens 19, etc. are arranged, for example, a photoelectric conversion unit ( 21) is provided for each pixel. In addition, on the second surface side of the semiconductor layer 2a, a floating diffusion FD made of an n+ type impurity layer, a source/drain 23 of the transistor Tr, and further other impurity layers not shown here, etc. is provided.

[배선층(2b)(센서 기판(2)측)][Wiring layer 2b (sensor substrate 2 side)]

센서 기판(2)에서의 반도체층(2a)상에 마련된 배선층(2b)은, 반도체층(2a)과의 계면측에, 게이트 절연막(25)을 통하여 마련된 전송 게이트(TG) 및 트랜지스터(Tr)의 게이트 전극(27), 나아가서는 여기에서 도시를 생략한 다른 전극을 갖고 있다. 또한 이들의 전송 게이트(TG) 및 게이트 전극(27)은, 층간 절연막(29)으로 덮여 있고, 이 층간 절연막(29)에 마련된 홈 패턴 내에 예를 들면 구리(Cu)를 이용한 매입 배선(31)이 마련되어 있다.The wiring layer 2b provided on the semiconductor layer 2a in the sensor substrate 2 is provided on the interface side with the semiconductor layer 2a through the gate insulating film 25, the transfer gate TG and the transistor Tr has a gate electrode 27, and furthermore, another electrode not shown here. Further, these transfer gates TG and gate electrodes 27 are covered with an interlayer insulating film 29, and embedded wiring 31 using, for example, copper (Cu) in the groove pattern provided in the interlayer insulating film 29 . This is provided.

이 경우, 층간 절연막(29)은, 예를 들면 산화 실리콘을 이용하여 구성된다. 또한, 매입 배선(31)의 레이아웃이 조밀한 경우, 매입 배선(31) 사이의 용량을 저감하기 위해 산화 실리콘보다도 유전율이 낮은 재료를 이용하여 구성되어 있어도 좋다. 이와 같은 층간 절연막(29)에는, 회로 기판(7)측에 개구하는 홈 패턴이 형성되고, 홈 패턴의 일부가 전송 게이트(TG)나 게이트 전극(27)에 달하는 구성으로 되어 있다.In this case, the interlayer insulating film 29 is formed using, for example, silicon oxide. Moreover, when the layout of the buried wirings 31 is dense, in order to reduce the capacitance between the embedded wirings 31, a material having a dielectric constant lower than that of silicon oxide may be used. In such an interlayer insulating film 29 , a groove pattern opening to the circuit board 7 side is formed, and a part of the groove pattern reaches the transfer gate TG and the gate electrode 27 .

이와 같은 홈 패턴 내에, 배리어 메탈층(31a)을 통하여 구리(Cu)로 이루어지는 배선층(31b)이 마련되고, 이들의 2층에 의해 매입 배선(31)이 구성되어 있다. 여기서 배리어 메탈층(31a)은, 산화 실리콘이나 이것보다도 유전율이 낮은 재료로 이루어지는 층간 절연막(29)에 대한 구리(Cu)의 확산을 방지하기 위한 층이고, 예를 들면 탄탈(Ta)이나 질화 탄탈(TaN)을 이용하여 구성된다.In such a groove pattern, a wiring layer 31b made of copper (Cu) is provided through a barrier metal layer 31a, and the buried wiring 31 is constituted by these two layers. Here, the barrier metal layer 31a is a layer for preventing diffusion of copper (Cu) into the interlayer insulating film 29 made of silicon oxide or a material having a dielectric constant lower than that, for example, tantalum (Ta) or tantalum nitride. (TaN) is used.

또한, 이상과 같은 배선층(2b)은, 또한 적층된 다층 배선층으로서 구성되어 있어도 좋다.In addition, the above wiring layer 2b may be comprised as a laminated|stacked multilayer wiring layer further.

[전극층(2c)(센서 기판(2)측)][Electrode layer 2c (sensor substrate 2 side)]

배선층(2b)상에 마련된 센서 기판(2)측의 전극층(2c)은, 센서 기판(2)에서, 회로 기판(7)측의 표면에 인출된 제 1 전극(33)과, 제 1 전극(33)의 주위를 덮는 제 1 절연막(35)을 갖고 있다. 이들의 제 1 전극(33) 및 제 1 절연막(35)은, 센서 기판(2)에서 회로 기판(7)에 대한 맞붙임면(41)을 구성하고 있다.The electrode layer 2c on the sensor substrate 2 side provided on the wiring layer 2b includes a first electrode 33 drawn out from the sensor substrate 2 to a surface on the circuit board 7 side, and a first electrode ( 33) has a first insulating film 35 covering the periphery. These first electrodes 33 and the first insulating film 35 constitute a bonding surface 41 of the sensor substrate 2 to the circuit board 7 .

이 중 제 1 전극(33)은, 단일한 재료층으로 구성된 것으로, 예를 들면 구리(Cu)를 이용하여 구성되어 있다. 이와 같은 제 1 전극(33)은, 제 1 절연막(35)에 매입된 매입 배선으로서 구성되어 있다.Among them, the first electrode 33 is made of a single material layer, and is made of, for example, copper (Cu). Such a first electrode 33 is configured as an embedded wiring embedded in the first insulating film 35 .

또한 제 1 절연막(35)은, 배선층(2b)을 덮는 상태로 마련되어 있고, 회로 기판(7)측에 개구하는 홈 패턴(35a)을 구비하고, 이 홈 패턴(35a) 내에 제 1 전극(33)이 매입되어 있다. 즉, 제 1 절연막(35)은, 제 1 전극(33)의 주위에 접하여 마련되어 있다. 또한, 여기에서 도시는 생략하였지만, 제 1 절연막(35)에 마련된 홈 패턴(35a)의 일부는, 배선층(2b)에 마련한 매입 배선(31)에 달하고 있고, 이 내부에 매입된 제 1 전극(33)이 필요에 응하여 매입 배선(31)에 접속된 상태로 되어 있다.Further, the first insulating film 35 is provided in a state of covering the wiring layer 2b, and is provided with a groove pattern 35a opening to the circuit board 7 side, and the first electrode 33 is provided in the groove pattern 35a. ) is purchased. That is, the first insulating film 35 is provided in contact with the periphery of the first electrode 33 . Although not shown here, a part of the groove pattern 35a provided in the first insulating film 35 reaches the buried wiring 31 provided in the wiring layer 2b, and the first electrode ( 33) is connected to the embedded wiring 31 as necessary.

이상과 같은 제 1 절연막(35)은, 제 1 전극(35)를 구성하는 재료에 대한 확산 방지 재료로 구성되어 있다. 이와 같은 확산 방지 재료로서는, 제 1 전극(35)을 구성하는 재료에 대한 확산 계수가 작은 것이 사용된다. 특히 본 실시 형태에서는, 확산 방지 재료를 이용한 단일한 재료층으로서 제 1 절연막(35)이 구성되어 있다. 또한 본 실시 형태에서, 제 1 절연막(35)은, 제 1 전극(33)에 대한 확산 방지 재료임과 함께, 회로 기판(7)에서 센서 기판(2)측의 표면에 인출된 제 2 전극(67)을 구성하는 재료에 대한 확산 방지 재료로 구성되어 있다.The first insulating film 35 as described above is made of a material that prevents diffusion of the material constituting the first electrode 35 . As such a diffusion preventing material, a material having a small diffusion coefficient with respect to the material constituting the first electrode 35 is used. In particular, in this embodiment, the first insulating film 35 is constituted as a single material layer using a diffusion preventing material. In addition, in the present embodiment, the first insulating film 35 is a diffusion preventing material for the first electrode 33 and a second electrode ( 67) is composed of a diffusion-preventing material for the material constituting it.

예를 들면 제 1 전극(33) 및 제 2 전극(67)이 구리(Cu)를 이용하여 구성된 것인 경우, 제 1 절연막(35)을 구성하는 확산 방지 재료로서는, 산화 실리콘보다도 분자 구조가 조밀한 무기 절연성 재료 또는 유기 절연성 재료가 사용된다. 이와 같은 무기 절연성 재료로서는, 질화 실리콘(SiN), 탄질화 실리콘(SiCN), 산질화 실리콘(SiON), 탄화 실리콘(SiC)이 예시된다. 또한 유기 절연성 재료로서는, 벤조시클로부텐(BCB), 폴리벤조옥사졸(PBO), 폴리이미드, 폴리알릴에테르(PAE)가 예시된다. 또한, 전극층(2c)은, 센서 기판(2)측의 최상층이기 때문에, 제 1 전극(33)의 레이아웃도 러프하다. 이 때문에, 제 1 전극(33) 사이에 용량이 붙기 어렵고, 제 1 절연막(35)에 대해 저유전율이 요구되는 일은 없다.For example, when the first electrode 33 and the second electrode 67 are made of copper (Cu), the diffusion preventing material constituting the first insulating film 35 has a denser molecular structure than silicon oxide. Either an inorganic insulating material or an organic insulating material is used. Examples of such an inorganic insulating material include silicon nitride (SiN), silicon carbonitride (SiCN), silicon oxynitride (SiON), and silicon carbide (SiC). Examples of the organic insulating material include benzocyclobutene (BCB), polybenzoxazole (PBO), polyimide, and polyallyl ether (PAE). Moreover, since the electrode layer 2c is the uppermost layer on the side of the sensor substrate 2, the layout of the 1st electrode 33 is also rough. For this reason, it is difficult for a capacitance to attach between the first electrodes 33 , and a low dielectric constant is not required for the first insulating film 35 .

이상과 같이, 센서 기판(2)에서의 회로 기판(7)측의 표면은, 회로 기판(7)과의 맞붙임면(41)으로서 구성되고, 제 1 전극(33) 및 제 1 절연막(35)만으로 구성된 상태로 되어 있다. 이 맞붙임면(41)은, 평탄화된 면으로서 구성되어 있다.As described above, the surface of the sensor substrate 2 on the circuit board 7 side is configured as a bonding surface 41 with the circuit board 7 , the first electrode 33 and the first insulating film 35 . It is made up of only This bonding surface 41 is comprised as a flattened surface.

[반도체층(7a)(회로 기판(7)측)][Semiconductor layer 7a (circuit board 7 side)]

회로 기판(7)측의 반도체층(7a)은, 예를 들면 단결정 실리콘으로 이루어지는 반도체 기판을 박막화한 것이다. 이 반도체층(7a)에서, 센서 기판(2)측의 표면층에는, 트랜지스터(Tr)의 소스/드레인(51), 나아가서는 도 2에서 도시를 생략한 불순물층 등이 각 화소에 마련되어 있다.The semiconductor layer 7a on the circuit board 7 side is formed by thinning a semiconductor substrate made of, for example, single crystal silicon. In the semiconductor layer 7a, on the surface layer on the sensor substrate 2 side, the source/drain 51 of the transistor Tr, and further, an impurity layer not shown in FIG. 2, etc. are provided in each pixel.

[제 1 배선층(7b)(회로 기판(7)측)][First wiring layer 7b (circuit board 7 side)]

회로 기판(7)측의 제 1 배선층(7b)은, 반도체층(7a)과의 계면측에, 게이트 절연막(53)을 통하여 마련된 게이트 전극(55), 나아가서는 여기에서 도시를 생략한 다른 전극을 갖고 있다. 이들의 게이트 전극(55) 및 다른 전극은, 층간 절연막(57)으로 덮여 있고, 이 층간 절연막(57)에 마련된 홈 패턴 내에는 예를 들면 구리(Cu)를 이용한 매입 배선(59)이 마련되어 있다.The first wiring layer 7b on the circuit board 7 side has a gate electrode 55 provided through a gate insulating film 53 on the interface side with the semiconductor layer 7a, and furthermore, another electrode not shown here. has a These gate electrodes 55 and other electrodes are covered with an interlayer insulating film 57, and in the groove pattern provided in the interlayer insulating film 57, embedded wiring 59 using copper (Cu) is provided. .

층간 절연막(57) 및 매입 배선(59)의 구성은, 센서 기판(2)측의 배선층(2b)과 마찬가지이다. 즉, 층간 절연막(57)에는, 센서 기판(2)측에 개구하는 홈 패턴이 형성되고, 홈 패턴의 일부가 게이트 전극(55)이나 소스/드레인(51)에 달하는 구성으로 되어 있다. 또한, 이와 같은 홈 패턴 내에, 배리어 메탈층(59a)을 통하여 구리(Cu)로 이루어지는 배선층(59b)이 마련되고, 이들의 2층에 의해 매입 배선(59)이 구성되어 있다.The structures of the interlayer insulating film 57 and the buried wiring 59 are the same as those of the wiring layer 2b on the sensor substrate 2 side. That is, in the interlayer insulating film 57 , a groove pattern opening to the sensor substrate 2 side is formed, and a part of the groove pattern reaches the gate electrode 55 and the source/drain 51 . Further, in such a groove pattern, a wiring layer 59b made of copper (Cu) is provided through a barrier metal layer 59a, and the buried wiring 59 is constituted by these two layers.

[제 2 배선층(7c)(회로 기판(7)측)][Second wiring layer 7c (circuit board 7 side)]

회로 기판(7)측의 제 2 배선층(7c)은, 제 1 배선층(7b)과의 계면측에, 확산 방지 절연막(61)을 통하여 적층된 층간 절연막(63)을 구비하고 있다. 이들의 확산 방지 절연막(61) 및 층간 절연막(63)에 마련된 홈 패턴 내에 예를 들면 구리(Cu)를 이용한 매입 배선(65)이 마련되어 있다.The second wiring layer 7c on the circuit board 7 side has an interlayer insulating film 63 laminated through the diffusion preventing insulating film 61 on the interface side with the first wiring layer 7b. An embedded wiring 65 using copper (Cu), for example, is provided in the groove pattern provided in the diffusion preventing insulating film 61 and the interlayer insulating film 63 .

확산 방지 절연막(61)은, 제 1 배선층(7b)에 마련된 매입 배선(59)을 구성하는 재료에 대한 확산 방지 재료로 구성되어 있다. 이와 같은 확산 방지 절연막(61)은, 예를 들면 질화 실리콘(SiN), 탄질화 실리콘(SiCN), 산질화 실리콘(SiON), 탄화 실리콘(SiC)으로 이루어진다.The diffusion preventing insulating film 61 is made of a diffusion preventing material with respect to the material constituting the buried wiring 59 provided in the first wiring layer 7b. The diffusion preventing insulating film 61 is made of, for example, silicon nitride (SiN), silicon carbonitride (SiCN), silicon oxynitride (SiON), or silicon carbide (SiC).

층간 절연막(63) 및 매입 배선(65)의 구성은, 센서 기판(2)측의 배선층(2b)과 마찬가지이다. 즉, 층간 절연막(63)에는, 센서 기판(2)측에 개구하는 홈 패턴이 형성되고, 홈 패턴의 일부가 제 1 배선층(7b)의 매입 배선(59)에 달하는 구성으로 되어 있다. 또한, 이와 같은 홈 패턴 내에, 배리어 메탈층(65a)을 통하여 구리(Cu)로 이루어지는 배선층(65b)이 마련되고, 이들의 2층에 의해 매입 배선(65)이 구성되어 있다.The structures of the interlayer insulating film 63 and the buried wiring 65 are the same as those of the wiring layer 2b on the sensor substrate 2 side. That is, in the interlayer insulating film 63, a groove pattern opening to the sensor substrate 2 side is formed, and a part of the groove pattern reaches the buried wiring 59 of the first wiring layer 7b. Further, in such a groove pattern, a wiring layer 65b made of copper (Cu) is provided through a barrier metal layer 65a, and the buried wiring 65 is constituted by these two layers.

또한, 이상과 같은 제 1 배선층(7b), 제 2 배선층(7c)은, 또한 적층된 다층 배선층으로서 구성되어 있어도 좋다.In addition, the above-mentioned 1st wiring layer 7b and 2nd wiring layer 7c may be comprised as a laminated|stacked multilayer wiring layer further.

[전극층(7d)(회로 기판(7)측)][Electrode layer 7d (circuit board 7 side)]

제 2 기판인 회로 기판(7)측의 전극층(7d)은, 회로 기판(7)에서, 센서 기판(2)측의 표면에 인출되어 제 1 전극(33)에 접합된 제 2 전극(67)과, 제 2 전극(67)의 주위를 덮는 제 2 절연막(69)을 갖고 있다. 이들의 제 2 전극(67) 및 제 2 절연막(69)은, 회로 기판(7)에서 센서 기판(2)에 대한 맞붙임면(71)을 구성하고 있고, 이하에 설명하는 바와 같이 센서 기판(2)측의 전극층(2c)과 마찬가지로 구성되어 있다.The electrode layer 7d on the circuit board 7 side, which is the second substrate, is drawn out from the circuit board 7 to the surface of the sensor substrate 2 side, and a second electrode 67 bonded to the first electrode 33 . and a second insulating film 69 covering the periphery of the second electrode 67 . These second electrodes 67 and second insulating film 69 constitute a bonding surface 71 of the circuit board 7 to the sensor board 2, and as described below, the sensor board 2 ) side, similarly to the electrode layer 2c.

즉 제 2 전극(67)은, 단일한 재료층으로 구성된 것으로, 센서 기판(2)측에 마련한 제 1 전극(33)과 양호한 접합성이 유지되는 재료로 구성되어 있다. 이 때문에, 제 2 전극(67)은, 제 1 전극(33)과 동일 재료로 구성되어 있으면 좋고, 예를 들면 구리(Cu)를 이용하여 구성되어 있다. 이와 같은 제 2 전극(67)은, 제 2 절연막(69)에 매입된 매입 배선으로서 구성되어 있다.That is, the second electrode 67 is made of a single material layer, and is made of a material that maintains good adhesion to the first electrode 33 provided on the sensor substrate 2 side. For this reason, the 2nd electrode 67 should just be comprised with the same material as the 1st electrode 33, and is comprised using copper (Cu), for example. Such a second electrode 67 is configured as an embedded wiring embedded in the second insulating film 69 .

또한 제 2 절연막(69)은, 제 2 배선층(7c)을 덮는 상태로 마련되어 있고, 각 화소에 센서 기판(2)측에 개구하는 홈 패턴(69a)을 구비하고, 이 홈 패턴(69a) 내에 제 2 전극(67)이 매입되어 있다. 즉, 제 2 절연막(69)은, 제 2 전극(67)의 주위에 접하여 마련되어 있다. 또한, 여기에서 도시는 생략하였지만, 제 2 절연막(69)에 마련된 홈 패턴(69a)의 일부는, 하층의 매입 배선(65)에 달하고 있고, 이 내부에 매입된 제 2 전극(67)이 필요에 응하여 매입 배선(65)에 접속된 상태로 되어 있다.Further, the second insulating film 69 is provided to cover the second wiring layer 7c, and each pixel is provided with a groove pattern 69a opening to the sensor substrate 2 side, and within the groove pattern 69a. The second electrode 67 is embedded. That is, the second insulating film 69 is provided in contact with the periphery of the second electrode 67 . In addition, although not shown here, a part of the groove pattern 69a provided in the second insulating film 69 reaches the buried wiring 65 of the lower layer, and a second electrode 67 embedded therein is required. In response, it is in a state connected to the embedded wiring 65 .

이상과 같은 제 2 절연막(69)은, 제 2 전극(67)을 구성하는 재료에 대한 확산 방지 재료로 구성되어 있다. 특히 본 실시 형태에서는, 확산 방지 재료를 이용한 단일한 재료층으로서 제 2 절연막(69)이 구성되어 있다. 또한 본 실시예에서, 제 2 절연막(69)은, 제 2 전극(67)과 함께, 센서 기판(2)에서 회로 기판(7)과의 맞붙임면에 인출된 제 1 전극(33)을 구성하는 재료에 대한 확산 방지 재료로 구성되어 있으면 좋다.The second insulating film 69 as described above is made of a material that prevents diffusion of the material constituting the second electrode 67 . In particular, in this embodiment, the second insulating film 69 is constituted as a single material layer using a diffusion preventing material. In addition, in this embodiment, the second insulating film 69 together with the second electrode 67 constitutes the first electrode 33 drawn out from the sensor substrate 2 to the facing surface with the circuit board 7 . What is necessary is just to be comprised with the diffusion prevention material with respect to a material.

이와 같은 제 2 절연막(69)은, 센서 기판(2)측에 마련한 제 1 절연막(35)으로서 예시한 재료 중에서 선택한 재료를 이용할 수 있다. 또한, 제 2 절연막(69)은, 센서 기판(2)측에서의 제 1 절연막(35)과 양호한 접합성이 유지되는 재료로 구성되어 있다. 이 때문에, 제 2 절연막(69)은, 제 1 절연막(35)과 동일 재료로 구성되어 있으면 좋다. 또한, 전극층(7d)은, 회로 기판(7)측의 최상층이기 때문에, 제 2 전극(67)의 레이아웃도 러프하다. 이 때문에, 제 2 전극(67) 사이에 용량이 붙기 어렵고, 제 2 절연막(69)에 대해 저유전율이 요구되는 일은 없다.For the second insulating film 69 as described above, a material selected from among the materials exemplified as the first insulating film 35 provided on the sensor substrate 2 side can be used. In addition, the second insulating film 69 is made of a material that maintains good adhesion to the first insulating film 35 on the sensor substrate 2 side. For this reason, the second insulating film 69 may be made of the same material as the first insulating film 35 . Moreover, since the electrode layer 7d is the uppermost layer on the side of the circuit board 7, the layout of the 2nd electrode 67 is also rough. For this reason, it is difficult for a capacitance to attach between the second electrodes 67 , and a low dielectric constant is not required for the second insulating film 69 .

이상과 같이, 회로 기판(7)에서의 센서 기판(2)측의 표면은, 센서측 기판(2)과의 맞붙임면(71)으로서 구성되고, 제 2 전극(67) 및 제 2 절연막(69)만으로 구성된 상태로 되어 있다. 이 맞붙임면(71)은, 평탄화된 면으로서 구성되어 있다.As described above, the surface of the circuit board 7 on the side of the sensor substrate 2 is configured as the bonding surface 71 with the substrate 2 on the sensor side, and the second electrode 67 and the second insulating film 69 are formed. ) is composed of only This bonding surface 71 is comprised as a flattened surface.

[보호막(15)][Shield (15)]

센서 기판(2)의 광전 변환부(21)를 덮는 보호막(15)은, 패시베이션 특성을 갖는 재료막으로 구성되고, 예를 들면 산화 실리콘막, 질화 실리콘막, 또는 산질화 실리콘막 등이 사용된다.The protective film 15 covering the photoelectric conversion portion 21 of the sensor substrate 2 is made of a material film having a passivation property, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film is used. .

[컬러 필터층(17)][Color filter layer (17)]

컬러 필터층(17)은, 각 광전 변환부(21)에 대응하여 1:1로 마련된 각 색의 컬러 필터로 구성되어 있다. 각 색의 컬러 필터의 배열이 한정되는 일은 없다.The color filter layer 17 is comprised of the color filters of each color provided in 1:1 corresponding to each photoelectric conversion part 21. As shown in FIG. The arrangement of the color filters of each color is not limited.

[온 칩 렌즈(19)][On-Chip Lens (19)]

온 칩 렌즈(19)는, 각 광전 변환부(21) 및 컬러 필터층(17)을 구성하는 각 색의 컬러 필터에 대응하여 1:1로 마련되고, 각 광전 변환부(21)에 입사광이 집광되도록 구성되어 있다.The on-chip lens 19 is provided in a 1:1 ratio corresponding to the color filters of each color constituting each photoelectric conversion unit 21 and the color filter layer 17 , and incident light is focused on each photoelectric conversion unit 21 . is structured to be

[제 1의 실시예의 반도체 장치의 작용 효과][Operation and Effects of the Semiconductor Device of the First Embodiment]

이상과 같이 구성된 반도체 장치(1)에 의하면, 제 1 전극(33)에 대한 확산 방지 재료로 구성된 제 1 절연막(35)에 의해 제 1 전극(33)의 주위를 덮은 구조이기 때문에, 제 1 전극(33)과 제 1 절연막(35)과의 사이에 배리어 메탈층을 마련할 필요는 없다. 마찬가지로, 제 2 전극(67)에 대한 확산 방지 재료로 구성된 제 2 절연막(69)에 의해 제 2 전극(67)의 주위를 덮은 구조이기 때문에, 제 2 전극(67)과 제 2 절연막(69)과의 사이에 배리어 메탈층을 마련할 필요는 없다.According to the semiconductor device 1 configured as described above, since the periphery of the first electrode 33 is covered by the first insulating film 35 made of the diffusion preventing material for the first electrode 33, the first electrode It is not necessary to provide a barrier metal layer between (33) and the first insulating film (35). Similarly, since the periphery of the second electrode 67 is covered by the second insulating film 69 made of a diffusion preventing material for the second electrode 67, the second electrode 67 and the second insulating film 69 are It is not necessary to provide a barrier metal layer between the fruits.

이 때문에, 센서 기판(2)의 맞붙임면(41)과, 회로 기판(7)의 맞붙임면(71)의 각각을, 절연막(35, 69)과 전극(33, 67)만으로 구성하여 접합 강도를 확보하면서, 전극(33, 67)을 구성하는 재료의 절연막(35, 69)으로의 확산을 방지할 수 있다.For this reason, the bonding strength of each of the bonding surface 41 of the sensor substrate 2 and the bonding surface 71 of the circuit board 7 is constituted only by the insulating films 35 and 69 and the electrodes 33 and 67. While ensuring, diffusion of the material constituting the electrodes 33 and 67 into the insulating films 35 and 69 can be prevented.

이 결과, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)과의 맞붙임에 의해 전극(33, 67) 사이 접합이 이루어진 3차원 구조의 반도체 장치(1)에서, 전극 재료의 절연막(35, 69) 안으로 확산을 방지하면서도 맞붙임 강도가 확보되고, 신뢰성의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.As a result, in the semiconductor device 1 having a three-dimensional structure in which bonding between the electrodes 33 and 67 was made by bonding the sensor substrate 2 and the circuit board 7 to each other, the insulating films 35 and 69 of the electrode material. The bonding strength is ensured while preventing the diffusion inside, and it becomes possible to aim at the improvement of reliability.

<<3. 제 1의 실시예의 반도체 장치의 구조에서 센서 기판의 제작 순서>><<3. Manufacturing sequence of the sensor substrate in the structure of the semiconductor device of the first embodiment>>

도 3a 내지 도 3f는, 제 1의 실시예에서 설명한 구성의 반도체 장치의 제조에 이용하는 센서 기판의 각각의 제작 순서를 나타낸다. 이하, 이들의 도면에 의거하여 본 실시예에 이용하는 센서 기판의 제작 순서를 설명한다.3A to 3F show the respective manufacturing procedures of the sensor substrate used for manufacturing the semiconductor device having the configuration described in the first embodiment. Hereinafter, the manufacturing procedure of the sensor board|substrate used for this embodiment is demonstrated based on these drawings.

[도 3a][Fig. 3a]

우선, 도 3a에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 단결정 실리콘으로 이루어지는 반도체 기판(20)을 준비한다. 이 반도체 기판(20)의 소정 깊이에 n형 불순물층으로 이루어지는 광전 변환부(21)를 형성하고, 또한 광전 변환부(21)의 표면층에, n+형 불순물층으로 이루어지는 전하 전송부나 p+형 불순물층으로 이루어지는 정공용의 전하 축적부를 형성한다. 또한 반도체 기판(20)의 표면층에, n+형 불순물층으로 이루어지는 플로팅 디퓨전(FD), 및 소스/드레인(23), 나아가서는 여기에서 도시를 생략한 다른 불순물층을 형성한다.First, as shown in Fig. 3A, a semiconductor substrate 20 made of, for example, single crystal silicon is prepared. A photoelectric conversion section 21 made of an n-type impurity layer is formed at a predetermined depth of the semiconductor substrate 20, and a charge transfer section or a p+ type impurity layer made of an n+ type impurity layer is formed on the surface layer of the photoelectric conversion section 21. A charge storage unit for holes is formed. Further, on the surface layer of the semiconductor substrate 20, a floating diffusion FD comprising an n+ type impurity layer, the source/drain 23, and further other impurity layers not shown here are formed.

또한 반도체 기판(20)의 표면상에, 게이트 절연막(25)을 성막하고, 또한 이 상부에 전송 게이트(TG) 및 게이트 전극(27)을 형성한다. 전송 게이트(TG)는 플로팅 디퓨전(FD)과 광전 변환부(21)와의 사이에 형성되고, 게이트 전극(27)은, 소스/드레인(23) 사이에 형성된다. 또한 이것과 동일 공정에서, 여기에서 도시를 생략한 다른 전극을 형성한다.Further, a gate insulating film 25 is formed on the surface of the semiconductor substrate 20, and a transfer gate TG and a gate electrode 27 are formed thereon. The transfer gate TG is formed between the floating diffusion FD and the photoelectric conversion unit 21 , and the gate electrode 27 is formed between the source/drain 23 . In addition, in the same process as this, another electrode not shown here is formed.

그 후, 반도체 기판(20)상에, 전송 게이트(TG) 및 게이트 전극(27)을 덮는 상태로, 예를 들면 산화 실리콘으로 이루어지는 층간 절연막(29)을 성막한다.Thereafter, an interlayer insulating film 29 made of, for example, silicon oxide is formed on the semiconductor substrate 20 to cover the transfer gate TG and the gate electrode 27 .

[도 3b][Fig. 3b]

다음에, 도 3b에 도시하는 바와 같이, 층간 절연막(29)에 홈 패턴(29a)을 형성한다. 이 홈 패턴(29a)은, 필요에 응한 개소에서 전송 게이트(TG)에 달하는 형상으로 형성된다. 또한 도 3b에서 도시는 생략하였지만, 층간 절연막(29) 및 게이트 절연막(25)에는, 필요 개소에서 소스/드레인(23))에 달하는 홈 패턴을 형성한다.Next, as shown in FIG. 3B , a groove pattern 29a is formed in the interlayer insulating film 29 . This groove pattern 29a is formed in a shape reaching the transfer gate TG at a location depending on necessity. Also, although not shown in Fig. 3B, a groove pattern reaching the source/drain 23) is formed in the interlayer insulating film 29 and the gate insulating film 25 at necessary locations.

다음에 홈 패턴(29a)의 내벽을 덮는 상태로, 배리어 메탈층(31a)을 성막하고, 이 상부에 홈 패턴(29a)을 매입하는 상태로 구리(Cu)로 이루어지는 배선층(31b)을 성막한다.Next, a barrier metal layer 31a is formed to cover the inner wall of the groove pattern 29a, and a wiring layer 31b made of copper (Cu) is formed in a state where the groove pattern 29a is embedded thereon. .

[도 3c][Fig. 3c]

그 후 도 3c에 도시하는 바와 같이, 화학적 기계 연마(chemical mechanical polishing : 이하 CMP)법에 의해, 배리어 메탈층(31a)이 노출할 때까지 배선층(31b)을 평탄화 제거하고, 또한, 층간 절연막(29)이 노출할 때까지 배리어 메탈층(31a)을 평탄화 제거한다. 이에 의해, 홈 패턴(29a) 내에 배리어 메탈층(31a)을 통하여 배선층(31b)을 매입하여 이루어지는 매입 배선(31)을 형성하고, 매입 배선(31)을 구비한 배선층(2b)을 얻는다.Thereafter, as shown in FIG. 3C, the wiring layer 31b is planarized and removed until the barrier metal layer 31a is exposed by a chemical mechanical polishing (CMP) method, and the interlayer insulating film ( 29) is removed by planarization of the barrier metal layer 31a until exposed. Thereby, the buried wiring 31 formed by embedding the wiring layer 31b through the barrier metal layer 31a in the groove pattern 29a is formed, and the wiring layer 2b provided with the embedded wiring 31 is obtained.

이상까지의 공정은, 특히 공정 순서가 한정되는 일은 없고, 적절히 선택된 통상의 공정 순서로 행하면 좋다. 본 기술에서는, 다음의 공정부터가 특징적인 공정이 된다.The steps up to the above are not particularly limited in the step order, and may be performed in an appropriately selected normal step order. In this technique, the characteristic process is from the following process.

[도 3d][Fig. 3d]

즉 우선, 도 3d에 도시하는 바와 같이, 배선층(2b)상에, 제 1 절연막(35)을 성막한다. 제 1 절연막(35)은, 다음에 성막하는 제 1 전극막을 구성하는 재료에 대한 확산 방지 재료를 이용하여 성막된다. 예를 들면 제 1 전극막이 구리(Cu)로 이루어지는 경우, 제 1 절연막(35)은, 산화 실리콘보다도 분자 구조가 조밀한 무기 절연성 재료 또는 유기 절연성 재료가 사용된다. 이와 같은 무기 절연성 재료로서는, 질화 실리콘(SiN), 탄질화 실리콘(SiCN), 산질화 실리콘(SiON), 탄화 실리콘(SiC)이 예시된다. 또한 유기 절연성 재료로서는, 벤조시클로부텐(BCB), 폴리벤조옥사졸(PBO), 폴리이미드, 폴리알릴에테르(PAE)가 예시된다.That is, first, as shown in Fig. 3D, a first insulating film 35 is formed on the wiring layer 2b. The first insulating film 35 is formed using a diffusion preventing material for the material constituting the first electrode film to be formed next. For example, when the first electrode film is made of copper (Cu), an inorganic insulating material or an organic insulating material having a molecular structure denser than that of silicon oxide is used for the first insulating film 35 . Examples of such an inorganic insulating material include silicon nitride (SiN), silicon carbonitride (SiCN), silicon oxynitride (SiON), and silicon carbide (SiC). Examples of the organic insulating material include benzocyclobutene (BCB), polybenzoxazole (PBO), polyimide, and polyallyl ether (PAE).

이상과 같은 각 재료로 이루어지는 제 1 절연막(35)은, 각각의 재료에 적합한 성막 방법으로 성막된다. 예를 들면, 무기 절연성 재료라면, 화학 기상 성장법(chemical vapor deposition : CVD)이 적용되고, 유기 절연성 재료라면 CVD법이나 도포법이 적용된다.The first insulating film 35 made of the above materials is formed by a film forming method suitable for each material. For example, if it is an inorganic insulating material, chemical vapor deposition (CVD) is applied, and if it is an organic insulating material, a CVD method or a coating method is applied.

다음에, 제 1 절연막(35)에, 홈 패턴(35a)을 형성한다. 이 홈 패턴(35a)은, 전극 패드가 매입된 형상을 가지며, 여기서는 도시되지 않은 필요 개소에서 하층의 매입 배선(31)에 달하고 있다.Next, a groove pattern 35a is formed in the first insulating film 35 . This groove pattern 35a has a shape in which electrode pads are embedded, and reaches the buried wiring 31 in the lower layer at necessary locations not shown here.

이와 같은 홈 패턴(35a)은, 다음과 같이 하여 형성한다. 예를 들면 제 1 절연막(35)이 무기 절연 재료로 이루어지는 것이면, 우선 포토리소그래피법에 의해 제 1 절연막(35)상에 레지스트 패턴을 형성하고, 이것을 마스크로 하여 제 1 절연막(35)을 에칭한다. 한편, 제 1 절연막(35)이 유기 절연 재료로 이루어지는 것이면, 우선 제 1 절연막(35)상에 무기 재료층을 형성하고, 이 상부에 레지스트 패턴을 형성한다. 다음에, 레지스트 패턴을 마스크로 하여 무기 재료층을 에칭하여 무기 마스크를 형성한 후, 무기 마스크상에서 제 1 절연막(35)을 에칭한다. 이에 의해 홈 패턴(35a)을 형성하고, 홈 패턴(35a)을 형성한 후에, 제 1 절연막(35)상에서 무기 마스크를 제거한다.Such a groove pattern 35a is formed as follows. For example, if the first insulating film 35 is made of an inorganic insulating material, a resist pattern is first formed on the first insulating film 35 by a photolithography method, and the first insulating film 35 is etched using this as a mask. . On the other hand, if the first insulating film 35 is made of an organic insulating material, an inorganic material layer is first formed on the first insulating film 35, and a resist pattern is formed thereon. Next, the inorganic material layer is etched using the resist pattern as a mask to form an inorganic mask, and then the first insulating film 35 is etched on the inorganic mask. Thereby, the groove pattern 35a is formed, and after the groove pattern 35a is formed, the inorganic mask is removed on the first insulating film 35 .

[도 3e][Fig. 3e]

다음에, 도 3e에 도시하는 바와 같이, 제 1 절연막(35)상에, 홈 패턴(35a)을 매입한 상태에서, 제 1 전극막(33a)을 직접 성막한다. 제 1 전극막(33a)은, 제 1 절연막(35)에 대한 확산이 방지된 재료로 이루어지고, 예를 들면 구리(Cu)를 이용하여 구성된다. 이와 같은 제 1 전극막(33a)의 성막은, 예를 들면 스퍼터법에 의해 얇은 시드(seed)층을 성막한 후, 이 시드층을 전극으로 하는 도금법에 의해 행하여진다.Next, as shown in FIG. 3E , a first electrode film 33a is directly formed on the first insulating film 35 in a state in which the groove pattern 35a is embedded. The first electrode film 33a is made of a material in which diffusion to the first insulating film 35 is prevented, for example, copper (Cu) is used. Such formation of the first electrode film 33a is performed by, for example, forming a thin seed layer by sputtering and then plating using the seed layer as an electrode.

[도 3f][Fig. 3f]

뒤이어, 도 3f에 도시하는 바와 같이, CMP법에 의해, 제 1 절연막(35)이 노출할 때까지 제 1 절연막(35)상에 직접 성막된 제 1 전극막(33a)을 평탄화 제거한다. 이때, 제 1 절연막(35)을 연마 스토퍼로 하고, 연마면 내에서 주위에 제 1 절연막(35)이 노출한 제 1 전극막(33a) 부분부터 차례로, 연마가 자동적으로 정지하는 CMP를 행한다. 이와 같은 CMP는, 제 1 전극막(33a)이 구리(Cu)로 대표된 화학적으로 활성한 재료라면 좋고, 다음과 같은 다양한 방법이 예시된다.Subsequently, as shown in Fig. 3F, the first electrode film 33a formed directly on the first insulating film 35 is removed by planarization by the CMP method until the first insulating film 35 is exposed. At this time, using the first insulating film 35 as a polishing stopper, CMP is performed in which polishing is automatically stopped in order from the portion of the first electrode film 33a exposed around the first insulating film 35 in the polishing surface. Such CMP may be performed as long as the first electrode film 33a is a chemically active material typified by copper (Cu), and the following various methods are exemplified.

예를 들면, 제 1 전극막(33a)의 CMP에 의한 연마의 진행에 의해 주위에 제 1 절연막(35)이 노출한 부분에서는, 연마 슬러리의 국소적인 온도 변화나, 연삭면에서의 제 1 절연막(33a)의 점유률의 국소적인 변화가 발생한다. 그래서, 이들의 국소적인 변화를 이용한 화학적 작용에 의해, 주위에 제 1 절연막(35)이 노출한 제 1 전극막(33a) 부분에서, 국소적으로 CMP에 의한 연마의 진행을 자동적으로 정지시키는 방법이 예시된다.For example, in the portion where the first insulating film 35 is exposed around the first electrode film 33a due to the progress of polishing by CMP, a local temperature change of the polishing slurry or the first insulating film on the grinding surface A local change in the share of (33a) occurs. Therefore, a method of automatically stopping the progress of polishing by CMP locally in the portion of the first electrode film 33a exposed to the periphery of the first insulating film 35 by a chemical action using these local changes. This is exemplified.

또한 전극막(33a)의 표면만을 변질시켜서, 화학적인 에칭 작용을 이용하지 않고, 연마 패드가 접촉한 부분에서만 연마를 진행시키는 다른 방법이 예시된다. 이 경우, 제 1 전극막(33a)의 CMP에 의한 연마의 진행에 의해 주위에 제 1 절연막(35)이 노출한 제 1 전극막(33a) 부분에서는, 제 1 절연막(35)의 표면이 기준면이 되고, 그 이상 연마가 진행되는 일은 없다. 이 때문에, 주위에 제 1 절연막(35)이 노출한 제 1 전극막(33) 부분부터 차례로, 연마가 자동으로 정지한다. 구체적으로는, 연마 슬러리로서 지립(grain) 없는 Cu용 연마 슬러리 "HS-C430"(Hitachi Chemical Co., Ltd.의 상품명)를 이용함에 의해, 이와 같은 CMP가 행하여진다.Also, another method is exemplified in which only the surface of the electrode film 33a is altered, and polishing proceeds only in the portion in contact with the polishing pad without using a chemical etching action. In this case, in the portion of the first electrode film 33a exposed to the periphery of the first insulating film 35 due to the progress of CMP polishing of the first electrode film 33a, the surface of the first insulating film 35 is the reference plane. , and polishing does not proceed further. For this reason, the polishing is automatically stopped sequentially from the portion of the first electrode film 33 exposed by the first insulating film 35 to the periphery. Specifically, such CMP is performed by using abrasive-free polishing slurry for Cu "HS-C430" (trade name of Hitachi Chemical Co., Ltd.) as the polishing slurry.

이상에 의해, 홈 패턴(35a) 내에 제 1 전극막(33a)을 매입하여 이루어지는 제 1 전극(33)을 매입 전극으로서 형성하고, 제 1 전극(33)을 구비한 전극층(2c)을 얻는다. 또한 이에 의해, 제 1 전극(33)과 제 1 절연막(35)으로 구성된 평탄한 맞붙임면(41)을 갖는 센서 기판(2)이, 제 1 기판으로서 제작된다.As described above, the first electrode 33 formed by embedding the first electrode film 33a in the groove pattern 35a is formed as a buried electrode, and the electrode layer 2c provided with the first electrode 33 is obtained. Furthermore, thereby, the sensor substrate 2 which has the flat bonding surface 41 comprised with the 1st electrode 33 and the 1st insulating film 35 is produced as a 1st board|substrate.

<<4. 제 1의 실시예의 반도체 장치의 제조에서의 회로 기판의 제작 순서>><<4. Manufacturing procedure of circuit board in manufacturing of the semiconductor device of the first embodiment>>

도 4a 내지 도 4e는, 제 1의 실시예에서 설명한 구성의 반도체 장치의 제조에 이용하는 회로 기판의 제작 순서를 나타낸다. 이하, 도 4a 내지 도 4e에 의거하여 실시예에 이용하는 회로 기판의 제작 순서를 설명한다.4A to 4E show the manufacturing procedure of a circuit board used for manufacturing the semiconductor device having the configuration described in the first embodiment. Hereinafter, the manufacturing procedure of the circuit board used for Example is demonstrated based on FIG.4A - FIG.4E.

[도 4a][Fig. 4a]

우선, 도 4a에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 단결정 실리콘으로 이루어지는 반도체 기판(50)을 준비한다. 이 반도체 기판(50)의 표면층에, 각 도전형의 소스/드레인(51), 및 여기에서 도시를 생략한 다른 불순물층을 형성한다. 또한 반도체 기판(50)의 표면상에, 게이트 절연막(53)을 성막하고, 또한 이 상부에 게이트 전극(55)을 형성한다. 게이트 전극(55)은, 소스/드레인(51) 사이에 형성된다. 또한 이것과 동일 공정으로, 여기에서 도시를 생략한 다른 전극을 형성한다.First, as shown in Fig. 4A, a semiconductor substrate 50 made of, for example, single crystal silicon is prepared. Source/drain 51 of each conductivity type and other impurity layers not shown here are formed on the surface layer of the semiconductor substrate 50 . Further, on the surface of the semiconductor substrate 50, a gate insulating film 53 is formed, and a gate electrode 55 is formed thereon. The gate electrode 55 is formed between the source/drain 51 . Further, in the same process as this, another electrode, not shown here, is formed.

그 후, 반도체 기판(50)상에, 게이트 전극(55)을 덮는 상태로, 예를 들면 산화 실리콘으로 이루어지는 층간 절연막(57)을 성막한다.Thereafter, an interlayer insulating film 57 made of, for example, silicon oxide is formed on the semiconductor substrate 50 to cover the gate electrode 55 .

다음에, 층간 절연막(57)에 홈 패턴(57a)을 형성한다. 이 홈 패턴(57a)은, 필요에 응한 개소에서 게이트 전극(55)에 달하는 형상으로 형성된다. 또한 여기에서 도시는 생략하였지만, 층간 절연막(57) 및 게이트 절연막(53)에는, 필요 개소에서 소스/드레인(51))에 달하는 홈 패턴을 형성한다. 다음에 홈 패턴(57a)의 내벽을 덮는 상태로, 배리어 메탈층(59a)을 성막하고, 이 상부에 홈 패턴(57a)을 매입한 상태에서 구리(Cu)로 이루어지는 배선층(59b)을 성막한 후, CMP에 의해 배선층(59b) 및 배리어 메탈층(59a)을 순차적으로 평탄화 제거한다. 이에 의해, 홈 패턴(57a) 내에 배리어 메탈층(59a)을 통하여 배선층(59b)을 매입하여 이루어지는 매입 배선(59)을 형성하고, 매입 배선(59)을 구비한 제 1 배선층(7b)을 얻는다.Next, a groove pattern 57a is formed in the interlayer insulating film 57 . This groove pattern 57a is formed in a shape reaching the gate electrode 55 at a location depending on necessity. Although not shown here, a groove pattern reaching the source/drain 51) is formed in the interlayer insulating film 57 and the gate insulating film 53 at necessary locations. Next, a barrier metal layer 59a is formed while covering the inner wall of the groove pattern 57a, and a wiring layer 59b made of copper (Cu) is formed with the groove pattern 57a embedded thereon. Thereafter, the wiring layer 59b and the barrier metal layer 59a are sequentially planarized and removed by CMP. Thereby, the embedded wiring 59 formed by embedding the wiring layer 59b through the barrier metal layer 59a in the groove pattern 57a is formed, and the 1st wiring layer 7b provided with the embedded wiring 59 is obtained. .

[도 4b][Fig. 4b]

다음에, 도 4b에 도시하는 바와 같이, 제 1 배선층(7b)상에 확산 방지 절연막(61)을 통하여 층간 절연막(63)을 적층시켜서 성막하고, 이 층간 절연막(63) 및 확산 방지 절연막(61)에 홈 패턴(63a)을 형성한다. 이 홈 패턴(63a)은, 필요에 응한 개소에서 하층의 매입 배선(59)에 달하여 형성된다. 그 후는, 제 1 배선층(7b)의 형성 순서와 마찬가지로 하여, 홈 패턴(63a) 내에 배리어 메탈층(65a)을 통하여 배선층(65b)을 매입하여 이루어지는 매입 배선(65)을 형성하고, 제 2 배선층(7c)을 얻는다.Next, as shown in Fig. 4B, an interlayer insulating film 63 is laminated and formed on the first wiring layer 7b through a diffusion preventing insulating film 61, and this interlayer insulating film 63 and diffusion preventing insulating film 61 are formed. ) to form a groove pattern 63a. This groove pattern 63a is formed to reach the buried wiring 59 in the lower layer at a location where necessary. Thereafter, in the same manner as in the formation procedure of the first wiring layer 7b, an embedded wiring 65 formed by embedding the wiring layer 65b through the barrier metal layer 65a in the groove pattern 63a is formed, and a second A wiring layer 7c is obtained.

이상까지의 공정은, 통상의 공정 순서로 행하면 좋고, 또한 특히 공정 순서가 한정되는 일은 없고, 알맞은 순서로 행할 수 있다. 본 기술에서는, 다음의 공정부터가 특징적인 공정이 된다.What is necessary is just to perform the process up to the above in a normal process order, Moreover, there is no particular restriction on the process order, and it can be performed in an appropriate order. In this technique, the characteristic process is from the following process.

[도 4c][Fig. 4c]

즉 우선, 도 4c에 도시하는 바와 같이, 제 2 배선층(7c)상에, 제 2 절연막(69)을 성막한다. 제 2 절연막(69)은, 다음에 성막하는 제 2 전극막을 구성하는 재료에 대한 확산 방지 재료를 이용하여 성막된다. 예를 들면 제 2 전극막이 구리(Cu)로 이루어지는 경우, 제 2 절연막(69)은, 앞서 설명한 센서 기판(2)측의 제 1 절연막(35)과 같은 재료가 사용되고, 마찬가지로 성막된다.That is, first, as shown in Fig. 4C, a second insulating film 69 is formed on the second wiring layer 7c. The second insulating film 69 is formed using a diffusion preventing material for the material constituting the second electrode film to be formed next. For example, when the second electrode film is made of copper (Cu), the same material as the first insulating film 35 on the sensor substrate 2 side described above is used for the second insulating film 69, and is formed in the same manner.

다음에, 제 2 절연막(69)에, 홈 패턴(69a)을 형성한다. 이 홈 패턴(69a)은, 전극 패드가 매입되는 형상을 가지며, 필요 개소에서 제 2 배선층(7c)에 형성된 매입 배선(65)에 달하고 있다. 이와 같은 홈 패턴(69a)의 형성은, 앞서 설명한 센서 기판(2)측의 제 1 절연막(35)에 형성한 홈 패턴(35a)과 마찬가지로 형성된다.Next, a groove pattern 69a is formed in the second insulating film 69 . This groove pattern 69a has a shape in which electrode pads are embedded, and reaches the embedded wiring 65 formed in the second wiring layer 7c at necessary locations. Such a groove pattern 69a is formed in the same manner as the groove pattern 35a formed in the first insulating film 35 on the sensor substrate 2 side described above.

[도 4d][Fig. 4d]

다음에, 도 4d에 도시하는 바와 같이, 제 2 절연막(69)상에, 홈 패턴(69a)을 매입하는 상태로, 제 2 전극막(67a)을 직접 성막한다. 제 2 전극막(67a)은, 제 2 절연막(69)에 대한 확산이 방지된 재료로 이루어지고, 예를 들면 구리(Cu)를 이용하여 구성된다. 이와 같은 제 2 전극막(67a)의 성막은, 예를 들면 스퍼터법에 의해 얇은 시드층을 성막한 후, 이 시드층을 전극으로 하는 도금법에 의해 행하여진다.Next, as shown in FIG. 4D , a second electrode film 67a is directly formed on the second insulating film 69 in a state where the groove pattern 69a is embedded. The second electrode film 67a is made of a material whose diffusion to the second insulating film 69 is prevented, and is made of copper (Cu), for example. Such formation of the second electrode film 67a is performed by, for example, forming a thin seed layer by sputtering and then plating using the seed layer as an electrode.

[도 4e][Fig. 4e]

뒤이어, 도 4e에 도시하는 바와 같이, CMP법에 의해, 제 2 절연막(69)이 노출할 때까지 제 2 전극막(67a)을 평탄화 제거한다. 제 2 전극막(67a)의 평탄화는, 도 3f를 이용하여 설명한 제 1 전극막(33a)의 평탄화와 마찬가지로, 제 2 절연막(69)을 연마 스토퍼로 하고, 연마면 내에서 주위에 제 2 절연막(69)이 노출한 제 2 전극막(67a) 부분부터 차례로, 연마가 자동적으로 정지하는 CMP에 의해 행한다.Subsequently, as shown in Fig. 4E, the second electrode film 67a is planarized and removed by the CMP method until the second insulating film 69 is exposed. The planarization of the second electrode film 67a is performed similarly to the planarization of the first electrode film 33a described with reference to FIG. 3F , using the second insulating film 69 as a polishing stopper, and the second insulating film periphery within the polishing surface. CMP is performed in which polishing is automatically stopped in order from the portion of the second electrode film 67a exposed by reference numeral 69 .

이상에 의해, 홈 패턴(69a) 내에 제 2 전극막(67a)을 매입하여 이루어지는 제 2 전극(67)을 형성하고, 매입 전극으로서의 제 2 전극(67)을 구비한 전극층(7d)을 얻는다. 또한 이에 의해, 제 2 전극(67)과 제 2 절연막(69)으로 구성된 평탄한 맞붙임면(71)을 갖는 회로 기판(7)이, 제 2 기판으로서 제작된다.As described above, the second electrode 67 formed by embedding the second electrode film 67a in the groove pattern 69a is formed, and the electrode layer 7d provided with the second electrode 67 as the buried electrode is obtained. Furthermore, thereby, the circuit board 7 which has the flat bonding surface 71 comprised with the 2nd electrode 67 and the 2nd insulating film 69 is produced as a 2nd board|substrate.

<<5. 제 1의 실시예의 반도체 장치의 제조에서의 기판의 맞붙임>><<5. Bonding of Substrates in Manufacturing of the Semiconductor Device of the First Embodiment>>

다음에, 도 5a 및 도 5b를 이용하여, 평탄한 맞붙임면(41)이 형성된 센서 기판(2)과, 평탄한 맞붙임면(71)이 형성된 회로 기판(7)과의 맏붙임 순서를 설명한다.Next, the assembly procedure of the sensor board|substrate 2 in which the flat bonding surface 41 was formed and the circuit board 7 in which the flat bonding surface 71 was formed is demonstrated using FIGS. 5A and 5B.

[도 5a][Fig. 5a]

우선, 도 5a에 도시하는 바와 같이, 상술한 순서로 제작한 센서 기판(2)과 회로 기판(7)을, 평탄한 맞붙임면(41)-맞붙임면(71)끼리를 마주 대하게 하여 대향 배치한다. 또한, 센서 기판(2)측의 제 1 전극(33)과, 회로 기판(7)측의 제 2 전극(67)이 대응하도록, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)을 위치 맞춤한다. 도시한 예에서는, 제 1 전극(33)과 제 2 전극(67)이 1:1로 대응하고 있는 상태를 나타냈지만, 대응 상태는 이것으로 한정되는 일은 없다.First, as shown in Fig. 5A, the sensor substrate 2 and the circuit board 7 produced in the above procedure are arranged to face each other with the flat facing surfaces 41 and 71 facing each other. Further, the sensor board 2 and the circuit board 7 are aligned so that the first electrode 33 on the sensor board 2 side and the second electrode 67 on the circuit board 7 side correspond. In the illustrated example, the state in which the first electrode 33 and the second electrode 67 correspond to 1:1 is shown, but the corresponding state is not limited to this.

또한, 센서 기판(2)의 맞붙임면(41), 및 회로 기판(7)의 맞붙임면(71)에 대해서는, 필요에 응하여 웨트 처리 또는 플라즈마 처리에 의한 맞붙임의 전처리를 시행하여 둔다.In addition, about the bonding surface 41 of the sensor board|substrate 2, and the bonding surface 71 of the circuit board 7, the pre-processing of bonding by a wet process or plasma processing is implemented as needed.

[도 5b][Fig. 5b]

다음에, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)을, 맞붙임면(41)과 맞붙임면(71)끼리를 접촉시켜서 적층시킨다. 이 상태에서 열처리를 행함에 의해, 맞붙임면(41)의 제 1 전극(33)과, 맞붙임면(71)의 제 2 전극(67)을 접합시킨다. 맞붙임면(41)의 제 1 절연막(35)과 맞붙임면(71)의 제 2 절연막(69)을 접합시킨다. 이와 같은 열처리는, 제 1 전극(33)과 제 2 전극(67)을 구성하는 재료에 의해, 센서 기판(2) 및 회로 기판(7)에 형성된 소자나 배선에 영향이 없는 범위에서 이들의 전극(33, 67)이 충분히 접합하는 온도 및 시간에서 행하여진다.Next, as shown in FIG. 5B, the sensor substrate 2 and the circuit board 7 are laminated|stacked by making the bonding surface 41 and the bonding surface 71 comrades contact. By heat-treating in this state, the 1st electrode 33 of the bonding surface 41 and the 2nd electrode 67 of the bonding surface 71 are joined. The first insulating film 35 of the facing surface 41 and the second insulating film 69 of the facing surface 71 are bonded. In such a heat treatment, the material constituting the first electrode 33 and the second electrode 67 does not affect the elements or wiring formed on the sensor substrate 2 and the circuit board 7, so that the electrodes of these electrodes are not affected. (33, 67) is performed at the temperature and time at which the bonding is sufficiently performed.

예를 들면, 제 1 전극(33) 및 제 2 전극(67)이, 구리(Cu)를 주로 하는 재료로 구성되는 경우, 200℃ 내지 600℃에서 1 내지 5시간 정도의 열처리가 행하여진다. 이와 같은 열처리는, 가압 분위기하에서 행하여도 좋고, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)을 양면측으로부터 가압한 상태에서 행하여도 좋다. 한 예로서, 400℃에서 4시간의 열처리를 행함으로써, Cu-Cu 접합을 행한다.For example, when the first electrode 33 and the second electrode 67 are made of a material mainly composed of copper (Cu), heat treatment is performed at 200° C. to 600° C. for about 1 to 5 hours. Such heat treatment may be performed in a pressurized atmosphere, or may be performed in a state in which the sensor substrate 2 and the circuit board 7 are pressurized from both sides. As an example, Cu-Cu bonding is performed by performing heat treatment at 400° C. for 4 hours.

이상과 같이 하여 센서 기판(2)과 회로 기판(7)을 적층시켜서, 이들의 사이를 접합면(41, 71) 사이에서 맞붙인 후, 센서 기판(2)측의 반도체 기판(20)을 박막화하여 반도체층(2a)으로 하고, 광전 변환부(21)를 노출시킨다. 또할 필요에 응하여 회로 기판(7)측의 반도체 기판(50)을 박막화하여 반도체층(7a)으로 한다.After laminating the sensor substrate 2 and the circuit board 7 as described above and bonding them between the bonding surfaces 41 and 71, the semiconductor substrate 20 on the sensor substrate 2 side is thinned. This is used as the semiconductor layer 2a, and the photoelectric conversion section 21 is exposed. Moreover, the semiconductor substrate 50 on the side of the circuit board 7 is thinned as needed, and it is set as the semiconductor layer 7a.

[도 2][Fig. 2]

그 후, 도 2에 도시한 바와 같이, 센서 기판(2)에서의 광전 변환부(21)의 노출면상에 보호막(15)을 성막하고, 또한 보호막(15)상에 컬러 필터층(17) 및 온 칩 렌즈(19)를 형성하고, 반도체 장치(고체 촬상 장치)를 완성시킨다.Thereafter, as shown in FIG. 2 , a protective film 15 is formed on the exposed surface of the photoelectric conversion unit 21 in the sensor substrate 2 , and the color filter layer 17 and the ON film are formed on the protective film 15 . A chip lens 19 is formed, and a semiconductor device (solid-state imaging device) is completed.

[제 1의 실시예의 반도체 장치의 제조 방법의 작용 효과][Operation and Effects of the Method for Manufacturing the Semiconductor Device of the First Embodiment]

이상 설명한 제 1의 실시예의 제조 방법에 의하면, 도 3f를 이용하여 설명한 바와 같이, 센서 기판(2)의 형성에 있어서, 제 1 절연막(35)상에 직접 성막된 제 1 전극막(33a)을, 제 1 절연막(35)을 연마 스토퍼로 한 CMP에 의해 평탄화 및 제거하고 있다. 이때, 주위에 제 1 절연막(35)이 노출한 제 1 전극막(33a) 부분부터 차례로, 연마를 자동적으로 정지시킨 CMP를 행함에 의해, 연삭면의 전면에서 디싱(dishing)이나 에로전(erosion)의 발생을 방지할 수 있고, 평탄한 연삭면을 맞붙임면(41)으로서 얻는 것이 가능해진다.According to the manufacturing method of the first embodiment described above, as described with reference to FIG. 3F , in the formation of the sensor substrate 2 , the first electrode film 33a formed directly on the first insulating film 35 is formed. , the first insulating film 35 is planarized and removed by CMP using the polishing stopper. At this time, from the portion of the first electrode film 33a exposed by the first insulating film 35 to the periphery, CMP is performed in which polishing is automatically stopped, thereby dishing or erosion is performed on the entire surface of the ground surface. ) can be prevented, and it becomes possible to obtain a flat ground surface as the mating surface 41 .

또한, 도 4e를 이용하여 설명한 공정에서도, 상술과 마찬가지로 평탄한 연삭면을 맞붙임면(71)으로서 얻는 것이 가능해진다.Moreover, also in the process demonstrated using FIG. 4E, it becomes possible to obtain a flat grinding surface as the bonding surface 71 similarly to the above.

따라서 도 5a 및 도 5b을 이용하여 설명한 맏붙임의 공정에서는, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)과의 맞붙임을, 서로 평탄한 맞붙임면(41)과 맞붙임면(71)과의 사이에서 행할 수 있다. 이에 의해, 맞붙임면(41)과 맞붙임면(71)의 전면 사이에서, 양호한 전극(33-67) 사이 접합이 이루어진 맞붙임이 행하여지고, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)과의 맞붙임 강도를 유지하는 것이 가능해진다.Therefore, in the bonding process described using FIGS. 5A and 5B, the bonding of the sensor substrate 2 and the circuit board 7 is performed between the bonding surface 41 and the bonding surface 71 that are flat to each other. can Thereby, between the bonding surface 41 and the entire surface of the bonding surface 71, bonding is performed in which good bonding between the electrodes 33-67 is made, and bonding between the sensor substrate 2 and the circuit board 7 is performed. It becomes possible to maintain strength.

또한, 센서 기판(2)측의 맞붙임면(41)을 구성하는 제 1 절연막(35)은, 제 1 전극(33)에 대한 확산 방지 재료로 구성되어 있다. 이 때문에, 제 1 절연막(35)에의 제 1 전극(33)의 확산을 방지할 수 있다. 마찬가지로, 회로 기판(7)측의 맞붙임면(71)을 구성하는 제 2 절연막(69)은, 제 2 전극(67)에 대한 확산 방지 재료로 구성되어 있다. 이 때문에, 제 2 전극(67)의 제 2 절연막(69)으로의 확산을 방지할 수 있다. 따라서 상술한 바와 같은 전극(33, 67) 사이의 접합 강도를 유지한 맞붙임을 실현 가능한 구성으로 되어 있다.Further, the first insulating film 35 constituting the bonding surface 41 on the sensor substrate 2 side is made of a diffusion preventing material for the first electrode 33 . For this reason, diffusion of the first electrode 33 into the first insulating film 35 can be prevented. Similarly, the second insulating film 69 constituting the bonding surface 71 on the circuit board 7 side is made of a diffusion preventing material for the second electrode 67 . For this reason, diffusion of the second electrode 67 into the second insulating film 69 can be prevented. Therefore, it is a structure which can implement|achieve the bonding which maintained the bonding strength between the electrodes 33 and 67 as mentioned above.

그 밖에도, 회로 기판(7)측의 제 2 전극(67)에 대한 확산 방지 재료에 의해 센서 기판(2)측의 제 1 절연막(35)을 구성하고, 센서 기판(2)측의 제 1 전극(33)에 대한 확산 방지 재료에 의해 회로 기판(7)측의 제 2 절연막(69)을 구성한다. 이에 의해, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)과의 사이에서의 전극 재료의 상호 확산도 방지할 수 있다.In addition, the first insulating film 35 on the sensor substrate 2 side is made of a diffusion preventing material for the second electrode 67 on the circuit board 7 side, and the first electrode on the sensor substrate 2 side The second insulating film 69 on the circuit board 7 side is constituted by the diffusion preventing material for (33). Thereby, mutual diffusion of electrode materials between the sensor substrate 2 and the circuit board 7 can also be prevented.

더하여, 센서 기판(2)측의 맞붙임면(41)이 제 1 전극(33)과 제 1 절연막(35)만으로 구성되고, 회로 기판(7)측의 맞붙임면(71)이 제 2 전극(67)과 제 2 절연막(69)만으로 구성되어 있다. 이 때문에, 화학적으로 불활성이어서 접합 강도를 유지하기 어려운 배리어 메탈층에 의해 맞붙임면(41, 71)이 구성되는 일은 없고, 맞붙임면의 구성이 단순화되고, 이에 의해서도 접합 강도를 유지하는 것이 가능해진다.In addition, the bonding surface 41 on the sensor substrate 2 side is composed of only the first electrode 33 and the first insulating film 35, and the bonding surface 71 on the circuit board 7 side is the second electrode 67 ) and the second insulating film 69 only. For this reason, the bonding surfaces 41 and 71 are not constituted by the barrier metal layer which is chemically inert and difficult to maintain bonding strength, and the structure of the bonding surface is simplified, whereby bonding strength can be maintained.

도 6의 A 내지 C, A' 내지 C' 및 D는, 비교예가 되는 반도체 장치의 제조 순서를 도시한다. 도 6의 A 내지 D에 도시한 비교예의 순서는, 다음과 같이 행한다.6A to C, A' to C', and D show a manufacturing procedure of a semiconductor device serving as a comparative example. The procedure of the comparative example shown in FIGS. 6A to 6D is performed as follows.

우선 도 6의 A에 도시하는 바와 같이, 한쪽의 기판 표면을 덮는 제 1 절연막(101)에 홈 패턴(101a)을 형성하고, 이 홈 패턴(101a)에 따라 전극 재료에 대한 배리어 메탈층(102)을 성막한 후, 이 상부에 구리(Cu)로 이루어지는 제 1 전극막(103a)을 성막한다. 뒤이어, 도 6의 B에 도시하는 바와 같이, 제 1 전극막(103a)을 CMP에 의해 평탄화 제거하고, 배리어 메탈층(102)을 노출시킨다. 이때, 배리어 메탈층(102)을 연마 스토퍼로 한 CMP를 행한다. 또한 이 CMP에서는, 연마면 내에서 주위에 배리어 메탈층(102)이 노출한 제 1 전극막(103a) 부분부터 차례로, 연마가 자동적으로 정지하는 CMP를 행한다.First, as shown in FIG. 6A, a groove pattern 101a is formed in the first insulating film 101 covering one substrate surface, and the barrier metal layer 102 to the electrode material is formed according to the groove pattern 101a. ), a first electrode film 103a made of copper (Cu) is formed thereon. Subsequently, as shown in FIG. 6B , the first electrode film 103a is planarized and removed by CMP to expose the barrier metal layer 102 . At this time, CMP is performed using the barrier metal layer 102 as a polishing stopper. In this CMP, CMP is performed in which polishing is automatically stopped in order from the portion of the first electrode film 103a exposed by the barrier metal layer 102 to the periphery in the polished surface.

그 후, 도 6의 C에 도시하는 바와 같이, 배리어 메탈층(102)을 연마에 의해 평탄화 제거하고, 제 1 절연막(101)을 노출시킨다. 이상에 의해, 제 1 절연막(101)의 홈 패턴(101a) 내에, 배리어 메탈층(102)을 통하여 구리(Cu)로 이루어지는 제 1 전극막(103a)이 매입된 제 1 전극(103)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 6C , the barrier metal layer 102 is planarized and removed by polishing to expose the first insulating film 101 . As described above, the first electrode 103 in which the first electrode film 103a made of copper (Cu) is embedded through the barrier metal layer 102 is formed in the groove pattern 101a of the first insulating film 101 . do.

한편, 도 6의 A' 내지 도 6의 C'에 도시하는 바와 같이, 다른쪽의 기판의 표면측에도, 같은 순서로 제 2 절연막(201)의 홈 패턴(201a) 내에, 배리어 메탈층(202)을 통하여 구리(Cu)로 이루어지는 제 2 전극막(203a)이 매입된 제 2 전극(203)을 형성한다.On the other hand, as shown in FIGS. 6A' to 6C', the barrier metal layer 202 is also in the groove pattern 201a of the second insulating film 201 in the same procedure on the surface side of the other substrate. The second electrode 203 in which the second electrode film 203a made of copper (Cu) is embedded is formed.

그 후, 도 6의 D에 도시하는 바와 같이, 각각의 연삭면을 대향 배치하고, 제 1 전극(103)과 제 2 전극(203)을 대응시켜서 접합시켜서, 2개의 기판의 맞붙임을 행한다.Then, as shown in FIG. 6D, each grinding surface is arrange|positioned, the 1st electrode 103 and the 2nd electrode 203 are made to correspond, and are joined, and bonding of two board|substrates is performed.

이와 같은 비교예의 순서에서는, 도 6의 B로부터 도 6의 C에 이르는 배리어 메탈층(102)과 제 1 전극막(103a)의 연마에 있어서, 화학적으로 활성인 구리(Cu)로 이루어지는 제 1 전극막(103a)의 급격한 노출 면적의 변화가 생기는 일이 없다. 이 때문에, 주위에 제 1 절연막(101)이 노출한 제 1 전극막(103a) 부분부터 차례로, 연마를 자동적으로 정지시키는 CMP를 행할 수는 없다. 따라서 연마면 내에서의 디싱이나 에로전의 발생을 방지할 수 없고, 평탄한 연삭면을 얻는 것이 곤란하다. 이것은, 도 6의 C'에 도시하는 공정도 마찬가지이다.In the procedure of this comparative example, in the polishing of the barrier metal layer 102 and the first electrode film 103a from B to C of FIG. 6 , the first electrode made of chemically active copper (Cu) There is no abrupt change in the exposed area of the film 103a. For this reason, it is impossible to perform CMP for automatically stopping the polishing sequentially from the portion of the first electrode film 103a exposed to the periphery of the first insulating film 101 . Therefore, dishing or generation of erosion in the polished surface cannot be prevented, and it is difficult to obtain a flat ground surface. This is also the same for the process shown in C' of FIG. 6 .

따라서, 도 6의 D에 도시한 바와 같이, 평탄성에 뒤떨어지는 연삭면끼리를 대향시켜서 기판끼리 맞붙여도, 충분한 접착 강도를 얻을 수가 없고, 게다가 제 1 전극(103)과 제 2 전극(203)과의 접합 강도도 충분히 얻을 수가 없다.Therefore, as shown in Fig. 6D, even when substrates are bonded to each other with the grinding surfaces poor in flatness facing each other, sufficient adhesive strength cannot be obtained, and furthermore, between the first electrode 103 and the second electrode 203, can not obtain sufficient bonding strength.

또한, 도 6의 C에 도시한 연삭면은, 제 1 절연막(101), 배리어 메탈층(102), 및 제 1 전극(103)으로 구성된다. 한편, 도 6의 C'에 도시한 연삭면도, 제 2 절연막(201), 배리어 메탈층(202), 및 제 2 전극(203)으로 구성된다. 이 때문에, 연삭면끼리의 맞붙임 계면에는, 제 1 절연막(101) 및 제 1 전극(103)과 배리어 메탈층(202)과의 접합 계면, 제 2 절연막(201) 및 제 2 전극(203)과 배리어 메탈층(102)과의 접합 계면도 발생한다. 그러나, 배리어 메탈층(102, 202)은, 화학적으로 불활성이기 때문에, 맞붙임에 플라즈마 처리나 웨트 처리로의 전처리가 곤란하다. 이 때문에 맞붙임면에서 배리어 메탈층(102, 202)이 노출하고 있는 부분에서는, 접합 강도를 얻을 수가 없고, 기판 사이의 접착 강도의 저하를 초래하는 요인이 된다.In addition, the grinding surface shown in FIG. 6C is comprised with the 1st insulating film 101, the barrier metal layer 102, and the 1st electrode 103. As shown in FIG. On the other hand, the grinding surface shown in FIG. 6C' is constituted by the second insulating film 201, the barrier metal layer 202, and the second electrode 203. As shown in FIG. For this reason, at the bonding interface between the grinding surfaces, the bonding interface between the first insulating film 101 and the first electrode 103 and the barrier metal layer 202 , and the second insulating film 201 and the second electrode 203 . A bonding interface with the barrier metal layer 102 also occurs. However, since the barrier metal layers 102 and 202 are chemically inert, it is difficult to perform pretreatment with plasma treatment or wet treatment for bonding. For this reason, bonding strength cannot be obtained in the part where the barrier metal layers 102 and 202 are exposed on the bonding surface, and it becomes a factor which causes the fall of the adhesive strength between board|substrates.

이상과 같은 비교예에 대해, 도 2에 도시한 본 실시예의 반도체 장치에서는, 제 1 전극(33) 및 제 1 절연막(35), 제 2 전극(67) 및 제 2 절연막(69)의, 각각 2종류로 단순화된 평탄한 맞붙임면(41)과 맞붙임면(71)과의 사이에서 맞붙임이 행하여진다. 그리고, 제 1 전극(33)과 제 2 전극(67) 사이, 제 1 절연막(35)과 제 2 절연막(69) 사이, 제 1 전극(33)과 제 2 절연막(69) 사이, 및 제 2 전극과 제 1 절연막(35) 사이는, 각각 충분한 접합 강도를 얻는 것이 가능하다. 이 때문에 센서 기판(제 1 기판)(2)과 회로 기판(제 2 기판)(7) 사이에는, 충분한 맞붙임 강도를 얻는 것이 가능한 것이다.With respect to the above comparative example, in the semiconductor device of this embodiment shown in FIG. 2 , the first electrode 33 , the first insulating film 35 , the second electrode 67 , and the second insulating film 69 are respectively Pasting is performed between the flat facing surface 41 and the facing surface 71 simplified into two types. Then, between the first electrode 33 and the second electrode 67 , between the first insulating film 35 and the second insulating film 69 , between the first electrode 33 and the second insulating film 69 , and the second It is possible to obtain sufficient bonding strength between the electrode and the first insulating film 35, respectively. Therefore, it is possible to obtain sufficient bonding strength between the sensor substrate (first substrate) 2 and the circuit substrate (second substrate) 7 .

<<6. 제 1의 실시예의 반도체 장치의 변형례>><<6. Modifications of the semiconductor device of the first embodiment >>

도 7은, 제 1의 실시예의 변형례에 관한 반도체 장치(1')를 나타낸다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 제 1 기판으로서의 센서 기판(2)에는, 층간 절연막(35-1)과 확산 방지 절연막(35-2)을 이용한 제 1 절연막(35')을 마련하여도 좋다. 이 경우, 예를 들면 산화 실리콘이나 저유전율 재료를 이용한 층간 절연막(35-1)에, 홈 패턴(35a)이 마련되고, 이 홈 패턴(35a)의 내벽을 포함하는 층간 절연막(35-1)을 덮는 상태로, 확산 방지 절연막(35-2)이 마련되어 있다. 그리고, 홈 패턴(35a) 내에, 확산 방지 절연막(35-2)을 통하여 제 1 전극(33)이 마련되어 있다. 이에 의해, 제 1 전극(33)의 주위는 확산 방지 절연막(35-2)으로 둘러싸이고, 제 1 전극(33)과 확산 방지 절연막(35-2)으로 맞붙임면(41)이 구성된 상태로 되어 있다.7 shows a semiconductor device 1' according to a modification of the first embodiment. As shown in Fig. 7, a first insulating film 35' using an interlayer insulating film 35-1 and a diffusion preventing insulating film 35-2 may be provided on the sensor substrate 2 serving as the first substrate. In this case, a groove pattern 35a is provided in the interlayer insulating film 35-1 using, for example, silicon oxide or a low-dielectric constant material, and an interlayer insulating film 35-1 including an inner wall of the groove pattern 35a. A diffusion preventing insulating film 35-2 is provided in a state that covers the . Then, the first electrode 33 is provided in the groove pattern 35a through the diffusion preventing insulating film 35 - 2 . As a result, the periphery of the first electrode 33 is surrounded by the diffusion preventing insulating film 35-2, and the bonding surface 41 is composed of the first electrode 33 and the diffusion preventing insulating film 35-2. have.

또한 제 2 기판으로서의 회로 기판(7)에도, 마찬가지로 하여 층간 절연막(69-1)과 확산 방지 절연막(69-2)을 이용한 제 2 절연막(69')을 마련하여도 좋다. 이에 의해, 제 2 전극(67)의 주위는 확산 방지 절연막(69-2)으로 둘러싸이고, 제 2 전극(67)과 확산 방지 절연막(69-2)으로 맞붙임면(71)이 구성된 상태로 되어 있다.In the circuit board 7 serving as the second substrate, a second insulating film 69' using the interlayer insulating film 69-1 and the diffusion preventing insulating film 69-2 may be provided in the same manner. Thereby, the periphery of the second electrode 67 is surrounded by the diffusion preventing insulating film 69-2, and the bonding surface 71 is constituted by the second electrode 67 and the diffusion preventing insulating film 69-2. have.

또한, 상술한 구성의 반도체 장치(1')라 하여도, 센서 기판(2)의 맞붙임면(41)과, 회로 기판(7)의 맞붙임면(71)을, 확산 방지 절연막(35-2, 69-2)과 전극(33, 67)만으로 구성하여 접합 강도를 확보하는 것이 가능하다. 게다가, 전극(33, 67)을 구성하는 재료의 층간 절연막(35-1, 69-1)으로의 확산을 방지할 수 있다.Further, even in the semiconductor device 1' having the above-described configuration, the bonding surface 41 of the sensor substrate 2 and the bonding surface 71 of the circuit board 7 are formed by the diffusion preventing insulating film 35-2, 69-2) and the electrodes 33 and 67 alone, it is possible to secure bonding strength. Moreover, diffusion of the material constituting the electrodes 33 and 67 into the interlayer insulating films 35-1 and 69-1 can be prevented.

이 결과, 2장의 기판(2-7)의 맞붙임에 의해 제 1 전극(33)-제 2 전극(67)끼리의 접합이 이루어진 3차원 구조의 반도체 장치(1')에서, 전극 재료의 확산을 방지하면서도 맞붙임 강도가 확보되고, 신뢰성의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.As a result, in the semiconductor device 1' having a three-dimensional structure in which the first electrode 33 and the second electrode 67 are bonded to each other by bonding the two substrates 2-7, the electrode material is diffused. The bonding strength is secured while preventing

또한 이상과 같은 구성의 반도체 장치(1')의 제조에 있어서, 제 1 기판인 센서 기판(2)을 제작하는 경우, 확산 방지 절연막(35-2)을 스토퍼로 하여 제 1 전극(33)을 구성하는 막을 CMP에 의해 연마하면 좋다. 이 때문에, 확산 방지 절연막(35-2)이 노출한 시점을 연마의 종점으로서 정확하게 검출할 수 있고, 디싱을 발생시키는 일 없이 CMP를 종료시켜서 평탄한 연삭면을 맞붙임면(41)으로서 얻는 것이 가능해진다.In the case of manufacturing the sensor substrate 2 as the first substrate in the manufacturing of the semiconductor device 1' having the above configuration, the first electrode 33 is formed using the diffusion preventing insulating film 35-2 as a stopper. What is necessary is just to polish the film|membrane which comprises it by CMP. For this reason, the point at which the diffusion preventing insulating film 35-2 is exposed can be accurately detected as the end point of polishing, and it becomes possible to finish CMP without dishing and to obtain a flat ground surface as the mating surface 41 . .

또한 제 2 기판인 회로 기판(7)을 제작하는 경우도 마찬가지로, 확산 방지 절연막(69-2)을 스토퍼로 하여 제 2 전극(67)을 구성하는 막을 CMP에 의해 연마하면 좋다. 이 때문에, 마찬가지로 평탄한 연삭면을 맞붙임면(71)으로서 얻는 것이 가능해진다.In the case of manufacturing the circuit board 7, which is the second substrate, similarly, the film constituting the second electrode 67 may be polished by CMP using the diffusion preventing insulating film 69-2 as a stopper. For this reason, it becomes possible to obtain a flat grinding surface as the mating surface 71 similarly.

이 결과, 앞의 제 1의 실시예의 제조 방법과 마찬가지로, 맞붙임면(41)과 맞붙임면(71)의 전면 사이에서 접합이 이루어진 맞붙임이 행하여지고, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)과의 맞붙임 강도를 유지하는 것이 가능해진다. 게다가, 회로 기판(7)측의 제 2 전극(67)에 대한 확산 방지 재료에 의해 센서 기판(2)측의 확산 방지 절연막(35-2)을 구성하고, 센서 기판(2)측의 제 1 전극(33)에 대한 확산 방지 재료에 의해 회로 기판(7)측의 확산 방지 절연막(69-2)을 구성하여도 좋다. 이에 의해, 센서 기판(2)과 회로 기판(7)과의 사이에서의 전극 재료의 확산도 방지할 수 있다. 더하여, 센서 기판(2)측의 맞붙임면(41)이 제 1 전극(33)과 확산 방지 절연막(35-2)만으로 구성되고, 회로 기판(7)측의 맞붙임면(71)이 제 2 전극(67)과 확산 방지 절연막(69-2)만으로 구성되어 있다. 이 때문에, 맞붙임면의 구성이 단순화되고, 이에 의해서도 접합 강도를 유지하는 것이 가능해진다.As a result, in the same manner as in the manufacturing method of the first embodiment, bonding is performed between the front surfaces of the bonding surface 41 and the bonding surface 71, and the sensor substrate 2 and the circuit board 7 are It becomes possible to maintain the bonding strength of Further, the diffusion preventing insulating film 35-2 on the sensor substrate 2 side is constituted by a diffusion preventing material for the second electrode 67 on the circuit board 7 side, and the first diffusion preventing insulating film 35-2 on the sensor substrate 2 side is formed. The diffusion preventing insulating film 69 - 2 on the circuit board 7 side may be constituted by a diffusion preventing material for the electrode 33 . Thereby, diffusion of the electrode material between the sensor substrate 2 and the circuit board 7 can also be prevented. In addition, the bonding surface 41 on the side of the sensor substrate 2 is composed of only the first electrode 33 and the diffusion preventing insulating film 35-2, and the bonding surface 71 on the circuit board 7 side is the second electrode 67 and only the diffusion preventing insulating film 69-2. For this reason, the structure of a bonding surface is simplified, and it becomes possible also by this to maintain bonding strength.

제 2의 실시예second embodiment

<<1. 제 2의 실시예의 반도체 장치의 구성>><<1. Configuration of the semiconductor device of the second embodiment>>

도 8은 본 발명의 제 2의 실시예에 관한 반도체 장치의 부분 단면 구성을 나타낸다. 뒤에서 본 실시예의 반도체 장치의 상세 구성을 도 8을 참조하여 설명한다.Fig. 8 shows a partial cross-sectional configuration of a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention. A detailed configuration of the semiconductor device of the present embodiment will be described later with reference to FIG. 8 .

도 8에 나타난 반도체 소자(301)는 절연성 박막(312)이 사이에 끼워진 상태에서, 제 1 기판(302)의 맞붙임면(341)과 제 2 기판(307)의 맞붙임면(371)이 서로 대향하는 관계로 배치하듯이, 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)을 서로 맞붙인 3차원 구조의 고체 촬상 소자이다. 본 실시예에서, 반도체 소자(301)는, 사이에 삽입된 절연성 박막(312)과 함께 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)이 서로 맞붙여진 구조에 특징이 있다.In the semiconductor device 301 shown in FIG. 8 , the bonding surface 341 of the first substrate 302 and the bonding surface 371 of the second substrate 307 face each other in a state in which the insulating thin film 312 is sandwiched therebetween. It is a solid-state imaging device having a three-dimensional structure in which the first substrate 302 and the second substrate 307 are bonded to each other as if they are arranged in a relationship between the two. In this embodiment, the semiconductor element 301 is characterized in a structure in which the first substrate 302 and the second substrate 307 are pasted together with the insulating thin film 312 interposed therebetween.

제 1 기판(302)은 반대측부터 제 2 기판(307)으로 차례로 적층된 반도체층(302a), 배선층(302b) 및 전극층(302c)을 포함한다. 전극층(302c)의 표면은 제 2 기판(307)에 맞붙임면(341)으로써 구성되어 있다. 반면에, 제 2 기판(307)은 반대측부터 제 2 기판(307)으로 차례로 적층된 반도체층(307a), 배선층(307b) 및 전극층(307c)을 포함한다. 전극층(307c)의 표면은 제 1 기판(302)에 맞붙임면(371)으로써 구성되어 있다.The first substrate 302 includes a semiconductor layer 302a, a wiring layer 302b, and an electrode layer 302c sequentially stacked on the second substrate 307 from the opposite side. The surface of the electrode layer 302c is constituted as a face 341 which is attached to the second substrate 307 . On the other hand, the second substrate 307 includes a semiconductor layer 307a, a wiring layer 307b, and an electrode layer 307c sequentially stacked on the second substrate 307 from the opposite side. The surface of the electrode layer 307c is constituted as a face 371 which is attached to the first substrate 302 .

제 2 기판(307)의 반대측 상의 제 1 기판(302)의 면상에, 도 8과 같이, 보호막(315), 컬러 필터층(317) 및 온 칩 렌즈(319)가 차례로 적층되어 있다.On the surface of the first substrate 302 on the opposite side of the second substrate 307, a protective film 315, a color filter layer 317, and an on-chip lens 319 are sequentially stacked as shown in FIG.

이하, 제 1 기판(302), 제 2 기판(307) 및 절연성 박막(312)으로 구성된 층의 상세한 구성은 연속으로 설명하고, 이때 보호막(315), 컬러 필터층(317) 및 온 칩 렌즈(319)의 구성도 연속으로 설명한다.Hereinafter, the detailed configuration of the layer composed of the first substrate 302 , the second substrate 307 , and the insulating thin film 312 will be sequentially described, in which case the protective film 315 , the color filter layer 317 , and the on-chip lens 319 . ) will be described in succession.

[반도체층(302a)(제 1 기판(302)측)][Semiconductor layer 302a (first substrate 302 side)]

예를 들면, 제 1 기판(302)의 반도체층(302a)은 단결정 실리콘으로 이루어진 반도체 기판(320)의 박막이다. 컬러 필터층(317), 온 칩 렌즈(319) 등이 배치된 반도체층(302a)의 제 1면측 상에, 예를 들면, 각 화소에 n형 불수물 또는 p형 불순물으로부터 형성된 광전 변환부(321)이 구비된다. 반면에, 반도체층(302a)의 제 2면 상에, n+형 불순물층으로부터 트랜지스터(Tr)의 플로팅 디퓨전(FD) 및 소스/드레인(323)이 형성되고, 도시하지 않은 불순물층 등이 구비된다.For example, the semiconductor layer 302a of the first substrate 302 is a thin film of the semiconductor substrate 320 made of single crystal silicon. On the first surface side of the semiconductor layer 302a on which the color filter layer 317, the on-chip lens 319, etc. are disposed, for example, a photoelectric conversion section 321 formed from an n-type impurity or a p-type impurity in each pixel. ) is provided. On the other hand, on the second surface of the semiconductor layer 302a, the floating diffusion FD and the source/drain 323 of the transistor Tr are formed from the n+ type impurity layer, and an impurity layer not shown is provided. .

[배선층(302b)(제 1 기판(302)측)][Wiring layer 302b (first substrate 302 side)]

제 1 기판(302)의 반도체층(302a)상에 구비된 배선층(302b)은, 반도체층(302a)와 함께 계면측에, 트랜지스터(Tr)의 트랜지스터 게이트(TG) 및 게이트 전극(327)을 구비하고, 도시하지 않은 다른 전극은 서로 삽입된 게이트 절연막(325)을 갖는다. 트랜지스터 게이트(TG) 및 게이트 전극(327)은 층간 절연막(329)으로 덮여있고, 매입 배선(331)은 층간 절연막(329) 상에 형성된 홈 패턴에 구비된다. 매입 배선(331)은 홈 패턴의 내벽을 덮는 배리어 메탈층(331a) 및 구리(Cu)로 만들어지고 배리어 메탈층(331a) 사이에 끼인 홈 패턴에 매입된 배선층(331b)으로부터 구성된다.The wiring layer 302b provided on the semiconductor layer 302a of the first substrate 302 includes the transistor gate TG and the gate electrode 327 of the transistor Tr on the interface side together with the semiconductor layer 302a. and other electrodes (not shown) have the gate insulating film 325 interposed therebetween. The transistor gate TG and the gate electrode 327 are covered with an interlayer insulating layer 329 , and the buried wiring 331 is provided in a groove pattern formed on the interlayer insulating layer 329 . The buried wiring 331 is formed from a barrier metal layer 331a covering the inner wall of the groove pattern and a wiring layer 331b made of copper (Cu) and embedded in the groove pattern sandwiched between the barrier metal layers 331a.

앞서 설명한 바와 같이, 배선층(302b)은 적층된 다층의 배선층으로 더 구비될 수 있다.As described above, the wiring layer 302b may be further provided as a multi-layered wiring layer.

[전극층(302c)(제 1 기판(302)측)][Electrode layer 302c (first substrate 302 side)]

제 1 기판(302)의 배선층(302b) 상에 구비된 전극층(302c)는, 배선층(302b)와의 계면측 상에, 구리(Cu)에 대한 확산 방지 절연막(332) 및 확산 방지 절연막(332) 상에 적층된 제 1 절연막(335)을 구비한다. 제 1 절연막(335)는 예를 들면 TEOS막으로 형성되고, 제 1 전극(333)은 매입된 전극으로써 제 1 절연막(335)에 형성된 홈 패턴에 구비된다. TEOS막은 TEOS 가스(Tetra Ethoxy Silane gas: 합성 Si(OC2H5)4)를 원료 가스로 한 화학 기상 성장법(chemical vapor deposition : CVD법)에 의하여 형성된 산화 실리콘막이다. 제 1 전극(333)은 홈 패턴의 내벽을 덮는 배리어 메탈층(333a) 및 구리(Cu)로 만들어지고 배리어 메탈층(333a) 사이에 끼인 홈 패턴에 매입된 제 1 전극막(333b)으로부터 구성된다.The electrode layer 302c provided on the wiring layer 302b of the first substrate 302 is on the interface side with the wiring layer 302b, a copper (Cu) diffusion preventing insulating film 332 and a diffusion preventing insulating film 332 . A first insulating film 335 laminated thereon is provided. The first insulating film 335 is formed of, for example, a TEOS film, and the first electrode 333 is a buried electrode and is provided in the groove pattern formed in the first insulating film 335 . The TEOS film is a silicon oxide film formed by chemical vapor deposition (CVD) using TEOS gas (Tetra Ethoxy Silane gas: synthetic Si(OC2H5)4) as a source gas. The first electrode 333 is formed from a barrier metal layer 333a covering the inner wall of the groove pattern and a first electrode film 333b made of copper (Cu) and embedded in the groove pattern sandwiched between the barrier metal layers 333a. do.

상술한 바와 같은 구성을 갖는 전극층(302c)은 제 2 기판(307)에 제 1 기판(302)측 상에 맞붙임면(341)으로써 이용된다. 맞붙임면(341)은 제 1 전극(333) 및 제 1 절연막(335)이 노출되어 구성되고, 예를 들어, 화학적 기계 연마(이하, CMP)에 의하여 평탄화 상태이다.The electrode layer 302c having the configuration as described above is used as the bonding surface 341 on the first substrate 302 side to the second substrate 307 . The bonding surface 341 is configured by exposing the first electrode 333 and the first insulating film 335 , and is in a planarized state by, for example, chemical mechanical polishing (hereinafter, CMP).

도 8에 나타나지 않았지만, 제 1 절연막(335)에서 구비된 홈 패턴은 배선층(302b)에 구비된 매입 배선(331)으로 부분적으로 연장되고, 홈 패턴에 매입된 제 1 전극(333)은 경우에 따라 매입 배선(331)에 연결된 상태가 된다.Although not shown in FIG. 8 , the groove pattern provided in the first insulating film 335 partially extends to the buried wiring 331 provided in the wiring layer 302b, and the first electrode 333 embedded in the groove pattern is in some cases Accordingly, it is connected to the embedded wiring 331 .

[반도체층(307a)(제 2 기판(307)측)][Semiconductor layer 307a (second substrate 307 side)]

반면에, 제 2 기판(307)의 반도체층(307a)은, 예를 들어, 단결정 실리콘으로 만든 반도체 기판(350)의 박막으로부터 형성된다. 제 1 기판(302)측 상의 반도체층(307a)의 표면층 상에는, 트랜지스터(Tr)의 소스/드레인(351) 및 도시하지 않은 불순물층이 구비된다.On the other hand, the semiconductor layer 307a of the second substrate 307 is formed from a thin film of the semiconductor substrate 350 made of, for example, single crystal silicon. On the surface layer of the semiconductor layer 307a on the first substrate 302 side, the source/drain 351 of the transistor Tr and an impurity layer (not shown) are provided.

[배선층(307b)(제 2 기판(307)측)][Wiring layer 307b (second substrate 307 side)]

제 2 기판(307)의 반도체층(307a) 상에 구비된 배선층(307b)는, 반도체층(307a)와의 계면측 상에서, 게이트 절연막(353) 사이에 끼인 게이트 절연막(353)과 도시하지 않은 다른 전극을 구비한 게이트 전극(355)을 갖는다. 게이트 전극(355)과 다른 전극은 층간 절연막(357)로 덮여있고, 매입 배선(359)은 층간 절연막(357) 상에 형성된 홈 패턴에 구비된다. 매입 배선(359)은 홈 패턴의 내벽을 덮는 배리어 메탈층(359a) 및 구리(Cu)로 만들어지고 배리어 메탈층(359a)와의 사이에 끼인 홈 패턴에 매입된 배선층(359b)으로부터 구성된다.The wiring layer 307b provided on the semiconductor layer 307a of the second substrate 307 is, on the interface side with the semiconductor layer 307a, a gate insulating film 353 sandwiched between the gate insulating film 353 and another not shown. It has a gate electrode 355 provided with an electrode. The gate electrode 355 and other electrodes are covered with the interlayer insulating layer 357 , and the buried wiring 359 is provided in the groove pattern formed on the interlayer insulating layer 357 . The buried wiring 359 is composed of a barrier metal layer 359a covering the inner wall of the groove pattern and a wiring layer 359b made of copper (Cu) and embedded in the groove pattern sandwiched between the barrier metal layer 359a.

상기 설명한 배선층(307b)은 다층의 배선층 구조를 가질 수 있다.The wiring layer 307b described above may have a multi-layered wiring layer structure.

[전극층(307c)(제 2 기판(307)측)][Electrode layer 307c (second substrate 307 side)]

제 2 기판(307)의 배선층(307b) 상에 구비된 전극층(307c)은, 배선층(307b)과의 계면측 상에서, 구리(Cu)에 대한 확산 방지 절연막(361) 및 확산 방지 절연막(361) 상에 적층된 제 2 절연막(369)을 포함한다. 제 2 절연막(369)은, 예를 들면, TEOS막에 의해 형성되고, 매입된 전극으로써 제 2 전극(367)은 제 2 절연막(369)에 형성된 홈 패턴에 구비된다. 제 2 전극(367)는 홈 패턴의 내벽을 덮는 배리어 메탈층(367a) 및 구리(Cu)로 만들어지고 배리어 메탈층(367a) 사이에 끼인 홈 패턴에 매입된 제 2 전극막(367b)으로부터 구성된다. 제 2 전극(367)는 제 1 기판(302)측의 제 1 전극(333)에 상응하기 위해서 배치되고, 절연성 박막(312) 사이에 끼인 제 1 기판(302) 상의 제 1 전극(333)에 전기적으로 연결된다.The electrode layer 307c provided on the wiring layer 307b of the second substrate 307 is on the interface side with the wiring layer 307b, a copper (Cu) diffusion preventing insulating film 361 and a diffusion preventing insulating film 361 . and a second insulating layer 369 stacked thereon. The second insulating film 369 is formed of, for example, a TEOS film, and as a buried electrode, the second electrode 367 is provided in the groove pattern formed in the second insulating film 369 . The second electrode 367 is made of a barrier metal layer 367a covering the inner wall of the groove pattern and a second electrode film 367b made of copper (Cu) and embedded in the groove pattern sandwiched between the barrier metal layers 367a. do. The second electrode 367 is disposed to correspond to the first electrode 333 on the side of the first substrate 302 , and is disposed on the first electrode 333 on the first substrate 302 sandwiched between the insulating thin films 312 . electrically connected.

상기 설명한 전극층(307c)의 표면은 제 1 기판(302)에 대한 제 2 기판(307) 상의 맞붙임면(371)으로서 형성된다. 맞붙임면(371)은 제 2 전극(367) 및 제 2 절연막(369)으로 노출되도록 구성되고, 예를 들면, CMP에 의하여 평탄화된 상태이다.The surface of the electrode layer 307c described above is formed as a bonding surface 371 on the second substrate 307 to the first substrate 302 . The bonding surface 371 is configured to be exposed with the second electrode 367 and the second insulating film 369, and is planarized by, for example, CMP.

[절연성 박막(312)][Insulating thin film 312]

절연성 박막(312)는 제 1 기판(302)의 맞붙임면(341) 및 제 2 기판(307) 상의 맞붙임면(371) 사이에 끼워지고, 맞붙임면(341) 및 맞붙임면(371)의 전면을 덮는다. 환언하면, 제 2 기판(307)의 제 1 기판(302)은 절연성 박막(312) 사이에 끼어 서로 맞붙여진다.The insulating thin film 312 is sandwiched between the bonding surface 341 of the first substrate 302 and the bonding surface 371 on the second substrate 307, and covers the entire surface of the bonding surface 341 and the bonding surface 371. cover In other words, the first substrate 302 of the second substrate 307 is sandwiched between the insulating thin films 312 and adhered to each other.

상기 설명한 바와 같이, 예를 들면, 절연성 박막(312)은 산화막 및 질화막에 의하여 형성되고, 반도체와 함께 일반적으로 사용되는 산화막 및 질화막은 절연성 박막(312)으로 사용된다. 뒤에서, 절연성 박막(312)의 구성 재료를 자세히 설명한다.As described above, for example, the insulating thin film 312 is formed of an oxide film and a nitride film, and an oxide film and a nitride film generally used with semiconductors are used as the insulating thin film 312 . In the following, the constituent materials of the insulating thin film 312 will be described in detail.

절연성 박막(312)이 산화막에 의하여 형성된 경우에, 예를 들면, 산화 실리콘(SiO2) 또는 산화 하프늄(HfO2)이 사용된다. 절연성 박막(312)이 산화막에 의해서 형성되고 제 1 전극(333) 및 제 2 전극(367)이 구리(Cu)에 의해 만들어진 경우에, 전극 물질인 구리(Cu)는 절연성 박막(312)으로 확산되기 쉽다. 이러한 구리(Cu)의 확산에 의해 절연성 박막(312)의 전기 저항이 감소하므로, 절연성 박막(312) 사이에 끼인 제 1 전극(333) 및 제 2 전극(367) 사이의 유전성(dielectric)이 향상된다. 따라서, 절연성 박막(312)이 산화막에 의하여 형성된 경우에는, 절연성 박막(312)는 상당히 두껍게 형성될 수 있다.When the insulating thin film 312 is formed of an oxide film, for example, silicon oxide (SiO2) or hafnium oxide (HfO2) is used. When the insulating thin film 312 is formed of an oxide film and the first electrode 333 and the second electrode 367 are made of copper (Cu), copper (Cu) as an electrode material diffuses into the insulating thin film 312 . easy to become Since the electric resistance of the insulating thin film 312 is reduced by the diffusion of copper (Cu), the dielectric between the first electrode 333 and the second electrode 367 sandwiched between the insulating thin film 312 is improved. do. Accordingly, when the insulating thin film 312 is formed of an oxide film, the insulating thin film 312 may be formed to be quite thick.

절연성 박막(312)이 질화막으로 형성된 경우에, 예를 들면, 질화 실리콘(SiN)이 사용된다. 질화막에 의하여 형성된 절연성 박막(312)은 제 1 전극(333) 및 제 2 전극(367)에 대한 확산 방지 특성을 갖는다.When the insulating thin film 312 is formed of a nitride film, for example, silicon nitride (SiN) is used. The insulating thin film 312 formed by the nitride film has diffusion preventing properties with respect to the first electrode 333 and the second electrode 367 .

결과적으로, 동일 기판 안에서, 절연성 박막(312)을 통하여 동일 기판의 전극들 사이에 나타나는 누설 전류를 막을 수 있다. 환언하면, 제 1 기판(302)에서 절연성 박막(312)을 통하여 나타나는 근처의 제 1 전극(333) 사이의 누설 전류를 막을 수 있다. 동일하게, 제 2 기판(307)에서, 절연성 박막(312)을 통하여 나타나는 근처의 제 2 전극(367) 사이의 누설 전류를 막을 수 있다.As a result, it is possible to prevent a leakage current appearing between electrodes of the same substrate through the insulating thin film 312 in the same substrate. In other words, it is possible to prevent leakage current between the adjacent first electrodes 333 appearing through the insulating thin film 312 on the first substrate 302 . Similarly, in the second substrate 307 , it is possible to prevent leakage current between the adjacent second electrodes 367 appearing through the insulating thin film 312 .

반면에, 다른 기판 사이에서, 대향 전극측 상의 절연성 박막으로의 전극 물질의 확산을 막을 수 있다. 환언하면, 대응하는 제 2 기판(307)측 상의 제 2 절연막(369)으로의 제 1 기판(302)측 상의 제 1 전극(333)의 확산을 막을 수 있다. 동일하게, 대응하는 제 1 기판(302)측 상의 제 1 절연막(335)으로의 제 2 기판(307)측 상의 제 2 전극(367)의 확산을 막을 수 있다. 따라서, 절연성 박막이 노출되는 기판의 각각의 맞붙임면의 부분에서 반대 전극측의 전극에 관하여 확산 방지 물질로 만들어진 배리어막을 구비할 필요가 없다.On the other hand, between different substrates, it is possible to prevent diffusion of the electrode material into the insulating thin film on the opposite electrode side. In other words, diffusion of the first electrode 333 on the first substrate 302 side to the second insulating film 369 on the corresponding second substrate 307 side can be prevented. Similarly, diffusion of the second electrode 367 on the second substrate 307 side to the first insulating film 335 on the corresponding first substrate 302 side can be prevented. Therefore, it is not necessary to provide a barrier film made of a diffusion preventing material with respect to the electrode on the opposite electrode side in the portion of each bonding surface of the substrate to which the insulating thin film is exposed.

또한, 특히 본 실시예에서, 제 1 기판(302)측의 제 1 전극(333) 및 제 2 기판(307)측의 제 2 전극(367)은 절연성 박막(312) 사이에 끼워져 서로 전기적으로 연결된다. 따라서, 절연성 박막(312)의 두께는 매우 작다. 절연성 박막(312)의 막두께는 절연성 박막(312)의 물질에 따라 다르며, 약 2㎚ 이하이다(예를 들면, 산화 실리콘(SiO2) 및 산화 하프늄(HfO2)과 같은 산화물 및 거의 모든 물질에 관하여). 그러나, 절연성 박막(312)의 막 품질에 따라서, 더 두꺼운 막이 사용될 수 있다. 절연성 박막(312) 사이에 싸인 반대 관계로 배치된 제 1 전극(333) 및 제 2 전극(367) 사이는 터널 전류가 흐른다. 또한, 고장을 일으키는 고정 레벨 이상의 전압이 인가되면, 제 1 전극(333) 및 제 2 전극(367)는 완전히 도체 상태로 위치하고 사이로 전류가 흐른다.Also, particularly in this embodiment, the first electrode 333 on the first substrate 302 side and the second electrode 367 on the second substrate 307 side are sandwiched between the insulating thin film 312 and electrically connected to each other. do. Accordingly, the thickness of the insulating thin film 312 is very small. The film thickness of the insulating thin film 312 depends on the material of the insulating thin film 312, and is about 2 nm or less (for example, with respect to oxides such as silicon oxide (SiO2) and hafnium oxide (HfO2) and almost all materials. ). However, depending on the film quality of the insulating thin film 312, a thicker film may be used. A tunnel current flows between the first electrode 333 and the second electrode 367 disposed in an opposite relationship wrapped between the insulating thin film 312 . In addition, when a voltage above a fixed level causing a failure is applied, the first electrode 333 and the second electrode 367 are completely positioned in a conductor state and a current flows therebetween.

본 실시예의 반도체 소자(301)에서, 절연성 박막(312)은 필연적으로 위에 설명한 일층 구조를 가질 필요는 없고, 동일 물질의 적층 구조 또는 다른 물질의 적층 구조를 갖는다.In the semiconductor device 301 of the present embodiment, the insulating thin film 312 does not necessarily have the one-layer structure described above, but has a stacked structure of the same material or a stacked structure of different materials.

[보호막(315), 컬러 필터층(317) 및 온 칩 렌즈(319)][The protective film 315, the color filter layer 317, and the on-chip lens 319]

보호막(315)는 제 1 기판(302)의 광전 변환부(321)를 덮어 구비된다. 보호막(315)는 패시베이션 특성을 갖는 재료막으로 구성되고, 예를 들면 산화 실리콘막, 질화 실리콘막, 또는 산질화 실리콘막 등이 보호막(315)에 사용된다.The passivation layer 315 is provided to cover the photoelectric conversion unit 321 of the first substrate 302 . The protective film 315 is made of a material film having a passivation characteristic, and, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film is used for the protective film 315 .

컬러 필터층(317)은, 각 광전 변환부(321)에 대응하여 1:1로 마련된 각 색의 컬러 필터로 구성되어 있다. 각 색의 컬러 필터의 배열이 한정되는 일은 없다.The color filter layer 317 is composed of color filters of each color provided in a 1:1 ratio corresponding to each photoelectric conversion unit 321 . The arrangement of the color filters of each color is not limited.

온 칩 렌즈(319)는, 각 광전 변환부(321) 및 컬러 필터층(317)을 구성하는 각 색의 컬러 필터에 대응하여 1:1로 마련되고, 각 광전 변환부(321)에 입사광이 집광되도록 구성되어 있다.The on-chip lens 319 is provided in a 1:1 ratio corresponding to the color filters of each color constituting each photoelectric conversion unit 321 and the color filter layer 317 , and incident light is focused on each photoelectric conversion unit 321 . is structured to be

[본 실시예의 반도체 소자의 구성에 의한 효과][Effect by the configuration of the semiconductor element of the present embodiment]

전술한 방법으로 구성된 본 실시예의 반도체 소자(301)에서, 제 1 기판(302) 및 제 2 기판(307)는 도 8에서 본 바와 같이 절연성 박막(312)로 싸여 서로 맞붙여지므로, 제 1 기판(302)의 맞붙임면(341) 및 제 2 기판(307)의 맞붙임면(371)은 서로 직접 접촉되지 않는다. 따라서, 서로 직접적으로 접합하는 맞붙임면의 구조에서 통상 발생하는 접합 계면을 따른 보이드의 발생을 막을 수 있다. 결과적으로, 반도체 소자에서, 2개의 기판 사이에서의 접합 강도는 증가하고, 신뢰성의 향상이 도모된다.In the semiconductor device 301 of this embodiment configured in the above-described manner, the first substrate 302 and the second substrate 307 are wrapped with the insulating thin film 312 and bonded to each other as seen in FIG. 8, so that the first substrate The abutting surface 341 of 302 and the abutting surface 371 of the second substrate 307 are not in direct contact with each other. Accordingly, it is possible to prevent the occurrence of voids along the bonding interface, which normally occur in the structure of the bonding surfaces that are directly bonded to each other. As a result, in the semiconductor device, the bonding strength between two substrates increases, and the reliability is improved.

특히 제 1 절연막(335) 및 제 2 절연막(369)이 TEOS막에 의하여 형성된 경우에, 많은 OH군이 TEOS막의 표면으로 나가므로, 탈수축합에 의한 보이드가 TEOS막 접합의 유형에서 서로 직접 접합하는 각 절연막을 따른 접합 계면을 따라서 발생한다. 또한 절연막이 TEOS막인 경우에, 본 실시예의 반도체 소자(301)에서, 기판은 절연성 박막(312)의 사이에 끼여 맞붙여지기 때문에, TEOS막은 서로 직접 접합되지 않고 탈수축합에 의한 보이드의 발생은 막을 수 있다. 결과적으로, 반도체 소자에서, 2개의 기판 사이에 접합 강도는 증가하고 신뢰성의 향상이 도모된다.In particular, when the first insulating film 335 and the second insulating film 369 are formed by the TEOS film, many OH groups go out to the surface of the TEOS film, so that voids due to dehydration condensation are directly bonded to each other in the type of TEOS film bonding. It occurs along the junction interface along each insulating film. Further, in the case where the insulating film is a TEOS film, in the semiconductor device 301 of this embodiment, the substrate is sandwiched between the insulating thin films 312, so that the TEOS films are not directly bonded to each other and generation of voids due to dehydration condensation is prevented. can As a result, in the semiconductor device, the bonding strength between the two substrates increases and the reliability is improved.

<<2. 제 2의 실시예의 반도체 장치의 제조에서의 제 1 기판(센서 기판)의 제작 순서>><<2. Manufacturing procedure of the first substrate (sensor substrate) in the manufacturing of the semiconductor device of the second embodiment>>

도 9a 내지 도 9e는 제 2의 실시예의 반도체 장치의 제조에 이용하는 제 1 기판(302)의 제작 순서를 도시한다. 이하, 도 9a 내지 도 9e에 의거하여 본 실시예에 이용하는 제 1 기판(302)(센서 기판)의 제작 순서를 설명한다.9A to 9E show the manufacturing procedure of the first substrate 302 used for manufacturing the semiconductor device of the second embodiment. Hereinafter, the manufacturing procedure of the 1st board|substrate 302 (sensor board|substrate) used for this embodiment is demonstrated based on FIG.9A - FIG.9E.

도 9a에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 단결정 실리콘으로 이루어지는 반도체 기판(320)을 준비한다. 이 반도체 기판(320)의 소정 깊이에 n형 불순물층으로 이루어지는 광전 변환부(321)를 형성하고, 또한 광전 변환부(321)의 표면층에, n+형 불순물층으로 이루어지는 전하 전송부나 p+형 불순물층으로 이루어지는 정공용의 전하 축적부를 형성한다. 또한 반도체 기판(320)의 표면층에, n+형 불순물층으로 이루어지는 플로팅 디퓨전(FD), 및 소스/드레인(323), 나아가서는 여기에서 도시를 생략한 다른 불순물층을 형성한다.As shown in Fig. 9A, a semiconductor substrate 320 made of, for example, single crystal silicon is prepared. A photoelectric conversion section 321 made of an n-type impurity layer is formed at a predetermined depth of the semiconductor substrate 320, and a charge transfer section made of an n+ type impurity layer and a p+ type impurity layer are formed on the surface layer of the photoelectric conversion section 321. A charge storage unit for holes is formed. Further, on the surface layer of the semiconductor substrate 320 , a floating diffusion FD made of an n+ type impurity layer, a source/drain 323 , and further other impurity layers not shown here are formed.

다음에, 반도체 기판(320)상에, 게이트 절연막(325)을 성막하고, 또한 게이트 절연막(325)상에 전송 게이트(TG) 및 게이트 전극(327)을 형성한다. 여기서, 전송 게이트(TG)는 플로팅 디퓨전(FD)과 광전 변환부(321)와의 사이에 형성되고, 게이트 전극(327)은, 소스/드레인(323) 사이에 형성된다. 또한 이것과 동일 공정에 의해, 여기에서 도시를 생략한 다른 전극을 형성한다.Next, a gate insulating film 325 is formed on the semiconductor substrate 320 , and a transfer gate TG and a gate electrode 327 are formed on the gate insulating film 325 . Here, the transfer gate TG is formed between the floating diffusion FD and the photoelectric conversion unit 321 , and the gate electrode 327 is formed between the source/drain 323 . Further, another electrode, not shown here, is formed by the same process as this.

그리고, 여기까지의 공정은, 통상의 제작 순서를 적절히 선택하여 행하여도 좋다.Incidentally, the steps up to this point may be performed by appropriately selecting a normal production procedure.

그 후, 게이트 절연막(325)상에, 전송 게이트(TG) 및 게이트 전극(327)을 덮는 상태로, 예를 들면 산화 실리콘으로 이루어지는 층간 절연막(329)을 성막한다. 또한, 각 화소에 층간 절연막(329)에 홈 패턴을 형성하고, 이 홈 패턴 내에 배리어 메탈층(331a)을 통하여 배선층(331b)을 매입하여 이루어지는 매입 배선(31)을 형성한다. 이 매입 배선(331)은, 필요 부분에서 전송 게이트(TG)에 접속하여 형성된다. 또한 여기에서 도시는 생략하였지만, 일부의 매입 배선(331)은, 필요 개소에서 소스/드레인(323)에 접속하여 형성된다. 이상에 의해, 매입 배선(331)을 구비한 배선층(302b)을 얻는다. 또한, 이 매입 배선(331)의 형성에는, 도 9b 이하를 이용하여 설명하는 매입 배선 기술을 적용한다.Thereafter, an interlayer insulating film 329 made of, for example, silicon oxide is formed on the gate insulating film 325 to cover the transfer gate TG and the gate electrode 327 . Further, in each pixel, a groove pattern is formed in the interlayer insulating film 329, and an embedded wiring 31 formed by embedding the wiring layer 331b through the barrier metal layer 331a in the groove pattern is formed. This buried wiring 331 is formed by connecting to the transfer gate TG at necessary portions. Although not shown here, a part of the embedded wiring 331 is formed by connecting to the source/drain 323 at necessary locations. By the above, the wiring layer 302b provided with the buried wiring 331 is obtained. In addition, the embedded wiring technique demonstrated using FIG. 9B or less is applied to formation of this embedded wiring 331. As shown in FIG.

계속되고, 배선층(302b)상에, 확산 방지 절연막(332)을 성막하고, 또한 그 위에 제 1 절연막(335)을 성막한다. 예를 들면 TEOS(tetraethylorthosilicate) 가스를 이용한 CVD법에 의해, TEOS막으로 이루어지는 제 1 절연막(335)을 성막한다. 그 후, 이 제 1 절연막(335)에, 이하에 설명하는 매입 배선 기술을 적용하여, 제 1 전극(333)을 형성한다.Subsequently, a diffusion preventing insulating film 332 is formed on the wiring layer 302b, and a first insulating film 335 is further formed thereon. For example, a first insulating film 335 made of a TEOS film is formed by a CVD method using a tetraethylorthosilicate (TEOS) gas. Thereafter, the first electrode 333 is formed on the first insulating film 335 by applying the buried wiring technique described below.

도 9b에 도시하는 바와 같이, 제 1 절연막(335)에 홈 패턴(335a)을 형성한다. 여기에서 도시는 생략하였지만, 홈 패턴(335a)은, 필요한 개소에서는 매입 배선(331)에 달하는 형상으로 형성된다.As shown in FIG. 9B , a groove pattern 335a is formed in the first insulating film 335 . Although not shown here, the groove pattern 335a is formed in a shape reaching the buried wiring 331 at necessary locations.

도 9c에 도시하는 바와 같이, 홈 패턴(335a)의 내벽을 덮는 상태로 배리어 메탈층(333a)을 성막하고, 이 상부에 홈 패턴(335a)을 매입하는 상태로 제 1 전극막(333b)을 성막한다. 배리어 메탈층(333a)은, 제 1 전극막(333b)이 제 1 절연막(335)으로 확산하는 것을 막는 배리어 특성이 있는 재료로 구성되고, 한편, 제 1 전극막(333b)은 구리(Cu)로 이루어지지만, 이것으로 한하지 않고, 도전성이 있는 재료에 의해 구성된다.As shown in FIG. 9C , a barrier metal layer 333a is formed to cover the inner wall of the groove pattern 335a, and the first electrode film 333b is formed with the groove pattern 335a embedded thereon. make a film The barrier metal layer 333a is made of a material having a barrier property that prevents the first electrode film 333b from diffusing into the first insulating film 335 , while the first electrode film 333b is made of copper (Cu). However, it is not limited to this, and is composed of a conductive material.

도 9d에 도시하는 바와 같이, CMP법에 의해, 배리어 메탈층(333a)이 노출할 때까지 제 1 전극막(333b)을 평탄화 제거하고, 또한, 제 1 절연막(335)이 노출할 때까지 배리어 메탈층(33a)을 평탄화 및 제거한다. 이에 의해, 홈 패턴(335a) 내에 배리어 메탈층(333a)을 통하여 제 1 전극막(333b)을 매입하여 이루어지는 제 1 전극(333)을 형성한다. 이상에 의해, 제 1 전극(333)을 구비한 전극층(302c)을 얻는다.As shown in Fig. 9D, the first electrode film 333b is planarized and removed by the CMP method until the barrier metal layer 333a is exposed, and the barrier is removed until the first insulating film 335 is exposed. The metal layer 33a is planarized and removed. Accordingly, the first electrode 333 formed by embedding the first electrode film 333b through the barrier metal layer 333a in the groove pattern 335a is formed. By the above, the electrode layer 302c provided with the 1st electrode 333 is obtained.

이상의 공정에 의해, 제 1 전극(333)과 제 1 절연막(335)이 노출된 평탄한 맞붙임면(341)을 갖는 제 1 기판(302)이, 센서 기판으로서 제작된다. 또한, 필요에 응하여, 맞붙임면(341)에 대해, 웨트 처리 또는 플라즈마 처리에 의한 전처리를 시행하여 둔다.Through the above steps, the first substrate 302 having the flat bonding surface 341 on which the first electrode 333 and the first insulating film 335 are exposed is produced as a sensor substrate. In addition, as needed, the bonding surface 341 is pre-processed by a wet process or a plasma process.

여기까지의 공정은, 통상의 공정 순서로 행하면 좋고, 또한 특히 공정 순서가 한정되는 일은 없고, 알맞은 순서로 행할 수 있다. 본 기술에서는, 다음의 절연성 박막의 성막이 특징적인 공정이 된다.The steps up to this point may be performed in a normal step sequence, and the step sequence is not particularly limited, and may be performed in an appropriate sequence. In the present technology, the following formation of an insulating thin film is a characteristic process.

[절연성 박막의 성막 순서][Sequence of film formation of insulating thin film]

도 9e에 도시하는 바와 같이, 제 1 기판(302)에서의 맞붙임면(341)의 전면을 덮는 상태로, 원자층 퇴적법(Atomic Layer Deposition : 이하 ALD법)에 의해 절연성 박막(312a)을 성막한다.As shown in FIG. 9E , an insulating thin film 312a is formed by an atomic layer deposition method (hereinafter referred to as an ALD method) in a state that covers the entire surface of the bonding surface 341 of the first substrate 302 . do.

ALD법의 순서에 관해, 개략을 설명한다.An outline of the procedure of the ALD method will be described.

우선, 성막되는 박막의 구성 원소를 함유하는 제 1 반응물과 제 2 반응물을 준비한다. 성막 공정으로서, 기판상에, 제 1 반응물을 포함하는 가스를 공급하여 흡착 반응시키는 제 1 공정과, 제 2 반응물을 포함하는 가스 공급하여 흡착 반응시키는 제 2 공정이 있고, 이 공정의 사이에는 불활성 가스를 흘려서, 미흡착의 반응물을 퍼지(purge)한다. 이 성막 공정을 1사이클 행함으로써 원자층 1층을 퇴적시켜서, 반복함에 의해 소망 막두께의 성막을 한다. 또한, 제 1 공정과 제 2 공정은, 어느쪽을 먼저 행하여도 좋다.First, a first reactant and a second reactant containing elements constituting the thin film to be formed are prepared. As the film forming step, there are a first step of supplying a gas containing a first reactant to the substrate for an adsorption reaction, and a second step of supplying a gas containing a second reactant for an adsorption reaction, and inactive between these steps. A gas is flowed to purge the non-adsorbed reactants. One atomic layer is deposited by performing one cycle of this film-forming process, and by repeating it, a film of a desired film thickness is formed. In addition, as for a 1st process and a 2nd process, either may be performed first.

이상과 같은 성막 방법이 ALD법이고, 다음과 같은 특징이 있다.The film-forming method as described above is an ALD method, and has the following characteristics.

ALD법은, 상술한 바와 같이, 성막 공정의 사이클을 반복하여 성막하는 방법이고, 이 사이클 수의 조정에 의해, 성막하는 막두께를 원자층 단위로 고정밀도로 제어한 성막이 가능하다. 이와 같은 ALD법을 절연성 박막(312a)의 성막에 적용하면, 극히 얇은 절연성 박막(312a)이라도 막두께 제어성 좋게 성막할 수 있다.As described above, the ALD method is a method of forming a film by repeating the cycle of the film forming process, and by adjusting the number of cycles, it is possible to form a film in which the film thickness to be formed is controlled in an atomic layer unit with high precision. If such an ALD method is applied to the film formation of the insulating thin film 312a, even an extremely thin insulating thin film 312a can be formed with good film thickness controllability.

ALD법은, 또한 약 500℃ 이하의 저온 프로세스에서의 성막이 가능하는 방법이다. 절연성 박막(312a)의 성막시에는, 이미 전극층(302c)이 형성되어 있기 때문에, 전극층(302c)을 구성하는 금속에의 내열성을 고려할 필요가 있고, 절연성 박막(312a)의 성막에는 저온 프로세스가 요구된다. 그래서, 이와 같은 ALD법을 절연성 박막(312a)의 성막에 적용하면, 저온 프로세스에 의해 전극층(302c)을 열화시키는 일 없이 절연성 박막(312a)을 성막할 수 있다.The ALD method is also a method capable of film formation in a low-temperature process of about 500°C or less. When forming the insulating thin film 312a, since the electrode layer 302c has already been formed, it is necessary to consider the heat resistance to the metal constituting the electrode layer 302c, and a low-temperature process is required for forming the insulating thin film 312a. do. Therefore, if such an ALD method is applied to the film formation of the insulating thin film 312a, the insulating thin film 312a can be formed into a film without deteriorating the electrode layer 302c by a low-temperature process.

ALD법은, 상술한 바와 같이, 원자층을 1층씩 퇴적시켜서 성막하는 방법이다. 이와 같은 ALD법을 절연성 박막(312a)의 성막에 적용하면, CMP에 의해 초(超)평탄화된 기판 표면의 요철을 악화시키는 일 없고, 평탄하면서 균일한 절연성 박막(312)으로 맞붙임면(341)의 전면을 덮을 수 있다.As described above, the ALD method is a method of depositing atomic layers one by one to form a film. When such an ALD method is applied to the film formation of the insulating thin film 312a, the unevenness of the surface of the substrate super-planarized by CMP is not deteriorated, and a flat and uniform insulating thin film 312 is formed on the laminated surface 341 . can cover the front of

이하에, 한 예로서, 산화막 또는 질화막으로 이루어지는 절연성 박막(312a)의 ALD법에 의한 성막 조건에 관해, 구체적으로 설명한다.Hereinafter, as an example, the film formation conditions of the insulating thin film 312a made of an oxide film or a nitride film by the ALD method will be specifically described.

절연성 박막(12a)이 산화막(SiO2 또는 HfO2 등)으로 이루어지는 경우, 상술한 ALD법에서, 제 1 반응물을 Si 함유 반응물 또는 Hf 함유 반응물로 하고, 제 2 반응물을 O 함유 반응물이라고 한다. 이들의 반응물을 공급하여 흡착 반응시키는 공정을 교대로 반복함에 의해, 산화막(SiO2 또는 HfO2)으로 이루어지는 절연성 박막(312a)을 맞붙임면(341)상에 성막한다. 여기서, Si 함유 반응물은, 예를 들면, 실란(SiH4), 디클로로실란(H2SiCl2) 등의 가스 상태로 공급 가능한 물질을 이용한다. Hf 함유 반응물은, 테트라키스디메틸아미노하프늄(Hf[N(CH3)2]4) 등을 이용한다. O 함유 반응물은, 수증기 가스, 오존 가스 등을 이용한다.When the insulating thin film 12a is made of an oxide film (such as SiO2 or HfO2), in the above-described ALD method, the first reactant is referred to as a Si-containing reactant or Hf-containing reactant, and the second reactant is referred to as an O-containing reactant. An insulating thin film 312a made of an oxide film (SiO2 or HfO2) is formed on the bonding surface 341 by alternately repeating the process of supplying these reactants for an adsorption reaction. Here, as the Si-containing reactant, for example, a substance that can be supplied in a gaseous state such as silane (SiH4) or dichlorosilane (H2SiCl2) is used. As the Hf-containing reactant, tetrakisdimethylaminohafnium (Hf[N(CH3)2]4) or the like is used. As the O-containing reactant, water vapor gas, ozone gas, or the like is used.

한편, 절연성 박막(312a)이 질화막(SiN 등)으로 이루어지는 경우, 상술한 ALD법에서, 제 1 반응물을 Si 함유 반응물로 하고, 제 2 반응물을 N 함유 반응물로 한다. 이들의 반응물을 공급하여 흡착 반응시키는 공정을 교대로 반복함에 의해, 질화막(SiN)으로 이루어지는 절연성 박막(312a)을 맏붙임면(341)상에 성막한다. 여기서, N 함유 반응물은, 예를 들면, 질소 가스나 암모니아 가스 등을 이용한다. O 함유 반응물은, 수증기 가스, 오존 가스 등을 이용한다.On the other hand, when the insulating thin film 312a is made of a nitride film (such as SiN), in the above-described ALD method, the first reactant is a Si-containing reactant and the second reactant is an N-containing reactant. By alternately repeating the process of supplying these reactants for an adsorption reaction, an insulating thin film 312a made of a nitride film (SiN) is formed on the mating surface 341 . Here, as the N-containing reactant, for example, nitrogen gas, ammonia gas, or the like is used. As the O-containing reactant, water vapor gas, ozone gas, or the like is used.

이상에 의해, 제 1 기판(302)상에, 맏붙임면(341)의 전면을 덮는 상태로, 극히 얇은 균일한 절연성 박막(312a)을 성막한다.As described above, an extremely thin and uniform insulating thin film 312a is formed on the first substrate 302 while covering the entire surface of the mating surface 341 .

<<3. 제 2의 실시예의 반도체 장치의 제조에서의 제 2 기판(회로 기판)의 제작 순서>><<3. Manufacturing procedure of the second substrate (circuit board) in the manufacturing of the semiconductor device of the second embodiment>>

도 10a 및 도 10b는, 상술한 본 실시 형태의 반도체 장치의 제조에 이용되는 제 2 기판(307)의 제작 순서를 설명하기 위한 단면 공정도이다. 이하, 도 10a 및 도 10b에 의거하여 제 2의 실시예에 이용되는 제 2 기판(307)(회로 기판)의 제작 순서를 설명한다.10A and 10B are cross-sectional process diagrams for explaining the manufacturing procedure of the second substrate 307 used for manufacturing the semiconductor device of the present embodiment described above. Hereinafter, a manufacturing procedure of the second substrate 307 (circuit board) used in the second embodiment will be described based on Figs. 10A and 10B.

도 10a에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 단결정 실리콘으로 이루어지는 반도체 기판(350)을 준비한다. 이 반도체 기판(350)의 표면층에, 각 도전형의 소스/드레인(351), 및 여기에서 도시를 생략한 다른 불순물층을 형성한다. 이에 의해, 반도체층(307a)을 얻는다.As shown in Fig. 10A, a semiconductor substrate 350 made of, for example, single crystal silicon is prepared. Source/drain 351 of each conductivity type and other impurity layers not shown here are formed on the surface layer of the semiconductor substrate 350 . Thereby, the semiconductor layer 307a is obtained.

다음에, 반도체층(307a)의 위에, 게이트 절연막(353)을 성막하고, 또한 이 상부에 게이트 전극(355)을 형성한다. 게이트 전극(355)은, 소스/드레인(351) 사이에 형성된다. 또한, 이것과 동일 공정에서, 여기에서 도시를 생략한 다른 전극을 형성한다.Next, a gate insulating film 353 is formed on the semiconductor layer 307a, and a gate electrode 355 is formed thereon. The gate electrode 355 is formed between the source/drain 351 . In addition, in the same process as this, another electrode not shown here is formed.

계속해서, 게이트 절연막(353)의 위에, 게이트 전극(355)을 덮는 상태로, 예를 들면 산화 실리콘으로 이루어지는 층간 절연막(357)을 성막한다. 이 층간 절연막(357)의 홈 패턴 내에 배리어 메탈층(359a)을 통하여 배선층(359b)을 매입하여 이루어지는 매입 배선(359)을 형성하고, 매입 배선(359)을 구비한 배선층(307b)을 얻는다. 여기에서 매입 배선(359)의 형성은, 상술한 제 1 전극(333)의 형성과 마찬가지로, 매입 배선 기술을 적용하여 행한다.Subsequently, an interlayer insulating film 357 made of, for example, silicon oxide is formed over the gate insulating film 353 in a state that covers the gate electrode 355 . An embedded wiring 359 formed by embedding the wiring layer 359b through the barrier metal layer 359a in the groove pattern of the interlayer insulating film 357 is formed, and the wiring layer 307b provided with the embedded wiring 359 is obtained. Here, the formation of the embedded wiring 359 is performed by applying the embedded wiring technique, similarly to the formation of the first electrode 333 described above.

그 후, 배선층(307b)상에 확산 방지 절연막(361)을 통하여, 예를 들면 TEOS막로 이루어지는 제 2 절연막(369)을 적층시켜서 성막한다. 이에 의해, 제 2 절연막(369)의 홈 패턴 내에 배리어 메탈층(367a)을 통하여 제 2 전극막(367b)을 매입하여 이루어지는 제 2 전극(367)을 형성하고, 제 2 전극(367)을 구비한 전극층(307c)을 얻는다. 여기에서 제 2 전극(367)의 형성은, 상술한 제 1 전극(333)의 형성과 마찬가지로 행한다.Thereafter, a second insulating film 369 made of, for example, a TEOS film is laminated on the wiring layer 307b through the diffusion preventing insulating film 361 to form a film. Thereby, the second electrode 367 formed by embedding the second electrode film 367b through the barrier metal layer 367a in the groove pattern of the second insulating film 369 is formed, and the second electrode 367 is provided. One electrode layer 307c is obtained. Here, the second electrode 367 is formed in the same manner as the above-described first electrode 333 is formed.

이상의 공정에 의해, 제 2 전극(367)과 제 2 절연막(369)이 노출된 평탄한 맞붙임면(371)을 갖는 제 2 기판(307)이, 회로 기판으로서 제작된다.Through the above steps, the second substrate 307 having the flat bonding surface 371 in which the second electrode 367 and the second insulating film 369 are exposed is produced as a circuit board.

여기까지의 공정은, 통상의 공정 순서로 행하면 좋고, 또한 특히 공정 순서가 한정되는 일은 없고, 적절한 순서로 행할 수 있다. 본 기술에서는, 다음의 절연성 박막의 성막, 및 기판의 맞붙임이 특징적인 공정이 된다.The steps up to this point may be performed in a normal step sequence, and the step sequence is not particularly limited, and may be performed in an appropriate sequence. In the present technology, the following steps for forming an insulating thin film and pasting the substrate are characteristic steps.

도 10b에 도시하는 바와 같이, 제 1 기판(302)측의 절연성 박막(312a)과 마찬가지로 하여, 맞붙임면(371)의 위에, ALD법에 의해 절연성 박막(312b)을 성막한다.As shown in Fig. 10B, in the same manner as for the insulating thin film 312a on the first substrate 302 side, an insulating thin film 312b is formed on the bonding surface 371 by the ALD method.

이에 의해, 제 2 기판(307)상에, 맞붙임면(371)의 전면을 덮는 상태로, 극히 얇은 균일한 절연성 박막(312b)을 성막한다. 또한, 절연성 박막(312b)은, 제 1 기판(302)측의 절연성 박막(312a)과 다른 막이라도 좋지만, 같은 막이라도 좋다.Thereby, an extremely thin and uniform insulating thin film 312b is formed on the second substrate 307 while covering the entire surface of the bonding surface 371 . The insulating thin film 312b may be a different film from the insulating thin film 312a on the first substrate 302 side, but may be the same film.

<<4. 본 실시 형태의 반도체 장치의 제조에서의 기판의 맞붙임 순서>><<4. The bonding procedure of the board|substrate in manufacture of the semiconductor device of this embodiment>>

도 11a 및 도 11b를 이용하여, 맏붙임면(341)상에 절연성 박막(312a)을 성막한 제 1 기판(302)과, 맞붙임면(371)상에 절연성 박막(312b)을 성막한 제 2 기판(307)과의 맞붙임 순서를 설명한다.11A and 11B, a first substrate 302 on which an insulating thin film 312a is formed on the mating surface 341, and a second substrate 302 on which an insulating thin film 312b is formed on the mating surface 371 is formed. The bonding procedure with the board|substrate 307 is demonstrated.

도 11a에 도시하는 바와 같이, 절연성 박막을 통한 상태로 제 1 기판(302)의 맏붙임면(341)과 제 2 기판(307)의 맞붙임면(371)을 대향 배치시키고, 또한, 제 1 기판(302)의 제 1 전극(333)과, 제 2 기판(307)의 제 2 전극(367)이 대응하도록 위치 맞춤한다. 도시한 예에서는, 제 1 전극(333)과 제 2 전극(367)이 1:1로 대응하고 있는 상태를 나타내지만, 대응 상태는 이것으로 한정되는 일은 없다.As shown in Fig. 11A, the first substrate 341 of the first substrate 302 and the mating surface 371 of the second substrate 307 are disposed to face each other with the insulating thin film interposed therebetween, and further, the first substrate The first electrode 333 of 302 and the second electrode 367 of the second substrate 307 are aligned so that they correspond. In the illustrated example, the state in which the first electrode 333 and the second electrode 367 correspond 1:1 is shown, but the corresponding state is not limited thereto.

도 11b에 도시하는 바와 같이, 제 1 기판(302)상의 절연성 박막(312a)과, 제 2 기판(307)상의 절연성 박막(312b)을 대향시킨 상태로 열처리를 행함에 의해, 절연성 박막(312a)과 절연성 박막(312b)과의 사이의 접합을 한다. 이와 같은 열처리는, 제 1 기판(302) 및 제 2 기판(307)에 형성된 소자나 배선에 영향이 없는 범위에서, 절연성 박막(312)끼리가 충분히 접합하는 온도 및 시간에서 행하여진다.As shown in Fig. 11B, the insulating thin film 312a on the first substrate 302 and the insulating thin film 312b on the second substrate 307 are subjected to heat treatment to face each other, whereby the insulating thin film 312a is formed. and the insulating thin film 312b is bonded. Such heat treatment is performed at a temperature and time at which the insulating thin films 312 are sufficiently bonded to each other within a range that does not affect the elements or wirings formed on the first substrate 302 and the second substrate 307 .

예를 들면, 제 1 전극(333) 및 제 2 전극(367)이, 구리(Cu)를 주로 하는 재료로 구성되는 경우, 200℃ 내지 600℃에서 1 내지 5시간 정도의 열처리가 행하여진다. 이와 같은 열처리는, 가압 분위기하에서 행하여도 좋고, 또는, 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)을 양면측부터 가압한 상태로 행하여도 좋다. 한 예으로서, 400℃에서 4시간의 열처리를 행함으로써, 절연성 박막(312)을 통한 제 1 전극(333)과 제 2 전극(367)과의 사이의 접속를 행한다. 이에 의해, 절연성 박막(312a)과 절연성 박막(312b)과의 사이가 접합되고, 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)이 맞붙여진다.For example, when the first electrode 333 and the second electrode 367 are made of a material mainly composed of copper (Cu), heat treatment is performed at 200° C. to 600° C. for about 1 to 5 hours. Such heat treatment may be performed in a pressurized atmosphere, or may be performed in a state in which the first substrate 302 and the second substrate 307 are pressurized from both sides. As an example, the connection between the first electrode 333 and the second electrode 367 via the insulating thin film 312 is performed by performing heat treatment at 400° C. for 4 hours. Thereby, the insulating thin film 312a and the insulating thin film 312b are bonded together, and the first substrate 302 and the second substrate 307 are pasted together.

여기서, 상술한 바와 같이 제 1 기판(302) 및 제 2 기판(307)의 양쪽의 맞붙임면(341, 371)상에 절연성 박막(312a, 312b)이 성막되는 경우는, 그 절연성 박막(312a, 312b)이 같은 재료라도, 다른 재료라도 좋다.Here, when the insulating thin films 312a and 312b are formed on the bonding surfaces 341 and 371 of both the first and second substrates 302 and 307 as described above, the insulating thin films 312a, 312b) may be the same or different materials.

또한, 본 실시예의 반도체 장치의 제조 방법에서는, 제 1 기판(302) 및 제 2 기판(307)중 어느 한쪽의 기판의 맞붙임면만으로 절연성 박막을 성막하여도 좋다. 예를 들면, 제 1 기판(302)의 맏붙임면(341)상만에 절연성 박막(312a)을 성막하여, 제 1 기판(302)측의 절연성 박막(312a)과 제 2 기판(307)측의 맞붙임면(371)과의 사이의 접합에 의해, 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)을 맞붙여도 좋다.Further, in the semiconductor device manufacturing method of this embodiment, the insulating thin film may be formed only on the bonding surface of one of the first substrate 302 and the second substrate 307 . For example, an insulating thin film 312a is formed only on the mating surface 341 of the first substrate 302, and the insulating thin film 312a on the first substrate 302 side and the insulating thin film 312a on the second substrate 307 side are formed. The first substrate 302 and the second substrate 307 may be bonded by bonding between the bonding surfaces 371 .

이상과 같이, 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)을 맞붙인 후, 제 1 기판(302)측의 반도체 기판(320)을 박막화하여 반도체층(302a)으로 하고, 광전 변환부(321)을 노출시킨다. 또한, 필요에 응하여, 제 2 기판(307)측의 반도체층(307a)에서, 반도체 기판(350)을 박막화하여도 좋다.As described above, after bonding the first substrate 302 and the second substrate 307 together, the semiconductor substrate 320 on the first substrate 302 side is thinned to form a semiconductor layer 302a, and a photoelectric conversion unit ( 321) is exposed. In addition, the semiconductor substrate 350 may be thinned in the semiconductor layer 307a on the second substrate 307 side as needed.

그 후, 제 1 기판(302)에서의 광전 변환부(321)의 노출면상에 보호막(315)을 성막하고, 또한 보호막(315)상에 컬러 필터층(317) 및 온 칩 렌즈(319)를 형성하여, 반도체 장치(1) 또는 고체 촬상 장치를 완성시킨다.Thereafter, a protective film 315 is formed on the exposed surface of the photoelectric conversion unit 321 in the first substrate 302 , and a color filter layer 317 and an on-chip lens 319 are formed on the protective film 315 . Thus, the semiconductor device 1 or the solid-state imaging device is completed.

[제 2의 실시예의 반도체 장치의 제조 방법에 의한 효과][Effect by the manufacturing method of the semiconductor device of the second embodiment]

상술한 바와 같은 본 실시 형태의 반도체 장치의 제조 방법에서는, 제 1 기판(302) 및 제 2 기판(307)의 위에 각각 절연성 박막(312a, 312b)을 성막하고, 이 절연성 박막(312a, 312b)이 성막된 면끼리를 접합함에 의해, 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)을 맞붙이고 있다. 이 때문에, CMP에 의해 평탄화 처리된 맞붙임면(341, 371)끼리를 직접 접합하는 경우와 비교하여, 절연성 박막(312a, 312b)이 성막된 면끼리의 접합에 의해, 제 1 기판(302)과 제 2 기판(307)을 맞붙이는 본 실시 형태의 반도체 장치(1)는 접합성이 좋다. 또한, 제 1 기판(302)의 맏붙임면(341)상에만 절연성 박막(12a)을 성막한 경우라도, 제 1 기판(302)측의 절연성 박막(312a)과 제 2 기판(307)측의 맞붙임면(371)과의 사이의 접합이 되고, 맞붙임면(341, 371)끼리를 직접 접합하는 경우보다도 기판의 접합성이 좋다.In the method of manufacturing the semiconductor device of the present embodiment as described above, insulating thin films 312a and 312b are respectively formed on the first substrate 302 and the second substrate 307, and the insulating thin films 312a and 312b are respectively formed. The first substrate 302 and the second substrate 307 are bonded together by bonding the surfaces formed into the film. For this reason, compared with the case where the bonding surfaces 341 and 371 planarized by CMP are directly bonded to each other, the first substrate 302 and The semiconductor device 1 of the present embodiment to which the second substrate 307 is bonded has good bonding properties. Further, even when the insulating thin film 12a is formed only on the mating surface 341 of the first substrate 302, the insulating thin film 312a on the first substrate 302 side and the insulating thin film 312a on the second substrate 307 side It becomes bonding between the bonding surfaces 371, and the bonding property of a board|substrate is better than the case where bonding surfaces 341 and 371 comrades are directly bonded.

예를 들면, CMP에 의해 평탄화 처리된 맞붙임면(341, 371)은, CMP의 공정에서 맞붙임면(341, 371)을 구성하는 제 1 절연막(335) 및 제 2 절연막(369)이 함수(含水)할 가능성이 있다. 또한, 이 맞붙임면(341, 371)을 구성하는 제 1 절연막(335) 및 제 2 절연막(369)이 TEOS막로 이루어지는 경우라면, 그 TEOS막의 성막 조건 때문에, 원래 함수율이 높은 막으로서 제 1 절연막(335) 및 제 2 절연막(369)이 형성된다. 따라서 이와 같은 함수하고 있는 맞붙임면(341, 371)끼리를 직접 접합하는 경우, 맞붙인 후의 열처리에서, 탈 가스(outgoing gas)가 접합 계면에 집중하여 보이드를 형성한다. 그러나, 본 실시 형태에서는, 맞붙임면(341, 371)의 전면을 절연성 박막(312a, 312b)으로 덮음에 의해, 탈 가스가 접합 계면에 집중하는 것을 방지하여 보이드의 발생를 억제하는 것이 가능하다.For example, in the bonding surfaces 341 and 371 planarized by CMP, the first insulating film 335 and the second insulating film 369 constituting the bonding surfaces 341 and 371 in the CMP process are water-repellent. ) is possible. In addition, if the first insulating film 335 and the second insulating film 369 constituting the bonding surfaces 341 and 371 are made of a TEOS film, the first insulating film ( 335 and a second insulating film 369 are formed. Therefore, when the bonding surfaces 341 and 371 having such a function are directly bonded to each other, in the heat treatment after bonding, outgoing gas is concentrated on the bonding interface to form voids. However, in this embodiment, by covering the entire surface of the bonding surfaces 341 and 371 with the insulating thin films 312a and 312b, it is possible to prevent degassing from concentrating on the bonding interface and suppress the occurrence of voids.

특히, 제 1 기판(302)의 맞붙임면(341)상의 절연성 박막(312a)과 제 2 기판(307)의 맞붙임면(371)상의 절연성 박막(312b)이, 동일 재료 막으로 구성되어 있는 경우는, 동일 재료 막끼리의 접합이 되기 때문에, 보다 강고한 접합이 가능하게 된다. 이에 의해, 기판의 접합 강도가 증가하여 신뢰성의 향상이 도모된 반도체 장치를 얻을 수 있다.In particular, when the insulating thin film 312a on the bonding surface 341 of the first substrate 302 and the insulating thin film 312b on the bonding surface 371 of the second substrate 307 are made of the same material film, , since bonding between films of the same material is achieved, stronger bonding is possible. Thereby, the bonding strength of a board|substrate increases and the semiconductor device in which the improvement of reliability was achieved can be obtained.

나아가서는, 절연성 박막(312a, 312b)의 성막을 ALD법에 의해 행하였음에 의해, 다음과 같은 효과도 있다.Furthermore, by forming the insulating thin films 312a and 312b by the ALD method, the following effects are also obtained.

우선, ALD법은 원자층 단위의 성막에 의해 막두께 제어성이 좋은 방법이여서, 극히 얇은 절연성 박막을 성막 가능하다. 이에 의해, 제 1 기판(302)측의 제 1 전극(333)과 제 2 기판(307)측의 제 2 전극(367)이 절연성 박막(312)을 통하여 대향 배치된 구조라도, 이 절연성 박막(312)이 극히 얇은 막두께이기 때문에, 제 1 전극(333)과 제 2 전극(367)과의 사이의 전기적인 접속이 가능하게 된다.First, the ALD method is a method with good film thickness controllability by film formation in an atomic layer unit, so that an extremely thin insulating thin film can be formed. Accordingly, even in a structure in which the first electrode 333 on the first substrate 302 side and the second electrode 367 on the second substrate 307 side are disposed to face each other through the insulating thin film 312, the insulating thin film ( Since the film 312 is extremely thin, an electrical connection between the first electrode 333 and the second electrode 367 is possible.

다음에, ALD법은 원자층 단위의 성막에 의해 막두께 균일성이 좋은 방법이여서, CMP에 의해 평탄화된 맞붙임면(341, 371)의 평탄성을 유지하여, 균일한 절연성 박막(312a, 312b)을 제 1 기판(302) 및 제 2 기판(307)의 위에 성막한다. 이와 같은 절연성 박막(312a, 312b)의 성막된 평탄한 접합면끼리에 의해 접합이 도모되기 때문에, 밀착성에 우수한 접합이 행하여지고, 접합 강도가 향상한 기판의 접합이 가능하게 된다.Next, the ALD method is a method with good film thickness uniformity by forming an atomic layer unit, so that the flatness of the bonding surfaces 341 and 371 flattened by CMP is maintained, and uniform insulating thin films 312a and 312b are formed. A film is formed on the first substrate 302 and the second substrate 307 . Since bonding is achieved by the formed flat bonding surfaces of such insulating thin films 312a and 312b, bonding excellent in adhesion is performed, and bonding of substrates with improved bonding strength is possible.

계속해서, ALD법은 저온 프로세스에서의 성막을 하는 방법이어서, 제 1 기판(302)측의 전극층(302c) 및 제 2 기판(307)측의 전극층(307c)을 구성하는 금속이 고열에 의해 열화하는 일 없이, 제 1 기판(302) 및 제 2 기판(307)의 위에 절연성 박막(312a, 312b)을 성막 가능하다.Subsequently, the ALD method is a method of forming a film in a low-temperature process, and the metal constituting the electrode layer 302c on the first substrate 302 side and the electrode layer 307c on the second substrate 307 side deteriorates due to high heat. It is possible to form the insulating thin films 312a and 312b on the first substrate 302 and the second substrate 307 without doing so.

최후로, ALD법은 원자층 단위의 성막 방법이여서, 성막된 절연성 박막(312a, 312b)은 치밀한 막이어서 함수율이 극히 낮고, 함수율이 낮은 절연성 박막(312a, 312b)이 성막된 접합면끼리에 의한 접합이 되기 때문에, 접합면에 보이드의 발생하는 우려는 전혀 없다.Lastly, since the ALD method is a film formation method in an atomic layer unit, the insulating thin films 312a and 312b formed into a film are dense films and have extremely low moisture content. Since it is joined, there is no fear of generating voids on the joining surface.

이상에 의해, 기판의 접합 강도가 증가하여 신뢰성의 향상이 도모된 반도체 장치가 얻어진다.As a result, a semiconductor device in which the bonding strength of the substrate is increased and the reliability is improved can be obtained.

제 3의 실시예third embodiment

<<1. 제 1의 실시 형태>><<1. First embodiment >>

[종래의 Cu-Cu 접합 기술의 문제점][Problems of conventional Cu-Cu bonding technology]

우선, 본 개시의 제 1의 실시 형태에 관한 반도체 장치에 관해 설명하기 전에, 종래의 Cu-Cu 접합 기술에서 발생할 수 있는 문제점를, 도 12a, 도 12b 및 도 13을 참조하면서 설명한다. 또한, 도 12a는, 2개의 반도체 부재를 접합하기 전의 각 반도체 부재의 개략 구성이고, 도 12b는, 접합 후의 접합 계면 부근의 개략 단면도이다. 또한, 도 13은, 2개의 반도체 부재의 맞붙임시에 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생한 경우에 발생할 수 있는 문제를 설명하기 위한 도면이다.First, before describing the semiconductor device according to the first embodiment of the present disclosure, problems that may occur in the conventional Cu-Cu bonding technology will be described with reference to FIGS. 12A, 12B and 13 . 12A is a schematic configuration of each semiconductor member before bonding two semiconductor members, and FIG. 12B is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the bonding interface after bonding. Moreover, FIG. 13 is a figure for demonstrating the problem which may arise when a bonding alignment misalignment generate|occur|produces at the time of bonding of two semiconductor members.

도 12a, 도 12b 및 도 13에서는, 제 1 SiO2층(611), 제 1 Cu 전극(612), 및, 제 1 Cu 배리어층(613)을 포함하는 제 1 반도체 부재(610)와, 제 2 SiO2층(621), 제 2 Cu 전극(622), 및, 제 2 Cu 배리어층(623)을 포함하는 제 2 반도체 부재(620)를 접합하는 예를 도시한다.12A, 12B and 13 , a first semiconductor member 610 including a first SiO 2 layer 611 , a first Cu electrode 612 , and a first Cu barrier layer 613 , and a second An example of bonding the second semiconductor member 620 including the SiO2 layer 621 , the second Cu electrode 622 , and the second Cu barrier layer 623 is shown.

또한, 도 12a 및 도 12b에 도시하는 예에서는, 각 반도체 부재에서, Cu 전극은, SiO2층의 한쪽의 표면에 매립하도록 하여 형성된다. 즉, Cu 전극은, SiO2층의 한쪽의 표면에 노출하고, 또한, 그 노출면이 SiO2층의 한쪽의 표면과 개략 같은면이 되도록 형성된다. 또한, Cu 배리어층은, Cu 전극과 SiO2층과의 사이에 마련된다. 그리고, 제 1 반도체 부재(610)의 제 1 Cu 전극(612)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(620)의 제 2 Cu 전극(622)측의 표면이 맞붙여진다.In the example shown in Figs. 12A and 12B, in each semiconductor member, the Cu electrode is formed so as to be embedded in one surface of the SiO2 layer. That is, the Cu electrode is exposed on one surface of the SiO2 layer, and the exposed surface is formed to be substantially the same as the surface of one side of the SiO2 layer. In addition, the Cu barrier layer is provided between the Cu electrode and the SiO2 layer. And the surface of the 1st Cu electrode 612 side of the 1st semiconductor member 610 and the surface of the 2nd Cu electrode 622 side of the 2nd semiconductor member 620 are pasted together.

제 1 반도체 부재(610)와 제 2 반도체 부재(620)를 접합할 때, 양자의 사이에 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생하면, 도 12b에 도시하는 바와 같이, 접합 계면(Sj)에서, 한쪽의 반도체 부재의 Cu 전극과 다른쪽의 반도체 부재의 SiO2층과의 접촉 영역이 생성된다.When the first semiconductor member 610 and the second semiconductor member 620 are joined, if a junction alignment misalignment occurs between them, as shown in FIG. 12B , at the bonding interface Sj, one semiconductor member A contact region between the Cu electrode and the SiO2 layer of the semiconductor member on the other side is created.

이 경우, 접합시의 어닐 처리 등에 의해, 도 13에 도시하는 바와 같이, 각 Cu 전극으로부터 SiO2층에 Cu(630)가 확산하여, 접합 계면(Sj)에서, 이웃하는 Cu 전극 사이가 단락할 가능성이 있다. 또한, 각 Cu 전극으로부터 SiO2층에의 Cu(630)의 확산 량이 크면 Cu 전극 내의 Cu의 량이 감소하기 때문에, 예를 들면, 접촉 저항의 상승이나 도통 불량 등의 부적합함이 생기는 경우도 생각된다.In this case, as shown in Fig. 13, Cu 630 diffuses from each Cu electrode to the SiO2 layer due to annealing treatment during bonding, etc., and there is a possibility of short-circuiting between adjacent Cu electrodes at the bonding interface Sj There is this. Further, if the diffusion amount of Cu 630 from each Cu electrode to the SiO 2 layer is large, the amount of Cu in the Cu electrode decreases.

상술한 바와 같은 접합 계면(Sj)에서의 전기 특성의 부적합함이 생기면, 반도체 장치의 성능이 열화한다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같은 접합 계면(Sj)에서의 전기 특성의 부적합함을 해소할 수 있는 반도체 장치의 구성에 관해 설명한다.If the above-described mismatch in electrical properties at the junction interface Sj occurs, the performance of the semiconductor device deteriorates. Therefore, in this embodiment, the configuration of a semiconductor device capable of resolving the inconsistency of the electrical characteristics at the junction interface Sj as described above will be described.

[반도체 장치의 구성][Configuration of semiconductor device]

도 14 및 도 15에, 제 1의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 14는, 제 1의 실시 형태의 반도체 장치의 접합 계면 부근의 개략 단면도이고, 도 15는, 각 Cu 접합부 및 후술하는 계면 Cu 배리어막 사이의 배치 관계를 도시하는 접합 계면 부근의 개략 상면도이다. 또한, 도 14 및 도 15에서는, 설명을 간략화하기 위해, 하나의 접합 계면 부근의 구성만을 도시한다.14 and 15 show a schematic configuration of a semiconductor device according to the first embodiment. 14 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the junction interface of the semiconductor device of the first embodiment, and FIG. 15 is a schematic top view of the vicinity of the junction interface showing the arrangement relationship between each Cu junction portion and an interfacial Cu barrier film to be described later. . In addition, in FIGS. 14 and 15, in order to simplify description, only the structure of the vicinity of one bonding interface is shown.

반도체 장치(401)는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(410)(제 1 반도체부)와, 제 2 반도체 부재(420)(제 2 반도체부)를 구비한다. 그리고, 본 실시 형태의 반도체 장치(401)에서는, 제 1 반도체 부재(410)의 후술하는 제 1층간 절연막(415)측의 면이, 제 2 반도체 부재(420)의 후술하는 계면 Cu 배리어막(428)측의 면과 접합된다.As shown in FIG. 14 , the semiconductor device 401 includes a first semiconductor member 410 (a first semiconductor part) and a second semiconductor member 420 (a second semiconductor part). In the semiconductor device 401 of the present embodiment, the surface of the first semiconductor member 410 on the side of the first interlayer insulating film 415 described later is an interface Cu barrier film (described later) of the second semiconductor member 420 . 428) side is joined.

제 1 반도체 부재(410)는, 제 1 반도체 기판(도시 생략), 제 1 SiO2층(411), 제 1 Cu 배선부(412), 제 1 Cu 배리어막(413), 제 1 Cu 확산 방지막(414), 제 1층간 절연막(415), 제 1 Cu 접합부(416), 및, 제 1 Cu 배리어층(417)을 갖는다.The first semiconductor member 410 includes a first semiconductor substrate (not shown), a first SiO2 layer 411 , a first Cu wiring portion 412 , a first Cu barrier film 413 , and a first Cu diffusion barrier film ( 414 ), a first interlayer insulating film 415 , a first Cu junction portion 416 , and a first Cu barrier layer 417 .

제 1 SiO2층(411)은, 제 1 반도체 기판상에 형성된다. 제 1 Cu 배선부(412)는, 제 1 SiO2층(411)의 제 1 반도체 기판측과는 반대측의 표면에 매립하도록 하여 형성된다. 또한, 제 1 Cu 배선부(412)는, 도 15에 도시하는 바와 같이, 소정 방향으로 연재한 Cu막이고, 예를 들면, 도시하지 않은 반도체 장치(401) 내 또는 반도체 장치(401)를 포함하는 전자 기기 내의 소정의 디바이스, 신호 처리 회로 등에 접속된다.The first SiO2 layer 411 is formed on the first semiconductor substrate. The first Cu wiring portion 412 is formed so as to be buried in the surface of the first SiO2 layer 411 opposite to the first semiconductor substrate side. Further, as shown in FIG. 15 , the first Cu wiring portion 412 is a Cu film extending in a predetermined direction, and includes, for example, a semiconductor device 401 (not shown) or a semiconductor device 401 . It is connected to a predetermined device in an electronic device, a signal processing circuit, or the like.

제 1 Cu 배리어막(413)은, 제 1 SiO2층(411)과 제 1 Cu 배선부(412)와의 사이에 형성된다. 또한, 제 1 Cu 배리어막(413)은, 제 1 Cu 배선부(412)로부터 제 1 SiO2층(411)으로의 Cu(구리)의 확산을 방지하기 위한 박막이고, 예를 들면, Ti, Ta, Ru, 또는, 그들의 질화물(TiN, TaN, RuN)로 형성된다.The first Cu barrier film 413 is formed between the first SiO2 layer 411 and the first Cu wiring portion 412 . The first Cu barrier film 413 is a thin film for preventing diffusion of Cu (copper) from the first Cu wiring portion 412 to the first SiO2 layer 411, for example, Ti, Ta , Ru, or their nitrides (TiN, TaN, RuN).

제 1 Cu 확산 방지막(414)은, 제 1 SiO2층(411) 및 제 1 Cu 배선부(412)의 영역상이고, 또한, 제 1 Cu 배리어층(417)의 형성 영역 이외의 영역상에 형성된다. 또한, 제 1 Cu 확산 방지막(414)은, 제 1 Cu 배선부(412)로부터 제 1층간 절연막(415)으로의 Cu의 확산을 방지하기 위한 박막이고, 예를 들면 SiC, SiN, 또는, SiCN 등의 박막으로 구성된다.The first Cu diffusion barrier film 414 is formed on the region of the first SiO2 layer 411 and the first Cu wiring portion 412 , and on a region other than the region where the first Cu barrier layer 417 is formed. . The first Cu diffusion prevention film 414 is a thin film for preventing diffusion of Cu from the first Cu wiring portion 412 to the first interlayer insulating film 415, for example, SiC, SiN, or SiCN. It is composed of a thin film such as

제 1층간 절연막(415)은, 제 1 Cu 확산 방지막(414)상에 형성되고, 예를 들면 SiO2막 등의 산화막으로 구성된다.The first interlayer insulating film 415 is formed on the first Cu diffusion barrier film 414 and is made of, for example, an oxide film such as an SiO2 film.

제 1 Cu 접합부(416)(제 1 금속막)는, 제 1층간 절연막(415)의 제 1 Cu 확산 방지막(414)측과는 반대측의 표면에 매립하도록 하여 마련된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제 1 Cu 접합부(416)를, 도 15에 도시하는 바와 같이, 표면(막면)이 정방형상의 Cu막으로 구성한다. 단, 본 개시는 이것으로 한정되지 않고, 제 1 Cu 접합부(416)의 표면 형상은, 예를 들면, 필요로 하는 접촉 저항, 디자인 룰 등의 조건를 고려하여 적절히 변경할 수 있다.The first Cu junction portion 416 (first metal film) is provided so as to be buried in the surface of the first interlayer insulating film 415 on the opposite side to the first Cu diffusion barrier film 414 side. In addition, in this embodiment, as shown in FIG. 15, the 1st Cu junction part 416 is comprised with the Cu film|membrane whose surface (film surface) has a square shape. However, the present disclosure is not limited to this, and the surface shape of the first Cu junction portion 416 can be appropriately changed in consideration of conditions such as required contact resistance and design rules, for example.

제 1 Cu 배리어층(417)은, 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 1 Cu 배선부(412), 제 1 Cu 확산 방지막(414) 및 제 1층간 절연막(415)과의 사이에 마련되고, 제 1 Cu 접합부(416)를 덮도록 마련된다. 이에 의해, 제 1 Cu 접합부(416)는, 제 1 Cu 배리어층(417)을 통하여 제 1 Cu 배선부(412)에 전기적으로 접속된다. 또한, 제 1 Cu 배리어층(417)은, 제 1 Cu 접합부(416)로부터 제 1층간 절연막(415)으로의 Cu의 확산을 방지하기 위한 박막이고, 예를 들면, Ti, Ta, Ru, 또는, 그들의 질화물로 형성된다.The first Cu barrier layer 417 is provided between the first Cu junction portion 416 , the first Cu wiring portion 412 , the first Cu diffusion barrier film 414 , and the first interlayer insulating film 415 , , provided to cover the first Cu junction portion 416 . Accordingly, the first Cu junction portion 416 is electrically connected to the first Cu wiring portion 412 via the first Cu barrier layer 417 . In addition, the first Cu barrier layer 417 is a thin film for preventing diffusion of Cu from the first Cu junction portion 416 to the first interlayer insulating film 415 , for example, Ti, Ta, Ru, or , are formed from their nitrides.

제 2 반도체 부재(420)는, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 확산 방지막(424), 제 2 층간 절연막(425), 제 2 Cu 접합부(426), 제 2 Cu 배리어층(427), 및, 계면 Cu 배리어막(428)을 갖는다.The second semiconductor member 420 includes a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and a second Cu diffusion barrier film ( 424 ), a second interlayer insulating film 425 , a second Cu junction portion 426 , a second Cu barrier layer 427 , and an interfacial Cu barrier film 428 .

또한, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 반도체 기판, 제 2 SiO2층(421), 및, 제 2 Cu 배선부(422)는, 각각, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 반도체 기판, 제 1 SiO2층(411), 및, 제 1 Cu 배선부(412)와 같은 구성이다. 또한, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 확산 방지막(424), 및, 제 2 층간 절연막(425)은, 각각, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 배리어막(413), 제 1 Cu 확산 방지막(414), 및, 제 1층간 절연막(415)과 같은 구성이다.In addition, the second semiconductor substrate of the second semiconductor member 420 , the second SiO 2 layer 421 , and the second Cu wiring part 422 are, respectively, the first semiconductor substrate of the first semiconductor member 410 , It has the same configuration as the first SiO2 layer 411 and the first Cu wiring portion 412 . In addition, the second Cu barrier film 423 , the second Cu diffusion barrier film 424 , and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 420 are formed in the first semiconductor member 410 , respectively. It has the same configuration as the 1 Cu barrier film 413 , the first Cu diffusion barrier film 414 , and the first interlayer insulating film 415 .

제 2 Cu 접합부(426)(제 2 금속막)는, 제 2 층간 절연막(425)(절연막)의 제 2 Cu 확산 방지막(424)측과는 반대측의 표면에 매립하도록 하여 마련된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제 2 Cu 접합부(426)를, 도 15에 도시하는 바와 같이, 표면이 정방형상의 Cu막으로 구성한다. 단, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 제 2 Cu 접합부(426)의 표면 형상은, 예를 들면, 필요로 하는 접촉 저항, 디자인 룰 등의 조건를 고려하여 적절히 변경할 수 있다.The second Cu junction portion 426 (second metal film) is provided so as to be buried in the surface of the second interlayer insulating film 425 (insulating film) opposite to the second Cu diffusion barrier film 424 side. In addition, in this embodiment, the 2nd Cu junction part 426 is comprised by the Cu film|membrane whose surface is square, as shown in FIG. However, this invention is not limited to this, The surface shape of the 2nd Cu junction part 426 can be changed suitably in consideration of conditions, such as required contact resistance and a design rule, for example.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 14 및 도 15에 도시하는 바와 같이, 제 2 Cu 접합부(426)의 접합측(접합 계면(Sj)측)의 표면 면적(접합측 표면의 치수)을, 제 1 Cu 접합부(416)의 그것보다 작게 한다. 이때, 제 1 반도체 부재(410) 및 제 2 반도체 부재(420) 사이에서 상정되는 최대의 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생하여도, 접합 계면(Sj)에서, 제 2 Cu 접합부(426)와 제 1층간 절연막(415)과 접촉하지 않도록, 제 2 Cu 접합부(426)의 사이즈를 설정한다. 보다 구체적으로는, 예를 들면, 도 14에 도시하는 바와 같이, 제 2 Cu 접합부(426)의 측면과 제 1 Cu 배리어층(417)의 측면과의 최단 거리를 △a로 하였을 때, △a가 상정되는 최대의 접합 얼라인먼트 어긋남 이상의 치수가 되도록, 제 2 Cu 접합부(426)의 사이즈를 설정한다.In addition, in this embodiment, as shown in FIGS. 14 and 15, the surface area (dimension of the junction-side surface) of the junction side (junction interface Sj side) of the 2nd Cu junction part 426 is 1st It is made smaller than that of the Cu junction part 416 . At this time, even if the maximum junction alignment misalignment assumed between the first semiconductor member 410 and the second semiconductor member 420 occurs, at the junction interface Sj, the second Cu junction 426 and the first interlayer insulating film The size of the second Cu junction portion 426 is set so as not to contact 415 . More specifically, for example, as shown in FIG. 14 , when the shortest distance between the side surface of the second Cu junction portion 426 and the side surface of the first Cu barrier layer 417 is Δa, Δa The size of the 2nd Cu junction part 426 is set so that it may become a dimension more than the largest junction alignment shift|offset|difference assumed.

제 2 Cu 배리어층(427)은, 제 2 Cu 접합부(426)와, 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 확산 방지막(424) 및 제 2 층간 절연막(425)과의 사이에 마련되고, 제 2 Cu 접합부(426)를 덮도록 마련된다. 이에 의해, 제 2 Cu 접합부(426)는, 제 2 Cu 배리어층(427)을 통하여 제 2 Cu 배선부(422)에 전기적으로 접속된다. 또한, 제 2 Cu 배리어층(427)은, 제 1 Cu 배리어층(417)과 마찬가지로, 제 2 Cu 접합부(426)로부터 제 2 층간 절연막(425)으로의 Cu의 확산을 방지하기 위한 박막이고, 예를 들면, Ti, Ta, Ru, 또는, 그들의 질화물로 형성된다.The second Cu barrier layer 427 is provided between the second Cu junction portion 426 , the second Cu wiring portion 422 , the second Cu diffusion barrier film 424 , and the second interlayer insulating film 425 , , provided to cover the second Cu junction 426 . Accordingly, the second Cu junction portion 426 is electrically connected to the second Cu wiring portion 422 via the second Cu barrier layer 427 . In addition, the second Cu barrier layer 427 is a thin film for preventing diffusion of Cu from the second Cu junction 426 to the second interlayer insulating film 425, similar to the first Cu barrier layer 417, For example, it is formed of Ti, Ta, Ru, or a nitride thereof.

계면 Cu 배리어막(428)(계면 배리어막, 계면 배리어부)은, 제 2 층간 절연막(425)상에 형성된다. 이때, 계면 Cu 배리어막(428)의 표면과, 제 2 Cu 접합부(426)의 접합측의 표면이 개략 같은면이 되도록, 계면 Cu 배리어막(428)을 형성한다. 즉, 계면 Cu 배리어막(428)은, 제 1 Cu 접합부(416)의 접합 계면(Sj)측의 면 영역중 제 2 Cu 접합부(426)와 접합하지 않는 면 영역을 포함하는 영역에 마련된다. 이와 같은 영역(위치)에 계면 Cu 배리어막(428)을 마련함에 의해, 접합 계면(Sj)에서의 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 층간 절연막(425)과의 대향 영역을 통하여, Cu 접합부로부터 층간 절연막(SiO2막)에 Cu가 확산하는 것을 방지할 수 있다.An interfacial Cu barrier film 428 (interfacial barrier film, interfacial barrier portion) is formed on the second interlayer insulating film 425 . At this time, the interfacial Cu barrier film 428 is formed so that the surface of the interface Cu barrier film 428 and the surface on the junction side of the second Cu junction portion 426 are substantially flush with each other. That is, the interfacial Cu barrier film 428 is provided in a region including a surface region not joined to the second Cu junction 426 among the surface regions on the junction interface Sj side of the first Cu junction part 416 . By providing the interface Cu barrier film 428 in such a region (position), the Cu junction part is formed through the region opposite to the first Cu junction part 416 and the second interlayer insulating film 425 at the junction interface Sj. It is possible to prevent Cu from diffusing into the interlayer insulating film (SiO2 film).

또한, 계면 Cu 배리어막(428)은, 예를 들면, SiN, SiON, SiCN, 유기계 수지 등의 재료로 형성할 수 있다. 단, Cu막과의 밀착성 향상이라는 관점에서는, 특히, 계면 Cu 배리어막(428)을 SiN으로 형성하는 것이 바람직하다.In addition, the interfacial Cu barrier film 428 can be formed of, for example, a material such as SiN, SiON, SiCN, or an organic resin. However, it is particularly preferable to form the interface Cu barrier film 428 of SiN from the viewpoint of improving the adhesion to the Cu film.

[반도체 장치의 제조 수법][Method for manufacturing semiconductor device]

다음에, 본 실시 형태의 반도체 장치(401)의 제조 수법을, 도 16a 내지 고 16m을 참조하면서 설명한다. 또한, 도 16a 내지 16l에는, 각 공정에서 제작되는 반도체 부재의 Cu 접합부 부근의 개략 단면을 도시하고, 도 16m에는, 제 1 반도체 부재(410)와 제 2 반도체 부재(420)와의 접합 처리의 양상을 도시한다.Next, the manufacturing method of the semiconductor device 401 of this embodiment is demonstrated, referring FIGS. 16A to 16M. 16A to 16L, schematic cross-sections in the vicinity of the Cu junction portion of the semiconductor member produced in each step are shown, and in FIG. 16M, the aspect of bonding processing between the first semiconductor member 410 and the second semiconductor member 420. shows

최초에, 도 16a 내지 도 16f을 참조하면서, 제 1 반도체 부재(410)의 제작 수법을 설명한다. 본 실시 형태에서는, 도시하지 않지만, 우선, 제 1 SiO2층(411)(하지 절연층)의 한쪽의 표면의 소정 영역에, 제 1 Cu 배리어막(413), 및, 제 1 Cu 배선부(412)를 이 순서로 형성한다. 이때, 제 1 Cu 배선부(412)를, 제 1 SiO2층(411)의 한쪽의 표면에 매입하도록(제 1 Cu 배선부(412)가 그 표면에 노출하도록) 형성한다.First, a manufacturing method of the first semiconductor member 410 will be described with reference to FIGS. 16A to 16F . Although not shown in the present embodiment, first, a first Cu barrier film 413 and a first Cu wiring portion 412 are formed in a predetermined region on one surface of the first SiO2 layer 411 (underlying insulating layer). ) are formed in this order. At this time, the first Cu wiring portion 412 is formed so as to be embedded in one surface of the first SiO2 layer 411 (so that the first Cu wiring portion 412 is exposed on the surface).

뒤이어, 도 16a에 도시하는 바와 같이, 제 1 SiO2층(411), 제 1 Cu 배선부(412), 및, 제 1 Cu 배리어막(413)으로 이루어지는 반도체 부재의 제 1 Cu 배선부(412)측의 표면상에, 제 1 Cu 확산 방지막(414)을 형성한다. 또한, 제 1 SiO2층(411), 제 1 Cu 배선부(412), 제 1 Cu 배리어막(413), 및, 제 1 Cu 확산 방지막(414)은, 종래의 예를 들면 고체 촬상 장치 등의 반도체 장치의 제조 수법(예를 들면 일본 특개2004-63859호 공보 참조)과 마찬가지로 형성할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 16A , the first Cu wiring portion 412 of the semiconductor member including the first SiO2 layer 411 , the first Cu wiring portion 412 , and the first Cu barrier film 413 . On the surface of the side, a first Cu diffusion barrier film 414 is formed. In addition, the first SiO2 layer 411, the first Cu wiring portion 412, the first Cu barrier film 413, and the first Cu diffusion prevention film 414 are formed of a conventional solid-state imaging device or the like. It can be formed similarly to the manufacturing method of a semiconductor device (refer, for example, Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-63859).

뒤이어, 제 1 Cu 확산 방지막(414)상에, 제 1층간 절연막(415)을 형성한다. 구체적으로는, 예를 들면, 제 1 Cu 확산 방지막(414)상에, 두께가 약 50 내지 500nm 정도의 SiO2막 또는 탄소 함유 산화 실리콘(SiOC)막을 성막하여 제 1층간 절연막(415)을 형성한다. 또한, 이와 같은 제 1층간 절연막(415)은, 예를 들면 CVD(chemical vapor deposition)법, 또는, 스핀 코트법으로 형성할 수 있다.Subsequently, a first interlayer insulating film 415 is formed on the first Cu diffusion barrier film 414 . Specifically, for example, an SiO2 film or carbon-containing silicon oxide (SiOC) film having a thickness of about 50 to 500 nm is formed on the first Cu diffusion barrier film 414 to form the first interlayer insulating film 415 . . In addition, such a first interlayer insulating film 415 can be formed by, for example, a chemical vapor deposition (CVD) method or a spin coating method.

뒤이어, 도 16b에 도시하는 바와 같이, 제 1층간 절연막(415)상에 레지스트막(450)을 형성한다. 그리고, 포토리소그래피 기술을 이용하여, 레지스트막(450)에 대해 패터닝 처리를 시행하고, 제 1 Cu 접합부(416)의 형성 영역의 레지스트막(450)을 제거하여 개구부(450a)를 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 16B , a resist film 450 is formed on the first interlayer insulating film 415 . Then, patterning is performed on the resist film 450 using a photolithography technique, and the resist film 450 in the formation region of the first Cu junction portion 416 is removed to form an opening 450a.

뒤이어 레지스트막(450)이 형성된 반도체 부재의 개구부(150a)측의 표면에 대해, 예를 들면 종래 기지의 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용하여, 드라이 에칭 처리를 행한다. 이에 의해, 레지스트막(450)의 개구부(450a)에 노출한 제 1층간 절연막(415)의 영역이 에칭된다. 이 에칭 처리에서는, 도 16c에 도시하는 바와 같이, 레지스트막(450)의 개구부(450a)의 영역의 제 1층간 절연막(415), 및, 제 1 Cu 확산 방지막(414)을 제거하고, 제 1층간 절연막(415)의 개구부(415a)에 제 1 Cu 배선부(412)를 노출시킨다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제 1층간 절연막(415)의 개구부(415a)의 개구 지름을, 예를 들면, 약 4 내지 100㎛ 정도로 한다.Subsequently, the surface of the semiconductor member on which the resist film 450 is formed on the side of the opening 150a is dry-etched using, for example, a conventionally known magnetron etching apparatus. Accordingly, the region of the first interlayer insulating film 415 exposed to the opening 450a of the resist film 450 is etched. In this etching process, as shown in Fig. 16C, the first interlayer insulating film 415 and the first Cu diffusion barrier film 414 in the region of the opening 450a of the resist film 450 are removed, and the first The first Cu wiring portion 412 is exposed through the opening 415a of the interlayer insulating film 415 . In this embodiment, the opening diameter of the opening 415a of the first interlayer insulating film 415 is, for example, about 4 to 100 mu m.

그 후, 에칭 처리된 면에 대해, 예를 들면 산소(O2) 플라즈마를 이용한 애싱 처리, 및, 유기 아민계의 약액를 이용한 세정 처리를 시행한다. 이에 의해, 제 1층간 절연막(415)상에 잔류한 레지스트막(450), 및, 상기 에칭 처리에서 발생한 잔류 부착물을 제거한다.Thereafter, an ashing treatment using, for example, oxygen (O2) plasma and a cleaning treatment using an organic amine-based chemical are performed on the etched surface. Thereby, the resist film 450 remaining on the first interlayer insulating film 415 and the residual deposits generated in the etching process are removed.

뒤이어 도 16d에 도시하는 바와 같이, 제 1층간 절연막(415)상, 및, 제 1층간 절연막(415)의 개구부(15a)에 노출한 제 1 Cu 배선부(412)상에, Ti, Ta, Ru, 또는, 그들의 질화물로 이루어지는 제 1 Cu 배리어층(417)을 형성한다. 구체적으로는, 예를 들면 RF(Radio Frequency) 스퍼터링법 등의 수법을 이용하여, Ar/N2 분위기중에서, 두께가 약 5 내지 50nm의 제 1 Cu 배리어층(417)을, 제 1층간 절연막(415) 및 제 1 Cu 배선부(412)상에 형성한다.Subsequently, as shown in Fig. 16D, on the first interlayer insulating film 415 and on the first Cu wiring portion 412 exposed to the opening 15a of the first interlayer insulating film 415, Ti, Ta, A first Cu barrier layer 417 made of Ru or a nitride thereof is formed. Specifically, for example, the first Cu barrier layer 417 having a thickness of about 5 to 50 nm and the first interlayer insulating film 415 are formed in an Ar/N2 atmosphere using a method such as RF (Radio Frequency) sputtering method. ) and the first Cu wiring part 412 .

뒤이어 도 16e에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 배리어층(417)상에, 예를 들면 스퍼터링법 및 전해 도금법 등의 수법을 이용하여, Cu막(451)을 형성한다. 이 처리에 의해, 제 1층간 절연막(415)의 개구부(415a)의 영역에 Cu막(451)이 매입된다.Subsequently, as shown in FIG. 16E , a Cu film 451 is formed on the first Cu barrier layer 417 by, for example, a sputtering method and an electrolytic plating method. By this process, the Cu film 451 is embedded in the region of the opening 415a of the first interlayer insulating film 415 .

뒤이어 Cu막(451)이 형성된 반도체 부재를, 예를 들면 핫 플레이트나 신터 어닐 장치 등의 가열 장치를 이용하여, 질소 분위기중 또는 진공중에서, 약 100 내지 400℃에서 1 내지 60분 정도 가열한다. 이 가열처리에 의해, Cu막(451)을 죄여서 치밀한 막질의 Cu막(451)을 형성한다.Subsequently, the semiconductor member on which the Cu film 451 is formed is heated at about 100 to 400 DEG C for about 1 to 60 minutes in a nitrogen atmosphere or vacuum using a heating apparatus such as a hot plate or a sinter annealing apparatus. By this heat treatment, the Cu film 451 is clamped to form the Cu film 451 having a dense film quality.

그 후, 도 16f에 도시하는 바와 같이, Cu막(451) 및 제 1 Cu 배리어층(417)의 불필요한 부분를 화학 기계 연마(CMP)법에 의해 제거한다. 구체적으로는, 제 1층간 절연막(415)이 표면에 노출할 때까지, Cu막(451)측의 표면을 CMP법으로 연마한다.Thereafter, as shown in Fig. 16F, unnecessary portions of the Cu film 451 and the first Cu barrier layer 417 are removed by a chemical mechanical polishing (CMP) method. Specifically, the surface of the Cu film 451 side is polished by the CMP method until the first interlayer insulating film 415 is exposed on the surface.

본 실시 형태에서는, 상술한 도 16a 내지 16f의 각종 공정을 행하여, 제 1 반도체 부재(410)를 제작한다. 다음에, 제 2 반도체 부재(420)의 제작 수법을, 도 16g 내지 16l을 참조하면서 설명한다.In the present embodiment, the first semiconductor member 410 is manufactured by performing the various steps of FIGS. 16A to 16F described above. Next, a method of manufacturing the second semiconductor member 420 will be described with reference to FIGS. 16G to 16L.

우선, 제 1 반도체 부재(410)와 마찬가지로 하여(도 16a의 공정), 제 2 SiO2층(421)의 한쪽의 표면의 소정 영역에, 제 2 Cu 배리어막(423), 및, 제 2 Cu 배선부(422)를 이 순서로 형성한다. 뒤이어 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 및, 제 2 Cu 배리어막(423)으로 이루어지는 반도체 부재의 제 2 Cu 배선부(422)측의 표면상에, 제 2 Cu 확산 방지막(424)을 형성한다.First, in the same manner as in the first semiconductor member 410 (step of FIG. 16A ), a second Cu barrier film 423 and a second Cu wiring are formed in a predetermined region of one surface of the second SiO2 layer 421 . The portion 422 is formed in this order. Subsequently, on the surface of the semiconductor member including the second SiO2 layer 421, the second Cu wiring portion 422, and the second Cu barrier film 423 on the side of the second Cu wiring portion 422, a second Cu A diffusion barrier film 424 is formed.

뒤이어 제 2 Cu 확산 방지막(424)상에, 제 2 층간 절연막(425)을 형성한다. 구체적으로는, 예를 들면, 제 2 Cu 확산 방지막(424)상에, 두께가 약 50 내지 500nm 정도의 SiO2막 또는 SiOC막을 성막하여 제 2 층간 절연막(425)을 형성한다. 또한, 이와 같은 제 2 층간 절연막(425)은, 예를 들면 CVD법 또는 스핀 코트법으로 형성할 수 있다. 뒤이어 제 2 층간 절연막(425)상에, 예를 들면 CVD법 또는 스핀 코트법 등의 수법을 이용하여, 두께가 약 5 내지 100nm 정도의 계면 Cu 배리어막(428)을 형성한다. 뒤이어 계면 Cu 배리어막(428)상에, 예를 들면 CVD법 또는 스핀 코트법 등의 수법을 이용하여, 두께가 약 50 내지 200nm 정도의 SiO2막 또는 SiOC막을 성막하여 절연막(452)을 형성한다.Subsequently, a second interlayer insulating film 425 is formed on the second Cu diffusion barrier film 424 . Specifically, for example, on the second Cu diffusion barrier film 424 , an SiO2 film or a SiOC film having a thickness of about 50 to 500 nm is formed to form the second interlayer insulating film 425 . In addition, such a second interlayer insulating film 425 can be formed by, for example, a CVD method or a spin coating method. Subsequently, an interfacial Cu barrier film 428 having a thickness of about 5 to 100 nm is formed on the second interlayer insulating film 425 by using a method such as a CVD method or a spin coating method, for example. Subsequently, an insulating film 452 is formed by forming an SiO2 film or SiOC film having a thickness of about 50 to 200 nm on the interface Cu barrier film 428 using, for example, a CVD method or a spin coating method.

뒤이어 도 16g에 도시하는 바와 같이, 절연막(452)상에 레지스트막(453)을 형성한다. 그리고, 포토리소그래피 기술을 이용하여, 레지스트막(453)에 대해 패터닝 처리를 시행하고, 제 2 Cu 접합부(426)의 형성 영역의 레지스트막(453)을 제거하여 개구부(453a)를 형성한다. 또한, 개구부(453a)의 개구 지름은, 도 16b의 공정에서 형성한 레지스트막(450)의 개구부(450a)의 그것보다 작게 한다.Subsequently, a resist film 453 is formed on the insulating film 452 as shown in Fig. 16G. Then, a patterning process is performed on the resist film 453 using a photolithography technique, and the resist film 453 in the region where the second Cu junction portion 426 is formed is removed to form an opening 453a. In addition, the opening diameter of the opening part 453a is made smaller than that of the opening part 450a of the resist film 450 formed in the process of FIG. 16B.

단, 상술한 레지스트막(453)에 개구부(453a)가 형성된 반도체 부재의 제작 공정은, 도 16g에 도시하는 예로 한정되지 않고, 예를 들면, 계면 Cu 배리어막(428)상에 직접, 레지스트막(453)을 마련하고, 다시, 개구부(453a)를 형성하여도 좋다. 도 16h에, 그 수법으로 개구부(453a)를 형성한 때의 반도체 부재의 개략 단면도를 도시한다.However, the manufacturing process of the semiconductor member in which the opening 453a is formed in the resist film 453 described above is not limited to the example shown in Fig. 16G, and for example, directly on the interface Cu barrier film 428, the resist film 453 may be provided, and again the opening part 453a may be formed. Fig. 16H shows a schematic cross-sectional view of the semiconductor member when the opening 453a is formed by this method.

단, 도 16h에 도시하는 수법을 채용한 경우, 계면 Cu 배리어막(428)상에 직접, 제 2 Cu 배리어층(427)을 통하여 Cu막이 형성되고, 그 후, 그 Cu막을 CMP 처리로 연마함에 의해 제 2 Cu 접합부(426)가 형성된다. 그러나, 통상, 계면 Cu 배리어막(428)은 CMP 처리로 연마하는 것이 곤란한 막이기 때문에, 도 16h에 도시하는 수법을 채용한 경우에는, CMP 처리시에, Cu막의 깎임 잔사가 계면 Cu 배리어막(428)상에 발생하는 경우도 있다.However, when the method shown in FIG. 16H is adopted, a Cu film is formed directly on the interface Cu barrier film 428 through the second Cu barrier layer 427, and then the Cu film is polished by CMP treatment. Thus, a second Cu junction 426 is formed. However, usually, since the interfacial Cu barrier film 428 is a film that is difficult to polish by a CMP process, when the method shown in Fig. 16H is adopted, during the CMP process, the etched residue of the Cu film is removed from the interfacial Cu barrier film ( 428) in some cases.

그에 대해, 도 16g에 도시하는 개구부(453a)의 형성 수법에서는, 계면 Cu 배리어막(428)상에 절연막(452)이 형성되기 때문에, Cu막의 CMP 처리시에 절연막(452)도 함께 연마함에 의해, Cu막의 깎임 잔사를 보다 확실하게 없앨 수 있다. 즉, 제 2 Cu 접합부(426)를 형성할 때의 Cu막의 깎임 잔사를 방지하는 관점에서는, 도 16g에 도시하는 개구부(453a)의 형성 수법이 도 12에 도시하는 개구부(453a)의 형성 수법 보다 알맞다.In contrast, in the method of forming the opening 453a shown in Fig. 16G, since the insulating film 452 is formed on the interface Cu barrier film 428, the insulating film 452 is also polished during the CMP treatment of the Cu film. , it is possible to more reliably remove the scraping residue of the Cu film. That is, from the viewpoint of preventing the scraping residue of the Cu film when forming the second Cu junction 426, the method of forming the opening 453a shown in FIG. 16G is superior to the method of forming the opening 453a shown in FIG. 12. fit.

뒤이어 레지스트막(453)이 형성된 반도체 부재의 개구부(453a)측의 표면에 대해, 예를 들면 종래 기지의 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용하여, 드라이 에칭 처리를 행한다. 이에 의해, 레지스트막(453)의 개구부(453a)에 노출한 절연막(452)의 영역이 에칭된다. 이 에칭 처리에서는, 도 16i에 도시하는 바와 같이, 개구부(453a)의 영역의 절연막(452), 계면 Cu 배리어막(428), 제 2 층간 절연막(425), 및, 제 2 Cu 확산 방지막(424)을 제거하여, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)에 제 2 Cu 배선부(422)를 노출시킨다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)의 개구 지름은, 예를 들면, 약 1 내지 95㎛ 정도로 한다.Subsequently, the surface of the semiconductor member on which the resist film 453 is formed on the side of the opening 453a is dry etched using, for example, a conventionally known magnetron etching apparatus. Accordingly, the region of the insulating film 452 exposed to the opening 453a of the resist film 453 is etched. In this etching process, as shown in Fig. 16I, the insulating film 452 in the region of the opening 453a, the interface Cu barrier film 428, the second interlayer insulating film 425, and the second Cu diffusion prevention film 424 ) to expose the second Cu wiring portion 422 in the opening 425a of the second interlayer insulating film 425 . In this embodiment, the opening diameter of the opening 425a of the second interlayer insulating film 425 is, for example, about 1 to 95 µm.

그 후, 에칭 처리된 면에 대해, 예를 들면 산소(O2) 플라즈마를 이용한 애싱 처리, 및, 유기 아민계의 약액를 이용한 세정 처리를 시행한다. 이에 의해, 절연막(452)상에 잔류한 레지스트막(453), 및, 상기 에칭 처리에서 발생한 잔류 부착물을 제거한다.Thereafter, an ashing treatment using, for example, oxygen (O2) plasma and a cleaning treatment using an organic amine-based chemical are performed on the etched surface. Thereby, the resist film 453 remaining on the insulating film 452 and the residual deposits generated in the etching process are removed.

뒤이어 도 16j에 도시하는 바와 같이, 절연막(452)상, 및, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)에 노출한 제 2 Cu 배선부(422)상에, Ti, Ta, Ru, 또는, 그들의 질화물로 이루어지는 제 2 Cu 배리어층(427)을 형성한다. 구체적으로는, 예를 들면 RF 스퍼터링법 등의 수법을 이용하여, Ar/N2 분위기중에서, 두께가 약 5 내지 50nm의 제 2 Cu 배리어층(427)을, 절연막(452) 및 제 2 Cu 배선부(422)상에 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 16J, Ti, Ta, Ru, or , a second Cu barrier layer 427 made of their nitride is formed. Specifically, the insulating film 452 and the second Cu wiring portion are formed by forming the second Cu barrier layer 427 with a thickness of about 5 to 50 nm in an Ar/N2 atmosphere using a method such as RF sputtering, for example. (422) is formed.

뒤이어 도 16j에 도시하는 바와 같이, 제 2 Cu 배리어층(427)상에, 예를 들면 스퍼터링법 및 전해 도금법 등의 수법을 이용하여, Cu막(454)을 형성한다. 이 처리에 의해, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)의 영역에 Cu막(454)이 매입된다.Subsequently, as shown in FIG. 16J , a Cu film 454 is formed on the second Cu barrier layer 427 by, for example, a sputtering method and an electrolytic plating method. By this process, the Cu film 454 is embedded in the region of the opening 425a of the second interlayer insulating film 425 .

뒤이어 Cu막(454)이 형성된 반도체 부재를, 예를 들면 핫 플레이트나 신터 어닐 장치 등의 가열 장치를 이용하여, 질소 분위기중 또는 진공중에서, 약 100 내지 400℃에서 1 내지 60분 정도 가열한다. 이 가열처리에 의해, Cu막(454)을 죄여서 치밀한 막질의 Cu막(454)을 형성한다.Subsequently, the semiconductor member on which the Cu film 454 is formed is heated at about 100 to 400 DEG C for about 1 to 60 minutes in a nitrogen atmosphere or vacuum using a heating device such as a hot plate or a sinter annealing device. By this heat treatment, the Cu film 454 is clamped to form a Cu film 454 having a dense film quality.

그리고, 도 16l에 도시하는 바와 같이, Cu막(454), 제 2 Cu 배리어층(427) 및 절연막(452)의 불필요한 부분를 화학 기계 연마(CMP)법에 의해 제거한다. 구체적으로는, 계면 Cu 배리어막(428)이 표면에 노출할 때까지, Cu막(454)측의 표면을 CMP법으로 연마한다. 본 실시 형태에서는, 상술한 도 16g 내지 16l의 각종 공정을 행하여, 제 2 반도체 부재(420)를 제작한다.Then, as shown in Fig. 16L, unnecessary portions of the Cu film 454, the second Cu barrier layer 427, and the insulating film 452 are removed by a chemical mechanical polishing (CMP) method. Specifically, the surface of the Cu film 454 side is polished by the CMP method until the interfacial Cu barrier film 428 is exposed on the surface. In the present embodiment, the second semiconductor member 420 is manufactured by performing the various steps of FIGS. 16G to 16L described above.

뒤이어 상기 순서로 제작된 제 1 반도체 부재(410)(도 16f)와 제 2 반도체 부재(420)(도 16l)를 맞붙인다. 이 맞붙임 공정(접합 공정)의 구체적인 처리 내용은, 다음과 같다.Subsequently, the first semiconductor member 410 (FIG. 16F) and the second semiconductor member 420 (FIG. 16L) manufactured in the above order are bonded together. The specific processing contents of this pasting process (joining process) are as follows.

우선, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 접합부(416)측의 표면, 및, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면에 대해 환원 처리를 시행하여, 각 Cu 접합부의 표면의 산화막(산화물)을 제거한다. 이에 의해, 각 Cu 접합부의 표면에 청정한 Cu를 노출시킨다. 또한, 이때, 환원 처리로서는, 예를 들면 포름산 등의 약액를 이용한 웨트 에칭 처리, 또는, 예를 들면 Ar, NH3, H2 등의 플라즈마를 이용한 드라이 에칭 처리가 이용된다.First, the surface of the first semiconductor member 410 on the side of the first Cu junction portion 416 and the surface of the second semiconductor member 420 on the side of the second Cu junction portion 426 are subjected to a reduction treatment, each The oxide film (oxide) on the surface of the Cu junction is removed. Thereby, clean Cu is exposed on the surface of each Cu junction part. In this case, as the reduction treatment, for example, a wet etching treatment using a chemical solution such as formic acid or a dry etching treatment using a plasma such as Ar, NH3 or H2 is used.

뒤이어 도 16m에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 접합부(416)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면을 접촉시킨다(또는 맞붙인다). 이때, 제 1 Cu 접합부(416)와, 그것에 대응하는 제 2 Cu 접합부(426)가 대향하도록 위치 맞춤을 행하고 나서 양자를 맞붙인다.Subsequently, as shown in FIG. 16M , the surface on the side of the first Cu junction part 416 of the first semiconductor member 410 and the surface on the side of the second Cu junction part 426 of the second semiconductor member 420 are brought into contact with each other. (or clash). At this time, after performing alignment so that the 1st Cu junction part 416 and the 2nd Cu junction part 426 corresponding to it may oppose, both are stuck together.

뒤이어 제 1 반도체 부재(410) 및 제 2 반도체 부재(420)를 맞붙인 상태로, 예를 들면 핫 플레이트나 RTA(Rapid Thermal Annealing) 장치 등의 가열 장치를 이용하여 맞붙임 부재를 어닐하여, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 Cu 접합부(426)를 접합한다. 구체적으로는, 예를 들면, 대기압의 N2 분위기중, 또는, 진공중에서 약 100 내지 400℃에서 5분 내지 2시간 정도, 맞붙임 부재를 가열한다.Subsequently, in a state in which the first semiconductor member 410 and the second semiconductor member 420 are bonded together, the bonding member is annealed using a heating device such as a hot plate or RTA (Rapid Thermal Annealing) apparatus, for example, The 1 Cu junction part 416 and the 2nd Cu junction part 426 are joined. Specifically, for example, the bonding member is heated in an atmospheric pressure N2 atmosphere or in a vacuum at about 100 to 400 DEG C for about 5 minutes to 2 hours.

또한, 이 접합 처리에 의해, 제 1 Cu 접합부(416)의 접합 계면(Sj)측의 면 영역중 제 2 Cu 접합부(426)와 접합하지 않는 면 영역을 포함하는 영역에 계면 Cu 배리어막(428)이 배치된다. 보다 구체적으로는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역을 포함하는 영역에 계면 Cu 배리어막(428)이 배치된다.Further, by this bonding process, the interfacial Cu barrier film 428 is placed in a region including a surface region not joined to the second Cu junction 426 among the surface regions on the junction interface Sj side of the first Cu junction portion 416 . ) is placed. More specifically, as shown in FIG. 14 , the interface Cu barrier film 428 is formed in a region including the region of the junction interface Sj where the first Cu junction portion 416 and the second interlayer insulating film 425 face each other. ) is placed.

본 실시 형태에서는, 이와 같이 하여, Cu-Cu 접합 처리를 행한다. 또한, 상술한 접합 공정 이외의 반도체 장치(401)의 제조 공정은, 종래의 예를 들면 고체 촬상 장치 등의 반도체 장치의 제조 수법(예를 들면 일본 특개2007-234725호 공보 참조)과 마찬가지로 할 수 있다.In this embodiment, in this way, Cu-Cu bonding processing is performed. In addition, the manufacturing process of the semiconductor device 401 other than the above-mentioned bonding process can be carried out similarly to the conventional manufacturing method of semiconductor devices, such as a solid-state image sensor (for example, refer to Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-234725). have.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태의 반도체 장치(401)에서는, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면 영역을 포함하는 영역에는, 계면 Cu 배리어막(428)이 마련된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, 반도체 부재의 접합시에, 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생하여도, 접합 계면(Sj)에서, Cu 접합부와 층간 절연막과의 접촉 영역이 발생하지 않아, 상술한 접합 계면(Sj)에서의 전기 특성의 부적합함을 해소할 수 있다.As described above, in the semiconductor device 401 of the present embodiment, the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 410 and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 420 face each other. The interfacial Cu barrier film 428 is provided in the region including the junction interface region to be used. Therefore, in the present embodiment, even if a junction alignment misalignment occurs during bonding of semiconductor members, a contact region between the Cu junction portion and the interlayer insulating film does not occur at the bonding interface Sj, and the above-described bonding interface Sj does not occur. ) can solve the inadequacy of electrical characteristics.

또한, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 제 1 Cu 접합부(416)의 접합측의 표면 면적을, 제 2 Cu 접합부(426)의 그것보다 충분히 크게 한다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, 제 1 반도체 부재(410) 및 제 2 반도체 부재(420)의 접합시에 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생하여도, Cu 접합부 사이의 접촉 면적(접촉 저항)은 변화하지 않아, 반도체 장치(401)의 전기 특성(또는 성능)의 열화를 억제할 수 있다. 즉, 본 실시 형태에서는, 접합 계면(Sj)에서의 접촉 저항의 증대를 억제할 수 있기 때문에, 반도체 장치(401)의 소비 전력의 증대, 및, 처리 속도의 지연를 억제할 수 있다.In addition, in this embodiment, as mentioned above, the surface area of the bonding side of the 1st Cu junction part 416 is made larger than that of the 2nd Cu junction part 426 sufficiently. Therefore, in the present embodiment, even if a junction alignment misalignment occurs during bonding of the first semiconductor member 410 and the second semiconductor member 420, the contact area (contact resistance) between the Cu junctions does not change. Deterioration of the electrical characteristics (or performance) of the semiconductor device 401 can be suppressed. That is, in the present embodiment, since an increase in the contact resistance at the junction interface Sj can be suppressed, an increase in power consumption of the semiconductor device 401 and a delay in processing speed can be suppressed.

또한, 본 실시 형태에서는, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 층간 절연막(425)과의 사이에는, 계면 Cu 배리어막(428)이 마련되기 때문에, 양자 사이의 밀착력을 향상시킬 수 있다. 이에 의해, 본 실시 형태에서는, 제 1 반도체 부재(410) 및 제 2 반도체 부재(420) 사이의 접합 강도를 증대시킬 수 있다.In addition, in this embodiment, since the interface Cu barrier film 428 is provided between the 1st Cu junction part 416 and the 2nd interlayer insulating film 425, the adhesive force between both can be improved. Accordingly, in the present embodiment, the bonding strength between the first semiconductor member 410 and the second semiconductor member 420 can be increased.

이상의 것으로부터, 본 실시 형태에서는, 접합 계면에서의 전기 특성의 열화를 보다 한층 억제할 수 있고, 보다 신뢰성이 높은 접합 계면(Sj)을 갖는 반도체 장치(401)를 제공할 수 있다.From the above, in the present embodiment, it is possible to further suppress the deterioration of the electrical characteristics at the junction interface, and it is possible to provide the semiconductor device 401 having the junction interface Sj with higher reliability.

<<2.제 2의 실시 형태>><<2.Second embodiment >>

[반도체 장치의 구성][Configuration of semiconductor device]

도 17 및 도 18에, 제 3의 실시예의 제 2의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 17은, 제 2의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 접합 계면 부근의 개략 단면도이고, 도 18은, 각 Cu 접합부 및 계면 Cu 배리어막 사이의 배치 관계를 도시하는 접합 계면 부근의 개략 상면도이다. 또한, 도 17 및 18에서는, 설명을 간략화하기 위해, 하나의 접합 계면 부근의 구성만을 도시한다. 또한, 도 17 및 18에 도시하는 본 실시 형태의 반도체 장치(402)에서, 도 14 및 15에 도시하는 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.17 and 18 show a schematic configuration of a semiconductor device according to a second embodiment of the third embodiment. Fig. 17 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the bonding interface of the semiconductor device according to the second embodiment, and Fig. 18 is a schematic top view of the vicinity of the bonding interface showing the arrangement relationship between each Cu junction portion and the interfacial Cu barrier film. In addition, in Figs. 17 and 18, only the configuration in the vicinity of one bonding interface is shown in order to simplify the explanation. In addition, in the semiconductor device 402 of this embodiment shown in FIGS. 17 and 18, the same code|symbol is attached|subjected to the same structure as the semiconductor device 401 of the 1st Embodiment shown in FIGS. 14 and 15, and is shown.

반도체 장치(402)는, 도 17에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(430)(제 1 반도체부)와, 제 2 반도체 부재(440)(제 2 반도체부)와, 계면 Cu 배리어막(450)(계면 배리어막 또는 계면 배리어부)를 구비한다.As shown in FIG. 17 , the semiconductor device 402 includes a first semiconductor member 430 (first semiconductor portion), a second semiconductor member 440 (second semiconductor portion), and an interface Cu barrier film ( 450) (interfacial barrier film or interfacial barrier portion).

제 1 반도체 부재(430)는, 제 1 반도체 기판(도시 생략), 제 1 SiO2층(411), 제 1 Cu 배선부(412), 제 1 Cu 배리어막(413), 제 1 Cu 확산 방지막(414), 제 1층간 절연막(415), 제 1 Cu 접합부(416), 제 1 Cu 배리어층(417), 및, 제 1 Cu 시드층(431)을 갖는다.The first semiconductor member 430 includes a first semiconductor substrate (not shown), a first SiO 2 layer 411 , a first Cu wiring part 412 , a first Cu barrier film 413 , and a first Cu diffusion barrier film ( 414 ), a first interlayer insulating film 415 , a first Cu junction portion 416 , a first Cu barrier layer 417 , and a first Cu seed layer 431 .

도 17과 도 14와의 비교로부터 분명한 바와 같이, 본 실시 형태의 제 1 반도체 부재(430)는, 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)에서, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 1 Cu 배리어층(417)과의 사이에 제 1 Cu 시드층(431)을 마련한 구성으로 된다. 그 이외의 제 1 반도체 부재(430)의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 대응하는 구성과 같다. 그 때문에, 여기서는, 제 1 Cu 시드층(431)의 구성에 관해서만 설명한다.As is clear from the comparison with FIG. 17 and FIG. 14 , the first semiconductor member 430 of the present embodiment is the first Cu junction portion 416 and the first semiconductor member 410 of the first embodiment. It has a configuration in which the first Cu seed layer 431 is provided between the Cu barrier layer 417 and the Cu barrier layer 417 . The configuration of the first semiconductor member 430 other than that is the same as the corresponding configuration of the first semiconductor member 410 of the first embodiment. Therefore, only the configuration of the first Cu seed layer 431 will be described here.

제 1 Cu 시드층(431)(시드층)은, 상술한 바와 같이, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 1 Cu 배리어층(417)과의 사이에 마련되고, 제 1 Cu 접합부(416)를 덮도록 형성된다.As described above, the first Cu seed layer 431 (seed layer) is provided between the first Cu junction portion 416 and the first Cu barrier layer 417 , and forms the first Cu junction portion 416 . formed to cover.

제 1 Cu 시드층(431)은, 산소와 반응하기 쉬운 금속 재료를 함유하는 Cu층(Cu 합금층)으로 형성된다. 제 1 Cu 시드층(431)에 함유하는 금속 재료로서는, 예를 들면, 산소에 대해 수소보다도 반응하기 쉬운 금속 재료를 이용할 수 있다. 구체적으로는, Fe, Mn, V, Cr, Mg, Si, Ce, Ti, Al 등의 금속 재료를 이용할 수 있다. 또한, 이들의 금속 재료중, Mn, Mg, Ti, 또는, Al은, 반도체 장치에 알맞는 재료이다. 또한, 접합 계면 Si의 배선 저항의 저하라는 관점에서는, 제 1 Cu 시드층(431)에 함유하는 금속 재료로서, Mn, 또는, Ti를 이용하는 것이 특히 바람직하다.The first Cu seed layer 431 is formed of a Cu layer (Cu alloy layer) containing a metal material that easily reacts with oxygen. As the metal material contained in the first Cu seed layer 431 , for example, a metal material that reacts more easily with oxygen than hydrogen can be used. Specifically, metal materials such as Fe, Mn, V, Cr, Mg, Si, Ce, Ti, and Al can be used. In addition, among these metal materials, Mn, Mg, Ti, or Al is a material suitable for a semiconductor device. In addition, from the viewpoint of lowering the wiring resistance of the bonding interface Si, it is particularly preferable to use Mn or Ti as the metal material contained in the first Cu seed layer 431 .

제 2 반도체 부재(440)는, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 확산 방지막(424), 제 2 층간 절연막(425), 제 2 Cu 접합부(426), 제 2 Cu 배리어층(427), 및, 제 2 Cu 시드층(441)을 갖는다.The second semiconductor member 440 includes a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and a second Cu diffusion barrier film ( 424 , a second interlayer insulating film 425 , a second Cu junction portion 426 , a second Cu barrier layer 427 , and a second Cu seed layer 441 .

도 17과 도 14와의 비교로부터 분명한 바와 같이, 본 실시 형태의 제 2 반도체 부재(440)는, 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)에서, 계면 Cu 배리어막(428)을 생략하고, 또한, 제 2 Cu 접합부(426) 및 제 2 Cu 배리어층(427) 사이에 제 2 Cu 시드층(441)을 마련한 구성으로 된다. 그 이외의 제 2 반도체 부재(440)의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)의 대응하는 구성과 같다. 그 때문에, 여기서는, 제 2 Cu 시드층(441)의 구성에 관해서만 설명한다.As is clear from the comparison between FIG. 17 and FIG. 14 , the second semiconductor member 440 of the present embodiment omits the interface Cu barrier film 428 in the second semiconductor member 420 of the first embodiment. , furthermore, the second Cu seed layer 441 is provided between the second Cu junction portion 426 and the second Cu barrier layer 427 . The configuration of the second semiconductor member 440 other than that is the same as the corresponding configuration of the second semiconductor member 420 of the first embodiment. Therefore, only the configuration of the second Cu seed layer 441 will be described here.

제 2 Cu 시드층(441)은, 상술한 바와 같이, 제 2 Cu 접합부(426)와 제 2 Cu 배리어층(427)과의 사이에 마련되고, 제 2 Cu 접합부(426)를 덮도록 형성된다. 제 2 Cu 시드층(441)은, 제 1 Cu 시드층(431)과 마찬가지로, 산소와 반응하기 쉬운 금속 재료를 함유하는 Cu층(Cu 합금층)으로 형성된다. 또한, 제 2 Cu 시드층(441)에 함유하는 금속 재료는, 상기 제 1 Cu 시드층(431)에서 설명한 각종 금속 재료로부터 적절히 선택할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제 2 Cu 시드층(441)에 함유하는 금속 재료는, 제 1 Cu 시드층(431)에 포함되는 금속 재료와 마찬가지로 한다.As described above, the second Cu seed layer 441 is provided between the second Cu junction 426 and the second Cu barrier layer 427 and is formed to cover the second Cu junction 426 . . Like the first Cu seed layer 431 , the second Cu seed layer 441 is formed of a Cu layer (Cu alloy layer) containing a metal material that easily reacts with oxygen. In addition, the metal material contained in the 2nd Cu seed layer 441 can be suitably selected from the various metal materials demonstrated with the said 1st Cu seed layer 431. In this embodiment, the metal material included in the second Cu seed layer 441 is the same as the metal material included in the first Cu seed layer 431 .

계면 Cu 배리어막(450)은, 제 1 반도체 부재(430)와 제 2 반도체 부재(440)를 접합할 때의 열처리(어닐 처리)에 의해, 각 Cu시드층에 함유하는 금속 재료와 각 층간 절연막(주로 제 2 층간 절연막(425))중의 산소와 반응하여 생성되는 막(자기(自己) 형성막)이다. 그 때문에, 계면 Cu 배리어막(450)은, 제 1 반도체 부재(430)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에 형성되고, 예를 들면, MnOx, MgOx, TiOx, AlOx 등의 산화막으로 구성된다.The interfacial Cu barrier film 450 is formed by a heat treatment (annealing treatment) for bonding the first semiconductor member 430 and the second semiconductor member 440 to the metal material contained in each Cu seed layer and each interlayer insulating film. It is a film (self-forming film) produced by reaction with oxygen in (mainly the second interlayer insulating film 425). Therefore, the interface Cu barrier film 450 is formed at the junction interface ( ) where the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 430 and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 440 face each other. It is formed in the region of Sj) and is composed of, for example, an oxide film of MnOx, MgOx, TiOx, AlOx, or the like.

또한, 도 17에서는, 계면 Cu 배리어막(450)의 형성 위치를 명확히 하기 위해, 계면 Cu 배리어막(450)이, 접합 계면(Sj)에 따라서, 제 2 Cu 접합부(426)의 측면로부터 제 1 Cu 배리어층(417)의 측면에 걸쳐서 형성된 예를 도시한다. 그러나, 계면 Cu 배리어막(450)의 형성 영역은, 이 예로 한정되지 않는다.In addition, in FIG. 17 , in order to clarify the formation position of the interfacial Cu barrier film 450 , the interfacial Cu barrier film 450 is formed from the side surface of the second Cu junction part 426 along the junction interface Sj. An example formed over the side surface of the Cu barrier layer 417 is shown. However, the formation region of the interfacial Cu barrier film 450 is not limited to this example.

계면 Cu 배리어막(450)은, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 층간 절연막(425)과의 대향 영역을 통하여, Cu 접합부로부터 층간 절연막에 Cu가 확산하는 것을 방지하기 위한 막이다. 그 때문에, 접합 계면(Sj)에서, 적어도, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 층간 절연막(425)과의 대향 영역에 계면 Cu 배리어막(450)을 형성하면 좋다. 또한, 계면 Cu 배리어막(450)의 형성 영역은, 예를 들면, 제 1 반도체 부재(430)와 제 2 반도체 부재(440)와의 접합 처리시의 어닐 조건이나, 각 Cu 시드층중의 금속 재료의 함유량 등을 조정함에 의해 적절히 설정할 수 있다.The interfacial Cu barrier film 450 is a film for preventing Cu from diffusing from the Cu junction to the interlayer insulating film through the opposing region of the first Cu junction 416 and the second interlayer insulating film 425 . Therefore, the interface Cu barrier film 450 may be formed at least in a region opposite to the first Cu junction portion 416 and the second interlayer insulating film 425 at the bonding interface Sj. In addition, the region where the interfacial Cu barrier film 450 is formed is, for example, an annealing condition during bonding processing between the first semiconductor member 430 and the second semiconductor member 440 , and a metal material in each Cu seed layer. It can set suitably by adjusting content etc. of

[반도체 장치의 제조 수법][Method for manufacturing semiconductor device]

다음에, 본 실시 형태의 반도체 장치(402)의 제조 수법을, 도 19a 내지 도 19e를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 19a 내지 도 19e에는, 각 공정에서 제작되는 반도체 부재의 Cu 접합부 부근의 개략 단면을 도시하고, 도 19e에는, 제 1 반도체 부재(430)와 제 2 반도체 부재(440)와의 접합 처리의 양상을 도시한다. 또한, 하기 설명에서, 상기 제 1의 실시 형태의 반도체 장치의 제조 수법과 같은 공정의 설명에서는, 상기 제 1의 실시 형태의 공정의 도면(도 16a 내지 도 16m)을 적절히 참조한다.Next, the manufacturing method of the semiconductor device 402 of this embodiment is demonstrated, referring FIGS. 19A to 19E. 19A to 19E, schematic cross-sections in the vicinity of the Cu junction portion of the semiconductor member produced in each step are shown, and in FIG. 19E, the bonding process between the first semiconductor member 430 and the second semiconductor member 440 is shown. show the aspect In addition, in the following description, in the description of the same process as the manufacturing method of the semiconductor device of the said 1st Embodiment, the figure (FIG. 16A - FIG. 16M) of the process of the said 1st Embodiment is referred suitably.

우선, 본 실시 형태에서는, 상기 도 16a에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 제 1 SiO2층(411)상에, 제 1 Cu 배리어막(413), 제 1 Cu 배선부(412), 및, 제 1 Cu 확산 방지막(414)을 이 순서로 형성한다. 뒤이어 상기 도 16b 및 도 16c에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 제 1 Cu 확산 방지막(414)상에, 제 1층간 절연막(415)(제 1 산화막), 및, 그 개구부(415a)를 형성한다. 또한, 본 실시 형태에서도, 제 1층간 절연막(415)의 개구부(415a)의 개구 지름은, 예를 들면, 약 4 내지 100㎛ 정도로 한다. 그리고, 상기 도 16d에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 제 1층간 절연막(415)상, 및, 그 개구부(415a)에 노출한 제 1 Cu 배선부(412)상에, 제 1 Cu 배리어층(417)을 형성한다.First, in the present embodiment, the first Cu barrier film 413 is formed on the first SiO2 layer 411 in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIG. 16A above. , the first Cu wiring portion 412 , and the first Cu diffusion barrier film 414 are formed in this order. Subsequently, in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIGS. 16B and 16C, the first interlayer insulating film 415 (first oxide film), and an opening 415a thereof. Also in this embodiment, the opening diameter of the opening 415a of the first interlayer insulating film 415 is, for example, about 4 to 100 mu m. Then, in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIG. 16D, the first Cu wiring exposed on the first interlayer insulating film 415 and the opening portion 415a thereof. On the portion 412 , a first Cu barrier layer 417 is formed.

뒤이어 도 19a에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 배리어층(417)상에, 예를 들면 RF 스퍼터링법 등의 수법을 이용하여, Ar/N2 분위기중에서, 두께가 약 5 내지 50nm의 제 1 Cu 시드층(431)(예를 들면 CuMn층, CuAl층, CuMg층, CuTi층 등)을 형성한다.Subsequently, as shown in Fig. 19A, on the first Cu barrier layer 417, for example, a first Cu seed having a thickness of about 5 to 50 nm in an Ar/N2 atmosphere using a method such as RF sputtering. A layer 431 (eg, a CuMn layer, a CuAl layer, a CuMg layer, a CuTi layer, etc.) is formed.

뒤이어 도 19b에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 시드층(431)상에, 예를 들면 스퍼터링법 및 전해 도금법 등의 수법을 이용하여, Cu막(455)을 형성한다. 이 처리에 의해, 제 1층간 절연막(415)의 개구부(415a)의 영역에 Cu막(455)이 매입된다.Subsequently, as shown in FIG. 19B , a Cu film 455 is formed on the first Cu seed layer 431 by, for example, a sputtering method and an electrolytic plating method. By this process, the Cu film 455 is buried in the region of the opening 415a of the first interlayer insulating film 415 .

뒤이어 Cu막(455)이 형성된 반도체 부재를, 예를 들면 핫 플레이트나 신터 어닐 장치 등의 가열 장치를 이용하여, 질소 분위기중 또는 진공중에서, 약 100 내지 400℃에서 1 내지 60분 정도 가열한다. 이 가열처리에 의해, Cu막(455)을 죄여서 치밀한 막질의 Cu막(455)을 형성한다.Subsequently, the semiconductor member on which the Cu film 455 is formed is heated at about 100 to 400 DEG C for about 1 to 60 minutes in a nitrogen atmosphere or vacuum using a heating device such as a hot plate or a sinter annealing apparatus. By this heat treatment, the Cu film 455 is clamped to form the Cu film 455 having a dense film quality.

뒤이어 도 19c에 도시하는 바와 같이, Cu막(455), 제 1 Cu 시드층(431) 및 제 1 Cu 배리어층(417)의 불필요한 부분를 CMP법에 의해 제거한다. 구체적으로는, 제 1층간 절연막(415)이 표면에 노출할 때까지, Cu막(455)측의 표면을 CMP법으로 연마한다.Subsequently, as shown in FIG. 19C, unnecessary portions of the Cu film 455, the first Cu seed layer 431, and the first Cu barrier layer 417 are removed by the CMP method. Specifically, the surface of the Cu film 455 side is polished by the CMP method until the first interlayer insulating film 415 is exposed on the surface.

본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이 하여, 제 1 반도체 부재(430)를 제작한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 상술한 제 1 반도체 부재(430)와 마찬가지로 제 2 반도체 부재(440)를 제작한다.In the present embodiment, the first semiconductor member 430 is manufactured as described above. In addition, in the present embodiment, the second semiconductor member 440 is manufactured similarly to the above-described first semiconductor member 430 .

도 19d에, 본 실 시 형태로 제작된 제 2 반도체 부재(440)의 개략 단면도를 도시한다. 단, 본 실시 형태에서는, 제 2 반도체 부재(440)의 제작 도중에서, 제 2 층간 절연막(425)(제 2 산화막)에 개구부를 형성할 때에, 그 개구부의 개구 지름을, 도 16c에서 설명한 제 1층간 절연막(415)의 개구 지름(약 4 내지 100㎛ 정도)보다 작게 한다. 구체적으로는, 제 2 층간 절연막(425)에 개구부의 개구 지름을 약 1 내지 95㎛ 정도로 한다.19D is a schematic cross-sectional view of the second semiconductor member 440 manufactured in this embodiment. However, in the present embodiment, when forming an opening in the second interlayer insulating film 425 (second oxide film) during the fabrication of the second semiconductor member 440 , the opening diameter of the opening is the same as that described with reference to FIG. 16C . It is made smaller than the opening diameter of the interlayer insulating film 415 (about 4 to 100 mu m). Specifically, the opening diameter of the opening in the second interlayer insulating film 425 is about 1 to 95 mu m.

그 후, 상술한 바와 같이 하여 제작된 제 1 반도체 부재(430)(도 19c)와 제 2 반도체 부재(440)(도 19d)를, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로 하여 맞붙인다.Thereafter, the first semiconductor member 430 ( FIG. 19C ) and the second semiconductor member 440 ( FIG. 19D ) fabricated as described above are bonded together in the same manner as in the first embodiment.

구체적으로는, 우선, 제 1 반도체 부재(430)의 제 1 Cu 접합부(416)측의 표면, 및, 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면에 대해 환원 처리를 시행하여, 각 Cu 접합부의 표면의 산화막(산화물)을 제거하여, 각 Cu 접합부의 표면에 청정한 Cu를 노출시킨다. 또한, 이때, 환원 처리로서는, 예를 들면 포름산 등의 약액를 이용한 웨트 에칭 처리, 또는, 예를 들면 Ar, NH3, H2 등의 플라즈마를 이용한 드라이 에칭 처리가 이용된다.Specifically, first, a reduction treatment is performed on the surface of the first semiconductor member 430 on the side of the first Cu junction 416 and the surface of the second semiconductor member 440 on the side of the second Cu junction 426 . By carrying out, the oxide film (oxide) on the surface of each Cu junction is removed, and clean Cu is exposed on the surface of each Cu junction. In this case, as the reduction treatment, for example, a wet etching treatment using a chemical solution such as formic acid or a dry etching treatment using a plasma such as Ar, NH3 or H2 is used.

뒤이어 도 19e에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(430)의 제 1 Cu 접합부(416)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면을 접촉시킨다(또는 맞붙인다). 그리고, 제 1 반도체 부재(430)와 제 2 반도체 부재(440)를 맞붙인 상태에서, 예를 들면 핫 플레이트나 RTA 장치 등의 가열 장치를 이용하여 맞붙임 부재를 어닐하여, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 Cu 접합부(426)를 접합한다. 구체적으로는, 예를 들면, 대기압의 N2 분위기중, 또는, 진공중에서 약 100 내지 400℃에서 5분 내지 2시간 정도, 맞붙임 부재를 가열한다.Subsequently, as shown in FIG. 19E , the surface on the side of the first Cu junction part 416 of the first semiconductor member 430 and the surface on the side of the second Cu junction part 426 of the second semiconductor member 440 are brought into contact. (or clash). Then, in the state where the first semiconductor member 430 and the second semiconductor member 440 are bonded together, the bonding member is annealed using, for example, a heating device such as a hot plate or an RTA device, and the first Cu junction portion ( 416 and the second Cu junction 426 are bonded. Specifically, for example, the bonding member is heated in an atmospheric pressure N2 atmosphere or in a vacuum at about 100 to 400 DEG C for about 5 minutes to 2 hours.

또한, 상술한 접합 처리시에는, 각 Cu시드층중의 금속 재료(예를 들면 Mn, Mg, Ti, Al 등)가 층간 절연막(주로, 제 2 층간 절연막(425))중의 산소와 선택적으로 반응한다. 이에 의해, 제 1 반도체 부재(430)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에, 계면 Cu 배리어막(450)이 형성된다. 즉, 상기 접합 처리에 의해, 제 1 Cu 접합부(416)의 접합 계면(Sj)측의 면 영역중 제 2 Cu 접합부(426)와 접합하지 않는 면 영역을 포함하는 영역에 계면 Cu 배리어막(450)이 마련된다.In addition, in the bonding process described above, the metal material (eg, Mn, Mg, Ti, Al, etc.) in each Cu seed layer selectively reacts with oxygen in the interlayer insulating film (mainly the second interlayer insulating film 425). do. Accordingly, in the region of the junction interface Sj where the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 430 and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 440 face each other, the interface Cu barrier A film 450 is formed. That is, by the bonding process, the interfacial Cu barrier film 450 is placed in a region including a surface region not bonded to the second Cu junction 426 among the surface regions on the junction interface Sj side of the first Cu junction part 416 . ) is provided.

본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이 하여, Cu-Cu 접합 처리를 행한다. 또한, 상술한 접합 공정 이외의 반도체 장치(402)의 제조 공정은, 종래의 예를 들면 고체 촬상 장치 등의 반도체 장치의 제조 수법(예를 들면 일본 특개2007-234725호 공보 참조)과 마찬가지로 할 수 있다.In the present embodiment, Cu-Cu bonding processing is performed as described above. In addition, the manufacturing process of the semiconductor device 402 other than the above-mentioned bonding process can be carried out similarly to the conventional manufacturing method of semiconductor devices, such as a solid-state image sensor (for example, refer to Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-234725). have.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태의 반도체 장치(402)에서도, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 반도체 부재(430)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에는, 계면 Cu 배리어막(450)이 마련된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서도, 제 1의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.As described above, also in the semiconductor device 402 of the present embodiment, as in the first embodiment, the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 430 and the second semiconductor member 440 are An interface Cu barrier film 450 is provided in a region of the bonding interface Sj where the second interlayer insulating film 425 faces. Therefore, also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

또한, 본 실시 형태와 같이, Cu시드층을 마련하고, 또한 Cu시드층상에 Cu 접합부를 전해 도금법으로 형성한 경우, Cu시드층중의 Cu가, Cu 도금막의 핵이 된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, Cu 접합부 및 층간 절연막 사이의 밀착력을 향상시킬 수 있다.Further, as in the present embodiment, when a Cu seed layer is provided and Cu junctions are formed on the Cu seed layer by an electrolytic plating method, Cu in the Cu seed layer becomes the nucleus of the Cu plating film. Therefore, in this embodiment, the adhesive force between the Cu junction portion and the interlayer insulating film can be improved.

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[반도체 장치의 구성][Configuration of semiconductor device]

도 20 및 도 21에, 제 3의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 20은, 제 3의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 접합 계면 부근의 개략 단면도이고, 도 21은, 각 Cu 접합부 및 후술하는 제 2 Cu 배리어층의 계면층부 사이의 배치 관계를 도시하는 접합 계면 부근의 개략 상면도이다. 또한, 도 20 및 도 21에서는, 설명을 간략화하기 위해, 하나의 접합 계면 부근의 구성만을 도시한다. 또한, 도 20 및 도 21에 도시하는 본 실시 형태의 반도체 장치(403)에서, 도 14 및 도 15에 도시하는 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.20 and 21 show a schematic configuration of a semiconductor device according to the third embodiment. 20 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the junction interface of the semiconductor device according to the third embodiment, and FIG. 21 is a junction interface vicinity showing the arrangement relationship between each Cu junction portion and an interface layer portion of a second Cu barrier layer to be described later. is a schematic top view of In addition, in FIG. 20 and FIG. 21, in order to simplify description, only the structure of the vicinity of one bonding interface is shown. In addition, in the semiconductor device 403 of the present embodiment shown in FIGS. 20 and 21, the same components as those of the semiconductor device 401 of the first embodiment shown in FIGS. 14 and 15 are denoted by the same reference numerals. do.

반도체 장치(403)는, 도 20에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(410)(제 1 반도체부)와, 제 2 반도체 부재(460)(제 2 반도체부)를 구비한다. 또한, 본 실시 형태의 반도체 장치(403)에서의 제 1 반도체 부재(410)의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태(도 14)의 그것과 같은 구성이기 때문에, 여기서는, 제 1 반도체 부재(410)의 설명은 생략한다.As shown in FIG. 20 , the semiconductor device 403 includes a first semiconductor member 410 (a first semiconductor part) and a second semiconductor member 460 (a second semiconductor part). In addition, since the structure of the 1st semiconductor member 410 in the semiconductor device 403 of this embodiment is the same structure as that of the said 1st Embodiment (FIG. 14), here, the 1st semiconductor member 410 ) is omitted.

제 2 반도체 부재(460)는, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 확산 방지막(424), 제 2 층간 절연막(425), 제 2 Cu 접합부(426), 및, 제 2 Cu 배리어층(461)(배리어 메탈층)을 갖는다.The second semiconductor member 460 includes a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and a second Cu diffusion barrier film ( 424 ), a second interlayer insulating film 425 , a second Cu junction portion 426 , and a second Cu barrier layer 461 (barrier metal layer).

도 20와 도 14와의 비교로부터 분명한 바와 같이, 본 실시 형태의 제 2 반도체 부재(460)는, 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)에서, 계면 Cu 배리어막(428)을 생략하고, 또한, 제 2 Cu 배리어층(427)의 구성을 바꾼 것으로 된다. 그 이외의 제 2 반도체 부재(460)의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)의 대응하는 구성과 같다. 그 때문에, 여기서는, 제 2 Cu 배리어층(461)의 구성에 관해서만 설명한다.As is clear from the comparison between FIG. 20 and FIG. 14 , the second semiconductor member 460 of the present embodiment omits the interfacial Cu barrier film 428 in the second semiconductor member 420 of the first embodiment. , the configuration of the second Cu barrier layer 427 is changed. The configuration of the second semiconductor member 460 other than that is the same as the corresponding configuration of the second semiconductor member 420 of the first embodiment. Therefore, only the configuration of the second Cu barrier layer 461 will be described here.

제 2 Cu 배리어층(461)은, 도 20에 도시하는 바와 같이, 제 2 Cu 접합부(426)를 피복하도록 마련된 배리어 본체부(461a)와, 그 배리어 본체부(461a)의 접합 계면(Sj)측의 단부로부터 접합 계면(Sj)에 따라서 연재하여 형성된 계면층부(461b)(계면 배리어부)를 갖는다.The second Cu barrier layer 461 has a bonding interface Sj between the barrier body 461a provided to cover the second Cu junction 426 and the barrier body 461a, as shown in FIG. 20 . It has an interface layer part 461b (interface barrier part) formed extending along the bonding interface Sj from the side edge part.

즉, 본 실시 형태에서는, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 반도체 부재(460)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)를 배치한다. 그리고, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)가, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 층간 절연막(425)과의 대향 영역을 통하여, Cu 접합부로부터 층간 절연막에 Cu가 확산하는 것을 방지한다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, 접합시에 상정되는 최대의 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생하여도, 접합 계면(Sj)에, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 층간 절연막(425)과의 접촉 영역이 발생하지 않도록, 계면층부(461b)의 접합 계면(Sj)에 따르는 방향의 폭을 설정한다. 또한, 제 2 Cu 배리어층(461)은, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로, 예를 들면, Ti, Ta, Ru, 또는, 그들의 질화물 등으로 형성된다.That is, in the present embodiment, in the region of the junction interface Sj where the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 410 and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 460 face each other. , the interface layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461 is disposed. Then, the interface layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461 passes through a region opposite to the first Cu junction portion 416 and the second interlayer insulating film 425, and Cu diffuses from the Cu junction portion to the interlayer insulation film. to prevent Therefore, in the present embodiment, even if the maximum misalignment of the bonding assumed during bonding occurs, the contact region between the first Cu junction portion 416 and the second interlayer insulating film 425 is formed at the bonding interface Sj. The width in the direction along the bonding interface Sj of the interface layer portion 461b is set so as not to occur. The second Cu barrier layer 461 is formed of, for example, Ti, Ta, Ru, or a nitride thereof, as in the first embodiment.

[반도체 장치의 제조 수법][Method for manufacturing semiconductor device]

다음에, 본 실시 형태의 반도체 장치(403)의 제조 수법을, 도 22a 내지 도 22h를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 22a 내지 도22g에는, 각 공정에서 제작되는 반도체 부재의 Cu 접합부 부근의 개략 단면을 도시하고, 도 22h에는, 제 1 반도체 부재(410)와 제 2 반도체 부재(460)와의 접합 처리의 양상을 도시한다. 또한, 하기 설명에서, 상기 제 1의 실시 형태의 반도체 장치의 제조 수법과 같은 공정의 설명에서는, 상기 제 1의 실시 형태의 공정의 도면(도 16a 내지 도 16m)을 적절히 참조한다. 또한, 본 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 수법은, 상기 제 1의 실시 형태의 그것과(도 16a 내지 도 16f)와 마찬가지이기 때문에, 여기서는, 제 1 반도체 부재(410)의 제작 수법의 설명을 생략하고, 제 2 반도체 부재(460)의 제작 수법, 및, Cu-Cu 접합 수법에 관해 설명한다.Next, the manufacturing method of the semiconductor device 403 of this embodiment is demonstrated, referring FIGS. 22A-22H. 22A to 22G show schematic cross-sections in the vicinity of the Cu junction portion of the semiconductor member produced in each step, and FIG. 22H shows the bonding process between the first semiconductor member 410 and the second semiconductor member 460. show the aspect In addition, in the following description, in the description of the same process as the manufacturing method of the semiconductor device of the said 1st Embodiment, the figure (FIG. 16A - FIG. 16M) of the process of the said 1st Embodiment is referred suitably. In addition, since the manufacturing method of the 1st semiconductor member 410 of this embodiment is the same as that of the said 1st Embodiment (FIG. 16A - FIG. 16F), here, the manufacturing of the 1st semiconductor member 410 is the same. The description of the method is omitted, and the method for manufacturing the second semiconductor member 460 and the Cu-Cu bonding method will be described.

우선, 본 실시 형태에서는, 상기 도 16a에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 제 2 SiO2층(421)상에, 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 배선부(422), 및, 제 2 Cu 확산 방지막(424)을 이 순서로 형성한다. 뒤이어 상기 도 16b에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 제 2 Cu 확산 방지막(424)상에, 제 2 층간 절연막(425)을 형성한다.First, in the present embodiment, the second Cu barrier film 423 is formed on the second SiO2 layer 421 in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIG. 16A above. , the second Cu wiring portion 422 , and the second Cu diffusion barrier film 424 are formed in this order. Subsequently, a second interlayer insulating film 425 is formed on the second Cu diffusion barrier film 424 in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIG. 16B.

뒤이어 도 22a에 도시하는 바와 같이, 제 2 층간 절연막(425)상에 레지스트막(456)을 형성한다. 그리고, 포토리소그래피 기술을 이용하여, 레지스트막(456)에 대해 패터닝 처리를 시행하고, 제 2 Cu 배리어층(461)의 형성 영역의 레지스트막(456)을 제거하여 개구부(456a)를 형성한다. 이에 의해, 레지스트막(456)의 개구부(456a)에 제 2 층간 절연막(425)이 노출한다.Subsequently, a resist film 456 is formed on the second interlayer insulating film 425 as shown in FIG. 22A. Then, the resist film 456 is patterned using a photolithography technique, and the resist film 456 in the region where the second Cu barrier layer 461 is formed is removed to form an opening 456a. Thereby, the second interlayer insulating film 425 is exposed in the opening 456a of the resist film 456 .

뒤이어 레지스트막(456)이 형성된 반도체 부재의 개구부(456a)측의 표면에 대해, 예를 들면 종래 기지의 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용하여, 드라이 에칭 처리를 행한다. 이에 의해, 레지스트막(456)의 개구부(456a)에 노출한 제 2 층간 절연막(425)의 영역이 에칭된다. 이때, 제 2 층간 절연막(425)을, 약 10 내지 50nm 정도, 에칭하여 제거한다. 이 결과, 도 22b에 도시하는 바와 같이, 제 2 층간 절연막(425)의 표면에는, 깊이가 약 10 내지 50nm 정도의 오목부(425b)가 형성된다.Subsequently, the surface of the semiconductor member on the side of the opening 456a on which the resist film 456 is formed is dry-etched using, for example, a conventionally known magnetron etching apparatus. Accordingly, the region of the second interlayer insulating film 425 exposed to the opening 456a of the resist film 456 is etched. At this time, the second interlayer insulating film 425 is removed by etching for about 10 to 50 nm. As a result, as shown in Fig. 22B, a concave portion 425b having a depth of about 10 to 50 nm is formed on the surface of the second interlayer insulating film 425.

그 후, 에칭 처리된 면에 대해, 예를 들면 산소(O2) 플라즈마를 이용한 애싱 처리, 및, 유기 아민계의 약액를 이용한 세정 처리를 시행한다. 이에 의해, 제 2 층간 절연막(425)상에 잔류한 레지스트막(456), 및, 상기 에칭 처리에서 발생한 잔류 부착물을 제거한다.Thereafter, an ashing treatment using, for example, oxygen (O2) plasma and a cleaning treatment using an organic amine-based chemical are performed on the etched surface. Thereby, the resist film 456 remaining on the second interlayer insulating film 425 and the residual deposits generated in the etching process are removed.

뒤이어 도 22c에 도시하는 바와 같이, 재차, 제 2 Cu 확산 방지막(424)상에 레지스트막(457)을 형성한다. 그리고, 포토리소그래피 기술을 이용하여, 레지스트막(457)에 대해 패터닝 처리를 시행하고, 제 2 Cu 배리어층(461)의 배리어 본체부(461a)의 형성 영역의 레지스트막(457)을 제거하여 개구부(457a)를 형성한다. 이에 의해, 레지스트막(457)의 개구부(457a)에 제 2 층간 절연막(425)의 오목부(425b)의 저부가 노출한다.Subsequently, as shown in Fig. 22C, a resist film 457 is formed on the second Cu diffusion barrier film 424 again. Then, patterning is performed on the resist film 457 using a photolithography technique, and the resist film 457 in the area where the barrier body portion 461a of the second Cu barrier layer 461 is formed is removed to open the opening. (457a) is formed. Thereby, the bottom of the concave portion 425b of the second interlayer insulating film 425 is exposed to the opening 457a of the resist film 457 .

뒤이어 레지스트막(457)이 형성된 반도체 부재의 개구부(457a)측의 표면에 대해, 예를 들면 종래 기지의 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용하여, 드라이 에칭 처리를 행한다. 이에 의해, 레지스트막(457)의 개구부(457a)에 노출한 제 2 층간 절연막(425)의 오목부(425b)의 일부 영역이 에칭된다.Subsequently, the surface of the semiconductor member on the side of the opening 457a on which the resist film 457 is formed is dry-etched using, for example, a conventionally known magnetron type etching apparatus. As a result, a partial region of the concave portion 425b of the second interlayer insulating film 425 exposed to the opening 457a of the resist film 457 is etched.

이 에칭 처리에서는, 도 22d에 도시하는 바와 같이, 개구부(457a)의 영역의 제 2 층간 절연막(425) 및 제 2 Cu 확산 방지막(424)을 제거하여, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)에 제 2 Cu 배선부(422)를 노출시킨다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)의 개구 지름은, 예를 들면, 약 1 내지 95㎛ 정도로 한다. 또한, 이 에칭 처리에서 제거되지 않는 제 2 층간 절연막(425)의 오목부(425b)의 영역은, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)의 형성 영역이 된다.In this etching process, as shown in Fig. 22D, the second interlayer insulating film 425 and the second Cu diffusion prevention film 424 in the region of the opening 457a are removed, and the opening ( 425a), the second Cu wiring part 422 is exposed. In this embodiment, the opening diameter of the opening 425a of the second interlayer insulating film 425 is, for example, about 1 to 95 µm. Further, the region of the concave portion 425b of the second interlayer insulating film 425 that is not removed in this etching process becomes a region where the interface layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461 is formed.

그 후, 에칭 처리된 면에 대해, 예를 들면 산소(O2) 플라즈마를 이용한 애싱 처리, 및, 유기 아민계의 약액를 이용한 세정 처리를 시행한다. 이에 의해, 제 2 층간 절연막(425)상에 잔류한 레지스트막(457), 및, 상기 에칭 처리에서 발생한 잔류 부착물을 제거한다.Thereafter, an ashing treatment using, for example, oxygen (O2) plasma and a cleaning treatment using an organic amine-based chemical are performed on the etched surface. Thereby, the resist film 457 remaining on the second interlayer insulating film 425 and the residual deposits generated in the etching process are removed.

뒤이어 도 22e에 도시하는 바와 같이, 제 2 층간 절연막(425)상, 및, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)에 노출한 제 2 Cu 배선부(422)상에, Ti, Ta, Ru, 또는, 그들의 질화물로 이루어지는 제 2 Cu 배리어층(461)을 형성한다. 구체적으로는, 예를 들면 RF 스퍼터링법 등의 수법을 이용하여, Ar/N2 분위기중에서, 두께가 약 5 내지 50nm의 제 2 Cu 배리어층(461)을, 제 2 층간 절연막(425)상, 및, 제 2 Cu 배선부(422)상에 형성한다. 이 처리에 의해, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)에 노출한 제 2 Cu 배선부(422)상, 및, 제 2 층간 절연막(425)의 측면상에, 배리어 본체부(461a)가 형성된다. 또한, 이 처리에 의해, 제 2 층간 절연막(425)의 오목부(425b)상에, 계면층부(461b)가 형성된다.Subsequently, as shown in Fig. 22E, on the second interlayer insulating film 425 and on the second Cu wiring portion 422 exposed to the opening 425a of the second interlayer insulating film 425, Ti, Ta, A second Cu barrier layer 461 made of Ru or a nitride thereof is formed. Specifically, for example, using a method such as RF sputtering, in an Ar/N2 atmosphere, a second Cu barrier layer 461 having a thickness of about 5 to 50 nm is formed on the second interlayer insulating film 425, and , formed on the second Cu wiring portion 422 . By this process, on the second Cu wiring portion 422 exposed to the opening 425a of the second interlayer insulating film 425 and on the side surface of the second interlayer insulating film 425, the barrier body portion 461a is formed Further, by this process, an interface layer portion 461b is formed on the concave portion 425b of the second interlayer insulating film 425 .

뒤이어 도 22f에 도시하는 바와 같이, 제 2 Cu 배리어층(461)상에, 예를 들면 스퍼터링법 및 전해 도금법 등의 수법을 이용하여, Cu막(458)을 형성한다. 이 처리에 의해, 제 2 층간 절연막(425)의 개구부(425a)의 영역에 Cu막(458)이 매입된다.Subsequently, as shown in FIG. 22F , a Cu film 458 is formed on the second Cu barrier layer 461 by, for example, a sputtering method and an electrolytic plating method. By this process, the Cu film 458 is embedded in the region of the opening 425a of the second interlayer insulating film 425 .

뒤이어 Cu막(458)이 형성된 반도체 부재를, 예를 들면 핫 플레이트나 신터 어닐 장치 등의 가열 장치를 이용하여, 질소 분위기중 또는 진공중에서, 약 100 내지 400℃에서 1 내지 60분 정도 가열한다. 이 가열처리에 의해, Cu막(458)을 죄여서 치밀한 막질의 Cu막(458)을 형성한다.Subsequently, the semiconductor member on which the Cu film 458 is formed is heated at about 100 to 400 DEG C for about 1 to 60 minutes in a nitrogen atmosphere or vacuum using a heating apparatus such as a hot plate or a sinter annealing apparatus. By this heat treatment, the Cu film 458 is clamped to form the Cu film 458 of dense film quality.

그리고, 도 22g에 도시하는 바와 같이, Cu막(458) 및 제 2 Cu 배리어층(461)의 불필요한 부분를 화학 기계 연마(CMP)법에 의해 제거한다. 이때, 제 2 층간 절연막(425)의 오목부(425b)상에, 계면층부(461b)가 남도록, CMP법의 처리 조건를 조정한다. 구체적으로는, 제 2 층간 절연막(425)이 표면에 노출할 때까지, Cu막(458)측의 표면을 CMP법으로 연마한다. 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이 하여 제 2 반도체 부재(460)를 제작한다.Then, as shown in Fig. 22G, unnecessary portions of the Cu film 458 and the second Cu barrier layer 461 are removed by a chemical mechanical polishing (CMP) method. At this time, the processing conditions of the CMP method are adjusted so that the interface layer portion 461b remains on the concave portion 425b of the second interlayer insulating film 425 . Specifically, the surface on the Cu film 458 side is polished by the CMP method until the second interlayer insulating film 425 is exposed on the surface. In the present embodiment, the second semiconductor member 460 is manufactured as described above.

그 후, 상술한 바와 같이 하여 제작된 제 2 반도체 부재(460)(도 22g)와, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로 제작된 제 1 반도체 부재(410)(도 16f)를, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로 하여 맞붙인다.Thereafter, the second semiconductor member 460 (FIG. 22G) fabricated as described above and the first semiconductor member 410 (FIG. 16F) fabricated in the same manner as in the first embodiment are combined with the first It is pasted by carrying out similarly to embodiment.

구체적으로는, 우선, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 접합부(416)측의 표면, 및, 제 2 반도체 부재(460)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면에 대해 환원 처리를 시행하고, 각 Cu 접합부의 표면의 산화막(산화물)을 제거하여, 각 Cu 접합부의 표면에 청정한 Cu를 노출시킨다. 또한, 이때, 환원 처리로서는, 예를 들면 포름산 등의 약액를 이용한 웨트 에칭 처리, 또는, 예를 들면 Ar, NH3, H2 등의 플라즈마를 이용한 드라이 에칭 처리가 이용된다.Specifically, first, a reduction treatment is performed on the surface of the first semiconductor member 410 on the side of the first Cu junction 416 and the surface of the second semiconductor member 460 on the side of the second Cu junction 426 . and removing the oxide film (oxide) on the surface of each Cu junction to expose clean Cu on the surface of each Cu junction. In this case, as the reduction treatment, for example, a wet etching treatment using a chemical solution such as formic acid or a dry etching treatment using a plasma such as Ar, NH3 or H2 is used.

뒤이어 도 22h에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 접합부(416)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(460)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면을 접촉시킨다(또는 맞붙인다). 그리고, 제 1 반도체 부재(410)와 제 2 반도체 부재(460)를 맞붙인 상태에서, 예를 들면 핫 플레이트나 RTA 장치 등의 가열 장치를 이용하여 맞붙임 부재를 어닐하여, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 Cu 접합부(426)를 접합한다. 구체적으로는, 예를 들면, 대기압의 N2 분위기중, 또는, 진공중에서 약 100 내지 400℃에서 5분 내지 2시간 정도, 맞붙임 부재를 가열한다.Subsequently, as shown in FIG. 22H , the surface on the side of the first Cu junction part 416 of the first semiconductor member 410 and the surface on the side of the second Cu junction part 426 of the second semiconductor member 460 are brought into contact. (or clash). Then, in the state where the first semiconductor member 410 and the second semiconductor member 460 are bonded together, the bonding member is annealed using, for example, a heating device such as a hot plate or an RTA device, and the first Cu junction portion ( 416 and the second Cu junction 426 are bonded. Specifically, for example, the bonding member is heated in an atmospheric pressure N2 atmosphere or in a vacuum at about 100 to 400 DEG C for about 5 minutes to 2 hours.

또한, 이 접합 처리에 의해, 제 1 Cu 접합부(416)의 접합 계면(Sj)측의 면 영역중 제 2 Cu 접합부(426)와 접합하지 않는 면 영역을 포함하는 영역에 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)가 배치된다. 보다 구체적으로는, 도 20에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역을 포함하는 영역에 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)가 배치된다.In addition, by this bonding treatment, the second Cu barrier layer ( An interface layer portion 461b of 461 is disposed. More specifically, as shown in FIG. 20 , the second Cu barrier layer ( An interface layer portion 461b of 461 is disposed.

본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이 하여, Cu-Cu 접합 처리를 행한다. 또한, 상술한 접합 공정 이외의 반도체 장치(402)의 제조 공정은, 종래의 예를 들면 고체 촬상 장치 등의 반도체 장치의 제조 수법(예를 들면 일본 특개2007-234725호 공보 참조)과 마찬가지로 할 수 있다.In the present embodiment, Cu-Cu bonding processing is performed as described above. In addition, the manufacturing process of the semiconductor device 402 other than the above-mentioned bonding process can be carried out similarly to the conventional manufacturing method of semiconductor devices, such as a solid-state image sensor (for example, refer to Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-234725). have.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태에서도, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 반도체 부재(410)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 반도체 부재(460)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에는, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)가 마련된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서도, 제 1의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.As described above, also in this embodiment, similarly to the first embodiment, the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 410 and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 460 are ), the interfacial layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461 is provided in the region of the bonding interface Sj opposite to each other. Therefore, also in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

<<4. 각종 변형례 및 참고예>><<4. Various modifications and reference examples>>

다음에, 상술한 각종 실시 형태의 반도체 장치의 변형례를 설명한다.Next, modified examples of the semiconductor devices of the various embodiments described above will be described.

[변형례 1][Variation example 1]

상기 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)(도 14)에서는, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 Cu 배선부(422)상에, 제 2 Cu 확산 방지막(424), 제 2 층간 절연막(425), 및, 계면 Cu 배리어막(428)을 마련하는 구성례를 설명하였지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 2 Cu 배선부(422)상에, 계면 Cu 배리어막만을 마련하는 구성으로 하여도 좋다.In the semiconductor device 401 (FIG. 14) of the first embodiment, on the second Cu wiring portion 422 of the second semiconductor member 420, the second Cu diffusion prevention film 424 and the second interlayer insulating film (425) and the configuration example in which the interface Cu barrier film 428 is provided have been described, but the present invention is not limited to this. For example, it may be configured such that only an interface Cu barrier film is provided on the second Cu wiring portion 422 .

도 23에, 그 한 예(변형례 1)를 도시한다. 도 23은, 변형례 1의 반도체 장치(404)의 접합 계면(Sj) 부근의 개략 구성 단면도이다. 또한, 변형례 1의 반도체 장치(404)에서, 도 14에 도시하는 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.Fig. 23 shows one example (modified example 1). 23 is a schematic structural cross-sectional view of the vicinity of the junction interface Sj of the semiconductor device 404 of Modification Example 1. As shown in FIG. In addition, in the semiconductor device 404 of the modification example 1, the same code|symbol is attached|subjected and shown to the same structure as the semiconductor device 401 of 1st Embodiment shown in FIG.

이 예의 반도체 장치(404)는, 도 23에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(410)와, 제 2 반도체 부재(470)를 구비한다. 또한, 본 변형례 1의 반도체 장치(404)에서의 제 1 반도체 부재(410)의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태(도 14)의 그것과 같은 구성이기 때문에, 여기서는, 제 1 반도체 부재(410)의 설명은 생략한다.The semiconductor device 404 of this example is provided with the 1st semiconductor member 410 and the 2nd semiconductor member 470, as shown in FIG. In addition, since the structure of the 1st semiconductor member 410 in the semiconductor device 404 of this modification 1 is the same structure as that of the said 1st Embodiment (FIG. 14), here, the 1st semiconductor member ( 410) will be omitted.

제 2 반도체 부재(470)는, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 계면 Cu 배리어막(471)(계면 배리어막 또는 계면 배리어부), 제 2 Cu 접합부(426), 및, 제 2 Cu 배리어층(427)을 갖는다. 또한, 이 예의 제 2 반도체 부재(470)에서, 계면 Cu 배리어막(471) 이외의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)의 대응하는 구성과 같은 구성이다.The second semiconductor member 470 includes a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and an interface Cu barrier film 471 . ) (interface barrier film or interface barrier portion), a second Cu junction portion 426 , and a second Cu barrier layer 427 . In the second semiconductor member 470 of this example, the configuration other than the interfacial Cu barrier film 471 is the same as the corresponding configuration of the second semiconductor member 420 of the first embodiment.

계면 Cu 배리어막(471)(Cu 확산 방지막)은, 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422) 및 제 2 Cu 배리어막(423)상에 마련되고, 또한, 제 2 Cu 배리어층(427)의 측부를 덮도록 마련된다. 그 때문에, 이 예에서는, 계면 Cu 배리어막(471)은, Cu 접합부로부터 층간 절연막으로의 Cu의 확산을 방지할 뿐만 아니라, 상기 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 Cu 확산 방지막(424) 및 제 2 층간 절연막(425)과 같은 역할도 겸한다.An interfacial Cu barrier film 471 (Cu diffusion prevention film) is provided on the second SiO2 layer 421, the second Cu wiring portion 422, and the second Cu barrier film 423, and further, a second Cu barrier film It is provided to cover the side of the layer 427 . Therefore, in this example, the interfacial Cu barrier film 471 not only prevents diffusion of Cu from the Cu junction portion to the interlayer insulating film, but also the second Cu of the second semiconductor member 420 of the first embodiment. It also serves as the diffusion barrier film 424 and the second interlayer insulating film 425 .

또한, 계면 Cu 배리어막(471)은, 상기 제 1의 실시 형태의 계면 Cu 배리어막(428)과 마찬가지로, 예를 들면, SiN, SiON, SiCN, 유기계 수지 등의 재료로 형성할 수 있다.In addition, the interfacial Cu barrier film 471 can be formed of, for example, SiN, SiON, SiCN, an organic resin, or the like, similarly to the interfacial Cu barrier film 428 of the first embodiment.

이 예의 제 2 반도체 부재(470)는, 예를 들면, 다음과 같이 하여 제작할 수 있다. 우선, 상기 도 16a에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 제 2 SiO2층(421)상에, 제 2 Cu 배리어막(423), 및, 제 2 Cu 배선부(422)를 이 순서로 형성한다. 뒤이어 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422) 및 제 2 Cu 배리어막(423)상에, 두께가 약 5 내지 500nm의 계면 Cu 배리어막(471)을 형성한다.The second semiconductor member 470 of this example can be manufactured as follows, for example. First, in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIG. 16A , the second Cu barrier film 423 and the second Cu barrier film 423 on the second SiO2 layer 421 are The Cu wiring portion 422 is formed in this order. Subsequently, on the second SiO2 layer 421, the second Cu wiring portion 422, and the second Cu barrier film 423, an interfacial Cu barrier film 471 having a thickness of about 5 to 500 nm is formed.

뒤이어 도 24에 도시하는 바와 같이, 계면 Cu 배리어막(471)상에 레지스트막(459)을 형성한다. 그 후, 포토리소그래피 기술을 이용하여, 레지스트막(459)에 대해 패터닝 처리를 시행하고, 제 2 Cu 접합부(426)의 형성 영역의 레지스트막(459)을 제거하여 개구부(459a)를 형성한다. 이에 의해, 레지스트막(459)의 개구부(459a)에 계면 Cu 배리어막(471)이 노출한다. 그 후는, 상기 도 16i 내지 도 16l에서 설명한 상기 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 이 예의 제 2 반도체 부재(470)를 제작한다.Subsequently, as shown in FIG. 24, a resist film 459 is formed on the interface Cu barrier film 471. As shown in FIG. Thereafter, a patterning process is performed on the resist film 459 using a photolithography technique, and the resist film 459 in the region where the second Cu junction portion 426 is formed is removed to form an opening 459a. Thereby, the interface Cu barrier film 471 is exposed in the opening 459a of the resist film 459 . Thereafter, the second semiconductor member 470 of this example is manufactured in the same manner as in the manufacturing process of the second semiconductor member 420 of the first embodiment described with reference to FIGS. 16I to 16L.

이 예의 구성에서는, 제 1 Cu 접합부(416)의 접합 계면(Sj)측의 면 영역중 제 2 Cu 접합부(426)와 접합하지 않는 면 영역은, 계면 Cu 배리어막(471)과 접촉한 상태가 된다. 그 때문에, 이 예의 구성에서도, 각 Cu 접합부의 Cu가 외부의 산화막으로 확산하는 일이 없기 때문에, 제 1의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.In the configuration of this example, among the surface regions on the junction interface Sj side of the first Cu junction portion 416 , the surface region not joined to the second Cu junction portion 426 is in contact with the interface Cu barrier film 471 . do. Therefore, even in the configuration of this example, since Cu at each Cu junction does not diffuse into the external oxide film, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

[변형례 2][Variation 2]

상기 제 2의 실시 형태에서는, 제 1 반도체 부재(430) 및 제 2 반도체 부재(440)의 어느 것에도, Cu시드층을 마련하는 예(도 17 참조)를 설명하였지만, 본 개시는 이것으로 한정되지 않는다. 적어도, Cu 접합부의 접합측의 표면 면적이 큰 편의 반도체 부재에 Cu시드층을 마련하면 좋다. 예를 들면, 도 17에 도시하는 반도체 장치(402)에서는, 제 1 반도체 부재(430)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 1 Cu 배리어층(417)과의 사이에만 Cu시드층을 마련하면 좋다.In the second embodiment, an example in which a Cu seed layer is provided in either of the first semiconductor member 430 and the second semiconductor member 440 (see FIG. 17 ) has been described, but the present disclosure is limited to this doesn't happen At least, the Cu seed layer may be provided on a semiconductor member having a larger surface area on the junction side of the Cu junction portion. For example, in the semiconductor device 402 shown in FIG. 17 , a Cu seed layer is provided only between the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 430 and the first Cu barrier layer 417 . good to do

이 경우에도, 접합시의 어닐 처리에 의해, 제 1 반도체 부재(430)의 Cu시드층중의 예를 들면 Mn, Mg, Ti, Al 등의 금속 재료가, 접합 계면(Sj)을 끼우고 대향하는 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 층간 절연막(425)중의 산소와 반응한다. 그 결과, 이 예에서도, 상기 제 2의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 반도체 부재(430)의 제 1 Cu 접합부(416)와, 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에 계면 배리어막이 형성되고, 제 1의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.Also in this case, the metal material such as Mn, Mg, Ti, or Al in the Cu seed layer of the first semiconductor member 430 opposes across the bonding interface Sj by the annealing treatment at the time of bonding. reacts with oxygen in the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 440 . As a result, also in this example, similarly to the second embodiment, the first Cu junction portion 416 of the first semiconductor member 430 and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 440 face each other. The interface barrier film is formed in the region of the bonding interface Sj to be used, and the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

[변형례 3][Variation example 3]

상기 제 3의 실시 형태에서는, 제 2 반도체 부재(460)에서, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)를 제 2 층간 절연막(425)의 접합측 표면에 매립하도록 형성하는 예를 설명하였지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 계면층부(461b)를, 제 2 층간 절연막(425)의 접합측 표면상에 마련하는 구성으로 하여도 좋다.In the third embodiment, in the second semiconductor member 460, the interface layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461 is formed so as to be buried in the bonding-side surface of the second interlayer insulating film 425. Although described, the present invention is not limited thereto. For example, the interface layer portion 461b may be provided on the bonding-side surface of the second interlayer insulating film 425 .

도 25에, 그 한 예(변형례 3)를 도시한다. 도 25은, 변형례 3의 반도체 장치(405)의 접합 계면(Sj) 부근의 개략 구성 단면도이다. 또한, 도 25에 도시하는 이 예의 반도체 장치(405)에서, 도 20에 도시하는 제 3의 실시 형태의 반도체 장치(403)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.Fig. 25 shows one example (modified example 3). 25 is a schematic structural cross-sectional view of the vicinity of the junction interface Sj of the semiconductor device 405 of Modification Example 3. As shown in FIG. In addition, in the semiconductor device 405 of this example shown in FIG. 25, the same code|symbol is attached|subjected to the same structure as the semiconductor device 403 of the 3rd embodiment shown in FIG.

이 예의 반도체 장치(405)는, 도 25에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(410)와, 제 2 반도체 부재(480)를 구비한다. 또한, 본 변형례의 반도체 장치(405)에서의 제 1 반도체 부재(410)의 구성은, 상기 제 3의 실시 형태(도 20)의 그것과 같은 구성이기 때문에, 여기서는, 제 1 반도체 부재(410)의 설명은 생략한다.The semiconductor device 405 of this example includes a first semiconductor member 410 and a second semiconductor member 480 as shown in FIG. 25 . In addition, since the structure of the 1st semiconductor member 410 in the semiconductor device 405 of this modification is the same structure as that of the said 3rd Embodiment (FIG. 20), here, the 1st semiconductor member 410 ) is omitted.

제 2 반도체 부재(480)는, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 확산 방지막(424), 제 2 층간 절연막(481), 제 2 Cu 접합부(426), 제 2 Cu 배리어층(461), 및, 계면 Cu 배리어막(482)을 갖는다.The second semiconductor member 480 includes a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO 2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and a second Cu diffusion barrier film ( 424 , a second interlayer insulating film 481 , a second Cu junction portion 426 , a second Cu barrier layer 461 , and an interfacial Cu barrier film 482 .

또한, 이 예의 제 2 반도체 부재(480)에서, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 및, 제 2 Cu 확산 방지막(424)의 구성은, 상기 제 3의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(460)의 대응하는 구성과 같은 구성이다. 또한, 이 예의 제 2 Cu 접합부(426), 및, 제 2 Cu 배리어층(461)의 구성은, 상기 제 3의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(460)의 대응하는 구성과 같은 구성이다.Further, in the second semiconductor member 480 of this example, a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO 2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and The configuration of the second Cu diffusion barrier film 424 is the same as the corresponding configuration of the second semiconductor member 460 of the third embodiment. The configurations of the second Cu junction portion 426 and the second Cu barrier layer 461 of this example are the same as the corresponding configurations of the second semiconductor member 460 of the third embodiment.

본 변형례에서는, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)는, 제 2 층간 절연막(481)의 접합측 표면상에 마련된다. 그 때문에, 제 2 층간 절연막(481)의 표면에는, 상기 제 3의 실시 형태와 같이 오목부(425b)는 형성되지 않는다.In this modification, the interface layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461 is provided on the bonding-side surface of the second interlayer insulating film 481 . Therefore, the concave portion 425b is not formed on the surface of the second interlayer insulating film 481 as in the third embodiment.

또한, 이 예에서는, 계면 Cu 배리어막(482)이, 제 2 층간 절연막(481)의 표면상에 형성되고, 또한, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)의 측부(또는 측면)를 덮도록 마련된다. 또한, 이때, 계면 Cu 배리어막(482)의 막두께와 계면층부(461b)의 막두께를 개략 같게 하여, 계면 Cu 배리어막(482)의 접합 계면(Sj)측의 표면과, 계면층부(461b)의 접합 계면(Sj)측의 표면이 개략 같은면이 되도록 한다. 또한, 계면 Cu 배리어막(482)은, 상기 제 1의 실시 형태의 계면 Cu 배리어막(428)과 마찬가지로, 예를 들면, SiN, SiON, SiCN, 유기계 수지 등의 재료로 형성할 수 있다.Incidentally, in this example, an interfacial Cu barrier film 482 is formed on the surface of the second interlayer insulating film 481 , and the side (or side surface) of the interfacial layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461 . ) to cover the Further, at this time, the thickness of the interface Cu barrier film 482 and the thickness of the interface layer portion 461b are approximately equal to the surface of the interface Cu barrier film 482 on the bonding interface Sj side, and the interface layer portion 461b. ) so that the surface on the side of the bonding interface (Sj) is substantially the same. In addition, the interfacial Cu barrier film 482 can be formed of, for example, SiN, SiON, SiCN, an organic resin, or the like, similarly to the interfacial Cu barrier film 428 of the first embodiment.

이 예에서는, 접합 계면(Sj)에서, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 Cu 접합부(426)와의 접합 영역 이외의 영역에서는, 제 1 Cu 접합부(416)는, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b) 및/또는 계면 Cu 배리어막(482)과 접촉한 상태가 된다. 그 때문에, 이 예의 구성에서도, 각 Cu 접합부의 Cu가 층간 절연막으로 확산하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제 1의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.In this example, in a region other than the junction region between the first Cu junction part 416 and the second Cu junction part 426 at the junction interface Sj, the first Cu junction part 416 is the second Cu barrier layer 461 . ) in contact with the interface layer portion 461b and/or the interface Cu barrier film 482 . Therefore, even in the configuration of this example, since it is possible to prevent diffusion of Cu at the Cu junctions into the interlayer insulating film, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

또한, 이 예에서는, 계면 Cu 배리어막(482)을 마련하지 않는 구성으로 하여도 좋다. 이 경우, 제 2 Cu 배리어층(461)의 계면층부(461b)의 측부의 주위에는 공극이 형성되는데, 이 공극에 의해, 각 Cu 접합부의 Cu가 층간 절연막으로 확산하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 제 1의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다. 단, 접합 계면(Sj)의 접합 강도의 관점에서는, 도 25에 도시하는 바와 같이, 계면층부(461b)의 측부를 덮도록 계면 Cu 배리어막(482)을 마련하는 것이 바람직하다.In addition, in this example, it is good also as a structure which does not provide the interface Cu barrier film 482. In this case, voids are formed around the side of the interface layer portion 461b of the second Cu barrier layer 461, and the voids prevent Cu from each Cu junction portion from diffusing into the interlayer insulating film. The same effect as that of the first embodiment can be obtained. However, from the viewpoint of the bonding strength of the bonding interface Sj, it is preferable to provide the interface Cu barrier film 482 so as to cover the side portion of the interface layer portion 461b as shown in FIG. 25 .

[변형례 4][Variation 4]

상기 각종 실시 형태 및 각종 변형례에서는, 각 접합부의 전극막을 Cu막으로 구성하는 예를 설명하였지만, 본 개시는 이것으로 한정되지 않는다. 접합부를, 예를 들면, Al, W, Ti, TiN, Ta, TaN, Ru 등으로 형성된 금속막, 또는, 이들의 적층막으로 구성하고 있어도 좋다.In the above various embodiments and various modifications, examples of configuring the electrode film of each joint portion with the Cu film have been described, but the present disclosure is not limited thereto. The joint portion may be formed of, for example, a metal film formed of Al, W, Ti, TiN, Ta, TaN, Ru, or the like, or a laminated film of these.

예를 들면, 상기 제 1의 실시 형태에서, 접합부의 전극 재료로서 Al(알루미늄)을 이용할 수 있다. 이 경우에는, 계면 Cu 배리어막(428)을, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로, 예를 들면, SiN, SiON, SiCN, 수지 등의 재료로 형성할 수 있다. 또한, 이 경우, Al 접합부를 피복하는 메탈 배리어층은, Al 접합부측부터 Ti막 및 TiN막을 이 순서로 적층한 다층막(Ti/TiN 적층막)으로 구성하는 것이 바람직하다.For example, in the first embodiment, Al (aluminum) can be used as the electrode material for the joint portion. In this case, the interfacial Cu barrier film 428 can be formed of, for example, SiN, SiON, SiCN, resin, or the like, as in the first embodiment. In this case, the metal barrier layer covering the Al junction is preferably formed of a multilayer film (Ti/TiN lamination film) in which a Ti film and a TiN film are laminated in this order from the Al junction side.

또한, 예를 들면, 상기 제 2의 실시 형태의 구성에서도, 접합부의 전극 재료로서 Al을 이용할 수 있다. 단, 이 경우에는, Al은 산소와 반응하기 쉬운 재료이기 때문에, 계면 배리어막을 생성하기 위한 시드층(Cu시드층)을 마련할 필요가 없다.In addition, for example, also in the structure of the said 2nd embodiment, Al can be used as an electrode material of a junction part. However, in this case, since Al is a material that easily reacts with oxygen, it is not necessary to provide a seed layer (Cu seed layer) for forming the interface barrier film.

여기서, 도 26에, 상기 제 2의 실시 형태의 구성에서, 접합부를 Al로 형성한 경우의 반도체 장치의 접합 계면(Sj) 부근의 개략 구성 단면을 도시한다. 또한, 도 26에서는, 설명을 간략화하기 위해, Al 접합부 부근의 구성만을 도시하고, 배선부의 구성은 생략한다. 또한, 도 26에 도시하는 반도체 장치(406)에서, 도 17에 도시하는 제 2의 실시 형태의 반도체 장치(402)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.Here, Fig. 26 shows a schematic structural cross section of the vicinity of the junction interface Sj of the semiconductor device in the case where the junction portion is formed of Al in the configuration of the second embodiment. In addition, in FIG. 26, in order to simplify description, only the structure of Al junction part vicinity is shown, and the structure of a wiring part is abbreviate|omitted. In addition, in the semiconductor device 406 shown in FIG. 26, the same code|symbol is attached|subjected and shown to the same structure as the semiconductor device 402 of the 2nd Embodiment shown in FIG.

이 예의 반도체 장치(406)는, 도 26에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(491)와, 제 2 반도체 부재(492)와, 계면 배리어막(497)을 구비한다. 제 1 반도체 부재(491)는, 제 1층간 절연막(415)과, 그 접합측 표면에 매립하도록 하여 형성된 제 1 Al 접합부(493)와, 제 1층간 절연막(415) 및 제 1 Al 접합부(493) 사이에 마련된 제 1 배리어 메탈층(494)을 갖는다. 또한, 제 2 반도체 부재(492)는, 제 2 층간 절연막(425)과, 그 접합측 표면에 매립하도록 하여 형성된 제 2 Al 접합부(495)와, 제 2 층간 절연막(425) 및 제 2 Al 접합부(495) 사이에 마련된 제 2 배리어 메탈층(496)을 갖는다.As shown in FIG. 26 , the semiconductor device 406 of this example includes a first semiconductor member 491 , a second semiconductor member 492 , and an interface barrier film 497 . The first semiconductor member 491 includes a first interlayer insulating film 415 , a first Al junction portion 493 formed to be embedded in the junction side surface thereof, a first interlayer insulating film 415 , and a first Al junction portion 493 . ) and a first barrier metal layer 494 provided between them. Further, the second semiconductor member 492 includes a second interlayer insulating film 425, a second Al junction portion 495 formed so as to be buried in the junction-side surface thereof, and a second interlayer insulating film 425 and a second Al junction portion. A second barrier metal layer 496 is provided between 495 .

그리고, 도 26에 도시하는 변형예에서도, 제 1 반도체 부재(491)와 제 2 반도체 부재(492)와의 접합시에 행하는 어닐 처리에 의해, 제 1 Al 접합부(493) 내의 Al의 일부가, 접합 계면(Sj)을 끼우고 대향하는 제 2 반도체 부재(492)의 제 2 층간 절연막(425) 중의 산소와 반응한다. 그 결과, 제 1 Al 접합부(493)와, 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에는, 계면 배리어막(497)이 형성된다. 그 때문에, 이 구성례에서도, 제 1의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 반도체 부재(491) 및 제 2 반도체 부재(492) 사이의 접합 강도를 증대시킬 수 있고, 보다 신뢰성이 높은 접합 계면을 갖는 반도체 장치(406)를 얻을 수 있다.And also in the modification shown in FIG. 26, part of Al in the 1st Al junction part 493 is joined by the annealing process performed at the time of joining the 1st semiconductor member 491 and the 2nd semiconductor member 492. It reacts with oxygen in the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 492 that faces the interface Sj. As a result, the interface barrier film 497 is formed in the region of the junction interface Sj where the first Al junction portion 493 and the second interlayer insulating film 425 face each other. Therefore, also in this structural example, similarly to the first embodiment, the bonding strength between the first semiconductor member 491 and the second semiconductor member 492 can be increased, and the semiconductor having a more reliable bonding interface. A device 406 can be obtained.

또한, 예를 들면, 상기 제 1의 실시 형태에서, 접합부의 전극 재료로서 예를 들면 W(텅스텐)를 이용할 수 있다. 이 경우에는, 계면 Cu 배리어막(428)을, 상기 제 1의 실시 형태와 마찬가지로, 예를 들면, SiN, SiON, SiCN, 수지 등의 재료로 형성할 수 있다. 또한, 이 경우, W 접합부를 피복하는 메탈 배리어층은, W 접합부측부터 Ti막 및 TiN막을 이 순서로 적층한 다층막(Ti/TiN 적층막)으로 구성하는 것이 바람직하다. 또한, W는 산소와 반응하기 어려운(계면 배리어막을 자기 생성하기 어려운) 금속 재료이기 때문에, 상기 제 2의 실시 형태의 구성의 접합부에 W를 이용하는 것은 곤란하다.Moreover, for example, W (tungsten) can be used as an electrode material of a junction part in the said 1st Embodiment. In this case, the interfacial Cu barrier film 428 can be formed of, for example, SiN, SiON, SiCN, resin, or the like, as in the first embodiment. In this case, the metal barrier layer covering the W junction is preferably formed of a multilayer film (Ti/TiN laminated film) in which a Ti film and a TiN film are laminated in this order from the W junction side. In addition, since W is a metal material that does not easily react with oxygen (it is difficult to self-generate an interface barrier film), it is difficult to use W for the junction portion of the configuration of the second embodiment.

[변형예 5][Modified Example 5]

상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예에서는, 신호가 공급되는 금속막끼리를, 접합 계면(Sj)에서 접합하는 예를 설명 하였지만, 본 개시는 이것으로 한정되지 않는다. 신호가 공급되지 않는 금속막끼리를 접합 계면(Sj)에서 접합하는 경우도, 상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예에서 설명한 Cu-Cu 접합 기술을 적용할 수 있다.In the above various embodiments and various modifications, examples of bonding the metal films to which signals are supplied at the bonding interface Sj have been described, but the present disclosure is not limited thereto. The Cu-Cu bonding technique described in the above various embodiments and various modifications can also be applied to the case where the metal films to which signals are not supplied are bonded at the bonding interface Sj.

예를 들면, 더미 전극끼리를 접합하는 경우에도, 상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예에서 설명한 Cu-Cu 접합 기술을 적용할 수 있다. 또한, 예를 들면, 고체 촬상 소자에서, 센서부와 로직 회로부와의 사이에서 금속막끼리를 접합하여, 차광막을 형성하는 경우에도, 상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예에서 설명한 Cu-Cu 접합 기술을 적용할 수 있다.For example, even when bonding dummy electrodes to each other, the Cu-Cu bonding technique described in the above various embodiments and various modifications can be applied. For example, in a solid-state imaging device, even when metal films are joined between a sensor unit and a logic circuit unit to form a light-shielding film, the Cu-Cu bonding technique described in the above various embodiments and various modifications can be applied. can be applied.

[참고예 1][Reference Example 1]

상기 제 2의 실시 형태에서는, 제 1 Cu 접합부(416)의 접합 계면(Sj)측 표면의 치수(표면 면적)와, 제 2 Cu 접합부(426)의 그것이 다른 예를 설명하였다. 그러나, 상기 제 2의 실시 형태에서 설명한 Cu-Cu 접합 기술은, 제 1 Cu 접합부의 접합 계면(Sj)측의 표면 형상 및 치수와, 제 2 Cu 접합부의 그들이 같은 반도체 장치에도 적용 가능하다.In the second embodiment, an example in which the dimension (surface area) of the surface of the first Cu junction part 416 on the junction interface Sj side is different from that of the second Cu junction part 426 has been described. However, the Cu-Cu bonding technique described in the second embodiment can be applied to a semiconductor device in which the surface shape and dimensions of the first Cu junction portion on the junction interface (Sj) side are the same as those of the second Cu junction portion.

도 27에, 그 한 예, 즉 참고예 1을 도시한다. 또한, 도 27은, 이 예의 반도체 장치(500)의 접합 계면(Sj) 부근의 개략 구성 단면도이다. 또한, 도 27에 도시하는 참고예의 반도체 장치(500)에서, 도 17에 도시하는 제 2의 실시 형태의 반도체 장치(402)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.Fig. 27 shows an example thereof, that is, Reference Example 1. 27 is a schematic structural cross-sectional view of the vicinity of the junction interface Sj of the semiconductor device 500 of this example. In addition, in the semiconductor device 500 of the reference example shown in FIG. 27, the same code|symbol is attached|subjected to the same structure as the semiconductor device 402 of the 2nd Embodiment shown in FIG.

이 참고예의 반도체 장치(500)는, 도 27에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(501)와, 제 2 반도체 부재(440)와, 계면 Cu 배리어막(505)을 구비한다. 또한, 이 예의 반도체 장치(500)에서의 제 2 반도체 부재(440)의 구성은, 도 17을 참조로 설명된 상기 제 2의 실시 형태의 그것과 같은 구성이기 때문에, 여기서는, 제 2 반도체 부재(440)의 설명은 생략한다.As shown in FIG. 27 , the semiconductor device 500 of this reference example includes a first semiconductor member 501 , a second semiconductor member 440 , and an interface Cu barrier film 505 . In addition, since the configuration of the second semiconductor member 440 in the semiconductor device 500 of this example is the same as that of the second embodiment described with reference to FIG. 17, here, the second semiconductor member ( 440) will be omitted.

제 1 반도체 부재(501)는, 제 1 반도체 기판(도시 생략), 제 1 SiO2층(411), 제 1 Cu 배선부(412), 제 1 Cu 배리어막(413), 제 1 Cu 확산 방지막(414), 제 1층간 절연막(415), 제 1 Cu 접합부(502), 제 1 Cu 배리어층(503), 및, 제 1 Cu 시드층(504)을 갖는다.The first semiconductor member 501 includes a first semiconductor substrate (not shown), a first SiO 2 layer 411 , a first Cu wiring portion 412 , a first Cu barrier film 413 , and a first Cu diffusion barrier film. 414 , a first interlayer insulating film 415 , a first Cu junction portion 502 , a first Cu barrier layer 503 , and a first Cu seed layer 504 .

또한, 이 예에서는, 제 1 Cu 접합부(502)의 접합 계면(Sj)측의 표면 형상 및 치수를, 제 2 Cu 접합부(426)의 그것들과 같게 한다. 그 이외의 제 1 반도체 부재(501)의 구성은, 상기 제 2의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(430)의 대응하는 구성과 같은 구성이다.In addition, in this example, the surface shape and size of the bonding interface Sj side of the 1st Cu junction part 502 are made to be the same as those of the 2nd Cu junction part 426. The configuration of the first semiconductor member 501 other than that is the same as the corresponding configuration of the first semiconductor member 430 of the second embodiment.

그리고, 이 예에서도, 상기 제 2의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 반도체 부재(501)의 제 1 Cu 접합부(502)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(440)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면을 접합함에 의해, 반도체 장치(500)가 제작된다. 이 때, 양 Cu 접합부 사이에, 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생하면, 접합시의 어닐 처리에 의해, 각 Cu시드층 중의 예를 들면 Mn, Mg, Ti, Al 등의 금속 재료가 접합 계면(Sj)을 끼우고 대향하는 층간 절연막의 산소와 선택적으로 반응한다. 이 결과, 도 27에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 접합부(502)와 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역, 및, 제 2 Cu 접합부(426)와 제 1층간 절연막(415)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에 각각, 계면 Cu 배리어막(505)이 형성된다.Also in this example, similarly to the second embodiment, the first Cu junction portion 502 side surface of the first semiconductor member 501 and the second Cu junction portion 426 of the second semiconductor member 440 are By joining the side surfaces, the semiconductor device 500 is manufactured. At this time, if a misalignment of bonding alignment occurs between both Cu junctions, the metal material in each Cu seed layer, for example, Mn, Mg, Ti, or Al, forms the bonding interface Sj by annealing at the time of bonding. It selectively reacts with oxygen in the interlayer insulating film that is sandwiched and opposed. As a result, as shown in FIG. 27 , the region of the junction interface Sj where the first Cu junction portion 502 and the second interlayer insulating film 425 face each other, and between the second Cu junction portion 426 and the first layer An interface Cu barrier film 505 is formed in each region of the bonding interface Sj where the insulating film 415 faces each other.

상술한 바와 같이, 이 예의 반도체 장치(500)에서도, 한쪽의 반도체 부재의 Cu 접합부와, 다른쪽의 반도체 부재의 층간 절연막이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에는, 계면 Cu 배리어막(505)이 마련된다. 그 때문에, 이 예에서도, 제 2의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.As described above, also in the semiconductor device 500 of this example, in the region of the junction interface Sj where the Cu junction portion of one semiconductor member and the interlayer insulating film of the other semiconductor member face each other, the interface Cu barrier film 505 is formed. this is provided Therefore, also in this example, the same effect as that of the second embodiment can be obtained.

[참고예 2][Reference Example 2]

상기 참고예 1에서는, 제 1 Cu 접합부의 접합 계면(Sj)측의 표면 형상 및 치수와, 제 2 Cu 접합부의 그들이 같은 반도체 장치에, 상기 제 2의 실시 형태에서 설명한 Cu-Cu 접합 기술을 적용하는 예를 설명하였다. 여기서는, 참고예 1의 반도체 장치(500)에 또한, 상기 제 1의 실시 형태에서 설명한 Cu-Cu 접합 기술을 조합한 구성례를 설명한다.In Reference Example 1, the Cu-Cu bonding technique described in the second embodiment is applied to a semiconductor device in which the surface shape and dimensions of the junction interface (Sj) side of the first Cu junction are the same as those of the second Cu junction. An example has been described. Here, a configuration example in which the semiconductor device 500 of Reference Example 1 is further combined with the Cu-Cu bonding technique described in the first embodiment will be described.

도 28에, 그 한 예, 즉 참고예 2를 도시한다. 또한, 도 28은, 이 예의 반도체 장치(510)의 접합 계면(Sj) 부근의 개략 구성 단면도이다. 또한, 도 28에 도시하는 이 예의 반도체 장치(510)에서, 도 27에 도시하는 참고예 1의 반도체 장치(500)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.Fig. 28 shows an example thereof, that is, Reference Example 2. 28 is a schematic structural cross-sectional view of the vicinity of the junction interface Sj of the semiconductor device 510 of this example. In addition, in the semiconductor device 510 of this example shown in FIG. 28, the same structure as the semiconductor device 500 of Reference Example 1 shown in FIG. 27 is attached|subjected and shown with the same code|symbol.

이 예의 반도체 장치(510)는, 도 28에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(501)와, 제 2 반도체 부재(520)와, 제 1 계면 Cu 배리어막(521)을 구비한다. 또한, 이 예의 반도체 장치(510)에서의 제 1 반도체 부재(501)의 구성은, 상기 참고예 1(도 27)의 그것과 같은 구성이기 때문에, 여기서는, 제 1 반도체 부재(501)의 설명은 생략한다.As shown in FIG. 28 , the semiconductor device 510 of this example includes a first semiconductor member 501 , a second semiconductor member 520 , and a first interface Cu barrier film 521 . In addition, since the structure of the 1st semiconductor member 501 in the semiconductor device 510 of this example is the same structure as that of the said Reference Example 1 (FIG. 27), the description of the 1st semiconductor member 501 here is omit

제 2 반도체 부재(520)는, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 확산 방지막(424), 제 2 층간 절연막(425), 제 2 Cu 접합부(426), 제 2 Cu 배리어층(427), 및, 제 2 Cu 시드층(441)을 갖는다. 또한, 제 2 반도체 부재(520)는, 제 2 계면 Cu 배리어막(522)을 갖는다.The second semiconductor member 520 includes a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO 2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and a second Cu diffusion barrier film. 424 , a second interlayer insulating film 425 , a second Cu junction portion 426 , a second Cu barrier layer 427 , and a second Cu seed layer 441 . In addition, the second semiconductor member 520 includes a second interface Cu barrier film 522 .

도 28과 도 27의 비교로부터 분명한 바와 같이, 이 예의 제 2 반도체 부재(520)는, 상기 참고예 1의 제 2 반도체 부재(440)에서, 제 2 층간 절연막(425)상에 제 2 계면 Cu 배리어막(522)을 마련한 구성이다. 또한, 이 예에서는, 제 2 Cu 접합부(426)의 접합 계면(Sj)측의 표면과, 제 2 계면 Cu 배리어막(522)의 표면이 개략 같은 면이 되도록, 제 2 계면 Cu 배리어막(522)을 형성한다. 또한, 제 2 계면 Cu 배리어막(522) 이외의 제 2 반도체 부재(520)의 구성은, 상기 참고예 1의 제 2 반도체 부재(440)의 대응하는 구성과 같다.As is clear from the comparison of Figs. 28 and 27, the second semiconductor member 520 of this example is the second interface Cu on the second interlayer insulating film 425 in the second semiconductor member 440 of the reference example 1 above. It has a structure in which the barrier film 522 is provided. In this example, the second interface Cu barrier film 522 is such that the surface of the second Cu junction portion 426 on the junction interface Sj side and the surface of the second interface Cu barrier film 522 are substantially flush with each other. ) to form In addition, the configuration of the second semiconductor member 520 other than the second interface Cu barrier film 522 is the same as the corresponding configuration of the second semiconductor member 440 in Reference Example 1 above.

또한, 제 2 계면 Cu 배리어막(522)은, 상기 제 1의 실시 형태의 계면 Cu 배리어막(428)과 마찬가지로, 예를 들면, SiN, SiON, SiCN, 유기계 수지 등의 재료로 형성할 수 있다. 단, Cu막과의 밀착성이라는 관점에서는, 특히, 제 2 계면 Cu 배리어막(522)을 SiN으로 형성하는 것이 바람직하다.The second interfacial Cu barrier film 522 can be formed of, for example, SiN, SiON, SiCN, an organic resin, or the like, similarly to the interfacial Cu barrier film 428 of the first embodiment. . However, it is particularly preferable to form the second interface Cu barrier film 522 of SiN from the viewpoint of adhesion to the Cu film.

그리고, 이 예에서도, 상기 제 2의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 반도체 부재(501)의 제 1 Cu 접합부(502)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(520)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면을 맞붙임에 의해, 반도체 장치(510)가 제작된다. 이 때, 양 Cu 접합부 사이에, 접합 얼라인먼트 어긋남이 발생하면, 접합시의 어닐 처리에 의해, 각 Cu시드층 중의 예를 들면 Mn, Mg, Ti, Al 등의 금속 재료가 접합 계면(Sj)을 끼우고 대향하는 층간 절연막의 산소와 선택적으로 반응한다. 이 결과, 한쪽의 반도체 부재의 Cu 접합부와, 다른쪽의 반도체 부재의 층간 절연막이 대향하는 접합 계면(Sj) 영역에, 제 1 계면 Cu 배리어막(521)이 형성된다.Also in this example, similarly to the second embodiment, the first Cu junction portion 502 side surface of the first semiconductor member 501 and the second Cu junction portion 426 of the second semiconductor member 520 are The semiconductor device 510 is manufactured by pasting the surface of the side. At this time, if a misalignment of bonding alignment occurs between both Cu junctions, the metal material in each Cu seed layer, for example, Mn, Mg, Ti, or Al, forms the bonding interface Sj by annealing at the time of bonding. It selectively reacts with oxygen in the interlayer insulating film that is sandwiched and opposed. As a result, the first interface Cu barrier film 521 is formed in the junction interface Sj region where the Cu junction portion of one semiconductor member and the interlayer insulating film of the other semiconductor member face each other.

단, 이 예에서는, 상술한 바와 같이, 제 2 반도체 부재(520)의 접합 계면(Sj)의 표면에 제 2 계면 Cu 배리어막(522)을 마련한다. 그 때문에, 이 예에서는, 제 1 Cu 접합부(502)와 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역, 및, 제 2 Cu 접합부(426)와 제 1층간 절연막(415)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역의 한쪽에, 제 1 계면 Cu 배리어막(521)이 형성된다. 또한, 제 1 Cu 접합부(502)와 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역, 및, 제 2 Cu 접합부(426)와 제 1층간 절연막(415)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역의 다른쪽에, 제 2 계면 Cu 배리어막(522)이 배치된다. 도 28에 도시하는 예에서는, 전자의 접합 계면(Sj)의 영역에, 제 2 계면 Cu 배리어막(522)이 마련되고, 후자의 접합 계면(Sj)의 영역에, 제 1 계면 Cu 배리어막(521)이 마련된다.However, in this example, as described above, the second interface Cu barrier film 522 is provided on the surface of the bonding interface Sj of the second semiconductor member 520 . Therefore, in this example, the region of the junction interface Sj where the first Cu junction portion 502 and the second interlayer insulating film 425 face each other, and the second Cu junction portion 426 and the first interlayer insulating film 415 . A first interface Cu barrier film 521 is formed in one of the regions of the opposing bonding interface Sj. Further, a region of the junction interface Sj where the first Cu junction portion 502 and the second interlayer insulating film 425 face each other, and a junction interface between the second Cu junction part 426 and the first interlayer insulating film 415 face each other On the other side of the region of (Sj), a second interface Cu barrier film 522 is disposed. In the example shown in Fig. 28, the second interface Cu barrier film 522 is provided in the region of the former bonding interface Sj, and the first interface Cu barrier film 522 is provided in the region of the latter bonding interface Sj. 521) is provided.

상술한 바와 같이, 이 예의 반도체 장치(510)에서도, 한쪽의 반도체 부재의 Cu 접합부와, 다른쪽의 반도체 부재의 층간 절연막이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에는, 제 1 계면 Cu 배리어막(521) 또는 제 2 계면 Cu 배리어막(522)이 마련된다. 그 때문에, 이 예에서도, 제 1 및 제 2의 실시 형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.As described above, also in the semiconductor device 510 of this example, the first interface Cu barrier film ( 521) or a second interfacial Cu barrier film 522 is provided. Therefore, also in this example, the same effects as those of the first and second embodiments can be obtained.

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통상, Cu 접합부의 면적이 서로 다른 제 1 반도체 부재 및 제 2 반도체 부재를 맞붙여서 Cu-Cu 접합을 행하는 경우, 한쪽의 반도체 부재의 Cu 접합부와, 다른쪽의 반도체 부재의 층간 절연막과 접촉한다. 도 29에, 그 접합예에서의 접합 계면 부근의 개략 단면도를 도시한다. 또한, 도 29에 도시하는 반도체 장치(650)에서, 도 14에 도시하는 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.Usually, when Cu-Cu bonding is performed by bonding a first semiconductor member and a second semiconductor member having different Cu junction areas to each other, the Cu junction portion of one semiconductor member and the interlayer insulating film of the other semiconductor member come into contact with each other. Fig. 29 shows a schematic cross-sectional view of the vicinity of the bonding interface in the bonding example. In addition, in the semiconductor device 650 shown in FIG. 29, the same code|symbol is attached|subjected to the structure similar to the semiconductor device 401 of 1st Embodiment shown in FIG. 14, and is shown.

이 경우, 도 29에 도시하는 바와 같이, 제 2 Cu 접합부(426)보다 면적이 큰 제 1 Cu 접합부(416)로부터 제 2 층간 절연막(425)에 Cu가 확산하여(도 29 중의 점선 화살표), 접합 계면(Sj)에서의 전기 특성이 열화하여, Cu 접합부 및 반도체 장치(650)의 신뢰성이 손상된다. 그에 대해, 상기 각종 실시 형태에서는, 제 1 Cu 접합부(416)와 제 2 층간 절연막(425)과의 접합 계면에 계면 배리어막을 형성하여, 제 1 Cu 접합부(416)로부터 제 2 층간 절연막(425)으로의 Cu의 확산을 방지할 수 있고, 상기 문제를 해소할 수 있다.In this case, as shown in FIG. 29, Cu diffuses into the second interlayer insulating film 425 from the first Cu junction 416, which has a larger area than the second Cu junction 426 (dotted arrow in FIG. 29), The electrical characteristics at the junction interface Sj deteriorate, and the reliability of the Cu junction part and the semiconductor device 650 is impaired. In contrast, in the various embodiments described above, an interface barrier film is formed at the bonding interface between the first Cu junction portion 416 and the second interlayer insulating film 425 , and from the first Cu junction portion 416 to the second interlayer insulating film 425 . It is possible to prevent diffusion of Cu into the furnace and solve the above problem.

또한, 상술한 접합 계면에서의 Cu의 확산을 방지하는 다른 수법으로서는, 제 1 반도체 부재 및 제 2 반도체 부재의 적어도 한쪽의 접합계면측의 층간 절연막의 표면을 Cu 접합부의 접합측 표면보다 후퇴시킨 상태로, 양자를 맞붙이는 수법도 생각된다. 즉, 제 1 반도체 부재 및 제 2 반도체 부재의 적어도 한쪽의 Cu 접합부를 접합계면측으로 돌출시킨 상태로, 양자를 맞붙이는 수법도 생각된다.Further, as another method for preventing diffusion of Cu at the junction interface described above, the surface of the interlayer insulating film on the junction interface side of at least one of the first semiconductor member and the second semiconductor member is retreated from the junction surface of the Cu junction part. Therefore, a method of sticking the two together is also conceivable. That is, a method in which at least one Cu junction portion of the first semiconductor member and the second semiconductor member protrudes toward the junction interface side, and a method of bonding them together is also conceivable.

도 30에, 제 1 반도체 부재 및 제 2 반도체 부재의 양쪽의 Cu 접합부를 접합계면측으로 돌출시킨 상태로 양자를 맞붙인 경우의, 접합 계면 부근의 개략 단면도를 도시한다. 또한, 도 30에 도시하는 반도체 장치(660)에서, 도 14에 도시하는 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.Fig. 30 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the junction interface when the Cu junction portions of both the first semiconductor member and the second semiconductor member are bonded to each other in a state in which they protrude toward the junction interface side. In addition, in the semiconductor device 660 shown in FIG. 30, the same code|symbol is attached|subjected to the structure similar to the semiconductor device 401 of 1st Embodiment shown in FIG. 14, and is shown.

이 경우에는, 제 1 반도체 부재(661) 및 제 2 반도체 부재(662) 사이, 특히, 제 1층간 절연막(663)과 제 2 층간 절연막(664) 사이의 접합 계면(Sj)에 간극이 생긴다. 이에 의해, 제 2 층간 절연막(664)과 제 1 Cu 접합부(416)와의 사이에는 공극이 형성되어, 제 1 Cu 접합부(416)로부터 제 2 층간 절연막(664)으로의 Cu의 확산이 방지된다. 그러나, 이 경우에는, 속이 흰 화살표로 도시하는 바와 같이, 접합 계면(Sj)의 간극에 외기가 침입하여 제 1 Cu 접합부(416)의 표면을 오염하고, 이에 의해, 접합 계면(Sj)에서의 전기 특성이 열화하여, Cu 접합부 및 반도체 장치의 신뢰성이 손상된다.In this case, a gap is formed at the junction interface Sj between the first semiconductor member 661 and the second semiconductor member 662 , in particular, between the first interlayer insulating film 663 and the second interlayer insulating film 664 . Thereby, a void is formed between the second interlayer insulating film 664 and the first Cu junction portion 416 , and diffusion of Cu from the first Cu junction portion 416 to the second interlayer insulating film 664 is prevented. However, in this case, as shown by the solid arrow, outside air enters the gap of the bonding interface Sj and contaminates the surface of the first Cu junction portion 416, thereby causing the bonding interface Sj to The electrical characteristics deteriorate, and the reliability of the Cu junction and the semiconductor device is impaired.

그래서, 제 4의 실시 형태에서는, 제 2 층간 절연막과 제 1 Cu 접합부와의 사이에 공극을 형성한 구성을 갖는 반도체 장치에서, 상술한 외기의 영향를 방지할 수 있는 구성례를 설명한다.Therefore, in the fourth embodiment, in a semiconductor device having a configuration in which a void is formed between the second interlayer insulating film and the first Cu junction portion, a configuration example capable of preventing the above-described influence of external air will be described.

[반도체 장치의 구성][Configuration of semiconductor device]

도 31 및 도 32에, 제 4의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 31은, 제 4의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 접합 계면 부근의 개략 단면도이고, 도 32는, 각 Cu 접합부와 접합 계면에 구획되는 공극과의 배치 관계를 도시하는 접합 계면 부근의 개략 상면도이다. 또한, 도 31 및 도 32에서는, 설명을 간략화하기 위해, 하나의 접합 계면 부근의 구성만을 도시한다. 또한, 도 31에 도시하는 본 실시 형태의 반도체 장치(530)에서, 도 14에 도시하는 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.31 and 32 show a schematic configuration of a semiconductor device according to the fourth embodiment. Fig. 31 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the junction interface of the semiconductor device according to the fourth embodiment, and Fig. 32 is a schematic top view of the vicinity of the junction interface showing the arrangement relationship between each Cu junction portion and a void defined in the junction interface. am. In addition, in FIGS. 31 and 32, in order to simplify description, only the structure near one bonding interface is shown. In addition, in the semiconductor device 530 of this embodiment shown in FIG. 31, the same code|symbol is attached|subjected to the same structure as the semiconductor device 401 of the 1st Embodiment shown in FIG. 14, and is shown.

반도체 장치(530)는, 도 31에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)(제 1 반도체부)와, 제 2 반도체 부재(532)(제 2 반도체부)를 구비한다.As shown in FIG. 31 , the semiconductor device 530 includes a first semiconductor member 531 (a first semiconductor part) and a second semiconductor member 532 (a second semiconductor part).

제 1 반도체 부재(531)는, 제 1 반도체 기판(도시 생략), 제 1 SiO2층(411), 제 1 Cu 배선부(412), 제 1 Cu 배리어막(413), 제 1 Cu 확산 방지막(414), 제 1층간 절연막(415), 제 1 Cu 접합부(533), 및, 제 1 Cu 배리어층(417)을 갖는다.The first semiconductor member 531 includes a first semiconductor substrate (not shown), a first SiO 2 layer 411 , a first Cu wiring portion 412 , a first Cu barrier film 413 , and a first Cu diffusion barrier film 414 , a first interlayer insulating film 415 , a first Cu junction portion 533 , and a first Cu barrier layer 417 .

도 31과 도 14의 비교로부터 분명한 바와 같이, 본 실시 형태의 제 1 반도체 부재(531)는, 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역에서, 제 2 층간 절연막(425)과 대향하는 제 1 Cu 접합부(416)의 표면 영역에 오목부를 마련한 구성으로 된다. 그 이외의 제 1 반도체 부재(531)의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 대응하는 구성과 같다.As is clear from the comparison between FIG. 31 and FIG. 14 , the first semiconductor member 531 of the present embodiment has a surface region on the junction interface Sj side of the first semiconductor member 410 of the first embodiment, A concave portion is provided in the surface region of the first Cu junction portion 416 opposite to the second interlayer insulating film 425 . The configuration of the first semiconductor member 531 other than that is the same as the corresponding configuration of the first semiconductor member 410 of the first embodiment.

제 2 반도체 부재(532)는, 제 2 반도체 기판(도시 생략), 제 2 SiO2층(421), 제 2 Cu 배선부(422), 제 2 Cu 배리어막(423), 제 2 Cu 확산 방지막(424), 제 2 층간 절연막(425), 및, 제 2 Cu 접합부(426)를 갖는다.The second semiconductor member 532 includes a second semiconductor substrate (not shown), a second SiO 2 layer 421 , a second Cu wiring portion 422 , a second Cu barrier film 423 , and a second Cu diffusion barrier film. 424 , a second interlayer insulating film 425 , and a second Cu junction 426 .

도 31과 도 14의 비교로부터 분명한 바와 같이, 본 실시 형태의 제 2 반도체 부재(532)는, 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)에서, 계면 Cu 배리어막(428)을 생략한 구성으로 된다. 그 이외의 제 2 반도체 부재(532)의 구성은, 상기 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)의 대응하는 구성과 같다.As is clear from the comparison between FIG. 31 and FIG. 14 , the second semiconductor member 532 of the present embodiment has the interface Cu barrier film 428 omitted from the second semiconductor member 420 of the first embodiment. becomes the composition. The configuration of the second semiconductor member 532 other than that is the same as the corresponding configuration of the second semiconductor member 420 of the first embodiment.

본 실시 형태의 반도체 장치(530)에서는, 도 31에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역에서, 제 2 반도체 부재(532)의 제 2 층간 절연막(425)과 대향하는 제 1 Cu 접합부(533)의 표면 영역에 오목부(534)를 마련한다. 이에 의해, 제 1 반도체 부재(531)의 제 1 Cu 접합부(533)와, 제 2 반도체 부재(532)의 제 2 층간 절연막(425)이 대향하는 접합 계면(Sj)의 영역에 공극이 형성되고, 제 1 Cu 접합부(533)가, 제 2 층간 절연막(425)과 직접 접촉하지 않는 구조를 형성할 수 있다.In the semiconductor device 530 of the present embodiment, as shown in FIG. 31 , the second interlayer insulating film of the second semiconductor member 532 is in the surface region on the junction interface Sj side of the first semiconductor member 531 . A concave portion 534 is provided in a surface region of the first Cu junction portion 533 opposite to 425 . Thereby, a void is formed in the region of the junction interface Sj where the first Cu junction portion 533 of the first semiconductor member 531 and the second interlayer insulating film 425 of the second semiconductor member 532 face each other, , a structure in which the first Cu junction portion 533 does not directly contact the second interlayer insulating film 425 may be formed.

즉, 본 실시 형태의 반도체 장치(530)에서는, 제 1 Cu 접합부(533)의 오목부(534)와, 오목부(534)와 대향하는 제 2 반도체 부재(532)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역부(면 영역부)에 의해 계면 배리어부가 구성된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 도 31에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 접합부(533)의 오목부(534)와 제 2 층간 절연막(425)의 접합 계면(Sj)측의 표면에 의해 구획된 공극이, 그 주변의 각종 막에 의해 밀봉된 상태가 된다.That is, in the semiconductor device 530 of the present embodiment, the concave portion 534 of the first Cu junction portion 533 and the junction interface Sj side of the second semiconductor member 532 opposing the concave portion 534 . The interface barrier portion is constituted by the surface area portion (surface area portion) of Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 31 , a void partitioned by the concave portion 534 of the first Cu junction portion 533 and the surface on the junction interface Sj side of the second interlayer insulating film 425 . This will be in the sealed state by the various films|membrane around it.

[반도체 장치의 제조 수법][Method for manufacturing semiconductor device]

다음에, 본 실시 형태의 반도체 장치(530)의 제조 수법을, 도 33a 내지 도 33d를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 33a 및 도 33b에는, 각 공정에서 제작되는 반도체 부재의 Cu 접합부 부근의 개략 단면을 도시하고, 도 33c 및 도 33d에는, 제 1 반도체 부재(531)와 제 2 반도체 부재(532)와의 접합 처리의 양상을 도시한다.Next, the manufacturing method of the semiconductor device 530 of this embodiment is demonstrated, referring FIGS. 33A-33D. 33A and 33B are schematic cross-sections in the vicinity of the Cu junction part of the semiconductor member produced in each step, and in FIGS. 33C and 33D, the first semiconductor member 531 and the second semiconductor member 532 are shown in FIGS. The aspect of the bonding process is shown.

우선, 본 실시 형태에서는, 도 16a 내지 도 16f에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 도 33a에 도시된 바와 같이 제 1 반도체 부재(531)를 제작한다.First, in this embodiment, as shown in FIG. 33A , the first semiconductor member 531 is manufactured in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIGS. 16A to 16F . do.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 16a 내지 도 16f에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 도 33b에 도시된 바와 같이 제 2 반도체 부재(532)를 제작한다. 단, 이 때, 제 2 층간 절연막(425)에, 제 2 Cu 접합부(426) 및 제 2 Cu 배리어층(427)의 형성 영역에 대응하는 개구부를 형성하는 공정(도 16c의 공정에 대응)에서는, 개구부의 개구지름을 약 1 내지 95㎛ 정도로 한다.In this embodiment, as shown in FIG. 33B , the second semiconductor member 532 is manufactured in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIGS. 16A to 16F . do. However, at this time, in the step of forming in the second interlayer insulating film 425 an opening corresponding to the region where the second Cu junction portion 426 and the second Cu barrier layer 427 are formed (corresponding to the step in FIG. 16C ), , the opening diameter of the opening is about 1 to 95 μm.

뒤이어 제 1 반도체 부재(531)의 제 1 Cu 접합부(533)측의 표면, 및, 제 2 반도체 부재(532)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면에 대해 환원 처리를 시행하고, 각 Cu 접합부의 표면의 산화막(산화물)을 제거하여, 각 Cu 접합부의 표면에 청정한 Cu를 노출시킨다. 또한, 이 때, 환원 처리로서는, 예를 들면 포름산 등의 약액를 이용한 웨트 에칭 처리, 또는, 예를 들면 Ar, NH3, H2 등의 플라즈마를 이용한 드라이 에칭 처리가 이용된다.Subsequently, the surface of the first Cu junction part 533 side of the first semiconductor member 531 and the surface of the second semiconductor member 532 on the second Cu junction part 426 side are subjected to reduction treatment, and each Cu The oxide film (oxide) on the surface of the junction is removed to expose clean Cu on the surface of each Cu junction. In this case, as the reduction treatment, for example, a wet etching treatment using a chemical solution such as formic acid or a dry etching treatment using a plasma such as Ar, NH 3 , H 2 or the like is used.

뒤이어 도 33c에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)의 제 1 Cu 접합부(533)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(532)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면을 접촉또는 맞붙인다.Subsequently, as shown in FIG. 33C , the surface on the side of the first Cu junction part 533 of the first semiconductor member 531 and the surface on the side of the second Cu junction part 426 of the second semiconductor member 532 are brought into contact with or clash

그리고, 제 1 반도체 부재(531)와 제 2 반도체 부재(532)를 맞붙인 상태에서, 예를 들면 핫 플레이트나 RTA 장치 등의 가열 장치(어닐 장치)를 이용하여 맞붙임 부재를 어닐하여, 도 33d에 도시된 바와 같이 제 1 Cu 접합부(533)와 제 2 Cu 접합부(426)를 접합한다. 구체적으로는, 예를 들면, 대기압의 N2 분위기 중, 또는, 진공 중에서 약 100 내지 400℃에서 5분 내지 2시간 정도, 맞붙임 부재를 가열한다.Then, in the state where the first semiconductor member 531 and the second semiconductor member 532 are bonded together, the bonding member is annealed using, for example, a heating device (annealing device) such as a hot plate or an RTA device. As shown in 33d, the first Cu junction portion 533 and the second Cu junction portion 426 are bonded. Specifically, for example, the bonding member is heated at about 100 to 400° C. for about 5 minutes to 2 hours in an N 2 atmosphere of atmospheric pressure or in a vacuum.

본 실시 형태에서는, 도 33d에 도시하는 어닐 처리에 의해, 제 1 Cu 접합부(533)의 Cu막을 더욱 죄인다. 또한, 접합 계면(Sj)에서, 제 1 Cu 접합부(533)와 제 2 층간 절연막(425)과의 접촉 영역은, 다른 영역에 비하여 밀착력이 약한 영역이다. 그 때문에, 도 33d에 도시하는 어닐 처리에 의해, 이 접촉 영역에서는, 제 1 Cu 접합부(533)가 수축하여, 제 1 Cu 접합부(533)의 표면이 접합 계면(Sj)으로부터 멀어지는 방향으로 후퇴한다. 이 결과, 도 33d에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역에서, 제 2 층간 절연막(425)과 대향하는 제 1 Cu 접합부(533)의 표면 영역에 오목부(534)가 형성된다.In the present embodiment, the Cu film of the first Cu junction portion 533 is further tightened by the annealing treatment shown in FIG. 33D . In addition, at the bonding interface Sj, the contact region between the first Cu junction portion 533 and the second interlayer insulating film 425 is a region having weak adhesion compared to other regions. Therefore, by the annealing treatment shown in FIG. 33D , in this contact region, the first Cu junction portion 533 contracts, and the surface of the first Cu junction portion 533 retreats in a direction away from the bonding interface Sj. . As a result, as shown in FIG. 33D , in the surface region of the first semiconductor member 531 on the junction interface Sj side, the surface region of the first Cu junction portion 533 opposite to the second interlayer insulating film 425 is A recess 534 is formed in the

즉, 도 33d에 도시하는 어닐 처리에 의해, 제 1 Cu 접합부(533) 및 제 2 층간 절연막(425) 사이의 접합 계면(Sj)에 공극이 형성됨과 함께, 그 공극이, 그 주변의 각종 막에 의해, 반도체 장치(530) 내에 밀봉된 구조가 형성된다. 또한, 도 33d에 도시하는 어닐 처리에 의해 오목부(534)를 형성하기 위해서는, 예를 들면, 각 반도체 부재의 제작시에 치밀한 막질의 Cu 접합부를 형성하기 위해 행한 어닐 처리의 어닐 온도 보다 높은 온도로 어닐하는 것이 바람직하다.That is, by the annealing treatment shown in Fig. 33D, a void is formed in the junction interface Sj between the first Cu junction portion 533 and the second interlayer insulating film 425, and the void is formed in various films around the void. Thus, a sealed structure is formed in the semiconductor device 530 . In addition, in order to form the recessed portion 534 by the annealing treatment shown in Fig. 33D, for example, a temperature higher than the annealing temperature of the annealing treatment performed to form a dense Cu junction portion at the time of manufacturing each semiconductor member. It is preferable to anneal with

본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이 하여, Cu-Cu 접합 처리를 행한다. 또한, 상술한 접합 공정 이외의 반도체 장치(530)의 제조 공정은, 종래의 예를 들면 고체 촬상 장치 등의 반도체 장치의 제조 수법(예를 들면 일본 특개2007-234725호 공보 참조)과 마찬가지로 할 수 있다.In the present embodiment, Cu-Cu bonding processing is performed as described above. In addition, the manufacturing process of the semiconductor device 530 other than the above-mentioned bonding process can be carried out similarly to the conventional manufacturing method of semiconductor devices, such as a solid-state imaging device (for example, refer to Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-234725). have.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태의 반도체 장치(530)에서는, 제 1 Cu 접합부(533) 및 제 2 층간 절연막(425) 사이의 접합 계면(Sj)에 공극을 형성하여, 양자가 직접 접촉하지 않는 구조를 형성한다. 그 때문에, 본 실시 형태에서도, 제 1의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 Cu 접합부(533)로부터 제 2 층간 절연막(425)으로의 Cu의 확산을 방지할 수 있다. 또한, 접합 계면(Sj)에 형성되는 공극의 영역은 접합 계면(Sj)의 전 영역에 비하여 충분히 작기 때문에 본 실시 형태의 구성에서의 접합 계면(Sj)의 밀착 성능은, 상기 각종 실시 형태의 그것과 같은 정도가 된다.As described above, in the semiconductor device 530 of the present embodiment, a void is formed at the junction interface Sj between the first Cu junction portion 533 and the second interlayer insulating film 425 so that the two do not directly contact. form a structure Therefore, also in this embodiment, as in the first embodiment, diffusion of Cu from the first Cu junction portion 533 to the second interlayer insulating film 425 can be prevented. In addition, since the area of the void formed in the bonding interface Sj is sufficiently small compared to the entire area of the bonding interface Sj, the adhesion performance of the bonding interface Sj in the configuration of this embodiment is that of the above various embodiments. will be about the same as

또한, 본 실시 형태의 반도체 장치(530)에서는, 제 1 Cu 접합부(533) 및 제 2 층간 절연막(425) 사이의 접합 계면(Sj)에 형성된 공극이, 그 주변의 각종 막에 의해 밀봉된 상태가 된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, Cu 접합부에의 외기의 침입을 방지할 수 있고, 반도체 장치(530)의 신뢰성을 확보할 수 있다.Further, in the semiconductor device 530 of the present embodiment, the void formed in the junction interface Sj between the first Cu junction portion 533 and the second interlayer insulating film 425 is sealed by various films around the void. becomes Therefore, in the present embodiment, the intrusion of external air into the Cu junction portion can be prevented, and the reliability of the semiconductor device 530 can be secured.

<6. 제 5의 실시 형태><6. Fifth embodiment>

제 5의 실시 형태에서는, 제 1 반도체 부재의 제 1 Cu 접합부와, 제 2 반도체 부재의 제 2 층간 절연막과의 사이의 접합 계면에 공극을 마련한 반도체 장치의 다른 구성례를 설명한다.In the fifth embodiment, another structural example of a semiconductor device in which a gap is provided at the junction interface between the first Cu junction portion of the first semiconductor member and the second interlayer insulating film of the second semiconductor member will be described.

[반도체 장치의 구성][Configuration of semiconductor device]

도 34 및 도 35에, 제 5의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 34는, 제 5의 실시 형태에 관한 반도체 장치의 접합 계면 부근의 개략 단면도이고, 도 35는, 각 Cu 접합부 및 계면 Cu 배리어막과 접합 계면에 구획되는 공극과의 사이의 배치 관계를 도시하는 접합 계면 부근의 개략 상면도이다. 또한, 도 34 및 도 35에서는, 설명을 간략화하기 위해, 하나의 접합 계면 부근의 구성만을 도시한다. 또한, 도 34에 도시하는 본 실시 형태의 반도체 장치(540)에서, 도 31에 도시하는 제 4의 실시 형태의 반도체 장치(530)와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 도시한다.34 and 35 show a schematic configuration of a semiconductor device according to a fifth embodiment. Fig. 34 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the bonding interface of the semiconductor device according to the fifth embodiment, and Fig. 35 is a diagram showing the arrangement relationship between each Cu junction portion and the interfacial Cu barrier film, and the void defined at the bonding interface. It is a schematic top view of the vicinity of a bonding interface. In addition, in FIG. 34 and FIG. 35, in order to simplify description, only the structure of the vicinity of one bonding interface is shown. In addition, in the semiconductor device 540 of this embodiment shown in FIG. 34, the same code|symbol is attached|subjected to the same structure as the semiconductor device 530 of the 4th embodiment shown in FIG.

반도체 장치(540)는, 도 34에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)(제 1 반도체부)와, 제 2 반도체 부재(420)(제 2 반도체부)를 구비한다.As shown in FIG. 34 , the semiconductor device 540 includes a first semiconductor member 531 (a first semiconductor part) and a second semiconductor member 420 (a second semiconductor part).

제 1 반도체 부재(531)의 구성은, 제 4의 실시 형태(도 31)의 그것과 같은 구성이다. 즉, 제 1 반도체 부재(531)의 구성은, 제 1의 실시 형태(도 14)의 제 1 반도체 부재(410)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역에서, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 층간 절연막(425)과 대향하는 제 1 Cu 접합부(533)의 표면 영역에 오목부(534)를 마련한 구성으로 된다. 한편, 제 2 반도체 부재(420)의 구성은, 제 1의 실시 형태(도 14)의 그것과 같은 구성이고, 제 2 층간 절연막(425)의 접합 계면(Sj)측의 표면에, 계면 Cu 배리어막(428)이 마련된 구성으로 된다.The configuration of the first semiconductor member 531 is the same as that of the fourth embodiment (FIG. 31). That is, the configuration of the first semiconductor member 531 is that of the second semiconductor member 420 in the surface region on the junction interface Sj side of the first semiconductor member 410 in the first embodiment ( FIG. 14 ). A concave portion 534 is provided in the surface region of the first Cu junction portion 533 opposite to the second interlayer insulating film 425 . On the other hand, the configuration of the second semiconductor member 420 is the same as that of the first embodiment (FIG. 14), and the interface Cu barrier is provided on the surface of the second interlayer insulating film 425 on the junction interface Sj side. It has a structure in which the film|membrane 428 is provided.

본 실시 형태의 반도체 장치(540)에서는, 상술한 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역에서, 제 2 반도체 부재(420)의 계면 Cu 배리어막(428)과 대향하는 제 1 Cu 접합부(533)의 표면 영역에 오목부(534)를 마련한다. 이에 의해, 제 1 반도체 부재(531)의 제 1 Cu 접합부(533)와, 제 2 반도체 부재(420)의 계면 Cu 배리어막(428)이 대향하는 접합 계면(Sj)에 공극이 형성된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 도 34에 도시하는 바와 같이, 제 1 Cu 접합부(533)의 오목부(534)와 계면 Cu 배리어막(428)의 접합 계면(Sj)측의 표면에 의해 구획된 공극이, 그 주변의 각종 막에 의해 밀봉된 상태가 된다.In the semiconductor device 540 of the present embodiment, as described above, the interface Cu barrier film 428 of the second semiconductor member 420 in the surface region on the junction interface Sj side of the first semiconductor member 531 . A concave portion 534 is provided in a surface region of the first Cu junction portion 533 opposite to the first Cu junction portion 533 . Accordingly, a void is formed at the junction interface Sj where the first Cu junction portion 533 of the first semiconductor member 531 and the interface Cu barrier film 428 of the second semiconductor member 420 face each other. Moreover, in this embodiment, as shown in FIG. 34, the space|gap partitioned by the recessed part 534 of the 1st Cu junction part 533, and the surface on the junction interface Sj side of the interface Cu barrier film 428. This will be in the sealed state by the various films|membrane around it.

즉, 본 실시 형태에서도, 제 1 Cu 접합부(533)의 오목부(534)와, 오목부(534)와 대향하는 제 2 반도체 부재(420)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역부(면 영역부)에 의해 계면 배리어부가 구성된다. 그리고, 본 실시 형태에서는, 이 계면 배리어부에 구획되는 공극, 및, 계면 Cu 배리어막(428)에 의해, 제 1 Cu 접합부(533)로부터 제 2 층간 절연막(425)으로의 Cu의 확산이 방지된다.That is, also in this embodiment, the surface region portion (surface) of the concave portion 534 of the first Cu junction portion 533 and the junction interface Sj side of the second semiconductor member 420 facing the concave portion 534 . region) constitutes an interface barrier portion. In the present embodiment, diffusion of Cu from the first Cu junction portion 533 to the second interlayer insulating film 425 is prevented by the voids partitioned in the interface barrier portion and the interface Cu barrier film 428 . do.

[반도체 장치의 제조 수법][Method for manufacturing semiconductor device]

다음에, 본 실시 형태의 반도체 장치(540)의 제조 수법을, 도 36a 내지 도 36d를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 36a 및 도 36b에는, 각 공정에서 제작되는 반도체 부재의 Cu 접합부 부근의 개략 단면을 도시하고, 도 36c 및 도 36d에는, 제 1 반도체 부재(531)와 제 2 반도체 부재(420)와의 접합 처리의 양상을 도시한다.Next, a method of manufacturing the semiconductor device 540 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 36A to 36D . 36A and 36B are schematic cross-sections of the vicinity of the Cu junction portion of the semiconductor member produced in each step, and in FIGS. 36C and 36D, the first semiconductor member 531 and the second semiconductor member 420 are The aspect of the bonding process is shown.

우선, 본 실시 형태에서는, 도 16a 내지 16f에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 1 반도체 부재(410)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 도 36a에 도시된 바와 같이 제 1 반도체 부재(531)를 제작한다.First, in the present embodiment, the first semiconductor member 531 is manufactured as shown in FIG. 36A in the same manner as in the manufacturing process of the first semiconductor member 410 of the first embodiment described with reference to FIGS. 16A to 16F. .

또한, 본 실시 형태에서는, 도 16g 내지 16l에서 설명한 제 1의 실시 형태의 제 2 반도체 부재(420)의 제작 공정과 마찬가지로 하여, 도 36b에 도시된 바와 같이 제 2 반도체 부재(420)를 제작한다. 단, 본 실시 형태에서는, 계면 Cu 배리어막(428)(예를 들면 SiN 막, SiCN막 등)의 막두께는, 약 10 내지 100nm로 하고, CVD법 또는 스핀 코트법에 의해 계면 Cu 배리어막(428)을 형성한다. 또한, 본 실시 형태에서, 제 2 층간 절연막(425)에, 제 2 Cu 접합부(426) 및 제 2 Cu 배리어층(427)의 형성 영역에 대응하는 개구부를 형성하는 공정(도 16i의 공정에 대응)에서는, 개구부의 개구지름을 약 4 내지 100㎛ 정도로 한다.In this embodiment, the second semiconductor member 420 is manufactured as shown in FIG. 36B in the same manner as in the manufacturing process of the second semiconductor member 420 of the first embodiment described with reference to FIGS. 16G to 16L. . However, in the present embodiment, the thickness of the interfacial Cu barrier film 428 (eg, SiN film, SiCN film, etc.) is set to about 10 to 100 nm, and the interfacial Cu barrier film ( 428) is formed. Further, in the present embodiment, in the second interlayer insulating film 425 , a step of forming an opening corresponding to the formation region of the second Cu junction 426 and the second Cu barrier layer 427 (corresponding to the step of FIG. 16I ) ), the opening diameter of the opening is about 4 to 100 µm.

뒤이어 제 1 반도체 부재(531)의 제 1 Cu 접합부(533)측의 표면, 및, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면에 대해 환원 처리를 시행하여, 각 Cu 접합부의 표면의 산화막(산화물)을 제거하여, 각 Cu 접합부의 표면에 청정한 Cu를 노출시킨다. 또한, 이 때, 환원 처리로서는, 예를 들면 포름산 등의 약액를 이용한 웨트 에칭 처리, 또는, 예를 들면 Ar, NH3, H2 등의 플라즈마를 이용한 드라이 에칭 처리가 이용된다.Subsequently, the surface of the first Cu junction part 533 side of the first semiconductor member 531 and the surface on the second Cu junction part 426 side of the second semiconductor member 420 are subjected to a reduction treatment, and each Cu The oxide film (oxide) on the surface of the junction is removed to expose clean Cu on the surface of each Cu junction. In this case, as the reduction treatment, for example, a wet etching treatment using a chemical solution such as formic acid or a dry etching treatment using a plasma such as Ar, NH 3 , H 2 or the like is used.

뒤이어 도 36c에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)의 제 1 Cu 접합부(533)측의 표면과, 제 2 반도체 부재(420)의 제 2 Cu 접합부(426)측의 표면을 접촉 또는 맞붙인다.Subsequently, as shown in FIG. 36C , the surface on the side of the first Cu junction part 533 of the first semiconductor member 531 and the surface on the side of the second Cu junction part 426 of the second semiconductor member 420 are brought into contact with or clash

그리고, 제 1 반도체 부재(531)와 제 2 반도체 부재(420)를 맞붙인 상태에서, 예를 들면 핫 플레이트나 RTA 장치 등의 가열 장치(어닐 장치)를 이용하여 맞붙임 부재를 어닐하여, 도 36d에 도시된 바와 같이 제 1 Cu 접합부(533)와 제 2 Cu 접합부(426)를 접합한다. 구체적으로는, 예를 들면, 대기압의 N2 분위기 중, 또는, 진공 중에서 약 100 내지 400℃에서 5분 내지 2시간 정도, 맞붙임 부재를 가열한다.Then, in the state where the first semiconductor member 531 and the second semiconductor member 420 are bonded together, the bonding member is annealed using, for example, a heating device (annealing device) such as a hot plate or an RTA device. As shown in 36d, the first Cu junction portion 533 and the second Cu junction portion 426 are bonded. Specifically, for example, the bonding member is heated at about 100 to 400° C. for about 5 minutes to 2 hours in an N 2 atmosphere of atmospheric pressure or in a vacuum.

본 실시 형태에서도, 도 36d에 도시하는 어닐 처리에 의해, 상기 제 4의 실시 형태와 마찬가지로, 제 1 Cu 접합부(533)의 Cu막을 더욱 죄인다. 이 때, 접합 계면(Sj)에서, 제 1 Cu 접합부(533)와 계면 Cu 배리어막(428)과의 접촉 영역에서는, 그 영역의 제 1 Cu 접합부(533)가 수축하여, 제 1 Cu 접합부(533)의 표면이 접합 계면(Sj)으로부터 멀어지는 방향으로 후퇴한다. 이 결과, 도 36d에 도시하는 바와 같이, 제 1 반도체 부재(531)의 접합 계면(Sj)측의 표면 영역에서, 계면 Cu 배리어막(428)과 대향하는 제 1 Cu 접합부(533)의 표면 영역에 오목부(534)가 형성된다.Also in this embodiment, the Cu film of the first Cu junction portion 533 is further tightened by the annealing treatment shown in Fig. 36D, similarly to the fourth embodiment. At this time, in the contact region between the first Cu junction part 533 and the interface Cu barrier film 428 at the junction interface Sj, the first Cu junction part 533 in the region contracts, and the first Cu junction part ( 533) retreats in a direction away from the bonding interface Sj. As a result, as shown in FIG. 36D , in the surface region on the junction interface Sj side of the first semiconductor member 531 , the surface region of the first Cu junction portion 533 facing the interface Cu barrier film 428 . A recess 534 is formed in the

즉, 도 36d에 도시하는 어닐 처리에 의해, 제 1 Cu 접합부(533) 및 계면 Cu 배리어막(428) 사이의 접합 계면(Sj)에 공극이 형성됨과 함께, 그 공극이, 그 주변의 각종 막에 의해, 반도체 장치(540) 내에 밀봉된 구조가 형성된다. 또한, 도 36d에 도시하는 어닐 처리에 의해 오목부(534)를 형성하기 위해서는, 예를 들면, 각 반도체 부재의 제작시에 치밀한 막질의 Cu 접합부를 형성하기 위해 행한 어닐 처리의 어닐 온도 보다 높은 온도로 어닐하는 것이 바람직하다.That is, by the annealing treatment shown in FIG. 36D , a void is formed in the junction interface Sj between the first Cu junction portion 533 and the interface Cu barrier film 428, and the void is formed in various films around the void. Thus, a sealed structure is formed in the semiconductor device 540 . In addition, in order to form the recessed portion 534 by the annealing treatment shown in Fig. 36D, for example, a temperature higher than the annealing temperature of the annealing treatment performed to form a dense Cu junction portion at the time of manufacturing each semiconductor member. It is preferable to anneal with

본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이 하여, Cu-Cu 접합 처리를 행한다. 또한, 상술한 접합 공정 이외의 반도체 장치(540)의 제조 공정은, 종래의 예를 들면 고체 촬상 장치 등의 반도체 장치의 제조 수법(예를 들면 일본 특개2007-234725호 공보 참조)과 마찬가지로 할 수 있다.In the present embodiment, Cu-Cu bonding processing is performed as described above. In addition, the manufacturing process of the semiconductor device 540 other than the above-mentioned bonding process can be carried out similarly to the conventional manufacturing method of semiconductor devices, such as a solid-state image sensor (for example, refer to Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-234725). have.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태의 반도체 장치(540)에서는, 제 1 Cu 접합부(533) 및 계면 Cu 배리어막(428) 사이의 접합 계면(Sj)의 영역에 공극을 형성하여, 양자가 직접 접촉하지 않는 구조를 형성한다. 또한, 본 실 시 형태에서는, 제 1 Cu 접합부(533)의 오목부(534)와 대향하는 영역에 계면 Cu 배리어막(428)이 형성된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, 제 1 Cu 접합부(533)로부터 제 2 층간 절연막(425)으로의 Cu의 확산을 보다 확실하게 방지할 수 있다.As described above, in the semiconductor device 540 of the present embodiment, a void is formed in the region of the junction interface Sj between the first Cu junction portion 533 and the interface Cu barrier film 428 so that the two are in direct contact with each other. to form a structure that does not In addition, in this embodiment, the interface Cu barrier film 428 is formed in the area|region opposite to the recessed part 534 of the 1st Cu junction part 533. FIG. Therefore, in this embodiment, diffusion of Cu from the first Cu junction portion 533 to the second interlayer insulating film 425 can be prevented more reliably.

또한, 본 실시 형태의 반도체 장치(540)에서는, 제 1 Cu 접합부(533) 및 계면 Cu 배리어막(428) 사이의 접합 계면(Sj)에 형성된 공극이, 그 주변의 각종 막에 의해 밀봉된 상태가 된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, 상기 제 4의 실시 형태와 마찬가지로, Cu 접합부에의 외기의 침입을 방지할 수 있고, 반도체 장치(540)의 신뢰성을 확보할 수 있다.Further, in the semiconductor device 540 of the present embodiment, the void formed in the junction interface Sj between the first Cu junction portion 533 and the interface Cu barrier film 428 is sealed by various films around it. becomes Therefore, in the present embodiment, as in the fourth embodiment, the intrusion of external air into the Cu junction portion can be prevented, and the reliability of the semiconductor device 540 can be secured.

또한, 본 실시 형태에서는, 제 1의 실시 형태의 반도체 장치(401)(도 14)에, 상기 제 4의 실시 형태에서 설명한 계면 배리어부의 형성 기술을 적용한 예를 설명하였지만, 본 개시는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 2의 실시 형태의 반도체 장치(402)(도 17)나 제 3의 실시 형태의 반도체 장치(403)(도 20)에, 상기 제 4의 실시 형태에서 설명한 계면 배리어부의 형성 기술을 적용하여도 좋다. 또한, 예를 들면, 상기 각종 변형예의 반도체 장치(도 23 내지 도 26 등)에, 상기 제 4의 실시 형태에서 설명한, 계면 배리어부의 형성 기술을 적용하여도 좋다.In addition, in this embodiment, the example in which the forming technique of the interface barrier part demonstrated in the said 4th embodiment was applied to the semiconductor device 401 (FIG. 14) of 1st Embodiment was demonstrated, but this indication is limited to this doesn't happen For example, in the semiconductor device 402 (FIG. 17) of the second embodiment or the semiconductor device 403 (FIG. 20) of the third embodiment, a technique for forming an interface barrier portion described in the fourth embodiment may be applied. Note that, for example, the technique for forming an interface barrier portion described in the fourth embodiment may be applied to the semiconductor devices (FIGS. 23 to 26, etc.) of the various modifications described above.

또한, 상기 제 4의 실시 형태에서 설명한 계면 배리어부의 형성 기술은 상기 각종 참고예의 반도체 장치(도 27 및 도 34)에도 적용 가능하다. 단, 이 경우에는, 접합 계면(Sj)에서, 제 2 층간 절연막과 대향하는, 제 1 Cu 접합부의 표면 영역 뿐만 아니라, 제 1층간 절연막과 대향하는, 제 2 Cu 접합부의 표면 영역에도 오목부가 형성된다.In addition, the technique for forming the interface barrier part described in the fourth embodiment is applicable to the semiconductor devices (FIGS. 27 and 34) of the various reference examples described above. However, in this case, at the bonding interface Sj, not only the surface region of the first Cu junction facing the second interlayer insulating film, but also the surface region of the second Cu junction facing the first interlayer insulating film, a recess is formed. do.

<7. 각종 응용례><7. Various application examples>

상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예에서 설명한 반도체 장치, 및, 그 제조 수법(Cu-Cu 접합 수법)은, 제조시에 2장의 기판를 맞붙여서 Cu-Cu 접합 처리를 필요로 하는 각종 전자 기기에 적용 가능하다. 특히, 상술한 각종 실시 형태 및 상기 각종 변형예의 Cu-Cu 접합 수법은, 예를 들면, 고체 촬상 장치의 제조에 알맞다.The semiconductor device described in the above various embodiments and various modifications, and its manufacturing method (Cu-Cu bonding method) can be applied to various electronic devices requiring Cu-Cu bonding by bonding two substrates together during manufacturing. do. In particular, the Cu-Cu bonding method of the various embodiments and the various modifications described above is suitable for, for example, manufacture of a solid-state imaging device.

[응용례 1][Application Example 1]

도 37에, 상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예에서 설명한 반도체 장치, 및, 그 제조 수법이 적용 가능한 반도체 이미지 센서 모듈의 구성례를 도시한다. 도 37에 도시하는 반도체 이미지 센서 모듈(700)은, 제 1 반도체 칩(701)과, 제 2 반도체 칩(702)을 접합하여 구성된다.Fig. 37 shows a configuration example of the semiconductor device described in the above various embodiments and various modifications, and a semiconductor image sensor module to which the manufacturing method can be applied. The semiconductor image sensor module 700 shown in FIG. 37 is configured by bonding a first semiconductor chip 701 and a second semiconductor chip 702 to each other.

제 1 반도체 칩(701)은, 포토다이오드 형성 영역(703)과, 트랜지스터 형성 영역(704)과, 아날로그/디지털 변환기 어레이(705)를 내장한다. 그리고, 포토다이오드 형성 영역(703)상에, 트랜지스터 형성 영역(704), 및, 아날로그/디지털 변환기 어레이(705)는 이 순서로 적층된다.The first semiconductor chip 701 incorporates a photodiode formation region 703 , a transistor formation region 704 , and an analog/digital converter array 705 . Then, on the photodiode formation region 703, the transistor formation region 704, and the analog/digital converter array 705 are stacked in this order.

또한, 아날로그/디지털 변환기 어레이(705)에는, 관통 콘택트부(706)가 형성된다. 관통 콘택트부(706)는, 그 한쪽의 단부가, 아날로그/디지털 변환기 어레이(705)의 제 2 반도체 칩(702)측의 표면에 노출하도록 형성된다.Further, in the analog/digital converter array 705, a through contact portion 706 is formed. The through contact portion 706 is formed so that one end thereof is exposed to the surface of the analog/digital converter array 705 on the second semiconductor chip 702 side.

한편, 제 2 반도체 칩(702)은, 메모리 어레이로 구성되고, 그 내부에는, 콘택트부(707)가 형성된다. 콘택트부(707)는, 그 한쪽의 단부가, 제 2 반도체 칩(702)의 제 1 반도체 칩(701)측의 표면에 노출하도록 형성된다.On the other hand, the second semiconductor chip 702 is constituted by a memory array, and a contact portion 707 is formed therein. The contact portion 707 is formed so that one end thereof is exposed to the surface of the second semiconductor chip 702 on the first semiconductor chip 701 side.

그리고, 관통 콘택트부(706)와 콘택트부(707)를 맞댄 상태로, 가열 압착함에 의해, 제 1 반도체 칩(701)과 제 2 반도체 칩(702)이 접합되고, 반도체 이미지 센서 모듈(700)이 제작된다. 이와 같은 구성의 반도체 이미지 센서 모듈(700)에서는, 단위 면적당의 화소수를 늘릴 수 있음과 함께, 그 두께를 얇게 할 수 있다.Then, the first semiconductor chip 701 and the second semiconductor chip 702 are joined by thermal compression with the through contact portion 706 and the contact portion 707 facing each other, and the semiconductor image sensor module 700 . this is made In the semiconductor image sensor module 700 having such a configuration, the number of pixels per unit area can be increased and the thickness thereof can be made thin.

이 예의 반도체 이미지 센서 모듈(700)에서는, 예를 들면 제 1 반도체 칩(701)과 제 2 반도체 칩(702)과의 접합 공정에서, 상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예의 Cu-Cu 접합 수법을 적용할 수 있다. 이 경우에는, 제 1 반도체 칩(701) 및 제 2 반도체 칩(702) 사이의 접합 계면의 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있다.In the semiconductor image sensor module 700 of this example, for example, in the bonding process of the first semiconductor chip 701 and the second semiconductor chip 702 , the Cu-Cu bonding method of the above various embodiments and various modifications is applied. can do. In this case, the reliability of the junction interface between the first semiconductor chip 701 and the second semiconductor chip 702 can be further improved.

[응용례 2][Application Example 2]

도 38에, 상기 각종 실시 형태 및 각종 변형예에서 설명한 반도체 장치, 및, 그 제조 수법이 적용 가능한 이면 조사형의 고체 촬상 장치의 주요부의 개략 단면도를 도시한다.Fig. 38 is a schematic cross-sectional view of a main part of the semiconductor device described in the above various embodiments and various modifications, and a backside-illuminated solid-state imaging device to which the manufacturing method can be applied.

도 38에 도시하는 고체 촬상 장치(800)는, 반제품 상태의 화소 어레이를 구비한 제 1의 반도체 기판(810)과, 반제품 상태의 로직 회로를 구비한 제 2의 반도체 기판(820)을 접합하여 구성된다. 또한, 도 38에 도시하는 고체 촬상 장치(800)에서는, 제 1의 반도체 기판(810)의 제 2의 반도체 기판(820)측과는 반대측의 표면상에, 평탄화막(830), 온 칩 컬러 필터(831), 및, 온 칩 마이크로 렌즈(832)가 이 순서로 적층된다.In the solid-state imaging device 800 shown in Fig. 38, a first semiconductor substrate 810 having a pixel array in a semi-finished state and a second semiconductor substrate 820 having a logic circuit in a semi-finished state are bonded to each other. is composed Further, in the solid-state imaging device 800 shown in Fig. 38, on the surface of the first semiconductor substrate 810 on the opposite side to the second semiconductor substrate 820 side, a planarization film 830, an on-chip color A filter 831 and an on-chip micro lens 832 are stacked in this order.

제 1의 반도체 기판(810)은, P형의 반도체 웰 영역(811), 및, 다층 배선층(812)을 가지며, 평탄화막(830)측에, 반도체 웰 영역(811)이 배치된다. 반도체 웰 영역(811) 내에는, 예를 들면 포토다이오드(PD), 플로팅 디퓨전(FD), 화소를 구성하는 MOS 트랜지스터(Tr1, Tr2), 및, 제어 회로를 구성하는 MOS 트랜지스터(Tr3, Tr4)가 형성된다. 또한, 다층 배선층(812) 내에는, 층간 절연막(813)을 통하여 형성된 복수의 메탈 배선(814), 및, 메탈 배선(814)과 대응하는 MOS 트랜지스터를 접속하기 위해 층간 절연막(813)에 형성된 접속 도체(815)가 형성된다.The first semiconductor substrate 810 has a P-type semiconductor well region 811 and a multilayer wiring layer 812 , and a semiconductor well region 811 is disposed on the planarization film 830 side. In the semiconductor well region 811, for example, the photodiode PD, the floating diffusion FD, the MOS transistors Tr1 and Tr2 constituting the pixel, and the MOS transistors Tr3 and Tr4 constituting the control circuit. is formed Further, in the multilayer wiring layer 812, a plurality of metal wirings 814 formed through the interlayer insulating film 813, and a connection formed in the interlayer insulating film 813 for connecting the metal wirings 814 and corresponding MOS transistors Conductor 815 is formed.

한편, 제 2의 반도체 기판(820)은, 예를 들면 실리콘 기판의 표면에 형성된 반도체 웰 영역(821)과, 반도체 웰 영역(821)의 제 1의 반도체 기판(810)측에 형성된 다층 배선층(822)을 갖는다. 반도체 웰 영역(821)에는, 로직 회로를 구성하는 MOS 트랜지스터(Tr6, Tr7, Tr8)가 형성된다. 또한, 다층 배선층(822) 내에는, 층간 절연막(823)을 통하여 형성된 복수의 메탈 배선(824), 및, 메탈 배선(824)과 대응하는 MOS 트랜지스터를 접속하기 위해 층간 절연막(823)에 형성된 접속 도체(825)가 형성된다.On the other hand, the second semiconductor substrate 820 includes, for example, a semiconductor well region 821 formed on the surface of the silicon substrate, and a multilayer wiring layer formed on the first semiconductor substrate 810 side of the semiconductor well region 821 ( 822). In the semiconductor well region 821, MOS transistors Tr6, Tr7, and Tr8 constituting the logic circuit are formed. Further, in the multilayer wiring layer 822, a plurality of metal wirings 824 formed through the interlayer insulating film 823, and a connection formed in the interlayer insulating film 823 for connecting the metal wirings 824 and corresponding MOS transistors Conductor 825 is formed.

상술한 구성의 이면 조사형의 고체 촬상 장치(800)에도, 상술한 본 개시에 관한 각종 실시 형태 및 상기 각종 변형예의 Cu-Cu 접합 기술을 적용할 수 있다.The Cu-Cu bonding technique of the various embodiments of the present disclosure described above and the various modifications described above can also be applied to the backside-illuminated solid-state imaging device 800 having the above-described configuration.

제 4의 실시예4th embodiment

<<1. 반도체 장치의 개요>><<1. Overview of semiconductor devices>>

반도체 장치의 접합 전극의 구성의 개요에 관해 설명한다.The outline of the structure of the junction electrode of a semiconductor device is demonstrated.

도 39에, 종래의 일반적인 접합 전극의 구성을 도시한다. 도 39는 접합 전극을 구비하는 접합부의 구성을 도시하는 단면도이다.Fig. 39 shows the configuration of a conventional general bonding electrode. Fig. 39 is a cross-sectional view showing the configuration of a junction part provided with a junction electrode.

제 1 접합부(910)는, 도시하지 않은 반도체 기체 상에 형성되어 있다. 그리고, 제 1 접합부(910)는, 제 1 배선층(912)과, 제 1 배선층(912)에 비어(913)를 통하여 접속하는 제 1 접합 전극(911)을 구비한다.The first junction portion 910 is formed on a semiconductor substrate (not shown). The first bonding portion 910 includes a first wiring layer 912 and a first bonding electrode 911 connected to the first wiring layer 912 through a via 913 .

제 1 배선층(912)은, 층간 절연층(919) 내에 형성되어 있다. 그리고, 층간 절연층(919)상에 중간층(918)을 통하여, 층간 절연층(917)이 형성되어 있다. 또한, 층간 절연층(917)상에 중간층(916)을 통하여, 층간 절연층(915)을 구비한다.The first wiring layer 912 is formed in the interlayer insulating layer 919 . Then, an interlayer insulating layer 917 is formed on the interlayer insulating layer 919 through an intermediate layer 918 . Further, an interlayer insulating layer 915 is provided on the interlayer insulating layer 917 through an intermediate layer 916 .

제 1 접합 전극(911)은, 층간 절연층(915) 내에 형성되고, 제 1 접합 전극(911)의 표면이, 층간 절연층(915)의 표면으로부터 노출되어 있다. 이 노출면은, 층간 절연층(915)의 표면과 동일면에 형성되어 있다.The first bonding electrode 911 is formed in the interlayer insulating layer 915 , and the surface of the first bonding electrode 911 is exposed from the surface of the interlayer insulating layer 915 . This exposed surface is formed on the same surface as the surface of the interlayer insulating layer 915 .

또한, 중간층(916), 층간 절연층(917) 및 중간층(918)을 관통하는 비어(913)에 의해, 제 1 배선층(912)과 제 1 접합 전극(911)이 전기적으로 접속되어 있다.Further, the first wiring layer 912 and the first bonding electrode 911 are electrically connected to each other by a via 913 penetrating the intermediate layer 916 , the interlayer insulating layer 917 , and the intermediate layer 918 .

제 1 접합 전극(911), 비어(913)와 층간 절연층(915 및 917), 중간층(916)과의 사이에는, 전극 재료의 절연층으로의 확산을 막기 위한 배리어 메탈층(914)을 구비한다. 또한, 제 1 배선층(912)과 층간 절연층(919)과의 사이에 배리어 메탈층(931)을 구비한다.A barrier metal layer 914 is provided between the first bonding electrode 911 and the via 913 and the interlayer insulating layers 915 and 917 and the intermediate layer 916 to prevent diffusion of the electrode material into the insulating layer. do. In addition, a barrier metal layer 931 is provided between the first wiring layer 912 and the interlayer insulating layer 919 .

제 2 접합부(920)는, 상술한 제 1 접합부(910)와 마찬가지로, 도시하지 않은 반도체 기체 상에 형성되어 있다. 그리고, 제 2 접합부(920)는, 제 2 배선층(922)과, 제 2 배선층(922)에 비어(923)를 통하여 접속하는 제 2 접합 전극(921)을 구비한다.The second junction portion 920 is formed on a semiconductor substrate (not shown) similarly to the above-described first junction portion 910 . The second bonding portion 920 includes a second wiring layer 922 and a second bonding electrode 921 connected to the second wiring layer 922 via a via 923 .

제 2 배선층(922)은, 층간 절연층(929) 내에 형성되어 있다. 그리고, 층간 절연층(929)상에 중간층(928)을 통하여, 층간 절연층(927)이 형성되어 있다. 또한, 층간 절연층(927)상에 중간층(926)을 통하여, 층간 절연층(925)을 구비한다.The second wiring layer 922 is formed in the interlayer insulating layer 929 . Then, an interlayer insulating layer 927 is formed on the interlayer insulating layer 929 through an intermediate layer 928 . Further, an interlayer insulating layer 925 is provided on the interlayer insulating layer 927 through an intermediate layer 926 .

제 2 접합 전극(921)은, 층간 절연층(925) 내에 형성되고, 제 2 접합 전극(921)의 표면이, 층간 절연층(925)의 표면으로부터 노출되어 있다. 이 노출면은, 층간 절연층(925)의 표면과 동일면에 형성되어 있다.The second bonding electrode 921 is formed in the interlayer insulating layer 925 , and the surface of the second bonding electrode 921 is exposed from the surface of the interlayer insulating layer 925 . This exposed surface is formed on the same surface as the surface of the interlayer insulating layer 925 .

또한, 중간층(926), 층간 절연층(927) 및 중간층(928)을 관통하는 비어(923)에 의해, 제 2 배선층(922)과 제 2 접합 전극(921)이 전기적으로 접속되어 있다.Further, the second wiring layer 922 and the second bonding electrode 921 are electrically connected to each other by the intermediate layer 926 , the interlayer insulating layer 927 , and the via 923 penetrating the intermediate layer 928 .

제 2 접합 전극(921), 비어(923)와 층간 절연층(925, 927), 중간층(926)과의 사이에는, 전극 재료의 절연층으로의 확산을 막기 위한 배리어 메탈층(924)을 구비한다. 또한, 제 2 배선층(922)과 층간 절연층(929)과의 사이에 배리어 메탈층(932)을 구비한다.A barrier metal layer 924 is provided between the second bonding electrode 921 and the via 923 and the interlayer insulating layers 925 and 927 and the intermediate layer 926 to prevent diffusion of the electrode material into the insulating layer. do. In addition, a barrier metal layer 932 is provided between the second wiring layer 922 and the interlayer insulating layer 929 .

상술한 바와 같이, 제 1 접합 전극(911)과 제 2 접합 전극(921)이 접합된 상태에서, 제 1 접합부(910)와 제 2 접합부(920)가 맞붙여져 있다.As described above, in the state where the first bonding electrode 911 and the second bonding electrode 921 are bonded, the first bonding portion 910 and the second bonding portion 920 are bonded to each other.

또한, 제 1 접합 전극(911)과 제 2 접합 전극(921)과의 접합에서는, 접합 신뢰성을 확보하기 위해, 한쪽의 전극의 면적을 크게 함에 의해, 접합 위치가 어긋난 경우에도, 접합 면적에 차가 발생하지 않도록 설계되어 있다. 도 39에 도시하는 구성에서는, 제 2 접합 전극(921)의 면적을 크게 함에 의해, 위치 어긋남에 대한 접속 신뢰성을 확보하고 있다.In the bonding between the first bonding electrode 911 and the second bonding electrode 921 , in order to ensure bonding reliability, by increasing the area of one electrode, even if the bonding position is misaligned, there is a difference in the bonding area. It is designed not to happen. In the configuration shown in Fig. 39, by increasing the area of the second bonding electrode 921, the connection reliability with respect to positional displacement is secured.

도 39에 도시하는 구성에서는, 상술한 바와 같이 제 1 접합 전극(911)과 제 2 접합 전극(921)에서 면적차를 갖는 구성을 위해, 면적이 큰 편의 제 2 접합 전극(921)은, 그 표면에 제 1 접합부(910)의 층간 절연층(915)과 직접 접촉하는 접촉부(933)를 갖는다.In the configuration shown in Fig. 39, in order to have a configuration having an area difference between the first bonding electrode 911 and the second bonding electrode 921 as described above, the second bonding electrode 921 having a larger area is the It has a contact 933 in direct contact with the interlayer insulating layer 915 of the first junction 910 on its surface.

이 접촉부(933)는, Cu 등의 금속층이 층간 절연층(915)과 직접 접촉하고 있는 구성으로 된다.The contact portion 933 has a configuration in which a metal layer such as Cu is in direct contact with the interlayer insulating layer 915 .

또한, 일반적으로 층간 절연층(915) 등을 구성하는 SiO2는, 흡습하기 쉬운 성질을 갖기 때문에,층 내에 물(H2O)이 포함되기 쉽다. 또한, 근래의 고성능 디바이스에 사용되는 low-k(k<2.4) 재료는, 흡습성이 더욱 크다. In addition, in general, SiO 2 constituting the interlayer insulating layer 915 or the like has a property of easily absorbing moisture, so that water (H 2 O) is easily contained in the layer. In addition, low-k (k<2.4) materials used in recent high-performance devices are more hygroscopic.

이 때문에, 제 2 접합 전극(921)과 층간 절연층(915)이 직접 접하는 접촉부(933)에서는, 층간 절연층(915) 등에 함유되는 물(930)과 제 2 접합 전극(921)이 접촉한다. 이 경우, 제 2 접합 전극(921)을 구성하는 Cu 등의 금속이 부식할 가능성이 있다.For this reason, in the contact portion 933 where the second bonding electrode 921 and the interlayer insulating layer 915 are in direct contact, the water 930 contained in the interlayer insulating layer 915 or the like is in contact with the second bonding electrode 921 . . In this case, there is a possibility that a metal such as Cu constituting the second bonding electrode 921 may corrode.

상술한 바와 같이, 반도체 기체를 금속의 접합 전극끼리 접합하는 구성의 반도체 장치에서는, 층간 절연층에 포함되는 물에 의한 접합 전극의 부식이 발생한다. 접합 전극이 수분에 의해 부식되면, 전극 사이의 저항 상승, 도통 불량 등이 야기되고, 반도체 장치의 정상적인 기능를 방해하는 원인이 된다.As described above, in a semiconductor device having a configuration in which a semiconductor substrate is bonded to metal bonding electrodes, corrosion of the bonding electrode by water contained in the interlayer insulating layer occurs. When the bonding electrode is corroded by moisture, resistance between the electrodes increases, poor conduction, and the like are caused, and it becomes a cause of interfering with the normal function of the semiconductor device.

이 때문에, 접합 전극에 의해 접합된 반도체 장치에서는, 층간 절연층에 포함되는 물에 의한 접합 전극의 부식을 막는 구성이 요구되고 있다.For this reason, in the semiconductor device joined by the bonding electrode, the structure which prevents corrosion of the bonding electrode by the water contained in an interlayer insulating layer is calculated|required.

<<2. 반도체 장치의 실시 형태>><<2. Embodiment of semiconductor device>>

이하, 접합 전극을 구비하는 반도체 장치의 실시 형태에 관해 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of the semiconductor device provided with a junction electrode is demonstrated.

도 40a 및 도 40b에, 본 실시 형태의 접합 전극을 구비하는 반도체 장치의 개략 구성을 도시한다. 도 40a는, 본 실시 형태의 반도체 장치의 접합 전극 영역 부근의 단면도이다. 도 40b는, 도 40a에 도시하는 제 1 접합부(940)의 접합면(950)의 평면도이다. 또한, 도 40a 및 도 40b에서는, 접합 전극의 형성 영역 부근의 개략 구성만을 도시하고, 접합 전극이 형성되는 반도체 기체 및 접합 전극 주위에 마련되는 각 구성부의 도시를 생략한다.40A and 40B show a schematic configuration of a semiconductor device including the junction electrode of the present embodiment. 40A is a cross-sectional view in the vicinity of the junction electrode region of the semiconductor device of the present embodiment. 40B is a top view of the bonding surface 950 of the 1st bonding part 940 shown in FIG. 40A. In addition, in FIGS. 40A and 40B, only the schematic structure of the vicinity of the formation area|region of a bonding electrode is shown, and illustration of each structural part provided around the semiconductor base on which a bonding electrode is formed and a bonding electrode is abbreviate|omitted.

도 40a에 도시하는 바와 같이, 제 1 접합부(940)와 제 2 접합부(960)가 전극 형성면을 대향시켜서 접합된 반도체 장치가 형성되어 있다.As shown in FIG. 40A, the semiconductor device in which the 1st junction part 940 and the 2nd junction part 960 were made to face the electrode formation surface and were joined is formed.

제 1 접합부(940)는, 접합면(950)에 제 1 접합 전극(941), 제 2 접합 전극(942), 및, 제 3 접합 전극(943)을 구비한다. 또한, 제 2 접합부(960)는, 접합면(950)에, 제 4 접합 전극(961), 제 5 접합 전극(962), 및, 제 6 접합 전극(963)을 구비한다.The first bonding portion 940 includes a first bonding electrode 941 , a second bonding electrode 942 , and a third bonding electrode 943 on a bonding surface 950 . Further, the second bonding portion 960 includes a fourth bonding electrode 961 , a fifth bonding electrode 962 , and a sixth bonding electrode 963 on the bonding surface 950 .

그리고, 제 1 접합부(940)의 제 1 접합 전극(941)과, 제 2 접합부(960)의 제 4 접합 전극(961)이 접합되어 있다. 또한, 제 2 접합 전극(942)과 제 5 접합 전극(962)이 접합되고, 제 3 접합 전극(943)과 제 6 접합 전극(963)이 접합되어 있다.Then, the first bonding electrode 941 of the first bonding portion 940 and the fourth bonding electrode 961 of the second bonding portion 960 are bonded. Further, the second bonding electrode 942 and the fifth bonding electrode 962 are bonded, and the third bonding electrode 943 and the sixth bonding electrode 963 are bonded.

[절연층][insulation layer]

제 1 접합부(940) 및 제 2 접합부(960)는, 복수의 배선층과 절연층이 적층되어 구성되어 있다.The first bonding portion 940 and the second bonding portion 960 are configured by stacking a plurality of wiring layers and insulating layers.

제 1 접합부(940)의 절연층은, 접합면(950)측부터 차례로, 제 1층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 제 2 층간 절연층(953), 제 2 중간층(954), 및, 제 3 층간 절연층(955)으로 구성되어 있다. 또한, 제 2 접합부(960)의 절연층은, 접합면(950)측부터 차례로, 제 4 층간 절연층(971), 제 3 중간층(972), 제 5 층간 절연층(973), 제 4 중간층(974), 및, 제 6 층간 절연층(975)으로 구성되어 있다.The insulating layers of the first bonding portion 940 are, in order from the bonding surface 950 side, a first interlayer insulating layer 951 , a first intermediate layer 952 , a second interlayer insulating layer 953 , and a second intermediate layer 954 . ), and a third interlayer insulating layer 955 . In addition, the insulating layers of the second bonding portion 960 are sequentially formed from the bonding surface 950 side: the fourth interlayer insulating layer 971 , the third intermediate layer 972 , the fifth interlayer insulating layer 973 , and the fourth intermediate layer (974), and a sixth interlayer insulating layer (975).

[도체층 : 제 1 접합부][Conductor layer: first junction]

제 1 접합부(940)의 제 1 접합 전극(941), 제 2 접합 전극(942), 및, 제 3 접합 전극(943)은, 제 1층간 절연층(951)에 형성되어 있다. 그리고, 접합면(950)에, 제 1 접합 전극(941), 제 2 접합 전극(942), 및, 제 3 접합 전극(943)의 표면이 노출하고, 제 1층간 절연층(951)과 동일면에 형성되어 있다.The first bonding electrode 941 , the second bonding electrode 942 , and the third bonding electrode 943 of the first bonding portion 940 are formed in the first interlayer insulating layer 951 . The surfaces of the first bonding electrode 941 , the second bonding electrode 942 , and the third bonding electrode 943 are exposed on the bonding surface 950 , and the same surface as the first interlayer insulating layer 951 . is formed in

제 1 배선(946), 제 2 배선(947), 및, 제 3 배선(948)은, 제 3 층간 절연층(955) 내에 제 2 중간층(954)과 접하는 위치에 형성되어 있다.The first wiring 946 , the second wiring 947 , and the third wiring 948 are formed in the third interlayer insulating layer 955 at a position in contact with the second intermediate layer 954 .

제 1 접합 전극(941)과 제 1 배선(946)은, 제 1 중간층(952), 제 2 층간 절연층(953) 및 제 2 중간층(954)을 관통하는 제 1 비어(956)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 마찬가지로, 제 2 접합 전극(942)과 제 2 배선(947)은, 제 2 비어(957)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 제 3 접합 전극(943)과 제 3 배선(948)은, 제 3 비어(958)에 의해 전기적으로 접속되어 있다.The first bonding electrode 941 and the first wiring 946 are electrically connected by a first via 956 penetrating through the first intermediate layer 952 , the second interlayer insulating layer 953 , and the second intermediate layer 954 . is connected to Similarly, the second bonding electrode 942 and the second wiring 947 are electrically connected by a second via 957 . The third bonding electrode 943 and the third wiring 948 are electrically connected by a third via 958 .

또한, 제 1 접합 전극(941)과 제 1층간 절연층(951)과의 사이에는, 제 1 접합 전극(941)의 절연층으로의 확산을 막기 위한 배리어 메탈층(941A)이 마련되어 있다. 그리고, 제 2 접합 전극(942) 및 제 3 접합 전극(943)과 제 1층간 절연층(951)과의 사이에 배리어 메탈층(942A, 943A)이 마련되어 있다. 또한, 제 1 배선(946)과 제 3 층간 절연층(955)과의 사이에 배리어 메탈층(946A), 제 2 배선(947)과 제 3 층간 절연층(955)과의 사이에 배리어 메탈층(947A), 제 3 배선(948)과 제 3 층간 절연층(955)과의 사이에 배리어 메탈층(948A)이 마련되어 있다.A barrier metal layer 941A for preventing diffusion of the first bonding electrode 941 into the insulating layer is provided between the first bonding electrode 941 and the first interlayer insulating layer 951 . Then, barrier metal layers 942A and 943A are provided between the second bonding electrode 942 and the third bonding electrode 943 and the first interlayer insulating layer 951 . Further, a barrier metal layer 946A is formed between the first wiring 946 and the third interlayer insulating layer 955 and a barrier metal layer is formed between the second wiring 947 and the third interlayer insulating layer 955 . At 947A, a barrier metal layer 948A is provided between the third wiring 948 and the third interlayer insulating layer 955 .

또한, 제 1 비어(956), 제 2 비어(957), 및, 제 3 비어(958)와 제 1 중간층(952), 제 5 층간 절연층(973), 및, 제 2 중간층(954)과의 사이에도, 각각 배리어 메탈층(956A), 배리어 메탈층(957A), 및, 배리어 메탈층(958A)이 마련되어 있다. 제 1 비어(956), 제 2 비어(957), 및, 제 3 비어(958)는, 각각 배리어 메탈층(956A), 배리어 메탈층(957A), 및, 배리어 메탈층(958A)을 통하여, 제 1 배선(946), 제 2 배선(947), 및, 제 3 배선(948)과 접속하고 있다.Further, the first via 956 , the second via 957 , the third via 958 , the first intermediate layer 952 , the fifth interlayer insulating layer 973 , and the second intermediate layer 954 , A barrier metal layer 956A, a barrier metal layer 957A, and a barrier metal layer 958A are respectively provided between the . The first via 956, the second via 957, and the third via 958 each have a barrier metal layer 956A, a barrier metal layer 957A, and a barrier metal layer 958A, respectively. It is connected to the first wiring 946 , the second wiring 947 , and the third wiring 948 .

[도체층 : 제 2 접합부][Conductor Layer: Second Joint]

제 2 접합부(960)의 제 4 접합 전극(961), 제 5 접합 전극(962), 및, 제 6 접합 전극(963)은, 제 4 층간 절연층(971)에 형성되어 있다. 그리고, 접합면(950)에 제 4 접합 전극(961), 제 5 접합 전극(962), 및, 제 6 접합 전극(963)의 표면이 노출하고, 제 4 층간 절연층(971)과 동일면에 형성되어 있다.The fourth bonding electrode 961 , the fifth bonding electrode 962 , and the sixth bonding electrode 963 of the second bonding portion 960 are formed in the fourth interlayer insulating layer 971 . Then, the surfaces of the fourth bonding electrode 961 , the fifth bonding electrode 962 , and the sixth bonding electrode 963 are exposed on the bonding surface 950 , and on the same surface as the fourth interlayer insulating layer 971 . is formed

제 4 배선(966), 제 5 배선(967), 및, 제 6 배선(968)은, 제 6 층간 절연층(975) 내에 제 4 중간층(974)과 접하는 위치에 형성되어 있다.The fourth wiring 966 , the fifth wiring 967 , and the sixth wiring 968 are formed in the sixth interlayer insulating layer 975 at a position in contact with the fourth intermediate layer 974 .

제 4 접합 전극(961)과 제 4 배선(966)은, 제 3 중간층(972), 제 5 층간 절연층(973) 및 제 4 중간층(974)을 관통하는 제 4 비어(976)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 마찬가지로, 제 5 접합 전극(962)과 제 5 배선(967)은, 제 5 비어(977)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 제 6 접합 전극(963)과 제 6 배선(968)은, 제 6 비어(978)에 의해 전기적으로 접속되어 있다.The fourth bonding electrode 961 and the fourth wiring 966 are electrically connected by a fourth via 976 penetrating the third intermediate layer 972 , the fifth interlayer insulating layer 973 , and the fourth intermediate layer 974 . is connected to Similarly, the fifth bonding electrode 962 and the fifth wiring 967 are electrically connected by a fifth via 977 . The sixth bonding electrode 963 and the sixth wiring 968 are electrically connected by a sixth via 978 .

또한, 제 4 접합 전극(961)과 제 4 층간 절연층(971)과의 사이에는, 제 4 접합 전극(961)의 절연층으로의 확산을 막기 위한 배리어 메탈층(961A)이 마련되어 있다. 그리고, 제 5 접합 전극(962) 및 제 6 접합 전극(963)과 제 4 층간 절연층(971)과의 사이에 배리어 메탈층(962A, 963A)이 마련되어 있다. 또한, 제 4 배선(966)과 제 6 층간 절연층(975)과의 사이에 배리어 메탈층(966A), 제 5 배선(967)과 제 6 층간 절연층(975)과의 사이에 배리어 메탈층(967A), 제 6 배선(968)과 제 6 층간 절연층(975)과의 사이에 배리어 메탈층(968A)을 구비한다.Further, a barrier metal layer 961A is provided between the fourth bonding electrode 961 and the fourth interlayer insulating layer 971 to prevent diffusion of the fourth bonding electrode 961 into the insulating layer. Then, barrier metal layers 962A and 963A are provided between the fifth bonding electrode 962 and the sixth bonding electrode 963 and the fourth interlayer insulating layer 971 . Further, a barrier metal layer 966A is formed between the fourth wiring 966 and the sixth interlayer insulating layer 975 and a barrier metal layer is formed between the fifth wiring 967 and the sixth interlayer insulating layer 975 . At 967A, a barrier metal layer 968A is provided between the sixth wiring 968 and the sixth interlayer insulating layer 975 .

또한, 제 4 비어(976), 제 5 비어(977), 및, 제 6 비어(978)와 제 3 중간층(972), 제 5 층간 절연층(973), 및, 제 4 중간층(974)과의 사이에도, 각각 배리어 메탈층(976A), 배리어 메탈층(977A), 및, 배리어 메탈층(978A)이 마련되어 있다. 제 4 비어(976), 제 5 비어(977), 및, 제 6 비어(978)는, 각각 배리어 메탈층(976A), 배리어 메탈층(977A), 및, 배리어 메탈층(978A)을 통하여, 제 4 배선(966), 제 5 배선(967), 및, 제 6 배선(968)과 접속하고 있다.Further, a fourth via 976 , a fifth via 977 , a sixth via 978 , a third intermediate layer 972 , a fifth interlayer insulating layer 973 , and a fourth intermediate layer 974 , A barrier metal layer 976A, a barrier metal layer 977A, and a barrier metal layer 978A are respectively provided between the . The fourth via 976, the fifth via 977, and the sixth via 978 each have a barrier metal layer 976A, a barrier metal layer 977A, and a barrier metal layer 978A, respectively. It is connected to the fourth wiring 966 , the fifth wiring 967 , and the sixth wiring 968 .

[재료][ingredient]

상술한 제 1 배선(946), 제 2 배선(947), 제 3 배선(948), 제 4 배선(966), 제 5 배선(967), 및, 제 6 배선(968)은, 반도체 장치의 배선으로서 일반적으로 이용되는 재료, 예를 들면 Al, Cu 등으로 형성된다.The first wiring 946 , the second wiring 947 , the third wiring 948 , the fourth wiring 966 , the fifth wiring 967 , and the sixth wiring 968 are the semiconductor devices. It is formed of the material generally used as wiring, for example, Al, Cu, etc.

또한, 제 1 접합 전극(941), 제 2 접합 전극(942), 제 3 접합 전극(943), 제 4 접합 전극(961), 제 5 접합 전극(962), 및, 제 6 접합 전극(963)은, 반도체 기체의 접합이 가능한 도전체, 예를 들면 Cu로 형성된다.In addition, the first bonding electrode 941 , the second bonding electrode 942 , the third bonding electrode 943 , the fourth bonding electrode 961 , the fifth bonding electrode 962 , and the sixth bonding electrode 963 . ) is formed of a conductor capable of bonding to a semiconductor substrate, for example, Cu.

각 배리어 메탈층은, 반도체 장치에 배리어 메탈층으로서 일반적으로 적용되는 재료, 예를 들면, Ta, Ti, Ru, TaN, TiN 등으로 형성된다.Each barrier metal layer is formed of a material generally applied as a barrier metal layer in a semiconductor device, for example, Ta, Ti, Ru, TaN, TiN, or the like.

제 1층간 절연층(951), 제 2 층간 절연층(953), 제 3 층간 절연층(955), 제 4 층간 절연층(971), 제 5 층간 절연층(973), 및, 제 6 층간 절연층(975)은, 예를 들면, SiO2, 및, 불소 함유 산화 실리콘(FSG), 폴리아릴에테르(PAE)로 대표되는 유기 실리콘계의 폴리머, 하이드로겐실세스퀴옥산(HSQ), 및, 메틸실세스퀴옥산(MSQ)으로 대표되는 무기계 재료 등, 비유전율 2.7 정도 또는 그 이하의 저유전율(Low-k) 재료에 의해 구성된다.A first interlayer insulating layer 951 , a second interlayer insulating layer 953 , a third interlayer insulating layer 955 , a fourth interlayer insulating layer 971 , a fifth interlayer insulating layer 973 , and a sixth interlayer insulating layer The insulating layer 975 is, for example, SiO 2 , fluorine-containing silicon oxide (FSG), an organosilicon-based polymer represented by polyaryl ether (PAE), hydrogen silsesquioxane (HSQ), and methyl It is constituted of a low-k material with a relative dielectric constant of about 2.7 or less, such as an inorganic material typified by silsesquioxane (MSQ).

도 40a에 도시하는 바와 같이, 상술한 제 1 내지 6 층간 절연층(951, 953, 955, 971, 973, 975)에는, 절연층의 흡습에 의해 물(H2O)(970)이 포함되기 쉽다.As shown in FIG. 40A , the first to sixth interlayer insulating layers 951 , 953 , 955 , 971 , 973 , and 975 include water (H 2 O) 970 due to moisture absorption of the insulating layer. easy.

제 1 중간층(952), 제 2 중간층(954), 제 3 중간층(972), 및, 제 4 중간층(974)은, 배선 등을 구성하는 금속 재료의 확산 방지층으로서, 반도체 장치에 일반적으로 사용 되는 재료에 의해 구성된다. 또한, 각 중간층은 층간 절연층에 함유되는 물(970)을 투과하기 어려운 고밀도 절연층이다. 이와 같은, 확산 방지층이 되는 고밀도 절연층 로서는, 예를 들면, 스핀 코트법이나 CVD법으로 성막된 비유전율 4 내지 7의 P-SiN이나, 이것에 C가 함유된 비유전율 4 이하의 SiCN 등으로 구성한다.The first intermediate layer 952, the second intermediate layer 954, the third intermediate layer 972, and the fourth intermediate layer 974 are diffusion barrier layers of a metal material constituting wirings and the like, which are generally used in semiconductor devices. made up of materials. In addition, each intermediate layer is a high-density insulating layer that hardly penetrates the water 970 contained in the interlayer insulating layer. As such a high-density insulating layer serving as the diffusion barrier layer, for example, P-SiN having a relative permittivity of 4 to 7 formed by a spin coating method or a CVD method, or SiCN having a relative permittivity of 4 or less in which C is contained. make up

[접합부][copula]

상술한 바와 같이, 제 1 접합 전극(941), 제 2 접합 전극(942) 및 제 3 접합 전극(943)과, 제 4 접합 전극(961), 제 5 접합 전극(962) 및 제 6 접합 전극(963)이 접합된 상태에서, 반도체 기체끼리가 접합된 반도체 장치가 구성된다.As described above, the first bonding electrode 941 , the second bonding electrode 942 , and the third bonding electrode 943 , the fourth bonding electrode 961 , the fifth bonding electrode 962 , and the sixth bonding electrode In the state where (963) is joined, a semiconductor device in which semiconductor substrates are joined is constituted.

또한, 도 40a에 도시하는 바와 같이, 제 1 접합부(940)의 접합 전극과, 제 2 접합부(960)의 접합 전극은, 접합 신뢰성을 확보하기 위해, 대향하는 접합 전극의 한쪽의 전극의 면적이 크게 형성되어 있다. 이 구성에 의해, 접합 위치가 어긋난 경우에도, 각 전극의 접합 면적이 변하지 않도록 설계되어 있다.In addition, as shown in FIG. 40A , in the bonding electrode of the first bonding portion 940 and the bonding electrode of the second bonding portion 960, in order to secure bonding reliability, the area of one electrode of the opposite bonding electrode is formed large. By this structure, even when a bonding position shift|deviates, it is designed so that the bonding area of each electrode may not change.

도 40a에 도시하는 구성에서는, 제 2 접합 전극(942), 제 4 접합 전극(961), 및, 제 6 접합 전극(963)이, 대향하는 접합 전극보다도 큰 면적으로 형성되어 있다. 이 때문에, 제 2 접합 전극(942)에는, 제 4 층간 절연층(971)과 직접 접촉하는 접촉부(949)가 형성된다. 또한, 제 4 접합 전극(961), 및, 제 6 접합 전극(963)의 표면에는, 제 1층간 절연층(951)과 직접 접촉하는 접촉부(969, 979)가 형성된다.In the configuration shown in FIG. 40A , the second bonding electrode 942 , the fourth bonding electrode 961 , and the sixth bonding electrode 963 are formed to have a larger area than the opposite bonding electrodes. For this reason, a contact portion 949 in direct contact with the fourth interlayer insulating layer 971 is formed in the second bonding electrode 942 . Further, on the surfaces of the fourth bonding electrode 961 and the sixth bonding electrode 963 , contact portions 969 and 979 in direct contact with the first interlayer insulating layer 951 are formed.

[보호층][protective layer]

제 1 접합부(940)는, 제 1 접합 전극(941)의 주위에, 제 1 보호층(944)을 구비한다. 또한, 제 2 접합 전극(942)과 제 3 접합 전극(943)의 주위를 둘러싸는 제 2 보호층(945)을 구비한다.The first bonding portion 940 includes a first protective layer 944 around the first bonding electrode 941 . In addition, a second protective layer 945 surrounding the second bonding electrode 942 and the third bonding electrode 943 is provided.

제 1 보호층(944) 및 제 2 보호층(945)은, 도 40b에 도시하는 바와 같이, 제 1 접합 전극(941)의 주위를 둘러싸는 일련의 층으로 형성된다. 그리고, 도 40a에 도시하는 바와 같이, 제 1 보호층(944)은, 제 1 접합부(940)의 접합면(950)으로부터, 제 1층간 절연층(951)을 관통하여, 제 1 중간층(952)에 달하는 깊이의 오목부 내에 형성되어 있다. 제 2 보호층(945)은, 제 1 접합부(940)의 접합면(950)으로부터, 제 1층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 및, 제 2 층간 절연층(953)을 관통하여, 제 2 중간층(954)에 달하는 깊이의 오목부 내에 형성되어 있다.The first passivation layer 944 and the second passivation layer 945 are formed as a series of layers surrounding the periphery of the first bonding electrode 941 as shown in FIG. 40B . Then, as shown in FIG. 40A , the first protective layer 944 passes through the first interlayer insulating layer 951 from the bonding surface 950 of the first bonding portion 940 to the first intermediate layer 952 . ) is formed in a recess with a depth reaching The second protective layer 945 includes the first interlayer insulating layer 951 , the first intermediate layer 952 , and the second interlayer insulating layer 953 from the bonding surface 950 of the first bonding portion 940 . It is formed in a recessed portion having a depth that penetrates and reaches the second intermediate layer 954 .

또한, 도 40a에 도시하는 바와 같이, 제 2 접합부(960)에도 상술한 제 1 보호층(944)과 대응하는 위치에, 제 3 보호층(964)을 구비한다. 그리고, 제 2 보호층(945)과 대응하는 위치에 제 4 보호층(965)을 구비한다.Moreover, as shown in FIG. 40A, also in the 2nd bonding part 960, the 3rd protective layer 964 is provided in the position corresponding to the 1st protective layer 944 mentioned above. In addition, a fourth passivation layer 965 is provided at a position corresponding to the second passivation layer 945 .

제 3 보호층(964)은, 제 4 접합 전극(961)의 주위를 둘러싸고, 제 2 접합부(960)의 접합면(950)으로부터, 제 4 층간 절연층(971)을 관통하여, 제 3 중간층(972)에 달하는 깊이의 오목부 내에 형성되어 있다.The third protective layer 964 surrounds the periphery of the fourth bonding electrode 961 , passes through the fourth interlayer insulating layer 971 from the bonding surface 950 of the second bonding portion 960 , and is a third intermediate layer (972) is formed in the recess of the depth.

제 4 보호층(965)은, 제 5 접합 전극(962)과 제 6 접합 전극(963)의 주위를 둘러싸고, 제 2 접합부(960)의 접합면(950)으로부터, 제 4 층간 절연층(971)을 관통하여, 제 3 중간층(972)에 달하는 깊이의 오목부 내에 형성되어 있다.The fourth protective layer 965 surrounds the fifth junction electrode 962 and the sixth junction electrode 963 and forms a fourth interlayer insulating layer 971 from the junction surface 950 of the second junction part 960 . ), and is formed in a concave portion having a depth reaching the third intermediate layer 972 .

그리고, 접합면(950)에서, 제 1 보호층(944)과 제 3 보호층(964)이, 각각 접촉하는 위치에 마련되어 있다. 이 구성에 의해, 제 1 접합 전극(941)과 제 4 접합 전극(961)과의 접합부가, 제 1 보호층(944), 제 3 보호층(964), 제 1 중간층(952), 및 제 3 중간층(972)에 의해 둘러 싸여진다.And in the bonding surface 950, the 1st protective layer 944 and the 3rd protective layer 964 are provided in the position in contact, respectively. With this configuration, the junction portion between the first bonding electrode 941 and the fourth bonding electrode 961 is formed by the first protective layer 944 , the third protective layer 964 , the first intermediate layer 952 , and the second bonding electrode 941 . 3 surrounded by an intermediate layer 972 .

또한, 접합면(950)에서, 제 2 보호층(945)과 제 4 보호층(965)이, 각각 접촉하는 위치에 마련되어 있다. 이 때문에, 제 2 접합 전극(942)과 제 5 접합 전극(962)과의 접합부, 및 제 3 접합 전극(943)과 제 6 접합 전극(963)과의 접합부가 제 2 보호층(945), 제 4 보호층(965), 제 2 중간층(954), 및 제 3 중간층(972)에 의해 둘러 싸여진다.Further, on the bonding surface 950 , the second protective layer 945 and the fourth protective layer 965 are provided at positions in contact with each other. For this reason, the junction portion between the second bonding electrode 942 and the fifth bonding electrode 962 and the bonding portion between the third bonding electrode 943 and the sixth bonding electrode 963 include the second protective layer 945, It is surrounded by a fourth protective layer 965 , a second intermediate layer 954 , and a third intermediate layer 972 .

제 1 보호층(944), 제 2 보호층(945), 제 3 보호층(964), 및 제 4 보호층(965)은, 상술한 각 배리어 메탈층과 같은 재료, 예를 들면, Ta, Ti, Ru, TaN, TiN 등으로 형성된다.The first protective layer 944, the second protective layer 945, the third protective layer 964, and the fourth protective layer 965 are made of the same material as each of the above-described barrier metal layers, for example, Ta, It is formed of Ti, Ru, TaN, TiN, or the like.

[보호층 : 작용][Protection layer: action]

상술한 바와 같이, 제 1 층간 절연층(951)이나 제 4 층간 절연층(971) 등에 적용되는 SiO2나 low-k 재료 등은, 흡습하기 쉬운 성질을 갖는다. 특히, 층간 절연층끼리를 플라즈마 접합법을 이용하여 접합한 경우에는, 절연층의 표면 처리 및 열처리에 의해, 접합면에 물이 발생한다. 이 때문에, 절연층 재료의 흡습에 의해 물(H2O)(970)이, 제 1 층간 절연층(951)이나 제 4 층간 절연층(971) 등에 포함되기 쉽다. As described above, SiO 2 or a low-k material applied to the first interlayer insulating layer 951 or the fourth interlayer insulating layer 971 or the like has a property of easily absorbing moisture. In particular, when the interlayer insulating layers are bonded to each other using the plasma bonding method, water is generated on the bonding surface by the surface treatment and heat treatment of the insulating layer. For this reason, water (H 2 O) 970 is easily contained in the first interlayer insulating layer 951 , the fourth interlayer insulating layer 971 , and the like due to moisture absorption of the insulating layer material.

본 실시예의 반도체 장치의 구성에서는, 접합 전극의 주위에, 제 1 보호층(944), 제 2 보호층(945), 제 3 보호층(964), 및 제 4 보호층(965)을 구비한다. 각 보호층은, 배리어 메탈층과 같은 재료로 구성됨에 의해, 절연층 중에 함유되는 물(970)의 투과를 막을 수 있다. 또한, 제 1 중간층(952), 및 제 3 중간층(972)이, 물(970)을 투과하기 어려운 P-SiN 등의 고밀도 절연층에 의해 구성된다.In the configuration of the semiconductor device of this embodiment, a first protective layer 944 , a second protective layer 945 , a third protective layer 964 , and a fourth protective layer 965 are provided around the junction electrode. . Each of the protective layers is made of the same material as the barrier metal layer, so that the permeation of water 970 contained in the insulating layer can be prevented. Moreover, the 1st intermediate|middle layer 952 and the 3rd intermediate|middle layer 972 are comprised by the high-density insulating layer, such as P-SiN, which is hard to permeate the water 970.

이 때문에, 제 1 보호층(944), 제 3 보호층(964), 제 1 중간층(952), 및 제 3 중간층(972)에 의해, 제 1 층간 절연층(951)이나 제 4 층간 절연층(971)에 포함되어 있는 물(970)을 차단할 수 있다.For this reason, the first interlayer insulating layer 951 and the fourth interlayer insulating layer are formed by the first protective layer 944 , the third protective layer 964 , the first intermediate layer 952 , and the third intermediate layer 972 . It is possible to block the water 970 contained in the (971).

또한, 제 2 보호층(945), 제 4 보호층(965), 제 2 중간층(954), 및 제 3 중간층(972)에 의해 제 1 층간 절연층(951)이나 제 4 층간 절연층(971)에 포함되어 있는 물(970)을 차단할 수 있다.Further, the first interlayer insulating layer 951 and the fourth interlayer insulating layer 971 are formed by the second protective layer 945 , the fourth protective layer 965 , the second intermediate layer 954 , and the third intermediate layer 972 . ) may block the water 970 contained in it.

상술한 구성에 의해, 제 1 접합 전극(941)과 제 4 접합 전극(961)과의 접합부에서, 제 4 접합 전극(961)과 제 1 층간 절연층(951)과의 접촉부(969)에의 물(970)의 접촉을 억제할 수 있다. 마찬가지로, 제 2 접합 전극(942)과 제 5 접합 전극(962)과의 접합부에서, 제 2 접합 전극(942)과 제 4 층간 절연층(971)과의 접촉부(949)에의 물(970)의 접촉을 억제할 수 있다. 그리고, 제 3 접합 전극(943)과 제 6 접합 전극(963)과의 접합부에서, 제 6 접합 전극(963)과 제 1 층간 절연층(951)과의 접촉부(979)에의 물(970)의 접촉을 억제할 수 있다.With the above configuration, water from the contact portion 969 between the fourth bonding electrode 961 and the first interlayer insulating layer 951 at the bonding portion between the first bonding electrode 941 and the fourth bonding electrode 961 (970) contact can be suppressed. Similarly, at the junction between the second junction electrode 942 and the fifth junction electrode 962 , the water 970 at the contact 949 between the second junction electrode 942 and the fourth interlayer insulating layer 971 . contact can be suppressed. Then, at the junction between the third junction electrode 943 and the sixth junction electrode 963 , the water 970 at the contact part 979 between the sixth junction electrode 963 and the first interlayer insulating layer 951 . contact can be suppressed.

또한, 상술한 구성에서는, 제 4 접합 전극(961)의 접촉부(969)는, 제 1 보호층(944), 제 3 보호층(964), 제 1 중간층(952), 및 제 3 중간층(972)에 둘러 싸여진 영역 내의 제 1 층간 절연층(951)에 함유되는 물(970)과 접촉한다. 이 때문에, 제 1 접합 전극(941)과 제 1 보호층(944)과의 거리, 및 제 4 접합 전극(961)과 제 3 보호층(964)과의 거리를, 가능한 한 가깝게 하는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 배선의 디자인 룰에서 가능한 최근접 거리로 함에 의해, 제 1 보호층(944) 및 제 3 보호층(964) 등에 둘러 싸여진 영역 내에서, 절연층이 존재 가능한 영역을 최소화한다. 접합 전극과 보호층은 최근접 거리로서는, 최소로 50nm 정도로할 수 있고, 일반적인 반도체 장치의 디자인 룰에서는 2㎛ 내지 4㎛ 정도로 할 수 있다.In addition, in the above configuration, the contact portion 969 of the fourth bonding electrode 961 includes the first protective layer 944 , the third protective layer 964 , the first intermediate layer 952 , and the third intermediate layer 972 . ) in contact with the water 970 contained in the first interlayer insulating layer 951 in the region surrounded by . For this reason, the distance between the first bonding electrode 941 and the first protective layer 944 and the distance between the fourth bonding electrode 961 and the third protective layer 964 are set to be as close as possible. it is preferable For example, in a region surrounded by the first passivation layer 944 and the third passivation layer 964 and the like, the region where the insulating layer can exist is minimized by setting the distance as closest as possible in the design rule of the wiring. The closest distance between the bonding electrode and the protective layer can be at least about 50 nm, and can be set to about 2 µm to 4 µm according to a general design rule of a semiconductor device.

또한, 제 2 접합 전극(942)의 접촉부(949)나, 제 6 접합 전극(963)의 접촉부(979)에서도, 제 3 보호층(964) 및 제 4 보호층(965) 등의 영역 내의 제 1 층간 절연층(951) 및 제 4 층간 절연층(971)에 함유되는 물(970)과 접촉한다. 이 때문에, 배선의 디자인 룰로 가능한 한 제 2 보호층(945) 및 제 4 보호층(965)을, 제 2 접합 전극(942) 및 제 6 접합 전극(963)에 근접시키는 것이 바람직하다.In addition, in the contact portion 949 of the second bonding electrode 942 and the contact portion 979 of the sixth bonding electrode 963 , the third protective layer 964 and the fourth protective layer 965 in the region It is in contact with water 970 contained in the first interlayer insulating layer 951 and the fourth interlayer insulating layer 971 . For this reason, it is preferable to bring the second protective layer 945 and the fourth protective layer 965 as close to the second bonding electrode 942 and the sixth bonding electrode 963 as possible according to the wiring design rule.

또한, 접합 전극을 둘러싸는 보호층은, 적어도 흡습하기 쉬운 재료로 이루어지는 절연층을 차단하도록 형성될 필요가 있다. 이 때문에, 보호층은, 적어도 접합 전극이 마련되어 있는 층간 절연층의 표면으로부터, 즉, 접합면으로부터, 그 상층의 절연층, 즉, 중간층까지의 깊이까지 형성하는 것이 바람직하다.Further, the protective layer surrounding the bonding electrode needs to be formed so as to at least block the insulating layer made of a material that is liable to absorb moisture. For this reason, it is preferable that the protective layer be formed to a depth from at least the surface of the interlayer insulating layer provided with the bonding electrode, that is, from the bonding surface to the insulating layer of the upper layer, that is, the intermediate layer.

또한, 보호층은, 접합 전극이 형성되어 있는 층간 절연층 보다 더 깊은 위치까지 형성하여도 좋다. 예를 들면, 제 2 보호층(945)과 같이, 접합면(950)으로부터 제 1 층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 및 제 2 층간 절연층(953)을 관통하여 제 2 중간층(954)과 접하는 위치까지 형성하여도 좋다. 제 2 보호층(945)의 구성에 의하면, 제 2 층간 절연층(953) 내의 물을 차단할 수 있기 때문에, 제 2 층간 절연층(953)으로부터, 제 1 중간층(952)을 투과하는 물(970)을 막을 수 있다.In addition, the protective layer may be formed to a position deeper than the interlayer insulating layer in which the bonding electrode is formed. For example, like the second passivation layer 945 , the second interlayer insulating layer 951 , the first interlayer insulating layer 952 , and the second interlayer insulating layer 953 are penetrated from the bonding surface 950 . It may be formed up to a position in contact with the intermediate layer 954 . According to the configuration of the second protective layer 945 , water in the second interlayer insulating layer 953 can be blocked, so that water 970 permeates from the second interlayer insulating layer 953 to the first intermediate layer 952 . ) can be prevented.

또한, 접합면(950)에서, 접촉하는 한쪽의 보호층의 폭을, 다른 쪽의 폭보다 더 크게 함에 의해, 반도체 기체의 접합 위치의 어긋남이 발생한 경우에도, 보호층끼리의 접속 신뢰성을 확보할 수 있다. 도 40a에 도시하는 본 실시예의 반도체 장치의 구성에서는, 제 3 보호층(964) 및 제 4 보호층(965)의 접합면에서의 폭을, 제 1 보호층(944) 및 제 2 보호층(945)보다 더 크게 구성하고 있다.In addition, by making the width of one protective layer in contact with the bonding surface 950 larger than the other width, even when misalignment of the bonding position of the semiconductor substrate occurs, the connection reliability between the protective layers can be secured. can In the configuration of the semiconductor device of this embodiment shown in Fig. 40A, the width at the bonding surface of the third protective layer 964 and the fourth protective layer 965 is determined by the first protective layer 944 and the second protective layer ( 945) is larger.

구체적으로는, 제 3 보호층(964)의 접합 전극측, 즉, 내측이, 제 1 보호층(944)보다 더 접합 전극에 가깝게 되도록, 또한, 제 3 보호층(964)의 접합 전극과 반대측, 즉, 외측이, 제 1 보호층(944)보다 더 접합 전극으로부터 멀게 되도록 구성한다. 이와 같이, 제 3 보호층(964)의 폭을 크게 함에 의해, 접합 위치에 어긋남이 발생한 경우에도, 제 3 보호층(964)의 폭 내에서 제 1 보호층(944)이 접촉한다.Specifically, the bonding electrode side of the third protective layer 964 , that is, the inner side, is closer to the bonding electrode than the first protective layer 944 , and the side opposite to the bonding electrode of the third protective layer 964 . , that is, the outer side is configured to be further away from the bonding electrode than the first protective layer 944 . As described above, by increasing the width of the third protective layer 964 , the first protective layer 944 contacts within the width of the third protective layer 964 even when a misalignment occurs in the bonding position.

또한, 제 4 보호층(965)의 접합 전극측, 즉, 내측이, 제 2 보호층(945)보다더 접합 전극에 가깝게 되도록, 또한, 제 4 보호층(965)의 접합 전극과 반대측, 즉, 외측이, 제 2 보호층(945)보다도 접합 전극으로부터 멀게 되도록 구성한다. 이와 같이, 제 4 보호층(965)의 폭을 크게 함에 의해, 접합 위치에 어긋남이 발생한 경우에도, 제 4 보호층(965)의 폭 내에서 제 2 보호층(945)이 접촉한다.In addition, the bonding electrode side of the fourth protective layer 965 , that is, the inner side, is closer to the bonding electrode than the second protective layer 945 , and the side opposite to the bonding electrode of the fourth protective layer 965 , that is, , the outer side is configured to be farther from the bonding electrode than the second protective layer 945 . As described above, by increasing the width of the fourth protective layer 965 , the second protective layer 945 contacts within the width of the fourth protective layer 965 even when a misalignment occurs in the bonding position.

상술한 구성에 의해, 위치 어긋남에 대한 보호층의 접속 신뢰성을 확보할 수 있다.With the above-described configuration, it is possible to secure the connection reliability of the protective layer against position shift.

[보호층 : 효과][Protection Layer: Effect]

상술한 본 실시예의 반도체 장치의 구성에 의하면, 접합 전극을 둘러싸는 보호층을 형성함에 의해, 접합부의 부식의 요인이 되는 수분과 접합 전극의 접촉을 최소한으로 억제할 수 있다. 이 때문에, 접합 전극의 부식을 억제할 수 있고, 양호한 전기 특성과 신뢰성을 갖는 반도체 장치를 구성할 수 있다.According to the configuration of the semiconductor device of the present embodiment described above, by forming the protective layer surrounding the bonding electrode, the contact between the bonding electrode and moisture, which causes corrosion of the bonding portion, can be minimized. For this reason, corrosion of a junction electrode can be suppressed and the semiconductor device which has favorable electrical characteristics and reliability can be comprised.

따라서, 반도체 장치의 전기 특성, 및 신뢰성의 향상이 가능하게 된다. 또한, 부식에 의한 저항 치의 상승을 억제할 수 있고, 반도체 장치의 처리 속도의 향상이나, 소비 전력의 저하가 가능하게 된다.Accordingly, it is possible to improve the electrical characteristics and reliability of the semiconductor device. In addition, it is possible to suppress an increase in the resistance value due to corrosion, and it is possible to improve the processing speed of the semiconductor device and reduce the power consumption.

또한, 접합 전극을 보호층으로 둘러쌈에 의해, 전극 접합부를 흐르는 전기 신호에 대해 외부로부터의 혼신도 저감할 수 있다. 따라서, 반도체 장치의 노이즈 저감이 가능하게 된다.In addition, by surrounding the bonding electrode with the protective layer, interference from the outside with respect to the electric signal flowing through the electrode bonding portion can also be reduced. Accordingly, noise reduction of the semiconductor device becomes possible.

또한, 접합 전극이나 보호층의 형상은, 상술한 실시예에 기재된 구성으로 한정되지 않는다. 보호층은 접합 전극의 접합면에서, 접합 전극과 둘러싸는 일련의 형상이라면, 도 40b에 도시하는 원형으로 한정되지 않고, 기타의 형상로 하여도 좋다. 또한, 접합 전극의 형상도, 도 40b에 도시하는 원형에 한정되지 않고, 기타의 형상도 할 수 있다.In addition, the shape of a bonding electrode or a protective layer is not limited to the structure described in the Example mentioned above. The protective layer is not limited to the circular shape shown in Fig. 40B, as long as it has a series of shapes surrounding the bonding electrode on the bonding surface of the bonding electrode, and may have other shapes. Note that the shape of the bonding electrode is not limited to the circular shape shown in Fig. 40B, and other shapes can also be used.

<3. 반도체 장치의 제조 방법><3. Manufacturing method of semiconductor device>

다음에, 실시예의 반도체 장치의 제조 방법의 한 예를 설명한다. 또한, 이하의 제조 방법의 설명에서는, 상술한 도 40a 및 도 40b에 도시하는 제 1 접합 전극(941)과, 제 4 접합 전극(961)과의 접합부 부근의 제조 방법만을 나타내고, 기타 구성의 제조 방법은 설명을 생략한다. 제 2 접합 전극(942)과 제 5 접합 전극(962)과의 접합부, 및 제 3 접합 전극(943)과 제 6 접합 전극(963)과의 접합부 등에 관해서는, 제 1 접합 전극(941)과 제 4 접합 전극(961)과의 접합부 부근의 제조 방법과 같이 제조할 수 있다. 또한, 반도체 기체, 배선층, 다른 각종 트랜지스터, 각종 소자의 제작 방법에 관해서는 설명을 생략한다. 이들은 종래 공지의 방법에 의해 제작할 수 있다.Next, an example of a method of manufacturing the semiconductor device of the embodiment will be described. In addition, in the description of the manufacturing method below, only the manufacturing method near the junction part of the 1st bonding electrode 941 and 4th bonding electrode 961 shown in FIGS. 40A and 40B shown above is shown, and manufacturing of other structures. A description of the method is omitted. As for the junction portion between the second bonding electrode 942 and the fifth bonding electrode 962 and the bonding portion between the third bonding electrode 943 and the sixth bonding electrode 963 , the first bonding electrode 941 and It can manufacture similarly to the manufacturing method of the vicinity of the junction part with the 4th bonding electrode 961. In addition, description is abbreviate|omitted about the manufacturing method of a semiconductor substrate, a wiring layer, other various transistors, and various elements. These can be produced by a conventionally well-known method.

또한, 상술한 도 40a 및 도 40b에 도시하는 본 실시예의 반도체 장치의 구성과 같은 구성에는 같은 부호를 붙여서 각 구성의 상세한 설명은 생략한다.In addition, the same code|symbol is attached|subjected to the structure similar to the structure of the semiconductor device of this embodiment shown in FIG. 40A and FIG. 40B mentioned above, and detailed description of each structure is abbreviate|omitted.

우선, 도 41a에 도시하는 바와 같이, 하지 디바이스에 접속된 배리어 메탈층(946A) 및 제 1 배선(946)을 포함하는 제 3 층간 절연층(955)을 형성한다. 이 제 1 배선(946)을 포함하는 제 3 층간 절연층(955)의 형성 방법은, 일반적인 반도체 장치의 제조 방법에 적용되는 다마신 프로세스(예를 들면 일본국 특개2004-63859호 공보 참조) 등을 이용하여 형성할 수 있다. 그리고, 제 1 배선(946) 및 제 3 층간 절연층(955)상에, 10 내지 100nm의 제 2 중간층(954)을 형성한다.First, as shown in Fig. 41A, a third interlayer insulating layer 955 including a barrier metal layer 946A connected to an underlying device and a first wiring 946 is formed. The method of forming the third interlayer insulating layer 955 including the first wiring 946 is a damascene process applied to a general method of manufacturing a semiconductor device (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2004-63859) or the like. can be formed using Then, a second intermediate layer 954 having a thickness of 10 to 100 nm is formed on the first wiring 946 and the third interlayer insulating layer 955 .

다음에, 도 41b에 도시하는 바와 같이, 제 2 중간층(954)상에, 20 내지 200nm의 SiO2층 및 SiOC층 등에 의한 제 2 층간 절연층(953)을 형성한다. 그리고, 제 2 층간 절연층(953)상에 10 내지 100nm의 SiN층 및 SiCN층 등으로 이루어지는 제 1 중간층(952)을 형성한다. 제 1 중간층(952)상에, 20 내지 200nm의 SiO2층 및 SiOC층으로 이루어지는 제 1 층간 절연층(951)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 41B, on the second intermediate layer 954, a second interlayer insulating layer 953 made of a SiO 2 layer of 20 to 200 nm and an SiOC layer or the like is formed. Then, on the second interlayer insulating layer 953, a first intermediate layer 952 composed of a SiN layer and a SiCN layer having a thickness of 10 to 100 nm is formed. On the first intermediate layer 952 , a first interlayer insulating layer 951 composed of an SiO 2 layer and a SiOC layer having a thickness of 20 to 200 nm is formed.

상술한 제 1 층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 제 2 층간 절연층(953), 제 2 중간층(954), 및 제 3 층간 절연층(955)의 각 층은, 예를 들면 CVD법 또는 스핀 코트법을 이용하여 형성한다.Each of the above-described first interlayer insulating layer 951 , first intermediate layer 952 , second interlayer insulating layer 953 , second intermediate layer 954 , and third interlayer insulating layer 955 is, for example, For example, it is formed using a CVD method or a spin coating method.

또한, 도 41b에 도시하는 바와 같이, 제 1 층간 절연층(951)상에 레지스트층(991)을 형성한다. 레지스트층(991)은, 제 1 배선(946) 등의 하층 배선 구조에 접속하는 제 1 비어(956) 등의 형성 위치를 개구하는 패턴으로 형성한다.Further, as shown in FIG. 41B, a resist layer 991 is formed on the first interlayer insulating layer 951. The resist layer 991 is formed in a pattern in which formation positions such as the first via 956 connected to the lower wiring structure such as the first wiring 946 are opened.

다음에, 도 41c에 도시하는 바와 같이, 레지스트층(991)의 위로부터 일반적인 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용한 드라이 에칭법에 의해, 제 1 층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 및 제 2 층간 절연층(953)을 에칭한다.Next, as shown in Fig. 41C, the first interlayer insulating layer 951, the first intermediate layer 952, and The second interlayer insulating layer 953 is etched.

제 1 층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 및 제 2 층간 절연층(953)을 에칭한 후, 예를 들면 산소(O2) 플라즈마를 베이스로 하는 애싱 처리와 유기 아민계의 약액 처리를 시행한다. 이 처리에 의해, 레지스트층(991) 및 에칭 처리할 때에 생긴 잔류 부착물을 완전히 제거한다.After etching the first interlayer insulating layer 951 , the first interlayer insulating layer 952 , and the second interlayer insulating layer 953 , for example , an ashing process based on oxygen (O 2 ) plasma and an organic amine-based process are performed. Perform drug treatment. This process completely removes the resist layer 991 and residual deposits generated during the etching process.

다음에, 도 41d에 도시하는 바와 같이, 50nm 내지 1㎛ 두께의 유기 수지를 스핀 코트법으로 도포하여 도포 장치 내에 있는 히터로 30 내지 200℃에서 소성하여 유기 재료층(992)을 형성한다. 그리고, 유기 재료층(992)상에, 20nm 내지 200nm의 SiO2층을, CVD법 또는 스핀 코트법으로 형성하여, 산화물층(993)을 형성한다.Next, as shown in Fig. 41D, an organic resin having a thickness of 50 nm to 1 mu m is applied by a spin coating method and baked at 30 to 200 DEG C with a heater in a coating device to form an organic material layer 992. Then, on the organic material layer 992 , a 20 nm to 200 nm SiO 2 layer is formed by CVD or spin coating to form an oxide layer 993 .

다음에, 도 41e에 도시하는 바와 같이, 산화물층(993)상에, 레지스트층(994)을 형성한다. 레지스트층(994)은, 접합부의 제 1 접합 전극(941), 및 제 1 보호층(944)을 형성하는 위치를 개구한 패턴으로 형성한다.Next, as shown in FIG. 41E , a resist layer 994 is formed on the oxide layer 993 . The resist layer 994 is formed in a pattern in which positions for forming the first bonding electrode 941 and the first protective layer 944 of the bonding portion are opened.

다음에, 상기 레지스트층(994)상부터 일반적인 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용한 드라이 에칭법에 의해, 산화물층(993)을 에칭한다. 에칭된 산화물층(993)은 일반적인 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용한 드라이 에칭법에 의해 유기 재료층(992)과 제 1 층간 절연층(951)을 에칭하는데 사용된다.Next, the oxide layer 993 is etched from the resist layer 994 by a dry etching method using a general magnetron etching apparatus. The etched oxide layer 993 is used to etch the organic material layer 992 and the first interlayer insulating layer 951 by dry etching using a general magnetron etching apparatus.

그 후, 예를 들면 산소(O2) 플라즈마를 베이스로 하는 애싱 처리와 유기 아민계의 약액 처리를 시행함에 의해, 산화물층(993), 유기 재료층(992) 및 에칭 처리할 때에 생긴 잔류 부착물을 완전히 제거한다. 또한, 이 처리에 의해, 제 1 배선(946) 상의 제 2 중간층(954)을 동시에 에칭하여, 제 1 배선(946)을 노출시켜서 도 41g에 도시하는 형상으로 한다.Thereafter, for example, by performing an ashing treatment based on oxygen (O 2 ) plasma and an organic amine-based chemical treatment, the oxide layer 993 , the organic material layer 992 , and residual deposits generated during the etching treatment completely remove Further, by this process, the second intermediate layer 954 on the first wiring 946 is simultaneously etched to expose the first wiring 946 to have a shape shown in Fig. 41G.

다음에, 도 41h에 도시하는 바와 같이, 배리어 메탈층(956A), 및 제 1 보호층(944)을 형성하기 위한 배리어 재료층(995)을 형성한다. 배리어 재료층(995)은, RF 스퍼터링 처리에 의해, Ar/N2 분위기하에서, Ti, Ta 및 Ru 또는 그 질화물을 5 내지 50nm 형성한다.Next, as shown in FIG. 41H, a barrier material layer 995 for forming the barrier metal layer 956A and the first protective layer 944 is formed. In the barrier material layer 995, 5 to 50 nm of Ti, Ta and Ru or a nitride thereof is formed by RF sputtering in an Ar/N 2 atmosphere.

다음에, 도 41i에 도시하는 바와 같이, 전해 도금법 또는 스퍼터링법을 이용하여, 배리어 재료층(995)상에 Cu 등으로 이루어지는 전극 재료층(996)을 형성한다. 전극 재료층(996)은, 제 1 층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 제 2 층간 절연층(953), 및 제 2 중간층(954)에 형성되어 있는 개구부를 매입하여 형성한다. 그리고, 전극 재료층(996)의 형성 후, 핫 플레이트나 신터 어닐링 장치를 이용하여, 100℃ 내지 400℃에서 1분 내지 60분 정도 열처리를 행한다.Next, as shown in Fig. 41I, an electrode material layer 996 made of Cu or the like is formed on the barrier material layer 995 by using an electrolytic plating method or a sputtering method. The electrode material layer 996 is formed by embedding openings formed in the first interlayer insulating layer 951 , the first intermediate layer 952 , the second interlayer insulating layer 953 , and the second intermediate layer 954 . . Then, after the formation of the electrode material layer 996, heat treatment is performed at 100°C to 400°C for about 1 minute to 60 minutes using a hot plate or a sinter annealing apparatus.

다음에, 도 41j에 도시하는 바와 같이, 퇴적한 배리어 재료층(995), 및 전극 재료층(996) 중, 배선 패턴으로서 불필요한 부분를 화학 기계 연마(CMP)법에 의해 제거한다. 이 공정에 의해, 제 1 비어(956)를 통하여 제 1 배선(946)과 접속하는 제 1 접합 전극(941)을 형성한다. 동시에 배리어 메탈층(941A) 및 배리어 메탈층(956A)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 41J, among the deposited barrier material layer 995 and electrode material layer 996, portions unnecessary as wiring patterns are removed by chemical mechanical polishing (CMP). Through this process, the first bonding electrode 941 connected to the first wiring 946 through the first via 956 is formed. At the same time, a barrier metal layer 941A and a barrier metal layer 956A are formed.

또한, 제 1 층간 절연층(951)의 개구부에 잔존하는 배리어 재료층(995)에 의해, 제 1 보호층(944)을 형성한다.Further, a first protective layer 944 is formed of the barrier material layer 995 remaining in the opening of the first interlayer insulating layer 951 .

이상의 공정에 의해 제 1 접합부(940)를 형성한다.The first bonding portion 940 is formed by the above process.

또한, 상술한 도 41a 내지 도 41j에서 기술한 방법과 같은 공정을 반복하여, 제 2 접합부(960)를 갖는 반도체 장치를 준비한다.In addition, the semiconductor device having the second junction portion 960 is prepared by repeating the same process as the method described with reference to FIGS. 41A to 41J .

그리고, 상술한 방법에 의해 형성한 2장의 반도체 기체의 표면에, 즉, 제 1 접합부(940) 및 제 2 접합부(960)의 표면에, 예를 들면 포름산을 이용한 웨트 처리, 또는, Ar, NH3, H2 등의 플라즈마를 이용한 드라이 처리를 시행한다. 이 처리에 의해, 제 1 접합 전극(941), 및 제 4 접합 전극(961)의 표면의 산화막을 제거하여, 청정한 금속면을 노출시킨다.Then, on the surfaces of the two semiconductor substrates formed by the method described above, that is, on the surfaces of the first junction portion 940 and the second junction portion 960, for example, a wet treatment using formic acid, or Ar, NH 3 , a dry treatment using plasma such as H 2 is performed. By this treatment, the oxide films on the surfaces of the first bonding electrode 941 and the fourth bonding electrode 961 are removed to expose a clean metal surface.

그리고, 도 41k에 도시하는 바와 같이, 2장의 반도체 기체의 표면끼리를 대향시킨 후, 양자를 접촉시킴에 의해, 제 1 접합부(940)와 제 2 접합부(960)의 접합을 행한다.And, as shown in FIG. 41K, after making the surfaces of two semiconductor substrates oppose each other, the 1st bonding part 940 and the 2nd bonding part 960 are joined by making them contact.

그 때, 핫 플레이트나 RTA 등의 어닐링 장치로, 예를 들면 대기압에서 N2 분위기 또는 진 공중에서, 100℃ 내지 400℃에서 5분 내지 2시간 정도 열처리를 행한다.That performs a time, a hot plate or with an annealing apparatus of the RTA, such as, for example, in a N 2 atmosphere or a binary air at atmospheric pressure, at about 100 ℃ to 400 ℃ 5 minutes to 2 hours heat treatment.

또한, 상술한 제 1 접합부(940)와 제 2 접합부(960)의 접합에서는, 플라즈마 접합법을 이용하여, 제 1 층간 절연층(951)과 제 4 층간 절연층(971)을 접합하여도 좋다. 예를 들면, 제 1 층간 절연층(951)과 제 4 층간 절연층(971)의 표면에, 산소 플라즈마를 조사하여, 표면을 개질한다. 개질 후, 제 1 층간 절연층(951)과 제 4 층간 절연층(971)의 표면을 순수로 30초간 세정하여, 표면에 실란올기(Si-OH기)를 형성한다. 그리고, 실란올기를 형성한 면끼리를 마주 대하게 하여 일부를 꽉 눌러서, 반데르발스력에 의해 접합한다. 그 후, 접합 계면의 밀착력을 더욱 높이기 위해, 예를 들면 400℃/60min의 열처리를 가하여 실란올기끼리를 탈수축합 반응시킨다.In the above-described bonding of the first bonding portion 940 and the second bonding portion 960 , the first interlayer insulating layer 951 and the fourth interlayer insulating layer 971 may be bonded using a plasma bonding method. For example, the surfaces of the first interlayer insulating layer 951 and the fourth interlayer insulating layer 971 are irradiated with oxygen plasma to modify the surfaces. After the modification, the surfaces of the first interlayer insulating layer 951 and the fourth interlayer insulating layer 971 are washed with pure water for 30 seconds to form silanol groups (Si-OH groups) on the surfaces. Then, the faces on which the silanol groups are formed are made to face each other, and a part is pressed, and joined by van der Waals force. Thereafter, in order to further increase the adhesion of the bonding interface, heat treatment at, for example, 400° C./60 min is applied to cause the silanol groups to undergo a dehydration condensation reaction.

이상의 공정에 의해, 도 41k에 도시하는 본 실시예의 반도체 장치를 제조할 수 있다.Through the above steps, the semiconductor device of the present embodiment shown in Fig. 41K can be manufactured.

상술한 제조 방법에서는, 배리어 메탈층(956A)과 제 1 보호층(944)을 동시에 형성할 수 있다. 또한, 제 1 보호층(944)을 형성하기 위한 제 1 층간 절연층(951)의 오목부를, 제 1 접합 전극(941)을 형성하기 위한 오목부와 동시에 형성할 수 있다.In the above-described manufacturing method, the barrier metal layer 956A and the first protective layer 944 can be formed simultaneously. In addition, the concave portion of the first interlayer insulating layer 951 for forming the first protective layer 944 can be formed simultaneously with the concave portion for forming the first bonding electrode 941 .

이 때문에, 종래의 반도체 장치의 제조 방법로부터, 보호층을 형성하기 위한 공정을 추가하는 일 없이, 본 실시예의 반도체 장치를 제조할 수 있다.For this reason, the semiconductor device of this embodiment can be manufactured from the conventional semiconductor device manufacturing method without adding a step for forming a protective layer.

도 41k에 도시하는 반도체 장치에서, 각 구성의 치수의 한 예를 나타낸다.In the semiconductor device shown in FIG. 41K, an example of the dimensions of each configuration is shown.

제 1 배선(946) 또는 제 4 배선(966)과 접속하는 제 1 비어(956), 제 4 비어(976)의 개구 지름은 50nm 내지 200nm이다. 제 1 접합 전극(941), 및 제 4 접합 전극(961)의 개구 지름은 200nm 내지 20㎛이다. 제 1 접합 전극(941), 및 제 4 접합 전극(961)의 주위에 형성되고, 접합부를 둘러싸는 제 1 보호층(944) 및 제 3 보호층(964)의 개구 폭은 10nm 내지 20㎛이다.The opening diameters of the first via 956 and the fourth via 976 connected to the first wiring 946 or the fourth wiring 966 are 50 nm to 200 nm. The opening diameters of the first bonding electrode 941 and the fourth bonding electrode 961 are 200 nm to 20 μm. The opening width of the first protective layer 944 and the third protective layer 964 formed around the first bonding electrode 941 and the fourth bonding electrode 961 and surrounding the bonding portion is 10 nm to 20 μm. .

<4. 반도체 장치의 변형예 1><4. Modification Example 1 of Semiconductor Device>

다음에, 본 실시예의 반도체 장치의 변형예 1에 관해 설명한다. 도 42a 및 도 42b에 변형예 1의 반도체 장치의 구성을 도시한다. 또한, 도 42a 및 도 42b에 도시하는 반도체 장치에서, 상술한 실시 형태의 반도체 장치와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 상세한 설명을 생략한다. 또한, 도 42a 및 도 42b에 도시하는 변형예 1의 반도체 장치의 구성은, 보호층 이외의 구성이 상술한 실시 형태의 반도체 장치와 같다. 이 때문에, 보호층 이외의 구성의 설명은 생략한다.Next, Modification 1 of the semiconductor device of this embodiment will be described. 42A and 42B show the configuration of the semiconductor device of the first modification. In addition, in the semiconductor device shown in FIGS. 42A and 42B, the same code|symbol is attached|subjected to the structure similar to the semiconductor device of the above-mentioned embodiment, and detailed description is abbreviate|omitted. The configuration of the semiconductor device of Modification 1 shown in FIGS. 42A and 42B is the same as that of the semiconductor device of the above-described embodiment except for the protective layer. For this reason, description of the structure other than a protective layer is abbreviate|omitted.

[보호층][protective layer]

도 42a에 도시하는 바와 같이, 제 1 접합부(940)는, 제 1 접합 전극(941)의 주위에, 제 1 보호층(981)을 구비한다. 그리고, 제 2 접합 전극(942)과 제 3 접합 전극(943)의 주위를 둘러싸는 제 2 보호층(982)을 구비한다.As shown in FIG. 42A , the first bonding portion 940 includes a first protective layer 981 around the first bonding electrode 941 . A second protective layer 982 surrounding the second bonding electrode 942 and the third bonding electrode 943 is provided.

또한, 제 1 보호층(981)은, 도 42b에 도시하는 바와 같이, 제 1 접합 전극(941)의 주위를 둘러싸는 일련의 층으로 형성되어 있다. 또한, 제 2 보호층(982)은, 제 2 접합 전극(942) 및 제 3 접합 전극(943)의 주위를 둘러싸는 일련의 층으로 형성되어 있다.Further, the first protective layer 981 is formed of a series of layers surrounding the first bonding electrode 941 as shown in FIG. 42B . In addition, the second protective layer 982 is formed as a series of layers surrounding the second bonding electrode 942 and the third bonding electrode 943 .

제 1 보호층(981)은, 도 42a에 도시하는 바와 같이, 제 1 층간 절연층(951)에 형성된 오목부의 내면을 피복하는 배리어 메탈층(981B)과, 이 배리어 메탈층(981B) 내를 매입하여 형성된 도체층(981A)으로 이루어진다.As shown in FIG. 42A, the first protective layer 981 includes a barrier metal layer 981B covering the inner surface of the recess formed in the first interlayer insulating layer 951, and the barrier metal layer 981B. It consists of the conductor layer 981A formed by embedding.

그리고, 제 1 보호층(981)은, 제 1 접합부(940)의 접합면(950)으로부터, 제 1 층간 절연층(951)을 관통하여, 제 1 중간층(952)에 달하는 깊이로 형성되어 있다.The first protective layer 981 is formed from the bonding surface 950 of the first bonding portion 940 through the first interlayer insulating layer 951 to a depth reaching the first intermediate layer 952 . .

또한, 제 2 보호층(982)은, 제 1 층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 및 제 2 층간 절연층(953)에 형성된 오목부의 내면을 피복하는 배리어 메탈층(982B)과, 이 배리어 메탈층(982B) 내를 매입하여 형성된 도체층(982A)으로 이루어진다. 그리고, 제 2 보호층(982)은, 제 1 접합부(940)의 접합면(950)으로부터, 제 1 층간 절연층(951), 제 1 중간층(952), 및 제 2 층간 절연층(953)을 관통하여, 제 2 중간층(954)에 달하는 깊이로 형성되어 있다.In addition, the second protective layer 982 is a barrier metal layer 982B covering the inner surfaces of the recesses formed in the first interlayer insulating layer 951 , the first intermediate layer 952 , and the second interlayer insulating layer 953 . and a conductor layer 982A formed by filling the barrier metal layer 982B. The second protective layer 982 is formed from the bonding surface 950 of the first bonding portion 940 , the first interlayer insulating layer 951 , the first intermediate layer 952 , and the second interlayer insulating layer 953 . It is formed to a depth that penetrates through and reaches the second intermediate layer 954 .

또한, 도 42a에 도시하는 바와 같이, 제 2 접합부(960)에도 상술한 제 1 보호층(981)과 대응하는 위치에, 제 3 보호층(964)을 구비한다. 그리고, 제 2 보호층(982)과 대응하는 위치에 제 4 보호층(965)을 구비한다. 이들 제 3 보호층(964), 및 제 4 보호층(965)은, 상술한 도 40a 및 도 40b에 도시하는 실시 형태와 같은 구성이다.Further, as shown in Fig. 42A, the second bonding portion 960 is also provided with a third protective layer 964 at a position corresponding to the first protective layer 981 described above. In addition, a fourth passivation layer 965 is provided at a position corresponding to the second passivation layer 982 . The third protective layer 964 and the fourth protective layer 965 have the same configuration as the embodiment shown in Figs. 40A and 40B described above.

접합면(950)에서, 제 1 보호층(981)과 제 3 보호층(964)은, 각각 접촉하는 위치에 마련되어 있다. 또한, 접합면(950)에서, 제 2 보호층(982)과 제 4 보호층(965)은, 각각 접촉하는 위치에 마련되어 있다.In the bonding surface 950 , the first protective layer 981 and the third protective layer 964 are provided at positions in contact with each other. In addition, in the bonding surface 950 , the second protective layer 982 and the fourth protective layer 965 are provided at positions in contact with each other.

그리고, 이 구성에 의해, 제 1 보호층(981), 제 3 보호층(964), 제 1 중간층(952), 및 제 3 중간층(972)에 의해 둘러 싸여진 영역 내에, 제 1 접합 전극(941)과 제 4 접합 전극(961)과의 접합부가 형성된다. 또한, 제 2 보호층(982), 제 4 보호층(965), 제 2 중간층(954), 및 제 3 중간층(972)에 의해 둘러 싸여진 영역 내에, 제 2 접합 전극(942)과 제 5 접합 전극(962)과의 접합부, 및 제 3 접합 전극(943)과 제 6 접합 전극(963)과의 접합부가 형성된다.And with this configuration, in the region surrounded by the first protective layer 981 , the third protective layer 964 , the first intermediate layer 952 , and the third intermediate layer 972 , the first bonding electrode 941 is ) and the fourth bonding electrode 961 are formed. In addition, in a region surrounded by the second protective layer 982 , the fourth protective layer 965 , the second intermediate layer 954 , and the third intermediate layer 972 , the second bonding electrode 942 and the fifth bonding electrode 942 . A junction portion with the electrode 962 and a junction portion between the third bonding electrode 943 and the sixth bonding electrode 963 are formed.

제 1 보호층(981) 및 제 2 보호층(982)의 배리어 메탈층(981B, 982B)은, 상술한 각 배리어 메탈층과 같은 재료, 예를 들면, Ta, Ti, Ru, TaN, 또는 TiN 등으로 형성된다. 또한, 제 1 보호층(981) 및 제 2 보호층(982)의 도체층(981A, 982A)은, 상술한 접합 전극과 같은 재료, 예를 들면, Cu로 형성된다.The barrier metal layers 981B and 982B of the first protective layer 981 and the second protective layer 982 are made of the same material as each of the above-described barrier metal layers, for example, Ta, Ti, Ru, TaN, or TiN. formed by, etc. In addition, the conductor layers 981A and 982A of the 1st protective layer 981 and the 2nd protective layer 982 are formed of the same material as the above-mentioned bonding electrode, for example, Cu.

[보호층 : 효과][Protection Layer: Effect]

도 42a에 도시하는 본 실시예의 반도체 장치의 구성에서는, 제 1 보호층(981) 및 제 2 보호층(982)의 접합면에서의 폭을, 제 3 보호층(964) 및 제 4 보호층(965)의 폭보다도 크게 함에 의해, 위치 어긋남에 대한 접속 신뢰성을 확보하고 있다.In the configuration of the semiconductor device of this embodiment shown in Fig. 42A, the width at the bonding surface of the first protective layer 981 and the second protective layer 982 is determined by the third protective layer 964 and the fourth protective layer ( 965), the connection reliability with respect to positional shift is ensured.

제 1 보호층(981) 및 제 2 보호층(982)의 구성은, 예를 들면, 보호층끼리의 접속 신뢰성을 확보하기 위해, 접합하는 한쪽의 보호층의 폭을 다른 쪽의 폭보다 더 크게 하는 경우에 알맞다. 예를 들면, 제 1 보호층(981)의 개구 지름 또는 폭을 30nm 정도 내지 20㎛ 정도로 한 경우에는, 배리어 메탈층(981B, 982B)에 의한 매입만으로는, 절연층에 형성한 개구부를 매입하기가 어렵다. 이 때문에, 개구부의 내면을 배리어 메탈층(981B, 982B)으로 피복한 후, 이 배리어 메탈층(981B, 982B) 내를 도체층(981A. 982A)으로 매입함에 의해, 접합면의 폭이 큰 제 1 보호층(981) 및 제 2 보호층(982)을 구성할 수 있다.In the configuration of the first protective layer 981 and the second protective layer 982 , for example, in order to secure the connection reliability between the protective layers, the width of one protective layer to be joined is made larger than the other. suitable in case of For example, when the opening diameter or width of the first protective layer 981 is about 30 nm to about 20 μm, it is difficult to fill the opening formed in the insulating layer only by embedding with the barrier metal layers 981B and 982B. difficult. For this reason, after the inner surface of the opening is covered with the barrier metal layers 981B and 982B, the inside of the barrier metal layers 981B and 982B is filled with the conductor layers 981A, 982A, so that the junction surface has a large width. A first passivation layer 981 and a second passivation layer 982 may be configured.

<5. 반도체 장치의 변형예 1의 제조 방법><5. Manufacturing Method of Modification Example 1 of Semiconductor Device>

다음에, 상술한 변형예 1의 반도체 장치의 제조 방법을 설명한다. 이하의 제조 방법의 설명에서는, 상술한 도 42a 및 도 42b에 도시하는 제 1 접합 전극(941)과, 제 4 접합 전극(961)과의 접합부 부근의 제조 방법만을 나타내고, 기타 구성의 제조 방법은 설명을 생략한다.Next, the manufacturing method of the semiconductor device of the above-mentioned modification 1 is demonstrated. In the description of the manufacturing method below, only the manufacturing method in the vicinity of the junction between the first bonding electrode 941 and the fourth bonding electrode 961 shown in FIGS. 42A and 42B is shown, and the manufacturing method of other configurations is A description is omitted.

우선, 상술한 도 41a 내지 도 41d와 같은 공정에 의해, 제 1 배선(946)이 형성된 제 3 층간 절연층(955)상에, 제 2 중간층(954), 제 2 층간 절연층(953), 제 1 중간층(952), 제 1 층간 절연층(951), 유기 재료층(992), 및 산화물층(993)을 형성한다. 제 2 층간 절연층(953), 제 1 중간층(952), 및 제 1 층간 절연층(951)에는, 제 1 비어(956)를 형성하기 위한 개구부가 형성되어 있다.First, a second intermediate layer 954, a second interlayer insulating layer 953, a second intermediate layer 954, a second interlayer insulating layer 953, A first intermediate layer 952 , a first interlayer insulating layer 951 , an organic material layer 992 , and an oxide layer 993 are formed. Openings for forming the first via 956 are formed in the second interlayer insulating layer 953 , the first intermediate layer 952 , and the first interlayer insulating layer 951 .

다음에, 도 43a에 도시하는 바와 같이, 산화물층(993)상에, 레지스트층(997)을 형성한다. 레지스트층(997)은, 접합부의 제 1 접합 전극(941), 및 제 1 보호층(981)을 형성하는 위치를 개구하는 패턴으로 형성한다.Next, as shown in FIG. 43A , a resist layer 997 is formed on the oxide layer 993 . The resist layer 997 is formed in a pattern in which the positions where the first bonding electrode 941 and the first protective layer 981 of the bonding portion are formed are opened.

다음에, 도 43b에 도시하는 바와 같이, 레지스트층(997)상으로부터 일반적인 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용한 드라이 에칭법에 의해, 산화물층(993)을 에칭한다. 그리고, 에칭한 산화물층(993)을 마스크로 이용하여, 유기 재료층(992)과 제 1 층간 절연층(951)을, 일반적인 마그네트론 방식의 에칭 장치를 이용한 드라이 에칭법에 의해 에칭한다.Next, as shown in FIG. 43B, the oxide layer 993 is etched from the resist layer 997 by a dry etching method using a general magnetron etching apparatus. Then, using the etched oxide layer 993 as a mask, the organic material layer 992 and the first interlayer insulating layer 951 are etched by a dry etching method using a general magnetron etching apparatus.

그 후, 예를 들면 산소(O2) 플라즈마를 베이스로 하는 애싱 처리와 유기 아민계의 약액 처리를 시행함에 의해, 산화물층(993), 유기 재료층(992) 및 에칭 처리할 때에 생긴 잔류 부착물을 완전히 제거한다. 또한, 이 처리에 의해, 제 1 배선(946) 상의 제 2 중간층(954)을 동시에 에칭하여, 제 1 배선(946)을 노출시켜서 도 43c에 도시하는 형상으로 한다.Thereafter, for example, by performing an ashing treatment based on oxygen (O 2 ) plasma and an organic amine-based chemical treatment, the oxide layer 993 , the organic material layer 992 , and residual deposits generated during the etching treatment completely remove In addition, by this process, the second intermediate layer 954 on the first wiring 946 is simultaneously etched to expose the first wiring 946 to have the shape shown in Fig. 43C.

다음에, 도 43d에 도시하는 바와 같이, 배리어 메탈층(956A), 및 제 1 보호층(981)의 배리어 메탈층(981B)을 형성하기 위한 배리어 재료층(998)을 형성한다. 배리어 재료층(998)은, RF 스퍼터링 처리에 의해, Ar/N2 분위기하에서, Ti, Ta 및 Ru 또는 그 질화물을 5 내지 50nm 형성한다.Next, as shown in FIG. 43D, a barrier material layer 998 for forming the barrier metal layer 956A and the barrier metal layer 981B of the first protective layer 981 is formed. In the barrier material layer 998, 5 to 50 nm of Ti, Ta and Ru or a nitride thereof is formed by RF sputtering in an Ar/N 2 atmosphere.

다음에, 도 43e에 도시하는 바와 같이, 전해 도금법 또는 스퍼터링법을 이용하여, 배리어 재료층(998)상에 Cu 등으로 이루어지는 전극 재료층(999)을 형성한다. 전극 재료층(999)은, 제 1 접합 전극(941)이 되는 개구부, 및 제 1 보호층(981)이 되는 개구부를 매입하여 형성한다. 그리고, 전극 재료층(999)의 형성 후, 핫 플레이트나 신터 어닐링 장치를 이용하여, 100℃ 내지 400℃에서 1분 내지 60분 정도 열처리를 행한다.Next, as shown in FIG. 43E, an electrode material layer 999 made of Cu or the like is formed on the barrier material layer 998 by using an electrolytic plating method or a sputtering method. The electrode material layer 999 is formed by embedding the opening serving as the first bonding electrode 941 and the opening serving as the first protective layer 981 . Then, after the electrode material layer 999 is formed, heat treatment is performed at 100° C. to 400° C. for about 1 minute to 60 minutes using a hot plate or a sinter annealing apparatus.

다음에, 도 43f에 도시하는 바와 같이, 퇴적된 배리어 재료층(998), 및 전극 재료층(999) 중, 배선 패턴으로서 불필요한 부분를 화학 기계 연마(CMP)법에 의해 제거한다. 이 공정에 의해, 제 1 비어(956)를 통하여 제 1 배선(946)과 접속하는 제 1 접합 전극(941)을 형성한다. 동시에 배리어 메탈층(941A) 및 배리어 메탈층(956A)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 43F, a portion unnecessary as a wiring pattern among the deposited barrier material layer 998 and electrode material layer 999 is removed by a chemical mechanical polishing (CMP) method. Through this process, the first bonding electrode 941 connected to the first wiring 946 through the first via 956 is formed. At the same time, a barrier metal layer 941A and a barrier metal layer 956A are formed.

또한, 제 1 층간 절연층(951)의 개구부에 잔존하는 배리어 재료층(998)과 전극 재료층(999)으로, 제 1 보호층(981)을 형성한다.Further, a first protective layer 981 is formed from the barrier material layer 998 and the electrode material layer 999 remaining in the opening of the first interlayer insulating layer 951 .

이상의 공정에 의해 제 1 접합부(940)을 형성한다.The first bonding portion 940 is formed by the above process.

또한, 상술한 도 41a 내지 도 41j에서 기술한 방법과 같은 공정을 반복하여, 제 2 접합부(960)를 갖는 반도체 장치를 준비한다.In addition, the semiconductor device having the second junction portion 960 is prepared by repeating the same process as the method described with reference to FIGS. 41A to 41J .

그리고, 상술한 방법에 의해 형성한 2장의 반도체 기체의 표면에, 즉, 제 1 접합부(940) 및 제 2 접합부(960)의 표면에, 예를 들면 포름산을 이용한 웨트 에칭 처리, 또는, Ar, NH3, H2 등의 플라즈마를 이용한 드라이 에칭 처리를 시행한다. 이 처리에 의해, 제 1 접합 전극(941), 및 제 4 접합 전극(961)의 표면의 산화막을 제거하여, 청정한 금속층을 노출시킨다.Then, on the surfaces of the two semiconductor substrates formed by the method described above, that is, on the surfaces of the first bonding portion 940 and the second bonding portion 960, for example, a wet etching treatment using formic acid, or Ar, Dry etching treatment using plasma such as NH 3 , H 2 is performed. By this treatment, the oxide films on the surfaces of the first bonding electrode 941 and the fourth bonding electrode 961 are removed to expose a clean metal layer.

그리고, 도 43g에 도시하는 바와 같이, 2장의 반도체 기체의 표면끼리를 대향시킨 후, 양자를 접촉시킴에 의해, 제 1 접합부(940)와 제 2 접합부(960)의 접합을 행한다.Then, as shown in Fig. 43G, after the surfaces of the two semiconductor substrates are made to face each other, the first junction portion 940 and the second junction portion 960 are joined by bringing them into contact.

그 때, 핫 플레이트나 RTA 등의 어닐링 장치로, 예를 들면 대기압에서 N2 분위기 또는 진공 중에서, 100℃ 내지 400℃에서 5분 내지 2시간 정도 열처리를 행한다.That performs a time, a hot plate or with an annealing apparatus of the RTA, such as, for example, in a N 2 atmosphere or a vacuum at atmospheric pressure, at about 100 ℃ to 400 ℃ 5 minutes to 2 hours heat treatment.

이상의 공정에 의해, 도 43g에 도시하는 본 실시예의 반도체 장치를 제조할 수 있다.Through the above steps, the semiconductor device of this embodiment shown in Fig. 43G can be manufactured.

<6. 반도체 장치의 변형예 2><6. Modification Example 2 of Semiconductor Device>

다음에, 본 실시예의 반도체 장치의 변형예 2에 관해 설명한다. 도 44에 변형예 2의 반도체 장치의 구성을 도시한다. 또한, 도 44에 도시하는 반도체 장치에서, 상술한 실시 형태의 반도체 장치와 같은 구성에는, 같은 부호를 붙여서 상세한 설명을 생략한다. 또한, 도 44에 도시하는 변형예 2의 반도체 장치의 구성은, 층간 절연층 이외의 구성이 상술한 실시 형태의 반도체 장치와 같다. 이 때문에, 층간 절연층이 외의 구성의 설명은 생략한다.Next, a second modification of the semiconductor device of the present embodiment will be described. 44 shows the configuration of the semiconductor device of the second modification. In addition, in the semiconductor device shown in FIG. 44, the same code|symbol is attached|subjected to the same structure as the semiconductor device of the above-mentioned embodiment, and detailed description is abbreviate|omitted. The configuration of the semiconductor device of Modification Example 2 shown in FIG. 44 is the same as that of the semiconductor device of the above-described embodiment except for the interlayer insulating layer. For this reason, description of the structure other than an interlayer insulating layer is abbreviate|omitted.

[절연층][insulation layer]

제 1 접합부(940) 및 제 2 접합부(960)는, 복수의 배선층과 절연층이 적층되어 구성되어 있다.The first bonding portion 940 and the second bonding portion 960 are configured by stacking a plurality of wiring layers and insulating layers.

제 1 접합부(940)의 절연층은, 접합면(950)측으로부터 차례로, 제 1 층간 절연층(983), 및 제 2 층간 절연층(984)으로 구성된다. 또한, 제 2 접합부(960)의 절연층은, 접합면(950)측으로부터 차례로, 제 3 층간 절연층(985), 및 제 4 층간 절연층(986)으로 구성되어 있다.The insulating layer of the first bonding portion 940 is constituted by a first interlayer insulating layer 983 and a second interlayer insulating layer 984 sequentially from the bonding surface 950 side. In addition, the insulating layer of the second bonding portion 960 is constituted by a third interlayer insulating layer 985 and a fourth interlayer insulating layer 986 sequentially from the bonding surface 950 side.

제 1 접합부(940)에서는, 제 2 층간 절연층(984) 내에 제 1 배선(946), 제 2 배선(947), 및 제 3 배선(948)이 형성되어 있다. 그리고, 제 1 층간 절연층(983) 내에, 제 1 접합부(940)의 제 1 접합 전극(941), 제 2 접합 전극(942), 및 제 3 접합 전극(943)이 형성되어 있다. 그리고, 접합면(950)에, 제 1 접합 전극(941), 제 2 접합 전극(942), 및 제 3 접합 전극(943)의 표면이 노출되고, 제 1 층간 절연층(983)과 동일면에 형성되어 있다.In the first bonding portion 940 , a first wiring 946 , a second wiring 947 , and a third wiring 948 are formed in the second interlayer insulating layer 984 . A first bonding electrode 941 , a second bonding electrode 942 , and a third bonding electrode 943 of the first bonding portion 940 are formed in the first interlayer insulating layer 983 . Then, on the bonding surface 950 , the surfaces of the first bonding electrode 941 , the second bonding electrode 942 , and the third bonding electrode 943 are exposed, and the surface of the first interlayer insulating layer 983 is on the same surface. is formed

또한, 제 1 층간 절연층(983) 내에, 제 1 비어(956), 제 2 비어(957), 및 제 3 비어(958)가 형성되어 있다.Further, in the first interlayer insulating layer 983 , a first via 956 , a second via 957 , and a third via 958 are formed.

또한, 제 1 층간 절연층(983) 내에, 제 1 접합 전극(941)의 주위를 둘러싸는 제 1 보호층(944)과, 제 2 접합 전극(942)과 제 3 접합 전극(943)의 주위를 둘러싸는 제 2 보호층(945)을 구비한다.In addition, in the first interlayer insulating layer 983 , the first protective layer 944 surrounding the periphery of the first junction electrode 941 , and the periphery of the second junction electrode 942 and the third junction electrode 943 . and a second protective layer 945 surrounding the .

제 2 접합부(960)에서는, 제 4 층간 절연층(986) 내에 제 4 배선(966), 제 5 배선(967), 및 제 6 배선(968)이 형성되어 있다. 그리고, 제 3 층간 절연층(985) 내에, 제 4 접합 전극(961), 제 5 접합 전극(962), 및 제 6 접합 전극(963)이 형성되어 있다. 그리고, 접합면(950)에 제 4 접합 전극(961), 제 5 접합 전극(962), 및 제 6 접합 전극(963)의 표면이 노출되고, 제 3 층간 절연층(985)과 동일면에 형성되어 있다.In the second bonding portion 960 , a fourth wiring 966 , a fifth wiring 967 , and a sixth wiring 968 are formed in the fourth interlayer insulating layer 986 . A fourth bonding electrode 961 , a fifth bonding electrode 962 , and a sixth bonding electrode 963 are formed in the third interlayer insulating layer 985 . The surfaces of the fourth bonding electrode 961 , the fifth bonding electrode 962 , and the sixth bonding electrode 963 are exposed on the bonding surface 950 , and are formed on the same surface as the third interlayer insulating layer 985 . has been

또한, 제 3 층간 절연층(985) 내에, 제 4 비어(976), 제 5 비어(977), 및 제 6 비어(978)가 형성되어 있다.Further, in the third interlayer insulating layer 985 , a fourth via 976 , a fifth via 977 , and a sixth via 978 are formed.

또한, 제 3 층간 절연층(985) 내에, 제 4 접합 전극(961)의 주위를 둘러싸는 제 3 보호층(964)과, 제 5 접합 전극(962)과 제 6 접합 전극(963)의 주위를 둘러싸는 제 4 보호층(965)을 구비한다.Further, in the third interlayer insulating layer 985 , a third protective layer 964 surrounding the periphery of the fourth junction electrode 961 , and the periphery of the fifth junction electrode 962 and the sixth junction electrode 963 . and a fourth protective layer 965 surrounding the .

제 1 층간 절연층(983), 및 제 3 층간 절연층(985)은, 상술한 실시 형태의 반도체 장치의 중간층과 같은 재료에 의해 구성한다. 예를 들면, 일반적으로 반도체 장치에 배선 등을 구성하는 금속 재료의 확산 방지층으로서 사용되는 재료에 의해 구성된다. 또한, 제 1 층간 절연층(983), 및 제 3 층간 절연층(985)은 층간 절연층에 함유되는 물(970)을 투과하기 어려운 고밀도 절연층이다. 이와 같은, 확산 방지층이 되는 고밀도 절연층으로서는, 예를 들면, 스핀 코트법이나 CVD법으로 성막된 비유전율 4 내지 7의 P-SiN이나, 이것에 C가 함유된 비유전율 4 이하의 SiCN 등으로 구성한다.The first interlayer insulating layer 983 and the third interlayer insulating layer 985 are made of the same material as the intermediate layer of the semiconductor device of the above-described embodiment. For example, it is comprised by the material generally used as a diffusion prevention layer of the metal material which comprises wiring etc. in a semiconductor device. Further, the first interlayer insulating layer 983 and the third interlayer insulating layer 985 are high-density insulating layers that do not easily permeate the water 970 contained in the interlayer insulating layer. As such a high-density insulating layer serving as the diffusion barrier layer, for example, P-SiN having a relative permittivity of 4 to 7 formed by a spin coating method or a CVD method, or SiCN having a relative permittivity of 4 or less in which C is contained. make up

또한, 제 2 층간 절연층(984), 및 제 4 층간 절연층(986)은, 상술한 실시 형태의 반도체 장치의 층간 절연층과 같은 재료에 의해 구성한다. 예를 들면, SiO2 , 및 불소 함유 산화 실리콘(FSG), 폴리아릴에테르(PAE)로 대표되는 유기 실리콘계의 폴리머, 하이드로겐실세스퀴옥산(HSQ), 및 메틸실세스퀴옥산(MSQ)로 대표되는 무기계 재료 등, 비유전율 2.7 정도 또는 그 이하의 저유전율(low-k) 재료에 의해 구성한다.The second interlayer insulating layer 984 and the fourth interlayer insulating layer 986 are made of the same material as the interlayer insulating layer of the semiconductor device of the above-described embodiment. For example, SiO 2 , and fluorine-containing silicon oxide (FSG), an organosilicon-based polymer represented by polyaryl ether (PAE), hydrogen silsesquioxane (HSQ), and methylsilsesquioxane (MSQ) represented by It is constituted by a low-k material with a relative dielectric constant of about 2.7 or less, such as an inorganic material used.

상술한 변형예 2의 반도체 장치의 구성에 의하면, 접합면(950)이 되는 제 1 층간 절연층(983), 및 제 3 층간 절연층(985)이 물을 투과하기 어려운 층이다. 이 때문에, 제 1 접합 전극(941)과 제 4 접합 전극(961)과의 접합부에서, 제 4 접합 전극(961)과 제 1 층간 절연층(983)과의 접촉부(969)에의 물(970)의 접촉을 억제할 수 있다. 마찬가지로, 제 2 접합 전극(942)과 제 5 접합 전극(962)과의 접합부에서, 제 2 접합 전극(942)과 제 4 층간 절연층(971)과의 접촉부(949)에의 물(970)의 접촉을 억제할 수 있다.According to the structure of the semiconductor device of Modification Example 2 described above, the first interlayer insulating layer 983 and the third interlayer insulating layer 985 serving as the bonding surface 950 are layers that do not easily permeate water. For this reason, at the junction between the first junction electrode 941 and the fourth junction electrode 961 , water 970 at the contact part 969 between the fourth junction electrode 961 and the first interlayer insulating layer 983 . contact can be prevented. Similarly, at the junction between the second junction electrode 942 and the fifth junction electrode 962 , the water 970 at the contact 949 between the second junction electrode 942 and the fourth interlayer insulating layer 971 . contact can be suppressed.

또한, 제 1 보호층(944), 제 2 보호층(945), 제 3 보호층(964), 및 제 4 보호층(965)을 구비함에 의해, 플라즈마 접합할 때에 접합면에 발생하는 물이나 층간 절연층 내에 포함되는 물의 전극 접합부에의 이동를 억제할 수 있다. 이 때문에, 접합 전극의 부식을 억제할 수 있고, 양호한 전기 특성과 신뢰성을 갖는 반도체 장치를 구성할 수 있다.In addition, by providing the first protective layer 944 , the second protective layer 945 , the third protective layer 964 , and the fourth protective layer 965 , water generated on the bonding surface during plasma bonding is eliminated. It is possible to suppress the movement of water contained in the interlayer insulating layer to the electrode junction portion. For this reason, corrosion of a junction electrode can be suppressed and the semiconductor device which has favorable electrical characteristics and reliability can be comprised.

[제조 방법][Manufacturing method]

도 44에 도시하는 변형예 2의 반도체 장치는, 상술한 실시 형태의 반도체 장치의 제조 방법에서, 적층하는 층간 절연층의 재료와, 층간 절연층의 에칭 조건을 변경함에 의해 제조할 수 있다. 예를 들면, 상술한 도 41a 및 도 41b에 도시하는 층간 절연층과 중간층을 형성하는 공정에서, 단일층의 층간 절연층을 형성한다. 그리고, 에칭하는 공정에서, 에칭 시간을 제어함에 의해, 층간 절연층의 소망하는 깊이에 오목부를 형성한다. 이와 같이 제조 공정을 변경함에 의해, 상술한 실시 형태의 반도체 장치와 같은 방법로, 변형예 2의 반도체 장치를 제조할 수 있다.The semiconductor device of the second modification shown in FIG. 44 can be manufactured by changing the material of the interlayer insulating layer to be laminated and the etching conditions of the interlayer insulating layer in the semiconductor device manufacturing method of the above-described embodiment. For example, in the step of forming the interlayer insulating layer and the intermediate layer shown in Figs. 41A and 41B described above, a single interlayer insulating layer is formed. Then, in the etching step, a recess is formed at a desired depth of the interlayer insulating layer by controlling the etching time. By changing the manufacturing process in this way, the semiconductor device of Modification Example 2 can be manufactured in the same manner as the semiconductor device of the above-described embodiment.

<7. 전자 기기의 실시 형태><7. Embodiment of electronic device>

상술한 실시 형태의 반도체 장치는, 2개의 반도체 부재를 맞붙여서 배선 접합을 행하는 임의의 전자 기기, 예를 들면, 고체 촬상 장치, 반도체 메모리, 반도체 로직 디바이스(IC 등)에 적용 가능하다.The semiconductor device of the above-described embodiment can be applied to any electronic device that bonds two semiconductor members together to perform wiring bonding, for example, a solid-state imaging device, a semiconductor memory, and a semiconductor logic device (such as an IC).

제 5의 실시예Fifth embodiment

≪실시예의 반도체 장치를 이용한 전자 기기의 한 예≫«An example of an electronic device using the semiconductor device of the embodiment»

상술한 실시 형태에서 설명한 본 기술에 관한 고체 촬상 장치 등의 반도체 장치는, 예를 들면 디지털 카메라나 비디오 카메라 등의 카메라 시스템, 나아가서는 촬상 기능를 갖는 휴대전화, 또는 촬상 기능를 구비한 다른 기기 등의 전자 기기에 적용할 수 있다.The semiconductor device such as a solid-state imaging device according to the present technology described in the above-described embodiment is, for example, a camera system such as a digital camera or a video camera, and furthermore, a mobile phone having an imaging function, or other devices having an imaging function, such as electronic devices. Applicable to devices.

도 45는, 본 기술에 관한 전자 기기의 한 예로서, 고체 촬상 장치를 이용한 카메라의 구성도를 도시한다. 본 실시예예에 관한 카메라는, 정지화상 또는 동화 촬영 가능한 비디오 카메라를 예로 한 것이다. 이 카메라(90)는, 고체 촬상 장치(91)와, 고체 촬상 장치(91)의 수광 센서부에 입사광을 유도하는 광학계(93)와, 셔터 장치(94)와, 고체 촬상 장치(91)를 구동하는 구동 회로(95)와, 고체 촬상 장치(91)의 출력 신호를 처리하는 신호 처리 회로(96)를 갖는다.Fig. 45 shows a configuration diagram of a camera using a solid-state imaging device as an example of an electronic device according to the present technology. The camera according to the present embodiment is a video camera capable of capturing still images or moving pictures as an example. The camera 90 includes a solid-state imaging device 91 , an optical system 93 for guiding incident light to a light-receiving sensor unit of the solid-state imaging device 91 , a shutter device 94 , and a solid-state imaging device 91 . It has a driving circuit 95 for driving, and a signal processing circuit 96 for processing an output signal of the solid-state imaging device 91 .

고체 촬상 장치(91)는, 상술한 실시예 및 변형예에서 설명한 구성의 반도체 장치 중의 어느 것이라도 적용하여 구성된다. 광학 렌즈를 포함하는 광학계(93)는, 피사체로부터의 상광(image light), 즉, 입사광을 고체 촬상 장치(91)의 촬상면상에 결상시킨다. 이에 의해, 고체 촬상 장치(91) 내에, 일정 기간 신호 전하가 축적된다. 이와 같은 광학계(93)는, 복수의 광학 렌즈로 구성된 광학 렌즈계로 하여도 좋다. 셔터 장치(94)는, 고체 촬상 장치(91)에의 광조사 기간 및 차광 기간을 제어한다. 구동 회로(95)는, 고체 촬상 장치(91) 및 셔터 장치(94)에 구동 신호를 공급하고, 공급한 구동 신호 또는 타이밍 신호에 의해, 고체 촬상 장치(91)의 신호 처리 회로(96)에의 신호 출력 동작의 제어, 및 셔터 장치(94)의 셔터 동작을 제어한다. 즉, 구동 회로(95)는, 구동 신호 또는 타이밍 신호의 공급에 의해, 고체 촬상 장치(91)로부터 신호 처리 회로(96)에의 신호 전송 동작을 행한다. 신호 처리 회로(96)는, 고체 촬상 장치(91)로부터 전송된 신호에 대해, 각종의 신호 처리를 행한다. 신호 처리가 행하여진 영상 신호는, 메모리 등의 기억 매체에 기억되거나 또는 모니터에 출력된다.The solid-state imaging device 91 is configured by applying any of the semiconductor devices having the configurations described in the above-described embodiments and modifications. The optical system 93 including an optical lens forms image light from a subject, ie, incident light, on the imaging surface of the solid-state imaging device 91 . As a result, signal charges are accumulated in the solid-state imaging device 91 for a certain period of time. Such an optical system 93 may be an optical lens system composed of a plurality of optical lenses. The shutter device 94 controls the light irradiation period and the light blocking period to the solid-state imaging device 91 . The drive circuit 95 supplies a drive signal to the solid-state imaging device 91 and the shutter device 94 , and the drive signal or timing signal supplied to the signal processing circuit 96 of the solid-state imaging device 91 is supplied to the drive circuit 95 . Control of the signal output operation and the shutter operation of the shutter device 94 are controlled. That is, the driving circuit 95 performs a signal transmission operation from the solid-state imaging device 91 to the signal processing circuit 96 by supplying a driving signal or a timing signal. The signal processing circuit 96 performs various signal processing on the signal transmitted from the solid-state imaging device 91 . The video signal subjected to signal processing is stored in a storage medium such as a memory or output to a monitor.

본 발명은 공개된 일본 특허청에 2011년 7월 5일, 2011년 8월 1일, 2011년 8월 4일, 2011년 9월 27일 및 2012년 1월 16일에 출원되어 우선권 주장된 일본 특허 출원 JP2011-148883, JP2011-168021, JP2011-170666, JP2011-210142 및 JP2012-006356과 관계된 주제를 포함하며, 이는 참조로서 전체 내용에 포함된다.The present invention was filed on July 5, 2011, August 1, 2011, August 4, 2011, September 27, 2011, and January 16, 2012 to the published Japanese Patent Office, and priority was claimed in Japanese Patents applications JP2011-148883, JP2011-168021, JP2011-170666, JP2011-210142 and JP2012-006356, including the subject matter, which is incorporated by reference in its entirety.

다양한 수정, 조합, 하위 조합 및 변경은 관련 기술분야의 기술자의 설계의 요구 및 첨부된 청구항과 그 균등물 범위 내에 있는 다른 요인에 의하여 발생할 수 있음을 이해해야 한다.It should be understood that various modifications, combinations, subcombinations and changes may occur due to the design requirements of those skilled in the art and other factors falling within the scope of the appended claims and their equivalents.

Claims (26)

포토다이오드, 플로팅 디퓨전, 제1의 복수의 트랜지스터 및 제1의 전극을 포함하는 제1의 기판과,
제2의 전극 및 제2의 복수의 트랜지스터를 포함하는 제2의 기판을 구비하고,
상기 제1의 전극은 광입사면측에 대향하는 상기 제1의 기판의 제1의 면측에 있고,
상기 제2의 전극은 상기 제2의 기판의 제1의 면측에 있고,
상기 제1의 기판과 상기 제2의 기판은, 상기 제1의 기판의 제1의 면측과 상기 제2의 기판의 제1의 면측이 서로 마주 대하게 하여, 서로 접합되고,
상기 제1의 전극의 측면은 제1의 절연막에 의해 피복되고,
상기 제1의 전극의 일부 및 상기 제1의 절연막의 일부는, 상기 제2의 전극에 접합되고,
상기 제1의 전극의 접합면을 제외하고, 상기 제1의 전극은 상기 제1의 절연막에 의해 피복되는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.a first substrate comprising a photodiode, a floating diffusion, a first plurality of transistors, and a first electrode;
a second substrate comprising a second electrode and a second plurality of transistors;
the first electrode is on a first surface side of the first substrate opposite to a light incident surface side;
the second electrode is on the first surface side of the second substrate;
the first substrate and the second substrate are bonded to each other such that the first surface side of the first substrate and the first surface side of the second substrate face each other;
a side surface of the first electrode is covered by a first insulating film,
A part of the first electrode and a part of the first insulating film are joined to the second electrode,
and the first electrode is covered by the first insulating film except for the bonding surface of the first electrode. 제1항에 있어서,
상기 제1의 절연막은 Ti, Ta 및 Ru 중 어느 하나, 또는 Ti, Ta 및 Ru 중 어느 하나의 질화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.According to claim 1,
and the first insulating film includes any one of Ti, Ta, and Ru, or a nitride of any one of Ti, Ta, and Ru. 제1항에 있어서,
상기 제2의 전극의 접합면을 제외하고, 상기 제2의 전극은 제2의 절연막에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.According to claim 1,
The image pickup device according to claim 1, wherein the second electrode is covered with a second insulating film except for the bonding surface of the second electrode. 제1항에 있어서,
상기 제1의 절연막의 일부는, 상기 제2의 전극에 접합되는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.According to claim 1,
A portion of the first insulating film is joined to the second electrode. 제1항에 있어서,
상기 제1의 전극 및 상기 제2의 전극은 다른 크기인 것을 특징으로 하는 촬상 장치.According to claim 1,
and the first electrode and the second electrode have different sizes. 제5항에 있어서,
상기 제1의 전극은 상기 제2의 전극보다 작은 것을 특징으로 하는 촬상 장치.6. The method of claim 5,
and the first electrode is smaller than the second electrode. 제1항에 있어서,
상기 제1의 절연막은 배리어 메탈막인 것을 특징으로 하는 촬상 장치.According to claim 1,
and the first insulating film is a barrier metal film. 포토다이오드, 플로팅 디퓨전, 제1의 복수의 트랜지스터 및 제1의 전극을 포함하는 제1의 기판과,
제2의 전극 및 제2의 복수의 트랜지스터를 포함하는 제2의 기판을 구비하고,
상기 제1의 전극은 광입사면측에 대향하는 상기 제1의 기판의 제1의 면측에 있고,
상기 제2의 전극은 상기 제2의 기판의 제1의 면측에 있고,
상기 제1의 기판과 상기 제2의 기판은, 상기 제1의 기판의 제1의 면측과 상기 제2의 기판의 제1의 면측이 서로 마주 대하게 하여, 서로 접합되고,
상기 제1의 전극 및 상기 제2의 전극은 다른 크기이고,
상기 제1의 전극은 상기 제2의 전극보다 작은 것을 특징으로 하는 촬상 장치.a first substrate comprising a photodiode, a floating diffusion, a first plurality of transistors, and a first electrode;
a second substrate comprising a second electrode and a second plurality of transistors;
the first electrode is on a first surface side of the first substrate opposite to a light incident surface side;
the second electrode is on the first surface side of the second substrate;
the first substrate and the second substrate are bonded to each other such that the first surface side of the first substrate and the first surface side of the second substrate face each other;
The first electrode and the second electrode are of different sizes,
and the first electrode is smaller than the second electrode. 제8항에 있어서,
제1의 절연막은 적어도 상기 제1의 전극의 일부를 피복하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.9. The method of claim 8,
The first insulating film covers at least a part of the first electrode. 제9항에 있어서,
제2의 절연막은 적어도 상기 제2의 전극의 일부를 피복하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.10. The method of claim 9,
The second insulating film covers at least a part of the second electrode. 제10항에 있어서,
상기 제1의 절연막 및 상기 제2의 절연막은 Ti, Ta 및 Ru 중 어느 하나, 또는 Ti, Ta 및 Ru 중 어느 하나의 질화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.11. The method of claim 10,
and the first insulating film and the second insulating film contain any one of Ti, Ta, and Ru, or a nitride of any one of Ti, Ta, and Ru. 제9항에 있어서,
상기 제1의 전극의 접합면을 제외하고, 상기 제1의 전극은 상기 제1의 절연막에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.10. The method of claim 9,
The imaging device according to claim 1, wherein the first electrode is covered with the first insulating film except for the bonding surface of the first electrode. 제10항에 있어서,
상기 제2의 전극의 접합면을 제외하고, 상기 제2의 전극은 상기 제2의 절연막에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.11. The method of claim 10,
The imaging device according to claim 1, wherein the second electrode is covered with the second insulating film except for the bonding surface of the second electrode. 제8항에 있어서,
상기 제1의 전극은 제1의 층간 절연막 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.9. The method of claim 8,
and the first electrode is disposed in the first interlayer insulating film. 제14항에 있어서,
상기 제1의 층간 절연막의 일부는, 상기 제2의 전극에 접합되는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.15. The method of claim 14,
A portion of the first interlayer insulating film is joined to the second electrode. 제10항에 있어서,
상기 제1의 절연막 및 상기 제2의 절연막은 배리어 메탈막인 것을 특징으로 하는 촬상 장치.11. The method of claim 10,
and the first insulating film and the second insulating film are barrier metal films. 포토다이오드, 플로팅 디퓨전, 제1의 복수의 트랜지스터 및 제1의 전극을 포함하는 제1의 기판과,
제2의 전극, 배선 및 제2의 복수의 트랜지스터를 포함하는 제2의 기판을 구비하고,
상기 제1의 전극은 광입사면측에 대향하는 상기 제1의 기판의 제1의 면측에 있고,
상기 제2의 전극은 상기 제2의 기판의 제1의 면측에 있고,
상기 제1의 기판과 상기 제2의 기판은, 상기 제1의 기판의 제1의 면측과 상기 제2의 기판의 제1의 면측이 서로 마주 대하게 하여, 서로 접합되고,
상기 제2의 전극의 일부는, 절연막을 통하여 상기 배선의 일부와 접속되는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.a first substrate comprising a photodiode, a floating diffusion, a first plurality of transistors, and a first electrode;
a second substrate including a second electrode, a wiring, and a second plurality of transistors;
the first electrode is on a first surface side of the first substrate opposite to a light incident surface side;
the second electrode is on the first surface side of the second substrate;
the first substrate and the second substrate are bonded to each other such that the first surface side of the first substrate and the first surface side of the second substrate face each other;
A portion of the second electrode is connected to a portion of the wiring through an insulating film. 제17항에 있어서,
상기 절연막은 적어도 상기 제2의 전극의 일부를 피복하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.18. The method of claim 17,
and the insulating film covers at least a part of the second electrode. 제17항에 있어서,
상기 절연막은 Ti, Ta 및 Ru 중 어느 하나, 또는 Ti, Ta 및 Ru의 질화물 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.18. The method of claim 17,
and the insulating film includes any one of Ti, Ta, and Ru, or a nitride of Ti, Ta, and Ru. 제17항에 있어서,
상기 제2의 전극의 접합면을 제외하고, 상기 제2의 전극은 상기 절연막에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.18. The method of claim 17,
The image pickup device according to claim 1, wherein the second electrode is covered with the insulating film except for the bonding surface of the second electrode. 제17항에 있어서,
상기 제1의 전극은 제1의 층간 절연막 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.18. The method of claim 17,
and the first electrode is disposed in the first interlayer insulating film. 제21항에 있어서,
상기 제1의 층간 절연막의 일부는, 상기 제2의 전극에 접합되는 것을 특징으로 하는 촬상 장치.22. The method of claim 21,
A portion of the first interlayer insulating film is joined to the second electrode. 제17항에 있어서,
상기 제1의 전극 및 상기 제2의 전극은 다른 크기인 것을 특징으로 하는 촬상 장치.18. The method of claim 17,
and the first electrode and the second electrode have different sizes. 제23항에 있어서,
상기 제1의 전극은 상기 제2의 전극보다 작은 것을 특징으로 하는 촬상 장치.24. The method of claim 23,
and the first electrode is smaller than the second electrode. 제17항에 있어서,
상기 절연막은 배리어 메탈막인 것을 특징으로 하는 촬상 장치.18. The method of claim 17,
and the insulating film is a barrier metal film. 제17항에 있어서,
제1측에서 상기 제2의 전극의 제1의 폭은, 단면에서 볼 때, 상기 제1측에 대향하는 제2측에서 상기 제2의 전극의 제2의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 촬상 장치.18. The method of claim 17,
and a first width of the second electrode on the first side is larger than a second width of the second electrode on a second side opposite to the first side when viewed in cross section. .
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