KR20210085096A - 이송 차량 세정 장치 - Google Patents

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KR20210085096A
KR20210085096A KR1020190177767A KR20190177767A KR20210085096A KR 20210085096 A KR20210085096 A KR 20210085096A KR 1020190177767 A KR1020190177767 A KR 1020190177767A KR 20190177767 A KR20190177767 A KR 20190177767A KR 20210085096 A KR20210085096 A KR 20210085096A
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세메스 주식회사
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Abstract

물건 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치가 개시된다. 상기 이송 차량 세정 장치는, 상기 이송 레일에 인접하게 배치되며 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들에 대한 세정을 수행하기 위한 세정 모듈과, 상기 세정 모듈의 전방에 배치되며 상기 이송 차량의 세정 전 상기 이송 차량의 외관을 검사하기 위한 제1 검사 모듈과, 상기 세정 모듈의 후방에 배치되며 상기 이송 차량의 세정 후 상기 이송 차량의 외관을 검사하기 위한 제2 검사 모듈을 포함한다.

Description

이송 차량 세정 장치{Apparatus for cleaning transport vehicle}
본 발명의 실시예들은 이송 차량 세정 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 사용되는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치의 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 장치들은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있다.
예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 이송 레일들이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 이송 레일들을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량은, 이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈과, 상기 주행 모듈의 아래에 연결되며 자재의 이송을 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈은, 상기 자재를 파지하기 위한 그리퍼들을 구비하는 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.
한편, 상기 이송 차량의 세정 및 예방 정비를 위한 검사는 상기 이송 레일과 연결되는 별도의 리프트 장치를 이용하여 상기 이송 차량을 하강시킨 후 수행될 수 있다. 상기 세정 및 검사는 상기 이송 차량의 외측 표면들에 누적된 먼지 등의 이물질을 제거하고 소모성 부품의 교체 등을 위해 수행될 수 있다. 그러나, 상기 리프트 장치를 이용하는 경우 상기 이송 차량의 세정 및 검사에 소요되는 시간이 증가될 수 있다. 특히, 일부 이송 차량들이 세정 및 검사를 위해 대기하는 경우 상기 이송 차량들의 흐름에 정체가 발생될 수 있으며 이에 의해 자재 운송이 지연되는 문제점이 발생될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 세정 및 검사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 이송 차량 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 물건 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치에 있어서, 상기 이송 차량 세정 장치는, 상기 이송 레일에 인접하게 배치되며 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들에 대한 세정을 수행하기 위한 세정 모듈과, 상기 세정 모듈의 전방에 배치되며 상기 이송 차량의 세정 전 상기 이송 차량의 외관을 검사하기 위한 제1 검사 모듈과, 상기 세정 모듈의 후방에 배치되며 상기 이송 차량의 세정 후 상기 이송 차량의 외관을 검사하기 위한 제2 검사 모듈을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량 세정 장치는, 상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 이송 차량의 세정이 수행되는 공간을 제공하는 세정 터널을 더 포함할 수 있으며, 상기 세정 모듈은 상기 세정 터널 내에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 세정 모듈은, 상기 이송 차량의 상면 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 상부 공기 분사 유닛과, 상기 상부 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 상면 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 상부 진공 유닛과, 상기 이송 차량의 양쪽 측면 부위들을 향하여 공기를 분사하기 위한 측면 공기 분사 유닛들과, 상기 측면 공기 분사 유닛들로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 양쪽 측면 부위들로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 측면 진공 유닛들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량의 상면 부위와 양쪽 측면 부위들에 대한 세정은 상기 이송 차량이 상기 세정 터널 내에서 이동하는 동안 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 세정 모듈은, 상기 상부 공기 분사 유닛과 상기 이송 차량의 상면 부위 사이의 간격이 일정하게 유지되도록 상기 이송 차량의 상면 부위 형상에 따라 상기 상부 공기 분사 유닛을 수직 방향으로 이동시키는 상부 구동 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 세정 모듈은, 상기 이송 차량의 하면 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 하부 공기 분사 유닛과, 상기 하부 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 하면 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 하부 진공 유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량의 하면 부위에 대한 세정은 상기 이송 차량이 상기 세정 터널 내에서 이동하는 동안 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량은 상기 세정 터널 내의 기 설정된 위치에서 정차할 수 있으며, 상기 세정 모듈은, 상기 정차된 이송 차량의 전방 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 전방 공기 분사 유닛과, 상기 전방 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 전방 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 전방 진공 유닛과, 상기 정차된 이송 차량의 후방 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 후방 공기 분사 유닛과, 상기 후방 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 후방 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 후방 진공 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 세정 모듈은, 상기 전방 공기 분사 유닛과 상기 전방 진공 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 전방 구동 유닛과, 상기 후방 공기 분사 유닛과 상기 후방 진공 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 후방 구동 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 세정 모듈은, 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들을 향하여 공기를 분사하는 공기 분사 유닛들과, 상기 공기 분사 유닛들에 의해 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하는 진공 유닛들을 포함할 수 있으며, 상기 공기 분사 유닛들에 의해 분사되는 공기의 유량보다 상기 진공 유닛들에 의해 흡입되는 공기의 유량을 더 크게 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 검사 모듈은, 상기 이송 차량의 세정 전 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들을 촬상하기 위한 제1 검사 카메라들을 포함하며, 상기 제2 검사 모듈은, 상기 이송 차량의 세정 후 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들을 촬상하기 위한 제2 검사 카메라들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량 세정 장치는, 상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 세정 모듈의 전방에 배치되는 제1 검사 터널과, 상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 세정 모듈의 후방에 배치되는 제2 검사 터널을 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 검사 모듈과 상기 제2 검사 모듈은 상기 제1 검사 터널과 상기 제2 검사 터널 내에 각각 배치될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량에 대한 세정이 상기 이송 레일에 인접하게 배치되는 세정 모듈에 의해 수행될 수 있으므로, 종래 기술에서와 같이 별도의 리프트를 이용하는 경우와 비교하여 세정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 특히, 상기 이송 차량에 대한 세정이 세정 터널 내에서 수행될 수 있고, 상기 이송 차량의 세정을 위해 분사되는 공기의 유량보다 상기 이송 차량으로부터 제거된 이물질을 흡입하기 위한 공기의 유량을 더 크게 함으로써 클린룸 내부로 상기 이물질이 확산되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 이송 차량의 세정 전과 후에 상기 이송 차량의 외관을 검사함으로써 상기 이송 차량의 세정 주기를 조정할 수 있고 아울러 세정 시간 및 공기압 등을 최적으로 조정할 수 있다. 특히, 세정 후 획득되는 상기 이송 차량의 이미지들을 이용하여 소모성 부품들의 마모도를 검사할 수 있고 이를 통해 상기 소모성 부품들의 교체 시기를 결정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 세정 모듈을 설명하기 위한 확대 개략도들이다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 제1 검사 모듈을 설명하기 위한 확대 개략도들이다.
도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 제2 검사 모듈을 설명하기 위한 확대 개략도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 장치를 설명하기 위한 개략도이고, 도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 세정 모듈을 설명하기 위한 확대 개략도들이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 사용되는 OHT 장치의 이송 차량(10)을 세정하기 위해 사용될 수 있다. 상기 제조 공정이 수행되는 클린룸의 천장 부위에는 자재 이송을 위한 이송 레일(20)이 설치될 수 있으며, 상기 이송 차량(10)은 상기 이송 레일(20)을 따라 이동 가능하게 구성될 수 있다. 구체적으로, 상기 이송 차량(10)은 상기 이송 레일(20) 상에서 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(12)과, 상기 주행 모듈(12) 아래에 연결되며 자재 이송을 위한 호이스트 모듈(14)을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량 세정 장치(100)는, 상기 이송 레일(20)에 인접하게 배치되며 상기 이송 차량(10)의 외측 표면 부위들에 대한 세정을 수행하기 위한 세정 모듈(200)과, 상기 세정 모듈(200)의 전방에 배치되며 상기 이송 차량(10)의 세정 전 상기 이송 차량(10)의 외관을 검사하기 위한 제1 검사 모듈(300)과, 상기 세정 모듈(200)의 후방에 배치되며 상기 이송 차량(10)의 세정 후 상기 이송 차량(10)의 외관을 검사하기 위한 제2 검사 모듈(400)을 포함할 수 있다.
특히, 상기 이송 차량 세정 장치(100)는, 상기 이송 레일(20)과 상기 이송 차량(10)의 이동 경로를 감싸도록 배치되며 상기 이송 차량(10)의 세정이 수행되는 공간을 제공하는 세정 터널(202)을 포함할 수 있다. 상기 세정 모듈(200)은 상기 세정 터널(202) 내에 배치될 수 있으며, 상기 이송 차량(10)의 외측 표면 부위들을 향하여 공기를 분사하는 공기 분사 유닛들(210, 212, 214, 216, 218, 220)과, 상기 공기 분사 유닛들(210, 212, 214, 216, 218, 220)에 의해 분사된 공기 및 상기 이송 차량(10)의 외측 표면 부위들로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하는 진공 유닛들(230, 232, 234, 236, 238, 240)을 포함할 수 있다. 한편, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 세정 터널(202)은 상기 클린룸의 천장에 고정될 수 있다.
일 예로서, 상기 공기 분사 유닛들(210, 212, 214, 216, 218, 220)은 에어 나이프 형태를 가질 수 있다. 다른 예로서, 상기 공기 분사 유닛들(210, 212, 214, 216, 218, 220)은 상기 공기를 분사하기 위한 복수의 노즐들을 각각 구비할 수도 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 상기 진공 유닛들(230, 232, 234, 236, 238, 240)은 진공 펌프와 연결될 수 있으며, 상기 공기와 이물질을 진공 흡입하기 위한 복수의 진공홀들을 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공기 분사 유닛들(210, 212, 214, 216, 218, 220)에 의해 분사되는 공기의 유량보다 상기 진공 유닛들(230, 232, 234, 236, 238, 240)에 의해 흡입되는 공기의 유량을 더 크게 함으로써 상기 이송 차량(10)으로부터 분리된 먼지 등의 이물질이 상기 세정 터널(202)로부터 상기 클린룸의 내부로 확산되는 것을 방지할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 세정 모듈(200)은, 상기 이송 차량(10)의 상면 부위 즉 상기 주행 모듈(12)의 상부를 향하여 공기를 분사하기 위한 상부 공기 분사 유닛(210)과, 상기 상부 공기 분사 유닛(210)으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량(10)의 상면 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 상부 진공 유닛(230)과, 상기 이송 차량(10)의 양쪽 측면 부위들을 향하여 공기를 분사하기 위한 측면 공기 분사 유닛들(212, 214)과, 상기 측면 공기 분사 유닛들(212, 214)로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량(10)의 양쪽 측면 부위들로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 측면 진공 유닛들(232, 234)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 세정 모듈(200)은, 상기 이송 차량(10)의 하면 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 하부 공기 분사 유닛(216)과, 상기 하부 공기 분사 유닛(216)으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량(10)의 하면 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 하부 진공 유닛(236)을 포함할 수 있다.
상기 이송 차량(10)의 상면 부위와 양쪽 측면 부위들 및 하면 부위에 대한 세정은 상기 이송 차량(10)이 상기 세정 터널(202) 내에서 이동하는 동안 수행될 수 있다. 즉, 상기 이송 차량(10)은 상기 세정 터널(202) 내부의 기 설정된 위치까지 저속으로 주행할 수 있으며, 상기 세정 터널(202) 내에서 상기 이송 차량(10)이 이동하는 동안 상기 이송 차량(10)의 상면 부위와 양쪽 측면 부위들 및 하면 부위를 향하여 공기가 분사될 수 있으며, 이에 의해 상기 이송 차량(10)으로부터 분리된 이물질은 상기 상부 진공 유닛(230)과 측면 진공 유닛들(232, 234) 및 하부 진공 유닛(236)에 의해 제거될 수 있다.
특히, 상기 이송 차량(10)의 상면 부위 즉 상기 주행 모듈(12)의 상부는 그 형상이 평면 형태가 아니므로 상기 상부 공기 분사 유닛(210)이 고정되어 있는 경우 상기 이송 차량(10)의 상면 부위에 인가되는 공기압이 일정하지 않을 수 있으므로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량(10)의 상면 부위에 인가되는 공기압을 일정하게 유지하기 위해 상기 세정 모듈(200)은 상기 이송 차량(10)의 상면 부위 형상에 따라 상기 상부 공기 분사 유닛(210)을 수직 방향으로 이동시키는 상부 구동 유닛(250)을 포함할 수 있다. 상기 상부 구동 유닛(250)은 상기 이송 차량(10)이 이동하는 동안 상기 상부 공기 분사 유닛(210)과 상기 이송 차량(10)의 상면 부위 사이의 간격이 일정하게 유지되도록 상기 상부 공기 분사 유닛(210)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 상기 이송 차량(10)은 상기 세정 터널(202) 내의 기 설정된 위치에서 정차할 수 있으며, 상기 세정 모듈(200)은, 상기 정차된 이송 차량(10)의 전방 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 전방 공기 분사 유닛(218)과, 상기 전방 공기 분사 유닛(218)으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량(10)의 전방 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 전방 진공 유닛(238)과, 상기 정차된 이송 차량(10)의 후방 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 후방 공기 분사 유닛(220)과, 상기 후방 공기 분사 유닛(220)으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량(10)의 후방 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 후방 진공 유닛(240)을 포함할 수 있다.
특히, 상기 세정 모듈(200)은, 상기 전방 공기 분사 유닛(218)과 상기 전방 진공 유닛(238)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 전방 구동 유닛(252)과, 상기 후방 공기 분사 유닛(220)과 상기 후방 진공 유닛(240)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 후방 구동 유닛(254)을 포함할 수 있으며, 상기 전방 구동 유닛(252)과 상기 후방 구동 유닛(254)은 상기 전방 공기 분사 유닛(218)과 상기 후방 공기 분사 유닛(220)으로부터 분사된 공기가 상기 이송 차량(10)의 전방 부위와 후방 부위를 수직 방향으로 스캔하도록 상기 전방 공기 분사 유닛(218)과 전방 진공 유닛(238) 및 후방 공기 분사 유닛(220)과 후방 진공 유닛(240)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 세정 모듈(200)은 상기 이송 차량(10)의 외측 표면 부위들로부터 이물질을 제거하기 위한 브러시들(미도시)을 더 포함할 수도 있다. 상기 브러시들은 상기 공기 분사 유닛들(210, 212, 214, 216, 218, 220)로부터 분사되는 공기와 함께 상기 이송 차량(10)의 외측 표면 부위들을 스캔하도록 구성될 수 있다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 제1 검사 모듈을 설명하기 위한 확대 개략도들이며, 도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 제2 검사 모듈을 설명하기 위한 확대 개략도들이다.
도 5 내지 도 8을 참조하면, 상기 이송 장치(100)는, 상기 이송 레일(20) 및 상기 이송 차량(10)의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 세정 모듈(200)의 전방에 배치되는 제1 검사 터널(302)과, 상기 이송 레일(20) 및 상기 이송 차량(10)의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 세정 모듈(200)의 후방에 배치되는 제2 검사 터널(402)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 검사 모듈(300)과 상기 제2 검사 모듈(400)은 상기 제1 검사 터널(302)과 상기 제2 검사 터널(402) 내에 각각 배치될 수 있다. 한편, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 검사 터널(302)과 제2 검사 터널(402)은 상기 클린룸의 천장에 고정될 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 제1 검사 모듈(300)은 상기 이송 차량(10)의 세정 전 상기 이송 차량(10)의 외측 표면 부위들을 촬상하기 위한 제1 검사 카메라들(310, 312, 314, 316, 318, 320)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 이송 차량(10)은 상기 제1 검사 터널(302) 내부의 기 설정된 위치에 정차할 수 있으며, 상기 제1 검사 모듈(300)은, 상기 정차된 이송 차량(10)의 상면 부위를 촬상하기 위한 제1 상부 카메라(310)와, 상기 정차된 이송 차량(10)의 양쪽 측면 부위들을 촬상하기 위한 제1 측면 카메라들(312, 314)과, 상기 정차된 이송 차량(10)의 하면 부위를 촬상하기 위한 제1 하부 카메라(316)와, 상기 정차된 이송 차량(10)의 전방 부위를 촬상하기 위한 제1 전방 카메라(318)와, 상기 정차된 이송 차량(10)의 후방 부위를 촬상하기 위한 제1 후방 카메라(320)를 포함할 수 있다.
이와 유사하게, 도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 제2 검사 모듈(400)은 상기 이송 차량(10)의 세정 후 상기 이송 차량(10)의 외측 표면 부위들을 촬상하기 위한 제2 검사 카메라들(410, 412, 414, 416, 418, 420)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 이송 차량(10)은 상기 제2 검사 터널(402) 내부의 기 설정된 위치에 정차할 수 있으며, 상기 제2 검사 모듈(400)은, 상기 정차된 이송 차량(10)의 상면 부위를 촬상하기 위한 제2 상부 카메라(410)와, 상기 정차된 이송 차량(10)의 양쪽 측면 부위들을 촬상하기 위한 제2 측면 카메라들(412, 414)과, 상기 정차된 이송 차량(10)의 하면 부위를 촬상하기 위한 제2 하부 카메라(416)와, 상기 정차된 이송 차량(10)의 전방 부위를 촬상하기 위한 제2 전방 카메라(418)와, 상기 정차된 이송 차량(10)의 후방 부위를 촬상하기 위한 제2 후방 카메라(420)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량(10)의 세정은 주기별로 수행될 수 있으며, 상기 제1 검사 카메라들(310, 312, 314, 316, 318, 320)에 의해 획득된 이미지들로부터 세정 주기의 조정이 이루어질 수 있다. 아울러, 상기 제2 검사 카메라들(410, 412, 414, 416, 418, 420)에 의해 획득된 이미지들로부터 상기 이송 차량(10)의 세정 시간 및 세정을 위한 분사되는 공기 압력 등의 조정이 이루어질 수 있다. 특히, 상기 제2 검사 카메라들(410, 412, 414, 416, 418, 420)에 의해 획득된 이미지들로부터 소모성 부품들, 예를 들면, 상기 주행 모듈(12)의 주행 휠과 안내 휠 등의 마모 정도를 측정할 수 있으며, 이를 통해 상기 소모성 부품들의 교체 시기를 예측할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 차량(10)에 대한 세정이 상기 이송 레일(20)에 인접하게 배치되는 세정 모듈(200)에 의해 수행될 수 있으므로, 종래 기술에서와 같이 별도의 리프트를 이용하는 경우와 비교하여 세정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 특히, 상기 이송 차량(10)에 대한 세정이 세정 터널(202) 내에서 수행될 수 있고, 상기 이송 차량(10)의 세정을 위해 분사되는 공기의 유량보다 상기 이송 차량(10)으로부터 제거된 이물질을 흡입하기 위한 공기의 유량을 더 크게 함으로써 클린룸 내부로 상기 이물질이 확산되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 이송 차량(10)의 세정 전과 후에 상기 이송 차량(10)의 외관을 검사함으로써 상기 이송 차량(10)의 세정 주기를 조정할 수 있고 아울러 세정 시간 및 공기압 등을 최적으로 조정할 수 있다. 특히, 세정 후 획득되는 상기 이송 차량(10)의 이미지들을 이용하여 소모성 부품들의 마모도를 검사할 수 있고 이를 통해 상기 소모성 부품들의 교체 시기를 결정할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 이송 차량 12 : 주행 모듈
14 : 호이스트 모듈 20 : 이송 레일
100 : 이송 차량 세정 장치 200 : 세정 모듈
202 : 세정 터널 210 : 상부 공기 분사 유닛
212, 214 : 측면 공기 분사 유닛 216 : 하부 공기 분사 유닛
218 : 전방 공기 분사 유닛 220 : 후방 공기 분사 유닛
230 : 상부 진공 유닛 232, 234 : 측면 진공 유닛
236 : 하부 진공 유닛 238 : 전방 진공 유닛
240 : 후방 진공 유닛 250 : 상부 구동 유닛
252 : 전방 구동 유닛 254 : 후방 구동 유닛
300 : 제1 검사 모듈 302 : 제1 검사 터널
310, 312, 314, 316, 318, 320 : 제1 검사 카메라
400 : 제2 검사 모듈 402 : 제2 검사 터널
410, 412, 414, 416, 418, 420 : 제2 검사 카메라

Claims (12)

  1. 물건 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치에 있어서,
    상기 이송 레일에 인접하게 배치되며 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들에 대한 세정을 수행하기 위한 세정 모듈;
    상기 세정 모듈의 전방에 배치되며 상기 이송 차량의 세정 전 상기 이송 차량의 외관을 검사하기 위한 제1 검사 모듈; 및
    상기 세정 모듈의 후방에 배치되며 상기 이송 차량의 세정 후 상기 이송 차량의 외관을 검사하기 위한 제2 검사 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 이송 차량의 세정이 수행되는 공간을 제공하는 세정 터널을 더 포함하며,
    상기 세정 모듈은 상기 세정 터널 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 세정 모듈은,
    상기 이송 차량의 상면 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 상부 공기 분사 유닛과,
    상기 상부 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 상면 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 상부 진공 유닛과,
    상기 이송 차량의 양쪽 측면 부위들을 향하여 공기를 분사하기 위한 측면 공기 분사 유닛들과,
    상기 측면 공기 분사 유닛들로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 양쪽 측면 부위들로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 측면 진공 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이송 차량의 상면 부위와 양쪽 측면 부위들에 대한 세정은 상기 이송 차량이 상기 세정 터널 내에서 이동하는 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 세정 모듈은,
    상기 상부 공기 분사 유닛과 상기 이송 차량의 상면 부위 사이의 간격이 일정하게 유지되도록 상기 이송 차량의 상면 부위 형상에 따라 상기 상부 공기 분사 유닛을 수직 방향으로 이동시키는 상부 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 세정 모듈은,
    상기 이송 차량의 하면 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 하부 공기 분사 유닛과,
    상기 하부 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 하면 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 하부 진공 유닛을 더 포함하며,
    상기 이송 차량의 하면 부위에 대한 세정은 상기 이송 차량이 상기 세정 터널 내에서 이동하는 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 이송 차량은 상기 세정 터널 내의 기 설정된 위치에서 정차하며,
    상기 세정 모듈은,
    상기 정차된 이송 차량의 전방 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 전방 공기 분사 유닛과,
    상기 전방 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 전방 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 전방 진공 유닛과,
    상기 정차된 이송 차량의 후방 부위를 향하여 공기를 분사하기 위한 후방 공기 분사 유닛과,
    상기 후방 공기 분사 유닛으로부터 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 후방 부위로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하기 위한 후방 진공 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 세정 모듈은,
    상기 전방 공기 분사 유닛과 상기 전방 진공 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 전방 구동 유닛과,
    상기 후방 공기 분사 유닛과 상기 후방 진공 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 후방 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 세정 모듈은,
    상기 이송 차량의 외측 표면 부위들을 향하여 공기를 분사하는 공기 분사 유닛들과,
    상기 공기 분사 유닛들에 의해 분사된 공기 및 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하는 진공 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 공기 분사 유닛들에 의해 분사되는 공기의 유량보다 상기 진공 유닛들에 의해 흡입되는 공기의 유량이 더 큰 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 제1 검사 모듈은,
    상기 이송 차량의 세정 전 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들을 촬상하기 위한 제1 검사 카메라들을 포함하며,
    상기 제2 검사 모듈은,
    상기 이송 차량의 세정 후 상기 이송 차량의 외측 표면 부위들을 촬상하기 위한 제2 검사 카메라들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 세정 모듈의 전방에 배치되는 제1 검사 터널과,
    상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 세정 모듈의 후방에 배치되는 제2 검사 터널을 더 포함하며,
    상기 제1 검사 모듈과 상기 제2 검사 모듈은 상기 제1 검사 터널과 상기 제2 검사 터널 내에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 차량 세정 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20070022887A (ko) * 2004-09-03 2007-02-27 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 기판 테두리부 세정 장치 및 기판 테두리부 세정 방법
KR101507351B1 (ko) * 2013-12-09 2015-03-31 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 이송용 비히클 청소 장치 및 그를 구비하는 청소 시스템

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