CN110369352B - 清洗装置及基板清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本揭示提供一种清洗装置及基板清洗方法。所述清洗装置包括驱动部分、多个抓取部分、多个伸缩杆以及清洗部分，驱动部分包括驱动电机、导轨和间隔设置于导轨上的多个滑块，抓取部分用于抓取和放置待清洗基板，伸缩杆的一端连接至一个或多个抓取部分，伸缩杆的另一端与滑块相连接，伸缩杆用于调节抓取部分与驱动部分之间的间隔距离，清洗部分设置于抓取部分远离驱动部分的一侧，使得基板的待清洗面朝向清洗部分，实现对基板自下而上的清洗，清洗部分所产生的清洗液体，由于重力的影响而滴落，以此解决清洗装置液体倒灌的问题，附着在基板待清洗面上的污染物由于重力的因素不会产生二次附着，从而提高清洗装置清洗基板的清洁效果。

Description

清洗装置及基板清洗方法
技术领域
本发明涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种清洗装置及基板清洗方法。
背景技术
玻璃基板是构成显示装置的一个基本部件，是平板显示产业的关键基础材料之一。在显示装置制造过程中，TFT工艺制程对玻璃基板表面清洁度非常高，但是其表面往往存在大量污染物，包括指印、油脂等有机污染物和灰尘、玻璃屑等无机颗粒。因此外来玻璃基板在制程前必须进行投料前清洗。
目前的玻璃基板清洗装置多为滚轮式设计，将玻璃基板架在滚轮上随滚轮转动向前传送，基板正面向上，毛刷、药液、水气二流体、高压喷射洗净装置等在基板上侧进行清洗。但是，由于玻璃基板本身比较光滑，在滚轮上随滚轮转动向前传送时容易在滚轮表面打滑，同时，由于基板清洗面向上，污染物由于重力等因素，仍可能在清洗后的玻璃基板表面发生二次附着，导致清洗效果不佳的问题。
综上所述，现有基板清洗装置存在基板易打滑以及清洗效果不佳的问题。故，有必要提供一种清洗装置及基板清洗方法来改善这一缺陷。
发明内容
本揭示实施例提供一种清洗装置及基板清洗方法，用于解决现有基板清洗装置存在基板易打滑以及清洗效果不佳的问题。
本揭示实施例提供一种清洗装置，包括：
驱动部分，所述驱动部分包括驱动电机、导轨和间隔设置于所述导轨上的多个滑块；
多个抓取部分，所述抓取部分用于抓取和放置待清洗基板；
多个伸缩杆，所述伸缩杆的一端连接至一个或多个所述抓取部分，所述伸缩杆的另一端与所述滑块相连接，所述伸缩杆用于调节所述抓取部分与所述驱动部分之间的间隔距离；以及
清洗部分，所述清洗部分设置于所述抓取部分远离所述驱动部分的一侧。
根据本揭示一实施例，所述导轨包括装载区间、清洗区间、卸载区间和空载区间，所述清洗区间位于于所述装载区间和所述卸载区间之间，所述空载区间位于与所述清洗区间相反的一侧。
根据本揭示一实施例，所述导轨包括平行设置的第一导轨和第二导轨，当所述滑块运行时，所述滑块在所述第一导轨和所述第二导轨上的运行速度相同、运行方向相反。
根据本揭示一实施例，所述抓取部分包括设置于所述第一导轨上的多个第一抓取部分和设置于所述第二导轨上的多个第二抓取部分，且设置于同一所述导轨上的相邻所述抓取部分之间的间隔距离相等。
根据本揭示一实施例，所述第一抓取部分和所述第二抓取部分在所述装载区间构成抓取组，用于共同吸附所述待清洗基板，当所述抓取组从所述装载区间运行至所述卸载区间时，所述抓取组在所述空载区间重新拆分成所述第一抓取部分和所述第二抓取部分。
根据本揭示一实施例，所述抓取部分包括一个或者多个吸盘或夹具。
根据本揭示一实施例，所述伸缩杆具有三个或三个以上的长度等级调节；在所述装载区间，所述伸缩杆控制所述抓取部分至第一长度抓取所述待清洗基板；在所述清洗区间，所述伸缩杆用于控制所述抓取部分至第二长度进行；在所述卸载区间，所述伸缩杆用于控制所述抓取部分至第一长度卸载已完成清洗的所述基板；在所述空载区间，所述伸缩杆用于控制所述抓取部分至第三长度，并跟随所述驱动部分运行至所述装载区间。
根据本揭示一实施例，所述伸缩杆为电动式伸缩杆或者气压式伸缩杆。
根据本揭示一实施例，所述清洗部分包括毛刷和高压喷射洗净装置。
本揭示实施例还提供一种基板清洗方法，包括：
步骤S10：提供如上述的清洗装置以及待清洗基板；
步骤S20：驱动部分驱动抓取部分移动至装载区间，同时伸缩杆控制抓所述抓取部分移动至第一长度，所述抓取部分抓取待清洗基板；
步骤S30：所述驱动部分驱动所述抓取部分移动至清洗区间，同时所述伸缩杆控制所述抓取部分移动至第二高度，通过清洗部分对所述待清洗基板完成清洗；以及
步骤S40：所述驱动部分驱动所述抓取部分移动至卸载区间，同时所述伸缩杆控制所述抓取部分移动至所述第一高度，所述抓取部分卸载所述基板。
本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例通过伸缩杆控制抓取部分与驱动部分之间的间隔距离，用抓取部分抓取待清洗基板的与待清洗面相反的一侧，从而解决基板在清洗装置内打滑的问题，通过驱动部分的驱动电机驱动所述滑块以及与所述滑块连接的伸缩杆和抓取部分沿导轨移动，将清洗部分设置于抓取部分远离驱动部分的一侧，使得基板的待清洗面朝向所述清洗部分，实现对基板自下而上的清洗，清洗部分所产生的清洗液体，由于重力的影响而滴落，以此解决清洗装置液体倒灌的问题，附着在基板待清洗面上的污染物由于重力的因素不会产生二次附着，从而提高清洗装置清洗基板的清洁效果。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是揭示的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本揭示实施例一提供的清洗装置的结构示意图；
图2为本揭示实施例二提供的清洗装置的俯视结构示意图；
图3为本揭示实施例二提供的清洗装置的侧视结构示意图；
图4为本揭示实施例三提供的清洗装置的俯视结构示意图；
图5为本揭示实施例三提供的清洗装置的侧视结构示意图；
图6为本揭示实施例四提供的基板清洗方法的流程示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本揭示可用以实施的特定实施例。本揭示所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
下面结合附图和具体实施例对本揭示做进一步的说明：
实施例一：
本揭示实施例提供一种清洗装置，下面结合图1进行详细说明。
如图1所示，图1为本揭示实施例提供的清洗装置100的结构示意图。所述清洗装置100包括驱动部分110、抓取部分120、伸缩杆130以及清洗部分140。
具体地，所述驱动部分110包括驱动电机(图中未示出)、导轨111和间隔设置于所述导轨111上的多个滑块112，所述驱动电机驱动所述多个滑块112在所述导轨上111上运行。
在本实施例中，所述导轨111为环形导轨，所述驱动部分110的驱动方式为同步带式驱动。在一些其他实施例中，所述驱动部分110的驱动方式不局限于同步带式驱动，也可以为链条式驱动或螺杆式驱动等驱动方式。
具体地，所述导轨111包括装载区间、清洗区间、卸载区间和空载区间，图1中仅表示出部分清洗区间。所述清洗区间位于于所述装载区间和所述卸载区间之间，所述空载区间位于与所述清洗区间相反的一侧，所述清洗部分140对应所述清洗区间。
在本实施例中，所述抓取部分120用于抓取和放置待清洗基板150，且相邻所述抓取部分120之间的间隔距离相等。如图1所示，每个所述抓取部分120包括3个吸盘121，通过一个或者多个吸盘121吸附与所述待清洗基板150待清洗面相反的一侧，即可实现基板150的倒置清洗。在一些其他实施例中，所述抓取部分120中吸盘的数量不局限于3个，对于面积较小的基板可以采用一个吸盘，对于面积和重量较大的基板或者为增大吸盘的吸附力，则可以采用多个吸盘。在一些其他实施例中，所述抓取部分120中的吸盘121可以采用夹具替代，通过一个或者多个夹具夹取所述待清洗基板150待清洗面相反的一侧，同样可以实现基板150的倒置清洗。
在本实施例中，所述伸缩杆130的一端连接至一个或多个所述抓取部分120，所述伸缩杆130的另一端与所述滑块112相连接，所述伸缩杆130用于调节所述抓取部分120与所述驱动部分110之间的间隔距离。如图1所示，可以通过一个滑块112和一个伸缩杆130单独控制一个吸盘121。在一些其他实施例中，还可以通过一个滑块112和一个伸缩杆130同时控制多个吸盘121或者夹具抓取待清洗基板150。
优选的，所述伸缩杆130可以为电动式伸缩杆或者气压式伸缩杆。
如图1所示，所述清洗部分140设置于所述抓取部分120远离所述驱动部分110的一侧。所述清洗部分140包括毛刷141和高压喷射洗净装置142，所述毛刷141设置于靠近所述装载区间一侧，所述高压喷射洗净装置142设置于远离所述装载区间一侧。基板150待清洗表面附着的污染物通过毛刷141的滚动刷洗，同时在重力的作用下，脱离基板表面；高压喷射洗净装置142用于喷射水汽二流体将毛刷141未刷洗干净的附着在基板150上的污染物进行二次冲洗，以保证附着在基板150待清洗表面的污染物被清洗干净。
本揭示实施例通过伸缩杆130控制抓取部分120与驱动部分110之间的间隔距离，用抓取部分120抓取待清洗基板150的与待清洗面相反的一侧，从而解决基板150在清洗装置100内打滑的问题，通过驱动部分110的驱动电机驱动所述滑块112以及与所述滑块112连接的伸缩杆130和抓取部分120沿导轨111移动，将清洗部分140设置于抓取部分120远离驱动部分110的一侧，使得基板150的待清洗面朝向所述清洗部分140，实现对基板150自下而上的清洗，清洗部分140所产生的清洗液体，由于重力的影响而滴落，以此解决清洗装置100液体倒灌的问题，同时，附着在基板150待清洗面上的污染物由于重力的因素不会产生二次附着，从而提高清洗装置100清洗基板150的清洁效果。
实施例二：
本揭示提供一种清洗装置，下面结合图2至图3进行详细说明。
如图2和图3所示，图2为本揭示实施例提供的清洗装置200的俯视结构示意图，图3为本揭示实施例提供的清洗装置200的侧视结构示意图，所述清洗装置200包括驱动部分210、抓取部分220、多个伸缩杆230
所述驱动部分210包括驱动电机(图中未示出)、导轨和间隔设置于所述导轨上的多个滑块213，所述导轨包括平行设置的第一导轨211和第二导轨212，当所述滑块213运行时，所述滑块213在所述第一导轨211和所述第二导轨212上的运行速度相同、运行方向相反。因为图3为侧视图，所以第一导轨211和第二导轨212重合。
在本实施例中，所述导轨为环形导轨，所述驱动部分210的驱动方式为同步带式驱动。在一些其他实施例中，所述驱动部分210的驱动方式不局限于同步带式驱动，也可以为链条式驱动或螺杆式驱动等驱动方式。
具体地，所述导轨包括装载区间214、清洗区间215、卸载区间216和空载区间217，所述清洗区间215位于所述装载区间214和所述卸载区间216之间，所述空载区间217位于与所述清洗区间215相反的一侧。
在本实施例中，所述抓取部分220用于抓取和放置待清洗基板250，且相邻所述抓取部分220之间的间隔距离相等。如图3所示，每个所述抓取部分220包括3个吸盘221，通过3个吸盘221吸附与所述待清洗基板250待清洗面相反的一侧，即可实现基板250的倒置清洗。在一些其他实施例中，所述抓取部分220中吸盘的数量不局限于3个，对于面积较小的基板可以采用一个吸盘，对于面积和重量较大的基板或者为增大吸盘的吸附力，则可以采用多个吸盘。
具体地，如图2所示，所述抓取部分220包括设置于所述第一导轨211上的多个第一抓取部分222和设置于所述第二导轨212上的多个第二抓取部分223，且设置于同一所述导轨上的相邻所述抓取部分之间的间隔距离相等。所述第一抓取部分222和所述第二抓取部分223在所述装载区间214构成抓取组260，所述抓取部分220的吸盘221通气孔打开实现与真空泵接通，共同抽气吸附所述待清洗基板250；吸附完成后，通气孔关闭，吸盘221与真空泵分离，所述抓取组260运行至清洗区间215进行清洗；清洗完成后，所述抓取组260从所述清洗区间215运行至所述卸载区间216，吸盘221通气孔打开实现与大气接通，卸载所述基板250；卸载完成后，在所述空载区间217重新拆分成所述第一抓取部分222和所述第二抓取部分223。
在本实施例中，所述伸缩杆230的一端连接至一个或多个所述抓取部分220，所述伸缩杆230的另一端与所述滑块213相连接，所述伸缩杆230用于调节所述抓取部分220与所述驱动部分210之间的间隔距离。如图3所示，可以通过一个滑块213和一个伸缩杆230单独控制一个吸盘221。在一些其他实施例中，还可以通过一个滑块213和一个伸缩杆230同时控制多个吸盘221抓取待清洗基板250。
优选的，所述伸缩杆230可以为电动式伸缩杆或者气压式伸缩杆。
具体地，所述伸缩杆230具有三个或三个以上的长度等级调节；在所述装载区间214，所述伸缩杆230控制所述抓取部分220至第一长度抓取所述待清洗基板250；在所述清洗区间215，所述伸缩杆230控制所述抓取部分220至第二长度，对所述基板250进行清洗；在所述卸载区间216，所述伸缩杆230控制所述抓取部分220至第一长度卸载已完成清洗的所述基板250；在所述空载区间217，所述伸缩杆230控制所述抓取部分至第三长度，并跟随驱动部分210运行至所述装载区间214。
优选的，所述第一长度小于所述第三长度，所述第三长度小于所述第二长度。由于不同区间高度差的存在，以此保证各个区间的抓取部分220以及被抓取的基板250不会发生碰撞，从而不影响基板250的传送和清洗。
如图3所示，所述清洗部分240设置于所述抓取部分220远离所述驱动部分210的一侧。所述清洗部分240包括毛刷241和高压喷射洗净装置242，所述毛刷241设置于靠近所述装载区间一侧，所述高压喷射洗净装置242设置于远离所述装载区间一侧。基板250待清洗表面附着的污染物通过毛刷241的滚动刷洗，同时在重力的作用下，脱离基板表面；高压喷射洗净装置242用于喷射水汽二流体将毛刷241未刷洗干净的附着在基板250上的污染物进行二次冲洗，以保证附着在基板250待清洗表面的污染物被清洗干净。
本揭示实施例通过伸缩杆230控制抓取部分220与驱动部分210之间的间隔距离，用抓取部分220抓取待清洗基板250的与待清洗面相反的一侧，从而解决基板250在清洗装置200内打滑的问题，通过驱动部分210的驱动电机驱动所述滑块213以及与所述滑块213连接的伸缩杆230和抓取部分220分别沿第一导轨211和第二导轨212移动，将清洗部分240设置于抓取部分220远离驱动部分210的一侧，使得基板250的待清洗面朝向所述清洗部分240，实现对基板250自下而上的清洗，清洗部分240所产生的清洗液体，由于重力的影响而滴落，以此解决清洗装置200液体倒灌的问题，同时，附着在基板250待清洗面上的污染物由于重力的因素不会产生二次附着，从而提高清洗装置200清洗基板250的清洁效果。
实施例三：
本揭示实施例提供一种清洗装置，下面结合图4至图5进行详细说明。
如图4和图5所示，图4为本揭示实施例提供的清洗装置300的俯视结构示意图，图5为本揭示实施例提供的清洗装置300的侧视结构示意图。所述清洗装置300包括驱动部分310、抓取部分320、多个伸缩杆330
所述驱动部分310包括驱动电机(图中未示出)、导轨和间隔设置于所述导轨上的多个滑块313，所述导轨包括平行设置的第一导轨311和第二导轨312，所述滑块313在所述第一导轨311和所述第二导轨312上的运行速度相同、运行方向相反。
在本实施例中，所述导轨为环形导轨，所述驱动部分310的驱动方式为同步带式驱动。在一些其他实施例中，所述驱动部分310的驱动方式不局限于同步带式驱动，也可以为链条式驱动或螺杆式驱动等驱动方式。
具体地，所述导轨包括装载区间314、清洗区间315、卸载区间316和空载区间317，所述清洗区间315位于所述装载区间314和所述卸载区间316之间，所述空载区间317位于与所述清洗区间315相反的一侧。
在本实施例中，所述抓取部分320用于抓取和放置待清洗基板350，且相邻所述抓取部分320之间的间隔距离相等。如图3所示，每个所述抓取部分320包括3个夹具321，通过3个夹具321夹取与所述待清洗基板350待清洗面相反的一侧，即可实现基板350的倒置清洗。在一些其他实施例中，所述抓取部分320中夹具321的数量不局限于3个，对于面积较小的基板可以采用一个夹具321，对于面积和重量较大的基板350或者为增大夹具321对基板350的夹持力，则可以采用多个夹具321。
具体地，如图4所示，所述抓取部分320包括设置于所述第一导轨311上的多个第一抓取部分322和设置于所述第二导轨312上的多个第二抓取部分323，且设置于同一所述导轨上的相邻所述抓取部分之间的间隔距离相等。所述第一抓取部分322和所述第二抓取部分323在所述装载区间314构成抓取组360，抓取组360从所述装载区间314运行至所述卸载区间316，在所述卸载区间316卸载完成后，在所述空载区间317重新拆分成所述第一抓取部分322和所述第二抓取部分323。
在本实施例中，所述伸缩杆330的一端连接至一个或多个所述抓取部分320，所述伸缩杆330的另一端与所述滑块313相连接，所述伸缩杆330用于调节所述抓取部分320与所述驱动部分310之间的间隔距离。如图5所示，可以通过一个滑块313和一个伸缩杆330单独控制一个夹具321。在一些其他实施例中，还可以通过一个滑块313和一个伸缩杆330同时控制多个夹具321抓取待清洗基板350。
优选的，所述伸缩杆330可以为电动式伸缩杆或者气压式伸缩杆。
具体地，所述伸缩杆330具有三个或三个以上的长度等级调节；在所述装载区间314，所述伸缩杆330控制所述抓取部分320至第一长度抓取所述待清洗基板350；在所述清洗区间315，所述伸缩杆330控制所述抓取部分320至第二长度，对所述基板350进行清洗；在所述卸载区间316，所述伸缩杆330控制所述抓取部分320至第一长度卸载已完成清洗的所述基板350；在所述空载区间317，所述伸缩杆330控制所述抓取部分至第三长度，并跟随驱动部分310运行至所述装载区间314。
优选的，所述第一长度小于所述第三长度，所述第三长度小于所述第二长度。由于不同区间高度差的存在，以此保证各个区间的抓取部分320以及被抓取的基板350不会发生碰撞，从而不影响基板350的传送和清洗。
如图5所示，所述清洗部分340设置于所述抓取部分320远离所述驱动部分310的一侧。所述清洗部分340包括毛刷341和高压喷射洗净装置342，所述毛刷341设置于靠近所述装载区间一侧，所述高压喷射洗净装置342设置于远离所述装载区间一侧。基板350待清洗表面附着的污染物通过毛刷341的滚动刷洗，同时在重力的作用下，脱离基板表面；高压喷射洗净装置342用于喷射水汽二流体将毛刷341未刷洗干净的附着在基板350上的污染物进行二次冲洗，以保证附着在基板350待清洗表面的污染物被清洗干净。
本揭示实施例通过伸缩杆330控制抓取部分320与驱动部分310之间的间隔距离，用抓取部分320抓取待清洗基板350的与待清洗面相反的一侧，从而解决基板350在清洗装置300内打滑的问题，通过驱动部分310的驱动电机驱动所述滑块313以及与所述滑块313连接的伸缩杆330和抓取部分320分别沿第一导轨311和第二导轨312移动，将清洗部分340设置于抓取部分320远离驱动部分310的一侧，使得基板350的待清洗面朝向所述清洗部分340，实现对基板350自下而上的清洗，清洗部分340所产生的清洗液体，由于重力的影响而滴落，以此解决清洗装置300液体倒灌的问题，同时，附着在基板350待清洗面上的污染物由于重力的因素不会产生二次附着，从而提高清洗装置300清洗基板350的清洁效果。
实施例四：
本揭示提供一种基板清洗方法，下面结合图6进行详细说明。
如图6所示，图6为本揭示实施例提供的基板清洗方法的流程示意图。
所述基板清洗方法包括：
步骤S10：提供如上述实施例所提供的清洗装置以及待清洗基板；
步骤S20：驱动部分驱动抓取部分移动至装载区间，同时伸缩杆控制抓所述取部分移动至第一长度，所述抓取部分抓取待清洗基板；
步骤S30：所述驱动部分驱动所述抓取部分移动至清洗区间，同时所述伸缩杆控制所述抓取部分移动至第二高度，通过清洗部分对所述待清洗基板完成清洗；以及
步骤S40：所述驱动部分驱动所述抓取部分移动至卸载区间，同时所述伸缩杆控制所述抓取部分移动至所述第一高度，所述抓取部分卸载所述基板。
具体地，所述清洗部分包括毛刷和高压喷射洗净装置，所述毛刷设置于靠近所述装载区间一侧，所述高压喷射洗净装置设置于远离所述装载区间一侧。基板待清洗表面附着的污染物通过毛刷的滚动刷洗，同时在重力的作用下，脱离基板表面；高压喷射洗净装置用于喷射水汽二流体将毛刷未刷洗干净的附着在基板上的污染物进行二次冲洗，以保证附着在基板待清洗表面的污染物被清洗干净。
综上所述，虽然本揭示以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本揭示，本领域的普通技术人员，在不脱离本揭示的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本揭示的保护范围以权利要求界定的范围为基准。

Claims (6)

1.一种清洗装置，其特征在于，包括：
驱动部分，所述驱动部分包括驱动电机、导轨和间隔设置于所述导轨上的多个滑块；所述导轨包括装载区间、清洗区间、卸载区间和空载区间，所述清洗区间位于所述装载区间和所述卸载区间之间，所述空载区间位于与所述清洗区间相反的一侧；所述导轨包括平行设置的第一导轨和第二导轨，当所述滑块运行时，所述滑块在所述第一导轨和所述第二导轨上的运行速度相同、运行方向相反；
多个抓取部分，所述抓取部分用于抓取和放置待清洗基板的与待清洗面相反的一侧；所述抓取部分包括设置于所述第一导轨上的多个第一抓取部分和设置于所述第二导轨上的多个第二抓取部分，且设置于同一所述导轨上的相邻所述抓取部分之间的间隔距离相等；所述第一抓取部分和所述第二抓取部分在所述装载区间构成抓取组，用于共同吸附所述待清洗基板，当所述抓取组从所述装载区间运行至所述卸载区间时，所述抓取组在所述空载区间重新拆分成所述第一抓取部分和所述第二抓取部分；
多个伸缩杆，所述伸缩杆的一端连接至一个或多个所述抓取部分，所述伸缩杆的另一端与所述滑块相连接，所述伸缩杆用于调节所述抓取部分与所述驱动部分之间的间隔距离；以及
清洗部分，所述清洗部分设置于所述抓取部分远离所述驱动部分的一侧，所述待清洗基板的待清洗面朝向所述清洗部分。
2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述抓取部分包括一个或者多个吸盘或夹具。
3.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述伸缩杆具有三个或三个以上的长度等级调节；在所述装载区间，所述伸缩杆用于控制所述抓取部分至第一长度抓取所述待清洗基板；在所述清洗区间，所述伸缩杆用于控制所述抓取部分至第二长度进行；在所述卸载区间，所述伸缩杆用于控制所述抓取部分至第一长度卸载已完成清洗的所述基板；在所述空载区间，所述伸缩杆用于控制所述抓取部分至第三长度，并跟随所述驱动部分运行至所述装载区间。
4.如权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述伸缩杆为电动式伸缩杆或者气压式伸缩杆。
5.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗部分包括毛刷和高压喷射洗净装置。
6.一种基板清洗方法，其特征在于，包括：
步骤S10：提供如权利要求1至5任一项所述的清洗装置以及待清洗基板；
步骤S20：驱动部分驱动抓取部分移动至装载区间，同时伸缩杆控制所述抓取部分移动至第一长度，所述抓取部分抓取待清洗基板；
步骤S30：所述驱动部分驱动所述抓取部分移动至清洗区间，同时所述伸缩杆控制所述抓取部分移动至第二高度，通过清洗部分对所述待清洗基板完成清洗；以及
步骤S40：所述驱动部分驱动所述抓取部分移动至卸载区间，同时所述伸缩杆控制所述抓取部分移动至第一高度，所述抓取部分卸载所述基板。
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