KR20210084234A

KR20210084234A - Scribing wheel

Info

Publication number: KR20210084234A
Application number: KR1020200145823A
Authority: KR
Inventors: 히로시 아베; 마키 다나카
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2019-12-27
Filing date: 2020-11-04
Publication date: 2021-07-07
Also published as: CN113045194B; JP2021107138A; JP7398099B2; CN113045194A; TW202126593A

Abstract

The present invention relates to a scribing wheel which can improve cross-sectional strength while forming a vertical crack of a sufficient depth on a substrate. The scribing wheel (100) includes: a plurality of blade portions (101) formed along the outer periphery; and a plurality of groove portions (102) formed between the blade portions (101) adjacent to each other in a circumferential direction and concave on a central axis (L0) side. In the groove portions (102), when viewed in a direction parallel to the central axis (L0), an angle formed by a ridge line at the end is greater than an angle formed by a ridge line at the deepest portion, and the angle formed by the ridge line at the end is larger than 155°.

Description

Scribing Wheel {SCRIBING WHEEL}

본 발명은 유리기판 등의 취성재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing wheel for forming scribe lines on a brittle material substrate such as a glass substrate.

유리기판 등의 취성재료 기판의 분단은 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판을 분단하는 브레이크 공정에 의해 실시된다. 스크라이브 공정에서는 스크라이빙 휠이 기판표면에 눌려지면서 소정의 라인을 따라서 이동된다. 이에 의해 스크라이빙 휠이 기판 표면을 구름이동(rolling)하여 스크라이브 라인이 형성된다.The division of a brittle material substrate such as a glass substrate is performed by a scribing step of forming a scribe line on the surface of the substrate, and a breaking step of dividing the substrate along the formed scribe line. In the scribing process, the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the substrate surface. As a result, the scribing wheel rolls the surface of the substrate to form a scribe line.

이하의 특허문헌 1에는 외주(外周) 능선에 복수의 홈이 소정 피치로 형성된 스크라이빙 휠이 기재되어 있다. 이 구성의 스크라이빙 휠을 사용함으로써 기판에 스크라이브 개시 직후부터 확실하게 수직 크랙을 형성할 수 있는 동시에 깊은 수직크랙을 형성할 수 있다.The following patent document 1 describes a scribing wheel in which a plurality of grooves are formed on an outer ridge line at a predetermined pitch. By using the scribing wheel of this configuration, vertical cracks can be reliably formed on the substrate immediately after scribing is started, and at the same time, deep vertical cracks can be formed.

일본 특개평09-188534호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 09-188534

상기 구성의 스크라이빙 휠을 사용한 경우, 기판 표면에 소정 피치로 간헐적으로 타흔(打痕,scratch)이 형성되어 그 타흔 바로 아래에 형성된 수직 크랙이 연결됨으로써 스크라이브 라인이 형성된다. 또한, 홈 형상에 의해 스크라이브 품질이 변화하는 것으로 알려져 있다. 깊은 수직 크랙을 형성하기 위해서는 홈을 깊게 할 필요가 있으나, 그로 인해 분단 후 기판의 단면강도(端面强度)가 저하되는 경우가 있다.When the scribing wheel of the above configuration is used, a scribe line is formed by intermittently forming a dent on the surface of the substrate at a predetermined pitch and connecting the vertical crack formed immediately below the dent. It is also known that the scribe quality varies with the shape of the groove. In order to form a deep vertical crack, it is necessary to deepen the groove, but for this reason, the cross-sectional strength of the substrate after division may be lowered.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은 기판에 충분한 깊이의 수직 크랙을 형성하면서 단면강도를 향상시키는 것이 가능한 스크라이빙 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of these problems, an object of the present invention is to provide a scribing wheel capable of improving cross-sectional strength while forming vertical cracks of sufficient depth on a substrate.

본 발명의 주된 형태는 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠에 관한 것이다. 이 형태에 관한 스크라이빙 휠은 외주연(外周緣)을 따라서 형성된 복수의 칼날부와 원주방향에 서로 이웃하는 상기 칼날부의 사이에 형성되어 중심축 측을 향해 오목한 복수의 홈부를 구비한다. 여기서, 상기 홈부는 상기 중심축과 평행한 방향에서 보아 단부에서의 능선이 이루는 각도가 홈의 가장 깊은 곳(最深部)에서의 능선이 이루는 각도보다 크고, 상기 단부에서 능선이 이루는 각도가 155°보다 크게 되어 있다.A principal aspect of the present invention relates to a scribing wheel for forming scribe lines on a substrate. The scribing wheel according to this aspect includes a plurality of blade portions formed along an outer periphery and a plurality of groove portions formed between the blade portions adjacent to each other in the circumferential direction and concave toward the central axis. Here, the angle formed by the ridge line at the end of the groove in a direction parallel to the central axis is greater than the angle formed by the ridge line at the deepest part of the groove, and the angle formed by the ridge line at the end is 155° is made larger

본 형태에 관한 스크라이빙 휠에 의하면 스크라이빙 휠이 기판 표면을 전동(구름 이동)할 때, 칼날부 부근 부분이 기판에 파고들어 기판 표면에 타흔이 형성된다. 이 때, 홈부가 상기에 기술한 형상을 가지기 때문에, 저하중인 경우에 형성되는 타흔의 간격이 좁아지게 되어 타흔 위치에 형성된 수직 크랙이 쉽게 연결된다. 또한, 홈의 단부, 즉 칼날부와 홈부의 경계에서의 각도변화가 완만하여 기판의 손상이 잘 생기지 않는다. 이 때문에 분단 후 기판의 단면강도를 향상시킬 수 있다.According to the scribing wheel according to this aspect, when the scribing wheel rolls (rolls) the surface of the substrate, a portion near the blade part digs into the substrate, and a dent is formed on the surface of the substrate. At this time, since the groove portion has the above-described shape, the interval between the dents formed in the case of lowering becomes narrow, so that the vertical cracks formed at the positions of the dents are easily connected. In addition, since the angle change at the edge of the groove, that is, at the boundary between the blade and the groove, is gentle, damage to the substrate is unlikely. For this reason, it is possible to improve the cross-sectional strength of the substrate after division.

본 형태에 관한 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 홈부는 상기 최심부에 대해 상기 원주방향의 양측 부분이 상기 중심축에 평행한 방향에서 보아, 곡선 형상이 되도록 형성될 수 있다. 이렇게 하면, 스크라이빙 휠의 전동에 따라 홈부가 매끄럽게 기판에 파고 든다. 따라서 기판에 원활하게 수직 크랙을 형성할 수 있다.In the scribing wheel according to this aspect, the groove portion may be formed to have a curved shape when viewed from a direction parallel to the central axis in the circumferential direction with respect to the deepest portion. In this way, the groove part smoothly digs into the board according to the rolling of the scribing wheel. Accordingly, vertical cracks can be smoothly formed on the substrate.

이상과 같이, 본 발명에 의하면 간소한 구성으로 분단 후 기판의 단면강도를 향상시키는 것이 가능한 스크라이빙 휠을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribing wheel capable of improving the cross-sectional strength of the substrate after division with a simple configuration.

본 발명의 효과 내지 의의는 이하에 나타내는 실시형태의 설명에 의해 더 확실해질 것이다. 단, 이하에 나타내는 실시형태는 어디까지나 본 발명을 실시할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은 이하의 실시형태에 기재된 것에 어떠한 제한이 있는 것은 아니다.Effects and meanings of the present invention will become clearer by the description of the embodiments shown below. However, the embodiment shown below is only one illustration at the time of implementing this invention to the last, and this invention does not have any restriction|limiting to what was described in the following embodiment.

도 1(a), (b)는 각각 실시형태에 관한 스크라이빙 휠을 모식적으로 나타내는 측면도 및 정면도이고, 도 1(c)는 실시형태에 관한 스크라이빙 휠의 외주 부근의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 2는 실시형태에 관한 스크라이빙 휠의 홈부를 중심축에 평행한 방향에서 본 때의 형상을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 실험예 1~6의 스크라이빙 휠을 사용한 스크라이브 시험의 하중을 나타내는 도면이다.
도 4는 실험예 1~6의 스크라이빙 휠을 사용한 스크라이브 시험의 분단 후 기판의 단면강도를 나타내는 도면이다.1 (a) and (b) are a side view and a front view schematically showing the scribing wheel according to the embodiment, respectively, and Fig. 1 (c) is an enlarged part of the vicinity of the outer periphery of the scribing wheel according to the embodiment; It is a drawing showing
Fig. 2 is a view for explaining the shape of the groove portion of the scribing wheel according to the embodiment when viewed from a direction parallel to the central axis.
3 is a view showing the load of the scribing test using the scribing wheel of Experimental Examples 1-6.
4 is a view showing the cross-sectional strength of the substrate after division of the scribing test using the scribing wheel of Experimental Examples 1 to 6;

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는 편의상 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. Z축은 스크라이빙 휠의 중심축에 평행하다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings. In addition, the X-axis, Y-axis, and Z-axis orthogonal to each other are appended to each drawing for convenience. The Z axis is parallel to the central axis of the scribing wheel.

도 1(a), (b)는 각각 스크라이빙 휠(100)의 구성을 모식적으로 나타낸 측면도 및 정면도이다. 도 1(c)는 스크라이빙 휠(100)의 외주 부근의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.1 (a), (b) is a side view and a front view schematically showing the configuration of the scribing wheel 100, respectively. FIG. 1( c ) is an enlarged view showing a part of the vicinity of the outer periphery of the scribing wheel 100 .

스크라이빙 휠(100)은 외주부 양측의 에지를 비스듬하게 잘라낸 원판 형상을 갖는다. 스크라이빙 휠(100)의 외주부에는 측면에서 본 때에 서로 다른 방향으로 경사진 2개의 경사면(100a)이 형성되어 있다. 2개의 경사면(100a)이 교차함으로써 능선을 포함하는 복수의 칼날부(101)가 형성되고, 또한, 원주방향에 서로 인접하는 칼날부(101) 사이에 중심축(L0) 측으로 오목한 홈부(102)가 형성되어 있다. 원주방향에서의 각 칼날부(101)의 길이는 서로 동일하다. 또, 원주방향에서의 각 홈부(102)의 길이도 서로 동일하다. 따라서 원주방향에서의 칼날부(101)의 피치는 일정하며, 또, 원주방향에서의 홈부(102)의 피치도 일정하다.The scribing wheel 100 has a disk shape in which the edges of both sides of the outer periphery are cut obliquely. Two inclined surfaces 100a inclined in different directions when viewed from the side are formed on the outer periphery of the scribing wheel 100 . A plurality of blade portions 101 including a ridge line are formed by intersecting two inclined surfaces 100a, and a groove portion 102 concave toward the central axis L0 between the blade portions 101 adjacent to each other in the circumferential direction. is formed. The length of each blade portion 101 in the circumferential direction is equal to each other. Moreover, the length of each groove part 102 in the circumferential direction is also mutually equal. Accordingly, the pitch of the blade portion 101 in the circumferential direction is constant, and the pitch of the groove portion 102 in the circumferential direction is also constant.

스크라이빙 휠(100)은 초경합금, 소결 다이아몬드, 단결정 다이아몬드 또는 다결정 다이아몬드 등에 의해 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(100)의 중앙에는 회전축이 되는 샤프트가 삽입되는 원형의 구멍(100b)이 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(100)의 지름은 1mm~5mm 정도이고, 두께는 0.4~1mm 정도이다. 또, 칼날부(101)의 각도, 즉 2개의 경사면(100a)이 이루는 각은 100~160°정도이며, 구멍(100b)의 지름은 0.4~1.5mm 정도이다.The scribing wheel 100 is formed of cemented carbide, sintered diamond, single crystal diamond, or polycrystalline diamond. In the center of the scribing wheel 100, a circular hole 100b into which a shaft serving as a rotating shaft is inserted is formed. The scribing wheel 100 has a diameter of about 1 mm to 5 mm, and a thickness of about 0.4 to 1 mm. In addition, the angle of the blade portion 101, that is, the angle formed by the two inclined surfaces 100a is about 100 to 160°, and the diameter of the hole 100b is about 0.4 to 1.5 mm.

홈부(102)의 피치(p1, 1개의 홈부(102) 원주방향의 길이(L1)와 1개의 칼날부(101) 원주방향의 길이(L2)의 합)는 예를 들어 10~100㎛ 정도이다. 홈의 깊이(d1, 칼날부(101)의 능선과 홈(102)의 최심부와의 스크라이빙 휠(100)의 지름방향(徑方向)의 거리의 차)는 예를 들어 1~10㎛ 정도이다. 스크라이빙 휠(100)의 외주의 칼날부(101)의 능선보다 오목한 영역의 길이인 홈부(102)의 원주방향의 길이(L1)는 예를 들어 3~40㎛ 정도이다. 또, 홈부(102)의 내부에는 칼날부(101)와 같은 능선이 형성되어 있다.The pitch of the groove portion 102 (p1, the sum of the length L1 in the circumferential direction of one groove portion 102 and the length L2 in the circumferential direction of one blade portion 101) is, for example, about 10 to 100 μm. . The depth of the groove (d1, the difference between the distance between the ridge line of the blade portion 101 and the deepest portion of the groove 102 in the radial direction of the scribing wheel 100) is, for example, 1 to 10 µm. it is about The circumferential length L1 of the groove portion 102, which is the length of the region concave than the ridge line of the blade portion 101 of the outer periphery of the scribing wheel 100, is, for example, about 3 to 40 μm. Moreover, in the inside of the groove part 102, the same ridgeline as the blade part 101 is formed.

도 2는 스크라이빙 휠(100)의 홈부(102)를 중심축(L0)에 평행한 방향에서 본 때의 형상을 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the shape of the groove portion 102 of the scribing wheel 100 when viewed in a direction parallel to the central axis (L0).

도 2에 나타내는 것과 같이, 서로 이웃하는 칼날부(101) 사이에, 원주방향의 폭이 W인 홈부(102)가 형성되어 있다. 홈부(102)는 중심축(L0)에 평행한 방향(Z축 방향)에서 보아, 최심부(102a)에 대해 원주방향의 양측 부분이 중심축(L0)에서 벗어나는 방향에 볼록한 형상으로 되어 있다. 즉, 칼날부(101)와 홈부(102)의 경계위치(P3, P4)에서의 능선이 교차하는 각도인 단부 홈 각도는 최심부(102a)의 홈부(102)의 능선이 이루는 각도인 저부 홈 각도와는 다르며, 단부 홈 각도가 저부 홈 각도보다 크게 되어 있다. 여기서는 최심부(102a)에 대해 원주방향 양측에서 홈부(102)의 능선이 칼날부(101)의 능선과 이루는 각도가 위치 P1, P2에서 변화하도록 되어 있다. 또한, 도 2에서는 설명을 위해 칼날부(101) 및 홈부(102)를 직선으로 구성되는 형상으로 했으나 실제로는 곡선을 포함하는 형상이다.As shown in FIG. 2, the groove part 102 whose width|variety in the circumferential direction is W between the edge part 101 adjacent to each other is formed. The groove portion 102 has a convex shape in a direction in which both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102a deviate from the central axis L0 when viewed from a direction parallel to the central axis L0 (Z-axis direction). That is, the end groove angle, which is the angle at which the ridge lines intersect at the boundary positions P3 and P4 of the blade portion 101 and the groove portion 102, is an angle formed by the ridge line of the groove portion 102 of the deepest portion 102a. Different from the angle, the end groove angle is larger than the bottom groove angle. Here, the angle formed by the ridge line of the groove portion 102 and the ridge line of the blade portion 101 on both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion 102a changes at positions P1 and P2. In addition, in FIG. 2, although the blade part 101 and the groove part 102 were made into a shape comprised by a straight line for description, it is a shape including a curve actually.

홈부(102)와 칼날부(101)의 경계위치(P3, P4)에서 홈(102)의 단부에서의 접선(Ln1, Ln2)을 설정하고, 접선(Ln1, Ln2)이 이루는 각도를 단부 홈 각도(θ1)로 한다. 또, 최심부(102a)의 양측 부분에 접선(Ln3, Ln4)을 설정하고, 접선(Ln3, Ln4)이 이루는 각도를 저부 홈 각도(θ2)로 한다. 본 실시형태에서는 θ1은 θ2보다 크게 되어 있다. 또, θ1은 155°이상이고, 바람직하게는 160°이상, 더 바람직하게는 165°이상으로 되어 있다. 이로 인해 최심부(102a)는 접선(Ln1, Ln2)의 교점보다 스크라이빙 휠의 중심축(LO) 측에 위치하고 있다.At the boundary positions (P3, P4) of the groove portion 102 and the blade portion 101, the tangent lines Ln1 and Ln2 at the end of the groove 102 are set, and the angle formed by the tangent lines Ln1 and Ln2 is the end groove angle. Let it be (θ1). Further, tangents Ln3 and Ln4 are set at both sides of the deepest portion 102a, and the angle formed by the tangents Ln3 and Ln4 is defined as the bottom groove angle θ2. In the present embodiment, θ1 is larger than θ2. Moreover, ?1 is 155 degrees or more, Preferably it is 160 degrees or more, More preferably, it is 165 degrees or more. For this reason, the deepest part 102a is located on the central axis LO side of the scribing wheel rather than the intersection of the tangent lines Ln1 and Ln2.

이와 같이, 스크라이빙 휠(100)에 있어서 칼날부(101)와 홈부(102)의 경계위치(P3, P4)에서의 홈부의 접선(Ln1, Ln2)이 이루는 각도인 단부 홈 각도(θ1)가 155°이상으로 되어 있으면, 특히 스크라이브 하중이 작은 경우에서 기판에 파고 드는 부분의 체적이 커지고, 또한 기판에 파고 드는 부분의 간격이 좁아진다. 이로 인해 보다 낮은 하중에서 수직 크랙이 쉽게 생긴다. 또, 칼날부(101)와 홈부(102)의 경계위치(P3, P4)에서의 칼날부(101)와 홈부(102)에서의 각도(θ1)가 둔각이 되므로 기판에 주는 충격을 더 작게 할 수 있어, 스크라이브 하중이 작은 것과 더불어 분단 후의 기판의 단면강도를 향상시킬 수 있다.In this way, in the scribing wheel 100, the edge groove angle (θ1) that is the angle formed by the tangents (Ln1, Ln2) of the groove portion at the boundary positions (P3, P4) of the blade portion 101 and the groove portion 102. When is 155° or more, the volume of the portion penetrating into the substrate becomes large, and the interval between the portions penetrating into the substrate becomes narrow, particularly when the scribe load is small. This makes it easier to crack vertical at lower loads. In addition, since the angle θ1 between the blade portion 101 and the groove portion 102 at the boundary positions (P3, P4) of the blade portion 101 and the groove portion 102 becomes an obtuse angle, the impact on the substrate can be further reduced. Therefore, the scribe load is small and the cross-sectional strength of the substrate after division can be improved.

또, 홈의 저부에서의 저부 홈 각도(θ2)가 단부 홈 각도(θ1)보다 작게 되어 있으므로 기판의 종류 및 두께에 따라 개별적으로 홈의 깊이(d1) 및 홈 폭을 변화시킬 수 있다.In addition, since the bottom groove angle θ2 at the bottom of the groove is smaller than the end groove angle θ1, the depth d1 of the groove and the groove width can be individually changed according to the type and thickness of the substrate.

<실험예><Experimental example>

발명자들은 단부 홈 각도(θ1)를 6단계로 변화시킨 실험예 1~6에 따른 스크라이빙 휠(100)을 사용하여 스크라이브 평가를 실시했다. 취성재료 기판으로 두께 0.4mm의 유리기판을 사용했다. 스크라이브 속도는 100mm/초로 했다. 중심축(L0)의 방향에서 본 때의 홈부(102)의 형상 이외의 구성은 실험예 1~6의 스크라이빙 휠로 동일하게 하고, 바깥지름 2.0mm, 두께 0.65mm, 2개의 경사면(100a)(100a) 사이의 칼끝 각도 115°로 했다.The inventors performed scribing evaluation using the scribing wheel 100 according to Experimental Examples 1 to 6 in which the end groove angle θ1 was changed in 6 steps. A glass substrate with a thickness of 0.4 mm was used as the brittle material substrate. The scribing speed was 100 mm/sec. Configurations other than the shape of the groove portion 102 when viewed from the direction of the central axis L0 were the same as the scribing wheels of Experimental Examples 1 to 6, and the outer diameter was 2.0 mm, the thickness was 0.65 mm, and the two inclined surfaces 100a. (100a) It was set as the cutting edge angle of 115 degrees between.

도 3은 실험예 1~6의 스크라이빙 휠에 관한 표이다. 도 3에 나타내는 것과 같이, 스크라이빙 휠(100)의 단부 홈 각도(θ1)는 실험예 1에서는 165.2°, 실험 예 2에서는 162.7°, 실험예 3에서는 157.8°, 실험예 4에서는 154.0°, 실험예 5에서는 153.4°, 실험예 6에서는 150.0°로 했다. 이들 스크라이빙 휠을 사용하여스크라이브 라인을 형성할 때마다 하중을 변화시켜서 기판에 리브 마크를 형성할 수 있고, 또한 스크라이브 품질이 양호한 하중의 범위를 확인했다.3 is a table related to the scribing wheel of Experimental Examples 1 to 6; 3, the end groove angle θ1 of the scribing wheel 100 is 165.2° in Experimental Example 1, 162.7° in Experimental Example 2, 157.8° in Experimental Example 3, 154.0° in Experimental Example 4, In Experimental Example 5, it was 153.4° and in Experimental Example 6, 150.0°. Using these scribing wheels, rib marks can be formed on the substrate by changing the load each time a scribe line is formed, and a range of loads with good scribing quality was confirmed.

도 3에 나타내는 것과 같이, 실험예 1~6에서 리브 마크가 형성되는 최저 하중은 5.0~6.5Ｎ이고, 단부 홈 각도(θ1)가 클수록 최저 하중이 작은 경향이 있었다. 양호한 품질의 스크라이브 라인을 얻을 수 있는 최고의 하중은 14.5~15.0Ｎ이며, 단부 홈 각도(θ1)에 의한 변화는 최저 하중과 비교하여 작았다.As shown in FIG. 3 , in Experimental Examples 1 to 6, the minimum load at which the rib mark was formed was 5.0 to 6.5N, and as the end groove angle θ1 was larger, the minimum load tended to be small. The highest load to obtain a good quality scribe line was 14.5 to 15.0N, and the change by the end groove angle (θ1) was small compared to the lowest load.

다음에, 각각의 스크라이빙 휠을 사용하여 도 3에 나타내는 최저 하중보다 0.5Ｎ 높게 한 하중에서 스크라이브 라인을 형성하고, 분단 후의 시험편(試驗片) 20개에 대해 4점 굽힘 시험에 의해 단면강도를 측정했다.Next, using each scribing wheel, a scribe line was formed at a load 0.5N higher than the lowest load shown in Fig. 3, and the section strength was performed by a four-point bending test on 20 specimens after division. was measured.

도 4는 실험예 1~6의 스크라이빙 휠을 이용한 스크라이브 시험에서의 분단 후 기판의 단면강도를 나타낸 도면이다. 도 4에서는 단면강도의 평균값을 수치로 나타내었으며, 최대값 및 최소값은 바(bar) 형태로 나타내고 있다. 아래쪽의 막대 그래프는 표준편차를 나타낸다. 도 4에 나타내는 것과 같이, 단면강도의 평균값은 실험예 1의 스크라이빙 휠에서는 121.0Ｎ, 실험예 2의 스크라이빙 휠에서는 110.0Ｎ이었다. 또 실험예 1 및 2의 스크라이빙 휠에서는 단면강도의 최소값도 100Ｎ을 초과하고, 표준편차도 비교적 낮은 경향을 볼 수 있었다. 한편, 실험예 1의 스크라이빙 휠에서는 단면강도의 평균값은 89.5Ｎ으로 충분히 높은 값이었다. 이에 반해, 실험예 4, 5, 6의 스크라이빙 휠에서의 단면강도는 각각 73.3Ｎ, 53.0Ｎ, 51.3Ｎ이었다.4 is a view showing the cross-sectional strength of the substrate after division in the scribing test using the scribing wheel of Experimental Examples 1 to 6; In FIG. 4 , the average value of the cross-sectional strength is expressed as a numerical value, and the maximum value and the minimum value are indicated in the form of a bar. The bar graph at the bottom shows the standard deviation. As shown in FIG. 4 , the average value of the cross-sectional strength was 121.0N for the scribing wheel of Experimental Example 1 and 110.0N for the scribing wheel of Experimental Example 2 . In addition, in the scribing wheels of Experimental Examples 1 and 2, the minimum value of the sectional strength exceeded 100N, and the standard deviation was also relatively low. On the other hand, in the scribing wheel of Experimental Example 1, the average value of the cross-sectional strength was 89.5N, which was a sufficiently high value. In contrast, the cross-sectional strengths of the scribing wheels of Experimental Examples 4, 5, and 6 were 73.3N, 53.0N, and 51.3N, respectively.

이와 같이, 단부 홈 각도(θ)가 155°이상인 스크라이빙 휠(100)을 사용함으로써 스크라이브 라인을 형성 가능한 최저 하중 부근의 하중에서 분단된 후의 기판의 단면강도를 종래보다 대폭 향상시킬 수 있음을 확인할 수 있었다. 따라서, 실시형태에 관한 스크라이빙 휠(100)을 사용함으로써 보다 저하중에서도 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있음을 확인할 수 있었다.In this way, by using the scribing wheel 100 having an end groove angle θ of 155° or more, the cross-sectional strength of the substrate after being divided at a load near the lowest load capable of forming a scribe line can be significantly improved than in the prior art. could check Therefore, it has been confirmed that a good scribing line can be formed even at a lower load by using the scribing wheel 100 according to the embodiment.

<변경예><Change example>

본 발명의 실시형태는 상기 이외에 여러 가지의 변형이 가능하다.The embodiment of the present invention can be variously modified in addition to the above.

예를 들면, 상기 실시형태에서는 도 2에 나타내는 것과 같이, 중심축(L0)에 평행한 방향에서 본 때에 직선 부분을 포함하는 형상이었으나, 이 부분의 형상은 이것에 한정되는 것은 아니며, 중심축(L0)에서 멀어지는 방향으로 볼록한 한도에서 적절하게 변경 가능하다. 예를 들어 최심부(102a)의 양측 부분의 형상이 최심부(102a)를 향해 곡률이 변화하는 곡선 형상이라도 좋다.For example, in the above embodiment, as shown in FIG. 2 , when viewed from a direction parallel to the central axis L0, the shape includes a straight line portion, but the shape of this portion is not limited to this, and the central axis ( L0) can be appropriately changed in the convex limit in the direction away from it. For example, the shape of both sides of the deepest part 102a may be a curved shape in which the curvature changes toward the deepest part 102a.

또, 원주방향에서의 칼날부(101)의 능선 길이는 스크라이빙 휠(100)의 외주에 형성되는 홈부(102)의 수에 따라 적절히 조정될 수 있다. 마찬가지로 원주방향의 홈부(102)의 폭(W)도 스크라이빙 휠(100)의 외주에 형성되는 홈부(102)의 수에 따라 적절히 조정될 수 있다.In addition, the length of the ridge line of the blade portion 101 in the circumferential direction may be appropriately adjusted according to the number of groove portions 102 formed on the outer periphery of the scribing wheel 100 . Similarly, the width W of the groove portion 102 in the circumferential direction may also be appropriately adjusted according to the number of groove portions 102 formed on the outer periphery of the scribing wheel 100 .

또한, 상기 실시형태에서는 도 1(b), (c)에 나타낸 것과 같이, 홈부(102)의 내부에 능선을 갖는 형상이었으나, 원주방향에서 본 때의 홈부(102)의 형상은 중심축에서 멀어지는 방향으로 볼록한 곡면 형상이거나, 지름방향에 수직인 평면을 포함하는 형상 등, 다른 형상이어도 좋다.Further, in the above embodiment, as shown in Figs. 1 (b) and (c), the shape of the groove portion 102 was a shape having a ridge line, but the shape of the groove portion 102 when viewed from the circumferential direction was farther from the central axis. Other shapes, such as a curved surface shape convex in a direction, or a shape including a plane perpendicular|vertical to a radial direction, may be sufficient.

이 외에 본 발명의 실시형태는 특허청구범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에서 적절히 여러 가지의 변경이 가능하다.In addition, various changes are possible in the embodiment of the present invention as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

100 … 스크라이빙 휠
101 … 칼날부
102 … 홈부
102a … 최심부100 … scribing wheel
101 … blade part
102 … home
102a . deepest part

Claims

A scribing wheel for forming scribe lines on a substrate,
A plurality of blade portions including a ridge line formed along the outer periphery,
A plurality of grooves formed between the blade portions adjacent to each other in the circumferential direction and concave toward the central axis,
A ridge line is formed inside the groove portion,
The scribing wheel, characterized in that when viewed in a direction parallel to the central axis, the angle formed by the ridge line at the end is greater than the angle formed by the ridge line at the deepest portion, and the angle formed by the ridge line at the end is greater than 155°.

According to claim 1,
The scribing wheel, characterized in that the groove portion has a curved shape when viewed from a direction parallel to the central axis at both sides in the circumferential direction with respect to the deepest portion.