KR20210062784A - 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents

가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법 Download PDF

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Abstract

몰딩 대상물이 안착되는 챔버를 형성하는 상부 금형 및 하부 금형; 상기 상부 금형 또는 상기 하부 금형에 설치되어 상기 챔버로 가압력을 제공하는 클램프; 상기 챔버로 주입되는 충진재의 주입 압력을 센싱하는 압력 센서; 및 상기 압력 센서에서 센싱된 센싱값을 기반으로 상기 클램프의 가압력을 조정하는 컨트롤러를 포함하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치가 개시된다.

Description

가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법{TRANSFER MOLDING APPARATUS WITH VARIABLE CLAMP AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}
본 발명은 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 충진재의 주입 압력에 기반하여 클램프의 가압력을 조정할 수 있는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 트랜스퍼 몰딩은 몰딩 대상이 되는 반도체 칩 또는 모듈이 안착된 상하부 금형 사이의 공간에 몰딩 재료인 충진재를 주입하는 방식으로 이루어진다. 상부 금형 또는 하부 금형에는 트랜스퍼 몰딩 과정에서 충진재의 주입 압력을 견딜 수 있도록 몰딩 대상물이 위치한 공간으로 가압하는 힘을 제공하는 클램프가 마련된다.
트랜스퍼 몰딩 과정에서, 상하부 금형이 형성하는 공간 내로 충진재가 주입되면 몰딩 대상물이 안착된 공간의 내부 압력이 상승하여 상하부 금형을 상하로 밀어내려고 하는 힘이 발생하는데, 이 힘을 견디기 위해 상하부 금형 중 하나에 클램프가 마련된다.
종래의 트랜스퍼 몰딩 장치에서, 클램프가 제공하는 가압력은 사전에 미리 결정된 고정값을 가졌다. 따라서, 충진재 주입의 의한 주입 압력이 클램프가 가하는 힘보다 큰 경우에는 클램프가 주입 압력을 버티지 못하여 안정적인 몰딩이 어려우며, 클램프가 가하는 힘이 주입 압력보다 큰 경우에는 몰딩 대상물에 크랙이 발생하는 등의 문제가 발생하였다.
상기의 배경기술로서 설명된 사항들은 본 발명의 배경에 대한 이해 증진을 위한 것일 뿐, 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 이미 알려진 종래기술에 해당함을 인정하는 것으로 받아들여져서는 안 될 것이다.
KR 10-2019-0009558 A KR 10-1676006 B1
이에 본 발명은, 트랜스퍼 몰딩 과정에서 몰딩 대상이 안착된 공간으로 주입되는 몰딩재의 주입 압력에 기반하여 클램프가 몰딩 대상이 안착된 공간으로 제공하는 가압력을 가변 제어함으로써 주입 압력과 클램프가 제공하는 가압력의 균형을 통해 안정적인 트랜스퍼 몰딩을 가능하게 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법을 제공하는 것을 해결하고자 하는 기술적 과제로 한다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명은,
몰딩 대상물이 안착되는 챔버를 형성하는 상부 금형 및 하부 금형;
상기 상부 금형 또는 상기 하부 금형에 설치되어 상기 챔버로 가압력을 제공하는 클램프;
상기 챔버로 주입되는 충진재의 주입 압력을 센싱하는 압력 센서; 및
상기 압력 센서에서 센싱된 센싱값을 기반으로 상기 클램프의 가압력을 조정하는 컨트롤러;
를 포함하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 컨트롤러는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 작용하는 압력을 연산하고 상기 표면적에 작용하는 압력에 대응되도록 상기 클램프의 가압력을 조정할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 컨트롤러는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역에 존재하는 물질 또는 물체에 기반하여 상기 센싱값에 사전 설정된 압력 보정치를 적용하여 상기 클램프의 가압력을 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 컨트롤러는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 동일한 물질 또는 물체가 존재하는 제1 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제1 영역의 면적을 곱하여 상기 제1 영역에 대응되는 제1 가압력을 연산할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 컨트롤러는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 상이한 물질 또는 물체가 존재하는 제2 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제2 영역 및 상기 상이한 물질 또는 물체에 대해 사전 설정된 압력 보정치를 곱하여 상기 제2 영역에 대응되는 제2 가압력을 연산할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 컨트롤러는, 상기 제1 가압력과 상기 제2 가압력을 합산하여, 상기 클램프가 제공하는 가압력으로 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 클램프를 구동하는 복수의 클램프 구동계를 더 포함하며, 상기 압력 센서는 상기 복수의 클램프 구동계에 각각 대응되도록 복수개 설치되며, 상기 컨트롤러는 복수개의 압력 센서에서 검출된 센싱값을 합산한 값에서 각각의 하나의 압력 센서에서 검출된 센싱값이 차지하는 비율에 기반하여, 각 압력 센서에 대응되는 클램프 구동계에서 제공되는 가압력을 제어할 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 다른 수단으로서 본 발명은,
전술한 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 제어하는 방법에 있어서,
상기 압력 센서에서 상기 챔버로 주입되는 충진재의 주입 압력을 센싱하는 단계;
상기 압력 센서에서 센싱된 센싱값을 기반으로 상기 클램프의 가압력을 연산하는 단계; 및
상기 연산하는 단계에서 연산된 가압력으로 상기 클램프를 구동하는 단계;
를 포함하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 제어 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 연산하는 단계는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 작용하는 압력을 연산하고 상기 표면적에 작용하는 압력에 대응되도록 상기 클램프의 가압력을 조정할 수 잇다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 연산하는 단계는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역에 존재하는 물질 또는 물체에 기반하여 상기 센싱값에 사전 설정된 압력 보정치를 적용하여 상기 클램프의 가압력을 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 연산하는 단계는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 동일한 물질 또는 물체가 존재하는 제1 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제1 영역의 면적을 곱하여 상기 제1 영역에 대응되는 제1 가압력을 연산할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 연산하는 단계는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 상이한 물질 또는 물체가 존재하는 제2 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제2 영역 및 상기 상이한 물질 또는 물체에 대해 사전 설정된 압력 보정치를 곱하여 상기 제2 영역에 대응되는 제2 가압력을 연산할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 연산하는 단계는, 상기 제1 가압력과 상기 제2 가압력을 합산하여, 상기 클램프가 제공하는 가압력으로 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 상기 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치는 상기 클램프를 구동하는 복수의 클램프 구동계를 더 포함하며, 상기 압력 센서는 상기 복수의 클램프 구동계에 각각 대응되도록 복수개 설치되며, 상기 연산하는 단계는, 복수개의 압력 센서에서 검출된 센싱값을 합산한 값에서 각각의 하나의 압력 센서에서 검출된 센싱값이 차지하는 비율에 기반하여, 각 압력 센서에 대응되는 클램프 구동계에서 제공되는 가압력을 연산할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태는, 트랜스퍼 몰딩이 종료 된 후, 상기 압력 센서를 통해 검출된 주입 압력의 센싱값의 시간 별 변화값과 그에 응답하여 실제 적용된 클램프 힘의 시간 별 변화값을 비교하여 단위 시간 별로 응답 시간 차이를 도출하는 단계; 및 상기 응답 시간 차이를 보상하기 위해 트랜스퍼 몰딩 공정에서 적용되도록 사전 설정된 상기 충진재의 시간별 주입 압력의 변화 패턴을 변경하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법에 따르면, 클램프의 접촉면에 작용하는 주입 압력을 정밀하게 연산하고 연상된 주입 압력에 대응되는 가압력을 제공하도록 클램프를 제어하여 클램프가 제공하는 가압력과 몰드 주입에 의한 주입 압력이 서로 균형을 이루게 제어함으로써 몰드 대상물에 크랙이 발생하는 것을 방지하고 안정적인 몰드가 이루어지게 할 수 있다.
본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 도시한 구성도이다.
도 2는 트랜스퍼 몰딩 시 작용하는 주입 압력과 클램프의 가압력의 관계를 확대 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 도시한 구성도이다.
이하, 첨부의 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법을 더욱 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 도시한 구성도이다.
도 1을 참조하면 본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치는, 몰딩 대상물(100)이 안착되는 챔버를 형성하는 상부 금형(211) 및 하부 금형(221)과, 상부 금형(211) 또는 하부 금형(221)에 설치되어 챔버로 가압력을 제공하는 클램프(214)와, 챔버로 주입되는 충진재의 주입 압력을 센싱하는 압력 센서(212) 및 압력 센서(212)에서 센싱된 센싱값을 기반으로 클램프(214)의 가압력을 조정하는 컨트롤러(10)를 포함하여 구성될 수 있다.
상부 금형(211) 및 하부 금형(221)은 상호 맞닿는 경우 몰딩 대상물(100)이 안착되는 공간인 챔버를 형성할 수 있다. 이 챔버로 충진재(131)가 주입됨에 의해 몰딩 대상물(100)을 둘러싸는 몰딩부가 형성될 수 있다.
상부 금형(211) 및 하부 금형(221)은 상하로 이동 가능하게 구비된 상부 프레스(210) 및 하부 프레스(220)에 고정될 수 있다. 상부 프레스(210) 및 하부 프레스(220)은 상하로 이동 가능할 뿐만 아니라 그에 설치된 가열 수단(미도시)을 이용하여 상부 금형(211) 및 하부 금형(221)에 열을 가함으로써 챔버로 주입된 충진제를 경화시킬 수 있다.
충진재(131)는 상부 금형(211) 또는 하부 금형(221)에 마련된 이동 경로를 통해 챔버 내로 주입될 수 있으며, 이동 경로로 충진재(131)를 밀어내는 플런저(222)의 구동을 제어함으로써 충진재(131)의 주입 속도 및 주입량, 주입 압력이 결정될 수 있다. 이 플런저(222)의 구동은 사전에 미리 설정된 주입 압력 패턴을 따르도록 제어될 수 있다.
클램프(214)는 챔버가 형성된 방향, 즉 몰딩 대상물(100)이 위치한 방향으로 가압력을 제공할 수 있다. 클램프(214)는 상부 금형(211) 또는 하부 금형(221) 중 하나에 설치될 수 있으며, 상부 금형(211) 또는 하부 금형(221) 중 하나에 형성된 관통공에 설치될 수 있다.
클램프(214)의 가압력은, 컨트롤러(10)가 클램프 구동계(215)를 제어함으로써 조정될 수 있다. 클램프 구동계(215)는 클램프(214)를 챔버 방향으로 밀어주는 구동력을 제공하는 요소로서 공압 피스톤, 모터 등과 같이 당 기술 분야에 공지된 다양한 수단을 통해 구현될 수 있다.
압력 센서(212)는 상부 금형(211) 또는 하부 금형(221)의 표면에 설치되어 챔버로 주입되는 충진재(131)의 주입 압력을 센싱할 수 있다. 압력 센서(212)에 의해 센싱된 주입 압력의 센싱값은 컨트롤러(10)로 제공되고, 컨트롤러(10)는 제공받은 센싱값을 기반으로 클램프(214)가 제공하는 가압력을 조정할 수 있다.
더욱 구체적으로, 컨트롤러(10)는 클램프(214)가 충진재 및 충진 대상물과 접촉한 표면적에 작용하는 압력을 연산한 후 연산된 표면적 작용 압력에 대응되는 가압력이 클램프(214)에 이해 가해지도록 클램프 구동계(215)를 제어할 수 있다.
도 2는 트랜스퍼 몰딩 시 작용하는 주입 압력과 클램프의 가압력의 관계를 확대 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 클램프(214)의 하면에는 챔버 내로 주입된 몰드 충진재(130)가 접촉하는 영역(a)과 몰드 대상물(110) 접촉하는 영역(b)가 존재한다. 여기서, 클램프(214)의 하면은 챔버 내로 노출된 클램프의 일면으로 접촉면이라 명명한다. 도 2에서 압력 센서(212)는 챔버 내로 유입된 충진재(130)가 접촉하는 영역에 설치되므로, 압력 센서(212)에서 검출되는 압력은 몰드 충진재(130)에 의해 작용하는 압력이다. 한편, 클램프(214)의 접촉면에 대향하는 영역은 전술한 것과 같이 충진재(130)가 접촉하는 영역(a)과 몰드 대상물(110)이 접촉하는 영역(b)로 구분되고 각 영역 마다 작용하는 압력이 다르므로, 단순히 압력 센서(212)에서 센싱된 압력 센싱값을 기반으로 클램프(214)의 접촉면에 작용하는 압력을 연산하는 것이 불가능하다.
본 발명의 일 실시형태에서, 컨트롤러(10)는, 클램프(214)의 접촉면에 대면하는 물질 또는 물체를 고려하여, 압력 센서(212)에서 센싱된 압력 센싱값에 챔버 내에서 클램프(214)의 접촉면에 대향하는 물질 또는 물체가 차지하는 면적을 적용하여 클램프(214)의 가압력을 결정할 수 있다.
도 2에 도시된 예에서, 압력 센서(212)의 하부에는 충진재(130)만 존재하며, 클램프(214)의 접촉면에 대향하는 영역 중 충진재만 존재하는 영역의 면적이 a, 몰딩 대상물(111, 112)와 충진재가 함께 존재하는 영역의 면적이 b라고 하면, 다음 식 1과 같이 충진재(130)의 가압력이 결정될 수 있다.
[식 1]
면적 a에 작용하는 압력: A = P*a (P는 압력 센서(212)의 센싱값)
면적 b에 작용하는 압력: B = P*b*c (c는 몰딩 대상물(111, 112)을 고려한 압력 보정치)
클램프의 가압력: C = A + B
상기 식 1에서 몰딩 대상물(111, 112)를 고려한 압력 보정치는 반도체 모듈의 상하부 기판(112)과 그 사이의 반도체 칩(111)의 측면에 주입된 몰딩 충진재(130)에 의한 압력을 연산하기 위해 실험적으로 사전에 결정되는 값일 수 있다.
도 2의 예에서는 클램프(214)가 몰드 대상물에 직접 접촉하는 형태이므로, 반도체 칩(111)에 대항하는 영역에서는 주입 압력이 발생하지 않으므로 클램프의 가압력을 연산하는데 무시될 수 있다.
컨트롤러(10)는 전술한 것과 같이 연산된 가압력(D)을 제공하도록 클램프 구동계(251)를 제어하여 클램프(214)가 제공하는 가압력과 몰드 주입에 의한 주입 압력이 서로 균형을 이루게 제어함으로써 몰드 대상물에 크랙이 발생하는 것을 방지하고 안정적인 몰드가 이루어지게 할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법을 도시한 흐름도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법은, 전술한 것과 같은 구성을 갖는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 제어하는 방법으로서, 압력 센서(212)에서 챔버로 주입되는 충진재(130, 131)의 주입 압력을 센싱하는 단계(S11)와, 압력 센서(212)에서 센싱된 센싱값을 기반으로 클램프(214)의 가압력을 연산하는 단계(S12) 및 연산하는 단계(S13)에서 연산된 가압력으로 클램프(214)를 구동하는 단계(S13)를 포함할 수 있다.
단계(S11)은 트랜스퍼 몰딩 공정이 개시되어 플런저(222)의 미는 힘에 의해 챔버로 충진재(131)가 제공될 때 챔버 내에 충진되는 충진재(130)의 주입 압력을 센싱하는 단계이다.
이어, 단계(S12)는 클램프(214)의 가압력을 연산하는 단계로서, 상기 도 2를 통해 설명한 것과 같이, 컨트롤러(10)가 클램프(214)의 접촉면의 면적에 따라 작용하는 압력을 고려하여 가압력을 연산하는 단계일 수 있다.
이어, 단계(S13)은 컨트롤러(10)가 클램프 구동계(215)를 제어하여 클램프(214)에 연산된 가압력이 발생하도록 하는 단계이다.
특히, 본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 제어 방법은, 트랜스퍼 몰딩이 종료 된 후(S14) 압력 센서(212)를 통해 검출된 주입 압력의 센싱값의 시간 별 변화값과 그에 응답하여 실제 적용된 클램프 힘의 시간 별 변화값을 비교하여 단위 시간 별로 응답 시간 차이를 도출하는 단계(S15)와, 응답 시간 차이를 보상하기 위해 추후 트랜스퍼 몰딩 공정에서 적용되는 충진재 주입 압력의 변화 패턴을 변경하는 단계(S16)을 포함할 수 있다.
트랜스퍼 몰딩 공정에서, 충진재 주입 압력은 사전에 일정한 시간당 패턴으로 결정될 수 있다. 이 사전에 결정된 패턴으로 충진재를 주입하게 되는데, 전술한 것과 같은 클램프 가압력 제어를 수행하는 경우, 실제 주입 압력이 가해지는 특정 시점과 해당 주입 압력에 대응하도록 제어한 클램프 가압력이 적용되는 시점에서 차이가 날 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 제어 방법은 이러한 응답 시간의 차이를 보상할 수 있도록, 이전 트랜스퍼 몰딩 제어에서 적용된 주입 압력의 시간당 패턴을 보상하여 다음 트랜스퍼 몰딩 제어에서 응답 시간 지연이 감소하게 할 수 있다.
이러한 응답 시간 보상은 응답 시간 지연이 나타난 구간의 주입 압력에 발생하는 시점을 앞당기거나 늦추는 방식으로 이루어질 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 도시한 구성도이다.
도 4에 도시된 실시형태는, 도 1에 도시된 실시형태와 비교할 때, 압력 센서(212a, 212b)를 복수개 구비하고, 각 압력 센서(212a, 212b)에 대응되는 복수의 클램프 구동계(215a, 215b)를 구비한 차이점을 갖는다.
도 4에 도시된 실시형태에서 클램프(214)가 제공하는 가압력은 각각의 클램프 구동계(215a, 215b)에서 클램프(214)로 제공하는 가압력을 합산한 값이 될 수 있다. 특히, 도 4에 도시된 실시형태에서, 컨트롤러(10)는 도 2를 통해 설명된 것과 같이 각각의 압력 센서(212a, 212b)를 통해 센싱된 주입 압력의 센싱값을 이용하여 클램프(214)의 가압력을 연산한 후, 복수개의 압력 센서(212a, 212b)에서 검출된 센싱값을 합산한 값에서 각각의 하나의 압력 센서에서 검출된 센싱값이 차지하는 비율을 연산된 가압력에 곱하여 해당 압력 센서에 대응되는 클램프 구동계에서 제공하는 가압력을 결정할 수 있다.
도 4에 도시된 실시형태는, 충진재의 주입 압력이 챔버의 위치마다 상이하게 발생할 수 있음을 고려한 것으로, 압력 센서(212a, 212b)가 설치된 위치별로 해당 압력 센서(212a, 212b)가 검출한 센싱값의 크기 비율에 따라 해당 센서의 위치에 근접한 곳에 적절한 가압력을 제공할 수 있게 됨으로써, 더욱 정밀하고 안정정인 트랜스퍼 몰딩을 가능하게 할 수 있다.
이상에서 본 발명의 특정한 실시형태에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서, 본 발명이 다양하게 개량 및 변화될 수 있다는 것은 당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명할 것이다.
10: 컨트롤러 100: 몰딩 대상물
210: 상부 프레스 212: 압력센서
214: 클램프 215: 클램프 구동계
216: 상부 금형 220: 하부 프레스
222: 플런저 221: 하부 금형

Claims (15)

  1. 몰딩 대상물이 안착되는 챔버를 형성하는 상부 금형 및 하부 금형;
    상기 상부 금형 또는 상기 하부 금형에 설치되어 상기 챔버로 가압력을 제공하는 클램프;
    상기 챔버로 주입되는 충진재의 주입 압력을 센싱하는 압력 센서; 및
    상기 압력 센서에서 센싱된 센싱값을 기반으로 상기 클램프의 가압력을 조정하는 컨트롤러;
    를 포함하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 작용하는 압력을 연산하고 상기 표면적에 작용하는 압력에 대응되도록 상기 클램프의 가압력을 조정하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역에 존재하는 물질 또는 물체에 기반하여 상기 센싱값에 사전 설정된 압력 보정치를 적용하여 상기 클램프의 가압력을 결정하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 동일한 물질 또는 물체가 존재하는 제1 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제1 영역의 면적을 곱하여 상기 제1 영역에 대응되는 제1 가압력을 연산하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 상이한 물질 또는 물체가 존재하는 제2 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제2 영역 및 상기 상이한 물질 또는 물체에 대해 사전 설정된 압력 보정치를 곱하여 상기 제2 영역에 대응되는 제2 가압력을 연산하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 제1 가압력과 상기 제2 가압력을 합산하여, 상기 클램프가 제공하는 가압력으로 결정하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 클램프를 구동하는 복수의 클램프 구동계를 더 포함하며,
    상기 압력 센서는 상기 복수의 클램프 구동계에 각각 대응되도록 복수개 설치되며,
    상기 컨트롤러는 복수개의 압력 센서에서 검출된 센싱값을 합산한 값에서 각각의 하나의 압력 센서에서 검출된 센싱값이 차지하는 비율에 기반하여, 각 압력 센서에 대응되는 클램프 구동계에서 제공되는 가압력을 제어하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치.
  8. 청구항 1의 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치를 제어하는 방법에 있어서,
    상기 압력 센서에서 상기 챔버로 주입되는 충진재의 주입 압력을 센싱하는 단계;
    상기 압력 센서에서 센싱된 센싱값을 기반으로 상기 클램프의 가압력을 연산하는 단계; 및
    상기 연산하는 단계에서 연산된 가압력으로 상기 클램프를 구동하는 단계;
    를 포함하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 제어 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 연산하는 단계는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 작용하는 압력을 연산하고 상기 표면적에 작용하는 압력에 대응되도록 상기 클램프의 가압력을 조정하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 연산하는 단계는, 상기 챔버 내로 노출된 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역에 존재하는 물질 또는 물체에 기반하여 상기 센싱값에 사전 설정된 압력 보정치를 적용하여 상기 클램프의 가압력을 결정하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 연산하는 단계는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 동일한 물질 또는 물체가 존재하는 제1 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제1 영역의 면적을 곱하여 상기 제1 영역에 대응되는 제1 가압력을 연산하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 연산하는 단계는, 상기 클램프의 접촉면에 대향하는 영역 중 상기 압력 센서가 설치된 위치에 대향하는 영역과 상이한 물질 또는 물체가 존재하는 제2 영역에 대해서 상기 센싱값에 상기 제2 영역 및 상기 상이한 물질 또는 물체에 대해 사전 설정된 압력 보정치를 곱하여 상기 제2 영역에 대응되는 제2 가압력을 연산하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 연산하는 단계는, 상기 제1 가압력과 상기 제2 가압력을 합산하여, 상기 클램프가 제공하는 가압력으로 결정하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법.
  14. 청구항 8에 있어서,
    상기 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치는 상기 클램프를 구동하는 복수의 클램프 구동계를 더 포함하며, 상기 압력 센서는 상기 복수의 클램프 구동계에 각각 대응되도록 복수개 설치되며,
    상기 연산하는 단계는, 복수개의 압력 센서에서 검출된 센싱값을 합산한 값에서 각각의 하나의 압력 센서에서 검출된 센싱값이 차지하는 비율에 기반하여, 각 압력 센서에 대응되는 클램프 구동계에서 제공되는 가압력을 연산하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법.
  15. 청구항 8에 있어서,
    트랜스퍼 몰딩이 종료 된 후, 상기 압력 센서를 통해 검출된 주입 압력의 센싱값의 시간 별 변화값과 그에 응답하여 실제 적용된 클램프 힘의 시간 별 변화값을 비교하여 단위 시간 별로 응답 시간 차이를 도출하는 단계; 및
    상기 응답 시간 차이를 보상하기 위해 트랜스퍼 몰딩 공정에서 적용되도록 사전 설정된 상기 충진재의 시간별 주입 압력의 변화 패턴을 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치의 제어 방법.
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