JP6437588B2 - 圧電調整装置 - Google Patents

圧電調整装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6437588B2
JP6437588B2 JP2017086762A JP2017086762A JP6437588B2 JP 6437588 B2 JP6437588 B2 JP 6437588B2 JP 2017086762 A JP2017086762 A JP 2017086762A JP 2017086762 A JP2017086762 A JP 2017086762A JP 6437588 B2 JP6437588 B2 JP 6437588B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lever
piezoelectric
pressure element
abutment
stroke
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2017086762A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017205004A (ja
Inventor
ロイター マルティン
ロイター マルティン
Original Assignee
マルコ システマナリセ ウント エントヴィックルング ゲーエムベーハー
マルコ システマナリセ ウント エントヴィックルング ゲーエムベーハー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by マルコ システマナリセ ウント エントヴィックルング ゲーエムベーハー, マルコ システマナリセ ウント エントヴィックルング ゲーエムベーハー filed Critical マルコ システマナリセ ウント エントヴィックルング ゲーエムベーハー
Publication of JP2017205004A publication Critical patent/JP2017205004A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6437588B2 publication Critical patent/JP6437588B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/802Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/03Assembling devices that include piezoelectric or electrostrictive parts
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/005Piezoelectric benders
    • F16K31/006Piezoelectric benders having a free end
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/007Piezoelectric stacks
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025Electrical or magnetic means
    • F16K37/0041Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D21/00Measuring or testing not otherwise provided for
    • G01D21/02Measuring two or more variables by means not covered by a single other subclass
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04Constructional details
    • H02N2/043Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041Beam type
    • H10N30/2042Cantilevers, i.e. having one fixed end
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)
  • Preventing Unauthorised Actuation Of Valves (AREA)

Description

本発明は、圧力素子を有する圧電調整装置に関する。
本発明は、圧力素子を有する圧電調整装置に関し、圧力素子の移動がレバーを介してプランジャに伝達され、プランジャが、レバーの一方の側に配置された当接部に抗して設定可能である。このような調整装置は、例えば、DE102014101512A1から知られている。この既知の調整装置は、短期間に温度ドリフトのない弁用の非常に信頼できかつ高速の駆動装置として適している。使用されている圧力素子は、対称で反平行の配置の2つの圧力活性帯を有し、2つの圧力活性帯は、反対方向の電圧印加の際に共通レバーを介してプランジャに伝達される傾斜移動を生成する。プランジャは弁プランジャとして機能することができ、作動時に、レバーの一方の側に配置された当接部(弁座)に抗して設定される。
本発明の目的は、より長期の作動時にも圧力素子のドリフトが低減されるように、請求項1の前置きによる圧電調整装置を、さらに発展させることである。
この目的は、請求項1の特徴によって達成され、特に、レバーのための第2の当接部がレバーの他方の側に設けられるので達成される。圧電調整装置は、そのような第2の当接部によって対称に作動し、その結果、驚くべきことに、長期の動作が大幅に向上する。すなわち、調整装置の非対称作動において圧力素子の2つの圧力活性帯がそれらの動作を別々に変化させることが見出された。特に作動範囲のドリフトが、高温において、当接部(弁座)によって生じる一方の側の方への動力の増加において生じ、いくらかのサイクル後に再調整が必要である。従って作動時間に亘って圧力素子のストロークは一定でなく、それによって、調整装置によって作動される弁の通過量も変化する。
しかしながら、本発明による解決によって、レバーは両側において当接部に向かって移動し、第1の当接部は、弁の弁座によって形成される。圧力素子の作動範囲は次いで、レバーの自由端が両側において同じ仕方で当接部に向かって移動するよう負荷ができるだけ対称になるように、制御できる。
本発明の有利な実施例は、明細書、図面、および従属請求項において開示される。
第1の有利な実施例によれば、第2の当接部は、摩耗を最小にするようにアンビルを有することができる。
さらなる有利な実施例によれば、第2の当接部は、レバーの自由端の最大ストロークが設定でき、固定できるように、調節可能かつ固定可能とすることができる。
さらなる有利な実施例によれば、中立位置から第1の当接部の到達までおよび第2の当接部の到達までのレバーのストロークは、同じ大きさとすることができる。これによって圧力素子の長期間のドリフトに積極的に影響する対称関係が提供される。
さらなる有利な実施例によれば、レバーのストロークを検出する距離測定装置、特に、温度補償距離測定装置を設けることができる。これによって温度、使用時間およびサイクル数と共に変化する圧力素子のストロークは、補正できる。さらに、圧力素子に印加される電圧を測定する電圧測定装置を設けると、それぞれの当接部の当接は、さらに電圧が増加または降下しても距離測定値ももはや変化しないので、電圧変化および距離変化の比較によって認識できる。これから、有効範囲、すなわち、それぞれの当接部内へ生じる押圧の程度を、引き出すことができ、電圧の適合または調節によって変化させることができる。これによって圧力素子のドリフトも決定でき、電圧の適当な適合によって自動的に補償できる。制御装置はさらに、圧力素子のドリフトを決定し、対応する電圧の適合によってそれを自動的に補償するように、構成することができる。圧力素子の経時変化に起因してもはや十分なストロークがない場合、これは、制御装置によって理解でき、駆動装置の交換の必要を表示できる。
さらなる有利な実施例によれば、距離測定値の温度依存性を補償するようにまたはそれを制御装置によって補正するように、調整装置内に温度センサを設けることができる。
さらなる有利な実施例によれば、2つの当接部に向かってレバーを押圧する力を決定する力測定装置を設けることができる。圧力素子の静電容量は、その負荷に依存するので、力測定値は、電流センサまたは電流測定値の助けを借りて可能となる。これによってそれぞれの当接部に向かう押圧を生じさせる力を決定できる。それは、電圧のストロークおよび電圧のオフセットの対応する選択により規定された力で第1の当接部に向かって移動することができ、それは、レバーの傾斜移動が逆転する場合、必ずしも同一でない力で第2の当接部内へと移動することができる。力の測定は、電圧の相関関係に関する冗長な情報を提供することもできる。
本発明は、有利な実施例および添付の図面を参照して純粋に実施例として以下に説明される。
圧電調整装置の断面図である。 図1の装置の簡略図である。 さまざまなストローク曲線の図である。
図1に示す圧電調整装置は、開示全体が参照により本願の内容の一部になるDE102014101512A1に記載の設計と概略類似の設計である。調整装置は、ハウジング10内に配置された圧力素子12を有し、圧力素子12は、一般に知られる仕方で、積層した仕方で配置され、それぞれに電極が設けられた複数の圧電材料の層から構成される。圧力素子12はさらに、図1の両矢印によって示されるような傾斜駆動移動のために構成される。より正確に言えば、圧力素子12は、いわゆる二重スタック原理に従って作動し、EP0947002B1に開示されるように、2つの圧電活性領域に加えて、圧電不活性領域を備える。
図示の実施例では、圧電調整装置は、投与するような仕方で入口14を通して供給される流体を供給できる計量弁の一部である。この目的のために、計量弁は、弁座18に設けられた出口開口部を閉じるニードル弁16を有する。
開口部バネ20の力に抗してニードル弁16を移動させるために、プランジャ22が設けられ、プランジャ22の下端部は、ニードル弁16に接触し、プランジャ22の上端部は、圧力素子12が傾斜振動させることができるレバー24の自由前端部に接続される。レバー24は、圧力素子12の対応する制御によって図1の両矢印によって示されるように傾斜し、それによって、プランジャ22が、従ってまたニードル弁16が、直線ストローク移動を実行する。ニードル弁16は、バネ20によってその開位置に保持され、バネの圧力に抗してプランジャ22によって閉位置に移動される。この点に関して図1、図2から理解できるように、レバーの対称軸Sに関してレバーの一方の側に配置された弁座18は、プランジャ22のための当接部として作用し、従ってまたレバー24の移動のための当接部として作用する。
均一に負荷が掛かる圧力素子12を達成するために本発明によって提供されるのは、レバーのストローク移動(従ってまた圧力素子12の傾斜移動)が、一方の側で当接部(弁座18)によって制限されることだけでなく、レバー24の自由端がレバーの枢動の際に当接部に当接するようにレバーのための第2の当接部が、レバー24の他方の側に設けられることである。図示の実施例では、第2の当接部は、ピン26によって形成され、ピン26は、弁ハウジング10にねじ込まれ、固定装置28の助けを借りて固定できる。ハウジング10内の第2の当接部26の位置は、このような仕方で、第2の当接部26上の発生位置が調節によって設定できるように、調節可能でありまた固定可能でもある。
摩耗を低減するために、レバー24にはその外側自由端においてアンビル28が設けられ、その下側にプランジャ22がねじ込まれ、その上側は、第2の当接部26上への衝突の際の衝突面として機能する。
図2は、上述した調整装置におけるストロークの関係を示す。図2に示す中立位置、すなわち、圧力素子12の電圧のない状態では、圧力素子12、従ってまたレバー24は、両側に向かって等しい大きさの自由ストロークx1、x2を有する。この点に関して、ストロークx1は、弁座18とニードル弁16の下端との間の間隔であり、ストロークx2は、アンビル28およびピン26それぞれの衝突面の間の間隔である。この点に関して、ストローク全体は、シール座18と第2の当接部26との間の間隔によって設定可能である。
圧力素子12の制御の向上のために、調整装置は、距離センサ32に接続された制御装置30を有し、距離センサ32は、レバー24の自由端の距離、従って駆動装置のストロークを検出する。制御装置30はさらに、圧力素子の制御電圧および供給される電流を測定し、それによって、力の測定が可能である。これによって、シール座内へのおよび第2の当接部26に向かう押圧を生じさせる力を決定できる。シール座位置も制御装置30によって決定できる。
最後に、制御装置30はまた、距離測定の温度依存性を補償するためにまたはそれを制御装置によって補正するために、温度センサ34を備える。
図3は、距離センサ30によって決定されたさまざまなストローク曲線を示し、これらのストローク曲線は、本発明による調整装置の制御が正確かつ長期間安定な計量を向上させることができる仕方を示す。
図3のa)は、圧力素子12に交流電圧を印加する際の電圧ストロークを示し、図3のb)は、ニードル弁が実行する対応するストロークを示す。理解できるように、ニードル弁16は、弁座18に衝突する際、特定の長さの時間、特定の力で、弁座に向かって押圧される。
図3のc)は、調整素子の非対称な作動の仕方に起因する、すなわち、第2の当接部26が設けられていない場合の長期の作動時間後のニードル弁16のストロークを示す。
第1の当接部26を設けること(図3のd))によって、ストロークのドリフトを大幅に低減する、調整装置の対称的な作動モードが達成される。
図3のe)は、圧力素子12の温度および経時変化に起因して生じるストローク変化を示す。しかしながら、制御の助けを借りて、電圧ストロークの変更(図3のf)参照)によって補償が達成でき、ストロークは再び、制御の補正によって対称的なたわみに補正できる(図3のg)参照)。

Claims (7)

  1. 圧力素子(12)を有する圧電調整装置であって、圧力素子(12)の移動がレバー(24)を介してプランジャ(22)に伝達され、プランジャ(22)が、レバー(24)の一方の側に配置された第1の当接部(18)に抗して設定可能であり、圧電調整装置がさらに、
    レバー(24)の他方の側に設けられたレバー(24)のための第2の当接部(26)を備え
    レバー(24)のストロークを検出する距離測定装置(30、32)が設けられ、
    圧力素子(12)に印加される電圧を測定する電圧測定装置(30)が設けられ、
    電圧測定値および距離測定値の相関関係から第1および/または第2の当接部(18、26)の位置を決定する制御装置(30)が設けられることを特徴とする、圧電調整装置。
  2. レバー(24)がアンビル(28)を有することを特徴とする請求項1に記載の圧電調整装置。
  3. 第2の当接部(26)が調節可能かつ固定可能であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電調整装置。
  4. レバー(24)の中立位置から第1の当接部の到達までおよび第2の当接部の到達までのストロークが等しい大きさであることを特徴とする請求項1〜3の少なくとも1つに記載の圧電調整装置。
  5. 距離測定装置(30、32)が温度補償距離測定装置であることを特徴とする請求項に記載の圧電調整装置。
  6. 第1および第2の当接部(18、26)に向かってレバー(24)を押圧する力を決定する力測定装置(30)が設けられることを特徴とする請求項1〜の少なくとも1つに記載の圧電調整装置。
  7. 第1および第2の当接部(18、26)に対してレバー(24)を当接させる力を決定する制御装置(30)が設けられることを特徴とする請求項1〜の少なくとも1つに記載の圧電調整装置。
JP2017086762A 2016-05-12 2017-04-26 圧電調整装置 Expired - Fee Related JP6437588B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016108811.0 2016-05-12
DE102016108811.0A DE102016108811A1 (de) 2016-05-12 2016-05-12 Piezoelektrische Stellvorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017205004A JP2017205004A (ja) 2017-11-16
JP6437588B2 true JP6437588B2 (ja) 2018-12-12

Family

ID=60163113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017086762A Expired - Fee Related JP6437588B2 (ja) 2016-05-12 2017-04-26 圧電調整装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10593859B2 (ja)
JP (1) JP6437588B2 (ja)
KR (1) KR101873823B1 (ja)
CN (1) CN107420607B (ja)
DE (1) DE102016108811A1 (ja)

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03234981A (ja) * 1990-02-13 1991-10-18 Koganei Ltd 積層形圧電素子を用いた弁
DE4220177A1 (de) * 1992-06-19 1993-12-23 Marco Systemanalyse Entw Vorrichtung zur Betätigung eines Ventilelementes
JP2870324B2 (ja) * 1992-10-22 1999-03-17 トヨタ自動車株式会社 圧電素子の駆動回路
CN2251086Y (zh) * 1996-08-12 1997-04-02 成都巴蜀文化实业有限责任公司 管道燃气泄漏关闭阀
DE19646511C1 (de) 1996-11-12 1998-05-14 Marco Systemanalyse Entw Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement
DE19653052A1 (de) * 1996-12-19 1998-06-25 Heatec Thermotechnik Gmbh Heizungssystem mit Einzelraumregelung
DE19912334C2 (de) * 1999-03-19 2002-07-11 Bosch Gmbh Robert Vorsteuereinrichtung
DE19946838C1 (de) * 1999-09-30 2000-10-19 Bosch Gmbh Robert Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
EP1158182B1 (de) * 2000-05-25 2004-12-08 FESTO AG & Co Ventileinrichtung
JP2002335662A (ja) * 2001-05-10 2002-11-22 Act Giken:Kk 三安定自己保持電磁石
DE10326707B3 (de) * 2003-06-11 2005-01-27 Westport Germany Gmbh Ventilvorrichtung und Verfahren zum Einblasen von gasförmigem Kraftstoff
CN100353098C (zh) * 2006-01-23 2007-12-05 浙江大学 基于压电堆驱动器的压电气阀
DE102007020361A1 (de) * 2007-04-30 2008-11-06 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Ventil
CN101383234B (zh) * 2007-09-03 2013-04-03 美和锁株式会社 压电促动器
JP4555366B2 (ja) * 2008-06-13 2010-09-29 株式会社ダイシン 気体供給弁及び部品搬送装置
DE102009020785A1 (de) * 2009-05-11 2010-11-25 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Ventil
TWM462020U (zh) 2013-02-08 2013-09-21 Tang ting ting 具保護罩之行李箱結構
EP3071842B1 (de) * 2013-11-22 2019-10-16 Festo AG & Co. KG Ventilanordnung und fluidisches system
JP6147182B2 (ja) * 2013-12-20 2017-06-14 株式会社堀場エステック 流体制御弁
DE102014101512A1 (de) * 2014-02-06 2015-08-06 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Piezoelektrische Stellvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
US10593859B2 (en) 2020-03-17
CN107420607A (zh) 2017-12-01
JP2017205004A (ja) 2017-11-16
KR20170128140A (ko) 2017-11-22
DE102016108811A1 (de) 2017-11-16
US20170331026A1 (en) 2017-11-16
KR101873823B1 (ko) 2018-07-03
CN107420607B (zh) 2019-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106931221B (zh) 流体控制阀及其控制方法
TWI666797B (zh) 壓電元件驅動式閥及流量控制裝置
US11036242B2 (en) Calibration data generation apparatus, calibration data generation method, and flow rate control device
TWI780091B (zh) 閥裝置和閥控制裝置
KR20180133803A (ko) 유체 제어 장치, 기록 매체에 저장된 제어 프로그램, 및 제어 방법
US20110168929A1 (en) Temperature-compensated piezoelectric flexural transducer
JP2014190452A (ja) 流体制御弁
TW201233926A (en) Device for detecting the opening of an automatic valve
KR20140116534A (ko) 가변 오리피스형 압력 제어식 유량 제어기
US10920898B2 (en) Piezo actuator, fluid control valve, and fluid control apparatus
JP6437588B2 (ja) 圧電調整装置
EP3060835B1 (en) Fluid flow regulator device, comprising a valve member and a valve seat defining a fluid flow surface area, as well as method of using the same
KR20010042666A (ko) 압전 액추에이터
KR102374493B1 (ko) 유체 제어 디바이스 및 유체 제어 디바이스의 작동 방법
US10900765B2 (en) Form measuring apparatus
JP6147182B2 (ja) 流体制御弁
KR102304548B1 (ko) 밸브장치 및 그 제어장치를 사용한 제어방법, 유체 제어장치 및 반도체 제조장치
RU2509046C1 (ru) Устройство регулирования движения ленты, в частности устройства для формовки и охлаждения
JP2020079606A (ja) 流体制御弁及び流体制御装置
US20230204028A1 (en) Low hysteresis piezo-electric pump
JP4937975B2 (ja) 枚葉紙印刷機のためのレジスタブリッジ装置
RU2263292C1 (ru) Датчик-реле
KR20210062784A (ko) 가변 클램프가 적용된 트랜스퍼 몰딩 장치 및 그 제어 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180306

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180606

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181030

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181114

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6437588

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees