KR20210052434A

KR20210052434A - 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법 및 제조 장치

Info

Publication number: KR20210052434A
Application number: KR1020217002320A
Authority: KR
Inventors: 다카노부 야노; 히데유키 요네자와; 도모타케 나시키
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2018-09-03
Filing date: 2019-07-18
Publication date: 2021-05-10
Also published as: WO2020049880A1; CN112514089A; JP2020038886A; TW202019703A

Abstract

투명 도전성 압전 필름 (2) 의 제조 방법은, 투명 도전층 (3) 및 압전층 (5) 을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 준비하는 제 1 공정과, 압전층 (5) 을 분극시키는 제 2 공정을 구비한다. 제 2 공정에서는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 롤·투·롤 방식으로 반송하여, 압전층 (5) 에 대해 그 두께 방향 일방측으로부터 제 1 분극 롤 (15) 을 접촉시킨다.

Description

투명 도전성 압전 필름의 제조 방법 및 제조 장치

본 발명은, 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법 및 제조 장치에 관한 것이다.

종래, 압전 필름은, 터치압 검출에 사용되는 것이 알려져 있다.

압전 필름의 제조 방법으로서, 중합체 필름을 2 개의 평판 전극으로 두께 방향 양측으로부터 사이에 끼우고, 중합체 필름에 전압을 인가하여, 압전 필름을 분극시키는 방법이 제안되어 있다 (예를 들어, 하기 특허문헌 1 참조).

일본 공개특허공보 2016-219804호

그런데, 2 개의 평판 전극으로 중합체 필름을 사이에 끼우는 방법에서는, 평판 전극과 중합체 필름 사이에 이물질이 비집고 들어간 경우에는, 2 개의 평판 전극의 협압에 의해, 중합체 필름에 있어서 이물질에 대향하는 부분이 찌부러뜨려져, 두께가 얇아지고, 그 때문에, 절연 파괴를 발생시킨다는 문제가 있다.

한편, 압전 필름에서는, 분극의 균일성도 요구된다.

본 발명은, 절연 파괴를 억제하면서, 압전층을 균일하게 분극시킬 수 있는, 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법 및 제조 장치를 제공한다.

본 발명 (1) 은, 투명 도전층 및 압전층을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 투명 도전성 압전 필름을 준비하는 제 1 공정과, 상기 압전층을 분극시키는 제 2 공정을 구비하고, 상기 제 2 공정에서는, 상기 투명 도전성 압전 필름을 롤·투·롤 방식으로 반송하여, 상기 압전층에 대해 그 두께 방향 일방측으로부터 분극 롤을 접촉시키는, 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법을 포함한다.

이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법에서는, 제 2 공정에 있어서, 압전층을 두께 방향 양측에서 협지하지 않고, 분극 롤이 그 두께 방향 일방측으로부터 접촉할 수 있다. 그러면, 제 2 공정에 있어서, 이물질이 분극 롤과 압전층 사이에 비집고 들어가도, 압전층에 있어서 이물질에 대향하는 부분은, 두께 방향 타방측을 향하여 변형될 수 있고, 그 때문에, 이러한 부분이, 얇아지는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 상기한 절연 파괴를 억제할 수 있다.

또, 제 2 공정에서는, 투명 도전성 압전 필름을 롤·투·롤 방식으로 반송하여, 압전층을 분극 롤에 접촉시키므로, 압전층 표면에 균일하게 전압을 인가할 수 있기 때문에, 압전층을 균일하게 분극시킬 수 있다.

따라서, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법에서는, 절연 파괴를 억제하면서, 압전층을 균일하게 분극시킬 수 있다.

본 발명 (2) 는, 상기 제 2 공정에서는, 상기 투명 도전층을, 상기 분극 롤의 반송 방향 상류측 및 하류측에 있어서의 적어도 어느 일방에 배치되는 접지 롤에 접촉시키는, (1) 에 기재된 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법을 포함한다.

이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법에 의하면, 접지 롤에 의해, 투명 도전층을 확실하게 접지하면서, 투명 도전성 압전 필름을 롤·투·롤 방식으로 확실하게 반송할 수 있다.

본 발명 (3) 은, 상기 분극 롤은, 상기 압전층에 접촉하는 표면에 있어서, 상기 압전층을 분극시키기 위한 전압 인가부와, 상기 전압 인가부에 대해 상기 분극 롤의 회전 방향 상류측 및 하류측의 각각에 인접하는 제 1 절연부 및 제 2 절연부의 각각을 구비하고, 상기 제 2 공정에서는, 상기 전압 인가부의 상기 회전 방향에 있어서의 전체부와, 상기 제 1 절연부에 있어서의 상기 하류측 부분 및 상기 제 2 절연부에 있어서의 상류측 부분이 상기 압전층과 접촉하고 있을 때에, 전압을 상기 전압 인가부에 인가하는, (1) 또는 (2) 에 기재된 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법을 포함한다.

그런데, 제 2 공정에서는, 전압 인가부가 압전층과 미소한 간격이 떨어져 있을 때, 전압을 전압 인가부에 인가하면, 이러한 미소한 간격에 있어서, 전압 인가부와 가장 가까이에 위치하는 투명 도전층 등에 방전을 발생하기 쉽다.

그러나, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법의 제 2 공정에서는, 전압 인가부의 회전 방향에 있어서의 전체부가 압전층과 접촉하고, 또한 제 1 절연부에 있어서의 하류측 부분 및 제 2 절연부에 있어서의 상류측 부분이 압전층과 접촉하고 있을 때, 바꾸어 말하면, 제 1 절연부에 있어서 압전층과 접촉하는 하류측 부분보다 회전 방향 상류측에 위치하는 상류측 부분, 및 제 2 절연부에 있어서 압전층과 접촉하는 상류측 부분보다 회전 방향 하류측에 위치하는 하류측 부분이, 압전층과 미소한 간격이 떨어져 있을 때에, 전압을 전압 인가부에 인가한다. 그 때문에, 상기한 방전을 억제할 수 있다.

본 발명 (4) 는, 상기 제 2 공정에서는, 상기 압전층을, 반송 방향에 인접하여 복수 배치되는 상기 분극 롤에 접촉시키는, (3) 에 기재된 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법을 포함한다.

이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법의 제 2 공정에서는, 압전층을, 반송 방향에 인접하여 복수 배치되는 분극 롤에 접촉시키므로, 전압 인가부와 접촉하여 분극된 분극부의 면적을 크게 할 수 있다.

본 발명 (5) 는, 상기 제 2 공정은, 상기 복수의 분극 롤에 포함되는 제 1 상기 분극 롤에 의해, 상기 압전층에, 반송 방향으로 간격을 두고 배치되는 제 1 분극부를 형성하는 제 1 분극 공정과, 상기 복수의 분극 롤에 포함되고, 제 1 상기 분극 롤에 대해 반송 방향 하류측에 인접하는 제 2 상기 분극 롤에 의해, 상기 압전층에 있어서의 상기 제 1 분극부 사이에, 제 2 분극부를 형성하는 제 2 분극 공정을 구비하고, 상기 제 2 공정에서는, 상기 압전층에 있어서, 상기 제 1 분극부 및 상기 제 2 분극부를 반송 방향으로 교대로 배치하는, (4) 에 기재된 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법을 포함한다.

투명 도전성 압전 필름의 제조 방법의 제 2 공정에서는, 압전층에 있어서, 제 1 분극부 및 제 2 분극부를 반송 방향으로 교대로 배치하므로, 제 1 분극부 및 제 2 분극부를 확실하게 연속시킬 수 있다.

본 발명 (6) 은, 상기 분극 롤은, 상기 압전층에 접촉하는 표면에 있어서, 상기 압전층을 분극시키기 위한 전압 인가부와, 상기 전압 인가부에 대해 상기 분극 롤의 축 방향 일방측 및 타방측에 각각 인접하는 제 3 절연부 및 제 4 절연부를 구비하고, 상기 제 2 공정에서는, 상기 제 3 절연부 및 상기 제 4 절연부의 각각이, 상기 압전층의 상기 축 방향 일단 가장자리 및 타단 가장자리의 각각에 접촉하고, 또한, 상기 전압 인가부가 상기 압전층에 있어서의 상기 축 방향 일단 가장자리 및 타단 가장자리 사이의 중간부와 접촉하고 있을 때에, 전압을 상기 전압 인가부에 인가하는, (1) ∼ (5) 중 어느 한 항에 기재된 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법을 포함한다.

그런데, 전압 인가부가 압전층의 축 방향 일단 가장자리 및 타단 가장자리와 접촉하고 있을 때에, 전압을 전압 인가부에 인가하면, 절연 파괴가 발생한다.

그러나, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법의 제 2 공정에서는, 제 3 절연부 및 제 4 절연부의 각각이, 압전층의 축 방향 일단 가장자리 및 타단 가장자리의 각각에 접촉하고 있으므로, 압전층에 접촉하는 제 3 절연부 및 제 4 절연부의 각각의 축 방향 길이를, 투명 도전성 압전 필름의 축 방향 일단 가장자리 및 타단 가장자리의 각각에 있어서의 절연 파괴를 억제하기 위한 절연 거리로서 확보할 수 있다. 그 때문에, 전압을 전압 인가부에 인가해도, 상기한 절연 파괴를 억제할 수 있다.

본 발명 (7) 은, 상기 제 1 공정에서는, 상기 투명 도전층, 투명 기재 및 상기 압전층을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 상기 투명 도전성 압전 필름을 준비하는 것을 특징으로 하는, (1) ∼ (6) 중 어느 한 항에 기재된 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.

이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법에 의하면, 제 1 공정에서, 투명 도전층, 투명 기재 및 압전층을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 투명 도전성 압전 필름을 준비하므로, 제 2 공정에 있어서의 롤·투·롤 방식으로, 투명 도전성 압전 필름을 안정적으로 반송할 수 있다.

본 발명 (8) 은, 투명 도전층 및 압전층을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 투명 도전성 압전 필름을 롤·투·롤 방식으로 반송하는 반송 장치와, 상기 압전층을 그 두께 방향 일방측으로부터 접촉하는 분극 롤과, 상기 분극 롤에 대해 반송 방향으로 간격을 두고 배치되는 접지 롤을 구비하는, 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치를 포함한다.

이 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치에 의하면, 분극 롤이, 압전층을 두께 방향 양측에서 협지하지 않고, 압전층에 대해 두께 방향 일방측으로부터 접촉할 수 있다. 그 때문에, 이물질이 분극 롤과 압전층 사이에 비집고 들어가도, 압전층에 있어서 이물질에 대향하는 부분은, 두께 방향 타방측을 향하여 변형될 수 있고, 그 때문에, 이러한 부분이, 얇아지는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 상기한 절연 파괴를 억제할 수 있다.

또, 압전층을 분극 롤에 접촉시킴으로써, 압전층을 균일하게 분극시킬 수 있다.

또한, 접지 롤에 의해, 투명 도전층을 확실하게 접지하면서, 투명 도전성 압전 필름을 롤·투·롤 방식으로 확실하게 반송할 수 있다.

본 발명 (9) 은, 상기 분극 롤은, 표면에 있어서, 상기 압전층을 분극시키기 위한 전압 인가부와, 상기 전압 인가부에 인접하는 절연부를 구비하는, (8) 에 기재된 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치를 포함한다.

이 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치에 의하면, 절연부에 의해, 상기한 방전이나 절연 파괴를 억제할 수 있다.

본 발명의 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법 및 제조 장치에서는, 절연 파괴를 억제하면서, 압전층을 균일하게 분극시킬 수 있다.

도 1 은, 본 발명의 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치의 제 1 실시형태의 개략 측면도를 나타낸다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치에 제공되는 투명 도전성 압전 필름의 단면도를 나타낸다.
도 3 은, 도 3A ∼ 도 3D 는, 제 1 분극 롤의 회전에 수반하는 도통면에 대한 인가의 ON·OFF 의 상태를 설명하는 단면도이고, 도 3A 가, 도통면에 대한 인가를 OFF 하고 있는 상태 (절연면의 제 1 단부가 압전층과 간격이 떨어지는 양태), 도 3B 가, 도통면에 대한 인가를 ON 할 때 (도통면의 회전 방향 전체부와, 제 1 절연부의 제 1 단부 및 제 2 절연부가 압전층에 접촉하고, 제 1 절연부에 있어서의 제 1 단부의 상류측 부분이 압전층과 간격이 떨어지는 양태), 도 3C 가, 도통면에 대한 인가를 ON 하고 있는 상태로서, OFF 하기 직전 (도통면의 회전 방향 전체부와, 제 1 절연부 및 제 2 절연부의 제 2 단부가 압전층에 접촉하고, 제 2 절연부에 있어서의 제 2 단부의 하류측 부분이 압전층과 간격이 떨어지는 양태), 도 3D 가, 도통면에 대한 인가를 OFF 하고 있는 상태 (절연면의 제 2 단부가 압전층과 간격이 떨어지는 양태) 를 나타낸다.
도 4 는, 제 1 분극 장치와 제 2 분극 장치 사이의 반송 방향 도중에 있어서의 압전층의 평면도를 나타낸다.
도 5 는, 제 2 분극 장치에 의해 분극된 압전층의 평면도를 나타낸다.
도 6 은, 본 발명의 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치의 제 2 실시형태의 개략 측면도를 나타낸다.
도 7 은, 도 6 에 나타내는 제 1 분극 롤에 접촉하는 압전층을 두께 방향 일방측으로부터 본 전개도를 나타낸다.
도 8 은, 압전층의 평면도를 나타낸다.
도 9 는, 참고예로서, 도통면에 접촉하는 압전층을 두께 방향 일방측으로부터 본 전개도를 나타낸다.
도 10 은, 도 7 에 나타내는 제 1 분극 롤 및 압전층의 변형예의 전개도를 나타낸다.

본 발명의 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치의 제 1 실시형태를, 도 1 ∼ 도 5 를 참조하여 설명한다.

또한, 도 4 및 도 5 에 있어서, 제 1 분극부 (23) (후술) 는, 실제로는 그 외측 가장자리가 시인되지 않지만, 그 배치 및 형상을 명확하게 설명하기 위하여, 제 1 분극부 (23) 를 해칭으로 그리고 있다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 롤·투·롤 방식으로 반송하면서, 투명 도전성 압전 필름 (2) 에 있어서의 후술하는 압전층 (5) (도 2 참조) 을 분극시킨다.

투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 반송 방향으로 연장되는 필름 (시트) 형상을 갖는다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 두께 방향에 대향하는 일방면 및 타방면을 갖는다. 투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 투명 도전층 (3), 투명 기재 (4) 및 압전층 (5) 을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비한다. 상세하게는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 투명 도전층 (3) 과, 투명 도전층 (3) 의 두께 방향 일방면에 배치되는 투명 기재 (4) 와, 투명 기재 (4) 의 두께 방향 일방면에 배치되는 압전층 (5) 을 구비한다.

투명 도전층 (3) 은, 반송 방향으로 연장되는 박층 형상을 갖는다. 투명 도전층 (3) 은, 두께 방향에 대향하는 일방면 및 타방면을 갖는다. 투명 도전층 (3) 의 타방면은, 두께 방향 타방측을 향하여 노출된다. 투명 도전층 (3) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 타방면을 형성한다. 투명 도전층 (3) 의 재료로는, 투명성 또한 도전성을 갖는 재료를 들 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 인듐주석 복합 산화물 (ITO) 등의 인듐 함유 산화물, 예를 들어, 안티몬주석 복합 산화물 (ATO) 등의 안티몬 함유 산화물 등을 들 수 있고, 바람직하게는, 인듐 함유 산화물, 보다 바람직하게는, ITO 를 들 수 있다. 투명 도전층 (3) 의 표면 저항은, 예를 들어, 1 × 10³ Ω/□ 이하, 바람직하게는, 3 × 10² Ω/□ 이하이고, 또, 예를 들어, 1 Ω/□ 이상, 바람직하게는, 10 Ω/□ 이상이다. 투명 도전층 (3) 의 전광선 투과율 (JIS K 7375-2008) 은, 예를 들어, 80 ％ 이상, 바람직하게는, 85 ％ 이상이다. 투명 도전층 (3) 의 두께는, 예를 들어, 1 ㎚ 이상, 예를 들어, 35 ㎚ 이하이다.

투명 기재 (4) 는, 투명 도전층 (3) 의 일방면 전체면에 배치되어 있다. 투명 기재 (4) 는, 반송 방향으로 연장되는 필름 형상을 갖는다. 투명 기재 (4) 는, 두께 방향에 대향하는 일방면 및 타방면을 갖는다. 투명 기재 (4) 의 타방면은, 투명 도전층 (3) 의 일방면과 접촉하고 있다. 투명 기재 (4) 의 재료로는, 투명성 또한 절연성을 갖는 재료를 들 수 있다. 구체적으로는, 수지 (폴리머를 포함한다) 를 들 수 있다. 수지로는, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르 수지, 예를 들어, 폴리메타크릴레이트 등의 (메트)아크릴 수지 (아크릴 수지 및/또는 메타크릴 수지), 예를 들어, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 시클로올레핀 폴리머 등의 올레핀 수지, 예를 들어, 폴리카보네이트 수지, 예를 들어, 폴리에테르술폰 수지, 예를 들어, 폴리아릴레이트 수지, 예를 들어, 멜라민 수지, 예를 들어, 폴리아미드 수지, 예를 들어, 폴리이미드 수지, 예를 들어, 셀룰로오스 수지, 예를 들어, 폴리스티렌 수지, 예를 들어, 노르보르넨 수지 등을 들 수 있다. 바람직하게는, 기계 특성의 관점에서, 폴리에스테르 수지, 보다 바람직하게는, PET 를 들 수 있다. 투명 기재 (4) 의 체적 저항률은, 10⁶ Ω·㎝ 이상, 바람직하게는, 10⁸ Ω·㎝ 이상이고, 또, 예를 들어, 10¹⁵ Ω·㎝ 이하이다. 투명 기재 (4) 의 전광선 투과율 (JIS K 7375-2008) 은, 예를 들어, 80 ％ 이상, 바람직하게는, 85 ％ 이상이다. 투명 기재 (4) 의 두께는, 예를 들어, 1 ㎛ 이상, 바람직하게는, 10 ㎛ 이상이고, 또, 예를 들어, 100 ㎛ 이하, 바람직하게는, 60 ㎛ 이하이다.

압전층 (5) 은, 투명 기재 (4) 의 두께 방향 일방면 전체면에 배치되어 있다. 압전층 (5) 은, 반송 방향으로 연장되는 필름 형상을 갖는다. 압전층 (5) 은, 두께 방향에 대향하는 일방면 및 타방면을 갖는다. 압전층 (5) 의 타방면은, 투명 기재 (4) 의 일방면과 접촉하고 있다. 압전층 (5) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 두께 방향 일방면을 형성한다. 압전층 (5) 의 일방면은, 두께 방향 일방측에 노출된다.

압전층 (5) 의 재료로는, 압전 특성을 갖는 재료이면 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 불소를 함유하는 유기 화합물 (함불소 유기 화합물), 예를 들어, 우르츠광 구조를 갖는 무기 화합물 (예를 들어, ZnO, ZnS, ZnSe, ZnTe, AlN, GaN, CdSe, CdTe, SiC 등) 등을 들 수 있다.

바람직하게는, 함불소 유기 화합물을 들 수 있다. 함불소 유기 화합물로는, 구체적으로는, 불소 수지를 들 수 있다.

불소 수지로는, 예를 들어, 불화비닐리덴, 테트라플루오로에틸렌 및 클로로트리플루오로에틸렌으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 개의 모노머가 중합되어 이루어지는 중합체를 들 수 있다. 구체적으로는, 불소 수지로는, 예를 들어, 폴리불화비닐리덴, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리클로로트리플루오로에틸렌 등의 단독 중합체, 예를 들어, 불화비닐리덴-트리플루오로에틸렌 공중합체 (P (VDF-TrFE)), 불화비닐리덴-트리플루오로에틸렌-클로로트리플루오로에틸렌 공중합체, 헥사플루오로프로필렌-불화비닐리덴 공중합체, 퍼플루오로비닐에테르-불화비닐리덴 공중합체, 테트라플루오로에틸렌-불화비닐리덴 공중합체, 헥사플루오로프로필렌옥사이드-불화비닐리덴 공중합체, 헥사플루오로프로필렌옥사이드-테트라플루오로에틸렌-불화비닐리덴 공중합체, 헥사플루오로프로필렌-테트라플루오로에틸렌-불화비닐리덴 공중합체 등의, 상기 모노머를 함유하는 불소 모노머의 공중합체를 들 수 있다. 불소 수지는, 단독 사용 또는 병용할 수 있다. 바람직하게는, 공중합체, 보다 바람직하게는, P (VDF-TrFE) 를 들 수 있다.

압전층 (5) 의 두께는, 예를 들어, 10 ㎛ 이하, 바람직하게는, 7 ㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 5 ㎛ 이하이고, 또, 예를 들어, 0.5 ㎛ 이상이다. 압전층 (5) 의 두께가 상기한 상한 이하이면, 분극에 필요한 전압을 저감시킬 수 있고, 절연 파괴의 발생을 저감시킬 수 있다.

투명 도전성 압전 필름 (2) 의 두께는, 투명 도전층 (3), 투명 기재 (4) 및 압전층 (5) 의 합계 두께이고, 예를 들어, 10 ㎛ 이상, 바람직하게는, 25 ㎛ 이상이고, 또, 예를 들어, 100 ㎛ 이하, 바람직하게는, 60 ㎛ 이하이다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 는, 반송 장치 (7) 와, 분극 장치 (8) 를 구비한다.

반송 장치 (7) 는, 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 에 있어서, 반송 방향에 있어서의 상류측 (이하, 간단히 상류측이라고 하는 경우가 있다. 하류측에 대해서도 동일하다.) 단부에 배치되는 조출 롤 (10) 과, 하류측 단부에 배치되는 권취 롤 (11) 을 구비한다.

조출 롤 (10) 은, 분극 장치 (8) 에서 압전층 (5) 이 분극되기 전의 투명 도전성 압전 필름 (2) 이 권회되어 있고, 분극 장치 (8) 에 대해 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 조출 가능하게 구성되어 있다.

권취 롤 (11) 은, 조출 롤 (10) 에 대해 반송 방향 하류측에 후술하는 분극 장치 (8) 가 형성되는 간격을 두고 배치되어 있다. 권취 롤 (11) 은, 분극 장치 (8) 에서 압전층 (5) 이 분극된 후의 투명 도전성 압전 필름 (2) 이 권회되어 있고, 분극 장치 (8) 로부터 반송된 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 권취 가능하게 구성되어 있다.

분극 장치 (8) 는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 에 있어서의 압전층 (5) 을 분극하는 장치이다. 분극 장치 (8) 는, 조출 롤 (10) 및 권취 롤 (11) 사이에 있어서의 반송 방향 중간부에 배치되어 있다. 분극 장치 (8) 는, 반송 방향에 인접하여 복수 배치되어 있다. 구체적으로는, 분극 장치 (8) 는, 제 1 분극 장치 (13) 와 제 2 분극 장치 (14) 를 반송 방향으로 인접하도록 구비한다.

제 1 분극 장치 (13) 는, 분극 장치 (8) 에 있어서의 상류측 부분에 배치되어 있다. 제 1 분극 장치 (13) 는, 접지 롤 (6) 및 제 1 분극 롤 (15) 을 구비한다.

접지 롤 (6) 은, 제 1 분극 장치 (13) 에 있어서, 간격을 두고 복수 구비된다. 구체적으로는, 접지 롤 (6) 은, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 및 제 1 하류측 접지 롤 (17) 을 구비한다.

도 3A ∼ 도 3D 에 나타내는 바와 같이, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 은, 제 1 분극 장치 (13) 에 있어서의 상류측 단부에 배치되어 있다. 제 1 상류측 접지 롤 (16) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 두께 방향 및 반송 방향과 직교하는 TD 방향 (투명 도전성 압전 필름 (2) 의 폭 방향, 도 3A ∼ 도 3D 에 있어서의 종이면 안길이 방향) 을 따라 연장되는 대략 원기둥 형상을 갖는다. 제 1 상류측 접지 롤 (16) 은, 예를 들어, 금속 롤로서, 상류측 접지선 (31) 을 통하여 접지되어 있다. 제 1 상류측 접지 롤 (16) 은, 그 표면 (둘레면) 이, 투명 도전층 (3) 에 접촉 가능해지도록 배치되어 있다. 또, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 반송에 수반하여 회전 가능한 종동 롤이다.

제 1 하류측 접지 롤 (17) 은, 제 1 분극 장치 (13) 에 있어서의 하류측 단부로서, 구체적으로는, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 의 하류측에 배치되어 있다. 제 1 하류측 접지 롤 (17) 은, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 과 간격을 두고 대향하고 있다. 제 1 하류측 접지 롤 (17) 은, 그 축선이, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 의 축선과 평행한 대략 원기둥 형상을 갖는다. 제 1 하류측 접지 롤 (17) 은, 예를 들어, 금속 롤로서, 하류측 접지선 (32) 을 통하여 접지되어 있다. 제 1 하류측 접지 롤 (17) 은, 그 표면 (둘레면) 이, 투명 도전층 (3) 과 접촉 가능하게 배치되어 있다. 또, 제 1 하류측 접지 롤 (17) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 반송에 수반하여 회전 가능한 종동 롤이다.

제 1 분극 롤 (15) 은, 제 1 분극 장치 (13) 에 있어서의 반송 방향 중간부, 구체적으로는, 반송 방향에 있어서의 제 1 상류측 접지 롤 (16) 및 제 1 하류측 접지 롤 (17) 사이에 배치되어 있다. 상세하게는, 제 1 분극 롤 (15) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 제 1 상류측 접지 롤 (16) 과의 접촉 위치, 및 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 제 1 하류측 접지 롤 (17) 과의 접촉 위치 사이에 있어서, 투명 도전성 압전 필름 (2) 과 접촉 가능하게 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 제 1 분극 롤 (15) 의 축선은, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 의 축선 및 제 1 하류측 접지 롤 (17) 의 축선을 통과하는 가상 평면에 대해, 상기한 가상 평면에 대해 직교하는 제 1 방향에 있어서의 타방측 (도 3A 에서는 하측. 투명 도전성 압전 필름 (2) 에 있어서의 두께 방향 타방측에 상당함.) 에 간격을 두고 배치되어 있다. 또한, 제 1 분극 롤 (15) 은, 상기한 가상 평면에 중복되지 않고, 상기한 가상 평면에 대해 타방측에 간격이 떨어져 있다.

또, 제 1 분극 롤 (15) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 압전층 (5) 에 접촉 가능하게 배치되어 있다.

그 때문에, 이 제 1 분극 장치 (13) 를 통과하는 투명 도전성 압전 필름 (2) 에서는, 투명 도전층 (3) 이 제 1 상류측 접지 롤 (16) 의 표면 및 제 1 하류측 접지 롤 (17) 의 표면에 접촉하고, 압전층 (5) 이 제 1 분극 롤 (15) 의 표면에 접촉한다.

또, 제 1 분극 롤 (15) 은, 제 1 방향으로 투영했을 때에, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 의 일부 및 제 1 하류측 접지 롤 (17) 의 일부와 중복된다. 나아가서는, 제 1 분극 롤 (15) 의 직경은, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 의 축선 및 제 1 하류측 접지 롤 (17) 의 축선의 대향 길이에 비해 길다.

또한, 제 1 분극 롤 (15) 의 축선은, 제 1 방향으로 투영했을 때에, 제 1 상류측 접지 롤 (16) 의 축선 및 제 1 하류측 접지 롤 (17) 의 축선 사이에 배치되어 있다.

제 1 분극 롤 (15) 은, 예를 들어, 금속 롤 (18) 과, 금속 롤 (18) 의 표면의 일부에 배치되는 절연층 (19) 을 구비하는 복합 금속 롤이다.

금속 롤 (18) 은, 배선 (34) 을 통하여 인가 장치 (33) 와 전기적으로 접속되어 있고, 압전층 (5) 을 분극시키는 전압 인가 롤이다. 금속 롤 (18) 은, 표면의 일부에 오목부 (12) 를 갖는다. 금속 롤 (18) 의 표면은, 오목부 (12) 가 형성되는 부분을 제외하고, 둘레 방향을 따라 연속되는 대략 원호 형상을 갖는 도통면 (20) 을 갖는다. 도통면 (20) 은, 전압 인가부의 일례로서, 외측에 노출되는 외면을 형성한다. 또한, 인가 장치 (33) 는, 금속 롤 (18) 에 고전압을 인가할 수 있는 고압 전원 장치이다.

도통면 (20) 은, 회전 방향 하류측 부분에 위치하는 제 1 도통부 (36) 와, 회전 방향 상류측 부분에 위치하는 제 2 도통부 (35) 를 일체적으로 갖는다.

오목부 (12) 는, 금속면 (20) 에 대해 직경 방향 내측을 향하여 근소하게 패인 형상을 갖는다.

절연층 (19) 은, 오목부 (12) 내에 배치 (충전) 되어 있고, 둘레 방향으로 연장되는 박층이다. 절연층 (19) 의 재료는, 예를 들어, 절연성의 수지 등을 들 수 있다. 절연층 (19) 은, 절연면 (21) 을 갖는다. 절연면 (21) 은, 직경 방향 외측을 향하여 노출되는 외면이다. 또, 절연면 (21) 은, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전 방향에 있어서 도통면 (20) 에 인접한다. 절연면 (21) 은, 둘레 방향을 따라 연속되는 대략 원호 형상을 갖는다. 절연면 (21) 은, 금속 롤 (18) 의 도통면 (20) 과 둘레 방향으로 면일 (面一) 하다. 요컨대, 절연면 (21) 과 도통면 (20) 은, 둘레 방향으로 연속되어 있고, 그 때문에, 절연면 (21) 과 도통면 (20) 은, 1 개의 원둘레면을 형성한다. 보다 구체적으로는, 제 1 분극 롤 (15) 의 축선 및 도통면 (20) 사이의 길이와, 상기 축선 및 절연면 (21) 사이의 길이는, 실질적으로 동일하다.

또, 절연층 (19) 은, 제 1 분극 롤 (15) 의 둘레 방향 180 도의 범위에 걸쳐 형성되어 있다.

또, 절연면 (21) 은, 도통면 (20) 의 회전 방향 상류측에 인접하는 제 1 절연부 (28) 와, 도통면 (20) 의 회전 방향 하류측에 인접하는 제 2 절연부 (30) 를 일체적으로 갖는다.

제 1 절연부 (28) 는, 절연면 (21) 에 있어서의 회전 방향 하류측 부분이다. 제 1 절연부 (28) 는, 제 2 도통부 (35) 의 회전 방향 상류측 직전에 연속적으로 배치되는 제 1 단부 (39) 를 갖는다. 제 1 단부 (39) 는, 제 1 절연부 (28) 에 있어서의 회전 방향 하류측에 위치하는 하류측 부분의 일례이다. 또한, 제 1 단부 (39) 는, 방전을 억제할 수 있는 연면 거리 L3 (후술, 도 3B 참조) 을 갖는다.

제 2 절연부 (30) 는, 절연면 (21) 에 있어서의 회전 방향 상류측 부분이다. 제 2 절연부 (30) 는, 제 1 도통부 (36) 의 회전 방향 하류측 직후에 연속적으로 배치되는 제 2 단부 (38) 를 갖는다. 제 2 단부 (38) 는, 제 2 절연부 (30) 에 있어서의 회전 방향 상류측에 위치하는 상류측 부분의 일례이다. 또한, 제 2 단부 (38) 는, 방전을 억제할 수 있는 연면 거리 L4 (후술, 도 3C 참조) 를 갖는다.

또, 제 1 분극 롤 (15) 을 그 축선에 직교하는 방향을 따라 절단한 절단면에 있어서, 도통면 (20) 의 연면 거리 L1 (도 3A 참조) 의, 절연면 (21) 의 연면 거리 L2 (도 3A 참조) 에 대한 비 (L1/L2) 는, 예를 들어, 0.6 이상, 바람직하게는, 0.8 이상이고, 또, 예를 들어, 1.4 이하, 바람직하게는, 1.2 이하이다.

제 1 분극 롤 (15) 은, 도시하지 않은 구동원에 접속되어 있고, 구동원의 구동력에 의해 회전한다. 이로써, 투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 제 1 분극 장치 (13) 내를 반송된다. 또한, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전은, 조출 롤 (10) 및 권취 롤 (11) 의 회전과 협동하고 있고, 이로써, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 원활하게 반송한다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 분극 장치 (14) 는, 제 1 분극 장치 (13) 의 하류측에 인접 배치되어 있다. 제 2 분극 장치 (14) 는, 제 1 분극 장치 (13) 과 동일한 구성을 갖는다. 구체적으로는, 제 2 분극 장치 (14) 는, 제 2 상류측 접지 롤 (26), 제 2 하류측 접지 롤 (27) 및 제 2 분극 롤 (25) 을 구비한다. 제 2 분극 롤 (25) 은, 도 3A ∼ 도 3D 에 나타내는 바와 같이, 제 1 분극 롤 (15) 와 동일한 도통면 (20) 및 절연면 (21) 을 표면에 갖는다.

또, 분극 장치 (8) 는, 도시하지 않은 메모리 및 CPU 를 추가로 구비한다. 메모리에는, 인가 장치 (33) 로부터 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 에 인가하는 타이밍을 제어하는 프로그램이 격납되어 있다. CPU 는, 상기 프로그램을 실행한다.

다음으로, 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 를 사용하여 압전층 (5) 을 분극시켜, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 제조하는 방법을 설명한다.

도 1 ∼ 도 3D 에 나타내는 바와 같이, 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 는, 롤·투·롤 방식으로 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 조출 롤 (10) 로부터 권취 롤 (11) 을 향하여 반송하면서, 분극 장치 (8) 에 있어서, 압전층 (5) 을 분극한다.

먼저, 압전층 (5) 이 아직 분극되어 있지 않은 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 장척 시트로서 준비하여, 제 1 공정을 실시한다.

계속해서, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을, 조출 롤 (10) 및 권취 롤 (11) 사이의 분극 장치 (8) 에 걸쳐 놓는다. 이 때, 투명 도전층 (3) 이 접지 롤 (6) (제 1 상류측 접지 롤 (16) 및 제 1 하류측 접지 롤 (17)) 의 표면에 접촉하고, 또한 압전층 (5) 이 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 의 표면에 접촉하도록, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을, 제 1 분극 장치 (13) 및 제 2 분극 장치 (14) 에 걸쳐 놓는다.

제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 에 대향하는 투명 도전층 (3) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 두께 방향 타방측을 향하여 노출되어 있고, 다른 부재와 접촉하고 있지 않다. 요컨대, 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 에 대향하는 투명 도전성 압전 필름 (2) 에서는, 압전층 (5) 만이 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 에 접촉하고, 투명 도전층 (3) 은, 두께 방향 타방측에 노출되어 있다.

또한, 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 에 대향하는 투명 도전성 압전 필름 (2) 에는, 조출 롤 (10) 및 권취 롤 (11), 나아가서는, 2 개의 접지 롤 (6) 에 기초하는 장력만이 작용되고, 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 이외의 다른 부재와의 접촉에 의한 힘 (응력) 이 작용되지 않는다. 그 때문에, 만일, 이물질이 제 1 분극 롤 (15) (제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 의 각각) 과 압전층 (5) 사이에 개재해도, 압전층 (5) 은, 그 두께를 유지하면서, 투명 도전층 (3) (두께 방향 타방측) 을 향하여 변형 가능하다.

이어서, 메모리에 격납된 프로그램이 CPU 에 의해 실행되어, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 반송하면서, 인가 장치 (33) 로부터 도통면 (20) 에, 소정의 타이밍으로, 전압을 인가한다. 이로써, 압전층 (5) 을 분극시키는 제 2 공정을 실시한다.

구체적으로는, 도시하지 않지만, 도통면 (20) 이, 압전층 (5) 과 간격이 떨어져 있을 때에는, 인가 장치 (33) 를 OFF 하여, 도통면 (20) 에 전압을 인가하지 않는다. 또한, 도 3A 및 도 3D 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 이 압전층 (5) 과 접촉해도, 제 1 단부 (39) 가 압전층 (5) 과 간격이 떨어져 있을 때 (도 3A 참조), 또는 제 2 단부 (38) 가 압전층 (5) 과 간격이 떨어져 있을 때 (도 3D 참조) 에도, 도통면 (20) 에 전압을 인가하지 않는다.

한편, 도 3B 및 도 3C 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 의 회전 방향의 전체부와, 절연면 (21) 의 제 1 단부 (39) 및 제 2 단부 (38) 가, 압전층 (5) 에 접촉하고 있을 때, 인가 장치 (33) 를 ON 하여, 도통면 (20) 에 전압을 인가한다.

상세하게는, 도 3A 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 에 있어서의 회전 방향의 전체부가 압전층 (5) 에 접촉해도, 절연면 (21) 의 제 1 단부 (39) 가 압전층 (5) 과 아직 접촉하고 있지 않을 때, 요컨대, 제 1 단부 (39) 가 압전층 (5) 과 간격이 떨어져 있을 때에는, 도통면 (20) 에 전압을 인가하지 않는다 (OFF 상태).

계속해서, 도 3B 에 나타내는 바와 같이, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전, 및 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 반송이 속행되어, 절연면 (21) 의 제 1 단부 (39) 및 제 2 단부 (38) 의 양방이 압전층 (5) 과 접촉하여 비로소, 도통면 (20) 에 전압을 인가한다 (인가 ON). 또한, 도통면 (20) 의 전체부는, 압전층 (5) 과 아직 접촉하고 있다.

이 때, 제 1 단부 (39) 의 연면 거리 L3 은, 방전 (후술) 을 억제할 수 있는 거리로 설정되어 있다.

한편, 제 1 절연부 (28) 에 있어서의 제 1 단부 (39) 의 상류측 부분은, 압전층 (5) 과 미소한 간격이 떨어져 있다.

한편, 제 2 절연부 (30) 에 있어서의 제 2 단부 (38) 의 하류측 부분은, 압전층 (5) 과 접촉하고 있다.

도 3B 및 도 3C 에 나타내는 바와 같이, 상기한 도통면 (20) 에 대한 전압의 인가는, 도통면 (20) 의 회전 방향에 있어서의 전체부와, 제 1 단부 (39) 및 제 2 단부 (38) 가 압전층 (5) 에 접촉하고 있는 한, 계속된다.

구체적으로는, 도 3C 에 나타내는 바와 같이, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전, 및 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 반송이 속행되면, 제 1 절연부 (28) 에 있어서의 제 1 단부 (39) 의 상류측 부분이 압전층 (5) 에 접촉한다. 한편, 제 2 절연부 (30) 에 있어서의 제 2 단부 (38) 의 하류측 부분은, 압전층 (5) 과 미소한 간격이 떨어져 있다.

이 때, 제 2 단부 (38) 의 연면 거리 L4 는, 방전 (후술) 을 억제할 수 있는 거리로 설정되어 있다.

계속해서, 도 3D 에 나타내는 바와 같이, 제 2 단부 (38) 가 압전층 (5) 과 간격이 떨어지기 직전에, 도통면 (20) 에 대한 전압을 인가를 정지시킨다 (인가 OFF).

이 정지는, 도통면 (20) 의 회전 방향의 전체부와, 절연면 (21) 의 제 1 단부 (39) 및 제 2 단부 (38) 가 압전층 (5) 에 다시 접촉하기 직전까지 계속된다. 도 3B 에 나타내는 바와 같이, 그 후, 도통면 (20) 의 회전 방향의 전체부와, 절연면 (21) 의 제 1 단부 (39) 및 제 2 단부 (38) 가 압전층 (5) 에 다시 접촉하면, 도통면 (20) 에 대한 전압을 인가를 개시한다 (인가 ON).

이와 같이 하여, 도통면 (20) 에 대한 인가의 ON·OFF 동작이, 반복 실시된다.

그리고, 상기한 도 3B 및 도 3C 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 에 전압을 인가하면, 압전층 (5) 에 전압이 인가되고, 압전층 (5) 이 분극된다. 요컨대, 압전층 (5) 이 분극 처리 (폴링) 된다. 압전층 (5) 의 분극 처리에서는, 접지롤 (6) (제 1 상류측 접지 롤 (16) 및 제 1 하류측 접지 롤 (17)) 에 접촉하는 투명 도전층 (3) 이 제로 전위로 되고, 압전층 (5) 의 분극이 신속히 진행된다.

분극 처리에 있어서, 투명 도전성 압전 필름 (2) 에 관련된 전계 강도는, 예를 들어, 50 MV/m 이상, 400 MV/m 이하이다. 또, 인가 시간은, 예를 들어, 0.1 초 이상, 예를 들어, 60 분 이하가 되도록, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전 속도, 및 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 반송 속도가 조정된다.

제 1 분극 장치 (13) 에서는, CPU 에 의한 프로그램의 실행에 기초하여, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전, 및 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 반송을 제어하면서, 상기한 도통면 (20) 을 개재한 압전층 (5) 에 대한 ON·OFF 제어가 실행되어, 압전층 (5) 이 분극된다.

또한, 도통면 (20) 에 대한 인가는, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전을 속행하면서도 되고, 혹은, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전을 적절한 시간만큼 정지시켜, 실시할 수도 있다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 분극 장치 (13) 에 의해 분극된 제 1 분극부 (23) 는, 압전층 (5) 에 있어서, 제 1 분극 롤 (15) 의 도통면 (20) 과 접촉한 영역으로서, 반송 방향으로 간격을 두고 줄무늬상의 패턴으로 형성된다.

한편, 서로 이웃하는 제 1 분극부 (23) 사이의 영역은, 압전층 (5) 이 분극되어 있지 않은 비분극부 (22) 가 된다.

제 1 분극부 (23) 의 반송 방향 길이 L1 은, 도통면 (20) 의 연면 거리 L1 (도 3A 참조) 에 상당한다. 또, 비분극부 (22) 의 반송 방향 길이 L2 는, 절연면 (21) 의 연면 거리 L2 (도 3A 참조) 에 상당한다.

계속해서, 제 2 분극 장치 (14) 의 제 2 분극 롤 (25) 에 의해서도, 제 1 분극 장치 (13) 의 제 1 분극 롤 (15) 과 동일한 분극 처리에 의해, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 압전층 (5) 에 있어서, 서로 이웃하는 제 1 분극부 (23) 사이의 영역에, 제 2 분극부 (29) 를 형성한다. 제 1 분극부 (23) 및 제 2 분극부 (29) 는, 반송 방향에 있어서 교대로 배치된다.

그 후, 압전층 (5) 이 분극된 투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 권취 롤 (11) 에 권취된다.

그리고, 이 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 제조 방법에서는, 제 2 공정에 있어서, 압전층 (5) 을 두께 방향 양측에서 협지하지 않고, 분극 롤 (제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 의 각각) 이 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 두께 방향 일방측만으로부터 접촉할 수 있다. 요컨대, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 두께 방향 타방면에는, 다른 부재와의 접촉에 기초하는 반력 (응력) 이 작용되지 않는다.

그러면, 제 2 공정에 있어서, 이물질이 분극 롤 (제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25)) 과 압전층 (5) 사이에 비집고 들어가도, 압전층 (5) 에 있어서 이물질에 대향하는 부분은, 그 두께를 유지하면서, 두께 방향 타방측 (구체적으로는, 제 1 분극 롤 (15) 의 직경 방향 외측) 을 향하여 변형 (달아날 수) 될 수 있고, 그 때문에, 이러한 부분이, 얇아지는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 절연 파괴를 억제할 수 있다.

또, 제 2 공정에서는, 접지 롤 (6) 에 의해 투명 도전층 (3) 을 확실하게 접지하면서, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 롤·투·롤 방식으로 확실하게 반송할 수 있다.

또, 그런데, 도 3A 에 나타내는 바와 같이, 제 2 공정에서는, 도통면 (20) (도 3A 에서는, 제 2 도통부 (35)) 이 압전층 (5) 과 미소한 간격이 떨어져 있을 때에, 전압을 도통면 (20) 에 인가하면, 이러한 미소한 간격에 있어서, 도통면 (20) 으로부터, 압전층 (5) 과 두께 방향으로 인접하는 투명 도전층 (3) 에 방전을 발생시키기 쉽다.

그러나, 이 제 1 실시형태의 제 2 공정에서는, 도 3B 및 도 3C 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 의 회전 방향에 있어서의 전체부가 압전층 (5) 과 접촉하고, 또한 제 1 절연부 (28) 에 있어서의 제 1 단부 (39) 및 제 2 절연부 (30) 에 있어서의 제 2 단부 (38) 가 압전층 (5) 과 접촉하고 있을 때, 바꾸어 말하면, 제 1 절연부 (28) 에 있어서 압전층 (5) 과 접촉하는 제 1 단부 (39) 보다 회전 방향 상류측에 위치하는 상류측 부분, 및 제 2 절연부 (30) 에 있어서 압전층 (5) 과 접촉하는 제 2 단부 (38) 보다 회전 방향 하류측에 위치하는 하류측 부분이, 압전층 (5) 과 미소한 간격이 떨어져 있을 때에, 전압을 도통면 (20) 에 인가한다. 그 때문에, 상기한 방전을 억제할 수 있다.

게다가, 절연면 (21) 은, 제 1 단부 (39) 의 연면 거리 L3 (도 3B참조), 및 제 2 단부 (38) 의 연면 거리 L4 (도 3C 참조) 를, 상기한 방전을 확실하게 억제하기 위한 절연 거리로서 확보할 수 있다. 그 때문에, 상기한 방전을 한층 더 유효하게 억제할 수 있다.

또, 이 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 제조 방법의 제 2 공정에서는, 압전층 (5) 을, 반송 방향에 인접하여 배치되는 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 에 접촉시키므로, 도통면 (20) 과 접촉하여 분극된 분극부의 면적을, 제 1 분극부 (23) 및 제 2 분극부 (29) 의 합계 면적으로서 크게 확보할 수 있다.

또, 이 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 제조 방법의 제 2 공정에서는, 압전층 (5) 에 있어서, 제 1 분극부 (23) 및 제 2 분극부 (29) 를 반송 방향으로 교대로 배치하므로, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 제 1 분극부 (23) 및 제 2 분극부 (29) 를 확실하게 연속시킬 수 있다.

또, 이 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 제조 방법에 의하면, 제 1 공정에서, 투명 도전층 (3), 투명 기재 (4) 및 압전층 (5) 을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 준비하므로, 제 2 공정에 있어서의 롤·투·롤 방식으로, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 안정적으로 반송할 수 있다.

또, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 에 의하면, 분극 롤 (제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 의 각각) 이, 압전층 (5) 을 두께 방향 양측에서 협지하지 않고, 압전층 (5) 에 대해 두께 방향 일방측으로부터 접촉할 수 있다. 그 때문에, 이물질이 분극 롤과 압전층 (5) 사이에 비집고 들어가도, 압전층 (5) 에 있어서 이물질에 대향하는 부분은, 두께 방향 타방측 (구체적으로는, 제 1 분극 롤 (15) 의 직경 방향 외측) 을 향하여 변형 (달아날 수) 될 수 있고, 그 때문에, 이러한 부분이, 얇아지는 것을 억제할 수 있고, 그 결과, 절연 파괴를 억제할 수 있다.

또, 압전층 (5) 을 분극 롤 (제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25) 의 각각) 에 접촉시키고, 또한 접지 롤에 접지함으로써, 압전층 (5) 표면에 균일하게 전압을 인가할 수 있기 때문에, 압전층 (5) 을 균일하게 분극시킬 수 있다.

또, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 에 의하면, 절연면 (21) 에 의해, 상기한 방전을 억제할 수 있다.

변형예

이하의 각 변형예에 있어서, 상기한 제 1 실시형태와 동일한 부재 및 공정에 대해서는, 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명을 생략한다. 또, 각 변형예는, 특기하는 것 이외에, 제 1 실시형태와 동일한 작용 효과를 발휘할 수 있다. 또한, 제 1 실시형태 및 변형예를 적절히 조합할 수 있다.

접지 롤 (6) 대신에, 접지 브러시, 접지 커튼 등을 분극 장치 (8) 에 구비할 수도 있다. 바람직하게는, 접지 롤 (6) 을 분극 장치 (8) 에 구비한다. 접지 롤 (6) 이면, 투명 도전층 (3) 을 확실하게 접지하면서, 투명 도전성 압전 필름 (2) 을 롤·투·롤 방식으로 확실하게 반송할 수 있다.

도 3A ∼ 도 3D 에 나타내는 바와 같이, 제 1 분극 장치 (13) 는, 2 개의 접지 롤 (6) (제 1 상류측 접지 롤 (16) 및 제 1 하류측 접지 롤 (17)) 을 구비하지만, 어느 일방만을 구비할 수도 있다.

또한, 도 6 이 참조되도록, 제 1 분극 롤 (15) 은, 절연면 (21) 을 구비하지 않고, 그 표면을 도통면 (20) 만으로 형성할 수도 있다. 요컨대, 제 1 분극 롤 (15) 에서는, 금속 롤 (18) 을 구비하는 한편, 절연층 (19) 을 구비하지 않는다. 구체적으로는, 금속 롤 (18) 에는, 오목부 (12) 가 형성되어 있지 않아, 금속 롤 (18) 의 표면은, 둘레 방향으로 연속되는 원둘레면이다.

제 1 실시형태 및 변형예 중, 바람직하게는, 절연층 (19) 을 구비하는 제 1 실시형태이다. 제 1 실시형태이면, 상기한 바와 같이, 도통면 (20) 으로부터 인가된 전압에 기초하는 방전을 유효하게 억제할 수 있다.

또, 제 1 실시형태에서는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 는, 2 개의 분극 장치 (8) (제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25)) 를 구비하는데, 그 수 (구체적으로는, 분극 롤의 수) 는, 한정되지 않고, 예를 들어, 3 개 이상이어도 된다. 또, 1 개여도 된다.

바람직하게는, 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 는, 복수의 분극 장치 (8) (예를 들어, 제 1 분극 롤 (15) 및 제 2 분극 롤 (25)) 를 구비한다. 그 때문에, 제 1 분극부 (23) 및 제 2 분극부 (29) 를, 압전층 (5) 에 연속적으로 형성할 수 있다.

투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 가 1 개의 분극 장치 (8) 를 구비하고 있으면, 상기한 공기 방전을 유효하게 억제하기 위하여, 도통면 (20) 및 절연면 (21) 이 배치되는 경우에는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 얻어지는 투명 도전성 압전 필름 (2) 에 있어서, 제 1 분극부 (23) 가 줄무늬상의 패턴으로 형성된다.

이에 반하여, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 가 복수의 분극 장치 (8) 를 구비하고, 비록, 제 1 분극부 (23) 가 줄무늬상의 패턴으로 형성되어도, 그것들 사이에 제 2 분극부 (29) 등을 배치하고, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 압전층 (5) 에 있어서 제 1 분극부 (23) 및 제 2 분극부 (29) 를 반송 방향으로 연속시킬 수 있다. 그 때문에, 반송 방향에 있어서의 압전층 (5) 의 수율이 높다.

또, 상기한 바와 같이, 복수의 분극 장치 (8) 에 의해, 압전층 (5) 에 분극부를 반송 방향으로 연속시키기 위하여, 분극 장치 (8) 가 복수 형성되는 경우에는, 예를 들어, 절연층 (19) 을, 제 1 분극 롤 (15) 의 둘레 방향 [360/N] 도의 범위에 걸쳐 형성한다 (N 은, 분극 장치 (8) 의 수로서, 복수). 구체적으로는, 분극 장치 (8) 의 수가, 3 이면, 절연층 (19) 을, 제 1 분극 롤 (15) 의 둘레 방향 120 도 (＝360 도/3) 의 범위에 걸쳐 형성한다. 또, 분극 장치 (8) 의 수가, 4 이면, 절연층 (19) 을, 제 1 분극 롤 (15) 의 둘레 방향 90 도 (＝360 도/4) 의 범위에 걸쳐 형성한다.

또, 절연층 (19) 의 수는, 제 1 실시형태에서는, 1 이었지만, 예를 들어, 도시하지 않지만, 복수여도 된다. 또한, 절연층 (19) 이 복수인 경우에는, 절연면 (21) (제 1 절연부 (28) 및 제 2 절연부 (30) 의 각각) 의 수가 복수가 되고, 동시에, 도통면 (20) (제 1 도통부 (36) 및 제 2 도통부 (35)) 의 수도 복수이고, 구체적으로는, 절연면 (21) 의 수와 동수가 된다.

제 2 실시형태

이하의 제 2 실시형태에 있어서, 상기한 제 1 실시형태 및 그 변형예와 동일한 부재 및 공정에 대해서는, 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명을 생략한다. 또, 제 2 실시형태는, 특기하는 것 이외에, 상기한 제 1 실시형태 및 그 변형예와 동일한 작용 효과를 발휘할 수 있다. 또한, 제 1, 제 2 실시형태 및 변형예를 적절히 조합할 수 있다.

제 1 실시형태에서는, 도 3A ∼ 도 3D 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 및 절연면 (21) 은, 제 1 분극 롤 (15) 의 회전 방향에 있어서 인접하고 있다. 이에 반하여, 제 2 실시형태에서는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20), 및 제 2 절연면 (41) 이, 제 1 분극 롤 (15) 의 축 방향에 인접하고 있다.

제 2 절연면 (41) 은, 도통면 (20) 에 대해, 제 1 분극 롤 (15) 의 축 방향 일방측 및 타방측의 각각에 인접하는 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 를 포함한다. 바람직하게는, 제 2 절연면 (41) 은, 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 만으로 이루어진다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 제 2 실시형태의 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치 (1) 는, 예를 들어, 1 개의 분극 장치 (8) (제 1 분극 장치 (13)) 만을 구비한다.

도 7 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 은, 금속 롤 (18) 의 축 방향 양단부 사이의 중간부에 있어서의 표면이다.

한편, 금속 롤 (18) 의 축 방향 양단부에는, 각각, 예를 들어, 대략 원통 형상의 절연층 (19) 이 끼워넣어져 있고, 그 절연층 (19) 의 표면이, 제 2 절연면 (41) 이 된다. 도통면 (20) 및 제 2 절연면 (41) 은, 축 방향으로 면일하게 형성되어 있다.

이 금속 롤 (18) 에서는, 도통면 (20) 의 축 방향의 전체부가 압전층 (5) 과 접촉할 수 있고, 2 개의 제 2 절연면 (41) 의 각각의 축 방향 내측부가 투명 도전성 압전 필름 (2) 에 압전층 (5) 과 접촉할 수 있도록, 금속 롤 (18) 및 절연층 (19) 의 축 방향 길이가 조정되어 있다.

구체적으로는, 도통면 (20) 의 축 방향 길이 L5 는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 폭 W0 보다 짧다. 또, 금속 롤 (18) 의 축 방향 길이 L6 (도통면 (20) 의 축 방향 길이 L5 와, 제 3 절연부 (43) 의 축 방향 길이 L9 와, 제 4 절연부 (44) 의 축 방향 길이 L10 의 합계) 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 TD 방향 길이 (폭) W0 보다 길다.

그리고, 제 2 실시형태의 제 2 공정에서는, 항상, 도통면 (20) 이, 압전층 (5) 의 TD 방향 (제 1 분극 롤 (15) 의 축 방향에 상당하는 방향) 양단부 사이의 중간부에 접촉하고, 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 의 각각의 축 방향 내측부가, 압전층 (5) 의 TD 방향 양단부의 각각에 접촉한다. 이 상태에 있어서, 도통면 (20) 에 전압을 인가하여, 압전층 (5) 의 TD 방향 중간부를 분극시킨다.

상세하게는, 압전층 (5) 의 TD 방향 양단 가장자리의 각각은, 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 의 각각에 있어서의 축 방향 중간부에 접촉한다. 그 때문에, 제 3 절연부 (43) 에 있어서 압전층 (5) 에 접촉하는 축 방향 길이 (L7) 는, 압전층 (5) 의 TD 방향 일단 가장자리에 있어서의 절연 파괴를 억제할 수 있는 절연 길이로서 확보된다. 제 4 절연부 (44) 에 있어서 압전층 (5) 에 접촉하는 축 방향 길이 (L8) 는, 압전층 (5) 의 TD 방향 타단 가장자리에 있어서의 절연 파괴를 억제할 수 있는 절연 길이로서 확보된다.

도 7 및 도 8 에 나타내는 바와 같이, 압전층 (5) 의 TD 방향 양단부의 각각은, 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 의 각각에 접촉하므로, 분극되지 않고, 마진부 (24) 가 된다.

이 제 2 공정에서는, 항상, 인가 장치 (33) 로부터의 전압이 도통면 (20) 에 인가된다.

제 1 분극 장치 (13) 에 의해 분극된 제 1 분극부 (23) 는, 압전층 (5) 에 있어서, 반송 방향으로 연속되고, 또한 TD 방향 중간부에 형성된다.

마진부 (24) 는, 반송 방향으로 연속적으로 형성된다.

그 후, 상기한 제 1 분극부 (23) 가 형성된 압전층 (5) 을 구비하는 투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 권취 롤 (11) 에서 권취된 후, 필요에 따라, 이후의 공정에서, 마진부 (24) 를 잘라냄으로써, 제 1 분극부 (23) 가 TD 방향으로 연속되는 압전층 (5) 을 형성할 수 있다.

그런데, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 도통면 (20) 이 압전층 (5) 의 TD 방향 양단 가장자리와 접촉하고 있을 때에, 전압을 도통면 (20) 에 인가하면, 도통면 (20) 과 투명 도전층 (3) 의 거리가 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 두께와 동일해지기 때문에, 공기의 절연 파괴를 발생시키기 쉽다.

그러나, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 이 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법의 제 2 공정에서는, 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 의 각각이 압전층 (5) 의 TD 방향 양단 가장자리의 각각에 접촉하고 있으므로, 압전층 (5) 에 접촉하는 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 의 각각의 축 방향 길이 (L7 및 L8 의 각각) 를, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 축 방향 양단 가장자리의 각각에 있어서의 절연 파괴를 억제하기 위한 절연 거리로서 확보할 수 있다. 그 때문에, 전압을 도통면 (20) 에 인가해도, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 TD 방향 양단 가장자리에 있어서의 절연 파괴를 억제할 수 있다.

변형예

이하의 각 변형예에 있어서, 상기한 제 1 및 제 2 실시형태와 동일한 부재 및 공정에 대해서는, 동일한 참조 부호를 부여하고, 그 상세한 설명을 생략한다. 또, 각 변형예는, 특기하는 것 이외에, 제 1 및 제 2 실시형태와 동일한 작용 효과를 발휘할 수 있다. 또한, 제 1, 제 2 실시형태 및 변형예를 적절히 조합할 수 있다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 금속 롤 (18) 의 축 방향 길이 L6 은, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 TD 방향 길이 W0 와 동일해도 된다.

이 변형예이면, 도통면 (20) 의 회전 방향의 전체부와, 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 의 회전 방향 전체부가, 압전층 (5) 에 접촉할 때에, 인가 장치 (33) 를 ON 하여, 도통면 (20) 에 전압을 인가한다.

또, 제 1 실시형태는, 도통면 (20) 및 압전층 (5) 의 미소한 간격에서 기인하는 방전을 제 1 절연부 (28) 및 제 2 절연부 (30) 에 의해 억제하는 양태인 한편, 제 2 실시형태에서는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 TD 방향 양단 가장자리에 있어서의 절연 파괴를 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 에 의해 억제하는 양태이다.

(1) 그 때문에, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 TD 방향 양단 가장자리에 있어서의 절연 파괴를 고려하지 않아도 되지만, 도통면 (20) 및 압전층 (5) 의 미소한 간격에서 기인하는 방전을 억제할 필요가 있는 경우에는, 제 1 실시형태가 바람직하다.

(2) 한편, 도통면 (20) 및 압전층 (5) 의 미소한 간격에서 기인하는 방전을 고려하지 않아도 되지만, 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 TD 방향 양단 가장자리에 있어서의 절연 파괴를 억제할 필요가 있는 경우에는, 제 2 실시형태가 바람직하다.

(3) 한편, 상기한 투명 도전성 압전 필름 (2) 의 TD 방향 양단 가장자리에 있어서의 절연 파괴와, 도통면 (20) 및 압전층 (5) 의 미소한 간격에서 기인하는 방전의 양방을 억제하고자 하는 경우에는, 제 1 절연부 (28) 및 제 2 절연부 (30) (제 1 실시형태) 와, 제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) (제 2 실시형태) 가 병용된다. 예를 들어, 금속 롤 (18) 의 축 방향 중간부에, 제 1 실시형태의 절연층 (19) 을 형성하고, 이로써, 도통면 (20) 의 회전 방향 상류측 및 하류측의 각각에 인접하는 제 1 절연부 (28) 및 제 2 절연부 (30) 의 각각을 배치하고, 또, 금속 롤 (18) 의 축 방향 일단부 및 타단부의 각각에, 제 2 실시형태의 제 2 절연면 (41) 을 형성하고, 이로써, 도통면 (20) 의 TD 방향 일방측 및 타방측의 각각에 인접한다.

제 3 절연부 (43) 및 제 4 절연부 (44) 의 각각을 배치한다.

제 1 및 제 2 실시형태에서는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 이 투명 기재 (4) 를 구비하는데, 예를 들어, 도시하지 않지만, 투명 도전성 압전 필름 (2) 이 투명 기재 (4) 를 구비하지 않고, 구성되어 있어도 된다. 이 경우에는, 투명 도전성 압전 필름 (2) 은, 투명 도전층 (3) 및 압전층 (5) 을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비한다. 투명 도전층 (3) 은, 압전층 (5) 의 두께 방향 타방면 전체면에 직접 배치되어 있다.

또한, 상기 발명은, 본 발명의 예시의 실시형태로서 제공했지만, 이것은 단순한 예시에 지나지 않고, 한정적으로 해석해서는 안된다. 당해 기술 분야의 당업자에 의해 분명한 본 발명의 변형예는, 후기 청구의 범위에 포함된다.

산업상 이용가능성

본 발명의 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법은, 투명 도전성 압전 필름의 제조에 사용된다.

1 : 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치
2 : 투명 도전성 압전 필름
3 : 투명 도전층
4 : 투명 기재
5 : 압전층
6 : 접지 롤
7 : 반송 장치
8 : 분극 장치
13 : 제 1 분극 장치
14 : 제 2 분극 장치
15 : 제 1 분극 롤
16 : 제 1 상류측 접지 롤
17 : 제 1 하류측 접지 롤
20 : 도통면
28 : 제 1 절연부
30 : 제 2 절연부
38 : 제 2 단부
39 : 제 1 단부
43 : 제 3 절연부
44 : 제 4 절연부

Claims

투명 도전층 및 압전층을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 투명 도전성 압전 필름을 준비하는 제 1 공정과,
상기 압전층을 분극시키는 제 2 공정을 구비하고,
상기 제 2 공정에서는, 상기 투명 도전성 압전 필름을 롤·투·롤 방식으로 반송하여, 상기 압전층에 대해 그 두께 방향 일방측으로부터 분극 롤을 접촉시키는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 공정에서는, 상기 투명 도전층을, 상기 분극 롤의 반송 방향 상류측 및 하류측에 있어서의 적어도 어느 일방에 배치되는 접지 롤에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 분극 롤은, 상기 압전층에 접촉하는 표면에 있어서,
상기 압전층을 분극시키기 위한 전압 인가부와,
상기 전압 인가부에 대해 상기 분극 롤의 회전 방향 상류측 및 하류측의 각각에 인접하는 제 1 절연부 및 제 2 절연부의 각각을 구비하고,
상기 제 2 공정에서는, 상기 전압 인가부의 상기 회전 방향에 있어서의 전부와, 상기 제 1 절연부에 있어서의 상기 하류측 부분 및 상기 제 2 절연부에 있어서의 상류측 부분이 상기 압전층과 접촉하고 있을 때에, 전압을 상기 전압 인가부에 인가하는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.
제 3 항에 있어서,
상기 제 2 공정에서는, 상기 압전층을, 반송 방향에 인접하여 복수 배치되는 상기 분극 롤에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,
상기 제 2 공정은,
상기 복수의 분극 롤에 포함되는 제 1 상기 분극 롤에 의해, 상기 압전층에, 반송 방향으로 간격을 두고 배치되는 제 1 분극부를 형성하는 제 1 분극 공정과,
상기 복수의 분극 롤에 포함되고, 제 1 상기 분극 롤에 대해 반송 방향 하류측에 인접하는 제 2 상기 분극 롤에 의해, 상기 압전층에 있어서의 상기 제 1 분극부 사이에, 제 2 분극부를 형성하는 제 2 분극 공정을 구비하고,
상기 제 2 공정에서는, 상기 압전층에 있어서, 상기 제 1 분극부 및 상기 제 2 분극부를 반송 방향으로 교대로 배치하는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 분극 롤은, 상기 압전층에 접촉하는 표면에 있어서,
상기 압전층을 분극시키기 위한 전압 인가부와,
상기 전압 인가부에 대해 상기 분극 롤의 축 방향 일방측 및 타방측에 각각 인접하는 제 3 절연부 및 제 4 절연부를 구비하고,
상기 제 2 공정에서는, 상기 제 3 절연부 및 상기 제 4 절연부의 각각이, 상기 압전층의 상기 축 방향 일단 가장자리 및 타단 가장자리의 각각에 접촉하고, 또한, 상기 전압 인가부가 상기 압전층에 있어서의 상기 축 방향 일단 가장자리 및 타단 가장자리 사이의 중간부와 접촉하고 있을 때에, 전압을 상기 전압 인가부에 인가하는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 공정에서는, 상기 투명 도전층, 투명 기재 및 상기 압전층을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 상기 투명 도전성 압전 필름을 준비하는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 방법.
투명 도전층 및 압전층을 두께 방향 일방측을 향하여 순서대로 구비하는 투명 도전성 압전 필름을 롤·투·롤 방식으로 반송하는 반송 장치와,
상기 압전층을 그 두께 방향 일방측으로부터 접촉하는 분극 롤과,
상기 분극 롤에 대해 반송 방향으로 간격을 두고 배치되는 접지 롤을 구비하는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치.
제 8 항에 있어서,
상기 분극 롤은, 표면에 있어서,
상기 압전층을 분극시키기 위한 전압 인가부와,
상기 전압 인가부에 인접하는 절연부를 구비하는 것을 특징으로 하는 투명 도전성 압전 필름의 제조 장치.