JP2015111641A - 有機圧電フィルム - Google Patents

Abstract

【課題】タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきが小さい、タッチ圧を検出できるタッチパネルが得られるタッチパネルの製造を可能にする、有機圧電フィルムを提供する。
【解決手段】有機圧電フィルムは、線状欠陥の数が２，０００個／ｍ^２以下である。線状欠陥の測定方法は、ＣＣＤカメラ５１、スリット５２、及び白色ＬＥＤ光源５３を備える外観検査機を使用し、スリット５２を通した白色ＬＥＤ５３の光の進行方向中に、ＣＣＤカメラ５１を光を受光できるように配置し、スリット５２とＣＣＤカメラ５１の間を、検査されるフィルムを移動させながら、ＣＣＤカメラ５１により白色ＬＥＤ光源５３の光を検査されるフィルムを通して受光することによって、フィルムのＡ４サイズの範囲を走査する。
【選択図】図４

Description

本発明は、有機圧電フィルムに関する。

近年、スマートフォン、タブレットＰＣ、及びカーナビゲーションシステムのように、液晶ディスプレイ等の表示装置の前面に、タッチパネルを有する入力装置を配置した電子機器が普及している。スマートフォン及びタブレットＰＣでは、タップ、フリップ、ピンチ及びドラッグ等の操作を軽快に行える（すなわち、操作の快適性の高い）静電容量方式のタッチパネルが多く採用されている。一方、カーナビゲーションシステムでは、誤操作が起こりにくい（すなわち、操作の確実性の高い）抵抗膜方式のタッチパネルが多く採用されている。
ここで、もし、ユーザーがタッチした“位置”（本明細書中、タッチ位置と称する場合がある）及びその“強さ”（言い換えれば、押圧の有無、大きさ（強弱）、速度又はこれらの組み合わせ）（本明細書中、タッチ圧と称する場合がある）の両方を検出できるタッチパネルが実用化されれば、前述の操作の快適性と確実性との両立等、多くの利点が考えられる。しかし、これまでに実用化され普及しているタッチパネルは、タッチ位置を検出できるのみであり、タッチ圧を検出することはできなかった。
一方、タッチパネルは表示装置の前面に設置されるので、表示装置の表示の視認性を高めるため、タッチパネルの透明性が高いことが求められる。

タッチ圧の検出に関して、例えば、静電容量方式のタッチパネルでは、指でタッチしたときの指とタッチパネルとの接触面積から、擬似的にタッチ圧を検出する技術が提案されている。しかし、この原理の場合、ペンでタッチしたときは、タッチ圧を検出できないので、使用の場面が制限される。
また、電磁誘導変化を検出できるペンにより筆圧を検出する技術も提案されている。しかし、この原理の場合、専用の特殊なペンが必要なので、使用の場面が制限される。
また、感圧インクを用いてタッチ圧を検出する技術も提案されている。しかし、感圧インクを使用すると、タッチパネルの透明性が低下してしまう。
また、従来の抵抗膜式や静電容量式等のタッチ位置の検出が可能なタッチパネルにタッチ圧検出専用の部材を組み込んで、又は組み合わせて、タッチ圧の検出を可能にする技術も提案されている。しかし、タッチ圧検出専用の部材を組み込むことは、当該タッチパネルを有する電子機器の薄型化の観点及び製造コストの観点から不利である。
これらのような問題が無く、かつタッチ位置及びタッチ圧の両方を検出できるタッチパネルとして、特許文献１には、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体を含有する圧電体層と、前記圧電体層の一方の表面上に設けられた第１の透明電極と、当該圧電体層の他方の表面上に設けられた第２の透明電極と、を有するタッチパネルが開示されている。

特開２０１１−１８１７４８号公報

前述したように、従来、タッチ圧を検出できるタッチパネルが提案されているが、タッチ位置によってタッチ圧の検出性能にばらつきが小さいことまでは求められていなかった。しかし、最近では、タッチパネルにおいて、使用感覚に優れることが重視されてきている。タッチパネルのタッチ位置によってタッチ圧の検出性能にばらつきが存在することは、タッチパネルの使用感覚を損なう虞がある。
特許文献１に記載のタッチパネルは、使用方法を制限すること無く、高い透明性を有し、かつタッチ位置及びタッチ圧の両方を検出でき、かつタッチ圧検出用センサーを更に組み込む必要が無い、優れたタッチパネルである。
しかし、本発明者らの検討によれば、特許文献１に記載のタッチパネルは、タッチ位置によって（すなわち、タッチパネルの平面方向において）、タッチ圧の検出性能にばらつきがあることが明らかになった。
従って、本発明は、タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきが小さい透明圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）を提供すること、及びこのような透明圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）の製造を可能にする有機圧電フィルムを提供することを目的とする。

本発明者らは、タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきの原因を探索した結果、圧電体層の線状欠陥（例、シワ、キズ）がその原因であることを突き止め、線状欠陥（例、シワ、キズ）が少ない有機圧電フィルム（例、分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム）を用いることにより、タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきが小さい、タッチ圧を検出できるタッチパネルが得られることを見出し、更なる研究の結果、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は、次の態様を含む。
項１．
線状欠陥の数が２，０００個／ｍ^２以下である有機圧電フィルム。
項２．
分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルムである項１に記載の有機圧電フィルム。
項３．
分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムである項１に記載の有機圧電フィルム。
項４．
前記線状欠陥の数が後記の欠陥測定方法で測定される数である項１〜３のいずれか１項に記載の有機圧電フィルム。
＜欠陥測定方法＞
ＣＣＤカメラ（当該ＣＣＤカメラは、長さ５９６ｍｍの帯状の実視野、０．０１０ｍｍ／ｓｃａｎの走査方向分解能、及び０．０７１ｍｍ／ｐｉｘｅｌの実視野幅方向分解能を有する。）、スリット、及び白色ＬＥＤ光源を備える外観検査機を使用し、前記スリットを通した前記白色ＬＥＤの光の進行方向中に、前記ＣＣＤカメラを、当該光を受光できるように、前記実視野の長さ方向と前記スリットの方向とを一致させて配置し、前記スリットと前記ＣＣＤカメラの間を、検査されるフィルムをその縦方向に１０ｍ／分の速さで移動させながら、前記ＣＣＤカメラにより前記白色ＬＥＤ光源の光を前記検査されるフィルムを通して受光することによって、当該フィルムのＡ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の範囲を走査する。
ここで、当該フィルムは、前記実視野の長さ方向と前記スリットの方向が、前記フィルムの横方向から２０°傾くように、配置される。
また、ここで、当該フィルムは、前記白色ＬＥＤ光源の光の進行方向が、当該フィルム平面に対する垂直方向からフィルムの縦方向に、２０°傾くように、配置される。
前記白色ＬＥＤ光源は、前記フィルムの地合部分（当該部分は、前記フィルムにおいて欠陥が無い部分である）が明度５のグレーになるように調光制御を行う。
当該走査において、暗部及び明部を、欠陥として、判断する。
前記暗部は、明度５のグレーから明度０の黒の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える部分として定義される。
前記明部は、明度５のグレーから明度１０の白の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える部分として定義される。
前記欠陥のうち、次の条件（１）又は（２）を満たすものを、線状欠陥として外観検査機により計数する。
条件（１）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］のいずれかが、１．３０以上であるもの
条件（２）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］の両方が、１．３０以下であって、かつ［Ｒ２］が０．４９以下であるもの
ここで、［Ｗ］は外接幅、［Ｌ］は外接長さ、及び［Ｒ２］は占有面積比率である。
当該外接幅は、前記欠陥の、走査方向に対する直角方向の長さとして定義される。
当該外接長さは、前記欠陥の、走査方向の長さとして定義される。
当該占有面積比率は、前記欠陥の、外接方形に対する明部と暗部の面積の比率として定として定義される。
ここで、前記フィルムを１８ｍｍ×１８ｍｍの正方形に区画割りしたときに、当該区画をはみ出る、［Ｗ］及び［Ｌ］の少なくとも一方が１８ｍｍ以上である１本の線状欠陥は、当該線状欠陥が及ぶ区画の数の線状欠陥であるとみなされる。
項５．
透明圧電パネル用である、項１〜４のいずれか１項に記載の有機圧電フィルム。
項６．
第１の透明電極と、
項１〜５のいずれか１項に記載の有機圧電フィルムと、
第２の透明電極と、
をこの順で有する、
透明圧電パネル。
項７．
項６に記載の透明圧電パネルと、
圧力検出部と、
位置検出部と、
を有する
タッチ入力装置。
項８．
項７に記載のタッチ入力装置
を有する電子機器。

本発明の有機圧電フィルムによれば、タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきが小さい、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）が得られる。
また、本発明の有機圧電フィルムによれば、線状欠陥による外観上の問題が無い、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）が得られる。

本発明の有機圧電フィルムの製造方法及びこれに用いられる製造装置の概要を示す斜視図である。 針状電極による非分極フィルムの帯電域を示す説明図である。 本発明の有機圧電フィルムの製造方法及びこれに用いられる製造装置の他の実施形態の概要を示す模式図である。 本発明の有機圧電フィルムの欠陥測定方法の説明図である。 本発明の有機圧電フィルムの欠陥測定方法の説明図である。

以下に、本明細書で用いられる用語を説明する。
本明細書中、線状欠陥とは、長さ／幅の比が1.3以上である、表面欠陥を意味する。その例としては、シワ、及びキズが挙げられる。
本明細書中、「タッチ位置」の「検出」は、タッチ位置の決定を意味し、一方、「タッチ圧」の「検出」は、押圧の有無、速度、大きさ（強弱）、又はこれらの変化、或いはこれらの組み合わせの決定を意味する。
本明細書中、用語「タッチ」は、触れること、触れられること、押すこと、押されること、及び接触すること、を包含する。
本明細書中、用語「分極化」は、表面に電荷を付与されていることを意味する。すなわち、分極化フィルムは、エレクトレットであることができる。

１．有機圧電フィルム

本明細書中、「有機圧電フィルム」は、有機物である重合体から形成されるフィルム（重合体フィルム）である。有機圧電フィルムは、好ましくは透明である。当該「有機圧電フィルム」としては、例えば、分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルム、奇数鎖ナイロン圧電フィルム、及びポリ乳酸が挙げられる。当該「有機圧電フィルム」は、当該重合体以外の成分を含有してもよい。
本発明の有機圧電フィルムにおける当該重合体の含有量は、好ましくは、８０質量％以上、より好ましくは８５質量％以上、更に好ましくは９０質量％である。当該含有量の上限は特に制限されず、例えば、１００質量％であってもよいし、９９質量％であってもよい。
当該重合体は、好ましくは、フッ化ビニリデン系重合体である。
本発明の有機圧電フィルムは、好ましくは分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルムである。
本明細書中、「フッ化ビニリデン系重合体フィルム」の例としては、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム、フッ化ビニリデン／トリフロオロエチレン共重合体フィルム、及びポリフッ化ビニリデンフィルムが挙げられる。
前記フッ化ビニリデン系重合体フィルムは、好ましくはフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムである。
当該「フッ化ビニリデン系重合体フィルム」は、樹脂フィルムに通常用いられる添加剤を含有してもよい。

当該「フッ化ビニリデン系重合体フィルム」は、フッ化ビニリデン系重合体から構成されるフィルムであり、フッ化ビニリデン系重合体を含有する。

当該「フッ化ビニリデン系重合体」の例としては、
（１）フッ化ビニリデンと、これと共重合可能な１種以上のモノマーと、の共重合体；及び
（２）ポリフッ化ビニリデン
が挙げられる。

当該「（１）フッ化ビニリデンと、これと共重合可能な１種以上のモノマーと、の共重合体」における「これと共重合可能なモノマー」の例としては、トリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、クロロトリフルオロエチレン、及びフッ化ビニルが挙げられる。
当該「これと共重合可能な１種以上のモノマー」又はそのうちの１種は、好ましくはテトラフルオロエチレンである。
当該「フッ化ビニリデン系重合体」の好ましい例としては、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体が挙げられる。
当該「フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体」は、本発明に関する性質が著しく損なわれない限りにおいて、フッ化ビニリデン及びテトラフルオロエチレン以外のモノマーに由来する繰り返し単位を含有してもよい。
前記「（１）フッ化ビニリデンと、これと共重合可能な１種以上のモノマーと、の共重合体」は、フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位を５０モル％以上（好ましくは６０モル％以上）含有する。

前記「フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体」は、好ましくは、（テトラフルオロエチレンに由来する繰り返し単位）／（フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位）のモル比が５／９５〜１８／８２の範囲内、又は２５／７５〜４０／６０の範囲内である。
前述したように、前記「フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体」は、本発明に関する性質が著しく損なわれない限りにおいて、フッ化ビニリデン及びテトラフルオロエチレン以外のモノマーに由来する繰り返し単位を含有してもよい。通常、このような繰り返し単位の含有率は、１０モル％以下である。このようなモノマーは、フッ化ビニリデンモノマー、及び／又はテトラフルオロエチレンモノマーと共重合可能なものである限り限定されないが、その例としては、
（１）フルオロモノマー（例、ビニルフルオリド（ＶＦ）、トリフルオロエチレン（ＴｒＦＥ）、ヘキサフルオロプロペン（ＨＦＰ）、１−クロロ−１−フルオロ−エチレン（１，１−ＣＦＥ）、１−クロロ−２−フルオロ−エチレン（１，２−ＣＦＥ）、１−クロロ−２，２−ジフルオロエチレン（ＣＤＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）、トリフルオロビニルモノマー、１，１，２−トリフルオロブテン−４−ブロモ−１−ブテン、１，１，２−トリフルオロブテン−４−シラン−１−ブテン、ペルフルオロアルキルビニルエーテル、ペルフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）、ペルフルオロプロピルビニルエーテル（ＰＰＶＥ）、ペルフルオロアクリラート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリラート、２−（ペルフルオロヘキシル）エチルアクリラート）；並びに
（２）炭化水素系モノマー（例、エチレン、プロピレン、無水マレイン酸、ビニルエーテル、ビニルエステル、アリルグリシジルエーテル、アクリル酸系モノマー、メタクリル酸系モノマー、酢酸ビニルが挙げられる。

本発明の有機圧電フィルムの厚さは、通常３〜１００μｍの範囲内、好ましくは６〜５０μｍの範囲内、より好ましくは９〜４０μｍの範囲内、更に好ましくは１０〜４０μｍ、より更に好ましくは１０〜３０μｍの範囲内である。

本発明の有機圧電フィルムは、線状欠陥の数が２，０００個／ｍ^２以下であり、好ましくは１,５６０個以下、より好ましくは１，５００個／ｍ^２以下、更に好ましくは５６０個以下、より更に好ましくは２４０個以下、特に好ましく５０個以下である。
これにより、本発明の有機圧電フィルムを用いることで、タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきが小さい、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）が得られる。

外観検査機による欠陥測定
線状欠陥の数の測定は、外観検査機によって行うことができる。当該欠陥測定は、次の方法で実施される。ここで、理解の容易のため、図４及び５を参照する。これらの図中、白矢印は、スリット５２を通した白色ＬＥＤ光源５３の光の進行方向を示し、及び、黒矢印は、フィルム５４の移動方向（当該方向は、フィルム５４の縦方向である。）を示す。
＜欠陥測定方法＞
ＣＣＤカメラ５１（当該ＣＣＤカメラ５１は、長さ５９６ｍｍの帯状の実視野５６、０．０１０ｍｍ／ｓｃａｎの走査方向分解能、及び０．０７１ｍｍ／ｐｉｘｅｌの実視野幅方向分解能を有する。）、スリット５２、及び白色ＬＥＤ光源５３を備える外観検査機を使用し、前記スリット５２を通した前記白色ＬＥＤ光源５３の光の進行方向中に、前記ＣＣＤカメラ５１を、当該光を受光できるように、前記実視野５６の長さ方向と前記スリット５２の方向とを一致させて配置し、前記スリット５２と前記ＣＣＤカメラ５１の間を、検査されるフィルム５４をその縦方向に１０ｍ／分の速さで移動させながら、前記ＣＣＤカメラ５１により前記白色ＬＥＤ光源５３の光を前記検査されるフィルム５４を通して受光することによって、当該フィルム５４のＡ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の範囲を走査する。
ここで、当該フィルム５４は、前記実視野５６の長さ方向と前記スリット５２の方向が、前記フィルム５４の横方向から２０°傾くように（すなわち、図５においてθ２が２０°になるように）、配置される。
また、ここで、当該フィルム５４は、前記白色ＬＥＤ光源５３の光の進行方向が、当該フィルム５４平面に対する垂直方向からフィルム５４の縦方向に、２０°傾くように（すなわち、図４においてθ１が２０°になるように）、配置される。
前記白色ＬＥＤ光源５３は、前記フィルム５４の地合部分（当該部分は、前記フィルム５４において欠陥が無い部分である）が明度５のグレーになるように調光制御を行う。
当該走査において、暗部及び明部を、欠陥として、判断する。
前記暗部は、明度５のグレーから明度０の黒の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える部分（当該部分は、より暗い部分である）として定義される。
前記明部は、明度５のグレーから明度１０の白の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える（当該部分は、より明るい部分である）部分として定義される。
前記欠陥のうち、次の条件（１）又は（２）を満たすものを、線状欠陥として外観検査機により計数する。
ここで、前記フィルム５４を１８ｍｍ×１８ｍｍの正方形に区画割りしたときに、当該区画をはみ出る、［Ｗ］及び［Ｌ］の少なくとも一方が１８ｍｍ以上である１本の線状欠陥は、当該線状欠陥が及ぶ区画の数の線状欠陥であるとみなされる。
条件（１）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］のいずれかが、１．３０以上であるもの
条件（２）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］の両方が、１．３０以下であって、かつ［Ｒ２］が０．４９以下であるもの
ここで、［Ｗ］は外接幅、［Ｌ］は外接長さ、及び［Ｒ２］は占有面積比率である。
当該外接幅は、前記欠陥の、走査方向に対する直角方向の長さ（当該長さは、前記欠陥の外接方形の幅である）として定義される。
当該外接長さは、前記欠陥の、走査方向の長さ（当該長さは、前記欠陥の外接方形の長さである）として定義される。
当該占有面積比率は、前記欠陥の、外接方形に対する明部と暗部の面積の比率として定として定義される。
なお、前記外接方形は、走査方向に平行な辺を有する。
外観検査機としては、ＭａｘＥｙｅ．Ｉｍｐａｃｔ（商品名、ヒューテック社）、又は前記欠陥測定方法においてこれと同様の測定結果が得られる外観検査機を用いる。
当該外観検査機が備えるＬＥＤ光源は、定電流駆動であり、連続点灯方式であり、光量は１〜１００％までほぼ直線的に調光可能であり、及び１００％出力で１２００００Ｌｕｘである。
ＭａｘＥｙｅ．Ｉｍｐａｃｔ（商品名、ヒューテック社）を用いた場合、具体的には、次のようにパラメータを設定して測定する。
［ＤＰ］：３５以上、（１）［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］のいずれかが、１．３０以上であるもの、及び（２）［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］の両方が、１．３０以下であって［Ｒ２］が０．４９以下であるものを計数する。

本発明の有機圧電フィルムは、１００℃の温度で６０分加熱して生じるカールが±１０ｍｍ以内であることが好ましい。カールの程度を上述の範囲とすることにより、本発明の有機圧電フィルムを、圧電フィルム等の精度が要求される用途に用いるのに適したフィルムとすることができる。
前記カールは、幅１００ｍｍ長さ１００ｍｍにカットしたフィルムを金属板上に中心のラインに沿ってテープで貼り付け、１００℃で６０分加熱したのちの両端部の金属板からの浮き上がり長さをノギスで測定する手法により測定される。
本発明の有機圧電フィルムのカールを±１０ｍｍ以内とする方法としては、例えば、後述する本発明の有機圧電フィルムの製造方法において、基材と有機圧電フィルムとの剥離強度を０．１Ｎ／ｃｍ以下、溶媒を気化するための乾燥温度を２００℃以下、並びに、溶媒中にフィルムを構成する重合体、及び所望による成分を溶解又は分散させて調製した液状組成物中の、フィルムを構成する重合体の固形分濃度を５質量％以上とする方法が挙げられる。

２．有機圧電フィルムの製造方法
本発明の有機圧電フィルム（好ましくは、分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルム、より好ましくは分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム）は、例えば、非分極の有機フィルム（好ましくは、非分極のフッ化ビニリデン系重合体フィルム、より好ましくは非分極のフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム）（以下、単に「非分極フィルム」と称する場合がある。）を分極化させることによって得られる。

（１）非分極フィルムの用意
非分極フィルムは、フィルムを構成する重合体（好ましくは、前記のフッ化ビニリデン系重合体、より好ましくは、前記のフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体）を用いて、キャスティング法、熱プレス法、又は溶融押出法等の公知の方法で製造できる。前記非分極フィルムは、好ましくは、キャスティング法で製造されたフィルムである。

キャスティング法による、前記非分極フィルムの製造方法は、例えば、
（１）溶媒中に、フィルムを構成する重合体を溶解させて、液状組成物を調製する工程；
（２）前記液状組成物を基材上に流延する工程；及び
（３）前記溶媒を気化させて、フィルムを形成させる工程：
を含む製造方法である。

液状組成物の調製における溶解温度は特に限定されないが、溶解温度を高くすると溶解を促進できるので好ましい。しかし、溶解温度が高すぎると、得られるフィルムが着色してしまう傾向があるので、溶解温度は、室温以上８０℃以下であることが好ましい。
また、かかる着色を防止する意味から、前記溶媒の好ましい例としては、ケトン系溶媒（例、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、アセトン、ジエチルケトン、ジプロピルケトン）、エステル系溶媒（例、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、乳酸エチル）、エーテル系溶媒（例、テトラヒドロフラン、メチルテトラヒドロフラン、ジオキサン）、及びアミド系溶媒（例、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、ジメチルアセトアミド）が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、又は２種以上を組み合わせて用いられ得る。前記溶媒として、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）の溶解に汎用される溶媒であるアミド系溶媒を用いてもよいが、溶媒中のアミド系溶媒の含有率は５０％以下であることが望ましい。

前記液状組成物の基材上への流延（塗布）は、前記液状組成物の基材上への流延（塗布）は、ナイフコーティング方式、キャストコーティング方式、ロールコーティング方式、グラビアコーティング方式、ブレードコーティング方式、ロッドコーティング方式、エアドクタコーティング方式、またはスロットダイ方式等の慣用の方法に基づき行えばよい。なかでも、操作性が容易な点、得られるフィルム厚さのバラツキが少ない点、生産性に優れる点から、グラビアコーティング方式、又はスロットダイ方式が好ましい。当該基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用いることができる。

前記溶媒の気化は、加熱等の慣用の乾燥方法によって実施できる。
前記溶媒の気化における乾燥温度は溶媒の種類等に応じて適宜決定され得るが、通常、２０℃〜２００℃の範囲内であり、より好ましくは４０℃〜１７０℃の範囲内である。乾燥時間は、通常１〜６００秒間の範囲内、好ましくは１〜２００秒間の範囲内である。
当該乾燥温度は、乾燥温度条件を低温（例、４０〜１００℃）から高温（例、１２０〜２００℃）に変化させることが、ヘイズ値が低いフィルムが得られる点で好ましい。これは、例えば、乾燥ゾーンを数ゾーンに分割し、フィルムが低温のゾーンから入って高温のゾーンに移送することによって実現できる。
具体的には、例えば、乾燥ゾーンを５０℃、８０℃、１２０℃、及び１５０℃の５ゾーンに分割し、フィルム（又はフィルム形成前の流延された溶液）を５０℃のゾーンから１５０℃のゾーンへ連続的に移動させればよい。この場合、各ゾーンでの加熱時間は、好ましくは、それぞれ、１〜１００秒間の範囲内、１〜１００秒間の範囲内、１〜１００秒間の範囲内、及び１〜１００秒間の範囲内である。

このようにして調製される非分極フィルムの厚さは、得ようとする圧電フィルムに応じて設定すればよい。

分極に供される非分極フィルムは、好ましくは、延伸されていないものである。より好ましくは、本発明の有機圧電フィルムの製造方法のどの段階においても、当該非分極フィルムを、延伸しない。
このようにして得られる本発明の有機圧電フィルムは、その厚さの均一性が高い。

（２）非分極フィルムの分極
非分極フィルムの分極は、例えば、グランド電極上に直接載置された非分極フィルム（好ましくは、フッ化ビニリデン系重合体フィルム、より好ましくは、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム）を、前記グランド電極との間に印加電圧を加えた第１電極を用いたコロナ処理によって帯電させて、前記非分極フィルムを前記グランド電極に、静電気によって貼り付ける工程Ａ、及び
前記グランド電極に貼り付いた非分極フィルムを、前記グランド電極との間に印加電圧を加えた第２電極を用いたコロナ処理によって分極化させる工程Ｂ
を含む方法によって実施される。

非分極フィルムの分極は、好ましくはクリーンルーム内、より好ましくはＩＳＯクラス７より清浄度の良いクリーンルーム内で実施される。これにより、線状欠陥の発生を防止できる。
非分極フィルムの分極は、好ましくは湿度７０％以下、より好ましくは６０％以下の環境下で実施される。これにより、コロナ処理時の短絡による、欠陥の発生を防止できる。

工程Ａ（帯電処理）

工程Ａでは、グランド電極上に直接載置された非分極フィルムを、前記グランド電極との間に印加電圧を加えた第１電極を用いたコロナ処理によって帯電させて、前記非分極フィルムを前記グランド電極に、静電気によって貼り付ける。
工程Ａで用いられる「非分極フィルム」は、製造後に保管されたものであることができる。この場合、当該非分極フィルムは、その表面が保護フィルムで保護されたものであることが好ましく、当該保護フィルムは、工程Ａの直前に剥離されることが好ましい。当該保護フィルムは、例えば、前記液状組成物の基材上への流延（塗布）で述べた基材自体であってもよい。

工程Ａで用いられる非分極フィルムの厚さは、得ようとする有機圧電フィルムの厚さと同様の厚さを選択すればよい。

工程Ａで用いられる非分極フィルムは、線状欠陥が無い、又は少ないことが好ましい。具体的には、線状欠陥の数が２，０００個／ｍ^２以下であり、好ましくは１,５６０個以下、より好ましくは１，５００個／ｍ^２以下、更に好ましくは５６０個以下、より更に好ましくは２４０個以下、特に好ましく５０個以下である。当該線状欠陥の数は前記の方法により測定される。
工程Ａで用いられる非分極フィルムは、当該分極化樹脂フィルムの製造における線状欠陥の発生を抑制する観点から、厚さが均一であることが好ましい。具体的には、工程Ａで用いられる非分極フィルムは、平面方向の全体に渡って１ｃｍ四方毎に１０箇所において厚さを測定したときの厚さの変動係数が１０％以下である。
前記「（１）非分極フィルムの用意」で記載した好適な方法により製造された非分極フィルムは、これらの性質を有する傾向が高いが、単に、これらの性質を有する非分極フィルムを選択して工程Ａに用いてもよい。

第１電極でコロナ処理可能な幅（帯電幅）と、フィルムの幅は一致していることが好ましい。

コロナ放電には、負コロナ及び正コロナのいずれを用いてもよいが、非分極フィルムの帯電しやすさの観点から負コロナを用いることが望ましい。コロナ放電は好ましくは直流コロナ放電である。
当該帯電によって、前記非分極フィルムを前記グランド電極に、静電気によって貼り付ける。
当該帯電によって、前記非分極フィルムを前記グランド電極に、その間の空気を押し出すように静電気によって貼り付けることが好ましい。
非分極フィルムと前記グランド電極との間の空気を押し出すことは、例えば、非分極フィルムの一端から、反対側の端へと連続的にコロナ処理することによって行うことができる。すなわち、これにより、非分極フィルムがその端から連続的に前記グランド電極に張り付つくので、空気が押し出される。

従って、工程Ａは、好ましくは、前記グランド電極上に直接載置された前記非分極フィルムを、前記第１電極に対して相対的に移動させながら実施される。当該移動の速度を工程Ａの処理速度と称する場合がある。当該移動は、例えば、前記非分極フィルムのコロナ処理を受ける位置が変わるように、前記グランド電極及び／又は前記第１電極を移動させることによって実施できる。

第１電極は、例えば、針状電極又は線状電極であることができるが、好ましくは針状電極である。

第１電極が、針状電極である場合、前記第１電極は、当該移動方向に対して垂直方向に配置された複数の針状電極である。当該複数の針状電極は、当該移動方法において概ね垂直方向に配置されていればよく、また、一列又は複数の列に配置されることができる。
当該複数の針状電極は、非分極フィルムを隙間無く帯電できるように配置されていることが好ましい。すなわち、複数の針状電極が一定の距離内に配置されていることが好ましい。このような距離は、針状電極の形状（鋭さ）、針状電極と非分極フィルムとの距離、及び針状電極に印可される電圧等によって異なるが、具体的には例えば、１．５ｃｍ未満、１．２ｃｍ未満等である。電圧が高い場合、当該距離を大きくできる。

前記第１電極がこのような電極であることにより、非分極フィルムの一端から、反対側の端へと連続的なコロナ処理において、空気が押し出され易くなり、空気の残存を高度に抑制できる。このことは、非分極フィルムのグランド電極に貼り付いた部分の端の形状が一直線ではないことによる空気の押し出され易さ（空気の逃げやすさ）に基づくと推測されるが、本発明はこれに限定されるものではない。

工程Ａにおけるコロナ処理の条件としては、非分極フィルムの帯電に適した条件が設定される。
後記工程Ｂでもコロナ処理が行われるが、工程Ａでは、工程Ｂに比べて弱い条件でコロナ処理が行われる。当該条件は、主として、針状電極の鋭さ、電極から対象物（フィルム）の距離、及び電圧等によって調整できる。針状電極が鋭いほどコロナ処理の条件は強く、電極から対象物（フィルム）の距離が短いほどコロナ処理の条件は強く、及び電圧が高いほどコロナ処理の条件は強い。当該条件は、これらの組み合わせによって調整できる。具体的には、例えば、帯電について工程Ａのコロナ処理（帯電処理）と工程Ｂのコロナ処理（分極処理）を比べると、処理後のフィルムの表面電位は工程Ａ（帯電処理）＜工程Ｂ（分極処理）である。例えば、電極から対象物（フィルム）の距離が同じ場合には、印加電圧は工程Ａ（帯電処理）＜工程Ｂ（分極処理）となる。また、電極から対象物（フィルム）への印加電圧が同じ場合、電極から対象物（フィルム）の距離は工程Ａ（帯電処理）＞工程Ｂ（分極処理）となる。

この条件が緩やか過ぎると、帯電が不十分になり、非分極フィルムと前記グランド電極との間の空気が残存して、最終的に得られる非分極フィルムに線状欠陥が生じる場合がある。一方、この条件が厳しすぎると、非分極フィルムにコロナ処理による線状欠陥が生じ、その結果、最終的に得られる非分極フィルムに線状欠陥が残る場合がある。

このようなコロナ処理の条件の要素としては、例えば、グランド電極との間に第１電極に印加される電圧、第１電極と非分極フィルムとの間の距離、及び工程Ａの処理速度が挙げられる。
これらの要素のうち、ある要素において厳しい条件を選択した場合、総合的に適当なコロナ処理の条件にするため、他の要素において緩やかな条件を選択し得る。

前記グランド電極との間に第１電極に印加される電圧が強いほど、工程Ａにおけるコロナ処理の条件は厳しくなる。当該電圧は、具体的には、例えば、−５〜−１５ｋＶである。

第１電極と非分極フィルムの間の距離は、第１電極とグランド電極との間の距離と実質的に同じであり、これらの距離が短いほど、工程Ａにおけるコロナ処理の条件は厳しくなる。当該距離は、具体的には、例えば、１ｍｍ〜５０ｍｍ、５〜１５ｍｍである。

工程Ａの処理速度が遅いほど、工程Ａにおけるコロナ処理の条件は厳しくなる。工程Ａの処理速度としては、具体的には、例えば、１０〜５００ｃｍ／分が選択される。当該速度は、第１電極の形状等によって異なる。例えば、第１電極が線状電極である場合、その数が多いほど当該速度を高くできる。

工程Ｂ（分極処理）
工程Ｂでは、前記グランド電極に貼り付いた非分極フィルムを、前記グランド電極との間に印加電圧を加えた第２電極を用いたコロナ処理によって分極化させる。

第２電極でコロナ処理可能な幅（分極幅）と、フィルムの幅は一致していることが好ましい。

コロナ放電には、負コロナ及び正コロナのいずれを用いてもよいが、非分極フィルムの分極しやすさの観点から負コロナを用いることが望ましい。

工程Ｂは、前記工程Ａによって前記グランド電極に非分極フィルムが貼り付いている間に実施される。

工程Ｂは、好ましくは、前記グランド電極上に直接載置された前記非分極フィルムを、前記第２電極に対して相対的に移動させながら実施される。当該移動の速度を工程Ｂの処理速度と称する場合がある。当該移動は、例えば、前記非分極フィルムを移動させることによっても実施でき、前記非分極フィルムのコロナ処理を受ける位置が変わるように、前記グランド電極及び／又は前記第２電極を移動させることによって実施できる。
前記工程Ａにおいて、非分極フィルムの一端から、反対側の端へと連続的なコロナ処理が実施される場合、前記工程Ａのコロナ処理が、反対側の端へ達する前に、工程Ｂのコロナ処理を前記一端から開始することができる。

第２電極は、例えば、針状電極又は線状電極であることができる。

第２電極が、線状電極である場合、当該線状電極は、前記非分極フィルムの移動方向に対して垂直方向に配置される。第２電極の数は、１個であってもよく２個以上（例、２個、３個、４個）であってもよい。比較的低い電圧で非分極フィルムの分極を完全に行う観点からは、当該線状電極の数は、穏やかな条件で十分に分極するため、２個以上であることが好ましく、具体的には、例えば２個が好ましい。各線状電極は、それぞれ別個の電源に接続されていてもよい。
比較的低い電圧で非分極フィルムの分極を行うことにより、高い電圧に起因するフィルムの線状欠陥の発生を軽減できる。この場合、一方、分極が十分になるように、処理速度をより遅くすることが好ましい。
第２電極が、針状電極である場合、前記第２電極は、分極処理されるフィルム面に対して鉛直方向に配置された複数の針状電極である。当該複数の針状電極は、当該移動方法において概ね垂直方向に配置されていればよく、また、一列又は複数の列に（言い換えると、１次元または２次元に）配置されることができる。
当該複数の針状電極は、非分極フィルムを隙間無く分極できるように配置されていることが好ましい。すなわち、複数の針状電極が一定の距離内に配置されていることが好ましい。このような距離は、針状電極の形状、針状電極と非分極フィルムとの距離、及び針状電極に印可される電圧等によって異なるが、具体的には例えば、１．５ｃｍ未満、１．２ｃｍ未満である。電圧が高い場合、当該距離を大きくできる。

工程Ｂにおけるコロナ処理の条件としては、非分極フィルムの分極に適した条件が設定される。
工程Ａについての記載から理解されるように、工程Ｂでは、工程Ａに比べて強い条件でコロナ処理が行われる。当該条件は、主として、針状電極の鋭さ又は線状電極の太さ、電極から対象物（フィルム）の距離、及び電圧等によって調整できる。針状電極が鋭いほどコロナ処理の条件は強く、線状電極が細いほどコロナ処理の条件は強く、電極から対象物（フィルム）の距離が短いほどコロナ処理の条件は強く、及び電圧が高いほどコロナ処理の条件は強い。当該条件は、これらの組み合わせによって調整できる。
この条件が緩やか過ぎると、分極が不十分になる。一方、この条件が厳しすぎると、非分極フィルムにコロナ処理による線状欠陥が生じる。

このような条件の要素としては、例えば、グランド電極との間に第２電極に印加される電圧、第２電極と非分極フィルムの間の距離、及び工程Ｂの処理速度が挙げられる。
これらの要素のうち、ある要素において厳しい条件を選択した場合、総合的に適当なコロナ処理の条件にするため、他の要素において緩やかな条件を選択し得る。

前記グランド電極との間に第２電極に印加される電圧が強いほど、工程Ｂにおけるコロナ処理の条件は厳しくなる。当該電圧は、第２電極と非分極フィルムの間の距離等によって異なるが、具体的には、例えば、−１５〜−２５ｋＶである。

第２電極と非分極フィルムの間の距離は、第２電極とグランド電極との間の距離と実質的に同じであり、これらの距離が短いほど、工程Ｂにおけるコロナ処理の条件は厳しくなる。当該距離は、例えば、１〜５０ｍｍ、好ましくは１０〜２５ｍｍである。

工程Ｂの処理速度が遅いほど、工程Ｂにおけるコロナ処理の条件は厳しくなる。工程Ｂの処理速度は、例えば、１０〜５００ｃｍ／分である。当該速度は、第２電極の形状等によって異なる。例えば、第２電極が線状電極である場合、当該速度を高くできる。

工程Ｂにおけるコロナ処理時の非分極フィルムの温度は、好ましくは、２０℃〜１２０℃、より好ましくは２０℃〜８５℃である。分極中に加熱しながら放電することにより、チャージされた電荷、圧電性の耐熱性を向上させることができる。

工程Ｂで分極化されたフィルムは、すぐに除電することが好ましい。当該除電は、例えば、当該フィルムを、アースされた金属と接触させることにより、実施できる。

本発明の有機圧電フィルムは、熱安定性付与等の目的で、熱処理されていてもよい。
本発明の有機圧電フィルムが、非分極フィルムの分極によって得られる場合、当該熱処理の工程（以下、工程Ｃと称する場合がある）は、非分極フィルムの分極（工程Ａ及び工程Ｂ）に対して任意の時点で、行われる。すなわち、工程Ｃは、非分極フィルムの分極の前、非分極フィルムの分極と同時、又は非分極フィルムの分極の後に実施できる。工程Ｃを非分極フィルムの分極の後に行う場合、工程Ｃの熱処理は、非分極フィルムの分極で得られた分極化フィルム、又は非分極フィルムの分極において分極を完了した部分に対して行うことができる。すなわち、非分極フィルムの分極の処理を実施しながら、当該分極の処理を終えた部分に対して工程Ｃの熱処理を実施してもよい。
熱処理の方法は、特に限定されないが、例えば、前記無延伸の重合体フィルム（以下、単に前記フィルムと称する場合がある）を２枚の金属板で挟み、当該金属板を加熱すること；前記フィルムのロールを恒温槽中で加熱すること；又はロール・ツー・ロール方式での前記フィルムの生産において、金属ローラーを加熱し、前記フィルムを、当該加熱した金属ローラーに接触させること；又は前記フィルムを加熱した炉の中にロール・ツー・ロールで通していくことにより行うことができる。ここで、工程Ｃを分極処理の後に行う場合、分極化フィルムは単体で熱処理してもよいし、或いは別種のフィルム又は金属箔上に重ねて積層フィルムを作成し、これを熱処理してもよい。とりわけ、高温で熱処理する場合には後者の方法のほうが、分極化フィルムにしわが入りにくいので好ましい。
前記熱処理の温度は、熱処理される分極化フィルムの種類によって異なる場合があり、好ましくは（熱処理される分極化フィルムの融点−１００）℃〜（熱処理される分極化フィルムの融点＋４０）℃の範囲内である。
前記熱処理の温度は、具体的には、好ましくは８０℃以上、より好ましくは８５℃以上、更に好ましくは９０℃以上である。
また、前記熱処理の温度は、好ましくは１７０℃以下、より好ましくは１６０℃以下、更に好ましくは１４０℃以下である。
前記熱処理の時間は、通常、１０秒間以上、好ましくは０．５分間以上、より好ましくは１分間以上、更に好ましくは２分間以上である。
また、前記熱処理の時間の上限は限定されないが、通常、前記熱処理の時間は６０分間以下である。
前記熱処理の条件は、好ましくは９０℃以上で１分間以上である。

例えば、本発明の有機圧電フィルムが、非分極フィルムの分極処理、及びその後の熱処理によって得られる場合、当該分極化処理後の線状欠陥の数は、２，０００個／ｍ^２以下であり、好ましくは１,５６０個以下、より好ましくは１，５００個／ｍ^２以下、更に好ましくは５６０個以下、より更に好ましくは２４０個以下、特に好ましく５０個以下である。また、当該熱処理後の線状欠陥の数は、２，０００個／ｍ^２以下であり、好ましくは１,５６０個以下、より好ましくは１，５００個／ｍ^２以下、更に好ましくは５６０個以下、より更に好ましくは２４０個以下、特に好ましく５０個以下である。

分極後のフィルムは、一時保管等の目的により、巻き取って、ロールの形態にされ得る。この際、分極後のフィルムに、硬いすべり製のある基材（例、ＰＥＴフィルム）等を重ねて巻き取ることが、線状欠陥の発生を抑制する観点から好ましい。
また、この巻き取りの際に用いられる芯はより大きい直径を有することが、線状欠陥の発生の抑制の観点から好ましい。

分極後のフィルムは、好ましくは、その幅方向の両端部をスリッターで耳おとし（スリット）される。
これにより、分極が不充分な部分の除去、及び本発明の有機圧電フィルムをロールの形態にする場合の耳立ちを抑制できる。
スリットで除去された耳（フィルム端）は、回収して、本発明の有機圧電フィルムの原料として、リサイクルできる。
スリットで除去する幅は、好ましくは、０．５〜１０ｃｍの範囲内である。

別法として、分極処理は、コロナ放電の他に、例えば非分極フィルムの両面から平板電極で挟み込んで印加することにより実施してもよい。具体的には、例えば、非分極フィルムの両面から平板電極で挟み込んで印加を実施する場合、０〜４００ＭＶ／ｍ（好ましくは、５〜４００ＭＶ／ｍ）の直流電界、及び０．１秒〜６０分間の印加時間の条件を採用できる。

このようにして得られた有機圧電フィルムは、通常、線状欠陥の数が２，０００個／ｍ^２以下、好ましくは１,５６０個以下、より好ましくは１，５００個／ｍ^２以下、更に好ましくは５６０個以下、より更に好ましくは２４０個以下、特に好ましく５０個以下であるが、線状欠陥の数が所望する数以下でない部分が存在する場合、これを除去して使用してもよい。

本発明の有機圧電フィルムは、全光線透過率が通常９０％以上であり、好ましくは９２％以上、より好ましくは９５％以上である。当該全光線透過率の上限は限定されないが、本発明の有機圧電フィルムの全光線透過率は、通常９９％以下である。
本明細書中、「全光線透過率」は、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に基づき、ヘイズガードＩＩ（製品名）（東洋精機製作所）又はその同等品を使用した光透過性試験によって得られる。

本発明の有機圧電フィルムの全ヘイズ値は、通常、４．０％以下、好ましくは、３．０％以下、より好ましくは２．０％以下、更に好ましくは１．５％以下、より更に好ましくは１．０％以下である。当該全ヘイズ値は低いほど好ましく、その下限は限定されないが、本発明の有機圧電フィルムの全ヘイズ値は、通常０．２％以上である。
本明細書中、「全ヘイズ値」（total haze）は、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に準拠し、ヘイズガードＩＩ（製品名）（東洋精機製作所）又はその同等品を使用したヘイズ（ＨＡＺＥ、濁度）試験によって得られる。

本発明の有機圧電フィルムの内部ヘイズ値は、好ましくは２．０％以下、より好ましくは１．５％以下、より更に好ましくは１．２％以下、より更に好ましくは１．０％以下である。当該内部ヘイズ値は低いほど好ましく、その下限は限定されないが、本発明の有機圧電フィルムの内部ヘイズ値は、通常０．１％以上である。
本明細書中、「内部ヘイズ値」（inner haze）は、前記全ヘイズ値の測定方法において、ガラス製セルの中に水を入れて、その中にフィルムを挿入し、ヘイズ値を測定することにより、得られる。

本発明の有機圧電フィルムの外部ヘイズ値は、好ましくは２．０％以下、より好ましくは１．５％以下、更に好ましくは１．０％以下である。当該外部ヘイズ値は低いほど好ましく、その下限は限定されないが、本発明の有機圧電フィルムの外部ヘイズ値は、通常０．１％以上である。
本明細書中、「外部ヘイズ値」（outer haze）は、フィルムの全ヘイズ値から内部へイズ値を差し引くことで算出される。

本発明の有機圧電フィルムの電気機械結合係数は、通常０．１〜０．０１の範囲内、好ましくは０．０９〜０．０２の範囲内、より好ましくは０．０８〜０．０３の範囲内である。
本明細書中、電気機械結合係数をｋｔと略記する場合がある。

本発明において、有機圧電フィルムの「電気機械結合係数」（ｋｔ）は、有機圧電フィルムの両側にＡｌ蒸着電極を形成し、有機圧電フィルムの所定箇所について、１３ｍｍの円板を切り出し、インピーダンスアナライザ（ヒューレットパッカード社、４１９４Ａ）又はその同等品を用いて測定し、H. Ohigashiら、「The application of ferroelectric polymer, Ultrasonic transducers in the megahertz range」に記載の方法により、算出される。

本発明の有機圧電フィルムによれば、タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきが小さい、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）が得られる。
また、本発明の有機圧電フィルムによれば、線状欠陥による外観上の問題が無い、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）が得られる。
特に、本発明の有機圧電フィルムは、透明であり、及び、例えば、タッチパネルに使用された際等において、ディスプレイ素子によって作り出された映像又は画像の質の劣化の程度が極めて低いので、光学用途に好適に使用される。

次に、図１を参照して、本発明の有機圧電フィルムの製造方法の一態様を詳細に説明する。

本発明の有機圧電フィルムの製造方法に用いられる製造装置の概要を図１に示す。
本実施形態の製造装置１は、移送されるグランド電極２の上方に設けられた第１電極３と、グランド電極２の上方であり、かつ、グランド電極２の移動方向に沿って第１電極３の下流側に設けられた第２電極４とを備えている。
グランド電極２はアースされている一方で、第１電極３及び第２電極４にはそれぞれ第１高圧電源５及び第２高圧電源６が接続されている。第１電極３及び第２電極４とグランド電極２との間に、それぞれ第１高圧電源５及び第２高圧電源６から電圧が印加されることにより、第１電極３及び第２電極４からグランド電極２に向けてコロナ放電が発生する。
グランド電極２は、本実施形態では、平坦な上面を有しており、その上面に非分極フィルム７が直接載置されている。グランド電極２が、図１中に示す矢印Ｘ方向に移送されることで、非分極フィルム７も同方向に移送され、第１電極３及び第２電極４と順に対向配置されるように構成されている。
第１電極３は、本実施形態では、グランド電極２の移動方向Ｘに対して垂直方向Ｙに所定間隔をあけて配置された複数の針状電極３０から構成されている。各針状電極３０は、効果的にコロナ放電を生じさせるために、先端が尖った針状のものである。各針状電極３０は、例えば、アルミニウム、ステンレス鋼、タングステン、タンタルなどにより形成されており、その表面は、金メッキ等の処理が施されていてもよい。その先端がグランド電極２と対向している。各針状電極３０は、非分極フィルム７の前記垂直方向Ｙの幅を十分にカバーする程度設けられている。なお、複数の針状電極３０は、図１では、グランド電極２の移動方向Ｘに一列だけ設けられているが、複数列設けるようにしてもよい。また、複数の針状電極３０は、グランド電極２の移動方向Ｘに概ね垂直方向に配置されていればよい。
第２電極４は、本実施形態では、グランド電極２の移動方向Ｘに対して垂直方向Ｙに延びる線状電極４０から構成されている。線状電極４０は、例えば、アルミニウム、ステンレス鋼、タングステン、タンタルなどにより形成されており、その表面は、金メッキ等の処理が施されていてもよい。線状電極４０は、非分極フィルム７の前記垂直方向Ｙの幅を十分にカバーできる程度、グランド電極２上を並行に延びている。なお、線状電極４０は、図１では、グランド電極２の移動方向Ｘに２本設けられているが、１本または３本以上設けるようにしてもよい。また、線状電極４０は、グランド電極２の移動方向Ｘに概ね垂直方向に延びていればよい。
前記構成の製造装置１では、グランド電極２を移動方向Ｘへ移送させながら、まず、第１電極３とグランド電極２との間に電圧が印加されることで、グランド電極２上の非分極フィルム７が、第１電極３から発生するコロナ放電によって、その一端部（移動方向Ｘ側の端部）から他端部（移動方向Ｘの反対側の端部）に向かって順次帯電する。この帯電により、非分極フィルム７は、静電気によってその一端部から他端部まで連続的にグランド電極２に貼り付く。この際、グランド電極２と非分極フィルム７との間に介在する空気は、移動方向Ｘの反対方向へ押し出されていき、非分極フィルム７の他端部から排出されるので、グランド電極２上の非分極フィルム７が気泡や線状欠陥（特に、シワ）が入ることなく綺麗に貼り付く。次いで、非分極フィルム７が貼り付いた状態で、グランド電極２が移動方向Ｘへさらに移送され、第２電極４とグランド電極２との間に電圧が印加されることで、第２電極４から発生するコロナ放電によって、非分極フィルム７が、その一端部から他端部まで連続的に分極される。
ここで、前記した第１電極３による非分極フィルム７のグランド電極２への貼付処理（工程Ａ）において、第１電極３とグランド電極２との間に印加される電圧としては、例えば−５〜−１５ｋＶ程度が選択される。また、第１電極３と非分極フィルム７との間の距離は、第１電極３とグランド電極２との間の距離と実質的に同じであり、当該距離としては、例えば、１ｍｍ〜５０ｍｍ程度が選択され、好ましくは５〜１５ｍｍが選択される。また、グランド電極２の移送速度としては、例えば、１０〜５００ｃｍ／分が選択される。
さらに、第１電極３を構成する複数の針状電極３０は、図２に示すように、コロナ放電により帯電可能な非分極フィルムの帯電域９が、隣接する針状電極３０による非分極フィルムの帯電域９と少なくとも一部が重複するよう、配置間隔ｄが設定されている。これにより、非分極フィルム７が複数の針状電極３０により隙間無く帯電される。また、このとき、非分極フィルム７のグランド電極２に貼り付いた部分の端部１０の形状が直線状とはならず、波線状となることで、グランド電極２と非分極フィルム７との間の空気が押し出され易くなり、空気の残存を高度に抑制できる。
一方、前記した第２電極４による非分極フィルム７の分極処理（工程Ｂ）において、第２電極４とグランド電極２との間に印加される電圧としては、例えば−１５〜−２５ｋＶ程度が選択される。また、第２電極４と非分極フィルム７との間の距離は、第２電極４とグランド電極２との間の距離と実質的に同じであり、当該距離としては、例えば、１ｍｍ〜５０ｍｍ程度が選択され、好ましくは１０〜２５ｍｍが選択される。また、グランド電極２の移送速度としては、例えば、１０〜５００ｃｍ／分が選択される。
なお、グランド電極２は、温度制御装置８に接続されており、グランド電極２の温度を制御することで、電圧印加時の非分極フィルム７の温度を調整することができる。図示しない温度計等で電圧印加時の非分極フィルム７の温度を計測し、工程Ａにおける貼付処理時の非分極フィルム７の温度を、２０℃〜１２０℃、より好ましくは２０℃〜８５℃となるように制御するのが好ましい。また、工程Ｂにおける分極処理時の非分極フィルム７の温度を、２０℃〜１２０℃、より好ましくは２０℃〜８５℃となるように制御するのが好ましい。分極中に加熱しながら放電することにより、チャージされた電荷、圧電性の耐熱性を向上させることができる。

なお、前記で説明した本発明の態様は、本発明の一態様を示したものであって、本発明は、これに限定されるものではなく、本発明の要件を備え、本発明の目的及び効果を達成できる範囲内での変形や改良が可能であり、このような変形物及び改良物もまた、本発明の内容に含まれるものであることはいうまでもない。
例えば、第１電極３を線状電極により構成することもできるし、第２電極４を針状電極により構成することもできる。

また、グランド電極２は、上面が平坦な状態である必要はなく、図３に示すように、アースされたローラー（ローラー１１）であってもよい。この場合、非分極フィルム７はローラー１１に沿って移送される。図３中の矢印は、当該移送の方向を表す。図３では、針状電極３０は、ローラー１１の表面から一定の間隔をあけて、ローラー１１の表面に対して垂直（すなわち、ローラー１１の動径方向）に配置されている。また、線状電極４０はローラー１１の表面から一定の間隔をあけて、ローラー１１の軸に平行に配置されている。また、アースされた除電用ローラー１２は、分極直後のフィルムに接触できるように配置されている。除電用ローラー１２に接触した有機圧電フィルムは、除電される。
グランド電極であるローラーの表面粗さＲｙは、１μｍ以下であることが好ましい。本明細書において、「表面粗さＲａ」は、ＪＩＳ Ｂ０６０１：１９９４に規定されている、「最大高さ」である。
また、本発明の有機圧電フィルム及びそのロールの製造に用いられるローラーは、少なくともその表面の材質が、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、クロムメッキ、又はステンレス鋼（ＳＵＳ）であることが好ましい。
これらのことにより、線状欠陥（特に、シワ）の発生を抑制できる。
本発明の有機圧電フィルムの製造に用いられる装置におけるローラーは、線状欠陥の発生を抑制する観点から、直径が大きいことが好ましい。具体的には、当該直径は、好ましくは５０ｍｍ以上の範囲内である。
本発明の有機圧電フィルムの製造に用いられる装置におけるローラーは、線状欠陥の発生を抑制する観点から、フィルム（特に、分極後のフィルム）の抱き角が大きくなるように配置されることが好ましい。本明細書中、フィルムの抱き角とは、フィルムがローラーに接触している部分である円弧が形成する中心角である。フィルムの抱き角は、例えば、ガイドローラーの設置により、大きくすることができる。具体的には、当該抱き角は、好ましくは３０〜２７０°の範囲内である。

適用
本発明の有機圧電フィルムは、好適に、透明圧電パネル用であることができる。本発明の有機圧電フィルムを有する透明圧電パネルは、本発明の有機圧電フィルム及び透明電極を有する。
透明圧電パネル
本発明の透明圧電パネルは、第１の透明電極と、
本発明の有機圧電フィルムと、
第２の透明電極と、
をこの順で有する、
第１の透明電極は本発明の有機圧電フィルムの一方の主面上に直接又は間接的に配置され、及び
第２の透明電極は本発明の有機圧電フィルムの他方の主面上に直接又は間接的に配置される。
本発明の透明圧電パネルの構造は、第１の透明電極と、本発明の有機圧電フィルムと、第２の透明電極と、をこの順で有する限り、限定されず、他の部材を有していてもよい。
当該他の部材としては、例えば、粘着剤層、及び基材フィルム等が挙げられる。

当該態様の透明圧電パネルは、例えば、
第１の透明電極及び第２の透明電極を本発明の有機圧電フィルム上にそれぞれスパッタリングにより形成する工程、
第１の透明電極及び第２の透明電極をエッチングによりパターニングする工程、
を有する製造方法により製造できる。

これらの、粘着剤層、透明電極、及び基材フィルムの材料としては、それぞれ透明圧電パネルに用いられる公知の材料を用いることができる。
前記粘着剤層を構成する粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤を用いることができる。
前記透明電極の例としては、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）電極、及び酸化スズ電極が挙げられる。
前記基材フィルムの例としては、ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム（ＰＥＴフィルム）、ポリエチレンナフタレート樹脂フィルム（ＰＥＮフィルム）、ポリカーボネート樹脂フィルム（ＰＣフィルム）、ポリエーテルスルホン樹脂フィルム（ＰＥＳフィルム）、及び環状オレフィン重合体樹脂フィルム（ＣＯＰフィルム）が挙げられる。なかでも好ましくは、ＰＥＴフィルム、又はＰＥＮフィルムである。

本発明の透明圧電パネルの平面サイズは、特に限定されないが、好ましくは、３〜４０インチの範囲内である。

本発明の透明圧電パネルは、タッチパネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）であることができる。
すなわち、本発明の有機圧電フィルムは、タッチパネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）に好適に用いられる。
本発明の透明圧電パネルは、例えば、抵抗膜方式、又は静電容量方式等の透明圧電パネル（例、タッチパネル（好ましくは、タッチ圧を検出できるタッチパネル）であることができる。
本発明の透明圧電パネルによれば、タッチ圧の検出に加えてタッチ位置の検出が可能である。従って、タッチ位置検出用タッチパネルと組み合わせなくても、タッチ圧及びタッチ位置の検出が可能である。
本発明の透明圧電パネルにおいてタッチ圧の検出は検出回路を通した電圧或いは電流値によって行われ、これらは検出電気回路が電圧モードかチャージモードかにより異なるが、本発明の透明圧電パネルは、同一タッチ圧が掛かった時の、それぞれの値のパネル面内での変動係数が、好ましくは０〜３０％の範囲内である。

本発明の有機圧電フィルムを有する透明圧電パネル（例、タッチパネル（好ましくは、タッチ圧を検出できるタッチパネル））を指等で押圧すると、本発明の有機圧電フィルムのひずみの時間的変化に応じた電気信号を得ることができるので、当該透明圧電パネルを用いれば、押圧の有無、速度、大きさ（強弱）、又はこれらの変化、或いはこれらの組み合わせを決定できる。ここで、押圧の大きさ（すなわち、静圧）は、前記電気信号の積分値を用いて決定できる。

本発明の有機圧電フィルムを有する透明圧電パネルにおいて、本発明の有機圧電フィルムは、１又は２枚以上（好ましくは２枚）を用いることができる。
本発明の有機圧電フィルムを２枚以上（好ましくは２枚）用いる場合、当該２枚以上の本発明の有機圧電フィルムは、粘着シートによって互いに貼り合わせられていてもよい。当該粘着シートは、本発明の有機圧電フィルムを互いに貼り合わせられるものであれば特に限定されず、１又は２以上の層からなることができる。すなわち、当該粘着シートが１層からなる場合、当該粘着シートは粘着剤層からなり、及び当該粘着シートが２以上の層からなる場合、その両外層が粘着剤層である。当該粘着シートが３以上の層からなる場合、当該粘着シートは内層として基材層を有していてもよい。
当該粘着シートにおける粘着剤層は、粘着剤としてアクリル系粘着剤を含有する層であることができる。
当該粘着シートにおける基材層は、透明なフィルムであればよく、好ましくは、例えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリパラフェニレンスルフィド、又はポリアミドイミドのフィルムであることができる。

例えば、本発明の有機圧電フィルムを有する透明圧電パネル（例、タッチパネル（好ましくは、タッチ圧を検出できるタッチパネル））は、好ましくは、
第１の透明電極と、
第１の本発明の有機圧電フィルムと、
粘着シートと、
第２の本発明の有機圧電フィルムと、
第２の透明電極と、
をこの順で有する。
第１の透明電極は第１の本発明の有機圧電フィルムの外面上に配置され、及び
第２の透明電極は第２の本発明の有機圧電フィルムの外面上に配置されている。
本発明の有機圧電フィルムは焦電性を有し得るが、当該透明圧電パネル（例、タッチパネル（好ましくは、タッチ圧を検出できるタッチパネル））において、第１の本発明の有機圧電フィルム、及び第２の本発明の有機圧電フィルムを、温度上昇によって同じ極性の電荷（例えば、正電荷と正電荷）が生じる面がそれぞれ外側になるように配置し、及び当該２つの面の間の電位差を第１の電極と第２の電極とで電気信号として得る場合、焦電性による電気信号が低減されて、圧電性による電気信号を選択的に得ることが可能である。

本発明の有機圧電フィルムを有する透明圧電パネルは、タッチ入力装置、及びタッチセンサー装置に用いることができる。当該透明圧電パネルを有する入力装置（すなわち、本発明の有機圧電フィルムを有する入力装置）は、タッチ位置、タッチ圧、又はその両方に基づく入力（例、筆圧等の押圧の大きさ（強弱）に基づく入力）が可能である。当該透明圧電パネルを有する入力装置は、位置検出部及び圧力検出部を有することができる。

タッチ入力装置
本発明のタッチ入力装置は、
本発明の透明圧電パネルと、
圧力検出部と、
位置検出部と、
を有する。

当該入力装置は、電子機器に用いることができる。

タッチセンサー装置
本発明のタッチセンサー装置は、
本発明の透明圧電パネルと、
圧力検出部と、
位置検出部と、
を有する。

当該タッチセンサー装置は、電子機器に用いることができる。

電子機器
本発明の電子機器は、
本発明のタッチ入力装置又はタッチセンサー装置
を有する。
当該タッチ入力装置又はタッチセンサー装置を有する電子機器は、タッチ位置、タッチ圧又はその両方に基づく操作及び動作（例、ペイントソフトにおいて、筆圧に応じてスクリーンに表示される線の太さを変える等の操作）が可能である。
当該タッチ入力装置を有する電子機器の例としては、携帯電話（例、スマートフォン）、携帯情報端末（ＰＤＡ）、タブレットＰＣ、ＡＴＭ、自動券売機、デジタイザ、タッチパッド、カーナビゲーションシステム、及びＦＡ（ファクトリー・オートメーション）機器等のタッチパネルディスプレイ（タッチパネルモニター）が挙げられる。
当該タッチセンサー装置を有する電子機器の例としては、衝突センサー、及びロボット掃除機が挙げられる。

当該電子機器は、タッチ入力装置、又はタッチセンサー装置を備えることができ、或いはタッチ入力装置、又はタッチセンサー装置からなることもできる。

以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

後記の実施例及び比較例においては、次の電極を使用した。
＜使用電極＞
（１）２０ｍｍ幅（１０ｍｍ厚、５５０ｍｍ長）の真鍮棒上に１０ｍｍ間隔で電極用針（針状電極）（Ｒ＝０．０６ｍｍ；森田製針所製）５５本を一列に並べた針状電極棒
（２）直径０．１ｍｍの金鍍金したタングステン製の線状電極（５５０ｍｍ長）

後記の実施例及び比較例においては、次の方法で、全光線透過率、全ヘイズ値、電気機械結合係数、フィルムの線状欠陥を測定した。

＜全光線透過率＞
ヘイズガードＩＩ（製品名、東洋精機製作所）を使用し、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に記載の方法に基づいて測定した。

＜全ヘイズ値＞
ヘイズガードＩＩ（製品名、東洋精機製作所）を使用し、ＡＳＴＭ Ｄ１００３に記載の方法に基づいて測定した。
＜電気機械結合係数＞
透明分極化フィルムの両側にＡｌ蒸着電極を形成し、透明分極化フィルムの所定箇所について、１３ｍｍの円板を切り出し、インピーダンスアナライザ（ヒューレットパッカード社製４１９４Ａ）を用いて測定し、H. Ohigashiら、「The application of ferroelectric polymer, Ultrasonic transducers in the megahertz range」に記載の方法により、電気機械結合係数を算出した。

＜線状欠陥＞
次の方法で線状欠陥を検出し、その数を数えた。
＜欠陥測定方法＞
ＣＣＤカメラ（当該ＣＣＤカメラは、長さ５９６ｍｍの帯状の実視野、０．０１０ｍｍ／ｓｃａｎの走査方向分解能、及び０．０７１ｍｍ／ｐｉｘｅｌの実視野幅方向分解能を有する。）、スリット、及び白色ＬＥＤ光源を備える外観検査機を使用し、前記スリットを通した前記白色ＬＥＤの光の進行方向中に、前記ＣＣＤカメラを、当該光を受光できるように、前記実視野の長さ方向と前記スリットの方向とを一致させて配置し、前記スリットと前記ＣＣＤカメラの間を、検査されるフィルムをその縦方向に１０ｍ／分の速さで移動させながら、前記ＣＣＤカメラにより前記白色ＬＥＤ光源の光を前記検査されるフィルムを通して受光することによって、当該フィルムのＡ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の範囲を走査した。
ここで、当該フィルムは、前記実視野の長さ方向と前記スリットの方向が、前記フィルムの横方向から２０°傾くように、配置した。
また、ここで、当該フィルムは、白色ＬＥＤ光源の光の進行方向が、当該フィルム平面に対する垂直方向からフィルムの縦方向に、２０°傾くように、配置した。
当該走査において、暗部及び明部を、欠陥として、判断した。
前記白色ＬＥＤ光源は、前記フィルムの地合部分（当該部分は、前記フィルムにおいて欠陥が無い部分である）が明度５のグレーになるように調光制御を行った。
前記暗部は、明度５のグレーから明度０の黒の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える部分（当該部分は、より暗い部分である）として定義した。
前記明部は、明度５のグレーから明度１０の白の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える（当該部分は、より明るい部分である）部分として定義した。
前記欠陥のうち、次の条件（１）又は（２）を満たすものを、線状欠陥として外観検査機により計数した。
条件（１）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］のいずれかが、１．３０以上であるもの
条件（２）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］の両方が、１．３０以下であって、かつ［Ｒ２］が０．４９以下であるもの
ここで、［Ｗ］は外接幅、［Ｌ］は外接長さ、及び［Ｒ２］は占有面積比率である。
当該外接幅は、前記欠陥の、走査方向に対する直角方向の長さ（当該長さは、前記欠陥の外接方形の幅である）として定義した。
当該外接長さは、前記欠陥の、走査方向の長さ（当該長さは、前記欠陥の外接方形の長さである）として定義した。
当該占有面積比率は、前記欠陥の、外接方形に対する明部と暗部の面積の比率として定として定義した。
なお、前記外接方形は、走査方向に平行な辺を有する。
ここで、前記フィルムを１８ｍｍ×１８ｍｍの正方形に区画割りしたときに、当該区画をはみ出る、［Ｗ］及び［Ｌ］の少なくとも一方が１８ｍｍ以上である１本の線状欠陥は、当該線状欠陥が及ぶ区画の数の線状欠陥であるとみなした。

前記外観検査機としては、ＭａｘＥｙｅ．Ｉｍｐａｃｔ（商品名、ヒューテック社）を用い、次のようにパラメータを設定して測定した。
＜パラメータ設定＞
［ＤＰ］：３５以上、
（１）［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］のいずれかが、１．３０以上であるもの、及び
（２）［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］の両方が、１．３０以下であって［Ｒ２］が０．４９以下であるもの
を計数する。
当該外観検査機が備えるＬＥＤ光源は、定電流駆動であり、連続点灯方式であり、光量は１〜１００％までほぼ直線的に調光可能であり、及び１００％出力で１２００００Ｌｕｘであった。光量を６５％に調光した。

製造例１（非分極フィルムの製造）
次の製造法により、厚さ４０μｍの、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体フィルム（モル比 ８０：２０）を製造した。
フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体（モル比 ８０：２０）のジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）溶液、またはメチルエチルケトン（ＭＥＫ）溶液をＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）基材上に流延し、１８０℃で溶媒を気化させて、厚さ４０μｍのフィルムを成形した。

実施例１
ＩＳＯクラス７のクリーンルーム（湿度６０％）の中で、図３にその概要を示したように、アースされたローラー（直径２００ｍｍ、幅８００mm、表面粗さＲｙ０．６）であるＳＵＳ製のグランド電極上に、抱き角２００°で当該ローラーに沿って移動するように、幅５５０ｍｍ、長さ２００ｍ、及び厚さ４０μｍのフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム（以下、単にフィルムと称する場合がある。）を設置した。第１電極として、前記（１）の針状電極を、針状電極の並びがローラー表面に対して垂直（すなわち、ローラーの動径方向）になり、かつ、フィルムから針状電極の先端が１０ｍｍ上空に離れた位置になるように設置した。さらに、前記（１）の針状電極棒の針状電極から、フィルムの長さで１００ｍｍ離れた位置と針状電極から１５０ｍｍ離れた位置に、第２電極として、直径０．１ｍｍの金鍍金したタングステン製の線状電極（５５０ｍｍ長）それぞれ１本を、フィルムから２０ｍｍ上空に離れた位置になる様に設置した。
針状電極（第１電極）には−１０ｋＶの電圧を、線状電極（第２電極）には−１５ｋＶの電圧を印加した後、９６ｃｍ／分の速さでフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムを図３の矢印方向に移動させて、針状電極（第１電極）の先端と、それに続く線状電極（第２電極）から発生するコロナ放電の下を通過させ、更に、アースされた金属ロール（直径７０ｍｍ、表面粗さＲｙ０．６）に接触させてフィルムを除電した。その後、スリッターを用いて、フィルム両端をそれぞれ０．５ｃｍ除去し、ＰＥＴフィルムを間に挟みながら、直径６インチの円筒状の芯に、得られた分極化フィルムを巻き取った。
得られた分極化フィルムの表面の状態を観察した。
得られた分極化フィルム（圧電フィルム）は、透明（ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）であり、かつ線状欠陥が極めて少なかった。全光線透過率、全ヘイズ値、電気機械結合係数、１５０×３００ｍｍ角あたりの線状欠陥数の評価データを表１に示す。

比較例１
以下に記載するように、アースされた金属ロールに接触させてフィルムを除電することを実施しなかったこと以外は、実施例１と同様にして、分極化フィルムを製造した。
ＩＳＯクラス７のクリーンルーム（湿度６０％）の中で、図３にその概要を示したように、アースされたローラー（直径２００ｍｍ、幅８００mm、表面粗さＲｙ０．６）であるＳＵＳ製のグランド電極上に、抱き角２００°で当該ローラーに沿って移動するように、幅５５０ｍｍ、長さ２００ｍ、及び厚さ４０μｍのフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム（以下、単にフィルムと称する場合がある。）を設置した。第１電極として、前記（１）の針状電極を、針状電極の並びがローラー表面に対して垂直（すなわち、ローラーの動径方向）になり、かつ、フィルムから針状電極の先端が１０ｍｍ上空に離れた位置になるように設置した。さらに、前記（１）の針状電極棒の針状電極から、フィルムの長さで１００ｍｍ離れた位置と針状電極から１５０ｍｍ離れた位置に、第２電極として、直径０．１ｍｍの金鍍金したタングステン製の線状電極（５５０ｍｍ長）それぞれ１本を、フィルムから２０ｍｍ上空に離れた位置になる様に設置した。
針状電極（第１電極）には−１０ｋＶの電圧を、線状電極（第２電極）には−１５ｋＶの電圧を印加した後、９６ｃｍ／分の速さでフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムを図３の矢印方向に移動させて、針状電極（第１電極）の先端と、それに続く線状電極（第２電極）から発生するコロナ放電の下を通過させた。グランド電極ローラーからフィルムが剥がれる際に多くの線状欠陥が連続的に発生した。その後、スリッターを用いて、フィルム両端をそれぞれ０．５ｃｍ除去し、ＰＥＴフィルムを間に挟みながら、直径６インチの円筒状の芯に、得られた分極化フィルムを巻き取った。
得られた分極化フィルムの表面の状態を観察した。
得られた分極化フィルム（圧電フィルム）は、透明（ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）であるが、線状欠陥が極めて多かった。全光線透過率、全ヘイズ値、電気機械結合係数、１５０×３００ｍｍ角あたりの線状欠陥数の評価データを表１に示す。

実施例２
以下に記載するように、線状電極（第２電極）には−１9ｋＶの電圧を印加した以外は、実施例１と同様にして、分極化フィルムを製造した。
ＩＳＯクラス７のクリーンルーム（湿度６０％）の中で、図３にその概要を示したように、アースされたローラー（直径２００ｍｍ、幅８００mm、表面粗さＲｙ０．６）であるＳＵＳ製のグランド電極上に、抱き角２００°で当該ローラーに沿って移動するように、幅５５０ｍｍ、長さ２００ｍ、及び厚さ４０μｍのフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム（以下、単にフィルムと称する場合がある。）を設置した。第１電極として、前記（１）の針状電極を、針状電極の並びがローラー表面に対して垂直（すなわち、ローラーの動径方向）になり、かつ、フィルムから針状電極の先端が１０ｍｍ上空に離れた位置になるように設置した。さらに、前記（１）の針状電極棒の針状電極から、フィルムの長さで１００ｍｍ離れた位置と針状電極から１５０ｍｍ離れた位置に、第２電極として、直径０．１ｍｍの金鍍金したタングステン製の線状電極（５５０ｍｍ長）それぞれ１本を、フィルムから２０ｍｍ上空に離れた位置になる様に設置した。
針状電極（第１電極）には−１０ｋＶの電圧を、線状電極（第２電極）には−１9ｋＶの電圧を印加した後、９６ｃｍ／分の速さでフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムを図３の矢印方向に移動させて、針状電極（第１電極）の先端と、それに続く線状電極（第２電極）から発生するコロナ放電の下を通過させ、更に、アースされた金属ロール（直径７０ｍｍ、表面粗さＲｙ０．６）に接触させてフィルムを除電した。コロナ放電の下を通過する際、数十カ所に火花放電が発生した。その後、スリッターを用いて、フィルム両端をそれぞれ０．５ｃｍ除去し、ＰＥＴフィルムを間に挟みながら、直径６インチの円筒状の芯に、得られた分極化フィルムを巻き取った。
得られた分極化フィルムの表面の状態を観察した。
得られた分極化フィルム（圧電フィルム）は、透明（ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）であり、かつ線状欠陥が少なかった。全光線透過率、全ヘイズ値、電気機械結合係数、１５０×３００ｍｍ角あたりの線状欠陥数の評価データを表１に示す。

実施例３
以下に記載するように、線状電極（第２電極）には−２０ｋＶの電圧を印加した以外は、実施例１と同様にして、分極化フィルムを製造した。
ＩＳＯクラス７のクリーンルーム（湿度６０％）の中で、図３にその概要を示したように、アースされたローラー（直径２００ｍｍ、幅８００mm、表面粗さＲｙ０．６）であるＳＵＳ製のグランド電極上に、抱き角２００°で当該ローラーに沿って移動するように、幅５５０ｍｍ、長さ２００ｍ、及び厚さ４０μｍのフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルム（以下、単にフィルムと称する場合がある。）を設置した。第１電極として、前記（１）の針状電極を、針状電極の並びがローラー表面に対して垂直（すなわち、ローラーの動径方向）になり、かつ、フィルムから針状電極の先端が１０ｍｍ上空に離れた位置になるように設置した。さらに、前記（１）の針状電極棒の針状電極から、フィルムの長さで１００ｍｍ離れた位置と針状電極から１５０ｍｍ離れた位置に、第２電極として、直径０．１ｍｍの金鍍金したタングステン製の線状電極（５５０ｍｍ長）それぞれ１本を、フィルムから２０ｍｍ上空に離れた位置になる様に設置した。
針状電極（第１電極）には−１０ｋＶの電圧を、線状電極（第２電極）にはさらに電圧を挙げて−２０ｋＶの電圧を印加した後、９６ｃｍ／分の速さでフッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムを図３の矢印方向に移動させて、針状電極（第１電極）の先端と、それに続く線状電極（第２電極）から発生するコロナ放電の下を通過させ、更に、アースされた金属ロール（直径７０ｍｍ、表面粗さＲｙ０．６）に接触させてフィルムを除電した。コロナ放電の下を通過する際、数十カ所に火花放電が発生した。その後、スリッターを用いて、フィルム両端をそれぞれ０．５ｃｍ除去し、ＰＥＴフィルムを間に挟みながら、直径６インチの円筒状の芯に、得られた分極化フィルムを巻き取った。
得られた分極化フィルムの表面の状態を観察した。
得られた分極化フィルム（圧電フィルム）は、透明（ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）であり、かつ線状欠陥が少なかった。全光線透過率、全ヘイズ値、電気機械結合係数、１５０×３００ｍｍ角あたりの線状欠陥数の評価データを表１に示す。

試験例１（タッチ圧の検出性能のばらつき）
実施例１及び比較例１で得た分極化フィルムの両面に１枚ずつ、ＩＴＯ付きＰＥＴフィルム（ＩＴＯ／ＰＥＴ）（ＩＴＯ層の厚さ：０．０５μｍ、ＰＥＴフィルムの厚さ：３８μｍ）を、そのマトリックス透明電極を分極化フィルム側に向けて、粘着剤で貼り付け（粘着剤層の厚さ：２５μｍ）、透明圧電パネルを作成した。
また、定量的な検出出力と光学性能（全光透過率と全ヘイズ）のパネル面内の位置による変動を評価するために、パネル上の位置を縦横１０ｍｍ幅で２分割ずつ（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）、計４分割して無作為に位置を選び、タッチ圧に対する検出出力をオシロスコープをもちいて測定した（表１）。検出出力は出てきた電圧信号のピークトップとした。タッチ圧は条件を揃えるために、一定荷重の重石を一定高さ（２０ｍｍ）から自由落下させた荷重値で示した。

本発明の分極化フィルムによれば、タッチ位置によるタッチ圧の検出性能にばらつきが小さい、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）が得られる。
また、本発明の分極化フィルムによれば、線状欠陥による外観上の問題が無い、圧電パネル（例、タッチ圧を検出できるタッチパネル）が得られる。

１ ：製造装置
２ ：グランド電極
３ ：第１電極
４ ：第２電極
５ ：第１高圧電源
６ ：第２高圧電源
７ ：非分極フィルム
８ ：温度制御装置
９ ：帯電域
１０ ：端部
１１ ：ローラー
１２ ：除電用ローラー
３０ ：針状電極
４０ ：線状電極
５１ ：ＣＣＤカメラ
５２ ：スリット
５３ ：白色ＬＥＤ光源
５４ ：フィルム
５６ ：実視野

Claims (8)

1. 線状欠陥の数が２，０００個／ｍ^２以下である有機圧電フィルム。
2. 分極化フッ化ビニリデン系重合体フィルムである請求項１に記載の有機圧電フィルム。
3. 分極化フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン共重合体フィルムである請求項１に記載の有機圧電フィルム。
4. 前記線状欠陥の数が後記の欠陥測定方法で測定される数である請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機圧電フィルム。
   ＜欠陥測定方法＞
   ＣＣＤカメラ（当該ＣＣＤカメラは、長さ５９６ｍｍの帯状の実視野、０．０１０ｍｍ／ｓｃａｎの走査方向分解能、及び０．０７１ｍｍ／ｐｉｘｅｌの実視野幅方向分解能を有する。）、スリット、及び白色ＬＥＤ光源を備える外観検査機を使用し、前記スリットを通した前記白色ＬＥＤの光の進行方向中に、前記ＣＣＤカメラを、当該光を受光できるように、前記実視野の長さ方向と前記スリットの方向とを一致させて配置し、前記スリットと前記ＣＣＤカメラの間を、検査されるフィルムをその縦方向に１０ｍ／分の速さで移動させながら、前記ＣＣＤカメラにより前記白色ＬＥＤ光源の光を前記検査されるフィルムを通して受光することによって、当該フィルムのＡ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の範囲を走査する。
   ここで、当該フィルムは、前記実視野の長さ方向と前記スリットの方向が、前記フィルムの横方向から２０°傾くように、配置される。
   また、ここで、当該フィルムは、前記白色ＬＥＤ光源の光の進行方向が、当該フィルム平面に対する垂直方向からフィルムの縦方向に、２０°傾くように、配置される。
   前記白色ＬＥＤ光源は、前記フィルムの地合部分（当該部分は、前記フィルムにおいて欠陥が無い部分である）が明度５のグレーになるように調光制御を行う。
   当該走査において、暗部及び明部を、欠陥として、判断する。
   前記暗部は、明度５のグレーから明度０の黒の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える部分として定義される。
   前記明部は、明度５のグレーから明度１０の白の範囲を１２７分割して、閾値を３５／１２７に設定した場合に、当該閾値を超える部分として定義される。
   前記欠陥のうち、次の条件（１）又は（２）を満たすものを、線状欠陥として外観検査機により計数する。
   条件（１）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］のいずれかが、１．３０以上であるもの
   条件（２）：［Ｗ］／［Ｌ］、及び［Ｌ］／［Ｗ］の両方が、１．３０以下であって、かつ［Ｒ２］が０．４９以下であるもの
   ここで、［Ｗ］は外接幅、［Ｌ］は外接長さ、及び［Ｒ２］は占有面積比率である。
   当該外接幅は、前記欠陥の、走査方向に対する直角方向の長さとして定義される。
   当該外接長さは、前記欠陥の、走査方向の長さとして定義される。
   当該占有面積比率は、前記欠陥の、外接方形に対する明部と暗部の面積の比率として定として定義される。
   ここで、前記フィルムを１８ｍｍ×１８ｍｍの正方形に区画割りしたときに、当該区画をはみ出る、［Ｗ］及び［Ｌ］の少なくとも一方が１８ｍｍ以上である１本の線状欠陥は、当該線状欠陥が及ぶ区画の数の線状欠陥であるとみなされる。
5. 透明圧電パネル用である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機圧電フィルム。
6. 第１の透明電極と、
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の有機圧電フィルムと、
   第２の透明電極と、
   をこの順で有する、
   透明圧電パネル。
7. 請求項６に記載の透明圧電パネルと、
   圧力検出部と、
   位置検出部と、
   を有する
   タッチ入力装置。
8. 請求項７に記載のタッチ入力装置
   を有する電子機器。