KR20210031606A - 흡인 유지 도구 및 링 프레임의 유지 기구 - Google Patents
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Abstract
(과제) 피유지 부재를 흡인 유지할 때에 흡인 유지 도구의 벨로우즈가 변형되지 않게 한다.
(해결 수단) 피유지 부재를 흡인 유지하는 흡인 유지 도구로서, 흡반과 흡반의 하단에 연결된 통 벨로우즈와, 통 벨로우즈의 내부에 배치되고, 흡반의 상단보다 하방에 위치된 상단을 가지는 통을 구비하고, 통 아래 개구를 흡인원에 연통하여, 흡반의 상단에 피유지 부재를 접촉시켜서, 밀실로 된 통 벨로우즈의 내부를 부압으로 하여 피유지 부재를 유지한다.
(해결 수단) 피유지 부재를 흡인 유지하는 흡인 유지 도구로서, 흡반과 흡반의 하단에 연결된 통 벨로우즈와, 통 벨로우즈의 내부에 배치되고, 흡반의 상단보다 하방에 위치된 상단을 가지는 통을 구비하고, 통 아래 개구를 흡인원에 연통하여, 흡반의 상단에 피유지 부재를 접촉시켜서, 밀실로 된 통 벨로우즈의 내부를 부압으로 하여 피유지 부재를 유지한다.
Description
본 발명은, 흡인 유지 도구 및 링 프레임의 유지 기구에 관한 것이다.
링 프레임과 웨이퍼에 다이싱 테이프를 점착하여 일체화하는 테이프 마운터는, 웨이퍼의 직경보다 큰 내경의 링 프레임을 유지하는 링 프레임 유지 기구와, 링 프레임의 개구 부분에 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지 수단과, 링 프레임과 웨이퍼에 원형의 다이싱 테이프를 점착하는 점착 수단을 구비한다.
링 프레임 유지 기구는, 링 프레임의 하면을 흡인 유지하는 흡반과, 링 프레임의 하면을 지지하는 지지 테이블을 구비한다.
웨이퍼 유지 수단은, 웨이퍼의 하면을 흡인 유지하는 유지면을 가지는 유지 테이블을 구비한다.
웨이퍼의 중심과 링 프레임의 개구의 중심을 일치시키기 위해서, 링 프레임 유지 기구는, 특허 문헌 1에 개시된 바와 같이, 위치 결정 수단 등을 이용하여 링 프레임의 외주에 대향하여 형성되어 있는 평탄면을 끼움으로써, 링 프레임을 목표 위치에 위치 결정하고 있다. 링 프레임은, 흡반으로부터 분출되는 에어에 의해서 부상하여 미리 정해진 위치에 위치 결정되고 나서, 흡반 상에 유지됨으로써, 지지 테이블로 지지하고 있다.
흡반을 사용하고 있는 이유는, 링 프레임의 하면에 흠집을 내지 않도록 하고, 링 프레임에 작은 일그러짐이 있어도 흡인 유지하는 것을 가능하게 하기 위함이다. 흡반은, 일그러짐에 대응하기 위해, 통형의 벨로우즈를 구비하고 있다.
그러나, 흡반 상에 링 프레임을 흡인 유지하고, 지지 테이블에 링 프레임을 지지시키고 있을 때에, 흡반과 링 프레임과의 사이에 작용하는 흡인력에 의해서 벨로우즈가 안쪽으로 우묵하게 들어가 버리고, 링 프레임의 흡인 유지를 멈추어도 함몰이 회복하지 않기 때문에, 벨로우즈에 함몰이 남은 상태가 된다. 그러면, 다른 흡반과의 높이가 변하게 되어, 그 후에 링 프레임을 부상시킬 수 없게 되어 버린다.
따라서, 본 발명의 목적은, 흡반과 벨로우즈를 가지는 흡인 유지 도구를 이용하여 피유지 부재를 흡인 유지할 때에, 벨로우즈를 부적절한 형태로 변형시키지 않는 것이다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 피유지 부재를 흡인 유지하는 흡인 유지 도구로서, 흡반과, 상기 흡반의 하단에 연결된 통 벨로우즈와, 상기 통 벨로우즈의 내부에 배치되고, 상기 흡반의 상단보다 하방에 위치된 상단을 가지는 통을 구비하고, 상기 통 아래 개구를 흡인원에 연통하여, 상기 흡반의 상단에 피유지 부재를 접촉시켜서, 밀실이 된 상기 통 벨로우즈의 내부를 부압으로 하여 상기 피유지 부재를 유지하는 흡인 유지 도구가 제공된다.
본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 흡인 유지 도구를 이용하여 링 프레임의 하면을 흡인하는 것에 의해, 상기 링 프레임을 유지하는 링 프레임 유지 기구로서, 테이블과, 흡반과, 상기 흡반의 하단에 연결된 통 벨로우즈와, 상기 통 벨로우즈의 내부에 배치되고, 상기 흡반의 상단보다 하방에 위치된 상단을 가지는 통을 구비하고, 상기 테이블의 상면에 형성된 개구를 가지는 오목부에 배치되고, 상기 흡반의 상단에 상기 링 프레임을 접촉시켜서, 상기 링 프레임을 유지하는 상기 흡인 유지 도구와, 상기 흡인 유지 도구를 상기 흡인원에 연통하는 흡인로와, 상기 흡인로에 배치되는 흡인 밸브와, 상기 흡인 유지 도구를 에어 공급원에 연통하는 에어 공급로를 포함하고, 상기 링 프레임이 상기 흡반의 상단에 접촉하고 있는 상태로 상기 통 벨로우즈의 내부를 부압으로 하는 것에 의해, 상기 흡반이 상기 링 프레임을 유지하고, 상기 통 벨로우즈의 내부에 걸리는 압력과 상기 벨로우즈 밖의 대기압과의 사이에 압력 차이가 발생하여, 대기압에 의해서 상기 통 벨로우즈가 수축해서 상기 오목부 안에 수용되는 링 프레임의 유지 기구가 제공된다.
본 발명의 일 양태 및 다른 일 양태에서는, 통 벨로우즈의 내부에 통이 배치되어 있기 때문에, 통 벨로우즈가 우묵하게 들어가려고 할 경우에 통 벨로우즈가 통에 지지되어서, 통 벨로우즈가 부적절한 형태로 변형하는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해서, 복수 구비되어 있는 흡반의 각각의 높이가 변함없이, 링 프레임을 부상시키는 것이 가능하게 되고, 위치 결정을 실시할 수 있게 된다. 그리고, 위치 결정된 링 프레임을 흡인 유지하는 것이 가능해진다.
도 1은 링 프레임 유지 기구의 전체를 나타내는 사시도이다.
도 2는 링 프레임 유지 기구를 측방에서 본 단면도이다.
도 3은 반송 기구를 이용하여 링 프레임을 링 프레임 유지 기구에 반송하는 모습을 측방에서 본 단면도이다.
도 4는 링 프레임과 흡반과의 사이에 에어층이 형성되어 있는 모습을 측방에서 본 단면도이다.
도 5는 링 프레임이 흡반 상에 흡인 유지되고 있는 모습을 측방에서 본 단면도이다.
도 6은 링 프레임 유지 기구에 배치되어 있는 흡인 유지 도구가, 흡반과 통 벨로우즈가 일체화한 벨로우즈 패드이며, 통 벨로우즈의 내부에 구비하는 통이 칼라부를 가지는 것인 경우의 링 프레임 유지 기구를 측방에서 본 단면도이다.
도 2는 링 프레임 유지 기구를 측방에서 본 단면도이다.
도 3은 반송 기구를 이용하여 링 프레임을 링 프레임 유지 기구에 반송하는 모습을 측방에서 본 단면도이다.
도 4는 링 프레임과 흡반과의 사이에 에어층이 형성되어 있는 모습을 측방에서 본 단면도이다.
도 5는 링 프레임이 흡반 상에 흡인 유지되고 있는 모습을 측방에서 본 단면도이다.
도 6은 링 프레임 유지 기구에 배치되어 있는 흡인 유지 도구가, 흡반과 통 벨로우즈가 일체화한 벨로우즈 패드이며, 통 벨로우즈의 내부에 구비하는 통이 칼라부를 가지는 것인 경우의 링 프레임 유지 기구를 측방에서 본 단면도이다.
1 링 프레임 유지 기구의 구성
도 1에 도시한 바와 같이, 링 프레임 유지 기구(10)는, 링 프레임(1)을 유지하는 유지 기구이다. 링 프레임(1)은, 예컨대, 도시하지 않는 웨이퍼 등과 함께 도시하지 않는 점착 테이프에 점착되어서, 링 프레임(1)과 웨이퍼 등이 일체화하는 것에 의해, 웨이퍼 등의 핸들링 성능을 향상시킬 수 있다.
링 프레임(1)은, 서로 평행한 제1 평탄면(31) 및 제2 평탄면(32), 제1 평탄면(31) 및 제2 평탄면(32)에 대해서 직교하는 방향으로 평행한 제3 평탄면(33) 및 제4 평탄면(34)을 구비하고 있다. 이들 4 개의 평탄면(31 ~ 34)은, 링 프레임(1)의 외주에 구비되어 있다.
이하, 링 프레임 유지 기구(10)에 대해 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 링 프레임 유지 기구(10)는, 유지 테이블(12)을 구비하고 있다. 유지 테이블(12)의 상면은 웨이퍼 등이 유지되는 유지면(12a)이 되고 있다.
링 프레임 유지 기구(10)는, 환형 테이블(11)을 구비하고 있다. 환형 테이블(11)은 유지 테이블(12)을 둘러싸고 있고, 환형 테이블(11)의 상면(11a)에는 개구를 가지는 복수(도 1에 있어서는 4 개)의 오목부(11c)가 형성되어 있다.
링 프레임 유지 기구(10)는, 예컨대, 서로 마주 보도록 배치된 제1 고정 위치 결정부(51) 및 제1 가동 위치 결정부(53)와, 서로 마주 보도록 배치된 제2 고정 위치 결정부(55) 및 제2 가동 위치 결정부(57)를 구비하고 있다. 예컨대, 제1 고정 위치 결정부(51)와 제1 가동 위치 결정부(53)가 서로 마주 보는 방향과 제2 고정 위치 결정부(55)와 제2 가동 위치 결정부(57)가 서로 마주 보는 방향이, 서로 직교하고 있다.
제1 고정 위치 결정부(51)는, 환형 테이블(11)에 고정된 제1 고정 부재(51B), 및, 제1 고정 부재(51B)에 장착된 2 개의 제1 고정 핀(51P)을 구비하고 있다.
제1 고정 위치 결정부(51)에 대향하는 제1 가동 위치 결정부(53)는, 제1 가동 부재(53B)와, 제1 가동 부재(53B)에 장착된 1 개의 제1 가동 핀(53P)과, 제1 가동 부재(53B)를 환형 테이블(11)의 직경 방향으로 관통하는 제1 샤프트(53S)를 구비하고 있다. 제1 가동 부재(53B)는, 제1 샤프트(53S)를 따라서 환형 테이블(11)의 직경 방향으로 이동 가능하다.
마찬가지로, 제2 고정 위치 결정부(55)는, 환형 테이블(11)에 고정된 제2 고정 부재(55B)와, 제2 고정 부재(55B)에 장착된 2 개의 제2 고정 핀(55P)을 구비하고 있다.
제2 고정 위치 결정부(55)에 대향하는 제2 가동 위치 결정부(57)는, 제2 가동 부재(57B)와 제2 가동 부재(57B)에 장착된 1 개의 제2 가동 핀(57P)과 제2 가동 부재(57B)를 환형 테이블(11)의 직경 방향으로 관통하는 제2 샤프트(57S)를 구비하고 있다. 제2 가동 부재(57B)는, 제2 샤프트(57S)를 따라서 환형 테이블(11)의 직경 방향으로 이동 가능하다.
제1 가동 위치 결정부(53)에 있어서는, 예컨대, 제1 가동 부재(53B)의 내부에 예컨대 도시하지 않는 용수철 기구 등이 배치되어 있다. 예컨대, 제1 가동 핀(53P)을 +Z 방향 측으로부터 압박하면, 관련된 용수철 기구 등에 의해, 제1 가동 핀(53P)이 -Z 방향으로 강하하여 제1 가동 부재(53B)의 내부에 수용된다. 또한, 제1 가동 핀(53P)에 +Z 방향 측으로부터 걸려 있는 압박력을 푸는 것에 의해, 제1 가동 부재(53B)의 내부에 수용되고 있던 제1 가동 핀(53P)이 +Z 방향으로 상승하여 다시 환형 테이블(11) 상에 돌출하게 된다. 도 1에 있어서는, 제1 가동 핀(53P)에는 상기와 같은 압박력이 걸리지 않고, 제1 가동 핀(53P)은 환형 테이블(11) 상에 돌출하고 있다.
제2 가동 위치 결정부(57)에서도 마찬가지로, 예컨대, 제2 가동 부재(57B)의 내부에 배치되어 있는 도시하지 않는 용수철 기구 등에 의해서 제2 가동 핀(57P)이 승강 이동 가능하게 되어 있다.
환형 테이블(11)의 상면(11a)에 링 프레임(1)이 재치된 상태로, 예컨대, 제1 고정 위치 결정부(51)와 제1 가동 위치 결정부(53)에 의해서, 링 프레임(1)의 제1 평탄면(31)과 제2 평탄면(32)을 끼우는 것에 의해, 링 프레임(1)은 환형 테이블(11)의 상면(11a)에 있어서 위치 결정되어, 고정되게 된다.
도 2에 도시한 바와 같이, 환형 테이블(11)에 형성되어 있는 오목부(11c)의 바닥면에는, 오목부(11c)보다 작은 구멍(110b)이 형성되어 있다.
오목부(11c)에는, 흡인 유지 도구(40)가 배치되어 있다.
흡인 유지 도구(40)는 흡반(41)을 구비하고 있다. 흡반(41) 상에는 링 프레임(1)을 재치할 수 있다.
흡인 유지 도구(40)는 Z축 방향으로 신축 가능한 통 벨로우즈(42)를 구비하고 있다. 통 벨로우즈(42)는, 흡반(41)의 하단(41b)에 연결되어 있다.
흡인 유지 도구(40)는 중공 원통형의 통(43)을 구비하고 있다. 통(43)은, 통 벨로우즈(42)의 내부에 배치되어 있고, 통(43) 아래 개구(43b)는, 구멍(110b)에 연결되어 있다.
또한, 통(43)의 상단(43a)은, 환형 테이블(11)의 상면(11a)보다 하방에 위치되어 있다. 통(43)의 상단(43a)의 높이 위치와 흡반(41)의 상단(41a)의 높이 위치와의 위치 관계는, 예컨대, 흡반(41) 상에 링 프레임(1)을 흡인 유지하는 것에 의해 통 벨로우즈(42)가 수축해도, 통(43)의 상단(43a)의 높이 위치가 흡반(41)의 상단(41a)의 높이 위치보다 위가 되지 않도록 조정되어 있다.
유지 테이블(12)의 하방에는, 흡인원(61)과, 흡인원(61)에 접속된 흡인로(63)와, 흡인원(61)와 흡인로(63)와의 연통 상태를 전환하는 흡인 밸브(62)가 배치되어 있다. 또한, 유지 테이블(12)의 하방에는, 에어 공급원(64)과, 에어 공급원(64)에 접속된 에어 공급로(66)와, 에어 공급원(64)과, 에어 공급로(66)와의 연통 상태를 전환하는 에어 벨브(65)가 배치되어 있다.
흡인로(63)와 에어 공급로(66)는, 합류점(a)에서 합류하고 있고, 공통로(67)에 접속되어 있다. 공통로(67)는, 구멍(110b)에 접속되어 있다.
예컨대, 흡인 밸브(62)가 열려 있는 상태, 또한, 에어 벨브(65)가 닫혀 있는 상태에 있어서, 흡인원(61)에 의해 흡인력을 발휘하면, 발생된 흡인력이 흡인로(63)를 통해서 공통로(67)에 전달되고 또한 공통로(67)를 지나, 구멍(110b)으로 전달된다. 그리고, 구멍(110b)에 연결된 통(43)의 아래 개구(43b)로부터 통(43)의 내부로 전해지고, 통(43)의 상단(43a)로부터, 환형 테이블(11)의 상방으로 전달되게 된다.
또한, 예컨대, 흡인 밸브(62)가 닫혀 있는 상태, 또한, 에어 벨브(65)가 열려 있는 상태에서, 에어 공급원(64)을 작동시켜서 에어의 공급을 행하면, 공급된 에어가 에어 공급로(66)를 통해서 공통로(67)에 전달되고, 또한 공통로(67)를 지나 구멍(110b)으로 전달된다. 그리고, 구멍(110b)에 연결되어 있는 통(43)의 아래 개구(43b)로부터 통(43)의 내부로 에어가 전해지고, 환형 테이블(11)의 상방으로 에어가 공급되게 된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 링 프레임 유지 기구(10)는, 예컨대, 제1 고정 위치 결정부(51), 제1 가동 위치 결정부(53), 제2 고정 위치 결정부(55), 및 제2 가동 위치 결정부(57)에 대신하여, 제1 블록(71) 및 제2 블록(72)을 구비하고 있어도 좋다.
제1 블록(71)은, 실린더 기구(8)에 접속되고 있고, 제1 블록(71)과 제2 블록(72)과 실린더 기구(8)는 링 프레임(1)의 위치 결정을 행하는 기능을 가지고 있다.
예컨대, 링 프레임(1)이 환형 테이블(11)에 재치된 상태로, 실린더 기구(8)를 이용하여 제1 블록(71)을 링 프레임(1)의 직경 방향(+Y 방향)을 향해서 이동시키는 것에 의해서, 제1 블록(71)의 측면(71c)을 제1 평탄면(31)에, 제2 블록(72)의 측면(72c)을 제2 평탄면(32)에 각각 접촉시켜서, 제1 평탄면(31)과 제2 평탄면(32)을 외측으로부터 끼워넣을 수 있다. 실린더 기구(8)를 이용하여 제1 블록(71)의 위치를 적절하게 조정하여서, 환형 테이블(11) 위에 있어서의 링 프레임(1)의 위치 결정을 할 수 있다.
또한, 예컨대, 제1 블록(71)의 측면(71c)과 제2 블록(72)의 측면(72c)이 서로 마주 보는 방향으로 직교하는 방향에도, 마찬가지로 링 프레임(1)의 위치 결정의 기능을 가지는 2 개의 블록이나 실린더 기구 등이 배치되고 있어도 좋다.
링 프레임 유지 기구(10)의 근방에는, 예컨대 링 프레임(1)을 환형 테이블(11) 상에 반입하거나, 환형 테이블(11) 위로부터 반출하거나 하는 기능을 가지는 반송 기구(2)가 배치되어 있다. 반송 기구(2)는, 예컨대 링 프레임(1)을 흡착하는 복수의 흡착부(21)와, 복수의 흡착부(21)를 각각 유지하는 유지 부재(22)와, 복수의 유지 부재(22)를 지지하는 지지부(23)와, 구동원(도시하지 않음)에 연결된 아암부(24)와, 지지부(23)와 아암부(24)를 연결하는 연결 부재(25)를 구비하고 있다. 흡착부(21)의 내부에는, 연통로(27)가 형성되어 있고, 연통로(27)는 반송 흡인원(26)에 접속되어 있다.
흡착부(21)의 하면과 링 프레임(1)의 상면(1a)이 접촉하고 있는 상태로, 반송 흡인원(26)을 작동시켜서, 반송 흡인원(26)이 흡인력을 발휘하면, 발생된 흡인력이 연통로(27)를 통해서 흡착부(21)의 하면에 전달된다. 이에 따라 흡착부(21)에 있어서 링 프레임(1)을 흡인 유지할 수 있다.
흡착부(21)에 링 프레임(1)이 흡인 유지된 상태로, 도시하지 않는 이동 수단 등이 아암부(24)를 이동시키는 것에 의해서, 반송 기구(2)가 링 프레임(1)을 환형 테이블(11)의 상면(11a)에 반입하거나, 환형 테이블(11)의 상면(11a)로부터 반출하는 것이 가능하게 되어 있다.
2 링 프레임 유지 기구의 동작
상기의 링 프레임 유지 기구(10)를 이용하여 링 프레임(1)을 유지할 때의 링 프레임 유지 기구(10)의 동작에 대해 설명한다.
우선, 도 3에 도시한 바와 같이, 반송 기구(2)를 이용하여 링 프레임(1)을 환형 테이블(11) 상에 반송하여서, 링 프레임(1)을 환형 테이블(11) 상에 재치한다. 링 프레임(1)이 환형 테이블(11) 상에 재치되어 있는 상태에 있어서는, 링 프레임(1)의 하면(1b)은, 환형 테이블(11)의 오목부(11c)로부터 돌출하고 있는 흡반(41)의 상단(41a)에 접촉하고 있다.
그리고, 도 4에 도시한 바와 같이, 흡인 밸브(62)를 닫아서 에어 벨브(65)를 열고, 에어 공급원(64)을 작동시킨다. 이에 따라, 에어 공급원(64)로부터 공급된 에어가, 에어 공급로(66)로부터 공통로(67)에 전달되고, 구멍(110b)으로 전달된다. 구멍(110b)에 전달된 에어는, 구멍(110b)에 연결된 통(43)의 아래 개구(43b)로부터 통(43)의 내부로 공급되어서, 흡반(41)의 상방에 공급되게 된다.
흡반(41)의 상방에 에어가 공급되면, 링 프레임(1)이 그 하면(1b)측으로부터 상방으로 압박되고, 흡반(41)의 상단(41a)과 링 프레임(1)의 하면(1b)과의 사이에 에어층(A)이 형성된다.
흡반(41)의 상단(41a)과 링 프레임(1)의 하면(1b)과의 사이에 에어층(A)이 형성되어 있는 상태로, 예컨대, 실린더 기구(8)를 이용하여 제1 블록(71)을 링 프레임(1)의 직경 방향(+Y 방향)을 향해서 이동시킨다. 이에 따라, 제1 블록(71)의 측면(71c)이 제1 평탄면(31)에 접촉한다. 또한, 제1 블록(71)을 +Y 방향으로 옆으로 미끄러지게 하는 것에 의해서, 제2 블록(72)의 측면(72c)을 제2 평탄면(32)에 접촉시켜서, 제1 평탄면(31)과 제2 평탄면(32)을 외측으로부터 끼운다. 이 상태로, 실린더 기구(8)를 이용하여 제1 블록(71)의 위치를 적절하게 조정하는 것에 의해, 환형 테이블(11) 상에 있어서의 링 프레임(1)의 위치 결정이 된다.
그 다음에, 에어 공급원(64)의 동작을 정지시켜서, 흡반(41)의 상방으로의 에어의 공급을 정지한다. 이에 따라, 흡반(41)의 상단(41a)과 링 프레임(1)의 하면(1b)과의 사이에 형성되고 있던 에어층(A)이 없어지고, 도 5에 도시한 바와 같이, 링 프레임(1)의 하면(1b)과 흡반(41)의 상단(41a)이 접촉한다.
그 후, 에어 벨브(65)를 닫아서 흡인 밸브(62)를 열고, 흡인원(61)을 작동시켜서 흡인력을 발휘시킨다. 이에 따라, 흡인원(61)에 의해서 발생된 흡인력이 흡인로(63)를 통해서 공통로(67)에 전달되고, 구멍(110b)으로 전달된다. 그리고, 구멍(110b)에 연결된 통(43)의 아래 개구(43b)로부터 통(43)의 내부로 전해지고, 통(43)의 상단(43a)로부터 링 프레임(1)의 하면(1b)으로 전달된다.
이와 같이 하여, 링 프레임(1)의 하면(1b)이 흡반(41)의 상단(41a)에 접촉하고 있는 상태로 통 벨로우즈(42)의 내부를 부압으로 하는 것에 의해, 통 벨로우즈(42)의 내부에 걸리는 압력과 통 벨로우즈(42)의 외부의 대기압과의 사이에 압력차이가 발생한다. 이에 따라, 링 프레임(1)이 흡반(41)에 흡인 유지되고, 대기압에 의해서 통 벨로우즈(42)가 수축하여 흡반(41)이 오목부(11c)의 내부에 수용된다.
통 벨로우즈(42)가 수축해 나갈 때, 통 벨로우즈(42)의 내부에 배치되고 있는 통(43)에 의해서 통 벨로우즈(42)가 가이드 되어서, 통 벨로우즈(42)의 수축 방향에 직교하는 방향으로 통 벨로우즈(42)가 변형하는 것이 방지된다. 따라서, 복수 구비되어 있는 흡반(41)의 각각의 높이가 변함없이, 링 프레임(1)을 부상시키는 것이 가능하게 되고, 위치 결정을 행할 수 있게 된다. 그리고, 위치 결정된 링 프레임(1)을 흡인 유지하는 것이 가능해진다.
또한, 링 프레임 유지 기구(10)에 구비되는 흡인 유지 도구(40)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 예컨대, 흡반(41)과 통 벨로우즈(42)가 일체화되고 있는, 이른바 벨로우즈 패드여도 좋다.
통 벨로우즈(42)의 내부에는, 대략 원기둥 형상의 통(43)이 배치되고 있고, 통(43)의 측면의 하부에는 수나사(431)가 형성되어 있다. 구멍(110b)에는, 수나사(431)에 대응하는 암나사(110c)가 형성되어 있고, 통(43)의 수나사(431)가 암나사(110c)에 나사 결합하여, 통(43)이 구멍(110b)에 고정되어 있다.
예컨대, 통(43)의 측면에는, 통(43)의 직경 방향을 향해 밖으로 뻗어 있는 칼라부(430)가 형성되어 있다.
통(43)의 수나사(431)가 암나사(110c)에 나사 결합하여, 칼라부(430)와 오목부(11c)의 바닥부로 통 벨로우즈(42)를 끼우고, 통 벨로우즈(42)를 오목부(11c)에 고정한다. 또한, 상기와 같이, 링 프레임(1)이 흡반(41)에 재치된 상태로, 흡인원(61)을 이용하여 통 벨로우즈(42)의 내부를 부압으로 하면, 흡반(41) 상에 링 프레임(1)이 흡인 유지되어서 통 벨로우즈(42)가 수축한다. 이 때, 칼라부(430)로 고정되는 통 벨로우즈(42)의 내부의 벽이 통의 상단(43a)[통(43)]에 의해서 압박되므로, 대기압에 의해서 통 벨로우즈(42)가 통 벨로우즈(42)의 수축 방향에 직교하는 방향으로 변형하는 것을 막을 수 있다.
1: 링 프레임 1a : 링 프레임의 상면 1b : 링 프레임의 하면
10 : 링 프레임 유지 기구 11 : 환형 테이블 11a : 환형 테이블의 상면
11c : 오목부 110b : 구멍 110c : 암나사
12 : 유지 테이블 12a : 유지면
2 : 반송 기구 21 : 흡착부 22 : 유지 부재 23 : 지지부 24 : 아암 부
25 : 연결 부재 26 : 반송 흡인원 27 : 연통로
31 : 제1 평탄면 32 : 제2 평탄면 33 : 제3 평탄면 34 : 제4 평탄면
40 : 흡인 유지 도구 41 : 흡반 41a : 흡반의 상단 41b : 흡반의 하단
42 : 통 벨로우즈 43 : 통 43a : 통의 상단 43b : 통 아래 개구
430 : 칼라부 431 : 수나사
51 : 제1 고정 위치 결정부 51B : 제1 고정 부재 51P : 제1 고정 핀
53 : 제1 가동 위치 결정부 53B : 제1 가동 부재 53P : 제1 가동 핀
53S : 제1 샤프트
55 : 제2 고정 위치 결정부 55B : 제2 고정 부재 55P : 제2 고정 핀
57 : 제2 가동 위치 결정부 57B : 제2 가동 부재 57P : 제2 가동 핀
57S : 제2 샤프트
61 : 흡인원 62 : 흡인 밸브 63 : 흡인로 64 : 에어 공급원
65 : 에어 벨브 66 : 에어 공급로 a : 합류점 67 : 공통로
71 : 제1 블록 72 : 제2 블록
10 : 링 프레임 유지 기구 11 : 환형 테이블 11a : 환형 테이블의 상면
11c : 오목부 110b : 구멍 110c : 암나사
12 : 유지 테이블 12a : 유지면
2 : 반송 기구 21 : 흡착부 22 : 유지 부재 23 : 지지부 24 : 아암 부
25 : 연결 부재 26 : 반송 흡인원 27 : 연통로
31 : 제1 평탄면 32 : 제2 평탄면 33 : 제3 평탄면 34 : 제4 평탄면
40 : 흡인 유지 도구 41 : 흡반 41a : 흡반의 상단 41b : 흡반의 하단
42 : 통 벨로우즈 43 : 통 43a : 통의 상단 43b : 통 아래 개구
430 : 칼라부 431 : 수나사
51 : 제1 고정 위치 결정부 51B : 제1 고정 부재 51P : 제1 고정 핀
53 : 제1 가동 위치 결정부 53B : 제1 가동 부재 53P : 제1 가동 핀
53S : 제1 샤프트
55 : 제2 고정 위치 결정부 55B : 제2 고정 부재 55P : 제2 고정 핀
57 : 제2 가동 위치 결정부 57B : 제2 가동 부재 57P : 제2 가동 핀
57S : 제2 샤프트
61 : 흡인원 62 : 흡인 밸브 63 : 흡인로 64 : 에어 공급원
65 : 에어 벨브 66 : 에어 공급로 a : 합류점 67 : 공통로
71 : 제1 블록 72 : 제2 블록
Claims (2)
- 피유지 부재를 흡인 유지하는 흡인 유지 도구로서,
흡반과,
상기 흡반의 하단에 연결된 통 벨로우즈와,
상기 통 벨로우즈의 내부에 배치되고, 상기 흡반의 상단보다 하방에 위치된 상단을 구비한 통
을 포함하고,
상기 통 아래 개구를 흡인원에 연통하여, 상기 흡반의 상단에 피유지 부재를 접촉시켜서, 밀실이 된 상기 통 벨로우즈의 내부를 부압으로 하여 상기 피유지 부재를 유지하는 흡인 유지 도구. - 흡인 유지 도구를 이용하여 링 프레임의 하면을 흡인하는 것에 의해, 상기 링 프레임을 유지하는 링 프레임의 유지 기구로서,
테이블과,
흡반과, 상기 흡반의 하단에 연결된 통 벨로우즈와, 상기 통 벨로우즈의 내부에 배치되고, 상기 흡반의 상단보다 하방에 위치된 상단을 가지는 통을 구비하고, 상기 테이블의 상면에 형성된 개구를 구비한 오목부에 배치되고, 상기 흡반의 상단에 상기 링 프레임을 접촉시켜서, 상기 링 프레임을 유지하는 상기 흡인 유지 도구와,
상기 흡인 유지 도구를 흡인원에 연통하는 흡인로와,
상기 흡인로에 배치되는 흡인 밸브와,
상기 흡인 유지 도구를 에어 공급원에 연통하는 에어 공급로
를 포함하고,
상기 링 프레임이 상기 흡반의 상단에 접촉하고 있는 상태로 상기 통 벨로우즈의 내부를 부압으로 하는 것에 의해, 상기 흡반이 상기 링 프레임을 유지하고, 상기 통 벨로우즈의 내부에 걸리는 압력과 상기 벨로우즈 밖의 대기압과의 사이에 압력 차이가 발생하여, 대기압에 의해서 상기 통 벨로우즈가 수축해서 상기 오목부 내에 수용되는 링 프레임의 유지 기구.
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