JP7024162B2 - 真空パッド - Google Patents

Description

本発明は、真空圧を利用してワークを吸着する真空パッドに関する。

従来から、パッドの吸着面に真空圧を作用させてワークを吸着し搬送する真空パッドが知られている。真空パッドでワークを吸着する際、例えばワークが傾いていると、パッドがワークに密着せず、真空圧がワークに対して有効に作用しない。

そこで、ボールジョイントによりパッド部分を首振り可能としたり、パッド自体を蛇腹状としたりすることで、傾斜面に対しても吸着が行われるようにしたものがある（特許文献１参照）。

実公平５－３５９７３号公報

しかしながら、パッド部分を首振り可能とする場合、あるいは、パッド自体を蛇腹状とする場合、パッドに吸着されたワークはその後も首振り可能であるため、搬送工程においてワークが揺動し、ワークの位置ずれが生じるおそれがある。特にワークが高速で搬送される場合は、ワークが大きく振れて、慣性によりワークがパッドから脱落するおそれがある。

本発明は、このような課題を解決するためになされたものである。本発明は、ワークの被吸着面が傾斜していてもパッドをワークに密着させることができ、しかも、吸着後にワークの姿勢を安定させ、ワークの振れを防止できる真空パッドを提供することを目的とする。

本発明に係る真空パッドは、真空圧を利用してワークを吸着する真空パッドであって、内部に真空通路を有する支持部材と、支持部材に固定されるベローズと、ベローズの内側に取り付けられる規制部材とを有し、ベローズの収縮時に規制部材が真空通路に入り込み、ベローズの収縮時には支持部材に対する規制部材の傾斜が阻止され、ベローズの非収縮時には支持部材に対する規制部材の傾斜が許容されることを特徴とする。

上記真空パッドによれば、ベローズの収縮時に、ベローズに取り付けられた規制部材が支持部材の真空通路に入り込むので、規制部材の傾斜が阻止され、ワークの保持姿勢が安定する。

上記真空パッドにおいて、ベローズの内壁にはインナーリングが取り付けられているのが好ましい。これによれば、ベローズが潰れて扁平になることが抑制される。

また、規制部材は、真空通路に嵌入可能な筒部と、筒部の一端部から外向きに延びるフランジ部とを有し、フランジ部の先端はベローズの内壁に係止するのが好ましい。これによれば、簡単な構成で規制部材をベローズの内側に取り付けることができる。また、流動性のある加工品が収容された袋等をワークとして吸着搬送する場合、ワークが変形しながら真空パッド内に吸い込まれることが抑制される。

この場合、筒部の他端部は先細りのテーパ面となっており、真空通路の端部は拡径するテーパ面となっているのが好ましい。ベローズの非収縮時において、筒部のテーパ面が所定の隙間を隔てて真空通路のテーパ面と対向していてもよく、また、規制部材は支持部材から軸方向に離間していてもよい。これによれば、ワークの被吸着面が傾斜している場合であっても、ベローズを支障なく屈曲させてワークに密着させることができる。特に、ベローズの非収縮時において規制部材を支持部材から軸方向に離間させるときは、ベローズの屈曲変形の自由度を大きくすることができる。

また、筒部には、軸方向に貫通する縦孔と、縦孔に連通するとともに筒部の側面に開口する横孔とが設けられているのが好ましい。あるいは、筒部には軸方向に貫通する縦孔が設けられ、筒部の外周面には軸方向に延びるスリット状の溝が設けられ、フランジ部には厚み方向に貫通し溝と繋がる貫通孔が設けられているのが好ましい。これによれば、ベローズが収縮した状態とワークが吸着された状態とを真空圧により安定して維持することができる。

また、ワークに吸着跡を残さないことが求められる場合は、フランジ部はベローズの下端部を覆う形状であるのが好ましい。これによれば、ワークに接触するのはベローズではなく規制部材であるので、ワークに吸着跡が残らない。

さらに、ワークの帯電を回避することが求められる場合は、規制部材は金属材料または導電性樹脂材料からなるのが好ましい。これによれば、ワークとの接触により規制部材が帯電してもこれを除電することができる。

本発明に係る真空パッドは、ベローズの収縮時に、ベローズに取り付けられた規制部材が支持部材の真空通路に入り込むので、規制部材の傾斜が阻止される。したがって、ワークの保持姿勢が安定し、ワークの吸着搬送時にワークが振れることがない。

本発明の第１実施形態に係る真空パッドの正面図である。 図１の真空パッドの底面図である。 図１の真空パッドの縦断面図である。 図１の真空パッドが最も収縮したときの縦断面図である。 図１の真空パッドがワークに密着した際の縦断面図である。 本発明の第２実施形態に係る真空パッドの縦断面図である。 本発明の第３実施形態に係る真空パッドの縦断面図である。 図７の真空パッドが最も収縮したときの縦断面図である。 本発明の第４実施形態に係る真空パッドの縦断面図である。 本発明の第５実施形態に係る真空パッドの縦断面図である。 図１０の真空パッドが最も収縮したときの縦断面図である。 図１０の真空パッドにおける規制部材の斜視図である。

以下、本発明に係る真空パッドについて複数の好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る真空パッド１０について、図１～図４を参照しながら説明する。

真空パッド１０は、ワークＷを吸着搬送するために用いられ、図示しない搬送装置に取り付けられる。真空パッド１０は、支持部材１２とベローズ１４と規制部材１６とを含む。

支持部材１２は、アルミニウム合金等の金属材料または樹脂材料から円筒状に形成され、その軸線が鉛直方向を向くように図示しない搬送装置に取り付けられる。支持部材１２は上下方向に貫通する真空通路２０を有し、真空通路２０の下端は下方に向かって拡径するテーパ面２２となっている。このテーパ面２２の傾斜角は、例えば１５度に設定される。支持部材１２の下部には、ベローズ１４を支持するための環状溝２４が設けられている。

ベローズ１４は、例えば所定の弾性を有するゴム材料から円筒状に形成され、伸縮および屈曲自在な蛇腹構造を有する。ベローズ１４の上端は肉厚となって径方向内方にフランジ状に延びており、この内向きフランジ部２６が支持部材１２の環状溝２４に嵌合する。これにより、ベローズ１４が支持部材１２に取り付けられる。ベローズ１４の下端部２８は、斜め下方に拡開する形状となっており、その先端がワークＷに対して接触する部位となる。

ベローズ１４の内壁には、環状の山部と環状の谷部が交互に現われている。本実施例では、４つの山部３０ａ～３０ｄが存在する。第１の山部３０ａと第２の山部３０ｂとの間の谷部にインナーリング３２ａが係止されるとともに、第２の山部３０ｂと第３の山部３０ｃとの間の谷部にもインナーリング３２ｂが係止されている。これらのインナーリング３２ａ、３２ｂは、ベローズ１４が潰れて扁平になるのを抑制する役割を担うもので、樹脂材料または高硬度のゴム材料からリング状に形成される。インナーリング３２ａ、３２ｂを設ける代わりに、これに相当する補強部をベローズ１４に一体成形してもよい。

規制部材１６は、ＰＥＥＫ等の樹脂材料から概ね円筒状に形成されている。規制部材１６は、円筒状の筒部３４と、筒部３４の下端から径方向外方に延びるフランジ部３６とを有する。フランジ部３６の先端は、斜め上方に傾斜し、ベローズ１４の内壁における第３の山部３０ｃと第４の山部３０ｄとの間の傾斜部３０ｅに係止する。これにより、規制部材１６がベローズ１４に取り付けられる。フランジ部３６の筒部３４寄りの下面と筒部３４の下端面とで、上方に凹む湾曲面４６が形成されている。すなわち、ワークＷと向き合う規制部材１６の下面に湾曲面４６が形成されている

筒部３４の上端部の外周は先細りのテーパ面３８となっており、このテーパ面３８の傾斜角は、真空通路２０のテーパ面２２の傾斜角と同一に設定される。ベローズ１４の非収縮時において、筒部３４のテーパ面３８は、所定の隙間を隔てて真空通路２０のテーパ面２２と対向している。テーパ面３８を除く筒部３４の外径は、テーパ面２２を除く真空通路２０の内径と略同じか、またはそれより僅かに小さく、筒部３４は真空通路２０に嵌入可能である。

筒部３４は、軸方向に貫通する縦孔４０を有する。縦孔４０は、筒部３４の上端面に開口するほか、複数の第１横孔４２を介して筒部３４のテーパ面３８に開口する。また、縦孔４０は、筒部３４の下方寄りの部位において、複数の第２横孔４４を介して筒部３４の側面に開口する。フランジ部３６には、厚み方向に貫通する複数の貫通孔４８が周方向に等間隔で設けられている。

ベローズ１４の非収縮時においては、ベローズ１４の内側空間５０は、筒部３４の第２横孔４４と縦孔４０を介して支持部材１２の真空通路２０に連通するほか、筒部３４のテーパ面３８と真空通路２０のテーパ面２２との間の隙間を介して支持部材１２の真空通路２０に連通する（図３参照）。ベローズ１４の収縮時においては、ベローズ１４の内側空間５０は、筒部３４の第２横孔４４と縦孔４０を介して支持部材１２の真空通路２０に連通する（図４参照）。

ベローズ１４の収縮時を含めベローズ１４がワークＷに密着しているとき、ベローズ１４の下端部２８とワークＷとの間に形成される空間５２は、筒部３４の縦孔４０を介して支持部材１２の真空通路２０に連通するほか、フランジ部３６の貫通孔４８と筒部３４の第２横孔４４と縦孔４０とを介して、支持部材１２の真空通路２０に連通する（図４参照）。

本実施形態に係る真空パッド１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、以下、図４および図５を参照しながら、その作用について説明する。

図示しない搬送装置により、真空パッド１０がワークＷの上方に位置決めされた後、真空パッド１０がワークＷに向けて下降せしめられる。ここで、ワークＷにはさまざまな表面形状があり、また、ワークＷが傾斜して置かれている場合があるため、ワークＷの被吸着面が水平面に対して傾斜している場合がある。

ワークＷの被吸着面が水平面に対して傾斜している場合、ベローズ１４の下端部２８は、まず、その先端の一部のみがワークＷに接触する。その後、真空パッド１０をワークＷに向けて下方に押し付けると、ベローズ１４は、ワークＷの被吸着面の傾斜に倣うように屈曲しながら全体としては収縮する。そして、ベローズ１４の下端部２８はその先端の全周においてワークＷに当接する。すなわち、ベローズ１４がワークＷに密着する（図５参照）。ベローズ１４がワークＷに当接する際の衝撃は、ベローズ１４の弾性によって吸収される。

なお、筒部３４のテーパ面３８と真空通路２０のテーパ面２２との間には隙間が設けられているので、規制部材１６はその軸心（筒部３４の軸心）が鉛直方向から傾斜することが許容され、規制部材１６が取り付けられたベローズ１４の屈曲動作に支障は生じない。また、ワークＷの被吸着面が水平になっている場合はベローズ１４が屈曲することなくワークＷに密着することはいうまでもない。

真空パッド１０の下降とともに、あるいは、ベローズ１４がワークＷに密着した後に、支持部材１２の真空通路２０に真空圧が導入される。ベローズ１４がワークＷに密着すると、真空圧が有効に作用し、ベローズ１４は、屈曲状態を元に戻しつつさらに収縮する。このベローズ１４の収縮に伴い、規制部材１６は、その軸心が鉛直方向に近づくように姿勢を変えながら、支持部材１２の真空通路２０に入り込んでいく。規制部材１６の軸心が鉛直方向に近づくのは、主として、筒部３４が真空通路２０の内壁に接触して案内されることによるが、ベローズ１４がその弾性復元力で屈曲しない形状に戻ろうとすることや、ワークＷの重量によりベローズ１４に鉛直方向の力が作用することにもよる。

そして、規制部材１６の軸心が真空通路２０の軸心に一致した後、ベローズ１４が最も収縮した状態になるまで、規制部材１６は支持部材１２の真空通路２０に嵌入する。これにより、規制部材１６の傾斜が阻止された状態となる（図４参照）。

ベローズ１４が最も収縮した状態において、ベローズ１４の内側空間５０は、筒部３４の第２横孔４４と縦孔４０を介して支持部材１２の真空通路２０に連通している。また、ベローズ１４の下端部２８とワークＷとの間の空間５２は、筒部３４の縦孔４０を介して支持部材１２の真空通路２０に連通するとともに、フランジ部３６の貫通孔４８と筒部３４の第２横孔４４と縦孔４０とを介して、支持部材１２の真空通路２０に連通している。したがって、真空圧の作用により、ベローズ１４が収縮した状態とワークＷが吸着された状態とが安定して維持される。この状態でワークＷが搬送されるので、ワークＷの保持姿勢が安定し、ワークＷが振れることがない。

ところで、流動性のある加工品が収容された袋等をワークとして吸着搬送する場合がある。本実施形態では、筒部３４の下端から径方向外方に延びるフランジ部３６を備えた規制部材１６がベローズ１４の下端側に配設されているので、ワークが変形しながら真空パッド１０内に吸い込まれることが抑制される。

本実施形態によれば、ワークＷの被吸着面が傾斜している場合であっても、ベローズ１４を支障なく屈曲させてワークＷに密着させることができる。また、ベローズ１４の収縮時に、ベローズ１４に取り付けられた規制部材１６が支持部材１２の真空通路２０に嵌入するので、規制部材１６の傾斜が阻止され、ワークＷの保持姿勢が安定する。なお、本実施形態では、ワークＷと向き合う規制部材１６の下面に湾曲面４６が形成されているので、変形しない硬いワークのほかに、変形し易い袋状のワークを吸着する場合にも適している。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る真空パッド５４について、図６を参照しながら説明する。第２実施形態は、規制部材５６の構造が第１実施形態と異なっている。なお、第２実施形態に係る真空パッド５４において、上述した真空パッド１０と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

規制部材５６は、円筒状の筒部５７と、筒部５７の下端から外方に延びるフランジ部５８とを有する。フランジ部５８は、径方向外方に向けて水平に延びる水平部５８ａと、水平部５８ａの先端から斜め上方に傾斜して延びる傾斜部５８ｂとを有する。水平部５８ａは傾斜部５８ｂよりも下方に突出している。フランジ部５８は、第３の山部３０ｃと第４の山部３０ｄとの間の傾斜部３０ｅから第４の山部３０ｄにわたって、ベローズ１４の内壁に係止する。これにより、規制部材５６がベローズ１４に取り付けられる。

筒部５７の下端面とフランジ部５８の水平部５８ａの下面は、同一の平面上に位置している。このため、本実施形態は、特にフィルムないし薄膜のワークを吸着する場合に適している。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る真空パッド６０について、図７および図８を参照しながら説明する。第３実施形態は、規制部材６２の構造が第１実施形態と異なっている。なお、第３実施形態に係る真空パッド６０において、上述した真空パッド１０と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

規制部材６２は、円筒状の筒部６４と、筒部６４の下端から径方向外方に延びるフランジ部３６とを有する。筒部６４の上端部の外周は先細りのテーパ面６８となっており、このテーパ面６８の傾斜角は、真空通路２０のテーパ面２２の傾斜角と同一に設定される。筒部６４の外径は、テーパ面６８の先端近傍を除いて、テーパ面２２を除く支持部材１２の真空通路２０の内径よりも大きい。

筒部６４の軸方向長さは、第１実施形態の筒部３４よりも短いものとなっている。筒部６４は、軸方向に延びる縦孔７０を内部に有する。縦孔７０は、筒部６４の上端まで延びて筒部６４の上端面に開口し、また、複数の横孔７２を介して筒部６４の側面に開口する。

規制部材６２は、ベローズ１４の非収縮時において、支持部材１２から軸方向に離間している（図７参照）。このため、ベローズ１４がワークＷに接触して押し付けられると、ベローズ１４はその弾性範囲で自由に屈曲することができる。

ワークＷの被吸着面が水平面に対して傾斜している場合、真空パッド６０がワークＷに向けて下方に押し付けられると、ベローズ１４は、屈曲しながら全体としては収縮してワークＷに密着する。その後、真空圧が有効に作用すると、ベローズ１４は、屈曲状態を元に戻しつつさらに収縮する。このベローズ１４の収縮に伴い、ベローズ１４に取り付けられた規制部材６２は、その軸心が鉛直方向に近づくように姿勢を変え、筒部６４のテーパ面６８が真空通路２０のテーパ面２２に当接するに至る。

そして、筒部６４のテーパ面６８と真空通路２０のテーパ面２２とが完全に整合したところで、ベローズ１４が最も収縮した状態になる（図８参照）。このとき、規制部材６２の軸心は支持部材１２の軸心と一致しており、かつ、規制部材６２と支持部材１２とがテーパ面同士で面接触しているため、規制部材６２の傾斜が確実に阻止される。

ベローズ１４の収縮時を含めベローズ１４がワークＷに密着しているとき、ベローズ１４の下端部２８とワークＷとの間に形成される空間５２は、筒部６４の縦孔７０を介して支持部材１２の真空通路２０に連通するほか、フランジ部３６の貫通孔４８と筒部６４の横孔７２と縦孔７０とを介して、支持部材１２の真空通路２０に連通する（図８参照）。

本実施形態によれば、ベローズ１４の非収縮時において規制部材６２が支持部材１２から軸方向に離間しているので、ベローズ１４がワークＷに密着する際のベローズ１４の屈曲変形の自由度を大きくすることができる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係る真空パッド８０について、図９を参照しながら説明する。第４実施形態は、規制部材８２の構造が第１実施形態と異なる。なお、第４実施形態に係る真空パッド８０において、上述した真空パッド１０と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

規制部材８２は、金属材料または導電性樹脂材料から概ね円筒状に形成されている。規制部材８２は、円筒状の筒部３４と、筒部３４の下端から径方向外方に延びるフランジ部８６とを有する。フランジ部８６は、先端が二股に分かれ、斜め上方に傾斜する第１フランジ部８６ａと、斜め下方に傾斜する第２フランジ部８６ｂとを有する。

第１フランジ部８６ａと第２フランジ部８６ｂとでベローズ１４の内壁における第４の山部３０ｄを跨ぐようにして、フランジ部８６がベローズ１４の内壁に係止する。これにより、規制部材８２がベローズ１４に取付けられる。

第２フランジ部８６ｂの先端は、ベローズ１４の下端部２８の先端よりも外方に延びており、第２フランジ部８６ｂはベローズ１４を下方から覆っている。すなわち、第２フランジ部８６ｂの先端がワークに対して接触する部位となる。第２フランジ部８６ｂを含む規制部材８２の底面形状は、ワークの種類に応じて異なるもの（平面または湾曲面）としてもよい。

本実施形態は、ワークに吸着跡を残さないことが求められる場合、例えば、ワークがガラス板である場合に適している。ゴム材料からなるベローズ１４をワークに接触させる場合は、ゴム中の油分が表面に出てワークに転写され、ワークに吸着跡が残る可能性がある。本実施形態では、ワークに接触するのは、ベローズ１４ではなく、規制部材８２である。そして、規制部材８２はゴム材料からなるものではないので、ワークに吸着跡が残ることがない。この場合、規制部材８２の材料としてＰＥＥＫを選択すると好適である。

また、本実施形態は、ワークの帯電を回避することが求められる場合に適している。規制部材８２は金属材料または導電性樹脂材料から形成されているので、規制部材８２がワークと接触した際に帯電しても、筒部３４が真空通路２０に嵌入することで規制部材８２が支持部材１２に接触したとき、規制部材８２の電荷（静電気）は除去される。したがって、ワークの帯電が回避される。なお、支持部材１２の材料は、第１実施形態では金属材料または樹脂材料としたが、本実施形態では金属材料に限られる。

本実施形態によれば、ワークに吸着跡が残らない。また、ワークとの接触により規制部材８２が帯電してもこれを除電することができる。

（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態に係る真空パッド１００について、図１０～図１２を参照しながら説明する。第５実施形態は、規制部材１０２の構造が第１実施形態と異なる。なお、第５実施形態に係る真空パッド１００において、上述した真空パッド１０と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

規制部材１０２は、円筒状の筒部１０４と、筒部１０４の下端から径方向外方に延びるフランジ部３６とを有する。筒部１０４の上端部の外周は先細りのテーパ面３８となっており、このテーパ面３８の傾斜角は、真空通路２０のテーパ面２２の傾斜角と同一に設定される。ベローズ１４の非収縮時において、筒部１０４のテーパ面３８は、所定の隙間を隔てて真空通路２０のテーパ面２２と対向している。テーパ面３８を除く筒部１０４の外径は、テーパ面２２を除く真空通路２０の内径と略同じか、またはそれより僅かに小さく、筒部１０４は真空通路２０に嵌入可能である。

筒部１０４には、軸方向に貫通する縦孔１０６が設けられている。図１２に示すように、筒部１０４の外周面には、軸方向に延びる複数のスリット状の溝１０８が周方向に等間隔で設けられている。フランジ部３６には、厚み方向に貫通する複数の貫通孔１１０が筒部１０４の溝１０８と整合する位置に設けられている。すなわち、フランジ部３６の各貫通孔１１０は、筒部１０４の各溝１０８と繋がっている。

規制部材１０２の筒部１０４が支持部材１２の真空通路２０に嵌入したとき、筒部１０４と真空通路２０の壁面との間には、複数の溝１０８によって十分な隙間が確保されているので、ベローズ１４の内側空間５０は真空通路２０に連通した状態を良好に保つことができる（図１１参照）。また、ベローズ１４の下端部２８とワークＷとの間に形成される空間５２は、筒部１０４の縦孔１０６を介して支持部材１２の真空通路２０に連通している。

本実施形態によれば、筒部１０４に縦孔１０６が設けられ、筒部１０４の外周面にスリット状の溝１０８が設けられ、フランジ部３６に筒部１０４の溝１０８と繋がる貫通孔１１０が設けられているので、ベローズ１４が収縮した状態とワークＷが吸着された状態とを真空圧により安定して維持することができる。

本発明に係る真空パッドは、上述の各実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することのない範囲で、種々の形態を採り得ることはもちろんである。

１０、５４、６０、８０、１００…真空パッド
１２…支持部材
１４…ベローズ
１６、５６、６２、８２、１０２…規制部材
２０…真空通路
２２、３８、６８…テーパ面
３２ａ、３２ｂ…インナーリング
３４、５７、６４、１０４…筒部
３６、５８、８６…フランジ部
４０、７０、１０６…縦孔
１０８…溝
１１０…貫通孔
Ｗ…ワーク

Claims (10)

1. 真空圧を利用してワークを吸着する真空パッドであって、
   内部に真空通路を有する支持部材と、前記支持部材に固定されるベローズと、前記ベローズの内側に取り付けられる規制部材とを有し、前記ベローズの収縮時に前記規制部材が前記真空通路に入り込み、
   前記ベローズの収縮時には前記支持部材に対する前記規制部材の傾斜が阻止され、前記ベローズの非収縮時には前記支持部材に対する前記規制部材の傾斜が許容される
   ことを特徴とする真空パッド。
2. 請求項１記載の真空パッドにおいて、
   前記ベローズの内壁にはインナーリングが取り付けられている
   ことを特徴とする真空パッド。
3. 請求項１記載の真空パッドにおいて、
   前記規制部材は、前記真空通路に嵌入可能な筒部と、前記筒部の一端部から外向きに延びるフランジ部とを有し、前記フランジ部の先端は前記ベローズの内壁に係止する
   ことを特徴とする真空パッド。
4. 請求項３記載の真空パッドにおいて、
   前記筒部の他端部は先細りのテーパ面となっており、前記真空通路の端部は拡径するテーパ面となっている
   ことを特徴とする真空パッド。
5. 請求項４記載の真空パッドにおいて、
   前記ベローズの非収縮時において、前記筒部のテーパ面が所定の隙間を隔てて前記真空通路のテーパ面と対向している
   ことを特徴とする真空パッド。
6. 請求項４記載の真空パッドにおいて、
   前記ベローズの非収縮時において、前記規制部材は前記支持部材から軸方向に離間している
   ことを特徴とする真空パッド。
7. 請求項３記載の真空パッドにおいて、
   前記筒部には、軸方向に貫通する縦孔と、前記縦孔に連通するとともに前記筒部の側面に開口する横孔とが設けられている
   ことを特徴とする真空パッド。
8. 請求項３記載の真空パッドにおいて、
   前記筒部には軸方向に貫通する縦孔が設けられ、前記筒部の外周面には軸方向に延びるスリット状の溝が設けられ、前記フランジ部には厚み方向に貫通し前記溝と繋がる貫通孔が設けられている
   ことを特徴とする真空パッド。
9. 請求項３記載の真空パッドにおいて、
   前記フランジ部は前記ベローズの下端部を覆う形状である
   ことを特徴とする真空パッド。
10. 請求項９記載の真空パッドにおいて、
    前記規制部材は金属材料または導電性樹脂材料からなる
    ことを特徴とする真空パッド。

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