JP4292163B2

JP4292163B2 - 真空吸着具

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Publication number: JP4292163B2
Application number: JP2005025691A
Authority: JP
Inventors: 泰雄原島
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 2005-02-01
Filing date: 2005-02-01
Publication date: 2009-07-08
Anticipated expiration: 2025-02-01
Also published as: JP2006212718A

Description

本発明は被搬送物を吸着して搬送するための真空吸着具に関する。

セラミック基板、ガラス基板、及び液晶ディスプレイ等を有する電子機器を製造するラインには、これらを被搬送物としてある位置から他の位置まで搬送する工程がある。このような工程には搬送ロボット等の搬送装置が使用されており、搬送装置には被搬送物を吸着保持しながら搬送するための真空吸着具が装着されたタイプがあり、このタイプの吸着具はガラス基板などの板状の部材のみならず、小型の電子部品の吸着搬送にも使用されている。

従来の真空吸着具には合成ゴムなどの弾性材料等からなる吸着パッドを有し、被搬送物に吸着パッドを押し付けて吸着面を被搬送物に密着させてから被搬送物を真空吸着するようにしたものがある。このような真空吸着具にあっては、吸着パッドの押付け力が弱すぎると吸着面と被搬送物との気密性が悪くなって吸着力が低下してしまうが、一方で押付け力が強すぎると被搬送物や吸着パッドを損傷させてしまいかねない。また、被搬送物に対する押付け時の衝撃を緩和する必要もある。

従来の真空吸着具には、搬送装置に固定される筒体に対して吸着パッドを備える軸部材を往復動自在に設けるとともに、筒体と軸部材との間にコイルバネを設け、コイルバネを介して吸着パッドを押し付けることにより、被搬送物に対する押付け力を調節するとともに被搬送物に対する押付け時の衝撃を吸収するようにしたものがある。しかしながら、コイルバネを用いるタイプの真空吸着具においては、軸部材の往復動ストロークとバネ変位によるバネ力とが線形関係にあるため、一定の往復動ストロークが得られないと一定のバネ力を得ることができず、吸着面の押付け力を一定にすることができなかった。この点、特許文献１及び２には、コイルバネの代わりに筒体と軸部材のそれぞれに相互に反発しあう向きに永久磁石を設けるようにした技術が開示されており、可動側である軸部材のストローク変化に係わらず一定の押付け力を作用させることができる旨の記載がある。
特開２００２−５４６７１号公報特開２００３−７１７６９号公報

特許文献１及び２に開示される技術においては、軸部材の外周面上と筒体の内周面上とに相互に反発しあう向きに永久磁石が設けられているため、吸着具全体を径方向に小型化することが困難な構造となっており、小型部品を搬送するための真空吸着具として適さなかった。また、軸部材の往復動にともなって永久磁石同士が衝突して金属粉を発生させるおそれがあり、僅かな粉塵でも障害となる精密部品搬送用の真空吸着具として適さなかった。

本発明の目的は、装置全体の小型化を図ることができ、精密部品搬送用に適した真空吸着具を提供することにある。

本発明の真空吸着具は、真空供給源に連通し先端面に開口する貫通孔が設けられた中空の取付部材と、前記先端面に対向して配置される後端面と被搬送物に接触する吸着面とに開口する吸引孔が設けられた吸着パッドと、前記取付部材に固定される後端部、前記吸着パッドに固定される先端部、及び前記後端部と前記先端部との間に設けられ前記貫通孔と前記吸引孔とに連通する連通室を区画形成する弾性変形自在の蛇腹部を備えた弾性筒体と、前記取付部材の前記先端面に形成された凹部内に固定される第１の永久磁石と、前記吸着パッドの前記後端面に形成された凹部内に固定され前記第１の永久磁石に反発する第２の永久磁石とを有し、前記先端面と前記後端面との接触により前記蛇腹部の収縮時に前記永久磁石同士の衝突を回避するとともに前記蛇腹部の密着を回避することを特徴とする。

本発明の真空吸着具は、前記第１の永久磁石には前記貫通孔と前記連通室とに連通する連通孔が形成され、前記第２の永久磁石には前記吸引孔と前記連通室とに連通する連通孔が形成されることを特徴とする。

本発明の真空吸着具は、前記第１の永久磁石及び前記第２の永久磁石のそれぞれは同一の磁極が相互に対向するように配置された永久磁石であることを特徴とする。

本発明の真空吸着具は、前記弾性筒体の膨張収縮時に、孔内を摺動して前記取付部材に対する前記吸着パッドの移動方向を制限する位置決め部材を有することを特徴とする。

本発明の真空吸着具は、前記位置決め部材は、前記取付部材と前記吸着パッドの少なくともいずれか一方に形成される位置決め孔、又は前記貫通孔、前記吸引孔、若しくは前記連通孔のうちの少なくとも１つの孔内を摺動することを特徴とする。

本発明の真空吸着具は、前記位置決め孔内を摺動する前記位置決め部材はピン部材であることを特徴とする。

本発明の真空吸着具は、前記位置決め部材は側壁に通気孔が形成された円筒部材であることを特徴とする。

本発明によれば、吸着パッドに押付け力を作用させるための永久磁石を弾性筒体の内部で相互に対向して配置される取付部材の先端面と吸着パッドの後端面のそれぞれに固定するようにしているので、吸着具全体が径方向に大型化することがなく、真空吸着具の小型化を図ることができる。

本発明によれば、連通室内の真空により先端面と後端面とが接触するまで弾性筒体を収縮させても、第１と第２の永久磁石同士が衝突することがないので衝突に伴う金属粉の発生を回避することができ、精密部品の搬送に適した真空吸着具を提供することができる。また、蛇腹部が過度に折り曲げられることがないので、蛇腹部が繰り返し弾性変形してもスプリング効果が失われることなく、蛇腹部が変形したままになることが防止され、長期間にわたって被搬送物の離脱を容易に行うことができる。

本発明によれば、ピン部材などの位置決め部材が位置決め孔などの孔内を摺動することにより、弾性筒体の膨張収縮時の取付部材に対する吸着パッドの移動方向を制限することができるので、永久磁石同士の反発力によって、取付部材の中心軸と吸着パッドの中心軸とが相対的にずれることを防止することができる。これにより、被搬送物を吸着保持する際には、連通室内に真空を供給して先端面と後端面とが接触するまで弾性筒体を収縮させることにより一定の押付け力を被搬送物に作用させることができ、永久磁石の磁力等を調節しておくことにより最適な押付け力で吸着パッドを押し付けることができるとともに、永久磁石同士の反発力により押付け時の衝撃力を緩和することができる。位置決め部材として側壁に通気孔が形成された円筒部材を用いることにより、連通室内に真空を供給することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態である真空吸着具の外観を示す斜視図であり、図２は図１の断面図である。

この真空吸着具１０は、一端部に大径の頭部１１が設けられた金属製の取付部材１２を有し、この取付部材１２には一端から他端に連なって貫通孔１３が形成されており、貫通孔１３の一端は取付部材１２の先端面１２ａに開口しており、貫通孔１３の他端は真空ポンプ等を備えた図示しない真空供給源に連通している。取付部材１２は一点鎖線で示す被搬送物Ｗを移動するための搬送ロボット等の搬送装置に取り付けられることになる。

取付部材１２には導電性のゴムからなる弾性筒体１４が装着されるようになっており、この弾性筒体１４は取付部材１２の外側に嵌合して固定される円筒形状の後端部１５と、これに一体なった蛇腹部１６とを有し、蛇腹部１６内は貫通孔１３に連通する連通室１７となっている。蛇腹部１６は後端部側から先端に向けて徐々に外径が大きくなったテーパ部１６ａとこのテーパ部１６ａから先端に向けて徐々に外径が小さくなったテーパ部１６ｂとを有し、蛇腹部１６は両方のテーパ部１６ａ，１６ｂがこれらの境界を中心として弾性変形することによって軸方向に伸縮自在となっている。

後端部１５には取付部材１２の頭部１１が入り込む凹部１８が形成され、取付部材１２の外周には雄ねじ１９が形成されている。弾性筒体１４は、凹部１８内に頭部１１を入り込ませた状態のもとでワッシャ２０を取付部材１２の外側に組み付け、ナット２１を雄ねじ１９にねじ結合することにより取付部材１２に装着される。

蛇腹部１６の先端には径方向外方に突出するフランジ部２２が蛇腹部１６に一体となって設けられており、弾性筒体１４の先端部には吸着パッド２３が装着されている。この吸着パッド２３は弾性筒体１４の先端部内に嵌合される筒部２４と、この筒部２４から径方向外方に突出するフランジ部２５とを有し、フランジ部２５の先端面が被搬送物Ｗの表面に接触する吸着面２６となっており、連通室１７を介して貫通孔１３に連通し被搬送物Ｗに開口する吸引孔２７が設けられている。

取付部材１２の先端面１２ａに対向して配置される筒部２４の後端面２８はストッパ面となっており、吸着面２６に被搬送物Ｗを密着させた状態のもとで、真空供給源から貫通孔１３，連通室１７を介して吸引孔２７を真空にして弾性筒体１４が収縮したときに、蛇腹部１６のテーパ部１６ａ，１６ｂが密着する前に後端面２８が後端部１５の取付部材１２の先端面１２ａに接触して蛇腹部１６の密着が回避される。これにより、過度に蛇腹部１６が収縮することを防止できる。

吸着パッド２３は、金属粉末、樹脂粉末、あるいはセラミックス粉末のいずれか又はこれらの混合粉末を焼結して形成されており多孔質構造となっている。吸着パッド２３を多孔質構造として所定の気孔率に設定することにより吸着パッド２３には通気性を持たせることができる。吸着パッド２３は焼結材料により形成することなく、発泡樹脂を用いても同様に通気性を有する多孔質構造とすることができる。吸着パッド２３を焼結金属により形成すると、導電性を持たせることができ、樹脂やセラミックスの粉末を用いて焼結する場合でも金属粉末を含有させることにより導電性を持たせることができる。発泡樹脂や樹脂粉末を用いて吸着パッド２３を形成する場合にも導電性樹脂を用いることにより吸着パッド２３に導電性を持たせることができる。

吸着パッド２３の後端部には、テーパ部１６ｂの内周面に係合する大径の係合部２９が設けられており、弾性筒体１４の先端部の内径を広げるようにして吸着パッド２３の筒部２４を弾性筒体１４の先端部に挿入することにより吸着パッド２３は弾性筒体１４に装着される。吸着パッド２３のフランジ部２５の外周面と、フランジ部２５の背面と、筒部２４の外周面には封孔処理が施されており、それぞれの面の気孔は封孔処理層３０により封止されている。さらに、後端面２８にも封孔処理層３０が施されている。

取付部材１２の先端面１２ａ上には貫通孔１３よりも大径の凹部３１が形成されており、その凹部３１内にはリング状の第１の永久磁石３２が固定されている。また、吸着パッド２３の後端面２８上には吸引孔２７よりも大径の凹部３３が形成されており、その凹部３３内にはリング状の第２の永久磁石３４が固定されている。本実施の形態においては、凹部３１の深さは永久磁石３２の厚みよりも大きい値に設定されており、また、凹部３３の深さは永久磁石３４の厚みよりも大きい値に設定されている。このように、永久磁石３２，３４のそれぞれは弾性筒体１４に内蔵されており、吸引孔２７を真空にして弾性筒体１４を収縮させることにより後端面２８と先端面１２ａとが接触した場合でも、永久磁石３２，３４同士の衝突を回避することができるようになっている。

これらの永久磁石３２，３４は同一の磁極（例えばＳ極）が相互に対向するように配置されており、これらの永久磁石３２，３４間には常時反発力が作用している。また、永久磁石３２の中央部には貫通孔１３と連通室１７とを連通させる連通孔３５が形成されており、永久磁石３４の中央部には吸引孔２７と連通室１７とを連通させる連通孔３６が形成されており、それぞれの連通孔３５，３６を介して吸引孔２７に真空が供給されるようになっている。

図２に示すように、連通室１７には、一端部が永久磁石３４の連通孔３６に嵌め込まれ他端部が永久磁石３２の連通孔３５を貫通して貫通孔１３内に配置される位置決め部材３７が内蔵されている。この位置決め部材３７は、弾性筒体１４の膨張時及び収縮時のいずれにおいても、その他端部が貫通孔１３内に配置される長さに設定されており、弾性筒体１４の膨張収縮時には貫通孔１３及び連通孔３５内を相対的に摺動することによって、取付部材１２及び永久磁石３２に対して吸着パッド２３及び永久磁石３４の移動方向が制限されるようになっている。本実施の形態においては、貫通孔１３及び連通孔３５のそれぞれは、ほぼ取付部材１２の中心軸上に形成されており、吸着パッド２３及び永久磁石３４は取付部材１２の中心軸に略一致する特定の方向にのみ移動することができる。

図３は図２に示す位置決め部材の斜視図である。位置決め部材３７は側壁３７ｂに複数の通気孔３７ａが形成された通気性を有する円筒部材であり、その両端部は開口しており、アルミニウムや合成樹脂などの非磁性材料により形成される。よって、貫通孔１３内に供給された真空は、位置決め部材３７を通って吸引孔２７に供給されるとともに、通気孔３７ａを介して連通室１７内に供給される一方、永久磁石３２に吸引されることなく、貫通孔１３及び連通孔３５内を摺動することができる。

なお、位置決め部材３７は、樹脂粉末などの焼結材料や発泡樹脂を用いて形成され通気性を有する多孔質構造の円筒部材であっても良い。また、位置決め部材３７は、その一端部を永久磁石３２の連通孔３５に嵌め込むようにしても良く、取付部材１２に固定したりこれと一体のものとして形成しても良く、その場合には位置決め部材の他端部が吸引孔２７や連通孔３６内に配置され、弾性筒体１４の膨張収縮時には吸引孔２７や連通孔３６内を相対的に摺動することによって、取付部材１２及び永久磁石３２に対して吸着パッド２３及び永久磁石３４の移動方向が制限されることになる。

上述した真空吸着具１０は、部品供給ステージ３８などの第１の位置から加工ステージなどの第２の位置との間を移動する搬送装置に取り付けられて被搬送物Ｗを吸着して第１の位置から第２の位置までの間を吸着保持する。吸着する際には真空供給源からの真空を吸引孔２７に供給した状態のもとで、吸着パッド２３を被搬送物Ｗに押し付けると吸着面２６が被搬送物Ｗの表面に接触し、吸引孔２７内の真空によって被搬送物Ｗの表面が吸着面２６に押し付けられるとともに、多孔質の吸着面２６は気孔を介して吸引孔２７内に連通しているので、吸着面２６全体が吸着力を発揮して被搬送物Ｗの表面に密着する。

被搬送物Ｗの吸着時には、連通室１７内の真空によって蛇腹部１６が収縮しようとするが、蛇腹部１６が収縮すると永久磁石３２，３４同士が相互に接近することになるため、永久磁石３２，３４の間に作用する反発力が強くなる。この反発力は、搬送装置に取り付けられた取付部材１２に対して吸着パッド２３が引き離される方向つまり被搬送物Ｗを押圧する方向に作用するので、被搬送物Ｗに対して吸着面２６を所定の押付け力で密着させることができ、吸着面２６と被搬送物Ｗとの気密性を高め吸着力を向上させることができる。とくに、先端面１２ａと後端面２８とが接触するまで弾性筒体１４を収縮させることにより永久磁石３２，３４の間に一定の反発力を発生させることができ、これらの永久磁石３２，３４の間に作用する反発力により、被搬送物Ｗに対する押付け力を一定にすることができる。このように押付け力を制限することができるので、押付け力が強すぎて被搬送物Ｗや吸着パッド２３を損傷させてしまうことがない。

このように、被搬送物Ｗに対しては吸引孔２７の部分と吸着面２６全体が吸着力を発揮して真空吸着具１０が被搬送物Ｗに密着するとともに、永久磁石３２，３４同士の反発力によって吸着面２６と被搬送物Ｗとの気密性を高めることができ、被搬送物Ｗの吸引保持力を高めることができる。また、蛇腹部１６の最大収縮量は後端面２８が先端面１２ａに当接することにより規制されるので、蛇腹部１６の密着が防止されるとともに、永久磁石３２，３４同士が衝突して金属粉を発生させることがなく、また、後端面２８に封孔処理層３０を形成することにより、先端面１２ａと後端面２８との接触に起因する接触部からの発塵を防止できる。加えて、蛇腹部１６は過度に折り曲げられることがなくなり、蛇腹部１６を繰り返し弾性変形させてもスプリング効果が失われることなく、蛇腹部１６が変形したままになることを防止でき、長期間に渡って被搬送物Ｗの離脱を容易に行うことができる。

さらに、弾性筒体１４の膨張収縮時には位置決め部材３７が貫通孔１３及び連通孔３５内を摺動することによって、吸着パッド２３及び永久磁石３４は取付部材１２の中心軸に略一致する特定の方向にのみ移動することから、永久磁石３２，３４の間に所定の反発力を発生させることができ、先端面１２ａと後端面２８とが接触するまで弾性筒体１４を収縮させることにより一定の押付け力を被搬送物Ｗに作用させることができる。また、第１と第２の永久磁石３２，３４同士の反発力によって、取付部材１２の中心軸と吸着パッド２３の中心軸とが相対的にずれることがなく、被搬送物Ｗを吸着する過程や搬送中に吸着パッド２３がずれて被搬送物Ｗの表面に傷をつけることがないという効果が得られる。

搬送終了後の被搬送物Ｗは、真空供給源から吸引孔２７対する真空供給を停止して吸引孔２７内に外気を導入すると、自重で所定の位置に落下する。このときに、吸引孔２７内に圧縮空気を間歇的に供給して積極的に真空状態を解除し、被搬送物Ｗを迅速に落下させるようにしても良い。

弾性筒体１４および吸着パッド２３を導電性とすることにより、被搬送物Ｗには搬送過程で静電気が発生することなく、搬送前に静電気が帯電していた場合には真空吸着具１０を介して静電気は放電される。吸着パッド２３はゴム製ではなく、金属粉末などから形成されており、その材料にはプロセス油、加硫促進剤および劣化防止剤などが含有されていないので、吸着面２６が被搬送物Ｗの表面に密着してもこれらの析出物が被搬送物Ｗの表面に付着することがなく、吸着面２６の吸着跡が被搬送物Ｗの表面に付着することを防止できる。

被搬送物Ｗの吸着搬送は１つの真空吸着具１０によって行うようにしても良く、被搬送物Ｗのサイズによっては複数の真空吸着具１０を用いるようにしても良い。従来技術と異なり、永久磁石３２，３４を弾性筒体１４の内部で相互に対向して配置される取付部材１２の先端面１２ａと吸着パッド２３の後端面２８のそれぞれに配置するようにしているので、真空吸着具１０全体が径方向に大型化することがなく、真空吸着具１０の小型化を図ることができ、複数の真空吸着具１０を用いる場合でもコンパクトに配置することができる。なお、吸着パッド２３の気孔が目詰まりしたときには、吸着パッド２３を弾性筒体１４から取り外して洗浄したり、新品の吸着パッド２３に交換することにより、吸着パッド２３の通気性を維持することができる。

図４は本発明の他の実施の形態である真空吸着具の全体構成を示す断面図である。なお、図２に示される部材と共通する部材には同一の符合を付して重複した説明を省略する。

この真空吸着具４０が備える弾性筒体４１の蛇腹部１６の先端には径方向外方に突出するスカート部４２が蛇腹部１６に一体となって設けられており、吸着パッド４３の後端部には、テーパ部１６ｂの内周面に係合する大径の係合部４４が設けられており、弾性筒体４１の先端部の内径を広げるようにして吸着パッド４３の筒部４５を弾性筒体４１の先端部に挿入することにより吸着パッド４３は弾性筒体４１の内部に装着される。この吸着パッド４３は、吸着パッド２３と異なり、筒部４５から径方向外方に突出するようなフランジ部を有さず、弾性筒体４１のスカート部４２は蛇腹部１６とスカート部４２との境界を中心として外方に広がる向きに弾性変形することによって広い範囲で被搬送物Ｗに密着するようになっている。

吸着パッド４３の先端面は吸着面４６となっており、この吸着パッド４３には、吸着面４６と取付部材１２の先端面１２ａに対向して配置される後端面４７とに開口する吸引孔４８及び位置決め孔４９が形成されている。この位置決め孔４９は取付部材１２の中心軸とほぼ平行して吸引孔４８の外周側に形成されており、その内部には一端部が取付部材１２に固定された位置決め部材５０の他端部が摺動自在に配置されている。この位置決め部材５０は中実のピン部材であり、上述の位置決め部材３７と同様、弾性筒体１４の膨張時及び収縮時のいずれにおいても、その他端部が位置決め孔４９内に配置される長さに設定されており、弾性筒体１４の膨張収縮時には吸着パッド４３に対して相対的に位置決め孔４９内を摺動することによって、取付部材１２及び永久磁石３２に対して吸着パッド４３及び永久磁石３４の移動方向を特定の方向に制限している。

なお、位置決め部材５０は、その一端部を吸着パッド４３や永久磁石３２，３４に固定したり、吸着パッド４３と一体のものとして形成しても良く、他方、位置決め孔４９を取付部材１２や永久磁石３２，３４に形成するようにしても良い。

このような真空吸着具４０においては、吸着パッド４３を被搬送物Ｗに押し付けると吸着面４６およびスカート部４２が被搬送物Ｗの表面に接触し、吸引孔４８内の真空によって被搬送物Ｗの表面が吸着面４６およびスカート部４２に押し付けられる。ここで、蛇腹部１６の収縮に伴って相互に接近する永久磁石３２，３４の間に作用する反発力によって、被搬送物Ｗに対して吸着面４６およびスカート部４２を所定の押付け力で密着させることができ、更に、先端面１２ａと後端面２８とが接触するまで弾性筒体４１を収縮させることにより永久磁石３２，３４の間に一定の反発力を発生させ、これらの永久磁石３２，３４による被搬送物Ｗに対する押付け力を一定にすることができる。また、弾性筒体１４の膨張収縮時には位置決め部材５０が位置決め孔４９内を摺動することによって、吸着パッド４３及び永久磁石３４の移動が特定の方向にのみ制限されていることから、永久磁石３２，３４の間に所定の反発力を発生させることができ、第１と第２の永久磁石３２，３４同士の反発力によって、取付部材１２の中心軸と吸着パッド４３の中心軸とが相対的にずれることがない。

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、真空吸着具１０にあっては、被搬送物Ｗのサイズによってはフランジ部２５を有することなく、筒部２４のみの吸着パッド２３を用いることも可能であり、その場合には筒部２４の外周面と後端面２８には封孔処理層３０が形成されることになる。また、前記実施の形態においては、部品供給ステージ３８から加工ステージへ被搬送物Ｗを搬送する場合に適用されているが、加工ステージに換えて検査ボードに被搬送物Ｗを搬送する場合など他の用途に適用してもよい。

本発明の一実施の形態である真空吸着具の外観を示す斜視図である。図１の断面図である。図２に示す位置決め部材の斜視図である。本発明の他の実施の形態である真空吸着具の全体構成を示す断面図である。

符号の説明

１０真空吸着具
１２取付部材
１２ａ先端面
１３貫通孔
１４弾性筒体
１６蛇腹部
１６ａ，１６ｂテーパ部
１７連通室
２３吸着パッド
２４筒部
２５フランジ部
２６吸着面
２７吸引孔
２８後端面
２９係合部
３０封孔処理層
３１凹部
３２永久磁石
３３凹部
３４永久磁石
３５連通孔
３６連通孔
３７位置決め部材
４０真空吸着具
４１弾性筒体
４２スカート部
４３吸着パッド
４４係合部
４５筒部
４６吸着面
４７後端面
４８吸引孔
４９位置決め孔
５０位置決め部材
Ｗ被搬送物

Claims

真空供給源に連通し先端面に開口する貫通孔が設けられた中空の取付部材と、
前記先端面に対向して配置される後端面と被搬送物に接触する吸着面とに開口する吸引孔が設けられた吸着パッドと、
前記取付部材に固定される後端部、前記吸着パッドに固定される先端部、及び前記後端部と前記先端部との間に設けられ前記貫通孔と前記吸引孔とに連通する連通室を区画形成する弾性変形自在の蛇腹部を備えた弾性筒体と、
前記取付部材の前記先端面に形成された凹部内に固定される第１の永久磁石と、
前記吸着パッドの前記後端面に形成された凹部内に固定され前記第１の永久磁石に反発する第２の永久磁石とを有し、
前記先端面と前記後端面との接触により前記蛇腹部の収縮時に前記永久磁石同士の衝突を回避するとともに前記蛇腹部の密着を回避することを特徴とする真空吸着具。
請求項１記載の真空吸着具において、前記第１の永久磁石には前記貫通孔と前記連通室とに連通する連通孔が形成され、前記第２の永久磁石には前記吸引孔と前記連通室とに連通する連通孔が形成されることを特徴とする真空吸着具。
請求項１または２記載の真空吸着具において、前記第１の永久磁石及び前記第２の永久磁石のそれぞれは同一の磁極が相互に対向するように配置された永久磁石であることを特徴とする真空吸着具。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空吸着具において、前記弾性筒体の膨張収縮時に、孔内を摺動して前記取付部材に対する前記吸着パッドの移動方向を制限する位置決め部材を有することを特徴とする真空吸着具。
請求項４記載の真空吸着具において、前記位置決め部材は、前記取付部材と前記吸着パッドの少なくともいずれか一方に形成される位置決め孔、又は前記貫通孔、前記吸引孔、若しくは前記連通孔のうちの少なくとも１つの孔内を摺動することを特徴とする真空吸着具。
請求項５記載の真空吸着具において、前記位置決め孔内を摺動する前記位置決め部材はピン部材であることを特徴とする真空吸着具。
請求項５記載の真空吸着具において、前記位置決め部材は側壁に通気孔が形成された円筒部材であることを特徴とする真空吸着具。