JPS60135152A - 真空チヤツク装置 - Google Patents
真空チヤツク装置Info
- Publication number
- JPS60135152A JPS60135152A JP24270383A JP24270383A JPS60135152A JP S60135152 A JPS60135152 A JP S60135152A JP 24270383 A JP24270383 A JP 24270383A JP 24270383 A JP24270383 A JP 24270383A JP S60135152 A JPS60135152 A JP S60135152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- nozzle
- suction
- opening
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は真空によって複数のワークを吸引保持する真空
チャック装置に関するもので、特に半導体装置の製造工
程および半導体装置をプリント基板に実装する工程等で
使用されるものである。
チャック装置に関するもので、特に半導体装置の製造工
程および半導体装置をプリント基板に実装する工程等で
使用されるものである。
真空チャックは真空源に接続された吸引ノズルでワーク
を吸引、保持するものであって、ワークに対し外力を加
えることなく保持できるため５半導体装置のような外力
印加が好ましくないものの搬送に適している。
を吸引、保持するものであって、ワークに対し外力を加
えることなく保持できるため５半導体装置のような外力
印加が好ましくないものの搬送に適している。
第１図は従来の真空チャック装置の構成を示す正面図で
あって、真空源１によって駆動される複数の吸引ノズル
２−１ないし２−ｎがホルダ３によって支持され、ボル
ダ全体の下降により各吸引ノズル２−１ないし２− ｎ
がそれぞれ対応位置に載置されたワークに近づくと、こ
れを吸引し保持するので全体を移動させることにより所
望の搬送を行うことができる。このような真空チャック
装置にあっては複数個のワークのうち１つでも欠けると
対応する吸引ノズルは開放となり、他の吸引ノズルにお
いても真空圧が低下し、吸着ができなかったり、搬送中
にワークが落下して破損するといった事故が発生する。
あって、真空源１によって駆動される複数の吸引ノズル
２−１ないし２−ｎがホルダ３によって支持され、ボル
ダ全体の下降により各吸引ノズル２−１ないし２− ｎ
がそれぞれ対応位置に載置されたワークに近づくと、こ
れを吸引し保持するので全体を移動させることにより所
望の搬送を行うことができる。このような真空チャック
装置にあっては複数個のワークのうち１つでも欠けると
対応する吸引ノズルは開放となり、他の吸引ノズルにお
いても真空圧が低下し、吸着ができなかったり、搬送中
にワークが落下して破損するといった事故が発生する。
これを防止するために、すべてのワークが所定位置に存
在することをセンサで確認し、ワークが欠けている場合
には吸引動作を停止させるようにすることが行われるが
、この場合には稼動率の低下や生産効率の低下を招くと
いう問題がある。
在することをセンサで確認し、ワークが欠けている場合
には吸引動作を停止させるようにすることが行われるが
、この場合には稼動率の低下や生産効率の低下を招くと
いう問題がある。
このため第２図に示す構成の真空チャック装置が採用さ
れる。これは、それぞれ真空源５−１ないし５−ｎを有
する複数の吸引ノズル６−１ないし５−ｎがホルダ７に
よって支持される構造を有しており、これら全体を上昇
下降させることによりワーク１０を吸着するものである
。このような構成では各ワークに対しそれぞれ真空源を
有しているので、ワークが存在しない吸引ノズルがあっ
ても他の吸引ノズルの真空圧の変動を招くことはなく、
安定した吸引動作を行うこ乏ができる。しかしながら、
このような構成では各吸引ノズルにそれぞれ真空源を有
しているために装−の大型化および装置価格の上昇を招
くという問題がある。
れる。これは、それぞれ真空源５−１ないし５−ｎを有
する複数の吸引ノズル６−１ないし５−ｎがホルダ７に
よって支持される構造を有しており、これら全体を上昇
下降させることによりワーク１０を吸着するものである
。このような構成では各ワークに対しそれぞれ真空源を
有しているので、ワークが存在しない吸引ノズルがあっ
ても他の吸引ノズルの真空圧の変動を招くことはなく、
安定した吸引動作を行うこ乏ができる。しかしながら、
このような構成では各吸引ノズルにそれぞれ真空源を有
しているために装−の大型化および装置価格の上昇を招
くという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、装置
の大型化や高価格化を招くことなく、しかも確実な動作
を行うことのできる真空チャック装置を提供することを
目的とする。
の大型化や高価格化を招くことなく、しかも確実な動作
を行うことのできる真空チャック装置を提供することを
目的とする。
上記目的達成のため、本発明においては、一端側に吸引
ノズル、内部にこの吸引ノズルと連結された排気管、側
壁にこの排気管に連結された開口、他端側に鉄心をそれ
ぞれ有する複数の吸引ノズルアセンブリと、この複数の
吸引ノズルアセンブリを摺動自在に支持する複数の摺動
孔を有し、て各摺動孔の側壁の一部には共通の真空源に
連結された排気管が開口した支持部材と、前記吸引ノズ
ルアセンブリを所定方向−と向ける力を与える弾性部材
と、前記吸引ノズルが被数引物に当接して前記弾性部材
が変形するとともに前記吸引ノズルの前記開口と前記支
持部材の前記摺動孔側壁の開口とが一致したときにこの
状態を維持するように前記鉄心を吸引するソレノイドと
を具備するようにしており、複雑な構造を採用すること
なく確実な動作を行うことのできる真空チャック装置を
実現するものである。
ノズル、内部にこの吸引ノズルと連結された排気管、側
壁にこの排気管に連結された開口、他端側に鉄心をそれ
ぞれ有する複数の吸引ノズルアセンブリと、この複数の
吸引ノズルアセンブリを摺動自在に支持する複数の摺動
孔を有し、て各摺動孔の側壁の一部には共通の真空源に
連結された排気管が開口した支持部材と、前記吸引ノズ
ルアセンブリを所定方向−と向ける力を与える弾性部材
と、前記吸引ノズルが被数引物に当接して前記弾性部材
が変形するとともに前記吸引ノズルの前記開口と前記支
持部材の前記摺動孔側壁の開口とが一致したときにこの
状態を維持するように前記鉄心を吸引するソレノイドと
を具備するようにしており、複雑な構造を採用すること
なく確実な動作を行うことのできる真空チャック装置を
実現するものである。
以下第３図を参照しながら本発明の一実施例について詳
細に説明する。
細に説明する。
第３図（ｂ）は本発明の一実施例の右側面図、第３図（
、）は正面から見た中心断面図であって、半導体装置を
吸引保持する５つの吸引ステージを有している。これら
を添字ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅをもって表わすこととし、最
左端のステージのみ代表して説明することとする。支持
部材１１には吸引ノズルアセンブ’Ｊ２０ａを摺動自在
に保持する摺動孔１２ａが設けられ、摺動孔１２ａの一
部には開口１３ａが設けられ、この開口１３ａの上下の
摺動孔内面には気密性を与えるためのｏリング１４ａが
装着されている。この開口１３ａには支持部材］１内を
貫通する排気管１５ａが連結され、各ステージにおける
排気管１５ｂないし１５ｅとともに共通接続され１本の
排気管１６となって１らの真空源（図示せず）に連結さ
れている。吸引ノズルアセンブ１Ｊ２０ａは摺動孔１２
ａの孔形状に合致した外形を有する軸体２１ａの一端側
に吸引ノズル２２ａを、他端側に鉄心２５ａを有してお
り、この軸体２１ａ内には吸引ノズル２２ａに連結され
た排気管２３ａが設けられ、はぼ中央部の表面に設けら
れた開口２４ａに連結されている。この吸引ノズルアセ
ンブ’Ｊ２０ａは圧縮はね２７ａによって下向きの力を
加えられている。また鉄心２５ａの上方には吸引ノズル
アセンブ１Ｊ２０ａが上昇したときにこの鉄心２５ａに
対し吸引力を与えるソレノイド２６ａが同軸状に設けら
れている。
、）は正面から見た中心断面図であって、半導体装置を
吸引保持する５つの吸引ステージを有している。これら
を添字ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅをもって表わすこととし、最
左端のステージのみ代表して説明することとする。支持
部材１１には吸引ノズルアセンブ’Ｊ２０ａを摺動自在
に保持する摺動孔１２ａが設けられ、摺動孔１２ａの一
部には開口１３ａが設けられ、この開口１３ａの上下の
摺動孔内面には気密性を与えるためのｏリング１４ａが
装着されている。この開口１３ａには支持部材］１内を
貫通する排気管１５ａが連結され、各ステージにおける
排気管１５ｂないし１５ｅとともに共通接続され１本の
排気管１６となって１らの真空源（図示せず）に連結さ
れている。吸引ノズルアセンブ１Ｊ２０ａは摺動孔１２
ａの孔形状に合致した外形を有する軸体２１ａの一端側
に吸引ノズル２２ａを、他端側に鉄心２５ａを有してお
り、この軸体２１ａ内には吸引ノズル２２ａに連結され
た排気管２３ａが設けられ、はぼ中央部の表面に設けら
れた開口２４ａに連結されている。この吸引ノズルアセ
ンブ’Ｊ２０ａは圧縮はね２７ａによって下向きの力を
加えられている。また鉄心２５ａの上方には吸引ノズル
アセンブ１Ｊ２０ａが上昇したときにこの鉄心２５ａに
対し吸引力を与えるソレノイド２６ａが同軸状に設けら
れている。
このような真空チャック装置の作用は次のとおりである
。試料台側のレール３１ａ 、３１ｂ 、 ３１ｄ 、
３１ｅには半導体装置１ｏが載置されて、おり、各半導
体装置１０はそれぞれ吸引ノズルｎ、ａないし２２ｅの
真−Ｆの所定位置にあるものとする。まずソレノイド２
６ａないし２６ｅを通電する。このとき各吸引ノズル２
２ａないし２２ｅは圧縮ばね２７ａないし２７ｅの作用
により最下降位置にあり、鉄心２５ａないし２５ｅはソ
１／ノイド２６ａないし２ｔ３ｅの影響を受けない範囲
にある。この状態で支持部材１１を降下させると、吸引
ノズ／ｌ／ ２２ａ 、 ２２ｂ 、 ２２ｄ 、 ２
２ｅは対応するレール３１ａ。
。試料台側のレール３１ａ 、３１ｂ 、 ３１ｄ 、
３１ｅには半導体装置１ｏが載置されて、おり、各半導
体装置１０はそれぞれ吸引ノズルｎ、ａないし２２ｅの
真−Ｆの所定位置にあるものとする。まずソレノイド２
６ａないし２６ｅを通電する。このとき各吸引ノズル２
２ａないし２２ｅは圧縮ばね２７ａないし２７ｅの作用
により最下降位置にあり、鉄心２５ａないし２５ｅはソ
１／ノイド２６ａないし２ｔ３ｅの影響を受けない範囲
にある。この状態で支持部材１１を降下させると、吸引
ノズ／ｌ／ ２２ａ 、 ２２ｂ 、 ２２ｄ 、 ２
２ｅは対応するレール３１ａ。
３１ｂ 、３１ｄ 、３］ｅ上の半導体装置１０ζこ当
接しそれ以上降下しないから、これらの吸引ノズル２２
ａ 、 ２２ｂ 。
接しそれ以上降下しないから、これらの吸引ノズル２２
ａ 、 ２２ｂ 。
２２ｄ、２２ｅは支持部材１１に対して相対的に上昇す
る。最左端ステージについてみると、吸引ノズルアセン
ブ１Ｊ２０ａの上昇により、軸体２１２表面の開口２４
ａも上昇して支持部材１１の摺動孔内面の開口１３ａと
等高位置になり、吸引ノズル２４ａは真空源に連結され
吸引が行われる。このとき、鉄心２５ａはソレノイド２
６ａに吸引されるため吸引ノズルアセンブ１Ｊ２０ａは
上昇位置を保つ。これに対し中央のステージでは吸引す
べき半導体装置１０が存在しないため、吸引ノズル２２
Ｃは圧縮はね２７ｃの作用により最下端位置のままであ
るから支持部材ｌｌ中の排気管１，５ ｃは軸体中の排
気管２３Ｃと連結せず吸引ノズル２２Ｃにおいて吸引は
行われない。このとき排気管１５ｃの先端部はＯリング
１４ｃによって気密状態となっているから吸引が行われ
ない吸引ノズル２２ｃの存在によって他の吸引ノズルに
おける真空圧の変動を招くことがない。
る。最左端ステージについてみると、吸引ノズルアセン
ブ１Ｊ２０ａの上昇により、軸体２１２表面の開口２４
ａも上昇して支持部材１１の摺動孔内面の開口１３ａと
等高位置になり、吸引ノズル２４ａは真空源に連結され
吸引が行われる。このとき、鉄心２５ａはソレノイド２
６ａに吸引されるため吸引ノズルアセンブ１Ｊ２０ａは
上昇位置を保つ。これに対し中央のステージでは吸引す
べき半導体装置１０が存在しないため、吸引ノズル２２
Ｃは圧縮はね２７ｃの作用により最下端位置のままであ
るから支持部材ｌｌ中の排気管１，５ ｃは軸体中の排
気管２３Ｃと連結せず吸引ノズル２２Ｃにおいて吸引は
行われない。このとき排気管１５ｃの先端部はＯリング
１４ｃによって気密状態となっているから吸引が行われ
ない吸引ノズル２２ｃの存在によって他の吸引ノズルに
おける真空圧の変動を招くことがない。
このようにして吸引された半導体装ｇｉｏは支持部材と
ともに移動し、所望の位置に設けられた支持台の上に載
置される。この状態でソレノイドの電源を切断すると吸
引ノズルアセンブリはフリー状態となるので、支持部材
を上昇させることにより半導体装置から分離するｔとが
できる。
ともに移動し、所望の位置に設けられた支持台の上に載
置される。この状態でソレノイドの電源を切断すると吸
引ノズルアセンブリはフリー状態となるので、支持部材
を上昇させることにより半導体装置から分離するｔとが
できる。
以上の実施例において示した構成には種々の変形が可能
である。例えば吸引ノズルアセンフリを下方に向けるた
めに圧縮ばねの他引張はね等の公知の弾性手段を用いる
ことができるし、ソレノイドによって吸引される位置を
正確に一定にするために、適当なストッパを吸引ノズル
アセンブリに設けてもよい。また吸引ノズルアセンブリ
の軸体は本実施例では断面形状が正方形のものを想定し
ているが、回転を起さないようにするためには任意の多
角形、回転を伴ってもよい場合には円形の断面さしても
よく、このように円形断面とした場合には軸体上または
摺動口内の開口部を円周状に形成した溝とすればよい。
である。例えば吸引ノズルアセンフリを下方に向けるた
めに圧縮ばねの他引張はね等の公知の弾性手段を用いる
ことができるし、ソレノイドによって吸引される位置を
正確に一定にするために、適当なストッパを吸引ノズル
アセンブリに設けてもよい。また吸引ノズルアセンブリ
の軸体は本実施例では断面形状が正方形のものを想定し
ているが、回転を起さないようにするためには任意の多
角形、回転を伴ってもよい場合には円形の断面さしても
よく、このように円形断面とした場合には軸体上または
摺動口内の開口部を円周状に形成した溝とすればよい。
以上のように、本発明によれば、支持部材中を摺動する
複数の吸引ノズルアセンブリを有し、この吸引ノズルア
センブリが被吸引物に当接して変位したときに先端の吸
引ノズルが共通の真空源に連結され、この状態が電磁手
段により保持されるようにしているので、被吸引物が存
在しない吸引ノズルが存在しても他の吸引ノズルの真空
圧に影響を与えることがなく確実な動作を行なうことの
できる真空チャック装置が簡単な構成で実現することが
でき、スペース効率の上昇、装置価格の低減を図ること
ができる。
複数の吸引ノズルアセンブリを有し、この吸引ノズルア
センブリが被吸引物に当接して変位したときに先端の吸
引ノズルが共通の真空源に連結され、この状態が電磁手
段により保持されるようにしているので、被吸引物が存
在しない吸引ノズルが存在しても他の吸引ノズルの真空
圧に影響を与えることがなく確実な動作を行なうことの
できる真空チャック装置が簡単な構成で実現することが
でき、スペース効率の上昇、装置価格の低減を図ること
ができる。
第１図および第２図は従采の真空チャック装置の構成を
示す平面図５第３図は本発明にかかる真空チャック装置
の一実施例の構成を示す説明図である。 １Ｏ・・・半導体装置、１１・・支持部材、１２・・摺
動孔、１３・・開口、１４・・０リング、１５ 、１６
排気管、加・吸引ノズルアセンブリ、２ｊ・・・軸体
、２２・・吸引ノズル、ｎ・−排気管、２４・・開口、
部・・・鉄心、２６・・ソレノイド、２７・・圧縮ばね
。 出願人代理人 猪 股 清
示す平面図５第３図は本発明にかかる真空チャック装置
の一実施例の構成を示す説明図である。 １Ｏ・・・半導体装置、１１・・支持部材、１２・・摺
動孔、１３・・開口、１４・・０リング、１５ 、１６
排気管、加・吸引ノズルアセンブリ、２ｊ・・・軸体
、２２・・吸引ノズル、ｎ・−排気管、２４・・開口、
部・・・鉄心、２６・・ソレノイド、２７・・圧縮ばね
。 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一端側に吸引ノズル、内部にこの吸引ノズルと連結され
た排気管、側壁にこの排気管に連結された開口、他端側
に鉄心をそれぞれ有する複数の吸引ノズルアセンブリと
。 この複数の吸引ノズルアセンブリを摺動自在に支持する
複数の摺動孔を有し、各摺動孔の側壁の一部には共通の
真空源に連結された排気管が開口した支持部材と、 前記吸引ノズルアセンブリを所定方向に付勢する力を与
える弾性部材と。 前記吸引ノズルが被吸引物に当接して前記弾性部材が変
形するとともに前記吸引ノズルの前記開口と前記支持部
材の前記摺動孔側壁の開口とが一致したときにこの状態
を維持するように前記鉄心を吸引する電磁手段とを具備
することを特徴とする真空チャック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24270383A JPS60135152A (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | 真空チヤツク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24270383A JPS60135152A (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | 真空チヤツク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60135152A true JPS60135152A (ja) | 1985-07-18 |
Family
ID=17092987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24270383A Pending JPS60135152A (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | 真空チヤツク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60135152A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290083U (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-17 | ||
| WO2017096009A1 (en) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | Nike Innovate C.V. | Manufacturing pickup tool |
-
1983
- 1983-12-22 JP JP24270383A patent/JPS60135152A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290083U (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-17 | ||
| WO2017096009A1 (en) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | Nike Innovate C.V. | Manufacturing pickup tool |
| TWI629226B (zh) * | 2015-12-01 | 2018-07-11 | 荷蘭商耐克創新有限合夥公司 | 拾取工具、材料拾取系統以及藉由拾取工具移動材料的方法 |
| KR20180087377A (ko) * | 2015-12-01 | 2018-08-01 | 나이키 이노베이트 씨.브이. | 제조용 픽업 도구 |
| US10392201B2 (en) | 2015-12-01 | 2019-08-27 | Nike, Inc. | Manufacturing pickup tool |
| US11078033B2 (en) | 2015-12-01 | 2021-08-03 | Nike, Inc. | Manufacturing pickup tool |
| US11884496B2 (en) | 2015-12-01 | 2024-01-30 | Nike, Inc. | Manufacturing pickup tool |
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