KR20210029786A

KR20210029786A - 반송 장치

Info

Publication number: KR20210029786A
Application number: KR1020217002952A
Authority: KR
Inventors: 다카시 이사; 가즈야 하시모토
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2018-07-05
Filing date: 2019-05-21
Publication date: 2021-03-16
Also published as: WO2020008744A1; JPWO2020008744A1; CN112384458A

Abstract

판형의 워크를 반송하는 반송 장치는, 저면이 상기 워크에 맞닿아 상기 워크를 흡착 가능한 제1 흡착부와, 저면이 상기 워크에 맞닿음 가능하고, 측면이 상기 제1 흡착부와 인접하는 제1 부 및 제2 부를 구비하고, 상기 제1 흡착부의 저면이 상기 워크를 흡착하고, 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면이 상기 워크에 맞닿고, 상기 제1 흡착부의 저면이 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면보다도 상기 워크를 흡착하는 제1 방향측에 위치함으로써 상기 워크를 휘게 한다.

Description

반송 장치

본 발명은, 워크를 반송하는 반송 장치에 관한 것이다.

종래, 패널 부품 등, 적층된 판형의 워크를 흡착 노즐로 흡착함으로써, 워크를 상측으로부터 순차 파지하여 반송하는 반송 장치가 알려져 있다. 이러한 반송 장치에 있어서는, 복수의 워크를 반송하지 않도록 워크를 1매씩 분리하여 반송할 필요가 있다. 이 때문에, 반송 장치로 반송할 때, 1매째의 워크와 2매째 이후의 워크를 용이하게 분리하기 위한 기술이 알려져 있다.

특허문헌 1에는, 최상부에 위치하는 패널의 상면에 겹쳐지는 합지에 2개의 흡착 패드를 흡착시키고, 흡착 패드를 합지의 지면 내측 방향으로 접근시켜 합지를 휘게 하여, 합지와 최상층의 패널의 밀착 상태를 해제하는 기술이 기재되어 있다.

일본 특허 공개 제2009-18898호 공보

상기 특허문헌 1에서는, 2개의 흡착 패드로 워크를 충분히 흡착한 후에, 흡착 패드를 서로 접근시켜 워크끼리를 분리하고 있다. 이때, 흡착 및 접근이라고 하는 복수의 공정을 행하므로, 워크의 파지 공정에 개선의 여지가 있다.

본 발명의 목적은, 판형의 워크끼리를 보다 용이하게 분리할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일례에 관한 반송 장치는, 판형의 워크를 반송하는 반송 장치이며, 저면이 상기 워크에 맞닿아 상기 워크를 흡착 가능한 제1 흡착부와, 저면이 상기 워크에 맞닿음 가능하고, 측면이 상기 제1 흡착부와 인접하는 제1 부 및 제2 부를 구비하고, 상기 제1 흡착부의 저면이 상기 워크를 흡착하고, 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면이 상기 워크에 맞닿고, 상기 제1 흡착부의 저면이 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면보다도 상기 워크를 흡착하는 제1 방향측에 위치함으로써 상기 워크를 휘게 하는 것이다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 반송 장치는, 판형의 워크를 반송하는 반송 장치이며,

저면이 상기 워크에 맞닿음 가능한 제1 부와, 저면이 상기 워크에 맞닿아 상기 워크를 흡착 가능하고, 측면이 상기 제1 부와 인접하는 제1 흡착부 및 제2 흡착부를 구비하고, 상기 제1 흡착부의 저면 및 상기 제2 흡착부의 저면이 상기 워크를 흡착하고, 상기 제1 부의 저면이 상기 워크에 맞닿고, 상기 제1 흡착부의 저면 및 상기 제2 흡착부의 저면이 상기 제1 부의 저면보다도 상기 워크를 흡착하는 제1 방향측에 위치함으로써 상기 워크를 휘게 하는 것이다.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 반송 장치를 도시하는 전체 정면도.
도 2는 워크 흡착 전의 반송 장치를 도시하는 확대 정면도.
도 3은 워크 흡착 시의 반송 장치를 도시하는 확대 정면도.
도 4는 워크 상승 시의 반송 장치를 도시하는 확대 정면도.
도 5는 워크 반송 시의 반송 장치를 도시하는 확대 정면도.
도 6a 내지 도 6c는 제1 흡착부 및 제1 부·제2 부의 배치에 관한 제1 변형예 내지 제3 변형예를 도시하는 평면도.
도 7a 및 도 7b는 제1 흡착부 및 제1 부·제2 부의 배치에 관한 제4 변형예 및 제5 변형예를 도시하는 평면도.
도 8a 내지 도 8d는 제1 흡착부 및 제1 부·제2 부의 배치에 관한 제6 변형예 내지 제9 변형예를 도시하는 평면도.
도 9는 제2 실시 형태에 관한 반송 장치에 있어서의 워크 흡착 시를 도시하는 확대 정면도.
도 10a 내지 도 10c는 제1·제2 흡착부 및 제1 부의 배치에 관한 제10 변형예 내지 제12 변형예를 도시하는 평면도.
도 11a 및 도 11b는 제1·제2 흡착부 및 제1 부의 배치에 관한 제13 변형예 및 제14 변형예를 도시하는 평면도.
도 12a 내지 도 12c는 제1·제2 흡착부 및 제1 부의 배치에 관한 제15 변형예 내지 제17 변형예를 도시하는 평면도.
도 13은 제3 실시 형태에 관한 반송 장치를 도시하는 전체 정면도.
도 14는 도 13에 있어서의 A-A선을 따라 본 도면.
도 15는 제3 실시 형태에 관한 반송 장치에 있어서의 워크 흡착 시를 도시하는 확대 정면도.

<제1 실시 형태>

먼저, 도 1 내지 도 5를 사용하여, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 대해 설명한다. 본 명세서에 있어서는, 도 1에 나타내는 화살표로 반송 장치(1)에 있어서의 방향을 정의한다. 본 실시 형태에 관한 반송 장치(1)는, 수평으로 적층된 판형의 워크(W)의 적층체(WL)로부터, 워크(W)를 상측으로부터 흡착하고, 파지하여 반송하기 위한 장치이다. 본 실시 형태에 있어서, 적층체(WL)의 최상부에 위치하는 워크(W)를 「제1 워크(W1)」라고 기재하고, 제1 워크(W1)의 바로 아래(위에서 두번째)에 위치하는 워크(W)를 「제2 워크(W2)」라고 기재한다(도 2를 참조).

반송 장치(1)는 도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 가이드(11), 반송 기구(12), 승강 가이드(13), 승강 기구(14), 흡기 파이프(15), 본 발명의 제1 흡착부인 흡착 노즐(16), 흡기 기구(17), 흡기 호스(18), 제1 압박 부재(31a)와 제1 맞닿음부(31b)를 구비하는 제1 부(31), 및 제2 압박 부재(32a)와 제2 맞닿음부(31b)를 구비하는 제2 부(32)로 구성된다. 본 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 있어서, 각 구성 요소는 도시하지 않은 제어부에 의해 구동 제어되고 있다. 또한, 제1 흡착부에 있어서의 워크(W)의 흡착 방법으로서, 정전 척, 전자 척을 사용하여 워크(W)를 제1 흡착부에 흡착하는 구성을 채용하는 것도 가능하다.

반송 기구(12)는 흡착부를 좌우 수평 방향(도 1 중에 나타내는 화살표 H 방향)으로 변위시킴으로써 워크(W)를 반송하기 위한 기구(반송부)이다. 반송 기구(12)는 수평 방향으로 건너지르고 있는 반송 가이드(11)를 따라 이동 가능하게 구성되어 있다. 반송 기구(12)로부터는 하방으로 승강 가이드(13)가 수하되어 있고, 승강 가이드(13)에는 승강 기구(14)가 마련되어 있다. 승강 기구(14)는 승강 가이드(13)를 따라 상하 방향(도 1 중에 나타내는 화살표 V 방향)으로 승강 가능하게 구성되어 있다.

승강 기구(14)의 하면에 있어서의 좌우 방향 대략 중앙부로부터는 하방으로 흡기 파이프(15)가 수하되어 있고, 흡기 파이프(15)의 하단부에는 흡착 노즐(16)이 마련되어 있다. 흡기 파이프(15)는 흡기 호스(18)를 통해 흡기 기구(17)와 접속되어 있다. 흡기 기구(17)는 도시하지 않은 진공 펌프 및 밸브를 구비하고 있고, 제어부가 흡기 기구(17)를 구동시킴으로써, 흡기 호스(18) 및 흡기 파이프(15)를 통해 흡착 노즐(16)로부터 흡기를 행하여, 흡착 노즐(16)이 워크(W)를 흡착한다. 본 실시 형태에 있어서, 흡착 노즐(16)은 상하 방향으로 신축 가능한 탄성 소재로 형성되어 있다. 그리고 흡착부가 워크(W)를 흡착하였을 때에는 흡착 노즐(16)이 수축되어 탄성 변형되도록 구성되어 있다(도 3을 참조).

승강 기구(14)의 하면으로부터는, 흡기 파이프(15)를 끼운 좌우 양측에 대략 봉형의 제1 부(31) 및 제2 부(32)가 수하된다. 바꾸어 말하면, 흡기 파이프(15)는 제1 부(31)와 제2 부(32) 사이에 마련되어 있다. 제1 부(31)는, 봉형의 제1 압박 부재(31a)와, 제1 압박 부재(31a)의 하단부에 마련되는 제1 맞닿음부(31b)를 구비하고 있다. 마찬가지로, 제2 부(32)는, 봉형의 제2 압박 부재(32a)와, 제2 압박 부재(32a)의 하단부에 마련되는 제2 맞닿음부(32b)를 구비하고 있다. 제1 부(31) 및 제2 부(32)의 측면은, 흡착 노즐(16)과 인접하는 위치에 배치되어 있다. 또한, 제1 부(31) 및 제2 부(32)의 저면(제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 저면)은, 흡착 노즐(16)에 의한 워크(W)의 흡착 시에 워크(W)에 맞닿는다. 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)는, 발포 수지 등의 탄성 변형 가능한 소재로 형성되어 있다(도 3을 참조). 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)는 도 3에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16)에 의한 워크(W)의 흡착 시에는 워크(W)에 대해 압박력을 부여한다. 또한, 제1·제2 압박 부재(31a·32a)의 하단부를 전후 방향으로 폭이 있는 형상으로 형성하고, 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)가 워크(W)에 대해 전후 방향을 따른 선형으로 맞닿는 구성으로 하는 것도 가능하다. 또한, 제1 부(31)·제2 부(32)를, 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)를 구비하지 않는 제1·제2 압박 부재(31a·32a)만으로 구성하는 것도 가능하다.

반송 장치(1)에 있어서는, 제어부가 반송 기구(12) 및 승강 기구(14)를 구동시킴으로써, 흡착 노즐(16) 및 흡착 노즐(16)에 흡착되는 워크(W)를 상하 방향 및 좌우 방향으로 변위시키는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 흡착 반송부의 구성은 본 실시 형태에 한정되지 않고, 다른 구성으로 해도 지장없다. 예를 들어, 흡착 노즐(16)을 복수의 관절을 구비하는 로봇 암의 선단에 장착하고, 로봇 암을 구동시킴으로써 흡착 노즐(16) 및 워크(W)를 변위시키는 구성으로 하는 것도 가능하다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16)의 하방에는, 다수의 워크(W)가 적층된 적층체(WL)를 수용하는 수용 케이스(Cw)가 바닥면(F)에 적재되어 있다. 본 실시 형태에 있어서 적층체(WL)는, 워크(W)의 평면으로 보아 중앙 부분(C)이 흡착 노즐(16)의 바로 아래에 배치된다. 바꾸어 말하면, 워크(W)는, 흡착 노즐(16)에 의한 흡착 부분(V)이, 워크(W)의 중앙 부분(C)과 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 워크(W)의 우측 단부에는 접속 단자(T)가 배치되어 있다.

다음으로, 도 2 내지 도 5를 사용하여, 본 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 의한 워크(W)의 반송 수순에 대해 설명한다. 먼저, 승강 기구(14)를 구동시켜, 도 2 중의 화살표 Vd로 나타내는 바와 같이 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)을 하강시키고, 흡착 노즐(16)의 저면을 적층체(WL)에 있어서의 제1 워크(W1)에 맞닿게 한다. 본 실시 형태에 있어서는, 이때 흡착 노즐(16)의 저면이 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 저면보다도 제2 방향(하방)에 위치함으로써, 흡착 노즐(16)의 저면을 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 저면보다도 먼저 워크(W)에 접촉시켜, 흡착 노즐(16)에 의한 워크(W)의 흡착을 행하기 쉽게 하고 있다. 또한, 흡착 노즐(16)에 구동 기구를 마련하여, 흡착 노즐(16)을 단독으로 승강시키는 구성으로 하는 것도 가능하다. 또한, 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)을 하강시킬 때, 흡착 노즐(16)의 저면과 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 저면이 동일한 높이에 배치되는 구성으로 해도 지장없다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16)이 제1 워크(W1)에 맞닿았을 때에는, 제1 부(31)·제2 부(32)의 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)는 제1 워크(W1)로부터 작은 거리로 이격되어 있다.

다음으로, 흡기 기구(17)를 구동시켜, 도 3 중의 파선 화살표 A1로 나타내는 바와 같이 흡착 노즐(16)로 제1 워크(W1)를 흡착한다. 흡착 노즐(16)의 저면에 의한 제1 워크(W1)의 흡착은, 반송 장치(1)에 의한 제1 워크(W1)의 반송이 종료될 때까지 계속된다.

흡착 노즐(16)이 제1 워크(W1)를 흡착하였을 때에는, 흡착 노즐(16)의 내부가 부압이 되기 때문에, 도 3에 도시하는 바와 같이 흡착 노즐(16)이 수축되어 탄성 변형된다. 이 때문에, 탄성 변형 후의 흡착 노즐(16)의 저면에 있어서의 제1 워크(W1)의 흡착 부분이, 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 저면보다도 흡착되는 제1 방향(상방)에 위치한다. 그리고 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)가 제1 워크(W1)에 맞닿고, 제1 워크(W1)에 대해 하방으로 압박력을 부여한다.

상기한 바와 같이 제1 워크(W1)는, 제1 부(31)와 제2 부(32) 사이의 부분이 흡착 노즐(16)의 저면에서 상방으로 흡인되고, 좌우 양단부가 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 저면에서 하방으로 압박된다. 이에 의해, 제1 워크(W1)에는 도 3에 도시하는 바와 같이 제1 부(31)와 제2 부(32) 사이의 부분이 상측으로 볼록 형상이 되는 휨이 발생한다. 즉, 흡착 노즐(16)은, 저면이 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 저면보다도 상측에 위치함으로써, 제1 워크(W1)를 휘게 하면서 파지한다. 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)가 밀착되어 있었던 경우라도, 제1 워크(W1)에 발생하는 휨에 의해 제2 워크(W2)와의 사이에 공기가 들어가기 때문에, 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)가 이격된다. 이 때문에, 제2 워크(W2)는 제1 워크(W1)로부터 분리되어, 도 3에 도시하는 바와 같이 수용 케이스(Cw)의 내부에 머무른다.

상기한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는 흡착 노즐(16)이 탄성 변형됨으로써 제1 워크(W1)에 휨을 발생하기 쉽게 하는 구성으로 하였지만, 본 실시 형태와 다른 구성을 채용하는 것도 가능하다. 예를 들어, 흡착 노즐(16)을 변형하지 않는(또는 변형량이 작은) 구성으로 하고, 흡기 파이프(15)와 제1 부(31)·제2 부(32)가 상하 방향으로 상대 변위하는 구성으로 하는 것도 가능하다.

본 구성에 있어서, 흡착 노즐(16)로 제1 워크(W1)를 흡착한 상태에서, 흡착 노즐(16)의 선단부에 있어서의 제1 워크(W1)의 흡착 부분을, 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)보다도 상대적으로 상방으로 변위시킨다(흡기 파이프(15)를 상승시키거나, 또는 제1 부(31)·제2 부(32)를 하강시킨다). 이에 의해, 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)를 제1 워크(W1)에 맞닿게 하여, 제1 워크(W1)에 대해 하방으로 압박력을 부여할 수 있다. 본 구성의 경우, 흡착 노즐(16)과 제1 부(31)·제2 부(32) 중 어느 한쪽을 상하로 변위시키는 구동 기구가 구비된다.

다음으로, 승강 기구(14)를 구동시켜, 도 4 중의 화살표 Vu로 나타내는 바와 같이 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)을 상승시켜, 제1 워크(W1)를 들어 올린다. 도 4에 있어서, 제1 워크(W1)는 휜 상태로 들어 올려져 있다. 이 상태에서는 이미 제2 워크(W2)는 제1 워크(W1)와 분리되어 있으므로, 제1 워크(W1)에 있어서의 휨을 해소해도 지장없다. 즉, 제1 워크(W1)를 상승시킨 후에는 흡기 기구(17)에 의한 흡착 노즐(16)의 흡인력을 제1 워크(W1)가 낙하하지 않을 정도로 완화시켜, 제1 워크(W1)의 휨을 없애는 구성으로 해도 된다. 또한, 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)을 상승시키기 전에, 흡착 노즐(16)의 흡인력을 완화시키는(제1 워크(W1)에 휨이 발생하는 시간을 일순으로 하는) 구성으로 할 수도 있다.

다음으로, 반송 기구(12)를 구동시켜, 도 5 중의 화살표 Hr로 나타내는 바와 같이 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)을 수평으로 변위시켜, 제1 워크(W1)를 반송한다. 그 후, 반송 기구(12)에 의해 원래의 위치(도 1을 참조)로 되돌아간 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)에 의해, 다음 워크(W)를 반송한다.

상기한 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 있어서는, 흡착 노즐(16)로 제1 워크(W1)를 흡착하였을 때, 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)가 제1 워크(W1)에 맞닿고, 제1 워크(W1)에 대해 하방으로 압박력을 부여하는 구성으로 하고 있다. 이에 의해, 흡착부에 의한 제1 워크(W1)의 흡착과 거의 동시에 제1 워크(W1)를 휘게 하면서 파지하여, 제2 워크(W2)를 제1 워크(W1)로부터 분리할 수 있다. 즉, 제1 워크(W1)의 흡착과, 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2) 분리를 용이하게 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 있어서, 흡착 노즐(16)의 선단부를 수축시켜 탄성 변형시키는 구성으로 하고 있다. 이에 의해, 흡착 노즐(16) 또는 제1 부(31)·제2 부(32)를 상대 변위시키는 구동 기구를 마련하는 일 없이, 제1 워크(W1)의 흡착 부분을 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)보다도 상방으로 변위시킬 수 있다. 즉, 반송 장치(1)에 있어서는, 간이한 구성으로 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)의 분리를 행하는 것을 가능하게 하고 있다.

다음으로, 도 6 내지 도 9를 사용하여, 제1 흡착부인 흡착 노즐(16)과, 제1 부 및 제2 부인 제1 맞닿음부(31b) 및 제2 맞닿음부(32b)의 배치 구성에 대해 설명한다. 도 6 내지 도 9에 있어서의 각 도면은, 흡착 노즐(16)의 저면시(하방에서 본 상태)를 나타내고 있다.

본 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 있어서, 흡착 노즐(16)로 워크(W)를 흡착하였을 때에 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)가 워크(W)에 접촉함으로써 워크(W)를 휘게 하면서 파지할 수 있는 위치라면, 도 6a에 있어서의 제1 변형예에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16), 제1 맞닿음부(31b), 및 제2 맞닿음부(32b)가 각각 삼각형의 꼭지점에 위치하도록 배치하는 것이 가능하다. 또한, 도 6b에 있어서의 제2 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 6a의 구성에 있어서 흡착 노즐(16)을 직사각 형상의 흡착 노즐(16s)로 하는 것도 가능하다. 또한, 도 6c에 있어서의 제3 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 6a의 구성에 있어서, 흡착 노즐(16)을 사이에 두고 제1·제2 맞닿음부(31b·32b)의 반대측에 다른 맞닿음부(33b)를 마련하는 구성으로 하는 것도 가능하다.

또한, 도 7a에 있어서의 제4 변형예에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16), 제1 맞닿음부(31b), 및 제2 맞닿음부(32b)를, 제1 맞닿음부(31b), 흡착 노즐(16), 제2 맞닿음부(32b)의 순으로 대략 직선형으로 배치하는 것도 가능하다. 또한, 도 7b에 있어서의 제5 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 7a의 구성에 있어서 흡착 노즐(16)을 직사각 형상의 흡착 노즐(16s)로 하는 것도 가능하다. 이와 같이, 제1 맞닿음부(31b), 흡착 노즐(16), 제2 맞닿음부(32b)의 순으로 대략 직선형으로 배치함으로써, 저면시에 있어서 흡착 노즐(16)을 제1 맞닿음부(31b) 및 제2 맞닿음부(32b)가 대략 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크(W)에 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 제1 워크(W1)를 제2 워크(W2)로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

또한, 도 8a에 있어서의 제6 변형예에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16)을 제1 맞닿음부(31b)와 제2 맞닿음부(32b) 사이에 배치하는 것도 가능하다. 또한, 도 8b에 있어서의 제7 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 8a의 구성에 있어서 흡착 노즐(16)을 직사각 형상의 흡착 노즐(16s)로 하는 것도 가능하다. 또한, 도 8c에 있어서의 제8 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 8a의 구성에 있어서 제1 맞닿음부(31b)를 L자형으로 절곡한 형상의 제1 맞닿음부(31s)로서 형성하고, 제2 맞닿음부(32b)를 직사각 형상의 제2 맞닿음부(32s)로서 형성하여, 제1 맞닿음부(31s)와 제2 맞닿음부(32s)로 흡착 노즐(16)을 둘러싸는 구성으로 하는 것도 가능하다. 이 경우, 제1 부(31)와 제2 부(32)가 일체적으로 형성되어 있어도 된다. 이와 같이, 흡착 노즐(16)을 제1 맞닿음부(31b)와 제2 맞닿음부(32b) 사이에 배치함으로써, 저면시에 있어서 흡착 노즐(16)을 제1 맞닿음부(31b) 및 제2 맞닿음부(32b)가 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크(W)에 더욱 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 제1 워크(W1)를 제2 워크(W2)로부터 보다 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

또한, 도 8d에 있어서의 제9 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 8a의 구성에 있어서 제1 맞닿음부(31b)를 맞닿음 리브(31r)로서 형성하는 것도 가능하다. 이에 의해, 맞닿음 리브(31r)와 워크(W)의 접촉면을 넓게 할 수 있어, 워크(W)에 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 제1 워크(W1)를 제2 워크(W2)로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

<제2 실시 형태>

다음으로, 도 9를 사용하여, 제2 실시 형태에 관한 반송 장치에 대해 설명한다. 본 실시 형태에 대해서는, 제1 실시 형태에 관한 반송 장치(1)와 마찬가지의 구성은 상세한 설명을 생략하고, 다른 구성을 중심으로 설명한다.

도 9에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 대해 흡인부와 맞닿음부의 관계가 반대로 되어 있다. 즉, 흡인부인 흡기 파이프(115a·115b)를 2개 마련하고, 그 하단부에 각각 본 발명의 제1 흡착부인 흡착 노즐(116a) 및 본 발명의 제2 흡착부인 (116b)를 구비하는 구성으로 하고 있다. 그리고 흡기 파이프(115a·115b) 사이에 기둥형의 제1 부(131)를 구비하는 구성으로 하고 있다. 제1 부(131)는, 봉형의 압박 부재(131a)와, 압박 부재(131a)의 하단부에 마련되는 맞닿음부(131b)를 구비하고 있다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 제1·제2 흡착부(116a·116b)의 측면은, 제1 부(131)와 인접하는 위치에 배치되어 있다. 또한, 제1 부(131)의 저면(맞닿음부(131b)의 저면)은 제1·제2 흡착부(116a·116b)에 의한 워크(W)의 흡착 시에 워크(W)와 맞닿는다. 또한, 맞닿음부(131b)가 워크(W)에 대해, 전후 방향을 따른 선형, 또는 전후 좌우로 확대된 면형으로 맞닿는 구성으로 하는 것도 가능하다.

본 실시 형태에 있어서, 흡착 노즐(116a·116b)이 도 9 중의 파선 화살표 A21·A22로 나타내는 바와 같이 제1 워크(W1)를 흡착하였을 때에는, 흡착 노즐(116a·116b)의 선단부가 수축되어 탄성 변형된다. 이 때문에, 탄성 변형 후의 흡착 노즐(116a·116b)의 선단부에 있어서의 제1 워크(W1)의 흡착 부분이, 맞닿음부(131b)보다도 상방으로 변위된다. 그리고 맞닿음부(131b)가 제1 워크(W1)에 대해 하방으로 압박력을 부여한다.

상기한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 제1 워크(W1)는, 좌우 양단부가 흡착 노즐(116a·116b)에 의해 상방으로 흡인되고, 제1 흡착부(116a)와 제2 흡착부(116b) 사이의 부분이 맞닿음부(131b)에 의해 하방으로 압박된다. 이에 의해, 제1 워크(W1)에는 도 9에 도시하는 바와 같이 제1 흡착부(116a)와 제2 흡착부(116b) 사이의 부분이 하측으로 볼록 형상이 되는 휨이 발생한다. 즉, 흡착 노즐(116a·116b)은, 저면이 맞닿음부(131b)의 저면보다도 상측에 위치함으로써, 제1 워크(W1)를 휘게 하면서 파지한다. 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)가 밀착되어 있는 경우라도, 제1 워크(W1)에 발생하는 휨에 의해 제2 워크(W2)와의 사이에 공기가 들어가기 때문에, 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)가 이격된다. 이 때문에, 제2 워크(W2)는 제1 워크(W1)로부터 분리되어, 도 9에 도시하는 바와 같이 수용 케이스(Cw)의 내부에 머무른다.

이와 같이, 본 실시 형태에 관한 반송 장치에 있어서는, 흡착 노즐(116a·116b)로 제1 워크(W1)를 흡착하였을 때, 맞닿음부(131b)가 제1 워크(W1)에 맞닿고, 제1 워크(W1)에 대해 하방으로 압박력을 부여하는 구성으로 하고 있다. 이에 의해, 흡착부에 의한 제1 워크(W1)의 흡착과 거의 동시에 제1 워크(W1)를 휘게 하면서 파지하여, 제2 워크(W2)를 제1 워크(W1)로부터 분리할 수 있다. 즉, 제1 워크(W1)의 흡착과, 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)의 분리를 용이하게 행할 수 있다.

다음으로, 도 10 내지 도 12를 사용하여, 제1·제2 흡착부인 흡착 노즐(116a·116b)과, 제1 부인 맞닿음부(131b)의 배치 구성에 대해 설명한다. 도 10 내지 도 12에 있어서의 각 도면은, 흡착 노즐(116a)의 저면시(하방에서 본 상태)를 나타내고 있다.

본 실시 형태에 관한 반송 장치(1)에 있어서, 흡착 노즐(116a·116b)로 워크(W)를 흡착하였을 때에 맞닿음부(131b)가 워크(W)에 접촉함으로써 워크(W)를 휘게 하면서 파지할 수 있는 위치라면, 도 10a에 있어서의 제10 변형예에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(116a·116b) 및 맞닿음부(131b)가 각각 삼각형의 꼭지점에 위치하도록 배치하는 것이 가능하다. 또한, 도 10b에 있어서의 제11 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 10a의 구성에 있어서 맞닿음부(131b)를 직사각 형상의 맞닿음부(131s)로 하는 것도 가능하다. 또한, 도 10c에 있어서의 제12 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 10a의 구성에 있어서, 맞닿음부(131b)를 사이에 두고 흡착 노즐(116a·116b)의 반대측에 다른 흡착부(116c)를 마련하는 구성으로 하는 것도 가능하다.

또한, 도 11a에 있어서의 제13 변형예에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16), 흡착 노즐(116a·116b), 및 맞닿음부(131b)를, 흡착 노즐(116a), 맞닿음부(131b), 흡착 노즐(116b)의 순으로 대략 직선형으로 배치하는 것도 가능하다. 또한, 도 11b에 있어서의 제14 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 11a의 구성에 있어서 맞닿음부(131b)를 직사각 형상의 맞닿음부(131s)로 하는 것도 가능하다. 이와 같이, 흡착 노즐(116a), 맞닿음부(131b), 흡착 노즐(116b)의 순으로 대략 직선형으로 배치함으로써, 저면시에 있어서, 맞닿음부(131b)를 흡착 노즐(116a) 및 흡착 노즐(116b)이 대략 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크(W)에 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 제1 워크(W1)를 제2 워크(W2)로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

또한, 도 12a에 있어서의 제15 변형예에 도시하는 바와 같이, 맞닿음부(131b)를, 흡착 노즐(116a)과 흡착 노즐(116b) 사이에 배치하는 것도 가능하다. 또한, 도 12b에 있어서의 제16 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 12a의 구성에 있어서 맞닿음부(131b)를 직사각 형상의 맞닿음부(131s)로 하는 것도 가능하다. 또한, 도 12c에 있어서의 제17 변형예에 도시하는 바와 같이, 도 12a의 구성에 있어서 흡착 노즐(116a)과 흡착 노즐(116b)을 직사각 형상의 흡착 노즐(116s·116s)로서 형성하는 것도 가능하다. 이와 같이, 맞닿음부(131b)를, 흡착 노즐(116a)과 흡착 노즐(116b) 사이에 배치함으로써, 저면시에 있어서, 맞닿음부(131b)를 흡착 노즐(116a) 및 흡착 노즐(116b)이 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크(W)에 더욱 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 제1 워크(W1)를 제2 워크(W2)로부터 보다 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

<제3 실시 형태>

다음으로, 도 13 내지 도 15를 사용하여, 제3 실시 형태에 관한 반송 장치(201)에 대해 설명한다. 본 실시 형태에 관한 반송 장치(201)에 대해서는, 제1 부(231) 및 제2 부(232)의 구성 이외에는 제1 실시 형태에 관한 반송 장치(1)와 마찬가지이므로, 제1 부(231) 및 제2 부(232)의 구성을 중심으로 설명한다.

반송 장치(201)에 있어서의 승강 기구(14)의 하면에는, 흡기 파이프(15)의 측방 및 후방을 둘러싸도록 수평 단면으로 보아 U자형으로 형성된 압박 부재(230)가 마련된다. 도 13 및 도 14에 도시하는 바와 같이, 압박 부재(230)는 전방면에 개구부(230a)가 형성된 상자 형상으로 구성된다. 즉, 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)은 압박 부재(230)에 있어서의 개구부(230a)의 내측에 수용되어 있다. 압박 부재(230)는 저면에 개구된 고정 구멍(230b·230b)에 볼트(B·B)를 삽입 관통시킴으로써 승강 기구(14)에 고정되어 있다.

도 13 및 도 14에 도시하는 바와 같이, 압박 부재(230)의 하면에 있어서의 좌우 양단부에는, 흡착 노즐(16)에 의한 워크(W)의 흡착 시에 워크(W)에 맞닿는 리브형의 제1 부(231) 및 제2 부(232)가 전후 방향을 따라 하방으로 기립 설치되어 있다. 즉, 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)은 제1 부(231)와 제2 부(232) 사이에 배치되어 있다. 이와 같이, 본 실시 형태에 관한 맞닿음부(제1 부(231) 및 제2 부(232))는, 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)의 주위에서 일체적으로 구성되어 있다. 제1 부(231) 및 제2 부(232)는 도 15에 도시하는 바와 같이, 흡착 노즐(16)에 의한 워크(W)의 흡착 시에는 워크(W)에 대해 압박력을 부여한다.

본 실시 형태에 있어서, 흡착 노즐(16)이 도 15 중의 파선 화살표 A3으로 나타내는 바와 같이 제1 워크(W1)를 흡착하였을 때에는, 흡착 노즐(16)의 선단부가 수축되어 탄성 변형된다. 이 때문에, 탄성 변형 후의 흡착 노즐(16)의 선단부에 있어서의 제1 워크(W1)의 흡착 부분이, 제1 부(231) 및 제2 부(232)보다도 흡착되는 방향(상방)으로 변위된다. 그리고 제1 부(231) 및 제2 부(232)가 제1 워크(W1)에 대해 하방으로 압박력을 부여한다.

상기한 바와 같이, 제1 워크(W1)는, 제1 부(231)와 제2 부(232) 사이의 부분이 흡착 노즐(16)에 의해 상방으로 흡인되고, 좌우 양단부가 제1 부(231) 및 제2 부(232)에 의해 하방으로 압박된다. 이에 의해, 제1 워크(W1)에는 도 15에 도시하는 바와 같이 제1 부(231)와 제2 부(232) 사이의 부분이 상측으로 볼록 형상이 되는 휨이 발생한다. 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)가 밀착되어 있었던 경우라도, 제1 워크(W1)에 발생하는 휨에 의해 제2 워크(W2)와의 사이에 공기가 들어가기 때문에, 제1 워크(W1)와 제2 워크(W2)가 이격된다. 이 때문에, 제2 워크(W2)는, 제1 워크(W1)로부터 분리되어, 도 15에 도시하는 바와 같이 수용 케이스(Cw)의 내부에 머무른다.

상기한 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 반송 장치(201)에 있어서, 제1 부(231) 및 제2 부(232)를, 흡기 파이프(15) 및 흡착 노즐(16)의 주위를 둘러싸는 압박 부재(230)로서 일체적으로 구성하고 있다. 이에 의해, 압박 부재(230)를 승강 기구(14)에 조립 장착함으로써, 제1 맞닿음부(231) 및 제2 맞닿음부(232)를 동시에 승강 기구(14)에 조립 장착할 수 있다. 이 때문에, 압박 부재(230)를 조립 장착하였을 때, 제1 부(231) 및 제2 부(232)를 용이하게 위치 정렬할 수 있다. 즉, 맞닿음부를 제각기 부재에 마련하는 구성과 비교하여, 제1 부(231) 및 제2 부(232)를 용이하게 반송 장치(201)에 조립 장착하는 것이 가능해진다.

즉, 본 발명의 일례에 관한 반송 장치는, 판형의 워크를 반송하는 반송 장치이며, 저면이 상기 워크에 맞닿아 상기 워크를 흡착 가능한 제1 흡착부와, 저면이 상기 워크에 맞닿음 가능하고, 측면이 상기 제1 흡착부와 인접하는 제1 부 및 제2 부를 구비하고, 상기 제1 흡착부의 저면이 상기 워크를 흡착하고, 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면이 상기 워크에 맞닿고, 상기 제1 흡착부의 저면이 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면보다도 상기 워크를 흡착하는 제1 방향측에 위치함으로써 상기 워크를 휘게 하는 것이다.

이 구성에 의하면, 판형의 워크의 적층체로부터 워크를 파지하여 반송할 때, 제1 흡착부로 워크를 흡착하고, 제1 부 및 제2 부가 워크에 맞닿아 하방으로 압박력을 부여하여, 제1 부와 제2 부 사이에 휨을 발생시킨다. 이에 의해, 제1 흡착부에 의한 워크의 흡착과 거의 동시에 워크에 휨을 발생시켜, 2매째 이후의 다른 워크를 워크로부터 분리할 수 있다. 즉, 워크의 흡착과, 다른 워크로부터의 분리를 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제1 부 및 상기 제2 부는, 대략 봉형이며, 상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 상기 제1 부의 저면, 상기 제1 흡착부의 저면, 상기 제2 부의 저면의 순으로 대략 직선형으로 배치되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 제1 부 및 제2 부가 제1 흡착부를 대략 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크에 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 워크를 다른 워크로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 상기 제1 흡착부의 저면은, 상기 제1 부의 저면과 상기 제2 부의 저면 사이에 배치되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 제1 부 및 제2 부가 제1 흡착부를 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크에 더욱 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 워크를 다른 워크로부터 보다 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제1 부는, 리브를 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 부와 워크의 접촉면을 넓게 하도록 제1 부를 형성하기 쉽다. 이 때문에, 워크에 휨이 발생하기 쉬워져, 워크를 다른 워크로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

이 구성에 의하면, 판형의 워크의 적층체로부터 워크를 파지하여 반송할 때, 제1 흡착부 및 제2 흡착부로 워크를 흡착하고, 제1 부가 워크에 맞닿아 하방으로 압박력을 부여하여, 제1 흡착부와 제2 흡착부 사이에 휨을 발생시킨다. 이에 의해, 제1 흡착부 및 제2 흡착부에 의한 워크의 흡착과 거의 동시에 워크에 휨을 발생시켜, 2매째 이후의 다른 워크를 워크로부터 분리할 수 있다. 즉, 워크의 흡착과, 다른 워크로부터의 분리를 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제1 흡착부 및 상기 제2 흡착부는, 대략 통형이며, 상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 상기 제1 흡착부의 저면, 상기 제1 부의 저면, 상기 제2 부의 저면의 순으로 대략 직선형으로 배치되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 제1 흡착부 및 제2 흡착부가 제1 부를 대략 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크에 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 워크를 다른 워크로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 상기 제1 부의 저면은, 상기 제1 흡착부의 저면과 상기 제2 흡착부의 저면 사이에 배치되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 흡착부의 저면시에 있어서, 제1 흡착부 및 제2 흡착부가 제1 부를 사이에 끼우는 배치가 되어, 워크에 더욱 휨이 발생하기 쉬워지기 때문에, 워크를 다른 워크로부터 보다 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 제1 흡착부의 저면은, 상기 제1 부의 저면보다도 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향측에 위치하는 것이 가능한 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 흡착부를 워크에 접촉시킬 때, 제1 부의 저면보다도 먼저 제1 흡착부의 저면이 워크에 접촉하기 때문에, 제1 흡착부에 있어서의 워크의 흡착을 행하기 쉬워진다.

또한, 상기 제1 흡착부는, 신축 가능한 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 흡착부의 저면이 워크에 접촉한 후, 제1 흡착부의 저면을 제1 방향으로 이동시키기 쉬워지기 때문에, 워크를 다른 워크로부터 보다 용이하게 분리하는 것이 가능해진다.

본 발명의 일례에 관한 반송 장치에 의하면, 판형의 워크의 적층체로부터 워크를 흡착하여 반송할 때, 1매째의 워크와 2매째 이후의 다른 워크를 단시간에 분리하여 반송하는 것이 가능해진다.

이 출원은, 2018년 7월 5일에 출원된 일본 특허 출원 제2018-128411호를 기초로 하는 것이며, 그의 내용은 본원에 포함되는 것이다. 또한, 발명을 실시하기 위한 형태의 항에서 이루어진 구체적인 실시 양태 또는 실시예는, 어디까지나 본 발명의 기술 내용을 명확하게 하는 것이며, 본 발명은 그러한 구체예에만 한정하여 좁은 의미로 해석되어야 하는 것은 아니다.

1: 반송 장치
11: 반송 가이드
12: 반송 기구
13: 승강 가이드
14: 승강 기구
15: 흡기 파이프
16: 흡착 노즐
17: 흡기 기구
18: 흡기 호스
31: 제1 부
31a: 제1 압박 부재
31b: 제1 맞닿음부
32: 제2 부
32a: 제2 압박 부재
32b: 제2 맞닿음부
33b: 맞닿음부
115a: 흡기 파이프
115b: 흡기 파이프
116a: 흡착 노즐
116b: 흡착 노즐
131: 제1 부
131a: 압박 부재
131b: 맞닿음부
201: 반송 장치
230: 압박 부재
230a: 개구부
230b: 고정 구멍
231: 제1 부
232: 제2 부
B: 볼트
Cw: 수용 케이스
F: 바닥면
W: 워크
W1: 제1 워크
W2: 제2 워크
WL: 워크 적층체

Claims

판형의 워크를 반송하는 반송 장치이며,
저면이 상기 워크에 맞닿아 상기 워크를 흡착 가능한 제1 흡착부와,
저면이 상기 워크에 맞닿음 가능하고, 측면이 상기 제1 흡착부와 인접하는 제1 부 및 제2 부를 구비하고,
상기 제1 흡착부의 저면이 상기 워크를 흡착하고, 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면이 상기 워크에 맞닿고, 상기 제1 흡착부의 저면이 상기 제1 부의 저면 및 상기 제2 부의 저면보다도 상기 워크를 흡착하는 제1 방향측에 위치함으로써 상기 워크를 휘게 하는, 반송 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 부 및 상기 제2 부는 대략 봉형이고,
상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서,
상기 제1 부의 저면, 상기 제1 흡착부의 저면, 상기 제2 부의 저면의 순으로 대략 직선형으로 배치되는, 반송 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서,
상기 제1 흡착부의 저면은, 상기 제1 부의 저면과 상기 제2 부의 저면 사이에 배치되는, 반송 장치.
제3항에 있어서,
상기 제1 부는 리브를 포함하는, 반송 장치.
판형의 워크를 반송하는 반송 장치이며,
저면이 상기 워크에 맞닿음 가능한 제1 부와,
저면이 상기 워크에 맞닿아 상기 워크를 흡착 가능하고, 측면이 상기 제1 부와 인접하는 제1 흡착부 및 제2 흡착부를 구비하고,
상기 제1 흡착부의 저면 및 상기 제2 흡착부의 저면이 상기 워크를 흡착하고, 상기 제1 부의 저면이 상기 워크에 맞닿고, 상기 제1 흡착부의 저면 및 상기 제2 흡착부의 저면이 상기 제1 부의 저면보다도 상기 워크를 흡착하는 제1 방향측에 위치함으로써 상기 워크를 휘게 하는, 반송 장치.
제5항에 있어서,
상기 제1 흡착부 및 상기 제2 흡착부는 대략 통형이고,
상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서,
상기 제1 흡착부의 저면, 상기 제1 부의 저면, 상기 제2 부의 저면의 순으로 대략 직선형으로 배치되는, 반송 장치.
제5항에 있어서,
상기 제1 흡착부의 저면시에 있어서,
상기 제1 부의 저면은, 상기 제1 흡착부의 저면과 상기 제2 흡착부의 저면 사이에 배치되는, 반송 장치.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 흡착부의 저면은, 상기 제1 부의 저면보다도 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향측에 위치하는 것이 가능한, 반송 장치.
제8항에 있어서,
상기 제1 흡착부는 신축 가능한, 반송 장치.