KR20090108387A - 핸들러용 트레이 캐처 - Google Patents

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KR20090108387A
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윤현식
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(주)티에스이
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Abstract

본 발명은 구동 수단에 의해 구동되는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 통해 트레이의 양측을 그립하고, 가이드 돌기를 이용하여 상기 트레이의 삼면을 동시 정렬하여 픽업함으로써 상기 트레이를 가지런히 적재할 수 있는 핸들러용 트레이 캐처에 관한 것이다.
본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처는 반도체 소자가 적재되는 트레이를 픽업하여 이동시키는 핸들러용 트레이 캐처에 있어서, 상기 트레이의 상부에서 상기 트레이를 수평하게 지지하는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 하면에 설치되며, 상기 트레이를 픽업시 상기 트레이의 삼면에서 상기 트레이를 정렬하는 가이드 돌기; 상기 베이스 플레이트의 양측에 설치되며, 상기 트레이의 양측을 그립하는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼; 및 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼가 상기 트레이를 그립 및 언그립 할 수 있도록 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 선형이동시키는 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

핸들러용 트레이 캐처{HANDLER TRAY CATCHER}
본 발명은 핸들러용 트레이 캐처에 관한 것으로, 특히 구동 수단에 의해 구동되는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 통해 트레이의 양측을 그립하고, 가이드 돌기를 이용하여 상기 트레이의 삼면을 동시 정렬하여 픽업함으로써 상기 트레이를 가지런히 적재할 수 있는 핸들러용 트레이 캐처에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 과정에서 조립공정이 완료된 이후에 최종 출하 전에 소자가 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 수행하게 된다.
테스트 핸들러(test handler)는 이러한 반도체 소자의 테스트를 위하여 이용되는 장비로서, 고객 트레이(customer tray)에 담겨진 반도체 소자를 자동으로 로딩(loading)하여 테스트 챔버에서 테스트를 수행한 후, 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 설정된 고객 트레이에 언로딩(unloading)하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 지원하도록 구성된 장비이다.
구체적으로는, 테스트 핸들러는 로딩 셋플레이트(set plate) 및 언로딩 셋플레이트의 하부에 구비된 스태커(stacker)에 적재되어 있는 고객 트레이를 파지한 후 이동하여 로딩 셋플레이트 또는 언로딩 셋플레이트로 이송시키거나, 로딩 셋플 레이트 또는 언로딩 셋플레이트에 위치한 고객 트레이를 파지한 후 이동하여 스택커에 적재시키는 등 이송 대기 상태에 있는 고객 트레이를 이송시키기 위한 한 쌍의 트랜스퍼 수단을 구비한다.
이러한 트랜스퍼 수단은 고객 트레이를 파지하기 위한 캐처(catcher)를 구비한다.
이러한 종래의 캐처는 고객 트레이를 파지하기 위하여, 적층된 고객 트레이 중 최상부 고객 트레이를 감지하여 최상부 고객 트레이가 베이스 플레이트의 양측에 설치된 핑거 사이에 위치하도록 캐처를 이동시킨다. 공압 실린더를 작동시켜 최상부 고객 트레이의 측벽과 접촉하도록 핑거를 이동시키고, 핑거가 최상부 고객 트레이의 측벽과 접촉되면 최상부 고객 트레이를 파지한다.
하지만, 이러한 캐처는 핑거와 접촉되는 트레이의 양측을 정렬시킬 수 있지만 고객 트레이의 전면은 정렬시킬 수 없으므로 스택커에 가지런히 적재할 수 없다는 문제점이 있다.
본 발명은 핸들러용 트레이 캐처에 관한 것으로 구동 수단에 의해 구동되는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 통해 트레이의 양측을 그립하고, 가이드 돌기를 이용하여 상기 트레이의 삼면을 동시 정렬하여 픽업함으로써 상기 트레이를 용이하게 이동시킬 수 있는 핸들러용 트레이 캐처를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처는 반도체 소자가 적재되는 트레이를 픽업하여 이동시키는 핸들러용 트레이 캐처에 있어서, 상기 트레이의 상부에서 상기 트레이를 수평하게 지지하는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 하면에 설치되며, 상기 트레이를 픽업시 상기 트레이의 삼면에서 상기 트레이를 정렬하는 가이드 돌기; 상기 베이스 플레이트의 양측에 설치되며, 상기 트레이의 양측을 그립하는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼; 및 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼가 상기 트레이를 그립 및 언그립 할 수 있도록 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 선형이동시키는 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처는 상기 베이스 플레이트의 하면과 상기 트레이의 상면 사이의 간격을 일정하게 유지시키는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼 각각은, 일측에 함몰부를 구비하며, 상기 함몰부의 양측에 돌출부를 구비하는 그리퍼 플레이트; 상기 그리퍼 플레이트의 종단 에 설치되며, 상기 베이스 플레이트의 하부를 향해 연장되는 그리퍼 후크를 포함하되, 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼는 상기 함몰부가 대향하도록 상기 베이스 플레이트의 상면에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 그리퍼 후크는 상기 가이드 돌기에 의해 정렬된 상기 트레이에 구비된 홈에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼가 상기 트레이를 그립시 상기 트레이의 홈을 훅킹할 수 있다.
상기 구동수단은, 상기 제1 그리퍼와 제2 그리퍼의 돌출부 사이에 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼의 이동 방향에 따라 설치되는 제1 LM 가이드 및 제2 LM 가이드; 및 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼의 함몰부에 각각 연결되어 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 선형운동 시키는 제1 공압 실린더 및 제2 공압 실린더를 포함할 수 있다.
상기 가이드 돌기는 상기 베이스 플레이트의 세 개의 가장자리에 각각 설치되는 제1 내지 제3 가이드 돌기를 포함하되, 상기 제1 내지 제3 가이드 돌기 중 적어도 하나 이상은 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼가 설치된 상기 베이스 플레이트의 양측을 포함하여 설치될 수 있다.
또한, 상기 베이스 플레이트의 양측에 설치된 상기 가이드 돌기는 적어도 하나 이상 설치되며, 상기 제1 LM 가이드 및 제2 LM 가이드와 일정 간격을 유지하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처는 상기 베이스 플레이트의 하부로 연장되며, 상기 베이스 플레이트의 각 모서리에 설치되는 스토퍼를 더 포함할 수 있 다.
상기 스토퍼는, 하우징; 상기 하우징 내부에 삽입되는 탄성부재; 상기 탄성 부재의 일단에 구비되는 누름부재; 및 상기 탄성부재의 타단에 구비되며, 상기 하우징에 체결되는 커버를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처는 구동 수단을 통해 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 선형이동시키며, 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼에 구비된 그리퍼 팁으로 트레이에 구비된 홈을 걸고 가이드 돌기를 이용하여 상기 트레이의 삼면을 동시 정렬한 후 픽업하므로 상기 트레이를 적재하는 과정에서 가지런히 적재할 수 있다는 장점이 있다.
본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 5는 각각 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처(1000)를 도시한 사시도, 평면도, 정면도, 우측면도 및 좌측면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처(1000)는 베이스 플레이트(100), 제1 그리퍼(300a), 제2 그리퍼(300b), 구동 수단(500) 및 가이드 돌기(600)를 포함한다. 또한, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처(1000)는 스토퍼(700)를 더 포함할 수 있다.
베이스 플레이트(100)는 트레이(미도시)의 상부에서 상기 트레이를 수평하게 지지한다.
베이스 플레이트(100)의 양측에는 상기 트레이를 그립하기 위한 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)가 설치된다.
제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b) 사이에 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)를 선형이동시키기 위한 구동 수단(500)이 설치된다.
또한, 베이스 플레이트(100)의 각 모서리에는 베이스 플레이트(100)의 하면과 상기 트레이의 상면 사이의 거리를 일정하게 유지시키는 스토퍼(700)가 설치될 수 있다.
제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)는 베이스 플레이트(100)의 양측에 설치되어 상기 트레이를 그립한다.
다음에는 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)의 구성을 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)의 구성은 서로 동일하므로, 제1 그리퍼(300a)의 구성에 대해서만 상세히 설명한다.
제1 그리퍼(300a)는 그리퍼 플레이트(310a) 및 그리퍼 후크(330a)를 포함한다.
구체적으로는, 그리퍼 플레이트(310a)는 중앙에 함몰부(313)를 구비하고, 함몰부(313)의 양측에 돌출부(311)를 구비한다.
제1 그리퍼(300a)는 종단에 베이스 플레이트(100)의 하부를 향해 연장되는 그리퍼 후크(330a)를 포함한다. 그리퍼 후크(330a)의 단부는 내측 방향으로 연장된다.
제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)는 베이스 플레이트(100)의 상면에 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)에 각각 구비되는 함몰부(313)가 서로 대향하도록 설치된다. 그리퍼 후크(330a, 330b)는 도 6에 도시된 바와 같이 가이드 돌기(600)에 의해 정렬된 상기 트레이에 구비된 홈(900)에 대응하는 위치에 설치된다. 그리퍼 후크(330a, 330b)가 홈(900)을 훅킹(hooking)하면 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)는 안전하게 상기 트레이를 그립할 수 있다.
구동 수단(500)은 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)가 상기 정렬된 트레이를 그립 또는 언그립 할 수 있도록 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)를 선형이동시킨다.
구동 수단(500)은 제 LM 가이드(510a), 제2 LM 가이드(510b), 제1 공압 실린더(530a) 및 제2 공압 실린더(530b)를 포함할 수 있다.
제1 LM 가이드(510a) 및 제2 LM 가이드(510b)는 돌출부(311) 및 돌출부(311) 사이에 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)의 이동 방향을 따라 설치되어, 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)를 가이드한다.
제1 공압 실린더(530a) 및 제2 공압 실린더(530b)는 함몰부(313) 및 함몰부(313)에 각각 연결되어 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)를 제1 LM 가이드(510a) 및 제2 LM 가이드(510b)를 따라 각각 선형이동시킨다.
가이드 돌기(600)는 베이스 플레이트(100)의 하면에 설치되어 상기 트레이를 픽업시 상기 트레이를 정렬한다.
가이드 돌기(600)는 베이스 플레이트(100)의 삼면의 가장자리에 설치된다. 바람직하게는, 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)가 설치된 베이스 플레이트(100)의 양측을 포함하여 설치된다.
예컨대, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 캐처(1000)를 이용하여 적재된 트레이를 이동시키는 경우, 핸들러용 트레이 캐처(1000)는 상기 최상부 트레이에 접근하여 가이드 돌기(600)를 통해 상기 최상부 트레이를 일정 마진(margine) 내에서 정렬한다. 다음에는, 구동 수단(500)에 의해 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)가 상기 최상부 트레이 쪽으로 이동되면, 그리퍼 후크(330a, 330b)가 상기 최상부 트레이에 구비된 홈을 후킹한다. 제1 그리퍼(300a) 및 제2 그리퍼(300b)는 상기 최상부 트레이를 그립하고, 핸들러용 트레이 캐처(1000)는 상기 그립된 최상부 트레이를 이동시킨다.
스토퍼(700)는 베이스 플레이트(100)의 각 모서리에 설치되며, 베이스 플레이트(100)의 상부에서 하부로 삽입되어 상기 트레이를 픽업시 상기 트레이의 상면을 지지한다.
스토퍼(700)의 구성을 도 7a 내지 도 7c를 참조하여 상세히 설명한다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 스토퍼(700)의 일 실시예를 도시한 사시도 및 분해도이며, 도 7c는 도 7a의 A-A에 따른 단면도이다.
도 7a 내지 도 7c를 참조하면, 본 발명에 따른 스토퍼(700)는 하우징(710), 탄성부재(730), 누름부재(750) 및 커버(770)를 포함한다.
하우징(710)은 누름부재(750) 및 탄성부재(730)가 삽입되는 쓰루 홀(thru-hole)(710a)을 구비한다.
하우징(710)의 헤드부(710a)는 스크류(screw) 등의 체결부재(미도시)에 의해 베이스 플레이트(100)의 상면에 고정된다.
커버(770)는 하우징(710)의 헤드부(710a)에 체결되어, 탄성부재(730)가 하우징(710)으로부터 이탈하는 것을 방지한다.
누름부재(750)는 일단이 하우징(710)의 외부로 돌출되도록 쓰루 홀(710a)에 삽입된다. 누름부재(750)의 돌기(751)와 하우징(710)의 걸림턱(711)은 누름부재(750)가 하우징(710)의 외부로 이탈하는 것을 방지한다.
누름부재(750)는 실리콘 및 고무와 같은 연성을 가지는 재질인 것이 바람직하다.
탄성부재(730)는 커버(770)와 누름부재(750) 사이에 개재되며, 상기 트레이의 픽업시 스토퍼(700)에 텐션(tension)을 제공한다.
상기 텐션에 의해 스토퍼(700)는 상기 트레이의 상면에 가압 접촉할 수 있다.
구체적으로는, 핸들러용 트레이 캐처(1000)는 상기 트레이를 픽업하기 위해서 상기 트레이를 후킹 및 그립하여야 한다. 스토퍼(700)는 핸들러용 트레이 캐처(1000)가 상기 트레이를 후킹 및 그립할 때 상기 트레이가 흔들리는 것을 방지하여 상기 트레이에 적재된 반도체 소자의 정렬이 흐트러지거나 상기 반도체 소자가 상기 트레이의 외부로 이탈하는 것을 방지한다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 여타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 보호 범위는 이하의 특허청구범위에 의해서 정해 할 것이다.
따라서 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 사상과 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 트레이 캐처를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 트레이 캐처를 도시한 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 트레이 캐처를 도시한 정면도.
도 4는 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 트레이 캐처를 도시한 우측면도.
도 5는 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 트레이 캐처를 도시한 좌측면도.
도 6은 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 트레이 캐처로 트레이를 그립한 일실시예를 도시한 사시도.
도 7a는 본 발명에 따른 스토퍼의 일 실시예를 도시한 사시도.
도 7b는 본 발명에 따른 스토퍼의 일 실시예를 도시한 분해도.
도 7c는 도 7a의 A-A에 따른 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1000 : 핸들러용 트레이 캐처 100 : 베이스 플레이트
300a : 제1 그리퍼 300b : 제2 그리퍼
310a, 310b : 그리퍼 플레이트 313 : 함몰부
311 : 돌출부 330a, 330b : 그리퍼 후크
500 : 구동 수단 510a : 제 LM 가이드
510b : 제2 LM 가이드 530a : 제1 공압 실린더
530b : 제2 공압 실린더 600 : 가이드 돌기
700 : 스토퍼 710 : 하우징
730 : 탄성부재 750 : 누름부재
770 : 커버

Claims (8)

  1. 반도체 소자가 적재되는 트레이를 픽업하여 이동시키는 핸들러용 트레이 캐처에 있어서,
    상기 트레이의 상부에서 상기 트레이를 수평하게 지지하는 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트의 하면에 설치되며, 상기 트레이를 픽업시 상기 트레이의 삼면에서 상기 트레이를 정렬하는 가이드 돌기;
    상기 베이스 플레이트의 양측에 설치되며, 상기 트레이의 양측을 그립하는 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼; 및
    상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼가 상기 트레이를 그립 및 언그립 할 수 있도록 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 선형이동시키는 구동 수단
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 캐처.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼 각각은,
    일측에 함몰부를 구비하며, 상기 함몰부의 양측에 돌출부를 구비하는 그리퍼 플레이트; 및
    상기 그리퍼 플레이트의 종단에 설치되며, 상기 베이스 플레이트의 하부를 향해 연장되는 그리퍼 후크를 포함하되,
    상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼는 상기 함몰부가 대향하도록 상기 베이스 플 레이트의 상면에 설치되는 것을 특징으로 핸들러용 트레이 캐처.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 그리퍼 후크는 상기 가이드 돌기에 의해 정렬된 상기 트레이에 구비된 홈에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼가 상기 트레이를 그립시 상기 트레이의 홈을 훅킹하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 캐처.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 구동수단은,
    상기 제1 그리퍼와 제2 그리퍼의 돌출부 사이에 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼의 이동 방향에 따라 설치되는 제1 LM 가이드 및 제2 LM 가이드; 및
    상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼의 함몰부에 각각 연결되어 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼를 선형운동 시키는 제1 공압 실린더 및 제2 공압 실린더
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 캐처.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 가이드 돌기는 상기 베이스 플레이트의 세 개의 가장자리에 각각 설치되는 제1 내지 제3 가이드 돌기를 포함하되,
    상기 제1 내지 제3 가이드 돌기 중 적어도 하나 이상은 상기 제1 그리퍼 및 제2 그리퍼가 설치된 상기 베이스 플레이트의 양측을 포함하여 설치되는 것을 특징 으로 하는 핸들러용 트레이 캐처.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트의 양측에 설치된 상기 가이드 돌기는 적어도 하나 이상 설치되며, 상기 제1 LM 가이드 및 제2 LM 가이드와 일정 간격을 유지하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 캐처.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트의 하부로 연장되며, 상기 베이스 플레이트의 각 모서리에 설치되는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 캐처.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스토퍼는,
    하우징;
    상기 하우징 내부에 삽입되는 탄성부재;
    상기 탄성 부재의 일단에 구비되는 누름부재; 및
    상기 탄성부재의 타단에 구비되며, 상기 하우징에 체결되는 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 캐처.
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