KR20210027032A - 셔터 장치, 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 성막 장치에 구비되는 셔터 장치로서, 동작의 안정성, 신뢰성이 높은 셔터 장치를 제공한다.
[해결 수단] 셔터를 슬라이드 이동시키는 구동기구는, 지지대와, 셔터에 대해 슬라이드 이동의 방향으로 작용하는 힘을 발생시키는 구동력 발생부와, 지지대에 대한 셔터의 슬라이드 방향과 직교하는 셔터의 폭 방향에서의 셔터의 일단 측과 타단 측을, 각각, 폭 방향에서의 셔터와 지지대 간의 상대 이동을 허용하면서 슬라이드 방향 및 폭 방향과 직교하는 방향으로 지지하고, 또한, 셔터의 슬라이드 이동을 가이드하는 가이드부를 구비한다.

Description

셔터 장치, 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조방법{SHUTTER APPARATUS, FILM FORMATION APPARATUS, FILM FORMATION METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE}

본 발명은, 진공 증착 방식에 의해 성막 대상물에 박막을 형성하는 성막 장치 및 이에 구비되는 셔터 장치에 관한 것이다.

성막 대상물로서의 기판 상에 박막을 형성하는 성막 장치로서, 진공 챔버 내에서 성막 재료를 수용한 용기(도가니)를 가열하여, 성막 재료를 증발(승화 또는 기화)시켜서 용기 밖으로 분사시켜, 기판의 표면에 부착·퇴적시키는 진공 증착 방식의 성막 장치가 있다. 성막은, 용기의 가열을 개시하여, 성막 레이트 모니터에 의해 성막 레이트가 안정된 것을 확인하고 나서, 개시된다. 성막 레이트가 안정될 때까지는 기판으로의 성막 재료의 부착을 막을 필요가 있고, 또한, 가열 초기는 증발한 성막 재료에 불순물이 섞여 있을 경우도 있기 때문에, 용기의 분사구와 기판과의 사이를 셔터에 의해 차단하는 기구를 구비한 성막 장치가 알려져 있다(특허문헌 1, 2).

셔터 기구의 구성으로서는 종래부터 다양한 구성이 제안되고 있지만, 셔터 기구의 불량이나 고장의 발생은, 제조 택트(tact)에 큰 영향을 주기 때문에, 동작의 안정성, 신뢰성이 높은 구성이 요구된다. 셔터 기구에 동작 불능 등의 불량이 발생하면, 챔버 내를 일단 대기압으로 되돌리고, 작업원이 챔버 내에 들어가 불량을 확인하고, 필요할 경우에는, 점검이나 보수 등을 하고, 그 후, 다시 실압(室壓) 조정, 성막 레이트 조정이 필요하다. 즉, 공정 진행이 대폭으로 지연되게 된다.

특허문헌 1: 일본특허공개공보 2003-115379호 특허문헌 2: 일본특허공개공보 2015-128119호

본 발명은, 성막 장치에 구비되는 셔터 장치로서, 동작의 안정성, 신뢰성이 높은 셔터 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 셔터 장치는,

진공 증착에 의해 성막을 행하는 성막 장치에 이용되는 셔터 장치로서,

셔터와,

상기 셔터를 슬라이드 이동시키는 구동기구를 구비하는 셔터 장치에 있어서,

상기 구동기구는,

지지대와,

상기 셔터에 대해 상기 슬라이드 이동의 방향으로 작용하는 힘을 발생시키는 구동력 발생부와,

상기 지지대에 대한 상기 셔터의 슬라이드 방향과 직교하는 상기 셔터의 폭 방향에서의 상기 셔터의 일단 측과 타단 측을, 각각, 상기 폭 방향에서의 상기 셔터와 상기 지지대 간의 상대 이동을 허용하면서 상기 슬라이드 방향 및 상기 폭 방향과 직교하는 방향으로 지지하고, 또한, 상기 셔터의 상기 슬라이드 이동을 가이드하는 가이드부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 성막 장치는,

성막 대상물을 수용하는 챔버와,

성막 재료를 수용하여 상기 챔버 내에 배치된 용기를 가열하는 가열부와,

상기 챔버 내에 배치된, 본 발명의 셔터 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 성막 방법은,

본 발명의 성막 장치를 이용하여, 챔버 내에 수용된 성막 대상물에 대해 상기 챔버 내에 배치된 용기로부터 증발되는 성막 재료를 부착시켜, 상기 성막 대상물에 성막을 행하는 성막 방법으로서,

상기 챔버에 상기 성막 대상물이 수용되어 있지 않은 상태에서, 상기 성막 장치에 구비된 셔터 장치가 갖는 셔터를, 상기 용기로부터 증발되는 성막 재료의 상기 성막 대상물로의 부착을 차단하는 것이 가능한 차폐 위치로 위치시키는 제1 차폐 공정과,

상기 셔터를 상기 차폐 위치에 위치시킨 채로, 상기 용기를 가열하는 준비 가열 공정과, 상기 용기로부터 증발되는 상기 성막 재료의 증발 레이트가 안정되면, 상기 챔버 내에 상기 성막 대상물을 반입하는 반입 공정과,

상기 성막 대상물이 상기 챔버 내의 소정의 위치에 배치되면, 상기 셔터를, 상기 용기로부터 증발되는 상기 성막 재료의 상기 성막 대상물로의 부착을 차단하지 않는 비차폐 위치로 이동시키고, 상기 성막 대상물에 성막을 행하는 성막 공정과,

상기 성막 대상물에 대한 성막이 종료되면, 상기 셔터를 상기 차폐 위치로 이동시키는 제2 차폐 공정과,

상기 셔터를 상기 차폐 위치에 위치시킨 채로, 상기 성막 대상물을 상기 챔버로부터 반출하는 반출 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 전자 디바이스의 제조방법은,

기판 상에 형성된 유기막 또는 금속막을 가지는 전자 디바이스의 제조방법으로서,

본 발명의 성막 방법에 의해, 상기 성막 대상물로서의 기판 상에 상기 유기막 또는 상기 금속막이 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 성막 장치에 구비되는 셔터 장치로서, 동작의 안정성, 신뢰성이 높은 셔터 장치를 제공할 수 있다.

[도 1] 본 발명의 실시예의 성막 장치의 모식적 단면도
[도 2] 본 발명의 실시예의 셔터 장치의 구성(셔터 열림 시)을 나타내는 모식적 평면도
[도 3] 본 발명의 실시예의 셔터 장치의 구성(셔터 닫힘 시)을 나타내는 모식적 평면도
[도 4] 본 발명의 실시예의 비교예의 셔터 장치의 구성을 나타내는 모식적 평면도
[도 5] 본 발명의 실시예에 의한 성막 프로세스의 순서도
[도 6] 유기 EL 표시장치의 설명도

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 형태 및 실시예를 설명한다. 단, 이하의 실시 형태 및 실시예는 본 발명의 바람직한 구성을 예시적으로 나타내는 것에 불과하고, 본 발명의 범위를 그들 구성으로 한정하지 않는다. 또한, 이하의 설명에서, 장치의 하드웨어 구성 및 소프트웨어 구성, 처리 플로우, 제조 조건, 치수, 재질, 형상 등은, 특히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 그들만으로 한정하는 취지의 것이 아니다.

[실시예1]

도 1∼도 3을 참조하여, 본 발명의 실시예에 관련된 성막 장치 및 이에 구비되는 셔터 장치(셔터 기구)에 대해서 설명한다. 본 실시예에 관련된 성막 장치는, 진공 증착에 의해 기판에 박막을 성막하는 성막 장치이다.

본 실시예에 관련된 성막 장치는, 각종 반도체 디바이스, 자기 디바이스, 전자 부품 등의 각종 전자 디바이스나, 광학 부품 등의 제조에 있어서 기판(기판 상에 적층체가 형성되어 있는 것도 포함) 상에 진공 증착에 의해 소망하는 패턴의 박막(유기막이나 금속막 등에 의한 재료층)을 퇴적 형성하기 위해 이용된다. 기판의 재료로서는, 유리, 수지, 금속 등의 임의의 재료를 선택할 수 있고, 또한, 증착 재료로서도, 유기재료, 무기재료(금속, 금속산화물 등) 등의 임의의 재료를 선택할 수 있다. 보다 구체적으로는, 본 실시예에 관련된 성막 장치는, 발광소자나 광전 변환소자, 터치 패널 등의 전자 디바이스의 제조에서 바람직하게 이용된다. 그 중에서도, 본 실시예에 관련된 성막 장치는, 유기EL(Erectro Luminescence) 소자 등의 유기 발광소자나, 유기 박막태양전지 등의 유기 광전 변환소자의 제조에서 특히 바람직하게 적용 가능하다. 또한, 본 발명에서의 전자 디바이스는, 발광소자를 구비한 표시장치(예를 들면 유기 EL 표시장치)(의 표시 패널)나 조명 장치(예를 들면 유기 EL 조명 장치), 광전 변환소자를 구비한 센서(예를 들면 유기 CMOS 이미지 센서)도 포함하는 것이다. 본 실시예에 관련된 성막 장치는, 스퍼터 장치 등을 포함하는 성막 시스템의 일부로서 이용할 수 있다.

<성막 장치 및 성막 프로세스>

도 1은, 본 발명의 실시예에 관련된 성막 장치(1)의 구성을 나타내는 모식도이다. 성막 장치(1)는, 배기 장치(24), 가스 공급장치(25)에 의해, 내부가 진공분위기나 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기로 유지되는 진공 챔버(성막실, 증착실)(200)를 가진다. 또한, 본 명세서에서 "진공"이란, 대기압보다 낮은 압력의 기체로 채워진 공간 내의 상태를 말한다.

성막 대상물인 기판(100)은, 반송 로봇(미도시)에 의해 진공 챔버(200) 내부로 반송되면 진공 챔버(200) 내에 설치된 기판 보유지지 유닛(미도시)에 의해 보유지지되어, 마스크(220) 상면에 재치된다. 마스크(220)는, 기판(100) 상에 형성하는 박막 패턴에 대응하는 개구 패턴(221)을 가지는 메탈 마스크이며, 진공 챔버(200) 내부에서 수평면에 평행하게 설치되어 있다. 기판(100)은, 기판 보유지지 유닛에 의해 마스크(220)의 상면에 재치됨으로써, 진공 챔버(200) 내부에서, 수평면과 평행하게, 그리고, 피처리면인 하면이 마스크(220)로 덮이는 형태로 설치된다. 　

진공 챔버(200) 내부에서의 기판(100)의 하방에는, 증발원 장치(300)가 설치되어 있다. 증발원 장치(300)는, 개략적으로, 성막 재료(증착 재료)(400)를 수용하는 증발원 용기(도가니)(301)(이하, 용기(301))와, 용기(301)에 수용된 성막 재료(400)를 가열하는 가열부(가열원)로서의 히터(302)를 구비한다. 용기(301) 내의 성막 재료(400)는, 히터(302)의 가열에 의해 용기(301) 내에서 증발하고, 용기(301) 상부에 설치된 성막 재료(400)의 분사구를 형성하는 노즐(303)을 통해 용기(301) 외로 분출된다. 용기(301) 외로 분사된 성막 재료(400)는, 장치(300) 상방에 설치된 기판(100)의 표면에, 마스크(220)에 형성된 개구 패턴(221)에 대응하여 증착된다.

히터(302)는, 통전에 의해 발열하는 1개의 선 형상(와이어 형상)의 발열체를 용기(301)의 통 형상부 외주에 여러 번 감은 구성으로 되어 있다. 또한, 복수 개의 발열체를 감은 구성이어도 된다. 히터(302)로는, 발열체로서 스테인레스강 등의 금속 발열 저항체를 이용한 것이어도 되고, 카본 히터 등이어도 된다.

증발원 장치(300)는, 그 밖에 도시는 생략하고 있지만, 히터(302)에 의한 가열 효율을 높이기 위한 리플렉터나 전열 부재, 이들을 포함하는 증발원 장치(300)의 각 구성 전체를 수용하는 프레임 등을 구비할 수 있는 경우가 있다. 또한, 증발원 장치(300)는, 성막을 기판(100) 전체에 균일하게 행하기 위해, 고정 재치된 기판(100)에 대해 상대 이동 가능하게 구성되는 경우가 있다.

본 실시예에 관련된 성막 장치(1)는, 용기(301)로부터 분출하는 성막 재료(400)의 증기량, 또는 기판(100)에 성막되는 박막의 막 두께를 검지하기 위한 수단으로서, 성막 레이트 모니터 장치를 구비하고 있다. 성막 레이트 모니터 장치, 모니터 헤드(11)나 차폐 부재(쵸퍼)(12) 등을 구비하는 모니터 유닛(10)과, 모니터 제어부(21)를 구비한다. 성막 레이트 모니터 장치는, 용기(301)로부터 분출하는 성막 재료(400)의 일부를, 수정 모니터 헤드(11)에 구비된 수정진동자에 부착시킨다. 성막 재료(400)가 퇴적되는 것에 의한 수정진동자의 공진주파수(고유진동수)의 변화량(감소량)을 검지함으로써, 소정의 제어 목표 온도에 대응한 성막 레이트(증착 레이트)로서, 단위 시간당 성막 재료(400)의 부착량(퇴적량)을 취득할 수 있다. 이 성막 레이트를 히터(302)의 가열 제어에서의 제어 목표 온도의 설정에 피드백함으로써, 성막 레이트를 임의로 제어할 수 있다. 따라서, 성막 레이트 모니터 장치에 의해 성막 처리 중에 상시 성막 재료(400)의 토출량 또는 기판(100) 상의 막 두께를 모니터함으로써, 정밀도가 높은 성막이 가능해진다.

본 실시예에 관련된 성막 장치(1)의 제어부(연산 처리 장치)(20)는, 모니터 유닛(10)의 동작 제어, 성막 레이트의 측정, 취득을 행하는 모니터 제어부(21)와, 증발원 장치(300)의 가열 제어를 행하는 가열 제어부(22)와, 후술하는 셔터 기구(셔터 장치)(5)에서의 셔터(50)의 개폐 제어를 행하는 셔터 제어부(23)를 가진다.

도 5는, 본 실시예에 관련된 셔터 기구(5)에 의한 셔터(50)의 개폐 제어를 포함한 성막 프로세스(성막 방법)의 흐름을 나타내는 순서도이다. 성막 처리(증착 처리)의 개시에 앞서, 성막 대상물인 기판(100)이 진공 챔버(200) 내에 반입되지 않은 상태에서, 셔터(50)를 소정의 차폐 위치(닫힘 위치)에 위치시킨다(S101). 이 차폐 위치는, 기판(100)이 진공 챔버(200) 내의 소정의 위치에 배치된 경우, 그 기판(100)에 대해 용기(301)로부터 증발하는 성막 재료(400)가 부착되는 것을 차단하는 것이 가능한 위치이다. 이 상태에서, 히터(302)에 의한 용기(301)의 가열을 개시하고, 성막 레이트 모니터 장치에 의해 성막 레이트(증발 레이트)를 모니터하는 준비 가열을 개시한다(S102). 용기(301)의 온도 및 성막 레이트가 안정되면, 기판(100)을 진공 챔버(200) 내로 반입하여 소정의 위치에 배치하고(S103), 셔터(50)를 차폐 위치로부터 비차폐 위치(열림 위치)로 이동시켜(S104), 성막 처리(증착 처리)를 개시한다(S105). 성막 처리가 종료되면, 셔터(50)를 다시 차폐 위치로 이동시키고(S106), 기판(100)을 진공 챔버(200)로부터 반출하여(S107), 해당 기판(100)에 대한 성막 프로세스가 완료된다.

상기 성막 프로세스가 완료된 후에도, 히터(302)에 의한 용기(301)의 가열 상태는 유지되어, 별도의 기판(100)에 대한 성막 프로세스가 계속적으로 개시된다. 용기(301)의 가열 상태를 유지하는 이유는, 예를 들면, 기판(100)의 반출입 동안에 히터(302)의 가열을 정지하도록 해버리면, 하나의 기판(100)의 성막 프로세스마다 성막 재료(400)의 증발 상태가 리셋되게 되어, 새로운 성막 프로세스를 개시할 때마다, 준비 가열에 의해 용기(301)의 온도 및 성막 레이트의 안정화를 도모해야만 하기 때문에, 대폭적인 제조 택트의 감소로 이어지고, 기판별로 성막 레이트에 편차가 생기는 원인으로도 되기 때문이다. 따라서, 복수의 기판(100)에 대해 연속적으로 성막 처리를 행하는 경우에는, 히터(302)에 의한 용기(301)의 가열 상태를 계속적으로 유지하고, 용기(301)의 온도를 일정하게 계속 유지하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 성막 프로세스에 의하면, 기판(100)에 대한 성막 처리를 실시하는 동안을 제외하고, 셔터(50)를 차폐 위치에 위치시키게 된다. 그 이유는, 예를 들면, 성막 처리의 실시 중 이외에도 셔터(50)를 비차폐 위치로 이동시켜버리면, 히터(302)에 의한 가열 상태가 유지되는 용기(301)로부터 증발된 성막 재료(400)는, 진공 챔버(200) 내의 도처에 부착, 퇴적하고, 그 퇴적물이, 그 후의 기판(100)의 반입 시에 파티클로서 이탈하여 기판(100)에 낙하하는 등, 기판(100)의 불량 원인이 될 우려가 있기 때문이다.

<히터의 전력 공급 제어>

히터(302)의 발열량은, 히터(302)에 공급되는 전력량(전류값)이 전원 회로를 포함하는 가열 제어부(22)에 의해 제어됨으로써 제어된다. 전력 공급량은, 예를 들면, 도시하지 않은 온도 검출 수단에 의해 검출되는 온도가, 소망의 성막 레이트를 얻는데 적합한 소정의 제어 목표 온도로 유지되도록 PID 제어로 조정된다. 소정의 성막 레이트를 유지할 수 있는 히터(302)의 발열량(히터(302)로의 공급 전력)을, 소정 시간 유지함으로써, 기판(100)의 피성막면(100a)에 소망하는 막 두께의 박막을 성막할 수 있다(막두께=성막 레이트[Å/S]x시간[t]).

본 실시예에 관련된 성막 장치(1)는, 히터(302)의 가열 제어에서의 공급 전력의 제어 방법으로서, 레이트 제어와 평균 파워 제어를 스위칭하여 실행 가능하게 구성되어 있다. 또한, 전력 제어 방법은 이에 한정되는 것은 아니다.

레이트 제어에서는, 성막 레이트 모니터 장치에 의해 취득되는 성막 레이트의 모니터 값(실측값)이 소망하는 목표 레이트(이론값)와 일치하도록 제어 목표 온도가 적시 변경되어, 설정되는 제어 목표 온도에 따라 히터(302)에의 공급 전력량이 제어된다.

본 실시예에서는, 성막 레이트 모니터 장치에 의해 취득되는 성막 레이트의 모니터 값(실측값)에 따르지 않고 히터(302)로의 공급 전력량을 결정하는 전력 제어로서, 평균 파워 제어를 이용하고 있다. 평균 파워 제어에서는, 공급 전력의 과거 수 샘플링의 이동 평균을 목표 전력량으로 하여, 이 목표 전력량을 유지하도록 히터(302)로의 전력 공급을 제어하는 제어 방법이다. 또한, 미리 설정된 전력량(목표 전력량)을 유지하도록 히터(302)에 전력 공급하는 파워 제어를 이용해도 된다. 이들 전력 제어에서는, 성막 레이트를, 성막 재료의 종류나 기판과 증발원과의 상대 속도 등의 성막 조건에 기초하여 설정되는 이론값을 사용하여 막 두께를 제어한다.

<본 실시예의 특징>

도 1, 도 2, 도 3을 참조하여, 본 발명의 실시예에 관련된 셔터 기구(셔터 장치)(5)에 대해서 설명한다. 도 2는, 본 실시예에 관련된 셔터 기구(5)의 구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 셔터(50)가 비차폐 위치(열림 위치)에 있을 때의 모습을 나타내고 있다. 도 3은, 본 실시예에 관련된 셔터 기구(5)의 구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 셔터(50)가 차폐 위치(닫힘 위치)에 있을 때의 모습을 나타내고 있다.

도 1에 나타내는 셔터 기구(5)는, 도 2에 나타내는 비차폐 위치에 있는 상태를 실선으로 나타내고 있고, 도 3에 나타내는 차폐 위치에 있는 상태를 점선으로 나타내고 있다. 도 1은, 도 2, 도 3에서 셔터 기구(5)를 오른쪽에서 왼쪽으로 향하는 방향(X축 방향)으로 본 도면이며, 도 2, 도 3은, 도 1에서 셔터 기구(5)를 상방으로부터 하방(Z축 방향)으로 본 평면도이다.

(셔터 기구의 개략구성)

셔터 기구(5)는, 셔터(50)를, 증발원 용기(301)로부터 증발하는 성막 재료(400)의 기판(100)으로의 부착을 차단하는 차폐 위치(도 3)와, 차단하지 않는 비차폐 위치(도 2)와의 사이에서 슬라이드 이동시키는 기구이다. 본 실시예에서는, 판 형상 부재인 셔터(50)를, 그 연장 방향이, 도 1∼도 3에서의 Y축 방향에 일치하고, 해당 방향으로 슬라이드 이동하는 구성으로 되어 있다.

셔터(50)는, 도3에 도시한 차폐 위치에 있을 때에는, 증발원 용기(301)로부터 증발하는 성막 재료(400)의 기판(100)으로의 부착은 방지하지만, 모니터 유닛(10)의 수정진동자로의 부착은 허용하도록, 증발원 용기(301)의 노즐(303)의 분사구와 기판(100)과의 사이를 차단하게 구성되어 있다. 이에 의해, 진공 증착에 의한 성막에 있어서, 증발원 용기(301)(성막 재료(400))의 가열을 개시한 직후의 성막 레이트가 불안정한 상태에서, 기판(100)에 증발된 성막 재료(400)가 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 가열 초기에 있어서 증발된 성막 재료(400)에 섞여 있는 불순물이 기판(100)에 부착되어 버리는 것도 방지할 수 있다. 성막 레이트 모니터 장치에 의해 모니터되는 성막 레이트가 안정되고, 성막이 개시 가능한 상태로 되면, 셔터(50)는, 증발한 성막 재료(400)가 기판(100)에 부착되는 것을 방해하지 않는 비차폐 위치까지 퇴피 이동시켜진다.

본 실시예는, 도 2, 도 3에 나타낸 바와 같이, 소정의 방향으로 일렬로 배치된 3개의 증발원 용기(301)에 대한 차폐를 하나의 셔터(50)에 의해 행하는 구성으로 되어 있다. 셔터(50)는, 3개의 증발원 용기(301)가 배열되는 방향과 평행한 방향이 장척(길이 방향)이 되고, 해당 방향과 직교하는 방향으로 슬라이드 이동하는 구성으로 되어 있다.

셔터 기구(5)는, 셔터(50)와, 셔터(50)가 고정되는 가동대(51)와, 가동대(51)를 지지하는 고정대(지지대)(52)와, 셔터(50)를 슬라이드 이동시키기 위한 동력원으로서의 모터(53)를 구비한다. 가동대(51)는, 모터(53)로부터 전달되는 구동력을 받아, 고정대(52)에 대해 1축 방향으로, 본 실시예에서는 도 1∼도 3의 Y축 방향으로, 왕복 이동 가능하게 구성되어 있다. 고정대(52)는, 챔버(200)의 저면에 고정되고 있으며, 증발원 용기(301)에 대한 상대 위치가 고정되어 있다. 가동대(51)가 고정대(52)에 대해 상기 왕복 이동을 행함으로써, 셔터(50)가 증발원 용기(301)에 대해 차폐 위치와 비차폐 위치의 사이를 슬라이드 왕복 이동한다.

(구동 기구(구동력 발생부))

모터(53)에는, 연직 상향(Z축 방향)으로 연장되는 회전축에 제1 피니언 기어(521)가 동축으로 고정되고 있어, 모터(53)가 회전축을 회전 구동함으로써, 제1 피니언 기어(521)가 회전한다. 가동대(51)에는, 제1 피니언 기어(521)와 맞물리는 제1 랙(511)이 설치되어 있다. 제1 랙(511)은, 셔터(50)의 슬라이드 방향(Y축 방향)으로 연장되고, 또한, 셔터(50)의 장변 폭 방향으로 제1 피니언 기어(521)와 대향하도록 설치되어 있다. 즉, 제1 랙(511)은, 슬라이드 방향 및 증발원 용기(301)와 기판(100)의 대향 방향(본 실시예에서는 Z축 방향)의 각각과 직교하는 방향(X축 방향)으로 제1 피니언 기어(521)와 대향하도록 설치되어 있다.

고정대(52)에는, 제1 피니언 기어(521)와 제1 랙(511)과의 맞물림 안정성, 제1 랙(511)의 제1 피니언 기어(521)에 대한 상대 이동의 안정성을 도모하기 위한 구성으로, 회전체(524, 525)가 설치되어 있다. 회전체(524, 525)는, 모두 제1 피니언 기어(521)의 회전축과 평행한 축 주위로 회전 가능하게 고정대(52)에 설치되어 있다. 가동대(51)는, 고정대(52)에 대한 이동 방향과 직교하는 폭 방향(X축 방향)에서의 일단 측의 제1 랙(511)에서, 제1 피니언 기어(521)로부터 구동력(회전력)을 얻는 구성으로 되어 있다. 회전체(524, 525)는, 제1 피니언 기어(521)로부터 힘을 받아 이동하는 제1 랙(511)의 이동 궤적(제1 랙(511)의 연장 방향)이, 셔터(50)의 소정의 슬라이드 방향을 따른 방향에서 벗어나지 않도록, 제1 랙(511) 및 가동대(51)에 대해 규제력을 부여하는 역할을 한다.

제1 회전 부재로서의 회전체(524)는, 제1 랙(511)의 제1 피니언 기어(521)와 맞물리는 측과는 반대측에서, 가동대(51)의 폭 방향으로 제1 랙(511)과 대향하는 위치에 배치된다. 즉, 제1 랙(511)은, 가동대(51)의 폭 방향에서 제1 피니언 기어(521)와 회전체(524)에 의해 끼워진 배치 구성이 된다. 회전체(524)는, 가동대(51)가 고정대(52)에 대해 적정한 상대 위치에서 슬라이드 이동하고 있는 동안에는, 제1 랙(511)과 접촉하지 않도록 배치되어 있다.

제1 랙(511)이 제1 피니언 기어(521)로부터 받는 힘은, 그 작용 방향이나 크기가, 제1 피니언 기어(521)의 위상(각도)에 따라 변화하고, 제1 랙(511)을 제1 피니언 기어(521)로부터 이격시키는 방향으로 작용하는 힘이 포함된다. 그 때문에, 제1 랙(511)은, 제1 피니언 기어(521)에 대한 자세(경사)가 변화하기 쉬운 불안정한 구성으로 되어 있다. 회전체(524)가, 제1 랙(511)을 뒤에서 지지하도록 접촉하여, 회전함으로써, 가동대(51)의 슬라이드 이동을 방해하지 않고, 제1 피니언 기어(521)에 대한 제1 랙(511)의 자세, 상대 위치를 적정한 상태로 유지할 수 있다.

제2 회전 부재로서의 회전체(525)는, 제1 회전 부재로서의 회전체(524)와는 역방향으로, 제1 랙(511)(가동대(51))의 제1 피니언 기어(521)에 대한 상대 위치의 변동을 규제하도록, 가동대(51)에 대해 대향 배치되어 있다. 즉, 회전체(525)는, 가동대(51)가 고정대(52)에 대해 적정한 상대 위치에서 슬라이드 이동하고 있는 동안에는, 가동대(51)와 접촉하지 않도록 배치되어 있다.

제1 피니언 기어(521)로부터 제1 랙(511)에 작용하는 힘의 상태가 변화하여, 제1 피니언 기어(521)에 대한 제1 랙(511)의 자세가 변화하는 경우에 있어서, 상기와는 반대로, 제1 랙(511)이 제1 피니언 기어(521)에 근접하도록 상대 변위하려는 경우가 있다. 이러한 경우에, 회전체(525)가, 가동대(51)의 움직임을 규제하도록 접촉하여, 회전함으로써, 가동대(51)의 슬라이드 이동을 방해하지 않고, 제1 피니언 기어(521)에 대한 제1 랙(511)의 자세, 상대 위치를 적정한 상태로 유지할 수 있다. 　

(구동 기구(가이드부))

가동대(51)는, 이른바 랙 앤 피니언 기구(랙-피니언 기구)에 의해, 고정대(52)에 대한 이동이 소정의 슬라이드 방향으로 안내되는 구성으로 되어 있다. 즉, 고정대(52)의 상면에는, 셔터(50)을 슬라이드 이동시켜야 할 방향과 평행하게 연장되는 한 쌍의 랙(제2 랙(522)과 제3 랙(523))이 설치되어 있다. 한편, 가동대(51)의 하면인 고정대(52) 상면과의 대향면에는, 한 쌍의 랙에 대응한 한 쌍의 피니언 기어(제2 피니언 기어(512)과 제3 피니언 기어(513))가, 셔터(50)의 장변 폭 방향(X축 방향)과 평행한 축 주위로 회전 가능하게 설치되어, 각각 랙과 맞물려 있다. 이 랙과 피니언 기어로 이루진 조합은, 가동대(51)(셔터(50))의 장변 폭 방향에서의 일단 측과 타단 측에 각각 배치되어 있다.

제2 피니언 기어(512)와 제3 피니언 기어(513)는, 일단 측 회전부와 타단 측 회전부로서, 각각의 회전량을 일치시키도록, 연결부로서의 샤프트(514)에 의해 연결되어 있다. 샤프트(514)는, 그 양단이 가동대(51)의 하면에 축지되어 있다. 따라서, 제2 피니언 기어(512), 제3 피니언 기어(513), 샤프트(514)는, 가동대(51)에 대해 셔터(50)의 장변 폭 방향(X축 방향)과 평행한 축 주위로 일체적으로 회전한다. 　

또한, 가동대(51)에는, 제3 회전 부재로서의 차륜(515, 516, 517)이 설치되어 있다. 차륜(515, 516, 517)은, 제2 랙(523)과 제2 피니언 기어(512) 사이, 제3 랙과 제3 피니언 기어(513) 사이에, 가동대(51)(셔터(50))의 중량이 가해지지 않도록, 가동대(51)를 고정대(52)에 대해 지지하는 역할을 담당한다. 각 차륜(515, 516, 517)은, 각각 셔터(50)의 장변 폭 방향에 평행한 축 주위로 회전 가능하게 가동대(51)에 설치되어 있다. 각 차륜(515, 516, 517)의 크기나 가동대(51)에 대한 설치 위치는, 가동대(51)의 고정대(52)에 대한 높이가 상기 랙-피니언 기구에 가동대(51)의 중량이 걸리지 않도록 하는 높이가 되도록 설계된다.

이상의 구성에 의해, 셔터 제어부(23)가 모터(53)의 구동 온 오프, 정회전·역회전을 제어함으로써, 가동대(51)를 고정대(52)에 대해 이동시켜, 셔터(50)를 증발원 용기(301)에 대해 슬라이드 이동시킬 수 있다. 즉, 도 2에 나타내는 비차폐 상태로부터, 모터(53)를 구동하고, 제1 피니언 기어(521)를 도시된 화살표 방향으로 회전시킴으로써, 셔터(50)를 도시된 화살표 방향으로 슬라이드시켜, 도 3에 도시한 차폐 상태로 이행할 수 있다. 또한, 도 3에 도시한 차폐 상태로부터, 모터(53)를 구동하고, 제1 피니언 기어(521)를 도시한 화살표 방향으로 회전(역회전)시킴으로써, 셔터(50)를 도시된 화살표 방향으로 슬라이드시켜, 도 2에 도시한 비차폐 상태로 이행할 수 있다.

<본 실시예의 우수한 점>

본 실시예에 관련된 셔터 기구의 우수한 점을, 비교예(가상 구성)와의 비교에 의해, 설명한다. 도 4(a)는, 본 실시예의 비교예에 관련된 셔터 기구의 구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도 4(b)는, 비교예에 관련된 셔터 기구에서의 씹힘 발생시의 모습을 나타내는 모식적 평면도다.

도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 비교예에 관련된 셔터 기구는, 셔터의 좌우(슬라이드 방향과 직교하는 폭 방향의 양단)에 배치한 2개의 리니어 가이드(60)에 의해, 셔터(가동대)의 슬라이드 이동을 가이드하는 구성으로 되어 있다. 리니어 가이드(60)은, 레일(61)과, 볼을 통해 레일(61)을 이동 가능하게 조립된 가동 블록(62)과, 가동 블록(62)에 지지되는 가동대(63)를 가지고 있다. 도시하지 않은 셔터는 좌우의 가동대(63)로 지지되고 있다.

좌우의 리니어 가이드(60)는, 각각의 이동량을 조정하여 사용되지만, 조정은 대기압에서 행하여지고, 사용 시는 진공이 된다. 그 때문에, 초기 조정 후의 유지보수 실시 등에 의한 실압 변화에 기인한 부재 변형 등의 영향 등에 의해, 좌우의 이동량에 약간의 차이가 발생하는 경우가 있다. 이 경미하게 발생하는 좌우의 이동량 차이나, 실압이나 실온 등의 사용 환경 변화에 의한 가동부의 왜곡도 더해짐으로써, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 가동대(63)(셔터)가 레일(61)(고정대)에 대해 기우는 듯한 회전 모멘트가, 좌우의 리니어 가이드(60)에 발생하는 경우가 있다. 이 회전 모멘트에 있어서는, 제1 피니언 기어(521)로부터 제1 랙(511)에 힘이 작용하는 부분 및 구동측 리니어 가이드(60)(우측)에서의 가동 블록(62)과 가동대(63)와의 접합부가 작용점·지점이 되고, 비구동측 리니어 가이드(60)(좌측)에서의 가동 블록(62)과 가동대(63)와의 접합부가 힘점이 되어, 각각 도시한 화살표와 같은 부하가 발생한다. 이에 의해, 좌우의 리니어 가이드(60)에서 가동 블록(62)이 레일(61)에 대해 스무스하게 이동할 수 없는 상태, 소위 씹힘이 발생한다. 또한, 도 4(b)는, 씹힘 상태를 알기 쉽게 나타내기 위해, 리니어 가이드(60)의 경사를 과장하여 나타내고 있다. 리니어 가이드는, 정밀한 직동(直動) 위치 제어를 가능하게 하기 위해, 가동 방향 이외의 방향에서의 이동의 자유도가 주어지지 않는 설계로 되어 있다. 그 때문에 상술한 바와 같이 회전 모멘트의 발생에 의해 동작 불능에 빠질 가능성이 있다.

이에 대해, 본 실시예는, 회전체(524, 525)가, 상기 회전 모멘트의 기점이 되는 가동대(51)의 구동측(제1 랙(511)측)에서, 고정대(52)에 대한 가동대(51)의 좌우 방향의 위치 규제, 자세 안정화를 행하고, 또한, 차륜(515∼517)이, 가동대(51)의 고정대(52)에 대한 좌우 방향의 변위를 허용하면서, 가동대(51)의 중량을 지지하여 슬라이드 이동을 가이드하는 구성으로 되어 있다. 이러한 회전 부재에 의한 구성에 의해, 상기 회전 모멘트의 발생 원인이 되는 부하를 효과적으로 풀어주는(부하를 발생시키지 않는) 것이 가능해진다. 이에 의해, 샤프트(514)에 의한 좌우의 랙-피니언 기구의 이동량의 동기를 스무스하게 행하는 것이 가능해져, 고정대(52)에 대한 가동대(51)(셔터(50))의 안정적인 슬라이드 이동을 실현할 수 있다. 즉, 가동대(51)가, 셔터(50)의 슬라이드 방향과 직교하는 폭 방향으로 길이가 길고(장척), 또한, 해당 폭 방향에서의 일단 측에서 구동력을 받는 구성에 있어서, 슬라이드 이동 시의 폭 방향 일단 측의 이동량과 타단 측의 이동량의 일치(동기)를, 높은 신뢰성으로 실현할 수 있다.

또한, 본 실시예의 구성은, 간단한 기계 구성이기 때문에, 비용 측면에서 장점이 있고, 유지보수(메인터넌스)가 용이하며, 증착에 기여하지 못한 성막 재료가 떨어져 쌓이는 사용 환경 하에서, 안정적인 동작을 장기적으로 유지할 수 있다.

또한, 리니어 가이드와 같이 전용의 레일을 설치하는 스페이스가 불필요 해져, 공간 절약화에도 유리하다.

<기타>

셔터(50)의 형상이나 증발원 용기(301)에 대한 배치 등은, 본 실시예에서 나타낸 구성에 한정되는 것이 아니고, 성막 장치의 구성 등에 따라 적절하게 최적의 구성이 채용되어도 된다.

또한, 본 실시예에서는, 회전체(524, 525)가 제1 랙(511), 가동대(51)에 대해, 셔터(50)의 장변 폭 방향으로 서로 역방향으로 대향하는 구성으로 하고 있지만, 이러한 구성에 한정되는 것은 아니다. 제1 피니언 기어(521)에 대한 제1 랙(511)의 자세, 상대 위치를 적정한 상태로 유지할 수 있는 것이라면, 회전체의 수나 배치(규제력을 발휘시키는 위치나 방향)는 특정의 구성에 한정되는 것이 아니고, 장치 구성에 따라 적절하게 설정해도 된다.

또한, 제1 피니언 기어(521)의 회전축의 방향 (제1 피니언 기어(521)와 제1 랙(511)이 대향하는 방향)에 관하여도, 가동대(51)에 대한 스무스한 동력 전달이 가능하다면, 본 실시예의 구성에 한정되지 않고, 다른 구성을 적절하게 채용해도 된다.

또한, 고정대(52)에 대한 가동대(51)의 이동량 동기 수단으로서, 본 실시예에서는, 평행하게 배치된 한 쌍의 랙-피니언 기구를 이용한 구성으로 하고 있었지만, 본 발명을 실현 가능한 구성으로서는, 이러한 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 철도 차량과 같은 샤프트로 연결된 차륜과 레일을 이용한 구성이나, 셔터 폭 방향으로 길이가 긴 회전 롤러, 캐터필러 등과 같은 구성이어도 된다

본 실시예에서는, 제3 회전 부재로서 차륜(515∼517)에 관하여, 가동대(51)에 있어서 구동력을 받는 제1 랙(511) 측에 2개의 차륜(515, 516)을 배치한 구성으로 하고 있다. 가동대(51)에서의 좌우의 중량 밸런스나, 제1 랙(511) 측이 상기 회전 모멘트의 발생 기점이 되기 때문에, 제1 랙(511) 측의 차륜 수를 많게 하고 있지만, 이러한 구성에 한정되는 것은 아니다. 차륜의 배치나 수는, 장치 구성에 따라 적절히 변경해도 된다.

또한, 제3 회전 부재로서는, 차륜(515∼517)이 아니어도 된다. 고정대(52)에 대해 가동대(51)(셔터(50))를 지지함과 동시에, 고정대(52)와의 접촉 영역을 회전에 의해 변화시켜, 가동대(51)의 고정대(52)에 대한 폭 방향의 상대 이동을 허용하면서 셔터(50)의 슬라이드 이동을 가이드할 수 있는 회전체라면, 다른 부재를 이용해도 된다.

또한, 본 실시예에서 규정하고 있는 XYZ축 방향은, 본 실시예의 장치 구성을 전제로 하여 규정되는 것으로, 전제가 되는 장치 구성이 바뀌면(예를 들면, 증발원과 성막 대상물이 수평 방향으로 대향하는 등의 장치 구성), 각 방향의 규정 방법도 바뀌는 것은 말할 것도 없다.

성막 장치의 구성도, 본 실시예에서 나타낸 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 진공 챔버 내에 복수의 기판, 예를 들면 2장의 기판을 수용가능한 장치 구성에서, 2장의 기판 중 한 쪽의 기판을 반출입하는 동안에, 다른 쪽의 기판의 성막을 행하는 것과 같은 장치 구성에 대해, 본 실시예에 관련된 셔터 기구는 적합하게 적용할 수 있다. 이 경우, 셔터 기구는, 증발원 용기와 함께, 챔버 내를, 한 쪽 기판의 성막을 행하는 위치와, 다른 쪽 기판의 성막을 행하는 위치로 이동 가능하게 구성된다. 그리고, 한 쪽 기판의 성막 처리 위치에 있어서, 상술한 셔터의 개폐 동작을, 한 쪽 기판의 성막 처리의 진행에 맞추어 행하고, 그 동안, 다른 쪽 기판의 반출입(교환)이 행하여진다. 한 쪽 기판의 성막 처리가 종료되면, 셔터 기구는, 증발원 용기와 함께 다른 쪽 기판의 성막 처리 위치로 이동하고, 다른 쪽 기판의 성막 처리의 진행에 맞추어 셔터의 개폐 동작을 행한다. 그 동안, 한 쪽 기판의 반출입(교환)이 행하여지는 것은 말할 것도 없다. 이상의 프로세스를 반복함으로써, 복수의 기판에 대한 연속적인 성막 처리를 효율적으로 실시할 수 있다.

또한, 셔터의 개폐 동작은, 열림 상태와 닫힘 상태의 단순한 2단계의 상태 변화에 한정되는 것은 아니고, 열림 상태에서의 열림 정도를 조정할 수도 있다. 즉, 열림 상태로서는, 단순한 전체 열림 상태뿐만 아니라, 개구 면적을 조정한 열림 상태로 할 수도 있다. 따라서, 셔터에 의한 차폐(비차폐)의 정도를 그때마다 제어하여 성막을 행하도록 구성해도 된다.

<전자 디바이스의 제조방법의 실시예>

다음으로, 본 실시예의 성막 장치를 이용한 전자 디바이스의 제조방법의 일례를 설명한다. 이하, 전자 디바이스의 예로서 유기 EL 표시장치의 구성 및 제조방법을 예시한다.

먼저, 제조하는 유기 EL 표시장치에 대해서 설명한다. 도 6(a)는 유기 EL 표시장치(60)의 전체도, 도 6(b)는 1화소의 단면 구조를 나타내고 있다.

도 6(a)에 나타낸 바와 같이, 유기 EL 표시장치(60)의 표시 영역(61)에는, 발광소자를 복수 구비하는 화소(62)가 매트릭스 형상으로 복수 배치되어 있다. 상세한 것은 나중에 설명하지만, 발광소자의 각각은, 한 쌍의 전극에 끼워진 유기층을 구비한 구조를 가지고 있다. 또한, 여기서 말하는 화소란, 표시 영역(61)에서 소망하는 색 표시를 가능하게 하는 최소 단위를 가리키고 있다. 본 실시예와 관련된 유기 EL 표시장치의 경우, 서로 다른 발광을 나타내는 제1 발광소자(62R), 제2 발광소자(62G), 제3 발광소자(62B)의 조합에 의해 화소(62)가 구성되어 있다. 화소(62)는, 적색 발광소자와 녹색 발광소자와 청색 발광소자의 조합으로 구성되는 경우가 많지만, 황색 발광소자와 시안 발광소자와 백색 발광소자의 조합이어도 되고, 적어도 1색 이상이라면 특히 제한되는 것이 아니다.

도 6(b)는, 도 6(a)의 A-B선에서의 부분 단면 모식도이다. 화소(62)는, 기판(63) 상에, 제1 전극(양극)(64)과, 정공수송층(65)과, 발광층(66R, 66G, 66B) 중 어느 하나와, 전자수송층(67)과, 제2 전극(음극)(68)을 구비하는 유기 EL 소자를 가지고 있다. 이들 중, 정공수송층(65), 발광층(66R, 66G, 66B), 전자수송층(67)이 유기층에 해당한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 발광층(66R)은 적색을 발하는 유기 EL층, 발광층(66G)은 녹색을 발하는 유기 EL층, 발광층(66B)은 청색을 발하는 유기 EL층이다. 발광층(66R, 66G, 66B), 각각 적색, 녹색, 청색을 발하는 발광소자(유기 EL 소자라고 기술하는 경우도 있음)에 대응하는 패턴으로 형성되어 있다. 또한, 제1 전극(64)은, 발광소자별로 분리하여 형성되어 있다. 정공수송층(65)과 전자수송층(67)과 제2 전극(68)은, 복수의 발광소자(66R, 66G, 66B)와 공통으로 형성되어 있어도 되고, 발광소자별로 형성되어 있어도 된다. 또한, 제1 전극(64)과 제2 전극(68)이 이물에 의해 쇼트되는 것을 방지하기 위해, 제1 전극(64) 사이에 절연층(69)이 형성되어 있다. 나아가, 유기 EL층은 수분이나 산소에 의해 열화되기 때문에, 수분이나 산소로부터 유기 EL 소자를 보호하기 위한 보호층(70)이 형성되어 있다.

다음으로, 유기 EL 표시장치의 제조방법의 예에 대해서 구체적으로 설명한다.

먼저, 유기 EL 표시장치를 구동하기 위한 회로(미도시) 및 제1 전극(64)이 형성된 기판(63)을 준비한다.

제1 전극(64)이 형성된 기판(63) 상에 아크릴 수지를 스핀 코트로 형성하고, 아크릴 수지를 리소그래피법에 의해, 제1 전극(64)이 형성된 부분에 개구가 형성되도록 패터닝하여 절연층(69)을 형성한다. 이 개구부가, 발광소자가 실제로 발광하는 발광영역에 해당한다.

절연층(69)이 패터닝된 기판(63)을 제1 성막 장치에 반입하고, 기판 보유지지 유닛으로 기판을 보유지지하여, 정공수송층(65)을, 표시 영역의 제1 전극(64) 상에 공통되는 층으로서 성막한다. 정공수송층(65)은 진공 증착에 의해 성막된다.

다음으로, 정공수송층(65)까지 형성된 기판(63)을 제2 성막 장치에 반입하고, 기판 보유지지 유닛으로 보유지지한다. 기판과 마스크와의 얼라인먼트를 행하고, 기판을 마스크 상에 재치하고, 기판(63)의 적색을 발하는 소자를 배치하는 부분에, 적색을 발하는 발광층(66R)을 성막한다.

발광층(66R)의 성막과 마찬가지로, 제3 성막 장치에 의해 녹색을 발하는 발광층(66G)을 성막하고, 나아가 제4 성막 장치에 의해 청색을 발하는 발광층(66B)을 성막한다. 발광층(66R, 66G, 66B)의 성막이 완료된 후, 제5 성막 장치에 의해 표시 영역(61)의 전체에 전자수송층(67)을 성막한다. 전자수송층(67)은, 3색의 발광층(66R, 66G, 66B)에 공통의 층으로서 형성된다.

전자수송층(67)까지 형성된 기판을 스퍼터링 장치로 이동시켜, 제2 전극(68)을 성막하고, 그 후 플라스마CVD장치로 이동하여 보호층(70)을 성막하여, 유기 EL 표시장치(60)가 완성된다.

절연층(69)이 패터닝된 기판(63)을 성막 장치에 반입하고 나서 보호층(70)의 성막이 완료될 때까지는, 수분이나 산소를 포함하는 분위기에 노출되어 버리면, 유기 EL 재료로 이루어지는 발광층이 수분이나 산소에 의해 열화될 우려가 있다. 따라서, 본 예에 있어서, 성막 장치 간의 기판의 반입 반출은, 진공분위기 또는 불활성 가스 분위기 하에서 행하여진다.

이렇게 하여 얻어진 유기 EL 표시장치는, 발광소자별로 발광층이 고정밀로 형성된다.

1…성막 장치, 100…기판, 20…제어부, 200…진공 챔버(성막실), 300…증발원 장치, 301…증발원 용기(도가니), 302…히터(가열원), 303…노즐, 10…모니터 유닛, 5…셔터 기구(셔터 장치), 50…셔터, 51…가동대, 52…고정대(지지대), 53…모터(동력원), 511…제1 랙, 521…제1 피니언 기어, 512…제2 피니언 기어, 522…제2 랙, 513…제3 피니언 기어, 523…제3 랙, 514…샤프트, 524…회전체(제1 회전 부재), 525…회전체(제2 회전 부재), 515, 516, 517…차륜(제3 회전 부재)

Claims (16)

1. 진공 증착에 의해 성막을 행하는 성막 장치에 사용되는 셔터 장치로서,
   셔터와,
   상기 셔터를 슬라이드 이동시키는 구동 기구를 구비하는 셔터 장치에 있어서,
   상기 구동 기구는,
   지지대와,
   상기 셔터에 대해 상기 슬라이드 이동의 방향으로 작용하는 힘을 발생시키는 구동력 발생부와,
   상기 지지대에 대한 상기 셔터의 슬라이드 방향과 직교하는 상기 셔터의 폭 방향에서의 상기 셔터의 일단 측과 타단 측을, 각각, 상기 폭 방향에서의 상기 셔터와 상기 지지대 간의 상대 이동을 허용하면서 상기 슬라이드 방향 및 상기 폭 방향과 직교하는 방향으로 지지하고, 또한, 상기 셔터의 상기 슬라이드 이동을 가이드하는 가이드부를 구비하는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 구동력 발생부는,
   상기 지지대에 고정되고, 회전력을 발생하는 동력원과,
   상기 지지대에 고정되고, 상기 회전력에 의해 상기 슬라이드 방향 및 상기 폭 방향과 직교하는 방향과 평행한 축 주위로 회전하는 제1 피니언 기어와,
   상기 셔터와 일체로 설치되고, 상기 슬라이드 방향과 평행하게 연장되어, 상기 폭 방향으로 상기 제1 피니언 기어와 맞물리는 제1 랙과,
   상기 지지대에 상기 축 주위로 회전 가능하게 설치되고, 상기 제1 랙이 상기 제1 피니언 기어와 맞물리는 측과는 반대측에서, 상기 제1 랙과 상기 폭 방향으로 대향하는 제1 회전 부재를 가지는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 구동력 발생부는,
   상기 지지대에 상기 슬라이드 방향 및 상기 폭 방향과 직교하는 방향과 평행한 축 주위로 회전 가능하게 설치되고, 상기 제1 회전 부재가 상기 제1 랙과 대향하는 방향과는 역방향으로 상기 셔터와 대향하는 제2 회전 부재를 더 가지는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 가이드부는,
   상기 셔터에 상기 폭 방향과 평행한 축 주위로 회전 가능하게 설치되고, 상기 지지대와의 접촉 영역을 회전에 의해 변화시켜, 상기 셔터의 상기 슬라이드 방향의 이동을 가이드하는 회전체로서, 상기 폭 방향에서의 상기 셔터의 일단 측과 타단 측과의 사이에서 상기 슬라이드 방향의 이동량이 일치하도록 구성된 회전체를 가지는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 회전체는,
   상기 폭 방향에서의 상기 셔터의 일단 측에서, 상기 셔터의 상기 슬라이드 방향의 이동을 가이드하는 일단측 회전부와,
   상기 폭 방향에서의 상기 셔터의 타단 측에서, 상기 셔터의 상기 슬라이드 방향의 이동을 가이드하는 타단측 회전부와,
   상기 일단측 회전부와 상기 타단측 회전부를, 그들의 회전량이 일치하도록 연결하는 연결부를 가지는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
6. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 가이드부는,
   상기 폭 방향에서의 상기 셔터의 일단에, 상기 폭 방향과 평행한 축 주위로 회전 가능하게 설치된 제2 피니언 기어와,
   상기 폭 방향에서의 상기 셔터의 타단에, 상기 폭 방향과 평행한 축 주위로 회전 가능하게 설치된 제3 피니언 기어와,
   상기 제2 피니언 기어와 상기 제3 피니언 기어를 연결하는 상기 폭 방향으로 연장되는 샤프트와,
   상기 슬라이드 방향으로 연장되고, 상기 제2 피니언 기어에 상기 슬라이드 방향 및 상기 폭 방향과 직교하는 방향으로 대향하여 맞물리는, 상기 지지대에 설치된 제2 랙과,
   상기 슬라이드 방향으로 연장되고, 상기 제3 피니언 기어에 상기 슬라이드 방향 및 상기 폭 방향과 직교하는 방향으로 대향하여 맞물리는, 상기 지지대에 설치된 제3 랙을 가지는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
7. 제1 항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 가이드부는,
   상기 셔터에 상기 폭 방향과 평행한 축 주위로 회전 가능하게 설치된 제3 회전 부재로서, 상기 지지대에 대해 상기 셔터를 지지함과 함께, 상기 지지대와의 접촉 영역을 회전에 의해 변화시켜, 상기 상대 이동을 허용하면서 상기 셔터의 상기 슬라이드 방향의 이동을 가이드하는 제3 회전 부재를 더 가지는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제3 회전 부재는, 상기 가이드부에 복수 개 설치되어 있고, 적어도, 상기 폭 방향에서의 상기 셔터의 일단 측과 타단 측에 각각 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
9. 제1 항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 구동기구는, 상기 셔터를, 상기 성막 장치에서 성막 대상물을 수용하는 챔버 내에 배치된 용기로부터 증발되는 성막 재료의 상기 성막 대상물로의 부착을 차단하는 차폐 위치와, 차단하지 않는 비차폐 위치와의 사이에서 슬라이드 이동시키는 것을 특징으로 하는 셔터 장치.
10. 성막 대상물을 수용하는 챔버와,
    성막 재료를 수용하여 상기 챔버 내에 배치된 용기를 가열하는 가열부와,
    상기 챔버 내에 배치된, 제1 항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 셔터 장치를 구비하는 성막 장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 용기는, 상기 성막 대상물을 향해 개구되는 복수의 분사구가 미리 정해진 방향으로 배열되도록 설치되어 있고,
    상기 셔터는, 상기 복수의 분사구가 배열되는 방향을 상기 폭 방향으로 하여, 상기 폭 방향으로 길이가 긴 구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 성막 장치.
12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    성막 재료를 수용하여 상기 챔버 내에 배치되는 용기로서, 상기 가열부에 의해 가열되는 용기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 장치.
13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 성막 장치를 사용하여, 챔버 내에 수용된 성막 대상물에 대해 상기 챔버 내에 배치된 용기로부터 증발되는 성막 재료를 부착시켜, 상기 성막 대상물에 성막을 행하는 성막 방법으로서,
    상기 챔버에 상기 성막 대상물이 수용되어 있지 않은 상태에서, 상기 성막 장치에 구비된 셔터 장치가 갖는 셔터를, 상기 용기로부터 증발되는 성막 재료의 상기 성막 대상물로의 부착을 차단하는 것이 가능한 차폐 위치로 위치시키는 제1 차폐 공정과,
    상기 셔터를 상기 차폐 위치에 위치시킨 채로, 상기 용기를 가열하는 준비 가열 공정과, 상기 용기로부터 증발되는 상기 성막 재료의 증발 레이트가 안정되면, 상기 챔버 내에 상기 성막 대상물을 반입하는 반입 공정과,
    상기 성막 대상물이 상기 챔버 내의 미리 정해진 위치에 배치되면, 상기 셔터를, 상기 용기로부터 증발되는 상기 성막 재료의 상기 성막 대상물로의 부착을 차단하지 않는 비차폐 위치로 이동시키고, 상기 성막 대상물에 성막을 하는 성막 공정과,
    상기 성막 대상물에 대한 성막이 종료되면, 상기 셔터를 상기 차폐 위치로 이동시키는 제2 차폐 공정과,
    상기 셔터를 상기 차폐 위치에 위치시킨 채로, 상기 성막 대상물을 상기 챔버로부터 반출하는 반출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 방법.
14. 기판 상에 형성된 유기막을 갖는 전자 디바이스의 제조방법으로서,
    제13항에 기재된 성막 방법에 의해, 상기 성막 대상물로서의 기판 상에 상기 유기막이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조방법.
15. 기판 상에 형성된 금속막을 갖는 전자 디바이스의 제조방법으로서,
    제13항에 기재된 성막 방법에 의해, 상기 성막 대상물로서의 기판 상에 상기 금속막이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조방법.
16. 제14항 또는 제15항에 있어서,
    상기 전자 디바이스가 유기 EL 표시장치의 표시 패널인 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조방법.

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