KR20200133866A - 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 링 형상을 하여 내부에 공정모듈 배치를 위한 공간이 형성되는 베이스부와, 베이스부의 원주길이를 따라 복수개가 장착되고 기판이 안착되는 지지부와, 지지부 사이에 배치되고 기판을 고정할 수 있는 고정부와, 고정부를 작동시키도록 상하 이동되는 구동부를 포함하여, 기판의 하부 공간을 활용하고 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

기판처리장치{SUBSTRATE PROCESSING DEVICE}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 하방에 공정모듈을 배치 가능하도록 기판을 척킹 및 언척킹하는 기판처리장치에 관한 것이다.
반도체장치나 액정표시장치 등의 제조공정에서 이용되는 기판처리장치에 구비되는 매엽(枚葉)식의 처리유닛은, 기판을 거의 수평으로 지지하여 회전시키는 스핀척과, 스핀척에 지지된 기판에 처리액을 공급하기 위한 노즐을 구비하고 있다. 그리고, 기판을 스크럽 세정하기 위한 처리유닛은, 스핀척에 지지된 기판을 스크럽 세정하기 위한 브러쉬를 구비하고 있다.
그러나, 종래에는 기판의 하방에 배치되는 스핀척에 공간이 형성되지 않으므로, 기판의 하방에 다품종 공정모듈을 추가하거나 변경하기 어렵다는 문제점이 있다. 따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 제2015-0015346호(2015.02.10. 공개, 발명의 명칭 : 기판 처리 장치)에 게시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 기판의 하방에 공정모듈을 배치 가능하도록 기판을 척킹 및 언척킹하는 기판처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치는: 링 형상을 하여 내부에 공정모듈 배치를 위한 공간이 형성되는 베이스부; 상기 베이스부의 원주길이를 따라 복수개가 장착되고, 기판이 안착되는 지지부; 상기 지지부 사이에 배치되고 상기 기판을 고정할 수 있는 고정부; 및 상기 고정부를 작동시키도록 상하 이동되는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정부는 상기 베이스부에 장착되는 제1고정설치부; 상기 제1고정설치부에 안착되고, 상기 베이스부에 삽입되어 축방향을 중심으로 회전이 가능하며, 경사방향으로 제1가이드홀부가 형성되는 제1고정삽입부; 상기 제1고정삽입부의 상단부에 형성되고, 상측이 외부로 노출되는 제1고정회전부; 및 상기 제1고정회전부에 형성되고, 상기 기판을 고정하는 제1고정거치부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구동부는 상하 길이 조절이 가능한 제1구동조절부; 상기 제1구동조절부에 장착되어 높이가 조절되고, 상기 제1고정삽입부에 삽입되는 제1구동삽입부; 상기 제1구동삽입부에 형성되고, 상기 제1가이드홀부에 삽입되는 제1구동가이드부; 및 상기 제1고정삽입부에 내장되고, 상기 제1구동삽입부에 복원력을 제공하는 제1구동탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정부는 상기 베이스부에 삽입되어 축방향을 중심으로 회전이 가능하며, 경사방향으로 제2가이드홀부가 형성되는 제2고정삽입부; 상기 제2고정삽입부의 상단부에 형성되고, 상기 베이스부의 상측에 회전 가능하도록 장착되는 제2고정회전부; 및 상기 제2고정회전부에 형성되고, 상기 기판을 고정하는 제2고정거치부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구동부는 상하 길이 조절이 가능한 제2구동조절부; 상기 제2구동조절부에 장착되어 높이가 조절되고, 상기 베이스부에 삽입되어 상기 제2고정삽입부와 마주보도록 배치되는 제2구동삽입부; 상기 제2구동삽입부에 형성되고, 상기 제2가이드홀부에 삽입되는 제2구동가이드부; 및 상기 베이스부에 내장되고, 상기 제2구동삽입부에 복원력을 제공하는 제2구동탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 고정부는 상기 베이스부에 삽입되는 제3고정삽입부; 상기 제3고정삽입부의 양측에 형성되고, 상기 베이스부에 회전 가능하게 결합되는 제3고정회전부; 상기 제3고정삽입부에서 돌출되는 제3고정가이드부; 및 상기 제3고정삽입부의 상단부에 형성되고, 상기 기판을 고정하는 제3고정거치부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구동부는 상하 길이 조절이 가능한 제3구동조절부; 상기 제3구동조절부에 장착되어 높이가 조절되고, 상기 베이스부에 삽입되어 상기 제3고정삽입부와 마주보도록 배치되는 제3구동삽입부; 상기 제3구동삽입부에 형성되고, 상기 제3고정가이드부와 간섭되는 제3구동가이드부; 및 상기 베이스부에 내장되고, 상기 제3구동삽입부에 복원력을 제공하는 제3구동탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 베이스부에 공정모듈이 내장되기 위한 공간이 형성됨으로써, 기판의 상하측면에 대한 동시 세정 작업이 가능하여 공정시간을 단축할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 구동부가 상하 이동되면서 고정부를 회전시켜 줌으로써, 지지부에 안착된 기판을 구속하거나 구속해제할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 기판의 배면 방향으로 구간별 공정을 실시할 수 있으며, 필요에 따라 다양한 모듈을 교체하거나 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 고정부와 구동부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 언척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 도 2의 척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 고정부와 구동부의 언척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 고정부와 구동부의 척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 고정부와 구동부의 언척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 고정부와 구동부의 척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판처리장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치(1)는 베이스부(10)와, 지지부(20)와, 고정부(30)와, 구동부(40)를 포함한다.
베이스부(10)는 링 형상을 하여 내부에 공정모듈(90)을 배치하기 위한 공간이 형성된다. 일 예로 베이스부(10)는 단면이 원띠 형상을 하며, 베이스부(10)의 내측에 형성되는 공간에는 기판(100)에 대한 공정을 실시할 수 있는 공정모듈(90)이 배치될 수 있다. 이로 인해, 공정모듈(90)이 베이스부(10)에 내장 가능하고, 기판(100)의 저면에 대한 직접적인 세척이 이루어지므로, 기판(100)의 상하면이 동시에 세척 가능하여 공정을 단축할 수 있다.
지지부(20)는 베이스부(10)의 원주길이를 따라 복수개가 장착되고, 기판(100)이 안착된다. 일 예로, 지지부(20)는 베이스부(10)에 장착되고 기판(100)이 상측면에 안착되는 지지몸체부(21)와, 지지몸체부(21)의 상측 일부에서 상방으로 돌출되어 기판(100)의 이탈을 막는 지지돌기부(22)를 포함할 수 있다.
고정부(30)는 지지부(20) 사이에 각각 배치되고 기판(100)을 고정할 수 있다. 그리고, 구동부(40)는 고정부(30)를 작동시키도록 상하 이동된다. 일 예로, 구동부(40)가 상하 이동되면서 고정부(30)가 회전되면, 고정부(30)가 지지부(20)에 안착된 기판(100)을 척킹(chucking) 또는 언척킹(unchucking)할 수 있다. 이때, 구동부(40)는 각각의 고정부(30)와 개별적으로 연결되어 고정부(30)를 구동시킬 수 있다. 그 외, 구동부(40)는 하나의 모듈이 링크 연결되어 각각의 고정부(30)를 동시에 구동시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 고정부와 구동부를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 언척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 4는 도 2의 척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 2 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 제1실시예에 따른 고정부(30)와 구동부(40)를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 제1실시예에 따른 고정부(30)는 제1고정설치부(311)와, 제1고정삽입부(312)와, 제1고정회전부(313)와, 제1고정거치부(314)를 포함한다.
제1고정설치부(311)는 베이스부(10)에 장착된다. 일 예로, 베이스부(10)에는 베이스홀부(11)가 형성되고, 제1고정설치부(311)는 베이스홀부(11)를 일부 커버하면서 베이스부(10)의 저면에 결합될 수 있다.
제1고정삽입부(312)는 제1고정설치부(311)에 안착되고, 베이스부(10)에 삽입되어 축방향을 중심으로 회전이 가능하다. 이러한 제1고정삽입부(312)에는 경사방향으로 길이를 갖는 제1가이드홀부(319)가 형성된다. 일 예로, 제1고정삽입부(312)는 상하로 길이를 갖는 원통 형상을 하고, 베이스홀부(11)에 삽입될 수 있다. 이러한 제1고정삽입부(312)는 제1고정설치부(311)에 안착되어 회전될 수 있다.
제1고정회전부(313)는 제1고정삽입부(312)의 상단부에 형성되고, 상측이 외부로 노출된다. 일 예로, 제1고정회전부(313)는 제1고정삽입부(312)의 상단부를 커버하여 외부로 노출되고, 베이스홀부(11)의 외측에 형성되는 베이스홈부(12)를 커버하면서 회전될 수 있다.
제1고정거치부(314)는 제1고정회전부(313)에 형성되고, 기판(100)을 고정한다. 일 예로, 제1고정거치부(314)는 제1고정회전부(313)의 가장자리 일부에서 상방으로 돌출되고, 구동부(40)에 의해 회전되면서 지지부(20)에 안착된 기판(100)을 구속하거나 구속해제할 수 있다.
본 발명의 제1실시예에 따른 구동부(40)는 제1구동조절부(411)와, 제1구동삽입부(412)와, 제1구동가이드부(413)와, 제1구동탄성부(414)를 포함한다.
제1구동조절부(411)는 상하 길이 조절이 가능하다. 일 예로, 제1구동조절부(411)는 베이스부(10)의 저면에 장착되거나, 베이스부(10)의 하방에 배치될 수 있다. 제1구동조절부(411)는 각각의 고정부(30)와 개별적으로 연결되거나, 각각의 고정부(30)와 동시에 연결되어 고정부(30)에 회전력을 제공할 수 있다. 제1구동조절부(411)는 모터, 공압 또는 유압에 의해 자체 길이가 늘어나거나 줄어들 수 있다.
제1구동삽입부(412)는 제1구동조절부(411)에 장착되어 높이가 조절되고, 제1고정삽입부(312)에 삽입된다. 일 예로, 제1구동삽입부(412)는 제1고정삽입부(312)의 하부에서 삽입될 수 있다.
제1구동가이드부(413)는 제1구동삽입부(412)에 형성되고, 제1가이드홀부(319)에 삽입된다. 일 예로, 제1가이드홀부(319)는 한 쌍이 마주보도록 배치되고, 제1구동가이드부(413)는 제1구동삽입부(412)의 외측에서 제1가이드홀부(319)에 각각 삽입되도록 돌출될 수 있다. 이로 인해, 제1구동가이드부(413)가 상하 이동되면서 경사방향으로 형성되는 제1가이드홀부(319)를 간섭하면, 제1가이드홀부(319)가 형성되는 제1고정삽입부(312)가 회전될 수 있다.
제1구동탄성부(414)는 제1고정삽입부(312)에 내장되고, 제1구동삽입부(412)에 복원력을 제공한다. 일 예로, 제1구동탄성부(414)는 코일스프링 형상을 하여 제1구동삽입부(412)의 상측을 탄성 지지할 수 있다.
상기한 구성을 갖는 본 발명의 제1실시예에 따른 고정부(30)와 구동부(40)를 이용한 기판(100) 척킹 및 언척킹 과정을 설명하면 다음과 같다.
기판로딩공정을 통해 기판(100)이 지지부(20)에 안착될 때, 고정부(30)는 기판(100)을 구속하지 않는다(도 3 참조). 이때, 제1구동삽입부(412)는 상승하여 제1구동탄성부(414)는 압축된다.
상기한 상태에서 제1구동조절부(411)에 의해 제1구동삽입부(412)가 하강하면, 제1구동가이드부(413)에 의해 제1고정삽입부(312)가 회전되고, 제1고정삽입부(312)와 연결된 제1고정거치부(314)가 회전되어 기판(100)을 구속한다(도 4 참조).
제1고정거치부(314)가 기판(100)을 구속하면 기판(100)에 대한 후속공정이 실시되고, 기판(100)에 대한 공정이 완료되면 제1구동조절부(411)에 의해 제1구동삽입부(412)가 상승하여 제1고정거치부(314)가 원위치로 복귀하면서 기판(100)과의 구속이 해제된다(도 3 참조).
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 고정부와 구동부의 언척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 고정부와 구동부의 척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 5 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 고정부(30)와 구동부(40)를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 제2실시예에 따른 고정부(30)는 제2고정설치부(321)와, 제2고정삽입부(322)와, 제2고정회전부(323)와, 제2고정거치부(324)를 포함한다.
제2고정설치부(321)는 베이스부(10)에 장착된다. 일 예로, 베이스부(10)에는 제2고정홀부(121)가 형성되고, 제2고정설치부(321)는 제2고정홀부(121)를 일부 커버하면서 베이스부(10)의 하부에 결합될 수 있다.
제2고정삽입부(322)는 제2고정설치부(321)에 안착되고, 베이스부(10)에 삽입되어 축방향을 중심으로 회전이 가능하다. 이러한 제2고정삽입부(322)에는 경사방향으로 길이를 갖는 제2가이드홀부(329)가 형성된다. 일 예로, 제2가이드홀부(329)는 원기둥 형상을 하는 제1고정삽입부(322)의 외주면에 홈형상을 할 수 있다. 이러한 제2고정삽입부(322)는 제2고정설치부(321)에 안착되어 회전될 수 있다.
제2고정회전부(323)는 제2고정삽입부(322)의 상단부에 형성되고, 상측이 외부로 노출된다. 일 예로, 제2고정회전부(323)는 제2고정홀부(121)의 외측에 형성되는 제2고정홈부(129)를 커버하면서 회전될 수 있다.
제2고정거치부(324)는 제2고정회전부(323)에 형성되고, 기판(100)을 고정한다. 일 예로, 제2고정거치부(324)는 제2고정회전부(323)의 가장자리 일부에서 상방으로 돌출되고, 구동부(40)에 의해 회전되면서 지지부(20)에 안착된 기판(100)을 구속하거나 구속해제할 수 있다.
본 발명의 제2실시예에 따른 구동부(40)는 제2구동조절부(421)와, 제2구동삽입부(422)와, 제2구동가이드부(423)와, 제2구동탄성부(424)를 포함한다.
제2구동조절부(421)는 상하 길이 조절이 가능하다. 일 예로, 제2구동조절부(421)는 베이스부(10)의 저면에 장착되거나, 베이스부(10)의 하방에 배치될 수 있다. 제2구동조절부(421)는 각각의 고정부(30)와 개별적으로 연결되거나, 각각의 고정부(30)와 동시에 연결되어 고정부(30)에 회전력을 제공할 수 있다. 제2구동조절부(421)는 모터, 공압 또는 유압에 의해 자체 길이가 늘어나거나 줄어들 수 있다.
제2구동삽입부(422)는 제2구동조절부(421)에 장착되어 높이가 조절되고, 베이스부(10)에 삽입된다. 일 예로, 제2구동삽입부(422)는 제2구동홈부(122)에 삽입되고, 제2고정삽입부(322)와 마주보도록 배치될 수 있다. 이때, 제2구동홀부(122)는 제2고정홀부(121)와 일부 연통될 수 있다.
제2구동가이드부(423)는 제2구동삽입부(422)에 형성되고, 제2가이드홀부(329)에 삽입된다. 일 예로, 제2가이드홀부(329)는 한 쌍이 마주보도록 배치되고, 제2구동가이드부(423)는 제2구동삽입부(422)의 외측에서 제2고정삽입부(322) 방향으로 연장되어 제2가이드홀부(329)에 각각 삽입되도록 돌출될 수 있다. 이로 인해, 제2구동가이드부(423)가 상하 이동되면서 경사방향으로 형성되는 제2가이드홀부(329)를 간섭하면, 제2가이드홀부(329)가 형성되는 제2고정삽입부(322)가 회전될 수 있다.
제2구동탄성부(424)는 베이스부(10)에 내장되고, 제2구동삽입부(422)에 복원력을 제공한다. 일 예로, 제2구동탄성부(424)는 코일스프링 형상을 하여 제2구동삽입부(422)의 상측을 탄성 지지할 수 있다.
상기한 구성을 갖는 본 발명의 제2실시예에 따른 고정부(30)와 구동부(40)를 이용한 기판(100) 척킹 및 언척킹 과정을 설명하면 다음과 같다.
기판로딩공정을 통해 기판(100)이 지지부(20)에 안착될 때, 고정부(30)는 기판(100)을 구속하지 않는다(도 5 참조). 이때, 제2구동삽입부(422)는 상승하여 제2구동탄성부(424)는 압축된다.
상기한 상태에서 제2구동조절부(421)에 의해 제2구동삽입부(422)가 하강하면, 제2구동가이드부(423)에 의해 제2고정삽입부(322)가 회전되고, 제2고정삽입부(322)와 연결된 제2고정거치부(324)가 회전되어 기판(100)을 구속한다(도 6 참조).
제2고정거치부(324)가 기판(100)을 구속하면 기판(100)에 대한 후속공정이 실시되고, 기판(100)에 대한 공정이 완료되면 제2구동조절부(421)에 의해 제2구동삽입부(422)가 상승하여 제2고정거치부(324)가 원위치로 복귀하면서 기판(100)과의 구속이 해제된다(도 5 참조).
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 고정부와 구동부의 언척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 고정부와 구동부의 척킹 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 7 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 제3실시예에 따른 고정부(30)와 구동부(40)를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 제3실시예에 따른 고정부(30)는 제3고정삽입부(331)와, 제3고정회전부(332)와, 제3고정가이드부(333)와, 제3고정거치부(334)를 포함한다.
제3고정삽입부(331)는 베이스부(10)에 삽입된다. 일 예로, 베이스부(10)의 외측에서 내측방향으로 홀이 형성되어 제3고정삽입부(331)가 삽입 가능한 제3고정홀부(131)가 형성될 수 있다.
제3고정회전부(332)는 제3고정삽입부(331)의 양측에 형성되고, 베이스부(10)에 회전 가능하게 결합된다. 일 예로, 제3고정회전부(332)는 베이스부(10)에 핀 결합되어 제3고정회전부(332)를 회전축으로 회전할 수 있다.
제3고정가이드부(333)는 제3고정삽입부(331)에서 돌출된다. 일 예로, 제3고정가이드부(333)는 제3고정삽입부(331)의 내측단부에서 베이스부(10)의 내측방향으로 돌출되고 자체 하중에 의해 제3고정삽입부(331)를 원위치로 복귀시킬 수 있다.
제3고정거치부(334)는 제3고정삽입부(331)에 형성되고, 기판(100)을 고정한다. 일 예로, 제3고정거치부(334)는 제3고정삽입부(331)의 가장자리 일부에서 상방으로 돌출되고, 구동부(40)에 의해 회전되면서 지지부(20)에 안착된 기판(100)을 구속하거나 구속해제할 수 있다.
본 발명의 제3실시예에 따른 구동부(40)는 제3구동조절부(431)와, 제3구동삽입부(432)와, 제3구동가이드부(433)와, 제3구동탄성부(434)를 포함한다.
제3구동조절부(431)는 상하 길이 조절이 가능하다. 일 예로, 제3구동조절부(431)는 베이스부(10)의 저면에 장착되거나, 베이스부(10)의 하방에 배치될 수 있다. 제3구동조절부(431)는 각각의 고정부(30)와 개별적으로 연결되거나, 각각의 고정부(30)와 동시에 연결되어 고정부(30)에 회전력을 제공할 수 있다. 제3구동조절부(431)는 모터, 공압 또는 유압에 의해 자체 길이가 늘어나거나 줄어들 수 있다.
제3구동삽입부(432)는 제3구동조절부(431)에 장착되어 높이가 조절되고, 베이스부(10)에 삽입된다. 일 예로, 제3구동삽입부(432)는 베이스부(10)에 형성되는 제3구동홀부(132)에 삽입되고, 제3고정삽입부(331)와 마주보도록 배치될 수 있다. 이때, 제3구동홀부(132)는 제3고정홀부(131)와 일부 연통될 수 있다.
제3구동가이드부(433)는 제3구동삽입부(432)에 형성되고, 제3고정가이드부(333)와 간섭된다. 일 예로, 제3구동가이드부(433)는 제3구동삽입부(432)에서 제3고정삽입부(331) 방향으로 연장되고, 제3고정가이드부(333)의 하방에 배치될 수 있다. 그리고, 제3구동가이드부(433)의 이동경로상에 제3고정가이드부(333)가 배치될 수 있다.
제3구동탄성부(434)는 베이스부(10)에 내장되고, 제3구동삽입부(432)에 복원력을 제공한다. 일 예로, 제3구동탄성부(434)는 코일스프링 형상을 하여 제3구동홀부(132)에 내장되고, 제3구동삽입부(432)의 상측을 탄성 지지할 수 있다.
상기한 구성을 갖는 본 발명의 제3실시예에 따른 고정부(30)와 구동부(40)를 이용한 기판(100) 척킹 및 언척킹 과정을 설명하면 다음과 같다.
기판로딩공정을 통해 기판(100)이 지지부(20)에 안착될 때, 고정부(30)는 기판(100)을 구속하지 않는다(도 7 참조). 즉, 제3구동조절부(431)에 의해 제3구동삽입부(432)가 상승하면, 제3구동가이드부(433)에 의해 제3고정가이드부(333)가 상승하면서 제3고정삽입부(331)가 시계반대방향으로 회전되어 기판(100)과 간섭되지 않는다.
상기한 상태에서 제3구동조절부(431)에 의해 제3구동삽입부(432)가 하강하면, 제3고정가이드부(333)의 자체 하중에 의해 제3고정삽입부(331)가 시계방향으로 회전되고, 제3고정삽입부(331)와 연결된 제3고정거치부(334)가 회전되어 기판(100)을 구속한다(도 8 참조).
제3고정거치부(334)가 기판(100)을 구속하면 기판(100)에 대한 후속공정이 실시되고, 기판(100)에 대한 공정이 완료되면 제3구동조절부(431)에 의해 제3구동삽입부(432)가 상승하여 제3고정거치부(334)가 원위치로 복귀하면서 기판(100)과의 구속이 해제된다(도 7 참조).
본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치(1)는 베이스부(10)에 공정모듈이 내장되기 위한 공간이 형성됨으로써, 기판(100)의 상하측면에 대한 동시 세정 작업이 가능할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치(1)는 구동부(40)가 상하 이동되면서 고정부(30)를 회전시켜 줌으로써, 지지부(20)에 안착된 기판(100)을 구속하거나 구속해제할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 베이스부 20 : 지지부
30 : 고정부 40 : 구동부
311 : 제1고정설치부 312 : 제1고정삽입부
313 : 제1고정회전부 314 : 제1고정거치부
321 : 제2고정설치부 322 : 제2고정삽입부
323 : 제2고정회전부 324 : 제2고정거치부
331 : 제3고정삽입부 332 : 제3고정회전부
333 : 제3고정가이드부 334 : 제3고정거치부
411 : 제1구동조절부 412 : 제1구동삽입부
413 : 제1구동가이드부 414 : 제1구동탄성부
421 : 제2구동조절부 422 : 제2구동삽입부
423 : 제2구동가이드부 424 : 제2구동탄성부
431 : 제3구동조절부 432 : 제3구동삽입부
433 : 제3구동가이드부 434 : 제3구동탄성부

Claims (7)

  1. 링 형상을 하여 내부에 공정모듈 배치를 위한 공간이 형성되는 베이스부;
    상기 베이스부의 원주길이를 따라 복수개가 장착되고, 기판이 안착되는 지지부;
    상기 지지부 사이에 배치되고 상기 기판을 고정할 수 있는 고정부; 및
    상기 고정부를 작동시키도록 상하 이동되는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 고정부는
    상기 베이스부에 장착되는 제1고정설치부;
    상기 제1고정설치부에 안착되고, 상기 베이스부에 삽입되어 축방향을 중심으로 회전이 가능하며, 경사방향으로 제1가이드홀부가 형성되는 제1고정삽입부;
    상기 제1고정삽입부의 상단부에 형성되고, 상측이 외부로 노출되는 제1고정회전부; 및
    상기 제1고정회전부에 형성되고, 상기 기판을 고정하는 제1고정거치부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 구동부는
    상하 길이 조절이 가능한 제1구동조절부;
    상기 제1구동조절부에 장착되어 높이가 조절되고, 상기 제1고정삽입부에 삽입되는 제1구동삽입부;
    상기 제1구동삽입부에 형성되고, 상기 제1가이드홀부에 삽입되는 제1구동가이드부; 및
    상기 제1고정삽입부에 내장되고, 상기 제1구동삽입부에 복원력을 제공하는 제1구동탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 고정부는
    상기 베이스부에 삽입되어 축방향을 중심으로 회전이 가능하며, 경사방향으로 제2가이드홀부가 형성되는 제2고정삽입부;
    상기 제2고정삽입부의 상단부에 형성되고, 상기 베이스부의 상측에 회전 가능하도록 장착되는 제2고정회전부; 및
    상기 제2고정회전부에 형성되고, 상기 기판을 고정하는 제2고정거치부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 구동부는
    상하 길이 조절이 가능한 제2구동조절부;
    상기 제2구동조절부에 장착되어 높이가 조절되고, 상기 베이스부에 삽입되어 상기 제2고정삽입부와 마주보도록 배치되는 제2구동삽입부;
    상기 제2구동삽입부에 형성되고, 상기 제2가이드홀부에 삽입되는 제2구동가이드부; 및
    상기 베이스부에 내장되고, 상기 제2구동삽입부에 복원력을 제공하는 제2구동탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 고정부는
    상기 베이스부에 삽입되는 제3고정삽입부;
    상기 제3고정삽입부의 양측에 형성되고, 상기 베이스부에 회전 가능하게 결합되는 제3고정회전부;
    상기 제3고정삽입부에서 돌출되는 제3고정가이드부; 및
    상기 제3고정삽입부의 상단부에 형성되고, 상기 기판을 고정하는 제3고정거치부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 구동부는
    상하 길이 조절이 가능한 제3구동조절부;
    상기 제3구동조절부에 장착되어 높이가 조절되고, 상기 베이스부에 삽입되어 상기 제3고정삽입부와 마주보도록 배치되는 제3구동삽입부;
    상기 제3구동삽입부에 형성되고, 상기 제3고정가이드부와 간섭되는 제3구동가이드부; 및
    상기 베이스부에 내장되고, 상기 제3구동삽입부에 복원력을 제공하는 제3구동탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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