KR20200107168A

KR20200107168A - Vacuum laminator

Info

Publication number: KR20200107168A
Application number: KR1020190025874A
Authority: KR
Inventors: 최성원; 정창용; 문재환
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2019-03-06
Filing date: 2019-03-06
Publication date: 2020-09-16
Also published as: KR102203395B1

Abstract

A vacuum laminator is disclosed. The vacuum laminator according to an embodiment of the present invention includes: a chamber unit having a lower chamber provided with a lower chucking unit for chucking a panel, and an upper chamber coming in contact with the lower chamber to form vacuum atmosphere in the inner space; a fork unit that supports the lower surface of the panel and positions the panel in the upper area of the lower chucking unit; and a panel loading unit that receives the panel supported by the fork unit and loads the lower chucking unit.

Description

Vacuum laminator{VACUUM LAMINATOR}

본 발명은, 진공 라미네이터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 디스플레이용 패널(panel)과 커버 글라스(cover glass)의 라미네이팅(laminating)하는 공정에서 패널의 보호필름을 진공 챔버의 내부에서 제거하지 않아 보호필름의 박리 시에 발생되는 파티클에 의해 정전척이 손상되는 것을 방지할 수 있는 진공 라미네이터에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum laminator, and more particularly, in a process of laminating a display panel and a cover glass, the protective film of the panel is not removed from the inside of the vacuum chamber to protect it. It relates to a vacuum laminator capable of preventing damage to an electrostatic chuck by particles generated during peeling of a film.

최근에 플라스틱과 같이 유연한 소재로 만들어진 플렉서블(flexible) 기판을 구비하는 플렉서블 표시장치가 개발되고 있다. 플렉서블 표시장치는 소재의 특성 상 중량이 가벼울 뿐만 아니라 충격에도 매우 강하다. 따라서 근래 출시되는 스마트폰에는 이와 같은 플렉서블 표시장치가 널리 적용되고 있다.Recently, a flexible display device having a flexible substrate made of a flexible material such as plastic has been developed. The flexible display device is not only light in weight due to the characteristics of the material, but is also very strong against impact. Therefore, such a flexible display device is widely applied to recently released smart phones.

특히, 플렉서블 표시장치는 기존과 달리 유연한 성질을 가지기 때문에 접거나 두루마리 형태로 말 수 있으며, 이로 인해 휴대성을 극대화할 수 있어서 다양한 분야에 활용될 수 있다.In particular, a flexible display device can be folded or rolled up in a form of a roll because it has a flexible property unlike the existing one, and thus, portability can be maximized and thus can be used in various fields.

플렉서블 표시장치는 플렉서블 기판 상에 형성된 표시 소자를 포함할 수 있다. 플렉서블 표시장치에 사용될 수 있는 표시 소자에는 유기 발광 표시(organic light emitting diode display) 소자, 액정 표시(liquid crystal display) 소자, 그리고 전기 영동 표시(EPD ; electrophoretic display) 소자 등이 있다.The flexible display device may include a display device formed on a flexible substrate. Display devices that can be used in a flexible display device include an organic light emitting diode display device, a liquid crystal display device, and an electrophoretic display device (EPD).

전술한 표시 소자들은 공통적으로 박막 트랜지스터를 포함한다. 따라서 플렉서블 표시장치를 제조하기 위해서는 플렉서블 기판이 여러 차례의 박막 공정들을 거쳐야 한다. 박막 공정을 거친 플렉서블 기판은 봉지 기판에 의해 밀봉될 수 있는데, 상술한 플렉서블 기판, 플렉서블 기판에 형성되는 박막 트랜지스터, 그리고 봉지 기판은 플렉서블 표시장치의 일 구성인 패널(panel)을 형성할 수 있다.The above-described display elements commonly include a thin film transistor. Therefore, in order to manufacture a flexible display device, the flexible substrate must undergo several thin film processes. The flexible substrate that has undergone the thin film process may be sealed by an encapsulation substrate. The above-described flexible substrate, a thin film transistor formed on the flexible substrate, and the encapsulation substrate may form a panel, which is a component of the flexible display device.

이러한 패널의 일측에는 패널을 보호하는 수단으로서 커버 글라스(cover glass)가 부착, 즉 라미네이팅(laminating)되며, 패널과 커버 글라스가 라미네이팅된 상태의 제품을 플렉서블 표시장치라 부른다. 참고로, 패널과 커버 글라스가 라미네이팅될 때, 패널과 커버 글라스 사이에는 소위, 양면테이프 타입의 결합제(OCA ; Optical Clear Adhesive)가 개재된다.A cover glass is attached or laminated to one side of such a panel as a means of protecting the panel, and a product in which the panel and the cover glass are laminated is called a flexible display device. For reference, when the panel and the cover glass are laminated, a so-called double-sided tape-type binder (OCA; Optical Clear Adhesive) is interposed between the panel and the cover glass.

도 1은 종래기술에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이다.1 is a view showing a vacuum laminator according to the prior art.

도 1에 따른 진공 라미네이터는, 패널이 척킹되는 척킹부(20)가 마련된 하부 챔버(30)와, 하부 챔버(30)에 대해 상대이동되는 상부 챔버(미도시)와, 패널을 척킹부(20)에 로딩하는 핸들러(10)를 구비한다.The vacuum laminator according to FIG. 1 includes a lower chamber 30 provided with a chucking portion 20 on which a panel is chucked, an upper chamber (not shown) that is moved relative to the lower chamber 30, and a chucking portion 20 for the panel. ) And a handler 10 for loading.

도 1(a)에 도시된 바와 같이, 패널의 상부면 및 하부면에는 패널을 보호하는 보호필름(W)이 부착되어 있다. 이러한 패널은 핸들러(10)의 하강에 의해 도 2(b)에 도시된 바와 같이 척킹부(20)에 로딩된 후 척킹부(20)에 척킹된다. As shown in Fig. 1(a), a protective film W for protecting the panel is attached to the upper and lower surfaces of the panel. This panel is loaded onto the chucking unit 20 as shown in FIG. 2(b) by the lowering of the handler 10 and then chucked onto the chucking unit 20.

이후, 별도의 박리기구(미도시)가 패널 상부면에 부착된 보호필름(W)을 박리하여 도 1(b)에 도시된 바와 같이 패널의 상부면을 노출시킨다.Thereafter, a separate peeling mechanism (not shown) peels the protective film W attached to the upper surface of the panel to expose the upper surface of the panel as shown in FIG. 1(b).

그런데, 종래기술에 따른 진공 라미네이터는 상술한 바와 같이 보호필름(W)을 척킹부(20)에 부착한 상태에서 박리하므로, 보호필름(W)을 박리하는 과정에서 발생되는 파티클(particle)에 의해 척킹부(20)가 손상되는 문제점이 있다. However, since the vacuum laminator according to the prior art peels off while the protective film W is attached to the chucking portion 20 as described above, particles generated in the process of peeling the protective film W There is a problem that the chucking part 20 is damaged.

대한민국 등록특허번호 제10-0820336호, (2008.04.01.)Korean Patent Registration No. 10-0820336, (2008.04.01.)

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 챔버유닛의 외부에서 보호필름이 박리된 패널을 챔버유닛의 내부에 배치된 척킹부에 로딩할 수 있어 보호필름의 박리 과정에서 발생되는 파티클에 의해 척킹부가 손상되는 것을 방지할 수 있는 진공 라미네이터를 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is that the panel from which the protective film is peeled off from the outside of the chamber unit can be loaded on the chucking unit disposed inside the chamber unit, so that the chucking portion is damaged by particles generated in the peeling process of the protective film. It is to provide a vacuum laminator that can prevent it from becoming.

본 발명의 일 측면에 따르면, 패널을 척킹하는 하부 척킹부가 마련된 하부 챔버와, 상기 하부 챔버에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버를 구비하는 챔버유닛; 상기 패널의 하부면을 지지하며, 상기 하부 척킹부의 상부 영역에 상기 패널을 위치시키는 포크유닛; 및 상기 하부 챔버에 연결되며, 상기 포크유닛에 지지된 상기 패널을 전달받아 상기 하부 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛을 포함하는 진공 라미네이터가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a chamber unit including a lower chamber provided with a lower chucking portion for chucking a panel, and an upper chamber contacting the lower chamber to form a vacuum atmosphere in the internal space; A fork unit supporting a lower surface of the panel and positioning the panel in an upper region of the lower chucking part; And a panel loading unit connected to the lower chamber and configured to receive the panel supported by the fork unit and load the lower chucking unit.

상기 패널 로딩유닛은, 상호 이격되어 배치되는 한 쌍의 로딩모듈을 포함할 수 있다.The panel loading unit may include a pair of loading modules disposed to be spaced apart from each other.

상기 한 쌍의 로딩모듈은, 상기 하부 척킹부를 중심으로 하여 상호 대칭되게 배치될 수 있다.The pair of loading modules may be disposed symmetrically with respect to the lower chucking part.

상기 로딩모듈은, 상기 패널을 지지하는 패널 지그부; 상기 패널 지그부에 연결되며, 상기 패널 지그부를 세로방향으로 이동시키는 지그 업/다운(up/down) 이동부; 및 상기 지그 업/다운(up/down) 이동부에 연결되며, 상기 패널 지그부를 세로방향에 교차하는 가로방향으로 슬라이딩 이동시키는 지그 슬라이딩 이동부를 포함할 수 있다.The loading module may include a panel jig portion supporting the panel; A jig up/down moving part connected to the panel jig part and moving the panel jig part in a vertical direction; And a jig sliding part connected to the jig up/down moving part and moving the panel jig part in a horizontal direction crossing the vertical direction.

상기 패널 지그부는, 상기 지그 업/다운(up/down) 이동부에 결합되는 세로 아암부; 및 상기 세로 아암부에 결합되며, 상기 패널에 연결되는 가로 아암부를 포함할 수 있다.The panel jig portion may include a vertical arm portion coupled to the jig up/down moving portion; And a horizontal arm portion coupled to the vertical arm portion and connected to the panel.

상기 가로 아암부의 표면에는 비점착성 코팅막이 마련될 수 있다.A non-adhesive coating film may be provided on the surface of the horizontal arm portion.

상기 가로 아암부는, 가로 아암부 본체; 상기 가로 아암부 본체의 말단부에 마련되며, 상기 패널의 하부면을 지지하는 지지용 지지턱부; 및 상기 가로 아암부 본체의 말단부에 마련되며, 상기 패널의 측벽에 접촉되어 상기 패널의 측벽을 가압하는 측벽 가압부를 포함할 수 있다.The horizontal arm portion may include a horizontal arm portion main body; A support jaw portion provided at an end portion of the horizontal arm portion body and supporting a lower surface of the panel; And a side wall pressing part provided at the distal end of the horizontal arm part body and contacting the side wall of the panel to press the side wall of the panel.

상기 측벽 가압부의 가압에 의해 상기 패널이 아치(arch) 형태로 절곡될 수 있다.The panel may be bent in an arch shape by pressing the side wall pressing portion.

상기 지그 업/다운(up/down) 이동부는, 상기 패널 지그부가 연결되는 지그용 업/다운(up/down) 블록부; 상기 지그용 업/다운(up/down) 블록부가 결합되는 실리더 로드부; 및 상기 실린더 로드부가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 실린더 로드부를 업/다운(up/down) 이동시키는 가압 실린더 본체부를 포함할 수 있다.The jig up/down moving part may include a jig up/down block part to which the panel jig part is connected; A cylinder rod unit to which the jig up/down block unit is coupled; And a pressurizing cylinder body part which is connected to the cylinder rod part to be slidable and moves the cylinder rod part up/down.

상기 지그 슬라이딩 이동부는,The jig sliding moving part,

상기 지그 업/다운(up/down) 이동부가 연결되는 슬라이딩 블록부; 및 상기 슬라이딩 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩 블록부를 상기 하부 척킹부에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 슬라이딩 이동 구동부를 포함할 수 있다.A sliding block part to which the jig up/down moving part is connected; And a sliding movement driving unit connected to the sliding block unit and moving the sliding block unit in a direction approaching and spaced apart from the lower chucking unit.

상기 슬라이딩 이동 구동부는, 상기 하부 챔버의 챔버벽을 관통하며, 일단부가 상기 슬라이딩 블록부에 결합되는 연결 샤프트부; 상기 연결 샤프트부의 타단부에 결합되는 슬라이딩용 연결 블록부(173b); 상기 슬라이딩용 연결 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩용 연결 블록부의 이동을 가이드하는 연결 블록용 가이드부; 및 상기 슬라이딩용 연결 블록부에 연결되며, 상기 슬라이딩용 연결 블록부를 이동시키는 연결 블록용 동력 발생부를 포함할 수 있다.The sliding movement driving part may include a connection shaft part passing through the chamber wall of the lower chamber and having one end coupled to the sliding block part; A sliding connection block portion (173b) coupled to the other end of the connection shaft portion; A guide part for a connection block connected to the sliding connection block part and guiding the movement of the sliding connection block part; And a power generating unit for a connection block connected to the sliding connection block unit and moving the sliding connection block unit.

상기 지그 슬라이딩 이동부는, 상기 하부 챔버에 지지되며, 상기 슬라이딩 블록부에 연결되어 상기 슬라이딩 블록부의 이동을 가이드하는 슬라이딩 블록용 가이드부를 더 포함할 수 있다.The jig sliding moving part may further include a guide part for a sliding block supported by the lower chamber and connected to the sliding block part to guide the movement of the sliding block part.

상기 포크유닛은, 상기 패널의 하부면에 접촉되는 적어도 하나 이상의 핑거부를 구비하는 핸드부; 및 상기 핸드부에 연결되며, 상기 핸드부를 이동시키는 다관절 로봇부를 포함할 수 있다.The fork unit may include a hand portion having at least one finger portion contacting a lower surface of the panel; And an articulated robot part connected to the hand part and moving the hand part.

상기 핑거부에는 상기 패널을 진공흡착하는 흡착홀이 형성될 수 있다.An adsorption hole for vacuum adsorbing the panel may be formed in the finger part.

상기 상부 챔버에는 상기 패널에 라미네이팅되는 커버 글라스를 척킹하는 상부 척킹부가 마련될 수 있다.An upper chucking part for chucking the cover glass laminated to the panel may be provided in the upper chamber.

본 발명에 따르면, 패널의 하부면을 지지하는 포크유닛과 포크유닛에 지지된 패널을 전달받아 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛을 구비함으로써, 챔버유닛의 외부에서 보호필름이 박리된 패널을 챔버유닛의 내부에 배치된 척킹부에 로딩할 수 있어 보호필름의 박리 과정에서 발생되는 파티클에 의해 척킹부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, by providing a fork unit supporting the lower surface of the panel and a panel loading unit that receives and loads the panel supported by the fork unit into the chucking unit, the panel from which the protective film is peeled off from the outside of the chamber unit is removed from the chamber unit. The chucking part can be loaded into the chucking part disposed inside of the protective film to prevent damage to the chucking part by particles generated during the peeling process of the protective film.

도 1은 종래기술에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이다.
도 3은 도 1의 패널 로딩모듈이 도시된 도면이다.
도 4 내지 도 9는 도 1의 진공 라미네이터의 동작상태도이다.1 is a view showing a vacuum laminator according to the prior art.
2 is a diagram illustrating a vacuum laminator according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating the panel loading module of FIG. 1.
4 to 9 are operational state diagrams of the vacuum laminator of FIG. 1.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the implementation of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals in each drawing indicate the same member.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 라미네이터가 도시된 도면이고, 도 3은 도 1의 패널 로딩모듈이 도시된 도면이며, 도 4 내지 도 9는 도 1의 진공 라미네이터의 동작상태도이다.FIG. 2 is a diagram illustrating a vacuum laminator according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a diagram illustrating the panel loading module of FIG. 1, and FIGS. 4 to 9 are operational state diagrams of the vacuum laminator of FIG. 1.

본 실시예에 따른 진공 라미네이터는, 도 2 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 디스플레이용 패널을 척킹하는 하부 척킹부(113)가 마련된 하부 챔버(111)와 하부 챔버(111)에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버(116)를 구비하는 챔버유닛(110)과, 패널의 하부면을 지지하며 하부 척킹부(113)의 상부 영역에 패널을 위치시키는 포크유닛(120)와, 하부 챔버(111)에 연결되며 포크유닛(120)에 지지된 패널을 전달받아 하부 척킹부(113)에 로딩하는 패널 로딩유닛(130)을 포함한다. The vacuum laminator according to the present embodiment is in contact with the lower chamber 111 and the lower chamber 111 provided with the lower chucking part 113 for chucking the display panel, as shown in FIGS. A chamber unit 110 having an upper chamber 116 for forming a vacuum atmosphere in the fork unit 110 supporting the lower surface of the panel and positioning the panel in the upper region of the lower chucking unit 113, and the lower It is connected to the chamber 111 and includes a panel loading unit 130 that receives the panel supported by the fork unit 120 and loads it onto the lower chucking unit 113.

챔버유닛(110)은, 패널을 척킹하는 하부 척킹부(113)가 마련된 하부 챔버(111)와, 하부 챔버(111)에 접면되어 내부공간에 진공 분위기를 형성하는 상부 챔버(116)와, 상부 챔버(116)에 연결되어 상부 챔버(116)를 하부 챔버(111)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 챔버 업/다운(up/down) 구동부(미도시)를 포함한다. The chamber unit 110 includes a lower chamber 111 provided with a lower chucking part 113 for chucking a panel, an upper chamber 116 that is in contact with the lower chamber 111 to form a vacuum atmosphere in the internal space, and an upper It includes a chamber up/down driving unit (not shown) connected to the chamber 116 and moving the upper chamber 116 in a direction approaching and spaced apart from the lower chamber 111.

하부 챔버(111)는 도 2 내지 도 8에 자세히 도시된 바와 같이 상부가 개방된 박스(box) 타입으로 마련된다. 이러한 하부 챔버(111)의 내부에는 패널을 척킹하는 하부 척킹부(113)가 마련된다. 도 8 및 도 9에서는 하부 척킹부(113) 상에 패널이 척킹된 상태를 도시하였다.The lower chamber 111 is provided in a box type with an open top, as shown in detail in FIGS. 2 to 8. A lower chucking part 113 for chucking the panel is provided inside the lower chamber 111. 8 and 9 illustrate a state in which the panel is chucked on the lower chucking part 113.

본 실시예에서 하부 척킹부(113)는 정전척(ESC Chuck)을 포함한다. 참고로, 정전척(ESC)은 정전기의 힘을 사용해 패널을 고정시키는 역할을 한다.In this embodiment, the lower chucking part 113 includes an electrostatic chuck (ESC Chuck). For reference, the electrostatic chuck (ESC) serves to fix the panel using the force of static electricity.

이처럼 정전척(ESC)을 구비하는 하부 척킹부(113)에는 각각 다수의 진공홀(suction hole, 미도시)이 형성된다. 편의상 진공홀에 대해서는 도시하지 않았는데, 이러한 진공홀은 진공압에 의해 패널을 하부 척킹부(113)에 고정시키는 역할을 한다.In this way, a plurality of vacuum holes (not shown) are formed in the lower chucking portion 113 having the electrostatic chuck (ESC), respectively. For convenience, the vacuum hole is not shown, but the vacuum hole serves to fix the panel to the lower chucking part 113 by vacuum pressure.

결과적으로, 본 실시예의 경우, 대기 상태에서는 하부 척킹부(113)에 마련되는 진공홀의 진공압으로 패널을 하부 척킹부(113)에 고정시키고, 진공 상태에서는 정전척(ESC)의 정전기의 힘으로 패널을 하부 척킹부(113)에 고정시킨다. 따라서 종전보다 패널을 척킹하는 효율이 높아질 수 있게 되고, 나아가 라미네이팅 공정 중 패널이 제자리에서 이탈되거나 비뚤어지는 현상을 예방할 수 있다.As a result, in the case of this embodiment, in the standby state, the panel is fixed to the lower chucking part 113 by the vacuum pressure of the vacuum hole provided in the lower chucking part 113, and in the vacuum state, the electrostatic force of the electrostatic chuck (ESC) The panel is fixed to the lower chucking part 113. Therefore, the efficiency of chucking the panel can be higher than before, and further, it is possible to prevent the panel from being dislodged or distorted during the laminating process.

또한, 하부 챔버(111)에는 진공라인(미도시)이 마련된다. 진공라인(미도시)은 상부 챔버(116)가 다운(down) 동작되어 하부 챔버(111)에 접했을 때, 상부 챔버(116)의 내벽과 하부 챔버(111)의 내벽 사이의 내부공간을 진공으로 유지시키는 역할을 한다.In addition, a vacuum line (not shown) is provided in the lower chamber 111. The vacuum line (not shown) vacuums the inner space between the inner wall of the upper chamber 116 and the inner wall of the lower chamber 111 when the upper chamber 116 is operated down and contacts the lower chamber 111. It plays a role of maintaining it.

상부 챔버(116)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 하부 챔버(111)의 상부 영역에서 하부 챔버(111)에 대해 업/다운(up/down) 이동 가능하게 마련된다. 본 실시예에서는 하부 챔버(111)가 고정되고 상부 챔버(116)가 이동되는 것으로 설명하지만, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며, 상부 챔버(116)가 고정되고 하부 챔버(111)가 상부 챔버(116)에 대해 업/다운(up/down) 이동될 수도 있다.As shown in FIG. 9, the upper chamber 116 is provided to be movable up/down with respect to the lower chamber 111 in the upper region of the lower chamber 111. In this embodiment, it is described that the lower chamber 111 is fixed and the upper chamber 116 is moved, but the scope of the present invention is not limited thereto, and the upper chamber 116 is fixed and the lower chamber 111 is It may be moved up/down relative to the upper chamber 116.

이하에서는 설명의 편의를 위해 하부 챔버(111)가 고정되고 상부 챔버(116)가 업/다운(up/down) 이동되는 것으로 설명한다. Hereinafter, for convenience of explanation, it will be described that the lower chamber 111 is fixed and the upper chamber 116 is moved up/down.

본 실시에서 상부 챔버(116)는 위치 고정된 하부 챔버(111) 쪽으로 다운(down) 동작되면서 하부 챔버(111)와 합착된 후, 패널과 커버 글라스(미도시)에 대한 라미네이팅 작업이 진행되도록 한다. 라미네이팅 작업 시 상호 합착된 상부 챔버(116)와 하부 챔버(111)의 내부 공간은 진공 유지된다.In this embodiment, the upper chamber 116 moves down toward the lower chamber 111 where the position is fixed, and after being bonded with the lower chamber 111, the laminating operation for the panel and the cover glass (not shown) is performed. . During the laminating operation, the inner spaces of the upper chamber 116 and the lower chamber 111 bonded to each other are maintained in a vacuum.

이러한 패널과 커버 클라스와의 합착을 위해 상부 챔버(116)에는 커버 글라스(미도시)를 척킹하는 상부 척킹부(118)가 마련된다.In order to bond the panel and the cover class, an upper chucking portion 118 for chucking a cover glass (not shown) is provided in the upper chamber 116.

본 실시예에서 상부 척킹부(118)는 정전척(ESC Chuck)을 포함한다. 이처럼 정전척(ESC)을 구비하는 상부 척킹부(118)에는 각각 다수의 진공홀(suction hole, 미도시)이 형성된다. 편의상 진공홀에 대해서는 도시하지 않았는데, 이러한 진공홀은 진공압에 의해 커버 글라스(미도시)를 상부 척킹부(118)에 고정시키는 역할을 한다.In this embodiment, the upper chucking part 118 includes an electrostatic chuck (ESC Chuck). In this way, a plurality of vacuum holes (not shown) are formed in the upper chucking portion 118 having an electrostatic chuck (ESC), respectively. For convenience, the vacuum hole is not shown, but the vacuum hole serves to fix the cover glass (not shown) to the upper chucking portion 118 by vacuum pressure.

챔버 업/다운(up/down) 구동부(미도시)는 상부 챔버(116)에 연결되어 상부 챔버(116)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 이러한 챔버 업/다운(up/down) 구동부(미도시)는 가압 실린더 등 다양한 기구로 마련될 수 있다.The chamber up/down driver (not shown) is connected to the upper chamber 116 to move the upper chamber 116 up/down. The chamber up/down driving unit (not shown) may be provided with various mechanisms such as a pressurizing cylinder.

한편, 포크유닛(120)은 패널의 하부면을 지지한다. 본 실시예에서 패널은 챔버유닛(110)의 외부에서 별도의 필름 박리기구(미도시)에 의해, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 상부면의 보호필름(W)이 제거된 상태이다. Meanwhile, the fork unit 120 supports the lower surface of the panel. In this embodiment, the panel is in a state in which the protective film W on the upper surface is removed from the outside of the chamber unit 110 by a separate film peeling mechanism (not shown) as shown in detail in FIG. 2.

이러한 포크유닛(120)은, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 패널의 하부면에 접촉되는 적어도 하나 이상의 핑거부(121)를 구비하는 핸드부(미도시)와, 핸드부(미도시)에 연결되며 핸드부(미도시)를 이동시키는 다관절 로봇부(미도시)를 포함한다.As shown in detail in FIG. 2, the fork unit 120 includes a hand portion (not shown) having at least one finger portion 121 in contact with a lower surface of the panel, and a hand portion (not shown). It is connected and includes an articulated robot unit (not shown) for moving the hand unit (not shown).

핸드부(미도시)는 패널의 하부면에 접촉되는 적어도 하나 이상의 핑거부(121)를 구비한다. 본 실시예에서 핑거부(121)는 3개로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 핑거부(121)의 개수는 다양하게 마련될 수 있다. The hand part (not shown) includes at least one finger part 121 contacting the lower surface of the panel. In this embodiment, there are three finger portions 121, but the scope of the present invention is not limited thereto, and the number of finger portions 121 may be variously provided.

이러한 핑거부(121) 각각에는 패널의 하부면을 진공 흡착하는 흡착홀이 마련된다. 본 실시예에서 핑거부(121) 각각의 흡착홀은 각각의 핑거부(121) 별로 독립적으로 흡착이 온/오프(on/off)될 수 있다. Each of the finger portions 121 is provided with an adsorption hole for vacuum-sucking the lower surface of the panel. In the present embodiment, the adsorption holes of each of the finger parts 121 may be independently adsorbed on/off for each finger part 121.

한편, 패널 로딩유닛(130)은 하부 챔버(111)에 지지된다. 이러한 패널 로딩유닛(130)은 포크유닛(120)에 지지된 패널을 전달받아 하부 척킹부(113)에 로딩한다.Meanwhile, the panel loading unit 130 is supported by the lower chamber 111. The panel loading unit 130 receives the panel supported by the fork unit 120 and loads it onto the lower chucking part 113.

이러한 패널 로딩유닛(130)은, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 상호 이격되어 배치되는 한 쌍의 로딩모듈(150, 160, 170)을 포함한다. 본 실시예에서 한 쌍의 로딩모듈(150, 160, 170)은 하부 척킹부(113)를 중심으로 하여 상호 대칭되게 배치된다. The panel loading unit 130 includes a pair of loading modules 150, 160, and 170 that are disposed to be spaced apart from each other, as shown in detail in FIGS. 2 to 3. In this embodiment, a pair of loading modules 150, 160, and 170 are disposed to be symmetrical with each other around the lower chucking part 113.

이러한 로딩모듈(150, 160, 170)은, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 패널을 지지하는 패널 지그부(150)와, 패널 지그부(150)에 연결되며 패널 지그부(150)를 세로방향(Y축 방향)으로 이동시키는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)와, 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 연결되며 패널 지그부(150)를 세로방향(Y축 방향)에 교차하는 가로방향(X축 방향)으로 슬라이딩 이동시키는 지그 슬라이딩 이동부(170)를 포함한다.These loading modules (150, 160, 170), as shown in detail in Figures 2 and 3, the panel jig portion 150 for supporting the panel, and is connected to the panel jig portion 150, the panel jig portion 150 ) In the vertical direction (Y-axis direction) and connected to the jig up/down moving part 160 and the jig up/down moving part 160, and the panel jig part 150 ) And a jig sliding moving part 170 for sliding in a horizontal direction (X-axis direction) crossing the vertical direction (Y-axis direction).

패널 지그부(150)는 패널을 지지한다. 이러한 패널 지그부(150)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 결합되는 세로 아암부(151)와, 세로 아암부(151)에 결합되며 패널에 연결되는 가로 아암부(153)를 포함한다.The panel jig portion 150 supports the panel. As shown in detail in FIGS. 2 and 3, the panel jig portion 150 includes a vertical arm portion 151 coupled to the jig up/down moving portion 160 and a vertical arm portion ( It is coupled to 151 and includes a horizontal arm portion 153 connected to the panel.

세로 아암부(151)는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)의 후술할 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)에 결합된다. 본 실시예에서 세로 아암부(151)는 세로 방향으로 연장된 바아 형상으로 마련된다. The vertical arm portion 151 is coupled to a jig up/down block portion 161 to be described later of the jig up/down moving portion 160. In this embodiment, the vertical arm portion 151 is provided in a bar shape extending in the vertical direction.

가로 아암부(153)는 세로 아암부(151)에 착탈 가능하게 결합된다. 이러한 가로 아암부(153)에는 패널이 지지된다.The horizontal arm portion 153 is detachably coupled to the vertical arm portion 151. A panel is supported on the horizontal arm portion 153.

본 실시예에서 가로 아암부(153)의 표면에는 비점착성 코팅막이 형성될 수 있다. 이와 같이 패널에 접촉되는 가로 아암부(153)의 표면에 비첨착성 코팅막이 마련됨으로써, 가로 아암부(153)의 내마모성성이 향상되며 파티클의 발생을 방지할 수 있다.In this embodiment, a non-adhesive coating film may be formed on the surface of the horizontal arm portion 153. As such, a non-adhesive coating film is provided on the surface of the horizontal arm portion 153 in contact with the panel, thereby improving wear resistance of the horizontal arm portion 153 and preventing the generation of particles.

이러한 가로 아암부(153)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 가로 아암부 본체(153a)와, 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에 마련되며 패널의 하부면을 지지하는 지지용 지지턱부(153b)와, 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에 마련되며 패널의 측벽에 접촉되어 패널의 측벽을 가압하는 측벽 가압부(153c)를 포함한다.This horizontal arm portion 153 is provided at the distal end of the horizontal arm portion main body 153a and the horizontal arm portion main body 153a, as shown in detail in FIGS. 2 and 3, and supports the lower surface of the panel. It includes a support jaw portion (153b) and a side wall pressing portion (153c) provided at the distal end of the horizontal arm body (153a) and in contact with the side wall of the panel to press the side wall of the panel.

가로 아암부 본체(153a)는 가로 방향으로 연장된 바아 형상으로 마련된다. 지지용 지지턱부(153b)는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에서 돌출되어 마련된다. 이러한 지지용 지지턱부(153b)는 패널의 하부면을 지지한다. The transverse arm body 153a is provided in a bar shape extending in the transverse direction. The supporting jaw portion 153b for support is provided to protrude from the distal end of the horizontal arm main body 153a, as shown in detail in FIG. 3. The support chin portion 153b for support supports the lower surface of the panel.

측벽 가압부(153c)는 가로 아암부 본체(153a)의 말단부에 마련된다. 본 실시예에서 측벽 가압부(153c)는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이 패널의 측벽에 접촉되어 지그 슬라이딩 이동부(170)의 작동에 따라 패널의 측벽을 가압한다. The side wall pressing portion 153c is provided at the distal end of the transverse arm main body 153a. In the present embodiment, the side wall pressing unit 153c is in contact with the side wall of the panel and presses the side wall of the panel according to the operation of the jig sliding unit 170 as shown in detail in FIG. 3.

이러한 측벽 가압부(153c)의 가압에 의해 패널은, 도 6 및 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 아치(arch) 형태로 절곡될 수 있다. By the pressing of the side wall pressing portion 153c, the panel may be bent in an arch shape, as shown in detail in FIGS. 6 and 7.

이러한 패널은, 도 6 및 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 측벽 가압부(153c)의 가압에 의해 패널이 중앙부가 하부 척킹부(113)를 향하는 방항으로 절곡됨으로써, 패널의 하강 시 절곡된 패널의 중앙부가 가장자리 영역 보다 먼저 하부 척킹부(113)에 접촉된 후 가장자리 영역이 접촉될 수 있고, 그에 따라 하부 척킹부(113)에 로딩된 패널과 하부 척킹부(113)의 상부면 사이에 기포가 생성되지 않는다. As shown in detail in FIGS. 6 and 7, the panel is bent in a direction in which the central portion faces the lower chucking portion 113 by the pressure of the side wall pressing portion 153c, so that the panel bent when the panel is lowered. The central portion of the lower chucking portion 113 may contact the lower chucking portion 113 prior to the edge portion, and then the edge portion may be contacted. Accordingly, bubbles between the panel loaded in the lower chucking portion 113 and the upper surface of the lower chucking portion 113 Is not created.

한편, 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는 패널 지그부(150)에 연결된다. 이러한 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는 패널 지그부(150)를 세로방향으로 업/다운(up/down) 이동시킨다.Meanwhile, the jig up/down moving unit 160 is connected to the panel jig unit 150. The jig up/down moving part 160 moves the panel jig part 150 up/down in the vertical direction.

본 실시예에 따른 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는, 도 2 내지 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 패널 지그부(150)가 연결되는 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)와, 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)가 결합되는 실린더 로드부(163)와, 실린더 로드부(163)가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 실린더 로드부(163)를 업/다운(up/down) 이동시키는 가압 실린더 본체부(165)를 포함한다.The jig up/down moving unit 160 according to the present embodiment, as shown in detail in FIGS. 2 to 3, is an up/down jig to which the panel jig unit 150 is connected. down) The block portion 161 and the cylinder rod portion 163 to which the jig up/down block portion 161 is coupled, and the cylinder rod portion 163 are slidably connected, and the cylinder It includes a pressure cylinder body portion 165 for moving the rod portion 163 up / down (up / down).

지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)에는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 패널 지그부(150)의 세로 아암부(151)가 결합된다. 본 실시에에서 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)는 'ㄱ'자 형상으로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 지그용 업/다운(up/down) 블록부(161)는 다양한 형상으로 제작될 수 있다.The vertical arm portion 151 of the panel jig portion 150 is coupled to the up/down block portion 161 for the jig as shown in detail in FIGS. 2 and 3. In this embodiment, the jig up/down block portion 161 is provided in a'b' shape, and the scope of the present invention is not limited thereto, and the jig up/down (up/down) The block portion 161 may be manufactured in various shapes.

실린더 로드부(163)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 실린더 로드부(163)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 이러한 실린더 로드부(163)는 가압 실린더 본체부(165)에 대해 세로방향(Y축 방향)으로 상대이동 된다.The cylinder rod portion 163 is connected to the cylinder rod portion 163 in a sliding manner as shown in detail in FIGS. 2 and 3. The cylinder rod portion 163 is moved relative to the pressure cylinder body portion 165 in the vertical direction (Y-axis direction).

가압 실린더 본체부(165) 실린더 로드부(163)를 세로방향(Y축 방향)으로 업/다운(up/down) 이동시킨다. The pressurized cylinder body part 165 moves the cylinder rod part 163 up/down in the vertical direction (Y-axis direction).

이와 같이 본 실시예에 따른 진공 라미네이터는, 패널을 지지한 패널 지그부(150)를 세로방향으로 업/다운(up/down) 이동시키는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)를 구비함으로써, 포크유닛(120)에 지지된 패널을 포크유닛(120)에서 전달받아 하부 척킹부(113)에 안정적으로 로딩할 수 있다.As described above, the vacuum laminator according to the present embodiment includes a jig up/down moving unit 160 that moves the panel jig unit 150 supporting the panel up/down in the vertical direction. By providing, the panel supported by the fork unit 120 may be transmitted from the fork unit 120 and stably loaded onto the lower chucking part 113.

또한, 본 실시예의 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)는 패널의 하부면을 지지함으로써, 상부면의 보호필름(W)이 박리된 상태의 패널을 하부 척킹부(113)에 로딩할 수 있다.In addition, the jig up/down moving part 160 of this embodiment supports the lower surface of the panel, so that the panel in the state in which the protective film W of the upper surface is peeled off is transferred to the lower chucking part 113. Can be loaded.

한편, 지그 슬라이딩 이동부(170)는 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 연결된다. 이러한 지그 슬라이딩 이동부(170)는 패널 지그부(150)를 세로방향(Y축 방향)에 교차하는 가로방향(X축 방향)으로 슬라이딩 이동시킨다. Meanwhile, the jig sliding moving part 170 is connected to the jig up/down moving part 160. The jig sliding moving part 170 slides the panel jig part 150 in a horizontal direction (X-axis direction) crossing the vertical direction (Y-axis direction).

본 실시예에서 슬라이딩 이동 구동부(173)는, 도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 하부 챔버(111)의 챔버벽을 관통하며 일단부가 슬라이딩 블록부(171)에 결합되는 연결 샤프트부(173a)와, 연결 샤프트부(173a)의 타단부에 결합되는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)와, 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결되며 슬라이딩용 연결 블록부(173b)의 이동을 가이드하는 연결 블록용 가이드부(173c)와, 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결되며 슬라이딩용 연결 블록부(173b)를 이동시키는 연결 블록용 동력 발생부(미도시)와, 하부 챔버(111)에 지지되며 슬라이딩 블록부(171)에 연결되어 슬라이딩 블록부(171)의 이동을 가이드하는 슬라이딩 블록용 가이드부(175)를 포함한다.In this embodiment, the sliding movement driving unit 173, as shown in detail in FIGS. 2 and 3, penetrates the chamber wall of the lower chamber 111 and has one end connected to the sliding block unit 171 ( 173a), the sliding connection block portion 173b coupled to the other end of the connection shaft portion 173a, and the sliding connection block portion 173b, which guides the movement of the sliding connection block portion 173b. In the connection block guide part 173c and the sliding connection block part 173b and the power generation part (not shown) for the connection block for moving the sliding connection block part 173b, and the lower chamber 111 It is supported and connected to the sliding block part 171 and includes a guide part 175 for a sliding block to guide the movement of the sliding block part 171.

본 실시예에서 연결 샤프트부(173a)는 길이가 긴 봉 형상으로 마련된다. 이러한 연결 샤프트부(173a)는 외주면은 하부 챔버(111)의 챔버벽을 관통하여 하부 챔버(111)의 챔버벽에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다.In this embodiment, the connection shaft portion 173a is provided in a long rod shape. The outer circumferential surface of the connection shaft portion 173a penetrates the chamber wall of the lower chamber 111 and is slidably connected to the chamber wall of the lower chamber 111.

도 2 및 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 연결 샤프트부(173a)의 일단부는 슬라이딩 블록부(171)에 결합되고 타단부는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 결합된다. As shown in detail in FIGS. 2 and 3, one end of the connection shaft portion 173a is coupled to the sliding block portion 171 and the other end is coupled to the sliding connection block portion 173b.

연결 블록용 가이드부(173c)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결된다. 이러한 연결 블록용 가이드부(173c)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)의 슬라이딩 이동을 가이드한다. The connection block guide portion 173c is connected to the sliding connection block portion 173b. The guide portion 173c for the connection block guides the sliding movement of the connection block portion 173b for sliding.

연결 블록용 동력 발생부(미도시)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)에 연결된다. 이러한 연결 블록용 동력 발생부(미도시)는 슬라이딩용 연결 블록부(173b)를 이동시킨다. 본 실시예에서 연결 블록용 동력 발생부(미도시)는 서보모터 또는 전동액츄에이터 등으로 마련될 수 있다. The power generation unit (not shown) for the connection block is connected to the connection block unit 173b for sliding. The power generation unit (not shown) for this connection block moves the connection block unit 173b for sliding. In this embodiment, the power generation unit (not shown) for the connection block may be provided with a servo motor or an electric actuator.

슬라이딩 블록용 가이드부(175)는 하부 챔버(111)에 지지된다. 이러한 슬라이딩 블록용 가이드부(175)는 슬라이딩 블록부(171)에 연결되어 슬라이딩 블록부(171)의 슬라이딩 이동을 가이드한다. The guide part 175 for the sliding block is supported by the lower chamber 111. The guide part 175 for the sliding block is connected to the sliding block part 171 to guide the sliding movement of the sliding block part 171.

이하, 본 실시예에 따른 진공 라미네이터의 작용을 도 2 내지 도 9를 참조하여 도 4 내지 도 9를 위주로 설명한다.Hereinafter, the operation of the vacuum laminator according to the present embodiment will be described mainly with reference to FIGS. 2 to 9 with reference to FIGS. 4 to 9.

먼저, 도 4에 도시된 바와 같이 패널이 하부 척킹부(113)의 상부에 배치된다. 이때, 핑거부(121)에 지지된 패널을 패널 지그부(150)가 전달받기 위해 가로 아암부(153)가 패널의 하부 영역에 배치된다. 이때, 패널은 챔버유닛(110)의 외부에서 상부면의 보호필름(W)이 박리된 후 하부 챔버(111)의 상부 영역으로 이동된다.First, as shown in FIG. 4, the panel is disposed on the lower chucking part 113. At this time, the horizontal arm portion 153 is disposed in the lower area of the panel so that the panel jig portion 150 receives the panel supported by the finger portion 121. In this case, the panel is moved to the upper area of the lower chamber 111 after the protective film W on the upper surface is peeled off from the outside of the chamber unit 110.

이후, 도 5에 도시된 바와 같이 핑거부(121)가 하강하여 패널의 가장자리 영역이 가로 아암부(153)의 지지용 지지턱부(153b)에 지지된다.Thereafter, as shown in FIG. 5, the finger portion 121 is lowered so that the edge region of the panel is supported by the support chin portion 153b for support of the horizontal arm portion 153.

다음, 도 6에 도시된 바와 같이 슬라이딩 블록부(171)가 하부 척킹부(113)에 대해 접근하는 방향으로 이동된다. 이러한 슬라이딩 블록부(171)의 이동에 의해 가로 아암부(153)가 이동되고, 그에 따라 측벽 가압부(153c)가 패널의 측벽을 가압하여 패널을 아치 형상으로 절곡시킨다.Next, as shown in FIG. 6, the sliding block part 171 is moved in a direction approaching the lower chucking part 113. The horizontal arm portion 153 is moved by the movement of the sliding block portion 171, and accordingly, the sidewall pressing portion 153c presses the sidewall of the panel to bend the panel in an arch shape.

이때, 3개의 핑거부(121) 중 중앙의 핑거부(121)를 제외한 가장자리의 핑거부(121)는 진공흡착을 하지 않고 중앙의 핑거부(121)만이 진공흡착을 수행함으로써, 도 6에 도시된 것과 같이 패널은 아래쪽으로 볼록한 형상으로 절곡된다.At this time, among the three finger portions 121, the finger portions 121 at the edges excluding the central finger portion 121 do not perform vacuum adsorption, and only the central finger portion 121 performs vacuum adsorption, as shown in FIG. As shown, the panel is bent downward into a convex shape.

이후, 도 7에 도시된 바와 같이 핑거부(121)가 패널과 하부 척킹부(113) 사이에서 이탈된 후 지그 업/다운(up/down) 이동부(160)에 의해 패널이 하강하여 절곡된 패널의 중앙부 영역이 하부 척킹부(113)에 접촉된다.Thereafter, as shown in FIG. 7, after the finger part 121 is separated between the panel and the lower chucking part 113, the panel is lowered and bent by the jig up/down moving part 160. The central portion of the panel is in contact with the lower chucking portion 113.

다음, 도 8에 도시된 된 바와 같이, 슬라이딩 블록부(171)가 하부 척킹부(113)에 대해 이격되는 방향으로 이동되어 패널의 가장자리 영역도 하부 척킹부(113)에 접촉된다.Next, as shown in FIG. 8, the sliding block part 171 is moved in a direction spaced apart from the lower chucking part 113 so that the edge region of the panel is also in contact with the lower chucking part 113.

이후, 도 9에 도시된 바와 같이 상부 챔버(116)가 하강하여 상부 챔버(116)와 하부 챔버(111)가 합착된 후 라미네이팅 공정이 수행된다.Thereafter, as shown in FIG. 9, after the upper chamber 116 is lowered and the upper chamber 116 and the lower chamber 111 are bonded together, a laminating process is performed.

상술한 바와 같이 측벽 가압부(153c)의 가압에 의해 패널이 중앙부가 하부 척킹부(113)를 향하는 방항으로 절곡됨으로써, 패널의 하강 시 절곡된 패널의 중앙부가 가장자리 영역 보다 먼저 하부 척킹부(113)에 접촉된 후 가장자리 영역이 접촉될 수 있고, 그에 따라 하부 척킹부(113)에 로딩된 패널과 하부 척킹부(113)의 상부면 사이에 기포가 생성되지 않는다. As described above, the central portion of the panel is bent in a direction toward the lower chucking portion 113 by the pressing of the side wall pressing portion 153c, so that when the panel is lowered, the central portion of the bent panel is lower than the edge area. ) May be brought into contact with the edge region, and accordingly, air bubbles are not generated between the panel loaded on the lower chucking part 113 and the upper surface of the lower chucking part 113.

이와 같이 본 실시예에 따른 진공 라미네이터는, 패널의 하부면을 지지하는 포크유닛(120)과 포크유닛(120)에 지지된 패널을 전달받아 척킹부에 로딩하는 패널 로딩유닛(130)을 구비함으로써, 챔버유닛(110)의 외부에서 보호필름(W)이 박리된 패널을 챔버유닛(110)의 내부에 배치된 척킹부에 로딩할 수 있어 보호필름(W)의 박리 과정에서 발생되는 파티클에 의해 척킹부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.As described above, the vacuum laminator according to the present embodiment includes a fork unit 120 supporting the lower surface of the panel and a panel loading unit 130 that receives and loads the panel supported by the fork unit 120 into the chucking unit. , The panel from which the protective film W has been peeled off from the outside of the chamber unit 110 can be loaded on the chucking unit disposed inside the chamber unit 110, so that particles generated during the peeling process of the protective film W It is possible to prevent the chucking part from being damaged.

이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 콤팩트하면서도 효율적인 구조로 인해 세팅의 오차 발생을 감소시킬 수 있으며, 특히 장비의 제어가 용이하여 수율을 향상시킬 수 있음은 물론 높은 정밀도를 만족시킬 수 있게 된다.According to the present embodiment having the structure and action as described above, it is possible to reduce the occurrence of setting errors due to a compact and efficient structure, and in particular, it is possible to improve the yield by easily controlling the equipment, as well as satisfying high precision. You can make it.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is obvious to those of ordinary skill in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, it should be said that such modifications or variations belong to the claims of the present invention.

1110: 챔버유닛 111: 하부 챔버
113: 하부 척킹부 116: 상부 챔버
118: 상부 척킹부 120: 포크유닛
121: 핑거부 130: 패널 로딩유닛
150: 패널 지그부 151: 세로 아암부
153: 가로 아암부 153a: 가로 아암부 본체
153b: 지지용 지지턱부 153c: 측벽 가압부
160: 지그 업/다운(up/down) 이동부
161: 지그용 업/다운(up/down) 블록부
163: 실리더 로드부 165: 가압 실린더 본체부
170: 지그 슬라이딩 이동부 171: 슬라이딩 블록부
173: 슬라이딩 이동 구동부 173a: 연결 샤프트부
173b: 슬라이딩용 연결 블록부 173c: 연결 블록용 가이드부
175: 슬라이딩 블록용 가이드부 W: 보호필름1110: chamber unit 111: lower chamber
113: lower chucking part 116: upper chamber
118: upper chucking part 120: fork unit
121: finger unit 130: panel loading unit
150: panel jig portion 151: vertical arm portion
153: horizontal arm portion 153a: horizontal arm portion main body
153b: support jaw portion 153c: side wall pressing portion
160: jig up/down moving part
161: jig up/down block part
163: cylinder rod portion 165: pressurized cylinder body portion
170: jig sliding moving part 171: sliding block part
173: sliding movement driving part 173a: connecting shaft part
173b: connection block portion for sliding 173c: guide portion for connection block
175: guide part for sliding block W: protective film

Claims

A chamber unit including a lower chamber provided with a lower chucking portion for chucking the panel, and an upper chamber contacting the lower chamber to form a vacuum atmosphere in the internal space;
A fork unit supporting a lower surface of the panel and positioning the panel in an upper region of the lower chucking part; And
A vacuum laminator comprising a panel loading unit connected to the lower chamber and configured to receive the panel supported by the fork unit and load the lower chucking unit.

The method of claim 1,
The panel loading unit,
A vacuum laminator comprising a pair of loading modules disposed to be spaced apart from each other.

The method of claim 2,
The pair of loading modules,
Vacuum laminator, characterized in that disposed symmetrically to each other with respect to the lower chucking portion.

The method of claim 2,
The loading module,
A panel jig portion supporting the panel;
A jig up/down moving part connected to the panel jig part and moving the panel jig part in a vertical direction; And
A vacuum laminator comprising a jig sliding part connected to the jig up/down moving part and sliding the panel jig part in a horizontal direction crossing a vertical direction.

The method of claim 4,
The panel jig portion,
A vertical arm portion coupled to the jig up/down moving portion; And
A vacuum laminator coupled to the vertical arm portion and including a horizontal arm portion connected to the panel.

The method of claim 5,
A vacuum laminator, characterized in that a non-adhesive coating film is provided on the surface of the horizontal arm portion.

The method of claim 5,
The horizontal arm portion,
Transverse arm body;
A support jaw portion provided at an end portion of the horizontal arm portion body and supporting a lower surface of the panel; And
A vacuum laminator comprising a side wall pressing portion provided at an end portion of the horizontal arm portion body and contacting a side wall of the panel to press the side wall of the panel.

The method of claim 7,
Vacuum laminator, characterized in that the panel is bent in an arch shape by pressing the side wall pressing portion.

The method of claim 4,
The jig up/down moving part,
A jig up/down block part to which the panel jig part is connected;
A cylinder rod unit to which the jig up/down block unit is coupled; And
A vacuum laminator comprising a pressurizing cylinder body portion that is connected to the cylinder rod portion to be slidably moved and moves the cylinder rod portion up/down.

The method of claim 4,
The jig sliding moving part,
A sliding block part to which the jig up/down moving part is connected; And
A vacuum laminator connected to the sliding block unit and including a sliding movement driving unit configured to move the sliding block unit in a direction approaching and spaced apart from the lower chucking unit.

The method of claim 10,
The sliding movement driving unit,
A connection shaft portion penetrating the chamber wall of the lower chamber and having one end coupled to the sliding block portion;
A sliding connection block portion (173b) coupled to the other end of the connection shaft portion;
A guide part for a connection block connected to the sliding connection block part and guiding the movement of the sliding connection block part; And
A vacuum laminator connected to the sliding connection block unit and including a power generation unit for a connection block for moving the sliding connection block unit.

The method of claim 10,
The jig sliding moving part,
The vacuum laminator further comprises a guide part for a sliding block supported by the lower chamber and connected to the sliding block part to guide the movement of the sliding block part.

The method of claim 1,
The fork unit,
A hand portion having at least one finger portion in contact with a lower surface of the panel; And
A vacuum laminator connected to the hand part and including an articulated robot part for moving the hand part.

The method of claim 13,
A vacuum laminator, characterized in that an adsorption hole for vacuum adsorption of the panel is formed in the finger part.

The method of claim 1,
A vacuum laminator, wherein an upper chucking part for chucking a cover glass laminated to the panel is provided in the upper chamber.