KR102253447B1 - Manufacturing apparatus for display apparatus - Google Patents

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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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Abstract

본 발명은 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치를 위하여, 복수개의 홀들을 가지며 디스플레이 패널이 안착될 수 있는 안착면을 상부에 갖는 안착스테이지와, 상기 안착스테이지의 상기 복수개의 홀들을 통해 상기 안착면 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록 업다운 모션이 가능한 복수개의 업다운 핀, 상기 안착스테이지의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있으며 업 모션 시 디스플레이 패널과 컨택하고 있는 캐리어를 디스플레이 패널로부터 이격시킬 수 있는 캐리어 리무버 척과, 제1면에 필름흡착면을 갖는 흡착스테이지를 구비하는, 디스플레이 장치 제조장치를 제공한다.The present invention provides an apparatus for manufacturing a display device with a simplified configuration, a seating stage having a plurality of holes and having a seating surface on which a display panel can be seated, and an upper portion of the seating surface through the plurality of holes of the seating stage. A plurality of up-down pins capable of up-down motion so as not to protrude or protrude, and a carrier remover chuck that is located at the edge of the seating stage and can perform up-down motion, and can separate carriers in contact with the display panel from the display panel during up-motion. , Provides a display device manufacturing apparatus having an adsorption stage having a film adsorption surface on the first surface.

Description

디스플레이 장치 제조장치{Manufacturing apparatus for display apparatus}Display apparatus manufacturing apparatus TECHNICAL FIELD

본 발명의 실시예들은 디스플레이 장치 제조장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to an apparatus for manufacturing a display apparatus, and more particularly, to an apparatus for manufacturing a display apparatus with a simplified configuration.

일반적으로 디스플레이 장치의 제조 과정에서 디스플레이의 패널의 표면이나 이면 등을 보호하기 위해 보호필름 등을 부착하게 된다. 이 과정에서 부착되는 보호필름은 제조 중 일시적으로 부착되는 것일 수도 있고, 제품을 최종적으로 보호하기 위해 부착되는 것일 수도 있다.In general, in the manufacturing process of a display device, a protective film or the like is attached to protect the surface or the back of the panel of the display. The protective film attached in this process may be temporarily attached during manufacturing, or may be attached to finally protect the product.

한편, 디스플레이 장치 제조 과정에서 얇은 기판을 갖는 디스플레이 장치를 제조하기 위해 캐리어를 사용하게 된다. 따라서 보호필름을 부착하기에 앞서 이러한 캐리어를 기판으로부터 제거하게 되며, 그 후 디스플레이 패널 등의 기판 표면에 보호필름을 부착하게 된다.Meanwhile, in the process of manufacturing a display device, a carrier is used to manufacture a display device having a thin substrate. Therefore, prior to attaching the protective film, such a carrier is removed from the substrate, and thereafter, the protective film is attached to the surface of a substrate such as a display panel.

하지만 이러한 제조 과정을 고려하면 기판을 캐리어로부터 분리하는 캐리어 분리 장치와 보호필름을 디스플레이 패널 등에 부착하는 보호필름을 부착하는 장치 등이 필요하며, 이에 따라 제조장치의 구성이 복잡해진다는 문제점이 있었다.However, considering such a manufacturing process, a carrier separation device for separating a substrate from a carrier and a device for attaching a protective film for attaching a protective film to a display panel, etc. are required, and accordingly, there is a problem in that the configuration of the manufacturing device is complicated.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The present invention is to solve a number of problems, including the above problems, and an object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a display device with a simplified configuration. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.

본 발명의 일 관점에 따르면, 복수개의 홀들을 가지며 디스플레이 패널이 안착될 수 있는 안착면을 상부에 갖는 안착스테이지와, 상기 안착스테이지의 상기 복수개의 홀들을 통해 상기 안착면 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록 업다운 모션이 가능한 복수개의 업다운 핀들과, 상기 안착스테이지의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있으며 업 모션 시 디스플레이 패널과 컨택하고 있는 캐리어를 디스플레이 패널로부터 이격시킬 수 있는 캐리어 리무버 척과, 제1면에 필름흡착면을 갖는 흡착스테이지를 구비하는, 디스플레이 장치 제조장치가 제공된다.According to one aspect of the present invention, a seating stage having a plurality of holes and a seating surface on which the display panel can be seated, and a seating stage through the plurality of holes of the seating stage, so as not to protrude or protrude above the seating surface. A plurality of up-down pins capable of up-down motion, a carrier remover chuck located at the edge of the seating stage, capable of up-down motion, and a carrier remover chuck capable of separating a carrier in contact with the display panel from the display panel during up-motion, and a first surface. An apparatus for manufacturing a display device is provided having an adsorption stage having a film adsorption surface.

상기 흡착스테이지는 제2면에 캐리어흡착면을 가질 수 있다. 나아가, 상기 필름흡착면 내의 흡착공들의 개수는 상기 캐리어흡착면 내의 흡착공들의 개수보다 많을 수 있다. 그리고 상기 흡착스테이지는 반전이 가능한 것일 수 있다.The adsorption stage may have a carrier adsorption surface on the second surface. Further, the number of adsorption holes in the film adsorption surface may be greater than the number of adsorption holes in the carrier adsorption surface. In addition, the adsorption stage may be capable of being reversed.

상기 흡착스테이지는, 제1흡착스테이지와, 상기 제1흡착스테이지와 결합되거나 상기 제1흡착스테이지로부터 분리될 수 있으며 상기 제1흡착스테이지의 면적보다 좁은 면적을 갖는 제2흡착스테이지와, 롤러를 포함하며, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 결합되어 있을 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지의 제1면과 상기 제2흡착스테이지의 제1면을 포함하는 상기 필름흡착면의 반대면 상에 위치하고, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 분리될 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지 사이의 공간으로 이동하여 상기 필름흡착면에서 노출되도록 할 수 있다.The adsorption stage includes a first adsorption stage, a second adsorption stage that is combined with the first adsorption stage or can be separated from the first adsorption stage and has an area smaller than that of the first adsorption stage, and a roller. And, when the first adsorption stage and the second adsorption stage are combined, the roller is a surface opposite to the film adsorption surface including the first side of the first adsorption stage and the first side of the second adsorption stage It is located above, and when the first adsorption stage and the second adsorption stage are separated, the roller may move to a space between the first adsorption stage and the second adsorption stage to be exposed from the film adsorption surface.

이때 상기 흡착스테이지는 상기 제1흡착스테이지가 상기 안착면에 대해 기울어진 각도를 유지한 채 수평 방향으로 이동할 수 있다. 나아가 상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 제2흡착스테이지는 상기 안착면에 대해 평행한 상태가 되도록 할 수 있다. 그리고 상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 롤러는 상기 흡착스테이지가 흡착한 필름을 상기 안착스테이지에 안착된 디스플레이 패널 상으로 가압하도록 할 수 있다.In this case, the adsorption stage may move in a horizontal direction while maintaining an angle in which the first adsorption stage is inclined with respect to the seating surface. Furthermore, when the adsorption stage moves in the horizontal direction, the second adsorption stage may be in a state parallel to the seating surface. And when the adsorption stage moves in the horizontal direction, the roller may press the film adsorbed by the adsorption stage onto the display panel seated on the seating stage.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 특허청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the detailed contents, claims, and drawings for carrying out the following invention.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to an embodiment of the present invention made as described above, an apparatus for manufacturing a display device having a simplified configuration can be implemented. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.

도 1 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조장치를 이용하여 디스플레이 장치를 제조하는 공정들을 개략적으로 도시하는 측면 개념도들이다.1 to 10 are side conceptual views schematically showing processes of manufacturing a display device using a manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and will be described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when describing with reference to the drawings, the same or corresponding constituent elements are assigned the same reference numerals, and redundant descriptions thereof will be omitted. .

이하의 실시예에서 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the following embodiments, when various components such as layers, films, regions, and plates are said to be "on" other components, this is not only a case where other components are "directly on", but other components are interposed therebetween. It includes cases that have been made. In addition, in the drawings for convenience of description, the size of the components may be exaggerated or reduced. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, and thus the present invention is not necessarily limited to what is shown.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, y-axis, and z-axis are not limited to three axes on a Cartesian coordinate system, and may be interpreted in a broad sense including them. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

도 1 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조장치를 이용하여 디스플레이 장치를 제조하는 공정들을 개략적으로 도시하는 측면 개념도들이다. 본 실시예에 따른 디스플레이 장치 제조장치는 도 1에 도시된 것과 같이 안착스테이지(10), 복수개의 업다운 핀(20)들, 캐리어 리무버 척(30) 및 흡착스테이지(40)를 구비한다.1 to 10 are side conceptual views schematically showing processes of manufacturing a display device using a manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the display apparatus manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a seating stage 10, a plurality of up-down pins 20, a carrier remover chuck 30, and an adsorption stage 40.

안착스테이지(10)는 복수개의 홀들을 가지며, 디스플레이 패널(DP)이 안착될 수 있는 안착면(10a)을 (+z 방향) 상부에 갖는다. 이러한 안착스테이지(10)는 프레임(1) 등에 의해 지지될 수 있거나 프레임(1) 등과 일체(一體)일 수 있다.The seating stage 10 has a plurality of holes, and has a seating surface 10a on which the display panel DP can be seated (in the +z direction) above. Such a seating stage 10 may be supported by the frame 1 or the like, or may be integral with the frame 1 or the like.

복수개의 업다운 핀(20)들은 안착스테이지(10)의 복수개의 홀들을 통해 안착면(10a)의 (+z 방향) 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록, 업다운 모션이 가능하다. 복수개의 업다운 핀(20)들은 모두 함께 업다운 모션을 할 수 있기에, 도 1 등에 도시된 것과 같이 경우에 따라 서로 기계적으로 연결되어 있을 수 있다.The plurality of up-down pins 20 are capable of up-down motion so as not to protrude or protrude upward (+z direction) of the seating surface 10a through a plurality of holes of the seating stage 10. Since the plurality of up-down pins 20 can all perform an up-down motion together, they may be mechanically connected to each other in some cases, as illustrated in FIG. 1 and the like.

이러한 안착스테이지(10)에 디스플레이 패널(DP)을 안착시키는 과정을 설명하면, 먼저 도 1에 도시된 것과 같이 복수개의 업다운 핀(20)들이 업 모션을 통해 안착스테이지(10)의 안착면(10a)의 (+z 방향으로) 상부로 돌출된다. 그와 같은 상태에서 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 디스플레이 패널(DP)이 형성된 캐리어(C)가 안착된다. 이때 캐리어(C)가 아닌 디스플레이 패널(DP)이 복수개의 업다운 핀(20)들에 컨택하도록, 디스플레이 패널(DP)이 캐리어(C)보다 (-z 방향인) 하방에 위치한 상태에서 복수개의 업다운 핀(20) 들 상에 안착된다.When explaining the process of seating the display panel DP on the seating stage 10, first, as shown in FIG. 1, a plurality of up-down pins 20 are placed on the seating surface 10a of the seating stage 10 through an up motion. ) Of (+z direction). In such a state, the carrier C on which the display panel DP is formed is mounted on the plurality of up-down pins 20. At this time, a plurality of up-downs while the display panel DP is located below the carrier C (in the -z direction) so that the display panel DP, not the carrier C, contacts the plurality of up-down pins 20. It rests on the pins 20.

디스플레이 패널(DP)과 캐리어(C)는 다양한 방법을 통해 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 안착될 수 있는데, 예컨대 도 4에 도시된 것과 같은 이송로봇의 엔드이펙터(2)에 놓은 상태에서 복수개의 업다운 핀(20)들이 업 모션을 함에 따라 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치하게 될 수 있다. 이 경우 도 1은 디스플레이 패널(DP)과 캐리어(C)가 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치하게 된 후 이송로봇의 엔드이펙터(2)가 빠져나간 상태인 것으로 이해될 수 있다. 또는, 캐리어(C)를 흡착할 수 있는 캐리어흡착면을 가진 흡착스테이지를 이용하는 것을 고려할 수도 있다. 즉, 그러한 흡착스테이지에 캐리어(C)가 흡착된 상태에서 복수개의 업다운 핀(20)들이 업 모션을 통해 디스플레이 패널(DP)에 컨택하고, 그 후 캐리어(C)가 흡착스테이지로부터 분리되도록 할 수도 있다.The display panel DP and the carrier C can be mounted on the plurality of up-down pins 20 through various methods. For example, in the state of being placed on the end effector 2 of the transfer robot as shown in FIG. As the plurality of up-down pins 20 perform an up motion, they may be positioned on the plurality of up-down pins 20. In this case, FIG. 1 may be understood as a state in which the end effector 2 of the transfer robot is pulled out after the display panel DP and the carrier C are positioned on the plurality of up-down pins 20. Alternatively, it may be considered to use an adsorption stage having a carrier adsorption surface capable of adsorbing the carrier (C). That is, a plurality of up-down pins 20 contact the display panel DP through an up motion while the carrier C is adsorbed on the adsorption stage, and then the carrier C may be separated from the adsorption stage. have.

캐리어(C)는 예컨대 충분한 두께의 글래스일 수 있다. 이 캐리어(C)는 최종적인 디스플레이 장치의 일 구성요소가 되는 것이 아니라, 디스플레이 장치를 제조함에 있어서 임시로 사용되는 것일 수 있다. 즉, 예컨대 박형의 디스플레이 장치를 제조하거나 플렉서블 디스플레이 장치를 제조할 시 제조 과정에서의 핸들링 안정성을 위해, 충분한 두께를 갖는 글래스 등을 포함하는 캐리어(C) 상에 폴리이미드나 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 수지 등으로 디스플레이 장치용 기판을 형성하고, 이후 박막트랜지스터, 유기발광소자와 같은 디스플레이소자, 그리고 디스플레이소자 등을 보호하는 박막봉지층을 형성할 수 있다. 도 1에서의 디스플레이 패널(DP)은 이와 같이 기판, 디스플레이소자 및 박막봉지층을 포함할 수 있다.The carrier C may be, for example, a glass of sufficient thickness. The carrier C may not be a component of the final display device, but may be temporarily used in manufacturing the display device. That is, for the handling stability in the manufacturing process when manufacturing a thin display device or a flexible display device, for example, a resin such as polyimide or polyethylene terephthalate on the carrier (C) including glass having a sufficient thickness. A substrate for a display device may be formed by using or the like, and thereafter, a thin film transistor, a display device such as an organic light emitting device, and a thin film encapsulation layer to protect the display device may be formed. The display panel DP of FIG. 1 may include a substrate, a display device, and a thin film encapsulation layer as described above.

이후 복수개의 업다운 핀(20)들이 다운 모션을 통해 하강하여, 도 2에 도시된 것과 같이 디스플레이 패널(DP)이 안착스테이지(10)의 안착면(10a) 상에 안착된다. 그리고 이어서 캐리어(C)를 디스플레이 패널(DP)로부터 분리한다. 캐리어(C)를 디스플레이 패널(DP)로부터 분리하는 것은 다양한 방법을 통해 이루어질 수 있는데, 예컨대 엑시머레이저빔을 조사하면 캐리어(C)와 디스플레이 패널(DP)이 분리되되 정전기 등으로 상호 컨택하고 있는 상태가 될 수 있다.Thereafter, the plurality of up-down pins 20 descend through a down motion, so that the display panel DP is seated on the seating surface 10a of the seating stage 10 as shown in FIG. 2. Then, the carrier C is separated from the display panel DP. Separation of the carrier (C) from the display panel (DP) can be accomplished through various methods.For example, when the excimer laser beam is irradiated, the carrier (C) and the display panel (DP) are separated but are in contact with each other by static electricity, etc. Can be.

이와 같이 캐리어(C)와 디스플레이 패널(DP)이 서로 분리되되 상호 컨택하고 있는 상태에서, 도 3에 도시된 것과 같이 캐리어 리무버 척(30)을 상승시킨다. 캐리어 리무버 척(30)은 도 3 등에 도시된 것과 같이 안착스테이지(10)의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있다. 이러한 캐리어 리무버 척(30)은 업 모션 시 디스플레이 패널(DP)과는 접촉하지 않고 디스플레이 패널(DP)보다 넓어 디스플레이 패널(DP) 외측으로 돌출된 캐리어(C)의 가장자리에 접촉하게 된다. 이에 따라 캐리어 리무버 척(30)은 업 모션을 통해 캐리어(C)를 디스플레이 패널(DP)로부터 (+z 방향으로) 이격시킨다. 이어 도 4에 도시된 것과 같이 이송로봇의 엔드이펙터(2) 등이 캐리어(C)를 지지하여 반출할 수 있다. 물론 캐리어 리무버 척(30)은 도 5에 도시된 것과 같이 본래 위치로 돌아오게 된다.As such, in a state in which the carrier C and the display panel DP are separated from each other but are in contact with each other, the carrier remover chuck 30 is raised as shown in FIG. 3. The carrier remover chuck 30 is located at the edge of the seating stage 10 as shown in FIG. 3 and may perform an up-down motion. The carrier remover chuck 30 does not contact the display panel DP during an up motion, but is wider than the display panel DP and contacts the edge of the carrier C protruding outside the display panel DP. Accordingly, the carrier remover chuck 30 separates the carrier C from the display panel DP (in the +z direction) through an up motion. Subsequently, as shown in FIG. 4, the end effector 2 of the transfer robot can be carried out by supporting the carrier C. Of course, the carrier remover chuck 30 is returned to its original position as shown in FIG. 5.

도 4 등에서는 업다운 모션을 할 수 있는 캐리어 리무버 척(30)이 안착스테이지(10)의 외측에 위치하는 것으로 도시하고 있으나 이는 편의상 그와 같이 도시한 것일 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 캐리어 리무버 척(30) 역시 안착스테이지(10)의 복수개의 홀들을 통과해서 업다운 모션을 하도록 할 수 있다. 물론 이 경우 캐리어 리무버 척(30) 용의 복수개의 홀들은 복수개의 업다운 핀(20)들 용의 복수개의 홀들보다 안착스테이지(10)의 가장자리 및/또는 외곽에 위치할 수 있다.In FIG. 4 and the like, the carrier remover chuck 30 capable of up-down motion is shown to be located outside the seating stage 10, but this is illustrated as such for convenience only, and the present invention is not limited thereto. For example, the carrier remover chuck 30 may also pass through a plurality of holes of the seating stage 10 to perform an up-down motion. Of course, in this case, the plurality of holes for the carrier remover chuck 30 may be located at the edge and/or outside of the seating stage 10 than the plurality of holes for the plurality of up-down pins 20.

이후, 도 6에 도시된 것과 같이 제1면(40a)이 필름흡착면(40a)인 흡착스테이지(40)에 보호필름(PF)과 같은 필름이 흡착된 상태에서, 안착스테이지(10)에 안착된 디스플레이 패널(DP) 상부에 위치하도록 할 수 있다. 이때 보호필름(PF)은 이형지(RP)에 부착된 상태이며, 따라서 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착하기에 앞서 이 이형지(RP)를 제거할 필요가 있다.Thereafter, as shown in FIG. 6, in a state in which a film such as a protective film PF is adsorbed to the adsorption stage 40, which is the film adsorption surface 40a, the first surface 40a is seated on the seating stage 10. It may be positioned above the displayed display panel DP. At this time, the protective film PF is in a state attached to the release paper RP, and therefore, it is necessary to remove the release paper RP before attaching the protective film PF on the display panel DP.

이형지(RP)의 제거는 다양한 방법으로 이루어질 수 있는데, 예컨대 도 6 및 도 7에 도시된 것과 같이 제1롤러(51)와 제2롤러(52)를 이용하여 이형지(RP)를 제거할 수 있다. 제1롤러(51)와 제2롤러(52)는 먼저 도 6에 도시된 것과 같이 이형지(RP)의 가장자리에 위치할 수 있는데, 구체적으로 제2롤러(52)가 이형지(RP)의 가장자리에 위치하고 제1롤러(51)는 제2롤러(52)에 인접하되 이형지(RP) 외측에 위치하도록 할 수 있다. 이때 제2롤러(52)는 접착필름(AF)을 (+z 방향의) 이형지(RP)에 밀착시키는 역할을 한다.The release paper RP may be removed in various ways, for example, as shown in FIGS. 6 and 7 using the first roller 51 and the second roller 52 to remove the release paper RP. . The first roller 51 and the second roller 52 may first be located at the edge of the release paper RP as shown in FIG. 6, specifically, the second roller 52 is at the edge of the release paper RP. The first roller 51 is located adjacent to the second roller 52, but may be positioned outside the release paper (RP). At this time, the second roller 52 serves to closely adhere the adhesive film AF to the release paper RP (in the +z direction).

그와 같은 상태에서 제1롤러(51)와 제2롤러(52)가 도 7에 도시된 것과 같이 보호필름(PF)이나 안착스테이지(10)의 안착면(10a) 또는 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 평행한 방향(+x 방향)으로 이동하게 되면, 접착필름(AF)은 제2롤러(52)에 의해 이형지(RP)에 부착되고, 접착필름(AF)과 이형지(RP)의 부착물은 제2롤러(52)를 뒤따라 +x 방향으로 움직이는 제1롤러(51)에 감기게 된다. 이와 같이 제1롤러(51)와 제2롤러(52)를 +x 방향으로 움직임에 따라, 도 8에 도시된 것과 같이 이형지(RP)가 보호필름(PF)으로부터 제거되도록 할 수 있다. 물론 필요에 따라 제2롤러(52)와 접착필름(AF) 사이의 점착을 방지하기 위해 제2롤러(52)의 표면을 표면처리할 수도 있다. 예컨대 제2롤러(52) 표면에 윤활유를 도포하여 접착필름(AF)이 제2롤러(52)에 점착되는 것을 방지할 수 있다. 물론 제1롤러(51)와 제2롤러(52)는 도시되지 않은 프레임에 의해 서로 연결되어 지지될 수도 있다.In such a state, the first roller 51 and the second roller 52 are formed of the protective film PF or the mounting surface 10a of the mounting stage 10 or the suction stage 40 as shown in FIG. 7. When moving in a direction parallel to the film adsorption surface 40a (+x direction), the adhesive film AF is attached to the release paper RP by the second roller 52, and the adhesive film AF and the release paper ( The attachment of RP) is wound on the first roller 51 that moves in the +x direction following the second roller 52. In this way, as the first roller 51 and the second roller 52 are moved in the +x direction, the release paper RP may be removed from the protective film PF as shown in FIG. 8. Of course, if necessary, the surface of the second roller 52 may be surface-treated to prevent adhesion between the second roller 52 and the adhesive film AF. For example, by applying lubricant to the surface of the second roller 52, the adhesive film AF may be prevented from being adhered to the second roller 52. Of course, the first roller 51 and the second roller 52 may be connected to each other and supported by a frame (not shown).

그 후, 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 흡착된 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착함으로써, 디스플레이 패널(DP)의 기판의 면으로서 캐리어(C)로부터 분리된 면 상에 보호필름(PF)이 부착되도록 할 수 있다.After that, by attaching the protective film PF adsorbed on the film adsorption surface 40a of the adsorption stage 40 on the display panel DP, it is separated from the carrier C as the surface of the substrate of the display panel DP. The protective film PF may be attached on the surface.

이와 같이 본 실시예에 따른 디스플레이 장치 제조장치에 따르면, 디스플레이 패널(DP)의 기판을 캐리어(C)로부터 분리하는 캐리어 분리 장치와 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 등에 부착하는 보호필름 부착 장치가 일체화되도록 할 수 있다. 따라서 제조장치의 구성을 획기적으로 단순화시키고 제조장치가 차지하는 공간을 줄임으로써 공간효율성을 높이며 제조효율성을 높일 수 있다.As described above, according to the display device manufacturing apparatus according to the present embodiment, a carrier separation device for separating the substrate of the display panel DP from the carrier C and a protective film for attaching the protective film PF to the display panel DP, etc. The device can be made to be integrated. Therefore, it is possible to increase the space efficiency and increase the manufacturing efficiency by dramatically simplifying the configuration of the manufacturing apparatus and reducing the space occupied by the manufacturing apparatus.

한편, 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 흡착된 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착하는 것은 다양한 방법을 통해 이루어질 수 있는데, 이하에서는 그 바람직한 방법에 대해 설명한다.On the other hand, attaching the protective film PF adsorbed on the film adsorption surface 40a of the adsorption stage 40 on the display panel DP may be accomplished through various methods, and a preferred method will be described below. .

흡착스테이지(40)는 도 6 내지 도 8 등에 도시된 것과 같이, 제1흡착스테이지(41), 제2흡착스테이지(42) 및 롤러(43)를 포함할 수 있다. 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)는 서로 결합될 수도 있고 서로 분리될 수도 있다. 이때 제1흡착스테이지(41)의 면적은 제2흡착스테이지(42)보다 넓어, 디스플레이 패널(DP)의 대부분에 대응하도록 할 수 있다. 하지만 디스플레이 패널(DP)에 대응하는 크기의 보호필름(PF)은 제1흡착스테이지(41)에 의해서만 흡착되는 것이 아니라 제2흡착스테이지(42)에 의해서도 일부가 흡착되도록 할 수 있다. 즉, 제1흡착스테이지(41)의 안착스테이지(10) 방향의 제1면(41a)과 제2흡착스테이지(42)의 안착스테이지(10) 방향의 제1면(42a) 모두가 필름흡착면(40a)에 속할 수 있다.The adsorption stage 40 may include a first adsorption stage 41, a second adsorption stage 42, and a roller 43, as shown in FIGS. 6 to 8, and the like. The first adsorption stage 41 and the second adsorption stage 42 may be coupled to each other or may be separated from each other. In this case, the area of the first adsorption stage 41 is wider than that of the second adsorption stage 42, so that it may correspond to most of the display panel DP. However, the protective film PF having a size corresponding to the display panel DP may not only be adsorbed by the first adsorption stage 41, but may be partially adsorbed by the second adsorption stage 42. That is, both the first surface 41a of the first suction stage 41 in the direction of the mounting stage 10 and the first surface 42a of the second suction stage 42 in the direction of the mounting stage 10 are film suction surfaces. It may belong to (40a).

도 6 내지 도 8에 도시된 것과 같이 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)가 결합되어 있을 시, 롤러(43)는 필름흡착면(40a)의 반대면 상에 위치하도록 할 수 있다. 그와 같은 상태에서 도 8에 도시된 것과 같이 이형지(RP)가 제거되면, 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)는 서로 분리될 수 있다. 이때, 도 9에 도시된 것과 같이 롤러(43)는 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42) 사이의 공간으로 이동하여 필름흡착면(40a)에서 노출되도록 할 수 있다.6 to 8, when the first adsorption stage 41 and the second adsorption stage 42 are combined, the roller 43 should be positioned on the opposite side of the film adsorption surface 40a. I can. When the release paper RP is removed as shown in FIG. 8 in such a state, the first adsorption stage 41 and the second adsorption stage 42 may be separated from each other. In this case, as shown in FIG. 9, the roller 43 may move to the space between the first adsorption stage 41 and the second adsorption stage 42 to be exposed from the film adsorption surface 40a.

나아가, 도 9에 도시된 것과 같이 흡착스테이지(40)는 제1흡착스테이지(41)가 안착스테이지(10)의 안착면(10a)에 대해 기울어진 각도를 유지한 채 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이와 같이 흡착스테이지(40)가 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 시, 롤러(43)는 흡착스테이지(40)가 흡착한 보호필름(PF)을 안착스테이지(10)에 안착된 디스플레이 패널(DP) 상으로 가압할 수 있다. 이에 따라 디스플레이 패널(DP)의 (-x 방향) 가장자리부터 중앙부를 거쳐 (+x 방향) 가장자리까지 순차적으로 보호필름(PF)이 디스플레이 패널(DP) 상에 부착되어, 도 10에 도시된 것과 같이 디스플레이 패널(DP)의 캐리어(C)로부터 분리된 면 상에 보호필름(PF)이 부착되도록 할 수 있다.Furthermore, as shown in FIG. 9, the adsorption stage 40 is horizontal (in the +x direction) while the first adsorption stage 41 maintains an inclined angle with respect to the seating surface 10a of the seating stage 10. You can move in any direction. In this way, when the adsorption stage 40 moves in the horizontal direction (in the +x direction), the roller 43 holds the protective film PF adsorbed by the adsorption stage 40 on the display panel ( DP) can be pressurized. Accordingly, the protective film PF is sequentially attached on the display panel DP from the (-x direction) edge to the center (+x direction) edge of the display panel DP, as shown in FIG. 10. The protective film PF may be attached on the surface separated from the carrier C of the display panel DP.

한편, 전술한 것과 같이 제1흡착스테이지(41)의 면적이 제2흡착스테이지(42)보다 넓어 디스플레이 패널(DP)의 대부분에 대응하지만, 디스플레이 패널(DP)에 대응하는 크기의 보호필름(PF)은 제1흡착스테이지(41)에 의해서만 흡착되는 것이 아니라 제2흡착스테이지(42)에 의해서도 일부가 흡착되도록 할 수 있다. 이에 따라 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)가 분리될 시, 보호필름(PF)과의 접촉면적이 넓은 제1흡착스테이지(41)의 제1면(41a)이 보호필름(PF)을 흡착한 상태가 유지되고, 보호필름(PF)은 도 9에 도시된 것과 같이 제2흡착스테이지(42)의 제1면(42a)으로부터 분리된다.Meanwhile, as described above, the area of the first adsorption stage 41 is larger than the second adsorption stage 42 and thus corresponds to most of the display panel DP, but the protective film PF has a size corresponding to the display panel DP. ) Is not only adsorbed by the first adsorption stage 41, but may be partially adsorbed by the second adsorption stage 42. Accordingly, when the first adsorption stage 41 and the second adsorption stage 42 are separated, the first surface 41a of the first adsorption stage 41 with a large contact area with the protection film PF is a protection film. The state in which the PF is adsorbed is maintained, and the protective film PF is separated from the first surface 42a of the second adsorption stage 42 as shown in FIG. 9.

따라서 보호필름(PF)의 제2흡착스테이지(42)에 의해 흡착되었던 부분은 롤러(43)에 의해 디스플레이 패널(DP)에 가압되게 된다. 그리고 이에 따라 흡착스테이지(40)가 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 시, 디스플레이 패널(DP)의 (-x 방향) 가장자리부터 중앙부를 거쳐 (+x 방향) 가장자리까지 순차적으로 보호필름(PF)이 디스플레이 패널(DP) 상에 부착되도록 할 수 있다.Accordingly, the portion of the protective film PF that has been adsorbed by the second adsorption stage 42 is pressed against the display panel DP by the roller 43. Accordingly, when the adsorption stage 40 moves in the horizontal direction (in the +x direction), the protective film PF is sequentially moved from the (-x direction) edge of the display panel DP to the center (+x direction) edge. ) May be attached to the display panel DP.

한편, 흡착스테이지(40)가 (+x 방향) 수평 방향으로 이동할 시 제2흡착스테이지(42)가 디스플레이 패널(DP)과 컨택하거나 보호필름(PF)의 디스플레이 패널(DP)에 부착된 부분에 컨택하게 되면, 디스플레이 패널(DP)이나 보호필름(PF)의 손상이 발생할 수도 있다. 따라서 흡착스테이지(40)가 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 시, 도 9에 도시된 것과 같이 제2흡착스테이지(42)는 제1흡착스테이지(41)와 달리 안착스테이지(10)의 안착면(10a)에 대해 평행한 상태로 유지되도록 할 수 있다.Meanwhile, when the adsorption stage 40 moves in the horizontal direction (+x direction), the second adsorption stage 42 contacts the display panel DP or is attached to the display panel DP of the protective film PF. Contact may cause damage to the display panel DP or the protective film PF. Therefore, when the adsorption stage 40 moves in the horizontal direction (in the +x direction), as shown in FIG. 9, the second adsorption stage 42, unlike the first adsorption stage 41, the seating stage 10 It can be kept parallel to the surface (10a).

물론 도 6 및 도 7에 도시된 것과 같은 과정을 거쳐 도 8에 도시된 것과 같이 보호필름(PF) 상의 이형지(RP)를 제거한 후, 롤러(43)를 이용하여 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착하는 것이 아니라 진공 라미네이션 방법을 이용하여 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착할 수도 있다. 이 경우 제조장치는 챔버를 더 구비하며, 이 챔버 내에 상술한 것과 같은 안착스테이지(10), 복수개의 업다운 핀(20)들, 캐리어 리무버 척(30) 및/또는 흡착스테이지(40)가 위치하도록 할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 제조장치는 통상적인 진공 라미네이터 기능까지 갖는 것일 수도 있다. 이 경우 흡착스테이지(40)는 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)로 분리되는 것이 아니라 일체화된 것일 수 있으며, 롤러(43)를 구비하지 않을 수도 있다.Of course, after removing the release paper RP on the protective film PF as illustrated in FIG. 8 through the same process as illustrated in FIGS. 6 and 7, the protective film PF is applied to the display panel using a roller 43. Instead of attaching to the DP, the protective film PF may be attached to the display panel DP using a vacuum lamination method. In this case, the manufacturing apparatus further includes a chamber, so that the seating stage 10, a plurality of up-down pins 20, the carrier remover chuck 30 and/or the adsorption stage 40 as described above are located in the chamber. can do. That is, the manufacturing apparatus according to the present embodiment may also have a conventional vacuum laminator function. In this case, the adsorption stage 40 may not be separated into the first adsorption stage 41 and the second adsorption stage 42 but may be integrated, and may not include the roller 43.

한편, 도 1을 참조하여 전술한 것과 같이 캐리어(C) 상에 형성된 디스플레이 패널(DP)을 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치시킬 시, 이송로봇의 엔드이펙터(2)를 이용하지 않고 흡착스테이지를 이용할 수도 있다. 이 흡착스테이지는 도 6에 도시된 것과 같은 보호필름(PF) 흡착용의 흡착스테이지(40)일 수도 있고 별개의 것일 수도 있다. 만일 도 6에 도시된 것과 같은 보호필름(PF) 흡착용의 흡착스테이지(40)를 이용해 캐리어(C) 상에 형성된 디스플레이 패널(DP)을 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치시킨다면, 이는 흡착스테이지(40)의 제1면(40a)인 필름흡착면(40a)이 아니라 그 반대면을 이용하는 것일 수 있다. 즉, 흡착스테이지(40)의 제1면(40a)은 필름흡착면(40a)이고, 그 반대면은 캐리어흡착면일 수 있다.Meanwhile, when placing the display panel DP formed on the carrier C on the plurality of up-down pins 20 as described above with reference to FIG. 1, the end effector 2 of the transfer robot is not used. An adsorption stage can also be used. This adsorption stage may be an adsorption stage 40 for adsorption of a protective film (PF) as shown in FIG. 6 or may be a separate one. If the display panel DP formed on the carrier C is positioned on the plurality of up-down pins 20 using the adsorption stage 40 for adsorption of the protective film PF as shown in FIG. 6, this The film adsorption surface 40a, which is the first surface 40a of the adsorption stage 40, may be used instead of the opposite surface. That is, the first surface 40a of the adsorption stage 40 may be a film adsorption surface 40a, and the opposite surface may be a carrier adsorption surface.

흡착스테이지(40)는 보호필름(PF)을 흡착할 시나 캐리어(C)를 흡착할 시나 진공흡착법을 이용해 흡착할 수 있다. 이 경우 흡착스테이지(40)의 캐리어흡착면에는 복수개의 흡착공들이 있어, 캐리어(C)가 흡착스테이지(40)의 캐리어흡착면 상에 위치한 후 흡착공들을 통해 흡착공 내의 공기를 외부로 펌핑함으로써, 캐리어(C)가 흡착스테이지(40) 상에 흡착되도록 할 수 있다. 물론 흡착스테이지(40)는 보호필름(PF)도 흡착하기에, 필름흡착면(40a)에도 복수개의 흡착공들이 존재할 수 있다.The adsorption stage 40 may be adsorbed when adsorbing the protective film PF, adsorbing the carrier C, or using a vacuum adsorption method. In this case, there are a plurality of adsorption holes on the carrier adsorption surface of the adsorption stage 40, and after the carrier C is located on the carrier adsorption surface of the adsorption stage 40, the air in the adsorption holes is pumped to the outside through the adsorption holes. , The carrier (C) can be adsorbed on the adsorption stage (40). Of course, since the adsorption stage 40 also adsorbs the protective film PF, a plurality of adsorption holes may also exist on the film adsorption surface 40a.

이때, 흡착스테이지(40)가 캐리어(C)를 흡착할 경우 캐리어(C)는 견고한 특성을 갖기에 캐리어흡착면 내의 흡착공의 개수가 많지 않더라도 펌핑을 강하게 함으로써, 디스플레이 패널(DP)이 형성된 캐리어(C)가 흡착스테이지(40)의 캐리어흡착면에 안정적으로 흡착되도록 할 수 있다. 반면, 흡착스테이지(40)가 보호필름(PF)을 흡착할 경우, 보호필름(PF)은 박형이거나 매우 플렉서블한 특성을 갖기에, 보호필름(PF)이 변형되지 않으면서도 안정적으로 흡착스테이지(40)에 의해 지지되도록 할 필요가 있다.At this time, when the adsorption stage 40 adsorbs the carrier C, the carrier C has a strong characteristic, so even if the number of adsorption holes in the carrier adsorption surface is not large, the pumping is strengthened, so that the carrier on which the display panel DP is formed. (C) can be stably adsorbed on the carrier adsorption surface of the adsorption stage 40. On the other hand, when the adsorption stage 40 adsorbs the protective film (PF), the protective film (PF) is thin or has a very flexible characteristic, so that the protective film (PF) is not deformed but the adsorption stage (40) stably Need to be supported by ).

이를 위해 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a) 내에는 복수개의 흡착공들이 존재하되, 그 수가 캐리어흡착면 내의 복수개의 흡착공들의 개수보다 더 많도록 할 수 있다. 이를 통해 흡착스테이지(40)가 보호필름(PF)을 흡착할 시, 펌핑 강도를 약하게 함으로써 보호필름(PF)의 변형을 방지하면서도 보호필름(PF)이 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 안정적으로 흡착되도록 할 수 있다.To this end, there are a plurality of adsorption holes in the film adsorption surface 40a of the adsorption stage 40, but the number of adsorption holes may be greater than the number of the plurality of adsorption holes within the carrier adsorption surface. Through this, when the adsorption stage 40 adsorbs the protective film (PF), the pumping strength is weakened to prevent deformation of the protective film (PF), while the protective film (PF) is applied to the film adsorption surface (40a) of the adsorption stage (40). ) Can be stably adsorbed.

물론 이와 같이 흡착스테이지(40)가 보호필름(PF)을 흡착할 수 있는 필름흡착면(40a)과 캐리어(C)를 흡착할 수 있는 캐리어흡착면을 모두 가질 경우, 흡착스테이지(40)가 반전이 가능하도록 할 수 있다. 이를 통해 흡착스테이지(40)가 디스플레이 패널(DP)이 형성된 캐리어(C)를 흡착할 시에는 캐리어흡착면이 (-z 방향인) 하방을 향하고, 보호필름(PF)을 흡착할 시에는 필름흡착면(40a)이 (-z 방향인) 하방을 향하도록 할 수 있다.Of course, if the adsorption stage 40 has both a film adsorption surface 40a capable of adsorbing the protective film PF and a carrier adsorption surface capable of adsorbing the carrier C, the adsorption stage 40 is reversed. You can make this possible. Through this, when the adsorption stage 40 adsorbs the carrier (C) on which the display panel (DP) is formed, the carrier adsorption surface faces downward (in the -z direction), and when adsorbs the protective film (PF), the film adsorbs. The surface 40a can be directed downward (in the -z direction).

지금까지 디스플레이 장치 제조장치에 대해 설명하였으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 예컨대 도 1 내지 도 10을 참조하여 설명한 과정을 거쳐 디스플레이 장치를 제조하는 디스플레이 장치 제조방법 역시 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.Until now, the display device manufacturing apparatus has been described, but the present invention is not limited thereto. For example, a display apparatus manufacturing method for manufacturing a display device through the process described with reference to FIGS. 1 to 10 is also considered to be within the scope of the present invention. will be.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are only exemplary, and those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. . Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

1: 프레임 2: 엔드이펙터
10: 안착스테이지 10a: 안착면
20: 업다운 핀 30: 캐리어 리무버 척
40: 흡착스테이지 40a: 필름흡착면
41: 제1흡착스테이지 42: 제2흡착스테이지
43: 롤러 51: 제1롤러
52: 제2롤러1: frame 2: end effector
10: seating stage 10a: seating surface
20: up-down pin 30: carrier remover chuck
40: adsorption stage 40a: film adsorption surface
41: first adsorption stage 42: second adsorption stage
43: roller 51: first roller
52: second roller

Claims (8)

복수개의 홀들을 가지며 디스플레이 패널이 안착될 수 있는 안착면을 상부에 갖는 안착스테이지;
상기 안착스테이지의 상기 복수개의 홀들을 통해 상기 안착면 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록 업다운 모션이 가능한 복수개의 업다운 핀들;
상기 안착스테이지의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있으며, 업 모션 시 디스플레이 패널과 컨택하고 있는 캐리어를 디스플레이 패널로부터 이격시킬 수 있는 캐리어 리무버 척; 및
제1면에 필름흡착면을 갖고, 제2면에 캐리어흡착면을 갖는, 흡착스테이지;
를 구비하는, 디스플레이 장치 제조장치.A seating stage having a plurality of holes and a seating surface on which the display panel can be seated;
A plurality of up-down pins capable of up-down motion so as not to protrude or protrude above the seating surface through the plurality of holes of the seating stage;
A carrier remover chuck positioned at the edge of the seating stage and capable of performing an up-down motion and capable of separating a carrier in contact with the display panel from the display panel during an up motion; And
An adsorption stage having a film adsorption surface on a first side and a carrier adsorption side on a second side;
A display device manufacturing apparatus comprising a. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 필름흡착면 내의 흡착공들의 개수는 상기 캐리어흡착면 내의 흡착공들의 개수보다 많은, 디스플레이 장치 제조장치.The method of claim 1,
The display device manufacturing apparatus, wherein the number of adsorption holes in the film adsorption surface is greater than the number of adsorption holes in the carrier adsorption surface. 제1항에 있어서,
상기 흡착스테이지는 반전이 가능한, 디스플레이 장치 제조장치.The method of claim 1,
The adsorption stage is reversible, display device manufacturing apparatus. 복수개의 홀들을 가지며 디스플레이 패널이 안착될 수 있는 안착면을 상부에 갖는 안착스테이지;
상기 안착스테이지의 상기 복수개의 홀들을 통해 상기 안착면 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록 업다운 모션이 가능한 복수개의 업다운 핀들;
상기 안착스테이지의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있으며, 업 모션 시 디스플레이 패널과 컨택하고 있는 캐리어를 디스플레이 패널로부터 이격시킬 수 있는 캐리어 리무버 척; 및
제1면에 필름흡착면을 갖는 흡착스테이지;
를 구비하고, 상기 흡착스테이지는,
제1흡착스테이지;
상기 제1흡착스테이지와 결합되거나 상기 제1흡착스테이지로부터 분리될 수 있으며, 상기 제1흡착스테이지의 면적보다 좁은 면적을 갖는, 제2흡착스테이지; 및
롤러;
를 포함하며, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 결합되어 있을 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지의 제1면과 상기 제2흡착스테이지의 제1면을 포함하는 상기 필름흡착면의 반대면 상에 위치하고, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 분리될 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지 사이의 공간으로 이동하여 상기 필름흡착면에서 노출되는, 디스플레이 장치 제조장치.A seating stage having a plurality of holes and a seating surface on which the display panel can be seated;
A plurality of up-down pins capable of up-down motion so as not to protrude or protrude above the seating surface through the plurality of holes of the seating stage;
A carrier remover chuck positioned at the edge of the seating stage and capable of performing an up-down motion and capable of separating a carrier in contact with the display panel from the display panel during an up motion; And
An adsorption stage having a film adsorption surface on the first side;
And the adsorption stage,
A first adsorption stage;
A second adsorption stage that is coupled to the first adsorption stage or may be separated from the first adsorption stage and has an area smaller than that of the first adsorption stage; And
Roller;
Including, and when the first adsorption stage and the second adsorption stage are combined, the roller is the film adsorption surface including the first side of the first adsorption stage and the first side of the second adsorption stage The display is located on the opposite side, and when the first adsorption stage and the second adsorption stage are separated, the roller moves to the space between the first adsorption stage and the second adsorption stage and is exposed from the film adsorption surface Device manufacturing device. 제5항에 있어서,
상기 흡착스테이지는 상기 제1흡착스테이지가 상기 안착면에 대해 기울어진 각도를 유지한 채 수평 방향으로 이동할 수 있는, 디스플레이 장치 제조장치.The method of claim 5,
The adsorption stage is a display device manufacturing apparatus capable of moving in a horizontal direction while maintaining an inclined angle with respect to the seating surface of the first adsorption stage. 제6항에 있어서,
상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 제2흡착스테이지는 상기 안착면에 대해 평행한 상태인, 디스플레이 장치 제조장치.The method of claim 6,
When the adsorption stage moves in a horizontal direction, the second adsorption stage is in a state parallel to the seating surface. 제6항에 있어서,
상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 롤러는 상기 흡착스테이지가 흡착한 필름을 상기 안착스테이지에 안착된 디스플레이 패널 상으로 가압하는, 디스플레이 장치 제조장치.The method of claim 6,
When the adsorption stage moves in a horizontal direction, the roller presses the film adsorbed by the adsorption stage onto a display panel mounted on the seating stage.
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