JP4478557B2 - Large pellicle, pellicle transport method, pellicle case, and pellicle transfer device - Google Patents
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Description
本発明は主として液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造工程において、露光用原版として使用される大型フォトマスク（以後、単に「マスク」とも記す。）の表面に装着し、パターン面のゴミよけとして使用される大型ペリクル（以後、単に「ペリクル」とも記す。）、その大型ペリクルの搬送方法、大型ペリクルの収納用ケース及び大型ペリクルの移載装置に関する。 The present invention is mainly attached to the surface of a large photomask (hereinafter also simply referred to as “mask”) used as an exposure master plate in the manufacturing process of a flat panel display such as a liquid crystal display to prevent dust on the pattern surface. The present invention relates to a large pellicle used (hereinafter also simply referred to as “pellicle”), a method for transporting the large pellicle, a case for storing the large pellicle, and a transfer device for the large pellicle.
ペリクルは、通常、金属製のペリクルフレーム（以後、単に「フレーム」とも記す。）の上面に透明な高分子薄膜が貼り渡されたものであり、フレーム下面の粘着剤でマスクに粘着することにより、露光時に結像するパターンの近傍空間をペリクル膜とフレームによって囲み、外部のゴミから遮断する機能を有するものである。
従来の大型ペリクルの構造を図１６に、従来の大型ペリクルを収納するためのペリクルケースの形態を図１７に、従来の大型ペリクルがマスクに装着された状態を図１８に示す。
A pellicle is usually a metal pellicle frame (hereinafter also simply referred to as “frame”) with a transparent polymer thin film pasted on it, and adheres to the mask with an adhesive on the bottom of the frame. The space near the pattern to be imaged at the time of exposure is surrounded by a pellicle film and a frame, and has a function of blocking external dust.
FIG. 16 shows the structure of a conventional large pellicle, FIG. 17 shows the configuration of a pellicle case for housing the conventional large pellicle, and FIG. 18 shows a state where the conventional large pellicle is mounted on a mask.
図１６（ａ）は従来の大型ペリクル１６０の側面図であり、図１６（ｂ）は下面図である。従来の大型ペリクル１６０は、フレーム１６１上面にペリクル膜１６２が接着されており、フレーム下面にはマスク貼り付け用粘着剤１６３が形成されており、マスクに貼る前までは粘着剤保護用フィルム１６４が設けられている。図１７は、従来の大型ペリクルケース１７０に従来の大型ペリクル１６０を収納した状態で、ペリクルケース１７０はトレー１７１と上蓋１７２から形成されている。 16A is a side view of a conventional large pellicle 160, and FIG. 16B is a bottom view thereof. A conventional large pellicle 160 has a pellicle film 162 bonded to the upper surface of a frame 161, and a mask adhesive 163 is formed on the lower surface of the frame, and the adhesive protective film 164 is formed before being applied to the mask. Is provided. FIG. 17 shows a state in which a conventional large pellicle 160 is housed in a conventional large pellicle case 170, and the pellicle case 170 is formed of a tray 171 and an upper lid 172.
大型ペリクルはペリクルメーカーにて製造し、マスク粘着用粘着面に保護フィルムが貼られ、ケースに入れてマスクメーカーに出荷されていた。マスクメーカーでは、人間が清浄な手袋を装着した手で直に、あるいは、専用のハンドリング治具を使用して、ペリクルを保持、搬送、検査していた。更に、ペリクル検査後、保護フィルムを剥離し、ペリクル装着装置にペリクルをセットし、マスクをペリクル装着装置にセットした後、両者を圧着して、図１８に示すように、ペリクル１６０をマスク１８０表面に接着していた。ペリクル装着後、ゴミの検査を実施し、ペリクル内に規格外のゴミが発見された場合は、ペリクルを剥離し、再度、マスクを洗浄後、新たなペリクルを準備して、再度装着を行っていた。ゴミが規格内であれば、合格品として液晶ディスプレイメーカー等に出荷していた。 Large pellicles were manufactured by a pellicle manufacturer, and a protective film was applied to the adhesive surface for mask adhesion, and they were shipped to the mask manufacturer in a case. At mask manufacturers, humans held, transported, and inspected pellicles directly with hands wearing clean gloves or using a dedicated handling jig. Further, after the pellicle inspection, the protective film is peeled off, the pellicle is set on the pellicle mounting apparatus, the mask is set on the pellicle mounting apparatus, and both are pressure-bonded. As shown in FIG. It was adhered to. After the pellicle is mounted, dust is inspected. If nonstandard dust is found in the pellicle, the pellicle is peeled off, the mask is washed again, a new pellicle is prepared, and the pellicle is mounted again. It was. If the garbage was within the standard, it was shipped as an acceptable product to LCD manufacturers.
近年、ディスプレイサイズの大型化に伴い、その原版となるフォトマスクも１辺が１ｍを超えるレベルまで大型化し、ペリクルも同様に大型化している。大型化により、フォトマスク及びペリクルを、ゴミを付着させずに搬送し、フォトマスクを製造することが非常に困難なものになっている。 In recent years, with an increase in display size, a photomask serving as an original plate has also increased in size to a level exceeding 1 m on one side, and a pellicle has also increased in size. Due to the increase in size, it is very difficult to manufacture the photomask by transporting the photomask and pellicle without adhering dust.
従来の大型ペリクルでは、粘着剤やペリクル膜の付いていないフレームの側面を利用してペリクルをハンドリングしている。搬送しやすくするためにペリクルフレームの側面に小さな溝や凹みをつけ、当該溝等に専用の治具を装着してハンドリングすることが行われている。しかしながら、ペリクル全体は巨大であるのに対し、フレームの高さは７ｍｍ程度と小さく、治具を装着すること自体が困難であった。また、ペリクル装着装置においては、ペリクル側面を保持し、正確に位置を決めるために使用するため、受け渡しに使用できる側面の領域が限られ、治具の使用が困難であった。以上の理由から、大型ペリクル装着作業において、治具の使用や自動化は進んでおらず、主に人間が直接手でハンドリングしていた。 In a conventional large pellicle, the pellicle is handled by using the side surface of the frame without an adhesive or a pellicle film. In order to facilitate conveyance, a small groove or dent is formed on the side surface of the pellicle frame, and handling is performed by attaching a dedicated jig to the groove or the like. However, while the entire pellicle is huge, the frame height is as small as about 7 mm, and it is difficult to mount the jig itself. In addition, since the pellicle mounting apparatus is used to hold the pellicle side surface and accurately determine the position, the area of the side surface that can be used for delivery is limited, making it difficult to use a jig. For the above reasons, the use and automation of jigs have not progressed in large pellicle mounting work, and humans have mainly handled them directly by hand.
しかしながら、大型ペリクルはその大きさゆえにゴミをゼロにして装着することが難しく、特に人間が直接搬送した場合、人間はゴミの大きな発生源のひとつとなるため、ペリクル内にゴミが混入しやすく、装着後の検査で不合格が発生していた。不合格の場合、ペリクルは剥離して、再度、装着作業を行う必要があった。 However, because of the size of the large pellicle, it is difficult to install it with zero dust, especially when people directly transport it, because humans are one of the big sources of dust, so it is easy for dust to enter the pellicle, A failure occurred during the inspection after installation. In the case of failure, the pellicle had to be peeled off and the mounting operation had to be performed again.
また、大型ペリクルにおいては、フレームが大きく、重量があるため、露光使用時の落下事故を防ぐためにマスクに強力に粘着する必要があった。従って、装着失敗時に剥離することが非常に困難であった。通常、溶剤に浸漬して粘着剤を溶解したり、フレームをテコなどを用いて、強い力で引き剥がすことによってペリクルを剥離するが、剥離したペリクルはもはや再利用が不可能であった。また、場合によっては、剥離作業によって高価なマスク自体に損傷を与える可能性があった。また、ペリクル自体が高価で、装着失敗によるロスが大きかった。 In addition, since a large pellicle has a large frame and is heavy, it has to be strongly adhered to the mask in order to prevent a drop accident during exposure use. Therefore, it was very difficult to peel off when mounting failed. Usually, the pellicle is peeled off by immersing it in a solvent to dissolve the adhesive, or peeling the frame with a strong force using a lever or the like, but the peeled pellicle can no longer be reused. Further, in some cases, the expensive mask itself may be damaged by the peeling operation. Also, the pellicle itself was expensive, and the loss due to mounting failure was large.
この対策として、半導体集積回路装置用のペリクルにおいては、例えば、粘着剤をフレームの下面の全面に形成された第１の接着剤層と、該第１の接着層の表面から突出する第１の接着剤層より狭い第２の接着剤層の2層構造とし、第2の接着層で仮に装着した状態にて異物検査を行い、規格を満たしている場合は、より大きな押し圧力を加えて本接着して合格品として出荷し、規格外の場合には剥がす方法が考えられた（特許文献１参照）。
しかしながら、特許文献１に記載された方法では、１層目の粘着剤の上に２層目の狭い粘着剤を平滑に精度よく形成するのが困難であり、また、仮に装着した状態のペリクルを引き剥がして剥離する際、本接着用の粘着剤にも応力がかかるため、粘着層が変形し、再利用できなくなるといった問題があった。そのため、特に大型ペリクルにおいては大面積に渡って粘着面の平面度を維持する必要があり、適用が困難であった。 However, in the method described in Patent Document 1, it is difficult to form a second layer of narrow adhesive on the first layer of adhesive smoothly and accurately. When peeling off and peeling off, the pressure-sensitive adhesive for main adhesion is also stressed, so that the pressure-sensitive adhesive layer is deformed and cannot be reused. For this reason, particularly in a large pellicle, it is necessary to maintain the flatness of the adhesive surface over a large area, which makes it difficult to apply.
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、大型化するペリクルを簡便な作業で高品質な状態で装着できる手法を提供するものであり、そのための大型ペリクル、大型ペリクルの搬送方法、大型ペリクルを収納するペリクルケース、大型ペリクルの移載装置を提供するものである。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and its purpose is to provide a technique capable of mounting a pellicle to be enlarged in a high-quality state with a simple operation. The present invention provides a method for transporting a large pellicle, a pellicle case for storing the large pellicle, and a transfer device for the large pellicle.
請求項１の発明は、ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設けた大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面は少なくとも２つの領域に分けられ、それぞれの領域は前記ペリクルフレームを最終的にフォトマスクに接着させるための第１の粘着面と、該第１の粘着面より突出させて、前記ペリクルフレームを一時的に固定するための第２の粘着面とを有しており、前記第１の粘着面は、前記フォトマスクと前記第２の粘着面との仮貼り時に、前記フォトマスクと接着しない位置に形成されていることを特徴とする。
The invention according to claim 1, in a large pellicle to a pellicle frame upper surface provided with a pellicle membrane, the pellicle frame lower surface is divided into at least two regions, each region for bonding to the final photomask said pellicle frame A first adhesive surface, and a second adhesive surface that protrudes from the first adhesive surface and temporarily fixes the pellicle frame, and the first adhesive surface includes: It is characterized in that it is formed at a position where it does not adhere to the photomask when the photomask and the second adhesive surface are temporarily attached .
請求項２の発明は、請求項１に記載の大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面に段差を設け、前記段差の凹部に前記第１の粘着面を形成し、前記段差の凸部に前記第２の粘着面を形成したことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the large pellicle according to the first aspect, a step is provided on a lower surface of the pellicle frame, the first adhesive surface is formed in a concave portion of the step, and the second pellicle is formed in the convex portion of the step. This is characterized in that an adhesive surface is formed.
請求項３の発明は、請求項２に記載の大型ペリクルにおいて、前記段差が、前記ペリクルフレーム下面の内周部と外周部との間に設けられたものであることを特徴とする。 A third aspect of the present invention is the large pellicle according to the second aspect, wherein the step is provided between an inner peripheral portion and an outer peripheral portion of the lower surface of the pellicle frame.
請求項４の発明は、請求項２に記載の大型ペリクルにおいて、前記段差が、前記ペリクルフレーム下面の全周に渡って横断する方向に設けられたものであることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the large pellicle according to the second aspect, the step is provided in a direction that traverses the entire circumference of the lower surface of the pellicle frame.
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の大型ペリクルにおいて、前記第２の粘着面が、前記ペリクルフレーム下面に部分的に形成されたものであることを特徴とする。 The invention according to claim 5 is the large pellicle according to any one of claims 1 to 4, wherein the second adhesive surface is partially formed on the lower surface of the pellicle frame. To do.
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルの搬送方法において、前記ペリクルフレーム下面に形成された前記第２の粘着面を、ペリクルキャリアに設けられた平面に粘着させて前記大型ペリクルを固定し、前記ペリクルキャリアを人間あるいは装置が保持して、搬送あるいは固定させることを特徴とする。 A sixth aspect of the present invention is the method for transporting a large pellicle according to any one of the first to fifth aspects, wherein the second adhesive surface formed on the lower surface of the pellicle frame is a plane provided on the pellicle carrier. The large pellicle is fixed by adhering to the substrate, and the pellicle carrier is held or held by a person or an apparatus to be transported or fixed.
請求項７の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを収納し、トレーと上蓋とを有するペリクルケースにおいて、ペリクルキャリアの固定部を有し、前記大型ペリクルが取り付けられた前記ペリクルキャリアごと固定して収納することを特徴とする。
The invention of claim 7, houses a large pellicle according to any one of claims 1 to 5, in pellicle case having a tray and the upper cover has a fixed part of the pellicle carrier, the large pellicle The mounted pellicle carrier is fixed and stored.
請求項８の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを収納し、トレーと上蓋とを有するペリクルケースにおいて、前記トレーの一部に平滑面を有し、フレーム下面の前記第２の粘着面を前記平滑面に粘着させ、前記第１の粘着面と前記平滑面との間に隙間を設けて収納することを特徴とする。 The invention according to claim 8 is a pellicle case that houses the large pellicle according to any one of claims 1 to 5 and includes a tray and an upper lid, and has a smooth surface on a part of the tray, The second adhesive surface is adhered to the smooth surface, and is stored with a gap provided between the first adhesive surface and the smooth surface.
請求項９の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを移載する装置において、ペリクルキャリアあるいはペリクルケースを載置するステージと、フォトマスクを載置するステージと、大型ペリクルをフレーム側面でクランプして移動させる搬送機とを有し、前記いずれか一方のステージ上のペリクルキャリアあるいはペリクルケースあるいはフォトマスク上から前記第２の粘着面にて貼り付けて固定した前記大型ペリクルを引き剥がし、他方のステージ上のフォトマスクあるいはペリクルキャリアあるいはペリクルケースに載せ替える機構を有することを特徴とする。 The invention of claim 9 is an apparatus for transferring a large pellicle according to any one of claims 1 to 5, wherein a stage for mounting a pellicle carrier or a pellicle case, a stage for mounting a photomask, A transfer machine that clamps and moves a large pellicle on the side of the frame, and is fixed on the pellicle carrier, pellicle case, or photomask on either one of the stages by attaching to the second adhesive surface It has a mechanism for peeling off a large pellicle and replacing it with a photomask, pellicle carrier or pellicle case on the other stage.
本発明の大型ペリクルを用いることにより、従来、困難であった、大型ペリクルの装着作業を簡便に行うことができ、また、装置での取り扱いが容易になるため自動化が進むという効果が得られる。また、マスクに仮に接着した状態にて、検査を行うことにより、ゴミや位置ずれといった問題があった場合でも、ペリクル装着作業をやり直すことができ、ペリクルは再利用可能である。そのため、高価な大型ペリクルの不良を低減することが可能となる。また、高価なマスクを損傷させることなく、ペリクル装着作業をやり直すことができる。 By using the large pellicle of the present invention, it is possible to easily carry out the mounting operation of the large pellicle, which has been difficult in the past, and it is easy to handle with the apparatus, so that the effect of automation is obtained. Further, by performing the inspection with the mask temporarily adhered, even if there is a problem such as dust or misalignment, the pellicle mounting operation can be performed again, and the pellicle can be reused. Therefore, it is possible to reduce the defects of expensive large pellicles. Further, the pellicle mounting operation can be performed again without damaging the expensive mask.
本発明の搬送方法によれば、ペリクルキャリアの構造が簡単になり、キャリアにペリクルをクランプする機構が不要となる。ペリクルのペリクルキャリアへの着脱が容易になる。また、大型ペリクルをペリクルキャリアに固定して、人間あるいは装置が保持して搬送したり、取扱いをすることが容易になる。さらに、ペリクルキャリアの穴を利用して、ペリクル検査装置等に自動的に設置することが可能となる。 According to the transport method of the present invention, the structure of the pellicle carrier is simplified, and a mechanism for clamping the pellicle to the carrier becomes unnecessary. The pellicle can be easily attached to and detached from the pellicle carrier. In addition, it becomes easy to hold a large pellicle on a pellicle carrier so that it can be held and transported or handled by a person or apparatus. Furthermore, it is possible to automatically install the pellicle inspection apparatus or the like using the hole of the pellicle carrier.
本発明のペリクルケースによれば、大型ペリクルをペリクルキャリアごと収納したり、あるいはトレーに固定して収納することにより、搬送が容易で、塵埃の付着を低減させることが可能となる。また、ペリクルの移し変えなしに、キャリアでの作業が可能となる。さらに、粘着剤保護フィルムが不要となり、保護フィルムの取り付け、取り外し作業が不要となる。 According to the pellicle case of the present invention, by storing the large pellicle together with the pellicle carrier or by fixing it to the tray, it can be easily transported and the adhesion of dust can be reduced. In addition, it is possible to work with a carrier without changing the pellicle. Furthermore, the pressure-sensitive adhesive protective film becomes unnecessary, and the work for attaching and removing the protective film becomes unnecessary.
本発明の移載装置によれば、大型ペリクルを仮に接着した状態から引き剥がし、フォトマスクあるいはペリクルキャリアあるいはペリクルケースに載せ替えることが容易になり、塵埃の付着を低減させることが可能となる。また、本発明の移載装置は高圧機構を必要とせず、装置機構は簡単で、ペリクル装着作業コストを低減できる。 According to the transfer device of the present invention, it is possible to easily peel off a large pellicle from a temporarily adhered state and place it on a photomask, a pellicle carrier, or a pellicle case, thereby reducing dust adhesion. Further, the transfer apparatus of the present invention does not require a high-pressure mechanism, the apparatus mechanism is simple, and the pellicle mounting work cost can be reduced.
（大型ペリクル)
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明の一例を示す大型ペリクル１０のペリクルフレーム１１付近の拡大断面模式図である。図１（ａ）は、大型ペリクル１０をフォトマスク１２に仮貼りをした状態を示し、図１（ｂ）は本貼りをした状態を示す。図１を例として、さらに詳しく説明する。
(Large pellicle)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an enlarged schematic sectional view of the vicinity of a pellicle frame 11 of a large pellicle 10 showing an example of the present invention. FIG. 1A shows a state in which the large pellicle 10 is temporarily attached to the photomask 12, and FIG. This will be described in more detail with reference to FIG.
図１（ａ）、図１（ｂ）に示す本発明の大型ペリクル１０は、フレーム１１上面にペリクル膜１３が設けられており、フレーム１１の下面は２つの領域に分けられ、最終的にフレーム１１をマスク１２と接着するための第１の粘着面（以後、「本接着用粘着面」とも呼ぶ。）１４がフレーム１１の下面内周側に形成されており、それとは別に、フレーム１１を一時的に固定するための第２の粘着面（以後、「仮固定用粘着面」とも呼ぶ。）１５がフレーム１１の下面外周側に形成されている。第１の粘着面１４の幅と、第２の粘着面１５の幅は任意に設定できる。本発明においては、本接着用粘着面とする第１の粘着面１４に用いる粘着剤としては、発塵の少ない粘着剤が好ましい。 In the large pellicle 10 of the present invention shown in FIGS. 1A and 1B, a pellicle film 13 is provided on the upper surface of the frame 11, and the lower surface of the frame 11 is divided into two regions. A first adhesive surface 14 (hereinafter also referred to as “adhesive adhesive surface”) 14 for bonding 11 to the mask 12 is formed on the inner peripheral side of the lower surface of the frame 11. A second adhesive surface (hereinafter also referred to as “temporary fixing adhesive surface”) 15 for temporarily fixing is formed on the outer peripheral side of the lower surface of the frame 11. The width of the first adhesive surface 14 and the width of the second adhesive surface 15 can be arbitrarily set. In the present invention, the pressure-sensitive adhesive used for the first pressure-sensitive adhesive surface 14 as the pressure-sensitive adhesive surface for adhesion is preferably a pressure-sensitive adhesive with little dust generation.
図２は、本発明の大型ペリクル１０を用いた作業工程を示すフローチャートである。
図１（ａ）に示すように、本発明の大型ペリクル１０をフォトマスク１２に第２の粘着面１５を用いて押し付け強度を低くして仮貼りし、仮固定する。この段階では、第１の粘着面１４はフォトマスク１２とは接着されていない。
FIG. 2 is a flowchart showing an operation process using the large pellicle 10 of the present invention.
As shown in FIG. 1A, a large pellicle 10 of the present invention is temporarily attached to a photomask 12 with a second adhesive surface 15 with a low pressing strength and temporarily fixed. At this stage, the first adhesive surface 14 is not bonded to the photomask 12.
次に、仮貼りした状態で、図２に示すように、外観検査機によりフォトマスク１２を検査する。外観検査結果が合格と判定された場合には、図１（ｂ）に示すように、大型ペリクル１０を第１の粘着面１４を用いてフォトマスク１２に強力に押し付けて、仮固定用粘着層を押しつぶし、本接着用粘着剤にて強力にマスクに粘着させ本固定する。 Next, in the temporarily attached state, as shown in FIG. 2, the photomask 12 is inspected by an appearance inspection machine. If it is determined that the appearance inspection result is acceptable, the large pellicle 10 is strongly pressed against the photomask 12 using the first adhesive surface 14 as shown in FIG. Crush and firmly adhere to the mask with the adhesive for permanent adhesion.
上記の外観検査機による検査結果で不合格と判定された場合には、大型ペリクル１０をフォトマスク１２から剥離する。本発明では、大型ペリクル１０は仮貼りした状態なので、大型ペリクル１０、フォトマスク１２の双方に損傷を与えずに、容易に剥離することが可能である。大型ペリクル１０は再利用に回され装着作業をやり直すことができる。一方、フォトマスク１２は再洗浄し、再び仮貼り付け工程に戻る。この際、粘着剤は押し付け強度を低くして接着されていたので、フォトマスク１２の再洗浄は容易となる。 When it is determined that the inspection result by the appearance inspection machine is not acceptable, the large pellicle 10 is peeled off from the photomask 12. In the present invention, since the large pellicle 10 is temporarily attached, it can be easily peeled without damaging both the large pellicle 10 and the photomask 12. The large pellicle 10 can be reused and the mounting operation can be performed again. On the other hand, the photomask 12 is washed again, and the process returns to the temporary attachment step. At this time, since the pressure-sensitive adhesive is bonded with a low pressing strength, the photomask 12 can be easily re-cleaned.
次に、大型ペリクル１０をフォトマスク１２に本貼り付けした後、検査の完璧をなすために、再度外観検査機により検査を行なう。ここで良いと判定された場合には、出荷される。万一、検査で不良となった場合には、大型ペリクル１０とフォトマスク１２を剥離するが、粘着面１４は押し付け強度を高くして本貼りされた後なので、大型ペリクル１０は破損を生じているので、破棄される。一方、フォトマスク１２は再洗浄して最初の工程に戻る。
以上が本発明の大型ペリクル１０の作業工程であり、仮貼り付け工程とその直後の外観検査工程を有し、大型ペリクル１０を再利用し得ることが特徴である。
Next, after the large pellicle 10 is permanently attached to the photomask 12, in order to complete the inspection, the inspection is again performed by the appearance inspection machine. If it is determined to be good, the product is shipped. In the unlikely event that it becomes defective in the inspection, the large pellicle 10 and the photomask 12 are peeled off. However, since the adhesive surface 14 has been stuck with a high pressing strength, the large pellicle 10 is damaged. Because it is destroyed. On the other hand, the photomask 12 is re-cleaned and returns to the first step.
The above is the work process of the large pellicle 10 according to the present invention, which is characterized in that it has a temporary attaching process and an appearance inspection process immediately after that, and the large pellicle 10 can be reused.
本発明においては、図１に示した本接着用粘着面と仮固定用粘着面の位置を入れ替えて、フレーム下面内周側に仮接着用粘着面を形成し、フレーム下面外周側に本接着用粘着面を形成する大型ペリクルの形態も可能である。 In the present invention, the positions of the pressure-sensitive adhesive surface for main bonding and the pressure-sensitive adhesive surface for temporary fixing shown in FIG. 1 are switched to form a pressure-sensitive adhesive surface for temporary bonding on the inner peripheral side of the lower surface of the frame, and for the main bonding on the outer peripheral side of the lower surface of the frame. A large pellicle that forms an adhesive surface is also possible.
また、フレーム下面に段差を設け、段差の凹部に第１の粘着面を形成し、段差の凸部に第２の粘着面を形成する大型ペリクルの形態も可能である。上記の段差を設ける場合、段差は、ペリクルフレーム下面の内周部と外周部との間に設ける形態が可能であり、塵埃の進入を防止する点からは外周部を凸部とし仮接着用粘着面を形成するのがより好ましい。本形態の場合には、段差はフレームの幅方向の任意の位置に設けることができる。 In addition, a large pellicle may be used in which a step is provided on the lower surface of the frame, a first adhesive surface is formed in the concave portion of the step, and a second adhesive surface is formed in the convex portion of the step. When the above step is provided, the step can be provided between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the lower surface of the pellicle frame. From the viewpoint of preventing the ingress of dust, the outer peripheral portion is a convex portion and the adhesive for temporary bonding is used. More preferably, the surface is formed. In the case of this embodiment, the step can be provided at an arbitrary position in the width direction of the frame.
また、別な形態として、段差は、ペリクルフレーム下面の全周に渡って横断する方向に複数の段差を設け、複数の凹凸部を形成する形態とすることも可能である。本形態の場合には、段差はフレームの全周方向の直角方向に設けるのが好ましいが、それに限定されず角度をもたせることも可能である。本形態における段差の数、位置は任意に設定できる。この場合、ペリクルフレーム下面の全周に渡って均一な粘着剤を塗布し、段差の凹部を本接着用粘着面とし、段差の凸部を仮接着用粘着面とすることができる。 Further, as another form, the step may be formed such that a plurality of steps are provided in a direction traversing the entire circumference of the lower surface of the pellicle frame to form a plurality of uneven portions. In the case of this embodiment, the step is preferably provided in a direction perpendicular to the entire circumferential direction of the frame, but the present invention is not limited to this, and an angle can be provided. The number and position of steps in this embodiment can be set arbitrarily. In this case, a uniform pressure-sensitive adhesive can be applied over the entire periphery of the lower surface of the pellicle frame, and the stepped recesses can be used as the main bonding pressure-sensitive adhesive surface, and the stepped projections can be used as the temporary bonding pressure-sensitive adhesive surface.
また、本発明においては、仮接着用粘着面は必ずしもペリクルフレーム下面全周に渡って形成されていなくてもよく、部分的に形成されたものであってもよい。 In the present invention, the temporary adhesion pressure-sensitive adhesive surface does not necessarily have to be formed over the entire periphery of the lower surface of the pellicle frame, and may be partially formed.
（大型ペリクルの搬送方法）
本発明の大型ペリクルの搬送方法においては、ペリクルフレーム下面に形成された第２の粘着面を、ペリクルキャリア（以後、単に「キャリア」とも記す。）に設けられた平面に一時的に粘着させて大型ペリクルを固定し、ペリクルキャリアを人間あるいは装置が保持して、大型ペリクル搬送作業および装着作業を容易にするものである。
本発明の大型ペリクルは、大型ペリクルを搬送する際に、搬送機側に大型ペリクルをクランプする機構が不要であり、大型ペリクルの第２の粘着面を用いてペリクルキャリアに軽く押し付けることにより平面に固定され、軽く引きはがすことにより平面から容易に取り外すことが可能である。また、フレームの側面を使用することがないので、他の側面を保持する機構を有する装置、たとえばペリクル装着装置、と直接に受け渡すことが可能である。
(Large pellicle transport method)
In the method for transporting a large pellicle of the present invention, the second adhesive surface formed on the lower surface of the pellicle frame is temporarily adhered to a plane provided on the pellicle carrier (hereinafter also simply referred to as “carrier”). A large pellicle is fixed and a pellicle carrier is held by a person or an apparatus to facilitate a large pellicle transport operation and a mounting operation.
The large pellicle of the present invention does not require a mechanism for clamping the large pellicle to the transfer machine side when the large pellicle is conveyed, and is flattened by lightly pressing the pellicle carrier using the second adhesive surface of the large pellicle. It is fixed and can be easily removed from the flat surface by lightly peeling. Further, since the side surface of the frame is not used, it can be directly transferred to a device having a mechanism for holding the other side surface, such as a pellicle mounting device.
（ペリクルケース）
本発明の大型ペリクルを収納するための本発明のペリクルケースの第１の形態は、大型ペリクルをペリクルキャリアに仮固定用粘着面にて固定し、ペリクルキャリアごと大型ペリクルを収納するものである。ペリクルメーカーにてペリクルキャリアを使用してペリクル検査を行ったのち、本発明のペリクルケースに収納してマスクメーカーに供給することにより、マスクメーカーでは大型ペリクルを新たなペリクルキャリアに載せ替えることなく、検査、装着作業を行うことができる。
(Pellicle case)
In a first embodiment of the pellicle case of the present invention for storing the large pellicle of the present invention, the large pellicle is fixed to the pellicle carrier with an adhesive surface for temporary fixing, and the large pellicle is stored together with the pellicle carrier. After carrying out the pellicle inspection using the pellicle carrier at the pellicle manufacturer and storing it in the pellicle case of the present invention and supplying it to the mask manufacturer, the mask manufacturer does not replace the large pellicle with a new pellicle carrier, Inspection and installation work can be performed.
本発明の大型ペリクルを収納するための本発明のペリクルケースの第２の形態は、仮固定用粘着面にて、ペリクルケース内に作られた平面に粘着して固定し、搬送されるものである。上記のペリクルケースを使用することにより、最終的にマスクに粘着する本接着用粘着面は平面との間に隙間が設けられて保護されるため、保護シートをつける必要がなくなる。これにより、大型ペリクル装着時に保護シートを剥離するという作業が不要になるため、作業によるゴミの付着や、ペリクル膜に傷をつけるといった事故が防止できる。更に、保護シートの剥離が排除されるため、大型ペリクル装着の自動化が容易になる。 The second embodiment of the pellicle case of the present invention for storing the large pellicle of the present invention is to be adhered and fixed to a flat surface formed in the pellicle case with a temporary fixing adhesive surface, and conveyed. is there. By using the pellicle case described above, the adhesive surface for final adhesion that adheres to the mask is protected by providing a gap with the flat surface, so that it is not necessary to attach a protective sheet. This eliminates the need to remove the protective sheet when the large pellicle is mounted, thereby preventing accidents such as dust adhering to the work or scratching the pellicle film. Furthermore, since peeling of the protective sheet is eliminated, it is easy to automate the mounting of a large pellicle.
（ペリクル移載装置）
本発明のペリクル移載装置は、上記のペリクルキャリアあるいはペリクルケースを載置するステージと、マスクを載置するステージを設け、一方から他方に大型ペリクルを移し変えるものである。移し変え前後とも、仮固定用粘着面にて大型ペリクルを粘着し固定する。この場合、高い押し付け圧力を使用しないため、装置の構造が簡単になる。また、大型ペリクルをマスク上に移し変えた後、ゴミや大型ペリクルの位置等の検査を行い、規格外であれば、再度、ペリクル移載装置にて、大型ペリクルをマスク上からペリクルキャリアまたはペリクルケースに戻すことができる。この場合、大型ペリクルに問題がなければ再利用が可能となる。検査結果が規格内であれば別の高い圧力をかけることのできる圧着装置にて、大型ペリクルをマスクに強く押し付け、本接着用粘着剤にてマスクに接着して、装着作業を完了する。
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
(Pellicle transfer device)
The pellicle transfer apparatus of the present invention is provided with a stage for mounting the above-mentioned pellicle carrier or pellicle case and a stage for mounting a mask, and transfers a large pellicle from one to the other. Before and after the transfer, the large pellicle is adhered and fixed on the temporary fixing adhesive surface. In this case, since the high pressing pressure is not used, the structure of the apparatus is simplified. Also, after transferring the large pellicle onto the mask, the position of the dust and large pellicle is inspected. If it is out of specification, the large pellicle is transferred again from the mask to the pellicle carrier or pellicle using the pellicle transfer device. Can be returned to the case. In this case, if there is no problem with the large pellicle, it can be reused. If the inspection result is within the standard, a large pressure pellicle is strongly pressed against the mask with a crimping device that can apply another high pressure, and is adhered to the mask with the adhesive for this bonding to complete the mounting operation.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
(大型ペリクル)
大型ペリクルとして、液晶ディスプレイ製造に使用されるフォトマスクに装着するために、大きさが縦７８３ｍｍ、横１１３６ｍｍ、フレームの幅が１０ｍｍ、高さが７ｍｍ、重量が７００ｇの大型ペリクルを使用した。
(Large pellicle)
As a large pellicle, a large pellicle having a size of 783 mm in length, 1136 mm in width, a width of 10 mm, a height of 7 mm, and a weight of 700 g was used for mounting on a photomask used for manufacturing a liquid crystal display.
<第１の実施例>
図３は、本発明の大型ペリクルの第１の実施例であり、図３（ｂ）は上面にペリクル膜３３を有するフレーム３１の粘着面側から大型ペリクル３０を見た下面図であり、図３（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
フレーム３１の下面を内周部と外周部で２分割し、内周部に本接着用粘着剤を１ｍｍの厚みで塗布して第１の粘着面３４を形成し、外周部に仮固定用粘着剤層を１．５ｍｍの厚みで塗布して第２の粘着面３５を形成した。仮固定用粘着剤の配合を調整し、１ｋｇの荷重で容易にマスク表面から剥離ができるようにした。
<First embodiment>
FIG. 3 is a first embodiment of the large pellicle of the present invention, and FIG. 3B is a bottom view of the large pellicle 30 as viewed from the adhesive surface side of the frame 31 having the pellicle film 33 on the upper surface. 3 (a) is a cross-sectional view along AA ′.
The lower surface of the frame 31 is divided into an inner peripheral portion and an outer peripheral portion, and a first adhesive surface 34 is formed on the inner peripheral portion by coating the main adhesive with a thickness of 1 mm, and a temporary fixing adhesive is applied to the outer peripheral portion. The agent layer was applied with a thickness of 1.5 mm to form the second adhesive surface 35. The formulation of the temporary fixing adhesive was adjusted so that it could be easily peeled off from the mask surface with a load of 1 kg.
<第２の実施例>
図４は、本発明の大型ペリクルの第２の実施例であり、図４（ｂ）は上面にペリクル膜４３を有するフレーム４１の粘着面側から大型ペリクル４０を見た下面図であり、図４（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
本実施例は、第１の例とは逆に、内周部に仮固定用粘着剤層を設けて第２の粘着面４５を形成し、外周部に本接着用粘着剤層を設けて第１の粘着面４４を形成した。仮固定用粘着剤としては厚み２ｍｍのホットメルト型粘着剤を塗布し、本接着用粘着剤としては発泡ポリエチレン基材の両面テープ層を１ｍｍ厚で形成した。発泡ポリエチレン粘着層は発塵性に劣るが、柔軟性が高いため、最終的にマスクに接着した際に２つの粘着剤の段差を埋めて、強力にマスクに接着させることができた。内周に発塵の少ないホットメルト型粘着剤があるため、発泡剤からの異物がペリクル内に進入することはなかった。
<Second embodiment>
FIG. 4 is a second embodiment of the large pellicle of the present invention, and FIG. 4B is a bottom view of the large pellicle 40 viewed from the adhesive surface side of the frame 41 having the pellicle film 43 on the upper surface. 4 (a) is a cross-sectional view taken along the line AA '.
Contrary to the first example, the present example provides a temporary fixing pressure-sensitive adhesive layer on the inner peripheral portion to form the second pressure-sensitive adhesive surface 45, and an outer peripheral portion is provided with the main adhesive pressure-sensitive adhesive layer. 1 adhesive surface 44 was formed. A hot-melt pressure-sensitive adhesive having a thickness of 2 mm was applied as the temporary fixing pressure-sensitive adhesive, and a double-sided tape layer of a foamed polyethylene base was formed to a thickness of 1 mm as the main-adhesive pressure-sensitive adhesive. Although the foamed polyethylene adhesive layer is inferior in dusting property, it has high flexibility, so when it was finally adhered to the mask, the step between the two adhesives could be filled and strongly adhered to the mask. Since there is a hot-melt adhesive that generates little dust on the inner periphery, foreign matter from the foaming agent never entered the pellicle.
<第３の実施例>
図５は、本発明の大型ペリクルの第３の実施例であり、図５（ｂ）は上面にペリクル膜５３を有するフレーム５１の粘着面側から大型ペリクル５０を見た下面図であり、図５（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
本実施例は、第１の実施例と同様に、内周部に本接着用粘着剤を１ｍｍ厚で塗布して第１の粘着面５４を形成した。外周部に仮固定用粘着剤層を２ｍｍ厚で設けて第２の粘着面５５を形成したが、仮固定用粘着剤層の面積を小さくして第２の粘着面５５は部分的に形成した。図５では６箇所に形成した場合を例示している。本実施例の形態では、仮粘着、本接着とも同一組成の粘着剤を使用し、塗布面積を調整することにより仮固定の粘着力を調整することが可能である。
<Third embodiment>
FIG. 5 shows a third embodiment of the large pellicle of the present invention, and FIG. 5B is a bottom view of the large pellicle 50 as seen from the adhesive surface side of the frame 51 having the pellicle film 53 on the upper surface. FIG. 5A is a cross-sectional view taken along the line AA ′.
In the present example, as in the first example, the first adhesive surface 54 was formed by applying the adhesive for main adhesion to the inner peripheral portion with a thickness of 1 mm. The second adhesive surface 55 was formed by providing a temporary fixing pressure-sensitive adhesive layer with a thickness of 2 mm on the outer peripheral portion, but the second adhesive surface 55 was partially formed by reducing the area of the temporary fixing pressure-sensitive adhesive layer. . In FIG. 5, the case where it forms in six places is illustrated. In the form of this embodiment, it is possible to adjust the temporarily fixed adhesive force by adjusting the application area by using an adhesive having the same composition for both the temporary adhesion and the final adhesion.
<第４の実施例>
図６は、本発明の大型ペリクルの第４の実施例であり、図６（ｂ）は上面にペリクル膜６３を有するフレーム６１の粘着面側から大型ペリクル６０を見た下面図であり、図６（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
本実施例は、フレーム６１の下面の内周部と外周部の間に０．５ｍｍの段差を設けて内周部を凹部とし、段差の凹部に第１の粘着面を形成し、段差の凸部に第２の粘着面を形成した。この場合、２つの領域の粘着剤の厚みを同一にしても良いし、外周を厚くしても良い。
<Fourth embodiment>
FIG. 6 shows a fourth embodiment of the large pellicle of the present invention, and FIG. 6B is a bottom view of the large pellicle 60 viewed from the adhesive surface side of the frame 61 having the pellicle film 63 on the top surface. 6 (a) is a cross-sectional view along the line AA '.
In this embodiment, a step of 0.5 mm is provided between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the lower surface of the frame 61, the inner peripheral portion is used as a concave portion, a first adhesive surface is formed in the concave portion of the step, and A second adhesive surface was formed on the part. In this case, the thickness of the adhesive in the two regions may be the same, or the outer periphery may be thickened.
<第５の実施例>
図７は本発明の大型ペリクルの第５の実施例であり、図７（ａ）は上面にペリクル膜を有するフレーム７１の粘着面側から大型ペリクル７０を見た下面図であり、図７（ｂ）はその側面図である。
本実施例においては、フレーム７１の下面の全周に渡って横断する方向に１ｍｍの複数の段差を設けたものであり、全周に渡って均一な粘着剤を１．５ｍｍの塗布厚で塗布し、フレームの段差によって粘着面の段差を形成した。すなわち、段差の凹部を本接着用粘着面７４とし、段差の凸部を仮接着用粘着面７５とした。
<Fifth embodiment>
FIG. 7 shows a fifth embodiment of the large pellicle of the present invention, and FIG. 7A is a bottom view of the large pellicle 70 viewed from the adhesive surface side of the frame 71 having a pellicle film on the upper surface. b) is a side view thereof.
In this embodiment, a plurality of steps of 1 mm are provided in a direction traversing the entire circumference of the lower surface of the frame 71, and a uniform adhesive is applied with a coating thickness of 1.5 mm over the entire circumference. And the level | step difference of the adhesion surface was formed with the level | step difference of a flame | frame. That is, the concave portion of the step was used as the adhesive surface 74 for final bonding, and the convex portion of the step was used as the adhesive surface 75 for temporary bonding.
（ペリクルキャリア）
次に本発明のペリクルを搬送するためのキャリアの例を説明する。図８は、本発明のペリクルキャリア８０の上面図である。
大型ペリクルとしては、前記第３の実施例の大型ペリクル３０を使用した。図８に示すように、内側に空間を設けた矩形枠状のペリクルキャリア８０をアルミニウムで作製し、ペリクルを剥がしやすいように、表面にフッ素樹脂のコーティングを施した。図８に示す矩形枠の長辺２辺で大型ペリクルを保持するようにした。また、搬送用のハンドル８１、装置に取り付けるときのための取り付け穴８２を設けた。
(Pellicle carrier)
Next, an example of a carrier for carrying the pellicle of the present invention will be described. FIG. 8 is a top view of the pellicle carrier 80 of the present invention.
As the large pellicle, the large pellicle 30 of the third embodiment was used. As shown in FIG. 8, a rectangular frame-shaped pellicle carrier 80 having a space inside was made of aluminum, and the surface was coated with a fluororesin so that the pellicle could be easily peeled off. The large pellicle is held by the two long sides of the rectangular frame shown in FIG. Further, providing the mounting hole 82 for when attached to the handle 81, device for conveying.
図９は、本発明のペリクルキャリア８０に大型ペリクル３０を仮接着用粘着面を用いて粘着させて固定した状態を示す図であり、図９（ａ）は上面図、図９（ｂ）はＡ−Ａ' の断面図を示す。図９に示すように、大型ペリクル３０の仮接着用粘着面３５において矩形状のキャリア８０の辺の一部に粘着させて固定した。図９（ｂ）に示すように、キャリア８０の大型ペリクル３０と接する長辺２辺の内側には段差を設け、本接着用粘着面３４との距離を保つようにした。 FIGS. 9A and 9B are views showing a state where the large pellicle 30 is adhered and fixed to the pellicle carrier 80 of the present invention using the adhesive surface for temporary bonding, FIG. 9A is a top view, and FIG. A sectional view of AA 'is shown. As shown in FIG. 9, the adhesive surface 35 for temporary adhesion of the large pellicle 30 was adhered and fixed to a part of the side of the rectangular carrier 80. As shown in FIG. 9B, a step is provided on the inner side of the two long sides contacting the large pellicle 30 of the carrier 80 so as to keep a distance from the adhesive surface 34 for main bonding.
図１０は、本発明のペリクルキャリア８０に大型ペリクル３０を粘着させて固定した状態で人間が搬送している状態を示す模式図である。このペリクルキャリア８０は、図１０に示すように、左右２本のハンドル８１を持って搬送した。また、ハンドル８１部分には、異物検査装置等の装置に取り付けるために、取り付け穴８２が設けられている。 FIG. 10 is a schematic view showing a state in which a person is transporting the pellicle carrier 80 of the present invention while the large pellicle 30 is adhered and fixed. The pellicle carrier 80 was transported with two left and right handles 81 as shown in FIG. The handle 81 is provided with an attachment hole 82 for attachment to an apparatus such as a foreign substance inspection apparatus.
（ペリクルケース）
次に、本発明の大型ペリクルを収納するためのペリクルケースの例を説明する。大型ペリクルとしては、前記第３の実施例の大型ペリクル３０を使用し、前記のペリクルキャリア８０を用いた。
(Pellicle case)
Next, an example of a pellicle case for storing the large pellicle of the present invention will be described. As the large pellicle, the large pellicle 30 of the third embodiment was used, and the pellicle carrier 80 was used.
図１２は、大型ペリクルをペリクルキャリアに固定した状態で、ペリクルキャリアごと収納する本発明の第１の形態のペリクルケース１２０である。図１２（ａ）は上面図、図１２（ｂ）は側面図を示す。大型ペリクル３０をペリクルキャリア８０に固定した状態で、ペリクルケース１２０のトレー１２１上に静置し、上蓋１２２をした後、外側からクリップ１２３でトレー１２１、ペリクルキャリア８０、上蓋１２２を挟みこむことによりペリクルキャリア８０は固定される。 FIG. 12 shows a pellicle case 120 according to the first embodiment of the present invention in which the pellicle carrier is accommodated in a state where the large pellicle is fixed to the pellicle carrier. 12A shows a top view and FIG. 12B shows a side view. With the large pellicle 30 fixed to the pellicle carrier 80, it is placed on the tray 121 of the pellicle case 120, covered with the upper lid 122, and then sandwiched between the tray 121, the pellicle carrier 80, and the upper lid 122 by the clip 123 from the outside. The pellicle carrier 80 is fixed.
図１３は、大型ペリクルをペリクルキャリアに固定した状態で、ペリクルキャリアごと収納する本発明の第２の形態のペリクルケース１３０である。図１３（ａ）は上面図、図１３（ｂ）は側面図を示す。大型ペリクル３０をペリクルキャリア８０に固定した状態で、ペリクルケース１３０のトレー１３１上に静置し、ペリクルキャリア８０の取り付け穴８２を利用して、ペリクルキャリア８０をナット１３３等の止め具によりトレー１３１に固定し、次いで上蓋１３２をするものである。トレー１３１と上蓋１３２は、クリップ等で固定することにより保持される。 FIG. 13 shows a pellicle case 130 according to the second embodiment of the present invention that accommodates the pellicle carrier in a state where the large pellicle is fixed to the pellicle carrier. FIG. 13A shows a top view and FIG. 13B shows a side view. In a state where the large pellicle 30 is fixed to the pellicle carrier 80, the pellicle carrier 80 is left on the tray 131 of the pellicle case 130, and the pellicle carrier 80 is secured to the tray 131 by a stopper such as a nut 133 using the mounting hole 82 of the pellicle carrier 80. The upper lid 132 is then fixed. The tray 131 and the upper lid 132 are held by being fixed with clips or the like.
図１４は、本発明の第３の形態のペリクルケース１４０である。図１４（ａ）は上面図、図１４（ｂ）は側面図を示す。トレー１４１自体に平面を設け、大型ペリクル３０を仮固定用粘着面にてトレー１４１に貼り付けて固定し、上蓋１４２をした後、外側からクリップ１４３で挟みこむことによりトレー１４１と上蓋１４２は固定され、搬送できるようになる。 FIG. 14 shows a pellicle case 140 according to the third embodiment of the present invention. FIG. 14A shows a top view and FIG. 14B shows a side view. A flat surface is provided on the tray 141 itself, and the large pellicle 30 is fixed to the tray 141 with an adhesive surface for temporary fixing. After the upper lid 142 is attached, the tray 141 and the upper lid 142 are fixed by being sandwiched between the clips 143 from the outside. And can be transported.
（ペリクル移載装置）
本発明のペリクルを移載する装置の例を図１５にて説明する。図１５（ａ）はペリクル移載装置１５０の上面図であり、図１５（ｂ）はＡ−Ａ' の断面図である。本発明の大型ペリクル３０を本発明のペリクルケース１４０に仮貼りした場合を例にして説明する。
本実施例のペリクル移載装置１５０は、第１のステージ１５１と、第２のステージ１５２と、搬送機１５４とを基本構成として有するものである。
第１のステージ１５１はペリクルケースあるいはペリクルキャリアを載置するステージであり、ペリクルケースあるいはペリクルキャリアを固定する機構を有する。図１５（ｂ）では、ペリクルケース１４０を固定した場合を例示している。第２のステージ１５２はフォトマスク１５３を載置するステージである。搬送機１５４は上下動および水平移動が可能である。また搬送機１５４はペリクルの側面をクランプして保持するクランプ機構を有する。
(Pellicle transfer device)
An example of an apparatus for transferring the pellicle of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 15A is a top view of the pellicle transfer device 150, and FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line AA ′. The case where the large pellicle 30 of the present invention is temporarily attached to the pellicle case 140 of the present invention will be described as an example.
The pellicle transfer device 150 according to the present embodiment has a first stage 151, a second stage 152, and a transporter 154 as a basic configuration.
The first stage 151 is a stage on which the pellicle case or pellicle carrier is placed, and has a mechanism for fixing the pellicle case or pellicle carrier. FIG. 15B illustrates a case where the pellicle case 140 is fixed. The second stage 152 is a stage on which the photomask 153 is placed. The transporter 154 can move up and down and move horizontally. Further, the transporter 154 has a clamp mechanism that clamps and holds the side surface of the pellicle.
搬送機１５４は、まず、第１のステージ１５１に置かれたペリクル３０の位置まで下降し、ペリクル３０をクランプする。その後、搬送機１５４が上昇することにより、ペリクル３０は引き上げられペリクルケース１４０から剥離される。搬送機１５４はもう一方の第２のステージ１５２まで移動し、下降してペリクル３０をマスク１５３に押し付ける。双方のステージの高さはペリクルを保持した搬送機が下降した際に、ペリクルの仮固定用粘着面が丁度接触し、かつ本接着用粘着剤が接触しない高さに正確に調整されている。これにより、ペリクル３０はペリクルケース１４０あるいはマスク１５３上に仮固定用粘着剤により固定される。ペリクルはペリクルケースよりマスク、マスクよりペリクルケースへのどちらの方向でも移載が可能である。それを説明するため、図１５では、ペリクルケース１４０、マスク１５３、搬送機１５４のいずれにもペリクル３０を示してある。 The transporter 154 first descends to the position of the pellicle 30 placed on the first stage 151 and clamps the pellicle 30. Thereafter, the pellicle 30 is pulled up and peeled off from the pellicle case 140 by raising the transporter 154. The transporter 154 moves to the other second stage 152 and descends to press the pellicle 30 against the mask 153. The heights of both stages are accurately adjusted so that the temporary fixing adhesive surface of the pellicle is just in contact and the adhesive for this bonding is not in contact when the carrier holding the pellicle is lowered. As a result, the pellicle 30 is fixed on the pellicle case 140 or the mask 153 with a temporary fixing adhesive. The pellicle can be transferred in either direction from the pellicle case to the mask or from the mask to the pellicle case. In order to explain this, in FIG. 15, the pellicle 30 is shown in any of the pellicle case 140, the mask 153, and the transporter 154.
（ペリクル作業工程）
次に、本発明の大型ペリクル５０を例に、ペリクル作業工程についてさらに詳しく説明する。図１１は本発明のペリクルをペリクルキャリアからペリクル装着装置に受け渡す状態の説明図であり、図１１（ａ）は受け渡し前、図１１（ｂ）はペリクル装着装置１１０がペリクル５０をクランプした状態、図１１（ｃ）はペリクル５０の受け渡しが完了してペリクルキャリア８０を取り外した状態を示す工程断面図である。
(Pellicle work process)
Next, the pellicle work process will be described in more detail by taking the large pellicle 50 of the present invention as an example. 11A and 11B are explanatory diagrams of a state in which the pellicle of the present invention is delivered from the pellicle carrier to the pellicle mounting apparatus, FIG. 11A is a state before delivery, and FIG. 11B is a state in which the pellicle mounting apparatus 110 clamps the pellicle 50 FIG. 11C is a process cross-sectional view showing a state where the pellicle carrier 80 is removed after the delivery of the pellicle 50 is completed.
<第１の手法>
本発明の大型ペリクルを用いた作業の第１の手法を説明する。
ペリクルメーカーにて図５に示す大型ペリクル５０を製造後、図８に示すペリクルキャリア８０にペリクル５０を固定し、検査を行った。検査に合格したペリクル５０はペリクルキャリア８０ごと図１２に示すペリクルケース１２０に収納し、マスクメーカーに出荷した。マスクメーカーではペリクルケース１２０を開封して、ペリクルキャリア８０ごとペリクル５０を取り出し、ペリクル異物検査機のホルダーにペリクルキャリア８０の取り付け穴８２を利用して固定し、ペリクル膜の異物検査を行った。ペリクル異物検査で合格した後、ペリクルキャリア８０を検査機から外してペリクル５０を搬送し、図１１に示すように、ペリクル装着装置１１０を用い（図１１（ａ））、ペリクル装着装置１１０でペリクル５０をクランプし（図１１（ｂ））、ペリクルキャリア８０からペリクル５０を取り外した後（図１１（ｃ））、フォトマスクにペリクル装着を行った（図示せず）。
本発明のペリクルにおいては、ペリクルキャリアから直接にペリクルの受け渡しが可能となった。
<First method>
A first method of work using the large pellicle of the present invention will be described.
After manufacturing the large pellicle 50 shown in FIG. 5 by the pellicle manufacturer, the pellicle 50 was fixed to the pellicle carrier 80 shown in FIG. The pellicle 50 that passed the inspection was stored in the pellicle case 120 shown in FIG. 12 together with the pellicle carrier 80 and shipped to the mask manufacturer. The mask manufacturer opened the pellicle case 120, took out the pellicle 50 together with the pellicle carrier 80, fixed it to the holder of the pellicle foreign substance inspection machine using the mounting hole 82 of the pellicle carrier 80, and inspected the pellicle film for foreign substances. After passing the pellicle foreign substance inspection, the pellicle carrier 80 is removed from the inspection machine, and the pellicle 50 is transported. As shown in FIG. 11, the pellicle mounting apparatus 110 is used (FIG. 11A). 50 was clamped (FIG. 11B), the pellicle 50 was removed from the pellicle carrier 80 (FIG. 11C), and then the pellicle was mounted on the photomask (not shown).
In the pellicle of the present invention, the pellicle can be directly delivered from the pellicle carrier.
<第２の手法>
本発明のペリクルを用いた作業の第２の手法を説明する。
ペリクルメーカーにて大型ペリクル３０を製造後、ペリクル３０を図１４に示すペリクルケース１４０に収納してマスクメーカーに出荷した。マスクメーカーではペリクルケース１４０を図１５に示すペリクル移載装置１５０のステージ１５１に乗せ、蓋を外し、ペリクルケース１４０をステージ１５１に固定した。マスク１５３をもう一方のステージ１５２に乗せ、移載装置１５０を動作させて、ペリクル３０をマスク１５３上に移載した（仮固定状態）。その後、マスク１５３を移載装置から外し、マスク検査装置にて検査を行った。マスク上に異物が見つかり検査結果が不合格であったので、再度、移載装置にマスク１５３を乗せ、ペリクル３０をペリクルケース１４０に移した。マスクを洗浄し、再度移載装置１５０にて、先ほどのペリクル３０をマスク１５３上に移載し、検査を実施した。検査結果が合格であったため、ペリクル付きマスクを圧着装置に乗せ、最終的にペリクルをマスクに圧着した。
<Second method>
A second method of work using the pellicle of the present invention will be described.
After manufacturing the large pellicle 30 by the pellicle manufacturer, the pellicle 30 was housed in the pellicle case 140 shown in FIG. 14 and shipped to the mask manufacturer. The mask manufacturer places the pellicle case 140 on the stage 151 of the pellicle transfer device 150 shown in FIG. 15, removes the lid, and fixes the pellicle case 140 to the stage 151. The mask 153 was placed on the other stage 152, the transfer device 150 was operated, and the pellicle 30 was transferred onto the mask 153 (temporarily fixed state). Thereafter, the mask 153 was removed from the transfer device, and inspection was performed using a mask inspection device. Since foreign matter was found on the mask and the inspection result was unacceptable, the mask 153 was placed on the transfer device again, and the pellicle 30 was transferred to the pellicle case 140. The mask was washed, and the pellicle 30 was transferred onto the mask 153 again by the transfer device 150 and inspected. Since the inspection result was acceptable, the pellicle-equipped mask was placed on the crimping apparatus, and finally the pellicle was crimped to the mask.
１０、３０、４０、５０、６０、７０ 大型ペリクル（ペリクル）
１１、３１、４１、５１、６１、７１ ペリクルフレーム（フレーム）
１２、１５３ フォトマスク（マスク）
１３、３３、４３、５３、６３、７３ ペリクル膜
１４、３４、４４、５４、６４、７４ 第１の粘着面（本接着用粘着面）
１５、３５、４５、５５、６５、７５ 第２の粘着面（仮固定用粘着面）
８０ ペリクルキャリア（キャリア）
８１ ハンドル
８２ 取り付け穴
１１０ ペリクル装着装置
１２０、１３０、１４０ ペリクルケース
１２１、１３１、１４１ トレー
１２２、１３２、１４２ 上蓋
１２３、１４３ クリップ
１３３ ナット
１５０ ペリクル移載装置
１５１ 第１のステージ
１５２ 第２のステージ
１５４ 搬送機
１６０ 大型ペリクル
１６１ フレーム
１６２ ペリクル膜
１６３ 粘着剤
１６４ 粘着剤保護用フィルム
１７０ ペリクルケース
１７１ トレー
１７２ 上蓋
１８０ マスク
10, 30, 40, 50, 60, 70 Large pellicle (pellicle)
11, 31, 41, 51, 61, 71 Pellicle frame (frame)
12, 153 Photomask (mask)
13, 33, 43, 53, 63, 73 Pellicle film 14, 34, 44, 54, 64, 74 First adhesive surface (adhesive surface for permanent bonding)
15, 35, 45, 55, 65, 75 Second adhesive surface (adhesive surface for temporary fixing)
80 Pellicle carrier (carrier)
81 Handle 82 Mounting hole 110 Pellicle mounting device 120, 130, 140 Pellicle case 121, 131, 141 Tray 122, 132, 142 Upper lid 123, 143 Clip 133 Nut 150 Pellicle transfer device 151 First stage 152 Second stage 154 Transporter 160 Large pellicle 161 Frame 162 Pellicle film 163 Adhesive 164 Adhesive protective film 170 Pellicle case 171 Tray 172 Top lid 180 Mask
Claims (9)
In large pellicle to a pellicle frame upper surface provided with a pellicle membrane, the pellicle frame lower surface is divided into at least two regions, each region has a first adhesive surface for adhering to the final photomask said pellicle frame And a second adhesive surface that protrudes from the first adhesive surface and temporarily fixes the pellicle frame. The first adhesive surface includes the photomask and the second adhesive surface. A large pellicle, which is formed at a position where it does not adhere to the photomask when temporarily attached to the adhesive surface .
In pellicle case having a tray and top cover, pellicle has a fixed portion of the carrier, any one of the preceding claims, characterized in that for accommodating and fixing each of the pellicle carrier the large pellicle is attached 1 A pellicle case for storing the large pellicle according to the item.
A pellicle carrier or a pellicle case; a stage on which a photomask is placed; and a carrier that clamps and moves the large pellicle on the side surface of the pellicle frame. Alternatively, it has a mechanism for peeling off the large pellicle that has been affixed and fixed on the pellicle case or photomask with the second adhesive surface, and transferring it to the photomask, pellicle carrier, or pellicle case on the other stage. The large-sized pellicle transfer device according to any one of claims 1 to 5.
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