KR20200096879A - Expanding apparatus - Google Patents

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도모히토 마츠다
요시히로 가와구치
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

An expand sheet may be cooled with a simpler structure. An expand device for expanding the expand sheet of a workpiece unit including a workpiece, the expand sheet, and an annular frame to which an outer circumference side of the expand sheet is adhered comprises: a frame fixing unit having a frame support unit capable of supporting the annular frame of a workpiece unit and a frame pressing unit capable of holding the annular frame together with the frame support unit; and an expansion unit capable of expanding the expand sheet. The frame press unit includes a jet port and a cooling air supply path having one end communicating with the jet port and the other end passing through a cooling air supply source. The jet port may eject cooling air supplied from the cooling air supply source toward a region between the workpiece of the expand sheet included in the workpiece unit and the inner peripheral edge of the annular frame.

Description

익스팬드 장치{EXPANDING APPARATUS}Expand device {EXPANDING APPARATUS}

본 발명은, 환형 프레임에 외주측이 접착된 익스팬드 시트를 직경 방향 외측으로 확장하는 익스팬드 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an expand device that expands an expand sheet to which an outer circumferential side is adhered to an annular frame outward in the radial direction.

원판형의 웨이퍼의 표면에 복수의 교차하는 분할 예정 라인(스트리트라고도 함)을 설정하고, 분할 예정 라인으로 구획된 각 영역에 디바이스를 형성한 후, 분할 예정 라인을 따라 웨이퍼를 분할하면 개개의 디바이스 칩을 형성할 수 있다. 형성된 디바이스 칩은 전자 기기 등에 탑재되어 사용된다. By setting a plurality of intersecting lines to be divided (also called streets) on the surface of a disk-shaped wafer, forming devices in each area divided by the lines to be divided, and then dividing the wafer along the scheduled division lines, individual devices Chip can be formed. The formed device chip is mounted and used in an electronic device or the like.

웨이퍼의 분할은, 예컨대 레이저 가공 장치를 사용하여 실시한다. 예컨대, 웨이퍼에 대하여 투과성을 갖는 파장의 레이저 빔을 분할 예정 라인을 따라 상기 웨이퍼의 내부에 집광하고, 분할 예정 라인을 따라 분할 기점이 되는 개질층을 형성한다. The wafer is divided, for example, using a laser processing apparatus. For example, a laser beam having a wavelength having transmittance to the wafer is condensed into the wafer along a line to be divided, and a modified layer serving as a division starting point is formed along the line to be divided.

웨이퍼의 이면측에는, 미리 익스팬드 시트라고 불리는 시트를 접착해 둔다. 익스팬드 시트의 외주측에는, 금속 등으로 형성된 환형 프레임이 붙여진다. 그리고, 상기 익스팬드 시트에 웨이퍼를 접착하면, 웨이퍼와, 익스팬드 시트와, 환형 프레임이 일체가 된 피가공물 유닛이 형성된다. A sheet called an expand sheet is adhered to the back side of the wafer in advance. On the outer circumferential side of the expand sheet, an annular frame made of metal or the like is attached. Then, when the wafer is adhered to the expand sheet, a workpiece unit in which the wafer, the expand sheet, and the annular frame are integrated is formed.

분할 예정 라인을 따라 웨이퍼의 내부에 개질층이 형성된 상태로 익스팬드 시트를 직경 방향 외측으로 확장하면, 상기 개질층을 기점으로 웨이퍼가 파단되어 디바이스 칩이 형성되고, 또한 각 디바이스 칩의 간격이 넓혀진다. 각 디바이스 칩의 간격이 넓혀지면, 그 후에 피가공물 유닛을 운반하거나 할 때에 각 디바이스 칩이 서로 접촉하기 어려워져, 상기 디바이스 칩의 손상이 억제된다. If the expand sheet is extended radially outward with the modified layer formed inside the wafer along the line to be divided, the wafer is broken from the modified layer to form a device chip, and the gap between each device chip is widened. Lose. When the distance between the respective device chips is widened, the device chips are difficult to contact with each other when transporting the workpiece unit thereafter, and damage to the device chips is suppressed.

단, 상온 환경하에 익스팬드 시트를 확장하면, 환형 프레임의 내주 가장자리와 웨이퍼 사이의 영역에서 익스팬드 시트가 신장할 뿐, 상기 웨이퍼에 접착된 영역의 익스팬드 시트를 적절하게 확장할 수 없는 경우가 있다. 따라서, 익스팬드 시트의 확장 기구 등의 각종 구성 요소를 수용한 냉각 챔버를 구비하는 익스팬드 장치가 사용된다(예컨대 특허문헌 1 내지 특허문헌 3). However, if the expand sheet is expanded in a room temperature environment, the expand sheet only expands in the area between the inner circumferential edge of the annular frame and the wafer, and the expand sheet in the area adhered to the wafer may not be properly expanded. have. Therefore, an expand device including a cooling chamber accommodating various constituent elements such as an expansion mechanism of an expand sheet is used (for example, Patent Documents 1 to 3).

상기 장치 등에서는, 냉각 챔버의 내부에 프레임 유닛을 반입하고, 챔버 내부의 분위기를 냉각시켜 익스팬드 시트를 냉각시키고, 익스팬드 시트를 신장하기 어렵게 한 상태로 익스팬드 시트를 확장하기 때문에, 웨이퍼가 파단되기 쉬워진다. In the above apparatus, since the frame unit is carried into the cooling chamber, the atmosphere inside the chamber is cooled to cool the expand sheet, and the expand sheet is expanded in a state where it is difficult to extend the expand sheet, the wafer is It becomes easy to break.

특허문헌 1 :　일본 특허 공개 제2018-113350호 공보Patent Document 1: 　Japanese Patent Publication No. 2018-113350 특허문헌 2 :　일본 특허 공개 제2016-181659호 공보Patent Document 2: 　Japanese Patent Publication No. 2016-181659 특허문헌 3 :　일본 특허 공개 제2007-189057호 공보Patent Document 3: 　Japanese Patent Publication No. 2007-189057

익스팬드 장치에 냉각 챔버를 포함시키면 익스팬드 장치가 대형화되어 버린다. 그리고, 익스팬드 시트를 확실하게 냉각시킬 수 있도록 용량이 큰 냉각 챔버의 내부 공간을 냉각시키는 것은 용이하지 않고, 익스팬드 시트의 냉각 비용이 무시할 수 없는 것이 된다. If a cooling chamber is included in the expand device, the expand device becomes large. Further, it is not easy to cool the internal space of the cooling chamber having a large capacity so that the expand sheet can be reliably cooled, and the cooling cost of the expand sheet is not negligible.

본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 보다 간소한 구조로 익스팬드 시트의 냉각을 실시할 수 있는 익스팬드 장치를 제공하는 것이다. The present invention has been made in view of these problems, and an object thereof is to provide an expand device capable of cooling an expand sheet with a simpler structure.

본 발명의 일양태에 의하면, 피가공물과, 상기 피가공물에 접착된 익스팬드 시트와, 상기 익스팬드 시트의 외주측이 접착된 환형 프레임을 포함하는 피가공물 유닛의 상기 익스팬드 시트를 확장하는 익스팬드 장치로서, 피가공물 유닛의 환형 프레임을 지지할 수 있는 프레임 지지부와, 상기 프레임 지지부와 함께 상기 환형 프레임을 협지할 수 있는 프레임 누름부를 갖는 프레임 고정 유닛과, 상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛에 포함된 익스팬드 시트를 확장할 수 있는 확장 유닛을 포함하고, 상기 프레임 고정 유닛은, 분출구와, 일단이 상기 분출구에 통하고 타단이 냉각 에어 공급원에 통하는 냉각 에어 공급로를 포함하고, 상기 분출구는, 상기 냉각 에어 공급원으로부터 공급된 냉각 에어를 상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛에 포함된 익스팬드 시트의 피가공물과 상기 환형 프레임의 내주 가장자리 사이의 영역을 향해 분출할 수 있는 것을 특징으로 하는 익스팬드 장치가 제공된다. According to an aspect of the present invention, an expand sheet for expanding the expand sheet of a work unit includes a work piece, an expand sheet adhered to the work piece, and an annular frame to which the outer circumference side of the expand sheet is adhered. A pande device, comprising: a frame fixing unit having a frame support portion capable of supporting an annular frame of a unit to be processed, a frame pressing portion capable of holding the annular frame together with the frame support portion, and an annular frame fixed by the frame fixing unit And an expansion unit capable of expanding an expanded sheet included in the work unit having a, wherein the frame fixing unit includes a jet port, and a cooling air supply path having one end passing through the jet port and the other end passing through a cooling air supply source. Including, the ejection port, the cooling air supplied from the cooling air supply source is a region between the workpiece of the expanded sheet included in the workpiece unit having an annular frame fixed by the frame fixing unit and the inner peripheral edge of the annular frame There is provided an expand device, characterized in that it can eject toward the.

바람직하게는, 상기 프레임 고정 유닛에는, 환형으로 나란히 배치된 복수의 상기 분출구가 형성되고, 상기 냉각 에어 공급로는, 환형 냉각로와, 상기 환형 냉각로로부터 복수의 상기 분출구에 각각 이르는 복수의 분기로와, 일단이 상기 냉각 에어 공급원에 통하고 타단이 상기 환형 냉각로에 이르는 공급로를 포함하고, 상기 냉각 에어 공급원은, 상기 환형 냉각로에 냉각 에어를 공급함으로써 상기 프레임 고정 유닛을 냉각시켜 상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛의 피가공물의 주위에 냉각 공간을 형성할 수 있다. Preferably, the frame fixing unit is provided with a plurality of ejection ports arranged in an annular shape, and the cooling air supply path includes an annular cooling path and a plurality of branches extending from the annular cooling path to the plurality of ejection ports, respectively. A furnace, a supply path having one end passing through the cooling air supply source and the other end leading to the annular cooling path, wherein the cooling air supply source cools the frame fixing unit by supplying cooling air to the annular cooling path. A cooling space can be formed around a workpiece in a workpiece unit having an annular frame fixed by the frame fixing unit.

더욱 바람직하게는, 상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛에 포함된 익스팬드 시트를 개재하여 상기 피가공물 유닛에 포함된 피가공물에 접촉 가능한 냉각 플레이트를 더 포함한다. More preferably, a cooling plate capable of contacting the workpiece included in the workpiece unit through the expand sheet included in the workpiece unit having an annular frame fixed by the frame fixing unit is further included.

본 발명의 일양태에 관한 익스팬드 장치에서는, 프레임 고정 유닛으로 환형 프레임을 고정할 수 있다. 그리고, 상기 환형 프레임을 포함하는 피가공물 유닛에 포함된 피가공물 및 익스팬드 시트를 냉각시킬 수 있다. 특히, 상기 익스팬드 장치는, 프레임 고정 유닛에 형성된 분출구로부터 익스팬드 시트의 상기 피가공물과 상기 환형 프레임의 내주 가장자리 사이의 영역에 냉각 에어를 분출함으로써 상기 영역을 냉각시킬 수 있다. In the expander according to one embodiment of the present invention, the annular frame can be fixed with a frame fixing unit. In addition, it is possible to cool the workpiece and the expand sheet included in the workpiece unit including the annular frame. In particular, the expander can cool the area by blowing cooling air into a region between the work piece of the expand sheet and the inner circumferential edge of the annular frame from an ejection port formed in the frame fixing unit.

따라서, 본 발명의 일양태에 관한 익스팬드 장치는, 상기 익스팬드 장치에 있어서 익스팬드 시트의 확장하고자 하는 영역을 충분히 냉각시킬 수 있다. 그 때문에, 상기 익스팬드 장치는, 피가공물 유닛, 프레임 고정 유닛, 확장 유닛 등을 수용할 수 있는 큰 냉각 챔버를 필요로 하지 않는다. Accordingly, the expand device according to one embodiment of the present invention can sufficiently cool the area to be expanded of the expand sheet in the expand device. Therefore, the expander does not require a large cooling chamber capable of accommodating a workpiece unit, a frame fixing unit, an expansion unit, or the like.

따라서, 본 발명에 의해, 보다 간소한 구조로 익스팬드 시트의 냉각을 실시할 수 있는 익스팬드 장치가 제공된다. Accordingly, the present invention provides an expand device capable of cooling an expand seat with a simpler structure.

도 1은 익스팬드 장치의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 피가공물 유닛이 반입된 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 익스팬드 시트의 냉각을 실시하고 있는 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는 익스팬드 시트의 확장을 실시하고 있는 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 이완이 생기는 익스팬드 시트의 상기 이완의 제거를 실시하고 있는 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 6은 피가공물 유닛이 반입된 다른 일례에 관한 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 7은 익스팬드 시트의 냉각을 실시하고 있는 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 8은 익스팬드 시트의 확장을 실시하고 있는 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 9는 이완이 생기는 익스팬드 시트의 상기 이완의 제거를 실시하는 익스팬드 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 1 is a perspective view schematically showing an example of an expand device.
2 is a cross-sectional view schematically showing an expander in which a work unit is carried.
3 is a cross-sectional view schematically showing an expand device for cooling an expand sheet.
4 is a cross-sectional view schematically showing an expand device in which an expand sheet is being expanded.
Fig. 5 is a cross-sectional view schematically showing an expand device in which the relaxation is removed from an expand sheet in which relaxation occurs.
6 is a cross-sectional view schematically showing an expander according to another example in which a work unit is carried.
7 is a cross-sectional view schematically showing an expand device for cooling an expand sheet.
8 is a cross-sectional view schematically showing an expand device in which an expand sheet is being expanded.
Fig. 9 is a cross-sectional view schematically showing an expander for removing the relaxation of an expand sheet in which relaxation occurs.

첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 관해 설명한다. 본 실시형태에 관한 익스팬드 장치는, 피가공물과, 익스팬드 시트와, 환형 프레임이 일체화된 피가공물 유닛의 익스팬드 시트를 확장한다. 도 2 등에 피가공물 유닛(11)의 단면을 나타낸다. Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The expander according to the present embodiment expands an expand sheet of a work unit in which a work piece, an expand sheet, and an annular frame are integrated. Fig. 2 shows a cross section of the work unit 11 and the like.

피가공물 유닛(11)이 구비하는 익스팬드 시트(7)는, 예컨대, 염화비닐 등으로 이루어진 기재층과, 상기 기재층에 지지된 풀층을 포함한다. 익스팬드 시트(7)의 한쪽 면의 중앙 영역은 피가공물(1)에 접착되어 있다. 또한, 익스팬드 시트(7)의 외주부는, 개구를 구비하는 환형 프레임(9)의 내주부에 상기 개구를 막도록 접착되어 있다. The expand sheet 7 provided in the workpiece unit 11 includes, for example, a base layer made of vinyl chloride or the like, and a glue layer supported on the base layer. The central region of one side of the expand sheet 7 is adhered to the workpiece 1. Further, the outer circumferential portion of the expand sheet 7 is adhered to the inner circumferential portion of the annular frame 9 having an opening so as to close the opening.

피가공물(1)은, 예컨대, 실리콘, SiC(실리콘 카바이드) 혹은 그 밖의 반도체 등의 재료로 이루어진 웨이퍼, 또는, 사파이어, 유리, 석영 등의 재료로 이루어진 대략 원판형의 기판이다. 피가공물(1)의 표면은 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 영역으로 구획되고, 구획된 각 영역에는 IC(Integrated circuit) 등의 디바이스(5)가 형성된다. 피가공물(1)을 상기 분할 예정 라인을 따라 분할하면 개개의 디바이스 칩을 형성할 수 있다. The work piece 1 is, for example, a wafer made of a material such as silicon, SiC (silicon carbide), or other semiconductor, or a substantially disk-shaped substrate made of a material such as sapphire, glass, or quartz. The surface of the workpiece 1 is divided into a plurality of areas by a plurality of planned division lines (streets) intersecting each other, and a device 5 such as an integrated circuit (IC) is formed in each divided area. By dividing the workpiece 1 along the line to be divided, individual device chips can be formed.

피가공물(1)의 내부에는, 상기 분할 예정 라인을 따라서 분할 기점이 되는 개질층(3)이 형성되어 있다. 개질층(3)은, 예컨대, 피가공물(1)에 대하여 투과성을 갖는 파장(피가공물(1)을 투과할 수 있는 파장)의 레이저 빔을 분할 예정 라인을 따라 피가공물(1)의 내부에 집광함으로써 형성할 수 있다. In the inside of the workpiece 1, a modified layer 3 serving as a division starting point is formed along the line to be divided. The modified layer 3, for example, transmits a laser beam of a wavelength having transmittance to the workpiece 1 (a wavelength that can transmit the workpiece 1) along the line to be divided into the inside of the workpiece 1 It can be formed by condensing light.

분할 예정 라인을 따라 내부에 개질층(3)이 형성되어 있는 피가공물(1)에 직경 방향 외측을 향한 힘을 가하면, 개질층(3)으로부터 피가공물(1)의 상하면에 이르는 크랙이 생기고, 피가공물(1)이 분할되어 개개의 디바이스 칩(15)(도 4 등 참조)이 형성된다. 그 후, 익스팬드 시트(7)로부터의 개개의 디바이스 칩(15)의 픽업을 쉽게 하기 위해, 익스팬드 시트(7)가 더욱 확장되고, 디바이스 칩(15) 사이의 간격이 넓어진다. 본 실시형태에 관한 익스팬드 장치는 익스팬드 시트(7)의 확장을 실시한다. When a force toward the outer side in the radial direction is applied to the workpiece 1 having the modified layer 3 formed therein along the line to be divided, cracks from the modified layer 3 to the upper and lower surfaces of the workpiece 1 are generated, The workpiece 1 is divided to form individual device chips 15 (see Fig. 4 and the like). After that, in order to facilitate pickup of the individual device chips 15 from the expand sheet 7, the expand sheet 7 is further expanded, and the gap between the device chips 15 is widened. The expand device according to the present embodiment extends the expand seat 7.

또, 피가공물(1)에는 미리 DAF(다이 어태치 필름)이 형성되어도 좋다. DAF는, 디바이스 칩(15)을 소정의 실장 대상에 실장할 때의 접착제로서 기능하는 막이다. 상기 익스팬드 장치는, DAF가 형성된 피가공물(1)을 DAF마다 분할할 수 있다. 이 경우, DAF가 형성된 디바이스 칩(15)이 형성된다. Further, a DAF (die attach film) may be formed in advance on the workpiece 1. The DAF is a film that functions as an adhesive when mounting the device chip 15 on a predetermined mounting object. The expander can divide the workpiece 1 on which the DAF is formed for each DAF. In this case, the device chip 15 on which the DAF is formed is formed.

본 실시형태에 관한 익스팬드 장치의 일례에 관해, 도 1 내지 도 5를 이용하여 설명한다. 도 1에는, 익스팬드 장치(2)의 사시도가 모식적으로 나타나 있고, 도 2에는, 피가공물 유닛(11)이 반입된 상기 익스팬드 장치(2)의 단면도가 모식적으로 나타나 있다. 익스팬드 장치(2)는, 피가공물 유닛(11)의 환형 프레임(9)을 고정하는 프레임 고정 유닛(4)과, 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7)를 확장할 수 있는 확장 유닛(32)을 구비한다. An example of the expander according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 5. In FIG. 1, a perspective view of the expander 2 is schematically shown, and in FIG. 2, a cross-sectional view of the expander 2 into which the work unit 11 is carried is schematically shown. The expander 2 includes a frame fixing unit 4 that fixes the annular frame 9 of the work unit 11 and an expansion capable of expanding the expand seat 7 of the work unit 11 It has a unit 32.

익스팬드 장치(2)는, 또한, 피가공물 유닛(11)에 포함된 익스팬드 시트(7)를 개재하여 상기 피가공물 유닛(11)에 포함된 피가공물(1)에 접촉하여 익스팬드 시트(7)와 피가공물(1)을 냉각시킬 수 있는 유지 테이블(냉각 플레이트)(34)를 구비한다. 또한, 익스팬드 장치(2)는, 확장되어 이완이 생긴 익스팬드 시트(7)를 가열하여 수축시켜 상기 이완을 제거하는 시트 수축 유닛(50)을 구비한다. 이하, 익스팬드 장치(2)의 각 구성 요소에 관해 상세히 설명한다. The expander 2 also contacts the work 1 included in the work unit 11 via the expand sheet 7 included in the work unit 11, so that the expand sheet ( 7) and a holding table (cooling plate) 34 capable of cooling the workpiece 1. In addition, the expander 2 includes a sheet contraction unit 50 that heats and contracts the expanded sheet 7 in which the expanded and loosened expandable sheet 7 is formed to remove the relaxation. Hereinafter, each component of the expand device 2 will be described in detail.

프레임 고정 유닛(4)은, 피가공물 유닛(11)의 환형 프레임(9)을 지지할 수 있는 프레임 지지부(6)를 구비한다. 프레임 지지부(6)는, 상면이 평탄한 환형의 부재이며, 중앙에 환형 프레임(9)의 개구의 직경에 대응한 직경의 개구(6a)를 구비한다. 프레임 지지부(6)의 하면에는 복수의 로드(12)의 상단이 접속되어 있고, 상기 로드(12)의 하단은 각각 에어 실린더(10) 등의 승강 기구에 수용되어 있다. 에어 실린더(10)를 작동시켜 로드(12)를 승강시키는 것에 의해, 프레임 지지부(6)를 승강시킬 수 있다. The frame fixing unit 4 includes a frame support 6 capable of supporting the annular frame 9 of the work unit 11. The frame support 6 is an annular member having a flat top surface, and has an opening 6a having a diameter corresponding to the diameter of the opening of the annular frame 9 in the center. An upper end of a plurality of rods 12 is connected to the lower surface of the frame support portion 6, and the lower ends of the rods 12 are each accommodated in an elevating mechanism such as an air cylinder 10. By operating the air cylinder 10 and raising and lowering the rod 12, the frame support 6 can be raised and lowered.

프레임 고정 유닛(4)은, 프레임 지지부(6)와 함께 환형 프레임(9)을 협지할 수 있는 환형의 프레임 누름부(8)를 더 구비한다. 프레임 누름부(8)는, 프레임 지지부(6)의 개구(6a)와 동등한 직경의 개구(8a)를 중앙에 구비한 환형의 부재이며, 하면이 평탄하다. The frame fixing unit 4 further includes an annular frame pressing portion 8 capable of holding the annular frame 9 together with the frame supporting portion 6. The frame pressing portion 8 is an annular member having an opening 8a having a diameter equivalent to that of the opening 6a of the frame supporting portion 6 in the center, and has a flat bottom surface.

환형 프레임(9)을 얹은 프레임 지지부(6)를 상승시켜, 프레임 누름부(8)의 하면에 상기 환형 프레임(9)을 접촉시키면, 환형 프레임(9)이 프레임 지지부(6) 및 프레임 누름부(8)에 의해 협지되어 유지된다. 프레임 누름부(8)는, 고정된 환형 프레임(9)에 위치 어긋남이 생기지 않도록, 환형 프레임(9)을 견고한 힘으로 파지할 수 있다. When the frame support part 6 on which the annular frame 9 is mounted is raised and the annular frame 9 is brought into contact with the lower surface of the frame pressing part 8, the annular frame 9 becomes the frame support 6 and the frame pressing part. It is clamped and maintained by (8). The frame pressing portion 8 can hold the annular frame 9 with a firm force so that positional displacement does not occur in the fixed annular frame 9.

또한, 프레임 누름부(8)는 외력에 따라서 상측으로 이동 가능해도 좋다. 예컨대, 환형 프레임(9)을 얹은 프레임 지지부(6)를 상승시켜 환형 프레임(9)을 프레임 누름부(8)에 접촉시킨 후, 프레임 지지부(6)를 더 상승시킴으로써 프레임 누름부(8)가 상승하도록 구성되어도 좋다. Further, the frame pressing portion 8 may be movable upward according to an external force. For example, the frame support portion 6 on which the annular frame 9 is mounted is raised to bring the annular frame 9 into contact with the frame pressing portion 8, and then the frame support portion 6 is further raised to increase the frame pressing portion 8 It may be configured to rise.

프레임 고정 유닛(4)의 프레임 누름부(8)는, 개구(8a)의 내주벽에 분출구(22)가 형성되어 있다. 예컨대, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 프레임 누름부(8)의 내주벽에는 환형으로 등간격으로 나란히 복수의 분출구(22)가 형성되어 있다. In the frame pressing portion 8 of the frame fixing unit 4, a jet port 22 is formed in the inner peripheral wall of the opening 8a. For example, as shown in Figs. 1 and 2, a plurality of ejection openings 22 are formed in an annular shape on the inner circumferential wall of the frame pressing portion 8 in equal intervals.

프레임 고정 유닛(4)의 프레임 누름부(8)의 내부에는, 일단이 분출구(22)에 통하고 타단이 냉각 에어 공급원(30)에 통하는 냉각 에어 공급로(20)가 형성되어 있다. 냉각 에어 공급로(20)는, 예컨대, 프레임 누름부(8)의 내주벽을 둘러싸도록 배치된 환형 냉각로(14)와, 상기 환형 냉각로(14)로부터 복수의 분출구(22)에 각각 이르는 복수의 분기로(16)를 포함한다. 또한, 냉각 에어 공급로(20)는, 일단이 냉각 에어 공급원(30)에 통하고 타단이 환형 냉각로(14)에 이르는 공급로(18)를 포함한다. Inside the frame pressing portion 8 of the frame fixing unit 4, a cooling air supply path 20 is formed in which one end passes through the ejection port 22 and the other end passes through the cooling air supply source 30. The cooling air supply path 20 is, for example, an annular cooling path 14 arranged to surround the inner circumferential wall of the frame pressing portion 8, and extending from the annular cooling path 14 to a plurality of ejection openings 22, respectively. It includes a plurality of branch furnaces 16. Further, the cooling air supply path 20 includes a supply path 18 having one end passing through the cooling air supply source 30 and the other end reaching the annular cooling path 14.

냉각 에어 공급원(30)은, 냉각 에어 공급로(20)를 통해 분출구(22)에 냉각 에어를 공급할 수 있다. 냉각 에어 공급원(30)은, 압축 에어 공급원(28)과, 상기 압축 에어 공급원(28)으로부터 공급된 압축 에어를 냉각시켜 냉각 에어로 변화시키는 볼텍스 튜브(24) 등의 냉각 기구를 구비한다. 또한, 압축 에어 공급원(28)과 볼텍스 튜브(24) 사이의 통기로에는 개폐 밸브(26)가 설치되어 있다. 개폐 밸브(26)를 개방하면 냉각 에어 공급원(30)으로부터 냉각 에어 공급로(20)에 냉각 에어가 공급된다. The cooling air supply source 30 can supply cooling air to the ejection port 22 through the cooling air supply path 20. The cooling air supply source 30 includes a compressed air supply source 28 and a cooling mechanism such as a vortex tube 24 that cools the compressed air supplied from the compressed air supply source 28 and converts it into cooling air. In addition, an on-off valve 26 is provided in the ventilation path between the compressed air supply source 28 and the vortex tube 24. When the on-off valve 26 is opened, cooling air is supplied from the cooling air supply source 30 to the cooling air supply path 20.

환형 프레임(9)을 프레임 고정 유닛(4)에 의해 고정한 상태로 냉각 에어 공급로(20)에 냉각 에어를 공급하면, 복수의 상기 분출구(22)로부터 상기 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7)에 상기 냉각 에어가 공급된다. 이 때, 프레임 누름부(8) 자체가 냉각되고, 환형 프레임(9)이 냉각된다. 즉, 냉각 에어는 피가공물 유닛(11) 전체의 냉각에 기여한다. 또, 프레임 누름부(8)는, 환형 프레임(9)을 효율적으로 냉각시키기 위해 열전도성이 높은 알루미늄 등의 금속으로 형성되는 것이 바람직하다. When cooling air is supplied to the cooling air supply path 20 while the annular frame 9 is fixed by the frame fixing unit 4, the expanded sheet of the workpiece unit 11 is provided from the plurality of ejection ports 22 The cooling air is supplied to (7). At this time, the frame pressing portion 8 itself is cooled, and the annular frame 9 is cooled. That is, the cooling air contributes to the cooling of the whole unit 11 to be processed. Further, the frame pressing portion 8 is preferably formed of a metal such as aluminum having high thermal conductivity in order to efficiently cool the annular frame 9.

확장 유닛(32)은, 프레임 고정 유닛(4)으로 고정된 환형 프레임(9)을 갖는 피가공물 유닛(11)에 포함된 익스팬드 시트(7)를 확장할 수 있다. 확장 유닛(32)은, 프레임 고정 유닛(4)의 프레임 지지부(6)의 개구(6a)에 들어가지는 유지 테이블(34)을 구비한다. 유지 테이블(34)의 상면에는, 프레임 고정 유닛(4)으로 고정된 환형 프레임(9)을 갖는 피가공물 유닛(11)에 포함된 익스팬드 시트(7)를 개재하여 피가공물(1)을 얹는다. The expansion unit 32 can expand the expand seat 7 included in the work unit 11 having the annular frame 9 fixed by the frame fixing unit 4. The expansion unit 32 includes a holding table 34 that fits into the opening 6a of the frame support 6 of the frame fixing unit 4. The work piece 1 is placed on the upper surface of the holding table 34 via the expand sheet 7 included in the work unit 11 having an annular frame 9 fixed by the frame fixing unit 4 .

유지 테이블(34)은, 익스팬드 시트(7)를 통해 피가공물(1)을 흡인 유지할 수 있다. 유지 테이블(34)의 상면에는 복수의 흡인구(38)가 형성되어 있고, 유지 테이블(34)의 내부에는 각각의 흡인구(38)에 접속되는 흡인로(36)가 형성되어 있다. 그리고, 흡인로(36)는, 유지 테이블(34)의 외부에 배치된 흡인원(42)에 접속되어 있다. The holding table 34 can suction and hold the workpiece 1 through the expanded sheet 7. A plurality of suction ports 38 are formed on the upper surface of the holding table 34, and suction paths 36 connected to the respective suction ports 38 are formed inside the holding table 34. And the suction path 36 is connected to the suction source 42 arrange|positioned outside the holding table 34.

흡인로(36)와 흡인원(42) 사이에는 개폐 밸브(40)가 설치되어 있다. 개폐 밸브(40)를 개방하면, 흡인원(42)에 의해 생긴 부압을 흡인로(36) 및 흡인구(38)를 통해 유지 테이블(34)의 상면에 얹는 피유지물에 작용할 수 있다. 즉, 흡인로(36), 흡인구(38), 개폐 밸브(40) 및 흡인원(42) 등은, 익스팬드 시트(7)를 통해 피가공물(1)을 흡인 유지하는 유지 기구로서 기능한다. An on-off valve 40 is provided between the suction path 36 and the suction source 42. When the on/off valve 40 is opened, the negative pressure generated by the suction source 42 can act on the holding object placed on the upper surface of the holding table 34 through the suction path 36 and the suction port 38. That is, the suction path 36, the suction port 38, the on-off valve 40, the suction source 42, etc. function as a holding mechanism for suction and holding the workpiece 1 through the expand seat 7 .

또한, 유지 테이블(34)의 하면에는, 피스톤 쿨러 등의 냉각 유닛(44)이 설치되어 있다. 냉각 유닛(44)을 작동시키면 유지 테이블(34)을 냉각시킬 수 있다. 유지 테이블(34)은, 프레임 고정 유닛(4)으로 고정된 환형 프레임(9)을 갖는 피가공물 유닛(11)에 포함된 익스팬드 시트(7)를 개재하여 상기 피가공물 유닛(11)에 포함된 피가공물(1)에 접촉 가능한 냉각 플레이트로서 기능할 수 있다. 또, 유지 테이블(34)은, 냉각이 효율적으로 실시되도록 열전도성이 높은 알루미늄 등으로 형성되는 것이 바람직하다. Further, a cooling unit 44 such as a piston cooler is provided on the lower surface of the holding table 34. When the cooling unit 44 is operated, the holding table 34 can be cooled. The holding table 34 is included in the work unit 11 via an expand sheet 7 included in the work unit 11 having an annular frame 9 fixed by the frame fixing unit 4 It can function as a cooling plate which can come into contact with the finished workpiece 1. In addition, it is preferable that the holding table 34 is formed of aluminum or the like having high thermal conductivity so that cooling is efficiently performed.

유지 테이블(34)의 하면에는 복수의 로드(48)의 상단이 접속되어 있고, 상기 로드(48)의 하단은 각각 에어 실린더(46) 등의 승강 기구에 수용되어 있다. 에어 실린더(46)를 작동시켜 로드(48)를 승강시킴으로써, 유지 테이블(냉각 플레이트)(34)을 승강시킬 수 있다. 프레임 고정 유닛(4)에 환형 프레임(9)을 고정시킨 상태로 유지 테이블(34)을 상승시키면, 환형 프레임(9)에 접착되어 있는 익스팬드 시트(7)가 직경 방향 외측으로 확장된다. An upper end of a plurality of rods 48 is connected to the lower surface of the holding table 34, and the lower ends of the rods 48 are each accommodated in an elevating mechanism such as an air cylinder 46. The holding table (cooling plate) 34 can be raised and lowered by operating the air cylinder 46 to raise and lower the rod 48. When the holding table 34 is raised while the annular frame 9 is fixed to the frame fixing unit 4, the expand sheet 7 adhered to the annular frame 9 expands outward in the radial direction.

시트 수축 유닛(50)은, 확장되어 이완이 생긴 익스팬드 시트(7)의 환형 프레임(9)의 내주 가장자리와 피가공물(1) 사이의 영역을 가열하여 수축시켜 이완을 제거한다. 시트 수축 유닛(50)은, 상기 시트 수축 유닛(50)의 각 구성 요소를 상측으로부터 지지하는 로드(52)와, 상기 로드(52)의 하단에 접속된 원판형의 지지 플레이트(54)와, 지지 플레이트(54)의 외주부 하면에 설치된 복수의 가열 유닛(56)을 구비한다. The sheet contraction unit 50 heats and contracts a region between the inner circumferential edge of the annular frame 9 and the workpiece 1 of the expanded sheet 7 in which relaxation has occurred by being expanded to remove relaxation. The sheet contraction unit 50 includes a rod 52 that supports each component of the sheet contraction unit 50 from an upper side, a disk-shaped support plate 54 connected to a lower end of the rod 52, A plurality of heating units 56 are provided on the lower surface of the outer peripheral portion of the support plate 54.

가열 유닛(56)은, 가열된 에어를 하측으로 분출시키는 기능을 갖는다. 도 2에, 가열 유닛(56)의 단면을 나타낸다. 가열 유닛(56)은, 수직 방향을 따르는 원통형의 케이스를 구비하는 에어 공급로(58)를 구비한다. 에어 공급로(58)의 상단은, 개폐 밸브(62)를 통해 에어 공급원(60)에 접속되어 있다. 개폐 밸브(62)를 개방하면 에어 공급원(60)으로부터 에어 공급로(58)에 에어를 공급할 수 있다. 또, 에어 공급원(60)은, 로드(52) 및 지지 플레이트(54) 등을 통해 에어 공급로(58)에 에어를 공급해도 좋다. The heating unit 56 has a function of blowing heated air downward. In FIG. 2, a cross section of the heating unit 56 is shown. The heating unit 56 has an air supply path 58 provided with a cylindrical case along the vertical direction. The upper end of the air supply path 58 is connected to the air supply source 60 via an on-off valve 62. When the on-off valve 62 is opened, air can be supplied from the air supply source 60 to the air supply path 58. Further, the air supply source 60 may supply air to the air supply path 58 through the rod 52 and the support plate 54 or the like.

에어 공급로(58)의 내부에는, 에어 공급원(60)으로부터 공급된 에어를 가열하는 가열 기구로서 코일 히터(64)가 설치되어 있다. 코일 히터(64)는 전원 및 스위치(66)에 접속되어 있고, 스위치(66)를 온으로 하여 코일 히터(64)에 전류를 흘리면 상기 코일 히터(64)로부터 열이 생겨 에어 공급원(60)으로부터 공급된 에어가 가열된다. 에어 공급로(58)의 하면에는 개구(58a)가 설치되어 있고, 개폐 밸브(62)를 개방하여 가열 유닛(56)을 작동시키면, 상기 개구(58a)로부터 하측으로 가열된 에어가 분출된다. A coil heater 64 is provided inside the air supply path 58 as a heating mechanism for heating the air supplied from the air supply source 60. The coil heater 64 is connected to a power supply and a switch 66, and when the switch 66 is turned on and current is passed to the coil heater 64, heat is generated from the coil heater 64 and the air supply source 60 The supplied air is heated. An opening 58a is provided on the lower surface of the air supply path 58, and when the on-off valve 62 is opened to operate the heating unit 56, air heated downward from the opening 58a is ejected.

시트 수축 유닛(50)은, 지지 플레이트(54)의 중앙 하면에 회전 모터(68)를 구비하고, 상기 회전 모터(68)에는 수직 방향을 따르는 회전축(70)의 상단이 장착되어 있다. 회전축(70)의 하단에는, 원판형의 셔터 플레이트(72)가 접속되어 있다. 원판형의 셔터 플레이트(72)의 직경은, 프레임 고정 유닛(4)의 프레임 누름부(8)의 개구(8a)의 직경보다 약간 작다. 프레임 누름부(8)는, 셔터 플레이트(72)를 상기 개구(8a)에 수용한 상태로 셔터 플레이트(72)에 대하여 상대적으로 승강 가능해도 좋다. The sheet contraction unit 50 includes a rotation motor 68 on a central lower surface of the support plate 54, and an upper end of a rotation shaft 70 along a vertical direction is mounted on the rotation motor 68. A disk-shaped shutter plate 72 is connected to the lower end of the rotation shaft 70. The diameter of the disk-shaped shutter plate 72 is slightly smaller than the diameter of the opening 8a of the frame pressing portion 8 of the frame fixing unit 4. The frame pressing part 8 may be able to move up and down relative to the shutter plate 72 in a state where the shutter plate 72 is accommodated in the opening 8a.

셔터 플레이트(72)는, 지지 플레이트(54)에서의 복수의 가열 유닛(56)의 배치에 대응하는 배치로 복수의 개구(72a)(도 1 및 도 5 참조)를 구비한다. 예컨대, 지지 플레이트(54)는, 상기 지지 플레이트(54)의 하면의 중심으로부터의 직경이 소정의 직경이 되는 복수의 등간격으로 나열된 고정 위치에 가열 유닛(56)을 각각 구비한다. 그리고, 셔터 플레이트(72)는, 상기 셔터 플레이트(72)의 중심으로부터의 직경이 상기 소정의 직경이 되는 복수의 등간격으로 나열된 형성 위치에 상기 가열 유닛(56)의 수와 동일한 수만큼 개구(72a)를 구비한다. The shutter plate 72 is provided with a plurality of openings 72a (see FIGS. 1 and 5) in an arrangement corresponding to the arrangement of the plurality of heating units 56 in the support plate 54. For example, the support plate 54 includes heating units 56 at fixed positions arranged at a plurality of equal intervals in which the diameter from the center of the lower surface of the support plate 54 becomes a predetermined diameter. In addition, the shutter plate 72 is formed at a plurality of equally spaced positions in which the diameter from the center of the shutter plate 72 becomes the predetermined diameter, and the number of openings equal to the number of the heating units 56 ( 72a).

셔터 플레이트(72)는, 가열 유닛(56)으로부터의 열이 불필요하게 피가공물 유닛(11)에 전달되는 것을 방지하는 기능을 갖는다. 가열 유닛(56)으로부터 피가공물 유닛(11)로의 열의 전달을 차단하고자 하는 경우에는, 회전 모터(68)를 작동시켜 회전축(70)을 회전시킴으로써 셔터 플레이트(72)를 회전시켜, 각 가열 유닛(56)의 위치와 각 개구(72a)의 위치를 어긋나게 한다. The shutter plate 72 has a function of preventing heat from the heating unit 56 from being unnecessarily transmitted to the work unit 11. When it is desired to block the transfer of heat from the heating unit 56 to the workpiece unit 11, the shutter plate 72 is rotated by operating the rotary motor 68 to rotate the rotary shaft 70, and each heating unit ( 56) and the position of each opening 72a are shifted.

또한, 시트 수축 유닛(50)에 의해 피가공물 유닛(11)의 이완이 생긴 익스팬드 시트(7)를 수축시킬 때에는, 셔터 플레이트(72)를 회전시켜 각 가열 유닛(56)의 위치에 각 개구(72a)의 위치를 맞춘다. 그리고, 가열 유닛(56)의 에어 공급로(58)의 개구(58a)와 셔터 플레이트(72)의 개구(72a)를 통해 가열된 에어를 익스팬드 시트(7)에 공급한다. In addition, when the expanded sheet 7 in which the work unit 11 is loosened is contracted by the sheet contracting unit 50, the shutter plate 72 is rotated to open each opening at the position of each heating unit 56. Align the position of (72a). Then, the heated air is supplied to the expand sheet 7 through the opening 58a of the air supply path 58 of the heating unit 56 and the opening 72a of the shutter plate 72.

또한, 시트 수축 유닛(50)의 로드(52)의 상단에는 도시하지 않은 회전 모터가 접속되어 있다. 가열 유닛(56)에 의해 익스팬드 시트(7)에 가열된 에어를 공급하면서 상기 회전 모터를 작동시키면, 확장되어 이완이 생긴 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역이 전체 둘레에 걸쳐 가열된다. 그리고, 익스팬드 시트(7)가 수축되어, 형성된 디바이스 칩(15)(도 4 및 도 5 참조)의 간격이 넓게 유지되고, 디바이스 칩(15)의 픽업이 용이해진다. Further, a rotation motor (not shown) is connected to the upper end of the rod 52 of the sheet contraction unit 50. When the rotating motor is operated while supplying heated air to the expand sheet 7 by the heating unit 56, the workpiece 1 and the annular frame 9 of the expand sheet 7 are expanded and loosened. The area between the inner circumferential edges of the is heated over the entire perimeter. Then, the expand sheet 7 is contracted to maintain a wide spacing between the formed device chips 15 (see Figs. 4 and 5), and the device chips 15 can be easily picked up.

본 실시형태에 관한 익스팬드 장치(2)는, 프레임 고정 유닛(4)의 프레임 누름부(8)의 내주벽에 형성된 분출구(22)로부터, 프레임 고정 유닛(4)에 의해 고정된 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7)에 냉각 에어를 공급할 수 있다. 또한, 유지 테이블(34)에 부착된 냉각 유닛(44)을 작동시키면, 익스팬드 시트(7) 및 피가공물(1)을 냉각시킬 수 있다. 즉, 익스팬드 시트(7)를 상하로부터 냉각시킬 수 있다. The expander 2 according to the present embodiment is a work unit fixed by the frame fixing unit 4 from the ejection opening 22 formed on the inner peripheral wall of the frame pressing portion 8 of the frame fixing unit 4. Cooling air can be supplied to the expand seat 7 of (11). Further, when the cooling unit 44 attached to the holding table 34 is operated, the expanded sheet 7 and the workpiece 1 can be cooled. That is, the expand sheet 7 can be cooled from the top and bottom.

본 실시형태에 관한 익스팬드 장치(2)는, 익스팬드 시트(7)를 확장할 때에 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역을 냉각시킬 수 있다. 상기 영역이 냉각되고 신장이 억제된 익스팬드 시트(7)를 확장하면, 익스팬드 시트(7)가 적절하게 확장되어, 피가공물(1)을 확실하게 분할할 수 있다. The expander 2 according to this embodiment cools the area between the work 1 of the expandable sheet 7 and the inner peripheral edge of the annular frame 9 when expanding the expandable sheet 7. I can. When the area is cooled and the expand sheet 7 whose elongation is suppressed is expanded, the expand sheet 7 is appropriately expanded, so that the workpiece 1 can be reliably divided.

또한, 피가공물(1)에 미리 DAF(다이 어태치 필름)이 설치되어 있는 경우, 냉각 유닛(44)에 의해 유지 테이블(냉각 플레이트)(34)을 통해 DAF가 냉각된다. 그 때문에, 익스팬드 시트(7)의 확장에 의해 피가공물(1)을 분할할 때에, DAF의 신장이 억제되어 보다 확실하게 DAF도 분할된다. Further, when a DAF (die attach film) is previously provided on the workpiece 1, the DAF is cooled by the cooling unit 44 via the holding table (cooling plate) 34. Therefore, when the work piece 1 is divided by the expansion of the expand sheet 7, the extension of the DAF is suppressed, and the DAF is also divided more reliably.

종래, 익스팬드 시트(7)를 확장할 때에 익스팬드 시트(7) 등을 냉각시키기 위해서는, 익스팬드 장치의 각 구성 요소를 수용하는 크기의 냉각 챔버를 준비해야 했다. 이것에 대하여, 본 실시형태에 관한 익스팬드 장치(2)에서는, 냉각의 필요성이 있는 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역을 냉각시킨다. 이와 같이 익스팬드 시트(7)의 주위에 냉각 공간을 형성할 수 있기 때문에, 냉각 챔버는 불필요해진다. 익스팬드 장치(2)는, 한정된 영역만을 냉각시키기 때문에 익스팬드 시트(7)를 효율적으로 냉각시킬 수 있다. Conventionally, in order to cool the expand sheet 7 or the like when expanding the expand sheet 7, it is necessary to prepare a cooling chamber having a size to accommodate each component of the expand device. In contrast, in the expander 2 according to the present embodiment, the area between the work 1 of the expand sheet 7 in need of cooling and the inner peripheral edge of the annular frame 9 is cooled. Since the cooling space can be formed around the expand sheet 7 in this way, the cooling chamber becomes unnecessary. Since the expand device 2 cools only a limited area, the expand sheet 7 can be efficiently cooled.

다음으로, 본 실시형태에 관한 익스팬드 장치(2)의 사용 방법으로서, 상기 익스팬드 장치(2)에 의해 익스팬드 시트(7)를 확장하는 방법에 관해 설명한다. 우선, 익스팬드 장치(2)에 피가공물 유닛(11)을 반입한다. 도 2는, 익스팬드 장치(2)에 반입된 상태의 피가공물 유닛(11) 및 상기 익스팬드 장치(2)의 단면도가 모식적으로 나타나 있다. 또, 도 2 이하의 각 도면에서는, 설명의 편의를 위해, 익스팬드 장치(2) 등의 일부의 구성 요소의 단면도가 나타나 있다. Next, as a method of using the expander 2 according to the present embodiment, a method of expanding the expandable sheet 7 by the expander 2 will be described. First, the workpiece unit 11 is carried into the expander 2. FIG. 2 schematically shows a cross-sectional view of the work unit 11 and the expander 2 in a state carried in the expander 2. In addition, in each drawing below FIG. 2, for convenience of explanation, a cross-sectional view of some constituent elements such as the expander 2 is shown.

피가공물 유닛(11)을 반입할 때에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 피가공물 유닛(11)의 환형 프레임(9)을 프레임 고정 유닛(4)의 프레임 지지부(6)의 위에 얹고, 유지 테이블(34)의 위에 익스팬드 시트(7)를 개재하여 피가공물(1)을 얹는다. When carrying in the work unit 11, as shown in Fig. 2, the annular frame 9 of the work unit 11 is placed on the frame support 6 of the frame fixing unit 4, and the holding table ( The workpiece 1 is placed on top of 34) through the expand sheet 7.

다음으로, 익스팬드 시트(7) 등을 냉각시킨다. 도 3에는, 익스팬드 시트(7)를 냉각시키는 익스팬드 장치(2)와, 냉각되어 있는 익스팬드 시트(7)의 단면도가 나타나 있다. 익스팬드 시트(7)를 냉각시킬 때에는, 우선, 에어 실린더(10)를 작동시켜 로드(12)를 상승시키고, 환형 프레임(9)이 상측의 프레임 누름부(8)에 접촉할 때까지 프레임 지지부(6)를 상승시킨다. Next, the expand sheet 7 or the like is cooled. In FIG. 3, the expander 2 for cooling the expandable sheet 7 and a cross-sectional view of the expanded expandable sheet 7 are shown. When cooling the expand seat (7), first, operate the air cylinder (10) to raise the rod (12), and the frame support portion until the annular frame (9) contacts the upper frame pressing portion (8). (6) is raised.

이 경우, 프레임 지지부(6)와 프레임 누름부(8)에 의해 피가공물 유닛(11)의 환형 프레임(9)이 협지된다. 이 때, 프레임 지지부(6)를 더 상승시키고, 환형 프레임(9)을 통해 프레임 누름부(8)를 더 상승시켜도 좋다. In this case, the annular frame 9 of the workpiece unit 11 is held by the frame support 6 and the frame pressing portion 8. At this time, the frame support portion 6 may be further raised, and the frame pressing portion 8 may be further raised through the annular frame 9.

다음으로, 냉각 에어 공급원(30)의 개폐 밸브(26)를 개방하여 압축 에어 공급원(28)으로부터 볼텍스 튜브(24)에 압축 에어를 공급하고, 볼텍스 튜브(24)에서 상기 압축 에어를 냉각시킨다. 그리고, 생긴 냉각 에어는, 프레임 누름부(8)에 형성된 냉각 에어 공급로(20)의 공급로(18), 환형 냉각로(14) 및 분기로(16)를 통해 각 분출구(22)에 도달한다. 상기 냉각 에어는, 상기 각 분출구(22)로부터 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역을 향해 분출되어, 익스팬드 시트(7)가 냉각된다. Next, the opening/closing valve 26 of the cooling air supply source 30 is opened to supply compressed air from the compressed air supply source 28 to the vortex tube 24, and the compressed air is cooled by the vortex tube 24. Then, the generated cooling air reaches each jet port 22 through the supply path 18, the annular cooling path 14, and the branch path 16 of the cooling air supply path 20 formed in the frame pressing portion 8. do. The cooling air is ejected from the respective ejection ports 22 toward the region between the workpiece 1 of the expand sheet 7 and the inner peripheral edge of the annular frame 9, thereby cooling the expand sheet 7 .

냉각 에어 공급원(30)은, 환형 냉각로(14)에 냉각 에어를 공급함으로써 프레임 고정 유닛(4)을 냉각시켜, 상기 프레임 고정 유닛(4)으로 고정된 환형 프레임(9)을 갖는 피가공물 유닛(11)의 피가공물(1) 주위에 냉각 공간을 형성한다. The cooling air supply source 30 cools the frame fixing unit 4 by supplying cooling air to the annular cooling furnace 14, and a workpiece unit having an annular frame 9 fixed by the frame fixing unit 4 A cooling space is formed around the workpiece (1) of (11).

또, 개폐 밸브(26)를 개방하여, 냉각 에어에 의한 익스팬드 시트(7)의 냉각을 시작하는 것은, 프레임 지지부(6)에 환형 프레임(9)을 얹은 후, 프레임 고정 유닛(4)에 의해 상기 환형 프레임(9)을 고정하기 전이어도 좋다. 또한, 후술하는 바와 같이, 익스팬드 시트(7)를 가열하여 수축시킬 때에만 개폐 밸브(26)를 폐쇄하고, 그 외에는 개폐 밸브(26)를 항상 개방해 두어도 좋다. 개폐 밸브(26)를 개방하고 있는 시간이 길수록, 익스팬드 장치(2)의 내부를 충분히 냉각시킬 수 있다. In addition, opening the opening/closing valve 26 and starting cooling of the expanded seat 7 by cooling air is performed by placing the annular frame 9 on the frame support 6 and then on the frame fixing unit 4. Thus, it may be before the annular frame 9 is fixed. In addition, as will be described later, the on-off valve 26 may be closed only when the expand seat 7 is heated and contracted, and the on-off valve 26 may be kept open at all times. The longer the opening/closing valve 26 is opened, the more sufficiently the inside of the expander 2 can be cooled.

또한, 피가공물(1)에 DAF가 배치되어 있는 경우 등, 필요에 따라서 유지 테이블(냉각 플레이트)(34)에 부착된 냉각 유닛(44)을 작동시켜 익스팬드 시트(7)를 통해 피가공물(1)을 냉각시켜도 좋다. 이 경우, 익스팬드 장치(2)에는, 미리 냉각 유닛(44)에 의한 냉각을 실시하는 지령이 입력된다. 그리고, 냉각 유닛(44)은, 상기 지령이 익스팬드 장치(2)에 입력되었을 때에 즉시 작동이 시작되어도 좋다. In addition, if necessary, such as when DAF is arranged on the workpiece 1, the cooling unit 44 attached to the holding table (cooling plate) 34 is operated, and the workpiece ( 1) may be cooled. In this case, a command for cooling by the cooling unit 44 is input to the expander 2 in advance. Further, the cooling unit 44 may be started immediately when the command is input to the expander 2.

다음으로, 익스팬드 시트(7)를 직경 방향 외측으로 확장한다. 도 4에는, 익스팬드 시트(7)를 확장하는 익스팬드 장치(2)와, 확장되어 있는 익스팬드 시트(7)의 단면도가 나타나 있다. 익스팬드 시트(7)를 직경 방향 외측으로 확장할 때에는, 확장 유닛(32)의 에어 실린더(46)를 작동시켜 로드(48)를 상승시키고 유지 테이블(34)을 상승시킨다. Next, the expand sheet 7 is expanded outward in the radial direction. In Fig. 4, a cross-sectional view of the expander 2 for extending the expandable sheet 7 and the expanded expandable sheet 7 are shown. When expanding the expand seat 7 outward in the radial direction, the air cylinder 46 of the expansion unit 32 is operated to raise the rod 48 and the holding table 34.

이 경우, 익스팬드 시트(7)가 확장되어 피가공물(1)에 직경 방향 외측으로 향하는 힘이 작용하여, 개질층(3)으로부터 상하 방향으로 크랙이 생키고, 상기 개질층(3)을 기점으로 하여 피가공물(1)이 분할된다. 피가공물(1)이 분할되면, 각각 디바이스(5)를 갖는 개개의 디바이스 칩(15)이 형성된다. 디바이스 칩(15)은, 계속해서 익스팬드 시트(7)에 유지된다. In this case, the expand sheet 7 is expanded and a force directed radially outwardly acts on the workpiece 1, resulting in cracks in the vertical direction from the modified layer 3, and the modified layer 3 is the starting point. As a result, the workpiece 1 is divided. When the work piece 1 is divided, individual device chips 15 each having a device 5 are formed. The device chip 15 is continuously held on the expand sheet 7.

익스팬드 시트(7)를 확장시킨 후에는, 개폐 밸브(26)를 폐쇄함과 더불어 냉각 유닛(44)의 가동을 정지시켜, 익스팬드 시트(7)의 냉각을 정지한다. 단, 익스팬드 시트(7)의 냉각 정지 타이밍은 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 후술하는 바와 같이 익스팬드 시트(7)의 확장을 해제한 후에 익스팬드 시트(7)의 냉각을 정지시켜도 좋고, 익스팬드 시트(7)를 가열하기 직전에 익스팬드 시트(7)의 냉각을 정지시켜도 좋다. After expanding the expand seat 7, the opening/closing valve 26 is closed and the operation of the cooling unit 44 is stopped to stop cooling of the expand seat 7. However, the timing of stopping the cooling of the expand seat 7 is not limited to this. For example, as described later, the cooling of the expand seat 7 may be stopped after the expansion of the expand seat 7 is released, and the cooling of the expand seat 7 immediately before heating the expand seat 7 May be stopped.

다음으로, 익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하고, 익스팬드 시트(7)를 가열하여 수축시킨다. 익스팬드 시트(7)를 가열에 의해 수축시키는 공정은, 히트 쉬링크라고도 불린다. 도 5에는, 익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하고 가열하는 익스팬드 장치(2)와, 상기 익스팬드 시트(7)의 단면도가 나타나 있다. Next, expansion of the expand sheet 7 is released, and the expand sheet 7 is heated to shrink. The process of shrinking the expand sheet 7 by heating is also called a heat shrink. In Fig. 5, an expand device 2 for releasing and heating the expansion sheet 7 and a cross-sectional view of the expand sheet 7 are shown.

익스팬드 시트(7)의 확장을 해제할 때에는, 에어 실린더(46)를 작동시켜 로드(48)를 하강시키고, 유지 테이블(34)을 하강시킨다. 여기서, 익스팬드 시트(7)를 확장한 후 익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하기 전에, 미리 개폐 밸브(40)를 개방해 둔다. 그리고, 흡인원(42)에 의해 생기는 부압을 흡인로(36) 및 흡인구(38)를 통해 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7) 및 피가공물(1)에 작용시켜, 유지 테이블(34)에 익스팬드 시트(7) 등을 유지시킨다. When the expansion of the expand seat 7 is released, the air cylinder 46 is operated to lower the rod 48 and the holding table 34 is lowered. Here, after expanding the expand seat 7, before releasing the expansion of the expand seat 7, the on-off valve 40 is opened in advance. Then, the negative pressure generated by the suction source 42 is applied to the expanded sheet 7 and the work 1 of the work unit 11 through the suction path 36 and the suction port 38, and the holding table The expand sheet 7 and the like are held at 34.

익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하면, 익스팬드 시트(7)에 이완이 생긴다. 이 때, 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 중복되는 영역은, 유지 테이블(34)의 유지 기구에 의해 고정되어 있기 때문에, 도 5에 나타낸 바와 같이, 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역에 이완이 집중된다. When the expansion of the expand sheet 7 is released, relaxation occurs in the expand sheet 7. At this time, since the area overlapping the work piece 1 of the expand sheet 7 is fixed by the holding mechanism of the holding table 34, as shown in Fig. 5, the expansion sheet 7 Relaxation is concentrated in the area between the workpiece 1 and the inner circumferential edge of the annular frame 9.

그 후, 회전 모터(68)를 작동시키고, 셔터 플레이트(72)를 회전시켜 개구(72a)를 가열 유닛(56)의 하측으로 이동시킨다. 그리고, 개폐 밸브(62)를 개방하여 에어 공급원(60)으로부터 에어 공급로(58)에 에어를 공급하면서, 스위치(66)를 온으로 하여 코일 히터(64)에 통전하고, 상기 에어를 가열한다. 이 경우, 에어 공급로(58)의 내부에서 가열된 에어가 에어 공급로(58)의 개구(58a)와 셔터 플레이트의 개구(72a)를 통과하여, 이완이 생긴 익스팬드 시트(7)의 상기 영역에 공급된다. After that, the rotation motor 68 is operated and the shutter plate 72 is rotated to move the opening 72a to the lower side of the heating unit 56. Then, while opening the on-off valve 62 to supply air from the air supply source 60 to the air supply path 58, the switch 66 is turned on to energize the coil heater 64 to heat the air. . In this case, the air heated in the air supply path 58 passes through the opening 58a of the air supply path 58 and the opening 72a of the shutter plate, and the above of the expanded sheet 7 where relaxation occurs. Is supplied to the area.

또, 익스팬드 장치(2)를 가동시키는 동안, 스위치(66)는 항상 온으로 해도 좋고, 개폐 밸브(62)의 개폐를 제어하는 것에 의해 가열된 에어의 공급과 정지를 전환해도 좋다. 스위치(66)를 온으로 하고 나서 코일 히터(64)가 소정의 온도에 도달할 때까지는 일정한 시간이 필요하지만, 스위치(66)를 항상 온으로 해 두면 코일 히터(64)의 온도 상승을 대기할 필요가 없다. Further, while the expander 2 is being operated, the switch 66 may be always turned on, or the supply and stop of heated air may be switched by controlling the opening and closing of the on-off valve 62. After turning on the switch 66, a certain amount of time is required until the coil heater 64 reaches a predetermined temperature, but if the switch 66 is always turned on, it is possible to wait for the temperature rise of the coil heater 64. no need.

익스팬드 시트(7)의 상기 영역이 상기 가열된 에어에 의해 가열되어 수축되면, 유지 테이블(34)의 유지 기구의 가동을 정지시키고 익스팬드 시트(7)의 흡인을 해제했을 때, 피가공물(1)과 중복되는 영역에서 익스팬드 시트(7)가 확장된 상태가 된다. 이 경우, 디바이스 칩(15)의 간격이 넓게 유지되기 때문에, 이후에 피가공물 유닛(11)을 운반할 때 등에 인접하는 디바이스 칩(15)이 서로 접촉하기 어려워져, 디바이스 칩(15)의 손상이 억제된다. When the area of the expand sheet 7 is heated and contracted by the heated air, the operation of the holding mechanism of the holding table 34 is stopped and the suction of the expand sheet 7 is released, the workpiece ( In the area overlapping with 1), the expandable sheet 7 is in an extended state. In this case, since the distance between the device chips 15 is kept wide, the device chips 15 adjacent to each other are difficult to contact with each other when transporting the workpiece unit 11 afterwards, and the device chip 15 is damaged. Is suppressed.

다음으로, 본 실시형태에 관한 익스팬드 장치의 변형예에 관해 설명한다. 도 6 내지 도 9에는, 상기 변형예에 관한 익스팬드 장치(80)의 단면도가 모식적으로 나타나 있다. 상기 익스팬드 장치(80)는, 전술한 익스팬드 장치(2)와 마찬가지로 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7)를 냉각시키면서 익스팬드 시트(7)를 확장한다. 이하, 익스팬드 장치(80)에 관해 설명한다. Next, a modified example of the expander according to the present embodiment will be described. 6 to 9 schematically show cross-sectional views of the expander 80 according to the modification. The expander 80 expands the expandable seat 7 while cooling the expandable seat 7 of the work unit 11 similarly to the expander 2 described above. Hereinafter, the expand device 80 will be described.

익스팬드 장치(80)는, 기본적으로는 익스팬드 장치(2)와 동일한 구성 요소를 구비하고, 동일한 기능을 발휘하지만, 복수의 점에서 익스팬드 장치(2)와는 상이하다. 예컨대, 익스팬드 장치(80)에서는, 피가공물 유닛(11)이 반입되는 높이보다 상측에 유지 테이블(냉각 플레이트)(124)이 위치하고 있고, 또한, 상기 높이 위치보다 하측에 시트 수축 유닛(142)이 위치하고 있다. The expand device 80 basically includes the same components as the expand device 2 and exhibits the same function, but differs from the expand device 2 in a plurality of points. For example, in the expander 80, the holding table (cooling plate) 124 is positioned above the height at which the workpiece unit 11 is carried, and the sheet shrinking unit 142 is positioned below the height position. Is located.

이하, 익스팬드 장치(80)의 각 구성 요소의 구조 및 기능 중 익스팬드 장치(2)와 동일한 것에 관해 설명을 생략하는 경우가 있다. 이 경우, 익스팬드 장치(2)에 관한 설명을 익스팬드 장치(80)의 설명에 적절하게 참작할 수 있다. Hereinafter, descriptions of the structures and functions of each component of the expand device 80 that are the same as those of the expand device 2 may be omitted in some cases. In this case, the description of the expand device 2 can be appropriately taken into account for the description of the expand device 80.

익스팬드 장치(80)는, 상기 익스팬드 장치(80)의 각 구성 요소를 수용하는 케이스(82)를 구비한다. 단, 케이스(82)는 냉각 챔버가 아니라, 상기 케이스(82)의 내부 전체를 냉각시키는 기구를 익스팬드 장치(80)는 구비하지 않는다. 케이스(82)의 측면에는, 피가공물 유닛(11)의 반입 반출구(82a)가 되는 개구가 형성되어 있고, 상기 개구는 개폐 도어(82b)에 의해 개폐 가능하다. The expand device 80 includes a case 82 for accommodating each component of the expand device 80. However, the case 82 is not a cooling chamber, but the expander 80 does not have a mechanism for cooling the entire interior of the case 82. In the side surface of the case 82, an opening serving as a carry-in/out port 82a of the work unit 11 is formed, and the opening can be opened and closed by an opening/closing door 82b.

익스팬드 장치(80)는, 프레임 고정 유닛(84)과, 확장 유닛(112)과, 유지 테이블(냉각 플레이트)(124)과, 시트 수축 유닛(142)을 케이스(82)의 내부에 구비한다. 도 2 내지 도 5에 나타낸 익스팬드 장치(2)와는 달리, 익스팬드 장치(80)에는, 피가공물(1)이 하측을 향한 상태로 피가공물 유닛(11)이 반입된다. The expander 80 includes a frame fixing unit 84, an expansion unit 112, a holding table (cooling plate) 124, and a sheet contraction unit 142 inside the case 82. . Unlike the expand device 2 shown in FIGS. 2 to 5, the work unit 11 is carried into the expand device 80 with the work 1 facing downward.

프레임 고정 유닛(84)은, 피가공물 유닛(11)의 환형 프레임(9)을 지지할 수 있는 환형의 프레임 지지부(86)를 구비한다. 프레임 지지부(86)는 중앙에 개구(86a)를 구비한다. 프레임 지지부(86)의 하면에는 복수의 로드(92)의 상단이 접속되어 있고, 상기 로드(92)의 하단은 각각 에어 실린더(90) 등의 승강 기구에 수용되어 있다. 프레임 고정 유닛(84)은, 프레임 지지부(86)의 상측에 프레임 누름부(88)를 더 구비한다. 프레임 누름부(88)는, 중앙에 개구(88a)를 구비한 환형의 부재이다. The frame fixing unit 84 includes an annular frame support 86 capable of supporting the annular frame 9 of the work unit 11. The frame support 86 has an opening 86a in the center. An upper end of a plurality of rods 92 is connected to the lower surface of the frame support portion 86, and the lower ends of the rods 92 are each accommodated in an elevating mechanism such as an air cylinder 90. The frame fixing unit 84 further includes a frame pressing portion 88 on the upper side of the frame support portion 86. The frame pressing portion 88 is an annular member having an opening 88a in the center.

프레임 누름부(88)의 하면에는, 고무나 실리콘 수지 등의 유연 부재로 이루어진 시일부(88d)가 형성된다. 환형 프레임(9)을 얹는 프레임 지지부(86)를 상승시켜, 프레임 누름부(88)의 하면에 환형 프레임(9)을 접촉시키면, 환형 프레임(9)이 프레임 지지부(86) 및 프레임 누름부(88)에 의해 협지되어 유지된다. 이 때, 피가공물 유닛(11)에 휘어짐이나 굴곡이 생기더라도, 시일부(88d)가 피가공물 유닛(11)에 접촉하여 상기 프레임 누름부(88) 및 피가공물 유닛(11)의 사이가 간극없이 막힌다. On the lower surface of the frame pressing portion 88, a seal portion 88d made of a flexible member such as rubber or silicone resin is formed. When the frame support portion 86 on which the annular frame 9 is mounted is raised and the annular frame 9 is brought into contact with the lower surface of the frame pressing portion 88, the annular frame 9 is formed with the frame support portion 86 and the frame pressing portion ( 88). At this time, even if bending or bending occurs in the workpiece unit 11, the seal portion 88d contacts the workpiece unit 11, so that a gap between the frame pressing portion 88 and the workpiece unit 11 Without clogging.

또한, 프레임 누름부(88)에는 상하로 관통하는 관통 구멍(88b)이 형성되어 있다. 그리고, 관통 구멍(88b)의 하측에 헤드가 위치 부여되는 양태로 프레임 누름부 지지 볼트(88c)가 상기 관통 구멍(88b)에 관통해 있다. 프레임 누름부 지지 볼트(88c)의 상기 헤드와는 반대측의 상단은, 예컨대, 케이스(82)에 고정된 후술하는 확장 롤러 지지부(114) 등에 고정된다. 그리고, 프레임 누름부(88)는 외력에 따라서 상측으로 이동 가능하다. Further, the frame pressing portion 88 is formed with a through hole 88b penetrating vertically. Further, the frame pressing portion support bolt 88c penetrates through the through hole 88b in such a manner that the head is positioned below the through hole 88b. The upper end of the frame pressing part support bolt 88c on the opposite side to the head is fixed to, for example, an expansion roller support 114 to be described later, which is fixed to the case 82. In addition, the frame pressing unit 88 is movable upward according to an external force.

예컨대, 환형 프레임(9)을 얹는 프레임 지지부(86)를 상승시켜 환형 프레임(9)을 프레임 누름부(88)에 접촉시킨 후, 프레임 지지부(86)를 더 상승시키면, 프레임 누름부(88)가 상승한다. 프레임 누름부(88)는, 협지된 환형 프레임(9)에 위치 어긋남이 생기지 않도록, 견고하게 환형 프레임(9)을 고정할 수 있는 중량으로 형성되는 것이 바람직하다. 또, 후술하는 확장 롤러(116)가 승강 가능하게 배치되어 있는 경우, 프레임 누름부(88)는 고정되어 있어도 좋다. For example, when the frame support portion 86 on which the annular frame 9 is mounted is raised to bring the annular frame 9 into contact with the frame pressing portion 88, and then the frame support portion 86 is further raised, the frame pressing portion 88 Rises. The frame pressing portion 88 is preferably formed of a weight capable of firmly fixing the annular frame 9 so as not to cause a positional shift in the pinched annular frame 9. Moreover, when the expansion roller 116 mentioned later is arrange|positioned so that it can raise and lower, the frame pressing part 88 may be fixed.

상기 프레임 누름부(88)에는 복수의 분출구(102)가 형성되어 있다. 프레임 누름부(88)의 내부에는, 일단이 분출구(102)에 통하고 타단이 냉각 에어 공급원(110)에 통하는 냉각 에어 공급로(100)가 형성되어 있다. 또, 도 6 등에 나타내는 익스팬드 장치(80)에서는, 프레임 누름부(88)의 바닥면에 복수의 분출구(102)가 형성되어 있지만, 분출구(102)의 형성 위치는 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 분출구(102)는 프레임 누름부(88)의 내주벽면에 형성되어도 좋다. A plurality of ejection ports 102 are formed in the frame pressing portion 88. Inside the frame pressing portion 88, a cooling air supply path 100 is formed in which one end passes through the ejection port 102 and the other end passes through the cooling air supply source 110. Further, in the expander 80 shown in Fig. 6 or the like, a plurality of ejection openings 102 are formed on the bottom surface of the frame pressing portion 88, but the formation position of the ejection openings 102 is not limited to this. For example, the ejection port 102 may be formed on the inner peripheral wall surface of the frame pressing portion 88.

냉각 에어 공급로(100)는, 예컨대, 환형 냉각로(94)와 복수의 분기로(96)를 포함한다. 또한, 냉각 에어 공급로(100)는, 일단이 냉각 에어 공급원(110)에 통하고 타단이 환형 냉각로(94)에 이르는 공급로(98)를 포함한다. 냉각 에어 공급원(110)은, 압축 에어 공급원(108)과, 볼텍스 튜브(104) 등의 냉각 기구를 구비한다. 또한, 압축 에어 공급원(108)과 볼텍스 튜브(104) 사이의 통기로에는 개폐 밸브(106)가 설치되어 있다. The cooling air supply path 100 includes, for example, an annular cooling path 94 and a plurality of branch paths 96. Further, the cooling air supply path 100 includes a supply path 98 having one end passing through the cooling air supply source 110 and the other end reaching the annular cooling path 94. The cooling air supply source 110 includes a compressed air supply source 108 and a cooling mechanism such as a vortex tube 104. In addition, an on-off valve 106 is provided in the ventilation path between the compressed air supply source 108 and the vortex tube 104.

확장 유닛(112)은, 확장 롤러(116)를 상측으로부터 지지하는 확장 롤러 지지부(114)를 구비한다. 확장 롤러 지지부(114)는, 예컨대, 일단이 케이스(82)에 고정된 아암부를 구비한다. 상기 아암부는, 케이스(82)의 중앙을 향해 프레임 누름부(88)의 개구(88a)의 내측의 상측으로까지 신장되어 있다. 그리고, 확장 롤러 지지부(114)는, 상기 아암부의 타단으로부터 하측으로 늘어진 현수부를 구비하고, 상기 현수부의 하단에는 확장 롤러(116)가 부착되어 있다. 또, 확장 롤러(116)는 승강 가능하게 배치되어 있어도 좋다. The expansion unit 112 includes an expansion roller support portion 114 that supports the expansion roller 116 from above. The expansion roller support portion 114 includes, for example, an arm portion whose one end is fixed to the case 82. The arm portion extends upward from the inside of the opening 88a of the frame pressing portion 88 toward the center of the case 82. Further, the expansion roller support portion 114 includes a suspension portion extending downward from the other end of the arm portion, and an expansion roller 116 is attached to the lower end of the suspension portion. Further, the expansion roller 116 may be disposed so as to be able to move up and down.

프레임 고정 유닛(84)의 프레임 지지부(86)를 상승시키고, 프레임 고정 유닛(84)에 고정된 환형 프레임(9)을 갖는 피가공물 유닛(11)을 상승시켜 상기 피가공물 유닛(11)에 포함된 익스팬드 시트(7)를 확장 롤러(116)에 접촉시킨다. 그 후, 프레임 지지부(86)를 더 상승시켜 피가공물 유닛(11)을 상승시키면, 상기 익스팬드 시트(7)가 직경 방향 외측으로 확장된다. The frame support part 86 of the frame fixing unit 84 is raised, and the workpiece unit 11 having the annular frame 9 fixed to the frame fixing unit 84 is raised to be included in the workpiece unit 11 The expanded sheet 7 is brought into contact with the expansion roller 116. Thereafter, when the frame support portion 86 is further raised to raise the workpiece unit 11, the expand sheet 7 extends outward in the radial direction.

이 경우, 확장 롤러 지지부(114)와, 확장 롤러(116)와, 프레임 지지부(86)와, 에어 실린더(90)와, 로드(92)는 익스팬드 시트(7)를 확장하는 확장 유닛(112)으로서 기능한다. In this case, the expansion roller support portion 114, the expansion roller 116, the frame support portion 86, the air cylinder 90, and the rod 92 are an expansion unit 112 that expands the expand seat 7 ).

유지 테이블(124)은, 익스팬드 시트(7)를 통해 피가공물(1)을 흡인 유지할 수 있다. 유지 테이블(124)의 하면에는 복수의 흡인구(130)가 형성되어 있고, 유지 테이블(124)의 내부에는 각각의 흡인구(130)에 접속되는 흡인로(128)가 형성되어 있다. 그리고, 흡인로(128)는, 유지 테이블(124)의 외부에 배치된 흡인원(132)에 접속되어 있다. 흡인로(128)와 흡인원(132) 사이에는 개폐 밸브(134)가 설치되어 있다. The holding table 124 can suction and hold the workpiece 1 through the expanded sheet 7. A plurality of suction ports 130 are formed on the lower surface of the holding table 124, and suction paths 128 connected to each suction port 130 are formed inside the holding table 124. Then, the suction path 128 is connected to a suction source 132 disposed outside the holding table 124. An opening/closing valve 134 is provided between the suction path 128 and the suction source 132.

또한, 유지 테이블(124)의 위에는, 피스톤 쿨러 등의 냉각 유닛(120)이 설치되어 있다. 그리고, 냉각 유닛(120)은 테이블 승강 유닛(122)에 의해 지지되어 있다. 테이블 승강 유닛(122)은, 예컨대, 익스팬드 장치(80)의 케이스(82)의 외부에 설치된다. 테이블 승강 유닛(122)을 작동시키면, 유지 테이블(124)을 승강시킬 수 있다. Further, on the holding table 124, a cooling unit 120 such as a piston cooler is provided. And the cooling unit 120 is supported by the table lifting unit 122. The table lifting unit 122 is installed outside the case 82 of the expander 80, for example. When the table lift unit 122 is operated, the holding table 124 can be lifted.

또한, 유지 테이블(124)은, 테이블 커버(126)에 의해 하면 이외가 덮여 있다. 그리고, 테이블 커버(126)는 냉각 유닛(120)의 하부의 일부를 덮고 있다. 테이블 커버(126)는, 유지 테이블(124) 등의 방냉을 억제한다. 테이블 커버(126)와, 유지 테이블(124) 및 냉각 유닛(120)의 사이에는 간극이 남아 있고, 상기 간극이 에어의 유로가 되는 냉각 에어 공급로(136)가 된다. In addition, the holding table 124 is covered with the table cover 126 except for the lower surface. In addition, the table cover 126 covers a part of the lower portion of the cooling unit 120. The table cover 126 suppresses cooling of the holding table 124 and the like. A gap remains between the table cover 126 and the holding table 124 and the cooling unit 120, and the gap becomes a cooling air supply path 136 that serves as a flow path for air.

테이블 커버(126)의 상부에는 통기구가 형성되어 있고, 냉각 에어 공급로(136)의 일단은 상기 통기구를 통해 외부의 에어 공급원(138)에 통하고 있다. 에어 공급원(138)과 냉각 에어 공급로(136) 사이에는 개폐 밸브(140)가 설치되어 있다. 냉각 에어 공급로(136)의 에어 공급원(138)에는 이르지 않은 타단은, 유지 테이블(124)의 하면과 테이블 커버(126) 사이에 도달해 있다. 냉각 에어 공급로(136)를 통과한 에어는, 최종적으로 유지 테이블(124)의 외주로부터 하측으로 분출된다. A ventilation hole is formed in the upper part of the table cover 126, and one end of the cooling air supply path 136 communicates with an external air supply source 138 through the ventilation hole. An on-off valve 140 is provided between the air supply source 138 and the cooling air supply path 136. The other end of the cooling air supply path 136 that does not reach the air supply source 138 reaches between the lower surface of the holding table 124 and the table cover 126. The air that has passed through the cooling air supply path 136 is finally blown downward from the outer periphery of the holding table 124.

냉각 유닛(120)을 작동시키고 있는 상태로 개폐 밸브(140)를 개방하면, 에어 공급원(138)으로부터 냉각 에어 공급로(136)에 공급된 에어가 상기 냉각 유닛(120) 및 냉각된 유지 테이블(124)에 접촉하고 냉각되어 냉각 에어가 된다. When the on-off valve 140 is opened while the cooling unit 120 is operating, the air supplied from the air supply source 138 to the cooling air supply path 136 is transferred to the cooling unit 120 and the cooled maintenance table ( 124) and cooled to become cooling air.

예컨대, 냉각 유닛(120)에 사용되는 피스톤 쿨러로 상기 냉각 유닛(120)과 유지 테이블(124)의 접촉면을 -40℃ 정도로 냉각시키면, 냉각 유닛(120)에 의해 유지 테이블(124)이 -30℃ 정도로 냉각된다. 그리고, 냉각 에어 공급로(136)에서 -5℃∼-10℃ 정도로 냉각된 냉각 에어가 유지 테이블(124)의 외주에 있어서 하측으로 분출된다. 또, 프레임 고정 유닛(84)의 분출구(102)로부터 분출되는 냉각 에어의 온도도, 예컨대 -5℃∼-10℃ 정도가 된다. For example, when the contact surface between the cooling unit 120 and the maintenance table 124 is cooled to about -40°C with a piston cooler used in the cooling unit 120, the maintenance table 124 is -30 by the cooling unit 120. It is cooled to about ℃. Then, the cooling air cooled to about -5°C to -10°C in the cooling air supply path 136 is ejected downward from the outer periphery of the holding table 124. Further, the temperature of the cooling air blown out from the ejection port 102 of the frame fixing unit 84 is, for example, about -5°C to -10°C.

피가공물(1)에 DAF(7a)가 배치되어 있는 경우, 피가공물(1) 및 DAF(7a)를 -5℃∼-10℃ 정도로 냉각시키면, 피가공물(1)과 함께 DAF(7a)를 양호하게 분할할 수 있다. When the DAF (7a) is arranged on the workpiece (1), when the workpiece (1) and the DAF (7a) are cooled to about -5°C to -10°C, the DAF (7a) together with the workpiece (1) is It can be divided well.

시트 수축 유닛(142)은, 케이스(82)의 바닥면 위에 설치된 회전 모터(144)와, 상기 회전 모터(144)에 하부가 수용된 회전축(146)과, 상기 회전축(146)의 상단에 장착된 원판형의 지지 플레이트(148)를 구비한다. 지지 플레이트(148)의 상면에는, 상기 지지 플레이트(148)의 외주 가장자리를 따라 등간격으로 복수의 가열 유닛(150)이 배치되어 있다. The sheet contraction unit 142 includes a rotation motor 144 installed on the bottom surface of the case 82, a rotation shaft 146 having a lower portion accommodated in the rotation motor 144, and a rotation shaft 146 mounted on the upper end of the rotation shaft 146. A disk-shaped support plate 148 is provided. On the upper surface of the support plate 148, a plurality of heating units 150 are disposed along the outer circumferential edge of the support plate 148 at equal intervals.

가열 유닛(150)은 에어 공급로(152)를 구비한다. 에어 공급로(152)의 하단은 개폐 밸브(156)를 통해 에어 공급원(154)에 접속되어 있다. 에어 공급로(152)의 내부에는 코일 히터(158)가 설치되어 있다. 코일 히터(158)는 전원 및 스위치(168)에 접속되어 있다. 에어 공급로(152)의 상면에는 개구(160)가 설치되어 있고, 개폐 밸브(156)를 개방하여 가열 유닛(150)을 작동시키면, 상기 개구(160)로부터 상측으로 가열된 에어가 분출된다. The heating unit 150 has an air supply path 152. The lower end of the air supply path 152 is connected to the air supply source 154 through an on-off valve 156. A coil heater 158 is installed inside the air supply path 152. The coil heater 158 is connected to a power supply and a switch 168. An opening 160 is provided on the upper surface of the air supply path 152, and when the on/off valve 156 is opened to operate the heating unit 150, air heated upward from the opening 160 is ejected.

시트 수축 유닛(142)은 지지 플레이트(148)의 중앙 상면에 회전 모터(162)를 구비하고, 상기 회전 모터(162)에는 수직 방향을 따르는 회전축(164)의 하단이 회전 가능하게 수용되어 있다. 회전축(164)의 상단에는 셔터 플레이트(166)가 접속되어 있다. 셔터 플레이트(166)는, 가열 유닛(150)의 배치와 대응하는 위치에 복수의 개구(166a)(도 9 참조)를 구비한다. The sheet contraction unit 142 includes a rotation motor 162 on the center upper surface of the support plate 148, and the lower end of the rotation shaft 164 along the vertical direction is rotatably accommodated in the rotation motor 162. A shutter plate 166 is connected to the upper end of the rotation shaft 164. The shutter plate 166 is provided with a plurality of openings 166a (see FIG. 9) at positions corresponding to the arrangement of the heating unit 150.

또한, 시트 수축 유닛(142)에 의해 피가공물 유닛(11)의 이완이 생긴 익스팬드 시트(7)를 수축시킬 때에는, 회전 모터(162)를 작동시켜 각 가열 유닛(150)의 위치에 각 개구(166a)의 위치를 맞춘다. 그리고, 가열 유닛(150)을 작동시켜, 에어 공급로(152)의 개구(160)와 셔터 플레이트(166)의 개구(166a)를 통해 가열된 에어를 익스팬드 시트(7)에 공급한다. In addition, when the expanded sheet 7 in which the work unit 11 is loosened by the sheet contraction unit 142 is contracted, the rotation motor 162 is operated to open each opening at the position of each heating unit 150. Align the position of (166a). Then, the heating unit 150 is operated to supply heated air to the expand sheet 7 through the opening 160 of the air supply path 152 and the opening 166a of the shutter plate 166.

또한, 가열 유닛(150)에 의해 익스팬드 시트(7)에 가열된 에어를 공급하면서 회전 모터(144)를 작동시키면, 확장되어 이완이 생긴 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역이 전체 둘레에 걸쳐 가열된다. 그리고, 익스팬드 시트(7)가 수축된다. In addition, when the rotating motor 144 is operated while supplying heated air to the expand sheet 7 by the heating unit 150, the workpiece 1 and the annular shape of the expanded sheet 7 are expanded and relaxed. The area between the inner circumferential edges of the frame 9 is heated over the entire circumference. Then, the expand sheet 7 is contracted.

다음으로, 본 실시형태에 관한 익스팬드 장치(80)의 사용 방법으로서, 상기 익스팬드 장치(80)에 의해 익스팬드 시트(7)를 확장하는 방법에 관해 설명한다. 우선, 익스팬드 장치(80)의 케이스(82)에 반입 반출구(82a)로부터 피가공물 유닛(11)을 반입한다. Next, as a method of using the expand device 80 according to the present embodiment, a method of expanding the expand seat 7 by the expand device 80 will be described. First, the workpiece unit 11 is carried into the case 82 of the expander 80 from the carry-in/out port 82a.

도 6은, 익스팬드 장치(80)에 반입된 상태의 피가공물 유닛(11) 및 상기 익스팬드 장치(80)의 단면도가 모식적으로 나타나 있다. 피가공물 유닛(11)을 반입할 때에는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 환형 프레임(9)을 프레임 지지부(86)의 위에 얹는다. 피가공물 유닛(11)을 케이스(82)의 내부에 수용한 후, 개폐 도어(82b)를 이동시켜 반입 반출구(82a)를 폐쇄한다. 6 schematically shows a cross-sectional view of the work unit 11 and the expand device 80 in a state carried in the expand device 80. When carrying in the work unit 11, as shown in FIG. 6, the annular frame 9 is put on the frame support part 86. After receiving the work unit 11 inside the case 82, the opening/closing door 82b is moved to close the carry-in/out port 82a.

다음으로, 피가공물(1) 및 익스팬드 시트(7) 등을 냉각시킨다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 테이블 승강 유닛(122)을 작동시키고 유지 테이블(124)(냉각 플레이트)을 하강시켜, 상기 유지 테이블(124)을 익스팬드 시트(7)에 근접하게 한다. 그리고, 냉각 유닛(120)을 작동시킴과 더불어 개폐 밸브(140)를 개방하여, 에어 공급원(138)으로부터 냉각 에어 공급로(136)에 에어를 공급하고, 상기 에어를 냉각 에어 공급로(136)에서 냉각시킨다. 또, 냉각 유닛(120)은, 한번 작동을 정지시키면 다시 작동시키고 나서 소정의 온도로 냉각될 때까지 시간을 요하기 때문에, 항상 작동시켜도 좋다. Next, the workpiece 1 and the expanded sheet 7 are cooled. As shown in FIG. 7, the table lifting unit 122 is operated and the holding table 124 (cooling plate) is lowered, so that the holding table 124 is brought close to the expand seat 7. In addition, the cooling unit 120 is operated and the on-off valve 140 is opened to supply air from the air supply source 138 to the cooling air supply path 136, and the air is supplied to the cooling air supply path 136. Cool in. Further, the cooling unit 120 may be operated all the time since it takes time until it is cooled to a predetermined temperature after being operated again once the operation is stopped.

냉각된 에어는, 유지 테이블(124)의 외주로부터 익스팬드 시트(7)에 공급되어, 익스팬드 시트(7), DAF(7a) 및 피가공물(1)이 냉각된다. 또, 이 때, 유지 테이블(냉각 플레이트)(124)을 익스팬드 시트(7)에 접촉시켜, 익스팬드 시트(7)를 통해 DAF(7a) 및 피가공물(1)을 냉각시켜도 좋다. The cooled air is supplied to the expand sheet 7 from the outer periphery of the holding table 124, and the expand sheet 7, the DAF 7a, and the work piece 1 are cooled. Further, at this time, the holding table (cooling plate) 124 may be brought into contact with the expand sheet 7 to cool the DAF 7a and the workpiece 1 through the expand sheet 7.

다음으로, 익스팬드 시트(7)를 직경 방향 외측으로 확장한다. 도 8에는, 익스팬드 시트(7)를 확장하는 익스팬드 장치(80)와, 확장되어 있는 익스팬드 시트(7)의 단면도가 나타나 있다. 익스팬드 시트(7)를 확장할 때에는, 미리 테이블 승강 유닛(122)을 작동시켜 유지 테이블(124)을 상승시켜 둔다. 단, 유지 테이블(124)의 하면이 확장 롤러(116)의 하단보다 하측에 도달하지 않았다면, 유지 테이블(124)을 상승시킬 필요는 없다. Next, the expand sheet 7 is expanded outward in the radial direction. In Fig. 8, a cross-sectional view of the expander 80 for expanding the expandable sheet 7 and the expanded expandable sheet 7 are shown. When extending the expand seat 7, the table lifting unit 122 is operated in advance to raise the holding table 124. However, if the lower surface of the holding table 124 does not reach a lower side than the lower end of the expansion roller 116, it is not necessary to raise the holding table 124.

그런데, DAF(7a)는, 익스팬드 시트(7)와 마찬가지로 냉각시키면 딱딱해져, 외력을 가했을 때에 신장되기 어려워지고, 파단하기 쉬워진다. 따라서, DAF(7a)를 적절하게 분할하기 위해 DAF(7a)를 냉각시키면, 익스팬드 시트(7)는 피가공물(1)과 중복되는 영역만이 냉각된다. 이 경우, 상기 영역과, 상기 영역의 주변 영역 사이에서 익스팬드 시트(7)에 큰 온도차가 생겨 버린다. By the way, the DAF 7a becomes hard when cooled similarly to the expand sheet 7, and becomes difficult to elongate when an external force is applied, and is easily broken. Accordingly, when the DAF 7a is cooled in order to properly divide the DAF 7a, only the area overlapping with the work piece 1 is cooled in the expanded sheet 7. In this case, a large temperature difference occurs in the expand sheet 7 between the region and the peripheral region of the region.

익스팬드 시트(7)의 상기 주변 영역이 피가공물(1)과 중복되는 상기 영역보다 고온이 되는 이 상태에서 익스팬드 시트(7)를 확장하면, 상기 주변 영역이 크게 신장되어 버린다. 그리고, 피가공물(1)과 중복되는 상기 영역에서 익스팬드 시트(7)의 신장이 작아져, 피가공물(1)을 적절하게 분할할 수 없다. If the expand sheet 7 is expanded in this state in which the peripheral region of the expand sheet 7 becomes higher than the region overlapping with the workpiece 1, the peripheral region is greatly elongated. Further, in the region overlapping with the work 1, the elongation of the expandable sheet 7 becomes small, so that the work 1 cannot be properly divided.

따라서, 개폐 밸브(106)를 개방하고 냉각 에어 공급로(100)를 통해 분출구(102)로부터 익스팬드 시트(7)에 냉각 에어를 공급하여, 익스팬드 시트(7)를 냉각시켜 둔다. 익스팬드 시트(7)의 각 영역에서 온도차가 작으면, 익스팬드 시트(7)를 확장했을 때, 익스팬드 시트(7)가 전체적으로 균일하게 신장되어 피가공물(1)이 적절하게 분할된다. Accordingly, the opening/closing valve 106 is opened and cooling air is supplied to the expand seat 7 from the jet port 102 through the cooling air supply path 100 to cool the expand seat 7. If the temperature difference in each region of the expand sheet 7 is small, when the expand sheet 7 is expanded, the expand sheet 7 is stretched uniformly as a whole, and the workpiece 1 is appropriately divided.

익스팬드 시트(7)를 직경 방향 외측으로 확장할 때에는, 에어 실린더(90)를 작동시켜 로드(92)를 상승시키고 프레임 지지부(86)를 상승시켜, 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7)를 확장 롤러(116)에 접촉시킨다. 그 후, 프레임 지지부(86)를 더 상승시키면, 익스팬드 시트(7)가 직경 방향 외측으로 확장되고, 피가공물(1) 및 DAF(7a)가 분할되어 DAF(7a)를 구비하는 개개의 디바이스 칩(15)이 형성된다. When expanding the expand sheet 7 to the outside in the radial direction, the air cylinder 90 is operated to raise the rod 92 and the frame support 86 is raised, so that the expand sheet of the workpiece unit 11 ( 7) is brought into contact with the expansion roller 116. Thereafter, when the frame support portion 86 is further raised, the expanded sheet 7 expands outward in the radial direction, and the workpiece 1 and the DAF 7a are divided into individual devices having the DAF 7a. A chip 15 is formed.

또, 익스팬드 장치(80)에서는, 피가공물(1)이 익스팬드 시트(7)의 하측에 배치된 상태로 상기 피가공물(1)이 분할되기 때문에, 피가공물(1) 등의 분할에 따라 생기는 부스러기 등은 하측으로 낙하한다. 그 때문에, 상기 부스러기 등이 비산하더라도 피가공물(1)의 표면에 형성된 디바이스(5) 등에는 상기 부스러기 등이 부착되기 어렵다. Further, in the expander 80, since the work 1 is divided in a state in which the work 1 is disposed under the expand sheet 7, the work 1 is divided according to the division of the work 1 or the like. The generated debris falls downward. Therefore, even if the debris or the like scatters, the debris or the like is difficult to adhere to the device 5 or the like formed on the surface of the workpiece 1.

익스팬드 장치(80)에서는, 익스팬드 시트(7)에 더하여 DAF(7a)가 냉각되어 있기 때문에, 익스팬드 시트(7) 및 DAF(7a)의 신장이 억제되고, DAF(7a)를 피가공물(1)과 함께 적절하게 분할할 수 있다. 익스팬드 시트(7)를 확장시킨 후에는, 개폐 밸브(140) 및 개폐 밸브(106)를 폐쇄함과 더불어 냉각 유닛(120)의 가동을 정지시켜, 익스팬드 시트(7) 등의 냉각을 정지시킨다. 또, 냉각 유닛(120)의 가동을 정지시키면 다시 가동시켰을 때에 소정의 온도에 도달할 때까지 시간을 요하기 때문에, 가동을 정지시키지 않아도 좋다. In the expander 80, since the DAF 7a is cooled in addition to the expand sheet 7, the expansion of the expand sheet 7 and the DAF 7a is suppressed, and the DAF 7a is It can be divided appropriately with (1). After expanding the expand seat 7, the opening/closing valve 140 and the opening/closing valve 106 are closed, and the operation of the cooling unit 120 is stopped, thereby stopping cooling of the expand seat 7 and the like. Let it. In addition, if the operation of the cooling unit 120 is stopped, it takes time until it reaches a predetermined temperature when the cooling unit 120 is operated again, so it is not necessary to stop the operation.

다음으로, 익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하면서 익스팬드 시트(7)를 가열하여 수축시킨다. 도 9에는, 익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하면서 가열하는 익스팬드 장치(80)와, 상기 익스팬드 시트(7)의 단면도가 나타나 있다. Next, the expansion sheet 7 is heated and contracted while releasing the expansion of the expand sheet 7. In Fig. 9, an expand device 80 that heats while releasing the expansion of the expand sheet 7 and a cross-sectional view of the expand sheet 7 are shown.

익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하기 전에, 테이블 승강 유닛(122)을 작동시키고 유지 테이블(124)을 하강시켜, 유지 테이블(124)의 하면을 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7)에 접촉시킨다. 그리고, 개폐 밸브(134)를 개방하고, 흡인원(42)에 의해 생기는 부압을 흡인로(128) 및 흡인구(130)를 통해 피가공물 유닛(11)의 익스팬드 시트(7) 및 피가공물(1)에 작용시켜, 익스팬드 시트(7)를 통해 유지 테이블(124)에 피가공물(1)을 유지시킨다. Before releasing the expansion of the expand seat 7, the table lifting unit 122 is operated and the holding table 124 is lowered, so that the lower surface of the holding table 124 is replaced with the expand seat of the workpiece unit 11. 7). Then, the opening/closing valve 134 is opened, and the negative pressure generated by the suction source 42 is removed through the suction path 128 and the suction port 130, and the expanded seat 7 and the work piece of the work unit 11 By acting on (1), the workpiece 1 is held on the holding table 124 via the expand sheet 7.

그 후, 익스팬드 시트(7)의 확장을 해제하면, 익스팬드 시트(7)에 이완이 생긴다. 상기 이완을 제거하기 위해, 우선, 회전 모터(162)를 작동시켜 셔터 플레이트(166)의 개구(166a)를 가열 유닛(150)의 상측으로 이동시킨다. 그리고, 개폐 밸브(156)를 개방하여 에어 공급원(154)으로부터 에어 공급로(152)에 에어를 공급하면서, 스위치(168)를 온으로 하여 코일 히터(158)에 통전하고, 상기 에어를 가열한다. Thereafter, when the expansion of the expand sheet 7 is released, relaxation occurs in the expand sheet 7. In order to eliminate the relaxation, first, the rotation motor 162 is operated to move the opening 166a of the shutter plate 166 to the upper side of the heating unit 150. Then, the opening/closing valve 156 is opened to supply air from the air supply source 154 to the air supply path 152, while the switch 168 is turned on to energize the coil heater 158, and the air is heated. .

또, 전술한 익스팬드 장치(2)와 마찬가지로 익스팬드 장치(80)에서도 스위치(168)는 항상 온으로 되어도 좋다. 이 경우, 개폐 밸브(156)의 개폐에 의해 익스팬드 시트(7)의 가열의 개시 및 정지를 전환한다. Also, in the expand device 80 similar to the expand device 2 described above, the switch 168 may be always turned on. In this case, the start and stop of heating of the expand seat 7 are switched by opening and closing the on-off valve 156.

에어 공급로(152)의 내부에서 가열된 에어가 익스팬드 시트(7)에 공급되어, 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역이 가열되면, 익스팬드 시트(7)가 수축된다. 그리고, 유지 테이블(124)의 유지 기구에 의한 익스팬드 시트(7)의 흡인을 해제했을 때, 피가공물(1)과 중복되는 영역에서 익스팬드 시트(7)가 확장된 상태가 된다. When the air heated inside the air supply path 152 is supplied to the expand sheet 7 and the area between the workpiece 1 of the expand sheet 7 and the inner peripheral edge of the annular frame 9 is heated, , The expand sheet 7 is contracted. Then, when the suction of the expandable sheet 7 by the holding mechanism of the holding table 124 is released, the expandable sheet 7 is in an expanded state in a region overlapping with the workpiece 1.

익스팬드 장치(80)에서도, 케이스(82) 내부의 익스팬드 시트(7) 주위의 한정된 영역에만 냉각 공간을 형성할 수 있다. 따라서, 케이스(82)를 냉각 챔버로 할 필요가 없고, 익스팬드 장치(80)는 익스팬드 시트(7)를 매우 효율적으로 냉각시킬 수 있다. In the expand device 80 as well, a cooling space can be formed only in a limited area around the expand sheet 7 inside the case 82. Therefore, it is not necessary to use the case 82 as a cooling chamber, and the expand device 80 can cool the expand sheet 7 very efficiently.

또, 본 발명은 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러가지로 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 상기 실시형태에서는, 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역 및 피가공물(1)과 중복되는 부분에서 익스팬드 시트(7)를 냉각시키는 경우에 관해 설명했지만, 본 발명의 일양태는 이것에 한정되지 않는다. In addition, the present invention is not limited to the description of the above embodiment, and can be implemented with various modifications. For example, in the above embodiment, the expand sheet 7 is cooled in the area between the work 1 of the expand sheet 7 and the inner circumferential edge of the annular frame 9 and in a portion overlapping with the work 1 Although the case of making was demonstrated, one aspect of this invention is not limited to this.

예컨대, 냉각 에어를 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 환형 프레임(9)의 내주 가장자리 사이의 영역에 공급하여, 상기 영역만을 냉각시켜도 좋다. 이 경우, 상기 영역에서 익스팬드 시트(7)가 신장되기 어려워지므로, 익스팬드 시트(7)를 확장하면, 익스팬드 시트(7)의 피가공물(1)과 중복되는 부분이 신장되기 쉬워져, 피가공물(1)을 보다 확실하게 분할할 수 있다. 단, 피가공물(1)에 DAF(7a)가 설치되어 있으면, DAF(7a)의 분할은 어려워진다. For example, cooling air may be supplied to the region between the workpiece 1 of the expand sheet 7 and the inner peripheral edge of the annular frame 9 to cool only the region. In this case, since the expand sheet 7 becomes difficult to extend in the above region, when the expand sheet 7 is expanded, the portion overlapping with the work piece 1 of the expand sheet 7 is easily stretched, The workpiece 1 can be divided more reliably. However, if the DAF 7a is provided in the workpiece 1, it becomes difficult to divide the DAF 7a.

또한, 상기 실시형태에서는, 익스팬드 시트(7)를 냉각시키는 냉각 에어의 분출구(22, 102)가 프레임 누름부(8, 88)에 형성되고, 상기 프레임 누름부(8, 88)가 냉각 에어 공급로(20, 100)를 구비하는 경우에 관해 설명했다. 본 발명의 일양태에서는, 프레임 지지부(6, 86)가 냉각 에어의 분출구(22, 102) 및 냉각 에어 공급로(20, 100)를 가져도 좋다. 또한, 냉각 에어의 분출구(22, 102) 및 냉각 에어 공급로(20, 100)는, 다른 구성 요소에 형성되어 있어도 좋다. Further, in the above embodiment, the cooling air ejection ports 22 and 102 for cooling the expand seat 7 are formed in the frame pressing portions 8 and 88, and the frame pressing portions 8 and 88 are The case where the supply paths 20 and 100 are provided has been described. In one aspect of the present invention, the frame support portions 6 and 86 may have cooling air outlets 22 and 102 and cooling air supply paths 20 and 100. Further, the cooling air outlets 22 and 102 and the cooling air supply paths 20 and 100 may be formed in other components.

상기 실시형태에 관한 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적으로 하는 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다. Structures, methods, and the like according to the above embodiments can be appropriately changed and implemented as long as they do not deviate from the target range of the present invention.

1 : 피가공물
3 : 개질층
5 : 디바이스
7 : 익스팬드 시트
7a : DAF(다이 어태치 필름)
9 : 프레임
11 : 피가공물 유닛
13 : 분할홈
15 : 디바이스 칩
2, 80 : 익스팬드 장치
4, 84 : 프레임 고정 유닛
6, 86 : 프레임 지지부
6a, 8a, 86a, 88a : 개구
8, 88 : 프레임 누름부
10, 46, 90 : 에어 실린더
12, 48, 92 : 로드
14, 94 : 환형 냉각로
16, 96 : 분기로
18, 98 : 공급로
20, 100, 136 : 냉각 에어 공급로
22, 102 : 분출구
24, 104 : 볼텍스 튜브
26, 40, 62, 106, 134, 140, 156 : 개폐 밸브
28, 108 : 압축 에어 공급원
30, 110 : 냉각 에어 공급원
32, 112 : 확장 유닛
34, 124 : 유지 테이블(냉각 플레이트)
36, 128 : 흡인로
38, 130 : 흡인구
42, 132 : 흡인원
44, 120 : 냉각 유닛
50, 142 : 시트 수축 유닛
52 : 로드
54, 148 : 지지 플레이트
56, 150 : 가열 유닛
58, 152 : 에어 공급로
58a, 160 : 개구
60, 138, 154 : 에어 공급원
64, 158 : 코일 히터
66, 168 : 스위치
68, 144, 162 : 회전 모터
70, 146, 164 : 회전축
72, 166 : 셔터 플레이트
72a, 166a : 개구
82 : 케이스
82a : 반입 반출구
82b : 개폐 도어
88b : 관통 구멍
88c : 프레임 누름부 지지 볼트
88d : 시일부
114 : 확장 롤러 지지부
116 : 확장 롤러
118 : 피가공물 냉각 유닛
122 : 테이블 승강 유닛
126 : 테이블 커버1: work piece
3: modified layer
5: device
7: expand seat
7a: DAF (die attach film)
9: frame
11: work piece unit
13: Split groove
15: device chip
2, 80: expand device
4, 84: frame fixing unit
6, 86: frame support
6a, 8a, 86a, 88a: opening
8, 88: frame pressing part
10, 46, 90: air cylinder
12, 48, 92: road
14, 94: annular cooling furnace
16, 96: to quarter
18, 98: supply route
20, 100, 136: cooling air supply path
22, 102: spout
24, 104: vortex tube
26, 40, 62, 106, 134, 140, 156: on-off valve
28, 108: compressed air supply source
30, 110: cooling air supply source
32, 112: expansion unit
34, 124: holding table (cooling plate)
36, 128: suction furnace
38, 130: suction port
42, 132: suction source
44, 120: cooling unit
50, 142: sheet shrinking unit
52: load
54, 148: support plate
56, 150: heating unit
58, 152: air supply path
58a, 160: opening
60, 138, 154: Air supply source
64, 158: coil heater
66, 168: switch
68, 144, 162: rotary motor
70, 146, 164: rotating shaft
72, 166: shutter plate
72a, 166a: opening
82: case
82a: carry-in/outlet
82b: opening and closing door
88b: through hole
88c: frame pressing part support bolt
88d: seal part
114: expansion roller support
116: expansion roller
118: workpiece cooling unit
122: table lifting unit
126: table cover

Claims (3)

피가공물과, 상기 피가공물에 접착된 익스팬드 시트와, 상기 익스팬드 시트의 외주측이 접착된 환형 프레임을 포함하는 피가공물 유닛의 상기 익스팬드 시트를 확장하는 익스팬드 장치로서,
피가공물 유닛의 환형 프레임을 지지할 수 있는 프레임 지지부와, 상기 프레임 지지부와 함께 상기 환형 프레임을 협지할 수 있는 프레임 누름부를 갖는 프레임 고정 유닛과,
상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛에 포함된 익스팬드 시트를 확장할 수 있는 확장 유닛
을 포함하고,
상기 프레임 고정 유닛은, 분출구와, 일단이 상기 분출구에 통하고 타단이 냉각 에어 공급원에 통하는 냉각 에어 공급로를 포함하고,
상기 분출구는, 상기 냉각 에어 공급원으로부터 공급된 냉각 에어를 상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛에 포함된 익스팬드 시트의 피가공물과 상기 환형 프레임의 내주 가장자리 사이의 영역을 향해 분출할 수 있는 것을 특징으로 하는 익스팬드 장치. An expand device for extending the expand sheet of a work unit including a work piece, an expand sheet adhered to the work piece, and an annular frame to which an outer circumference side of the expand sheet is adhered,
A frame fixing unit having a frame support portion capable of supporting the annular frame of the unit to be processed, and a frame pressing portion capable of holding the annular frame together with the frame support portion,
An expansion unit capable of expanding an expand sheet included in a workpiece unit having an annular frame fixed by the frame fixing unit
Including,
The frame fixing unit includes a jet port, and a cooling air supply path having one end through the jet port and the other end through a cooling air supply source,
The ejection port ejects the cooling air supplied from the cooling air supply source toward a region between a workpiece of an expand sheet included in a workpiece unit having an annular frame fixed by the frame fixing unit and an inner peripheral edge of the annular frame Expand device, characterized in that it can. 제1항에 있어서, 상기 프레임 고정 유닛에는, 환형으로 나란히 배치된 복수의 상기 분출구가 형성되고,
상기 냉각 에어 공급로는, 환형 냉각로와, 상기 환형 냉각로로부터 복수의 상기 분출구에 각각 이르는 복수의 분기로와, 일단이 상기 냉각 에어 공급원에 통하고 타단이 상기 환형 냉각로에 이르는 공급로를 포함하고,
상기 냉각 에어 공급원은, 상기 환형 냉각로에 냉각 에어를 공급함으로써 상기 프레임 고정 유닛을 냉각시켜 상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛의 피가공물의 주위에 냉각 공간을 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 익스팬드 장치. The method of claim 1, wherein the frame fixing unit is formed with a plurality of the ejection ports arranged in an annular shape,
The cooling air supply path includes an annular cooling path, a plurality of branch paths each extending from the annular cooling path to a plurality of the ejection ports, and a supply path having one end passing through the cooling air supply source and the other end leading to the annular cooling path. Including,
The cooling air supply source may cool the frame fixing unit by supplying cooling air to the annular cooling path, thereby forming a cooling space around a workpiece of a workpiece unit having an annular frame fixed by the frame fixing unit. Expanding device, characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임 고정 유닛으로 고정된 환형 프레임을 갖는 피가공물 유닛에 포함된 익스팬드 시트를 개재하여 상기 피가공물 유닛에 포함된 피가공물에 접촉 가능한 냉각 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 익스팬드 장치. The method of claim 1 or 2, further comprising a cooling plate capable of contacting the workpiece included in the workpiece unit through an expand sheet included in the workpiece unit having an annular frame fixed by the frame fixing unit. Expand device, characterized in that.
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