KR20200061270A

KR20200061270A - 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법

Info

Publication number: KR20200061270A
Application number: KR1020180158657A
Authority: KR
Inventors: 박두진
Original assignee: 주식회사 나노엑스
Priority date: 2018-11-23
Filing date: 2018-12-10
Publication date: 2020-06-02
Also published as: KR20210093224A; KR20200061271A; KR20210093226A; KR20200061269A; KR102360816B1; KR20200061268A; KR102360807B1

Abstract

본 발명은 수지에 기포가 생성되는 것을 방지하여 양품의 패턴이 형성된 기판을 제공할 수 있는 임프린팅 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 일면에 패턴이 형성되고 일방향으로 이동되는 소프트 몰드, 소프트 몰드의 일면에 수지를 공급하는 수지 공급부, 공급된 수지가 기판의 상면에 접하도록 소프트 몰드의 타면을 가압하는 가압롤러를 포함하는 임프린팅 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 소프트 몰드의 일면에 직접 수지를 공급하고, 수지가 공급된 소프트 몰드를 기판에 수지가 접하도록 가압한 후 수지를 경화시키는 임프린팅 방법을 제공한다.

Description

임프린팅 장치 및 임프린팅 방법{IMPRINTING MACHINE AND IMPRINTING METHOD}

본 발명은 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 수지에 기포가 생성되는 것을 방지하여 양품의 패턴이 형성된 기판을 제공할 수 있는 임프린팅 장치 및 방법에 관한 것이다.

기판위에 소정의 패턴을 형성하기 위해 일반적으로 임프린팅 방법이 주로 사용된다. 종래의 임프린팅 공정에 따르면, 기판위에 수지를 도포하고 패턴이 형성된 몰드를 도포된 수지위에 가압한다. 소프트 몰드를 가압한 상태로 수지를 경화시키고, 수지의 경화가 완료되면 소프트 몰드를 제거하여 수지에 패턴을 형성한다. 이러한 종래의 선행기술로는 대한민국 등록특허 10-1847100호 및 대한민국 등록특허 10-1219040호 등이 있다.

그러나, 종래의 임프린팅 공정에 따르면 기판의 상면에 수지를 도포한 후, 패턴을 형성하기 위해 수지 위에 임프린팅을 하는 과정에서 수지에 기포가 생성되는 문제점이 있다. 수지에 기포가 생성된 상태에서 패턴을 형성하면, 패턴 파손도가 증가하거나, 패턴이 원하는 모양으로 형성되지 않고, 기포가 육안으로 보이는 다양한 문제가 발생한다. 따라서, 기판의 상면에 수지를 도포하면서 기포가 발생하는 것을 방지하기 위해 본 발명에서는 패턴이 형성된 소프트 몰드의 일면에 수지를 공급하고, 수지가 공급된 소프트 몰드를 기판에 가압하여 경화시키는 방법을 제안하고자 한다.

선행문헌1: 대한민국 등록특허 제10-1847100호 (2018.04.03. 등록) 선행문헌2: 대한민국 등록특허 제10-1219040호 (2012.12.31. 등록)

본 발명의 기술적 과제는 도포된 수지에 기포 생성을 방지하며 패턴을 임프린팅 할 수 있는 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 기술적 과제는 다양한 두께 및 형상으로 수지를 도포할 수 있는 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법을 제공하는 것이다.

한편, 본 발명의 또 다른 기술적 과제는 두께가 일정하게 수지를 도포할 수 있는 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법을 제공하는 것이다.

한편, 본 발명의 또 다른 기술적 과제는 패턴이 형성되고 수지에 기포 생성을 방지하여 불량률이 감소한 수지 기판을 제공하는 것이다.

한편. 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 예시적 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

이를 위하여 본 발명은 일면에 패턴이 형성되고 일방향으로 이동되는 소프트 몰드, 소프트 몰드의 일면에 수지를 공급하는 수지 공급부, 공급된 수지가 기판의 상면에 접하도록 소프트 몰드의 타면을 가압하는 가압롤러를 포함하는 임프린팅 장치를 제공한다.

본 발명에 따르면, 소프트 몰드에 직접 수지를 공급함으로써 수지에 기포가 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 소프트 몰드에 직접 수지를 공급함으로써 종래의 방식대로 기판의 상면에 수지를 스크린 인쇄방식으로 도포함으로써 발생되는 메쉬 자국이 남는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 다양한 사이즈 및 다양한 형상의 슬릿이 형성된 제판에 의해 수지의 공급이 조절되어 다양한 두께 및 형상으로 수지의 도포를 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한, 도포롤러에 의해 수지가 일정한 두께로 균일하게 도포될 수 있는 효과가 있다.

또한, 소프트 몰드의 이동에 의해 패턴이 형성된 수지 기판을 연속적으로 제조할 수 있는 효과가 있다.

최종적으로, 불량률을 최소화하고 양품의 패턴이 형성된 수지 기판을 빠른 시간내에 대량생산을 통해 제공할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2 내지 도 5는 도 1에서 표시된 각 단계에 따른 부분을 확대한 도면이다.
도 6은 제 1 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.
도 7은 제 2 실시예에 따른 제판(300`)을 나타낸 정면도이다.
도 8 및 도 9는 제 2 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.
도 10 및 도 11은 제 3 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.
도 12는 제 4 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.
도 13은 제 5 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.
도 14는 제 6 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.
도 15 내지 도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린팅 장치를 나타낸 단면도이다.
도 18은 본 발명의 추가적인 다른 실시예에 따른 임프린팅 장치의 단계를 나타낸 단면도이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예 및 다른 실시예에 따른 임프린팅 방법을 나타낸 단계도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러가지 상이한 형태로 구현될 수 있어, 이하에서 기재되거나 도면에 도시되는 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 본 발명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 도면에서 동일하거나 유사한 부호들은 동일하거나 유사한 구성요소들을 나타낸다.

본 발명의 목적 및 효과는 하기의 설명에 의해서 자연스럽게 이해되거나 보다 분명해질 수 있으며, 하기의 기재만으로 본 발명의 목적 및 효과가 제한되는 것은 아니다.

상세한 설명에 앞서, 당업자의 이해의 편의를 위해 도 1을 기준으로 우측 방향을 일방향, 좌측 방향을 타방향으로 정의하고, 각각의 롤러(210, 220, 230)가 시계방향으로 회전됨에 따라 후술될 소프트 몰드(110)가 이동되는 방향을 일방향으로 정의한다. 또한, 소프트 몰드(110)의 패턴(111)이 형성된 면을 일면, 기판(S)은 도 1을 기준으로 상측 방향을 상면으로 정의하여 설명하도록 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 나타낸 단면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 소프트 몰드(110), 소프트 몰드(110)를 일방향으로 이동시키는 기준롤러(210), 이동롤러(220), 가압롤러(230)와 수지(120)를 공급하는 수지 공급부(400), 공급된 수지(120)를 접하도록 하는 기판(S) 및 경화부(500)를 포함한다.

소프트 몰드(110)는 하나 이상의 롤러를 따라 이동되며 수지(120)에 패턴을 형성하는 구성이다. 일 실시예에 따른 소프트 몰드(110)는 복수의 롤러를 따라 길이방향으로 길게 구비되며, 복수의 롤러에 의해 일방향으로 연속적으로 이동된다. 상세하게, 소프트 몰드(110)는 기준롤러(210), 이동롤러(220), 가압롤러(230)의 회전에 의해 각각의 롤러의 회전방향에 따라 이동되며, 롤러의 일방향으로 이동에 따라 함께 일방향으로 이동될 수 있다. 즉, 소프트 몰드(110)는 일방향으로 전체적으로 이동함과 동시에 각각의 롤러가 시계방향으로 회전되면, 일방향으로 회전되며 이동될 수 있다. 보다 상세하게, 소프트 몰드(110)의 이동에 따라 후술될 각 단계가 순환되며 반복될 수 있다. 구체적으로, 소프트 몰드(110)는 수지(120)에 패턴을 형성하기 위한 구성으로, 일면에 음각 또는 양각의 패턴이 형성되는 것이 바람직하다. 일 실시예에 따르면, 소프트 몰드(110)는 상술한 바와 같이 각각의 롤러에 의해 일방향으로 이동될 수 있다.

기준롤러(210)는 일방향으로 이동되는 소프트 몰드(110)의 방향을 바꿔주고, 소프트 몰드(110)가 하측 방향으로 쳐지는 것을 방지하는 구성이다. 상세하게, 기준롤러(210)는 도 1을 기준으로 시계방향으로 회전되는 것이 바람직하다. 기준롤러(210)가 시계방향으로 회전됨에 따라 소프트 몰드(110)가 시계방향으로 이동될 수 있다. 여기서, 기준롤러(210)가 일방향으로 이동되면, 소프트 몰드(110)도 함께 일방향으로 이동되도록 구비되는 것이 바람직하다. 도 1에서 일 실시예에 따른 기준 롤러(210)는 한 개 구비되었으나, 경우에 따라서 기준 롤러(210)가 둘 이상 구비될 수도 있다.

이동롤러(220)는 소프트 몰드(110)와 수지 공급부(400) 사이의 거리를 조절할 수 있도록 소프트 몰드(110)를 이동시키는 구성이다. 상세하게, 이동록러(220)는 수지 공급부(400)의 수지(120) 공급 방향에 따라 근접하거나 멀어지도록 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하여 수지 공급부(400) 방향으로 이동시키거나, 반대로 이동하여 수지 공급부(400)로부터 멀어지도록 이동시키는 구성이다. 이동롤러(220)에 의해 소프트 몰드(110)가 수지 공급부(400)와의 거리가 조절됨으로써 소프트 몰드(110)의 일면에 도포되는 수지(120)의 두께를 조절할 수 있다. 또한, 이동롤러(220)가 소프트 몰드(110)를 수지 공급부(400) 방향으로 이동시킴으로써 소프트 몰드(110)는 소정 각도로 휘어지게 되고, 휘어진 부분에 수지(120)가 도포되도록 구성하는 것이 바람직하다.

가압롤러(230)는 소프트 몰드(110)의 일면에 공급되어 도포된 수지(120)가 기판(S)의 상면과 접하도록 소프트 몰드(110)를 가압하는 구성이다. 상세하게, 가압롤러(230)에 의해 소프트 몰드(110)의 이동 방향이 전환될 수 있으며, 이로 인해 수지(120)가 도포된 일면이 하측 방향으로 구비되도록 소프트 몰드(110)가 이동될 수 있다. 즉, 소프트 몰드(110)의 일면에 도포된 수지(120)가 기판(S)의 상면과 접할 수 있도록 소프트 몰드(110)의 이동 방향이 전환될 수 있다. 보다 상세하게, 소프트 몰드(110)의 이동 방향이 전화됨과 동시에 수지(120)가 기판(S)에 밀착될 수 있도록 가압롤러(230)가 소프트 몰드(110)의 타면을 기판(S) 방향으로 가압할 수 있다. 구체적으로, 가압롤러(230)는 시계방향으로의 회전 및 일방향으로의 이동과 동시에 기판(S) 방향으로 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하는 것이 바람직하다.

이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법을 상세히 설명하도록 한다. 도 2 내지 도 5는 도 1에서 표시된 각 단계에 따른 부분을 확대한 도면이다.

도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 임프린팅은 소프트 몰드(110)가 시계방향 및 일방향으로 이동됨에 따라 수지 공급부(400)로부터 수지(120)가 공급되어 도포되고, 도포된 수지(120)가 가압롤러(230)에 의해 기판(S)에 접합되며 이후 경화부(400)에 의해 수지(120)가 경화되어 완료될 수 있다. 즉, 소프트 몰드(110)의 패턴부(111)가 형성된 일면에 수지(120)가 공급되고, 수지(120)가 공급된 소프트 몰드(110)가 기판(S)의 상면에 접하여 가압되며, 이후 수지(120)가 공급된 소프트 몰드가 기판(S)의 상면에 접한 상태로 수지(120)를 경화시키는 단계를 순차적으로 진행할 수 있다. 이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 보다 상세히 설명하도록 한다.

도 2를 참조하면, 소프트 몰드(110)가 길이 방향으로 길게 구비될 수 있다. 이 때, 소프트 몰드(110)는 일면에 패턴부(111)가 형성되어 벨트 형상으로 구비되는 것이 바람직하다. 패턴부(111)가 형성된 소프트 몰드(110)는 각각의 롤러의 회전 및 이동에 따라 시계방향 및 일방향으로 연속적으로 이동되며, 수지 공급부(400)에 의해 패턴부(111)가 형성된 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)가 도포될 수 있다.

도 3을 참조하면, 소프트 몰드(110)의 패턴부(111)가 형성된 일면에 수지(120)가 공급되어 도포되는 것이 바람직하다. 이 때 수지(120)는 일정한 두께로 구비되는 것이 바람직하며, 소프트 몰드(110)에 직접적으로 수지(120)가 공급됨으로써 종래의 방법에 따라 단단하고 편편한 기판(S)에 수지(120)를 도포하는 과정에서 발생되는 기포생성 문제를 방지할 수 있다. 상세하게, 소프트 몰드(110)에 형성된 패턴 사이사이에 직접 수지(120)를 소량씩 공급함에 따라 소프트 몰드(110) 사이로 수지(120)가 빈틈없이 채워질 수 있으며, 이로 인해 단단한 기판(S)에 직접 수지(120)를 스퀴지함으로써 발생되는 기포 생성 및 격자 무늬 생성을 방지할 수 있다. 이와 같이 소프트 몰드(110)에 공급된 수지(120)는 소프트 몰드(110)의 연속적인 일방향 이동에 따라 함께 이동될 수 있다. 이후, 이동된 수지(120)는 기판(S)의 상면에 접합될 수 있다.

도 4를 참조하면, 수지(120)가 공급된 소프트 몰드(110)가 가압롤러(230)에 의해 방향이 전환되어 수지(120)가 공급된 소프트 몰드(110)의 일면이 하측 방향으로 위치하게 된다. 상세하게, 소프트 몰드(110)의 일면에 공급된 수지(120)는 일방향으로 이동되다가 가압롤러(230)에 의해 방향의 전환 및 기판(S) 방향으로 가압됨으로써 기판(S)의 상면에 접할 수 있다. 보다 상세하게, 소프트 몰드(110)의 일면에 공급된 수지(120)가 기판(S)의 상면에 접합되면서 소프트 몰드(110)와 함께 가압롤러(230)에 의해 가압되어 기판(S)의 상면에 패턴이 형성된 수지(120)가 구비될 수 있다. 구체적으로, 수지(120)가 공급된 소프트 몰드(110)가 가압롤러(230)에 의해 방향의 전환과 함께 이동됨에 따라 수지(120)와 접하도록 기판(S)도 함께 공급되어 일면에 수지(120)가 공급된 소프트 몰드(110)와 함께 타방향으로 이동될 수 있다. 즉, 수지(120)와 소프트 몰드(110)가 기판(S)의 상면에 가압된 상태에서 소프트 몰드(110)와 기판(S)이 동시에 타방향으로 이동되어 패턴이 형성된 수지(120)가 접합된 기판(S)을 연속적으로 제공할 수 있다. 이 때, 소프트 몰드(110)에 공급된 수지(120)가 이동되는 과정에서 하측 방향으로 흘러내리는 것을 방지하기 위해 수지 공급부와 가압롤러(230) 사이에 별도의 건조부가 더 구비될 수도 있다. 여기서 건조부는 수지를 경화시키는 것은 아니며, 수지가 흘러내리는 것을 방지하기 위한 최소한의 건조를 하는 구성이다. 수지의 경화는 기판(S)의 상면에 수지(120)가 접합된 후, 소프트 몰드(110)가 기판(S)방향으로 가압되고 있는 상태에서 별도의 경화부(500)를 통해 이루어 질 수 잇다.

도 5를 참조하면, 기판(S)의 상면에 수지(120)와 소프트 몰드(110)가 함께 접합된 상태에서 경화부(500)를 통과함으로써 수지(120)가 경화될 수 있다. 상세하게, 기판(S)의 상면에 접합된 수지(120)의 상면에 패턴부(111)가 구비된 소프트 몰드(110)가 가압된 상태에서 경화부(500)를 통과함으로써 수지(120)의 상면에 패턴이 형성되어 경화될 수 있다. 이때 경화부(500)는 수지(120)의 종류에 따라 UV경화 또는 열경화를 제공하는 구성일 수 있다. 즉, 수지(120)가 UV경화성 수지인 경우, 경화부(500)는 UV를 제공하는 구성일 수 있으며, 수지(120)가 열경화성 수지인 경우, 경화부(500)는 적정 온도의 열을 제공하는 구성일 수 있다. 경화부(500)에 의해 기판(S)의 상면에 수지(120)가 패턴이 형성된 상태로 경화가 완료된 이후 소프트 몰드(110)가 제거될 수 있다.

이하, 도 6 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 여러 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성 및 방법에 대해 상세히 설명하도록 한다. 도 6 내지 도 14는 각 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 도면이며, 수지를 도포하는 구성 이외의 구성에 있어서는 상술한 일 실시예와 동일하기 때문에 동일한 부분은 생략하고 설명하도록 한다.

일 실시예에 따르면, 소프트 몰드(110)가 롤러의 이동 및 회전에 따라 일방향으로의 이동 및 시계방향으로의 회전이동이 되는 과정에서 소프트 몰드(110)의 일면에 일정량의 수지가 지속적으로 공급될 수 있다.

도 6은 제 1 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다. 제 1 실시예에 따르면, 소프트 몰드(110)와 수지 공급부(400)사이에 별도의 제판(300)을 더 포함할 수 있다. 상세하게, 제판(300)은 소정 영역이 개구된 슬릿(301)을 구비할 수 있으며, 수지 공급부(400)로부터 슬릿(301) 사이로 수지(120)가 공급될 수 있다. 보다 상세하게, 제판(300)의 소정 영역 개구된 슬릿(301)을 통해 수지 공급부(400)로부터 공급되는 수지(120)를 소정의 양만큼 조절하여 소프트 몰드(110)에 공급할 수 있다. 상세하게, 슬릿(301)은 제판(300)에 구비되는 개구된 빈 공간이며, 제판(300)은 단단한 경질의 재질로 구비될 수도 있으나 휘어질 수 있는 연질의 재질로 구비되는 것이 보다 바람직할 수 있다. 구체적으로, 제판(300)에 슬릿이 형성됨으로써 수지 공급부(400)로부터 공급되는 수지(120)가 슬릿(301)의 개구된 영역에 의해 일정량 조절되어 공급될 수 있다. 따라서, 슬릿(301)의 크기 및 형상에 의해 소프트 몰드(110)에 공급되는 수지(120)의 두께가 균일하게 공급될 수 있다. 기본적으로 슬릿(301)은 일자의 막대 형상으로 개구되도록 구비되는 것이 바람직하나, 패턴의 형상에 따라 수지를 도포하기 위한 수지 영역에 대응되도록 다양한 형상으로 구비될 수 있다.

이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여 제 2 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 설명한다. 도 7은 제 2 실시예에 따른 제판(300`)을 나타낸 정면도이고, 도 8 및 도 9는 제 2 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다. 여기서, 제 2 실시예에 따른 제판(300)은 설명의 편의상 제 2 제판(300`)으로 기재하며, 제 1 실시예와 동일한 설명은 생략하고 상이한 특징에 대해서 구체적으로 설명하도록 한다.

제 2 실시예에 따른 제 2 제판(300`)은 슬릿(301)이 복수개 형성될 수 있다. 이때, 각 슬릿(301)의 개구된 크기는 서로 다르도록 구비될 수 있으며, 슬릿(301)의 형상 또한 상이하도록 구비될 수 있다. 도 7을 참조하면, 제 2 제판(300`)에 형성되는 복수의 슬릿(301)은 각각 크기 또는 형상이 다르도록 구비되는 것이 바람직하다. 상세하게, 제 2 실시예에 따르면, 제 2 제판(300`)에 서로 간격 또는 형상 중 적어도 어느 하나가 상이한 슬릿(301)이 복수개 구비됨으로써 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)를 공급할 때, 복수의 슬릿 중 어느 하나를 선택하여 다양한 두께 또는 형상으로 수지(120)를 도포할 수 있다. 구체적으로 도 8을 참조하면, 제 2 제판(300`)은 복수의 슬릿(301) 중 어느 하나를 선택하여 수지를 공급할 수 있도록 길이 방향으로 제 2 제판(300`)을 이동시키는 이동 구성이 더 구비될 수 있다. 도 8의 제 2-1 실시예에 따르면, 수지(120)를 도포하는 형상 또는 두께에 따라서 제 2 제판(300`)을 이동시킴으로써 서로 다른 복수의 슬릿(301)중 어느 하나를 선택할 수 있다. 또한, 제 2 제판(300`)의 이동을 통해 슬릿(301)을 선택하는 것뿐만 아니라 이동롤러(220)의 위치를 선택할 슬릿(301)에 대응되도록 소프트 몰드(110)의 위치를 제어하여 조절하도록 구비될 수 있다. 보다 상세하게, 제 2 제판(300`)의 이동에 따라 슬릿(301)이 선택될 수도 있으나, 제 2 제판(300`)의 기울기를 변경함에 따라 슬릿(301)이 선택될 수도 있다. 또한, 제 2 제판(300`)은 고정된 상태에서 이동롤러(220)의 이동 방향 또는 이동 위치 등에 따라서 소프트 몰드(110)가 선택하는 슬릿(301)의 방향으로 이동될 수도 있다. 도 9를 참조하여 제 2-2 실시예를 설명하면, 상기 제 2-1 실시예에서 제 2 제판(300`)의 이동은 제 2 제판(300`)의 양 끝단에 구비된 별도의 회전롤러(310)에 의해 이루어질 수 있다. 여기서, 설명의 편의상 제 2 제판(300`)의 양 끝단에 구비된 회전롤러(310)를 제 2 회전롤러(310`)라 한다. 상세하게, 제 2 제판(300`)은 단단한 경질로 구성되되 양 끝단이 제 2 회전롤러(310`)에 감길 수 있는 연질로 구성될 수 있으며, 제 2 제판(300`)의 전체가 연질의 재질로 이루어질 수도 있다. 구체적으로, 제 2 제판(300`)의 양 끝단은 제 2 회전롤러(310`)에 의해 감겨지도록 구비될 수 있으며, 각각의 제 2 회전롤러(310`)는 동일속도 및 동일 방향으로 회전되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 제 2 회전롤러(310`)의 회전 방향에 따라 제 2 제판(300`)이 이동되어 복수의 슬릿(301) 중 어느 하나가 선택될 수 있다. 제 2-2 실시예에서는 제 2 회전롤러(310`)를 통해 제 2 제판(300`)을 이동하여 슬릿(301)을 선택하는 구성에 대해서 설명하였으나, 롤러 이외에도 제 2 제판(300`)을 이동시킬 수 있는 구성이라면 어느 것이든 대체 가능하다.

이하, 도 10 및 도 11을 참조하여 제 3 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 설명한다. 도 10 및 도 11은 제 3 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다. 여기서 제 3 실시예에 따른 제판(300)은 설명의 편의상 제 3 제판(300``)으로 기재하며, 제 1 실시예 및 제 2 실시예와 동일한 설명은 생략하고 상이한 특징에 대해서 구체적으로 설명하도록 한다.

제 3 실시예에 따른 제 3 제판(300``)은 슬릿(301)에 격자 형상의 제 1 메쉬망(302)이 더 구비되며, 제 1 메쉬망(302)이 소프트 몰드(110)에 근접하도록 제 1 메쉬망(302)의 소정 영역을 가압하는 날개부(303)를 더 포함할 수 있다. 이 때 슬릿(301)의 형상은 제한이 없으며, 제 1 실시예 또는 제 2 실시예에 따른 제판(300)에 모두 적용이 가능하다. 상세하게, 제 3 제판(300``)의 슬릿(301)은 비교적 간격이 넓게 구비되는 것이 바람직하다. 보다 상세하게, 제 3 제판(300``)은 슬릿(301)에 격자 형상의 제 1 메쉬망(302)이 구비되어 제 1 메쉬망(302)의 격자 사이로 수지(120)가 공급될 수 있다. 이때, 날개부(303)가 구비되어 제 1 메쉬망(302)의 소정 영역을 가압함으로써 제 1 메쉬망(302)의 소정 영역만이 소프트 몰드(110)에 근접하게 되고, 이를 통해 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)를 도포할 수 있다. 날개부(303)는 제 1 메쉬망(302)과 접한 상태로 일방향으로 스퀴지되며 이동될 수 있으나, 보다 바람직하게는 날개부(303)는 제 1 메쉬망(302)과 접한 상태로 소프트 몰드(110)방향으로 가압하며 이동되지 않고, 소프트 몰드(110) 및 제 1 메쉬망(302)이 일방향으로 이동됨으로써 수지(120)가 도포될 수 있다. 상세하게, 소프트 몰드(110)는 각각의 롤러에 의해 일정 속도로 계속해서 이동되며, 제 1 메쉬망(302)이 구비된 제 3 제판(300``)이 일방향으로 이동됨에 따라, 수지(120)가 도포될 수 있다. 보다 상세하게, 제 3 제판(300``)이 이동될 때, 날개부(303)는 제 1 메쉬망(302)을 소프트 몰드(110) 방향으로 가압하며, 제 3 제판(300``)의 이동에 따라 공급된 수지(120)가 제 1 메쉬망(302)의 격자 사이로 통과되어 소프트 몰드(110)의 일면에 도포될 수 있다. 제 3 실시예에 따르면, 제 1 메쉬망(302)의 격자 사이로 수지(120)가 도포됨으로써 소프트 몰드(110)의 일면에 도포되는 수지(120)가 일정한 두께로 보다 균일하게 도포될 수 있다. 도 10의 제 3-1 실시예에 따르면, 제 3 제판(300``)의 양 끝단은 판 또는 막대 형상으로 구비되어 제 3 제판(300``)을 지지할 수 있으며, 제 3 제판(300``)의 슬릿에 제 1 메쉬망(302)이 구비되는 것이 바람직하다. 반면, 도 11의 제 3-2 실시예에 따르면, 제 3 제판(300``)의 양 끝단이 연질의 재질로 구비되어 별도의 회전롤러(310)에 의해 제 1 메쉬망(302)이 이동될 수 있다. 여기서, 설명의 편의상 제 3 제판(300``)의 양 끝단에 구비된 회전롤러(310)는 제 3 회전롤러(310``)라 한다. 상세하게, 제 3-2 실시예에 따르면, 제 3 제판(300``)의 양 끝단이 연질의 재질로 구비되어 제 3 회전롤러(310``)에 감길 수 있으며, 별도의 추가 구성 없이 제 1 메쉬망(302)만으로 구비되어 제 1 메쉬망(302)의 양 끝단이 제 3 회전롤러(301``)에 감길 수도 있다. 구체적으로, 도 11과 같이 제 3 제판(300``)의 양 끝단 또는 제 1 메쉬망(302)의 양 끝단은 제 3 회전롤러(310``)에 의해 감겨지도록 구비될 수 있으며, 각각의 제 3 회전롤러(310``)는 동일속도 및 동일 방향으로 회전되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 제 3 회전롤러(310``)의 회전 방향에 따라 제 1 메쉬망(302)이 이동되고, 날개부(303)는 제 1 메쉬망(302)을 소프트 몰드(110)방향으로 가압하여 제 1 메쉬망(302)의 격자 사이로 수지(120)가 공급되어 도포될 수 있다. 제 3-2 실시예에서는 제 3 회전롤러(310``)를 통해 제 3 제판(300``)의 제 1 메쉬망(302)이 이동되는 것을 설명하였으나, 롤러 이외에도 메쉬방(302)을 이동시킬 수 있는 구성이라면 어느 것이든 대체 가능하다.

이하, 도 12를 참조하여 제 4 실시예의 수지를 도포하는 구성을 설명한다. 도 12는 제 4 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.

제 4 실시예에 따르면, 소프트 몰드(110)의 일면에 원통형으로 구비되는 격자 형상의 제 2 메쉬망(321)을 구비하고, 중심축을 기준으로 회전 운동하는 회전메쉬(320)가 구비될 수 있다. 또한, 제 2 메쉬망(321)의 내측에는 소프트 몰드(110)에 제 2 메쉬망(321)근접하도록 가압하는 제 2 날개부(303`)가 더 구비될 수 있다. 여기서, 제 2 날개부(303`)는 상기 제 3 실시예의 날개부(303)와 동일한 역할을 하는 구성이나, 각 실시예의 날개부(303)를 구분하기 위해 제 2 날개부(303`)라고 칭하여 설명한다. 상세하게, 제 4 실시예에 따르면, 원통 형상의 메쉬로 구성된 제 2 메쉬망(321)은 소프트 몰드(110)의 일면에 근접하도록 구비되되, 소프트 몰드(110)의 타면을 수지 공급부(400) 방향으로 이동시키는 이동롤러(220)와 대응되는 위치에 구비되는 것이 바람직하다. 상세하게, 제 2 메쉬망(321)늬 내측에 위치한 수지 공급부(400)는 제 2 메쉬망(321)의 내주면에 수지(120)를 공급하고, 제 2 메쉬망(321)의 내측에 도포된 수지(120)는 제 2 날개부(303`)의 가압에 의해 소프트 몰드(110)의 상면에 도포될 수 있다. 보다 상세하게, 회전메쉬(320)는 제 2 메쉬망(321)의 양 끝단에 구비된 링 형상의 고정부재가 더 구비될 수 있다. 고정부재는 경질의 재질로 구비되어 제 2 메쉬망(321)이 원통 형상으로 유지되어 회전될 수 있도록 지지하는 역할을 한다. 회전메쉬(320)는 이동롤러(220)와 대응되는 소프트 몰드(110)의 일면에 위치되며, 일방향으로 회전되도록 구비되는 것이 바람직하다. 보다 상세하게, 회전메쉬(320)는 시계방향 또는 반시계방향으로 지속적으로 회전되도록 구비되며, 제 2 메쉬망(321)의 내측에 수지 공급부(400)가 구비되어, 제 2 메쉬망(321)의 내측에서 바깥쪽으로 수지(120)를 방출하며 소프트 몰드(110)의 일면에 방출된 수지(120)를 도포하는 것이 바람직하다. 구체적으로, 제 2 메쉬망(321)의 내측에서 제 2 메쉬망(321)의 소정 영역을 가압하는 제 2 날개부(303`)에 의해 수지 공급부(400)로부터 공급된 수지가 제 2 메쉬망(321)의 바깥쪽으로 방출되어 소프트 몰드(110)의 일면에 도포될 수 있다. 이때, 제 2 날개부(303`)가 가압하는 제 2 메쉬망(321)의 소정 영역은 이동롤러(220)와 대응되는 영역인 것이 바람직하다. 상세하게, 이동롤러(220)가 소프트 몰드(110)의 타면을 가압함으로써 소프트 몰드(110)가 제 2 메쉬망(321)와 근접할 수 있으며, 제 2 메쉬망(321)의 내측에 구비된 제 2 날개부(303`)의 끝단은 이동롤러(220)가 가압한 소프트 몰드(110)위치의 일면에 접하도록 제 2 메쉬망(321)를 내측에서 바깥쪽으로 가압할 수 있다. 회전메쉬(320)가 구비되어 일방향으로 회전메쉬(320)가 지속적으로 회전됨에 따라, 판 형상의 메쉬의 이동에 필요한 공간을 최소화할 수 있으며, 제 2 메쉬망(321)을 통해 배출되는 수지(120)의 양을 조절할 수 있어 소프트 몰드(110)에 일정 두께로 균일하게 수지(120)가 도포되도록 할 수 있다.

이하, 도 13을 참조하여 제 5 실시예의 수지를 도포하는 구성을 설명한다. 도 13은 제 5 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다. 여기서, 제 5 실시예에 따른 제판(300)은 설명의 편의상 제 5 제판(300```)으로 기재하며, 상기 제 1 및 제 2 실시예와 동일한 설명은 생략하고 상이한 특징에 대해서 구체적으로 설명하도록 한다.

제 5 실시예에 따른 제 5 제판(300```)은 제 1 실시예 또는 제 2 실시예에 따른 제판(300)중 하나일 수 있다. 또한, 제 5 실시예에 따르면, 제 5 제판(300```)의 일면에 도포롤러(330)가 더 구비될 수 있다. 도포롤러(330)는 수지(120)를 공급받아 회전함으로써 제 5 제판(300```)의 슬릿 사이로 수지(120)를 일정량 규칙적으로 공급할 수 있도록 하는 구성이다. 상세하게, 제 5 제판(300```) 일면의 슬릿(301) 위치에 도포롤러(320)가 구비되며, 도포롤러(320)에 수지(120)가 일정량씩 지속적으로 공급될 수 있다. 도포롤러(320)에 공급된 수지(120)는 도포롤러(320)가 회전함으로써 슬릿(301) 사이로 일정량씩 공급될 수 있다. 따라서, 슬릿(301) 사이로 일정량씩 공급되는 수지(120)가 소프트 몰드(110)의 일면에 도포됨으로써, 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)가 균일하게 도포될 수 있다. 상기에서는 도포롤러(320)가 제 5 제판(300```)의 일면에 위치하는 실시예로 설명하였으나, 다른 실시예에 따르면 도포롤러(320)가 제 5 제판(300```)의 슬릿 사이에 구비될 수도 있다.

이하, 도 14를 참조하여 제 6 실시예의 수지를 도포하는 구성을 설명한다. 도 14는 제 6 실시예에 따른 수지를 도포하는 구성을 나타낸 단면도이다.

제 6 실시예에 따르면, 상기 제 5 실시예에서 설명한 제 5 제판(300```) 없이 도포롤러(330)만 구비될 수도 있다. 도포롤러(330)만 구비되는 경우 도포롤러(330)에 수지(120)가 일정량씩 지속적으로 구비될 수 있다. 도포롤러(330)에 구비된 수지(120)는 도포롤러(330)가 회전함으로써 소프트 몰드(110)에 공급될 수 있다. 이때, 도포롤러(330)와 소프트 몰드(110)의 일면은 서로 접하도록 구비되어 도포롤러(330)의 외주면에 공급된 수지(120)가 직접적으로 소프트 몰드(110)에 도포되는 것이 바람직하다. 도포롤러(330)에 의해 수지(120)가 도포됨으로써 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)가 균일하게 도포될 수 있다.

상술한 도 1 내지 도 14는 일 실시예의 임프린팅 장치를 기준으로 설명하였으며, 이하, 도 15 내지 도 17을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린팅 장치 및 방법을 설명하도록 한다. 도 15 내지 도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린팅 장치를 나타낸 단면도이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 각각의 롤러를 통해 일면에 패턴부(111)가 형성된 소프트 몰드(110)를 일방향으로 이동시키고, 상기 이동되는 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)를 공급하는 단계에서 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하여 수지 공급부(400) 방향으로 소프트 몰드(110)의 소정 영역을 이동시키는 이동롤러(220)가 구비된다. 그러나, 도 15 내지 도 17의 다른 실시예에 따르면, 이동되는 소프트 몰드(110)의 방향이 바뀌기 이전에 수지 공급부(400)가 구비되어, 별도의 이동롤러(220)가 필수로 구비되지 않아도 되며, 수지 공급부(400)는 상측에서 하측 방향으로 수지(120)를 공급하여 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)를 도포할 수 있다. 이 때, 도 15 내지 도 17에 도시된 수지 공급부(400) 및 제판(300)은 하나의 실시예일 뿐이며, 여기서 수지를 공급하는 구성은 상술한 제 1 실시예 내지 제 6 실시예 중 어느 하나로 구비될 수 있다.

이하, 도 18을 참조하여 본 발명의 추가적인 다른 실시예에 대해서 설명하도록 한다. 도 18은 본 발명의 추가적인 다른 실시예에 따른 임프린팅 장치의 단계를 나타낸 단면도이다.

상기한 일 실시예 및 다른 실시예에서는 소프트 몰드(110)가 연속적으로 롤러를 따라 이동하는 실시예에 대해서 설명하였으나, 본 발명의 추가적인 다른 실시예에 따르면, 몰드(100)가 이동하지 않고 판 형상으로 구비될 수 있다. 이하, 상술되는 추가적인 다른 실시예는 본 발명의 실시예 중 하나이며, 일 실시예 및 다른 실시예와 동일 유사한 구성을 생략하고, 상이한 구성에 대해서 보다 상세히 설명하도록 한다.

도 18의 <a>는 몰드(100)를 나타낸 도면이다. 몰드(100)가 연질의 상술한 소프트 몰드(110)와 동일한 재질로 구비되나, 시트 방식의 순차 공정에 적합하도록 구성될 수 있다. 상세하게, 경질의 판 형상으로 구비될 수도 있다. 보다 상세하게, 몰드(100)의 일면에는 패턴부(111)가 형성될 수 있다. 패턴부(111)가 형성된 몰드(100)가 준비되면, 도 18의 <b>에서와 같이 패턴부(111) 일면에 수지(120)가 공급될 수 있다. 상세하게, 수지(120)는 수지 공급부를 통해 공급될 수 있으며, 상기 제 1 실시예 내지 제 6 실시예에서 상술한 방법에 의해 수지가 도포될 수 있다. 보다 바람직하게는, 도 18의 <b>에 도시된 바와 같이 몰드(100)와 수지 공급부 사이에 위치되어 수지 공급부로부터 수지를 공급받는 메쉬부와 메쉬부에 위치된 수지(120)를 패턴부(111)에 도포하기 위해 패턴부(111)에 근접하도록 가압 및 이동하는 날개부를 포함하는 스크린 인쇄부(350)가 더 구비될 수 있다. 따라서, 날개부의 이동에 의해 메쉬부를 가압하고, 메쉬부를 가압함으로써 메쉬부에 공급된 수지가 패턴부(111)의 일면에 도포될 수 있다. 상기 과정에 의해 도 18의 <c>와 같이 수지(120)의 도포가 완료될 수 있다. 상술한 바와 같이, 도 18에는 스크린 인쇄부(350)를 통해 수지(120)가 도포되는 방법이 도시되어 있으나, 이는 하나의 실시예일 뿐이며, 상술한 제 1 실시예 내지 제 6 실시예와 같이 다양한 수지(120) 도포 방법 및 장치가 사용될 수 있다. 수지(120)가 도포된 몰드(100)는 도 18의 <d>에서와 같이 기판(S)의 상면에 가압될 수 있다. 이때, 몰드(100)는 경질의 재질로 전체 면적이 한번에 동일한 힘으로 가압될 수도 있으며, 일단부터 순차적으로 가압될 수도 있다. 보다 바람직하게는 몰드(100)는 일 실시예의 소프트 몰드(110)와 같이 연질의 재질로 구비되는 것이 바람직하다. 따라서, 소프트 몰드(110)와 동일한 재질의 몰드(100)의 가압 시 별도의 가압 수단에 의해 가압될 수 있는데, 가압 수단은 몰드(100)의 전체 면적을 동시에 가압할 수도 있으나 몰드(110)의 일 끝단에서 타 끝단 방향으로 순차적으로 가압을 하는 것이 보다 바람직하다. 몰드(100)를 일 끝단에서 타 끝단 방향으로 순차적으로 가압하는 경우, 수지(120)의 도포과정에서 생성된 기포를 제거할 수 있는 효과가 있다. 구체적으로, 몰드(100)를 일 끝단에서 타 끝단 방향으로 가압 및 이동시키는 가압 수단은 롤러로 구비될 수 있다. 수지(120)가 도포된 몰드(100)를 기판(S)의 상면에 상측에서 하측 방향으로 가압하는 것이 바람직하나, 실시예에 따라서 기판(S)이 몰드(100)의 상측에 위치하고, 수지(120)가 도포된 몰드(100)를 하측에서 상측 방향으로 가압할 수도 있다. 기판(S)에 수지(120)가 도포된 몰드(100)의 가압이 완료되면, 도 18의 <e>에서와 같이 몰드(100)가 가압된 상태에서 별도의 경화부(500)를 통해 수지(120)를 경화시킬 수 있다. 여기서, 경화부(500)는 일 실시예에서 상술한 경화부(500)와 동일한 구성으로 상세한 설명은 생략한다. 몰드(100)의 가압이 이루어지는 과정에서 경화를 시키면, 수지(120)에 몰드(100)의 패턴부(111)에 의한 패턴이 구비된 형상으로 경화될 수 있다. 경화가 완료된 후, 몰드(100)를 제거하면 도 18의 <f>에서와 같은 패턴이 형성된 수지(120)를 얻을 수 있다.

도 19는 본 발명의 일 실시예 및 다른 실시예에 따른 임프린팅 방법을 나타낸 단계도이다.

도 19를 참조하면, 상기 임프린팅 장치를 설명하는 과정에서 상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예 및 다른 실시예에 따른 임프린팅 방법은 일면에 패턴부(111)가 형성된 소프트 몰드(110)가 하나 이상의 롤러를 따라 일방향으로 이동하는 단계, 수지 공급부(400)를 통해 패턴부(111)가 형성된 소프트 몰드(110)에 수지(120)를 공급하는 단계, 가압롤러(230)를 통해 소프트 몰드(110)에 공급된 수지(120)가 기판(S)의 상면에 접하도록 가압하는 단계를 포함하여 순차적으로 임프린팅이 진행될 수 있다. 상술한, 방법은 본 발명의 일 실시예 및 다른 실시예에 따른 임프린팅 방법이며, 추가적인 다른 실시예에 따르면, 소프트 몰드의 이동 단계가 생략되고, 고정된 소프트 몰드의 상면에 수지(120)가 공급될 수도 있다. 이후 과정은 상기 일 실시예 및 다른 실시예의 방법과 동일 또는 유사할 수 있다.

상기한 본 발명의 바람직한 실시예 및 도면은 예시의 목적으로 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자는 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 상기의 특허 청구 범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로, 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것은 아니다.

110: 소프트 몰드 120: 수지
210: 기준롤러 220: 이동롤러
230: 가압롤러
300: 제판 301: 슬릿
302: 메쉬망 303: 날개부
310: 회전롤러 320: 회전메쉬
400: 수지 공급부 500: 경화부
S: 기판

Claims

일면에 패턴부(111)가 형성되는 소프트 몰드(110);
상기 소프트 몰드(110)의 패턴부(111)가 형성된 일면에 수지(120)를 공급하는 수지 공급부(400);
공급된 상기 수지(120)가 기판(S)의 상면에 접하도록 상기 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하는 가압롤러(230);를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 소프트 몰드(110)와 수지 공급부(400) 사이의 거리를 조절할 수 있도록 상기 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하여 수지 공급부(400) 방향으로 이동시키는 이동롤러(220);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 이동롤러(220)에 의해 소프트 몰드(110)의 타면이 가압됨으로써, 소프트 몰드(110)가 일정 각도를 형성하여 기울어지며, 상기 각도가 형성된 소프트 몰드(110)의 일면에 수지(120)가 공급되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 소프트 몰드(110)와 수지 공급부(400) 사이에 위치되고, 소정 영역이 개구된 슬릿(301)을 하나 이상 구비하여 상기 슬릿(301)을 통해 수지(120)를 공급하는 제판(300)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 슬릿(301)이 복수개 구비되는 경우,
복수개의 상기 슬릿(301)은 서로 다른 크기 또는 서로 다른 형상으로 구비되며,
상기 제판(300)이 길이방향으로 이동됨에 따라 복수개의 상기 슬릿(301) 중 어느 하나를 통해 수지가 공급되어 상기 소프트 몰드(110)의 일면에 도포되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 제판(300)은 양 끝단이 각각 회전롤러(310)와 연결되고,
상기 회전롤러(310)의 회전 운동에 따라 복수의 상기 슬릿(301) 중 어느 하나가 상기 수지 공급부(400)에 대응되도록 위치되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 슬릿(301)에 상기 수지 공급부(400)로부터 수지(120)를 공급받는 제 1 메쉬망(302)이 구비되고,
상기 제 1 메쉬망(302)에 공급된 수지(120)를 상기 소프트 몰드(110)에 도포하기 위해 상기 제 1 메쉬망(302)을 상기 소프트 몰드(110)에 근접하도록 가압하는 날개부(303)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제 1 날개부(303)는 상기 제 1 메쉬망(302)을 소프트 몰드(110)와 근접하도록 고정되고,
상기 제판(300)이 소프트 몰드(110)의 이동 방향에 따라 이동됨으로써 수지(120)가 상기 소프트 몰드(110)에 일정 두께로 도포되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 8 항에 있어서,
상기 제판(300)은 양 끝단에 제 3 회전롤러(310``)가 각각 구비되고,
상기 제 3 회전롤러(310``)의 회전 운동에 따라 상기 제판(300)이 이동되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,
원통형으로 구비되는 격자 형상의 제 2 메쉬망이 구비되고 중심축을 기준으로 회전 운동하는 회전메쉬(320) 및
상기 제 2 메쉬망(321)의 내측에 구비되어 상기 소프트 몰드(110)에 제 2 메쉬망(321)이 근접하도록 가압하는 제 2 날개부(303`)를 포함하고,
상기 수지 공급부(400)는 상기 제 2 메쉬망(321)의 내주면에 수지(120)를 공급하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 한에 있어서,
상기 소프트 몰드(110)와 상기 수지 공급부(400) 사이에 구비되어 회전 운동하는 도포롤러(330)를 더 포함하고,
상기 도포롤러(330)는 외주면에 상기 수지 공급부(400)로부터 수지(120)를 공급받아, 회전 운동을 통해 상기 소프트 몰드(110)로 수지(120)를 도포하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 소프트 몰드(110)와 도포롤러(330) 사이에 위치되고, 소정 영역이 개구된 슬릿(301)을 하나 이상 구비하는 제판(300)을 더 포함하여,
상기 도포롤러(320)의 회전 운동을 통해 상기 수지(120)가 상기 슬릿(301)으로 공급되어 소프트 몰드(110)의 일면에 도포되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
패턴이 형성된 수지(120)를 제공하기 위한 임프린팅 방법에 있어서,
일면에 패턴부(111)가 형성된 소프트 몰드(110)가 일방향으로 이동하는 단계;
수지 공급부(400)를 통해 상기 패턴부(111)가 형성된 상기 소프트 몰드(110)에 상기 수지(120)를 공급하는 단계;
가압롤러(230)를 통해 공급된 상기 수지(120)가 기판(S)의 상면에 접하도록 가압하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법.
제 13 항에 있어서,
수지 공급부(400)를 통해 상기 패턴부(111)가 형성된 상기 소프트 몰드(110)에 상기 수지(120)를 공급하는 단계에서,
상기 수지(120)는 상기 소프트 몰드(110)와 수지 공급부(400)사이에 위치되는 제판(300)에 구비된 소정 영역이 개구된 슬릿(301)을 통해 공급되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법.
제 14 항에 있어서,
상기 제판(300)에 구비된 슬릿(301)은 서로 다른 크기 또는 서로 다른 형상으로 복수개 구비되며,
상기 제판(300)이 길이방향으로 이동됨에 따라 복수개의 상기 슬릿(301) 중 어느 하나를 통해 수지(120)가 공급되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법.
제 14 항에 있어서,
상기 슬릿(301)에 상기 수지 공급부(400)로부터 수지(120)를 공급받는 제 1 메쉬망(302)이 구비되고,
상기 제 1 메쉬망(302)에 공급된 수지(120)를 상기 소프트 몰드(110)에 도포하기 위해 상기 제 1 메쉬망(302)을 상기 소프트 몰드(110)에 근접하도록 가압하는 날개부(303)를 더 포함하여,
상기 메쉬망(302)에 공급된 수지(120)가 날개부(303)의 가압에 의해 소프트 몰드(110)의 일면에 도포되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법.
제 13 항에 있어서,
수지 공급부(400)를 통해 상기 패턴부(111)가 형성된 상기 소프트 몰드(110)에 상기 수지(120)를 공급하는 단계에서
상기 수지(120)는 상기 소프트 몰드(110)와 수지 공급부(400)사이에 위치되는 도포롤러(330)의 외주면에 수지(120)가 공급되어, 상기 도포롤러(330)의 회전 운동을 통해 상기 소프트 몰드(110)로 수지(120)를 도포하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법.
일면에 패턴부(111)가 형성되는 몰드(100);
상기 패턴부(111) 일면에 수지(120)를 공급하는 수지 공급부; 및
상기 수지(120)가 기판(S)의 일면에 접하도록 상기 몰드(100)를 가압하는 가압 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 18 항에 있어서,
상기 몰드(100)와 수지 공급부 사이에 위치되어 상기 수지 공급부로부터 수지를 공급받는 메쉬부; 및
상기 메쉬부에 위치된 상기 수지를 상기 패턴부에 도포하기 위해 상기 패턴부에 근접하도록 가압 및 이동하는 날개부;를 포함하는 스크린 인쇄부(350)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
제 18 항에 있어서,
상기 몰드(100)는 소프트 몰드이고,
상기 가압 수단은 상기 소프트 몰드를 일 끝단에서 타 끝단 방향으로 가압 및 이동시키는 롤러인 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.
몰드(100)에 형성된 패턴부에 수지 공급부를 통해 수지를 공급하는 단계; 및
가압 수단을 통해 상기 수지를 기판에 접하도록 가압하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법.
제 21 항에 있어서,
상기 몰드(100)는 소프트 몰드이고,
상기 가압 수단을 통해 상기 수지를 기판에 접하도록 가압하는 단계에서,
상기 가압 수단은 상기 소프트 몰드를 일 끝단에서 타 끝단 방향으로 가압 및 이동시키는 롤러인 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법.