KR20200044961A - 유체압 실린더 - Google Patents

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KR20200044961A
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겐 다무라
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

유체압 실린더(10)는, 실린더 튜브(12)와, 피스톤 유닛(18)과, 피스톤 로드(20)를 구비한다. 피스톤 유닛(18)은, 피스톤 본체(40)와, 피스톤 본체(40)에 장착된 패킹(42)과, 피스톤 본체(40)에 장착된 유지 부재(44)와, 유지 부재(44)의 마그넷 유지부(58)에 의해 유지되는 마그넷(46)을 갖는다. 마그넷 유지부(58)는, 유지 부재(44)의 외주면에서 개구되는 절결부(58a1)를 갖는다.

Description

유체압 실린더
본 발명은, 피스톤에 마그넷이 배치된 유체압 실린더에 관한 것이다.
종래, 예를 들어, 워크피스 등의 반송 수단(액추에이터)으로서 압력유체의 공급에 수반하여 변위하는 피스톤을 구비한 유체압 실린더가 공지되어 있다. 일반적으로 유체압 실린더는, 실린더 튜브와, 실린더 튜브 내에 축방향으로 이동 가능하게 배치된 피스톤과, 피스톤에 연결된 피스톤 로드를 갖는다.
일본 공개특허 특개2008-133920호 공보에는, 피스톤의 위치를 검출하기 위해서, 피스톤의 외주부에 링 형상의 마그넷이 장착됨과 함께, 실린더 튜브의 외측에 자기 센서가 배치된 유체압 실린더가 개시되어 있다. 이 구성의 경우, 자기 센서는 실린더 튜브의 원주방향의 일부에만 배치되는 것에 비해, 마그넷은 링 형상(원주 전체)이다. 이 때문에, 마그넷은, 피스톤의 위치검출과 관련하여, 필요 이상의 볼륨을 갖는다. 한편, 일본 공개특허 특개2017-003023호 공보에 개시된 유체압 실린더에서는, 피스톤의 외주부에, 원주방향의 일부에만 마그넷(비-링 형상 마그넷)이 유지되어 있다.
마그넷이 장착된 피스톤은, 마그넷이 장착되어 있지 않은 피스톤보다 축방향 치수가 커지기 쉽다. 피스톤의 축방향 치수가 커지면, 그 만큼, 유체압 실린더의 전체 길이가 커진다고 하는 문제가 있다.
일본 공개특허 특개2017-003023호 공보의 유체압 실린더에서는, 자기 센서와 마그넷의 거리(원주방향의 위치관계)는 항상 일정하다. 이 때문에, 위치가 고정된 자기 센서에 대해서 자력 조정(자기 센서와 마그넷과의 원주방향의 위치관계의 조정)을 행할 수가 없다.
한편, 밴드형의 센서 부착도구를 이용하여 원형의 실린더 튜브의 외주부에 자기 센서를 부착시키는 구성이 있다. 이 구성의 경우, 실린더 튜브의 외주부 임의의 위치에 자기 센서를 배치하는 것이 가능하기 때문에, 자기 센서와 비-링 형상 마그넷과의 거리를 조정한 후에 자기 센서를 설치할 수 있다. 그렇지만, 자기 센서를 실린더 튜브의 외주부에 부착시킨 후에, 피스톤 로드를 회전시켰을 경우, 자기 센서와 비-링 형상 마그넷과의 거리가 변해 버리는 문제가 있다.
또, 실린더 튜브의 외측에서 고정된 위치에 자기 센서가 부착되는 구성에 있어서, 피스톤 로드를 회전시켰을 경우, 자기 센서와 비-링 형상 마그넷과의 거리가 변해 버리는 문제가 있다.
본 발명은, 전술한 종래 기술이 가지는 과제 중 적어도 하나를 해결하는 것이 가능한 유체압 실린더를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 유체압 실린더는, 내부에 슬라이딩 구멍을 가지는 실린더 튜브와, 상기 슬라이딩 구멍을 따라 왕복이동 가능하게 배치된 피스톤 유닛과, 상기 피스톤 유닛으로부터 축방향으로 돌출하는 피스톤 로드를 구비하며, 상기 피스톤 유닛은, 상기 피스톤 로드로부터 직경방향 외측으로 돌출하는 피스톤 본체와, 상기 피스톤 본체의 외주부에 장착된 패킹과, 상기 피스톤 본체의 외주부에 장착되고, 마그넷 유지부를 가지는 유지 부재와, 상기 마그넷 유지부에 의해 유지되고, 상기 피스톤 본체의 원주방향으로 부분적으로 배치된 마그넷을 가지며, 상기 마그넷 유지부는 상기 유지 부재의 외주면에서 개구되는 절결부를 갖는다.
상기의 구성을 갖춘 유체압 실린더에 의하면, 마그넷이 원주방향의 필요 개소에만 배치되어 있기 때문에, 제품 중량이 감소한다. 또, 마그넷 유지부는, 유지 부재의 외주면에서 개구되는 절결부를 가지기 때문에, 마그넷을 실린더 튜브의 내주면에 가까운 위치에 배치할 수 있다. 이것에 의해, 실린더 튜브의 외측에 장착되는 자기 센서와 실린더 튜브의 내측에 배치된 마그넷과의 거리를 작게 할 수 있기 때문에, 마그넷에 요구되는 자력을 작게 할 수 있다. 이 때문에, 마그넷의 축방향의 두께를 작게 할 수 있다. 따라서, 피스톤 본체의 축방향 치수를 단축시킬 수 있고, 이것에 의해 유체압 실린더의 전체 길이를 단축시킬 수 있다.
상기 마그넷의 외측끝부는 상기 절결부에 배치되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 마그넷을 실린더 튜브의 내주면에 더욱 접근시킬 수 있기 때문에, 마그넷의 축방향 두께를 효과적으로 작게 할 수 있다.
상기 유지 부재는 상기 피스톤 본체의 외주부를 따라 원주방향으로 연장하는 원주방향부를 가지며, 상기 마그넷 유지부는 상기 원주방향부의 내주면으로부터 내측으로 돌출하며, 상기 절결부는 상기 원주방향부의 외주면에서 개구되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 유지 부재의 축방향 치수를 작게 할 수 있기 때문에, 피스톤 본체의 축방향 치수를 더욱 단축시킬 수 있다.
상기 마그넷 유지부는 상기 원주방향부의 축방향 치수의 범위 내에 설치되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 유지 부재의 축방향 치수를 더욱 효과적으로 작게 할 수 있다.
상기 유지 부재에는, 상기 마그넷 유지부에 대해서 원주방향으로 오프셋된 위치에, 상기 실린더 튜브에 대한 상기 유지 부재의 회전을 저지하는 회전멈춤용 돌기가 설치되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 회전멈춤 기능을 양호하게 발휘하기 위한 회전멈춤용 돌기의 길이를 용이하게 확보할 수 있다.
상기 슬라이딩 구멍 및 피스톤 본체는 원형이며, 상기 유지 부재는 상기 피스톤 로드에 대해서 상대회전 가능하고, 상기 피스톤 로드는 상기 실린더 튜브에 대해서 상대회전 가능하고, 상기 유지 부재는 상기 실린더 튜브에 대한 상대회전이 규제되는 것이 바람직하다.
이것에 의해, 실린더 튜브의 외측에서 고정된 위치에 자기 센서가 부착되고 또한 실린더 튜브의 원주방향 위치가 조정될 수 있는 구성의 경우, 실린더 튜브를 회전시키면, 실린더 튜브 내에 배치된 유지 부재에 유지된 마그넷도 실린더 튜브와 함께 회전한다. 이 때문에, 실린더 튜브의 외측에 배치된 자기 센서와 마그넷과의 거리(자기 센서와 마그넷과의 원주방향의 위치관계)를 조정함으로써, 자기 센서에 대한 자력을 용이하게 조정할 수 있다. 따라서, 한 종류의 실린더 구조만을 가지고도, 감도가 다른 여러 종류의 자기 센서를 사용할 수 있다. 혹은, 자기 센서와 마그넷과의 거리에 영향을 주는 일 없이 피스톤 로드를 회전시키는 것이 가능해진다.
상기 실린더 튜브의 내주면에는, 상기 실린더 튜브의 축방향을 따라 회전멈춤용 홈이 설치되고, 상기 유지 부재에는, 상기 회전멈춤용 홈에 걸어맞춰지는 회전멈춤용 돌기가 설치되는 것이 바람직하다.
이것에 의해, 간단한 구성으로, 유지 부재와 실린더 튜브와의 상대회전을 규제할 수 있다.
상기 패킹의 외주부에는, 상기 회전멈춤용 홈에 삽입됨과 함께 상기 회전멈춤용 홈의 내면에 슬라이딩 가능하게 접촉하는 볼록부가 설치되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 회전멈춤용 홈의 영역에서의 밀봉 성능을 양호하게 확보할 수 있다.
상기 피스톤 본체는 상기 피스톤 로드에 대해서 상대회전 가능한 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 패킹의 볼록부가 회전멈춤용 홈으로부터 이탈되는 것이 방지되기 때문에, 패킹에 의한 밀봉 성능을 양호하게 유지하는 것이 가능하다.
상기 유지 부재는 상기 피스톤 본체가 상기 실린더 튜브에 접촉하는 것을 저지하도록 구성된 마모 링(wear ring)인 것이 바람직하다.
이것에 의해, 유지 부재는 마그넷을 유지하는 부재와 마모 링을 겸하고 있기 때문에, 구성이 간소화될 수 있다.
본 발명의 유체압 실린더에 의하면, 제품 중량이 감소될 수 있는 동시에, 피스톤 본체의 축방향 치수를 단축시킬 수 있고, 이것에 의해 유체압 실린더의 전체 길이를 단축시킬 수 있다. 혹은, 자기 센서와 마그넷과의 거리를 조정하는 것이 가능해진다. 혹은, 자기 센서와 마그넷과의 거리에 영향을 주는 일 없이 피스톤 로드를 회전시키는 것이 가능해진다.
첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태 예의 설명으로부터, 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 분명해질 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 유체압 실린더의 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 유체압 실린더의 단면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 유체압 실린더의 분해 사시도이다.
도 4a는 실린더 튜브와 유지 부재와의 회전멈춤 구조(다각형상)의 단면 설명도이고, 도 4b는 실린더 튜브와 유지 부재와의 회전멈춤 구조(원호형상)의 단면 설명도이다.
도 5는 다른 구성에 따른 실린더 튜브의 사시도이다.
도 6은 또 다른 구성에 따른 실린더 튜브의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 유체압 실린더의 일부 단면 측면도이다.
이하, 본 발명에 따른 유체압 실린더에 대해 복수의 바람직한 실시형태를 들어 첨부의 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에 나타내는 제1 실시형태에 따른 유체압 실린더(10)는, 내부에 원형의 슬라이딩 구멍(13)(실린더실)을 가지는 중공 통형상의 실린더 튜브(12)와, 실린더 튜브(12)의 일단부에 배치된 로드 커버(14)와, 실린더 튜브(12)의 타단부에 배치된 헤드 커버(16)를 구비한다. 또, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 유체압 실린더(10)는, 실린더 튜브(12) 내에 축방향(X방향)으로 이동 가능하게 배치된 피스톤 유닛(18)과, 피스톤 유닛(18)에 연결된 피스톤 로드(20)를 구비한다. 이 유체압 실린더(10)는, 예를 들어 워크피스의 반송 등을 위한 액추에이터로서 이용된다.
실린더 튜브(12)는, 예를 들어, 알루미늄 합금 등의 금속재료에 의해 구성되고, 축방향을 따라 연장되는 통체로 이루어진다. 제1 실시형태에서는, 실린더 튜브(12)는, 중공 원통형으로 형성되어 있다.
실린더 튜브(12)의 내주면에는, 실린더 튜브(12)의 축방향을 따라 연장하는 회전멈춤용 홈(24)이 설치되어 있다. 회전멈춤용 홈(24)은, 직경방향 외측을 향해 폭(원주방향 폭)이 감소하는 테이퍼 형상(사다리꼴 형상 또는 삼각형상)으로 형성되어 있다. 회전멈춤용 홈(24)은, 다른 다각형상(예를 들어, 사각형상)으로 형성되어 있을 수도 있다. 제1 실시형태에 있어서, 회전멈춤용 홈(24)은, 실린더 튜브(12)의 내주면에 있어서, 원주방향의 1개소에만 설치되어 있다. 또한, 실린더 튜브(12)의 내주면에는, 원주방향으로 간격을 두고 복수(예를 들어, 3개)의 회전멈춤용 홈(24)이 설치될 수도 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로드 커버(14)는, 실린더 튜브(12)의 일단부(화살표 X1방향측 단부)를 폐쇄하도록 설치되어 있고, 예를 들어, 실린더 튜브(12)와 동일한 금속재료에 의해 구성된 부재이다. 로드 커버(14)에는, 제1 포트(15a)가 설치되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 로드 커버(14)에 설치된 환형상 돌출부(14b)가 실린더 튜브(12)의 일단부에 삽입되어 있다.
로드 커버(14)와 실린더 튜브(12)와의 사이에는, 원형 링 형상의 패킹(23)이 배치되어 있다. 로드 커버(14)의 내주부에는, 원형 링 형상의 부시(25) 및 패킹(27)이 배치되어 있다. 로드 커버(14)의 내주부에는, 원형 링 형상의 제1 쿠션 패킹(68a)이 배치되어 있다.
헤드 커버(16)는, 예를 들어, 실린더 튜브(12)와 동일한 금속재료에 의해 구성된 부재이며, 실린더 튜브(12)의 타단부(화살표 X2 방향측 단부)를 폐쇄하도록 설치되어 있다. 헤드 커버(16)에 의해, 실린더 튜브(12)의 타단부가 기밀로 폐쇄되어 있다. 헤드 커버(16)에는, 제2 포트(15b)가 설치되어 있다.
헤드 커버(16)에 설치된 환형상 돌출부(16b)가 실린더 튜브(12)의 타단부에 삽입되어 있다. 헤드 커버(16)와 실린더 튜브(12)와의 사이에는, 원형 링 형상의 패킹(31)이 배치되어 있다. 헤드 커버(16)의 내주부에는, 원형 링 형상의 제2 쿠션 패킹(68b)이 배치되어 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 실린더 튜브(12), 로드 커버(14) 및 헤드 커버(16)는, 복수의 연결 로드(32) 및 너트(34)에 의해 축방향으로 체결되어 있다. 복수 조의 연결 로드(32) 및 너트(34)가 원주방향으로 간격을 두고 설치되어 있다. 이 때문에, 실린더 튜브(12)는, 헤드 커버(16) 및 로드 커버(14)의 사이에 끼워진 상태로 고정되어 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 피스톤 유닛(18)은, 실린더 튜브(12) 내(슬라이딩 구멍(13))에 축방향으로 슬라이딩 가능하게 수용되고, 슬라이딩 구멍(13) 내를 제1 포트(15a) 측의 제1 압력실(13a)과 제2 포트(15b)측의 제2 압력실(13b)로 나누고 있다. 본 실시형태에 있어서, 피스톤 유닛(18)은, 피스톤 로드(20)의 기단부(20a)에 연결되어 있다.
피스톤 유닛(18)은, 피스톤 로드(20)로부터 직경방향 외측으로 돌출하는 원형의 피스톤 본체(40)와, 피스톤 본체(40)의 외주부에 장착된 원형 링 형상의 패킹(42)과, 피스톤 본체(40)의 외주부에 장착된 링 형상의 유지 부재(44)와, 피스톤 본체(40)의 원주방향으로 부분적으로 배치된 마그넷(46)과, 피스톤 로드(20)와 피스톤 본체(40)와의 사이에 배치된 링 형상의 스페이서(47)를 갖는다.
피스톤 본체(40)는 축방향으로 관통하는 관통구멍(40a)을 갖는다. 스페이서(47)는 피스톤 본체(40)의 관통구멍(40a)에 삽입되어 있다. 스페이서(47)에는, 축방향으로 관통하는 관통구멍(47d)이 형성되어 있다. 스페이서(47)는 소직경부(47a)와 대직경부(47b)를 갖는다. 대직경부(47b)의 외주부에 형성된 링 형상 홈(47c)에, 탄성재료로 이루어지는 링 형상의 씰 부재(48)가 배치되어 있다. 씰 부재(48)는 피스톤 본체(40) 및 스페이서(47)에 액밀 또는 기밀로 밀착되어 있다. 피스톤 본체(40)는 스페이서(47)에 대해서 상대회전 가능하다.
피스톤 로드(20)의 기단부(20a)(세경부)가, 스페이서(47)의 관통구멍(47d)에 삽입됨과 함께, 스웨이징에 의해 스페이서(47)에 고정(연결)되어 있다. 또한, 피스톤 로드(20)와 스페이서(47)와의 고정 구조는, 스웨이징으로 한정되는 것은 아니고, 나사결합 구조일 수도 있다.
피스톤 본체(40)의 외주부에는, 패킹 장착홈(50)과, 마그넷 배치홈(52)과, 마모 링 지지면(54)이 축방향의 상이한 위치에 설치되어 있다. 마그넷 배치홈(52)은 패킹 장착홈(50)과 마모 링 지지면(54)과의 사이에 설치되어 있다. 패킹 장착홈(50) 및 마그넷 배치홈(52)은, 모두, 원주방향 전체 외주에 걸쳐 연장하는 원형 링 형상으로 구성되어 있다.
피스톤 본체(40)의 구성 재료로서는, 예를 들어, 탄소강, 스테인리스강, 알루미늄 합금 등의 금속재료나, 경질수지 등을 들 수 있다.
패킹(42)은 고무재나 엘라스토머재 등의 탄성재료로 이루어지는 링 형상의 씰 부재(예를 들어, O링)이다. 패킹(42)은 패킹 장착홈(50)에 장착되어 있다.
패킹(42)은 실린더 튜브(12)의 내주면에 슬라이딩 가능하게 접촉하고 있다. 구체적으로, 패킹(42)의 외주부는, 사방에 걸쳐 슬라이딩 구멍(13)의 내주면과 기밀 또는 액밀적으로 밀착되어 있다. 패킹(42)의 내주부는, 사방에 걸쳐 피스톤 본체(40)의 외주면과 기밀 또는 액밀적으로 밀착되어 있다. 패킹(42)에 의해 피스톤 유닛(18)의 외주면과 슬라이딩 구멍(13)의 내주면과의 사이가 밀봉되고, 슬라이딩 구멍(13) 내의 제1 압력실(13a)과 제2 압력실(13b)이 기밀 또는 액밀적으로 나누어지고 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 패킹(42)의 외주부에는, 회전멈춤용 홈(24)에 삽입됨과 함께 회전멈춤용 홈(24)의 내면에 슬라이딩 가능하게 접촉하는 볼록부(56)가 설치되어 있다. 볼록부(56)는 회전멈춤용 홈(24)과 동일한 다각형상으로 형성되어 있다. 즉, 볼록부(56)는 직경방향 외측을 향해 폭(원주방향 폭)이 감소하는 테이퍼 형상(사다리꼴 형상 또는 삼각형상)으로 형성되어 있다. 볼록부(56)는, 회전멈춤용 홈(24)에, 기밀 또는 액밀적으로 밀착되어 있다.
볼록부(56)가 회전멈춤용 홈(24)에 걸어맞춰져 있는 것에 의해, 패킹(42)은 실린더 튜브(12)에 대한 상대회전이 규제되고 있다. 피스톤 로드(20)는 피스톤 본체(40)에 대해서 회전 가능하기 때문에, 피스톤 로드(20)를 회전시켜도 패킹(42)이 장착된 피스톤 본체(40)는 회전하지 않는다.
또한, 실린더 튜브(12)의 내주면에 회전멈춤용 홈(24)이 원주방향으로 간격을 두고 복수 설치되는 경우, 패킹(42)에는, 원주방향으로 간격을 두고 복수(회전멈춤용 홈(24)의 개수와 동일한 개수)의 볼록부(56)가 설치될 수 있다.
유지 부재(44)는, 스페이서(47)에 의해 상대회전 가능하게 지지되는 피스톤 본체(40)에 장착되어 있다. 이 때문에, 유지 부재(44)는, 피스톤 로드(20)에 대해서 상대회전 가능하다. 유지 부재(44)는, 피스톤 본체(40)의 외주부를 따라 원주방향으로 연장하는 원주방향부(57)와, 원주방향부(57)로부터 돌출하는 마그넷 유지부(58)를 갖는다. 마그넷 유지부(58)는 원주방향으로 간격을 두고 복수(도시예에서는 4개) 설치되어 있다. 또한, 마그넷 유지부(58)는 1개만 설치되어 있을 수도 있다.
마그넷 유지부(58)는 피스톤 본체(40)의 마그넷 배치홈(52)에 삽입되어 있다. 마그넷 유지부(58)는, 유지 부재(44)의 외주면에서 개구되는 절결부(58a1)가 설치된 마그넷 유지홈(58a)을 갖는다. 마그넷 유지홈(58a)에 마그넷(46)이 유지(장착)되어 있다.
마그넷 유지부(58)는 원주방향부(57)의 내주면(57c)으로부터 직경방향 내측으로 돌출되어 있다. 보다 구체적으로는, 마그넷 유지부(58)는, 원주방향부(57)로부터 직경방향 내측으로 돌출하는 U자 형상의 프레임(58b)을 가지며, 프레임(58b)에 의해 마그넷 유지부(58)가 형성되어 있다. 이 때문에, 마그넷 유지부(58)의 축방향 일단측 및 타단측은 개구되어 있다. 절결부(58a1)는 원주방향부(57)의 외주면(57b)에서 개구하고 있다. 즉, 절결부(58a1)는, 원주방향부(57)를 두께방향(직경방향)으로 관통하는 구멍부분이다.
제1 실시형태에 있어서, 마그넷 유지부(58)의 축방향 치수는, 원주방향부(57)의 축방향 치수보다 작다. 마그넷 유지부(58)는, 원주방향부(57)의 축방향 치수의 범위 내에 설치되어 있다.
제1 실시형태에 있어서, 유지 부재(44)는, 피스톤 본체(40)가 실린더 튜브(12)에 접촉하는 것을 저지하도록 구성된 마모 링(wear ring)(44A)이며, 마모 링 지지면(54)에 장착되어 있다. 마모 링(44A)은, 유체압 실린더(10)의 작동 중에 축방향에 수직인 방향으로 큰 횡하중이 피스톤 유닛(18)에 작용했을 때에 피스톤 본체(40)의 외주면이 슬라이딩 구멍(13)의 내주면에 접촉하는 것을 방지한다. 마모 링(44A)의 외경은 피스톤 본체(40)의 외경보다 크다.
마모 링(44A)은 저마찰재로 이루어진다. 마모 링(44A)과 슬라이딩 구멍(13)의 내주면과의 사이의 마찰계수는, 패킹(42)과 슬라이딩 구멍(13)의 내주면과의 사이의 마찰계수보다 작다. 이러한 저마찰재로서는, 예를 들어, 4불화에틸렌(PTFE)과 같은 저마찰성과 내마모성을 겸비한 합성수지재료나, 금속재료(예를 들어, 베어링강) 등을 들 수 있다.
원주방향부(57)는 피스톤 본체(40)의 마모 링 지지면(54)에 장착되어 있다. 원주방향부(57)는, 원형 링 형상으로 구성되어 있고, 원주방향의 일부에는 슬릿(57a)(절개부)이 형성되어 있다. 슬릿(57a)은 마그넷 유지부(58)에 대해서 원주방향으로 오프셋된 위치에 형성되어 있다. 구체적으로, 슬릿(57a)은 원주방향으로 인접하는 마그넷 유지부(58) 사이에 형성되어 있다. 조립시에는, 유지 부재(44)는, 직경방향으로 강제적으로 넓혀져 마모 링 지지면(54)의 주위에 배치된 후, 탄성 복원력으로 다시 직경이 축소하는 것에 의해, 마그넷 배치홈(52) 및 마모 링 지지면(54)에 장착된다.
유지 부재(44)는 실린더 튜브(12)에 대한 상대회전이 규제되어 있다. 구체적으로, 제1 실시형태에서는, 실린더 튜브(12)의 내주면에, 실린더 튜브(12)의 축방향을 따라 회전멈춤용 홈(24)이 설치되고, 유지 부재(44)에, 회전멈춤용 홈(24)에 걸어맞춰지는 회전멈춤용 돌기(60)가 설치되어 있다. 회전멈춤용 돌기(60)는, 회전멈춤용 홈(24)에 대해서 축방향으로 슬라이딩 가능하다.
회전멈춤용 돌기(60)는 유지 부재(44)의 외주부로부터 직경방향 외측으로 돌출되어 있다. 회전멈춤용 돌기(60)는, 마그넷 유지부(58)에 대해서 원주방향으로 오프셋된 위치에서, 원주방향부(57)의 외주면(57b)에 설치되어 있다. 회전멈춤용 돌기(60)는 원주방향부(57)의 축방향 치수의 전체 길이에 걸쳐 설치되어 있다. 또한, 회전멈춤용 돌기(60)는 원주방향에 있어서 마그넷 유지부(58)와 중복하는 위치에 설치될 수도 있다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 회전멈춤용 돌기(60)는 회전멈춤용 홈(24)과 동일한 다각형상으로 형성되어 있다. 즉, 회전멈춤용 돌기(60)는, 직경방향 외측을 향해 폭(원주방향 폭)이 감소하는 테이퍼 형상(사다리꼴 형상 또는 삼각형상)으로 형성되어 있다. 실린더 튜브(12)의 내주면에 회전멈춤용 홈(24)이 원주방향으로 간격을 두고 복수 설치되는 경우, 유지 부재(44)에는, 원주방향으로 간격을 두고 복수(회전멈춤용 홈(24)의 개수와 동일한 개수 또는 그것보다 적은 개수)의 회전멈춤용 돌기(60)가 설치될 수 있다.
회전멈춤용 홈(24)은, 전술한 테이퍼 형상으로 한정되는 것은 아니고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 단면이 원호형상으로 구성될 수도 있다. 이 경우, 유지 부재(44)에 설치되는 회전멈춤용 돌기(60)는, 원호형상의 회전멈춤용 홈(24)과 동일한 원호형상으로 구성된다. 또, 회전멈춤용 홈(24)이 원호형상으로 구성되는 경우, 패킹(42)에는 볼록부(56)(도 3)가 설치되지 않을 수도 있다. 이 경우에도, 패킹(42)의 외주부는, 원호형상의 회전멈춤용 홈(24)의 형상을 모방하여 탄성변형 하기 때문에, 밀봉 성능이 유지된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 마그넷(46)은, 피스톤 본체(40)의 원주방향의 일부에만 존재하는 비-링 형상(포인트 형상)으로 구성되어 있어, 마그넷 유지부(58)(마그넷 유지홈(58a))에 장착되어 있다. 제1 실시형태에서는, 복수의 마그넷 유지부(58) 중 1개의 마그넷 유지부(58)에만 마그넷(46)이 장착되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 마그넷(46)의 외측끝부(46a)는 유지 부재(44)의 절결부(58a1)에 배치되어 있다. 다시 말해서, 마그넷(46)의 외측끝부(46a)는 원주방향부(57)의 두께의 범위 내에 배치되어 있다. 마그넷(46)의 외측끝부(46a)는 실린더 튜브(12)의 내주면에 직접 대향하고 있다. 마그넷(46)은, 예를 들어, 페라이트 자석, 희토류 자석 등이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 실린더 튜브(12)의 외측에는, 자기 센서(64)가 부착되어 있다. 구체적으로는, 연결 로드(32)(도 1)에 센서용 브래킷(66)이 부착되어 있다. 센서용 브래킷(66)에는 자기 센서(64)가 유지되어 있다. 이것에 의해, 자기 센서(64)는, 센서용 브래킷(66) 및 연결 로드(32)를 통하여, 헤드 커버(16) 및 로드 커버(14)에 대해서 위치가 고정되고 있다. 마그넷(46)이 발생하는 자기를 자기 센서(64)에 의해 감지함으로써, 피스톤 유닛(18)의 동작 위치가 검출된다.
피스톤 로드(20)는, 슬라이딩 구멍(13)의 축방향을 따라 연장하는 기둥 형상(원기둥 형상)의 부재이다. 피스톤 로드(20)는 로드 커버(14)를 관통하고 있다. 피스톤 로드(20)의 선단부(20b)는 슬라이딩 구멍(13)의 외부로 노출되어 있다. 피스톤 본체(40)의 로드 커버(14) 측에 인접하는 위치에서, 피스톤 로드(20)의 외주부에는, 제1 쿠션 링(69a)이 고정되어 있다. 피스톤 본체(40)를 사이에 두고 제1 쿠션 링(69a)의 반대쪽에는, 제2 쿠션 링(69b)이 피스톤 로드(20)와 동축으로 스페이서(47)에 고정되어 있다.
제1 쿠션 패킹(68a), 제2 쿠션 패킹(68b), 제1 쿠션 링(69a) 및 제2 쿠션 링(69b)에 의해, 스트로크 엔드에서의 충격을 완화하는 에어쿠션 기구가 구성되고 있다. 또한, 이러한 에어쿠션 기구를 대신하여, 혹은, 해당 에어쿠션 기구에 더하여, 고무재 등의 탄성재료로 이루어지는 댐퍼가, 예를 들어, 로드 커버(14)의 내벽면(14a) 및 헤드 커버(16)의 내벽면(16a)에 각각 부착될 수도 있다.
상기와 같이 구성된 유체압 실린더(10)는, 이하와 같이 동작한다. 또한, 이하의 설명에서는, 압력유체로서 에어(압축 에어)를 이용하는 경우를 설명하지만, 에어 이외의 기체를 이용할 수도 있다.
도 2에 있어서, 유체압 실린더(10)는, 제1 포트(15a) 또는 제2 포트(15b)를 통하여 도입되는 압력유체인 에어의 작용에 의해, 피스톤 유닛(18)을 슬라이딩 구멍(13) 내에서 축방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 해당 피스톤 유닛(18)에 연결된 피스톤 로드(20)가 진퇴 이동한다.
구체적으로, 피스톤 유닛(18)을 로드 커버(14) 측으로 변위(전진)시키려면, 제1 포트(15a)를 대기 개방 상태로 하고, 도시하지 않은 압력유체 공급원으로부터 제2 포트(15b)를 통하여 압력유체를 제2 압력실(13b)로 공급한다. 그렇게 하면, 압력유체에 의해 피스톤 유닛(18)이 로드 커버(14) 측으로 밀린다. 이것에 의해, 피스톤 유닛(18)이 피스톤 로드(20)와 함께 로드 커버(14) 측으로 변위(전진)한다.
피스톤 유닛(18)이 로드 커버(14)에 맞닿음으로써, 피스톤 유닛(18)의 전진 동작이 정지한다. 피스톤 유닛(18)이 전진 위치에 가까워질 때, 제1 쿠션 링(69a)은, 제1 쿠션 패킹(68a)의 내주면에 접촉하고, 이 접촉 부분에 기밀 씰이 형성되어 제1 압력실(13a)에 에어쿠션이 형성된다. 이것에 의해, 로드 커버(14) 측의 스트로크 엔드 부근에서 피스톤 유닛(18)의 변위가 감속하기 때문에, 스트로크 엔드 도달시의 충격이 완화된다.
한편, 피스톤 본체(40)를 헤드 커버(16) 측으로 변위(후퇴)시키려면, 제2 포트(15b)를 대기 개방 상태로 하고, 도시하지 않은 압력유체 공급원으로부터 제1 포트(15a)를 통하여 압력유체를 제1 압력실(13a)로 공급한다. 그렇게 하면, 압력유체에 의해 피스톤 본체(40)가 헤드 커버(16) 측으로 밀린다. 이것에 의해, 피스톤 유닛(18)이 헤드 커버(16) 측으로 변위한다.
그리고, 피스톤 유닛(18)이 헤드 커버(16)에 맞닿음으로써, 피스톤 유닛(18)의 후퇴 동작이 정지한다. 피스톤 유닛(18)이 후퇴 위치에 가까워질 때, 제2 쿠션 링(69b)은, 제2 쿠션 패킹(68b)의 내주면에 접촉하고, 이 접촉 부분에 기밀 씰이 형성되어 제2 압력실(13b)에 에어쿠션이 형성된다. 이것에 의해, 헤드 커버(16) 측의 스트로크 엔드 부근에서 피스톤 유닛(18)의 변위가 감속하기 때문에, 스트로크 엔드 도달시의 충격이 완화된다.
이 경우, 제1 실시형태에 따른 유체압 실린더(10)는, 이하의 효과를 거둘 수 있다.
유체압 실린더(10)에 의하면, 마그넷(46)이 원주방향의 필요 개소에만 배치되어 있기 때문에, 제품 중량을 감소시킬 수 있다.
게다가, 마그넷 유지부(58)는, 유지 부재(44)의 외주면에서 개구되는 절결부(58a1)를 가지기 때문에, 마그넷(46)을 실린더 튜브(12)의 내주면에 가까운 위치에 배치할 수 있다. 이것에 의해, 실린더 튜브(12)의 외측에 장착되는 자기 센서(64)와 실린더 튜브(12)의 내측에 배치된 마그넷(46)과의 거리를 작게 할 수 있기 때문에, 마그넷(46)에 요구되는 자력을 작게 할 수 있다. 이 때문에, 마그넷(46)의 축방향의 두께를 작게 할 수 있다. 따라서, 피스톤 본체(40)의 축방향 치수를 단축시킬 수 있고, 이것에 의해 유체압 실린더(10)의 전체 길이가 단축될 수 있다.
마그넷(46)의 외측끝부(46a)는 절결부(58a1)에 배치되어 있다. 이 구성에 의해, 마그넷(46)을 실린더 튜브(12)의 내주면에 더욱 접근시킬 수 있기 때문에, 마그넷(46)의 축방향 두께를 효과적으로 작게 할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 유지 부재(44)는, 피스톤 본체(40)의 외주부를 따라 원주방향으로 연장하는 원주방향부(57)를 갖는다. 마그넷 유지부(58)는 원주방향부(57)의 내주면(57c)으로부터 내측으로 돌출한다. 그리고, 절결부(58a1)는 원주방향부(57)의 외주면(57b)에서 개구하고 있다. 이 구성에 의해, 유지 부재(44)의 축방향 치수를 작게 할 수 있기 때문에, 피스톤 본체(40)의 축방향 치수를 더욱 단축시킬 수 있다.
마그넷 유지부(58)는 원주방향부(57)의 축방향 치수의 범위 내에 설치되어 있다. 이 구성에 의해, 유지 부재(44)의 축방향 치수를 더욱 효과적으로 작게 할 수 있다.
유지 부재(44)에는, 마그넷 유지부(58)에 대해서 원주방향으로 오프셋된 위치에, 실린더 튜브(12)에 대한 유지 부재(44)의 회전을 저지하는 회전멈춤용 돌기(60)가 설치되어 있다. 이 구성에 의해, 회전멈춤 기능을 양호하게 발휘하기 위한 회전멈춤용 돌기(60)의 길이를 용이하게 확보할 수 있다.
슬라이딩 구멍(13) 및 피스톤 본체(40)는 원형이며, 유지 부재(44)는 피스톤 로드(20)에 대해서 상대회전 가능하고, 피스톤 로드(20)는 실린더 튜브(12)에 대해서 상대회전 가능하고, 유지 부재(44)는 실린더 튜브(12)에 대한 상대회전이 규제되어 있다. 이 구성에 의해, 로드 커버(14) 및 헤드 커버(16)에 대해서 실린더 튜브(12)를 회전시키면, 실린더 튜브(12) 내에 배치된 유지 부재(44)에 유지된 마그넷(46)도 일체로 회전한다. 이 때문에, 실린더 튜브(12)의 외측에 배치된 자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 거리(자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 원주방향의 위치관계)를 조정함으로써, 자기 센서(64)에 대한 자력을 용이하게 조정할 수 있다. 따라서, 한 종류의 실린더 구조만을 가지고도, 감도가 다른 여러 종류의 자기 센서(64)를 사용할 수 있다.
실린더 튜브(12)의 내주면에는, 실린더 튜브(12)의 축방향을 따라 회전멈춤용 홈(24)이 설치되어 있다. 그리고, 유지 부재(44)에는, 회전멈춤용 홈(24)에 걸어맞춰지는 회전멈춤용 돌기(60)가 설치되어 있다. 이것에 의해, 간단한 구성으로, 유지 부재(44)와 실린더 튜브(12)와의 상대회전을 규제할 수 있다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 회전멈춤용 홈(24) 및 회전멈춤용 돌기(60)가 다각형상으로 구성되는 경우, 유지 부재(44)와 실린더 튜브(12)와의 상대회전을 양호하게 규제할 수 있다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 회전멈춤용 홈(24) 및 회전멈춤용 돌기(60)가 원호형상으로 구성되는 경우, 패킹(42)에 의해 소망하는 밀봉 성능을 용이하게 확보할 수 있다. 또, 이 경우, 패킹(42)에는 볼록부(56)가 불필요하기 때문에, 종래와 동일한 패킹을 사용할 수 있어, 구성을 간단하게 할 수 있는 동시에 경제적이다.
패킹(42)의 외주부에는, 회전멈춤용 홈(24)에 삽입됨과 함께 회전멈춤용 홈(24)의 내면에 슬라이딩 가능하게 접촉하는 볼록부(56)가 설치되어 있다. 이 구성에 의해, 회전멈춤용 홈(24)의 개소에서의 밀봉 성능(제1 압력실(13a)과 제2 압력실(13b)과의 사이의 기밀성 또는 액밀성)을 양호하게 확보할 수 있다.
피스톤 본체(40)는 피스톤 로드(20)에 대해서 상대회전 가능하다. 이 구성에 의해, 패킹(42)의 볼록부(56)가 회전멈춤용 홈(24)으로부터 이탈하는 것이 방지되기 때문에, 패킹(42)에 의한 밀봉 성능을 양호하게 유지하는 것이 가능하다.
유지 부재(44)는, 피스톤 본체(40)가 실린더 튜브(12)에 접촉하는 것을 저지하도록 구성된 마모 링(44A)이다. 이것에 의해, 유지 부재(44)는, 마그넷(46)을 유지하는 부재와 마모 링(44A)를 겸하고 있기 때문에, 구성이 간소화될 수 있다.
전술한 유체압 실린더(10)에 있어서, 실린더 튜브(12) 대신에, 도 5에 나타내는 실린더 튜브(12A)가 채용될 수도 있다. 이 실린더 튜브(12A)는 대략적으로 사각형상의 외형을 갖는다. 실린더 튜브(12A)의 외주부에는, 축방향으로 연장하는 복수의 센서 장착홈(70)이 설치되어 있다. 구체적으로는, 실린더 튜브(12A)의 외주부를 구성하는 4면에 2개씩, 합계 8개의 센서 장착홈(70)이 설치되어 있다. 따라서 실린더 튜브(12A)의 외측에서 고정된 위치에 자기 센서(64)가 부착된다. 실린더 튜브(12A)의 내주면에는, 회전멈춤용 홈(24)이 설치되어 있다.
사각형상의 실린더 튜브(12A)의 각 모서리부에는, 로드 삽통공(72)이 형성되어 있다. 이러한 로드 삽통공(72)에, 실린더 설치용 볼트가 삽입된다. 이 때문에, 유체압 실린더(10)에 있어서 실린더 튜브(12A)가 채용될 경우, 실린더 튜브(12A)의 원주방향 위치는 조정 불가능하다(실린더 부착용 볼트의 체결을 느슨하게 해도, 실린더 튜브(12A)는 회전할 수 없다).
실린더 튜브(12A)가 채용된 유체압 실린더(10)에 있어서, 피스톤 로드(20)를 회전시켜도, 자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 거리는 유지된다. 이 때문에, 예를 들어, 유체압 실린더(10)를 설비에 설치할 때, 자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 거리를 변경시키지 않고 피스톤 로드(20)를 회전시킬 수 있어 편리하다.
전술한 유체압 실린더(10)에 있어서, 실린더 튜브(12) 대신에, 도 6에 나타내는 실린더 튜브(12B)가 채용될 수도 있다. 이 실린더 튜브(12B)는, 외주부의 일부에, 축방향을 따라 연장하는 돌기(74)가 설치되어 있다. 해당 돌기(74) 내에, 자기 센서 장착용 슬롯(74a)이 설치되어 있다. 자기 센서 장착용 슬롯(74a) 내에, 판 형상(박형)의 자기 센서(64a)가 삽입된다. 실린더 튜브(12B)의 내주면에는, 회전멈춤용 홈(24)이 설치되어 있다.
실린더 튜브(12B)가 채용된 유체압 실린더(10)에 있어서, 피스톤 로드(20)를 회전시켜도, 자기 센서(64a)와 마그넷(46)과의 거리는 유지된다. 이 때문에, 예를 들어, 유체압 실린더(10)를 설비에 설치할 때, 자기 센서(64a)와 마그넷(46)과의 거리를 변경시키지 않고 피스톤 로드(20)를 회전시킬 수 있어 편리하다. 또, 실린더 튜브(12B)의 내주면에 근접하여 설치된 자기 센서 장착용 슬롯(74a) 내에, 자기 센서(64a)가 삽입되기 때문에, 자기 센서(64a)와 마그넷(46)(도 2 등 참조)과의 거리를 더욱 짧게 할 수 있다. 따라서, 마그넷(46)의 축방향의 두께를 더욱 효과적으로 작게 할 수 있다.
도 7에 나타내는 제2 실시형태에 따른 유체압 실린더(10a)는, 내부에 원형의 슬라이딩 구멍(13)을 가지는 중공 통형상의 실린더 튜브(80)와, 실린더 튜브(80)의 일단부에 배치된 로드 커버(82)와, 실린더 튜브(80)의 타단부에 배치된 헤드 커버(84)와, 실린더 튜브(80) 내에 축방향(X방향)으로 이동 가능하게 배치된 피스톤 유닛(86)과, 피스톤 유닛(86)에 연결된 피스톤 로드(88)를 구비한다.
실린더 튜브(80)는 중공 원통형으로 형성되어 있다. 실린더 튜브(80)의 양단부 내주면에는, 암나사부(90a, 90b)가 형성되어 있다. 실린더 튜브(80)의 내주면에는, 실린더 튜브(80)의 축방향을 따라 연장하는 회전멈춤용 홈(24)(도 3 참조)이 설치되어 있다. 실린더 튜브(80)와 로드 커버(82)와의 사이, 및 실린더 튜브(80)와 헤드 커버(84)와의 사이에는, 각각, 원형 링 형상의 패킹(92a, 92b)이 배치되어 있다.
자세한 것은 도시하지 않았지만, 실린더 튜브(80)의 외주면에는, 밴드형의 센서 부착도구를 이용하여 자기 센서(64)(도 1 등 참조)가 임의의 위치에 부착된다. 센서 부착도구는, 자기 센서(64)를 유지하는 센서 홀더와, 센서 홀더를 실린더 튜브(80)의 외주부에 고정하는 밴드부를 구비한다. 실린더 튜브(80)의 외주부의 임의의 위치에 자기 센서(64)를 배치하는 것이 가능하기 때문에, 자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 거리(주방향의 위치관계)를 조정한 후에 자기 센서(64)를 부착시킬 수 있다.
로드 커버(82)에 형성된 수나사부(94a)가, 실린더 튜브(80)의 일단부 내주면에 형성된 암나사부(90a)와 나사결합되고 있다. 로드 커버(82)에는, 제1 포트(96a)가 형성되어 있다. 로드 커버(82)의 내주부에는, 원형 링 형상의 부시(98) 및 패킹(100)이 배치되어 있다.
로드 커버(82)의 내벽면(82a)에는, 탄성재료로 이루어지는 댐퍼(102)가 부착되어 있다. 헤드 커버(84)에 형성된 수나사부(94b)가, 실린더 튜브(80)의 타단부 내주면에 형성된 암나사부(90b)와 나사결합되고 있다. 헤드 커버(84)에는, 제2 포트(96b)가 형성되어 있다. 헤드 커버(84)의 내벽면(84a)에는, 탄성재료로 이루어지는 댐퍼(104)가 부착되어 있다.
피스톤 유닛(86)은, 피스톤 로드(88)로부터 직경방향 외측으로 돌출하는 원형의 피스톤 본체(106)와, 피스톤 본체(106)의 외주부에 장착된 패킹(42)과, 피스톤 본체(106)의 외주부에 장착된 유지 부재(44)와, 피스톤 본체(106)의 원주방향으로 부분적으로 배치된 마그넷(46)을 갖는다. 피스톤 본체(106)와 피스톤 로드(88)의 기단부(88a)(세경부)와의 사이에 스페이서(108)가 배치되어 있다.
피스톤 본체(106)에 형성된 관통구멍(106a)에 스페이서(108)가 삽입됨과 함께, 스페이서(108)의 관통구멍(108a)에 피스톤 로드(88)의 기단부(88a)가 삽입되고, 스웨이징에 의해 고정되어 있다. 또한, 스페이서(108)와 피스톤 로드(88)와의 고정 구조는, 스웨이징으로 한정되는 것은 아니고, 나사결합 구조일 수도 있다.
제2 실시형태에 따른 유체압 실린더(10a)에 의해서도, 제1 실시형태에 따른 유체압 실린더(10)와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 마그넷 유지부(58)에 설치된 마그넷 유지홈(58a)은, 유지 부재(44)의 외주면에서 개구되는 절결부(58a1)를 가지기 때문에, 마그넷(46)의 축방향 두께를 작게 할 수 있다. 따라서, 피스톤 본체(106)의 축방향 치수를 단축시킬 수 있다. 또, 자기 센서(64)를 실린더 튜브(80)의 외주부에 부착시킨 후(자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 원주방향 거리를 설정한 후)에 피스톤 로드(88)를 회전시켜도, 자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 거리는 유지된다. 이 때문에, 예를 들어, 유체압 실린더(10a)를 설비에 설치할 때, 자기 센서(64)와 마그넷(46)과의 거리를 변경시키지 않고 피스톤 로드(88)를 회전시킬 수 있어 편리하다.
그 밖에, 제2 실시형태 중에서 제1 실시형태와 공통되는 부분에 대해서는, 제1 실시형태와 동일 또는 유사한 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 전술한 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 다양한 변경이 가능하다.

Claims (10)

  1. 내부에 슬라이딩 구멍을 가지는 실린더 튜브와,
    상기 슬라이딩 구멍을 따라 왕복이동 가능하게 배치된 피스톤 유닛과,
    상기 피스톤 유닛으로부터 축방향으로 돌출하는 피스톤 로드
    를 구비하며,
    상기 피스톤 유닛은,
    상기 피스톤 로드로부터 직경방향 외측으로 돌출하는 피스톤 본체와,
    상기 피스톤 본체의 외주부에 장착된 패킹과,
    상기 피스톤 본체의 외주부에 장착되고, 마그넷 유지부를 가지는 유지 부재와,
    상기 마그넷 유지부에 의해 유지되고, 상기 피스톤 본체의 원주방향으로 부분적으로 배치된 마그넷
    을 가지며,
    상기 마그넷 유지부는 상기 유지 부재의 외주면에서 개구되는 절결부를 갖는 것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 마그넷의 외측끝부는 상기 절결부에 배치되는
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 유지 부재는 상기 피스톤 본체의 외주부를 따라 원주방향으로 연장하는 원주방향부를 가지며,
    상기 마그넷 유지부는 상기 원주방향부의 내주면으로부터 내측으로 돌출하며,
    상기 절결부는 상기 원주방향부의 외주면에서 개구되는
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 마그넷 유지부는 상기 원주방향부의 축방향 치수의 범위 내에 설치되는
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 유지 부재에는, 상기 마그넷 유지부에 대해서 원주방향으로 오프셋된 위치에, 상기 실린더 튜브에 대한 상기 유지 부재의 회전을 저지하는 회전멈춤용 돌기가 설치되는
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬라이딩 구멍 및 피스톤 본체는 원형이고,
    상기 유지 부재는 상기 피스톤 로드에 대해서 상대회전 가능하고,
    상기 피스톤 로드는 상기 실린더 튜브에 대해서 상대회전 가능하고,
    상기 유지 부재는 상기 실린더 튜브에 대한 상대회전이 규제되는
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 실린더 튜브의 내주면에는, 상기 실린더 튜브의 축방향을 따라 회전멈춤용 홈이 설치되고,
    상기 유지 부재에는, 상기 회전멈춤용 홈에 걸어맞춰지는 회전멈춤용 돌기가 설치되는
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 패킹의 외주부에는, 상기 회전멈춤용 홈에 삽입됨과 함께 상기 회전멈춤용 홈의 내면에 슬라이딩 가능하게 접촉하는 볼록부가 설치되는
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 피스톤 본체는 상기 피스톤 로드에 대해서 상대회전 가능한
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 유지 부재는 상기 피스톤 본체가 상기 실린더 튜브에 접촉하는 것을 저지하도록 구성된 마모 링인
    것을 특징으로 하는 유체압 실린더.
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