KR20200040497A - 건조액 액화회수장치 및 이를 이용한 반도체 건조시스템 - Google Patents

건조액 액화회수장치 및 이를 이용한 반도체 건조시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명에 의하면, 챔버의 상부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입부; 기체흡입부를 통해 흡입된 기체를 액화시키는 기체액화부; 및 기체액화부에서 액화된 건조액을 건조액 회수장치로 회수시키는 보조회수부를 포함하는 건조액 액화회수장치가 제공된다.

Description

건조액 액화회수장치 및 이를 이용한 반도체 건조시스템{Liquefaction recovering apparatus for dry liquid and semiconductor drying system using thereof}
본 발명은 건조액 액화회수장치 및 이를 이용한 반도체 건조시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 에이치에프이(HFE:HydroFluoroEther)계 건조액을 이용하는 건조시스템에 있어서 챔버의 내부로부터 건조액을 회수하는 회수장치의 내부에 열전도율이 높고 볼(Ball) 형상을 가지는 다수개의 건조액액화체가 충전되어 건조액의 회수율을 향상시키도록 할 수 있는 건조액 액화회수장치 및 이를 이용한 반도체 건조시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정 중 웨이퍼 가공 공정에는 감광액 도포 공정(Photoresist Coating), 현상 공정(Develop & Bake), 식각 공정(Etching), 화학기상증착 공정(Chemical Vapor Deposition), 애싱 공정(Ashing) 등이 있다.
또한, 위와 같은 각각의 공정들을 수행하는 과정에서 기판에 부착된 오염물 및 파티클을 제거하기 위하여 세정 공정(Wet Cleaning Process)이 진행되며, 세정 공정은 약액(Chemical) 또는 순수(Deionized Water)를 이용한다.
또한, 세정 공정을 진행하고 난 후, 반도체 기판 표면에 잔류하는 약액 또는 순수를 건조시키기 위한 건조 공정(Drying Process)이 진행된다. 건조 공정을 진행하는 방식은, 기계 역학적인 회전력을 이용하여 반도체 기판을 건조시키는 스핀건조방식과, 이소프로필알코올(IPA:Isopropylalcohol)의 화학적 반응을 이용하여 반도체 기판을 건조시키는 IPA 건조방식이 있다.
여기서, 일반적인 스핀건조방식은, 기판을 지지하는 스핀 헤드의 회전 작용에 의하여 기판을 건조하는데, 건조처리 후 기판 상에 물반점이 발생되고, 이때 물반점은 반도체 소자의 고집적화 및 기판의 대구경화하는 경향에서 고려할 때 많은 문제점이 있다.
이로 인하여, IPA 건조방식이 널리 사용되며, IPA 건조방식은 IPA의 화학적 반응에 의하여 반도체 기판을 건조하는데, IPA를 증발시켜 기판상의 순수와 IPA의 치환에 의해 건조 공정을 수행한다.
그러나 IPA 세정제는 IPA로 인한 인력작용으로 패턴들의 리닝(leaning)이 발생되어 패턴들이 서로 접촉되는 문제점이 발생되고, 또한 휘발성이 강해 폭발 위험성이 있어 취급 및 처리가 쉽지 않은 문제점이 있다.
한편, 최근에는 오존파괴지수(ODP)가 전혀 없고 온실가스지수(GWP)가 낮아 환경 친화적인 비수계 화합물이 개발되어 세정액 및 건조액으로 사용되고 있다. 이와 같은 비수계 화합물은 HFE 등과 같은 불화에테르계 화합물로서, 환경 친화적이고 세정 및 건조성능이 우수하지만, 가격이 고가인 단점이 있다.
이에, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 대한민국공개특허 제2002-0048911호 등에, 에이치에프이계 건조액을 이용하는 화학 필름의 세정 및 건조 시스템이 개시된 바 있다.
그러나 종래의 반도체 건조시스템은, 챔버로부터 건조액을 회수하는 건조액 회수장치의 건조액 회수율이 낮은 구성을 가지고 있어, 오히려 비용을 증가시키는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 에이치에프이(HFE:HydroFluoroEther)계 건조액을 이용하는 건조시스템에 있어서 챔버의 내부로부터 건조액을 회수하는 회수장치의 내부에 열전도율이 높고 볼(Ball) 형상을 가지는 다수개의 건조액액화체가 충전되어 건조액의 회수율을 향상시키도록 할 수 있는 건조액 회수장치 및 이를 이용한 반도체 건조시스템을 제공하는 것이다.
한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 의하면, 챔버의 상부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입부; 기체흡입부를 통해 흡입된 기체를 액화시키는 기체액화부; 및 기체액화부에서 액화된 건조액을 건조액 회수장치로 회수시키는 보조회수부를 포함하는 건조액 액화회수장치가 제공된다.
여기서, 기체액화부는, 기체흡입부의 기체회수관에 연결되고 기체가 유입되는 액화챔버; 액화챔버의 내부에 구성되어 액화챔버의 내부를 냉각시키는 냉각코일관; 냉각코일관에 냉기를 공급하는 냉각용칠러; 및 액화챔버의 내부에 충전되고 냉각코일관에 의해 냉각되어 액화챔버로 유입되는 기체의 이동을 억제하면서 기체와 접촉되는 것을 통하여 기체가 냉각 결로되면서 액화되도록 하는 다수개의 건조액액화체를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 건조액액화체는, 백금 또는 알루미늄 재질을 가지고 기체의 이동을 가능하게 하는 공극을 제공하는 볼(Ball) 타입을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 건조액액화체는, 볼 타입의 몸체를 관통하는 하나 또는 복수개의 관통공이 형성된 것이 바람직하다.
또한, 냉각용칠러와 냉각코일관의 내부에 순환되는 냉기는, 냉각용 냉매(또는 냉각수)와 함께 냉매 100 중량부를 기준으로 5 내지 10 중량부를 가지는 백금가루에 의해 제공되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 의하면, 기판이 건조되는 챔버; 건조액이 충전된 건조액 탱크; 건조액 탱크의 건조액을 챔버의 상부에 분사시켜 기판이 건조되도록 하는 건조액 분사장치; 챔버로부터 챔버 내부에 분사된 건조액을 회수하는 건조액 회수장치; 건조액 회수장치에 회수된 건조액을 건조액 탱크로 리턴시키는 건조액 리턴장치; 및 챔버로부터 챔버 내부에 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하고 액화시켜 액화된 건조액을 건조액 회수장치로 회수하는 건조액 액화회수장치를 포함하는 반도체 건조시스템이 제공된다.
따라서 본 발명에 의하면, 에이치에프이(HFE:HydroFluoroEther)계 건조액을 이용하는 건조시스템에 있어서 챔버의 내부로부터 건조액을 회수하는 회수장치의 내부에 열전도율이 높고 볼(Ball) 형상을 가지는 다수개의 건조액액화체가 충전되어 건조액의 회수율을 향상시키도록 할 수 있다.
한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 건조시스템의 구성을 나타낸 도면;
도 2 내지 도 4는 각각 도 1의 반도체 건조시스템에 있어서 건조액 회수장치의 구성을 나타낸 도면; 및
도 5와 도 6은 각각 도 1의 반도체 건조시스템에 있어서 챔버의 실시예들을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 6에 도시된 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 건조시스템은, 기판이 건조되는 챔버(210), 건조액이 충전된 건조액 탱크(220), 건조액 탱크(220)의 건조액을 챔버(210)의 상부에 분사시켜 기판이 건조되도록 하는 건조액 분사장치(230), 챔버(210)로부터 챔버(210) 내부에 분사된 건조액을 회수하는 건조액 회수장치(240), 건조액 회수장치(240)에 회수된 건조액을 건조액 탱크(220)로 리턴시키는 건조액 리턴장치(250) 및 챔버(210)로부터 챔버(210) 내부에 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하고 액화시켜 액화된 건조액을 건조액 회수장치(240)로 회수하는 건조액 액화회수장치(100) 등을 포함한다.
챔버(210)는, 내부에 기판들이 위치된 상태에서 건조액에 의해 세정 및 건조되도록 하는 장소를 제공하는 수단으로서, 내부에 스핀축(211), 스핀축(211)의 상단부에 구성되어 기판을 흡착하는 흡착기(212) 및 스핀축(211)의 하단부에 구성되어 스핀축(211)을 회전시키는 스핀축구동유닛(213)을 포함하는 구성을 가지거나, 내부에 내조(215)가 구비되고 내조(215)의 내부에 순수가 채워지며 내조(215)의 내부에 다수개의 기판들이 수용되는 기판적재대(217)가 구비되고 기판적재대(217)를 상하로 이동시키는 리프트유닛(미도시)을 포함하는 구성을 가질 수 있다.
건조액 탱크(220)는, 내부에 건조액이 충전되는 공간을 제공하는 수단으로서, 공지의 구성을 가질 수 있으므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
여기서, 건조액은, 에이치에프이(HFE)계 건조액으로서, 일반적으로 증기압이 높고 표면장력이 커 밀도가 물보다 높으며, 이로 인하여 증발성이 높고 물과 혼합시 물 아래로 가라앉는 성질을 가진다(CFC 대체 산업세정제로의 HFEs의 적용 가능성 연구 논문 참조: Clean Technology, Vol. 14, No.3, September 2008, pp. 184-192).
건조액 분사장치(230)는, 건조액 탱크(220)의 건조액을 챔버(210)의 상부로 분사하여 기판을 건조시키는 수단으로서, 챔버(210)의 상측에 설치되는 분사체(231), 건조액 탱크(220)와 분사체(231)를 연결하는 공급관(233), 공급관(233)에 구성되는 펌프(235) 및 공급관(233)에 연결되는 제어밸브(237) 등을 포함한다.
여기서, 건조액 탱크(220)에 연결되는 공급관(233)의 단부는 건조액 탱크(220)의 하부에 연결되는 것이 바람직하다.
건조액 회수장치(240)는, 챔버(210)의 하부와 연결되어 챔버(210) 내부로 분사된 건조액을 회수하는 수단으로서, 챔버(210)의 하부에 연결되는 챔버회수관(241)과, 챔버회수관(241)에 연결되어 챔버(210)에서 회수되는 건조액과 웨이퍼에서 분리된 물이 채워지면서 건조액과 물이 분리되도록 하는 메인분리조(243) 등을 포함한다.
여기서, 챔버회수관(241)에는 제어밸브(245)가 구성되고 메인분리조(243)의 상부에는 물배수관(247)이 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 메인분리조(243)에 회수되는 건조액과 물은 비중 차이에 의해 서로 분리되어 건조액이 메인분리조(243)의 하부에 위치되고 물은 건조액의 상부에 위치되며, 챔버(210)가 내조(215)를 가지는 경우 챔버회수관(241)이 내조(215)의 하단부에 연통되는 구성을 가질 수 있다.
건조액 리턴장치(250)는, 건조액 회수장치(240)에 회수된 건조액을 건조액 탱크(220)로 리턴시키는 수단으로서, 건조액 회수장치(240)와 건조액 탱크(220)를 연결하는 메인리턴관(251), 메인리턴관(251)에 구성되는 펌프(253) 및 메인리턴관(251)에 연결되는 제어밸브(255) 등을 포함한다.
여기서, 메인리턴관(251)의 일단은 건조액 회수장치(240)의 메인분리조(243) 하단부에 연결되고 타단은 건조액 탱크(220)의 상부에 연결되는 구성을 가질 수 있다.
한편, 본 발명에 있어서, 건조액 액화회수장치(100)는, 챔버(210)로부터 챔버(210) 내부에 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하고 액화시켜 액화된 건조액을 건조액 회수장치(240)로 회수하는 수단으로서, 챔버(210)의 상부와 연결되어 챔버(210) 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입부(110), 기체흡입부(110)를 통해 흡입된 기체를 액화시키는 기체액화부(120) 및 기체액화부(120)에서 액화된 건조액을 건조액 회수장치(240)로 회수시키는 보조회수부(130) 등을 포함한다.
본 발명의 건조액 액화회수장치(100)는, 기체흡입부(110)와 기체액화부(120)가 하나의 프레임에 콤팩트하게 위치되도록 하는 공간을 제공하는 마운트부(140)를 더 포함한다.
여기서, 마운트부(140)는, 육면체 형상을 가지는 프레임이 상하 공간으로 구획되고, 상측부에 기체흡입부(110)가 구성되고 하측부에 기체액화부(120)가 구성되어 건조액 액화회수장치(100)가 콤팩트한 구성을 가지도록 할 수 있고, 하단부에 복수개의 캐스트가 구성되어 원하는 장소로 일예로, 소정의 부피를 가지는 보조회수부(130)의 보조분리조(132) 근처로 간편하게 이동되도록 하는 것이 좋다.
기체흡입부(110)는, 챔버(210)의 상부와 연결되어 챔버(210) 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하여 기체액화부(120)로 이동시키는 수단으로서, 챔버(210)의 상부와 기체액화부(120)를 연결하는 기체회수관(111)과, 기체회수관(111)에 구성되어 흡입 유동을 발생시켜 기체가 챔버(210)로부터 기체액화부(120)로 이동되도록 하는 송풍팬(113) 등을 포함한다.
기체액화부(120)는, 기체흡입부(110)를 통해 흡입되는 기체를 액화시키는 수단으로서, 기체흡입부(110)의 기체회수관(111)에 연결되고 기체가 유입되는 액화챔버(121), 액화챔버(121)의 내부에 구성되어 액화챔버(121)의 내부를 냉각시키는 냉각코일관(122), 냉각코일관(122)에 냉기를 공급하여 냉각용칠러(123) 및 액화챔버(121)의 내부에 충전되고 냉각코일관(122)에 의해 냉각되어 액화챔버(121)로 유입되는 기체의 이동을 억제하면서 기체와 접촉되는 것을 통하여 기체가 냉각 결로되면서 액화되도록 하는 다수개의 건조액액화체(124) 등을 포함한다.
액화챔버(121)는, 보다 바람직하게는, 마운트부(140)의 하측부 공간에 복수개가 직렬로 연결되도록 구성될 수 있으며, 이를 통하여, 마운트부(140)에 액화챔버(121)가 콤팩트하게 구성되더라도 높은 액화율이 제공되도록 하는 것이 좋다.
또한, 액화챔버(121)는, 내부에 냉각코일관(122)이 지그재그 구조로 절곡 구성되는 것이 바람직하고, 이때, 다수개의 격벽이 지그재그 구조로 기체 이동유로를 제공하여 기체가 충분히 액화되도록 하는 것이 좋다.
또한, 액화챔버(121)는, 내부에서 결로(응축)를 통해 액화되지 않은 기체가 외부로 배기되도록 하는 배기관(125)을 포함한다.
냉각용칠러(123)는, 증발기의 기능을 제공하는 냉각코일관(122)과 함께 냉동사이클장치를 구성하는 수단으로서, 압축기, 응축기 및 팽창밸브의 구성을 가질 수 있다.
한편, 본 발명에 있어서, 냉각용칠러(123)와 냉각코일관(122)의 내부에 순환되는 냉기는 R-22 등과 같은 공지의 냉각용 냉매(또는 냉각수)와 함께 냉매 100 중량부를 기준으로 5 내지 10 중량부를 가지는 열전도율이 높은 백금가루에 의해 제공되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 냉기가 냉매 100 중량부를 기준으로 백금가루가 5 내지 10 중량부를 가지는 것을 통하여 제공되도록 하는 것은, 백금가루가 상기 중량부를 미만하는 경우에는 열전도율의 상승 효과가 미비하고, 백금가루가 상기 중량부를 초과하는 경우에는 열전도율은 높아지지만 상변화를 가지는 냉매에 비해 입자의 구조를 가지는 백금가루가 냉매의 상변이 상태에 따라 침전되거나 이동 속도가 저하되는 등의 문제점이 발생되므로, 상기와 같은 임계적 의의를 가지는 것이 좋다.
건조액액화체(124)는, 액화챔버(121)의 내부에 충전되고 냉각코일관(122)에 의해 냉각된 상태에서 기체의 이동을 억제하면서 기체와 충분히 접촉되어 기체가 냉각 및 결로되면서 액화되도록 하는 수단으로서, 열전도율이 높고 가벼운 백금이나 알루미늄 재질을 가지고 기체의 이동을 가능하게 하는 공극을 제공하는 볼(Ball) 타입을 가진다.
여기서, 건조액액화체(124)는, 상기와 같이 열전도율이 높은 재질과 볼 타입의 형상을 가지는 것을 통하여, 육면체 형상을 가지는 것에 비해 기체의 접촉시 결로되어 액화되는 건조액이 중력에 의해 표면을 따라 액화챔버(121)의 하단으로 흐르면서 침강되도록 하여 집수 효율이 극대화될 수 있다.
또한, 건조액액화체(124)는, 기체의 이동을 보다 향상시키면서도 접촉면적을 증대시켜 기체의 액화율을 향상시킬 수 있도록 볼 타입의 몸체를 관통하는 하나 또는 복수개의 관통공을 더 가지는 것이 바람직하다.
따라서 본 발명의 기체액화부(120)에 의하면, 기체흡입부(110)를 통해 흡입되는 기체의 액화율이 다수개의 건조액액화체(124)들에 의해 극대화되어 건조액 회수율이 극대화될 수 있다.
보조회수부(130)는, 기체액화부(120)에서 액화된 건조액을 건조액 회수장치(240)로 회수시키는 보조회수수단으로서, 기체액화부(120)로부터 건조액이 회수되는 액화액회수관(131), 액화액회수관(131)에 연결되어 회수되는 건조액과 물을 분리하는 보조분리조(132), 보조분리조(132)와 건조액 회수장치(240)를 연결하는 보조리턴관(133), 보조리턴관(133)에 결합되는 펌프(134) 및 보조리턴관(133)에 구성되는 제어밸브(135) 등을 포함한다.
여기서, 액화액회수관(131)의 일단은 액화챔버(121)의 하면에 연결되고 타단은 보조분리조(132)의 상부에 연결되어 액화챔버(121)의 하단에 침강 및 집수된 건조액이 보조분리조(132)로 유입되도록 한다.
또한, 보조리턴관(133)의 일단은 보조분리조(132)의 하부에 연결되고 타단은 건조액 회수장치(240)의 메인분리조(243) 상부에 연결된다.
또한, 보조분리조(132)의 상부에는 물이 배수되는 물배수관(136)이 연결되는 것이 바람직하다.
이하, 상술한 바와 같은 구성을 가지는 건조액 액화회수장치 및 이를 이용한 반도체 건조시스템의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 챔버(210) 내부에서 기판의 세정 공정이 끝난 후 건조액 탱크(220)에 충전된 에이치에프이계 건조액이 건조액 분사장치(230)의 펌프(235) 동작에 따라 분사체(231)로부터 챔버(210) 내부의 기판에 분사되어 기판의 건조가 진행된다.
여기서, 챔버(210) 내부의 기판에 분사된 건조액은 챔버(210)의 하면으로 집수되고 상기 집수된 건조액과 기판에서 분리되는 순수는 건조액 회수장치(240)의 챔버회수관(241)을 통해 메인분리조(243)로 유입되어 메인분리조(243)에 충전된다. 이때, 메인분리조(243)에 충전되는 에이치에프이계 건조액과 기판에서 분리되는 순수는 비중 차이에 의해 메인분리조(243)의 하부에는 에이치에프이계 건조액이 위치되고 건조액의 상부에 순수가 위치되어 서로 분리된 상태를 가지게 된다. 한편, 챔버(210)가 내조(215)를 가지는 타입인 경우에는 챔버(210) 내부의 기판들로 분사된 에이치에프이계 건조액은 내조(215)로 유입되어 내조(215)에 채워진 순수보다 비중이 크게 되어 내조(215)의 하부로 위치하게 되고 내조(215)의 하부로 위치된 에이치에프이계 건조액은 챔버회수관(241)을 통해 메인분리조(243)로 유입된다.
한편, 챔버(210) 내부의 기판에 분사되는 건조액 중 기화되는 기체는, 건조액 액화회수장치(100) 중 기체흡입부(110)의 송풍팬(113)의 작동에 의해 흡입되어 기체회수관(111)을 통해 기체액화부(120)의 액화챔버(121)로 유입된다.
여기서, 액화챔버(121)의 내부에는 냉각코일관(122)에 의해 냉각된 상태를 가지는 다수개의 건조액액화체(124)가 충전됨에 따라, 액화챔버(121)로 유입된 기체의 이동이 억제되면서 볼 타입의 건조액액화체(124)와 기체와의 접촉이 극대화되어, 응축 또는 결로되면서 액화된 상태의 건조액(기체)은 볼 타입의 건조액액화체(124) 표면을 따라 흐르면서 액화챔버(121)의 하단부에 침강 및 집수된다.
이후, 액화챔버(121)의 하단부에 침강 및 집수된 액화된 건조액과 이 중에 포함된 순수가 보조회수부(130)의 액화액회수관(131)을 통해 보조분리조(132)로 유입된다.
여기서, 보조분리조(132)에 유입된 액화된 건조액과 순수는 비중 차이에 의해 보조분리조(132)의 하부에는 건조액이 위치되고 건조액의 상부에는 순수가 위치되어 보조분리조(132) 내에서 서로 분리된다.
이후, 보조회수부(130)의 펌프(134)의 구동에 의해 보조분리조(132)의 하부에 위치된 건조액이 보조리턴관(133)을 통해 메인분리조(243)로 유입되어 메인분리조(243)의 하부에 위치된다.
이후, 건조액 리턴장치(250)의 펌프(253) 작동에 의해 메인분리조(243)의 하부에 위치된 건조액은 메인리턴관(251)을 통해 건조액 탱크(220)로 리턴된다.
따라서 상술한 바에 의하면, 건조액 탱크(220)에 저장된 건조액을 건조액 분사장치(230)를 통해 챔버(210)의 내부에 위치한 기판에 분사하고 기판에 분사된 건조액이 챔버(210)의 하부를 통해 건조액 회수장치(240)에 의해 회수됨과 동시에, 기판에 분사후 기화된 건조액 기체가 건조액 액화회수장치(100)를 통해 액화된 뒤 건조액 회수장치(240)로 회수되는 구성을 통하여, 기판을 건조시키기 위해 기판에 분사된 고가의 에이치에프이계 건조액의 손실을 최소화할 수 있다.
또한, 메인분리조(243)와 보조분리조(132)에서 순수 보다 비중이 큰 건조액이 하부에 위치되도록 하고 건조액이 건조액 탱크(220)로 리턴되어, 건조액 탱크(220)의 건조액 순도가 높게 유지되도록 할 수 있다.
또한, 건조액의 기체가 건조액 액화회수장치(100)에서 액화시 기체가 액화챔버(121)의 내부에 충전된 다수개의 건조액액화체(124)를 거치면서 액화되어 기체의 액화 효율이 향상되고 액화된 건조액의 침강 및 집수 효율이 극대화되도록 하여 건조액의 손실을 최소화할 수 있다.
상술한 본 발명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시될 수 있다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 청구 범위와 청구 범위의 균등한 것에 의해 정해져야 한다.

Claims (6)

  1. 챔버(210)의 상부와 연결되어 챔버(210) 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입부(110);
    기체흡입부(110)를 통해 흡입된 기체를 액화시키는 기체액화부(120); 및
    기체액화부(120)에서 액화된 건조액을 건조액 회수장치(240)로 회수시키는 보조회수부(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 건조액 액화회수장치.
  2. 제1항에 있어서, 기체액화부(120)는,
    기체흡입부(110)의 기체회수관(111)에 연결되고 기체가 유입되는 액화챔버(121);
    액화챔버(121)의 내부에 구성되어 액화챔버(121)의 내부를 냉각시키는 냉각코일관(122);
    냉각코일관(122)에 냉기를 공급하는 냉각용칠러(123); 및
    액화챔버(121)의 내부에 충전되고 냉각코일관(122)에 의해 냉각되어 액화챔버(121)로 유입되는 기체의 이동을 억제하면서 기체와 접촉되는 것을 통하여 기체가 냉각 결로되면서 액화되도록 하는 다수개의 건조액액화체(124)를 포함하는 것을 특징으로 하는 건조액 액화회수장치.
  3. 제2항에 있어서, 건조액액화체(124)는,
    백금 또는 알루미늄 재질을 가지고 기체의 이동을 가능하게 하는 공극을 제공하는 볼(Ball) 타입을 가지는 것을 특징으로 하는 건조액 액화회수장치.
  4. 제3항에 있어서, 건조액액화체(124)는,
    볼 타입의 몸체를 관통하는 하나 또는 복수개의 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 건조액 액화회수장치.
  5. 제2항에 있어서, 냉각용칠러(123)와 냉각코일관(122)의 내부에 순환되는 냉기는,
    냉각용 냉매(또는 냉각수)와 함께 냉매 100 중량부를 기준으로 5 내지 10 중량부를 가지는 백금가루에 의해 제공되는 것을 특징으로 하는 건조액 액화회수장치.
  6. 기판이 건조되는 챔버(210);
    건조액이 충전된 건조액 탱크(220);
    건조액 탱크(220)의 건조액을 챔버(210)의 상부에 분사시켜 기판이 건조되도록 하는 건조액 분사장치(230);
    챔버(210)로부터 챔버(210) 내부에 분사된 건조액을 회수하는 건조액 회수장치(240);
    건조액 회수장치(240)에 회수된 건조액을 건조액 탱크(220)로 리턴시키는 건조액 리턴장치(250); 및
    챔버(210)로부터 챔버(210) 내부에 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하고 액화시켜 액화된 건조액을 건조액 회수장치(240)로 회수하는 건조액 액화회수장치(100)를 포함하고,
    건조액 액화회수장치(100)는,
    제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 것을 특징으로 하는 반도체 건조시스템.
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