KR101963144B1 - 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템 - Google Patents

에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템에 관한 것으로, 본 발명은 기판이 건조되는 챔버; 건조액이 채워진 건조액탱크; 상기 건조액탱크의 건조액을 상기 챔버의 상부로 분사하여 기판을 건조시키는 건조액분사유닛; 상기 챔버의 하부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액을 회수하는 건조액회수유닛; 상기 건조액회수유닛으로 회수된 건조액을 상기 건조액탱크로 리턴시키는 리턴유닛; 상기 챔버의 상부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입유닛; 상기 기체흡입유닛을 통해 흡입되는 기체를 액화시키는 액화유닛; 상기 액화유닛에서 액화된 건조액을 상기 건조액회수유닛으로 회수하는 보조회수유닛;을 포함하며, 상기 건조액은 에이치에프이계 건조액인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 친환경적이면서 건조 성능이 우수한 에이치에프계 건조액의 손실을 최소화하면서 웨이퍼를 건조시킨다.

Description

에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템{SYSTEM FOR DRYING WAFER USING LIQUID BASED ON HYDROFLUOROETHER}
본 발명은 에이치에프이(HFE; HydroFluoroEther)계 건조액을 이용한 건조시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정 중 웨이퍼 가공 공정에는 감광액 도포 공정(Photoresist Coating), 현상 공정(Develop & Bake), 식각 공정(Etching), 화학기상증착 공정 (Chemical Vapor Deposition), 애싱 공정(Ashing) 등이 있다. 또한, 위와 같은 각각의 공정들을 수행하는 과정에서 기판에 부착된 오염물 및 파티클을 제거하기 위하여 세정 공정(Wet Cleaning Process)이 진행되며, 세정 공정은 약액(Chemical) 또는 순수(Deionized Water)를 이용한다.
또한, 세정 공정을 진행하고 난 후, 반도체 기판 표면에 잔류하는 약액 또는 순수를 건조시키기 위한 건조 공정(Drying Process)이 진행된다. 건조 공정을 진행하는 건조 장치는 기계 역학적인 회전력을 이용하여 반도체 기판을 건조시키는 스핀건조장치와 이소프로필알코올(IPA; isopropylalcohol)의 화학적 반응을 이용하여 반도체 기판을 건조시키는 IPA 건조 장치가 사용된다.
일반적인 스핀 건조 장치는 기판을 지지하는 스핀 헤드의 회전 작용에 의하여 기판을 건조하는데, 건조처리 후 기판 상에 물반점을 발생시킨다. 이와 같은 물반점은 반도체 소자의 고집적화 및 기판의 대구경화하는 경향에서 고려할 때 많은 문제점을 안고 있다.
이로 인하여, IPA 건조 장치가 널리 사용되는 데, IPA 건조 장치는 IPA의 화학적 반응에 의하여 반도체 기판을 건조시키는 장치이다. 즉, IPA를 증발시켜 기판 상의 순수와 IPA의 치환에 의해 건조 공정을 수행한다. 그러나 IPA 세정제는 IPA으로 인한 인력작용으로 패턴들의 리닝(leaning)이 발생되어 패턴들이 서로 접촉되는 문제점이 발생될 수 있고, 또한 휘발성이 강해 폭발 위험성이 있어 취급 및 처리가 쉽지 않은 단점이 있다.
한편, 최근에는 오존파계지수(ODP)가 전혀 없고 온실가스지수(GWP)가 낮아 환경 친화적인 비수계 화합물이 개발되어 세정액 및 건조액으로 사용되고 있다. 이와 같은 비수계 화합물은 HFE 등과 같은 불화에테르계 화합물이다. 이와 같은 에이치에프계 화합물은 환경친화적일 뿐만 아니라 세정 및 건조성능이 우수하다. 하지만, 에이치에프계 건조액은 가격이 고가인 단점이 있다.
대한민국공개특허 제2002-0048911호(2002. 06. 24. 공개일)(이하, 선행기술이라 함)에는 에이치에프계 건조액을 이용하는 화학 필름의 세정 및 건조 방법과 그 장치가 개시되어 있다. 그러나, 선행기술은 필름의 건조로 사용되는 에이치에프계 건조액의 손실이 커 비용을 증가시키는 단점이 있다.
본 발명의 목적은 친환경적이면서 건조 성능이 우수한 에이치에프계 건조액의 손실을 최소화하면서 웨이퍼를 건조시키는, 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 기판이 건조되는 챔버; 건조액이 채워진 건조액탱크; 상기 건조액탱크의 건조액을 상기 챔버의 상부로 분사하여 기판을 건조시키는 건조액분사유닛; 상기 챔버의 하부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액을 회수하는 건조액회수유닛; 상기 건조액회수유닛으로 회수된 건조액을 상기 건조액탱크로 리턴시키는 리턴유닛; 상기 챔버의 상부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입유닛; 상기 기체흡입유닛을 통해 흡입되는 기체를 액화시키는 액화유닛; 상기 액화유닛에서 액화된 건조액을 상기 건조액회수유닛으로 회수하는 보조회수유닛;을 포함하며, 상기 건조액은 에이치에프이계 건조액인 것을 특징으로 하는 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템이 제공된다.
상기 건조액분사유닛은 상기 챔버의 상측에 설치되는 분사체와, 상기 건조액탱크와 분사체를 연결하는 공급관과, 상기 공급관에 연결되는 펌프와, 상기 공급관에 연결되는 제어밸브를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 건조액회수유닛은 상기 챔버의 하면에 연결되는 챔버측 회수관과, 상기 챔버측 회수관에 연결되어 챔버에서 회수되는 건조액과 웨이퍼에서 분리된 물이 채워지면서 건조액과 물이 분리되는 메인분리조를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 리턴유닛은 상기 건조액회수유닛과 건조액탱크를 연결하는 메인리턴관과, 상기 메인리턴관에 결합되는 펌프와, 상기 메인리턴관에 연결되는 제어밸브를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 기체흡입유닛은 상기 챔버의 상부와 상기 액화유닛을 연결하는 기체회수관과, 상기 기체회수관에 연결되어 유동을 발생시키는 송풍기를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 액화유닛은 상기 기체흡입유닛과 연결되는 액화챔버와, 상기 액화챔버의 내부에 구비되며 관이 다수 회 절곡된 냉각코일과, 상기 냉각코일에 냉기를 공급하는 냉기공급기와, 상기 액화챔버의 내부에 서로 교번되게 배열된 격벽들을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 보조회수유닛은 상기 액화유닛에 연결되어 액화유닛에서 액화된 건조액이 회수되는 액화액회수관과, 상기 액화액회수관에 연결되어 회수되는 건조액과 물을 분리하는 보조분리조와, 상기 보조분리조와 건조액회수유닛을 연결하는 보조리턴관과, 상기 보조리턴관에 결합되는 펌프와, 상기 보조리턴관에 연결되는 제어밸브를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명은 건조액탱크에 저장된 에이치에프이계 건조액을 건조액분사유닛을 통해 챔버의 내부에 위치한 기판에 분사하고 그 기판에 분사된 에이치에프이계 건조액은 챔버의 하부를 통해 건조액회수유닛에 의해 모이게 되고 기판에 분사되면서 기화된 에이치에프계 건조액 기체는 기체흡입유닛을 통해 액화유닛으로 유입되어 액화유닛에서 액화되고 그 액화된 액화액은 보조회수유닛을 통해 회수되어 건조액회수유닛으로 공급되고 그 건조액회수유닛에 회수된 에이치에프이계 건조액은 리턴유닛을 통해 건조액탱크에 리턴된다. 이로 인하여, 기판을 건조시키기 위해 기판에 분사된 고가의 에이치에프이계 건조액의 손실을 최소화한다.
또한, 본 발명은 메인분리조와 보조분리조에서 순수보다 비중이 큰 에이치에프이계 건조액을 아래로 모이게 하고 그 아래로 모인 에이치에프계 건조액을 건조액탱크로 리턴시키게 되어 건조액탱크의 에이치에프계 건조액의 순도를 높게 유지하게 된다.
또한, 본 발명은 에이치에프이계 건조액의 기체가 액화유닛에서 액화시 기체가 액화챔버의 내부의 냉각코일과 격벽들을 거치면서 액화되어 기체의 액화 효율을 높이게 되어 에이치에프계 건조액의 손실을 최소화하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 일실시예를 도시한 배관도,
도 2는 본 발명에 따른 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 일실시예를 구성하는 챔버의 제1 예를 도시한 정단면도,
도 3은 본 발명에 따른 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 일실시예를 구성하는 챔버의 제2 예를 도시한 정단면도,
도 4는 본 발명에 따른 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 일실시예를 구성하는 액화챔버를 도시한 정단면도.
이하, 본 발명에 따른 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 일실시예를 도시한 배관도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 일실시예는, 챔버(10), 건조액탱크(20), 건조액분사유닛(30), 건조액회수유닛(40), 리턴유닛(50), 기체흡입유닛(60), 액화유닛(70), 보조회수유닛(80)을 포함한다.
챔버(10)는 내부에서 기판(들)이 세정되고 건조된다. 챔버(10)의 제1 예로, 챔버(10)는 내부에 스핀이 구비된 스핀 타입 장비의 챔버(10)이다. 즉, 도 2에 도시한 바와 같이, 챔버(10)의 내부에 스핀축(11)이 구비되고 그 스핀축(11)의 상단부에 기판을 흡착하는 버큠헤드(12)가 연결되고 스핀축(11)의 하단부에 스핀축(11)을 회전시키는 스핀축구동유닛(13)이 설치된다. 챔버(10)의 제2 예로, 도 3에 도시한 바와 같이, 챔버(10')는 내부에 내조(15)가 구비되고 내조(15)의 내부에 순수가 채워지며 내조(15)의 내부에 다수 장의 기판들을 수용하는 기판적재대(15)가 구비되고 그 기판적재대(15)를 상하로 움직이는 리프트유닛(미도시)이 구비된다.
건조액탱크(20)는 내부에 건조액이 채워진다. 건조액은 에이치에프이(HFE; HydroFluoroEther)계 건조액이다. 에이치에프이계 화합물은 일반적으로 증기압이 높고 표면장력이 크고 밀도가 물보다 높다. 이로 인하여 증발성이 있고 물과 섞여 있을 때 물이 위로 뜨고 에이치에프이계 화합물은 물 아래로 가라앉는다(CFC 대체 산업세정제로의 HFEs의 적용가능성 연구 논물 참조: CLEAN TECHNOLOGY, Vol. 14, No.3, September 2008, pp. 184~192).
건조액분사유닛(30)은 건조액탱크(20)의 건조액을 챔버(10)의 상부로 분사하여 기판을 건조시킨다. 건조액분사유닛(30)의 일예로, 건조액분사유닛(30)은 챔버(10)의 상측에 설치되는 분사체(31)와, 건조액탱크(20)와 분사체(31)를 연결하는 공급관(32)과, 공급관(32)에 연결되는 펌프(33)와, 공급관(32)에 연결되는 제어밸브(34)를 포함한다. 건조액탱크(20)에 연결되는 공급관(32)의 단부는 건조액탱크(20)의 하부에 연결되는 것이 바람직하다.
건조액회수유닛(40)은 챔버(10)의 하부와 연결되어 챔버(10) 내부로 분사된 건조액을 회수한다. 건조액회수유닛(40)의 일예로, 건조액회수유닛(40)은 챔버(10)의 하면에 연결되는 챔버측 회수관(41)과, 챔버측 회수관(41)에 연결되어 챔버(10)에서 회수되는 건조액과 웨이퍼에서 분리된 물이 채워지면서 건조액과 물이 분리되는 메인분리조(42)를 포함한다. 챔버측 회수관(41)에 제어밸브(43)가 연결됨이 바람직하다. 메인분리조(42)의 상부에 물배수관(44)이 연결됨이 바람직하다. 메인분리조(42)에 회수되는 건조액과 물은 비중 차에 의해 서로 분리되어 건조액이 메인분리조(42)의 아래에 모이고 물은 건조액의 위로 모이게 된다. 챔버(10)의 제2 예인 경우 챔버측 회수관(41)이 내조(15)의 하단부와 연통되도록 챔버(10)에 연결된다.
리턴유닛(50)은 건조액회수유닛(40)으로 회수된 건조액을 건조액탱크(20)로 리턴시킨다. 리턴유닛(50)의 일예로, 리턴유닛(50)은 건조액회수유닛(40)과 건조액탱크(20)를 연결하는 메인리턴관(51)과, 그 메인리턴관(51)에 결합되는 펌프(52)와, 메인리턴관(51)에 연결되는 제어밸브(53)를 포함한다. 메인리턴관(51)의 한쪽 단부는 건조액회수유닛(40)의 메인분리조(42)의 하단부에 연결되고 메인리턴관(51)의 다른 한쪽은 건조액탱크(20)의 상부에 연결된다.
기체흡입유닛(60)은 챔버(10)의 상부와 연결되어 챔버(10) 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입한다. 기체흡입유닛(60)의 일예로, 기체흡입유닛(60)은 챔버(10)의 상부와 액화유닛(70)을 연결하는 기체회수관(61)과, 그 기체회수관(61)에 연결되어 흡입 유동을 발생시키는 송풍기(62)를 포함한다.
액화유닛(70)은 기체흡입유닛(60)을 통해 흡입되는 기체를 액화시킨다. 액화유닛(70)의 일예로, 도 1, 4에 도시한 바와 같이, 액화유닛(70)은 기체흡입유닛(60)과 연결되는 액화챔버(71)와, 그 액화챔버(71)의 내부에 구비되며 관이 다수 회 절곡된 냉각코일(72)과, 상기 냉각코일(72)에 냉기를 공급하는 냉기공급기(73)와, 액화챔버(71)의 내부에 서로 교번되게 배열되는 격벽(74)들을 포함한다. 액화챔버(71)의 일측에 기체흡입유닛(60)의 기체회수관이 연결된다. 냉각코일(72)과 냉기공급기(73)는 냉동사이클장치를 구성한다. 즉, 냉각코일(72) 부분은 증발기를 구성하고 냉기공급기(73)는 압축기, 응축기, 팽창밸브를 포함한다. 액화챔버(71) 내부를 냉각시키는 냉각코일(72)과 냉기공급기(73)는 다양한 형태로 구현될 수 있다. 격벽(74)들은 액화챔버(71)의 내부를 유동하는 기체가 충분히 액화되도록 기체의 유로를 형성한다. 일예로, 격벽(74)들은 액화챔버(71)의 내부 상면에 간격을 두고 구비되는 복수 개의 상부격벽(74a)들과, 액화챔버(71)의 내부 하면에 간격을 두고 구비되는 복수 개의 하부격벽(74b)들을 포함하며, 상부격벽(74a)들과 하부격벽(74b)들은 서로 교번되게 위치한다. 냉각코일(72)을 구성하는 절곡부들은 격벽(74)과 격벽(74) 사이에 위치하도록 배열되는 것이 바람직하다. 냉매가 냉각코일(72)을 순환 유동하면서 냉기를 발생시켜 액화챔버(71)의 내부 공간을 냉각시키고, 건조액이 기화된 기체가 액화챔버(71)의 내부를 통과하면서 응축되고 그 응축되는 건조액은 액화챔버(71)의 하면으로 고이게 된다. 액화챔버(71)의 다른 한쪽 상부에 배기관이 연결된다.
보조회수유닛(80)은 액화유닛(70)에서 액화된 건조액을 건조액회수유닛(40)으로 회수한다. 보조회수유닛(80)의 일예로, 보조회수유닛(80)은 액화유닛(70)에 연결되어 액화유닛(70)에서 액화된 건조액이 회수되는 액화액회수관(81)과, 그 액화액회수관(81)에 연결되어 회수되는 건조액과 물을 분리하는 보조분리조(82)와, 그 보조분리조(82)와 건조액회수유닛(40)을 연결하는 보조리턴관(83)과, 그 보조리턴관(83)에 결합되는 펌프(84)와, 보조리턴관(83)에 연결되는 제어밸브(85)를 포함한다. 액화액회수관(81)의 한쪽 단부는 액화챔버(71)의 하면에 연결되고 다른 한쪽 단부는 보조분리조(82)의 상부에 연결된다. 보조리턴관(83)의 한쪽 단부는 보조분리조(82)의 하부에 연결되고 다른 한쪽 단부는 건조액회수유닛(40)의 메인분리조(42) 상부에 연결된다. 보조분리조(82)의 상부에 물이 배수되는 물배수관(86)이 연결됨이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템의 작용과 효과를 설명한다.
먼저, 챔버(10) 내부에서 기판의 세정 공정이 끝난 후 건조액탱크(20)에 채워진 에이치에프이계 건조액을 건조액분사유닛(30)의 펌프(33)로 펌핑하여 분사체(31)를 통해 챔버(10) 내부의 기판에 분사하여 기판을 건조시킨다. 챔버(10) 내부의 기판에 분사되는 건조액은 챔버(10)의 하면으로 모이게 되고 그 챔버(10)의 하면에 모인 건조액과 기판에서 분리된 순수는 건조액회수유닛(40)의 챔버측 회수관(41)을 통해 메인분리조(42)로 유입되어 메인분리조(42)에 채워지게 된다. 메인분리조(42)에 채워지는 에이치에프이계 건조액과 기판에서 분리된 순수는 비중 차에 의해 메인분리조(42)의 하부에는 에이치에프이계 건조액이 모이고 그 위로 순수가 모여 메인분리조(42) 내에서 서로 분리된다. 한편, 챔버(10)가 제2 예인 경우, 챔버(10) 내부의 기판들로 분사된 에이치에프이계 건조액은 내조(15)로 유입되어 내조(15)에 채워진 순수보다 비중이 크게 되어 내조(15)의 하부로 모이게 되고 그 내조(15)의 하부로 모이는 에이치에프이계 건조액은 챔버측 회수관(41)을 통해 메인분리조(42)로 유입된다.
또한, 챔버(10) 내부의 기판에 분사되는 건조액 중 기화되는 기체는 기체흡입유닛(60)의 송풍기(62)의 작동에 의해 흡입되어 기체회수관(61)을 통해 액화유닛(70)의 액화챔버(71)로 유입된다. 냉기공급기(73)가 냉각코일(72)로 냉기를 공급함에 따라 기체가 액화챔버(71)의 내부를 통과하면서 냉각코일(72)의 냉기에 의해 액화되어 냉각코일(72), 격벽(74), 및 액화챔버(71)의 내벽에 맺히면서 아래로 흘러 액화챔버(71)의 하면에 고이게 된다. 액화챔버(71)의 하면에 고이는 액화된 건조액과 그 중에 포함된 순수가 보조회수유닛(80)의 액화액회수관(81)을 통해 보조분리조(82)로 유입되어 보조분리조(82)에 채워지게 된다. 보조분리조(82)에 채워지는 액화된 에이치에프이계 건조액과 순수는 비중 차에 의해 보조분리조(82)의 하부에는 에이치에프이계 건조액이 모이고 그 위로 순수가 모여 보조분리조(82) 내에서 서로 분리된다. 보조회수유닛(80)의 펌프(84)의 작동에 의해 보조분리조(82)의 하부에 고인 에이치에프이계 건조액이 펌핑되어 보조리턴관(83)을 통해 메인분리조(42)로 유입되어 메인분리조(42)의 하부에 고이게 된다. 리턴유닛(50)의 펌프(52)의 작동에 의해 메인분리조(42)의 하부에 고인 에이치에프계 건조액은 펌핑되어 메인리턴관(51)을 통해 건조액탱크(20)로 리턴된다.
이와 같이, 본 발명은 건조액탱크(20)에 저장된 에이치에프이계 건조액을 건조액분사유닛(30)을 통해 챔버(10)의 내부에 위치한 기판에 분사하고 그 기판에 분사된 에이치에프이계 건조액은 챔버(10)의 하부를 통해 건조액회수유닛(40)에 의해 모이게 되고 기판에 분사되면서 기화된 에이치에프계 건조액 기체는 기체흡입유닛(60)을 통해 액화유닛(70)으로 유입되어 액화유닛(70)에서 액화되고 그 액화된 액화액은 보조회수유닛(80)을 통해 회수되어 건조액회수유닛(40)으로 공급되고 그 건조액회수유닛(40)에 회수된 에이치에프이계 건조액은 리턴유닛(50)을 통해 건조액탱크(20)에 리턴된다. 이로 인하여, 기판을 건조시키기 위해 기판에 분사된 고가의 에이치에프이계 건조액의 손실을 최소화한다.
또한, 본 발명은 메인분리조(42)와 보조분리조(82)에서 순수보다 비중이 큰 에이치에프이계 건조액을 아래로 모이게 하고 그 아래로 모인 에이치에프계 건조액을 건조액탱크(20)로 리턴시키게 되어 건조액탱크(20)의 에이치에프계 건조액의 순도를 높게 유지하게 된다.
또한, 본 발명은 에이치에프이계 건조액의 기체가 액화유닛(70)에서 액화시 기체가 액화챔버(71)의 내부의 냉각코일(72)과 격벽(74)들을 거치면서 액화되어 기체의 액화 효율을 높이게 되어 에이치에프계 건조액의 손실을 최소화하게 된다.
10; 챔버 20; 건조액탱크
30; 건조액분사유닛 40; 건조액회수유닛
50; 리턴유닛 60; 기체흡입유닛
70; 액화유닛 80; 보조회수유닛

Claims (7)

  1. 기판이 건조되는 챔버;
    건조액이 채워진 건조액탱크;
    상기 건조액탱크의 건조액을 상기 챔버의 상부로 분사하여 기판을 건조시키는 건조액분사유닛;
    상기 챔버의 하부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액을 회수하는 건조액회수유닛;
    상기 건조액회수유닛으로 회수된 건조액을 상기 건조액탱크로 리턴시키는 리턴유닛;
    상기 챔버의 상부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입유닛;
    상기 기체흡입유닛을 통해 흡입되는 기체를 액화시키는 액화유닛;
    상기 액화유닛에서 액화된 건조액을 상기 건조액회수유닛으로 회수하는 보조회수유닛;을 포함하며,
    상기 건조액회수유닛은 상기 챔버의 하면에 연결되는 챔버측 회수관과, 상기 챔버측 회수관에 연결되어 챔버에서 회수되는 건조액과 웨이퍼에서 분리된 물이 채워지면서 건조액과 물이 분리되는 메인분리조를 포함하며,
    상기 건조액은 에이치에프이계 건조액인 것을 특징으로 하는 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 건조액분사유닛은 상기 챔버의 상측에 설치되는 분사체와, 상기 건조액탱크와 분사체를 연결하는 공급관과, 상기 공급관에 연결되는 펌프와, 상기 공급관에 연결되는 제어밸브를 포함하는 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 리턴유닛은 상기 건조액회수유닛과 건조액탱크를 연결하는 메인리턴관과, 상기 메인리턴관에 결합되는 펌프와, 상기 메인리턴관에 연결되는 제어밸브를 포함하는 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 기체흡입유닛은 상기 챔버의 상부와 상기 액화유닛을 연결하는 기체회수관과, 상기 기체회수관에 연결되어 유동을 발생시키는 송풍기를 포함하는 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템.
  6. 기판이 건조되는 챔버;
    건조액이 채워진 건조액탱크;
    상기 건조액탱크의 건조액을 상기 챔버의 상부로 분사하여 기판을 건조시키는 건조액분사유닛;
    상기 챔버의 하부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액을 회수하는 건조액회수유닛;
    상기 건조액회수유닛으로 회수된 건조액을 상기 건조액탱크로 리턴시키는 리턴유닛;
    상기 챔버의 상부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입유닛;
    상기 기체흡입유닛을 통해 흡입되는 기체를 액화시키는 액화유닛;
    상기 액화유닛에서 액화된 건조액을 상기 건조액회수유닛으로 회수하는 보조회수유닛;을 포함하며,
    상기 액화유닛은 상기 기체흡입유닛과 연결되는 액화챔버와, 상기 액화챔버의 내부에 구비되며 관이 다수 회 절곡된 냉각코일과, 상기 냉각코일에 냉기를 공급하는 냉기공급기와, 상기 액화챔버의 내부에 서로 교번되게 배열된 격벽들을 포함하며,
    상기 건조액은 에이치에프이계 건조액인 것을 특징으로 하는 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템.
  7. 기판이 건조되는 챔버;
    건조액이 채워진 건조액탱크;
    상기 건조액탱크의 건조액을 상기 챔버의 상부로 분사하여 기판을 건조시키는 건조액분사유닛;
    상기 챔버의 하부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액을 회수하는 건조액회수유닛;
    상기 건조액회수유닛으로 회수된 건조액을 상기 건조액탱크로 리턴시키는 리턴유닛;
    상기 챔버의 상부와 연결되어 챔버 내부로 분사된 건조액 중 기화된 기체를 흡입하는 기체흡입유닛;
    상기 기체흡입유닛을 통해 흡입되는 기체를 액화시키는 액화유닛;
    상기 액화유닛에서 액화된 건조액을 상기 건조액회수유닛으로 회수하는 보조회수유닛;을 포함하며,
    상기 보조회수유닛은 상기 액화유닛에 연결되어 액화유닛에서 액화된 건조액이 회수되는 액화액회수관과, 상기 액화액회수관에 연결되어 회수되는 건조액과 물을 분리하는 보조분리조와, 상기 보조분리조와 건조액회수유닛을 연결하는 보조리턴관과, 상기 보조리턴관에 결합되는 펌프와, 상기 보조리턴관에 연결되는 제어밸브를 포함하며,
    상기 건조액은 에이치에프이계 건조액인 것을 특징으로 하는 에이치에프이계 건조액을 이용한 건조시스템.
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