JPH02241517A - 揮発性物質の回収装置 - Google Patents

揮発性物質の回収装置

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JPH02241517A
JPH02241517A JP1061555A JP6155589A JPH02241517A JP H02241517 A JPH02241517 A JP H02241517A JP 1061555 A JP1061555 A JP 1061555A JP 6155589 A JP6155589 A JP 6155589A JP H02241517 A JPH02241517 A JP H02241517A
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cooling
volatile substance
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Kazushige Komatsu
一茂 小松
Takashi Kaneyama
兼山 尚
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2345/00Details for charging or discharging refrigerants; Service stations therefor
    • F25B2345/002Collecting refrigerant from a cycle
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [概要] 例えば、冷凍機の定期点検作業等において大気中に放出
されている冷媒としてのフロンガスや、トリクロロエタ
ンなどの有機溶剤等の揮発性物質を回収するための回収
装置に関し、 回収容器内に回収した揮発性物質が再気化した気体をも
回収して揮発性物質の回収率を向上でき、よって環境汚
染を最小限にすることができる揮発性物質の回収装置を
提供することを目的とし、冷却手段を備えた冷却用容器
と、揮発性物質が気化した気体を冷却用容器内に導入す
る気体導入管路と、冷却用容器にて冷却凝集されて液化
した揮発性物質を回収する回収容器と、前記液化した揮
発性物質を回収容器に導入する液体導入管路と、回収容
器内で揮発性物質が再気化した気体を冷却用容器内に戻
す再気化気体導入管路とを含み構成する。
[産業上の利用分野] 本発明は、例えば、冷凍機の定期点検作業等において大
気中に放出されている冷媒としてのフロンガスや、トリ
クロロエタンなどの有機溶剤等の揮発性物質を回収する
ための回収装置に関する。
今日、冷媒用及び洗浄用フロンガス等の冷媒ガスや、ト
リクロロエタンなどの有機溶剤等の揮発性物質の大気放
出による環境問題が発生している。
又、例えば、冷凍機等では年1回、冷媒漏れの定期点検
作業が義務付けられており、特に半導体装置の生産工場
等では、この定期点検作業等において大気中に放出され
たフロンガスが吸気口から工場内に吸入され、300℃
以上に加熱されると分解して塩素ガス、フッ素ガス等に
なり、製品異常、装置劣化等を誘因した。
このため、揮発性物質の回収率を向上させる必要がある
[従来技術及び発明が解決しようとする課題]従来、例
えば、冷凍機において年1回実施される定期点検作業で
は、まず、冷媒液(フロン)の抜き取り作業を行ない、
続いて冷凍機内部の真空引き作業を行ない、この真空引
き作業における気化冷媒はそのまま大気放出してきた。
又、冷凍機の冷媒液抜き取り作業の後、空冷抽気装置等
を用いて気化冷媒を回収する場合でも、冷凍機内部の真
空度がIT(ls+aHgよりも高真空となると空冷抽
気装置の回収能力が低下するため、真空ポンプ引きに切
り替え、冷媒気体はそのまま大気放出してきた。
又、回収冷媒液を入れる回収容器を密閉して回収作業を
行うことができないので、冷媒の再気化による大気放出
が起こっていた。
このため、冷凍機の定期点検作業時における冷媒の回収
率は低く、定期点検毎に冷媒の1〜2割を大気放出して
いるのが現状である。
本発明は、回収容器内に回収した揮発性物質が再気化し
た気体をも回収して揮発性物質の回収率を向上でき、よ
って環境汚染を最小限にすることができる揮発性Th質
の回収装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段1 第1図は本発明の原理説明図である。
図中、1は冷却手段を備えた冷却用容器、2は気体導入
管路であり揮発性物質が気化した気体を冷却用容器1内
に導入する。3は冷却用容器1にて冷却凝集されて液化
した揮発性物質を回収する回収容器、4は液体導入管路
であり前記液化した揮発性物質を回収容器3に導入する
。5は再気化気体導入管路であり回収容器3内で揮発性
物質が再気化した気体を冷却用容器1内に戻す。
[作用] 気体導入管路2により冷却用容器1内に導入された揮発
性物質が気化した気体は、冷却手段により冷却凝集され
゛て液化する。この液化した揮発性物質は液体導入管路
4を介して回収容器3に導入され回収される。又、回収
容器3内で揮発性物質が再気化した気体は再気化気体導
入管路5により冷却用容器1内に戻され、冷却用容器1
内で冷却凝集されて液化する。
このため、揮発性物質の回収率が向上され、よって環境
汚染を最小限にすることができる。
[実施例1 以下、本発明を具体化した一実施例を図面に従って説明
する。
第2図は本発明の回収装置の一実施例を示す概略構成図
、第3図は第2図の回収装置を冷凍機の冷媒回収に使用
した場合を示す工程説明図であり、第1図で示したもの
と同一のものは同一符合を付して説明する。
第2図に示すように、冷却用容器1は容器本体11と1
i12とを備えている。容器本体11は断熱性材料より
なり、有底筒状に構成されている。
蓋12は常にはその自重により容器本体11の上端開口
部を閉鎖しており、外部からの気体(特に水蒸気)の侵
入を防止するとともに、冷却用容器1内の圧力上昇を放
圧できるようになっている。
容器本体11内の中間部には多数の透孔14を形成した
載置板13が設けられている。同!!2?i!板13上
には冷却手段としての複数のドライアイス15が櫓状に
積層され、各ドライアイス15間には空間16が形成さ
れている。又、ドライアイス15の上方において容器本
体11の内側上端部には断熱性を具備する蓋部材17が
着脱可能に設けられている。同首部材17は例えばスポ
ンジ等の弾力性を備えた材料よりなり、容器本体11の
内壁面との摩擦力によりドライアイス15上に落下しな
いようになっている。
気体導入管路2は載置板13の下方において容器本体1
1に接続され、例えば、冷凍機の冷媒であるフロン等の
揮発性物′tf18が気化した気体が冷却用容器1内に
導入される。
従って、冷却用容器l内に例えばフロンガスが導入され
ると、各ドライアイス15間の空間16に拡がって冷却
凝集され、液体状のフロン18となって冷却用容器1の
底部に溜まる。この時、ドライアイス15が気化して発
生した二酸化炭素(CO2)により冷却用容器1内の圧
力が上昇し、この二酸化炭素は蓋部材17を通過して1
12と容器本体11との隙間より冷却用容器1外部に放
出される。又、冷却用容器1内に充満した二酸化炭素が
シールの作用をするため、冷却用容器1外部からの水蒸
気の侵入が防止される。
冷却用容器1は複数の脚部21を備えた支持台20上に
載置され、冷却用容器1は各脚部21の下端部に設けた
キャスター21aにより回収作業を実施すべき所定の場
所まで移動される。
回収容器3は支持台20の脚部2.1間に配置され、前
記冷却用容器lと液体導入管路4を介して接続されてい
る。液体導入管路4の中間部にはバルブ19が設けられ
、このバルブ19を定期的に開放することにより、冷却
用容器lの底部に溜まった液体状のフロン18が落差に
より回収容器3内に回収される。
再気化気体導入管路5は気体導入管路2の下方において
冷却用容器1に接続されており、回収容器3内に回収さ
れたフロン18が再気化して発生するフロンガスを冷却
用容器1内に戻し、この再気化フロンガスの大気放出を
防止する。
次に、上記のように構成された回収装置を、冷凍機の冷
媒(フロン)回収に使用した例を第3図に基づいて説明
する。
まず、同図(alに示すように、冷凍機30の冷媒回路
(図示路)に窒素(N2)ガス31を注入し、N2ガス
31の圧力により冷媒回路の冷媒液の大半を冷媒液回収
容器32に抜き取る。そして、冷媒液回収容器32を気
体導入管路2にて冷却用容器1に接続しておく。これに
より、冷媒液回収容器32内に収容された冷媒液の一部
が気化したガスを回収するようにしている。
次に、同図(blに示すように、冷凍機30の冷媒回路
(図示路)に空冷抽気装置33を接続し、この抽気装置
33にて冷凍機内部の真空度が170vrmHg程度の
真空となるまで抽気して冷媒回路に残っている冷媒液を
液化させ、抽気した気化冷媒を同抽気装置33にて冷却
液化して冷媒液回収容器32に回収する。この場合にも
、冷媒液回収容器32を気体導入管路2にて冷却用容器
1に接続しておき、冷媒・液回収容器32内に収容され
た冷媒液の一部が気化したガスを回収するようにしてい
る。
そして、同図(C)に示すように、冷凍機30の冷媒回
路(図示路)に真空ポンプ34を接続して冷凍機内部が
真空になるまで真空引きし、抽気した気化冷媒を気体導
入管路2を介して冷却用容器1に導入している。
以下の表は、上記(al〜(C1の工程によりターボ冷
凍機600冷凍トンのフロンを回収した結果を示すもの
である。
表 上記表に示されるように、本実施例の回収装置にて(a
l〜(0の工程を行なうことにより75kgものフロン
を回収することができ、これに要したドライアイス15
は50kgであった。
このように、本実施例の回収装置では、従来、大気放出
していた気化冷媒を冷却凝集させて液冷媒として回収す
ることができる。又、回収容器3内に回収した液体状の
フロン18が再気化して発生したフロンガスを再気化気
体導入管路5を介して冷却用容器1内に戻すことにより
、この再気化フロンガスの大気放出を防止できるととも
に、再度、冷却凝集させて液冷媒として回収できる。
従って、フロンの回収率が向上し、よって環境汚染を最
小限にすることができるとともに、高価な冷媒(フロン
)を効率よく回収することができる。
又、本実施例の回収装置では、安価なドライアイス15
を使用して気化冷媒を冷却凝集させて液冷媒として回収
することができるとともに、ドライアイス15が気化し
て発生した二酸化炭素により冷却用容器1内を満たして
水蒸気の侵入を防止するようにしているので、半密閉状
態の簡単な構成の冷却用容器1にて回収した液冷媒中に
水分が混入するのを未然に防止することができる。
又、本実施例の回収装置では、ドライアイス15が気化
すればこれを補充することにより連続稼働運転を行なう
ことができる。
又、支持台20の脚部21にキャスター21aを設けた
ことにより、冷却用容器1を任意の場所に移動運搬して
、揮発性物質の回収作業を行なうことができる。
なお、本実施例では冷却手段をドライアイス15とした
が、通常の冷凍サイクルとしてもよい。
又、本実施例では冷凍機の定期点検作業時における冷媒
の回収に使用した場合について説明したが、トリクロロ
エタンなどの有機溶剤等の揮発性物質の回収に使用して
もよい。
[発明の効果] 以上詳述したように、この発明によれば回収容器内に回
収した揮発性物質が再気化した気体をも回収して揮発性
物質の回収率を向上でき、よって環境汚染を最小限にす
ることができる優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理説明図、 第2図は本発明の回収装置の一実施例を示す概略構成図
、 第3図は第2図の回収装置を冷凍機の冷媒回収に使用し
た場合を示す工程説明図である。 図において、1は冷却用容器、2は気体導入管路、3は
回収容器、4は液体導入管路、5は再気第1図 本発明の原理説明図 図面その1 第2図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 冷却手段を備えた冷却用容器(1)と、 揮発性物質が気化した気体を冷却用容器(1)内に導入
    する気体導入管路(2)と、 冷却用容器(1)にて冷却凝集されて液化した揮発性物
    質を回収する回収容器(3)と、 前記液化した揮発性物質を回収容器(3)に導入する液
    体導入管路(4)と、 回収容器(3)内で揮発性物質が再気化した気体を冷却
    用容器(1)内に戻す再気化気体導入管路(5)と を備えたことを特徴とする揮発性物質の回収装置。
JP1061555A 1989-03-14 1989-03-14 揮発性物質の回収装置 Expired - Fee Related JPH082410B2 (ja)

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