KR20200001235U - 기판 교정 장치 - Google Patents

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KR20200001235U KR2020180003214U KR20180003214U KR20200001235U KR 20200001235 U KR20200001235 U KR 20200001235U KR 2020180003214 U KR2020180003214 U KR 2020180003214U KR 20180003214 U KR20180003214 U KR 20180003214U KR 20200001235 U KR20200001235 U KR 20200001235U
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Abstract

하나의 기좌;및 하나의 교정 방향에 따라 각각 상기 기좌에 슬라이딩이 가능하게 설치되는 세 개의 제1 위치 설정 모듈을 포함하고, 이 중 제1 위치 설정 모듈은 각각 제1 위치 설정 부품 및 제2 위치 설정 부품을 구비하고, 이 중, 상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나와 상기 기판의 상기 원형 에지가 접촉하고, 하나의 기판의 위치를 교정하기에 적절하고, 상기 기판은 하나의 원형 에지 및 하나의 비(非) 원형 에지를 구비하는 기판 교정장치.

Description

기판 교정 장치{SUBSTRATE ALIGNMENT DEVICE}
본 발명은 교정 장치에 관한 것으로, 구체적으로 기판 교정 장치에 관한 것이다.
반도체 기판의 생산 과정 중, 웨이퍼를 예로 들면, 웨이퍼를 대응 웨이퍼 제조 설비 상으로 운송하여 각기 다른 제조 처리를 진행할 수 있다. 일반적으로, 웨이퍼 처리 전, 웨이퍼 교정 또는 위치 설정 작업을 미리 끝내 칩의 품질을 제고할 수 있다.
기존의 웨이퍼 교정 장치는 세 개의 싱글 포인트 구조로, 동시에 웨이퍼를 추진하여(push), 웨이퍼의 중심 포인트가 처리 위치 중심에 맞춰지게 할 수 있다. 그러나, 교정할 웨이퍼가 하나의 평평한 웨이퍼일 때, 어느 한 싱글 포인트 구조도 상기 평평한 웨이퍼의 구조를 대응할 수 없어, 교정 작업을 효과적으로 진행할 수 없다.
본 발명의 주요 목적은 기판 교정 장치를 제공하여 효과적으로 각각의 형태의 기판을 처리 위치의 중심에 교정되도록 하는 것이다.
상기 하나의 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 기판 교정 장치를 제공한다. 이는 기판의 위치를 교정하기에 적합하다. 이 중, 상기 기판은 하나의 원형 에지 및 하나의 비 원형 에지를 구비한다. 상기 기판 교정 장치는 하나의 기좌 및 세개의 제1 위치 설정 모듈을 포함한다. 이러한 제1 위치 설정 모듈은 각각 하나의 교정 방향에 따라 상기 기좌에 슬라이딩 가능하게 설치된다. 매 하나의 제1 위치 설정 모듈은 하나의 제1 위치 설정 부품 및 하나의 제2 위치 설정 부품을 구비한다. 또한, 상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나와 상기 기판의 상기 원형 에지가 접촉한다.
본 발명 중, 상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품 사이의 거리는 상기 비원형 에지의 길이보다 크다.
본 발명 중, 상기 기판은 하나의 이동 방향에 따라 상기 기좌에 배치된다. 각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 상기 교정 방향에 따라 상기 기좌의 하나의 교정 위치 방향으로 이동하고, 상기 기판의 하나의 중심이 상기 교정 위치에 마주보게 위치하도록 한다.
본 발명 중, 상기 기판 교정 장치는 복수의 제2 위치 설정 모듈을 더 포함한다. 각각의 상기 제2 위치 설정 모듈에서 상기 교정 위치까지의 거리는 각각의 제1 위치 설정 모듈에서 상기 교정 위치의 거리보다 크고, 이 중 상기 제1 위치 설정 모듈과 상기 제2 위치 설정 모듈은 각각 다른 사이즈의 기판을 교정한다.
본 발명 중, 각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 하나의 이동좌(movable seat)를 더 포함한다. 상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품은 각각 상기 이동좌의 양 측에 설치되고, 상기 이동좌는 상기 제1 위치 설정 부품 및 상기 제2 위치 설정 부품이 상기 교정 위치 방향으로 이동하도록 리드한다.
본 발명 중, 각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 하나의 조정 부품을 더 포함하고, 상기 조정 부품의 한 단은 상기 이동좌에 고정 접합되고, 상기 조정 부품의 다른 한 단은 상기 기좌에 슬라이딩 가능하게 설치된다.
본 발명 중, 상기 기좌은 적어도 하나의 인도홈을 구비한다. 상기 조정 부품은 상기 인도홈에 슬라이딩 가능하게 설치된다.
본 발명 중, 각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 적어도 하나의 고정 부품을 더 포함한다. 상기 고정 부품은 상기 이동좌에 설치되고, 상기 제1 위치 설정 부품 및 상기 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나는 하나의 고정 홀을 구비하고, 상기 제1 위치 설정 부품 또는 상기 제2 위치 설정 부품은 상기 고정 홀을 통해 상기 고정 부품을 커버하여 설치된다.
본 발명 중, 상기 고정 홀은 하나의 편심 홀이다.
본 발명 중, 기판 교정 장치는 하나의 기판 이동부를 더 포함하고, 상기 기판을 하나의 방향성 또는 하나의 비방향성으로 상기 기좌까지 선택적으로 이동이 가능하다. 상기 제1 위치 설정 부품 및 상기 제2 위치 설정 부품 사이를 투과하는 거리는 상기 비 원형 에지의 길이보다 커 상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나와 상기 기판의 상기 원형 에지가 접촉되 상기 기판에 교정되도록 한다.
본 발명 중, 상기 제1 위치 설정 모듈은 상기 하나의 비 원형 에지를 지닌 기판 및 하나의 전체 원형 기판을 지닌 기판의 교정을 겸용처리 할 수 있다.
상기 내용을 기초로 하여, 본 발명은 제1 위치 설정 부품 및 제2 위치 설정 부품 사이의 거리가 비 원형 에지의 길이보다 크게 하여 제1 위치 설정 부품 및 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나가 기판의 원형 에지와 접촉될 수 있게 한다. 이로써, 제1 위치 설정 모듈이 정확히 기판을 교정 위치에 마주보도록 위치할 수 있게 한다. 당연히, 본 발명은 동일하게 구절 평변(cutting flat)을 지니지 않은 기판에 대해 교정 작업을 진행할 수 있고, 이에 한정되지 않는다.
본 명세서에 개시되어 있음.
도1은 본 발명의 한 실시예에 따른 기판 교정 장치와 하나의 기판을 나타낸 설명도이다.
도2는 도1의 기판 교정 장치로 상기 기판의 교정을 완성한 후를 나타낸 설명도이다.
도3은 도1의 기판 교정 장치의 위치 설정 부품과 고정 부품을 나타낸 결합 설명도이다.
도4는 도2의 기판 교정 장치로 또 다른 기판을 교정한 것을 나타낸 설명도이다.
심사관이 본 발명의 기술내용을 더 잘 이해할 수 있도록 하기 위해, 바람직한 실시예를 통해 아래와 같이 구체적으로 설명하는 바이다.
도1은 본 발명의 한 실시예에 따른 기판 교정 장치와 하나의 기판을 나타낸 설명도이다. 도2는 도1의 기판 교정장치로 상기 기판의 교정을 완성한 후를 나타낸 설명도이다. 도1 및 도2를 참고하면, 본 실시예의 기판 교정장치(100)는 하나의 기판(200)의 위치를 교정하여, 기판(200)이 처리 위치의 중심에 교정되게 하기에 적합하다. 본 실시예에서, 기판 교정장치(100)는 하나의 기좌(110) 및 세 개의 제1 위치 설정 모듈(120)을 포함하고, 기판(200)은 예로 하나의 웨이퍼를 들 수 있다.
이 중, 기판(200)은 이동방향(D2)에 따라 기좌(110)에 배치되기에 적합하다. 본 발명은 오로지 이동방향(D2)만을 예로 들었고, 기판(200)을 기좌(110)의 이동 방향으로 이동시키기만 하면 되고, 이에 한정되지 않는다.
본 실시예의 기판 교정장치(100)는 하나의 기판 이동부(140)에 의해 기판(200)을 하나의 방향성 또는 하나의 비방향성으로, 선택적으로 기좌(110)로 이동시킬 수 있다.
특별히, 본 실시예에서, 예를 들어 기판(200)은 하나의 구절 평변을 구비한 웨이퍼 또는 하나의 오목홈（notch）을 구비한 웨이퍼이다. 진일보로, 본 실시예의 기판(200)은 하나의 비 원형 에지(E1) 및 하나의 원형 에지(E2)를 구비한다. 여기서, 비 원형 에지(E1)는 하나의 직선 가장자리를 예로 들 수 있고, 원형 에지 E2는 하나의 호상(弧狀) 에지를 예로 들 수 있다. 본 발명에서, 상기 방향성은 기판(200)을 기좌(110)앞으로 이동시키기 전, 먼저 비 원형 에지(E1)의 위치를 위치 설정해내고, 비 원형 에지(E1) 위치의 위치 설정이 완성을 기다린 후 다시 기좌(110)로 이동시킨다. 상기 비 방향성은 기판(200)의 비 원형 에지(E1)에 대해 미리 위치 설정을 진행하지 않고, 직접 기판(200)을 기좌(110)로 이동시킨다.
이러한 제1 위치 설정 모듈(120)은 각각 하나의 교정 방향(D1)에 따라 기좌(110)에 슬라이딩 가능하게 설치된다. 이에, 기판(200)이 이동방향(D2)에 따라 기좌(110)에 배치될 때, 매 제1 위치 설정 모듈(120)은 교정방향(D1)에 따라 기좌(110)의 하나의 교정위치(P) 방향으로 이동할 수 있고, 기판(200)의 하나의 중심(C)가 교정 위치(P)에 정확히 마주보도록 할 수 있다. 본 발명에서, 교정 위치(P)는 기판(200) 교정 후 생긴 하나의 허구 위치이다.
본 실시예에서, 매 제1 위치 설정 모듈(120)은 하나의 제1 위치 설정 부품(121) 및 하나의 제2 위치 설정부품(122)을 구비한다. 특별히, 제1 위치 설정 부품(121)과 제2 위치 설정 부품(122) 사이의 거리는 비 원형 에지(E1)의 길이(L1)보다 크다. 이렇게, 기판(200)을 기좌(110)에 배치하였을 때, 제1 위치 설정 부품(121)과 제2 위치 설정부품(122) 중 하나는 기판(200)의 원형 에지(E2)와 접촉할 수 있다.
추가적으로, 본 실시예에서, 기판(200)을 기좌(110)에 배치하였을 때, 제1 위치 설정 부품(121) 또는 제2 위치 설정 부품(122) 중 적어도 하나와 기판(200)의 원형 에지(E2)가 접촉되거나, 또는 제1 위치 설정 부품(121)과 제2위치 설정 부품(122)이 동시에 기판(200)의 원형 에지(E2)와 접촉한다. 이에, 제1 위치 설정 모듈(120)은 제1 위치 설정 부품(121) 및 제2 위치 설정부품(122)에 의해 효과적으로 기판(200)과 접촉될 수 있다. 더 나아가, 이러한 제1 위치 설정 모듈(120)은 교정 방향(D1)에 따라 기좌(110)의 교정 위치(P)방향으로 이동할 수 있기에, 기판(200)의 중심(C)가 정확히 교정 위치P를 마주보게 위치하도록 할 수 있다.
당연히, 본 실시예에서, 기판 교정장치(100)는 구절 평변의 기판(200) 또는 오목한 홈을 지닌 기판(200)을 교정할 수 있다는 점 외에, 기판 교정장치(100)의 복수의 제1 위치 설정 모듈(120) 또한 구절 평변 또는 오목한 홈을 지니지 않은 기판에 대해 교정 작업을 진행할 수 있다. 예로, 하나의 전체 원형 기판을 들 수 있고, 이에 한정되지 않는다.
그 밖에, 제1 위치 설정 모듈(120)은 하나의 이동좌(123) 및 하나의 조정 부품(124)를 포함할 수 있다. 이 중, 제1 위치 설정 부품(121)과 제2 위치 설정 부품(122)은 이동좌(123)에 설치된다. 조정 부품(124)의 한 단은 상기 이동좌(123)에 고정 접합되고, 조정 부품(124)의 또 다른 한 단은 기좌(110)에 슬라이딩 가능하게 설치된다. 본 실시예에서, 이동좌(123)는 제1 위치 설정 부품(121) 및 제2 위치 설정 부품(122)을 교정 위치(P) 방향으로 동시에 이동하도록 리드할 수 있다. 주의해야 할 점은, 제1 위치 설정 부품(121)과 제2 위치 설정부품(122)은 각각 이동좌(123)의 양측에 설치되고, 제1 위치 설정 부품(121)과 제2 위치 설정 부품(122) 사이의 거리는 비 원형 에지(E1)의 길이(L1)보다 크다. 이에, 제1위치 설정 모듈(120)이 교정 작업을 진행하는 과정에서, 제1 위치 설정 부품(121)과 제2 위치 설정 부품(122) 중 적어도 하나와 기판(200)의 원형 에지(E2)가 접촉되게 할 수 있다. 바꾸어 말하면, 본 실시예의 기판 교정장치는 효과적으로 기판(200)의 위치를 교정하여 기판(200)의 중심(C)가 교정 위치(P)에 정확히 마주보도록 위치하게 할 수 있다.
다른 일 측에 따르면, 본 실시예의 제1 위치 설정 모듈(120)은 조정 부품(124)의 설치로 교정 방향(D1)에 따라 기좌(110) 상에 슬라이딩 이동할 수 있다. 구체적으로, 기좌(110)은 대응 조정 부품(124)의 인도홈(112)에 대응되는 것을 구비할 수 있다. 조정 부품(124)은 예를 들어 하나의 가이드 로드 부품(guide rod) 일 수 있다. 이의 한 단은 이동좌(123)와 고정 접합될 수 있고, 다른 한 단은 기좌(110)에 슬라이딩 가능하게 설치되어 조정 부품(124)이 인도홈(112)에서 이동하도록 할 수 있다. 이렇게, 본 실시예의 제1 위치 설정 모듈(120)은 조정 부품(124)와 인도홈(112)의 배합으로 기좌(110) 상에서 슬라이딩 이동하게 할 수 있고, 유효한 접촉 기판(200)의 위치까지 조정되게 하여 유효 교정 기판(200) 위치에 도달하고자 하는 목표에 달할 수 있다. 본 발명의 한 구체적인 실시예에 따르면, 도1에 나타난 바와 같이, 기판 교정장치(100)는 제2 위치 설정 모듈(130)을 포함하여 직경 사이즈가 기판(200) 보다 큰 기판에 교정할 수 있다. 도1에 나타난 바와 같이, 기판 교정 장치(100)는 제2 위치 설정 모듈(130)을 포함하여 직경 사이즈가 기판(200)보다 큰 기판을 교정한다.
바꾸어 말하면, 본 실시예의 제1 위치 설정 모듈(120)은 이동좌(123) 또는 조정 부품(124)의 설치를 통해 적절한 위치까지 조정되게 하여 기판(200)의 사이즈 크기에 대응되게 할 수 있다.
도3은 도1의 기판 교정 장치의 위치 설정 부품과 고정 부품을 나타낸 결합 설명도이다. 다시 도1을 참고하면, 본 실시예 중, 제1 위치 설정 모듈(120)은 적어도 하나의 고정 부품(125)을 더 포함할 수 있다. 고정 부품(125)은 이동좌(123)에 설치된다. 대응하는 제1 위치 설정 부품(121) 및 제2 위치 설정 부품(122)은 하나의 고정 홀(H)을 구비할 수 있다. 여기서, 제1 위치 설정 부품(121) 또는 제2 위치 설정 부품(122)은 고정홀(H)을 통해 고정 부품(125)을 커버하게 설치될 수 있다. 주의해야할 점은, 예로, 본 실시예의 고정 홀（H）은 하나의 편심홀 일 수 있다. 이렇게, 제1 위치 설정 부품(121) 또는 제2 위치 설정 부품(122)이 고정 부품(125)를 축으로 회전할 수 있다. 도3은 제1 위치 설정 부품(121)이 고정 부품(125)을 축으로 회전하여 다른 위치로 조정될 수 있다는 점을 나타낸 설명도이다. 추가적으로, 기판(200)에서 본 실시예에 따른 제1 위치 설정 모듈(120)에 한 사이즈 편차가 존재하는 경우, 제1 위치 설정 모듈(121) 또는 제2 위치 설정 부품(122)를 회전시킴으로 제1 위치 설정 모듈(121) 또는 제2 위치 설정 모듈(122)을 조정하여, 기판(200)의 위치에 대응되게 해 기판에 대해 효과적으로 조정 작업을 진행할 수 있다.
도4는 도2의 기판 교정 장치로 다른 하나의 기판을 교정한 것을 나타낸 설명도이다. 도2를 함께 참고하시기 바란다. 본 실시예에서, 기판 교정장치(100)는 제2 위치 설정 모듈(130)로 다른 한 기판(200')에 대해 위치 설정을 진행한 것이다. 구체적으로, 본 실시예에서, 기판 교정장치(100)은 복수의 제2 위치 설정 모듈(120)을 더 포함할 수 있다. 특별히 본 실시예에서 제2 위치 설정 모듈(130)에서 교정 위치(P)까지의 거리(L2)는 상기 제1 위치 설정 모듈(120)에서 교정 위치(P)까지의 거리(L3)보다 크다. 바꾸어 말하면, 본 실시예의 제2 위치 설정 모듈(130)은 제1 위치 설정 모듈의 외측에 설치되고 사이즈가 비교적 큰 기판(200')의 교정 작업을 진행하기 위해 사용된다. 즉, 기판 교정 장치(100)가 설비를 교체하지 않는 경우에도, 제1 위치 설정 모듈(120)또는 제2 위치 설정 모듈(130) 사이즈에 대응하는 기판(200)또는 기판(200')을 처리할 수 있다.
위에서 열거한 바와 같이, 본 발명은 제1 위치 설정 부품 및 제2 위치 설정 부품 사이의 거리가 비 원형 에지의 길이보다 커 제1 위치 설정 부품 및 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나가 기판의 원형 에지와 접촉 가능하게 할 수 있다. 이렇게, 제1 위치 설정 모듈이 기판을 정확히 교정 위치에 마주보도록 위치하게 할 수 있다. 이렇게, 효과적으로 제1 위치 설정 모듈이 기판을 교정 위치에 마주보도록 위치하게 할 수 있다. 추가적으로, 제1 위치 설정 부품 및 제2 위치 설정 부품이 각각 기판의 원형 에지와 접촉 가능하게 하는 기술이라면 모두 본 발명의 취지와 범위에 속하고, 본 발명은 결코 이를 제한하지 않는다.
본 발명에서 언급된 기판은 모판 형식, 웨이퍼 형식, 칩 형식 등일 수 있고, 기판 형상은 이에 한정되지 않는다. 또한 본 발명의 기판 교정 장치는 제조 공정 전의 교정 처리에 응용될 수 있고, 제조 공정은 습제정일 수 있다(세정, 식각 등). 예를 들어, 단 기판 습제조 공정, 복수 기판 습제조공정(세정, 식각 등) 일 수 있고, 이에 한정되지 않는다.
주의해야 할 점은, 상기 사항은 실시예일 뿐, 이에 국한되지 않는다. 본 발명의 기본 프레임을 벗어나지 않는 이상, 본 발명에서 주장하는 청구 범위가 되어야 마땅하고, 특허 출원 범위를 기준으로 하여야 마땅하다.
100：기판 교정 장치
110: 기좌
112：인도홈
120：제1위치 설정 모듈
121：제1위치 설정 부품
122：제2위치 설정 부품
123：이동좌(movable seat)
124：조정 부품
125：고정 부품
130：제2 위치 설정 모듈
140：기판 이동부
200、200'：기판
C：중심
D1：교정 방향
D2：이동 방향
E1：비원형 에지
E2：원형 에지
H：고정 홀
L1：비 원형 에지의 길이
L2：제2 위치 설정 모듈에서 교정 위치까지의 거리
L3：제1 위치 설정 모듈에서 교정 위치까지의 거리
P：교정 위치

Claims (11)

  1. 하나의 기좌; 및
    하나의 교정 방향에 따라 각각 상기 기좌에 슬라이딩이 가능하게 설치되는 세 개의 제1 위치 설정 모듈을 포함하고,
    이 중 제1 위치 설정 모듈은 각각 제1 위치 설정 부품 및 제2 위치 설정 부품을 구비하고,
    이 중, 상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나와 기판의 원형 에지가 접촉하고,
    하나의 상기 기판의 위치를 교정하기에 적절하고, 상기 기판은 하나의 상기 원형 에지 및 하나의 비(非) 원형 에지를 구비하는,
    기판 교정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품 사이의 거리가 상기 비 원형 에지의 길이보다 큰,
    기판 교정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 하나의 이동 방향에 따라 상기 기좌에 배치되고,
    각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 교정방향을 따라 상기 기좌의 하나의 교정 위치 방향으로 이동하고,
    상기 기판의 하나의 중심이 상기 교정 위치를 마주보게 위치하게 하는,
    기판 교정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    복수의 제2 위치 설정 모듈을 더 포함하고,
    각각의 상기 제2 위치 설정 모듈에서 상기 교정 위치까지의 거리가 각각의 상기 제1 위치 설정 모듈에서 상기 제2 위치 설정 모듈까지의 거리보다 크고,
    이 중 상기 제1 위치 설정 모듈과 상기 제2 위치 설정 모듈이 각각 서로 다른 사이즈의 기판을 교정하는,
    기판 교정 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 하나의 이동좌(movable seat)를 더 포함하고,
    상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품은 각각 상기 이동좌의 양측에 설치되고,
    상기 이동좌가 상기 제1 위치 설정 부품 및 상기 제2 위치 설정 부품을 상기 교정 위치 방향으로 이동하도록 리드하는,
    기판 교정 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 하나의 교정 부품을 더 포함하고,
    상기 교정 부품의 한단은 상기 이동좌에 고정 접합되고,
    상기 교정 부품의 다른 한 단은 상기 기좌에 슬라이딩 가능하게 설치되는,
    기판 교정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기좌는 적어도 하나의 인도홈(guiding groove)을 구비하고,
    상기 교정 부품은 상기 인도홈에 슬라이딩 가능하게 설치되는,
    기판 교정 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    각각의 상기 제1 위치 설정 모듈은 적어도 하나의 고정 부품을 더 포함하고,
    상기 고정 부품은 상기 이동좌에 설치되고,
    상기 제1 위치 설정 부품 및 상기 제2 위치 설정 부품 중 적어도 하나는 하나의 고정홀을 구비하고,
    상기 제1 위치 설정 부품 또는 상기 제2 위치 설정 부품은 상기 고정홀을 거쳐 상기 고정 부품을 커버하여 설치(套)되는,
    기판 교정 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 고정홀은 하나의 편심홀(eccentric hole)인,
    기판 교정 장치.
  10. 제2항에 있어서,
    하나의 기판 이동부를 더 포함하고,
    상기 기판을 하나의 방향성 또는 하나의 비방향성으로 상기 기좌까지 선택적으로 이동할 수 있고,
    상기 제1 위치 설정 부품과 상기 제2 위치 설정 부품 사이를 통과하는 거리는 상기 비 원형 에지의 길이보다 커 상기 제1 위치 설정 부품 및 상기 제2 위치 설정 부품 중 하나와 상기 기판의 상기 원형 에지가 접촉되게 하여 상기 기판에 교정을 진행하게 하는,
    기판 교정 장치.
  11. 제2항에 있어서,
    상기 제1 위치 설정 모듈은 상기 하나의 비 원형 에지를 구비한 기판 및 하나의 전체 원형을 구비한 기판의 기판 교정을 함께 처리할 수 있는,
    기판 교정 장치.
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