KR200270787Y1 - 로봇암 센터 정렬 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내에서의 로봇암 센터의 정확한 위치를 정렬할 수 있는 로봇암 센터 정렬 장치에 관해 개시한다.

상기 개시된 본 고안에서는, 공정이 진행될 웨이퍼를 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내로 이송시키는 로봇암의 센터 정렬을 실시하기 위한 로봇암 센터 정렬 장치에 있어서, 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내에 형성되어 상면에 웨이퍼가 안착되며, 상면 센터 부분에 제 1홈을 가진 히터와, 히터를 애워싸도록 형성되며, 제 1홈에 대응되는 제 1홀을 가진 제 1센터 정렬부와, 로봇암에 형성되며 제 1홈 및 제 1홀과 대응되는 제 2홀과, 히터 상부 방향의 센터 부분에 위치되며 제 2홀 및 제 1홀을 관통하여 제 1홈에 삽입되는 돌기 형상의 제 2센터 정렬부를 포함한다.

Description

로봇암 센터 정렬 장치{an apparatus for align robot arm center}

본 고안은 정렬 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내에서의 로봇암 센터의 정확한 위치를 정렬할 수 있는 로봇암 센터 정렬 장치에 관한 것이다.

증착 공정이 진행될 웨이퍼는 먼저, 진공 흡착 방식으로 로봇암에 고정되어진 후, 공정 챔버 내로 인입되어 히터 위에 놓여진다. 이때, 로봇암은 공정 챔버내의 정중앙에 놓여지도록 센터 정렬(center alignment)이 실시되어야 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 로봇암 센터 정렬 장치를 설명하기 위한 도면이다.

종래 기술에 따른 로봇암 센터 정렬은, 도 1에 도시된 바와 같이, 로봇암(130)을 이용하여 더미 웨이퍼(110)을 공정 챔버(100) 내의 히터(102) 위에 안착시킨다. 이때, 웨이퍼 증착 공정이 진행되기 이전에 먼저 더미 웨이퍼를 이용하여 로봇암의 센터 정렬을 실시한다. 또한, 히터(102)는 더미 웨이퍼(110)의 직경보다 크다.

이어, 더미 웨이퍼(110)와 히터(102) 간의 상,하,좌,우 방향에서 간격(A)을 작업자의 육안을 통해 확인한다. 이때, 상기 더미 웨이퍼(110)와 히터(102) 간의 상,하,좌,우 방향의 간격(A)이 모두 일치하여야만이 로봇암(130)이 챔버(100)의 센터에 정렬된 것으로 판단된다.

그러나, 종래 기술에서는 로봇암의 센터 정렬을 작업자의 육안을 통해 실시함으로써, 정확도가 떨어지며, 또한 더미 웨이퍼의 미끄러짐 현상 및 작업 환경에 따라 오차가 발생되는 문제점이 있었다.

이에 본 고안은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 로봇암의 센터 정렬을 정확하게 실시할 수 있는 공정챔버 내의 로봇암 센터 정렬장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 로봇암 센터 정렬 장치를 설명하기 위한 도면.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 로봇암 센터 정렬 장치를 설명하기 위한 도면.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

300. 공정 챔버 220. 로봇암

221. 제 2홀 240. 히터

251. 제 1홈 252. 제 1센터 정렬부

253. 제 1홀 260. 제 2 센터 정렬부

상기 목적을 달성하기 위해 본 고안에서는, 공정이 진행될 웨이퍼를 웨이퍼증착용 공정 챔버 내로 이송시키는 로봇암의 센터 정렬을 실시하기 위한 로봇암 센터 정렬 장치에 있어서, 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내에 형성되어 상면에 웨이퍼가 안착되며, 상면 센터 부분에 제 1홈을 가진 히터와, 히터를 애워싸도록 형성되며, 제 1홈에 대응되는 제 1홀을 가진 제 1센터 정렬부와, 로봇암에 형성되며 제 1홈 및 제 1홀과 대응되는 제 2홀과, 히터 상부 방향의 센터 부분에 위치되며 제 2홀 및 제 1홀을 관통하여 제 1홈에 삽입되는 돌기 형상의 제 2센터 정렬부를 포함한 것을 특징으로 한다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 로봇암 센터 정렬 장치를 설명하기 위한 도면으로, 도 2는 본 발명에 따른 로봇암 센터 정렬 장치의 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 로봇암 센터 정렬 장치의 평면도를 나타낸 것이다.

본 고안에 따른 로봇암 센터 정렬장치는 공정이 진행될 웨이퍼를 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내로 이송시키는 로봇암(220)의 센터 정렬을 실시하는 역할을 하는 것으로, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이,웨이퍼 증착용 공정 챔버(240) 내에 형성되어 상면에 웨이퍼(미도시)가 안착되며, 상면 센터 부분에 제 1홈(251)을 가진 히터(250)와, 히터(250)를 애워싸도록 형성되며 제 1홈(251)에 대응되는 제 1홀(253)을 가진 제 1센터 정렬부(252)와, 로봇암(220)에 형성되며 제 1홈(251) 및 제 1홀(253)과 대응되는 제 2홀(221)과, 히터(240) 상부 방향의 센터 부분에 위치되며 제 2홀(221) 및 제 1홀(253)을 관통하여 제 1홈(251)에 삽입되는 돌기 형상의제 2센터 정렬부(260)으로 구성된다.

상기 구성된 본 고안에 따른 로봇암 센터 정렬 장치를 이용하여 로봇암의 센터를 정렬하는 방법을 알아보면 다음과 같다.

먼저, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 정중앙 부분에 위치되도록 제 2센터 정렬부(260)를 셋팅한다. 이어, 제 1센터 정렬부(252)를 히터(240) 상부에 장착시키고 나서, 로봇암을 챔버 내로 인입시키다. 이때, 히터(24)의 제 1홈(241)과 제 1센터 정렬부(220)의 제 1홀(253)은 서로 대응된 위치에 놓이도록 한다.

또한, 제 1센터 정렬부(252)의 재질로는 센터 정렬 시 파티클이 발생하지 않는 알루미늄 또는 아크릴 등을 이용한다.

그 다음, 로봇암(220)을 챔버(300) 내로 인입시키되, 상기 제 2센터 정렬부(260)와 제 1센터 정렬부(252) 사이에 개재되도록 한다. 이때, 상기 로봇암(220)의 제 2홈(221)과 제 1센터 정렬부의 제 1홀(253)은 서로 대응된 위치에 놓이도록 한다.

이 후, 상기 제 2센터 정렬부(260)를 하강 동작시키어 상기 제 2센터 정렬부(260)가 로봇암(220)의 제 2홀(221) 및 제 1센터 정렬부(252)의 제 1홀(253)을 관통하여 히터(240)의 제 1홈(251)에 삽입되도록 한다.

이때, 상기 제 2센터 정렬부(260)가 로봇암 및 제 1센터 정렬부를 통해 히터의 제 1홈에 삽입된 경우에만 로봇암의 센터 정렬이 제대로 이루어진 것으로 판단한다.

본 고안에서는 로봇암 센터 정렬 시, 더미 웨이퍼 또는 웨이퍼를 이용하지않음으로써, 웨이퍼 슬라이딩에 의한 오차 발생을 방지할 수 있다.

이상에서와 같이, 본 고안에서는 돌기 형상의 제 2센터 정렬부를 로봇암의 제 2홀과 제 1센터 정렬부의 제 1홀 내로 관통하여 히터의 제 1홈에 삽입함으로써, 로봇암의 센터 정렬을 정확하게 실시할 수 있다.

또한, 로봇암 센터 정렬 시, 더미 웨이퍼 또는 웨이퍼를 이용하지 않음으로써, 웨이퍼 슬라이딩에 의한 오차 발생을 방지할 수 있다.

기타, 본 고안은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (2)

1. 공정이 진행될 웨이퍼를 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내로 이송시키는 로봇암의 센터 정렬을 실시하기 위한 로봇암 센터 정렬 장치에 있어서,

   상기 웨이퍼 증착용 공정 챔버 내에 형성되어 상면에 웨이퍼가 안착되며, 상면 센터 부분에 제 1홈을 가진 히터와,

   상기 히터를 애워싸도록 형성되며, 상기 제 1홈에 대응되는 제 1홀을 가진 제 1센터 정렬부와,

   상기 로봇암에 형성되며, 상기 제 1홈 및 제 1홀과 대응되는 제 2홀과,

   상기 히터 상부 방향의 센터 부분에 위치되며, 상기 제 2홀 및 제 1홀을 관통하여 상기 제 1홈에 삽입되는 돌기 형상의 제 2센터 정렬부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 로봇암 센터 정렬 장치.
2. 제 1항에 있어서, 제 1센터 정렬부의 재질로는 알루미늄 또는 아크릴 중 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 로봇암 센터 정렬 장치.