JPH04196458A - ウエハ移載装置 - Google Patents
ウエハ移載装置Info
- Publication number
- JPH04196458A JPH04196458A JP32806090A JP32806090A JPH04196458A JP H04196458 A JPH04196458 A JP H04196458A JP 32806090 A JP32806090 A JP 32806090A JP 32806090 A JP32806090 A JP 32806090A JP H04196458 A JPH04196458 A JP H04196458A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- jig
- displacement
- sandwiching
- detects
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造工程内のウェハ移載装置に関する
。
。
【従来の技術］・
従来の技術としては第８図に示すように、ウェハ挟持用
溝部８に検出用手段９を取り付け、ウェハ円周部を検出
し、ウェハの有無あるし）は挟持の状態を判定するもの
が知られている。
溝部８に検出用手段９を取り付け、ウェハ円周部を検出
し、ウェハの有無あるし）は挟持の状態を判定するもの
が知られている。
［発明が解決しようとするｍａｌ
しかし、かかる従来のウェハ移載装置は、ウェハ円周部
を直接検出するため、ウェハ円周部の形状の違いによる
検出不良が起こり易いという問題点を有していた。
を直接検出するため、ウェハ円周部の形状の違いによる
検出不良が起こり易いという問題点を有していた。
そこで、本発明はウェハ挟持時にウェハに接触し変位す
る簡単な変位治具と、変位を検出する検出手段を組み合
わせ、ウェハの有無を間接的に検出する事によりウェハ
を確実に検出し、検出不良の舞いウェハ移載装置を提供
することを目的とする。
る簡単な変位治具と、変位を検出する検出手段を組み合
わせ、ウェハの有無を間接的に検出する事によりウェハ
を確実に検出し、検出不良の舞いウェハ移載装置を提供
することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明のウェハ移載装置は、
半導体製造工程内で、単数のウェハを挾持・移載を行う
枚葉式のウェハ移載装置においてウェハ挟持時にウェハ
円周部に接触し変位する変位治具を具備するウェハ挟持
治具と、前記変位治具の変位の有無を検出する検出手段
を有することを特徴とする。
半導体製造工程内で、単数のウェハを挾持・移載を行う
枚葉式のウェハ移載装置においてウェハ挟持時にウェハ
円周部に接触し変位する変位治具を具備するウェハ挟持
治具と、前記変位治具の変位の有無を検出する検出手段
を有することを特徴とする。
［実施例］
以下に本発明め実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の構成・配置を示す斜視図。第２図は、
本発明のウェハ挟持部の断面図で、ウェハ挾持治具１ａ
と２ａは各々に具備された溝部１ｂと２ｂでウェハ円周
部を挟持するよう向かい合った位置に配置される。ここ
でＬ字型の変位治具４は回転軸３を介して一方のウェハ
挟持治具１ａに取り付けられる。この時、該変位治具４
は回転軸３を中心に０１方向に回転移動するよう：二す
る。
本発明のウェハ挟持部の断面図で、ウェハ挾持治具１ａ
と２ａは各々に具備された溝部１ｂと２ｂでウェハ円周
部を挟持するよう向かい合った位置に配置される。ここ
でＬ字型の変位治具４は回転軸３を介して一方のウェハ
挟持治具１ａに取り付けられる。この時、該変位治具４
は回転軸３を中心に０１方向に回転移動するよう：二す
る。
第５図（ａ）に該変位治具４の外形図を示す。
第３図に本発明のウェハ挟持時の状態を示す。
ウェハ挟持治具１ａと２ａがウェハ１０の円周部を挟持
すると、ウェハ挟持治具１ａに取り付けられた変位治具
４がウェハ１０の円周部に押されて、回転軸３を中心に
０１方向へ回転移動・変位する。
すると、ウェハ挟持治具１ａに取り付けられた変位治具
４がウェハ１０の円周部に押されて、回転軸３を中心に
０１方向へ回転移動・変位する。
この時変位治具の一部分はウェハ挟持治具１ａの側面よ
り突出した形となる。ここで、突出部分２０（斜線部）
を検出対象物として検出できるように予め検出手段７を
配置することにより、検出手段７は変位治具４の変位を
検出し、ウェハ挟持治具１ａと２ａ間にウェハが有るこ
とを間接的に検知できる。
り突出した形となる。ここで、突出部分２０（斜線部）
を検出対象物として検出できるように予め検出手段７を
配置することにより、検出手段７は変位治具４の変位を
検出し、ウェハ挟持治具１ａと２ａ間にウェハが有るこ
とを間接的に検知できる。
第４図に本発明のウェハ非挟持時の状態を示す。
ウェハ挟持状態からウェハ非挟持状態、になると、変位
治具４は回転軸３を中心に０２方向へ回転移動し、ウェ
ハ挟持治具からの突出部分２０（検出対象物）は無くな
り、ウェハ挟持治具１ａと２ａ間にウェハが無いことを
間接的に検知できる。
治具４は回転軸３を中心に０２方向へ回転移動し、ウェ
ハ挟持治具からの突出部分２０（検出対象物）は無くな
り、ウェハ挟持治具１ａと２ａ間にウェハが無いことを
間接的に検知できる。
なお、変位治具４を第５図（ｂ）に示す様：こ検出用凸
部６を具備した形の変位治具５にしても良い。この様な
形（二すると第６図に示すように、ウェハ挟持時に該変
位治具５の一部分はウェハ挟持治具１ａの側面から突出
し突出部分２０ができる。
部６を具備した形の変位治具５にしても良い。この様な
形（二すると第６図に示すように、ウェハ挟持時に該変
位治具５の一部分はウェハ挟持治具１ａの側面から突出
し突出部分２０ができる。
またこの時該変位治具５に具備した検出用凸部６もウェ
ハ挟持治具１ａ上面から突出し突出部分２１ができる。
ハ挟持治具１ａ上面から突出し突出部分２１ができる。
ここで、予め突出部分２０あるいは突出部分２１を検出
対象物として検出手段７の配置する事により、変位治具
５の変位を検出できる。
対象物として検出手段７の配置する事により、変位治具
５の変位を検出できる。
特に、突出部分２１を検出対象物とした場合、例えば第
７図に示すとおり検出方向Ｙ１に検出手段７を配置する
こともできる。これにより検出手段の配置場所に制約が
あるウェハ移載装置においても配置を自由に選択できる
。
７図に示すとおり検出方向Ｙ１に検出手段７を配置する
こともできる。これにより検出手段の配置場所に制約が
あるウェハ移載装置においても配置を自由に選択できる
。
［発明の効果］
本発明のウェハ移載装置は、以上説明した様に、ウェハ
の挟持時に、ウェハに接触して変位する簡単な変位治具
と該変位治具の変位を検出するなめの検出手段を組み合
わせることにより、ウェハ挟持部のウェハの有無を確実
に検出し、確実なウェハの移載を可能にする効果がある
。また、変位治具の形状を変更することによって検出手
段の取り付は位置も自由に選択できる事から、ウェハ移
載装置上の空きスペースの有効な活用ができるという効
果もある。
の挟持時に、ウェハに接触して変位する簡単な変位治具
と該変位治具の変位を検出するなめの検出手段を組み合
わせることにより、ウェハ挟持部のウェハの有無を確実
に検出し、確実なウェハの移載を可能にする効果がある
。また、変位治具の形状を変更することによって検出手
段の取り付は位置も自由に選択できる事から、ウェハ移
載装置上の空きスペースの有効な活用ができるという効
果もある。
第１図は、本発明のウェハ移載装置の斜視図。
第２図〜第４図は、本発明のウェハ移載装置のウェハ挟
持部の説明図。 第５図（ａ）、第５図（ｂ）は本発明のウェハ移載装置
の変位治具の外形図。 第６図、第７図は本発明のウェハ移載装置の変位治具形
状を変化させた場合の説明図。 第８図は従来のウェハ移載装置の断面図。 １ａ、１ｂ・・・ウェハ挟持治具 ２ａ、２ｂ・・・溝部 ３・・・回転軸 ４．５・・・変位治具 ６・・・検出用凸部 ７．９・・・検出手段 ８・・・ウェハ挟持用溝部 １０・・・ウェハ ２０．２１・・・突出部分 Ｘｌ、Ｙｌ・・・検出手段の検出方向 θ１、θ２・・・回転方向 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 齢木喜三部（池１名）Ｌ−＋
”’ −−−−−−一−−−−−−−−−”’−
地地山 ０４巳 晃Ｓ図（。） 亮５図（ｂ）楽６１Ｂ
持部の説明図。 第５図（ａ）、第５図（ｂ）は本発明のウェハ移載装置
の変位治具の外形図。 第６図、第７図は本発明のウェハ移載装置の変位治具形
状を変化させた場合の説明図。 第８図は従来のウェハ移載装置の断面図。 １ａ、１ｂ・・・ウェハ挟持治具 ２ａ、２ｂ・・・溝部 ３・・・回転軸 ４．５・・・変位治具 ６・・・検出用凸部 ７．９・・・検出手段 ８・・・ウェハ挟持用溝部 １０・・・ウェハ ２０．２１・・・突出部分 Ｘｌ、Ｙｌ・・・検出手段の検出方向 θ１、θ２・・・回転方向 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 齢木喜三部（池１名）Ｌ−＋
”’ −−−−−−一−−−−−−−−−”’−
地地山 ０４巳 晃Ｓ図（。） 亮５図（ｂ）楽６１Ｂ
Claims (1)
- 半導体製造工程内で、単数のウェハを挟持・移載を行
う枚葉式のウェハ移載装置において前記ウェハ挟持時に
前記ウェハ円周部に接触し変位する変位治具を具備する
ウェハ挟持治具と、前記変位治具の変位の有無を検出す
る検出手段を有することを特徴とするウェハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32806090A JPH04196458A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32806090A JPH04196458A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ウエハ移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196458A true JPH04196458A (ja) | 1992-07-16 |
Family
ID=18206068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32806090A Pending JPH04196458A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04196458A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004067233A1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Thermo Crs Ltd. | A gripping error detection mechanism for robot gripper |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP32806090A patent/JPH04196458A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004067233A1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Thermo Crs Ltd. | A gripping error detection mechanism for robot gripper |
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