KR0132430Y1 - 반도체 웨이퍼의 센터링 장치 - Google Patents

반도체 웨이퍼의 센터링 장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼의 센터링 장치에 관한 것으로, 종래에는 인라인의 로딩부(1)에서 셋팅위치에서 웨이퍼가 틀어지게 됨으로 인해 제1핸드(2)에 의해 P.A부(3) 이동되어 얼라인시 에러가 발생되는 것이었으며, 이러한 에러가 발생되면 웨이퍼를 제거하고, 시스템을 이니티얼라이즈 해주어야 하므로 로스 타임이 발생되는 문제가 있는 바, 웨이퍼(W)가 안착되는 턴테이블(11)과, 웨이퍼(W)의 플랫 존(P)을 감지하는 플랫존 외형 센서(12)와, 웨이퍼의 X축, Y축 θ의 위치를 맞추는 스폿 센서(13)(14)(15)와, 상기 플랫 존 외형 센서(12)에 의해 180°회전된 웨이퍼의 플랫 존을 첵크하는 첵크센서(16)로 구성되는 본 고안을 제공하여 인라인 로더부에서 웨이퍼의 위치가 틀어지는 방지하여 플랫 존 얼라인부의 에러발생을 방지하며, 사전 정도가 향상되어 로스 타임을 감소시키도록 한 것이다.

Description

반도체 웨이퍼의 센터링 장치
제1도는 일반적인 반도체 웨이퍼 스텝퍼 로딩 시스템의 구성도.
제2도는 종래 반도체 웨이퍼의 유무감지 센서의 구성도.
제3도는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 센터링 장치의 구성도.
제4도는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 센터링 장치의 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 턴테이블 12 : 플랫 존 외형 센서
13,14,15 : X,Y축 및 θ의 위치보정 스폿 센서
16 : 첵크센서
본 고안은 반도체 웨이퍼의 스텝퍼 로딩장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 로딩 전에 웨이퍼가 중심위치에 정확하게 센터링되도록 하여 얼라인시의 에러를 방지하며, 사전 정도를 향상하도록 한 반도체 웨이퍼의 센터링 장치에 관한 것이다.
종래의 스텝퍼 로딩 시스템(STEPPER LOADING SYSTEM)은 제1도에 도시한 바와 같이, 트랙의 인라인부(1) 솔레노이드 밸브에 의한 웨이퍼의 로딩시 웨이퍼 유무감지센서(1b)로 웨이퍼의 유무를 감지한 후, 로보트부의 제1핸드(2)에 의해 P.A부(3)로 이동되어 3개의 CCD 및 센서로 구성된 유닛에서 플랫 존 어라인을 실시하고, 제2핸드(4)에 의해 메인 스테이지로 이동되어 노광되며, 다시 제1핸드(2)에 의해 언로드부로 이동하게 된다.
그러나 상기 종래의 인라인 로드부(1)는 3개의 지지핀(1a)과, 웨이퍼 유무감지센서(1b)로 구성되어 있어 트랙의 인라인부(1)에서 솔레노이드 밸브로 동작되는 아암에 의해서 로딩된 웨이퍼의 셋팅위치가 변하게 된다. 이와 같이 위치가 틀어진 웨이퍼(W)를 그대로 P.A부(3)로 이동시켜 플랫트 존 얼라인을 실시하여 5mm이상의 오차가 발생되면 웨이퍼를 제거하거나, 시스템의 이니티얼라이즈(initialize)를 하지 않으면 안되게 된다.
이상과 같이 종래에는 인라인의 로딩부(1)에서 셋팅위치에서 웨이퍼가 틀어지게 됨으로 인해 제1핸드(2)에 의해 P.A부(3) 이동되어 얼라인시 에러가 발생되는 것이었으며, 이러한 에러가 발생되면 웨이퍼를 제거하고, 시스템을 이니티얼라이즈 해주어야 하므로 로스 타임이 발생되는 것이었다.
또한, 위치보정시간이 감소되어 트루 풋(THROUGH-PUT)이 증가되는 것이었다.
이와 같은 문제점에 착안하여 안출한 본 고안의 목적은 웨이퍼의 로딩 전에 웨이퍼가 중심위치에 정확하게 센터링되도록 하여 얼라인시의 에러를 방지하며, 사전 정도를 향상하려는 것이다.
이러한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 구동원인 모터와, 웨이퍼가 안착되는 턴테이블과, 웨이퍼의 플랫 존을 감지하는 플랫 존 외형센서와, 웨이퍼의 X축, Y축, θ의 위치를 맞추는 스폿 센서와, 상기 플랫 존 외형 센서에 의해 180°회전된 웨이퍼의 플랫 존을 첵크하는 첵크센서로 구성함을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 센터링 장치가 제공된다.
이하, 상기한 바와 같은 본 고안을 첨부도면에 도시한 일실시례에 의거하여 보다 상세하게 설명한다.
첨부도면 제3도 및 제4도는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 센터링 장치의 구성도 및 단면도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 센터링 장치는 구동원인 모터(10)(10')(10'')와, 웨이퍼(W)가 안착되는 턴테이블(11)과, 웨이퍼(W)의 플랫 존(P)을 감지하는 플랫 존 외형 센서(12)와, 웨이퍼의 X축, Y축, θ의 위치를 맞추는 스풋 센서(13)(14)(15)와, 상기 플랫 존 외형 센서(12)에 의해 180°회전된 웨이퍼의 플랫 존을 첵크하는 첵크센서(16)로 구성되어 있다.
도면중 미설명 부호 11a, 11b, 11c는 각각 X축, Y축, θ의 턴테이블이다.
이와 같이 구성되어 있는 웨이퍼의 센터링 장치는 로딩시 웨이퍼 유무감지센서(1b)가 웨이퍼(W)의 안착을 감지한 후, 모터(10)를 구동하여 턴테이블(11)을 회전시켜 웨이퍼(W)의 플랫 존(P)을 플랫 존 외형 센서(12)로 감지하여 180°회전시킨 후 정지시킨다.
이후, 상기 스폿 센서(13)(14)(15)로 X축, Y축 및 θ의 각도를 맞추어주며, 2개의 첵크센서(16)를 이용하여 웨이퍼(W)의 플랫 존(P)이 항시 일정한 방향을 향하도록 한다.
이와 같이 센터링이 정확하게 수정된 웨이퍼는 제1핸드(2)에 의해 P.A부(3)로 이동되어 얼라인되며, 메인 스테이지로 이동하게 되는 것으로, 항시 일정하게 센터링된 웨이퍼(W)는 P.A부(3)로 이동되어 얼라인되는 과정에서 웨이퍼의 위치와 관련하여 에러를 방지할 수 있게 되며, 단 1회전으로 플랫 존(P)의 얼라인을 실시할 수 있어 로스 타임을 줄일 수 있는 효과가 있는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 센터링 장치는 인라인 로더부에서 웨이퍼의 위치가 틀어지는 방지하여 플랫 존 얼라인부의 에러발생을 방지하며, 사전 정도가 향상되어 로스 타임을 감소시키도록 한 것이다.

Claims (1)

  1. 구동원인 모터와, 웨이퍼가 안착되는 턴테이블과, 웨이퍼의 플랫 존을 감지하는 플랫 존 외형센서와, 웨이퍼의 X축, Y축, θ의 위치를 맞추는 스폿 센서와, 상기 플랫 존 외형 센서에 의해 180°회전된 웨이퍼의 플랫 존을 첵크하는 첵크센서로 구성함을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 센터링 장치.
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