KR102253809B1 - 워크의 절단방법 및 워크유지지그 - Google Patents

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신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 워크를 워크유지지그(1)로 유지하여 결정축방위를 측정한 후, 워크유지지그로 워크를 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 유지한 채로 와이어소에 세트하고 나서 절단면방위를 조정하고, 워크를 와이어열에 맞댐으로써 절단하는 워크의 절단방법으로서, 워크유지지그는 워크를 유지한 채로 슬라이드할 수 있는 슬라이드부(2)와 이 슬라이드부를 고정하는 고정부(3)로 이루어진 것을 이용하고, 결정축방위를 측정한 후, 슬라이드부를 슬라이드시켜, 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 워크유지지그의 중앙부로 이동시키고, 슬라이드부를 고정부에 의해 고정하고, 유지지그를 와이어소에 세트하고 나서 절단면방위를 조정하여 절단하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법이다. 이에 따라, 방위측정기와 워크의 측정면의 거리의 제약에 상관없이 방위측정을 할 수 있는 데다가, 휨의 악화나 워크의 파손을 억제하는 워크의 절단방법 및 워크유지지그가 제공된다.

Description

워크의 절단방법 및 워크유지지그{WORKPIECE CUTTING METHOD AND WORKPIECE HOLDING TOOL}
본 발명은, 와이어소에 의한 워크의 절단방법 및 이때 사용되는 워크의 유지지그에 관한 것이다.
와이어소로 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 경우, 절단면을 소정의 방위로 설정하여 절단한다. 그 절단방법으로는, 우선, 워크를 워크유지지그로 유지하고 고정한 상태로 워크의 축방위를 측정한다. 그리고, 측정한 축방위의 데이터를 기초로, 와이어소에 워크의 유지지그를 고정하여, 워크의 결정축의 방위와 절단 후에 요구되는 웨이퍼의 면방위에 맞도록, 워크의 위치를 조정하고 나서 절단한다. 워크의 절단면의 면방위의 조정은, 와이어열에 병행한 면내에서 원기둥상 워크의 저면간의 중심축과 수직인 축을 회전축으로 한 회전동작, 와이어열 평면과 저면간의 중심축의 스윙 동작을 조합하여 조정한다. 이러한, 워크의 결정면 방위의 조정방법은 내부셋업(Internal setup)방식이라 불리고 있다.
워크를 절단할 때, 노치나 OF(Orientation Flat) 등의 정벽선(晶癖線)에 가장 이격된 각도로 와이어를 주행시켜 절단을 행하는 것이, 웨이퍼의 균열 등의 발생의 억제에 유효한 것은 알려져 있다(특허문헌 1 참조).
또한, 내부셋업방식 외에는, 워크를 워크유지지그에 고정할 때, 워크의 저면의 중점을 통과하는 중심축을 회전축으로 한 워크의 회전, 및 와이어열면에 병행한 면내에서 선회를 행함으로써 방위의 조정을 행하는 외부셋업방식이 있다. 이 외부셋업방식에서는, 와이어소에 있어서, 워크의 면방위의 조정은 행하지 않는다.
이에 반해 내부셋업방식은, 워크의 고정위치를 워크의 결정학적으로 항상 등가인 위치에 배치하는 것이 가능하며, 워크로부터 잘라낸 제품이 가장 쉽게 파손되지 않는 배치로 가공하는 것이 가능하다. 특히 실리콘 단결정에 있어서는 결정축방위마다 벽개면의 배치가 알려져 있고, OF 혹은 노치와 저면의 중점을 통과하는 중심축의 상대위치로부터 알 수 있다.
일본특허공개 2007-90466호 공보
그러나, 일부의 방위측정기에서는, 방위측정기의 측정부와 워크저면의 거리에 제약이 있고, 특히 워크의 길이가 가공가능한 최대길이(워크유지지그의 길이)에 대하여 3/4 이하인 것은, 워크유지지그의 편측에 워크를 대어 고정해야만 방위측정을 할 수 있었다. 그 결과, 와이어소의 와이어열의 편측에 워크를 치우치게 한 채로 절단시킬 수밖에 없었다. 이 방법에서는, 절단개시부터 와이어열에 반드시 대칭으로 워크가 닿지는 않아 가공압력의 치우침이 발생하고, 워크에 치우친 변위가 발생하여, 휨의 악화를 일으킨다는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 서술한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 방위측정장치의 측정부와 워크의 측정면의 거리의 제약에 상관없이 방위측정을 할 수 있는데다가, 워크를 절단할 때의 휨의 악화와 워크의 파손을 억제할 수 있는 워크의 절단방법 및 유지지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 원기둥상의 워크를 워크유지지그로 유지하여 결정축방위를 측정한 후, 상기 워크유지지그로 상기 워크를 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 유지한 채로 상기 워크유지지그를 와이어소에 세트하고 나서 절단면방위를 조정하고, 상기 워크유지지그로 유지한 상기 워크를 복수의 홈부착 롤러에 축방향으로 왕복주행하는 와이어를 감아서 형성된 와이어열에 맞댐으로써, 상기 워크를 절단하는 워크의 절단방법으로서, 상기 워크유지지그는 상기 워크를 유지한 채로 슬라이드할 수 있는 슬라이드부와 이 슬라이드부를 고정하는 고정부로 이루어진 것을 이용하고, 상기 결정축방위를 측정한 후, 상기 슬라이드부를 슬라이드시켜, 상기 워크를 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 상기 워크유지지그의 중앙부로 이동시키고, 상기 슬라이드부를 상기 고정부에 의해 고정하고, 상기 워크를 유지한 상기 워크유지지그를 상기 와이어소에 세트하고 나서 절단면방위를 조정하고, 상기 워크를 상기 와이어열에 맞댐으로써 절단하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법을 제공한다.
이와 같이 하면, 워크의 결정축방위의 측정에 있어서, 워크의 길이에 제한되지 않고 워크의 결정축방위를 측정할 수 있다. 그리고, 워크의 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 워크유지지그의 중앙부로 이동시킴으로써, 와이어소의 와이어열의 중앙부에서 워크를 절단할 수 있다. 그 결과, 가공압력이 워크에 균일하게 가해지므로, 가공압력의 치우침이 원인인 웨이퍼의 휨의 악화나 파손을 억제하면서, 절단면에 원하는 면방위를 갖는 웨이퍼를 잘라낼 수 있다.
이때, 상기 워크를, 상기 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 것으로 하고, 상기 워크를 유지한 상기 슬라이드부를 슬라이드시켜 상기 워크의 단면을 상기 워크유지지그의 한쪽으로 대고 나서 상기 결정축방위를 측정할 수 있다.
워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 단척워크의 축방위를 측정할 때는, 방위측정장치의 구조 상, 단척워크를 워크유지지그의 한쪽으로 대어 고정해야만, 방위를 측정할 수 있었다. 이에 따라, 단척워크를 워크유지지그의 한쪽으로 대어 고정한 채로, 절단을 실시할 수밖에 없었다. 그러나, 이러한 본 발명의 워크의 절단방법에서는 슬라이드부를 이동시켜 단척워크를 이동시킴으로써, 내부셋업방식이어도, 웨이퍼의 길이에 의한 제한이 없는 방위의 측정과 가공압력의 치우침이 없는 워크의 절단을 양립할 수 있다.
또한 이때, 상기 워크를, 실리콘 단결정 잉곳으로 할 수 있다.
이와 같이, 실리콘 단결정에 있어서는, 대직경이고 단척인 잉곳을, 본 발명의 워크의 절단방법이면, 휨이나 파손이 보다 적은 대직경의 실리콘웨이퍼를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 원기둥상의 워크의 결정축방위를 측정할 때와, 그 후 와이어소에 의해 상기 워크를 절단할 때에 상기 워크를 유지하기 위하여 이용되는 워크유지지그로서, 상기 워크유지지그는 상기 워크를 유지한 채로 슬라이드할 수 있는 슬라이드부와 이 슬라이드부를 고정하는 고정부로 이루어지고, 상기 워크의 결정축방위의 측정 후, 상기 슬라이드부를 슬라이드시켜, 상기 워크를 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 상기 워크유지지그의 중앙부로 이동시키고, 상기 슬라이드부를 상기 고정부에 의해 고정하고, 상기 워크를 유지할 수 있는 것을 특징으로 하는 워크유지지그가 제공된다.
이러한 것이면, 워크의 결정축방위의 측정에 있어서, 워크의 길이에 제한되지 않고 워크의 결정축방위를 측정할 수 있음과 함께, 워크의 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 워크유지지그의 중앙부로 이동시킴으로써, 와이어소의 와이어열의 중앙부에서 워크를 절단할 수 있다. 그 결과, 가공압력이 워크에 균일하게 가해지므로, 가공압력의 치우침이 원인인 웨이퍼의 휨의 악화나 파손을 억제하면서, 절단면에 원하는 방위를 갖는 웨이퍼를 잘라낼 수 있는 것이 된다.
이때, 상기 고정부는, 상기 워크의 양 단면의 중심을 잇는 선분과 평행해지도록 마련된 도브테일 홈을 갖고, 이 도브테일 홈에 상기 슬라이드부를 계합시킴으로써, 상기 슬라이드부가 상기 워크의 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않고 슬라이드할 수 있는 것으로 한다.
이러한 것이면, 간이한 구조로 슬라이드부가 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않고 용이하게 슬라이드할 수 있는 것이 된다.
또한 이때, 상기 유지하는 워크는, 상기 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 워크의 유지지그는, 유지대상의 워크가 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이밖에 없는 단척워크여도, 워크의 길이에 의한 제한이 없는 방위의 측정과 가공압력의 치우침이 없는 워크의 절단을 양립할 수 있으므로, 워크에 대한 가공압력의 치우침이 원인인 웨이퍼의 휨의 악화나 파손을 억제하면서, 절단면에 원하는 방위를 갖는 웨이퍼를 잘라낼 수 있는 것이 된다.
이때, 상기 유지하는 워크는, 실리콘 단결정 잉곳으로 할 수 있다.
워크가 실리콘 단결정 잉곳이면, 최근 대직경화되고 있고, 가령 단척이어도, 본 발명과 같은 워크유지지그를 이용하면, 휨이나 파손이 보다 적은 대직경의 실리콘웨이퍼를 얻을 수 있다.
본 발명의 워크의 절단방법 및 워크유지지그이면, 워크의 결정축방위의 측정에 있어서, 워크의 길이에 제한되지 않고 워크의 결정축방위를 측정할 수 있다. 그리고, 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 워크를 워크유지지그의 중앙부로 이동시킴으로써, 와이어소의 와이어열의 중앙부에서 워크를 절단할 수 있다. 그 결과, 웨이퍼의 휨의 악화나 파손을 억제하면서, 절단면에 원하는 면방위를 갖는 웨이퍼를 잘라낼 수 있다.
도 1은 본 발명의 워크유지지그의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 워크유지지그의 고정부의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 워크유지지그에 있어서, 워크를 한쪽으로 댄 경우의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 워크유지지그에 있어서, 워크를 중앙부로 이동시킨 경우의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 워크유지지그를 결정방위측정기에 세트한 경우의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 6은 본 발명의 워크유지지그로 워크를 유지하여 결정방위축을 측정한 경우의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 7은 본 발명의 워크유지지그로 워크를 유지하여 절단한 경우의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 8은 실시예, 비교예의 Warp의 상대값을 나타낸 도면이다.
도 9는 실시예, 비교예의 Warp의 상대값과 길이비율의 관계를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 대하여 실시의 형태를 설명하나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.
상기한 바와 같이, 방위측정기의 측정부와 워크저면의 거리에 제한이 있고, 특히 워크의 길이가 워크유지지그의 길이에 대하여 3/4 이하인 것은, 워크유지지그의 편측에 워크를 대어 고정해야만 측정할 수 있었다. 그 결과, 내부셋업방식의 절단면 조정을 행하는 경우, 와이어열의 편측에 치우친 채로 워크를 절단할 수밖에 없고, 워크에 치우친 변위가 발생하여, 휨의 악화를 일으킨다는 문제가 있었다.
이에, 본 발명자 등은 이러한 문제를 해결하기 위하여 예의 검토를 거듭하였다. 그 결과, 워크를 유지하고, 결정축방위를 유지한 채로 슬라이드하는 슬라이드부를 가짐으로써, 워크의 유지 중에도 워크를 이동시킬 수 있는 워크유지지그이면, 가령 결정축방위 측정시에 워크를 워크유지지그의 편측에 대어도, 절단시에 워크를 워크유지지그의 중앙으로 이동시킬 수 있으므로, 와이어열의 중앙부에서 워크를 절단할 수 있고, 웨이퍼의 휨의 악화나 파손을 억제하면서, 절단면에 원하는 면방위를 갖는 웨이퍼를 잘라낼 수 있는 것에 상도하여, 본 발명을 완성시켰다.
이하, 본 발명의 워크유지지그 및 이 유지지그를 사용한 워크의 절단방법에 대하여 도 1-7을 참조하여 설명한다.
우선, 본 발명의 워크의 절단방법에서 사용하는 본 발명의 워크유지지그에 대하여 설명한다.
본 발명의 워크유지지그는, 워크의 결정축방위의 측정시에 워크의 유지에 이용되고, 그 후, 워크를 유지한 그대로의 상태로 와이어소에 세트되고, 워크의 절단시에도 워크의 유지에 이용되는 것이다.
그리고, 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 워크유지지그(1)는, 슬라이드부(2)와 고정부(3)로 구성되어 있다.
슬라이드부(2)는, 도 3, 4에 나타낸 바와 같이, 워크(W)에 접착된 빔(4)을 개재하여 유지할 수 있고, 워크(W)를 유지한 채로 고정부(3) 상을 슬라이드할 수 있도록 되어 있다.
또한, 고정부(3)는, 유지한 워크(W)의 양 단면의 중심을 잇는 선분과 평행해지도록 마련된 도브테일 홈(5)을 갖고 있고, 이 도브테일 홈(5)에 슬라이드부(2)를 계합시킴으로써, 슬라이드부(2)가 워크(W)의 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않고 슬라이드할 수 있는 것이 바람직하다.
이러한 것이면, 간이한 구조로 슬라이드부가 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않고 용이하게 슬라이드할 수 있는 것이 된다.
그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 고정부(3)의 측면으로부터 도브테일 홈(5)까지 관통하도록 고정나사(6)가 설치되어 있고, 이 고정나사(6)에 의해 도브테일 홈(5)에 계합된 슬라이드부(2)를 고정부(3)에 고정할 수 있는 것으로 되어 있다.
또한, 특히, 이 워크유지지그(1)는, 워크유지지그(1) 길이의 3/4 이하의 길이인 단척워크(W)를 유지하는 경우에 바람직한 것이 된다.
본 발명의 워크유지지그(1)이면, 단척워크여도, 결정축방위를 측정할 때는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 단척워크(W)를 유지한 슬라이드부(2)를 슬라이드시켜 단척워크(W)의 단면을 워크유지지그(1)의 한쪽으로 대고 나서 결정축방위를 측정할 수 있다. 그리고 그 후, 와이어소에 의한 워크(W)의 절단을 행할 때는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 단척워크(W)를 워크유지지그(1)의 중앙부로 이동시켜 고정하고 유지할 수 있다.
이때, 도 3, 4와 같이 고정부(3)의 길이의 중점에 센터마크(M1)를, 슬라이드부(2)에 워크의 중점을 나타낸 센터마크(M2)를 미리 표시해 둔다. 그리고, 도 4와 같이, 센터마크(M1, M2)의 위치가 일치하도록 슬라이드부(2)를 슬라이드시키면, 단척워크(W)를 워크유지지그(1)의 중앙부에 정확히 이동시킬 수 있는 것이 된다.
또한 이때, 워크유지지그(1)로 유지하는 워크는, 실리콘 단결정 잉곳으로 할 수 있다.
실리콘 단결정 잉곳은 대직경화가 진행되고 있으며, 대직경이고 단척인 잉곳의 절단이 자주 요구된다. 이 경우에, 본 발명과 같은 워크의 유지지그(1)를 이용하면, 휨이나 파손이 보다 적은 대직경의 실리콘웨이퍼를 얻을 수 있는 것이 된다. 물론, 절단하는 워크는 실리콘 단결정으로 한정되지 않고, 화합물반도체, 산화물단결정, 석영 등 중 어느 하나일 수도 있다.
이어서, 본 발명의 워크유지지그(1)를 사용한 경우의 본 발명의 워크의 절단방법에 대하여 설명한다.
우선, 워크를 정도 좋게 절단하기 위하여, 워크유지지그(1)의 슬라이드부(2)에 빔(4)을 개재하여 워크를 부착하고, 워크(W)를 유지한다. 이때, 워크(W)는, 슬라이드부(2)의 하면에 대하여 워크의 정벽선이 가장 이격되는 각도가 되도록 부착하는, 즉 벽개방향과 와이어의 주행방향이 충분히 이격되는 각도가 되도록 빔(4)에 워크(W)를 접착하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 절단시에 와이어의 주행방향과 벽개방향을 충분히 멀리할 수 있으므로, 웨이퍼의 균열이 보다 더 일어나기 어려워진다. 이 경우, 이미 워크는 원통연삭 등에 의해 정벽선은 깎아내어져 있으므로, 노치(d)나 OF를 기준으로 위치 조정할 수 있다.
그리고, 도 5에 나타낸 바와 같은 방위측정장치(7)에 워크(W)를 유지한 워크유지지그(1)를 세트한다.
이때, 도 6에 나타낸 바와 같이, 워크(W)를 일정거리내에 접근시켜 그 결정축방위를 측정하는 방위측정부(8)에, 워크(W)의 한쪽의 단면을 근접시켜 결정축방위의 측정을 행한다.
결정축방위의 측정 후, 워크유지지그(1)의 슬라이드부(2)를 슬라이드시켜, 워크(W)를 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 워크유지지그의 중앙부로 이동시킨다. 이때, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기한 센터마크(M1, M2)를 미리 표지로서 표시해 두고, 양자가 일치하는 위치에 슬라이드부를 이동시키면, 워크(W)를 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 유지한 채로 워크유지지그의 중앙부로 용이하게 이동시킬 수 있다. 그리고, 고정부(3)의 고정나사(6)에 의해, 슬라이드부(2)를 고정한 후, 도 7에 나타낸 바와 같이, 워크유지지그(1)를 와이어소(9)에 세트한다. 이 와이어소(9)에는, 복수의 홈부착 롤러(도시하지 않음)에 축방향으로 왕복주행하는 와이어를 감아서 형성된 와이어열(10)이 마련되어 있고, 이 와이어열(10)의 상방에 워크유지지그(1)를 배치한다.
그리고, 와이어열(10)에 병행한 면내에서 워크(W)의 저면간(양 단면간)의 중심축과 수직인 축을 회전축으로 한 회전동작, 와이어열(10)과 수직인 평면내에서 저면간의 중심축을 회전시키는 스윙 동작을 조합하여, 워크(W)의 결정축방위과 절단 후에 요구되는 웨이퍼의 면방위가 맞도록, 워크(W)의 위치를 조정한다. 또한, 이 워크의 절단면방위의 조정은, 예를 들어 틸트기구 등이 구비된 와이어소를 사용하면, 와이어소(9)에 워크유지지그(1)를 고정한 후에도 실시할 수 있다.
그 후, 워크(W)를 압하하여 와이어열(10)에 맞댐으로써 워크(W)를 절단한다.
이상과 같은, 본 발명의 워크의 절단방법이면, 결정축방위의 측정에 있어서, 워크(W)의 길이에 제한되지 않고 워크(W)의 결정축방위를 측정할 수 있다. 그리고, 워크(W)의 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 워크유지지그(1)의 중앙부로 이동시킴으로써, 와이어소(9)의 와이어열(10)의 중앙부에서 워크를 절단할 수 있다. 그 결과, 가공압력이 워크(W)에 균일하게 가해지므로, 가공압력의 치우침이 원인인 웨이퍼의 휨의 악화나 파손을 억제하면서, 절단면에 원하는 면방위를 갖는 웨이퍼를 잘라낼 수 있다.
나아가, 결정축방위를 측정할 때는, 워크(W)를, 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 것으로 하고, 워크를 유지한 슬라이드부를 슬라이드시켜 워크의 단면을 워크유지지그의 한쪽으로 대고 나서 결정축방위를 측정할 수 있다.
이와 같이, 내부셋업방식에 있어서, 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 단척워크의 축방위를 측정할 때는, 방위측정장치의 구조 상, 단척워크를 워크유지지그의 한쪽에 대어 고정해야만, 방위를 측정할 수 있었다. 이에 따라, 단척워크를 워크유지지그의 한쪽으로 대어 고정한 채로, 절단을 실시할 수밖에 없었다. 이에 반해, 이러한 본 발명의 워크의 절단방법에서는 슬라이드부를 이동시켜 단척워크를 이동시킴으로써, 워크의 길이에 의한 제한이 없는 방위의 측정과 가공압력의 치우침이 없는 워크의 절단을 양립할 수 있다.
또한 이때, 워크(W)를, 실리콘 단결정 잉곳으로 할 수 있다.
실리콘 단결정은, 최근 특히 대직경화가 진행되고 있으며, 대직경이고 단척인 잉곳의 절단이 요구된다. 이 경우에도, 벽개면의 배치를 정벽선으로부터 용이하게 알 수 있으므로, 본 발명과 같은 내부셋업방식의 워크의 절단방법이면, 휨이나 파손이 보다 적은 실리콘웨이퍼를 얻을 수 있다.
[실시예]
이하, 본 발명의 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 보다 구체적으로 설명하나, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1-5)
도 1에 나타낸 바와 같은, 워크유지지그(1)를 사용하여, 도 6에 나타낸 바와 같이 워크를 워크유지지그의 한쪽으로 대어, 결정축방위의 측정을 행하였다. 그 후, 슬라이드부를 슬라이드시켜, 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 워크유지지그의 중앙부로 이동시키고, 슬라이드부를 고정부에 의해 고정하였다. 이어서, 워크유지지그를 도 7과 같이, 와이어소에 세트하고 나서 절단면방위를 조정하고, 워크를 와이어열에 맞대어 절단하였다. 절단대상인 워크는, 직경 200mm, 워크유지지그의 길이(도 1의 Lx로 나타낸 길이)에 대한 길이비율(%)이 3/4(=0.75) 이하가 되는 길이의 실리콘 단결정 잉곳으로 하였다. 그리고, 상기 길이비율(워크의 길이/워크유지지그의 길이)이, 각각 0.60(실시예 1), 0.51(실시예 2), 0.45(실시예 3), 0.30(실시예 4), 0.24(실시예 5)인 길이의 실리콘 단결정 잉곳을 반복하여 웨이퍼상으로 절단하였다.
절단 종료 후, 웨이퍼의 휨의 지표가 되는 Warp를, 웨이퍼형상 측정기인 E&H사의 MX204-8-37로 측정하였다.
그 결과를 표 1, 도 8, 도 9에 나타낸다. 또한, 실시예, 비교예에서는, Warp의 평가지표로서, (워크별로 잘라낸 웨이퍼의 Warp의 평균값)÷(비교예의 Warp의 최대값)×100으로 표시되는 Warp의 상대값(%)을 사용하였다.
표 1, 도 8, 도 9에 나타낸 바와 같이, 실시예 1-5의 Warp의 상대값은, 후술하는 비교예의 거의 1/2 이하의 값으로 감소하여, 평탄도가 개선되어 있는 것이 확인되었다. 따라서, 통상의 길이의 워크는 물론, 워크유지지그의 길이에 대하여 3/4 이하가 되는 길이의 단척워크여도, 종래의 절단방법에 비해, 웨이퍼의 휨의 악화를 억제하여 절단을 행할 수 있는 것이 확인되었다.
(비교예 1-5)
본 발명의 워크유지지그를 이용하지 않은 것, 즉 단척워크여도 결정축방위를 측정가능하게 하기 위하여, 워크유지지그의 한쪽에 대어 워크를 유지하고, 워크를 한쪽에 댄 그대로의 상태로 절단을 행한 것 이외에, 실시예와 동일한 조건으로 워크를 절단하였다. 그리고 그 후, 실시예와 동일한 방법으로 웨이퍼의 Warp를 평가하였다.
단, 비교예 1-5에서는, 상기 길이비율이, 각각 0.51(비교예 1), 0.45(비교예 2), 0.51(비교예 3), 0.21(비교예 4), 0.34(비교예 5)인 길이의 실리콘 단결정 잉곳을 반복하여 웨이퍼상으로 절단하였다.
그 결과를 표 1, 도 8, 도 9에 나타낸다. 비교예 1-5의 경우, 워크를 와이어열 중앙에서 절단할 수 없어 워크에 균등하게 가공압력이 가해지지 않았으므로, Warp의 상대값은, 실시예의 거의 2배 이상의 값으로 증가하고, 실시예에 비해 평탄도가 악화되어 있는 것이 확인되었다.
표 1에, 실시예, 비교예에 있어서의 실시결과를 정리한 것을 나타낸다.
[표 1]
Figure 112016059755518-pct00001

또한, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는 예시이며, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 가지고, 동일한 작용효과를 나타내는 것은, 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

Claims (8)

  1. 원기둥상의 워크를 워크유지지그로 유지하여 결정축방위를 측정한 후, 상기 워크유지지그로 상기 워크를 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 유지한 채로 상기 워크유지지그를 와이어소에 세트하고 나서 절단면방위를 조정하고, 상기 워크유지지그로 유지한 상기 워크를 복수의 홈부착 롤러에 축방향으로 왕복주행하는 와이어를 감아서 형성된 와이어열에 맞댐으로써, 상기 워크를 절단하는 워크의 절단방법에 있어서,
    상기 워크유지지그는 상기 워크를 유지한 채로 슬라이드할 수 있는 슬라이드부와 이 슬라이드부를 고정하는 고정부로 이루어진 것을 이용하고, 상기 결정축방위를 측정한 후, 상기 슬라이드부를 슬라이드시켜, 상기 워크를 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 상기 워크유지지그의 중앙부로 이동시키고, 상기 슬라이드부를 상기 고정부에 의해 고정하고, 상기 워크를 유지한 상기 워크유지지그를 상기 와이어소에 세트하고 나서 절단면방위를 조정하고, 상기 워크를 상기 와이어열에 맞댐으로써 절단하는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 워크를, 상기 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 것으로 하고, 상기 워크를 유지한 상기 슬라이드부를 슬라이드시켜 상기 워크의 단면을 상기 워크유지지그의 한쪽에 대고 나서 상기 결정축방위를 측정하는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 워크를, 실리콘 단결정 잉곳으로 하는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
  4. 원기둥상의 워크의 결정축방위를 측정할 때와, 그 후 와이어소에 의해 상기 워크를 절단할 때에 상기 워크를 유지하기 위하여 이용되는 워크유지지그에 있어서,
    상기 워크유지지그는 상기 워크를 유지한 채로 슬라이드할 수 있는 슬라이드부와 이 슬라이드부를 고정하는 고정부로 이루어지고, 상기 워크의 결정축방위의 측정 후, 상기 와이어소 내에서 상기 슬라이드부를 슬라이드시켜, 상기 워크를 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않도록 상기 워크유지지그의 중앙부로 이동시키고, 상기 슬라이드부를 상기 고정부에 의해 고정하고, 상기 워크를 유지할 수 있는 것을 특징으로 하는,
    워크유지지그.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고정부는, 상기 워크의 양 단면의 중심을 잇는 선분과 평행해지도록 마련된 도브테일 홈을 갖고, 이 도브테일 홈에 상기 슬라이드부를 계합시킴으로써, 상기 슬라이드부가 상기 워크의 상기 측정한 결정축방위를 흩뜨리지 않고 슬라이드할 수 있는 것을 특징으로 하는,
    워크유지지그.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 유지하는 워크는, 상기 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 것을 특징으로 하는,
    워크유지지그.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 유지하는 워크는, 상기 워크유지지그 길이의 3/4 이하의 길이인 것을 특징으로 하는,
    워크유지지그.
  8. 제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지하는 워크는, 실리콘 단결정 잉곳인 것을 특징으로 하는,
    워크유지지그.
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